JP2017117001A - Method for manufacturing laminate with conductive pattern - Google Patents

Method for manufacturing laminate with conductive pattern Download PDF

Info

Publication number
JP2017117001A
JP2017117001A JP2015248748A JP2015248748A JP2017117001A JP 2017117001 A JP2017117001 A JP 2017117001A JP 2015248748 A JP2015248748 A JP 2015248748A JP 2015248748 A JP2015248748 A JP 2015248748A JP 2017117001 A JP2017117001 A JP 2017117001A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive
resin layer
film
conductive resin
conductive pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015248748A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
雅彦 海老原
Masahiko Ebihara
雅彦 海老原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2015248748A priority Critical patent/JP2017117001A/en
Publication of JP2017117001A publication Critical patent/JP2017117001A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a laminate with a conductive pattern capable of forming a conductive pattern by insulating a conductive resin layer by irradiating the conductive resin layer with a laser without damaging the electrode formed on a substrate.SOLUTION: A method for manufacturing a laminate 20 with a conductive pattern comprises a laminating step and a conductive pattern forming step. The laminating step laminates a conductive resin layer 2 including a conductive fiber 21 and a resin 22 on at least an electrode 4 of a substrate 5 including the electrode 4. The conductive pattern forming step forms a conductive pattern by insulating the conductive resin layer 2 by irradiating the conductive resin layer 2 with a laser light L via a plastic film 6.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、導電パターン付き積層体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a laminate with a conductive pattern.

パソコン、テレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA機器、FA機器等の表示機器などには液晶表示素子、タッチパネルセンサ等が用いられている。タッチパネルでは、すでに各種の方式が実用化されているが、近年、静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。静電容量方式タッチパネルでは、指先(導電体)がタッチ入力面に接触すると、指先と導電膜との間が静電容量結合し、コンデンサを形成する。静電容量方式タッチパネルは、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることによって、その座標を検出している。   Liquid crystal display elements, touch panel sensors, and the like are used in large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation, mobile phones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA devices and FA devices. Various types of touch panels have already been put into practical use, but in recent years, the use of capacitive touch panels has progressed. In a capacitive touch panel, when a fingertip (conductor) contacts the touch input surface, the fingertip and the conductive film are capacitively coupled to form a capacitor. The capacitive touch panel detects the coordinates by capturing the change in charge at the contact position of the fingertip.

特に、投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能なため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備える。その操作性の良さから、携帯電話、携帯型音楽プレーヤ等の小型の表示装置を有する機器における表示面上の入力装置として投影型静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸による2次元座標を表現するために、複数のX電極と該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。これらの電極には、透明電極材が用いられる。   In particular, a projected capacitive touch panel has a good operability such that a complex instruction can be performed because multiple fingertip detection is possible. Due to its good operability, a projected capacitive touch panel is increasingly used as an input device on a display surface in a device having a small display device such as a mobile phone or a portable music player. In general, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes perpendicular to the X electrodes form a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates based on the X and Y axes. doing. A transparent electrode material is used for these electrodes.

従来、透明電極材には、高い光透過率を示すことから、ITO(Indium−Tin−Oxide)、酸化インジウム、酸化スズ等が用いられている。しかし、最近、これらに替わる材料を用いて透明電極(透明な導電パターン)を形成する試みがなされている。例えば、特許文献1、2には、導電性繊維を含有する感光層を有する感光性導電フィルムによる導電パターンの形成方法が提案されている。この技術を用いれば、種々の基板上にフォトリソグラフィー工程で直接導電パターンを簡便に形成できる。   Conventionally, ITO (Indium-Tin-Oxide), indium oxide, tin oxide, and the like have been used for transparent electrode materials because they exhibit high light transmittance. However, recently, attempts have been made to form a transparent electrode (transparent conductive pattern) using a material instead of these. For example, Patent Documents 1 and 2 propose a method for forming a conductive pattern using a photosensitive conductive film having a photosensitive layer containing conductive fibers. If this technique is used, a conductive pattern can be easily formed directly on various substrates by a photolithography process.

また、特許文献3、4には、バインダ樹脂中に金属ナノワイヤを分散させ硬化してなる透明導電膜にレーザー光を照射し、レーザー光照射部分を絶縁部とすることで導電パターンを形成する方法が開示されている。   In Patent Documents 3 and 4, a method of forming a conductive pattern by irradiating a transparent conductive film obtained by dispersing and curing metal nanowires in a binder resin with a laser beam and using the laser beam irradiated portion as an insulating portion. Is disclosed.

国際公開第2010/021224号International Publication No. 2010/021224 国際公開第2012/051516号International Publication No. 2012/051516 特開2010−140859号公報JP 2010-140859 A 特開2010−044968号公報JP 2010-044968 A

上記特許文献1、2に記載されている感光性導電フィルムでは、種々の基板上に簡便に導電パターンを形成することが可能であるが、現像によって導電性繊維を除去することで導電パターンを形成するため、導電部と絶縁部との間に段差ができてしまい、パターンが視認しやすくなるという問題がある。   In the photosensitive conductive films described in Patent Documents 1 and 2 above, it is possible to easily form a conductive pattern on various substrates, but the conductive pattern is formed by removing conductive fibers by development. Therefore, there is a problem that a step is formed between the conductive portion and the insulating portion, and the pattern is easily visible.

一方、特許文献3、4に記載されているレーザー光照射によるパターン形成方法では、導電部と絶縁部との間に段差ができないため、視認しにくいパターンを形成することができる。しかしながら、電極を有する基板上に導電性繊維を有する導電性樹脂層を形成し、導電性樹脂層をレーザー光照射によってパターン形成を行った場合、レーザー光のエネルギーが強いため、基板上の電極がレーザーによって損傷してしまうという問題がある。   On the other hand, in the pattern formation method by laser beam irradiation described in Patent Documents 3 and 4, since there is no step between the conductive portion and the insulating portion, a pattern that is difficult to visually recognize can be formed. However, when a conductive resin layer having conductive fibers is formed on a substrate having electrodes, and the conductive resin layer is patterned by laser light irradiation, the energy of the laser light is strong. There is a problem of being damaged by the laser.

本発明の目的は、基板に形成された電極を損傷することなく、導電性樹脂層にレーザーを照射することよって導電性樹脂層を絶縁化し導電パターンを形成する導電パターン付き積層体の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminate with a conductive pattern, in which a conductive resin layer is insulated and a conductive pattern is formed by irradiating the conductive resin layer with a laser without damaging an electrode formed on the substrate. It is to provide.

本発明者は、上記課題を解決すべく検討した結果、導電性樹脂層へのレーザー照射をプラスチックフィルムを介して行うことで、基板の電極を損傷することなく、導電パターンを形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of studying to solve the above problems, the present inventors have found that a conductive pattern can be formed without damaging the electrodes of the substrate by performing laser irradiation on the conductive resin layer through a plastic film, The present invention has been completed.

本発明は、電極を有する基板の少なくとも電極上に、導電性繊維及び樹脂を含有する導電性樹脂層を積層する積層工程と、導電性樹脂層にレーザーを照射して導電性繊維を絶縁化させることにより、導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、を備え、導電パターン形成工程において、プラスチックフィルムを介して導電性樹脂層にレーザーを照射する、導電パターン付き積層体の製造方法を提供する。   The present invention provides a laminating step of laminating a conductive resin layer containing conductive fibers and a resin on at least an electrode of a substrate having electrodes, and insulating the conductive fibers by irradiating the conductive resin layer with a laser. By this, the manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern which comprises a conductive pattern formation process which forms a conductive pattern, and irradiates a laser to a conductive resin layer via a plastic film in a conductive pattern formation process is provided.

積層工程において、基板の少なくとも電極上に、導電性樹脂層とプラスチックフィルムとを備える転写型導電性フィルムを積層してもよい。これにより、電極を有する基板上への導電性樹脂層の形成とプラスチックフィルムの配置とを同時に行うことが可能となるため、より簡便に導電パターンを形成できる。   In the lamination step, a transfer type conductive film including a conductive resin layer and a plastic film may be laminated on at least the electrode of the substrate. Thereby, since it becomes possible to perform simultaneously formation of the conductive resin layer on the board | substrate which has an electrode, and arrangement | positioning of a plastic film, a conductive pattern can be formed more simply.

基板の少なくとも電極上に積層された導電性樹脂層の少なくとも一部に接触するようにプラスチックフィルムを配置することが好ましい。これにより、プラスチックの種類を任意に選択することができ、レーザー照射時の照射量などの加工尤度を広くすることができる。   It is preferable to dispose a plastic film so as to contact at least part of the conductive resin layer laminated on at least the electrode of the substrate. Thereby, the kind of plastic can be selected arbitrarily and processing likelihood, such as the irradiation amount at the time of laser irradiation, can be widened.

導電性繊維は、金属繊維であってもよい。導電性繊維が金属繊維であることにより、レーザー照射による加工が容易になる。   The conductive fiber may be a metal fiber. When the conductive fiber is a metal fiber, processing by laser irradiation becomes easy.

導電性繊維は、銀ナノワイヤであってもよい。導電性繊維が銀ナノワイヤであることにより、導電性繊維を簡便に作製することができ、また、導電性繊維を含有する導電性樹脂層のレーザー照射による加工が容易になる。   The conductive fiber may be a silver nanowire. When the conductive fiber is a silver nanowire, the conductive fiber can be easily produced, and processing of the conductive resin layer containing the conductive fiber by laser irradiation becomes easy.

積層工程において積層される導電性樹脂層は、熱重合性基を有する化合物又は光重合性基を有する化合物を更に含有してもよい。これにより、基板上に導電性樹脂層を簡便に形成することができる。   The conductive resin layer laminated in the laminating step may further contain a compound having a thermally polymerizable group or a compound having a photopolymerizable group. Thereby, the conductive resin layer can be easily formed on the substrate.

積層工程において積層される導電性樹脂層は、光重合性基を有する化合物及び光重合開始剤を更に含有してもよい。これにより、基板上に、光照射で導電性樹脂層を簡便に形成することができる。   The conductive resin layer laminated in the lamination step may further contain a compound having a photopolymerizable group and a photopolymerization initiator. Thereby, a conductive resin layer can be easily formed on the substrate by light irradiation.

電極は、金属繊維を含有していてもよい。これにより、電極を有する基板を簡便に作製することができる。   The electrode may contain metal fibers. Thereby, the board | substrate which has an electrode can be produced simply.

本発明によれば、基板に形成された電極を損傷することなく、導電性樹脂層にレーザーを照射することよって導電性繊維を絶縁化し導電パターンを形成する導電パターン付き積層体の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a laminate with a conductive pattern that forms a conductive pattern by insulating a conductive fiber by irradiating a conductive resin layer with a laser without damaging an electrode formed on the substrate. can do.

転写型導電性フィルムの模式断面図である。It is a schematic cross section of a transfer type conductive film. 導電パターン形成工程を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating a conductive pattern formation process. 従来の方法におけるレーザー照射による基板上の電極の損傷を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating damage of the electrode on the board | substrate by the laser irradiation in the conventional method. 従来の方法でレーザー照射によって形成した導電性樹脂層の絶縁部の電子顕微鏡写真である。It is an electron micrograph of the insulation part of the conductive resin layer formed by laser irradiation by the conventional method.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。本明細書における「(メタ)アクリレート」とは、「アクリレート」及び「メタクリレート」を意味する。同様に「(メタ)アクリル酸」とは、「アクリル酸」及び「メタクリル酸」を意味し、「(メタ)アクリロイル基」とは、「アクリロイル基」及び「メタクリロイル基」を意味する。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In the present specification, “(meth) acrylate” means “acrylate” and “methacrylate”. Similarly, “(meth) acrylic acid” means “acrylic acid” and “methacrylic acid”, and “(meth) acryloyl group” means “acryloyl group” and “methacryloyl group”. Moreover, the numerical value range shown using "to" shows the range which includes the numerical value described before and behind "to" as a minimum value and a maximum value, respectively.

