JP2017090585A - Broadband wave plate and manufacturing method thereof - Google Patents

Broadband wave plate and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP2017090585A
JP2017090585A JP2015218285A JP2015218285A JP2017090585A JP 2017090585 A JP2017090585 A JP 2017090585A JP 2015218285 A JP2015218285 A JP 2015218285A JP 2015218285 A JP2015218285 A JP 2015218285A JP 2017090585 A JP2017090585 A JP 2017090585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
polymerizable liquid
wave plate
layer
crystal layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015218285A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
克彦 平林
Katsuhiko Hirabayashi
克彦 平林
幹隆 井藤
Mikitaka Itou
幹隆 井藤
俊夫 渡辺
Toshio Watanabe
俊夫 渡辺
光太 鹿間
Kota Shikama
光太 鹿間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP2015218285A priority Critical patent/JP2017090585A/en
Publication of JP2017090585A publication Critical patent/JP2017090585A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin broadband wave plate.SOLUTION: The broadband wave plate includes: a glass substrate; a first laminated body including a first liquid crystal alignment layer and a first polymerizable liquid crystal layer; a second laminated body which is formed over the first laminated body and includes from the first polymerizable liquid crystal layer in order, a second liquid crystal alignment layer and a second polymerizable liquid crystal layer. The first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer are different in alignment direction. The birefringence of the polymerizable liquid crystals is 0.1 or more respectively.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、広帯域で導波路に適用可能な薄い波長板およびその作製方法に関する。   The present invention relates to a thin wave plate applicable to a waveguide in a wide band and a manufacturing method thereof.

従来、光導波路の偏波を制御するために、薄い波長板が用いられることが知られている(非特許文献1)。図1は、かかる波長板を導波路に挿入した光デバイス100を示している。この光デバイス100では、例えば、アレイ導波路101の格子素子の中心対象位置に、幅が20μm幅、深さが150μmの溝102が形成されており、この溝102に、厚さが15μmのλ/2を有するポリイミド波長板103を挿入することで、偏波依存性を解消している。なお、図1において、符号104は基板を示し、符号105は主軸方向(光デバイス100の厚さ方向に対して45°の傾きを与えた軸)を示す。符号d1は光入力を示し、符号d2は光出力を示す。   Conventionally, it is known that a thin wave plate is used to control the polarization of an optical waveguide (Non-Patent Document 1). FIG. 1 shows an optical device 100 in which such a wave plate is inserted into a waveguide. In the optical device 100, for example, a groove 102 having a width of 20 μm and a depth of 150 μm is formed at the center target position of the lattice element of the arrayed waveguide 101, and a λ having a thickness of 15 μm is formed in the groove 102. By inserting the polyimide wave plate 103 having / 2, polarization dependency is eliminated. In FIG. 1, reference numeral 104 denotes a substrate, and reference numeral 105 denotes a principal axis direction (an axis giving an inclination of 45 ° with respect to the thickness direction of the optical device 100). Reference numeral d1 indicates an optical input, and reference numeral d2 indicates an optical output.

上述した波長板103は、波長依存性を持ち、λ/2波長領域(複屈折光の位相差がλ/2波長となる領域)と、λ/4波長領域(複屈折光の位相差がλ/4波長となる領域)は狭い。このため、波長板103は、1550nm付近でしか所望の波長板として機能しない。   The wave plate 103 described above has wavelength dependence, and has a λ / 2 wavelength region (region where the phase difference of birefringent light is λ / 2 wavelength) and a λ / 4 wavelength region (phase difference of birefringent light is λ). / 4 wavelength region) is narrow. For this reason, the wave plate 103 functions as a desired wave plate only in the vicinity of 1550 nm.

ここで、一般的な単層のλ/2波長板およびλ/4波長板についてのクロスニコル(2つの波長板を、その主断面が互いに直角になるように一直線上に並べたもの)と、平行ニコル(2つの波長板を、その主断面が互いに平行になるように一直線上に並べたもの)との波長依存性の計算結果を図2に示す。   Here, a crossed Nicol (two wavelength plates arranged in a straight line so that their main cross sections are perpendicular to each other) for a general single-layer λ / 2 wavelength plate and λ / 4 wavelength plate, FIG. 2 shows the calculation result of wavelength dependence with parallel Nicols (two wave plates arranged in a straight line so that their main cross sections are parallel to each other).

図2(a)は、かかる単層1/4波長板の計算結果を示している。図2(b)は、かかる単層1/2波長板の計算結果を示している。   FIG. 2A shows the calculation result of such a single-layer quarter-wave plate. FIG. 2B shows the calculation result of such a single-layer half-wave plate.

図2(a)および図2(b)の計算結果によれば、1/2波長板および1/4波長板として機能するのは、1.55μm付近のみであることがわかる。このような狭い波長帯のみで作動する波長板の特性を改善する方法がディスプレイ分野で提案されている。   According to the calculation results of FIGS. 2 (a) and 2 (b), it can be understood that only the vicinity of 1.55 μm functions as the half-wave plate and the quarter-wave plate. A method for improving the characteristics of a wave plate operating only in such a narrow wavelength band has been proposed in the display field.

上述した1/2波長板を広帯域にするには、波長板平面内の光軸に対して遅延軸θ2が22.5°方向の1/2波長板と 遅延軸θ1が67.5°方向の1/2波長板とを積層すればよいことが知られている。一方、1/4波長板を広帯域にするには、遅延軸θ1が15°方向の1/2波長板と、遅延軸θ2が75°方向の1/4波長板とを積層すればよいことが知られている。このときの計算結果を図3に示す。 In order to widen the above-mentioned half-wave plate, the half-wave plate whose delay axis θ 2 is 22.5 ° relative to the optical axis in the plane of the wave plate and the delay axis θ 1 is 67.5 °. It is known that a direction half-wave plate may be laminated. On the other hand, in order to make the quarter-wave plate broadband, it is only necessary to stack a half-wave plate with a delay axis θ1 of 15 ° direction and a quarter-wave plate with a delay axis θ2 of 75 ° direction. Are known. The calculation results at this time are shown in FIG.

図3(a)は、かかる積層1/2波長板(θ1=67.5°、θ2=22.5°)の計算結果を示している。図3(b)は、かかる積層1/4波長板(θ1=15°、θ2=75°)の計算結果を示している。図3(a)および図3(b)の計算結果によれば、1.3μm〜1.9μmの波長帯域を有することがわかる。 FIG. 3A shows the calculation result of such a laminated half-wave plate (θ 1 = 67.5 °, θ 2 = 22.5 °). FIG. 3B shows a calculation result of such a laminated quarter wave plate (θ 1 = 15 °, θ 2 = 75 °). According to the calculation results of FIGS. 3A and 3B, it can be seen that the wavelength band is 1.3 μm to 1.9 μm.

