JP2017109772A - Connector, socket, and liquid storage container - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、コネクタ、ソケット、および液体収納容器に関する。 The present invention relates to a connector, a socket, and a liquid storage container.
従来、半導体製造に用いられる薬液等の液体収納容器に取り付けられるプラグおよびソケットが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に開示されるプラグは、液体収納容器の開口部の内側に圧入して取り付けられる。また、特許文献1に開示されるソケットは、内ねじが形成されたスリーブを有しており、液体収納容器の開口部の外側に形成された外ねじにスリーブの内ねじを締結することにより、液体収納容器の開口部の外側に取り付けられる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a plug and a socket that are attached to a liquid container such as a chemical solution used for semiconductor manufacturing are known (for example, see Patent Document 1).
The plug disclosed in
しかしながら、特許文献1に開示されるソケットは、内側にプラグが取り付けられた液体収納容器の開口部に取り付ける際に、ソケットをプラグに挿入した状態でスリーブを回転させて開口部の外ねじに締結する必要がある。また、特許文献1に開示されるソケットは、液体収納容器の開口部から取り外す際に、スリーブを回転させて開口部の外ねじとの締結を解除する必要がある。
However, when the socket disclosed in
このように、特許文献1に開示されるソケットは、ソケットを液体収納容器の開口部に取り付ける際にスリーブを回転させるという煩雑な作業が必要であった。
また、スリーブの内ねじと液体収納容器の開口部の外ねじとの締結状態は、作業員の判断によって確認される。そのため、作業員毎に締結状態の判断が異なったものとなり、スリーブの内ねじと液体収納容器の開口部の外ねじとが十分に締結されていない状態となる可能性がある。
Thus, the socket disclosed in
The fastening state between the inner screw of the sleeve and the outer screw of the opening of the liquid storage container is confirmed by the judgment of the operator. Therefore, the determination of the fastening state differs for each worker, and there is a possibility that the inner screw of the sleeve and the outer screw of the opening of the liquid storage container are not sufficiently fastened.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットを備えたコネクタを提供することを目的とする。また、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットを提供することを目的とする。また、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットに適用される液体収納容器を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a connector including a socket that can be securely attached to a plug without requiring a complicated operation. It is another object of the present invention to provide a socket that can be securely attached to a plug without requiring complicated work. It is another object of the present invention to provide a liquid storage container applied to a socket that can be securely attached to a plug without requiring a complicated operation.
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかるコネクタは、第1軸線回りに円筒形状に形成された開口部が上面に設けられた液体収納容器に取り付けられるコネクタであって、前記開口部の内周面に固定されるプラグと、前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、前記プラグは、前記液体収納容器に収容された液体を取り出す第1液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第1液体流入流路と、前記液体収納容器の内部空間と前記液体収納容器の外部空間との間で外気を流通させる第1気体流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、前記ソケットは、前記第1液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第2液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第1液体流入流路へ導く第2液体流入流路と、前記第1気体流路に連結されるとともに前記内部空間と前記外部空間との間で外気を流通させる第2気体流路とが内部に形成されたソケット本体と、前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部の外周面に前記第1軸線回りの周方向に沿って形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてから該複数のロックボールを前記係合溝に固定するボールロック機構と、を有する。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
A connector according to an aspect of the present invention is a connector that is attached to a liquid storage container having an opening formed in a cylindrical shape around a first axis, and is fixed to an inner peripheral surface of the opening. A plug that is detachably attached to the plug, and the plug flows in from a first liquid outflow passage for taking out the liquid stored in the liquid storage container, and from the outside of the liquid storage container. A first liquid inflow channel that guides the liquid to the inside of the liquid storage container, and a first gas channel that allows the outside air to flow between the internal space of the liquid storage container and the external space of the liquid storage container are inside. The socket has a formed plug body, and the socket has a second liquid outflow passage for letting out the liquid taken out from the first liquid outflow passage and the liquid flowing in from the outside of the liquid storage container. A second liquid inflow channel that leads to the liquid inflow channel and a second gas channel that is connected to the first gas channel and allows external air to flow between the internal space and the external space are formed inside. A plurality of lock balls which are attached to the socket body and engaged with engagement grooves formed along the circumferential direction around the first axis on the outer peripheral surface of the opening. And a ball lock mechanism for fixing the lock ball to the engagement groove.
本発明の一態様にかかるコネクタによれば、例えば、ソケットがプラグに取り付けられた状態で、外部のポンプにより液体を吸入することにより、プラグの第1液体流出流路から取り出される液体がソケットの第2液体流出流路を介して外部へ流出する。また、外部のポンプにより循環する液体が、ソケットの第2液体流入流路を介してプラグの第1液体流入流路から液体収納容器の内部へ導かれる。また、液体収納容器に収容される液体の減少分を置換する量の外気が、ソケットの第2気体流路およびプラグの第1気体流路を介して、液体収納容器の外部空間から内部空間へ導かれる。 According to the connector of one aspect of the present invention, for example, when the socket is attached to the plug, the liquid taken out from the first liquid outflow passage of the plug is sucked into the socket by sucking the liquid with an external pump. It flows out through the second liquid outflow channel. Further, the liquid circulated by the external pump is guided from the first liquid inflow channel of the plug to the inside of the liquid storage container via the second liquid inflow channel of the socket. Also, the amount of outside air that replaces the reduced amount of liquid stored in the liquid storage container is transferred from the external space of the liquid storage container to the internal space via the second gas flow path of the socket and the first gas flow path of the plug. Led.
このように、本発明の一態様にかかるコネクタは、液体収納容器に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器への流入と、液体収納容器に収容される液体の減少分に応じた外気の導入とが可能な構造となっている。 As described above, the connector according to one aspect of the present invention includes the outflow of the liquid stored in the liquid storage container to the outside, the inflow of the liquid that has flowed out and circulated to the liquid storage container, and the liquid storage container. It has a structure that allows introduction of outside air according to the amount of liquid that is stored.
また、本発明の一態様にかかるコネクタが備えるソケットは、ボールロック機構により、液体収納容器の開口部の外周面に形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてからこれらを係合溝に固定するため、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付けることができる。 In addition, the socket provided in the connector according to one aspect of the present invention engages the plurality of lock balls after engaging the engagement grooves formed on the outer peripheral surface of the opening of the liquid storage container by the ball lock mechanism. Since it is fixed to the mating groove, it can be securely attached to the plug without the need for complicated work.
本発明の一態様にかかるコネクタにおいて、前記ボールロック機構は、前記複数のロックボールと、前記第1軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記ロックボールの外径よりも小径の複数の開口穴を有する第1円筒状部材と、前記第1軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記第1円筒状部材の外周側に配置され、前記開口穴に収容される前記ロックボールを前記係合溝に係合した状態に規制する規制部を有する第2円筒状部材と、前記第1軸線に沿った一端が前記第1円筒状部材に固定されるとともに前記第1軸線に沿った他端が前記第2円筒状部材に固定され、前記規制部が前記ロックボールに接触する位置に向けて前記第2円筒状部材を付勢する付勢力発生部とを有する構成であってもよい。 In the connector according to an aspect of the present invention, the ball lock mechanism includes the plurality of lock balls and a plurality of opening holes that are formed in a cylindrical shape around the first axis and have a smaller diameter than the outer diameter of the lock ball. A first cylindrical member having a cylindrical shape around the first axis and disposed on an outer peripheral side of the first cylindrical member, and the lock ball received in the opening hole is inserted into the engagement groove A second cylindrical member having a restricting portion for restricting to a state engaged with the first cylindrical member, and one end along the first axis is fixed to the first cylindrical member and the other end along the first axis is It may be configured to include an urging force generator that is fixed to the second cylindrical member and urges the second cylindrical member toward a position where the restricting portion contacts the lock ball.
