JP2017108032A - Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same - Google Patents

Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer ceramic capacitor having a sufficient high temperature load life, while thinning a ceramic layer.SOLUTION: A multilayer ceramic capacitor 10 includes a laminate 20 formed by laminating a plurality of ceramic layers 30 containing crystal grains having a perovskite structure and a plurality of first and second internal electrode layers 40a, 40b, and first and second external electrode 50a, 50b formed on the first and second end faces 26a, 26b of the laminate 20. Assuming the content of Ti is 100 parts by mol, 0.10-15.00 parts by mol of Ca, 0.0010-0.0097 parts by mol of Mg, 0.50-4.00 parts by mol of R, 0.10-2.00 parts by mol of M, and 0.50-2.00 parts by mol of Si are contained, and Ca is contained in the crystal grains.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

この発明は、積層セラミックコンデンサおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor and a method for manufacturing the same.

近年、積層セラミックコンデンサに対する小型化および高容量化の要求が高まっている。このような要求に応じるには、セラミック層の薄層化が必要となる。セラミック層の薄層化を講じた積層セラミックコンデンサとして、例えば、特許文献1の低温焼成用の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサがある。   In recent years, there has been an increasing demand for miniaturization and higher capacity for multilayer ceramic capacitors. In order to meet such requirements, it is necessary to make the ceramic layer thinner. As a multilayer ceramic capacitor in which the ceramic layer is thinned, for example, there is a multilayer ceramic capacitor using a dielectric ceramic composition for low-temperature firing disclosed in Patent Document 1.

特許文献1の積層セラミックコンデンサは、誘電体層(本発明の「セラミック層」に相当)と内部電極層が交代に積層されたコンデンサ本体を備え、誘電体層に含まれる誘電体磁器組成物が、主成分として(Ba1-xCaxmTiO3と、副成分としてMgCO3、RE23(RE23はY23、Dy23およびHo23からなる群から1種以上選択される希土類酸化物)、MO(MはBa及びCaのうち一つの元素)、MnO、V25、Cr23および焼結助剤であるSiO2とを含む。上記誘電体磁器組成物の組成式は、a(Ba1-xCaxmTiO3−bMgCO3−cRE23−dMO−eMnO−fSiO2−gV25−hCr23と表現する際、モル比でa=100、0.1≦b≦3.0、0.1≦c≦3.0、0.1≦d≦3.0、0.05≦e≦1.0、0.2≦f≦3.0、0.01≦g≦1.0、0.01≦h≦1.0であり、0.005≦x≦0.15、0.995≦m≦1.03を満足する。 The multilayer ceramic capacitor of Patent Document 1 includes a capacitor body in which a dielectric layer (corresponding to the “ceramic layer” of the present invention) and an internal electrode layer are alternately stacked, and a dielectric ceramic composition contained in the dielectric layer is provided. , (Ba 1-x Ca x ) m TiO 3 as a main component and MgCO 3 , RE 2 O 3 (RE 2 O 3 is Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Ho 2 O 3 as subcomponents) Rare earth oxides selected from one or more), MO (M is one element of Ba and Ca), MnO, V 2 O 5 , Cr 2 O 3 and SiO 2 which is a sintering aid. Composition formula of the dielectric ceramic composition, expressed as a (Ba 1-x Ca x ) m TiO 3 -bMgCO 3 -cRE 2 O 3 -dMO-eMnO-fSiO 2 -gV 2 O 5 -hCr 2 O 3 In this case, the molar ratios are a = 100, 0.1 ≦ b ≦ 3.0, 0.1 ≦ c ≦ 3.0, 0.1 ≦ d ≦ 3.0, 0.05 ≦ e ≦ 1.0, 0.2 ≦ f ≦ 3.0, 0.01 ≦ g ≦ 1.0, 0.01 ≦ h ≦ 1.0, 0.005 ≦ x ≦ 0.15, 0.995 ≦ m ≦ 1. 03 is satisfied.

特開2007−31273号公報JP 2007-31273 A

特許文献1のような積層セラミックコンデンサは、セラミック層においてNi−Mgの偏析相が生成されてしまい、局所的に薄層化することが懸念される。これにより、積層セラミックコンデンサの高温負荷寿命が低下し得るという問題があった。   In the multilayer ceramic capacitor as in Patent Document 1, a Ni—Mg segregation phase is generated in the ceramic layer, and there is a concern that the multilayer ceramic capacitor is locally thinned. As a result, there is a problem that the high temperature load life of the multilayer ceramic capacitor may be reduced.

それゆえに、この発明の主たる目的は、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを提供することである。
この発明の他の目的は、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することである。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor having a sufficient high-temperature load life while reducing the thickness of the ceramic layer.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor having a sufficient high temperature load life while reducing the thickness of the ceramic layer.

この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、セラミック層は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、Tiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、Tiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、セラミックグリーンシートと、セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれることを特徴とする。
好ましくは、セラミックスラリーを得る工程において、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
A multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a multilayer body formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal particles having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and an internal electrode layer and an electric electrode on the surface of the multilayer body. A multilayer ceramic capacitor having a pair of external electrodes formed so as to be connected to each other, wherein the ceramic layer includes a perovskite type compound containing Ba, Ca and Ti, Mg, and R (R is a rare earth element) La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and M (M is Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W) and Si, and when the Ti content is 100 mol parts, Ca is 0.10 mol parts or more. 15.00 mol parts or less, Mg is 0.0010 mol parts or more and 0.0097 mol parts or less, R is 0.50 mol parts or more and 4.00 mol parts or less, and M is 0.10 mol parts or more and 2. 00 mol part or less, Si is contained in an amount of 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less, and Ca is contained in the core part of the crystal grain.
A multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a multilayer body formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal particles having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and an internal electrode layer and an electric electrode on the surface of the multilayer body. A multilayer ceramic capacitor having a pair of external electrodes formed so as to be connected to each other, wherein the laminate includes a perovskite type compound containing Ba, Ca and Ti, Mg, and R (R is a rare earth element) La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and M (M is Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo, and W) and Si, and when the Ti content is 100 mol parts, Ca is 0.10 mol parts or more and 15 00 mol part or less, Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less, R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less, and M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less. Part or less, Si is contained in an amount of 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less, and Ca is contained in the core part of the crystal grain.
A multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a multilayer body formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal particles having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and an internal electrode layer and an electric electrode on the surface of the multilayer body. A multilayer ceramic capacitor having a pair of external electrodes formed so as to be connected to each other, wherein the laminate includes a perovskite type compound containing Ba, Ca and Ti, Mg, and R (R is a rare earth element) La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and M (M is Zr, Mn, Co, Fe, When containing at least one of Cr, Cu, Al, V, Mo and W) and Si, and the content of Ti when the laminate is dissolved with a solvent is 100 mol parts Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less, Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less, R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less, M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less, Si is contained by 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less, and Ca is contained in the core part of the crystal grain.
Preferably, R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb).
Preferably, R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) and R2 (R2 is a rare earth element Ce, Pr, Nd, Eu, At least one of Tm, Lu and Tb), and the value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is 4.0 or more.
The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a powder mainly composed of a perovskite compound containing Ba, Ca and Ti, an Mg compound, and an R compound (where R is a rare earth element La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and a compound of M (M is Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, A step of obtaining a ceramic slurry by mixing at least one of V, Mo and W) and a Si compound, a step of obtaining a ceramic green sheet by sheet-forming the ceramic slurry, a ceramic green sheet, By laminating ceramic green sheets with internal electrode patterns on ceramic green sheets, Forming a raw laminate by cutting the laminate block, and firing the raw laminate to obtain a laminate in which an internal electrode layer containing Ni is formed. When the Ti content in the ceramic slurry is 100 mol parts, Ca is 0.10 mol parts or more and 15.00 mol parts or less, Mg is 0.0010 mol parts or more and 0.0097 mol parts or less, and R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less, M is contained by 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less, and Si is contained by 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less. And
Preferably, in the step of obtaining a ceramic slurry, a Ca compound is further mixed with powder containing a perovskite type compound containing Ba, Ca, and Ti as a main component.
Preferably, R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb).
Preferably, R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) and R2 (R2 is a rare earth element Ce, Pr, Nd, Eu, At least one of Tm, Lu, and Tb), and the value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is 4.0 or more.

