JP2017094412A - Component holding device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、部品把持具に関する。詳細には、曲面を有する微小な部品の把持に好適な、ピンセットに代表される部品把持具に関する。 The present invention relates to a component gripper. Specifically, the present invention relates to a component gripper represented by tweezers, which is suitable for gripping a minute component having a curved surface.
電子製品や光学製品などの組み立てに際し、それらの材料である電子部品や光学部品などの中には、微小な部品が数多くある。電子製品や光学製品などの組み立てにおいて、このような微小な部品を把持するために、従来、ピンセットに代表される部品把持具が用いられている。 When assembling electronic products, optical products, etc., there are many minute parts in the electronic parts, optical parts, etc., which are the materials. In the assembly of electronic products, optical products, and the like, conventionally, a component gripper represented by tweezers has been used to grip such minute components.
しかし、曲面を有する微小な部品を把持しようとすると、通常の金属製ピンセットでは滑って把持できなかったり、無理に把持した場合には部品に傷がついてしまったりするという問題がある。 However, when trying to grip a minute part having a curved surface, there is a problem that a normal metal tweezer cannot slide and grip, or if it is forcibly gripped, the part may be damaged.
最近、樹脂製の先端部分を有する部品把持具が提案されている（例えば、特許文献１−３参照）。このような樹脂製の先端部分を有する部品把持具において、樹脂製の先端部分の表面が滑りやすいものであると、金属製ピンセットと同様、曲面を有する微小な部品を把持しようとすると滑って把持できないという問題がある。他方、樹脂としてゴムやテフロン（登録商標）などの先端部分を有する部品把持具においては、該樹脂製の先端部分の表面が滑りにくいため、曲面を有する微小な部品を把持できる場合がある。 Recently, a component gripper having a resin tip has been proposed (see, for example, Patent Documents 1-3). In such a component gripping tool having a resin tip portion, if the surface of the resin tip portion is slippery, like a metal tweezer, it will slip and grip when trying to grip a minute part having a curved surface. There is a problem that you can not. On the other hand, in a component gripper having a tip portion such as rubber or Teflon (registered trademark) as a resin, the surface of the tip portion made of resin is difficult to slip, so that a minute component having a curved surface may be gripped in some cases.
しかしながら、部品把持具の先端部分が樹脂製の場合、把持による摩擦によって、樹脂かすが発生することが避けられず、把持する微小な部品が該樹脂かすによって汚染されてしまうという問題が生じる。把持する微小な部品が電子部品や光学部品などの精密製品の部品である場合、このような汚染は避けなければならない。 However, when the tip portion of the component gripping tool is made of resin, it is inevitable that resin dust is generated due to friction caused by gripping, and there is a problem that minute components to be gripped are contaminated by the resin dust. Such contamination must be avoided when the minute parts to be gripped are parts of precision products such as electronic parts and optical parts.
本発明の課題は、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる、部品把持具を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a component gripper that can be securely gripped without scratching, contaminating, or gripping the component.
本発明の部品把持具は、
把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体が備えられた部品把持具であって、
該繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上である。
The component gripping tool of the present invention is
A component gripping tool provided with a fibrous columnar structure in at least a portion of a gripping part for gripping operation that comes into contact with a gripping object,
The fiber columnar structure has a static friction coefficient of 0.5 or more at a temperature of 23 ° C., a humidity of 50%, a load of 200 g, a tensile speed of 100 mm / min, and a friction area of 4 cm 2 .
一つの実施形態においては、上記繊維状柱状構造体が、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む。 In one embodiment, the fibrous columnar structure includes a carbon nanotube aggregate including a plurality of carbon nanotubes.
一つの実施形態においては、上記繊維状柱状構造体が、厚み６００μｍ以上の繊維状柱状構造体が厚み４００μｍ以下の繊維状柱状構造体に圧縮されたものである。 In one embodiment, the fibrous columnar structure is formed by compressing a fibrous columnar structure having a thickness of 600 μm or more into a fibrous columnar structure having a thickness of 400 μm or less.
一つの実施形態においては、本発明の部品把持具は、曲面を有する部品の把持具である。 In one embodiment, the component gripping tool of the present invention is a gripping tool for a component having a curved surface.
本発明のピンセットは、把持操作用の把持部の先端部分に繊維状柱状構造体が備えられたものである。 The tweezers of the present invention are provided with a fibrous columnar structure at the tip of a gripping portion for gripping operation.
本発明によれば、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる、部品把持具を提供することができる。したがって、例えば、傷の発生や汚染を避けなければならない微小な電子部品や光学部品、特に、曲面を有する微小な電子部品や光学部品であっても、傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the components holding tool which can be reliably hold | gripped can be provided, without damaging the components to grip and not contaminating. Therefore, for example, even minute electronic parts and optical parts that must avoid the occurrence of flaws and contamination, especially minute electronic parts and optical parts with curved surfaces, are not scratched, contaminated, and reliably It can be gripped.
≪部品把持具≫
本発明の部品把持具は、把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体が備えられた部品把持具である。把持操作用の把持部の少なくとも把持対象物と接触する部分としては、好ましくは、先端部分が挙げられる。図１は、本発明の部品把持具の一つの実施形態を示す概略斜視図である。図１において、本発明の部品把持具１００は、把持操作用の把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を備える。把持部１０の先端部分とは、把持部１０の先端１０ａを含む部分である。
≪Part gripper≫
The component gripping tool of the present invention is a component gripping tool in which a fibrous columnar structure is provided in at least a portion of a gripping portion for gripping operation that comes into contact with a gripping target. As a part of the gripping part for gripping operation that comes into contact with at least a gripping object, a tip part is preferably cited. FIG. 1 is a schematic perspective view showing one embodiment of a component gripping tool of the present invention. In FIG. 1, a
本発明の部品把持具は、好ましくは、曲面を有する部品の把持具である。 The component gripping tool of the present invention is preferably a gripping tool for a component having a curved surface.
本発明の部品把持具は、好ましくは、ピンセットである。 The component gripping tool of the present invention is preferably tweezers.