本構成のコネクタによれば、内周面にプラグが固定された液体収納容器の開口部にソケットを取り付ける際に、作業者は、第2円筒状部材を第1軸線に沿った上方に引き寄せて規制部がロックボールに接触しないように退避させる。そのため、作業者は、ボールロック機構によるロックを解除した状態で、ソケットをプラグに取り付けることができる。
また、作業者は、ソケットをプラグに取り付けた後に第2円筒状部材を離すことにより、煩雑な作業を必要とせずにソケットが開口部の外周面に固定された状態とすることができる。これは、第2円筒状部材を離すことにより第2円筒状部材に付勢力発生部からの付勢力が与えられて規制部がロックボールに接触する位置に移動し、複数のロックボールが係合溝に固定された状態となるからである。
According to the connector of this configuration, when attaching the socket to the opening of the liquid container having the plug fixed to the inner peripheral surface, the operator pulls the second cylindrical member upward along the first axis. The restricting portion is retracted so as not to contact the lock ball. Therefore, the operator can attach the socket to the plug in a state where the lock by the ball lock mechanism is released.
Further, the worker can put the socket in a state of being fixed to the outer peripheral surface of the opening without requiring a complicated operation by separating the second cylindrical member after attaching the socket to the plug. This is because the urging force from the urging force generating portion is applied to the second cylindrical member by separating the second cylindrical member, and the restricting portion moves to a position where it comes into contact with the lock ball, and the plurality of lock balls are engaged. It is because it will be in the state fixed to the groove | channel.
また、本構成のコネクタによれば、作業者は、内周面にプラグが固定された液体収納容器の開口部にソケットを取り付ける際に、第2円筒状部材に触れずにソケットをプラグに押し込むことにより、ロックボールを退避した状態とすることができる。これは、作業者がソケットを押し込む力が付勢力発生部の付勢力に対抗する力となり、ロックボールが退避可能となるように第2円筒状部材が移動するからである。
そして、作業者は、ロックボールが係合溝の位置に到達するまでソケットをプラグに押し込むことにより、付勢力発生部の付勢力によってロックボールが係合溝に固定された状態とする。このように、作業者は、煩雑な作業を必要とせずにソケットが開口部の外周面に固定された状態とすることができる。
Further, according to the connector of this configuration, the operator pushes the socket into the plug without touching the second cylindrical member when attaching the socket to the opening of the liquid container having the plug fixed to the inner peripheral surface. Thus, the lock ball can be retracted. This is because the force by which the operator pushes the socket becomes a force that opposes the urging force of the urging force generating portion, and the second cylindrical member moves so that the lock ball can be retracted.
Then, the operator pushes the socket into the plug until the lock ball reaches the position of the engagement groove, so that the lock ball is fixed to the engagement groove by the urging force of the urging force generating portion. In this way, the operator can make the socket fixed to the outer peripheral surface of the opening without requiring complicated work.
上記構成のコネクタにおいて、前記ボールロック機構は、前記第1円筒状部材に対して前記第2円筒状部材が前記第1軸線回りに回転することを規制する回転規制機構を有するものであってもよい。
このようにすることで、第2円筒状部材が第1円筒状部材に対して第1軸線回りに回転し、付勢力発生部が第2円筒状部材に与える付勢力が変化してしまう不具合等を抑制することができる。
In the connector configured as described above, the ball lock mechanism may include a rotation restricting mechanism that restricts the second cylindrical member from rotating about the first axis with respect to the first cylindrical member. Good.
By doing so, the second cylindrical member rotates around the first axis with respect to the first cylindrical member, and the urging force applied to the second cylindrical member by the urging force generator changes. Can be suppressed.
上記構成のコネクタにおいて、前記ソケット本体には、前記第2液体流出流路および前記第2液体流入流路を貫通するように前記第1軸線と交差する第2軸線に沿って円筒状の挿入穴が形成されており、前記ソケットは、前記第2軸線上の前記第2液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第2軸線上の前記第2液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブと、前記ロータリバルブが前記第2軸線回りに回転した場合に、前記流出用貫通穴と前記第2液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第2液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第2液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第2液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、を有する形態としてもよい。 In the connector configured as described above, a cylindrical insertion hole is formed in the socket body along a second axis that intersects the first axis so as to penetrate the second liquid outflow channel and the second liquid inflow channel. And the socket has an outflow through hole formed at a position where the second liquid outflow channel is disposed on the second axis and the second liquid inflow channel on the second axis. And a cylindrical rotary valve inserted into the insertion hole, and when the rotary valve rotates around the second axis, the outflow An open state in which the through hole communicates with the second liquid outflow channel and the inflow through hole communicates with the second liquid inflow channel; the outflow through hole and the second liquid outflow channel; Do not communicate with each other and the inflow through hole and the second liquid inflow Doo and closing mechanism for switching between the closed state of not communicating may be in the form with.
ソケットに設けた弁体とプラグに設けた弁座の接触または離間により液体の流通状態を切り換える構造の場合、流路断面積が局所的に小さくなる箇所が存在するとともに弁体を閉状態に付勢する付勢機構を備える。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー(固体粒子が分散した懸濁液)である場合には、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が付着し、液体の流通性を悪化させてしまう。また、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して凝固すると、弁体の開閉が円滑に行われなくなる。 In the structure where the flow state of the liquid is switched by contact or separation between the valve body provided in the socket and the valve seat provided in the plug, there is a portion where the cross-sectional area of the flow path is locally reduced and the valve body is attached to the closed state. A biasing mechanism is provided. Therefore, when the liquid is a slurry containing an abrasive or the like (a suspension in which solid particles are dispersed), the solid particles adhere to the portion where the flow path cross-sectional area is locally reduced, and the liquid flowability is deteriorated. I will let you. Further, when solid particles adhere to the urging mechanism of the valve body and solidify, the valve body cannot be opened and closed smoothly.
それに対して、上記形態のコネクタによれば、ロータリバルブを開閉機構により開状態または閉状態に切り替えることにより、流出用貫通穴および流入用貫通穴を介して第2液体流出流路および第2液体流入流路に液体が流通する開状態と、流出用貫通穴および流入用貫通穴を介して第2液体流出流路および第2液体流入流路に液体が流通しない閉状態とを切り替えることができる。
そのため、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が蓄積して液体の流通性を悪化させてしまう不具合を抑制することができる。また、付勢力により弁体を開閉する付勢機構が流路内に存在しないようにすることができるため、付勢機構に固体粒子が蓄積して弁の開閉が円滑に行われなくなる不具合を抑制することができる。
On the other hand, according to the connector of the above aspect, the second liquid outflow passage and the second liquid are switched via the outflow through hole and the inflow through hole by switching the rotary valve to the open state or the closed state by the opening / closing mechanism. It is possible to switch between an open state in which liquid flows through the inflow channel and a closed state in which liquid does not flow through the second liquid outflow channel and the second liquid inflow channel via the outflow through hole and the inflow through hole. .
Therefore, it is possible to suppress a problem that solid particles accumulate in a portion where the flow path cross-sectional area is locally reduced to deteriorate the liquid flowability. In addition, since the biasing mechanism that opens and closes the valve body by the biasing force can be prevented from existing in the flow path, solid particles accumulate in the biasing mechanism and the valve cannot be smoothly opened and closed. can do.
上記形態のコネクタにおいて、前記開閉機構は、前記開状態において、前記第2円筒状部材が前記第1軸線に沿って上方に移動することを規制するロック部材を有するものであってもよい。
第2円筒状部材は付勢力発生部により規制部がロックボールに接触する位置に向けてされているため、ソケットはボールロック機構により開口部の外周面に固定された状態となっている。しかしながら、誤操作等により第2円筒状部材が上方に向けて引き上げられてしまうと、ソケットが開口部の外周面から外れてしまう可能性がある。ロータリバルブが開状態でソケットが開口部の外周面から外れてしまうと、液体が外部へ流出してしまうおそれがある。
そこで、本コネクタにおいては、ロータリバルブの開状態において第2円筒部材が上方に移動することが規制されるため、規制部がロックボールから離間してソケットが開口部の外周面から外れてしまうことがない。これにより、誤操作等による液体の外部への流出を確実に防止することができる。
In the connector according to the above aspect, the opening / closing mechanism may include a lock member that restricts the second cylindrical member from moving upward along the first axis in the open state.
Since the second cylindrical member is directed to the position where the restricting portion comes into contact with the lock ball by the biasing force generating portion, the socket is fixed to the outer peripheral surface of the opening by the ball lock mechanism. However, if the second cylindrical member is pulled upward due to an erroneous operation or the like, the socket may come off from the outer peripheral surface of the opening. If the socket is detached from the outer peripheral surface of the opening while the rotary valve is open, the liquid may flow out to the outside.
