JP2017129661A

JP2017129661A - Optical scanning device

Info

Publication number: JP2017129661A
Application number: JP2016007732A
Authority: JP
Inventors: 範明石河; Noriaki Ishikawa
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2016-01-19
Filing date: 2016-01-19
Publication date: 2017-07-27

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify a structure for calculating a maximum oscillation angle of a movable reflection part in an optical scanning device.SOLUTION: An optical scanning device comprises: a movable reflection part 20; a first detection unit 42; and an output circuit 50. The movable reflection part 20 includes a rotatable reflection surface. The first detection unit 42 is configured to detect light reflected on the reflection surface of the movable reflection part 20. The output circuit 50 is configured to be capable of outputting a low level signal and high level signal. At a timing when the first detection unit 42 detects the light, when outputting the low level signal, the output circuit 50 is configured to reverse the low level signal to the high level signal, and when outputting the high level signal, reverse the high level signal to the low level signal.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光走査装置に関し、とくに、光走査装置によって走査される範囲の制御に関する。 The present invention relates to an optical scanning device, and more particularly to control of a range scanned by the optical scanning device.

対象物に光で走査するために、光走査装置を用いることがある。例えば特許文献１，２に記載されているように、光走査装置は、可動電極、枠体、保持部材、及び固定電極を備えている。保持部材は、可動電極を枠体に取り付け、可動電極の回転軸となる。固定電極は、可動電極に対向している。 An optical scanning device may be used to scan an object with light. For example, as described in Patent Documents 1 and 2, the optical scanning device includes a movable electrode, a frame, a holding member, and a fixed electrode. The holding member attaches the movable electrode to the frame and serves as a rotation axis of the movable electrode. The fixed electrode faces the movable electrode.

光走査装置では、可動電極で反射した光を用いて可動電極の最大振れ角を算出することがある。特許文献１，２では、検出部（例えば、フォトダイオード）を用いて最大振れ角を算出している。具体的には、検出部は、可動電極で反射した光を検出する。検出部は、可動電極で反射した光を検出したタイミングで信号を出力する。特許文献１，２では、検出部から出力された信号の時間間隔に基づいて、可動電極の最大振れ角を算出している。 In the optical scanning device, the maximum deflection angle of the movable electrode may be calculated using light reflected by the movable electrode. In Patent Documents 1 and 2, the maximum deflection angle is calculated using a detection unit (for example, a photodiode). Specifically, the detection unit detects light reflected by the movable electrode. A detection part outputs a signal at the timing which detected the light reflected by the movable electrode. In Patent Documents 1 and 2, the maximum deflection angle of the movable electrode is calculated based on the time interval of the signal output from the detection unit.

特開２００５−３１５９０３号公報JP 2005-315903 A 特開２００９−２２２８５９号公報JP 2009-222859 A

特許文献１，２に記載されているように、光走査装置では、可動反射部（可動電極）の最大振れ角を算出することがある。この場合、可動反射部の最大振れ角を算出するための構造（例えば、回路）を簡易にすることが重要となる。 As described in Patent Documents 1 and 2, the optical scanning device may calculate the maximum deflection angle of the movable reflecting portion (movable electrode). In this case, it is important to simplify the structure (for example, a circuit) for calculating the maximum deflection angle of the movable reflecting portion.

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光走査装置において、可動反射部の最大振れ角を算出するための構造を簡易にすることにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to simplify the structure for calculating the maximum deflection angle of the movable reflecting portion in the optical scanning device.

本発明に係る光走査装置は、可動反射部、第１検出部、及び出力回路を備えている。可動反射部は、回転可能な反射面を有している。第１検出部は、反射面で反射した光を検出する。出力回路は、低レベル信号及び高レベル信号を出力可能である。第１検出部が光を検出したタイミングにおいて、出力回路は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させ、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 The optical scanning device according to the present invention includes a movable reflection unit, a first detection unit, and an output circuit. The movable reflecting part has a rotatable reflecting surface. The first detection unit detects light reflected by the reflection surface. The output circuit can output a low level signal and a high level signal. At the timing when the first detector detects light, the output circuit inverts the low level signal to a high level signal when outputting a low level signal, and outputs a high level signal when outputting a high level signal. Invert the level signal to a low level signal.

本発明によれば、光走査装置において、可動反射部の最大振れ角を算出するための構造を簡易にすることができる。 According to the present invention, the structure for calculating the maximum deflection angle of the movable reflecting portion can be simplified in the optical scanning device.

第１の実施形態に係る光走査装置の構成を示す図である。1 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to a first embodiment. 図１に示した出力回路の動作の一例を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining an example of the operation of the output circuit shown in FIG. 1. 図２に示した動作を行うための出力回路の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an output circuit for performing the operation illustrated in FIG. 2. 図１に示した可動反射部の詳細の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the detail of the movable reflection part shown in FIG. 可動電極と固定電極の間に印加する電圧において、交流電圧の周波数を上げていったときの可動電極の最大振れ角を示す図である。It is a figure which shows the maximum deflection angle of a movable electrode when the frequency of an alternating voltage is raised in the voltage applied between a movable electrode and a fixed electrode. 可動電極と固定電極の間に印加する電圧において、直流電圧Ｖ_ＤＣを上げていったときの可動電極の最大振れ角を示す図である。It is a figure which shows the maximum deflection angle of a movable electrode when the DC voltage _VDC is raised in the voltage applied between a movable electrode and a fixed electrode. 制御部の回路構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the circuit structure of a control part. 制御部の詳細の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the detail of a control part. 出力回路の出力信号のデューティ比と可動反射部の最大振れ角との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the duty ratio of the output signal of an output circuit, and the maximum deflection angle of a movable reflection part. ＬＰＦの出力信号と可動反射部の最大振れ角との関係を示す図である。It is a figure which shows the relationship between the output signal of LPF, and the maximum deflection angle of a movable reflection part. 図１に示した光走査装置の使用方法の第１例を示す図である。It is a figure which shows the 1st example of the usage method of the optical scanning device shown in FIG. 図１に示した光走査装置の使用方法の第２例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd example of the usage method of the optical scanning device shown in FIG. 図１に示した光走査装置の使用方法の第３例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd example of the usage method of the optical scanning device shown in FIG. 第２の実施形態に係る光走査装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the optical scanning device which concerns on 2nd Embodiment. 図１４に示した出力回路の動作の第１例を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a first example of the operation of the output circuit shown in FIG. 14. 図１５に示した動作を行うための出力回路の一例を示す図である。FIG. 16 is a diagram illustrating an example of an output circuit for performing the operation illustrated in FIG. 15. 図１４に示した出力回路の動作の第２例を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for describing a second example of the operation of the output circuit illustrated in FIG. 14. 図１７に示した動作を行うための出力回路の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the output circuit for performing the operation | movement shown in FIG. 図１４の第１の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 1st modification of FIG. 図１４の第２の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd modification of FIG. 図１４の第３の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 3rd modification of FIG.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る光走査装置の構成を示す図である。光走査装置は、可動反射部２０、第１検出部４２、及び出力回路５０を備えている。可動反射部２０は、回転可能な反射面を有している。第１検出部４２は、可動反射部２０の反射面で反射した光を検出する。出力回路５０は、低レベル信号及び高レベル信号を出力可能である。第１検出部４２が光を検出したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させ、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。以下、詳細に説明する。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to the first embodiment. The optical scanning device includes a movable reflection unit 20, a first detection unit 42, and an output circuit 50. The movable reflecting portion 20 has a rotatable reflecting surface. The first detection unit 42 detects light reflected by the reflection surface of the movable reflection unit 20. The output circuit 50 can output a low level signal and a high level signal. At the timing when the first detection unit 42 detects light, the output circuit 50 inverts the low level signal to the high level signal when outputting the low level signal, and outputs the high level signal. Invert the high level signal to the low level signal. Details will be described below.

なお、本図に示す例において、低レベル信号及び高レベル信号は、電圧である。言い換えると、低レベル信号は、第１電位の電圧であり、高レベル信号は、第１電位よりも高い第２電位の電圧である。ただし、低レベル信号及び高レベル信号は、例えば、電流であってもよい。この場合、例えば、低レベル信号は、第１直流電流であり、高レベル信号は、第１直流電流よりも大きい第２直流電流である。以下、低レベル信号及び高レベル信号が電圧として説明を行う。 In the example shown in this figure, the low level signal and the high level signal are voltages. In other words, the low level signal is the voltage of the first potential, and the high level signal is the voltage of the second potential higher than the first potential. However, the low level signal and the high level signal may be currents, for example. In this case, for example, the low level signal is a first DC current, and the high level signal is a second DC current larger than the first DC current. Hereinafter, the low level signal and the high level signal will be described as voltages.

本図に示す例において、光走査装置は、光源１０、可動反射部２０、制御部３０、第１検出部４２、及び出力回路５０を備えている。 In the example shown in the drawing, the optical scanning device includes a light source 10, a movable reflection unit 20, a control unit 30, a first detection unit 42, and an output circuit 50.