本発明のピンセットは、把持操作用の把持部の先端部分に繊維状柱状構造体が備えられたものである。 The tweezers of the present invention are provided with a fibrous columnar structure at the tip of a gripping portion for gripping operation.
把持部１０の材料は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な材料を採用し得る。このような材料としては、例えば、アルミ、チタン、ステンレス、リン青銅のような金属、ナイロン、ポリプロピレン、フェノール樹脂のようなプラスチック、竹、木のような天然材料、ジルコニアのようなセラミックなどが挙げられる。
Any appropriate material can be adopted as the material of the
把持部１０の少なくとも把持対象物と接触する部分に繊維状柱状構造体２０が備えられるための手段としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な手段を採用し得る。このような手段としては、例えば、把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を直接に接着する手段、把持部１０の先端部分に繊維状柱状構造体２０を任意の適切な層を介して接着する手段などが挙げられる。上記接着の手段としては、例えば、接着剤による接着、両面テープによる接着などが挙げられる。上記層としては、プラスチックフィルム、金属フィルム、不織布などが挙げられる。
Any appropriate means can be adopted as means for providing the fibrous
把持部の先端部分の長さは、例えば、図１における把持部１０の先端１０ａからの長さであり、好ましくは０．０１ｍｍ〜５０ｍｍであり、より好ましくは０．１ｍｍ〜３０ｍｍであり、さらに好ましくは０．５ｍｍ〜２０ｍｍであり、特に好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍである。把持部の先端部分の長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品をより確実に把持することができる。
The length of the tip portion of the grip portion is, for example, the length from the
本発明の部品把持具は、それが備える繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上であり、好ましくは０．５〜１０であり、より好ましくは０．５〜７であり、さらに好ましくは０．５〜５であり、特に好ましくは０．５〜３である。上記静摩擦係数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品に傷を付けず、汚染せず、確実に把持することができる。 The component gripping tool of the present invention has a static friction coefficient of 0.5 or more at a temperature of 23 ° C., a humidity of 50%, a load of 200 g, a pulling speed of 100 mm / min, and a friction area of 4 cm 2 with respect to the glass surface of the fibrous columnar structure provided therein. Preferably, it is 0.5-10, More preferably, it is 0.5-7, More preferably, it is 0.5-5, Most preferably, it is 0.5-3. By adjusting the static friction coefficient within the above range, the component gripping tool of the present invention can be securely gripped without scratching or contaminating the gripped component.
繊維状柱状構造体は、複数の繊維状柱状物を備える構造体である。 The fibrous columnar structure is a structure including a plurality of fibrous columnar objects.
図２に、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図を示す。図２において、繊維状柱状構造体２０は、基材１と、複数の繊維状柱状物２の集合体を備える。繊維状柱状物２の片端２ａは、基材１に固定されている。繊維状柱状物２は、長さＬの方向に配向している。繊維状柱状物２は、好ましくは、基材１に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、基材１の面に対する角度が、好ましくは９０°±２０°であり、より好ましくは９０°±１５°であり、さらに好ましくは９０°±１０°であり、特に好ましくは９０°±５°である。
In FIG. 2, the schematic sectional drawing of an example of the fibrous columnar structure with which the component holding tool in one embodiment of this invention is provided is shown. In FIG. 2, the fibrous
図３に、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図を示す。図３に示すように、繊維状柱状構造体２０は、複数の繊維状柱状物２の集合体であってもよい。すなわち、繊維状柱状構造体２０は基材１を備えていなくてもよい。この場合、複数の繊維状柱状物２は、互いに、例えば、ファンデルワールス力によって、集合体として存在し得る。
In FIG. 3, the schematic sectional drawing of another example of the fibrous columnar structure with which the component holding tool in one embodiment of this invention is provided is shown. As shown in FIG. 3, the fibrous
繊維状柱状物の長さＬは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは１００μｍ〜３００μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２５０μｍである。繊維状柱状物の長さＬを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The length L of the fibrous columnar material is preferably 400 μm or less, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 50 μm to 300 μm, particularly preferably 100 μm to 300 μm, and most preferably 100 μm to 250 μm. It is. By adjusting the length L of the fibrous columnar material within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component and without being contaminated.
繊維状柱状物は、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。繊維状柱状物としてこのように圧縮された繊維状柱状物（圧縮繊維状柱状物）を採用することにより、繊維状柱状物の密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前の繊維状柱状物の長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前の繊維状柱状物の長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後の繊維状柱状物の密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The fibrous columnar material is preferably a fibrous columnar material having a length of 600 μm or more compressed into a fibrous columnar material having a length of 400 μm or less. By adopting the fibrous columnar material (compressed fibrous columnar material) thus compressed as the fibrous columnar material, the density of the fibrous columnar material can be increased moderately. The parts to be gripped can be gripped more reliably without being scratched and contaminated. The length of the fibrous columnar material before compression is preferably 600 μm to 5000 μm, more preferably 600 μm to 3000 μm, still more preferably 600 μm to 1500 μm, particularly preferably 600 μm to 1000 μm, and most preferably. Is 600 μm to 800 μm. By adjusting the length of the fibrous columnar material before compression within the above range, the density of the fibrous columnar material after compression can be appropriately increased, and the component gripping tool of the present invention is a component to be gripped. Therefore, it can be gripped more reliably without being scratched and contaminated.
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。 If the compression rate of the said compression is a compression rate from length 600 micrometers or more to length 400 micrometers or less, what is necessary is just to set to arbitrary appropriate compression ratios according to a use.
繊維状柱状物の直径は、好ましくは０．２ｎｍ〜１０００ｎｍであり、より好ましくは０．５ｎｍ〜５００ｎｍであり、さらに好ましくは１ｎｍ〜１００ｎｍであり、特に好ましくは２ｎｍ〜５０ｎｍであり、最も好ましくは２ｎｍ〜２０ｎｍである。上記繊維状柱状物の直径を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The diameter of the fibrous columnar material is preferably 0.2 nm to 1000 nm, more preferably 0.5 nm to 500 nm, still more preferably 1 nm to 100 nm, particularly preferably 2 nm to 50 nm, most preferably 2 nm to 20 nm. By adjusting the diameter of the fibrous columnar object within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component and without being contaminated.