Therefore, in this connector, since the second cylindrical member is restricted from moving upward in the open state of the rotary valve, the restriction portion is separated from the lock ball and the socket is detached from the outer peripheral surface of the opening portion. There is no. Thereby, the outflow of the liquid to the exterior by erroneous operation etc. can be prevented reliably.
本発明の一態様にかかるコネクタにおいて、前記プラグは、前記プラグ本体の下方に取り付けられるとともに前記液体収納容器に収容される液体を前記第1液体流出流路へ導く円筒状の内側管と、前記プラグ本体に取り付けられるとともに前記内側管の外側に配置され、前記第1液体流入流路へ導かれた液体を前記液体収納容器の内部へ導く環状流路を形成する円筒状の外側管と、前記内側管の第1下端部よりも上方に配置される前記外側管の第2下端部の内周面と前記内側管の外周面との間を封止する封止部材と、を有し、前記外側管の前記第2下端部には、前記環状流路から前記液体収納容器の内部へ液体を流出させる流出孔が形成されている構成であってもよい。 In the connector according to one aspect of the present invention, the plug is attached below the plug main body and has a cylindrical inner pipe that guides the liquid stored in the liquid storage container to the first liquid outflow channel, A cylindrical outer tube that is attached to the plug body and disposed outside the inner tube, and forms an annular channel that guides the liquid guided to the first liquid inflow channel to the inside of the liquid storage container; A sealing member that seals between the inner peripheral surface of the second lower end portion of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube disposed above the first lower end portion of the inner tube, The second lower end portion of the outer tube may be configured with an outflow hole through which liquid flows out from the annular flow path into the liquid storage container.
本構成のコネクタによれば、プラグ本体の内部に形成される第1液体流入流路へ導かれた液体が、内側管と外側管の間に形成される環状流路に導かれ、外側管の第2下端部に形成された流出孔から液体収納容器の内部へ流出する。外側管の第2下端部の流出孔から液体が流出するため、流出孔が開口する方向に液体が流出し、液体収納容器の底面付近の液体が良好に流動する。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー(固体粒子が分散した懸濁液)である場合には、液体収納容器の底面付近において固体粒子と液体とが良好に混合した状態が維持される。 According to the connector of this configuration, the liquid guided to the first liquid inflow channel formed inside the plug body is guided to the annular channel formed between the inner tube and the outer tube, and the outer tube The liquid flows out from the outflow hole formed in the second lower end into the liquid storage container. Since the liquid flows out from the outflow hole at the second lower end portion of the outer tube, the liquid flows out in the direction in which the outflow hole opens, and the liquid near the bottom surface of the liquid storage container flows well. Therefore, when the liquid is a slurry containing a polishing material or the like (a suspension in which solid particles are dispersed), a state in which the solid particles and the liquid are well mixed in the vicinity of the bottom surface of the liquid storage container is maintained.
本発明の一態様にかかるソケットは、軸線回りに円筒形状に形成された開口部が上面に設けられた液体収納容器に取り付けられ、前記開口部の内周面に固定されるプラグから取り出される液体を外部へ流出させる液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記プラグへ導く液体流入流路と、前記液体収納容器の内部空間と前記液体収納容器の外部空間との間で外気を流通させる気体流路とが内部に形成されたソケット本体と、前記開口部の外周面に前記軸線回りの周方向に沿って形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてから該複数のロックボールを前記係合溝に固定するボールロック機構と、を備える。 A socket according to an aspect of the present invention is a liquid that is attached to a liquid storage container having an opening formed in a cylindrical shape around an axis and provided on an upper surface, and is taken out from a plug fixed to the inner peripheral surface of the opening. A liquid outflow passage for allowing the liquid to flow out to the outside, a liquid inflow passage for guiding the liquid flowing in from the outside of the liquid storage container to the plug, and an internal space of the liquid storage container and an external space of the liquid storage container A socket body having a gas flow path through which outside air is circulated, and a plurality of lock balls engaged with engagement grooves formed along the circumferential direction around the axis on the outer peripheral surface of the opening. And a ball lock mechanism for fixing the plurality of lock balls to the engagement groove.
本発明の一態様にかかるソケットによれば、プラグに取り付けられた状態で外部のポンプにより液体を吸入することにより、プラグから取り出される液体が液体流通流路を介して外部へ流出する。また、外部のポンプにより循環する液体が、液体流入流路を介してプラグから液体収納容器の内部へ導かれる。また、液体収納容器に収容される液体の減少分を置換する量の外気が、気体流路およびプラグを介して、液体収納容器の外部空間から内部空間へ導かれる。 According to the socket according to one aspect of the present invention, the liquid taken out from the plug flows out to the outside through the liquid circulation channel by sucking the liquid with the external pump while being attached to the plug. Further, the liquid circulated by the external pump is guided from the plug to the inside of the liquid storage container via the liquid inflow channel. Also, an amount of outside air that replaces the reduced amount of liquid stored in the liquid storage container is guided from the external space of the liquid storage container to the internal space via the gas flow path and the plug.
このように、本発明の一態様にかかるソケットは、液体収納容器に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器への流入と、液体収納容器に収容される液体の減少分に応じた外気の導入とが可能な構造となっている。
また、本発明の一態様にかかるソケットは、ボールロック機構により、液体収納容器の開口部の外周面に形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてからこれらを係合溝に固定するため、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付けることができる。
As described above, the socket according to one embodiment of the present invention includes the outflow of the liquid stored in the liquid storage container to the outside, the inflow of the liquid that has flowed out and circulated to the liquid storage container, and the liquid storage container. It has a structure that allows introduction of outside air according to the amount of liquid that is stored.
Further, the socket according to one aspect of the present invention is configured such that a plurality of lock balls are engaged with the engagement grooves formed on the outer peripheral surface of the opening of the liquid storage container by the ball lock mechanism, and then these are used as the engagement grooves. Since it is fixed, it can be securely attached to the plug without requiring complicated work.
本発明の一態様にかかる液体収納容器は、液体を収容する容器本体と、前記容器本体の上面に設けられ軸線回りに円筒形状に形成された開口部と、を備え、前記開口部の内周面に固定されるプラグと前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットとを有するコネクタを取り付け可能であり、前記開口部の外周面に、前記ソケットが備えるボールロック機構が有する複数のロックボールを係合させるための係合溝が前記軸線回りの周方向に沿って形成されている。
このようにすることで、ボールロック機構を備えるソケットを適切に係合させることが可能な液体収納容器を提供することができる。
A liquid storage container according to an aspect of the present invention includes a container main body that stores a liquid, and an opening that is provided on an upper surface of the container main body and is formed in a cylindrical shape around an axis, and the inner periphery of the opening A connector having a plug fixed to a surface and a socket removably attached to the plug can be attached, and a plurality of lock balls included in a ball lock mechanism provided in the socket are engaged with an outer peripheral surface of the opening. Engaging grooves are formed along the circumferential direction around the axis.
By doing in this way, the liquid storage container which can engage appropriately the socket provided with a ball lock mechanism can be provided.
本発明によれば、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットを備えたコネクタを提供することができる。また、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットを提供することができる。また、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグに取り付け可能なソケットに適用される液体収納容器を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the connector provided with the socket which can be reliably attached to a plug, without requiring complicated work can be provided. Further, it is possible to provide a socket that can be securely attached to a plug without requiring complicated work. Further, it is possible to provide a liquid storage container that is applied to a socket that can be securely attached to a plug without requiring a complicated operation.