この発明に係る積層セラミックコンデンサは、セラミック層のMg含有量が、Tiを100モル部としたとき、0.0010モル部以上0.0097モル部以下であり、従来技術と比較して極端に少ない。これにより、Ni−Mgの偏析相が生成されることを抑制できる。また、Mg含有量を少なくすることにより生じ得る異常粒成長などの悪影響が、セラミック層に含有されるMg以外の元素により抑制される。その結果、この発明に係る積層セラミックコンデンサは、十分な高温負荷寿命を有する。   In the multilayer ceramic capacitor according to the present invention, the Mg content of the ceramic layer is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less when Ti is 100 mol parts, which is extremely small compared to the prior art. . Thereby, it can suppress that the segregation phase of Ni-Mg is produced | generated. In addition, adverse effects such as abnormal grain growth that can be caused by reducing the Mg content are suppressed by elements other than Mg contained in the ceramic layer. As a result, the multilayer ceramic capacitor according to the present invention has a sufficient high temperature load life.

この発明によれば、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを提供し得る。
また、この発明によれば、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを製造し得る。
According to the present invention, it is possible to provide a multilayer ceramic capacitor having a sufficient high-temperature load life while reducing the thickness of the ceramic layer.
In addition, according to the present invention, it is possible to manufacture a multilayer ceramic capacitor having a sufficient high temperature load life while reducing the thickness of the ceramic layer.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。   The above-described object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments for carrying out the invention with reference to the drawings.

この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図である。1 is an external perspective view showing a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す図1のII−II断面図である。It is II-II sectional drawing of FIG. 1 which shows the laminated ceramic capacitor which concerns on one embodiment of this invention. この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサが備えるセラミック層の厚みの計測方法を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the measuring method of the thickness of the ceramic layer with which the multilayer ceramic capacitor which concerns on one embodiment of this invention is provided.

1.積層セラミックコンデンサ
以下、図面を参照してこの発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサについて説明する。図1は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図である。図2は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す図1のII−II断面図である。
1. Multilayer Ceramic Capacitor Hereinafter, a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an external perspective view showing a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1 showing a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.

この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、積層体20と、積層体20の表面に形成された第1の外部電極50aおよび第2の外部電極50b(一対の外部電極)とを備える。   The multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment includes a multilayer body 20, and a first external electrode 50a and a second external electrode 50b (a pair of external electrodes) formed on the surface of the multilayer body 20.

(積層体20)
積層体20は、複数のセラミック層30と、複数の第1の内部電極層40aと、複数の第2の内部電極層40bとが積層されることにより直方体状に形成される。すなわち、積層体20は、積層方向(T方向)において相対する第1の主面22aおよび第2の主面22bと、T方向に直交する幅方向(W方向)において相対する第1の側面24aおよび第2の側面24bと、T方向およびW方向に直交する長さ方向(L方向)において相対する第1の端面26aおよび第2の端面26bとを含む。積層体20は、そのコーナー部および稜部に丸みを形成されることが好ましい。また、積層体20の直方体状は、第1および第2の主面22a、22b、第1および第2の側面24a、24b、並びに第1および第2の端面26a、26bを含む形状であれば特に限定されない。
(Laminated body 20)
The multilayer body 20 is formed in a rectangular parallelepiped shape by laminating a plurality of ceramic layers 30, a plurality of first internal electrode layers 40a, and a plurality of second internal electrode layers 40b. That is, the stacked body 20 includes a first main surface 22a and a second main surface 22b that face each other in the stacking direction (T direction), and a first side surface 24a that faces in the width direction (W direction) orthogonal to the T direction. And a second side surface 24b, and a first end surface 26a and a second end surface 26b that face each other in the length direction (L direction) orthogonal to the T direction and the W direction. The laminate 20 is preferably rounded at the corners and ridges. Further, the rectangular parallelepiped shape of the stacked body 20 is a shape including the first and second main surfaces 22a and 22b, the first and second side surfaces 24a and 24b, and the first and second end surfaces 26a and 26b. There is no particular limitation.

(第1および第2の内部電極層40a、40b)
第1の内部電極層40aは、セラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第1の端面26aに露出する。一方、第2の内部電極層40bは、セラミック層30を介して第1の内部電極層40aと対向するようにセラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第2の端面26bに露出する。したがって、第1および第2の内部電極層40a、40bは、セラミック層30を介して互いに対向する対向部と、第1および第2の端面26a、26bに引き出された引出し部とを有する。第1および第2の内部電極層40a、40bがセラミック層30を介して互いに対向することにより静電容量が発生する。
(First and second internal electrode layers 40a and 40b)
The first internal electrode layer 40 a extends in a flat plate shape at the interface of the ceramic layer 30, and an end portion thereof is exposed at the first end surface 26 a of the multilayer body 20. On the other hand, the second internal electrode layer 40b extends in a flat plate shape at the interface of the ceramic layer 30 so as to face the first internal electrode layer 40a with the ceramic layer 30 interposed therebetween, and the end thereof is the second of the laminate 20. It is exposed at the end face 26b. Therefore, the first and second internal electrode layers 40a and 40b have opposing portions that face each other with the ceramic layer 30 interposed therebetween, and lead portions that are drawn to the first and second end surfaces 26a and 26b. The first and second internal electrode layers 40a and 40b are opposed to each other with the ceramic layer 30 therebetween, thereby generating a capacitance.