このような積層型波長板を用いて、液晶ディスプレイの視野角の改善や色の補正をするために、パネルに複屈折フィルムを積層して貼り合わせることが行われている。一般的に、位相差フィルムは延伸したフィルムを用いることが多い。このときの位相差フィルムの位相差Δnは0.01〜0.05程度であり、1/2波長板または1/4波長板の厚さは数10μmとなる。仮に、これらの波長板をアクリルやエポキシの接着剤で貼り合わせると、広帯域化は実現するものの、波長板全体の厚さは100μm近くなってしまう。   In order to improve the viewing angle of the liquid crystal display and correct the color using such a laminated wave plate, a birefringent film is laminated and bonded to the panel. In general, a stretched film is often used as the retardation film. The retardation Δn of the retardation film at this time is about 0.01 to 0.05, and the thickness of the half-wave plate or quarter-wave plate is several tens of μm. If these wave plates are bonded together with an acrylic or epoxy adhesive, a wide band can be realized, but the thickness of the entire wave plate becomes close to 100 μm.

T. Niwa, H. Hasegawa, K. Sato, “A 270 × 270 optical cross-connect switch utilizing wavelength routing with cascaded AWGs,” Optical Fiber Communication Conference and Exposition and the National Fiber Optic Engineers Conference (OFC/NFOEC) 2013,OTh1A.3 (2013).T. Niwa, H. Hasegawa, K. Sato, “A 270 × 270 optical cross-connect switch utilizing wavelength routing with cascaded AWGs,” Optical Fiber Communication Conference and Exposition and the National Fiber Optic Engineers Conference (OFC / NFOEC) 2013, OTh1A.3 (2013).

上記積層型波長板は、複屈折フィルムが積層される。しかしながら、複屈折フィルムが貼り合わせられると、波長板自体の膜厚が厚くなりすぎるために、光ファイバまたは導波路用の広帯域波長板として適用することができない。   The laminated wave plate is laminated with a birefringent film. However, when the birefringent film is bonded, the thickness of the wave plate itself becomes too thick, so that it cannot be applied as a broadband wave plate for optical fibers or waveguides.

例えば、30μm厚のフィルムであれば、導波路に挿入した際に0.12dBの損失が生じるのに対し、100μmの厚さのフィルムでは2.2dBの損失が生じてしまう。このような大きな損失を生じる波長板は実用に耐えない。   For example, a film having a thickness of 30 μm causes a loss of 0.12 dB when inserted into a waveguide, whereas a film having a thickness of 100 μm causes a loss of 2.2 dB. A wave plate that causes such a large loss is not practical.

波長板の膜厚を薄くするためには、複屈折Δnが大きい方が好ましいが、延伸フィルムのΔnは最大でも0.01〜0.05程度にしかならない。一方、通常の市販の重合性液晶のΔnは0.15〜0.2と延伸フィルムの数倍の複屈折を持つ。このため薄型化には適している。以下に、代表的な液晶メーカから市販されている重合性液晶のΔnを下記表に示す。   In order to reduce the thickness of the wave plate, it is preferable that the birefringence Δn is large, but the Δn of the stretched film is only about 0.01 to 0.05 at the maximum. On the other hand, Δn of ordinary commercially available polymerizable liquid crystals has a birefringence of 0.15 to 0.2, which is several times that of a stretched film. Therefore, it is suitable for thinning. The following table shows Δn of polymerizable liquid crystals commercially available from typical liquid crystal manufacturers.

しかし、重合性液晶は塗布形の材料であるので、基板が必要となるが、この基板が厚ければ、トータルの膜厚は厚くなってしまう。   However, since the polymerizable liquid crystal is a coating-type material, a substrate is required. However, if this substrate is thick, the total film thickness is increased.

本発明は、このような状況下においてなされたものであり、その目的は、薄型でかつ広帯域な波長板を提供することである。   The present invention has been made under such circumstances, and an object thereof is to provide a thin and broadband wave plate.

上記の課題を解決するための発明は、透明材層と、前記透明材層上に形成され、第1の液晶配向膜層と第1の重合性液晶層とを含む第1の積層体と、前記第1の積層体上に形成され、前記第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層と第2の重合性液晶層とを含む第2の積層体とを含み、前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層とは、配向方向が異なり、前記第1の重合性液晶層および前記第2の重合性液晶層の複屈折率は、0.1以上である。   The invention for solving the above-described problems includes a transparent material layer, a first laminate formed on the transparent material layer and including a first liquid crystal alignment film layer and a first polymerizable liquid crystal layer, A second laminate including a second liquid crystal alignment film layer and a second polymerizable liquid crystal layer formed in order from the first polymerizable liquid crystal layer side, and formed on the first laminate. The first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer have different orientation directions, and the birefringence of the first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer is 0. .1 or more.

ここで、前記第1の重合性液晶層および前記第2の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/2であり、前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層との光軸のなす角度は、35°以上55°以下であるようにしてもよい。   Here, the retardation of birefringent light in the first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer is λ / 2, and the first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer are The angle formed by the optical axis with the liquid crystal layer may be not less than 35 ° and not more than 55 °.

前記第1の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/2であり、前記第2の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/4であり、前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層との光軸のなす角度は、50°以上70°以下であるようにしてもよい。   The phase difference of birefringent light in the first polymerizable liquid crystal layer is λ / 2, the phase difference of birefringent light in the second polymerizable liquid crystal layer is λ / 4, and the first The angle formed by the optical axis of the polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer may be 50 ° or more and 70 ° or less.

前記透明材層は、ガラスまたはポリイミドで形成されるようにしてもよい。   The transparent material layer may be made of glass or polyimide.

前記波長板の全体の厚さは、30μm以下としてもよい。   The overall thickness of the wave plate may be 30 μm or less.

上記の課題を解決するための発明は、波長板の作製方法であって、透明材層上に、第1の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第1の液晶配向膜層上に第1の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、前記第1の重合性液晶層上に、当該第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第2の液晶配向膜層上に第2の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、前記透明材層を研磨することにより前記波長板の全体の厚さを30μm以下にするステップとを含む。   The invention for solving the above-mentioned problems is a method for producing a wave plate, wherein a first liquid crystal alignment film layer is applied on a transparent material layer and subjected to a rubbing treatment, and then the first liquid crystal alignment is performed. A step of applying and curing a first polymerizable liquid crystal layer on the film layer; and a second liquid crystal alignment film on the first polymerizable liquid crystal layer in this order from the first polymerizable liquid crystal layer side. And applying a rubbing treatment to the layer, and then applying and curing a second polymerizable liquid crystal layer on the second liquid crystal alignment film layer, and polishing the transparent material layer to obtain the wave plate. And making the total thickness of the substrate 30 μm or less.

