JP2017071845A

JP2017071845A - Film deposition apparatus

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Publication number: JP2017071845A
Application number: JP2015201593A
Authority: JP
Inventors: 藤本　圭一; Keiichi Fujimoto; 圭一藤本; 博康田渕; Hiroyasu Tabuchi
Original assignee: Kirin Co Ltd
Current assignee: Kirin Co Ltd
Priority date: 2015-10-09
Filing date: 2015-10-09
Publication date: 2017-04-13
Anticipated expiration: 2035-10-09
Also published as: JP6517656B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film deposition apparatus capable of preventing deposition gases from diffusing to the side of a load lock chamber.SOLUTION: A film deposition apparatus 1 comprises: a film deposition chamber 2 for depositions in a vacuum state on the surface of a pet bottle PB; a load lock chamber 3 connected to the film deposition chamber 2 for inserting and extracting the pet bottle PB in a vacuum state into and out of the film deposition chamber 2; a gate valve 6 for operating between a closed position, in which the film deposition chamber 2 and the load lock chamber 3 are isolated, and an open position, in which the film deposition chamber 2 and the load lock chamber 3 are communicated; and a moving mechanism 10 capable of moving the pet bottle PB in the load lock chamber 3, while the gate valve 6 being in the open state, into the film deposition chamber 2. The moving mechanism 10 includes a support unit 11 supporting the pet bottle PB and sealing the deposition chamber 2 while the pet bottle PB having moved into the film deposition chamber 2.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、容器の表面に真空状態で薄膜を成膜する成膜装置に関する。 The present invention relates to a film forming apparatus for forming a thin film on a surface of a container in a vacuum state.

ペットボトル等のプラスチック容器のガスバリア性を向上させるため、容器の表面にガスバリア性を有する薄膜を成膜する成膜装置が知られている。例えば、ペットボトルの表面に対する成膜を真空状態で行う成膜専用チャンバ３１と、成膜専用チャンバ３１に対するペットボトルの出し入れを真空状態で行うボトル出入用チャンバ３２と、成膜専用チャンバ３１とボトル出入用チャンバ３２と隔離可能なゲートバルブ３３とを備えた成膜装置が知られている（特許文献１）。また、このタイプの成膜装置とは異なり、ロードロックチャンバ４内のペットボトルを成膜チャンバ６内に引き込んでゲートバルブ２０を閉じてから成膜処理を実施する成膜装置も知られている（特許文献２）。 In order to improve the gas barrier property of a plastic container such as a plastic bottle, a film forming apparatus for forming a thin film having a gas barrier property on the surface of the container is known. For example, a film-dedicated chamber 31 for forming a film on the surface of a PET bottle in a vacuum state, a bottle loading / unloading chamber 32 for putting a PET bottle in and out of the film-dedicated chamber 31 in a vacuum state, a film-dedicated chamber 31 and a bottle A film forming apparatus including an entrance / exit chamber 32 and a separable gate valve 33 is known (Patent Document 1). Also, unlike this type of film forming apparatus, a film forming apparatus is known in which the PET bottle in the load lock chamber 4 is drawn into the film forming chamber 6 and the gate valve 20 is closed before the film forming process is performed. (Patent Document 2).

国際公開第２０１３／０９９９６０号International Publication No. 2013/099960 国際公開第２０１４／１０３６７７号International Publication No. 2014/103677

特許文献１のようなタイプの成膜装置は、成膜チャンバとロードロックチャンバとを真空状態にしてからゲートバルブを開いて成膜チャンバとロードロックチャンバとを連通させる。そして、昇降装置によってロードロックチャンバ内のペットボトルを成膜チャンバ内に移動させて成膜処理を実施する。成膜処理時にはゲートバルブが開かれているので成膜チャンバ内の成膜ガスがロードロックチャンバ内に拡散する。昇降装置はロードロックチャンバ内に設置されているため、ロードロックチャンバ内に拡散した成膜ガスの結晶がゲートバルブや昇降装置に付着する可能性がある。特に、ゲートバルブの弁体部分や昇降装置の軸摺動部に付着した結晶により、これらのシール性や動作に支障をきたすおそれがある。 In a film forming apparatus of the type as described in Patent Document 1, the film forming chamber and the load lock chamber are brought into a vacuum state, and then the gate valve is opened to connect the film forming chamber and the load lock chamber. Then, the PET bottle in the load lock chamber is moved into the film forming chamber by the lifting device to perform the film forming process. Since the gate valve is opened during the film forming process, the film forming gas in the film forming chamber diffuses into the load lock chamber. Since the lifting device is installed in the load lock chamber, there is a possibility that crystals of the film forming gas diffused in the load lock chamber adhere to the gate valve or the lifting device. In particular, the crystal attached to the valve body portion of the gate valve or the shaft sliding portion of the lifting device may cause problems in sealing performance and operation.