(第1および第2の外部電極50a、50b)
第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにのみ形成されてもよい。第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにおいて第1の内部電極層40aと電気的に接続される。一方、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにのみ形成されてもよい。第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにおいて第2の内部電極層40bと電気的に接続される。
(First and second external electrodes 50a and 50b)
The first external electrode 50a is formed on the first end surface 26a of the multilayer body 20, and from there, a part of each of the first and second main surfaces 22a, 22b, and the first and second side surfaces 24a, 24b. It is formed to reach each part. Note that the first external electrode 50 a may be formed only on the first end face 26 a of the stacked body 20. The first external electrode 50a is electrically connected to the first internal electrode layer 40a at the first end face 26a of the multilayer body 20. On the other hand, the second external electrode 50b is formed on the second end face 26b of the multilayer body 20, and from there, a part of each of the first and second main faces 22a, 22b, and the first and second side faces 24a. , 24b is formed so as to reach a part of each. The second external electrode 50b may be formed only on the second end face 26b of the stacked body 20. The second external electrode 50b is electrically connected to the second internal electrode layer 40b at the second end face 26b of the multilayer body 20.

(セラミック層30)
セラミック層30は、第1の内部電極層40aと第2の内部電極層40bとの間に挟まれてT方向に積層される。
(Ceramic layer 30)
The ceramic layer 30 is sandwiched between the first internal electrode layer 40a and the second internal electrode layer 40b and laminated in the T direction.

セラミック層30(または積層体20)は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有する。セラミック層30(または積層体20)の上記した各元素の含有量(モル部)は次の通りである。   The ceramic layer 30 (or the laminate 20) includes a perovskite type compound containing Ba, Ca, and Ti, Mg, and R (R is a rare earth element La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and M (M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W). And Si. The content (molar part) of each element described above in the ceramic layer 30 (or the laminate 20) is as follows.

Tiの含有量を100モル部としたときの各元素の含有量は次の通りである。Caは0.10モル部以上15.00モル部以下である。なお、Caは0.40モル部以上10.00モル部以下であることが好ましく、0.75モル部以上7.50モル部以下であることがより好ましい。Mgは0.0010モル部以上0.0097モル部以下である。なお、Mgは0.0010モル部以上0.0090モル部以下であることが好ましく、0.0010モル部以上0.0075モル部以下であることがより好ましい。Rは0.50モル部以上4.00モル部以下である。なお、Rは0.50モル部以上3.00モル部以下であることが好ましく、0.50モル部以上2.50モル部以下であることがより好ましい。Mは0.10モル部以上2.00モル部以下である。なお、Mは0.10モル部以上1.50モル部以下であることが好ましく、0.10モル部以上1.00モル部以下であることがより好ましい。Siは0.50モル部以上2.00モル部以下である。なお、Siは0.60モル部以上1.90モル部であることが好ましく、0.80モル部以上1.60モル部以下であることがより好ましい。   The content of each element when the Ti content is 100 mol parts is as follows. Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less. In addition, it is preferable that Ca is 0.40 mol part or more and 10.00 mol part or less, and it is more preferable that it is 0.75 mol part or more and 7.50 mol part or less. Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less. In addition, it is preferable that Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0090 mol part or less, and it is more preferable that it is 0.0010 mol part or more and 0.0075 mol part or less. R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less. In addition, it is preferable that R is 0.50 mol part or more and 3.00 mol part or less, and it is more preferable that it is 0.50 mol part or more and 2.50 mol part or less. M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less. M is preferably from 0.10 mol part to 1.50 mol part, more preferably from 0.10 mol part to 1.00 mol part. Si is 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less. Si is preferably 0.60 mol part or more and 1.90 mol part, and more preferably 0.80 mol part or more and 1.60 mol part or less.

なお、上記の各元素の含有量(モル部)は、セラミック層30を形成するためのセラミック原料(誘電体原料配合物)を作製する際に秤量した数値、または積層体20を溶剤により溶解して得た溶液をICP分析することにより得られた数値である。   In addition, content (mol part) of said each element is the numerical value measured when producing the ceramic raw material (dielectric raw material compound) for forming the ceramic layer 30, or melt | dissolves the laminated body 20 with a solvent. It is a numerical value obtained by carrying out ICP analysis of the solution obtained in this way.

また、セラミック層30(または積層体20)の結晶粒子のコア部にはCaが含まれる。   Moreover, Ca is contained in the core part of the crystal grains of the ceramic layer 30 (or the laminate 20).

上記したRは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)であることが好ましい。   R described above is preferably R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb).

或いは、上記したRは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることが好ましい。   Alternatively, R described above is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) and R2 (R2 is a rare earth element Ce, Pr, Nd, Eu). , At least one of Tm, Lu, and Tb), and the value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is preferably 4.0 or more.

(効果)
この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、セラミック層30(または積層体20)のMg含有量が、Tiを100モル部としたとき、0.0010モル部以上0.0097モル部以下であり、従来技術と比較して極端に少ない。これにより、Ni−Mgの偏析相が生成されることを抑制できる。また、Mg含有量を少なくすることにより生じ得る異常粒成長などの悪影響が、セラミック層30(または積層体20)に含有されるMg以外の元素(Ca、R、MおよびSi)により抑制される。その結果、この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、十分な高温負荷寿命を有する。
(effect)
In the multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment, the Mg content of the ceramic layer 30 (or the multilayer body 20) is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less when Ti is 100 mol parts. , Extremely less compared to the prior art. Thereby, it can suppress that the segregation phase of Ni-Mg is produced | generated. In addition, adverse effects such as abnormal grain growth that can be caused by reducing the Mg content are suppressed by elements (Ca, R, M, and Si) other than Mg contained in the ceramic layer 30 (or the laminate 20). . As a result, the multilayer ceramic capacitor 10 according to this embodiment has a sufficient high temperature load life.

また、Rが、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)であること(すなわち、RとしてR1のみを用いること)により、高温負荷寿命がさらに向上し、積層セラミックコンデンサ10の信頼性が向上する。これは、Rとして示した希土類元素の中でも、R1は酸素空孔移動の抑制効果が大きいためである。   Further, R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) (that is, only R1 is used as R). The load life is further improved, and the reliability of the multilayer ceramic capacitor 10 is improved. This is because, among the rare earth elements shown as R, R1 has a great effect of suppressing the movement of oxygen vacancies.