上記の課題を解決するための発明は、波長板の作製方法であって、Si基板にフッ素化ポリイミドを塗布し、第1の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第1の液晶配向膜層上に第1の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、前記第1の重合性液晶層上に、当該第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第2の液晶配向膜層上に第2の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、前記Si基板から前記フッ素化ポリイミドを剥離することにより前記波長板の全体の厚さを30μm以下にするステップとを含む。   The invention for solving the above-mentioned problem is a method for producing a wave plate, which comprises applying a fluorinated polyimide to a Si substrate, applying a first liquid crystal alignment film layer, performing a rubbing treatment, Applying and curing a first polymerizable liquid crystal layer on one liquid crystal alignment film layer; and, on the first polymerizable liquid crystal layer, in order from the first polymerizable liquid crystal layer side, a second Applying a rubbing treatment after applying the liquid crystal alignment film layer, and applying and curing a second polymerizable liquid crystal layer on the second liquid crystal alignment film layer; and the fluorinated polyimide from the Si substrate. And the step of reducing the total thickness of the wave plate to 30 μm or less.

本発明によれば、従来よりも薄型でかつ広帯域な波長板が実現できる。   According to the present invention, it is possible to realize a wave plate that is thinner and wider than the conventional one.

従来の波長板を導波路に挿入した光デバイスの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the optical device which inserted the conventional wavelength plate in the waveguide. 通常の単層1/2波長板および1/4波長板において、クロスニコルと平行ニコルとの波長依存性の計算結果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the calculation result of the wavelength dependence of a crossed Nicol and a parallel Nicol in a normal single layer 1/2 wavelength plate and a 1/4 wavelength plate. 積層した広帯域1/2波長板および積層した広帯域1/4波長板のクロスニコルと平行ニコルとの波長依存性の計算結果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the calculation result of the wavelength dependence of the crossed Nicol and parallel Nicol of the laminated | stacked broadband 1/2 wavelength plate and the laminated broadband 1/4 wavelength plate. 実施例1の広帯域1/4波長板の作製法を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a method for producing a broadband quarter-wave plate of Example 1. 実施例1における広帯域1/2波長板の波長と透過率との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the wavelength of the broadband 1/2 wavelength plate in Example 1, and the transmittance | permeability. 実施例1における広帯域1/4波長板の波長と透過率との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the wavelength and transmittance | permeability of a broadband quarter wavelength plate in Example 1. FIG. 通常の1/2波長板の波長と透過率との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the wavelength of a normal half-wave plate, and the transmittance | permeability. 通常の1/4波長板の波長と透過率との関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the relationship between the wavelength of a normal quarter wavelength plate, and the transmittance | permeability. 実施例2における波長板の作製工程を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a wave plate manufacturing process in Example 2. 実施例3の波長板において、可視域での透過スペクトルを説明するための図である。In the waveplate of Example 3, it is a figure for demonstrating the transmission spectrum in a visible region. 通常の1/2波長板および1/4波長板の透過スペクトルを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the transmission spectrum of a normal 1/2 wavelength plate and a 1/4 wavelength plate.

<実施例1>
図4は、実施例1の広帯域1/4波長板の一例を説明するための図であって、(a)〜(e)は広帯域1/4波長板の作製工程、(f)は広帯域1/4波長板の断面図、を示す。
<Example 1>
FIGS. 4A and 4B are diagrams for explaining an example of the broadband quarter-wave plate of the first embodiment. FIGS. 4A to 4E are steps for producing a broadband quarter-wave plate, and FIG. Sectional drawing of / 4 wavelength plate is shown.

まず、ガラス基板(透明材層)11にポリイミド配向膜(液晶配向膜層)12を塗布する(図4(a))。ポリイミド配向膜12は、例えば、日産化学工業株式会社の製品(製品名SE150)を用いる。図4(a)の例では、ポリイミド配向膜12の短手方向に対して15°右方向にポリイミド配向膜12をラビングする。   First, a polyimide alignment film (liquid crystal alignment film layer) 12 is applied to a glass substrate (transparent material layer) 11 (FIG. 4A). For the polyimide alignment film 12, for example, a product (product name SE150) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. is used. In the example of FIG. 4A, the polyimide alignment film 12 is rubbed in the right direction by 15 ° with respect to the short direction of the polyimide alignment film 12.

ポリイミド配向膜12上に重合性液晶13を塗布し、重合性液晶13にUV(紫外線)を照射することより重合性液晶13を硬化させる(図4(b))。重合性液晶13は、例えば、DIC株式会社の製品(製品名UCL017A、複屈折率=0.16)を用いる。なお、重合性液晶13の複屈折率は、0.1以上であることが好ましい。   A polymerizable liquid crystal 13 is applied on the polyimide alignment film 12, and the polymerizable liquid crystal 13 is cured by irradiating the polymerizable liquid crystal 13 with UV (ultraviolet rays) (FIG. 4B). As the polymerizable liquid crystal 13, for example, a product (product name UCL017A, birefringence = 0.16) of DIC Corporation is used. The birefringence of the polymerizable liquid crystal 13 is preferably 0.1 or more.

この実施例では、上記図4(b)に示した工程(重合性液晶塗布+UV照射硬化)を5回繰り返して、波長板全体の膜厚を約5μmとして、1/2波長板を作製した。   In this example, the process shown in FIG. 4B (polymerizable liquid crystal application + UV irradiation curing) was repeated 5 times, and the film thickness of the entire wave plate was about 5 μm to produce a half-wave plate.

この実施例の説明では、上述した1/2波長板は、ポリイミド配向膜12および重合性液晶13を含む積層体40である。   In the description of this embodiment, the half-wave plate described above is a laminate 40 including the polyimide alignment film 12 and the polymerizable liquid crystal 13.

次に、図4(b)に示した重合性液晶13上に、ポリイミド配向膜14を塗布する(図4(c))。ポリイミド配向膜14は、例えば、上述したポリイミド配向膜12と同様の製品を用いる。さらに、ポリイミド配向膜14上に、重合性液晶15を形成し、その重合性液晶15にUV(紫外線)を照射することより重合性液晶15を硬化させる(図4(c))。重合性液晶15についても、例えば上述した重合性液晶13と同様の製品を用いる。なお、重合性液晶15の複屈折率も、0.1以上であることが好ましい。   Next, a polyimide alignment film 14 is applied on the polymerizable liquid crystal 13 shown in FIG. 4B (FIG. 4C). For the polyimide alignment film 14, for example, a product similar to the polyimide alignment film 12 described above is used. Further, a polymerizable liquid crystal 15 is formed on the polyimide alignment film 14, and the polymerizable liquid crystal 15 is cured by irradiating the polymerizable liquid crystal 15 with UV (ultraviolet rays) (FIG. 4C). For the polymerizable liquid crystal 15, for example, a product similar to the above-described polymerizable liquid crystal 13 is used. The birefringence of the polymerizable liquid crystal 15 is also preferably 0.1 or more.