また、特許文献２のようなタイプの成膜装置は、成膜チャンバ内にペットボトルを引き込む機構が成膜チャンバ内に設けられているので、その機構が成膜時に成膜ガスに曝される。そのため、上述した弊害が特許文献１のようなタイプの成膜装置よりも深刻化するおそれがある。 In addition, since a mechanism for drawing a PET bottle into a film forming chamber is provided in the film forming chamber in a film forming apparatus of the type as in Patent Document 2, the mechanism is exposed to a film forming gas during film forming. . For this reason, the above-described adverse effects may be more serious than those of the type of film forming apparatus as in Patent Document 1.

そこで、本発明は、成膜ガスがロードロックチャンバ側に拡散することを防止できる成膜装置を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a film forming apparatus capable of preventing the film forming gas from diffusing to the load lock chamber side.

本発明の成膜装置（１）は、容器（ＰＢ）の表面に真空状態で成膜するための成膜チャンバ（２）と、前記成膜チャンバと接続され、前記容器を前記成膜チャンバに対して真空状態で出し入れするためのロードロックチャンバ（３）と、前記成膜チャンバと前記ロードロックチャンバとを隔離する閉位置と前記成膜チャンバと前記ロードロックチャンバとを連通する開位置との間で動作する真空隔離手段（６）と、前記真空隔離手段が前記開位置の状態で、前記ロードロックチャンバ内の前記容器を前記成膜チャンバ内へ移動可能な移動機構（１０）と、を備え、前記移動機構は、前記容器を支持し、かつ前記容器が前記成膜チャンバ内へ移動した状態で前記成膜チャンバを密封する容器支持手段（１１）を有するものである。 The film forming apparatus (1) of the present invention is connected to the film forming chamber (2) for forming a film on the surface of the container (PB) in a vacuum state and the film forming chamber, and the container is placed in the film forming chamber. A load lock chamber (3) for taking in and out in a vacuum state, a closed position for isolating the film formation chamber and the load lock chamber, and an open position for communicating the film formation chamber and the load lock chamber A vacuum isolating means (6) operating between, and a moving mechanism (10) capable of moving the container in the load lock chamber into the film forming chamber with the vacuum isolating means in the open position. The moving mechanism includes container supporting means (11) for supporting the container and sealing the film forming chamber in a state where the container is moved into the film forming chamber.

この成膜装置によれば、真空隔離手段が開位置の状態でロードロックチャンバ内の容器を成膜チャンバ内へ移動した際に容器支持手段によって成膜チャンバが密封される。成膜チャンバが密封されることによって、ロードロックチャンバ及び真空隔離手段から成膜チャンバが隔離された状態で成膜処理を行うことができる。したがって、成膜ガスがロードロックチャンバ側に拡散することを防止できる。 According to this film forming apparatus, the film forming chamber is sealed by the container supporting means when the container in the load lock chamber is moved into the film forming chamber with the vacuum isolating means in the open position. By sealing the film forming chamber, the film forming process can be performed in a state where the film forming chamber is isolated from the load lock chamber and the vacuum isolating means. Therefore, it is possible to prevent the deposition gas from diffusing to the load lock chamber side.