また、Rが、上記したR1およびR2に指定する希土類元素を有し(すなわち、RとしてR1とR2を併用し)、R1のモル部/R2のモル部の値を4.0以上とすることにより、高温負荷寿命がさらに向上し、積層セラミックコンデンサ10の信頼性が向上する。これは、R1がR2に比べて酵素空孔移動の抑制効果が大きいためである。   Further, R has the rare earth element specified for R1 and R2 described above (that is, R1 and R2 are used together as R), and the value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is 4.0 or more. As a result, the high-temperature load life is further improved, and the reliability of the multilayer ceramic capacitor 10 is improved. This is because R1 has a greater inhibitory effect on enzyme vacancy migration than R2.

2.積層セラミックコンデンサの製造方法
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について、上記した実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10を例にして説明する。はじめにセラミック原料(誘電体原料配合物)を作製する工程について説明し、その後、積層セラミックコンデンサを作製する工程について説明する。
2. Manufacturing Method for Multilayer Ceramic Capacitor A manufacturing method for a multilayer ceramic capacitor according to the present invention will be described by taking the multilayer ceramic capacitor 10 according to the above-described embodiment as an example. First, a process for producing a ceramic raw material (dielectric material composition) will be described, and then a process for producing a multilayer ceramic capacitor will be described.

(セラミック原料の作製)
まず、出発原料としてBaCO3、CaCO3およびTiO2の粉末を準備し、含有量(モル部)で(Ba+Ca):Ti=1:1となるように所定量秤量する。
(Production of ceramic raw materials)
First, powders of BaCO 3 , CaCO 3 and TiO 2 are prepared as starting materials, and a predetermined amount is weighed so that the content (mole part) is (Ba + Ca): Ti = 1: 1.

次に、上記のように秤量した出発原料をボールミルにより混合する。   Next, the starting materials weighed as described above are mixed by a ball mill.

そして、1150℃で熱処理することにより、Ba、Tiを含むペロブスカイト型化合物であるBaTiO3(チタン酸バリウム)およびBa、Ca、Tiを含むペロブスカイト型化合物である(Ba,Ca)TiO3(チタン酸バリウムカルシウム)を得る。なお、主成分であるチタン酸バリウムカルシウムは、固相合成法により作製してもよいし、水熱合成法または加水分解法などにより作製してもよい。 Then, by performing heat treatment at 1150 ° C., BaTiO 3 (barium titanate) which is a perovskite type compound containing Ba and Ti and (Ba, Ca) TiO 3 (titanic acid) which is a perovskite type compound containing Ba, Ca and Ti. Barium calcium). The main component of barium calcium titanate may be produced by a solid phase synthesis method, a hydrothermal synthesis method or a hydrolysis method.

上記のようにして得たBaTiO3および(Ba,Ca)TiO3に、添加成分としてMgO、R23、Mの酸化物およびSiO2(Mg化合物、Rの化合物、Mの化合物およびSi化合物)並びに任意でCaCO3を適宜秤量してボールミルにより混合する。ここで、Rは、希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種である。また、Mは、Zr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種である。このとき、Ti含有量を100モル部としたとき、Caが0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが0.50モル部以上2.00モル部以下含まれるように秤量して混合する。この後に乾燥することで、セラミック原料を得る。 To the BaTiO 3 and (Ba, Ca) TiO 3 obtained as described above, MgO, R 2 O 3 , M oxide and SiO 2 (Mg compound, R compound, M compound and Si compound) were added as additional components. ) And optionally, CaCO 3 is weighed appropriately and mixed by a ball mill. Here, R is at least one of rare earth elements La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, and Y. M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo, and W. At this time, when Ti content is 100 mol parts, Ca is 0.10 mol parts or more and 15.00 mol parts or less, Mg is 0.0010 mol parts or more and 0.0097 mol parts or less, and R is 0.50 mol parts. Parts and 4.00 mole parts, M is 0.10 mole parts and 2.00 mole parts, and Si is weighed and mixed so that 0.50 mole parts and 2.00 mole parts is contained. Thereafter, the ceramic raw material is obtained by drying.

なお、添加成分は上記したように酸化物および炭酸物であってもよいし、これに限定されず、塩化物や金属有機化合物などであってもよい。また、上記したように、チタン酸バリウムカルシウム作製後に他の添加物を添加するタイミングで行うCaCO3の混合(後添加Ca)は任意である。すなわち、CaCO3の混合は、後添加Caでは行わず、チタン酸バリウムカルシウム作製の際の出発原料に含まれるようにして(すなわち、前添加Caのみで)行ってもよい。前添加Caによって、完成後のセラミック層(または積層体)の結晶粒子のコア部にCaが含まれるようにすることができる。なお、前添加Caに加えて後添加Caも行う場合、前添加Caおよび後添加Caの合計量が、上記したCaの含有量0.10モル部以上15.00モル部以下となるように秤量して混合する。また、主成分である(Ba,Ca)TiO3のAサイトとBサイトの含有量(モル部)の比A/Bは、0.980以上1.020以下の範囲であることが好ましい。しかしながら、含有量(モル部)の比A/Bは、この発明の効果を奏する範囲であればよく、化学量論組成である必要もない。 The additive component may be an oxide and a carbonate as described above, but is not limited thereto, and may be a chloride or a metal organic compound. Further, as described above, mixing of CaCO 3 (post-added Ca) performed at the timing of adding other additives after the production of barium calcium titanate is arbitrary. That is, the mixing of CaCO 3 may be performed so as not to be performed by the post-added Ca but to be included in the starting material for producing barium calcium titanate (that is, only by the pre-added Ca). With the pre-added Ca, Ca can be contained in the core part of the crystal grains of the ceramic layer (or laminate) after completion. In addition, when post-addition Ca is performed in addition to pre-addition Ca, the total amount of pre-addition Ca and post-addition Ca is weighed so that the Ca content is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less. And mix. Further, the ratio A / B of the content (mole part) of the A site and B site of (Ba, Ca) TiO 3 as the main component is preferably in the range of 0.980 to 1.020. However, the content (mole part) ratio A / B is not limited to the stoichiometric composition as long as it is within the range where the effects of the present invention are achieved.

(積層セラミックコンデンサの作製)
上記のようにして得たセラミック原料にポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを得る。
(Production of multilayer ceramic capacitor)
A polyvinyl butyral binder, a plasticizer and ethanol as an organic solvent are added to the ceramic raw material obtained as described above, and these are wet mixed by a ball mill to obtain a ceramic slurry.

次に、上記のようにして得たセラミックスラリーをリップ方式でシート成形することにより、矩形状(厚み4.5μm)のセラミックグリーンシートを得る。   Next, a ceramic green sheet having a rectangular shape (thickness: 4.5 μm) is obtained by sheet-forming the ceramic slurry obtained as described above by a lip method.