以下、本発明の一実施形態の液体供給システムについて図面を参照して説明する。
図1に示す本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器400に収容される液体をポンプ600により吸引して複数の供給先装置700へ供給するシステムである。
各供給先装置700への液体の供給量は、供給先装置700に設けられた流量調整弁により調整される。ポンプ600により吸引された液体のうち、供給先装置700に供給されなかった残りの分は、循環量調整弁800を経由して再び液体収納容器400に戻される。
Hereinafter, a liquid supply system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The liquid supply system of the present embodiment shown in FIG. 1 is a system that sucks the liquid stored in the
The amount of liquid supplied to each
このように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器400から取り出された液体の一部を供給先装置700へ供給し、残りの液体を再び液体収納容器400に戻して循環させるようになっている。これは、液体収納容器400に収容される液体が、固体粒子が分散した懸濁液であるスラリーであるため、固体粒子が液体収納容器400の底部に沈殿しないようにするためである。
なお、液体供給システムが循環させる液体の流量は、循環量調整弁800の開度により調整される。
As described above, the liquid supply system according to the present embodiment supplies a part of the liquid taken out from the
The flow rate of the liquid circulated by the liquid supply system is adjusted by the opening degree of the circulation
ここで、本実施形態における液体として用いられるスラリーとは、例えば、半導体製造におけるウエハ研磨方法であるケミカル・メカニカル・ポリッシングに用いられるシリカ系あるいはセリア系の研磨材を含む液体である。
図1に示すように、本実施形態の液体供給システムが備える液体収納容器400は、液体を収容する容器本体420と、容器本体420の上面に設けられ軸線X1(第1軸線)回りに円筒形状に形成された開口部410とを備える。
Here, the slurry used as the liquid in the present embodiment is a liquid containing a silica-based or ceria-based abrasive used for chemical mechanical polishing which is a wafer polishing method in semiconductor manufacturing, for example.
As shown in FIG. 1, a
図1に示すように、本実施形態の液体供給システムは、液体収納容器400の開口部410に取り付けられるコネクタ300を備えている。コネクタ300は、液体収納容器400に収容される液体を取り出してポンプ600まで送る液体流出流路と、循環量調整弁800を経由した液体を液体収納容器400へ戻す液体流入流路と、液体収納容器400から減少した液体量に応じた外気を導入する気体流路とを備えた装置である。本実施形態のコネクタ300は、液体の流出と、液体の流入と、減少した液体量に応じた外気の置換とを、1箇所の開口部410に取り付けた1つの装置で実現するものである。
As shown in FIG. 1, the liquid supply system of this embodiment includes a
以下、本実施形態のコネクタ300について、図面を参照して説明する。
図2および図3に示すように、本実施形態のコネクタ300は、液体収納容器400の上面に設けられた開口部410の内周面に形成された雌ねじ411aに固定されるプラグ200と、プラグ200に着脱可能に取り付けられるソケット100とを備える。
図2はソケット100がプラグ200から離間した状態を示し、図3はソケット100がプラグ200に装着された状態を示す。
Hereinafter, the
As shown in FIGS. 2 and 3, the
FIG. 2 shows a state in which the
以下、本実施形態のコネクタ300が備えるプラグ200について説明する。
図2に示すように、プラグ200は、プラグ本体210と、プラグ本体210の下方に取り付けられるとともに軸線X1回りに円筒状に形成される内側管220と、プラグ本体210に取り付けられる円筒状の外側管230と、外側管230と内側管220の間を封止する封止部材240とを有する。
プラグ200を構成する各部材は、PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)等のフッ素樹脂材料あるいはHDPE(高密度ポリエチレン)等の結晶性の熱可塑性樹脂により形成されている。
Hereinafter, the
As shown in FIG. 2, the
Each member constituting the
プラグ本体210は、軸線X1回りに略円筒状に形成されるとともに上端部の外周面に雄ねじ210aが形成された部材である。プラグ本体210の雄ねじ210aを開口部410の内周面に形成される雌ねじ411aに締結することにより、プラグ本体210が開口部410の内周面に固定される。
The
また、プラグ本体210の内部には、第1液体流出流路211と、第1液体流入流路212と、第1気体流路213とが形成されている。
第1液体流出流路211は、液体収納容器400に収納された液体を取り出して流出ポート10へ導く流路である。第1液体流入流路212は、液体収納容器400の外部から流入ポート20を介して流入する液体を液体収納容器400の内部へ導く流路である。第1気体流路213は、液体収納容器400の内部空間S1と液体収納容器400の外部空間S2との間で外気を流通させる流路である。
A first
The first
内側管220は、軸線X1に沿って円筒状に形成される部材である。図1に示すように、プラグ200が液体収納容器400の開口部410に取り付けられた状態で、内側管220の下端部(第1下端部)220aは、液体収納容器400の底部近傍に配置される。
内側管220は、プラグ本体210の下端に熱溶着により取り付けられるとともに液体収納容器400に収容される液体をプラグ本体210の第1液体流出流路211へ導く。
The
The
外側管230は、軸線X1に沿って円筒状に形成される部材である。図1および図2に示すように、プラグ200が液体収納容器400の開口部410に取り付けられた状態で、外側管230の下端部(第2下端部)230aは、内側管220の下端部220aの上方に配置される。
外側管230は、プラグ本体210の下方の外周面に圧入により取り付けられるとともに内側管220の外側に配置される。外側管230の内周面は、内側管220の外周面との間に、プラグ本体210の第1液体流入流路212へ導かれた液体を液体収納容器400の内部へ導く環状流路214を形成する。
外側管230の下端部230aには、軸線X回りの複数箇所(例えば、90°間隔で4箇所)に、環状流路214から液体収納容器400の内部へ液体を流出させる複数の流出孔231が形成されている。
The
The
The
封止部材240は、外側管230の下端部230aの内周面と内側管220の外周面との間を封止する部材である。封止部材240は、環状流路214から流入する液体が軸線X1に沿ってそのまま液体収納容器400の底面へ導かれることを防止する。環状流路214の下端が封止部材240により封止されているため、環状流路214の下端に到達した液体は、図2に矢印で示すように、流出孔231を介して液体収納容器400の内部へ流出する。
The sealing
環状流路214を沿って上方から下方へ向けて落下する液体が複数の流出孔231から水平方向(軸線X1に直交する方向)に流出するため、複数の流出孔231が開口する複数の方向に液体が流出し、液体収納容器400の底面付近の液体が良好に流動する。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー(固体粒子が分散した懸濁液)である場合には、液体収納容器400の底面付近において固体粒子と液体とが良好に混合した状態が維持される。
以上の説明においては、外側管230の下端部230aに複数の流出孔231が形成されるものとしたが、外側管230の下端部230aに単一の流出孔231を形成するようにしてもよい。
Since the liquid falling from the upper side to the lower side along the
In the above description, a plurality of
以下、本実施形態のコネクタ300が備えるソケット100について説明する。
図2に示すように、ソケット100は、ソケット本体110と、ソケット本体110に取り付けられるボールロック機構120と、ソケット本体110に形成された円筒状の挿入穴114に挿入される円柱状のロータリバルブ130と、ロータリバルブ130を軸線X2(第2軸線)回りに回転させる開閉機構140とを有する。
Hereinafter, the
As shown in FIG. 2, the
ソケット本体110は、軸線X1回りに略円筒状に形成される部材であり、上端に流出ポート10および流入ポート20が取り付けられる第1本体部110aと、下端にプラグ200が挿入される第2本体部110bとを有する。また、ソケット本体110は、後述する図10および図11に示すように、連通部材110cと、板状部材110dと、板状部材110eとを有する。
第2本体部110bは、第1本体部110aの下端に挿入された状態で、後述するボールロック機構120のソケット部材122により固定される。
The socket
The second
ソケット本体110の内部には、第2液体流出流路111と、第2液体流入流路112と、第2気体流路113とが形成されている。
第2液体流出流路111は、流出ポート10を介して第1液体流出流路211から取り出される液体を外部へ流出させる流路である。第2液体流入流路112は、液体収納容器400の外部から流入ポート20を介して流入する液体を第1液体流入流路212へ導く流路である。第2気体流路113は、第1気体流路213に連結されるとともに液体収納容器400の内部空間S1と液体収納容器400の外部空間S2との間で通気ポート30を介して外気を流通させる流路である。