ロードロックチャンバ側への成膜ガスの拡散を防止できる限度で、容器支持手段による成膜チャンバの密封はどのような態様で実現してもよい。例えば、本発明の成膜装置の一態様において、前記成膜チャンバは、前記真空隔離手段が前記開位置の状態で前記ロードロックチャンバ側に露出する端面（２ａ）を有し、前記容器支持手段は、前記容器を支持するとともに、前記容器が前記成膜チャンバ内へ移動した状態で前記成膜チャンバの前記端面と突き当たることにより前記成膜チャンバを密封する容器支持台（１４）を含んでもよい。この態様によれば、成膜チャンバの端面と容器支持台とが対向することになるので、成膜チャンバの内周面と容器支持台の周囲との間でシールする場合と比較して、容器支持台の位置ずれによってシール性が低下しにくい利点がある。 As long as the deposition gas can be prevented from diffusing into the load lock chamber, the container support means may be sealed in any manner. For example, in one aspect of the film forming apparatus of the present invention, the film forming chamber has an end surface (2a) exposed to the load lock chamber side when the vacuum isolation means is in the open position, and the container support means May include a container support (14) that supports the container and seals the film forming chamber by abutting against the end face of the film forming chamber in a state where the container is moved into the film forming chamber. . According to this aspect, since the end face of the film forming chamber and the container support are opposed to each other, the container is compared with the case of sealing between the inner peripheral surface of the film forming chamber and the periphery of the container support. There is an advantage that the sealing performance is not easily lowered by the displacement of the support base.

上記の態様において、前記成膜チャンバの前記端面と前記容器支持台とが突き当たった際に前記端面と前記容器支持台とのシール性を高めるためのシール部材（１８）を更に備えてもよい。成膜チャンバの端面と容器支持台とが突き当たる際に、これらの間にシール部材が介在するため成膜チャンバの密封度が向上する。 In the above aspect, a sealing member (18) may be further provided for enhancing the sealing performance between the end face and the container support when the end face of the film forming chamber and the container support are brought into contact with each other. When the end face of the film forming chamber and the container support come into contact with each other, a sealing member is interposed between them, so that the degree of sealing of the film forming chamber is improved.

なお、以上の説明では、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。 In addition, in the above description, in order to make an understanding of this invention easy, the reference sign of the accompanying drawing was attached in parentheses, but this invention is not limited to the form of illustration by it.

以上に説明したように、本発明の成膜装置によれば、容器支持手段によって成膜チャンバが密封されることによって、ロードロックチャンバ及び真空隔離手段から成膜チャンバが隔離された状態で成膜処理を行うことができる。これにより、成膜ガスがロードロックチャンバ側に拡散することを防止できる。 As described above, according to the film forming apparatus of the present invention, the film forming chamber is sealed by the container support means, so that the film forming chamber is isolated from the load lock chamber and the vacuum isolating means. Processing can be performed. Thereby, it is possible to prevent the deposition gas from diffusing to the load lock chamber side.

本発明の一形態に係る成膜装置の要部を示した図。FIG. 6 illustrates a main part of a film formation apparatus according to one embodiment of the present invention. 図１のII-II線に関する断面図。Sectional drawing regarding the II-II line of FIG. 図２の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG. ペットボトルを成膜装置に供給するプロセスを示した図。The figure which showed the process which supplies a PET bottle to the film-forming apparatus. 密封時の状態を示した部分拡大図。The elements on larger scale which showed the state at the time of sealing.

図１及び図２に示された成膜装置１は、容器であるペットボトルＰＢの表面（本形態では内面）に触媒化学気相成長法によって金属の薄膜を成膜するＣａｔ−ＣＶＤ装置として構成されている。成膜装置１は複数本（本形態では６本）のペットボトルＰＢを同時に成膜処理できる。成膜装置１は真空状態で成膜処理が実施される成膜チャンバ２と、成膜チャンバ２と互いの内部空間が通じるように接続されていてペットボトルＰＢを成膜チャンバ２に対して真空状態で出し入れするロードロックチャンバ３とを備える。成膜チャンバ２及びロードロックチャンバ３にはそれらの内部を真空状態とするため不図示の真空ポンプがそれぞれ接続されている。 The film forming apparatus 1 shown in FIGS. 1 and 2 is configured as a Cat-CVD apparatus for forming a metal thin film on the surface (in this embodiment, the inner surface) of a plastic bottle PB, which is a container, by catalytic chemical vapor deposition. Has been. The film forming apparatus 1 can simultaneously perform film forming processing on a plurality (six in this embodiment) of PET bottles PB. The film forming apparatus 1 is connected to a film forming chamber 2 where film forming processing is performed in a vacuum state, and the film forming chamber 2 communicates with the internal space of each other. And a load lock chamber 3 to be taken in and out in a state. A vacuum pump (not shown) is connected to the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3 in order to make the inside of them vacuum.