そして、上記のようにして得たセラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストをスクリーン印刷し、Niを主成分とする内部電極となるべき導電性ペースト膜(内部電極パターン)を形成する。なお、導電性ペースト膜の主成分はNiに限られず、Ni合金などであってもよい。   Then, a conductive paste is screen-printed on the surface of the ceramic green sheet obtained as described above to form a conductive paste film (internal electrode pattern) to be an internal electrode mainly composed of Ni. The main component of the conductive paste film is not limited to Ni, but may be Ni alloy or the like.

さらに、導電性ペースト膜が形成されていないセラミックグリーンシートを間に挟むようにして、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを積層する。このとき、導電性ペースト膜の引き出されている端部が互い違いになるように積層する。このようにして積層体ブロックを形成し、この積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る。   Further, the ceramic green sheets on which the conductive paste film is formed are stacked so as to sandwich the ceramic green sheets on which the conductive paste film is not formed. At this time, the conductive paste films are laminated so that the drawn ends are staggered. Thus, a laminated body block is formed, and a raw laminated body is obtained by cutting this laminated body block.

つづいて、上記のようにして得た生の積層体をN2雰囲気中において350℃で3時間加熱することによりバインダを燃焼させたあと、酸素分圧10-9MPa以上10-12MPa以下のH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において1200℃で2時間焼成することにより、焼結した積層体(Niを含む内部電極層が形成された積層体)を得る。 Subsequently, the raw laminate obtained as described above was heated in an N 2 atmosphere at 350 ° C. for 3 hours to burn the binder, and then the oxygen partial pressure was 10 −9 MPa to 10 −12 MPa. By firing at 1200 ° C. for 2 hours in a reducing atmosphere composed of H 2 —N 2 —H 2 O gas, a sintered laminate (a laminate in which an internal electrode layer containing Ni is formed) is obtained.

最後に、上記のようにして得た積層体の両端面に、ガラスフリットを含有するCuペーストを塗布し、N2雰囲気中において800℃の温度で焼き付け、その表面にNiめっき、Snめっきを施すことにより内部電極層と電気的に接続された外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを得る。 Finally, a Cu paste containing glass frit is applied to both end faces of the laminate obtained as described above, and baked at a temperature of 800 ° C. in an N 2 atmosphere, and Ni plating and Sn plating are applied to the surface. As a result, an external electrode electrically connected to the internal electrode layer is formed to obtain a multilayer ceramic capacitor.

3.実験例
以下、この発明の効果を確認するために発明者らが行った実験例1および2について説明する。実験例1および2では、上記した積層セラミックコンデンサの製造方法にしたがって実施例1〜27および比較例1〜13の試料を作製し、それぞれの高温負荷寿命を評価した。
3. Experimental Examples Hereinafter, Experimental Examples 1 and 2 conducted by the inventors in order to confirm the effects of the present invention will be described. In Experimental Examples 1 and 2, samples of Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13 were prepared according to the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor described above, and the respective high temperature load lifetimes were evaluated.

(実施例および比較例)
実施例1〜27および比較例1〜13のスペックは次の通りである。なお、各数値とも実測値である。
T方向の寸法:1.25mm(一対の外部電極を含む。)
W方向の寸法:1.25mm(同上)
L方向の寸法:2.0mm(同上)
セラミック層の1層あたりの厚み:平均3.0μm
内部電極層の1層あたりの厚み:平均0.6μm
有効セラミック層の積層数:300層
有効セラミック層の1層あたりの対向部の面積:平均1.6mm2
(Examples and Comparative Examples)
The specifications of Examples 1-27 and Comparative Examples 1-13 are as follows. Each numerical value is an actual measurement value.
T-direction dimension: 1.25 mm (including a pair of external electrodes)
Dimensions in the W direction: 1.25mm (same as above)
L direction dimension: 2.0mm (same as above)
Thickness per layer of ceramic layer: average 3.0μm
Thickness per internal electrode layer: 0.6 μm on average
Number of laminated effective ceramic layers: 300 layers Area of opposing portions per layer of effective ceramic layers: 1.6 mm 2 on average

(セラミック層の厚みの計測方法)
なお、セラミック層1層あたりの厚みは、次のようにして計測した。図3は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサが備えるセラミック層の厚みの計測方法を説明するための概略図である。なお、図3では第1および第2の外部電極50a、50bの記載を省略してある。まず、実施例1〜27および比較例1〜13(積層セラミックコンデンサ10)をそれぞれ5個ずつ準備した。次に、積層セラミックコンデンサ10のL方向とT方向からなる面(以下「LT面」という)をW方向の寸法が約1/2になるまで研磨機を用いて研磨した。さらに、第1および第2の内部電極層40a、40bのダレを無くすため、研磨したLT面をイオンミリングにより加工した。そして、研磨したLT面において、L方向の約1/2の位置で第1および第2の内部電極層40a、40bにほぼ直交して延びる基準線B(すなわち、L方向の略中央をT方向に沿って延びる図3中に一点鎖線で示した中心線)を定めた。次に、基準線Bおよびその近傍において、第1および第2の内部電極層40a、40bが積層された領域をT方向に3等分し、上部領域62、中間領域64、下部領域66とした。さらに、上部領域62、中間領域64、下部領域66それぞれにおいて、セラミック層30を無作為に5層ずつ選び、5層それぞれの基準線B上の厚みを走査型電子顕微鏡(SEM)により測定した。すなわち、測定箇所の合計は、積層セラミックコンデンサ5個×領域3つ×セラミック層5層=75箇所である。最後に、75箇所の測定値の平均値を求め、セラミック層1層あたりの厚みとした。なお、内部電極層1層あたりの厚みも同様の方法により計測した。
(Method of measuring the thickness of the ceramic layer)
The thickness per ceramic layer was measured as follows. FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a method of measuring the thickness of the ceramic layer provided in the multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention. In FIG. 3, the description of the first and second external electrodes 50a and 50b is omitted. First, five each of Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13 (multilayer ceramic capacitor 10) were prepared. Next, the surface composed of the L direction and the T direction (hereinafter referred to as “LT surface”) of the multilayer ceramic capacitor 10 was polished using a polishing machine until the dimension in the W direction became about ½. Further, in order to eliminate sagging of the first and second internal electrode layers 40a and 40b, the polished LT surface was processed by ion milling. Then, on the polished LT surface, a reference line B extending substantially orthogonally to the first and second internal electrode layers 40a and 40b at a position about ½ of the L direction (that is, approximately the center of the L direction is the T direction). The center line indicated by the alternate long and short dash line in FIG. Next, in the reference line B and the vicinity thereof, the region where the first and second internal electrode layers 40a and 40b are stacked is divided into three equal parts in the T direction to form an upper region 62, an intermediate region 64, and a lower region 66. . Further, in each of the upper region 62, the intermediate region 64, and the lower region 66, five ceramic layers 30 were randomly selected, and the thickness of each of the five layers on the reference line B was measured with a scanning electron microscope (SEM). That is, the total number of measurement locations is 5 multilayer ceramic capacitors × 3 regions × 5 ceramic layers = 75 locations. Finally, the average value of the measured values at 75 locations was determined and used as the thickness per ceramic layer. The thickness per internal electrode layer was also measured by the same method.