Inside the
The second
ボールロック機構120は、液体収納容器400の開口部410の外周面に軸線X回りの周方向に沿って形成された係合溝411に複数のロックボール121を係合させてから複数のロックボール121を係合溝411に固定する機構である。ボールロック機構120を用いてソケット本体110を液体収納容器400の開口部410に固定することにより、ソケット100とプラグ200とが装着された状態に固定される。
The
ボールロック機構120は、図2に示すように、複数のロックボール121と、ソケット部材(第1円筒状部材)122と、スリーブ(第2円筒状部材)123と、スプリング(付勢力発生部)124と、回転規制ピン(回転規制機構)125と、ストップリング126と、スプリング受け部材127とを有する。
As shown in FIG. 2, the
ソケット部材122は、軸線X1回りに円筒状に形成されるとともに球状のロックボール121の外径よりも小径の複数の開口穴122aを有する部材である。図2および図3に示すように、複数のロックボール121は、ソケット部材122の複数の開口穴122aに収容される。ただし、開口穴122aの径よりもロックボール121の外径が大きいため、ロックボール121が開口穴122aからソケット部材122の内周側へ完全に抜けることはない。
ソケット部材122は、内周面に形成された雌ねじ122bをソケット本体110の第1本体部110aの外周面に形成された雄ねじに締結することにより、ソケット本体110に固定される。
The
The
スリーブ123は、軸線X1回りに円筒状に形成されるとともにソケット部材122の外周側に配置される部材である。スリーブ123は、ソケット部材122により上端位置が規制され、ソケット部材122の下端側の外周面に取り付けられた環状のストップリング126により下端位置が規制される。スリーブ123は、軸線X1に沿って上端位置と下端位置との間でソケット部材122に対して相対的に移動可能となっている。
スリーブ123は、開口穴122aに収容される複数のロックボール121を開口部410の係合溝411に係合した状態に規制する規制部123aを有する。
The
The
スプリング124は、軸線X1に沿った上端(一端)がソケット部材122に固定されるとともに軸線X1に沿った下端(他端)がスプリング受け部材127を介してスリーブ123に固定される弾性部材である。スプリング124は、弾性変形による付勢力を発生し、スリーブ123の規制部123aがロックボール121に接触する下端位置に向けてスリーブ123を付勢する。スプリング124は、軸線X1回りの周方向に均等の間隔で複数箇所(例えば、60°間隔の6箇所)に配置される。スプリング124を均等の間隔で複数箇所に配置することにより、スリーブ123に均等な付勢力が与えられる。
The
ここで、スプリング受け部材127は、軸線X1回りに環状に形成される部材であり、スプリング124を収容するための開口穴が複数箇所に形成された部材である。
ここでは、スプリング124を軸線X1回りの周方向に均等の間隔で複数箇所に設けるものとしたが、軸線X1を中心としスプリング受け部材127と同径の単一のスプリングを設けるようにしても良い。
Here, the
Here, the
回転規制ピン125は、ソケット部材122に対してスリーブ123が軸線X1回りに回転することを規制する部材である。回転規制ピン125は、一端がソケット部材122の外周面に固定され、他端がスリーブ123の内周面に軸線X1に沿って形成された回転規制溝(回転規制機構)123bに挿入される。回転規制ピン125と回転規制溝123bとにより構成される回転規制機構は、ソケット部材122に対してスリーブ123が軸線X1回りに回転することを規制しつつ、ソケット部材122に対してスリーブ123が軸線X1に沿って移動することを許容する。
The
ここで、ボールロック機構120を用いてソケット100を液体収納容器400の開口部410に固定する動作について説明する。
図4に示すように、液体収納容器400の開口部410にソケット100を取り付ける際に、作業者は、外側に配置されるスリーブ123を軸線X1に沿った上方に引き寄せてスリーブ123の規制部123aがロックボール121に接触しないように退避させる。この場合、ロックボール121は開口穴122aから突出しない実線の位置に配置される。作業者は、スリーブ123を軸線X1に沿った上方に引き寄せた状態でソケット100をプラグ200および開口部410へ挿入することにより、図4に示す状態とする。
Here, an operation of fixing the
As shown in FIG. 4, when attaching the
図4に示すように、開口部410の先端部412は、上方から下方に向けて軸線X1を中心とした外径が一定の勾配で大きくなるテーパ形状となっている。そのため、ソケット100を開口部410に取り付ける際にロックボール121が開口穴122aから内側に突出している場合であっても、ロックボール121がテーパ形状の開口部410の先端部412に沿って外側に案内される。よって、ロックボール121と開口部410の先端部412との接触によりソケット100の開口部410への取り付けに不具合が生じることが抑制される。
As shown in FIG. 4, the
作業者は、ソケット100をプラグ200に挿入して図4に示す状態とした後にスリーブ123から手を離すことにより、ロックボール121が開口部410の係合溝411に係合し、ソケット100が開口部410の外周面に固定された状態とすることができる。これは、スリーブ123を離すことによりスリーブ123にスプリング124から下向きの付勢力が与えられ、スリーブ123がストップリング126に突き当てられる下端位置に移動するからである。
図5に示すように、スリーブ123が下端位置に移動することにより、規制部123aがロックボール121に接触する位置に移動し、複数のロックボール121が係合溝411に固定された状態となる。
When the operator inserts the
As shown in FIG. 5, when the
次に、ボールロック機構120を用いてソケット100を液体収納容器400の開口部410に固定する動作の他の態様について説明する。この態様は、作業者がスリーブ123に触れずにソケット100をプラグ200に押し込むことにより、ソケット100をワンタッチでプラグ200に取り付けるものである。
Next, another aspect of the operation of fixing the
作業者は、内周面にプラグ200が固定された液体収納容器400の開口部410にソケット100を取り付ける際に、スリーブ123に触れずにソケット100をプラグ200に押し込むことにより、ロックボール121を退避した状態とすることができる。これは、作業者がソケット100を押し込む力がスプリング124の付勢力に対抗する力となり、ロックボールが退避可能となるようにスリーブ123とそれに接触するスプリング受け部材127が移動するからである。
When attaching the
そして、作業者は、ロックボール121が係合溝411の位置に到達するまでソケット100をプラグ200に押し込むことにより、スプリング124の付勢力によってロックボール121が係合溝411に固定された状態とする。このように、作業者は、煩雑な作業を必要とせずにソケット100が開口部410の外周面に固定された状態とすることができる。
Then, the operator pushes the
図6(図3に示すソケットのA−A矢視断面図)に示すように、複数のロックボール121が係合溝411に固定された状態においては、複数のロックボール121が開口穴122aから内側に突出した状態となる。複数のロックボール121の開口穴122aから内側に突出した部分が、係合溝411に係合する部分となる。
As shown in FIG. 6 (AA arrow cross-sectional view of the socket shown in FIG. 3), in a state where the plurality of
開閉機構140は、後述するロータリバルブ130に連結される機構であり、ロータリバルブを軸線X2回りに回転させることにより、ロータリバルブ130を開状態または閉状態のいずれかの状態に切り替える機構である。
ここで、ロータリバルブ130の開状態とは、図3に示すように、ロータリバルブ130に形成される流出用貫通穴131とソケット本体110の第2液体流出流路111とが連通し、かつロータリバルブ130に形成された流入用貫通穴132とソケット本体110の第2液体流入流路112とが連通した状態をいう。
また、ロータリバルブ130の閉状態とは、図2に示すように、ロータリバルブ130に形成される流出用貫通穴131とソケット本体110の第2液体流出流路111とが連通せず、かつロータリバルブ130に形成された流入用貫通穴132とソケット本体110の第2液体流入流路112とが連通しない状態をいう。
The opening /
Here, the open state of the
Further, the closed state of the
開閉機構140は、ロータリバルブ130の両端部に連結される一対のロックカム(ロック部材)141と、一対のロックカム141を連結するとともに作業者による開閉動作を受け付ける開閉アーム142とを有する。
作業者は、プラグ200を開口部410の内周面に固定し、ソケット100を開口部410の外周面に取り付けた後、図7に示す開閉アーム142の先端部を把持して軸線X2回りに時計回り(図7中に矢印で示す方向)に回転させる。これにより、ロータリバルブ130は、図7に示す閉状態から図8に示す開状態に切り替わる。
一方、作業者は、図8に示す開閉アーム142の先端部を把持して軸線X2回りに反時計回り(図8中に矢印で示す方向)に回転させる。これにより、ロータリバルブ130は、図8に示す開状態から図7に示す閉状態に切り替わる。
The opening /
After fixing the
On the other hand, the operator holds the tip of the opening /
作業者は、開閉アーム142を、図7に示す状態から図8に示す状態へ切り替えることにより、ロックカム141がスリーブ123の上面123cに接触しないロック解除状態を、ロックカム141がスリーブ123の上面123cに接触するロック状態へ切り替える。
なお、ロック状態においては、必ずしもロックカム141がスリーブ123の上面123cに接触している必要はない。ロック状態は、ロックカム141の下端がスリーブ123の上面123cに近接した位置に配置され、スリーブ123の上方への移動が規制される状態を含む。
The operator switches the open /