光源１０は、例えばレーザダイオードである。光源１０から出射される光は、例えば赤外線である。ただし、光源１０は、可視光又は紫外線を照射してもよい。 The light source 10 is, for example, a laser diode. The light emitted from the light source 10 is, for example, infrared. However, the light source 10 may emit visible light or ultraviolet light.

光源１０からの光は、可動反射部２０の反射面で反射する。可動反射部２０の反射面は回転可能となっている。可動反射部２０の反射面の回転は、制御部３０によって制御されている。詳細には、可動反射部２０は、振れ角０°から振れ角±θ_ｍａｘ（θ_ｍａｘ＞０）の範囲内で回転可能になっている。可動反射部２０は、可動反射部２０の振れ角が０°のときに光源１０から可動反射部２０の反射面に入射する光の入射角が４５°となるように配置されている。これにより、可動反射部２０は、光源１０から出射された光の光軸に垂直な方向から角度±θ_ｍａｘの範囲内でいずれの方向にも光を反射することができる。 The light from the light source 10 is reflected by the reflecting surface of the movable reflecting portion 20. The reflecting surface of the movable reflecting portion 20 is rotatable. The rotation of the reflecting surface of the movable reflecting unit 20 is controlled by the control unit 30. Specifically, the movable reflecting portion 20 is rotatable within a range of a swing angle of 0 ° to a swing angle of ± θ _max (θ _max > 0). The movable reflector 20 is arranged such that the incident angle of light incident on the reflecting surface of the movable reflector 20 from the light source 10 is 45 ° when the swing angle of the movable reflector 20 is 0 °. Thereby, the movable reflection part 20 can reflect light in any direction within the range of the angle ± θ _max from the direction perpendicular to the optical axis of the light emitted from the light source 10.

第１検出部４２は、可動反射部２０で反射した光を検出する。第１検出部４２は、光電変換素子であり、より具体的には例えばフォトダイオードである。第１検出部４２は、可動反射部２０で反射した光が照射可能な領域に配置されている。言い換えると、可動反射部２０で反射した光は、可動反射部２０が振れ角０°から振れ角±θ_ｍａｘの範囲内で回転したときのいずれかのタイミングにおいて第１検出部４２を照射する。 The first detection unit 42 detects the light reflected by the movable reflection unit 20. The first detection unit 42 is a photoelectric conversion element, more specifically, for example, a photodiode. The 1st detection part 42 is arrange | positioned in the area | region which the light reflected by the movable reflection part 20 can irradiate. In other words, the light reflected by the movable reflector 20 irradiates the first detector 42 at any timing when the movable reflector 20 rotates within the range of the swing angle 0 ° to the swing angle ± θ _max .

出力回路５０は、第１検出部４２の検出結果に基づいて、信号、具体的には矩形波を出力する。第１検出部４２が光を検出したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させ、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 The output circuit 50 outputs a signal, specifically a rectangular wave, based on the detection result of the first detection unit 42. At the timing when the first detection unit 42 detects light, the output circuit 50 inverts the low level signal to the high level signal when outputting the low level signal, and outputs the high level signal. Invert the high level signal to the low level signal.

出力回路５０から出力された信号は、制御部３０に入力される。詳細を後述するように、制御部３０は、出力回路５０から出力された信号に基づいて、可動反射部２０の最大触れ角θ_ｍａｘを制御する。 A signal output from the output circuit 50 is input to the control unit 30. As will be described in detail later, the control unit 30 controls the maximum touch angle θ _max of the movable reflecting unit 20 based on the signal output from the output circuit 50.

図２は、図１に示した出力回路５０の動作の一例を説明するための図である。本図（ａ）は、可動反射部２０の振れ角の変化を示す図である。本図（ａ）は、可動反射部２０を最大振れ角±θ_ｍａｘ ^（１）（θ_ｍａｘ ^（１）＞０）で振動させた第１例、及び可動反射部２０を最大振れ角±θ_ｍａｘ ^（２）（θ_ｍａｘ ^（２）＞θ_ｍａｘ ^（１））で振動させた第２例を示している。第１例及び第２例において、振動の周期は等しい。本図（ｂ）は、本図（ａ）の第１例における第１検出部４２の動作を示している。本図（ｃ）は、本図（ａ）の第１例における出力回路５０の動作を示している。本図（ｄ）は、本図（ａ）の第２例における第１検出部４２の動作を示している。本図（ｅ）は、本図（ａ）の第２例における出力回路５０の動作を示している。 FIG. 2 is a diagram for explaining an example of the operation of the output circuit 50 shown in FIG. This figure (a) is a figure which shows the change of the deflection angle of the movable reflection part 20. FIG. This figure (a) shows the 1st example which caused the movable reflection part 20 to vibrate with the maximum deflection angle ± θ _max ⁽¹⁾ (θ _max ⁽¹⁾ > 0), and the maximum deflection angle ± θ _max. ^{(2) A} second example in which vibration is performed with (θ _max ⁽²⁾ > θ _max ⁽¹⁾ ) is shown. In the first example and the second example, the period of vibration is the same. This figure (b) has shown operation | movement of the 1st detection part 42 in the 1st example of this figure (a). This figure (c) has shown operation | movement of the output circuit 50 in the 1st example of this figure (a). This figure (d) has shown operation of the 1st detection part 42 in the 2nd example of this figure (a). This figure (e) has shown operation | movement of the output circuit 50 in the 2nd example of this figure (a).

本図に示す例において、第１検出部４２は、可動反射部２０の振れ角がθ_１（０＜θ_１＜θ_ｍａｘ ^（１）＜θ_ｍａｘ ^（２））のときに可動反射部２０で反射した光が照射可能な領域に位置している。第１検出部４２は、光を検出したとき電流を出力することが可能になっている。本図（ｂ）及び本図（ｄ）に示すように、可動反射部２０の振れ角がθ_１になったタイミングにおいて、第１検出部４２は、上記した電流を用いることにより信号を出力する。そして本図（ｃ）及び本図（ｅ）に示すように、第１検出部４２が信号を出力したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させ、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 In the example shown in the figure, the first detection unit 42 uses the movable reflection unit 20 when the deflection angle of the movable reflection unit 20 is θ ₁ (0 <θ ₁ <θ _max ⁽¹⁾ <θ _max ⁽²⁾ ). It is located in an area where the reflected light can be irradiated. The first detector 42 can output a current when detecting light. As shown in the figure (b) and this figure (d), at the timing when the deflection angle of the movable reflecting portion 20 becomes theta _1, the first detection unit 42 outputs a signal by using a current which is above . Then, as shown in FIGS. 7C and 7E, when the first detection unit 42 outputs a signal, the output circuit 50 outputs the low level signal when the low level signal is output. When the high level signal is inverted and the high level signal is output, the high level signal is inverted to the low level signal.

本図（ｃ）及び本図（ｅ）の比較から明らかなように、出力回路５０が出力される矩形波のデューティ比Ｔ_ＯＮ／（Ｔ_ＯＮ＋Ｔ_ＯＦＦ）（Ｔ_ＯＮ：矩形波が高レベル信号である時間、Ｔ_ＯＦＦ：矩形波が低レベル信号である時間）は、可動反射部２０の最大振れ角によって変化する。より詳細には、デューティ比Ｔ_ＯＮ／（Ｔ_ＯＮ＋Ｔ_ＯＦＦ）は、可動反射部２０の最大振れ角が大きいほど大きいものとなる。 As is clear from the comparison between FIG. 7C and FIG. 8E, the duty ratio T _ON / (T _ON + T _OFF ) (T _ON : the rectangular wave is a high level signal output from the output circuit 50. (T _OFF : time when the rectangular wave is a low level signal) varies depending on the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20. More specifically, the duty ratio T _ON / (T _ON + T _OFF ) increases as the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20 increases.

図３は、図２に示した動作を行うための出力回路５０の一例を示す図である。出力回路５０は、変換回路５１０、回路５３０、及びＤ−フリップフロップ５５０を備えている。変換回路５１０は、オペアンプ５１２、抵抗５１４、及びキャパシタ５１６を備えている。回路５３０は、コンパレータ５３２及び直流電源５３４を備えている。 FIG. 3 is a diagram showing an example of the output circuit 50 for performing the operation shown in FIG. The output circuit 50 includes a conversion circuit 510, a circuit 530, and a D-flip flop 550. The conversion circuit 510 includes an operational amplifier 512, a resistor 514, and a capacitor 516. The circuit 530 includes a comparator 532 and a DC power source 534.