繊維状柱状物の材料としては、任意の適切な材料を採用し得る。例えば、アルミ、鉄などの金属；シリコンなどの無機材料；カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブなどのカーボン材料；エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどの高モジュラスの樹脂；などが挙げられる。樹脂の具体例としては、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドなどが挙げられる。樹脂の分子量などの諸物性は、本発明の目的を達成しうる範囲において、任意の適切な物性を採用し得る。 Arbitrary appropriate materials can be employ | adopted as a material of a fibrous columnar thing. Examples thereof include metals such as aluminum and iron; inorganic materials such as silicon; carbon materials such as carbon nanofibers and carbon nanotubes; and high modulus resins such as engineering plastics and super engineering plastics. Specific examples of the resin include polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, acetyl cellulose, polycarbonate, polyimide, polyamide, and the like. Any appropriate physical properties can be adopted as the physical properties such as the molecular weight of the resin as long as the object of the present invention can be achieved.
基材としては、目的に応じて、任意の適切な基材を採用し得る。例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックなどが挙げられる。エンジニアリングプラスチックおよびスーパーエンジニアリングプラスチックの具体例としては、ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリアミドなどが挙げられる。これらの基材の分子量などの諸物性は、本発明の目的を達成し得る範囲において、任意の適切な物性を採用し得る。基材の厚みは、目的に応じて、任意の適切な値に設定され得る。 Any appropriate base material can be adopted as the base material depending on the purpose. Examples thereof include quartz glass, silicon (silicon wafer, etc.), engineering plastic, super engineering plastic, and the like. Specific examples of engineering plastics and super engineering plastics include polyimide, polyethylene, polyethylene terephthalate, acetyl cellulose, polycarbonate, polypropylene, and polyamide. Any appropriate physical properties can be adopted as the physical properties such as molecular weight of these base materials within a range in which the object of the present invention can be achieved. The thickness of the substrate can be set to any appropriate value depending on the purpose.
基材の表面は、隣接する層との密着性，保持性などを高めるために、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理などの化学的または物理的処理，下塗剤（例えば、上記粘着性物質）によるコーティング処理が施されていてもよい。 The surface of the substrate is chemically treated with conventional surface treatments such as chromic acid treatment, ozone exposure, flame exposure, high-voltage strike exposure, ionizing radiation treatment, etc., in order to improve adhesion and retention with adjacent layers. Alternatively, a physical treatment or a coating treatment with a primer (for example, the above-mentioned adhesive substance) may be performed.
基材は単層であってもよいし、多層であってもよい。 The substrate may be a single layer or a multilayer.
繊維状柱状構造体は、好ましくは、複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む。この場合、繊維状柱状物は、好ましくは、カーボンナノチューブである。 The fibrous columnar structure preferably includes a carbon nanotube aggregate including a plurality of carbon nanotubes. In this case, the fibrous columnar product is preferably a carbon nanotube.
図４に、繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の一例の概略断面図を示す。図４において、繊維状柱状構造体２０は、基材１と、複数のカーボンナノチューブ２２の集合体を備える。カーボンナノチューブ２２の片端２２ａは、基材１に固定されている。カーボンナノチューブ２２は、長さＬの方向に配向している。カーボンナノチューブ２２は、好ましくは、基材１に対して略垂直方向に配向している。ここで、「略垂直方向」とは、基材１の面に対する角度が、好ましくは９０°±２０°であり、より好ましくは９０°±１５°であり、さらに好ましくは９０°±１０°であり、特に好ましくは９０°±５°である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of an example of a fibrous columnar structure included in a component gripper according to an embodiment of the present invention when the fibrous columnar structure includes a carbon nanotube assembly including a plurality of carbon nanotubes. Show. In FIG. 4, the fibrous
図４に示す実施形態において、カーボンナノチューブ２２が基材１に固定される手段としては、任意の適切な手段を採用し得る。例えば、カーボンナノチューブ集合体の製造に使用した基板を基材１としてそのまま用いてもよい。また、基材１に接着剤層を設けてカーボンナノチューブ２２の片端２２ａに固定してもよい。さらに、基材１が熱硬化性樹脂の場合は、硬化反応前の状態で該熱硬化性樹脂の薄膜層を作製し、カーボンナノチューブ２２の片端２２ａを該薄膜層に圧着させた後、硬化反応を行って固定してもよい。また、基材１が熱可塑性樹脂や金属などの場合は、溶融した状態でカーボンナノチューブ２２の片端２２ａを圧着させた後、室温まで冷却して固定してもよい。
In the embodiment shown in FIG. 4, any appropriate means can be adopted as means for fixing the
図５に、繊維状柱状構造体が複数のカーボンナノチューブを備えるカーボンナノチューブ集合体を含む場合の、本発明の一つの実施形態における部品把持具が備える繊維状柱状構造体の別の一例の概略断面図を示す。図５に示すように、繊維状柱状構造体２０は、複数のカーボンナノチューブ２２の集合体であってもよい。すなわち、繊維状柱状構造体２０は基材１を備えていなくてもよい。この場合、複数のカーボンナノチューブ２２は、互いに、例えば、ファンデルワールス力によって、集合体として存在し得る。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of another example of the fibrous columnar structure provided in the component gripping tool in one embodiment of the present invention when the fibrous columnar structure includes a carbon nanotube assembly including a plurality of carbon nanotubes. The figure is shown. As shown in FIG. 5, the fibrous
≪カーボンナノチューブ集合体≫
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態としては、下記に示すような第１の好ましい実施形態および第２の好ましい実施形態が挙げられる。
≪Carbon nanotube aggregate≫
Preferred embodiments of the carbon nanotube aggregate include a first preferred embodiment and a second preferred embodiment as described below.
＜第１の好ましい実施形態＞
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の１つ（以下、第１の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の分布幅が１０層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が２５％以下であり、該カーボンナノチューブの長さが１０μｍより大きい。このようなカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
<First Preferred Embodiment>
One preferred embodiment of the aggregate of carbon nanotubes (hereinafter sometimes referred to as a first preferred embodiment) includes a plurality of carbon nanotubes, the carbon nanotubes having a plurality of layers, and the carbon nanotube layer. The distribution width of the number distribution is 10 layers or more, the relative frequency of the mode value of the number distribution is 25% or less, and the length of the carbon nanotube is larger than 10 μm. By adopting such a carbon nanotube aggregate, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component, without being contaminated.