In the locked state, the
作業者は、ロック状態においては、スリーブ123を上方へ引き寄せてボールロック機構120が開口部410に固定された状態を解除することができない。これは、スリーブ123の上面123cがロックカム141に接触しており、スリーブ123が軸線X1に沿って上方へ移動することが規制されるからである。
このように、本実施形態のソケット100は、ロータリバルブ130が開状態となっている場合には、スリーブ123が軸線X1に沿って上方へ移動することが規制されるため、誤操作等による液体の外部への流出を確実に防止することができる。
In the locked state, the operator cannot release the state in which the
As described above, in the
ロータリバルブ130は、図3に示すように、軸線X1に直交する軸線X2上に沿って円柱状に形成される部材である。ロータリバルブ130は、軸線X2上の第2液体流出流路111が配置される位置に形成される流出用貫通穴131と、軸線X2上の第2液体流入流路112が配置される位置に形成される流入用貫通穴132とを有する。
As shown in FIG. 3, the
ロータリバルブ130は、軸線X2回りに回転可能な状態で、ソケット本体110に形成される挿入穴114に挿入されている。挿入穴114は、第2液体流出流路111を貫通するように軸線X2に沿って形成されている。第2液体流出流路111は、挿入穴114により、上流側流出流路111bと下流側流出流路111aとに分断されている。また、挿入穴114は、第2液体流入流路112を貫通するように軸線X2に沿って形成されている。第2液体流入流路112は、挿入穴114により、上流側流入流路112aと下流側流入流路112bとに分断されている。
The
ここで、ロータリバルブ130を閉状態とした場合のソケット100の各流路の流通状態について説明する。
図9および図10に示すように、ロータリバルブ130は、一端がロータリバルブ130の外周面に開口するとともに他端が流出用貫通穴131へ開口する排出穴(第1排出穴)133と、一端がロータリバルブ130の外周面に開口するとともに他端が流入用貫通穴132へ開口する排出穴(第2排出穴)134とを有する。
Here, the flow state of each flow path of the
As shown in FIGS. 9 and 10, the
排出穴133は、ロータリバルブ130が開状態から閉状態に切り替えられた場合に、流出用貫通穴131に残留する液体を上流側流出流路111bへ排出するための穴である。同様に、排出穴134は、ロータリバルブ130が開状態から閉状態に切り替えられた場合に、流入用貫通穴132に残留する液体を下流側流入流路112bへ排出するための穴である。
The
図9および図10に示すOリング135は、ロータリバルブ130が閉状態の場合に、下流側流出流路111aから、ロータリバルブ130の外周面と挿入穴114の内周面との間に液体が流入しないように封止するシール部材である。Oリング135は、ロータリバルブ130の外周面に形成された環状溝に圧入されている。
同様に、図9に示すOリング136は、ロータリバルブ130が閉状態の場合に、上流側流入流路112aから、ロータリバルブ130の外周面と挿入穴114の内周面との間に液体が流入しないように封止するシール部材である。Oリング136は、ロータリバルブ130の外周面に形成された環状溝に圧入されている。
9 and 10, when the
Similarly, when the
図10に示すように、第1本体部110aには、連通部材110cが取り付けられている。また、第1本体部110aと連通部材110cを挟み込むように、板状部材110dと板状部材110eが配置されている。第1本体部110aと連通部材110cを締結具(図示略)が貫通した状態で、板状部材110dと板状部材110eとを締結具により締結することにより、第1本体部110aに対して連通部材110cが固定される。板状部材110dと板状部材110eと締結具とは、ステンレス等の金属部材で構成するのが好ましい。
As shown in FIG. 10, a
図10および図11に示すように、連通部材110cは、内部に形成された連通穴115を有する。連通穴115は、ロータリバルブ130が閉状態の場合に、流出用貫通穴131と流入用貫通穴132とを連通させる穴である。連通穴115を設けることにより、ロータリバルブ130が閉状態の場合に、上流側流出流路111bと排出穴133と流出用貫通穴131と流入用貫通穴132と排出穴134と下流側流入流路112bとが連通した状態となる。
As shown in FIGS. 10 and 11, the
次に、ロータリバルブ130を開状態とした場合のソケット100の各流路の流通状態について説明する。
図12および図13に示すように、ロータリバルブ130を開状態とした場合、流出用貫通穴131と上流側流出流路111bと下流側流出流路111aとが連通し、かつ流入用貫通穴132と上流側流入流路112aと下流側流入流路112bとが連通した状態となる。
図12および図13に示すように、ロータリバルブ130を開状態とした場合、流出用貫通穴131と連通穴115が連通しない状態となる。同様に、ロータリバルブ130を開状態とした場合、流入用貫通穴132と連通穴115が連通しない状態となる。
Next, the flow state of each flow path of the
As shown in FIGS. 12 and 13, when the
As shown in FIGS. 12 and 13, when the
次に、図14を用いて本実施形態のソケット100を洗浄するソケット洗浄装置500について説明する。
ソケット洗浄装置500は、ロータリバルブ130を閉状態としたソケット100の内部に残留する液体を洗浄する装置である。ソケット洗浄装置500は、本体部510と、流入ポート520と、流出ポート530とを有する。
Next, a
The
本体部510は、ソケット100が取り付けられる開口部511と、ソケット100が取り付けられた状態で第2液体流出流路111と連通する流入流路512と、ソケット100が取り付けられた状態で第2液体流入流路112と連通する流出流路513とを有する。
開口部511の外周面には係合溝が形成されており、ソケット100のボールロック機構120が固定可能となっている。
The
An engagement groove is formed on the outer peripheral surface of the opening 511 so that the
ソケット100をソケット洗浄装置500の開口部511に取り付け、ロータリバルブ130を閉状態とすると、図9に示すように、連通穴115を介して第2液体流出流路111と第2液体流入流路112とが連通した状態となる。ロータリバルブ130を閉状態としたままでポンプ900により供給源から洗浄用の液体(例えば、純水)を流入ポート520へ供給すると、流入流路512から第2液体流出流路111へ液体が流入する。第2液体流出流路111へ流入した液体は、連通穴115を介して第2液体流入流路112へ流入し、流出流路513へ導かれる。流出流路513へ導かれた液体は流出ポート530から流出して再び供給源へ戻される。
When the
ソケット洗浄装置500は、以上のようにしてソケット100の内部に洗浄液を循環させることにより、ソケット100の上流側流出流路111b,排出穴133,流出用貫通穴131,流入用貫通穴132,排出穴134,下流側流入流路112b,連通穴115を洗浄することができる。
The
以上説明した本実施形態のコネクタ300が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態のコネクタ300によれば、ソケット100がプラグ200に取り付けられた状態で、ポンプ600により液体を吸入することにより、プラグ200の第1液体流出流路211から取り出される液体がソケット100の第2液体流出流路111を介して外部へ流出する。また、ポンプ600により循環する液体が、ソケット100の第2液体流入流路112を介してプラグ200の第1液体流入流路212から液体収納容器400の内部へ導かれる。また、液体収納容器に収容される液体の減少分を置換する量の外気が、ソケット100の第2気体流路113およびプラグ200の第1気体流路213を介して、液体収納容器400の外部空間S2から内部空間S1へ導かれる。
The operation and effects of the
According to the
このように、本実施形態のコネクタ300は、液体収納容器400に収容される液体の外部への流出と、外部へ流出して循環した液体の液体収納容器400への流入と、液体収納容器400に収容される液体の減少分に応じた外気の導入とが可能な構造となっている。
As described above, the
また、本実施形態のコネクタ300が備えるソケット100は、ボールロック機構120により、液体収納容器400の開口部410の外周面に形成された係合溝411に複数のロックボール121を係合させてからこれらを係合溝411に固定するため、煩雑な作業を必要とせずに確実にプラグ200に取り付けることができる。
In addition, the
本実施形態のコネクタ300によれば、内周面にプラグ200が固定された液体収納容器400の開口部410にソケット100を取り付ける際に、作業者は、スリーブ123を軸線X1に沿った上方に引き寄せて規制部123aがロックボール121に接触しないように退避させる。そのため、作業者は、ボールロック機構120によるロックを解除した状態で、ソケット100をプラグ200に取り付けることができる。また、作業者は、ソケット100をプラグ200に取り付けた後にスリーブ123を離すことにより、煩雑な作業を必要とせずにソケット100が開口部410の外周面に固定された状態とすることができる。これは、スリーブ123を離すことによりスリーブ123にスプリング124からの付勢力が与えられて規制部123aがロックボール121に接触する位置に移動し、複数のロックボール121が係合溝411に固定された状態となるからである。
According to the
また、本実施形態のコネクタ300によれば、作業者は、内周面にプラグ200が固定された液体収納容器400の開口部410にソケット100を取り付ける際に、スリーブ123に触れずにソケット100をプラグ200に押し込むことにより、ロックボール121を退避した状態とすることができる。これは、作業者がソケット100を押し込む力がスプリング124の付勢力に対抗する力となり、ロックボールが退避可能となるようにスリーブ123とそれに接触するスプリング受け部材127が移動するからである。
Further, according to the