Ｄ−フリップフロップ５５０は、第１検出部４２の検出結果に基づいて動作する。具体的には、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｃ（クロック）端子（第１端子）、Ｄ端子（第２端子）、Ｑ端子（第３端子）、及び＃Ｑ端子（第４端子）を備えている。Ｃ端子には、第１検出部４２からの出力信号が入力される。Ｄ端子は、Ｃ端子とは異なる端子である。Ｑ端子からは、Ｃ端子に入力される信号が低レベル信号から高レベル信号に反転したタイミングでＤ端子に入力されている信号と同一のレベルの信号が出力される。＃Ｑ端子からは、Ｑ端子から出力される信号とは反転した信号が出力される。Ｄ端子と＃Ｑ端子とは、電気的に互いに接続している。これにより、第１検出部４２からの出力信号がＣ端子に入力されたタイミングにおいて、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｑ端子から低レベル信号を出力しているときは、Ｑ端子の低レベル信号を高レベル信号に反転させ、Ｑ端子から高レベル信号を出力しているときは、Ｑ端子の高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 The D-flip flop 550 operates based on the detection result of the first detection unit 42. Specifically, the D-flip-flop 550 includes a C (clock) terminal (first terminal), a D terminal (second terminal), a Q terminal (third terminal), and a #Q terminal (fourth terminal). ing. An output signal from the first detection unit 42 is input to the C terminal. The D terminal is a terminal different from the C terminal. From the Q terminal, a signal having the same level as the signal input to the D terminal is output at the timing when the signal input to the C terminal is inverted from the low level signal to the high level signal. A signal inverted from the signal output from the Q terminal is output from the #Q terminal. The D terminal and the #Q terminal are electrically connected to each other. Accordingly, when the output signal from the first detection unit 42 is input to the C terminal, the D-flip flop 550 outputs the low level signal at the Q terminal when the low level signal is output from the Q terminal. When the high level signal is inverted and the high level signal is output from the Q terminal, the high level signal at the Q terminal is inverted to the low level signal.

より詳細には、本図に示す例において、第１検出部４２は、光電変換素子、具体的にはフォトダイオードである。第１検出部４２のアノードは接地しており、第１検出部４２のカソードは変換回路５１０に接続している。第１検出部４２に光が照射されると、第１検出部４２から光電流が流れる。光電流は、第１検出部４２から変換回路５１０に流れる。 More specifically, in the example shown in the drawing, the first detection unit 42 is a photoelectric conversion element, specifically a photodiode. The anode of the first detection unit 42 is grounded, and the cathode of the first detection unit 42 is connected to the conversion circuit 510. When the first detection unit 42 is irradiated with light, a photocurrent flows from the first detection unit 42. The photocurrent flows from the first detection unit 42 to the conversion circuit 510.

変換回路５１０は、第１検出部４２からの光電流を電圧に変換する。本図に示す例では、オペアンプ５１２の反転入力端子は第１検出部４２に接続しており、オペアンプ５１２の非反転入力端子は接地している。オペアンプ５１２の出力端子とオペアンプ５１２の反転入力端子とは、抵抗５１４を介して電気的に互いに接続している。電気的な経路において、キャパシタ５１６は、オペアンプ５１２の出力端子とオペアンプ５１２の反転入力端子との間で抵抗５１４と並列に接続している。第１検出部４２からの光電流は、抵抗５１４に流れる。これにより、オペアンプ５１２の出力端子の電位は正の電位となる。 The conversion circuit 510 converts the photocurrent from the first detection unit 42 into a voltage. In the example shown in the figure, the inverting input terminal of the operational amplifier 512 is connected to the first detection unit 42, and the non-inverting input terminal of the operational amplifier 512 is grounded. The output terminal of the operational amplifier 512 and the inverting input terminal of the operational amplifier 512 are electrically connected to each other via a resistor 514. In the electrical path, the capacitor 516 is connected in parallel with the resistor 514 between the output terminal of the operational amplifier 512 and the inverting input terminal of the operational amplifier 512. The photocurrent from the first detection unit 42 flows through the resistor 514. Accordingly, the potential of the output terminal of the operational amplifier 512 becomes a positive potential.

オペアンプ５１２の出力端子の電位は、回路５３０に入力される。回路５３０は、Ｄ−フリップフロップ５５０のＣ端子に入力される電圧を一定にするために設けられている。具体的には、変換回路５１０の出力電圧は、コンパレータ５３２の反転入力端子に入力される。コンパレータ５３２の非反転入力端子には、直流電源５３４が接続している。直流電源５３４は、コンパレータ５３２の非反転入力端子に基準電圧を与えている。これにより、コンパレータ５３２は、変換回路５１０の出力電圧が基準電圧（直流電源５３４の電圧）以上である場合は低レベル信号を出力し、変換回路５１０の出力電圧が基準電圧（直流電源５３４の電圧）未満である場合は高レベル信号を出力する。この場合、オペアンプ５１２から回路５３０にノイズが入力されたとしても、このノイズがＤ−フリップフロップ５５０に入力されることを抑制することができる。 The potential of the output terminal of the operational amplifier 512 is input to the circuit 530. The circuit 530 is provided to make the voltage input to the C terminal of the D flip-flop 550 constant. Specifically, the output voltage of the conversion circuit 510 is input to the inverting input terminal of the comparator 532. A DC power supply 534 is connected to the non-inverting input terminal of the comparator 532. The DC power source 534 applies a reference voltage to the non-inverting input terminal of the comparator 532. Accordingly, the comparator 532 outputs a low level signal when the output voltage of the conversion circuit 510 is equal to or higher than the reference voltage (voltage of the DC power supply 534), and the output voltage of the conversion circuit 510 is set to the reference voltage (voltage of the DC power supply 534). If it is less than), a high level signal is output. In this case, even if noise is input from the operational amplifier 512 to the circuit 530, it can be suppressed that this noise is input to the D-flip flop 550.

コンパレータ５３２の出力端子の電位は、Ｄ−フリップフロップ５５０のＣ端子に入力される。Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｃ端子に入力される信号が低レベル信号から高レベル信号に反転したタイミングでＤ端子に入力されている信号と同一のレベルの信号をＱ端子から出力する。＃Ｑ端子からは、Ｑ端子から出力される信号とは反転した信号が出力される。これにより、第１検出部４２が光を検出したタイミング（言い換えると、第１検出部４２から電流が流れたタイミング）において、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｑ端子から低レベル信号を出力しているときは、Ｑ端子の低レベル信号を高レベル信号に反転させ、Ｑ端子から高レベル信号を出力しているときは、Ｑ端子の高レベル信号を低レベル信号に反転させる。出力回路５０の出力信号は、Ｄ−フリップフロップ５５０のＱ端子の電位となる。 The potential of the output terminal of the comparator 532 is input to the C terminal of the D-flip flop 550. The D flip-flop 550 outputs, from the Q terminal, a signal having the same level as the signal input to the D terminal at the timing when the signal input to the C terminal is inverted from the low level signal to the high level signal. A signal inverted from the signal output from the Q terminal is output from the #Q terminal. Thus, at the timing when the first detection unit 42 detects light (in other words, when the current flows from the first detection unit 42), the D-flip flop 550 outputs a low level signal from the Q terminal. When the high level signal is output from the Q terminal, the high level signal at the Q terminal is inverted to the low level signal. The output signal of the output circuit 50 becomes the potential of the Q terminal of the D-flip flop 550.

図４は、図１に示した可動反射部２０の詳細の一例を示す図である。本図に示す例において、可動反射部２０は、回転型アクチュエータ２００の可動電極２２０である。回転型アクチュエータ２００は、可動電極２２０、枠体２１０、保持部材２３０、及び固定電極２４０を有している。保持部材２３０は、可動電極２２０を枠体２１０に取り付けており、かつ可動電極２２０の回転軸となる。固定電極２４０は、平面視で可動電極２２０に対向している。可動電極２２０と固定電極２４０との間の電圧は、制御部３０によって制御されている。制御部３０は、出力回路５０（図１）からの信号に基づいて可動電極２２０と固定電極２４０との間の電圧を制御する。 FIG. 4 is a diagram showing an example of the details of the movable reflecting portion 20 shown in FIG. In the example shown in this figure, the movable reflecting portion 20 is the movable electrode 220 of the rotary actuator 200. The rotary actuator 200 includes a movable electrode 220, a frame body 210, a holding member 230, and a fixed electrode 240. The holding member 230 has the movable electrode 220 attached to the frame body 210 and serves as a rotation axis of the movable electrode 220. The fixed electrode 240 faces the movable electrode 220 in plan view. The voltage between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240 is controlled by the control unit 30. The control unit 30 controls the voltage between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240 based on a signal from the output circuit 50 (FIG. 1).

可動電極２２０の平面形状は矩形である。そして固定電極２４０は、平面視で可動電極２２０を挟むように２つ設けられている。可動電極２２０のうち固定電極２４０と対向する辺（図１においてＸ方向に伸びている辺）は、櫛歯形状となっている。枠体２１０は、可動電極２２０の４辺のうち固定電極２４０と対向していない２つの辺（本図においてＹ方向に伸びている辺）それぞれに対向している。保持部材２３０は、可動電極２２０のうち枠体２１０と対向している２辺それぞれに対して設けられている。詳細には、保持部材２３０は、可動電極２２０のうち枠体２１０と対向している辺の中心に接続している。そして２つの保持部材２３０を結ぶ線が、可動電極２２０の回転軸となっている。本実施形態では、枠体２１０、可動電極２２０、及び保持部材２３０は一体的に形成されている。 The planar shape of the movable electrode 220 is a rectangle. Two fixed electrodes 240 are provided so as to sandwich the movable electrode 220 in plan view. A side of the movable electrode 220 facing the fixed electrode 240 (side extending in the X direction in FIG. 1) has a comb shape. The frame 210 is opposed to each of two sides (sides extending in the Y direction in the figure) that are not opposed to the fixed electrode 240 among the four sides of the movable electrode 220. The holding member 230 is provided for each of two sides of the movable electrode 220 facing the frame body 210. Specifically, the holding member 230 is connected to the center of the side of the movable electrode 220 that faces the frame body 210. A line connecting the two holding members 230 is the rotation axis of the movable electrode 220. In the present embodiment, the frame body 210, the movable electrode 220, and the holding member 230 are integrally formed.