[導電パターン付き積層体の製造方法]
本実施形態の導電パターン付き積層体の製造方法は、電極を有する基板の少なくとも電極上に、導電性繊維及び樹脂を含有する導電性樹脂層を積層する積層工程と、導電性樹脂層にレーザーを照射して導電性樹脂層を絶縁化させることにより、導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、を備える。
[Method for producing laminate with conductive pattern]
The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern of this embodiment includes a laminating step of laminating a conductive resin layer containing conductive fibers and a resin on at least an electrode of a substrate having electrodes, and a laser on the conductive resin layer. A conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by irradiating and insulating the conductive resin layer.

(積層工程)
積層工程において、電極を有する基板の少なくとも電極上に導電性樹脂層を積層する方法は、特に制限されず、公知の方法(例えば特許文献1、2に例示されている方法)であってよい。積層工程においては、例えば後述する転写型導電性フィルムを用いて導電性樹脂層を積層してもよい。
(Lamination process)
In the laminating step, the method for laminating the conductive resin layer on at least the electrode of the substrate having electrodes is not particularly limited, and may be a known method (for example, a method exemplified in Patent Documents 1 and 2). In the lamination step, for example, the conductive resin layer may be laminated using a transfer type conductive film described later.

<電極を有する基板>
本実施形態における電極を有する基板は、特に制限なく選択することができる。電極の材料となる導電体としては、金、銀、銅、アルミニウム等の金属、ITO、酸化インジウム、酸化スズなどの金属酸化物、銀ナノワイヤ、銅ナノワイヤ等の金属繊維、カーボンナノチューブ等の導電性繊維、チオフェン誘導体、アニリン誘導体のポリマー等の有機導電体、具体的には、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリヘキシルチオフェン、ポリアニリン、ポリビニルピロリドン等を用いることができる。電極を有する基板は、例えば、上記の導電体層が形成されている基板を用意し、公知の技術でレジストを形成し、エッチングによって導電体を除去し、その後レジストを除去することで作製することができる。基板は、特に制限なく選択することができ、ガラス基板又は重合体フィルムであってよい。重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、及びポリカーボネートフィルム等が挙げられる。これらの重合体フィルムのうち、透明性及び耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
<Substrate with electrode>
The board | substrate which has an electrode in this embodiment can be selected without a restriction | limiting in particular. Conductors used as electrode materials include metals such as gold, silver, copper, and aluminum, metal oxides such as ITO, indium oxide, and tin oxide, metal fibers such as silver nanowires and copper nanowires, and conductivity such as carbon nanotubes. Organic conductors such as fibers, polymers of thiophene derivatives and aniline derivatives, specifically, polyethylenedioxythiophene, polyhexylthiophene, polyaniline, polyvinylpyrrolidone, and the like can be used. A substrate having electrodes is prepared by, for example, preparing a substrate on which the above-described conductor layer is formed, forming a resist by a known technique, removing the conductor by etching, and then removing the resist. Can do. The substrate can be selected without particular limitation, and may be a glass substrate or a polymer film. Examples of the polymer film include a polyethylene terephthalate film, a polyethylene film, a polypropylene film, and a polycarbonate film. Among these polymer films, a polyethylene terephthalate film is preferable from the viewpoint of transparency and heat resistance.

また、電極を有する基板を作製する方法は、特許文献1、2に例示されている方法、特許文献3、4に例示されているようなレーザー照射によって電極を有する基板を作製する方法等の公知の方法であってよい。   Also, methods for producing a substrate having electrodes include known methods such as the methods exemplified in Patent Documents 1 and 2, and methods for producing a substrate having electrodes by laser irradiation as exemplified in Patent Documents 3 and 4. It may be the method of.

<導電性樹脂層>
本実施形態に係る導電性樹脂層は、導電性繊維及び樹脂を含有する。導電性樹脂層は、例えば、導電性繊維を含む導電性繊維分散液を用いて導電性繊維を基板上に配置し、その上に樹脂層を形成することにより設けられてもよいし、樹脂層を基板上に形成した後、その上に導電性繊維を配置することにより設けられてもよいし、導電性繊維を含む樹脂溶液を基板上に塗布、乾燥することで設けられてもよい。
<Conductive resin layer>
The conductive resin layer according to the present embodiment contains conductive fibers and a resin. The conductive resin layer may be provided by, for example, disposing a conductive fiber on a substrate using a conductive fiber dispersion containing conductive fibers, and forming a resin layer on the conductive fiber. May be provided by arranging conductive fibers on the substrate, and may be provided by applying and drying a resin solution containing the conductive fibers on the substrate.

導電性繊維は、例えば、上述した導電性繊維を水又は有機溶剤と、界面活性剤等の分散安定剤などを加えた導電性分散液を基板又は樹脂層上に塗工した後、乾燥することにより配置することができる。このように配置された導電性繊維は、必要に応じてラミネートされてもよい。   For example, the conductive fiber may be dried after the conductive fiber described above is applied on a substrate or a resin layer with a conductive dispersion added with water or an organic solvent and a dispersion stabilizer such as a surfactant. Can be arranged. The conductive fibers arranged in this way may be laminated as necessary.

塗工は、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、30〜150℃で1〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。導電性樹脂層において、導電性繊維は界面活性剤、分散安定剤等と共存していてもよい。   The coating can be performed by a known method such as a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, or a spray coating method. The drying can be performed at 30 to 150 ° C. for about 1 to 30 minutes using a hot air convection dryer or the like. In the conductive resin layer, the conductive fiber may coexist with a surfactant, a dispersion stabilizer and the like.

導電性樹脂層は、支持フィルムと導電性樹脂層とを備える積層体フィルムを、基板上に導電性樹脂層が接するように貼り合せることで積層されてもよい。この場合、当該積層体フィルムは、基板上に導電性樹脂層を転写するために使用されることから、転写型導電性フィルムともいえる。   A conductive resin layer may be laminated | stacked by bonding together the laminated body film provided with a support film and a conductive resin layer so that a conductive resin layer may contact | connect on a board | substrate. In this case, since the laminate film is used for transferring the conductive resin layer onto the substrate, it can also be said to be a transfer type conductive film.

図1は、転写型導電性フィルムの模式断面図である。図1(a)に示すように、転写型導電性フィルム10は、支持フィルム1と導電性樹脂層2とを備える。導電性樹脂層2は、導電性繊維21と樹脂22とを含有する。導電性繊維21の存在する領域に特に制限はなく、導電性樹脂層2の主面方向全体にわたって導電性が得られればよく、樹脂22中に導電性繊維21が略均一に分散した態様であってもよいし、導電性樹脂層2の厚さ方向における支持フィルム1側又はその反対側に導電性繊維21が偏在していてもよい。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a transfer type conductive film. As shown in FIG. 1A, the transfer conductive film 10 includes a support film 1 and a conductive resin layer 2. The conductive resin layer 2 contains conductive fibers 21 and a resin 22. There is no particular limitation on the region where the conductive fibers 21 exist, and it is sufficient that conductivity is obtained over the entire principal surface direction of the conductive resin layer 2, and the conductive fibers 21 are dispersed substantially uniformly in the resin 22. Alternatively, the conductive fibers 21 may be unevenly distributed on the support film 1 side or the opposite side in the thickness direction of the conductive resin layer 2.

支持フィルム1としては、耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。このような重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、及びポリカーボネートフィルム等が挙げられる。これらの重合体フィルムのうち、透明性及び耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。なお、導電性樹脂層2からの剥離が容易となるようにこれらの重合体フィルムには表面処理が施されていてもよく、また、導電性樹脂層2からの剥離が容易となるような材料で重合体フィルムが形成されていることが好ましい。   Examples of the support film 1 include a polymer film having heat resistance and solvent resistance. Examples of such a polymer film include a polyethylene terephthalate film, a polyethylene film, a polypropylene film, and a polycarbonate film. Among these polymer films, a polyethylene terephthalate film is preferable from the viewpoint of transparency and heat resistance. These polymer films may be subjected to a surface treatment so as to be easily peeled off from the conductive resin layer 2, and are materials that can be easily peeled off from the conductive resin layer 2. It is preferable that a polymer film is formed.

支持フィルム1の厚みは、5〜300μmであることが好ましく、10〜200μmであることがより好ましく、15〜100μmであることがさらに好ましい。導電性樹脂層2を形成するために導電性繊維分散液、樹脂溶液、若しくは導電性繊維を含む樹脂溶液を塗工する工程、又は導電性樹脂層2から支持フィルム1を剥離する工程において、機械的強度が低下し、支持フィルム1が破損することを防止する観点から、5μm以上であることが好ましく、10μm以上であることがより好ましく、15μm以上であることがさらに好ましい。また、支持フィルム1を介してレーザー照射によって導電性樹脂層2を絶縁化した場合に(詳細は後述)、基板の電極に損傷を与えにくい点から、15μm以上であることが好ましく、30μm以上であることがより好ましく、50μm以上であることがさらに好ましく、100μm以上であることが特に好ましい。   The thickness of the support film 1 is preferably 5 to 300 μm, more preferably 10 to 200 μm, and still more preferably 15 to 100 μm. In the step of applying a conductive fiber dispersion, a resin solution, or a resin solution containing conductive fibers to form the conductive resin layer 2, or the step of peeling the support film 1 from the conductive resin layer 2, From the viewpoint of preventing the mechanical strength from being lowered and the support film 1 from being damaged, it is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and further preferably 15 μm or more. In addition, when the conductive resin layer 2 is insulated by laser irradiation through the support film 1 (details will be described later), it is preferably 15 μm or more, and preferably 30 μm or more, from the point that it hardly damages the electrodes of the substrate. More preferably, it is more preferably 50 μm or more, and particularly preferably 100 μm or more.

導電性繊維21としては、金、銀、銅、白金等の金属繊維、又はカーボンナノチューブ等の炭素繊維などが挙げられる。導電性繊維の調製方法が簡便であること、また導電性繊維の形状を制御しやすい点、及び、400〜700nmの波長域において高い可視光透過率を有し、かつ高い導電性を有する点から、導電性繊維は、銀繊維であることが好ましく、銀ナノワイヤであることがより好ましい。ここで、ナノワイヤとは、2つの次元(X、Y)のサイズの違いが小さく(具体的にはY方向のサイズがX方向のサイズの5倍以下、ただしX≦Yとする)、かつX及びY方向のサイズが300nm以下であり、残る1つの次元(Z)のサイズがX及びY方向のサイズの10倍以上である物質のことを意味する。導電性繊維21は、1種類を単独で使用してもよいし、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   Examples of the conductive fiber 21 include metal fibers such as gold, silver, copper, and platinum, or carbon fibers such as carbon nanotubes. From the point that the method for preparing the conductive fiber is simple, the shape of the conductive fiber is easy to control, the high visible light transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm, and the high conductivity. The conductive fibers are preferably silver fibers, and more preferably silver nanowires. Here, the nanowire has a small difference in size between two dimensions (X, Y) (specifically, the size in the Y direction is not more than 5 times the size in the X direction, where X ≦ Y), and X In addition, it means a substance having a size in the Y direction of 300 nm or less and a remaining dimension (Z) of 10 or more times the size in the X and Y directions. The conductive fiber 21 may be used alone or in combination of two or more.

銀繊維又は銀ナノワイヤを含む導電性繊維は、例えば、銀イオンをNaBH等の還元剤で還元する方法、又はポリオール法により調製することができる。 The conductive fibers including silver fibers or silver nanowires can be prepared by, for example, a method of reducing silver ions with a reducing agent such as NaBH 4 or a polyol method.

導電性繊維21の繊維径は、1nm〜100nmであることが好ましく、2nm〜50nmであることがより好ましく、3nm〜30nmであることがさらに好ましい。また、導電性繊維の繊維長は、1μm〜100μmであることが好ましく、2μm〜50μmであることがより好ましく、3μm〜10μmであることがさらに好ましい。繊維径及び繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。   The fiber diameter of the conductive fiber 21 is preferably 1 nm to 100 nm, more preferably 2 nm to 50 nm, and still more preferably 3 nm to 30 nm. The fiber length of the conductive fiber is preferably 1 μm to 100 μm, more preferably 2 μm to 50 μm, and further preferably 3 μm to 10 μm. The fiber diameter and fiber length can be measured with a scanning electron microscope.