成膜チャンバ２の上部は図１に模式的に示された触媒体ユニット４にて塞がれている。触媒体ユニット４は加熱通電される触媒体を成膜チャンバ２内に出し入れするとともに成膜ガスの供給及び排出を行う装置である。触媒体ユニット４は周知の構成であるので詳細な説明を省略する。ロードロックチャンバ３の下方には、ロードロックチャンバ３の下部の開口を開閉する開閉部材の一例としてのリッド５が設けられている。ロードロックチャンバ３の下部はリッド５にて開閉される。図１の実線の状態はロードロックチャンバ３の下部がリッド５にて塞がれた状態であり、二点鎖線の状態はロードロックチャンバ３の下部がリッド５にて開放された状態である。リッド５の駆動は、支持部５ａに連結された不図示の駆動装置によって後述するペットボトルＰＢの移動と連係するように実施される。なお、ロードロックチャンバ３の下部の開口を開閉する開閉部材は、リッド５の形態に限定されるものではなく、他の形態で実現してもよい。 The upper part of the film forming chamber 2 is closed by a catalyst body unit 4 schematically shown in FIG. The catalyst body unit 4 is an apparatus for taking in and out a catalyst body to be heated and energized into the film forming chamber 2 and supplying and discharging a film forming gas. Since the catalyst unit 4 has a well-known configuration, a detailed description thereof is omitted. Below the load lock chamber 3, a lid 5 is provided as an example of an opening / closing member that opens and closes an opening at the bottom of the load lock chamber 3. The lower part of the load lock chamber 3 is opened and closed by a lid 5. The state of the solid line in FIG. 1 is a state where the lower portion of the load lock chamber 3 is blocked by the lid 5, and the state of the two-dot chain line is a state where the lower portion of the load lock chamber 3 is opened by the lid 5. The driving of the lid 5 is performed so as to be linked with the movement of the plastic bottle PB described later by a driving device (not shown) connected to the support portion 5a. The opening / closing member that opens and closes the lower opening of the load lock chamber 3 is not limited to the form of the lid 5 and may be realized in other forms.

成膜チャンバ２とロードロックチャンバ３との間には真空隔離手段としてのゲートバルブ６が設けられている。ゲートバルブ６は成膜チャンバ２とロードロックチャンバ３とを隔離する閉位置（図２参照）と、成膜チャンバ２とロードロックチャンバとを連通する開位置との間で動作する。図２に示すように、ゲートバルブ６は閉位置と開位置との間で駆動される弁体６ａと、弁体６ａを駆動する駆動ユニット６ｂとを含む。弁体６ａが駆動ユニット６ｂ側に待避することにより成膜チャンバ２とロードロックチャンバ３とが連通する状態となる。弁体６ａが駆動ユニット６ｂ側から突出することにより成膜チャンバ２とロードロックチャンバ３とが隔離された状態となる。なお、成膜チャンバ２とロードロックチャンバ３とを隔離する閉位置と、成膜チャンバ２とロードロックチャンバとを連通する開位置との間で動作する真空隔離手段は、ゲートバルブ６の形態に限定されるものではなく、他の形態で実現してもよい。 Between the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3, a gate valve 6 is provided as a vacuum isolating means. The gate valve 6 operates between a closed position (see FIG. 2) that separates the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3 and an open position that communicates the film forming chamber 2 and the load lock chamber. As shown in FIG. 2, the gate valve 6 includes a valve body 6a that is driven between a closed position and an open position, and a drive unit 6b that drives the valve body 6a. When the valve body 6a is retracted to the drive unit 6b side, the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3 communicate with each other. When the valve body 6a protrudes from the drive unit 6b side, the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3 are isolated. The vacuum isolation means operating between the closed position for isolating the film forming chamber 2 and the load lock chamber 3 and the open position for communicating the film forming chamber 2 and the load lock chamber is in the form of the gate valve 6. It is not limited and may be realized in other forms.