固定電極２４０のうち可動電極２２０と対向する辺は、櫛歯形状となっており、可動電極２２０の櫛歯部分とかみ合っている。このため、固定電極２４０と可動電極２２０は、互いに対向する部分の面積が大きくなり、その結果、可動電極２２０の駆動力は大きくなる。 The side of the fixed electrode 240 that faces the movable electrode 220 has a comb-teeth shape and engages with the comb-teeth portion of the movable electrode 220. For this reason, the area of the part which the fixed electrode 240 and the movable electrode 220 mutually oppose becomes large, As a result, the driving force of the movable electrode 220 becomes large.

回転型アクチュエータ２００の可動電極２２０は、例えば上面が鏡面になっている。この鏡面は、例えば可動電極２２０の上面に金属膜（例えばＡｌ膜）を形成することにより、形成されている。そして可動電極２２０の角度を変えることにより、可動電極２２０に入射してきた光の反射角を変える。回転型アクチュエータ２００は、例えば光スキャナーやモーションセンサに用いられる。 The movable electrode 220 of the rotary actuator 200 has, for example, a mirror surface on the upper surface. This mirror surface is formed, for example, by forming a metal film (for example, an Al film) on the upper surface of the movable electrode 220. Then, by changing the angle of the movable electrode 220, the reflection angle of the light incident on the movable electrode 220 is changed. The rotary actuator 200 is used, for example, in an optical scanner or a motion sensor.

制御部３０は、可動電極２２０の動きを制御する。具体的には、可動電極２２０を回転させるとき、制御部３０は、可動電極２２０と固定電極２４０の間に、交流電圧と直流電圧とを重畳させた電圧を印加する。交流電圧の周波数は、例えば可動電極２２０の基本共振周波数、又はその高調波近傍である。本実施形態において制御部３０は、可動電極２２０の動きを制御している間、交流電圧の周波数を変化させない。その代わりに、制御部３０は、直流電圧を制御することにより、可動電極２２０の最大振れ角を制御する。 The control unit 30 controls the movement of the movable electrode 220. Specifically, when rotating the movable electrode 220, the control unit 30 applies a voltage in which an AC voltage and a DC voltage are superimposed between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240. The frequency of the AC voltage is, for example, the fundamental resonance frequency of the movable electrode 220 or the vicinity thereof. In the present embodiment, the control unit 30 does not change the frequency of the AC voltage while controlling the movement of the movable electrode 220. Instead, the control unit 30 controls the maximum deflection angle of the movable electrode 220 by controlling the DC voltage.

図５は、可動電極２２０と固定電極２４０の間に印加する電圧において、交流電圧の周波数を上げていったときの可動電極２２０の最大振れ角を示す図である。直流電圧Ｖが閾値Ｖ_ｍ未満の場合、交流電圧の周波数を上げていっても可動電極２２０は回転しない。これに対して直流電圧Ｖが閾値Ｖ_ｍ以上では、交流電圧の周波数を上げていくと、閾値周波数ｆで可動電極２２０は回転し始める。その後、交流電圧の周波数を上げていくと、可動電極２２０の最大振れ角は小さくなる。一方、閾値周波数fよりも十分高い周波数から、もしくは、可動電極２２０が回転している状態で交流電圧の周波数を下げていくと、可動電極２２０の最大振れ角は大きくなる。そして、交流電圧の周波数が基準周波数ｆ_０になると、可動電極２２０の最大振れ角は０に戻る。基準周波数ｆ_０は、一般的に閾値周波数ｆよりも小さい。そして閾値周波数ｆは、直流電圧Ｖを大きくしていくと、高くなっていく。一方、基準周波数ｆ０は、直流電圧Ｖによらず一定である。 FIG. 5 is a diagram showing the maximum deflection angle of the movable electrode 220 when the frequency of the AC voltage is increased in the voltage applied between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240. If the DC voltage V is less than the threshold V _m, the movable electrode 220 may go to increase the frequency of the AC voltage is not rotated. In contrast DC voltage V threshold V _m or more, when gradually increasing the frequency of the AC voltage, the movable electrode 220 at a threshold frequency f begins to rotate. Thereafter, when the frequency of the AC voltage is increased, the maximum deflection angle of the movable electrode 220 is decreased. On the other hand, when the frequency of the AC voltage is lowered from a frequency sufficiently higher than the threshold frequency f or while the movable electrode 220 is rotating, the maximum deflection angle of the movable electrode 220 increases. When the frequency of the AC voltage becomes the reference frequency f _0, the maximum deflection angle of the movable electrode 220 returns to zero. Reference frequency f ₀ is less than general threshold frequency f. The threshold frequency f increases as the DC voltage V increases. On the other hand, the reference frequency f0 is constant regardless of the DC voltage V.

図６は、可動電極２２０と固定電極２４０の間に印加する電圧において、直流電圧Ｖ_ＤＣを上げていったときの可動電極２２０の最大振れ角を示す図である。直流電圧Ｖ_ＤＣが閾値電圧Ｖｍ未満の場合、可動電極２２０は回転しない。一方、直流電圧Ｖ_ＤＣが閾値Ｖｍになると、可動電極２２０は回転する。そして直流電圧Ｖ_ＤＣを上げていくと、可動電極２２０の最大振れ角は、閾値Ｖｍのときの最大振れ角θ_ｍａｘから徐々に大きくなる。このように、制御部３０は、直流電圧Ｖ_ＤＣの値を制御することにより、可動電極２２０の最大振れ角θ_ｍａｘを制御することができる。 FIG. 6 is a diagram illustrating the maximum deflection angle of the movable electrode 220 when the DC voltage _VDC is increased in the voltage applied between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240. When the DC voltage _VDC is less than the threshold voltage Vm, the movable electrode 220 does not rotate. On the other hand, when the DC voltage _VDC reaches the threshold value Vm, the movable electrode 220 rotates. As the DC voltage V _DC is increased, the maximum deflection angle of the movable electrode 220 gradually increases from the maximum deflection angle θ _{max at} the threshold value Vm. As described above, the control unit 30 can control the maximum deflection angle θ _max of the movable electrode 220 by controlling the value of the direct-current voltage V _DC .

図７は、制御部３０の回路構成の一例を示す図である。本図に示す例において、制御部３０は、交流電圧発生部３４２及び直流電圧発生部３４４を有している。交流電圧発生部３４２は、２つの固定電極２４０に交流電圧を印加する。直流電圧発生部３４４は、枠体２１０及び保持部材２３０を介して、可動電極２２０に直流電圧を印加する。これにより、可動電極２２０と固定電極２４０の間には、交流電圧と直流電圧とを重畳させた電圧が印加される。 FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of the control unit 30. In the example shown in the figure, the control unit 30 includes an AC voltage generation unit 342 and a DC voltage generation unit 344. The AC voltage generator 342 applies an AC voltage to the two fixed electrodes 240. The DC voltage generator 344 applies a DC voltage to the movable electrode 220 via the frame body 210 and the holding member 230. Thereby, a voltage obtained by superimposing an AC voltage and a DC voltage is applied between the movable electrode 220 and the fixed electrode 240.

図８は、制御部３０の詳細の一例を示す図である。本図に示す例において、制御部３０は、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）３１０、比較部３２０、電圧制御部３３０、及び電圧発生部３４０を備えている。 FIG. 8 is a diagram illustrating an example of details of the control unit 30. In the example shown in the figure, the control unit 30 includes an LPF (low-pass filter) 310, a comparison unit 320, a voltage control unit 330, and a voltage generation unit 340.

出力回路５０の出力信号（矩形波）は、ＬＰＦ３１０に入力される。ＬＰＦ３１０の遮断周波数は、可動反射部２０の振動の周波数よりも小さい。これにより、出力回路５０の出力信号の高周波成分が除去される。これにより、ＬＰＦ３１０からは、出力回路５０の出力信号（矩形波）のデューティ比に比例した直流電圧が出力される。言い換えると、ＬＰＦ３１０は、出力回路５０の出力信号の時間積分を出力する積分回路として機能している。このようにして、制御部３０は、出力回路５０の出力信号のデューティ比を算出する。 An output signal (rectangular wave) from the output circuit 50 is input to the LPF 310. The cut-off frequency of the LPF 310 is smaller than the vibration frequency of the movable reflector 20. Thereby, the high frequency component of the output signal of the output circuit 50 is removed. As a result, a DC voltage proportional to the duty ratio of the output signal (rectangular wave) of the output circuit 50 is output from the LPF 310. In other words, the LPF 310 functions as an integration circuit that outputs time integration of the output signal of the output circuit 50. In this way, the control unit 30 calculates the duty ratio of the output signal of the output circuit 50.