図4(c)の例では、重合性液晶13の短手方向に対して75°右方向にポリイミド配向膜14をラビングする。   In the example of FIG. 4C, the polyimide alignment film 14 is rubbed in the right direction by 75 ° with respect to the short direction of the polymerizable liquid crystal 13.

この実施例1では、上記図4(c)に示した工程(重合性液晶塗布+UV照射硬化)を3回繰り返して、波長板全体の膜厚を約3μmとして、1/4波長板を作製した。   In Example 1, the step shown in FIG. 4C (polymerization liquid crystal coating + UV irradiation curing) was repeated three times to make a quarter-wave plate with a total thickness of about 3 μm. .

この実施例の説明では、上述した1/4波長板は、ポリイミド配向膜14および重合性液晶15を含む積層体41である。   In the description of this embodiment, the above-described quarter wavelength plate is a laminate 41 including the polyimide alignment film 14 and the polymerizable liquid crystal 15.

さらに、ガラス基板11を裏返し、重合性液晶15の裏面をワックスで固定し、ガラス基板11のガラス面を研磨する(図4(d))。この実施例では、作製された波長板全体の厚さが30μm以下となるまで研磨する。その結果、研磨してもカールすることなく、広帯域1/4波長板1としてのフィルムが完成した(図4(e)、図4(f))。   Further, the glass substrate 11 is turned over, the back surface of the polymerizable liquid crystal 15 is fixed with wax, and the glass surface of the glass substrate 11 is polished (FIG. 4D). In this embodiment, polishing is performed until the thickness of the entire manufactured wave plate is 30 μm or less. As a result, the film as the broadband quarter-wave plate 1 was completed without curling even when polished (FIGS. 4E and 4F).

図4(f)の例では、重合性液晶15は、遅延軸方向が75°の1/4波長板1となっており、その厚さは3μmである。ポリイミド配向膜14の厚さは0.04μmである。重合性液晶13は、遅延軸方向が15°の1/2波長板となっており、その厚さは5μmである。ポリイミド配向膜12の厚さは0.04μmである。ガラス基板11の厚さは、8μmである。   In the example of FIG. 4F, the polymerizable liquid crystal 15 is a quarter wavelength plate 1 whose delay axis direction is 75 °, and the thickness thereof is 3 μm. The thickness of the polyimide alignment film 14 is 0.04 μm. The polymerizable liquid crystal 13 is a half-wave plate whose delay axis direction is 15 °, and its thickness is 5 μm. The thickness of the polyimide alignment film 12 is 0.04 μm. The thickness of the glass substrate 11 is 8 μm.

その後、図4(f)に示した波長板1をダイシングで切断した。そして、例えば図1に示したような導波路101の溝102(この実施例では、例えば、幅30μm×深さ150μm)に真空ピンセットで挿入した。そして、導波路101に波長板1を挿入した状態で、クロスニコルおよび平行ニコルの特定を測定し、後述する図5および図6とほぼ同じスペクトルを得た。   Thereafter, the wave plate 1 shown in FIG. 4F was cut by dicing. Then, for example, the groove 102 of the waveguide 101 as shown in FIG. 1 (in this embodiment, for example, width 30 μm × depth 150 μm) is inserted with vacuum tweezers. And in the state which inserted the wave plate 1 in the waveguide 101, specification of cross Nicole and parallel Nicol was measured, and the spectrum substantially the same as FIG. 5 and FIG. 6 mentioned later was acquired.

なお、重合性液晶13における複屈折光の位相差は、λ/2であり、重合性液晶15における複屈折光の位相差は、λ/4であり、重合性液晶13と重合性液晶15との光軸のなす角度は、60°または45°が好適であるが、例えば、50°以上70°以下であってもよいし、35°以下55°以上であってもよい。このようにしても広帯域特性を実現できる(後記する1/2波長板についても同様)。   The phase difference of the birefringent light in the polymerizable liquid crystal 13 is λ / 2, the phase difference of the birefringent light in the polymerizable liquid crystal 15 is λ / 4, and the polymerizable liquid crystal 13 and the polymerizable liquid crystal 15 are The angle formed by the optical axis is preferably 60 ° or 45 °, but may be, for example, 50 ° or more and 70 ° or less, or 35 ° or less and 55 ° or more. Even in this way, broadband characteristics can be realized (the same applies to a half-wave plate described later).

以上では、図4を参照して、広帯域に適用できる1/4波長板1について説明したが、広帯域に適用できる1/2波長板についても同様に作製することができる。このとき、1/2波長板の各層については、図4に示した1/2波長板のものと同様であるが、後述するように、遅延軸方向などが異なる。   Although the ¼ wavelength plate 1 applicable to a wide band has been described above with reference to FIG. 4, a ½ wavelength plate applicable to a wide band can be similarly manufactured. At this time, each layer of the half-wave plate is the same as that of the half-wave plate shown in FIG. 4, but the delay axis direction and the like are different as described later.

すなわち、図4(f)に示したものにおいて、1/2波長板では、重合性液晶15は、遅延軸方向が67.5°の1/2波長板となっており、その厚さは5μmである。ポリイミド配向膜14の厚さは0.04μmである。重合性液晶13は、遅延軸方向が22.5°の1/2波長板となっており、その厚さは5μmである。ポリイミド配向膜12の厚さは0.04μmである。ガラス基板11の厚さは8μmである。   That is, in the one shown in FIG. 4 (f), in the half-wave plate, the polymerizable liquid crystal 15 is a half-wave plate whose delay axis direction is 67.5 °, and its thickness is 5 μm. It is. The thickness of the polyimide alignment film 14 is 0.04 μm. The polymerizable liquid crystal 13 is a half-wave plate with a delay axis direction of 22.5 °, and its thickness is 5 μm. The thickness of the polyimide alignment film 12 is 0.04 μm. The thickness of the glass substrate 11 is 8 μm.

上述のように作製された1/2波長板および1/4波長板について、それぞれのクロスニコルと平行ニコルとにおける分光スペクトルを測定した。その結果を図5〜図6に示す。   About the half-wave plate and the quarter-wave plate produced as mentioned above, the spectrum in each crossed Nicol and parallel Nicol was measured. The results are shown in FIGS.

図5は、かかる広帯域1/2波長板の波長と透過率との関係を示してある。図6は、かかる広帯域1/4波長板の波長と透過率との関係を示してある。   FIG. 5 shows the relationship between the wavelength and transmittance of such a broadband half-wave plate. FIG. 6 shows the relationship between the wavelength and transmittance of such a broadband quarter-wave plate.