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は１０層以上であり、好ましくは１０層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜２５層であり、さらに好ましくは１０層〜２０層である。上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The distribution width of the number distribution of carbon nanotubes is 10 or more, preferably 10 to 30 layers, more preferably 10 to 25 layers, and further preferably 10 to 20 layers. By adjusting the distribution width of the number distribution of the carbon nanotubes within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component, more contaminated. .
カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。 The “distribution width” of the number distribution of carbon nanotubes refers to the difference between the maximum number and the minimum number of carbon nanotube layers.
カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。 The number of layers and the number distribution of carbon nanotubes may be measured by any appropriate apparatus. Preferably, it is measured by a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). For example, at least 10, preferably 20 or more carbon nanotubes may be taken out from the aggregate of carbon nanotubes and measured by SEM or TEM to evaluate the number of layers and the number distribution of the layers.
カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは５層〜３０層であり、より好ましくは１０層〜３０層であり、さらに好ましくは１５層〜３０層であり、特に好ましくは１５層〜２５層である。カーボンナノチューブの層数の最大層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The maximum number of carbon nanotube layers is preferably 5 to 30 layers, more preferably 10 to 30 layers, still more preferably 15 to 30 layers, and particularly preferably 15 to 25 layers. Is a layer. By adjusting the maximum number of layers of carbon nanotubes within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component and without being contaminated.
カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。上記カーボンナノチューブの層数の最小層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The minimum number of carbon nanotube layers is preferably 1 to 10 layers, and more preferably 1 to 5 layers. By adjusting the minimum number of the carbon nanotube layers within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component, more contaminated. .
層数分布の最頻値の相対頻度は、２５％以下であり、好ましくは１％〜２５％であり、より好ましくは５％〜２５％であり、さらに好ましくは１０％〜２５％であり、特に好ましくは１５％〜２５％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The relative frequency of the mode value of the layer number distribution is 25% or less, preferably 1% to 25%, more preferably 5% to 25%, still more preferably 10% to 25%, Particularly preferably, it is 15% to 25%. By adjusting the relative frequency of the mode value of the layer number distribution within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more securely without being scratched by the gripped component, more contaminated. it can.
層数分布の最頻値は、好ましくは層数２層から層数１０層に存在し、さらに好ましくは層数３層から層数１０層に存在する。上記層数分布の最頻値を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The mode value of the layer number distribution is preferably from 2 layers to 10 layers, and more preferably from 3 layers to 10 layers. By adjusting the mode value of the layer number distribution within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component and without being contaminated.
カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。 As the shape of the carbon nanotube, it is sufficient that its cross section has any appropriate shape. For example, the cross section may be substantially circular, elliptical, n-gonal (n is an integer of 3 or more), and the like.
カーボンナノチューブの長さは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは５０μｍ〜２５０μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。上記カーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The length of the carbon nanotube is preferably 400 μm or less, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 50 μm to 300 μm, particularly preferably 50 μm to 250 μm, and most preferably 100 μm to 200 μm. By adjusting the length of the carbon nanotube within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component and without being contaminated.
カーボンナノチューブは、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。カーボンナノチューブとしてこのように圧縮されたカーボンナノチューブ（圧縮カーボンナノチューブ）を採用することにより、カーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後のカーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The carbon nanotube is preferably obtained by compressing a fibrous columnar member having a length of 600 μm or more into a fibrous columnar member having a length of 400 μm or less. By adopting the carbon nanotubes compressed in this way (compressed carbon nanotubes) as the carbon nanotubes, the density of the carbon nanotubes can be increased moderately, and the component gripping tool of the present invention is damaged by the gripped components. Therefore, it can be gripped more reliably without contamination. The length of the carbon nanotube before compression is preferably 600 μm to 5000 μm, more preferably 600 μm to 3000 μm, still more preferably 600 μm to 1500 μm, particularly preferably 600 μm to 1000 μm, and most preferably 600 μm. ˜800 μm. By adjusting the length of the carbon nanotubes before compression within the above range, the density of the carbon nanotubes after compression can be appropriately increased, and the component gripping tool of the present invention is damaged by the gripped components. Therefore, it can be gripped more reliably without contamination.
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。 If the compression rate of the said compression is a compression rate from length 600 micrometers or more to length 400 micrometers or less, what is necessary is just to set to arbitrary appropriate compression ratios according to a use.
上記カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。 The specific surface area and density of the carbon nanotube can be set to any appropriate value.
＜第２の好ましい実施形態＞
カーボンナノチューブ集合体の好ましい実施形態の別の１つ（以下、第２の好ましい実施形態と称することがある）は、複数のカーボンナノチューブを備え、該カーボンナノチューブが複数層を有し、該カーボンナノチューブの層数分布の最頻値が層数１０層以下に存在し、該最頻値の相対頻度が３０％以上である。このようなカーボンナノチューブ集合体を採用することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。
<Second Preferred Embodiment>
Another preferred embodiment of the aggregate of carbon nanotubes (hereinafter sometimes referred to as a second preferred embodiment) includes a plurality of carbon nanotubes, the carbon nanotubes having a plurality of layers, and the carbon nanotubes. The mode value of the number distribution of layers exists in 10 layers or less, and the relative frequency of the mode value is 30% or more. By adopting such a carbon nanotube aggregate, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component, without being contaminated.
カーボンナノチューブの層数分布の分布幅は、好ましくは９層以下であり、より好ましくは１層〜９層であり、さらに好ましくは２層〜８層であり、特に好ましくは３層〜８層である。上記カーボンナノチューブの層数分布の分布幅を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The distribution width of the number distribution of carbon nanotubes is preferably 9 or less, more preferably 1 to 9 layers, still more preferably 2 to 8 layers, and particularly preferably 3 to 8 layers. is there. By adjusting the distribution width of the number distribution of the carbon nanotubes within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component, more contaminated. .