導電性樹脂層2、及び導電性樹脂層2を備える転写型導電性フィルム10の表面抵抗率は、導電性繊維21の量によって調整することができる。導電性繊維21の量が多いほど表面抵抗率が下がり、導電性を高くすることができる。一方で、導電性繊維21の量が多いほど導電性樹脂層2及び転写型導電性フィルム10の透過率が下がる。   The surface resistivity of the conductive resin layer 2 and the transfer type conductive film 10 including the conductive resin layer 2 can be adjusted by the amount of the conductive fibers 21. As the amount of the conductive fiber 21 increases, the surface resistivity decreases and the conductivity can be increased. On the other hand, as the amount of the conductive fibers 21 increases, the transmittance of the conductive resin layer 2 and the transfer type conductive film 10 decreases.

樹脂22としては、例えば、(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤(以下、これらをそれぞれ「(A)成分」、「(B)成分」、及び「(C)成分」ともいう)を含有する感光性樹脂組成物から形成されるものが挙げられる。   Examples of the resin 22 include (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as “component (A)”, “component (B)”, and What is formed from the photosensitive resin composition containing "(C) component") is mentioned.

(A)バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   (A) As a binder polymer, for example, obtained by reaction of acrylic resin, styrene resin, epoxy resin, amide resin, amide epoxy resin, alkyd resin, phenol resin, ester resin, urethane resin, epoxy resin and (meth) acrylic acid Examples thereof include epoxy acrylate resins, acid-modified epoxy acrylate resins obtained by reaction of epoxy acrylate resins and acid anhydrides, and the like. These resins can be used alone or in combination of two or more.

上記の中でも、フィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましく、そのアクリル樹脂が(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来するモノマー単位を構成単位として有することがより好ましい。ここで、「アクリル樹脂」とは、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体に由来するモノマー単位を主に有する(例えばモノマー単位全量に対して50モル%以上有する)重合体のことを意味する。   Among these, from the viewpoint of excellent film formability, it is preferable to use an acrylic resin, and the acrylic resin has a monomer unit derived from (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as a constituent unit. preferable. Here, the “acrylic resin” refers to a polymer mainly having monomer units derived from a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group (for example, having 50 mol% or more based on the total amount of monomer units). means.

アクリル樹脂は、(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体をラジカル重合して製造されるものが使用できる。   As the acrylic resin, one produced by radical polymerization of a polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group can be used.

(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体としては、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、2−ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル;(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸等の(メタ)アクリル酸などが挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the polymerizable monomer having a (meth) acryloyl group include acrylamide such as diacetone acrylamide; (meth) acrylic acid alkyl ester, 2-hydroxyalkyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, ( (Meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2, (Meth) acrylic acid esters such as 2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate; (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro (meth) acrylic acid, β-furyl ( (Meth) acrylic acid, β-styryl (meth) (Meth) acrylic acid such as acrylic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

アクリル樹脂は、上記のような(メタ)アクリロイル基を有する重合性単量体の他に、スチレン誘導体;アクリロニトリル;ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類;マレイン酸;マレイン酸無水物;マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル;フマール酸;ケイ皮酸;α−シアノケイ皮酸;イタコン酸;クロトン酸等の1種又は2種以上の重合性単量体を共重合することで製造されるものであってもよい。   In addition to the polymerizable monomer having the (meth) acryloyl group as described above, the acrylic resin includes styrene derivatives; acrylonitrile; esters of vinyl alcohol such as vinyl-n-butyl ether; maleic acid; maleic anhydride; Maleic acid monoesters such as monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate; fumaric acid; cinnamic acid; α-cyanocinnamic acid; itaconic acid; one or more polymerizable monomers such as crotonic acid It may be produced by copolymerizing the body.

(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ノニルエステル等が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   As the (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid hexyl ester, Examples include (meth) acrylic acid heptyl ester, (meth) acrylic acid octyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, (meth) acrylic acid nonyl ester, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

(A)バインダーポリマーの重量平均分子量は、機械強度及びフィルム性のバランスを図る観点から、5000〜300000であることが好ましく、20000〜150000であることがより好ましく、30000〜100000であることがさらに好ましい。耐現像液性に優れる点では、重量平均分子量は5000以上であることが好ましい。また、現像時間の観点からは、重量平均分子量は300000以下であることが好ましい。本明細書において、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)により測定され、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換算された値である。   (A) The weight average molecular weight of the binder polymer is preferably 5,000 to 300,000, more preferably 20,000 to 150,000, and further preferably 30,000 to 100,000, from the viewpoint of balancing mechanical strength and film properties. preferable. In terms of excellent developer resistance, the weight average molecular weight is preferably 5000 or more. From the viewpoint of development time, the weight average molecular weight is preferably 300000 or less. In this specification, the weight average molecular weight is a value measured by a gel permeation chromatography method (GPC) and converted by a calibration curve created using standard polystyrene.

(B)光重合性化合物は、光重合性基を有する化合物であり、エチレン性不飽和結合を有することが好ましい。   (B) The photopolymerizable compound is a compound having a photopolymerizable group, and preferably has an ethylenically unsaturated bond.

エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物としては、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等のビスフェノールAジ(メタ)アクリレート化合物;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ(メタ)アクリレート等のトリメチロールプロパン(メタ)アクリレート;テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート等のテトラメチロールメタン(メタ)アクリレート;ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等のジペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ウレタンモノマーなどが挙げられる。   Examples of the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypoly). Bisphenol A di (meth) acrylate compounds such as propoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di Polyalkylene glycol di (meth) acrylates such as (meth) acrylate and polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate; trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxy Trimethylolpropane (meth) acrylates such as li (meth) acrylate and trimethylolpropane triethoxytri (meth) acrylate; tetramethylolmethane such as tetramethylolmethane tri (meth) acrylate and tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate (meta ) Acrylates; dipentaerythritol (meth) acrylates such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, urethane monomers, and the like.

(B)光重合性化合物は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   (B) A photopolymerizable compound may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(B)光重合性化合物の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計100質量部に対して、30〜80質量部であることが好ましく、40〜70質量部であることがより好ましい。(B)光重合性化合物の含有割合は、光硬化性及び樹脂溶液の塗膜性に優れる点では、30質量部以上であることが好ましく、フィルムとして巻き取った場合の保管安定性に優れる点では、80質量部以下であることが好ましい。   (B) It is preferable that the content rate of a photopolymerizable compound is 30-80 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a binder polymer and a photopolymerizable compound, and it is more preferable that it is 40-70 mass parts. . (B) The content of the photopolymerizable compound is preferably 30 parts by mass or more in terms of excellent photocurability and coating properties of the resin solution, and is excellent in storage stability when wound as a film. Then, it is preferable that it is 80 mass parts or less.

(C)光重合開始剤としては、使用する露光機の光波長と、機能発現に必要な波長とが合うものを選択すれば、特に制限はない。光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、N,N,N’,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N,N’,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(O−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(O−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(O−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、ホスフィンオキサイド化合物、オキサゾール系化合物などが挙げられる。   (C) If a photoinitiator selects what matches the light wavelength of the exposure machine to be used, and a wavelength required for function expression, there will be no restriction | limiting in particular. Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, N, N, N ′, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N, N ′, N′-tetraethyl-4,4. '-Diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-methyl-1- [4- (methylthio) Aromatic ketones such as phenyl] -2-morpholino-propanone-1; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; 1,2-octane Dione-1- [4- (phenylthio) phenyl]- Oxime ester compounds such as-(O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime); Benzyl derivatives such as benzyldimethyl ketal; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (O-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (O-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenyl 2,4,5-triarylimidazole dimer such as imidazole dimer; 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′- Kurijiniru) acridine derivatives such as hexane and heptane; N- phenylglycine, N- phenylglycine derivatives, phosphine oxide compounds, and oxazole compounds.

これらの中でも、透明性、及び導電性樹脂層2が薄膜(例えば10μm以下)である場合のパターン形成能に優れる観点から、光重合開始剤としては、オキシムエステル化合物、又はホスフィンオキサイド化合物が好ましい。   Among these, as a photopolymerization initiator, an oxime ester compound or a phosphine oxide compound is preferable from the viewpoint of transparency and excellent pattern forming ability when the conductive resin layer 2 is a thin film (for example, 10 μm or less).

オキシムエステル化合物としては、例えば、下記一般式(C−1)で表される化合物及び一般式(C−2)で表される化合物が挙げられる。オキシムエステル化合物としては、速硬化性、透明性の観点から、一般式(C−1)で表される化合物が好ましい。   Examples of the oxime ester compound include a compound represented by the following general formula (C-1) and a compound represented by the general formula (C-2). As an oxime ester compound, the compound represented by general formula (C-1) is preferable from a viewpoint of quick curability and transparency.


一般式(C−1)中、Rは、炭素数1〜12のアルキル基、又は炭素数3〜20のシクロアルキル基を示す。中でも、Rは、炭素数3〜9のアルキル基であることが好ましい。本発明の効果を阻害しない限り、一般式(C−1)中の芳香環は置換基を有していてもよい。置換基としては、炭素数1〜12のアルキル基が挙げられる。

In General Formula (C-1), R 1 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms. Among these, R 1 is preferably an alkyl group having 3 to 9 carbon atoms. Unless the effect of this invention is inhibited, the aromatic ring in general formula (C-1) may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.


一般式(C−2)中、Rは水素原子又は炭素数1〜12のアルキル基を示し、Rは炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数3〜20のシクロアルキル基を示し、Rは炭素数1〜12のアルキル基を示し、Rは炭素数1〜20のアルキル基又はアリール基を示す。p1は0〜3の整数を示す。p1が2以上である場合、複数のRはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。カルバゾール環は、本発明の効果を阻害しない範囲で置換基を有していてもよい。置換基としては、炭素数1〜12のアルキル基が挙げられる。

In general formula (C-2), R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, R 3 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, R 4 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 5 represents an alkyl group or aryl group having 1 to 20 carbon atoms. p1 represents an integer of 0 to 3. When p1 is 2 or more, the plurality of R 4 may be the same or different. The carbazole ring may have a substituent as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms.

一般式(C−2)中、R及びRは、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜8のアルキル基であることがより好ましく、炭素数1〜4のアルキル基であることがさらに好ましい。 In general formula (C-2), R 2 and R 4 are each preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and 1 to 1 carbon atoms. More preferably, it is an alkyl group of 4.

一般式(C−2)中、Rは、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数4〜15のシクロアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数4〜10のシクロアルキル基であることがより好ましく、メチル基又はエチル基であることがさらに好ましい。 In general formula (C-2), R 3 is preferably an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or a cycloalkyl group having 4 to 15 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or 4 to 4 carbon atoms. It is more preferably 10 cycloalkyl groups, and further preferably a methyl group or an ethyl group.

一般式(C−2)中、Rは、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数6〜16のアリール基であることが好ましく、炭素数1〜8のアルキル基又は炭素数6〜14のアリール基であることがより好ましく、炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基であることがさらに好ましい。 In general formula (C-2), R 5 is preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 16 carbon atoms, and an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or 6 to 14 carbon atoms. Is more preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

一般式(C−1)で表される化合物としては、例えば、1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(O−ベンゾイルオキシム)が挙げられ、IRGACURE OXE 01(BASF(株)製、商品名)として商業的に入手可能である。一般式(C−2)で表される化合物としては、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられ、IRGACURE OXE 02(BASF(株)製、商品名)として商業的に入手可能である。   Examples of the compound represented by the general formula (C-1) include 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), and IRGACURE OXE 01 It is commercially available as (trade name) manufactured by BASF Corporation. Examples of the compound represented by the general formula (C-2) include etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime). ) And the like, and is commercially available as IRGACURE OXE 02 (trade name, manufactured by BASF Corporation).