図5の一例をみれば、1/2波長板のクロスニコルおよび平行ニコルは、1300nm〜1800nmの波長において、フラットな透過率となることがわかる。   From an example of FIG. 5, it can be seen that the crossed Nicols and parallel Nicols of the half-wave plate have a flat transmittance at wavelengths of 1300 nm to 1800 nm.

図6の一例をみれば、1/4波長板のクロスニコルおよび平行ニコルは、1400nm〜1700nmの波長において、ほぼフラットな透過率となることがわかる。   From an example of FIG. 6, it can be seen that the crossed Nicols and parallel Nicols of the quarter-wave plate have a substantially flat transmittance at a wavelength of 1400 nm to 1700 nm.

上述した図5〜図6と比較するために、通常の単層1/2波長板および通常の単層1/4波長板のスペクトルを図7〜8に示す。   For comparison with FIGS. 5 to 6 described above, the spectra of a normal single-layer half-wave plate and a normal single-layer quarter-wave plate are shown in FIGS.

図7は、通常の単層1/2波長板の波長と透過率との関係を示してある。図8は、通常の単層1/4波長板の波長と透過率との関係を示してある。   FIG. 7 shows the relationship between the wavelength and transmittance of a normal single-layer half-wave plate. FIG. 8 shows the relationship between the wavelength and transmittance of a normal single-layer quarter-wave plate.

図7に示したものは、図2(b)に示した1/2波長板の計算結果とほぼ一致し、図8に示したものは、図2(a)に示した1/4波長板の計算結果とほぼ一致している。図7〜8において、1560nm付近でのみ、1/2波長板および1/4波長板として機能することがわかる。すなわち、図5〜6に示したものと異なり、波長帯域が狭い。   7 is substantially the same as the calculation result of the half-wave plate shown in FIG. 2B, and the one shown in FIG. 8 is the quarter-wave plate shown in FIG. It almost agrees with the calculation result. 7-8, it turns out that it functions as a half-wave plate and a quarter-wave plate only around 1560 nm. That is, unlike the ones shown in FIGS.

以上説明したように、この実施例の波長板は、ポリイミド配向膜12および重合性液晶13を含む積層体40と、ポリイミド配向膜14および重合性液晶15を含む積層体41とを含む。ここで、重合性液晶13と重合性液晶15とは、配向方向が異なり、重合性液晶13および重合性液晶15の複屈折率は、0.1以上である。このため、薄型で、かつ広帯域の波長板が実現できる。   As described above, the wave plate of this embodiment includes the laminate 40 including the polyimide alignment film 12 and the polymerizable liquid crystal 13, and the laminate 41 including the polyimide alignment film 14 and the polymerizable liquid crystal 15. Here, the polymerizable liquid crystal 13 and the polymerizable liquid crystal 15 have different orientation directions, and the birefringence of the polymerizable liquid crystal 13 and the polymerizable liquid crystal 15 is 0.1 or more. For this reason, a thin and broadband wave plate can be realized.

<実施例2>
実施例1では、図4を参照して、ガラス基板を用いて波長板を作製する工程について説明した。これとは別に、ガラス基板を用いるのではなく、ポリイミド膜/Si基板を用いて作製するようにしてもよい。
<Example 2>
In Example 1, with reference to FIG. 4, the process of producing a wave plate using a glass substrate has been described. Apart from this, a glass substrate may be used instead of a polyimide film / Si substrate.

図9は、実施例2の波長板の一例を説明するための図であって、(a)〜(f)は広帯域波長板の作製工程、(g)は広帯域波長板の断面図、を示す。   FIGS. 9A and 9B are diagrams for explaining an example of the wave plate according to the second embodiment, where FIGS. 9A to 9F show a manufacturing process of the broadband wave plate, and FIG. 9G shows a cross-sectional view of the broadband wave plate. .

まず、Si基板21上に、フッ素化ポリイミド(ルクスビア)22を塗布して、340℃でアニールする(図9(a))。フッ素化ポリイミド22は、例えば、日揮触媒化成株式会社のルクスビアPFシリーズを用いる。フッ素化ポリイミド22は複屈折性を持たず、透明で強固な5〜10μm厚程度の膜となる。   First, a fluorinated polyimide (Luxvia) 22 is applied on the Si substrate 21 and annealed at 340 ° C. (FIG. 9A). As the fluorinated polyimide 22, for example, Luxvia PF series manufactured by JGC Catalysts & Chemicals Co., Ltd. is used. The fluorinated polyimide 22 does not have birefringence and is a transparent and strong film having a thickness of about 5 to 10 μm.

次に、フッ素化ポリイミド22上に、ポリイミド配向膜(液晶配向膜層)23を塗布する。ポリイミド配向膜23は、実施例2においても、例えば、日産化学工業株式会社の製品(製品名SE150)を用いる。そして、ポリイミド配向膜23の短手方向に対して15°右方向にポリイミド配向膜23をラビングする(図9(b))。   Next, a polyimide alignment film (liquid crystal alignment film layer) 23 is applied on the fluorinated polyimide 22. Also in Example 2, the polyimide alignment film 23 uses, for example, a product (product name SE150) manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd. Then, the polyimide alignment film 23 is rubbed in the right direction by 15 ° with respect to the short direction of the polyimide alignment film 23 (FIG. 9B).

次に、ポリイミド配向膜23上に、重合性液晶24を塗布し、重合性液晶24にUVを照射することより重合性液晶24を硬化させる(図9(c))。重合性液晶24は、例えば、DIC株式会社の製品(例えば、製品名UCL017A、複屈折率=0.16)を用いる。重合性液晶24の複屈折率は、0.1以上であることが好ましい。   Next, the polymerizable liquid crystal 24 is applied on the polyimide alignment film 23, and the polymerizable liquid crystal 24 is cured by irradiating the polymerizable liquid crystal 24 with UV (FIG. 9C). For the polymerizable liquid crystal 24, for example, a product of DIC Corporation (for example, product name UCL017A, birefringence = 0.16) is used. The birefringence of the polymerizable liquid crystal 24 is preferably 0.1 or more.

この実施例では、1/2波長板とするために、図9(c)に示した工程(重合性液晶塗布+UV照射硬化)を5回繰り返して、波長板全体の膜厚を調整した。この実施例の1/2波長板は、上述した1/2波長板は、ポリイミド配向膜23および重合性液晶24を含む積層体50を備える。   In this example, in order to obtain a half-wave plate, the process shown in FIG. 9C (polymerization liquid crystal application + UV irradiation curing) was repeated 5 times to adjust the film thickness of the entire wave plate. The half-wave plate of this example includes the laminate 50 including the polyimide alignment film 23 and the polymerizable liquid crystal 24.