カーボンナノチューブの層数分布の「分布幅」とは、カーボンナノチューブの層数の最大層数と最小層数との差をいう。 The “distribution width” of the number distribution of carbon nanotubes refers to the difference between the maximum number and the minimum number of carbon nanotube layers.
カーボンナノチューブの層数、層数分布は、任意の適切な装置によって測定すれば良い。好ましくは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定される。例えば、カーボンナノチューブ集合体から少なくとも１０本、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブを取り出してＳＥＭあるいはＴＥＭによって測定し、層数および層数分布を評価すれば良い。 The number of layers and the number distribution of carbon nanotubes may be measured by any appropriate apparatus. Preferably, it is measured by a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM). For example, at least 10, preferably 20 or more carbon nanotubes may be taken out from the aggregate of carbon nanotubes and measured by SEM or TEM to evaluate the number of layers and the number distribution of the layers.
カーボンナノチューブの層数の最大層数は、好ましくは１層〜２０層であり、より好ましくは２層〜１５層であり、さらに好ましくは３層〜１０層である。上記カーボンナノチューブの層数の最大層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The maximum number of layers of carbon nanotubes is preferably 1 to 20 layers, more preferably 2 to 15 layers, and further preferably 3 to 10 layers. By adjusting the maximum number of the carbon nanotube layers within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component, more contaminated. .
カーボンナノチューブの層数の最小層数は、好ましくは１層〜１０層であり、より好ましくは１層〜５層である。上記カーボンナノチューブの層数の最小層数を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The minimum number of carbon nanotube layers is preferably 1 to 10 layers, and more preferably 1 to 5 layers. By adjusting the minimum number of the carbon nanotube layers within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being scratched by the gripped component, more contaminated. .
層数分布の最頻値の相対頻度は、３０％以上であり、好ましくは３０％〜１００％であり、より好ましくは３０％〜９０％であり、さらに好ましくは３０％〜８０％であり、特に好ましくは３０％〜７０％である。上記層数分布の最頻値の相対頻度を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The relative frequency of the mode value of the layer number distribution is 30% or more, preferably 30% to 100%, more preferably 30% to 90%, still more preferably 30% to 80%, Particularly preferably, it is 30% to 70%. By adjusting the relative frequency of the mode value of the layer number distribution within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more securely without being scratched by the gripped component, more contaminated. it can.
層数分布の最頻値は、層数１０層以下に存在し、好ましくは層数１層から層数１０層に存在し、より好ましくは層数２層から層数８層に存在し、さらに好ましくは層数２層から層数６層に存在する。上記層数分布の最頻値を上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The mode value of the layer number distribution is present in 10 layers or less, preferably in 1 layer to 10 layers, more preferably in 2 layers to 8 layers, Preferably, it exists in 2 layers to 6 layers. By adjusting the mode value of the layer number distribution within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component and without being contaminated.
カーボンナノチューブの形状としては、その横断面が任意の適切な形状を有していれば良い。例えば、その横断面が、略円形、楕円形、ｎ角形（ｎは３以上の整数）等が挙げられる。 As the shape of the carbon nanotube, it is sufficient that its cross section has any appropriate shape. For example, the cross section may be substantially circular, elliptical, n-gonal (n is an integer of 3 or more), and the like.
カーボンナノチューブの長さは、好ましくは４００μｍ以下であり、より好ましくは１０μｍ〜４００μｍであり、さらに好ましくは５０μｍ〜３００μｍであり、特に好ましくは５０μｍ〜２５０μｍであり、最も好ましくは１００μｍ〜２００μｍである。上記カーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The length of the carbon nanotube is preferably 400 μm or less, more preferably 10 μm to 400 μm, still more preferably 50 μm to 300 μm, particularly preferably 50 μm to 250 μm, and most preferably 100 μm to 200 μm. By adjusting the length of the carbon nanotube within the above range, the component gripping tool of the present invention can be gripped more reliably without being damaged by the gripped component and without being contaminated.
カーボンナノチューブは、好ましくは、長さ６００μｍ以上の繊維状柱状物が長さ４００μｍ以下の繊維状柱状物に圧縮されたものである。カーボンナノチューブとしてこのように圧縮されたカーボンナノチューブ（圧縮カーボンナノチューブ）を採用することにより、カーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さは、好ましくは６００μｍ〜５０００μｍであり、より好ましくは６００μｍ〜３０００μｍであり、さらに好ましくは６００μｍ〜１５００μｍであり、特に好ましくは６００μｍ〜１０００μｍであり、最も好ましくは６００μｍ〜８００μｍである。上記圧縮前のカーボンナノチューブの長さを上記範囲内に調整することにより、圧縮後のカーボンナノチューブの密度を適度に高くすることができ、本発明の部品把持具は、把持する部品により傷を付けず、より汚染せず、より確実に把持することができる。 The carbon nanotube is preferably obtained by compressing a fibrous columnar member having a length of 600 μm or more into a fibrous columnar member having a length of 400 μm or less. By adopting the carbon nanotubes compressed in this way (compressed carbon nanotubes) as the carbon nanotubes, the density of the carbon nanotubes can be increased moderately, and the component gripping tool of the present invention is damaged by the gripped components. Therefore, it can be gripped more reliably without contamination. The length of the carbon nanotube before compression is preferably 600 μm to 5000 μm, more preferably 600 μm to 3000 μm, still more preferably 600 μm to 1500 μm, particularly preferably 600 μm to 1000 μm, and most preferably 600 μm. ˜800 μm. By adjusting the length of the carbon nanotubes before compression within the above range, the density of the carbon nanotubes after compression can be appropriately increased, and the component gripping tool of the present invention is damaged by the gripped components. Therefore, it can be gripped more reliably without contamination.
上記圧縮の圧縮率は、長さ６００μｍ以上から長さ４００μｍ以下への圧縮率であれば、用途に応じて、任意の適切な圧縮率に設定すればよい。 If the compression rate of the said compression is a compression rate from length 600 micrometers or more to length 400 micrometers or less, what is necessary is just to set to arbitrary appropriate compression ratios according to a use.