ＬＰＦ３１０からの信号は、比較部３２０に入力される。比較部３２０には、入力部３２から入力信号が入力される。入力信号は、例えば、光走査装置のユーザの入力に基づいて入力される。入力信号は、可動反射部２０の最大振れ角が第１振れ角になる場合に出力回路５０の出力信号のデューティ比がとる値（第１デューティ比）を示す。比較部３２０は、例えばコンパレータである。比較部３２０は、ＬＰＦ３１０の出力信号と入力部３２の入力信号とを比較する。具体的には、比較部３２０は、出力回路５０の出力信号のデューティ比と上記した第１デューティ比との差を算出する。そして比較部３２０は、その差を示す信号を出力する。 A signal from the LPF 310 is input to the comparison unit 320. The comparison unit 320 receives an input signal from the input unit 32. The input signal is input based on, for example, an input from the user of the optical scanning device. The input signal indicates a value (first duty ratio) that the duty ratio of the output signal of the output circuit 50 takes when the maximum deflection angle of the movable reflector 20 becomes the first deflection angle. The comparison unit 320 is, for example, a comparator. The comparison unit 320 compares the output signal of the LPF 310 and the input signal of the input unit 32. Specifically, the comparison unit 320 calculates the difference between the duty ratio of the output signal of the output circuit 50 and the first duty ratio described above. Then, the comparison unit 320 outputs a signal indicating the difference.

電圧制御部３３０は、比較部３２０の出力信号に基づいて電圧発生部３４０の電圧を制御する。具体的には、電圧制御部３３０は、比較部３２０の出力信号が示す上記した差が小さくなるように電圧発生部３４０の電圧を制御する。これにより、制御部３０は、可動反射部２０の最大振れ角が上記した第１振れ角になるように可動反射部２０を制御することができる。 The voltage controller 330 controls the voltage of the voltage generator 340 based on the output signal of the comparator 320. Specifically, the voltage control unit 330 controls the voltage of the voltage generation unit 340 so that the above-described difference indicated by the output signal of the comparison unit 320 is reduced. Thereby, the control part 30 can control the movable reflection part 20 so that the maximum deflection angle of the movable reflection part 20 becomes the above-described first deflection angle.

図９は、出力回路５０の出力信号のデューティ比と可動反射部２０の最大振れ角との関係を示す図である。本図のデューティ比は、出力回路５０から出力される矩形波が高レベル信号である時間Ｔ_ＯＮ、及び出力回路５０から出力される矩形波が低レベル信号である時間Ｔ_ＯＦＦを用いて、Ｔ_ＯＮ／（Ｔ_ＯＮ＋Ｔ_ＯＦＦ）によって定義される。本図に示すように、デューティ比は、最大振れ角が増加するにつれて増加する。言い換えると、デューティ比を測定することにより、最大振れ角を決定することができる。 FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the duty ratio of the output signal of the output circuit 50 and the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20. The duty ratio in this figure is calculated by using a time T _ON when the rectangular wave output from the output circuit 50 is a high level signal and a time T _OFF when the rectangular wave output from the output circuit 50 is a low level signal. Defined by _ON / (T _ON + T _OFF ). As shown in this figure, the duty ratio increases as the maximum deflection angle increases. In other words, the maximum deflection angle can be determined by measuring the duty ratio.

図１０は、ＬＰＦ３１０の出力信号と可動反射部２０の最大振れ角との関係を示す図である。上記したように、ＬＰＦ３１０の出力信号は、出力回路５０の出力信号の時間積分に相当し、出力回路５０の出力信号のデューティ比に相当する。なお、本図に示す例において、接地電位は、出力回路５０の出力電圧のデューティ比が０．５０であるときＬＰＦ３１０の出力電圧が０Ｖとなるように設定されている。本図に示すように、ＬＰＦ３１０の出力信号は、最大振れ角が増加するにつれて増加する。言い換えると、ＬＰＦ３１０の出力信号を測定することにより、最大振れ角を決定することができる。 FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the output signal of the LPF 310 and the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20. As described above, the output signal of the LPF 310 corresponds to the time integration of the output signal of the output circuit 50 and corresponds to the duty ratio of the output signal of the output circuit 50. In the example shown in this figure, the ground potential is set so that the output voltage of the LPF 310 is 0 V when the duty ratio of the output voltage of the output circuit 50 is 0.50. As shown in the figure, the output signal of the LPF 310 increases as the maximum deflection angle increases. In other words, the maximum deflection angle can be determined by measuring the output signal of the LPF 310.

図１１は、図１に示した光走査装置の使用方法の第１例を示す図である。本図に示す例では、可動反射部２０で反射した光によって対象物６０を走査している。第１検出部４２は、可動反射部２０と対象物６０との間に配置されている。本図に示すように、第１検出部４２は、可動反射部２０が振れ角０°から振れ角±θ_ｍａｘの範囲内で回転したときに可動反射部２０からの反射光が照射可能な領域に配置されている。 FIG. 11 is a diagram showing a first example of how to use the optical scanning device shown in FIG. In the example shown in this figure, the object 60 is scanned with the light reflected by the movable reflecting portion 20. The first detection unit 42 is disposed between the movable reflection unit 20 and the object 60. As shown in the figure, the first detection unit 42 is an area in which the reflected light from the movable reflecting unit 20 can be irradiated when the movable reflecting unit 20 rotates within the range of the swing angle 0 ° to the swing angle ± θ _max. Is arranged.

図１２は、図１に示した光走査装置の使用方法の第２例を示す図である。本図に示す例では、可動反射部２０と対象物６０との間にビームスプリッタ７０が配置されている。可動反射部２０で反射した光の一部は、ビームスプリッタ７０を透過し、その後、対象物６０に照射される。可動反射部２０で反射した光の他の一部は、ビームスプリッタ７０で反射する。第１検出部４２は、可動反射部２０が振れ角０°から振れ角±θ_ｍａｘの範囲内で回転したときにビームスプリッタ７０からの反射光が照射可能な領域に配置されている。これにより、可動反射部２０と対象物６０との間の空間からずれた位置に第１検出部４２を配置することができる。この場合、可動反射部２０から対象物６０に向かう光が第１検出部４２によって遮られることを防止することができる。 FIG. 12 is a diagram illustrating a second example of a method of using the optical scanning device illustrated in FIG. In the example shown in this drawing, a beam splitter 70 is disposed between the movable reflector 20 and the object 60. Part of the light reflected by the movable reflector 20 is transmitted through the beam splitter 70 and then irradiated onto the object 60. Another part of the light reflected by the movable reflector 20 is reflected by the beam splitter 70. The first detection unit 42 is disposed in a region where the reflected light from the beam splitter 70 can be irradiated when the movable reflection unit 20 rotates within the range of the swing angle 0 ° to the swing angle ± θ _max . Thereby, the 1st detection part 42 can be arrange | positioned in the position which shifted | deviated from the space between the movable reflection part 20 and the target object 60. FIG. In this case, it is possible to prevent the light traveling from the movable reflection unit 20 toward the object 60 from being blocked by the first detection unit 42.

図１３は、図１に示した光走査装置の使用方法の第３例を示す図である。本図に示すように、ビームスプリッタ７０で反射した光を用いて対象物６０を走査してもよい。この場合、本図に示すように、第１検出部４２は、ビームスプリッタ７０を透過した光を検出する。 FIG. 13 is a diagram showing a third example of a method of using the optical scanning device shown in FIG. As shown in the figure, the object 60 may be scanned using the light reflected by the beam splitter 70. In this case, as shown in the figure, the first detector 42 detects the light transmitted through the beam splitter 70.

以上、本実施形態によれば、出力回路５０の出力信号は、第１検出部４２が光を検出したタイミングで反転する。これにより、出力回路５０の出力信号（矩形波）のデューティ比に基づいて、可動反射部２０の最大振れ角を算出することができる。そしてこのようなデューティ比は、例えばＬＰＦ３１０を用いることで算出することができる。このようなＬＰＦ３１０は、簡易な構成である。これにより、可動反射部２０の最大振れ角を算出するための構造を簡易にすることができる。 As described above, according to the present embodiment, the output signal of the output circuit 50 is inverted at the timing when the first detection unit 42 detects light. Thereby, the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20 can be calculated based on the duty ratio of the output signal (rectangular wave) of the output circuit 50. Such a duty ratio can be calculated by using the LPF 310, for example. Such an LPF 310 has a simple configuration. Thereby, the structure for calculating the maximum deflection angle of the movable reflecting portion 20 can be simplified.

（第２の実施形態）
図１４は、第２の実施形態に係る光走査装置の構成を示す図であり、第１の実施形態の図１に対応する。本実施形態に係る光走査装置は、以下の点を除いて、第１の実施形態に係る光走査装置と同様の構成である。 (Second Embodiment)
FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration of an optical scanning device according to the second embodiment, and corresponds to FIG. 1 of the first embodiment. The optical scanning device according to the present embodiment has the same configuration as the optical scanning device according to the first embodiment, except for the following points.