ホスフィンオキサイド化合物としては、下記一般式(C−3)で表される化合物及び一般式(C−4)で表される化合物が挙げられる。ホスフィンオキサイド化合物としては、速硬化性、透明性の観点から、一般式(C−3)で表される化合物が好ましい。
As a phosphine oxide compound, the compound represented by the following general formula (C-3) and the compound represented by general formula (C-4) are mentioned. As a phosphine oxide compound, the compound represented by general formula (C-3) is preferable from a viewpoint of quick curability and transparency.

一般式(C−3)中、R、R及びRはそれぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基又はアリール基を示す。一般式(C−4)中、R、R10及びR11はそれぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基又はアリール基を示す。 In general formula (C-3), R < 6 >, R < 7 > and R < 8 > show a C1-C20 alkyl group or aryl group each independently. In general formula (C-4), R <9> , R < 10 > and R < 11 > show a C1-C20 alkyl group or an aryl group each independently.

一般式(C−3)におけるR、R又はRが炭素数1〜20のアルキル基の場合、及び、上記一般式(C−4)におけるR、R10又はR11が炭素数1〜20のアルキル基の場合、該アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また該アルキル基の炭素数は5〜10であることがより好ましい。 When R 6 , R 7 or R 8 in General Formula (C-3) is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 9 , R 10 or R 11 in General Formula (C-4) is the number of carbon atoms In the case of an alkyl group having 1 to 20, the alkyl group may be linear, branched or cyclic, and more preferably the alkyl group has 5 to 10 carbon atoms.

一般式(C−3)におけるR、R又はRがアリール基の場合、及び、上記一般式(C−4)におけるR、R10又はR11がアリール基の場合、該アリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては、例えば、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数1〜4のアルコキシ基を挙げることができる。 When R 6 , R 7 or R 8 in the general formula (C-3) is an aryl group, and when R 9 , R 10 or R 11 in the general formula (C-4) is an aryl group, the aryl group May have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.

これらの中でも、一般式(C−3)におけるR、R、及びRは、アリール基であることが好ましい。また、一般式(C−4)におけるR、R10及びR11は、アリール基であることが好ましい。 Among these, it is preferable that R < 6 >, R < 7 > and R < 8 > in general formula (C-3) are an aryl group. Moreover, it is preferable that R <9> , R < 10 > and R < 11 > in general formula (C-4) are an aryl group.

一般式(C−3)で表わされる化合物としては、形成される導電パターンの透明性、及び導電性樹脂層2の膜厚を薄く(例えば10μm以下)したときのパターン形成能から、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドが好ましい。2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドは、例えばLUCIRIN TPO(BASF(株)社製、商品名)として商業的に入手可能である。   As the compound represented by the general formula (C-3), from the transparency of the formed conductive pattern and the pattern forming ability when the film thickness of the conductive resin layer 2 is reduced (for example, 10 μm or less), 2, 4 , 6-Trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide is preferred. 2,4,6-Trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide is commercially available, for example, as LUCIRIN TPO (trade name, manufactured by BASF Corporation).

一般式(C−4)で表わされる化合物としては、形成される導電パターンの透明性、及び導電性樹脂層2の膜厚を薄く(例えば10μm以下)したときのパターン形成能から、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニル−ホスフィンオキサイドが好ましい。ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニル−ホスフィンオキサイドは、例えばIrgacure 819(BASF(株)社製、商品名)として商業的に入手可能である。   As the compound represented by the general formula (C-4), the transparency of the conductive pattern to be formed and the ability to form a pattern when the thickness of the conductive resin layer 2 is reduced (for example, 10 μm or less), bis (2 , 4,6-Trimethylbenzoyl) -phenyl-phosphine oxide is preferred. Bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenyl-phosphine oxide is commercially available, for example, as Irgacure 819 (trade name, manufactured by BASF Corporation).

オキシムエステル化合物、及びホスフィンオキサイド化合物以外で、透明性、及び導電性樹脂層2を薄膜化した場合のパターン形成能が良好である化合物としては、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンが挙げられる。2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンは、例えばIrgacure 651(BASF(株)社製、商品名)として商業的に入手可能である。   Other than the oxime ester compound and the phosphine oxide compound, as a compound having good transparency and pattern forming ability when the conductive resin layer 2 is thinned, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane- 1-one is mentioned. 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one is commercially available, for example, as Irgacure 651 (trade name, manufactured by BASF Corporation).

(C)光重合開始剤は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   (C) A photoinitiator may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.

(C)光重合開始剤の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましく、1〜10質量部であることがより好ましく、1〜5質量部であることがさらに好ましい。(C)光重合開始剤の含有割合は、光感度に優れる点では、0.1質量部以上であることが好ましく、光硬化性に優れる点では、20質量部以下であることが好ましい。   (C) It is preferable that the content rate of a photoinitiator is 0.1-20 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a binder polymer and a photopolymerizable compound, and it is 1-10 mass parts. More preferred is 1 to 5 parts by mass. (C) The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 parts by mass or more from the viewpoint of excellent photosensitivity, and preferably 20 parts by mass or less from the viewpoint of excellent photocurability.

本実施形態の導電性樹脂層2には、必要に応じて、シランカップリング剤等の密着性付与剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤などを(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、各々0.01〜20質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   In the conductive resin layer 2 of the present embodiment, an adhesiveness imparting agent such as a silane coupling agent, a leveling agent, a plasticizer, a filler, an antifoaming agent, a flame retardant, a stabilizer, and an antioxidant, as necessary. , Fragrance, thermal crosslinking agent, polymerization inhibitor and the like can be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of component (A) and component (B). These can be used alone or in combination of two or more.

導電性樹脂層2は、(B)成分に加えてあるいは(B)成分に代えて、熱重合性基を有する化合物を含有していてもよい。熱重合性基としては、エポキシ基、グリシジル基、イソシアネート基、アセチレン基、マレイミド基、オキセタニル基等が挙げられる。熱重合性基を有する化合物としては、具体的には、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリグリシジルエーテル、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル等が挙げられる。   The conductive resin layer 2 may contain a compound having a thermally polymerizable group in addition to the component (B) or instead of the component (B). Examples of the thermally polymerizable group include an epoxy group, a glycidyl group, an isocyanate group, an acetylene group, a maleimide group, and an oxetanyl group. Specific examples of the compound having a thermally polymerizable group include dipentaerythritol hexaglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, pentaerythritol triglycidyl ether, trimethylolethane triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerol poly Examples thereof include glycidyl ether and glycerin triglycidyl ether.

導電性樹脂層2は、例えば、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解した樹脂22の溶液を、導電性繊維21を配置した支持フィルム1上に、塗布、乾燥することにより形成できる。ただし、この場合、乾燥後の樹脂22中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、2質量%以下であることが好ましい。   The conductive resin layer 2 is made of, for example, a resin 22 dissolved in a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or a mixed solvent thereof. The solution can be formed by coating and drying on the support film 1 on which the conductive fibers 21 are arranged. However, in this case, the amount of the remaining organic solvent in the resin 22 after drying is preferably 2% by mass or less in order to prevent the organic solvent from diffusing in the subsequent step.

樹脂22溶液の塗工は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、70〜150℃で5〜30分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。   The application of the resin 22 solution can be performed by a known method such as a roll coating method, a comma coating method, a gravure coating method, an air knife coating method, a die coating method, a bar coating method, or a spray coating method. After coating, drying for removing the organic solvent and the like can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes with a hot air convection dryer or the like.

導電性樹脂層2の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜50μmであることが好ましく、1〜15μmであることがより好ましく、1〜10μmであることがさらに好ましい。この厚みが1μm未満では塗工が困難となる傾向があり、50μmを超えると光透過の低下による感度が不充分となり転写する導電性樹脂層2の光硬化性が低下する傾向がある。導電性樹脂層2を硬化した後の層(硬化膜)の厚みについても、これらの範囲であることが好ましい。   The thickness of the conductive resin layer 2 varies depending on the application, but is preferably 1 to 50 μm, more preferably 1 to 15 μm, and even more preferably 1 to 10 μm after drying. If the thickness is less than 1 μm, coating tends to be difficult, and if it exceeds 50 μm, the sensitivity due to the decrease in light transmission is insufficient, and the photocurability of the conductive resin layer 2 to be transferred tends to decrease. The thickness of the layer (cured film) after curing the conductive resin layer 2 is also preferably within these ranges.

本実施形態で用いる転写型導電性フィルム10において、導電性樹脂層2は、膜厚を1〜10μmとしたときに400nm以上700nm以下の波長域における可視光透過率の最小値が85%以上であることが好ましく、90%以上であることがより好ましい。導電性樹脂層2がこのような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での高輝度化が容易となる。   In the transfer type conductive film 10 used in the present embodiment, the conductive resin layer 2 has a minimum visible light transmittance of 85% or more in a wavelength region of 400 nm to 700 nm when the film thickness is 1 to 10 μm. It is preferable that it is 90% or more. When the conductive resin layer 2 satisfies such a condition, it is easy to increase the brightness in a display panel or the like.

本実施形態で用いる転写型導電性フィルム10については、透明電極として有効に活用する観点から、導電膜又は導電パターンとしたときの表面抵抗率が1000Ω/□以下であることが好ましく、500Ω/□以下であることがより好ましく、300Ω/□以下であることが更に好ましい。表面抵抗率は、例えば導電性繊維の分散液の濃度又は塗工量によって調整することができる。   About the transfer type conductive film 10 used by this embodiment, it is preferable that the surface resistivity when it is set as a electrically conductive film or a conductive pattern is 1000 ohms / square or less from a viewpoint of utilizing effectively as a transparent electrode, 500 ohms / square. More preferably, it is more preferably 300Ω / □ or less. The surface resistivity can be adjusted by, for example, the concentration of the conductive fiber dispersion or the coating amount.

本実施形態で用いる転写型導電性フィルムは、図1(b)に示すように、導電性樹脂層2の支持フィルム1とは反対側の面に接するように保護フィルム3を更に備えた転写型導電性フィルム11であってもよい。   As shown in FIG. 1B, the transfer type conductive film used in this embodiment is a transfer type further provided with a protective film 3 so as to contact the surface of the conductive resin layer 2 opposite to the support film 1. The conductive film 11 may be used.

保護フィルム3としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。また、保護フィルム3として上述の支持フィルム1と同様の重合体フィルムを用いてもよい。   As the protective film 3, a polymer film having heat resistance and solvent resistance such as a polyethylene terephthalate film, a polypropylene film, and a polyethylene film can be used. Moreover, you may use the polymer film similar to the above-mentioned support film 1 as the protective film 3. FIG.

保護フィルム3と導電性樹脂層2との間の接着力は、保護フィルム3を導電性樹脂層2から剥離しやすくするために、導電性樹脂層2と支持フィルム1との間の接着力よりも小さいことが好ましい。   The adhesive force between the protective film 3 and the conductive resin layer 2 is greater than the adhesive force between the conductive resin layer 2 and the support film 1 so that the protective film 3 can be easily peeled off from the conductive resin layer 2. Is preferably small.

保護フィルム3中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ数は、5個/m以下であることが好ましい。「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、2軸延伸、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。 The number of fish eyes having a diameter of 80 μm or more contained in the protective film 3 is preferably 5 / m 2 or less. “Fisheye” means that materials are melted, kneaded, extruded, biaxially stretched, casting materials, etc., and foreign materials, undissolved materials, oxidized degradation products, etc. are taken into the film. It is a thing.