カーボンナノチューブの比表面積、密度は、任意の適切な値に設定され得る。 The specific surface area and density of the carbon nanotube can be set to any appropriate value.
≪カーボンナノチューブ集合体の製造方法≫
カーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。
≪Method for producing aggregate of carbon nanotubes≫
Any appropriate method can be adopted as a method for producing a carbon nanotube aggregate.
カーボンナノチューブ集合体の製造方法としては、例えば、平滑な基板の上に触媒層を構成し、熱、プラズマなどにより触媒を活性化させた状態で炭素源を充填し、カーボンナノチューブを成長させる、化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：ＣＶＤ法）によって、基板からほぼ垂直に配向したカーボンナノチューブ集合体を製造する方法が挙げられる。この場合、基板を取り除けば、長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体が得られる。このような基板としては、任意の適切な基板を採用し得る。例えば、平滑性を有し、カーボンナノチューブの製造に耐え得る高温耐熱性を有する材料が挙げられる。このような材料としては、例えば、石英ガラス、シリコン（シリコンウェハなど）、アルミニウムなどの金属板などが挙げられる。上記基板は、そのまま、カーボンナノチューブ集合体が備え得る基材として用いることができる。 As a method for producing a carbon nanotube aggregate, for example, a catalyst layer is formed on a smooth substrate, a carbon source is filled in a state where the catalyst is activated by heat, plasma, etc., and carbon nanotubes are grown. Examples include a method of manufacturing a carbon nanotube aggregate that is substantially vertically oriented from a substrate by a vapor deposition method (Chemical Vapor Deposition: CVD method). In this case, if the substrate is removed, a carbon nanotube aggregate oriented in the length direction can be obtained. Any appropriate substrate can be adopted as such a substrate. For example, the material which has smoothness and the high temperature heat resistance which can endure manufacture of a carbon nanotube is mentioned. Examples of such materials include quartz glass, silicon (such as a silicon wafer), and a metal plate such as aluminum. The substrate can be used as it is as a base material that the carbon nanotube aggregate can have.
カーボンナノチューブ集合体を製造するための装置としては、任意の適切な装置を採用し得る。例えば、熱ＣＶＤ装置としては、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気管状炉で囲んで構成されたホットウォール型などが挙げられる。その場合、反応容器としては、例えば、耐熱性の石英管などが好ましく用いられる。 Any appropriate apparatus can be adopted as an apparatus for producing the carbon nanotube aggregate. For example, the thermal CVD apparatus includes a hot wall type in which a cylindrical reaction vessel is surrounded by a resistance heating type electric tubular furnace. In that case, for example, a heat-resistant quartz tube is preferably used as the reaction vessel.
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒（触媒層の材料）としては、任意の適切な触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒が挙げられる。 Any appropriate catalyst can be used as the catalyst (catalyst layer material) that can be used in the production of the carbon nanotube aggregate. For example, metal catalysts, such as iron, cobalt, nickel, gold, platinum, silver, copper, are mentioned.
カーボンナノチューブ集合体を製造する際、必要に応じて、基板と触媒層の中間にアルミナ／親水性膜を設けても良い。 When producing an aggregate of carbon nanotubes, an alumina / hydrophilic film may be provided between the substrate and the catalyst layer as necessary.
アルミナ／親水性膜の作製方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、基板の上にＳｉＯ２膜を作製し、Ａｌを蒸着後、４５０℃まで昇温して酸化させることにより得られる。このような作製方法によれば、Ａｌ２Ｏ３が親水性のＳｉＯ２膜と相互作用し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着したものよりも粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成される。基板の上に、親水性膜を作製することを行わずに、Ａｌを蒸着後に４５０℃まで昇温して酸化させても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。また、基板の上に、親水性膜を作製し、Ａｌ２Ｏ３を直接蒸着しても、粒子径の異なるＡｌ２Ｏ３面が形成され難いおそれがある。 Any appropriate method can be adopted as a method for producing the alumina / hydrophilic film. For example, it can be obtained by forming a SiO 2 film on a substrate, depositing Al, and then oxidizing it by raising the temperature to 450 ° C. According to such a manufacturing method, Al 2 O 3 interacts with the SiO 2 film hydrophilic, different Al 2 O 3 surface particle diameters than those deposited Al 2 O 3 directly formed. Even if Al is deposited and heated to 450 ° C. and oxidized without forming a hydrophilic film on the substrate, Al 2 O 3 surfaces having different particle diameters may not be formed easily. Moreover, even if a hydrophilic film is prepared on a substrate and Al 2 O 3 is directly deposited, it is difficult to form Al 2 O 3 surfaces having different particle diameters.
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みは、微粒子を形成させるため、好ましくは０．０１ｎｍ〜２０ｎｍであり、より好ましくは０．１ｎｍ〜１０ｎｍである。本発明のカーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る触媒層の厚みが上記範囲内にあることによって、該カーボンナノチューブ集合体は優れた機械的特性および高い比表面積を兼ね備えることができ、さらには、該カーボンナノチューブ集合体は優れた粘着特性を示し得る。触媒層の形成方法は、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をＥＢ（電子ビーム）、スパッタなどにより蒸着する方法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗布する方法などが挙げられる。 The thickness of the catalyst layer that can be used for the production of the carbon nanotube aggregate is preferably 0.01 nm to 20 nm, more preferably 0.1 nm to 10 nm in order to form fine particles. When the thickness of the catalyst layer that can be used in the production of the carbon nanotube aggregate of the present invention is within the above range, the carbon nanotube aggregate can have excellent mechanical properties and a high specific surface area. Carbon nanotube aggregates can exhibit excellent adhesion properties. Arbitrary appropriate methods can be employ | adopted for the formation method of a catalyst layer. For example, a method of depositing a metal catalyst by EB (electron beam), sputtering, or the like, a method of applying a suspension of metal catalyst fine particles on a substrate, and the like can be mentioned.