図9(c)に示した重合性液晶24上に、ポリイミド配向膜25を塗布する(図9(d))。ポリイミド配向膜25も、例えば、上述した製品(日産化学工業SE150)を用いる。図9(d)の例では、重合性液晶24の直径方向に対して75°右方向にポリイミド配向膜25をラビングする。   A polyimide alignment film 25 is applied on the polymerizable liquid crystal 24 shown in FIG. 9C (FIG. 9D). As the polyimide alignment film 25, for example, the above-mentioned product (Nissan Chemical Industries SE150) is used. In the example of FIG. 9D, the polyimide alignment film 25 is rubbed in the right direction by 75 ° with respect to the diameter direction of the polymerizable liquid crystal 24.

さらに、ポリイミド配向膜25上に、重合性液晶26(例えば、上述したUCL017Aの製品)を塗布し、UV照射により重合性液晶26を硬化させる(図9(e))。重合性液晶26の複屈折率は、0.1以上であることが好ましい。   Further, a polymerizable liquid crystal 26 (for example, the above-mentioned UCL017A product) is applied on the polyimide alignment film 25, and the polymerizable liquid crystal 26 is cured by UV irradiation (FIG. 9E). The birefringence of the polymerizable liquid crystal 26 is preferably 0.1 or more.

この実施例では、1/4波長板とするために、図9(d)および図9(e)に示した工程(重合性液晶塗布、UV硬化)を3回繰り返して、波長板全体の膜厚を調整した。   In this example, in order to obtain a quarter-wave plate, the steps shown in FIGS. 9 (d) and 9 (e) (application of polymerizable liquid crystal, UV curing) are repeated three times to form a film on the entire wave plate. The thickness was adjusted.

この実施例の説明では、上述した1/4波長板は、ポリイミド配向膜25および重合性液晶26を含む積層体51である。   In the description of this embodiment, the above-described quarter wavelength plate is a laminate 51 including the polyimide alignment film 25 and the polymerizable liquid crystal 26.

その後、図9(e)に示したSi基板21を含む積層体を水に浸して側面に対してカッターで傷を入れると、Si基板21が積層体(この実施例では、膜22〜26)から剥がれる(図9(f):波長板の全体の厚さを30μm以下にする工程)。このとき、積層体全体(すなわち、膜22〜26)の厚さは15μmである。この積層体を所望の方向に切り出して、実施例1と同様にして導波路の溝に挿入する。このようにしても、実施例1と同様に、1/2波長板、1/4波長板を広帯域化することができる。   Then, when the laminated body including the Si substrate 21 shown in FIG. 9E is immersed in water and scratched on the side surface with a cutter, the Si substrate 21 is laminated (in this embodiment, films 22 to 26). (FIG. 9 (f): a step of making the entire thickness of the wave plate 30 μm or less). At this time, the thickness of the entire laminate (that is, the films 22 to 26) is 15 μm. This laminate is cut out in a desired direction and inserted into the waveguide groove in the same manner as in the first embodiment. Even in this case, similarly to the first embodiment, the ½ wavelength plate and the ¼ wavelength plate can be widened.

図4(g)に示した波長板1Aの例では、重合性液晶26は、遅延軸方向が75°のλ/4波長板となっており、その厚さは3μmである。ポリイミド配向膜25の厚さは0.04μmである。重合性液晶24は、遅延軸方向が15°のλ/2波長板となっており、その厚さは5μmである。ポリイミド配向膜23の厚さは0.04μmである。フッ素化ポリイミド22の厚さは5−10μmである。   In the example of the wave plate 1A shown in FIG. 4G, the polymerizable liquid crystal 26 is a λ / 4 wave plate whose delay axis direction is 75 °, and its thickness is 3 μm. The thickness of the polyimide alignment film 25 is 0.04 μm. The polymerizable liquid crystal 24 is a λ / 2 wavelength plate with a delay axis direction of 15 °, and its thickness is 5 μm. The thickness of the polyimide alignment film 23 is 0.04 μm. The thickness of the fluorinated polyimide 22 is 5-10 μm.

なお、重合性液晶24における複屈折光の位相差は、λ/2であり、重合性液晶26における複屈折光の位相差は、λ/4であり、重合性液晶24と重合性液晶26との光軸のなす角度は、60°または45°が好適であるが、例えば、50°以上70°以下であってもよいし、35°以下55°以上であってもよい。このようにしても広帯域特性を実現できる。   The phase difference of the birefringent light in the polymerizable liquid crystal 24 is λ / 2, and the phase difference of the birefringent light in the polymerizable liquid crystal 26 is λ / 4, and the polymerizable liquid crystal 24 and the polymerizable liquid crystal 26 are The angle formed by the optical axis is preferably 60 ° or 45 °, but may be, for example, 50 ° or more and 70 ° or less, or 35 ° or less and 55 ° or more. Even in this way, wideband characteristics can be realized.

以上説明したように、この実施例の波長板は、ポリイミド配向膜23および重合性液晶24を含む積層体50と、ポリイミド配向膜25および重合性液晶26を含む積層体51とを含む。ここで、重合性液晶24と重合性液晶26とは、配向方向が異なり、重合性液晶24および重合性液晶26の複屈折率は、0.1以上である。また、基板となるフッ素化ポリイミドは、5〜10μmの厚さである。このため、薄型で、かつ広帯域の波長板が実現できる。   As described above, the wave plate of this embodiment includes the laminate 50 including the polyimide alignment film 23 and the polymerizable liquid crystal 24, and the laminate 51 including the polyimide alignment film 25 and the polymerizable liquid crystal 26. Here, the polymerizable liquid crystal 24 and the polymerizable liquid crystal 26 have different orientation directions, and the birefringence of the polymerizable liquid crystal 24 and the polymerizable liquid crystal 26 is 0.1 or more. Moreover, the fluorinated polyimide used as a board | substrate is 5-10 micrometers in thickness. For this reason, a thin and broadband wave plate can be realized.

<実施例3>
以上では、可視域用の光ファイバ、および光導波路の広帯域化、すなわち青色から赤色の波長域(450nm〜650nm)について言及しなかったが、上述した広帯域波長板によって、広帯域化を実現することができる。
<Example 3>
In the above, the optical fiber for the visible region and the broadening of the optical waveguide, that is, the blue to red wavelength region (450 nm to 650 nm) have not been mentioned. it can.

例えば、550nm用の1/2波長板および1/4波長板として、上述したDIC株式会社の製品(例えば、製品名UCL017A、複屈折率=0.16)を用いる場合、1/2波長板の厚さは約4μm、1/4波長板の厚さは約1μmとなる。この場合、実施例1で示したガラス基板を用いて作製して、ガラス基板の厚さを8μmとしても、1/2波長板全体の厚さは、12μm、1/4波長板全体の厚さは11μmとなる。   For example, when using the above-mentioned product of DIC Corporation (for example, product name UCL017A, birefringence = 0.16) as a half-wave plate and a quarter-wave plate for 550 nm, the thickness of the half-wave plate Is about 4 μm, and the thickness of the quarter-wave plate is about 1 μm. In this case, even if the glass substrate shown in Example 1 is used and the thickness of the glass substrate is 8 μm, the thickness of the entire half-wave plate is 12 μm and the thickness of the entire quarter-wave plate. Is 11 μm.