実施例1〜16および比較例1〜13の調合組成は、それぞれ、表1(実験例1についての表)に示す通りである。これらの試料は、それぞれ、1種類の希土類元素Rを含有する。実施例17〜27の調合組成は、それぞれ、表2(実験例2についての表)に示す通りである。これらの試料は、それぞれ、2種類の希土類元素R1およびR2を含有する。なお、表1および2に示す各元素の含有量(モル部)は、Tiの含有量を100モル部としたときの数値である。   The preparation compositions of Examples 1 to 16 and Comparative Examples 1 to 13 are as shown in Table 1 (Table for Experimental Example 1), respectively. Each of these samples contains one kind of rare earth element R. The preparation compositions of Examples 17 to 27 are as shown in Table 2 (Table for Experimental Example 2), respectively. Each of these samples contains two types of rare earth elements R1 and R2. In addition, content (mol part) of each element shown in Table 1 and 2 is a numerical value when content of Ti is 100 mol part.

なお、上記した積層セラミックコンデンサの製造方法でも説明したように、Rは、希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種である。また、R1は、Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種である。また、R2は、Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種である。また、Mは、Zr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種である。   As described in the method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor, R is a rare earth element La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, and Y. At least one of them. R1 is at least one of Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm, and Yb. R2 is at least one of Ce, Pr, Nd, Eu, Tm, Lu, and Tb. M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo, and W.

また、表1および2に示す実施例1〜27および比較例1〜13の合計Ca含有量(モル部)とは、前添加Ca(すなわち、出発原料のCaCO3に含まれるCa)の含有量(モル部)と、後添加Ca(すなわち、添加成分のCaCO3に含まれるCa)の含有量(モル部)とを足した値である。つまり、前添加Caの含有量は、表1および2に示す合計Ca含有量から後添加Caの含有量を引いた値である。ここで、実施例1〜14および17〜27並びに比較例1〜11(すなわち、実施例15および16並びに比較例12および13を除く全ての試料)は、後添加Caの含有量が0.00モル部である。すなわち、これらの試料は、CaCO3の混合を前添加Caのみで行うことにより作製した。一方、実施例15、16は、それぞれ、後添加Caの含有量が5.00モル部、0.05モル部である。すなわち、これらの試料は、CaCO3の混合を前添加Caに加えて後添加Caでも行うことにより作製した。また、比較例12および13は、それぞれ、合計Ca含有量と、後添加Ca含有量とが等しい。すなわち、比較例12および13は、CaCO3の混合を前添加Caでは行わず、後添加Caのみで行うことにより作製した。比較例12および13は、このように作製したことにより、結晶粒子のコア部にCaが含まれない。 Moreover, the total Ca content (mole parts) of Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13 shown in Tables 1 and 2 is the content of pre-added Ca (that is, Ca contained in CaCO 3 as a starting material). It is a value obtained by adding (mol part) and the content (mol part) of post-added Ca (that is, Ca contained in the additive component CaCO 3 ). That is, the content of pre-added Ca is a value obtained by subtracting the content of post-added Ca from the total Ca content shown in Tables 1 and 2. Here, Examples 1 to 14 and 17 to 27 and Comparative Examples 1 to 11 (that is, all samples except Examples 15 and 16 and Comparative Examples 12 and 13) have a content of post-added Ca of 0.00. The mole part. That is, these samples were prepared by mixing CaCO 3 with only pre-added Ca. On the other hand, in Examples 15 and 16, the content of post-added Ca is 5.00 mol parts and 0.05 mol parts, respectively. That is, these samples were prepared by adding CaCO 3 to the pre-added Ca and performing the post-added Ca. In Comparative Examples 12 and 13, the total Ca content and the post-added Ca content are the same. In other words, Comparative Examples 12 and 13 were prepared by mixing CaCO 3 not with pre-added Ca but only with post-added Ca. Since Comparative Examples 12 and 13 were produced in this manner, Ca was not contained in the core portion of the crystal particles.

なお、各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)の作製時において、出発原料を混合して熱処理することにより得られたチタン酸バリウムおよびチタン酸バリウムカルシウムの平均粒径は0.15μmであった。また、各試料の主成分であるチタン酸バリウムおよびチタン酸バリウムカルシウムは、上記した出発原料から固相合成法により作製した。また、各試料の積層体の作製において、生の積層体を焼成する際のH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中の酸素分圧は、10-10MPaとした。また、各試料の積層体をXRD(X線回折)で構造解析したところ、主成分がチタン酸バリウム系のペロブスカイト型構造を有することが明らかとなった。 In the preparation of each sample (Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13), the average particle diameters of barium titanate and barium calcium titanate obtained by mixing the starting materials and heat-treating were 0.00. It was 15 μm. Moreover, the barium titanate and the barium calcium titanate which are the main components of each sample were produced from the above starting materials by a solid phase synthesis method. In the production of the laminate of each sample, the oxygen partial pressure in the reducing atmosphere made of H 2 —N 2 —H 2 O gas when firing the raw laminate was 10 −10 MPa. Further, structural analysis of the laminate of each sample by XRD (X-ray diffraction) revealed that the main component had a barium titanate-based perovskite structure.

また、各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)の外部電極を研磨により除去し、得られた積層体を溶解処理して溶液とし、この溶液をICP分析したところ、内部電極層の成分であるNiを除いて、表1および2に示す調合組成と殆ど同一であることを確認することができた。すなわち、表1および2に示す各元素の含有量(モル部)は、積層体を溶剤により溶解して得られた溶液における含有量であるということができる。   Further, the external electrodes of each sample (Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13) were removed by polishing, and the obtained laminate was dissolved to form a solution. When this solution was analyzed by ICP, an internal electrode layer was obtained. It was confirmed that the composition was almost the same as the preparation composition shown in Tables 1 and 2 except for Ni which is a component of. That is, it can be said that the content (mole part) of each element shown in Tables 1 and 2 is the content in a solution obtained by dissolving the laminate with a solvent.