保護フィルム3の厚みは、1〜100μmであることが好ましく、5〜50μmであることがより好ましく、5〜30μmであることが更に好ましく、15〜30μmであることが特に好ましい。保護フィルム3の厚みが1μm未満ではラミネートの際、保護フィルム3が破損しやすくなる傾向があり、100μmを超えると価格が高くなる傾向がある。   The thickness of the protective film 3 is preferably 1 to 100 μm, more preferably 5 to 50 μm, still more preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 15 to 30 μm. When the thickness of the protective film 3 is less than 1 μm, the protective film 3 tends to be damaged during lamination, and when it exceeds 100 μm, the price tends to increase.

(導電パターン形成工程)
図2は、導電パターン形成工程を説明するための模式断面図である。図2に示すように、導電パターン形成工程では、レーザー光Lを照射することにより導電性樹脂層2を絶縁化する。この工程では、レーザー照射装置を使用する。レーザー照射装置は、レーザー光Lを発生させるレーザー光発生手段と、レーザー光Lを集光する集光手段である凸レンズなどの集光レンズと、レーザー光照射により加工するサンプル(電極4を有する基板5と、基板5の少なくとも電極4上に積層された導電性樹脂層2と、導電性樹脂層2上に配置されたプラスチックフィルム6とを備える積層体20)が配置されるステージとを備えている。このレーザー光照射装置では、レーザー光発生手段から集光レンズを介してサンプルにレーザー光Lを照射する。このレーザー光照射装置は、市販されている装置を特に制限なく使用することができる。
(Conductive pattern formation process)
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining the conductive pattern forming step. As shown in FIG. 2, in the conductive pattern forming step, the conductive resin layer 2 is insulated by irradiating laser light L. In this step, a laser irradiation apparatus is used. The laser irradiation apparatus includes a laser light generation unit that generates laser light L, a condensing lens such as a convex lens that is a condensing unit that condenses the laser light L, and a sample (a substrate having an electrode 4) that is processed by laser light irradiation. 5 and a stage on which a laminate 20) including a conductive resin layer 2 laminated on at least the electrode 4 of the substrate 5 and a plastic film 6 arranged on the conductive resin layer 2 is disposed. Yes. In this laser beam irradiation apparatus, a laser beam L is irradiated from a laser beam generator to a sample via a condenser lens. As this laser beam irradiation apparatus, a commercially available apparatus can be used without particular limitation.

レーザー光発生手段から発生するレーザー光Lとしては、YAG、YVO等のパルス状レーザー光、炭酸ガスレーザなどの連続発振レーザー光が挙げられる。中でも、簡便であることから、YAG、YVO等の波長1064nmもしくはその2次高波長を使用した532nmのパルス状レーザー光が好ましい。パルス状レーザー光においては、パルス幅300n秒以下が好ましく、70n秒以下がより好ましい。 Examples of the laser light L generated from the laser light generating means include pulsed laser light such as YAG and YVO 4 and continuous wave laser light such as a carbon dioxide gas laser. Among these, a pulsed laser beam of 532 nm using a wavelength of 1064 nm such as YAG or YVO 4 or a secondary higher wavelength thereof is preferable because it is simple. In the pulsed laser beam, the pulse width is preferably 300 nsec or less, and more preferably 70 nsec or less.

集光レンズの焦点Fは、通常、導電性樹脂層2の表面毎に設定されるが、導電性樹脂層2に凹凸などが形成されている場合又は広い面積にレーザー光Lを照射する場合には、導電性樹脂層2から離れた位置に設定されていることが好ましい。詳しくは、集光レンズは、導電性樹脂層2と集光レンズとの間にレーザー光Lの焦点Fが位置するように配置される。すなわち、集光レンズ(レーザー光L)の焦点Fが、導電性樹脂層2と集光レンズとの間に形成される。これにより、電極4を有する基板5に当たるレーザー光Lのスポット径は、導電性樹脂層2に照射されるレーザー光Lのスポット径より大きくなる。これにより、導電性樹脂層2においてはレーザー光Lのエネルギー密度を確保して、導電性樹脂層2の絶縁化を確実に達成しつつ、下地である電極4を有する基板5においてはレーザー光Lのエネルギー密度を低減させ、電極4の損傷を防止できる。本実施形態においては、プラスチックフィルム6を介して導電性樹脂層2にレーザー光Lを照射する。その際のレーザー光Lの焦点Fは、プラスチックフィルム6内にあっても、集光レンズとプラスチックフィルム6との間にあってもよい。導電性樹脂層2におけるレーザー光Lのスポット径を小さくして、レーザーで細かい加工を行える点から、焦点Fはプラスチックフィルム6内にあることが好ましい。   The focal point F of the condensing lens is usually set for each surface of the conductive resin layer 2, but when the conductive resin layer 2 has irregularities or the like, or when the laser light L is irradiated over a wide area. Is preferably set at a position away from the conductive resin layer 2. Specifically, the condenser lens is disposed so that the focal point F of the laser light L is located between the conductive resin layer 2 and the condenser lens. That is, the focal point F of the condenser lens (laser light L) is formed between the conductive resin layer 2 and the condenser lens. As a result, the spot diameter of the laser light L that strikes the substrate 5 having the electrodes 4 is larger than the spot diameter of the laser light L irradiated onto the conductive resin layer 2. As a result, the energy density of the laser beam L is ensured in the conductive resin layer 2 and the insulation of the conductive resin layer 2 is reliably achieved, while the laser beam L is generated in the substrate 5 having the base electrode 4. It is possible to reduce the energy density of the electrode 4 and prevent the electrode 4 from being damaged. In the present embodiment, the conductive resin layer 2 is irradiated with the laser light L through the plastic film 6. At that time, the focal point F of the laser beam L may be in the plastic film 6 or between the condenser lens and the plastic film 6. The focal point F is preferably in the plastic film 6 from the viewpoint that the spot diameter of the laser light L in the conductive resin layer 2 can be reduced and fine processing can be performed with a laser.

集光レンズとしては、低い開口数(NA<0.1)のものが好ましい。すなわち、集光レンズの開口数がNA<0.1とされることにより、レーザー光Lの照射条件設定が容易となり、特にレーザー光Lの焦点Fが導電性樹脂層2と集光レンズとの間に位置することによる、該焦点Fにおける空気のプラズマ化に伴うエネルギー損失とレーザー光Lの拡散を防止することができる。   A condenser lens having a low numerical aperture (NA <0.1) is preferable. That is, by setting the numerical aperture of the condensing lens to NA <0.1, it becomes easy to set the irradiation condition of the laser light L. In particular, the focal point F of the laser light L is between the conductive resin layer 2 and the condensing lens. It is possible to prevent energy loss and diffusion of the laser light L due to the plasma of air at the focal point F due to being positioned in between.

また、ステージは、水平方向に2次元的に移動可能になっている。ステージは、少なくとも上面側が透明な部材または光線吸収性を有する部材で構成されていることが好ましい。ステージは、レーザー光Lの出力が1Wを超える場合、ナイロン系若しくはフッ素系の樹脂材料、又は、シリコーンゴム系の高分子材料で構成されていることが好ましい。   The stage can be moved two-dimensionally in the horizontal direction. The stage is preferably composed of a member having at least an upper surface side that is transparent or a member having light absorption. When the output of the laser beam L exceeds 1 W, the stage is preferably made of a nylon-based or fluorine-based resin material or a silicone rubber-based polymer material.

次いで、レーザー光発生手段よりレーザー光Lを出射させ、レーザー光Lを集光レンズにより集光する。その集光したレーザー光Lを、プラスチックフィルム6を介して導電性樹脂層2に照射する。その際、ステージを、レーザー光Lの照射が所定のパターンになるように移動させる。ここで、所定のパターンとは、導電パターンを形成するためのパターンである。   Next, the laser light L is emitted from the laser light generating means, and the laser light L is condensed by the condenser lens. The condensed laser light L is applied to the conductive resin layer 2 through the plastic film 6. At that time, the stage is moved so that the irradiation of the laser beam L has a predetermined pattern. Here, the predetermined pattern is a pattern for forming a conductive pattern.

上記のように、導電性樹脂層2にレーザー光Lを所定パターンで照射することにより、レーザー光L照射部分の導電性繊維21を除去して、レーザー光Lの照射部分を絶縁化し、導電部を有する導電パターンが得られるように絶縁部を導電性樹脂層2に形成する。   As described above, by irradiating the conductive resin layer 2 with the laser beam L in a predetermined pattern, the conductive fiber 21 in the irradiated portion of the laser beam L is removed, the irradiated portion of the laser beam L is insulated, and the conductive portion An insulating part is formed in the conductive resin layer 2 so that a conductive pattern having a thickness of 1 is obtained.

導電性樹脂層2に照射するレーザー光Lのエネルギー密度は1×1016〜7×1017W/m、単位面積あたりの照射エネルギーは1×10〜1×10J/mが好ましい。すなわち、エネルギー密度・照射エネルギーが上記数値範囲よりも小さな値に設定された場合、導電性樹脂層2の絶縁化が不充分になるおそれがある。また、上記数値範囲よりも大きな値に設定された場合、加工痕が目立つようになるとともに、下地である電極を形成した基板への損傷が大きくなる傾向がある。 The energy density of the laser light L applied to the conductive resin layer 2 is 1 × 10 16 to 7 × 10 17 W / m 2 , and the irradiation energy per unit area is 1 × 10 5 to 1 × 10 6 J / m 2. preferable. That is, when the energy density / irradiation energy is set to a value smaller than the above numerical range, the conductive resin layer 2 may be insufficiently insulated. Further, when the value is set to a value larger than the above numerical range, the processing trace becomes conspicuous and the damage to the substrate on which the base electrode is formed tends to increase.

また、これらの値は、加工エリアにおけるレーザービームの出力値を、加工エリアの集光スポット面積で除することにより定義されており、簡便には、出力はレーザー発振機からの出力値に光学系の損失係数を掛けることで求められる。また、スポット径面積Sは、下記式により定義される。
S=S×D/FL
:レンズで集光されるレーザーのビーム面積
FL:レンズの焦点距離
D:導電性樹脂層2の表面(上面)と焦点との距離
These values are defined by dividing the output value of the laser beam in the processing area by the condensing spot area of the processing area. For convenience, the output is converted to the output value from the laser oscillator by the optical system. It is obtained by multiplying by the loss factor. The spot diameter area S is defined by the following formula.
S = S 0 × D / FL
S 0 : Beam area of laser focused by lens FL: Focal length of lens D: Distance between surface (upper surface) of conductive resin layer 2 and focal point

なお、前述した焦点Fは、レンズ等の集光手段で、収差が充分に小さい場合を例に説明したが、例えば、焦点距離の短い球面レンズ、保護ガラス等の収差が大きくなる要素が存在する場合には、焦点Fは、集光点のエネルギー密度が最も高くなる位置と定義される。   In addition, although the focus F mentioned above demonstrated the case where aberration was sufficiently small by the condensing means, such as a lens, for example, there exist elements which increase aberrations, such as a spherical lens with a short focal distance, and protective glass. In this case, the focal point F is defined as the position where the energy density at the focal point is the highest.

ここで、距離Dは、通常のレーザー加工機では、焦点距離FLの0.2〜3%の範囲内に設定される。好ましくは、距離Dは、焦点距離FLの0.5〜2%の範囲内に設定される。さらに望ましくは、距離Dは、焦点距離FLの0.7〜1.5%の範囲内に設定される。距離Dが上記数値範囲に設定されることにより、導電性繊維21の除去(空隙の形成)が確実に行えるとともに電気的に高い信頼性を有する絶縁パターンを形成でき、かつ、導電性樹脂層2への損傷に起因する加工痕を確実に防止できる。   Here, the distance D is set within a range of 0.2 to 3% of the focal length FL in a normal laser beam machine. Preferably, the distance D is set within a range of 0.5 to 2% of the focal length FL. More preferably, the distance D is set within a range of 0.7 to 1.5% of the focal length FL. By setting the distance D in the above numerical range, it is possible to reliably remove the conductive fibers 21 (form voids) and form an electrically reliable insulating pattern, and to form the conductive resin layer 2. It is possible to reliably prevent machining traces resulting from damage to the surface.