本図に示す例において、光走査装置は、第２検出部４４を備えている。第２検出部４４は、可動反射部２０から見た場合に第１検出部４２とは異なる方向に位置している。第２検出部４４は、可動反射部２０の反射面で反射した光を検出する。第１例では、図１５を用いて後述するように、第２検出部４４が光を検出したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させず、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。一方、第２例では、図１７を用いて後述するように、第２検出部４４が光を検出したタイミングにおいて、出力回路５０は、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させず、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させる。 In the example shown in this figure, the optical scanning device includes a second detection unit 44. The second detection unit 44 is located in a different direction from the first detection unit 42 when viewed from the movable reflection unit 20. The second detection unit 44 detects light reflected by the reflection surface of the movable reflection unit 20. In the first example, as will be described later with reference to FIG. 15, at the timing when the second detection unit 44 detects light, the output circuit 50 outputs the low level signal to the high level when outputting the low level signal. When a high level signal is output without being inverted to a signal, the high level signal is inverted to a low level signal. On the other hand, in the second example, as will be described later with reference to FIG. 17, at the timing when the second detection unit 44 detects light, the output circuit 50 outputs the high level signal when outputting the high level signal. When the low level signal is output without being inverted to the low level signal, the low level signal is inverted to the high level signal.

本図に示す例において、第２検出部４４は、第１検出部４２の隣に位置している。第１検出部４２及び第２検出部４４は、例えば、半導体チップの同一面上に位置している。本図に示す例では、第２検出部４４は、可動反射部２０の振れ角が０°の場合に可動反射部２０で反射した光が照射可能な領域に配置されている。 In the example shown in the figure, the second detection unit 44 is located next to the first detection unit 42. For example, the first detection unit 42 and the second detection unit 44 are located on the same surface of the semiconductor chip. In the example shown in the figure, the second detection unit 44 is disposed in a region where the light reflected by the movable reflection unit 20 can be irradiated when the swing angle of the movable reflection unit 20 is 0 °.

図１５は、図１４に示した出力回路５０の動作の第１例を説明するための図である。本図（ａ）に示す例は、可動反射部２０を振れ角±θ_ｍａｘ（θ_ｍａｘ＞０）で振動させた例を示している。本図（ｂ）は、第１検出部４２の動作を示している。本図（ｃ）は、第２検出部４４の動作を示している。本図（ｄ）は、出力回路５０の動作を示している。 FIG. 15 is a diagram for explaining a first example of the operation of the output circuit 50 shown in FIG. The example shown in FIG. 5A shows an example in which the movable reflecting portion 20 is vibrated at a deflection angle ± θ _max (θ _max > 0). FIG. 4B shows the operation of the first detection unit 42. FIG. 7C shows the operation of the second detection unit 44. FIG. 4D shows the operation of the output circuit 50.

本図に示す例において、第１検出部４２は、可動反射部２０の振れ角がθ_１（０＜θ_１＜θ_ｍａｘ）のときに可動反射部２０で反射した光が照射可能な領域に位置している。第２検出部４４は、可動反射部２０の振れ角がθ_２（本図に示す例では、θ_２＝０°）のときに可動反射部２０で反射した光が照射可能な領域に位置している。本図（ｂ）に示すように、可動反射部２０の振れ角がθ_１になるときに第１検出部４２は信号を出力する。そして本図（ｄ）に示すように、第１検出部４２が信号を出力したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは低レベル信号を高レベル信号に反転させ、高レベル信号を出力しているときは高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 In the example shown in the figure, the first detection unit 42 irradiates light that is reflected by the movable reflection unit 20 when the deflection angle of the movable reflection unit 20 is θ ₁ (0 <θ ₁ <θ _max ). positioned. The second detection unit 44 is located in a region where the light reflected by the movable reflection unit 20 can be irradiated when the deflection angle of the movable reflection unit 20 is θ ₂ (θ ₂ = 0 ° in the example shown in the figure). ing. As shown in the figure (b), the first detector 42 when the deflection angle of the movable reflector portion 20 is theta ₁ outputs a signal. And as shown in this figure (d), in the timing which the 1st detection part 42 output the signal, when the output circuit 50 is outputting the low level signal, it inverts a low level signal to a high level signal, When outputting a high level signal, the high level signal is inverted to a low level signal.

出力回路５０は、出力回路５０の出力信号及び第２検出部４４の検出結果に基づいて、出力回路５０の出力信号を制御する。具体的には、第２検出部４４が信号を出力したタイミングにおいて、出力回路５０は、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させず、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させる。 The output circuit 50 controls the output signal of the output circuit 50 based on the output signal of the output circuit 50 and the detection result of the second detection unit 44. Specifically, at the timing when the second detection unit 44 outputs a signal, the output circuit 50 outputs the high level signal without inverting the low level signal to the high level signal when outputting the low level signal. When outputting, the high level signal is inverted to the low level signal.

本図に示す例において、出力回路５０は、可動反射部２０の振れ角がθ_１以上である間、高レベル信号を出力する。さらに、本図に示す例では、出力回路５０が高レベル信号を出力する時間と出力回路５０が低レベル信号を出力する時間とが逆転することを抑制することができる。詳細には、本図（ｂ）に示すように、第１検出部４２は、可動反射部２０の振れ角がθ_１でないタイミングであっても、例えばノイズによって信号を出力することがある。本図（ｂ）では、この信号を破線で示している。この場合、出力回路５０は、可動反射部２０の振れ角がθ_１以下のタイミングにおいても高レベル信号を出力する。一方、本図に示す例では、出力回路５０がこのように高レベル信号を出力しても、第２検出部４４が出力した信号によって出力回路５０の高レベル信号は低レベル信号に反転する。このため、出力回路５０の出力信号の周期は、第１検出部４２からの上記した信号によって一時的に乱れたとしても、第２検出部４４からの信号によって修正される。 In the example shown in the figure, the output circuit 50 during the deflection angle of the movable reflector portion 20 is _one or more theta, and outputs a high level signal. Furthermore, in the example shown in this figure, it is possible to prevent the time during which the output circuit 50 outputs a high level signal and the time during which the output circuit 50 outputs a low level signal from being reversed. Specifically, as shown in FIG. 4B, the first detection unit 42 may output a signal due to, for example, noise even at a timing when the swing angle of the movable reflection unit 20 is not θ ₁ . In this figure (b), this signal is shown with the broken line. In this case, the output circuit 50 outputs a high level signal even when the deflection angle of the movable reflecting portion 20 is θ ₁ or less. On the other hand, in the example shown in this figure, even if the output circuit 50 outputs the high level signal in this way, the high level signal of the output circuit 50 is inverted to the low level signal by the signal output from the second detection unit 44. For this reason, the period of the output signal of the output circuit 50 is corrected by the signal from the second detection unit 44 even if it is temporarily disturbed by the signal from the first detection unit 42.

図１６は、図１５に示した動作を行うための出力回路５０の一例を示す図である。出力回路５０は、変換回路５１０、変換回路５２０、回路５３０、回路５４０、及びＤ−フリップフロップ５５０を備えている。本図に示す変換回路５１０及び回路５３０は、図３に示した変換回路５１０及び回路５３０とそれぞれ同様の構成である。変換回路５２０は、オペアンプ５２２、抵抗５２４、及びキャパシタ５２６を備えている。回路５４０は、コンパレータ５４２及び直流電源５４４を備えている。本図に示す出力回路５０は、以下の点を除いて、図３に示した出力回路５０と同様の構成である。 FIG. 16 is a diagram illustrating an example of the output circuit 50 for performing the operation illustrated in FIG. The output circuit 50 includes a conversion circuit 510, a conversion circuit 520, a circuit 530, a circuit 540, and a D-flip flop 550. The conversion circuit 510 and the circuit 530 illustrated in this drawing have the same configurations as the conversion circuit 510 and the circuit 530 illustrated in FIG. The conversion circuit 520 includes an operational amplifier 522, a resistor 524, and a capacitor 526. The circuit 540 includes a comparator 542 and a DC power supply 544. The output circuit 50 shown in the figure has the same configuration as the output circuit 50 shown in FIG. 3 except for the following points.

Ｄ−フリップフロップ５５０は、ＣＬＲ（クリア）端子（第５端子）を備えている。ＣＬＲ端子には、第２検出部４４からの出力信号が入力される。ＣＬＲ端子に信号が入力されたタイミングにおいて、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｑ端子から低レベル信号が出力されているときは、Ｑ端子からの信号を反転させず、Ｑ端子から高レベル信号が出力されているときは、Ｑ端子からの信号を反転させる。 The D flip-flop 550 has a CLR (clear) terminal (fifth terminal). An output signal from the second detection unit 44 is input to the CLR terminal. At the timing when a signal is input to the CLR terminal, the D-flip-flop 550 outputs a high level signal from the Q terminal without inverting the signal from the Q terminal when a low level signal is output from the Q terminal. If it is, the signal from the Q terminal is inverted.