カーボンナノチューブ集合体の製造に用い得る炭素源としては、任意の適切な炭素源を用い得る。例えば、メタン、エチレン、アセチレン、ベンゼンなどの炭化水素；メタノール、エタノールなどのアルコール；などが挙げられる。 Any appropriate carbon source can be used as the carbon source that can be used for producing the carbon nanotube aggregate. For example, hydrocarbons such as methane, ethylene, acetylene, and benzene; alcohols such as methanol and ethanol;
カーボンナノチューブ集合体の製造における製造温度としては、任意の適切な温度を採用し得る。たとえば、本発明の効果を十分に発現し得る触媒粒子を形成させるため、好ましくは４００℃〜１０００℃であり、より好ましくは５００℃〜９００℃であり、さらに好ましくは６００℃〜８００℃である。 Any appropriate temperature can be adopted as the production temperature in the production of the carbon nanotube aggregate. For example, in order to form catalyst particles that can sufficiently exhibit the effects of the present invention, the temperature is preferably 400 ° C to 1000 ° C, more preferably 500 ° C to 900 ° C, and further preferably 600 ° C to 800 ° C. .
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、各種評価や測定は、以下の方法により行った。 Hereinafter, although the present invention is explained based on an example, the present invention is not limited to these. Various evaluations and measurements were performed by the following methods.
＜繊維状柱状物の長さ・直径の測定＞
繊維状柱状物の長さ・直径の測定は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。
<Measurement of length and diameter of fibrous columnar>
The length and diameter of the fibrous columnar material were measured by a scanning electron microscope (SEM) and / or a transmission electron microscope (TEM).
＜カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数・層数分布の評価＞
カーボンナノチューブ集合体におけるカーボンナノチューブの層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）および／または透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）によって測定した。得られたカーボンナノチューブ集合体の中から少なくとも１０本以上、好ましくは２０本以上のカーボンナノチューブをＳＥＭおよび／またはＴＥＭにより観察し、各カーボンナノチューブの層数を調べ、層数分布を作成した。
<Evaluation of the number and distribution of carbon nanotubes in a carbon nanotube aggregate>
The number of carbon nanotube layers and the number distribution of carbon nanotubes in the aggregate of carbon nanotubes were measured by a scanning electron microscope (SEM) and / or a transmission electron microscope (TEM). From the obtained carbon nanotube aggregate, at least 10 or more, preferably 20 or more carbon nanotubes were observed by SEM and / or TEM, the number of layers of each carbon nanotube was examined, and a layer number distribution was created.
＜静摩擦係数の測定＞
温度２３℃、湿度５０％の環境下において、被着体としてのスライドガラス表面に、２ｃｍ×２ｃｍ（４ｃｍ２）の試験片を載せ、その上に２００ｇの重りを載せ、引張速度１００ｍｍ／分で引っ張った時の静摩擦係数を測定した。
<Measurement of coefficient of static friction>
In an environment of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 50%, a test piece of 2 cm × 2 cm (4 cm 2 ) is placed on the surface of a glass slide as an adherend, a 200 g weight is placed thereon, and a tensile speed is 100 mm / min. The coefficient of static friction when pulled was measured.
＜ガラスピックアップ試験＞
（ピックアップ部品）
表１に示す、頂角α（度）、中心角θ（度）、母線の長さＲ（ｍｍ）、底面の円の半径ｒ（ｍｍ）のＳＵＳ製円錐部品を準備し、それぞれの表面を研磨紙（＃４００、＃１０００、＃２０００）で研磨し、ピックアップ部品（１）、ピックアップ部品（２）、ピックアップ部品（３）、ピックアップ部品（４）、ピックアップ部品（５）、ピックアップ部品（６）、ピックアップ部品（７）、ピックアップ部品（８）、ピックアップ部品（９）とした。
なお、頂角α（度）は、ピックアップ部品の側面からの写真上において分度器で測った頂角である。また、中心角θ（度）、母線の長さＲ（ｍｍ）、底面の円の半径ｒ（ｍｍ）は、ピックアップ部品の展開図における部分円の中心角θ、母線の長さＲ、底面の円の半径ｒであり、θ（度）＝３６０度×（ｒ／Ｒ）である。
（ピックアップ成功回数試験）
部品把持具によってピックアップ部品の曲面部分を把持して５ｃｍの高さまで持ち上げておろす作業を５０回繰り返し、ピックアップに成功した回数を測定した。
（表面観察）
ピックアップ成功回数試験の後、ピックアップ部品の曲面部分を光学顕微鏡で観察し、汚染の有無、傷の有無を観察した。
<Glass pickup test>
(Pickup parts)
Prepare SUS conical parts shown in Table 1 having apex angle α (degrees), center angle θ (degrees), bus bar length R (mm), and bottom circle radius r (mm). Polishing with abrasive paper (# 400, # 1000, # 2000) and picking up part (1), picking up part (2), picking up part (3), picking up part (4), picking up part (5), picking up part (6 ), Pickup component (7), pickup component (8), and pickup component (9).
The apex angle α (degrees) is an apex angle measured with a protractor on the photograph from the side of the pickup component. Further, the central angle θ (degrees), the length R (mm) of the bus bar, and the radius r (mm) of the circle on the bottom surface are the center angle θ of the partial circle, the length R of the bus bar, The radius r of the circle, θ (degrees) = 360 degrees × (r / R).
(Pickup success frequency test)
The operation of grasping the curved surface portion of the pickup component with the component gripper and lifting it up to a height of 5 cm was repeated 50 times, and the number of successful pickups was measured.
(Surface observation)
After the successful pick-up test, the curved surface of the pick-up component was observed with an optical microscope to check for contamination and scratches.