なお、実施例1〜27および比較例1〜11のセラミック層を無作為に10箇所薄層化し、STEM−EDS(透過型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分析)を用いて結晶粒子のコア部(中央部)(測定箇所10箇所)を観測したところ、いずれの測定箇所においてもその結晶粒子のコア部からCaが検出された。一方、比較例12および13のセラミック層は、結晶粒子のコア部からCaが検出されなかった。なお、STEMは、日本電子社製「JEM−2200FS」が用いられ、加速電圧は200kVとした。検出器EDSは、日本電子社製「JED−2300T」が用いられ、60mm2口径のSDD検出器を用いた。EDSシステムは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社製「Noran System 7」が用いられた。 In addition, the ceramic layers of Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 11 were randomly thinned at 10 locations, and the core portion of the crystal particles using STEM-EDS (transmission electron microscope-energy dispersive X-ray analysis). When (center part) (10 measurement places) was observed, Ca was detected from the core part of the crystal grain in any measurement place. On the other hand, in the ceramic layers of Comparative Examples 12 and 13, Ca was not detected from the core portion of the crystal particles. Note that “JEM-2200FS” manufactured by JEOL Ltd. was used as the STEM, and the acceleration voltage was 200 kV. As the detector EDS, “JED-2300T” manufactured by JEOL Ltd. is used, and an SDD detector having a diameter of 60 mm 2 is used. As the EDS system, “Noran System 7” manufactured by Thermo Fisher Scientific Co., Ltd. was used.

なお、比較例1および2は、合計Ca含有量が0.10モル部以上15.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例3〜5は、Mg含有量が0.0010モル部以上0.0097モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例6および7は、R含有量が0.50モル部以上4.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例8および9は、M含有量が0.10モル部以上2.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例10および11は、Si含有量が0.50モル部以上2.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例12および13は、前添加Caが0.00モル部であるため、結晶粒子のコア部にCaが含まれるという本発明の条件を満たさない。   In addition, Comparative Examples 1 and 2 do not satisfy the condition of the present invention that the total Ca content is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less. Moreover, Comparative Examples 3-5 do not satisfy | fill the conditions of this invention that Mg content is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less. Further, Comparative Examples 6 and 7 do not satisfy the condition of the present invention that the R content is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less. Further, Comparative Examples 8 and 9 do not satisfy the condition of the present invention that the M content is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less. Further, Comparative Examples 10 and 11 do not satisfy the condition of the present invention that the Si content is 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less. Further, Comparative Examples 12 and 13 do not satisfy the condition of the present invention that Ca is contained in the core part of the crystal grains because the pre-added Ca is 0.00 mol part.

(評価方法)
各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)を100個ずつ作製し、それぞれに対して温度125℃で電圧16Vを印加し、絶縁抵抗の経時変化を観測した。絶縁抵抗が0.1MΩ以下になった試料を不良とした。
(Evaluation method)
100 pieces of each sample (Examples 1 to 27 and Comparative Examples 1 to 13) were prepared, a voltage of 16 V was applied to each of them at a temperature of 125 ° C., and the change in insulation resistance with time was observed. A sample having an insulation resistance of 0.1 MΩ or less was regarded as defective.

実験例1では、含有される希土類元素が1種類(R)である各試料(実施例1〜16および比較例1〜13)について、試験開始から1000時間後の不良個数を確認することにより、高温負荷寿命を評価するための指標とした。   In Experimental Example 1, for each sample (Examples 1 to 16 and Comparative Examples 1 to 13) in which the rare earth element contained is one type (R), by checking the number of defects 1000 hours after the start of the test, It was used as an index for evaluating the high temperature load life.

実験例2では、含有される希土類元素が2種類(R1およびR2)である各試料(実施例17〜27)について、試験開始から1000時間後および2000時間後の不良個数を確認することにより、高温負荷寿命の指標とした。   In Experimental Example 2, for each sample (Examples 17 to 27) containing two types of rare earth elements (R1 and R2), by checking the number of defects 1000 hours and 2000 hours after the start of the test, It was used as an index of high temperature load life.

(評価結果)
実験例1について、その評価結果および調合組成を表1に示す。
(Evaluation results)
Table 1 shows the evaluation results and preparation compositions of Experimental Example 1.

表1に示すように、実施例1〜16は、いずれも、1000時間後(h後)の不良が0個であった。一方、比較例1〜13は、1000時間後の不良が5個から70個までの範囲で存在した。この評価結果により、セラミック層を上記した本発明の調合組成とすることで、高温負荷寿命が向上することを確認できた。このように高温負荷寿命が向上する理由は、Mg含有量(モル部)が従来技術に比べて極端に少ないことによりNi−Mgの偏析相が生成されず、且つMg含有量が少ないことにより生じ得る異常粒成長などの悪影響をMg以外の元素(Ca、R、MおよびSi)が抑制しているためであると考えられる。なお、比較例12、13の不良個数は、それぞれ、51個、70個と特に多かった。これは、比較例12および13は、セラミック原料を作製する際の出発原料にCaCO3を含めなかったことにより、結晶粒子のコア部にCaが含まれないためであると考えられる。これにより、比較例12および13は、添加成分の固溶が促進されないため、酸素空孔移動の抑制効果が十分に発現せず、高温負荷寿命が低下していると推測される。 As shown in Table 1, in all of Examples 1 to 16, the number of defects after 1000 hours (after h) was zero. On the other hand, in Comparative Examples 1 to 13, there were 5 to 70 failures after 1000 hours. From this evaluation result, it was confirmed that the high temperature load life was improved by setting the ceramic layer to the above-described preparation composition of the present invention. The reason why the high temperature load life is improved in this manner is that the Mg content (mole part) is extremely small compared to the prior art, so that no Ni-Mg segregation phase is generated and the Mg content is low. This is probably because elements other than Mg (Ca, R, M, and Si) suppress adverse effects such as abnormal grain growth. The number of defects in Comparative Examples 12 and 13 was particularly large, 51 and 70, respectively. This is presumably because, in Comparative Examples 12 and 13, Ca was not contained in the core of the crystal particles because CaCO 3 was not included in the starting material when the ceramic material was produced. Thereby, in Comparative Examples 12 and 13, since the solid solution of the additive component is not promoted, the effect of suppressing the movement of oxygen vacancies is not sufficiently exhibited, and it is presumed that the high temperature load life is reduced.

実験例2について、その評価結果および調合組成を表2に示す。   Table 2 shows the evaluation results and preparation compositions of Experimental Example 2.