そして、作業者は、ロックボール121が係合溝411の位置に到達するまでソケット100をプラグ200に押し込むことにより、スプリング124の付勢力によってロックボール121が係合溝411に固定された状態とする。このように、作業者は、煩雑な作業を必要とせずにソケット100が開口部410の外周面に固定された状態とすることができる。
Then, the operator pushes the
本実施形態のコネクタ300において、ボールロック機構120は、ソケット部材122に対してスリーブ123が軸線X1回りに回転することを規制する回転規制ピン125を有する。
このようにすることで、スリーブ123がソケット部材122に対して軸線X1回りに回転し、スプリング124がスリーブ123に与える付勢力が変化してしまう不具合等を抑制することができる。
In the
By doing so, it is possible to suppress problems such as the
本実施形態のコネクタ300によれば、ロータリバルブ130を開閉機構140により開状態または閉状態に切り替えることにより、流出用貫通穴131および流入用貫通穴132を介して第2液体流出流路111および第2液体流入流路112に液体が流通する開状態と、流出用貫通穴131および流入用貫通穴132を介して第2液体流出流路111および第2液体流入流路112に液体が流通しない閉状態とを切り替えることができる。
そのため、流路断面積が局所的に小さくなる箇所に固体粒子が蓄積して液体の流通性を悪化させてしまう不具合や、弁体の付勢機構に固体粒子が付着して弁の開閉が円滑に行われない不具合を抑制することができる。
According to the
For this reason, solid particles accumulate at locations where the cross-sectional area of the flow path is locally reduced, which deteriorates the fluidity of the liquid, and the solid particles adhere to the urging mechanism of the valve body so that the valve can be opened and closed smoothly. It is possible to suppress problems that are not performed.
本実施形態のコネクタ300において、開閉機構140は、開状態において、スリーブ123が軸線X1に沿って上方に移動することを規制するロックカム141を有する。
このようにすることで、ロータリバルブ130の開状態においてスリーブ123が上方に移動することが規制されるため、規制部123aがロックボール121から離間してソケット100が開口部410の外周面から外れてしまうことがない。これにより、誤操作等による液体の外部への流出を確実に防止することができる。
In the
By doing so, the
本実施形態のコネクタ300によれば、プラグ本体210の内部に形成される第1液体流入流路212へ導かれた液体が、内側管220と外側管230の間に形成される環状流路214に導かれ、外側管230の下端部230aに形成された流出孔231から液体収納容器400の内部へ流出する。外側管230の下端部230aの流出孔231から液体が流出するため、流出孔231が開口する方向に液体が流出し、液体収納容器400の底面付近の液体が良好に流動する。そのため、液体が研磨材等を含むスラリー(固体粒子が分散した懸濁液)である場合には、液体収納容器400の底面付近において固体粒子と液体とが良好に混合した状態が維持される。
According to the
本実施形態の液体収納容器400は、液体を収容する容器本体420と、容器本体420の上面に設けられ軸線X1回りに円筒形状に形成された開口部410と、を備える。また、液体収納容器400は、開口部410の内周面に固定されるプラグ200とプラグ200に着脱可能に取り付けられるソケット100とを有するコネクタ300を取り付け可能である。開口部410の外周面には、ソケット100が備えるボールロック機構120が有する複数のロックボール121を係合させるための係合溝411が軸線X1回りの周方向に沿って形成されている。
このようにすることで、ボールロック機構120を備えるソケット100を適切に係合させることが可能な液体収納容器400を提供することができる。
The
By doing in this way, the
100 ソケット
110 ソケット本体
111 第2液体流出流路
112 第2液体流入流路
113 第2気体流路
114 挿入穴
115 連通穴
120 ボールロック機構
121 ロックボール
122 ソケット部材(第1円筒状部材)
123 スリーブ(第2円筒状部材)
123a 規制部
123b 回転規制溝(回転規制機構)
123c 上面
124 スプリング(付勢力発生部)
125 回転規制ピン(回転規制機構)
126 ストップリング
127 スプリング受け部材
130 ロータリバルブ
131 流出用貫通穴
132 流入用貫通穴
133 排出穴(第1排出穴)
134 排出穴(第2排出穴)
135,136 Oリング
140 開閉機構
141 ロックカム(ロック部材)
142 開閉アーム
200 プラグ
210 プラグ本体
220 内側管
230 外側管
240 封止部材
300 コネクタ
400 液体収納容器
410 開口部
411a 雌ねじ
411 係合溝
412 先端部
420 容器本体
X1 軸線(第1軸線)
X2 軸線(第2軸線)
100
123 Sleeve (second cylindrical member)
123a restricting
125 Rotation restriction pin (rotation restriction mechanism)
126
134 Discharge hole (second discharge hole)
135,136 O-
142 Opening /
X2 axis (second axis)
Claims (8)
前記開口部の内周面に固定されるプラグと、
前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットと、を備え、
前記プラグは、
前記液体収納容器に収容された液体を取り出す第1液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記液体収納容器の内部へ導く第1液体流入流路と、前記液体収納容器の内部空間と前記液体収納容器の外部空間との間で外気を流通させる第1気体流路とが内部に形成されたプラグ本体を有し、
前記ソケットは、
前記第1液体流出流路から取り出される液体を外部へ流出させる第2液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記第1液体流入流路へ導く第2液体流入流路と、前記第1気体流路に連結されるとともに前記液体収納容器の内部空間と前記液体収納容器の外部空間との間で外気を流通させる第2気体流路とが内部に形成されたソケット本体と、
前記ソケット本体に取り付けられるとともに前記開口部の外周面に前記第1軸線回りの周方向に沿って形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてから該複数のロックボールを前記係合溝に固定するボールロック機構と、を有するコネクタ。 A connector that is attached to a liquid storage container provided with an opening formed in a cylindrical shape around a first axis,
A plug fixed to the inner peripheral surface of the opening;
A socket removably attached to the plug,
The plug is
A first liquid outflow path for taking out the liquid stored in the liquid storage container; a first liquid inflow path for guiding liquid flowing in from the outside of the liquid storage container to the inside of the liquid storage container; and the liquid storage container A plug main body formed therein with a first gas flow path for circulating outside air between the internal space and the external space of the liquid storage container,
The socket is
A second liquid outflow passage for letting out the liquid taken out from the first liquid outflow passage, and a second liquid inflow passage for guiding the liquid flowing in from the outside of the liquid storage container to the first liquid inflow passage; And a second main gas flow passage that is connected to the first gas flow path and allows external air to flow between the internal space of the liquid storage container and the external space of the liquid storage container. When,
A plurality of lock balls are engaged with engagement grooves formed along the circumferential direction around the first axis on the outer peripheral surface of the opening and attached to the socket body, and then the plurality of lock balls are engaged with the engagement. A ball lock mechanism that is fixed to the groove.