図10(a)は、かかる1/2波長板における可視域での透過スペクトルを例示している。図10(b)は、かかる1/4波長板における可視域での透過スペクトルを例示している。   FIG. 10A illustrates the transmission spectrum in the visible range in such a half-wave plate. FIG.10 (b) has illustrated the transmission spectrum in the visible region in such a quarter wavelength plate.

図10(a)および図10(b)をみれば、1/2波長板および1/4波長板は、450nm(青)〜650nm(赤)の波長にわたって、波長板としての機能を果たすことがわかる。   10A and 10B, the half-wave plate and the quarter-wave plate can function as a wave plate over a wavelength range of 450 nm (blue) to 650 nm (red). Recognize.

上述した図10と比較するために、膜の積層を有していない通常の単層1/2波長板および通常の単層1/4波長板の透過スペクトルを図11に示す。   For comparison with FIG. 10 described above, FIG. 11 shows transmission spectra of a normal single-layer half-wave plate and a normal single-layer quarter-wave plate that do not have a laminated film.

図11(a)は、通常の単層1/2波長板の透過スペクトルを示してある。図11(b)は、通常の単層1/4波長板の透過スペクトルを示してある。   FIG. 11A shows the transmission spectrum of a normal single-layer half-wave plate. FIG. 11B shows the transmission spectrum of a normal single-layer quarter-wave plate.

図11(a)および図11(b)において、波長板として機能するのは、図10(a)および図10(b)のものと異なり、550nmの10μm前後のみに制限されることがわかる。   In FIGS. 11 (a) and 11 (b), it can be seen that the functioning as a wave plate is limited to only about 10 μm at 550 nm, unlike those in FIGS. 10 (a) and 10 (b).

各実施例を詳述してきたが、具体的な層の材料等は各実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更なども含まれる。   Although each example has been described in detail, the material of the specific layer is not limited to each example, and includes design changes and the like within a scope not departing from the gist of the present invention.

例えば、図4に示したものにおいて、重合性液晶13および重合性液晶15における複屈折光の位相差をλ/2とし、重合性液晶13と重合性液晶15との光軸のなす角度を35°以上55°以下とするようにしてもよい。あるいは、図9に示したものにおいて、重合性液晶24および重合性液晶26における複屈折光の位相差をλ/2とし、重合性液晶24と重合性液晶26との光軸のなす角度を35°以上55°以下とするようにしてもよい。   For example, in the case shown in FIG. 4, the phase difference of birefringent light in the polymerizable liquid crystal 13 and the polymerizable liquid crystal 15 is λ / 2, and the angle between the optical axes of the polymerizable liquid crystal 13 and the polymerizable liquid crystal 15 is 35. You may make it be more than 55 degrees and below. Alternatively, in the structure shown in FIG. 9, the phase difference of the birefringent light in the polymerizable liquid crystal 24 and the polymerizable liquid crystal 26 is λ / 2, and the angle between the optical axes of the polymerizable liquid crystal 24 and the polymerizable liquid crystal 26 is 35. You may make it be more than 55 degrees and below.

1,1A 波長板
11 ガラス基板
12,14,23,25 ポリイミド配向膜
13,15,24,26 重合性液晶
21 Si基板
22 フッ素化ポリイミド
1,1A wavelength plate 11 glass substrate 12, 14, 23, 25 polyimide alignment film 13, 15, 24, 26 polymerizable liquid crystal 21 Si substrate 22 fluorinated polyimide

Claims (7)

透明材層と、
前記透明材層上に形成され、第1の液晶配向膜層と第1の重合性液晶層とを含む第1の積層体と、
前記第1の積層体上に形成され、前記第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層と第2の重合性液晶層とを含む第2の積層体と
を含み、
前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層とは、配向方向が異なり、
前記第1の重合性液晶層および前記第2の重合性液晶層の複屈折率は、0.1以上であることを特徴とする波長板。
A transparent material layer;
A first laminate formed on the transparent material layer and including a first liquid crystal alignment film layer and a first polymerizable liquid crystal layer;
A second laminated body formed on the first laminated body and including, in order from the first polymerizable liquid crystal layer side, a second liquid crystal alignment film layer and a second polymerizable liquid crystal layer. ,
The first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer have different orientation directions,
The wavelength plate, wherein the birefringence of the first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer is 0.1 or more.
前記第1の重合性液晶層および前記第2の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/2であり、前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層との光軸のなす角度は、35°以上55°以下であることを特徴とする請求項1に記載の波長板。   The phase difference of birefringent light in the first polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer is λ / 2, and the first polymerizable liquid crystal layer, the second polymerizable liquid crystal layer, The wave plate according to claim 1, wherein an angle formed by the optical axis is 35 ° or more and 55 ° or less. 前記第1の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/2であり、前記第2の重合性液晶層における複屈折光の位相差は、λ/4であり、前記第1の重合性液晶層と前記第2の重合性液晶層との光軸のなす角度は、50°以上70°以下であることを特徴とする請求項1に記載の波長板。   The phase difference of birefringent light in the first polymerizable liquid crystal layer is λ / 2, the phase difference of birefringent light in the second polymerizable liquid crystal layer is λ / 4, and the first The wave plate according to claim 1, wherein an angle formed by an optical axis of the polymerizable liquid crystal layer and the second polymerizable liquid crystal layer is 50 ° or more and 70 ° or less. 前記透明材層は、ガラスまたはポリイミドで形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の波長板。   The wavelength plate according to claim 1, wherein the transparent material layer is made of glass or polyimide. 前記波長板の全体の厚さは、30μm以下であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の波長板。   5. The wave plate according to claim 1, wherein the entire thickness of the wave plate is 30 μm or less. 6. 波長板の作製方法であって、
透明材層上に、第1の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第1の液晶配向膜層上に第1の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、
前記第1の重合性液晶層上に、当該第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第2の液晶配向膜層上に第2の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、
前記透明材層を研磨することにより前記波長板の全体の厚さを30μm以下にするステップと
を含むことを特徴とする波長板の作製方法。
A method for producing a wave plate,
Applying a first liquid crystal alignment film layer on the transparent material layer and performing a rubbing treatment, then applying and curing the first polymerizable liquid crystal layer on the first liquid crystal alignment film layer;
On the first polymerizable liquid crystal layer, a second liquid crystal alignment film layer is applied in order from the first polymerizable liquid crystal layer side and subjected to a rubbing treatment, and then the second liquid crystal alignment film layer is applied. Applying and curing a second polymerizable liquid crystal layer thereon;
Polishing the transparent material layer to reduce the total thickness of the wave plate to 30 μm or less.
波長板の作製方法であって、
Si基板にフッ素化ポリイミドを塗布し、第1の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第1の液晶配向膜層上に第1の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、
前記第1の重合性液晶層上に、当該第1の重合性液晶層の側から順に、第2の液晶配向膜層を塗布してラビング処理を施した後、前記第2の液晶配向膜層上に第2の重合性液晶層を塗布して硬化させるステップと、
前記Si基板から前記フッ素化ポリイミドを剥離することにより前記波長板の全体の厚さを30μm以下にするステップと
を含むことを特徴とする波長板の作製方法。
A method for producing a wave plate,
A fluorinated polyimide is applied to a Si substrate, a first liquid crystal alignment film layer is applied and a rubbing treatment is performed, and then a first polymerizable liquid crystal layer is applied and cured on the first liquid crystal alignment film layer. Step to
On the first polymerizable liquid crystal layer, a second liquid crystal alignment film layer is applied in order from the first polymerizable liquid crystal layer side and subjected to a rubbing treatment, and then the second liquid crystal alignment film layer is applied. Applying and curing a second polymerizable liquid crystal layer thereon;
Peeling the fluorinated polyimide from the Si substrate to reduce the total thickness of the wave plate to 30 μm or less.
JP2015218285A 2015-11-06 2015-11-06 Broadband wave plate and manufacturing method thereof Pending JP2017090585A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015218285A JP2017090585A (en) 2015-11-06 2015-11-06 Broadband wave plate and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015218285A JP2017090585A (en) 2015-11-06 2015-11-06 Broadband wave plate and manufacturing method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017090585A true JP2017090585A (en) 2017-05-25