表2に示すように、実施例17〜25は、1000時間後(h後)および2000時間後の不良について、いずれも0個であった。この評価結果により、2種類の希土類元素R1およびR2を含有し、且つR1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上である場合、高温負荷寿命がさらに向上することを確認できた。なお、実施例26および27は、1000時間後(h後)の不良がいずれも0個であり、2000時間後の不良がいずれも5個であった。すなわち、実施例26についてはR1に指定される元素を含有しないため、実施例27についてはR1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上でないため、実施例1〜16と比較して高温負荷寿命が向上しなかった。しかしながら、実施例26および27についても、比較例1〜13や従来技術に比べると高温負荷寿命が向上した。   As shown in Table 2, in Examples 17 to 25, all of the defects after 1000 hours (after h) and 2000 hours were zero. From this evaluation result, it was confirmed that when two kinds of rare earth elements R1 and R2 are contained and the value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is 4.0 or more, the high temperature load life is further improved. . In Examples 26 and 27, the number of defects after 1000 hours (after h) was zero, and the number of defects after 2000 hours was five. That is, since Example 26 does not contain an element designated as R1, since Example 27 has a value of the molar part of R1 / the molar part of R2 is not 4.0 or more, it is compared with Examples 1-16. The high temperature load life was not improved. However, also in Examples 26 and 27, the high temperature load life was improved as compared with Comparative Examples 1 to 13 and the prior art.

なお、本発明は積層セラミックコンデンサのサイズが小さくなるほど効果が大きくなる。特に、L方向の寸法0.6mm×W方向の寸法0.3mm×T方向の寸法0.3mm以下のサイズにおいて、効果が顕著となることが確認されている。   The effect of the present invention increases as the size of the multilayer ceramic capacitor decreases. In particular, it has been confirmed that the effect is remarkable in a size of 0.6 mm in the L direction × 0.3 mm in the W direction × 0.3 mm in the T direction.

なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is carried out within the range of the summary.

10 積層セラミックコンデンサ
20 積層体
22a 第1の主面
22b 第2の主面
24a 第1の側面
24b 第2の側面
26a 第1の端面
26b 第2の端面
30 セラミック層
40a 第1の内部電極層
40b 第2の内部電極層
50a 第1の外部電極
50b 第2の外部電極
62 上部領域
64 中間領域
66 下部領域
B 基準線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Multilayer ceramic capacitor 20 Laminated body 22a 1st main surface 22b 2nd main surface 24a 1st side surface 24b 2nd side surface 26a 1st end surface 26b 2nd end surface 30 Ceramic layer 40a 1st internal electrode layer 40b Second internal electrode layer 50a First external electrode 50b Second external electrode 62 Upper region 64 Intermediate region 66 Lower region B Reference line

Claims (9)

ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック層は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
Tiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
A laminate formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal grains having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and electrically connected to the internal electrode layer on the surface of the laminate A multilayer ceramic capacitor comprising a pair of formed external electrodes,
The ceramic layer is
A perovskite compound containing Ba, Ca and Ti;
Mg,
R (R is at least one of rare earth elements La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y);
M (M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W);
Containing Si,
When the Ti content is 100 mole parts,
Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less,
Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less,
R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less,
M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less,
Si is contained in an amount of 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less,
A multilayer ceramic capacitor characterized in that Ca is contained in the core of the crystal grains.
ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
Tiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
A laminate formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal grains having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and electrically connected to the internal electrode layer on the surface of the laminate A multilayer ceramic capacitor comprising a pair of formed external electrodes,
The laminate is
A perovskite compound containing Ba, Ca and Ti;
Mg,
R (R is at least one of rare earth elements La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y);
M (M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W);
Containing Si,
When the Ti content is 100 mole parts,
Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less,
Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less,
R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less,
M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less,
Si is contained in an amount of 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less,
A multilayer ceramic capacitor characterized in that Ca is contained in the core part of the crystal grains.
ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
前記積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
A laminate formed by laminating a plurality of ceramic layers containing crystal grains having a perovskite structure and a plurality of internal electrode layers, and electrically connected to the internal electrode layer on the surface of the laminate A multilayer ceramic capacitor comprising a pair of formed external electrodes,
The laminate is
A perovskite compound containing Ba, Ca and Ti;
Mg,
R (R is at least one of rare earth elements La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y);
M (M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W);
Containing Si,
When the content of Ti when the laminate was dissolved with a solvent was 100 mol parts,
Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less,
Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less,
R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less,
M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less,
Si is contained in an amount of 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less,
A multilayer ceramic capacitor characterized in that Ca is contained in the core of the crystal grains.
前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm, and Yb). 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) and R2 (R2 is a rare earth element Ce, Pr, Nd, Eu, Tm, And at least one of Lu and Tb),
The multilayer ceramic capacitor according to any one of claims 1 to 3, wherein a value of a molar part of R1 / a molar part of R2 is 4.0 or more.
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、
前記セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、
前記セラミックグリーンシートと、前記セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、前記積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、
前記生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、
前記セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれることを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。
A powder composed mainly of a perovskite type compound containing Ba, Ca and Ti, a Mg compound, and a compound of R (R is a rare earth element La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu and Y) and a compound of M (M is at least one of Zr, Mn, Co, Fe, Cr, Cu, Al, V, Mo and W) And a step of obtaining a ceramic slurry by mixing the Si compound,
Obtaining a ceramic green sheet by sheet-forming the ceramic slurry;
A step of forming a laminated body block by laminating the ceramic green sheet and a ceramic green sheet having an internal electrode pattern formed on the ceramic green sheet, and obtaining a raw laminated body by cutting the laminated body block When,
By firing the raw laminate to obtain a laminate in which an internal electrode layer containing Ni is formed,
When the content of Ti in the ceramic slurry is 100 mole parts,
Ca is 0.10 mol part or more and 15.00 mol part or less,
Mg is 0.0010 mol part or more and 0.0097 mol part or less,
R is 0.50 mol part or more and 4.00 mol part or less,
M is 0.10 mol part or more and 2.00 mol part or less,
Si is contained 0.50 mol part or more and 2.00 mol part or less, The manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor characterized by the above-mentioned.
前記セラミックスラリーを得る工程において、前記Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する、請求項6に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。   The method for producing a multilayer ceramic capacitor according to claim 6, wherein in the step of obtaining the ceramic slurry, a Ca compound is further mixed with a powder containing a perovskite compound containing Ba, Ca, and Ti as a main component. 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項6または7に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。   The method for producing a multilayer ceramic capacitor according to claim 6 or 7, wherein R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm, and Yb). 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、請求項6または7に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
R is R1 (R1 is at least one of rare earth elements Y, Dy, Gd, La, Ho, Er, Sm and Yb) and R2 (R2 is a rare earth element Ce, Pr, Nd, Eu, Tm, And at least one of Lu and Tb),
8. The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to claim 6, wherein a value of a mole part of R1 / a mole part of R2 is 4.0 or more.
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