導電パターン形成工程において、導電性樹脂層2へのレーザー照射はプラスチックフィルム6を介して行われる。プラスチックフィルム6は、例えば、基板5の少なくとも電極4上に積層された導電性樹脂層2の少なくとも一部に接触するように配置される。プラスチックフィルム6としては、特に制限なく使用することができるが、耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。このような重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、及びポリカーボネートフィルム等が挙げられる。これらの重合体フィルムのうち、透明性及び耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。   In the conductive pattern forming step, laser irradiation to the conductive resin layer 2 is performed through the plastic film 6. For example, the plastic film 6 is disposed so as to contact at least a part of the conductive resin layer 2 laminated on at least the electrode 4 of the substrate 5. The plastic film 6 can be used without any particular limitation, and examples thereof include a polymer film having heat resistance and solvent resistance. Examples of such a polymer film include a polyethylene terephthalate film, a polyethylene film, a polypropylene film, and a polycarbonate film. Among these polymer films, a polyethylene terephthalate film is preferable from the viewpoint of transparency and heat resistance.

プラスチックフィルム6の厚みは、5〜300μmであることが好ましく、10〜200μmであることがより好ましく、15〜100μmであることがさらに好ましい。レーザー光L照射時の下地の電極4の損傷を少なくする観点からは、5μm以上であることが好ましく、10μm以上であることがより好ましく、15μm以上であることがさらに好ましい。プラスチックフィルム6の厚みは、導電性樹脂層2を細かく加工できる点から、300μm以下であることが好ましく、200μm以下であることがより好ましく、100μm以下であることがさらに好ましく、50μm以下であることが特に好ましい。   The thickness of the plastic film 6 is preferably 5 to 300 μm, more preferably 10 to 200 μm, and still more preferably 15 to 100 μm. From the viewpoint of reducing damage to the underlying electrode 4 when the laser beam L is irradiated, the thickness is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, and further preferably 15 μm or more. The thickness of the plastic film 6 is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, further preferably 100 μm or less, and more preferably 50 μm or less from the viewpoint that the conductive resin layer 2 can be finely processed. Is particularly preferred.

積層工程において、転写型導電性フィルム10,11を使用して電極4を有する基板5上に導電性樹脂層2を積層する場合、導電パターン形成工程においては、プラスチックフィルム6として転写型導電性フィルム10,11の支持フィルム1を使用して、支持フィルム1を介して導電性樹脂層2にレーザー光Lを照射することができる。これによって、導電性樹脂層2上に改めてプラスチックフィルムを配置する必要がないため、導電パターンの形成を簡便に行うことができる。   In the lamination process, when the conductive resin layer 2 is laminated on the substrate 5 having the electrodes 4 using the transfer type conductive films 10 and 11, the transfer type conductive film is used as the plastic film 6 in the conductive pattern formation process. The conductive resin layer 2 can be irradiated with the laser light L through the support film 1 using the support films 1 and 11. Thereby, since it is not necessary to arrange a plastic film anew on the conductive resin layer 2, a conductive pattern can be easily formed.

積層工程において転写型導電性フィルム11を用いる場合の導電パターン付き積層体の製造方法を以下にまとめる。まず、転写型導電性フィルム11から保護フィルム3を剥離し、電極4を有する基板5の少なくとも電極4上に導電性樹脂層2が密着するようにラミネートする。これによって、電極4を有する基板5、導電性樹脂層2、及び支持フィルム1がこの順に積層した積層体20を作製することができる。その後、支持フィルム1を介して、所望の導電パターンに応じて導電性樹脂層2にレーザー光Lを照射し、導電性樹脂層2を絶縁化する。その後、支持フィルム1を剥離することで、下地の電極4を損傷することなく、導電性樹脂層2を絶縁化し、導電パターンを形成することができる。なお、レーザー光Lを照射する前、レーザー光Lを照射して支持フィルム1を剥離する前、支持フィルム1を剥離した後などの工程の間に、導電性樹脂層2にレーザー光Lの照射とは別に光照射を行い、導電性樹脂層2を光硬化してもよい。すなわち、導電パターン形成工程における導電性樹脂層2は、硬化される前の導電性樹脂層及び硬化された後の導電性樹脂層のいずれの態様も包含する。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern in the case of using the transfer type conductive film 11 in a lamination process is summarized below. First, the protective film 3 is peeled from the transfer type conductive film 11 and laminated so that the conductive resin layer 2 is in close contact with at least the electrode 4 of the substrate 5 having the electrode 4. Thereby, the laminated body 20 which the board | substrate 5 which has the electrode 4, the conductive resin layer 2, and the support film 1 laminated | stacked in this order is producible. Thereafter, the conductive resin layer 2 is irradiated with the laser beam L through the support film 1 in accordance with a desired conductive pattern to insulate the conductive resin layer 2. Then, by peeling off the support film 1, the conductive resin layer 2 can be insulated and a conductive pattern can be formed without damaging the underlying electrode 4. In addition, before irradiating the laser beam L, before irradiating the laser beam L and peeling the support film 1, and after peeling the support film 1, the conductive resin layer 2 is irradiated with the laser beam L. Alternatively, the conductive resin layer 2 may be photocured by light irradiation. That is, the conductive resin layer 2 in the conductive pattern forming step includes both modes of the conductive resin layer before being cured and the conductive resin layer after being cured.

一方、図3に示すように、従来の方法では、プラスチックフィルムを介さずに、レーザー光Lを導電性樹脂層2に照射するため、基板5上の電極4に照射されるレーザー光Lのエネルギー密度が大きくなり、電極4に損傷dが生じる。この場合、導電性樹脂層2の絶縁部は、図4に示す電子顕微鏡写真のように形成される。   On the other hand, as shown in FIG. 3, in the conventional method, since the conductive resin layer 2 is irradiated with the laser light L without using a plastic film, the energy of the laser light L irradiated to the electrode 4 on the substrate 5 is used. The density increases and damage d occurs in the electrode 4. In this case, the insulating part of the conductive resin layer 2 is formed as shown in the electron micrograph shown in FIG.

本実施形態の導電パターン付き積層体の製造方法は、導電パターン形成工程の後に再照射工程を更に備えていてもよい。再照射工程では、導電パターン形成工程にて形成した絶縁部にパルス状レーザー光をさらに1回以上照射する。再照射工程では、導電性樹脂層2が着色または除去されるため、絶縁部を視認しやすく可視化することができる。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern of this embodiment may be further equipped with the reirradiation process after the conductive pattern formation process. In the re-irradiation step, the insulating portion formed in the conductive pattern formation step is further irradiated with pulsed laser light once or more. In the re-irradiation step, since the conductive resin layer 2 is colored or removed, the insulating portion can be easily visualized.

再照射工程におけるパルス状レーザー光の照射方法および照射条件は、導電パターン形成工程における照射方法および照射条件と同様である。ただし、導電パターン形成工程と同一にする必要はない。   The irradiation method and irradiation conditions of the pulsed laser light in the re-irradiation step are the same as the irradiation method and irradiation conditions in the conductive pattern forming step. However, it is not necessary to be the same as the conductive pattern forming step.

<タッチパネルセンサ>
本実施形態の導電パターン付き積層体の製造方法は、静電容量式タッチパネルの透明電極の形成、静電容量式タッチパネルセンサの製造等に好ましく適用できる。
<Touch panel sensor>
The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern of this embodiment is preferably applicable to formation of the transparent electrode of an electrostatic capacitance type touch panel, manufacture of an electrostatic capacitance type touch panel sensor, etc.

以下、本発明を実施例に基づいて更に具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further more concretely based on an Example, this invention is not limited to an Example.

実施例、比較例で用いた成分は以下のとおりである。
(B)成分
・トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬(株)製、商品名「TMPTA」)
(C)成分
・1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル−,2−(O−ベンゾイルオキシム)](BASF(株)製、商品名「OXE−01」)
・2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド(BASF(株)製、商品名「LUCIRIN TPO」)
・2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(BASF(株)製、商品名「Irgacure 651」)
(その他の成分)
・オクタメチルシクロテトラシロキサン(東レ・ダウコーニング(株)製、商品名「SH−30」)(レベリング剤)
・メチルエチルケトン(東燃化学(株)製)(溶媒)
The components used in Examples and Comparative Examples are as follows.
(B) component, trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name "TMPTA")
Component (C) 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl-, 2- (O-benzoyloxime)] (trade name “OXE-01” manufactured by BASF Corporation)
2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (BASF Corporation, trade name “LUCIRIN TPO”)
2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one (manufactured by BASF Corporation, trade name “Irgacure 651”)
(Other ingredients)
Octamethylcyclotetrasiloxane (trade name “SH-30” manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.) (leveling agent)
・ Methyl ethyl ketone (manufactured by Tonen Chemical Co., Ltd.) (solvent)

製造例1
<銀繊維分散液(導電性繊維分散液(導電膜形成用塗液))の調製>
[ポリオール法による銀繊維の調製]
2000mLの3口フラスコに、エチレングリコール500mLを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで攪拌しながらオイルバスを用いて160℃まで加熱した。ここに、別途用意した溶液1(2mgのPtClを50mLのエチレングリコールに溶解した溶液)を滴下した。4〜5分後、溶液2(5gのAgNOをエチレングリコール300mLに溶解した溶液)と、溶液3(ポリビニルピロリドン(和光純薬(株)製、重量平均分子量:58000)5gをエチレングリコール150mLに溶解した溶液)とを、それぞれの滴下漏斗から1分間で滴下し、反応溶液を160℃で60分間攪拌した。
Production Example 1
<Preparation of silver fiber dispersion (conductive fiber dispersion (coating liquid for forming conductive film))>
[Preparation of silver fiber by polyol method]
In a 2000 mL three-necked flask, 500 mL of ethylene glycol was added and heated to 160 ° C. using an oil bath while stirring with a magnetic stirrer under a nitrogen atmosphere. A separately prepared solution 1 (a solution in which 2 mg of PtCl 2 was dissolved in 50 mL of ethylene glycol) was added dropwise thereto. After 4 to 5 minutes, 5 g of solution 2 (a solution in which 5 g of AgNO 3 was dissolved in 300 mL of ethylene glycol) and 5 g of solution 3 (polyvinylpyrrolidone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., weight average molecular weight: 58000)) were added to 150 mL of ethylene glycol. The dissolved solution was dropped from each dropping funnel over 1 minute, and the reaction solution was stirred at 160 ° C. for 60 minutes.

上記反応溶液が30℃以下になるまで放置した後、アセトンで10倍に希釈した。上記反応溶液の希釈液を、遠心分離機により2000回転で20分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え、攪拌後に、上記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に2回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を光学顕微鏡で観察したところ、繊維径(直径)は30nmで、繊維長は3μmであった。   The reaction solution was allowed to stand at 30 ° C. or lower and then diluted 10 times with acetone. The diluted solution of the reaction solution was centrifuged at 2000 rpm for 20 minutes using a centrifuge, and the supernatant was decanted. Acetone was added to the precipitate, and after stirring, the mixture was centrifuged under the same conditions as described above, and acetone was decanted. Then, it centrifuged twice similarly using distilled water, and obtained the silver fiber. When the obtained silver fiber was observed with an optical microscope, the fiber diameter (diameter) was 30 nm, and the fiber length was 3 μm.

[銀繊維分散液の調製]
純水に、上記で得られた銀繊維が0.2質量%の濃度となるように、また、ドデシルーペンタエチレングリコールが0.1質量%の濃度となるようにそれぞれ分散させ、銀繊維分散液を得た。
[Preparation of silver fiber dispersion]
Disperse silver fiber in pure water so that the silver fiber obtained above has a concentration of 0.2% by mass and dodecyl-pentaethylene glycol has a concentration of 0.1% by mass. A liquid was obtained.