〔実施例１〕
シリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に、スパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）により、Ａｌ２Ｏ３薄膜（厚み２０ｎｍ）を形成した。このＡｌ薄膜上に、さらにスパッタ装置（ＵＬＶＡＣ製、ＲＦＳ−２００）にてＦｅ薄膜（厚み１．０ｎｍ）を蒸着した。
その後、この基板を３０ｍｍφの石英管内に載置し、水分７００ｐｐｍに保ったヘリウム／水素（９０／５０ｓｃｃｍ）混合ガスを石英管内に３０分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を３５分間で段階的に７６５℃まで昇温させ、７６５℃にて安定させた。７６５℃にて温度を保持したまま、ヘリウム／水素／エチレン（８５／５０／５ｓｃｃｍ、水分率７００ｐｐｍ）混合ガスを管内に充填させ、４０分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの長さは８００μｍ、直径（平均）は７．１ｎｍであった。
カーボンナノチューブ集合体（１）が備えるカーボンナノチューブの層数分布において、最頻値は２層に存在し、相対頻度は７２％であった。
シリコンウェハ（シリコンテクノロジー製）上に形成したカーボンナノチューブ集合体（１）について、シリコンウエハ（シリコンテクノロジー製）の鏡面側でカーボンナノチューブの上部より荷重をかけることにより、カーボンナノチューブの長さが３００μｍになるまで圧縮し、圧縮カーボンナノチューブが長さ方向に配向しているカーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を得た。
カーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を取り出し、ポリプロピレン基材（旭洋紙パルプ株式会社製、３０μｍ厚）をホットプレート上で２００℃に加熱し、溶融させた。上記カーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）が備えるカーボンナノチューブの片端（上端）を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定することにより、ポリプロピレン基材（３０μｍ厚）上にカーボンナノチューブ集合体（Ｐ１）を備えた積層体を得た。
得られた積層体を、ピンセット（ピエゾパーツ株式会社製、商品名：フェザーピックＳＳ−１４０）の先端ゴムパッド部分に、両面テープ（日東電工株式会社製、型番：Ｎｏ．５０００）によって貼り付け、部品把持具（１）を得た。
部品把持具（１）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
[Example 1]
An Al 2 O 3 thin film (
Thereafter, this substrate was placed in a 30 mmφ quartz tube, and a mixed gas of helium / hydrogen (90/50 sccm) maintained at a water content of 700 ppm was allowed to flow through the quartz tube for 30 minutes to replace the inside of the tube. Thereafter, the inside of the tube was gradually raised to 765 ° C. in 35 minutes using an electric tubular furnace, and stabilized at 765 ° C. While maintaining the temperature at 765 ° C., the tube was filled with a mixed gas of helium / hydrogen / ethylene (85/50/5 sccm, moisture content 700 ppm) and left standing for 40 minutes to grow carbon nanotubes on the substrate. As a result, an aggregate of carbon nanotubes (1) in which is oriented in the length direction was obtained.
The carbon nanotubes included in the carbon nanotube aggregate (1) had a length of 800 μm and a diameter (average) of 7.1 nm.
In the distribution of the number of carbon nanotubes provided in the carbon nanotube aggregate (1), the mode value was present in two layers, and the relative frequency was 72%.
For the carbon nanotube aggregate (1) formed on the silicon wafer (made by silicon technology), by applying a load from the upper part of the carbon nanotube on the mirror surface side of the silicon wafer (made by silicon technology), the length of the carbon nanotube becomes 300 μm. The carbon nanotube aggregate (P1) in which the compressed carbon nanotubes were oriented in the length direction was obtained.
The carbon nanotube aggregate (P1) was taken out, and a polypropylene base material (manufactured by Asahi Paper Pulp Co., Ltd., 30 μm thickness) was heated to 200 ° C. on a hot plate and melted. After the one end (upper end) of the carbon nanotube provided in the carbon nanotube aggregate (P1) is pressure-bonded to a melted polypropylene resin, the carbon nanotube aggregate is formed on a polypropylene substrate (30 μm thick) by cooling to room temperature and fixing. The laminated body provided with the body (P1) was obtained.
The obtained laminate is affixed to a tip rubber pad portion of tweezers (Piezo Parts Co., Ltd., trade name: Feather Pick SS-140) with a double-sided tape (Nitto Denko Co., Ltd., model number: No. 5000). A gripping tool (1) was obtained.
Evaluation was performed using the component gripper (1).
The results are shown in Table 2.
〔比較例１〕
ピンセット（ピエゾパーツ株式会社製、商品名：フェザーピックＳＳ−１４０）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
[Comparative Example 1]
Evaluation was performed using tweezers (trade name: Feather Pick SS-140, manufactured by Piezo Parts Co., Ltd.).
The results are shown in Table 2.
〔比較例２〕
ピンセット（(株)エンジニア製、商品名：ＥＳＤ ＴＷＥＥＺＥＲＳ）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
[Comparative Example 2]
Evaluation was performed using tweezers (manufactured by Engineer Co., Ltd., trade name: ESD TWEZEERS).
The results are shown in Table 2.
〔比較例３〕
金属ピンセット（ＩＤＥＡＬ−ＴＥＫ製、商品名：ＩＤ−ＤＭ）を用いて評価を行った。
結果を表２に示した。
[Comparative Example 3]
Evaluation was performed using metal tweezers (manufactured by IDEAL-TEK, trade name: ID-DM).
The results are shown in Table 2.
本発明の部品把持具は、傷の発生や汚染を避けなければならない微小な電子部品や光学部品、特に、曲面を有する微小な電子部品や光学部品の把持に利用可能である。 The component gripping tool of the present invention can be used for gripping minute electronic components and optical components that must avoid the occurrence of scratches and contamination, in particular, minute electronic components and optical components having curved surfaces.
部品把持具 １００
把持部 １０
把持部の先端 １０ａ
繊維状柱状構造体 ２０
基材 １
繊維状柱状物 ２
繊維状柱状物の片端 ２ａ
カーボンナノチューブ ２２
カーボンナノチューブの片端 ２２ａ
Fibrous
Base material 1
One end of fibrous columnar 2a
One
Claims (5)
該繊維状柱状構造体のガラス表面に対する、温度２３℃、湿度５０％、荷重２００ｇ、引張速度１００ｍｍ／分、摩擦面積４ｃｍ２における静摩擦係数が０．５以上である、
部品把持具。 A component gripping tool provided with a fibrous columnar structure in at least a portion of a gripping part for gripping operation that comes into contact with a gripping object,
With respect to the glass surface of the fibrous columnar structure, the static friction coefficient at a temperature of 23 ° C., a humidity of 50%, a load of 200 g, a tensile speed of 100 mm / min, and a friction area of 4 cm 2 is 0.5 or more.
Parts gripper.
A tweezers, which is a tweezers, and is provided with a fibrous columnar structure at a tip portion of a gripping portion for gripping operation.
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