図１に示すように、成膜装置１は、処理対象のペットボトルＰＢを直立した姿勢で移動させる移動機構１０を備えている。移動機構１０は二点鎖線の位置に供給されたペットボトルＰＢをロードロックチャンバ３内に移動させ、さらにゲートバルブ６が開位置の状態でロードロックチャンバ３内のペットボトルＰＢを成膜チャンバ２内に移動させる機能を有する。その機能を実現するため、移動機構１０はペットボトルＰＢを支持する容器支持手段としての支持ユニット１１と、支持ユニット１１をペットボトルＰＢの移動方向（図の上下方向）に駆動する駆動ユニット１２とを備えている。支持ユニット１１はペットボトルＰＢの底部が設置される容器支持台１４と、ペットボトルＰＢの口部を保持する保持部１５（図２参照）とを含む。駆動ユニット１２は不図示の駆動源に連結されていてロードロックチャンバ３のリッド５の支持部５ａを貫いて上下方向に延びる駆動ロッド１７を含んでいる。駆動ロッド１７はリッド５に対して相対移動可能な状態で支持部５ａを貫いている。 As shown in FIG. 1, the film forming apparatus 1 includes a moving mechanism 10 that moves a PET bottle PB to be processed in an upright posture. The moving mechanism 10 moves the PET bottle PB supplied to the position of the two-dot chain line into the load lock chamber 3, and further moves the PET bottle PB in the load lock chamber 3 into the film forming chamber 2 with the gate valve 6 in the open position. It has the function to move in. In order to realize the function, the moving mechanism 10 includes a support unit 11 as a container support unit that supports the plastic bottle PB, and a drive unit 12 that drives the support unit 11 in the movement direction (vertical direction in the drawing) of the plastic bottle PB. It has. The support unit 11 includes a container support 14 on which the bottom of the plastic bottle PB is installed, and a holding unit 15 (see FIG. 2) that holds the mouth of the plastic bottle PB. The drive unit 12 includes a drive rod 17 connected to a drive source (not shown) and extending vertically through the support portion 5a of the lid 5 of the load lock chamber 3. The drive rod 17 penetrates the support portion 5a so as to be movable relative to the lid 5.

容器支持台１４はペットボトルＰＢが成膜チャンバ２内へ移動した状態で成膜チャンバ２の端面２ａ（図２等参照）に突き当たることにより成膜チャンバ２を密封できる（図４の（ｄ）及び図５参照）。図２に示すように、その端面２ａはロードロックチャンバ３側に本形態では下側に露出している。図３に示すように、容器支持台１４による成膜チャンバ２の密封度を高めるため、容器支持台１４の上面には成膜チャンバ２の端面２ａと容器支持台１４とのシール性を高めるシール部材としてのＯリング１８が設けられている。Ｏリング１８は容器支持台１４に設置されたペットボトルＰＢの周囲（本形態の場合は６本のペットボトルＰＢの周囲）を一巡するように延びている。これによりＯリング１８の内外を確実にシールできる。 The container support 14 can seal the film forming chamber 2 by abutting against the end surface 2a (see FIG. 2 and the like) of the film forming chamber 2 in a state where the PET bottle PB is moved into the film forming chamber 2 ((d) in FIG. 4). And FIG. 5). As shown in FIG. 2, the end surface 2a is exposed on the load lock chamber 3 side and on the lower side in this embodiment. As shown in FIG. 3, in order to increase the degree of sealing of the film forming chamber 2 by the container support 14, a seal that enhances the sealing property between the end surface 2 a of the film forming chamber 2 and the container support 14 is provided on the upper surface of the container support 14. An O-ring 18 as a member is provided. The O-ring 18 extends around the PET bottle PB installed on the container support 14 (around the six PET bottles PB in this embodiment). Thereby, the inside and outside of the O-ring 18 can be reliably sealed.