製造例2
<バインダーポリマー(A1)溶液の調製>
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温した。反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が45000のバインダーポリマー(A1)溶液(固形分50質量%)を得た。バインダーポリマー(A1)の酸価は、78mgKOH/gであった。また、バインダーポリマー(A1)のガラス転移温度(Tg)は60℃であった。
Production Example 2
<Preparation of binder polymer (A1) solution>
A flask equipped with a stirrer, reflux condenser, inert gas inlet and thermometer was charged with (1) shown in Table 1 and heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere. While maintaining the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C., (2) shown in Table 1 was uniformly added dropwise over 4 hours. After dropping (2), stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a binder polymer (A1) solution (solid content 50% by mass) having a weight average molecular weight of 45,000. The acid value of the binder polymer (A1) was 78 mgKOH / g. Moreover, the glass transition temperature (Tg) of the binder polymer (A1) was 60 ° C.

作製したポリマー溶液の特性は、以下の方法で測定した。   The characteristics of the prepared polymer solution were measured by the following method.

(1)重量平均分子量
重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの条件を以下に示す。
ポンプ:日立 L−6000型((株)日立製作所製、商品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成(株)製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI((株)日立製作所製、商品名)
(1) Weight average molecular weight The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The GPC conditions are shown below.
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (trade name, manufactured by Hitachi, Ltd.)

(2)酸価
酸価は、次のようにして測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を、130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形のポリマーを得た。そして、固形のポリマー1gを精秤した後、精秤したポリマーを三角フラスコに入れ、アセトンを30g添加し、均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)
式中、VfはKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の質量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
(2) Acid value The acid value was measured as follows. First, the binder polymer solution was heated at 130 ° C. for 1 hour to remove volatile components, thereby obtaining a solid polymer. Then, after precisely weighing 1 g of the solid polymer, the precisely weighed polymer was put into an Erlenmeyer flask, and 30 g of acetone was added and dissolved uniformly. Next, an appropriate amount of an indicator, phenolphthalein, was added to the solution, and titration was performed using a 0.1N aqueous KOH solution. And the acid value was computed by following Formula.
Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100)
In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of the KOH aqueous solution, Wp represents the mass (g) of the measured resin solution, and I represents the proportion (mass%) of the non-volatile content in the measured resin solution.

(3)ガラス転移温度(Tg)
上記作製したバインダーポリマーの溶液をポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人デュポンフィルム(株)製、商品名「ピューレックスA53」)上に均一に塗布し、90℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して、乾燥後の厚さが40μmであるバインダーポリマーからなる膜を形成した。次いで高圧水銀灯を有する露光機((株)オーク製作所製、商品名「EXM−1201」)を用いて、照射エネルギー量が400mJ/cm(i線(波長365nm)における測定値)となるように上記膜を露光した。露光された膜をホットプレート上にて65℃で2分間、次いで95℃で8分間加熱し、熱風対流式乾燥機にて180℃で60分間加熱処理をした後、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離し、TMA/SS6000(セイコーインスツルメンツ社製)を用いて、昇温速度5℃/分で温度を上昇させたときの上記硬化膜の熱膨張率を測定し、その曲線から得られる変曲点をガラス転移温度Tgとして求めた。
(3) Glass transition temperature (Tg)
The prepared binder polymer solution was uniformly applied onto a polyethylene terephthalate film (trade name “Purex A53” manufactured by Teijin DuPont Films Ltd.), and dried for 10 minutes with a hot air convection dryer at 90 ° C. A film made of a binder polymer having a thickness of 40 μm after drying was formed. Next, using an exposure machine having a high pressure mercury lamp (trade name “EXM-1201” manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.), the amount of irradiation energy is 400 mJ / cm 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)). The film was exposed. The exposed film was heated on a hot plate at 65 ° C. for 2 minutes, then at 95 ° C. for 8 minutes, heated at 180 ° C. for 60 minutes in a hot air convection dryer, and then peeled off from the polyethylene terephthalate film, Using TMA / SS6000 (manufactured by Seiko Instruments Inc.), the coefficient of thermal expansion of the cured film is measured when the temperature is increased at a temperature rising rate of 5 ° C./min, and the inflection point obtained from the curve is the glass transition. It calculated | required as temperature Tg.

<転写型導電性フィルムV1の作製>
[導電性繊維層の作製]
上記製造例1で得られた銀繊維分散液を、50μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、帝人(株)製、商品名「G2−50」)(支持フィルム)上に25g/mで均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥し、導電性繊維層を形成した。
<Preparation of transfer type conductive film V1>
[Preparation of conductive fiber layer]
The silver fiber dispersion obtained in Production Example 1 above is uniformly 25 g / m 2 on a 50 μm thick polyethylene terephthalate film (PET film, manufactured by Teijin Ltd., trade name “G2-50”) (support film). And dried for 3 minutes with a hot air convection dryer at 100 ° C. to form a conductive fiber layer.

[樹脂溶液X1の作製]
表2に示す材料を、表2に示す配合量(質量部)で、攪拌機を用いて15分間混合し、樹脂溶液X1を作製した。(A)成分の配合量は、固形分の質量である。
[Preparation of resin solution X1]
The materials shown in Table 2 were mixed at the blending amounts (parts by mass) shown in Table 2 for 15 minutes using a stirrer to prepare a resin solution X1. (A) The compounding quantity of a component is the mass of solid content.

[転写型導電性フィルムV1の作製]
樹脂溶液X1を、上記導電性繊維層上に均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して導電性樹脂層を形成した。その後、導電性樹脂層を、ポリエチレンフィルム(タマポリ(株)製、商品名「NF−13」)で覆い、転写型導電性フィルムV1を得た。導電性樹脂層の乾燥後の膜厚は5μmであった。
[Preparation of transfer-type conductive film V1]
The resin solution X1 was uniformly applied on the conductive fiber layer, and dried for 10 minutes with a hot air convection dryer at 100 ° C. to form a conductive resin layer. Thereafter, the conductive resin layer was covered with a polyethylene film (trade name “NF-13” manufactured by Tamapoly Co., Ltd.) to obtain a transfer type conductive film V1. The thickness of the conductive resin layer after drying was 5 μm.

<導電性樹脂層の評価>
[導電性樹脂層の光透過率の測定]
得られた転写型導電性フィルムV1のポリエチレンフィルムを剥がしながら、厚さ1mmのガラス基板上に、導電性樹脂層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名「HLM−3000型」)を用いて、ロール温度110℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×105Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基板を用いたため、この時の線圧は9.8×10N/m)の条件でラミネートして、ガラス基板上に、支持フィルムを含む転写型導電性フィルムV1が積層された基板を作製した。
<Evaluation of conductive resin layer>
[Measurement of light transmittance of conductive resin layer]
Laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “HLM-3000 type”) so that the conductive resin layer is in contact with the glass substrate having a thickness of 1 mm while peeling off the polyethylene film of the obtained transfer type conductive film V1. Was used, a roll temperature of 110 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 105 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm, a linear pressure at this time was 9. 8 × 10 3 N / m) was laminated to prepare a substrate in which a transfer type conductive film V1 including a support film was laminated on a glass substrate.

次いで、ガラス基板上の転写型導電性フィルムに、平行光線露光機(オーク製作所(株)製、EXM1201)を使用して、支持フィルム側より露光量5×10J/m(i線(波長365nm)における測定値)で、紫外線を照射した。その後、支持フィルムを除去し、さらに平行光線露光機で導電性樹脂層側から、露光量1×10J/m(i線(波長365nm)における測定値)で紫外線を照射し、導電性樹脂層(膜厚5.0μm)の透過率測定用試料を得た。 Next, using a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) on the transfer type conductive film on the glass substrate, an exposure amount of 5 × 10 2 J / m 2 (i-line ( The measurement value at a wavelength of 365 nm) was irradiated with ultraviolet rays. Thereafter, the support film is removed, and further irradiated with ultraviolet rays at an exposure dose of 1 × 10 4 J / m 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)) from the conductive resin layer side with a parallel light exposure machine. A sample for measuring transmittance of a resin layer (film thickness: 5.0 μm) was obtained.

次いで、得られた試料を紫外可視分光光度計(日立計測器サービス(株)製、商品名「U−3310」)を使用して、測定波長域300〜380nmで紫外光透過率を、測定波長域400〜700nmで可視光透過率を測定した。なお、ガラス基板をバックグラウンドとし、導電性樹脂層単独での透過率を測定した。   Next, using the ultraviolet-visible spectrophotometer (trade name “U-3310”, manufactured by Hitachi Instrument Service Co., Ltd.), the obtained sample was measured for the ultraviolet light transmittance in the measurement wavelength range of 300 to 380 nm, and the measurement wavelength. Visible light transmittance was measured in the region of 400-700 nm. Note that the transmittance of the conductive resin layer alone was measured using the glass substrate as a background.

[導電性樹脂層の表面抵抗率の測定]
導電性樹脂層の光透過率の測定方法と同様にして、ガラス基板上に導電性樹脂層を積層した、表面抵抗率測定用のサンプルを作製した。サンプルの表面抵抗率を非接触抵抗測定器(ナプソン(株)製、商品名「EC−80P」)によって測定したところ、100±5Ω/□であった。
[Measurement of surface resistivity of conductive resin layer]
In the same manner as the method for measuring the light transmittance of the conductive resin layer, a sample for measuring the surface resistivity in which the conductive resin layer was laminated on the glass substrate was produced. The surface resistivity of the sample was measured by a non-contact resistance measuring instrument (trade name “EC-80P” manufactured by Napson Co., Ltd.) and found to be 100 ± 5Ω / □.

<電極付き基板の作製>
PETフィルム基板(厚さ50μm、東洋紡績製、商品名「A4100」)の易接着面に、転写型導電性フィルムV1のポリエチレンフィルムを剥がしながら、導電性樹脂層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名「HLM−3000型」)を用いて、ロール温度110℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×10Paの条件でラミネートして、PETフィルム基板上に、支持フィルムを含む転写型導電性フィルムが積層されたフィルム基板を作製した。
<Preparation of substrate with electrodes>
A laminator (Hitachi Chemical Co., Ltd.) is made so that the conductive resin layer is in contact with the easy-adhesion surface of a PET film substrate (thickness 50 μm, manufactured by Toyobo, trade name “A4100”) while peeling the polyethylene film of the transfer type conductive film V1. Using a product made by the company, trade name “HLM-3000 type”), laminating on a PET film substrate with a roll temperature of 110 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, and a pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa. A film substrate was prepared in which a transfer type conductive film including a support film was laminated.

次いで、フィルム基板上の転写型導電性フィルムの支持フィルムに、ライン幅/スペース幅が1mm/1mmであり、長さが100mmである配線パターン(ラインの数:10本)を有するPET製のフォトマスクを密着させ、平行光線露光機(オーク製作所(株)製、商品名「EXM1201」)を使用して、支持フィルム側よりフォトマスクを介して露光した(1段目露光)。露光量は、2×10J/m(i線(波長365nm)における測定値)で、紫外線を照射した。次に、フォトマスクと支持フィルムを除去し、さらに導電性樹脂層上方より、大気中環境で(酸素存在下で)フィルム全面に露光した(2段目露光)。露光量は、上述の1段目露光の3倍の露光量とした。 Next, a photo film made of PET having a wiring pattern (number of lines: 10) having a line width / space width of 1 mm / 1 mm and a length of 100 mm on the support film of the transfer type conductive film on the film substrate. The mask was brought into close contact, and exposed using a parallel light exposure machine (trade name “EXM1201” manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd.) from the support film side through a photomask (first stage exposure). The exposure dose was 2 × 10 2 J / m 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)), and ultraviolet rays were irradiated. Next, the photomask and the support film were removed, and the entire surface of the film was exposed from above the conductive resin layer in an atmospheric environment (in the presence of oxygen) (second stage exposure). The exposure amount was set to be three times that of the first-stage exposure described above.