Family

ID=58770698

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015218285A Pending JP2017090585A (en) 2015-11-06 2015-11-06 Broadband wave plate and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017090585A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020197730A (en) * 2020-07-31 2020-12-10 住友化学株式会社 Laminate and method of manufacturing the same
US11347109B2 (en) 2018-01-25 2022-05-31 Lg Chem, Ltd. Multilayer liquid crystal film, polarizing plate and method for preparing polarizing plate
US11372288B2 (en) 2018-01-25 2022-06-28 Lg Chem, Ltd. Multilayer liquid crystal film, polarizing plate and method for preparing polarizing plate

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003337225A (en) * 2002-03-11 2003-11-28 Fuji Photo Film Co Ltd Optical retardation plate and circularly polarizing plate
JP2004053840A (en) * 2002-07-18 2004-02-19 Fuji Photo Film Co Ltd Retardation plate and circular polarization plate
JP2004126538A (en) * 2002-08-07 2004-04-22 Fuji Photo Film Co Ltd Retardation plate and circular polarizing plate
JP2004170853A (en) * 2002-11-22 2004-06-17 Toyo Commun Equip Co Ltd Laminated wavelength plate
JP2007256937A (en) * 2006-02-21 2007-10-04 Asahi Glass Co Ltd Broadband wave plate
JP2014134775A (en) * 2012-12-14 2014-07-24 Dainippon Printing Co Ltd Optical film, transfer body for optical film, image display unit
JP2015043073A (en) * 2013-07-25 2015-03-05 富士フイルム株式会社 Retardation film, polarizing plate, and liquid crystal display device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003337225A (en) * 2002-03-11 2003-11-28 Fuji Photo Film Co Ltd Optical retardation plate and circularly polarizing plate
JP2004053840A (en) * 2002-07-18 2004-02-19 Fuji Photo Film Co Ltd Retardation plate and circular polarization plate
JP2004126538A (en) * 2002-08-07 2004-04-22 Fuji Photo Film Co Ltd Retardation plate and circular polarizing plate
JP2004170853A (en) * 2002-11-22 2004-06-17 Toyo Commun Equip Co Ltd Laminated wavelength plate
JP2007256937A (en) * 2006-02-21 2007-10-04 Asahi Glass Co Ltd Broadband wave plate
JP2014134775A (en) * 2012-12-14 2014-07-24 Dainippon Printing Co Ltd Optical film, transfer body for optical film, image display unit
JP2015043073A (en) * 2013-07-25 2015-03-05 富士フイルム株式会社 Retardation film, polarizing plate, and liquid crystal display device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11347109B2 (en) 2018-01-25 2022-05-31 Lg Chem, Ltd. Multilayer liquid crystal film, polarizing plate and method for preparing polarizing plate
US11372288B2 (en) 2018-01-25 2022-06-28 Lg Chem, Ltd. Multilayer liquid crystal film, polarizing plate and method for preparing polarizing plate
JP2020197730A (en) * 2020-07-31 2020-12-10 住友化学株式会社 Laminate and method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7436376B2 (en) Direct bond stacking for improved image clarity in optical devices
JP6726110B2 (en) Optical element and diffractive optical element
JP6373625B2 (en) Inverse wavelength dispersion phase retardation film and display device including the same
TWI480584B (en) Process for solitting polarizing beam, wide-angle wide band polarizing beam splitter, and heads-up display
TWI664476B (en) Optical film and optical laminate using the same
WO2017128794A1 (en) Anti-reflective structure and method for manufacture thereof, and display and method for manufacture thereof
JP2017090585A (en) Broadband wave plate and manufacturing method thereof
JP6797163B2 (en) Optical laminate and display device
US8467128B2 (en) Polarizing cube and method of fabricating the same
WO2019131918A1 (en) Optical element and lightguide element
JP6943509B2 (en) Optical film, optics and video equipment
JP6719763B2 (en) High speed optical switching engine
JP5209932B2 (en) Polarization beam splitter and polarization conversion element
KR102589809B1 (en) Optically anisotropic layer and method for manufacturing the same, optically anisotropic laminate, transfer multilayer, polarizer, and image display device
JP2003307622A (en) Polarizing element
US11808917B2 (en) Assemblies of anisotropic optical elements and methods of making
JP6616943B2 (en) Light control device and light control window
JP7243634B2 (en) Optical elements and light guide elements
DE60204320D1 (en) OPTICAL MULTILAYER FILM WITH A DOUBLE BREAKING LAYER
JP2016170315A (en) Region dividing wavelength plate and manufacturing method for the same
SUN et al. 22.1: Fabrication of Broadband Quarter Wave Plate by Combination of Two Retardation Films Using Coating Technique
JP2013011850A (en) Wavelength plate
JP6916940B2 (en) Image display device
WO2024066176A1 (en) Polarizing film and manufacturing method therefor, optical waveguide lens, and display device
WO2023054595A1 (en) Optical laminate, and image display device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171218

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181030

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20181031

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190104

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20190702