図４を参照しながら、成膜装置１に対してペットボトルＰＢを供給するプロセスを説明する。工程（ａ）では、ゲートバルブ６が閉位置の状態で成膜チャンバ２が真空ポンプによって真空状態にされる。ロードロックチャンバ３のリッド５は下方に待避しており、ロードロックチャンバ３の下部は開かれた状態にある。待避したリッド５の上部には移動機構１０の容器支持台１４が位置しており、その容器支持台１４にはペットボトルＰＢが設置されている。 A process for supplying the PET bottle PB to the film forming apparatus 1 will be described with reference to FIG. In step (a), the film forming chamber 2 is evacuated by a vacuum pump while the gate valve 6 is in the closed position. The lid 5 of the load lock chamber 3 is retracted downward, and the lower part of the load lock chamber 3 is open. A container support 14 of the moving mechanism 10 is located on the retracted lid 5, and a plastic bottle PB is installed on the container support 14.

工程（ｂ）では、ロードロックチャンバ３のリッド５の位置を変えずに移動機構１０の容器支持台１４を所定量αだけ上昇させることにより、ペットボトルＰＢの口部が保持部１５にて保持される。 In step (b), the container support 14 of the moving mechanism 10 is raised by a predetermined amount α without changing the position of the lid 5 of the load lock chamber 3, so that the mouth of the plastic bottle PB is held by the holder 15. Is done.

工程（ｃ）では、リッド５と容器支持台１４との間隔を所定量αに保ちながら、リッド５とともに容器支持台１４を、リッド５がロードロックチャンバ３の下部を閉鎖するまで上昇させる。これにより、ペットボトルＰＢはロードロックチャンバ３内へ移動し、かつロードロックチャンバ３が密封される。密封されたロードロックチャンバ３は真空ポンプによって真空状態とされる。ロードロックチャンバ３が真空状態にされてからゲートバルブ６は矢印に示すように閉位置から開位置へ切り替えられる。 In the step (c), the container support 14 is lifted together with the lid 5 until the lid 5 closes the lower portion of the load lock chamber 3 while keeping the distance between the lid 5 and the container support 14 at a predetermined amount α. As a result, the plastic bottle PB moves into the load lock chamber 3 and the load lock chamber 3 is sealed. The sealed load lock chamber 3 is evacuated by a vacuum pump. After the load lock chamber 3 is evacuated, the gate valve 6 is switched from the closed position to the open position as shown by the arrow.

工程（ｄ）では、容器支持台１４を工程（ｃ）の位置からさらに上昇させることにより、ペットボトルＰＢを成膜チャンバ２内に移動させる。上述したように、ペットボトルＰＢが成膜チャン２内に移動した状態で容器支持台１４にて成膜チャンバ２が密封される。図５に示したように、容器支持台１４が成膜チャンバ２の端面２ａに突き当たり、その端面２ａとＯリング１８とが密着することによりシールされる。これにより、成膜チャンバ２の密封度が向上する。その後、図１に示した触媒体ユニット４を操作して、所定の成膜処理が実施される。なお、成膜処理後のペットボトルＰＢの排出は、上述した工程（ａ）〜工程（ｄ）の逆の手順で移動機構１０等が操作されることにより実施される。 In the step (d), the plastic bottle PB is moved into the film forming chamber 2 by further raising the container support 14 from the position of the step (c). As described above, the film forming chamber 2 is sealed by the container support 14 while the PET bottle PB is moved into the film forming chamber 2. As shown in FIG. 5, the container support 14 abuts against the end surface 2a of the film forming chamber 2, and the end surface 2a and the O-ring 18 are in close contact with each other to be sealed. Thereby, the sealing degree of the film forming chamber 2 is improved. Thereafter, the catalyst body unit 4 shown in FIG. 1 is operated to perform a predetermined film forming process. The discharge of the PET bottle PB after the film forming process is performed by operating the moving mechanism 10 or the like in the reverse procedure of the above-described steps (a) to (d).

本形態の成膜装置１によれば、ロードロックチャンバ３内のペットボトルＰＢを成膜チャンバ２内へ移動した際に容器支持台１４にて成膜チャンバ２が密封される。そのため、ロードロックチャンバ３及びゲートバルブ５から成膜チャンバ２が隔離された状態で成膜処理を行うことができる。したがって、成膜ガスがロードロックチャンバ３側に拡散することを防止できる。 According to the film forming apparatus 1 of this embodiment, the film forming chamber 2 is sealed by the container support 14 when the plastic bottle PB in the load lock chamber 3 is moved into the film forming chamber 2. Therefore, the film forming process can be performed in a state where the film forming chamber 2 is isolated from the load lock chamber 3 and the gate valve 5. Therefore, it is possible to prevent the deposition gas from diffusing to the load lock chamber 3 side.