本図に示す例において、第１検出部４２、変換回路５１０、及び回路５３０は、図３に示した例と同様にして機能する。 In the example shown in the figure, the first detection unit 42, the conversion circuit 510, and the circuit 530 function in the same manner as the example shown in FIG.

第２検出部４４は、光電変換素子、具体的にはフォトダイオードである。第２検出部４４のアノードは接地しており、第２検出部４４のカソードは変換回路５２０に接続している。第２検出部４４に光が照射されると、第２検出部４４から光電流が流れる。光電流は、第２検出部４４から変換回路５２０に流れる。 The second detection unit 44 is a photoelectric conversion element, specifically a photodiode. The anode of the second detection unit 44 is grounded, and the cathode of the second detection unit 44 is connected to the conversion circuit 520. When the second detection unit 44 is irradiated with light, a photocurrent flows from the second detection unit 44. The photocurrent flows from the second detection unit 44 to the conversion circuit 520.

変換回路５２０は、第２検出部４４からの光電流を電圧に変換する。本図に示す例では、オペアンプ５２２の反転入力端子は第２検出部４４に接続しており、オペアンプ５２２の非反転入力端子は接地している。オペアンプ５２２の出力端子とオペアンプ５２２の反転入力端子とは、抵抗５２４を介して電気的に互いに接続している。電気的な経路において、キャパシタ５２６は、オペアンプ５２２の出力端子とオペアンプ５２２の反転入力端子との間で抵抗５２４と並列に接続している。第２検出部４４からの光電流は、抵抗５２４に流れる。これにより、オペアンプ５２２の出力端子の電位は正の電位となる。 The conversion circuit 520 converts the photocurrent from the second detection unit 44 into a voltage. In the example shown in this figure, the inverting input terminal of the operational amplifier 522 is connected to the second detection unit 44, and the non-inverting input terminal of the operational amplifier 522 is grounded. The output terminal of the operational amplifier 522 and the inverting input terminal of the operational amplifier 522 are electrically connected to each other via a resistor 524. In the electrical path, the capacitor 526 is connected in parallel with the resistor 524 between the output terminal of the operational amplifier 522 and the inverting input terminal of the operational amplifier 522. The photocurrent from the second detection unit 44 flows through the resistor 524. As a result, the potential of the output terminal of the operational amplifier 522 becomes a positive potential.

オペアンプ５２２の出力端子の電位は、回路５４０に入力される。回路５４０は、Ｄ−フリップフロップ５５０のＣＬＲ端子に入力される電圧を一定にするために設けられている。具体的には、変換回路５２０の出力電圧は、コンパレータ５４２の反転入力端子に入力される。コンパレータ５４２の非反転入力端子には、直流電源５４４が接続している。直流電源５４４は、コンパレータ５４２の非反転入力端子に基準電圧を与えている。これにより、コンパレータ５４２は、変換回路５２０の出力電圧が基準電圧（直流電源５４４の電圧）以上である場合は低レベル信号を出力し、変換回路５２０の出力電圧が基準電圧（直流電源５４４の電圧）未満である場合は高レベル信号を出力する。この場合、オペアンプ５２２から回路５４０にノイズが入力されたとしても、このノイズがＤ−フリップフロップ５５０に入力されることを抑制することができる。 The potential of the output terminal of the operational amplifier 522 is input to the circuit 540. The circuit 540 is provided to make the voltage input to the CLR terminal of the D flip-flop 550 constant. Specifically, the output voltage of the conversion circuit 520 is input to the inverting input terminal of the comparator 542. A DC power supply 544 is connected to the non-inverting input terminal of the comparator 542. The DC power supply 544 gives a reference voltage to the non-inverting input terminal of the comparator 542. Accordingly, the comparator 542 outputs a low level signal when the output voltage of the conversion circuit 520 is equal to or higher than the reference voltage (voltage of the DC power supply 544), and the output voltage of the conversion circuit 520 is set to the reference voltage (voltage of the DC power supply 544). If it is less than), a high level signal is output. In this case, even if noise is input from the operational amplifier 522 to the circuit 540, input of this noise to the D-flip flop 550 can be suppressed.

コンパレータ５４２の出力端子の電位は、Ｄ−フリップフロップ５５０のＣＬＲ端子に入力される。ＣＬＲ端子に信号が入力された場合、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｃ端子に入力される信号及びＤ端子に入力される信号にかかわらず、Ｑ端子の出力信号を高レベル信号から低レベル信号に反転させる。 The potential of the output terminal of the comparator 542 is input to the CLR terminal of the D-flip flop 550. When a signal is input to the CLR terminal, the D-flip flop 550 changes the output signal of the Q terminal from a high level signal to a low level signal regardless of the signal input to the C terminal and the signal input to the D terminal. Invert.

図１７は、図１４に示した出力回路５０の動作の第２例を説明するための図である。本図（ａ）に示す例は、可動反射部２０を振れ角±θ_ｍａｘ（θ_ｍａｘ＞０）で振動させた例を示している。本図（ｂ）は、第１検出部４２の動作を示している。本図（ｃ）は、第２検出部４４の動作を示している。本図（ｄ）は、出力回路５０の動作を示している。 FIG. 17 is a diagram for explaining a second example of the operation of the output circuit 50 shown in FIG. The example shown in FIG. 5A shows an example in which the movable reflecting portion 20 is vibrated at a deflection angle ± θ _max (θ _max > 0). FIG. 4B shows the operation of the first detection unit 42. FIG. 7C shows the operation of the second detection unit 44. FIG. 4D shows the operation of the output circuit 50.

出力回路５０は、出力回路５０の出力信号及び第２検出部４４の検出結果に基づいて、出力回路５０の出力信号を制御する。具体的には、第２検出部４４が信号を出力したタイミングにおいて、出力回路５０は、高レベル信号を出力しているときは、高レベル信号を低レベル信号に反転させず、低レベル信号を出力しているときは、低レベル信号を高レベル信号に反転させる。 The output circuit 50 controls the output signal of the output circuit 50 based on the output signal of the output circuit 50 and the detection result of the second detection unit 44. Specifically, at the timing when the second detection unit 44 outputs a signal, the output circuit 50 does not invert the high level signal to the low level signal and outputs the low level signal when the high level signal is output. When outputting, the low level signal is inverted to the high level signal.

本図に示す例において、出力回路５０は、可動反射部２０の振れ角がθ_１以下である間、高レベル信号を出力する。さらに、本図に示す例では、出力回路５０が高レベル信号を出力する時間と出力回路５０が低レベル信号を出力する時間とが逆転することを抑制することができる。詳細には、本図（ｂ）に示すように、第１検出部４２は、可動反射部２０の振れ角がθ_１でないタイミングであっても、例えばノイズによって信号を出力することがある。本図（ｂ）では、この信号を破線で示している。この場合、出力回路５０は、可動反射部２０の振れ角がθ_１以下のタイミングにおいても低レベル信号を出力する。一方、本図に示す例では、出力回路５０がこのように低レベル信号を出力しても、第２検出部４４が出力した信号によって出力回路５０の低レベル信号は高レベル信号に反転する。このため、出力回路５０の出力信号の周期は、第１検出部４２からの上記した信号によって一時的に乱れたとしても、第２検出部４４からの信号によって修正される。 In the example shown in the figure, the output circuit 50 during the deflection angle of the movable reflector 20 is theta ₁ below, outputs a high level signal. Furthermore, in the example shown in this figure, it is possible to prevent the time during which the output circuit 50 outputs a high level signal and the time during which the output circuit 50 outputs a low level signal from being reversed. Specifically, as shown in FIG. 4B, the first detection unit 42 may output a signal due to, for example, noise even at a timing when the swing angle of the movable reflection unit 20 is not θ ₁ . In this figure (b), this signal is shown with the broken line. In this case, the output circuit 50 outputs a low level signal even when the swing angle of the movable reflecting portion 20 is θ ₁ or less. On the other hand, in the example shown in this figure, even if the output circuit 50 outputs the low level signal in this way, the low level signal of the output circuit 50 is inverted to the high level signal by the signal output from the second detection unit 44. For this reason, the period of the output signal of the output circuit 50 is corrected by the signal from the second detection unit 44 even if it is temporarily disturbed by the signal from the first detection unit 42.

図１８は、図１７に示した動作を行うための出力回路５０の一例を示す図である。本図に示す出力回路５０は、以下の点を除いて、図１６に示した出力回路５０と同様の構成である。 FIG. 18 is a diagram illustrating an example of the output circuit 50 for performing the operation illustrated in FIG. The output circuit 50 shown in the figure has the same configuration as the output circuit 50 shown in FIG. 16 except for the following points.