前記複数のロックボールと、
前記第1軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記ロックボールの外径よりも小径の複数の開口穴を有する第1円筒状部材と、
前記第1軸線回りに円筒形状に形成されるとともに前記第1円筒状部材の外周側に配置され、前記開口穴に収容される前記ロックボールを前記係合溝に係合した状態に規制する規制部を有する第2円筒状部材と、
前記第1軸線に沿った一端が前記第1円筒状部材に固定されるとともに前記第1軸線に沿った他端が前記第2円筒状部材に固定され、前記規制部が前記ロックボールに接触する位置に向けて前記第2円筒状部材を付勢する付勢力発生部とを有する請求項1に記載のコネクタ。 The ball lock mechanism is
The plurality of rock balls;
A first cylindrical member formed in a cylindrical shape around the first axis and having a plurality of opening holes having a diameter smaller than the outer diameter of the lock ball;
A restriction that is formed in a cylindrical shape around the first axis and is disposed on the outer peripheral side of the first cylindrical member and restricts the lock ball received in the opening hole to be engaged with the engagement groove. A second cylindrical member having a portion;
One end along the first axis is fixed to the first cylindrical member, the other end along the first axis is fixed to the second cylindrical member, and the restricting portion contacts the lock ball. The connector according to claim 1, further comprising an urging force generator that urges the second cylindrical member toward a position.
前記第1円筒状部材に対して前記第2円筒状部材が前記第1軸線回りに回転することを規制する回転規制機構を有する請求項2に記載のコネクタ。 The ball lock mechanism is
The connector according to claim 2, further comprising a rotation restricting mechanism that restricts the second cylindrical member from rotating about the first axis with respect to the first cylindrical member.
前記ソケットは、
前記第2軸線上の前記第2液体流出流路が配置される位置に形成される流出用貫通穴と前記第2軸線上の前記第2液体流入流路が配置される位置に形成される流入用貫通穴とを有し、前記挿入穴に挿入される円柱状のロータリバルブと、
前記ロータリバルブが前記第2軸線回りに回転した場合に、前記流出用貫通穴と前記第2液体流出流路とが連通しかつ前記流入用貫通穴と前記第2液体流入流路とが連通した開状態と、前記流出用貫通穴と前記第2液体流出流路とが連通せずかつ前記流入用貫通穴と前記第2液体流入流路とが連通しない閉状態とを切り替える開閉機構と、を有する請求項2または請求項3に記載のコネクタ。 The socket body has a cylindrical insertion hole formed along a second axis intersecting the first axis so as to penetrate the second liquid outflow channel and the second liquid inflow channel,
The socket is
An outflow through hole formed at a position where the second liquid outflow channel on the second axis is disposed and an inflow formed at a position where the second liquid inflow channel is disposed on the second axis. A cylindrical rotary valve that is inserted into the insertion hole,
When the rotary valve rotates about the second axis, the outflow through hole communicates with the second liquid outflow channel, and the inflow through hole communicates with the second liquid inflow channel. An open / close mechanism that switches between an open state and a closed state in which the outflow through hole and the second liquid outflow channel do not communicate with each other, and the inflow through hole and the second liquid inflow channel do not communicate with each other. The connector of Claim 2 or Claim 3 which has.
前記開状態において、前記第2円筒状部材が前記第1軸線に沿って上方に移動することを規制するロック部材を有する請求項4に記載のコネクタ。 The opening and closing mechanism is
The connector according to claim 4, further comprising a lock member that restricts the second cylindrical member from moving upward along the first axis in the open state.
前記プラグ本体の下方に取り付けられるとともに前記液体収納容器に収容される液体を前記第1液体流出流路へ導く円筒状の内側管と、
前記プラグ本体に取り付けられるとともに前記内側管の外側に配置され、前記第1液体流入流路へ導かれた液体を前記液体収納容器の内部へ導く環状流路を形成する円筒状の外側管と、
前記内側管の第1下端部よりも上方に配置される前記外側管の第2下端部の内周面と前記内側管の外周面との間を封止する封止部材と、を有し、
前記外側管の前記第2下端部には、前記環状流路から前記液体収納容器の内部へ液体を流出させる流出孔が形成されている請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のコネクタ。 The plug is
A cylindrical inner tube that is attached below the plug body and guides the liquid stored in the liquid storage container to the first liquid outflow passage;
A cylindrical outer tube that is attached to the plug body and disposed outside the inner tube, and forms an annular channel that guides the liquid guided to the first liquid inflow channel into the liquid storage container;
A sealing member that seals between the inner peripheral surface of the second lower end portion of the outer tube and the outer peripheral surface of the inner tube disposed above the first lower end portion of the inner tube;
The outflow hole through which the liquid flows out from the annular flow path to the inside of the liquid storage container is formed in the second lower end portion of the outer pipe. connector.
前記開口部の内周面に固定されるプラグから取り出される液体を外部へ流出させる液体流出流路と、前記液体収納容器の外部から流入する液体を前記プラグへ導く液体流入流路と、前記液体収納容器の内部空間と前記液体収納容器の外部空間との間で外気を流通させる気体流路とが内部に形成されたソケット本体と、
前記開口部の外周面に前記軸線回りの周方向に沿って形成された係合溝に複数のロックボールを係合させてから該複数のロックボールを前記係合溝に固定するボールロック機構と、を備えるソケット。 A socket attached to a liquid storage container provided with an opening formed in a cylindrical shape around an axis on the upper surface,
A liquid outflow passage for letting out liquid taken out from a plug fixed to the inner peripheral surface of the opening to the outside, a liquid inflow passage for guiding liquid flowing in from the outside of the liquid storage container to the plug, and the liquid A socket body formed therein with a gas flow path for circulating outside air between the internal space of the storage container and the external space of the liquid storage container;
A ball lock mechanism for engaging a plurality of lock balls with engagement grooves formed along the circumferential direction around the axis on the outer peripheral surface of the opening, and then fixing the plurality of lock balls to the engagement grooves; , Comprising a socket.
前記容器本体の上面に設けられ軸線回りに円筒形状に形成された開口部と、を備え、
前記開口部の内周面に固定されるプラグと前記プラグに着脱可能に取り付けられるソケットとを有するコネクタを取り付け可能な液体収納容器であって、
前記開口部の外周面に、前記ソケットが備えるボールロック機構が有する複数のロックボールを係合させるための係合溝が前記軸線回りの周方向に沿って形成されている液体収納容器。 A container body for containing a liquid;
An opening provided in the upper surface of the container body and formed in a cylindrical shape around an axis,
A liquid storage container to which a connector having a plug fixed to the inner peripheral surface of the opening and a socket removably attached to the plug can be attached;
A liquid storage container in which an engagement groove for engaging a plurality of lock balls included in a ball lock mechanism included in the socket is formed on an outer peripheral surface of the opening along a circumferential direction around the axis.
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CN107826432B (en) * | 2017-11-28 | 2023-11-17 | 青岛德隆装备有限公司 | Wine spear lock device |
CN110713162B (en) * | 2019-09-23 | 2021-03-16 | 南京信息工程大学 | Unmanned ship is oiling device independently |
EP4355645A2 (en) * | 2021-06-18 | 2024-04-24 | Maersk A/S | Bunker system |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4437647A (en) * | 1979-12-17 | 1984-03-20 | Foster Manufacturing Company | Quick connect-disconnect coupling for fluid lines |
DE4203785A1 (en) * | 1992-02-10 | 1993-08-12 | Ingbuero Fuer Indplanung | Coupling between fluid conveying pipelines and containers - has externally controlled pneumatic piston acting on hydraulic pressure translation piston |
JP4458644B2 (en) * | 2000-08-21 | 2010-04-28 | サーパス工業株式会社 | Connecting device |
JP3615190B2 (en) * | 2002-02-14 | 2005-01-26 | 日東工器株式会社 | Socket for fittings |
US8561855B2 (en) * | 2005-04-08 | 2013-10-22 | Entegris, Inc. | High-volume fluid dispense system |
US7500581B2 (en) * | 2005-05-25 | 2009-03-10 | International Business Machines Corporation | Liquid refrigerant transfer tool |
JP3914560B1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-05-16 | 東京応化工業株式会社 | Fittings for fluid containers |
JP3914559B1 (en) * | 2006-01-31 | 2007-05-16 | 東京応化工業株式会社 | Fluid container |
JP4914155B2 (en) * | 2006-09-19 | 2012-04-11 | サーパス工業株式会社 | Liquid tank connector |
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JP6001837B2 (en) * | 2011-09-29 | 2016-10-05 | サーパス工業株式会社 | Liquid tank connector, liquid tank connector mounting apparatus, and liquid tank connector mounting method |
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