本発明の成膜装置は、本発明の要旨の範囲内において種々の形態にて実施できる。上記形態の成膜装置は、容器としてのペットボトルＰＢを一度に複数本処理できるものであるが、一度に処理できる容器の数に制限はない。また、処理対象の容器はペットボトルに限らず、成膜対象となり得る他の材質の容器でもよい。 The film forming apparatus of the present invention can be implemented in various forms within the scope of the gist of the present invention. The film forming apparatus of the above embodiment can process a plurality of PET bottles PB as containers at one time, but there is no limit to the number of containers that can be processed at one time. Further, the container to be processed is not limited to a plastic bottle, and may be a container made of another material that can be a film forming target.

上記形態は、成膜チャンバ２の端面２ａと容器支持台１４とが突き当る際にシール部材としてのＯリング１８を介在させることによって成膜チャンバ２の密封度を向上させているが、Ｏリング１８等のシール部材を省略して本発明を実施してもよい。例えば、互いに突き当たる容器支持台及び成膜チャンバの端面のそれぞれの加工精度を調整することによりある程度の密封度を確保することが可能である。また、Ｏリング１８等のシール部材を成膜チャンバ２側に設けた形態で本発明を実施することもできる。 The above-described embodiment improves the sealing degree of the film forming chamber 2 by interposing the O ring 18 as a seal member when the end surface 2a of the film forming chamber 2 and the container support 14 abut against each other. The present invention may be carried out by omitting a sealing member such as 18. For example, it is possible to ensure a certain degree of sealing by adjusting the processing accuracy of the container support table and the end face of the film forming chamber that abut each other. In addition, the present invention can be implemented in a form in which a seal member such as an O-ring 18 is provided on the film forming chamber 2 side.

また、上記形態は成膜チャンバ２の端面２ａと容器支持台１４とが突き当たることにより成膜チャンバ２を密封しているが、例えば、成膜チャンバの内周面と容器支持台の周囲との間でシールすることによって成膜チャンバを密封する形態で本発明を実施することもできる。 Moreover, although the said form seals the film-forming chamber 2 when the end surface 2a of the film-forming chamber 2 and the container support stand 14 abut, for example, between the inner peripheral surface of the film-forming chamber and the periphery of the container support base The present invention can also be implemented in a form in which the deposition chamber is sealed by sealing between the two.

１成膜装置
２成膜チャンバ
２ａ端面
３ロードロックチャンバ
６ゲートバルブ
１０移動機構
１１支持ユニット（容器支持手段）
１４容器支持台
１８Ｏリング（シール部材） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film-forming apparatus 2 Film-forming chamber 2a End surface 3 Load lock chamber 6 Gate valve 10 Moving mechanism 11 Support unit (container support means)
14 Container support 18 O-ring (seal member)

Claims

A film forming chamber for forming a film in a vacuum state on the surface of the container;
A load lock chamber connected to the film forming chamber and for taking the container into and out of the film forming chamber in a vacuum state;
Vacuum isolation means operating between a closed position for isolating the deposition chamber and the load lock chamber and an open position for communicating the deposition chamber and the load lock chamber;
A moving mechanism capable of moving the container in the load lock chamber into the film forming chamber with the vacuum isolation means in the open position;
The moving mechanism is a film forming apparatus having container supporting means for supporting the container and sealing the film forming chamber in a state where the container is moved into the film forming chamber.

The film forming chamber has an end surface exposed to the load lock chamber in a state where the vacuum isolating means is in the open position;
The container support means includes a container support that supports the container and seals the film formation chamber by abutting against the end face of the film formation chamber in a state where the container is moved into the film formation chamber. Item 2. The film forming apparatus according to Item 1.

The film forming apparatus according to claim 2, further comprising a seal member for improving a sealing property between the end face and the container support when the end face of the film formation chamber and the container support come into contact with each other.