本図に示す例において、Ｄ−フリップフロップ５５０は、ＰＲＥ（プリセット）端子（第５端子）を備えている。ＰＲＥ端子には、第２検出部４４からの出力信号が入力される。ＰＲＥ端子に信号が入力されたタイミングにおいて、Ｄ−フリップフロップ５５０は、Ｑ端子から高レベル信号が出力されているときは、Ｑ端子からの信号を反転させず、Ｑ端子から低レベル信号が出力されているときは、Ｑ端子からの信号を反転させる。 In the example shown in the figure, the D-flip flop 550 includes a PRE (preset) terminal (fifth terminal). An output signal from the second detection unit 44 is input to the PRE terminal. At the timing when a signal is input to the PRE terminal, when a high level signal is output from the Q terminal, the D-flip flop 550 does not invert the signal from the Q terminal and outputs a low level signal from the Q terminal. If it is, the signal from the Q terminal is inverted.

図１９は、図１４の第１の変形例を示す図である。本図に示すように、第２検出部４４は、可動反射部２０の振れ角が０°のときに可動反射部２０で反射した光の光軸からずれていてもよい。具体的には、本図に示す例では、第１検出部４２及び第２検出部４４の双方は、可動反射部２０の振れ角が０°のときに可動反射部２０で反射した光の光軸を介して互いに対向する２つの領域の一方に位置している。 FIG. 19 is a diagram showing a first modification of FIG. As shown in the figure, the second detection unit 44 may deviate from the optical axis of the light reflected by the movable reflection unit 20 when the swing angle of the movable reflection unit 20 is 0 °. Specifically, in the example shown in this figure, both the first detection unit 42 and the second detection unit 44 are light beams reflected by the movable reflection unit 20 when the swing angle of the movable reflection unit 20 is 0 °. It is located in one of the two regions facing each other via the shaft.

図２０は、図１４の第２の変形例を示す図である。本図に示すように、第２検出部４４は、可動反射部２０の振れ角が０°のときに可動反射部２０で反射した光の光軸から見た場合、第１検出部４２よりも外側に位置していてもよい。 FIG. 20 is a diagram showing a second modification of FIG. As shown in the figure, the second detection unit 44 is more than the first detection unit 42 when viewed from the optical axis of the light reflected by the movable reflection unit 20 when the deflection angle of the movable reflection unit 20 is 0 °. It may be located outside.

図２１は、図１４の第３の変形例を示す図である。本図に示すように、第１検出部４２と第２検出部４４は、可動反射部２０の振れ角が０°のときに可動反射部２０で反射した光の光軸を介して互いに反対側に位置していてもよい。なお、第１検出部４２から上記した光軸までの距離と第２検出部４４から上記した光軸までの距離は、同一であってもよいし、又は異なっていてもよい。 FIG. 21 is a diagram showing a third modification of FIG. As shown in the figure, the first detector 42 and the second detector 44 are opposite to each other via the optical axis of the light reflected by the movable reflector 20 when the swing angle of the movable reflector 20 is 0 °. May be located. Note that the distance from the first detection unit 42 to the optical axis described above and the distance from the second detection unit 44 to the optical axis described above may be the same or different.

以上、本実施形態によれば、第２検出部４４が光を検出したタイミングにおいて、出力回路５０は、出力回路５０からの出力信号が高レベル信号であるときは出力回路５０からの出力信号を反転させ、又は出力回路５０からの出力信号が低レベル信号であるときは出力回路５０からの出力信号を反転させる。この場合、第１検出部４２が異常な信号を出力したとしても、出力回路５０の出力信号のデューティ比は、一時的に乱れても、第２検出部４４からの出力信号に基づいて修正することができる。 As described above, according to the present embodiment, at the timing when the second detection unit 44 detects light, the output circuit 50 outputs the output signal from the output circuit 50 when the output signal from the output circuit 50 is a high level signal. When the output signal from the output circuit 50 is a low level signal, the output signal from the output circuit 50 is inverted. In this case, even if the first detection unit 42 outputs an abnormal signal, the duty ratio of the output signal of the output circuit 50 is corrected based on the output signal from the second detection unit 44 even if temporarily disturbed. be able to.

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described with reference to drawings, these are the illustrations of this invention, Various structures other than the above are also employable.

１０光源
２０可動反射部
３０制御部
３２入力部
４２第１検出部
４４第２検出部
５０出力回路
６０対象物
７０ビームスプリッタ
２００回転型アクチュエータ
２１０枠体
２２０可動電極
２３０保持部材
２４０固定電極
３１０ＬＰＦ
３２０比較部
３３０電圧制御部
３４０電圧発生部
３４２交流電圧発生部
３４４直流電圧発生部
５１０変換回路
５１２オペアンプ
５１４抵抗
５１６キャパシタ
５２０変換回路
５２２オペアンプ
５２４抵抗
５２６キャパシタ
５３０回路
５３２コンパレータ
５３４直流電源
５４０回路
５４２コンパレータ
５４４直流電源
５５０Ｄ−フリップフロップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Light source 20 Movable reflection part 30 Control part 32 Input part 42 1st detection part 44 2nd detection part 50 Output circuit 60 Target object 70 Beam splitter 200 Rotary actuator 210 Frame 220 Movable electrode 230 Holding member 240 Fixed electrode 310 LPF
320 Comparison Unit 330 Voltage Control Unit 340 Voltage Generation Unit 342 AC Voltage Generation Unit 344 DC Voltage Generation Unit 510 Conversion Circuit 512 Operational Amplifier 514 Resistance 516 Capacitor 520 Conversion Circuit 522 Operational Amplifier 524 Resistance 526 Capacitor 530 Circuit 532 Comparator 534 DC Power Supply 540 Circuit 542 Comparator 544 DC power supply 550 D-flip flop

Claims

A movable reflector having a rotatable reflecting surface;
A first detector for detecting light reflected by the reflecting surface;
An output circuit capable of outputting a low level signal and a high level signal;
With
At the timing when the first detection unit detects light, the output circuit
When outputting the low level signal, the low level signal is inverted to the high level signal,
An optical scanning device for inverting the high level signal to the low level signal when outputting the high level signal.

The optical scanning device according to claim 1,
The output circuit includes a D-flip flop,
The D flip-flop
A first terminal to which an output signal from the first detection unit is input;
A second terminal which is a terminal different from the first terminal;
A third terminal that outputs a signal having the same level as the signal input to the second terminal at a timing when the signal input to the first terminal is inverted from a low level signal to a high level signal;
A fourth terminal from which a signal inverted from the signal output from the third terminal is output;
With
The optical scanning device, wherein the second terminal and the fourth terminal are electrically connected to each other.

The optical scanning device according to claim 1,
When viewed from the movable reflector, the second detector is located in a different direction from the first detector, and detects light reflected by the reflecting surface,
At the timing when the second detection unit detects light, the output circuit
When outputting the low level signal, without inverting the low level signal to the high level signal,
An optical scanning device for inverting the high level signal to the low level signal when outputting the high level signal.

The optical scanning device according to claim 3.
The output circuit includes a D-flip flop,
The D flip-flop
A first terminal to which an output signal from the first detection unit is input;
A second terminal which is a terminal different from the first terminal;
A third terminal that outputs a signal having the same level as the signal input to the second terminal at a timing when the signal input to the first terminal is inverted from a low level signal to a high level signal;
A fourth terminal from which a signal inverted from the signal output from the third terminal is output;
A fifth terminal to which an output signal from the second detection unit is input;
With
The second terminal and the fourth terminal are electrically connected to each other;
At the timing when a signal is input to the fifth terminal, the D-flip-flop
When a low level signal is output from the third terminal, the signal from the third terminal is not inverted,
An optical scanning device that inverts a signal from the third terminal when a high-level signal is output from the third terminal.

The optical scanning device according to claim 1,
When viewed from the movable reflector, the second detector is located in a different direction from the first detector, and detects light reflected by the reflecting surface,
At the timing when the second detection unit detects light, the output circuit
When outputting the high level signal, without inverting the high level signal to the low level signal,
An optical scanning device for inverting the low level signal to the high level signal when outputting the low level signal.

The optical scanning device according to claim 5,
The output circuit includes a D-flip flop,
The D flip-flop
A first terminal to which an output signal from the first detection unit is input;
A second terminal which is a terminal different from the first terminal;
A third terminal that outputs a signal having the same level as the signal input to the second terminal at a timing when the signal input to the first terminal is inverted from a low level signal to a high level signal;
A fourth terminal from which a signal inverted from the signal output from the third terminal is output;
A fifth terminal to which an output signal from the second detection unit is input;
With
The second terminal and the fourth terminal are electrically connected to each other;
At the timing when a signal is input to the fifth terminal, the D-flip-flop
When a high level signal is output from the third terminal, the signal from the third terminal is not inverted,
An optical scanning device that inverts a signal from the third terminal when a low-level signal is output from the third terminal.

In the optical scanning device according to any one of claims 1 to 6,
A frame,
The movable reflecting portion is attached to the frame, and a holding member that serves as a rotation axis of the movable reflecting portion;
A fixed electrode facing the movable reflecting portion;
A control unit for controlling a voltage between the movable reflection unit and the fixed electrode;
With
The control unit is an optical scanning device that controls a voltage between the movable reflection unit and the fixed electrode based on a signal from the output circuit.

The optical scanning device according to claim 7.
The control unit is an optical scanning device that calculates a duty ratio of a signal from the output circuit and controls a voltage between the movable reflection unit and the fixed electrode based on the duty ratio.