露光後、室温(23℃〜25℃)で15分間放置した後、30℃で1質量%炭酸ナトリウム水溶液を30秒間スプレーすることにより現像した。その後、導電性樹脂層の上方から、1×104J/m(i線(波長365nm)における測定値)で、紫外線を照射した。これによって、PETフィルム上に1mmラインパターンの導電性繊維からなる電極を形成し、電極付き基板S1を作製した。 After exposure, the film was allowed to stand at room temperature (23 ° C. to 25 ° C.) for 15 minutes, and then developed by spraying a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 30 seconds. Thereafter, ultraviolet rays were irradiated from above the conductive resin layer at 1 × 10 4 J / m 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)). As a result, an electrode made of conductive fiber having a 1 mm line pattern was formed on the PET film, and a substrate S1 with an electrode was produced.

実施例1
上記で作製した電極付き基板S1の電極形成面に、転写型導電性フィルムV1のポリエチレンフィルムを剥がしながら、導電性樹脂層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名HLM−3000型)を用いて、ロール温度110℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×10Paの条件でラミネートして、電極付き基板S1上に、導電性樹脂層、その上に支持フィルム(プラスチックフィルム)が積層された積層体を作製した。
Example 1
A laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: HLM-3000) so that the conductive resin layer is in contact with the electrode-forming surface of the substrate with electrode S1 produced above while peeling the polyethylene film of the transfer type conductive film V1. Is laminated under the conditions of a roll temperature of 110 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa, and a conductive resin layer is supported on the electrode-equipped substrate S1. A laminate in which films (plastic films) were laminated was produced.

次に、レーザー光照射装置として、ガルバノミラーを備えたYVO基本波のレーザ加工機(キーエンス社製、MD−V9920)を使用して、レーザー加工を行った。レーザー照射は、支持フィルムを介して導電性樹脂層に照射した。レーザー照射の加工パターンは、下地の1mmラインパターン電極付き基板の、ラインパターンに直交する方向にレーザーを照射して行った。照射条件は以下の条件で行った。
焦点から導電性樹脂層までの距離:0mm
出力:30%
移動速度:600mm/秒
発振周波数:100kHz
Next, laser processing was performed using a YVO 4 fundamental wave laser processing machine (MD-V9920, manufactured by Keyence Corporation) equipped with a galvano mirror as a laser light irradiation device. Laser irradiation was applied to the conductive resin layer through the support film. The processing pattern of the laser irradiation was performed by irradiating the laser in the direction perpendicular to the line pattern of the underlying substrate with 1 mm line pattern electrode. Irradiation conditions were as follows.
Distance from focus to conductive resin layer: 0mm
Output: 30%
Movement speed: 600 mm / sec Oscillation frequency: 100 kHz

次に、支持フィルムを剥離した後、下地の1mmラインパターン電極の両端にテスターをあてて、1mmラインパターン電極が損傷なく導通しているかを確認した。その結果、ラインパターンは問題なく導通しており、下地の電極に損傷なく導電性樹脂層をレーザー加工できていることを確認した。   Next, after peeling off the support film, a tester was applied to both ends of the underlying 1 mm line pattern electrode to confirm whether the 1 mm line pattern electrode was conductive without damage. As a result, it was confirmed that the line pattern was conducted without any problem, and the conductive resin layer was laser processed without damaging the underlying electrode.

実施例2
実施例1と同様にして、電極付き基板S1の電極形成面に、転写型導電性フィルムV1のポリエチレンフィルムを剥がしながら、導電性樹脂層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名「HLM−3000型」)を用いて、ロール温度110℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×10Paの条件でラミネートして、電極付き基板S1上に、導電性樹脂層、その上に支持フィルム(プラスチックフィルム)が積層された積層体を作製した。
Example 2
In the same manner as in Example 1, a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name “Product Name”) is formed so that the conductive resin layer is in contact with the electrode forming surface of the electrode-attached substrate S1 while peeling the polyethylene film of the transfer conductive film V1. HLM-3000 type "), and laminates under the conditions of a roll temperature of 110 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa, and a conductive resin on the substrate with electrode S1. A laminate in which a layer and a support film (plastic film) were laminated thereon was produced.

その後、平行光線露光機(オーク製作所(株)製、EXM1201)を使用して、支持フィルム側より露光した。露光量は、5×10J/m(i線(波長365nm)における測定値)で、紫外線を照射した。その後、支持フィルムを剥離したのち、露出した導電性樹脂層に密着するように、ポリエチレンフィルム(タマポリ(株)製、商品名「NF−13」)を貼り合せた。 Then, it exposed from the support film side using the parallel light exposure machine (Oak Manufacturing Co., Ltd. product, EXM1201). The exposure amount was 5 × 10 2 J / m 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)), and ultraviolet rays were irradiated. Then, after peeling off the support film, a polyethylene film (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name “NF-13”) was bonded so as to adhere to the exposed conductive resin layer.

以降は実施例1と同様にして、ポリエチレンフィルム(プラスチックフィルム)を介してレーザー照射を行った。また、実施例1と同様にしてラインパターン電極の導通を確認したところ、ラインパターンは問題なく導通しており、電極に損傷なく導電性樹脂層をレーザー加工できることを確認した。   Thereafter, in the same manner as in Example 1, laser irradiation was performed through a polyethylene film (plastic film). Further, when the conduction of the line pattern electrode was confirmed in the same manner as in Example 1, it was confirmed that the line pattern was conducted without any problem and the conductive resin layer could be laser processed without damaging the electrode.

比較例1
ポリエチレンフィルムを導電性樹脂層に貼り合せることをしなかった以外は、実施例2と同様にして導電性樹脂層のレーザー照射を実施した。すなわち、プラスチックフィルムを介さないで、導電性樹脂層へのレーザー照射を行い、加工を行った。下地の電極付き基材の1mmラインパターン電極を調べたところ、ラインパターンは導通しておらず、電極が損傷していることが確認された。
Comparative Example 1
Laser irradiation of the conductive resin layer was performed in the same manner as in Example 2 except that the polyethylene film was not bonded to the conductive resin layer. That is, processing was performed by irradiating the conductive resin layer with laser without using a plastic film. When the 1 mm line pattern electrode of the base material with an electrode was examined, it was confirmed that the line pattern was not conductive and the electrode was damaged.

1…支持フィルム、2…導電性樹脂層、3…保護フィルム、4…電極、5…基板、6…プラスチックフィルム、21…導電性繊維、22…樹脂、L…レーザー光。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Support film, 2 ... Conductive resin layer, 3 ... Protective film, 4 ... Electrode, 5 ... Board | substrate, 6 ... Plastic film, 21 ... Conductive fiber, 22 ... Resin, L ... Laser beam.

Claims (8)

電極を有する基板の少なくとも前記電極上に、導電性繊維及び樹脂を含有する導電性樹脂層を積層する積層工程と、
前記導電性樹脂層にレーザーを照射して前記導電性樹脂層を絶縁化させることにより、導電パターンを形成する導電パターン形成工程と、を備え、
前記導電パターン形成工程において、プラスチックフィルムを介して前記導電性樹脂層に前記レーザーを照射する、導電パターン付き積層体の製造方法。
A laminating step of laminating a conductive resin layer containing conductive fibers and a resin on at least the electrode of the substrate having an electrode;
A conductive pattern forming step of forming a conductive pattern by irradiating the conductive resin layer with a laser to insulate the conductive resin layer; and
The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern which irradiates the said laser to the said conductive resin layer through a plastic film in the said conductive pattern formation process.
前記積層工程において、前記基板の少なくとも前記電極上に、前記導電性樹脂層と前記プラスチックフィルムとを備える転写型導電性フィルムを積層する、請求項1に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern of Claim 1 which laminate | stacks the transcription | transfer type conductive film provided with the said conductive resin layer and the said plastic film on the said electrode of the said board | substrate at least in the said lamination process. 前記基板の少なくとも前記電極上に積層された前記導電性樹脂層の少なくとも一部に接触するように前記プラスチックフィルムを配置する、請求項1に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern of Claim 1 which arrange | positions the said plastic film so that at least one part of the said conductive resin layer laminated | stacked on the said electrode of the said board | substrate may be contacted. 前記導電性繊維が金属繊維である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern as described in any one of Claims 1-3 whose said conductive fiber is a metal fiber. 前記導電性繊維が銀ナノワイヤである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern as described in any one of Claims 1-4 whose said conductive fiber is silver nanowire. 前記積層工程において積層される前記導電性樹脂層が、熱重合性基を有する化合物又は光重合性基を有する化合物を更に含有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   With the conductive pattern as described in any one of Claims 1-5 in which the said conductive resin layer laminated | stacked in the said lamination process further contains the compound which has a compound which has a thermopolymerizable group, or a photopolymerizable group. A manufacturing method of a layered product. 前記積層工程において積層される前記導電性樹脂層が、光重合性基を有する化合物及び光重合開始剤を更に含有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The laminate with a conductive pattern according to any one of claims 1 to 6, wherein the conductive resin layer laminated in the lamination step further contains a compound having a photopolymerizable group and a photopolymerization initiator. Production method. 前記電極が金属繊維を含有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の導電パターン付き積層体の製造方法。   The manufacturing method of the laminated body with a conductive pattern as described in any one of Claims 1-7 in which the said electrode contains a metal fiber.
JP2015248748A 2015-12-21 2015-12-21 Method for manufacturing laminate with conductive pattern Pending JP2017117001A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015248748A JP2017117001A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Method for manufacturing laminate with conductive pattern

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015248748A JP2017117001A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Method for manufacturing laminate with conductive pattern

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017117001A true JP2017117001A (en) 2017-06-29

Family

ID=59234183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015248748A Pending JP2017117001A (en) 2015-12-21 2015-12-21 Method for manufacturing laminate with conductive pattern

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017117001A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101932778B1 (en) Method for forming conductive pattern, conductive pattern substrate, and touch panel sensor
JP6504015B2 (en) Method of suppressing deterioration of metal fiber, film, and method of manufacturing film
JP6176295B2 (en) Method for forming conductive pattern
JP6206028B2 (en) Manufacturing method of conductive pattern, conductive pattern substrate including conductive pattern manufactured by the method, touch panel sensor including the conductive pattern substrate, and photosensitive conductive film
WO2016167228A1 (en) Photosensitive conductive film, method for forming conductive pattern, substrate having conductive pattern, and touch panel sensor
JP6205925B2 (en) Photosensitive conductive film, conductive pattern forming method using the same, and conductive pattern substrate
JP6399175B2 (en) Manufacturing method of conductive pattern, conductive pattern substrate including conductive pattern manufactured by the method, touch panel sensor including the conductive pattern substrate, and photosensitive conductive film
JP2017198878A (en) Photosensitive conductive film and conductive pattern comprising the same, conductive pattern substrate, and method for producing touch panel sensor
JP2017117001A (en) Method for manufacturing laminate with conductive pattern
WO2014196154A1 (en) Photosensitive electroconductive film, method for forming electroconductive pattern using same, and electroconductive pattern substrate
JP2018156045A (en) Photosensitive conductive film, method for producing fuse film pattern, base material with fuse film pattern, and chip fuse
JP2017201350A (en) Photosensitive conductive film, method for forming conductive pattern, and method for producing conductive pattern substrate
WO2018008599A1 (en) Photosensitive conductive film, method for manufacturing conductive pattern, conductive pattern substrate, and touch panel sensor
WO2018138879A1 (en) Photosensitive conductive film, conductive pattern formation method, conductive pattern substrate production method, conductive pattern substrate, and touch panel sensor
JP2017201349A (en) Photosensitive conductive film, method for forming conductive pattern, and method for producing conductive pattern substrate
JP2018040934A (en) Photosensitive conductive film, conductive pattern substrate and method for manufacturing the same using the photosensitive conductive film, and touch panel sensor
JP2017228312A (en) Photosensitive conductive film, and method of forming conductive pattern using the same, and conductive pattern substrate including the same
JP2017072756A (en) Method of forming resin cured film pattern and base material with resin cured film pattern
JP2018049055A (en) Photosensitive conductive film, method for forming conductive pattern and method for forming conductive pattern substrate
JP2018022030A (en) Photosensitive conducive film, and method for forming conductive pattern using the same, conductive pattern substrate and touch panel sensor