JP2017067692A - Localized surface plasmon resonance sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検出技術に関し、局在表面プラズモン共鳴センサに関する。 The present invention relates to a detection technique, and to a localized surface plasmon resonance sensor.
表面プラズモン共鳴センサは、微量な試料を検出可能であることから、様々な分野で用いられている（例えば、特許文献１から５参照。）。しかし、特許文献１に開示されたセンサにおいては、全反射条件を満たすよう、光の入射角を設定する必要があり、精密な光学系が必要となる。また、角度変化を検出するためのプリズムも必要となる。そのため、装置が複雑になるという問題がある。特許文献２、３、４に開示されたセンサは、信号強度が弱く、検出精度が低いという問題がある。さらに、特許文献２、３、４に開示されたセンサは、特許文献１に開示されたセンサに比べて光学系が簡素化されているものの、依然として小型化が困難もしくは小型化するためには装置構成を複雑にする必要がある。特許文献５に開示されたセンサは、光源と受光器を一直線上に配置しなければならないため、小型化に限界があるという問題がある。 Since the surface plasmon resonance sensor can detect a very small amount of sample, it is used in various fields (see, for example, Patent Documents 1 to 5). However, in the sensor disclosed in Patent Document 1, it is necessary to set the incident angle of light so as to satisfy the total reflection condition, and a precise optical system is required. In addition, a prism for detecting a change in angle is also required. Therefore, there is a problem that the apparatus becomes complicated. The sensors disclosed in Patent Documents 2, 3, and 4 have a problem that signal strength is weak and detection accuracy is low. Further, although the sensors disclosed in Patent Documents 2, 3, and 4 have a simplified optical system compared to the sensor disclosed in Patent Document 1, it is still difficult to reduce the size or to reduce the size. The configuration needs to be complicated. The sensor disclosed in Patent Document 5 has a problem in that there is a limit to miniaturization because the light source and the light receiver must be arranged in a straight line.
さらに、特許文献２、３、４、５に開示されたセンサは、いずれも光路中に試料が介在するため、試料の色度や厚さの影響を受けてしまい、信号強度の低下やＳ／Ｎ比の劣化が生じやすいという問題がある。これに対して、特許文献１に示されたセンサは、光路中に試料が介在しないため、高いＳ／Ｎ比が得られるものの、上述したような精密な光学系が必要となる。 Furthermore, the sensors disclosed in Patent Documents 2, 3, 4, and 5 are all affected by the chromaticity and thickness of the sample because the sample is interposed in the optical path, and the signal intensity is reduced. There is a problem that the N ratio is likely to deteriorate. On the other hand, the sensor disclosed in Patent Document 1 requires a precise optical system as described above although a high S / N ratio is obtained because no sample is interposed in the optical path.
そこで、本発明は、複雑な光学系を必要とせず、小型化が可能で、さらには検出精度の高い局在表面プラズモン共鳴センサを提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a localized surface plasmon resonance sensor that does not require a complicated optical system, can be miniaturized, and has high detection accuracy.
本発明の態様によれば、（ａ）光透過性基板と、（ｂ）光透過性基板の表面上に設けられた、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる、複数の開口が一定間隔で設けられた金属薄膜と、（ｃ）光透過性基板の裏面に検査光を照射する検査光源と、（ｄ）金属薄膜からの検査光の反射光を検出する受光器と、を備える、局在表面プラズモン共鳴センサが提供される。 According to an aspect of the present invention, (a) a light-transmitting substrate, and (b) a plurality of openings provided on the surface of the light-transmitting substrate that cause localized surface plasmon resonance are provided at regular intervals. A localized surface plasmon comprising: a metal thin film; (c) an inspection light source that irradiates the back surface of the light-transmitting substrate with inspection light; and (d) a light receiver that detects reflected light of the inspection light from the metal thin film. A resonance sensor is provided.
上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、金属薄膜上の試料を検出してもよい。あるいは、上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、金属薄膜上に配置されたガス吸着層をさらに備えていてもよい。ガス吸着層が多孔質吸着材であってもよい。 The localized surface plasmon resonance sensor may detect the sample on the metal thin film. Alternatively, the localized surface plasmon resonance sensor may further include a gas adsorption layer disposed on the metal thin film. The gas adsorption layer may be a porous adsorbent.
上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、金属薄膜に接続されたヒーターをさらに備えていてもよいし、ガス吸着層に接続されたヒーターをさらに備えていてもよい。また、上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、金属薄膜に電圧を印加し、金属薄膜を発熱させる加熱電源をさらに備えていてもよい。さらに、上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、金属薄膜に対し、金属薄膜におけるプラズモン共鳴波長を含む加熱光を照射する加熱光源をさらに備えていてもよい。 The localized surface plasmon resonance sensor may further include a heater connected to the metal thin film, or may further include a heater connected to the gas adsorption layer. The localized surface plasmon resonance sensor may further include a heating power source that applies a voltage to the metal thin film and generates heat in the metal thin film. Further, the localized surface plasmon resonance sensor may further include a heating light source that irradiates the metal thin film with heating light including a plasmon resonance wavelength in the metal thin film.
上記の局在表面プラズモン共鳴センサにおいて、光透過性基板の裏面に対し、検査光源及び受光器の光軸が略垂直であってもよい。検査光源の光軸と、受光器の光軸と、が、略平行であってもよい。 In the above localized surface plasmon resonance sensor, the optical axes of the inspection light source and the light receiver may be substantially perpendicular to the back surface of the light transmissive substrate. The optical axis of the inspection light source and the optical axis of the light receiver may be substantially parallel.
上記の局在表面プラズモン共鳴センサが、検査光源に接続される第１光ファイバと、受光器に接続される第２光ファイバと、を更に備えていてもよい。 The localized surface plasmon resonance sensor may further include a first optical fiber connected to the inspection light source and a second optical fiber connected to the light receiver.
以下に本発明の実施の形態を説明する。ただし、本開示の一部をなす記述及び図面は、本発明を限定するものであると理解するべきではない。本開示から当業者には様々な代替技術及び運用技術が明らかになるはずであり、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。 Embodiments of the present invention will be described below. However, it should not be understood that the description and drawings that form part of this disclosure limit the present invention. It should be understood that various alternative techniques and operation techniques should be apparent to those skilled in the art from this disclosure, and that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１及び図２に示すように、光透過性基板１と、光透過性基板１の表面上に設けられた、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・が一定間隔で設けられた金属薄膜２と、光透過性基板１の裏面に検査光１３を照射する検査光源３と、金属薄膜２からの検査光の反射光１４を検出する受光器４と、を備える。
(First embodiment)
The localized surface plasmon resonance sensor according to the first embodiment includes a light transmissive substrate 1 and a localized surface plasmon provided on the surface of the light transmissive substrate 1, as shown in FIGS. A metal thin film 2 provided with a plurality of openings 12A, 12B, 12C,... That causes resonance, an inspection light source 3 that irradiates the back surface of the light-transmissive substrate 1 with the inspection light 13, and a metal thin film 2. And a light receiver 4 for detecting the reflected light 14 of the inspection light from.
光透過性基板１は、検査光源３が発する検査光に対して透明である。光透過性基板１の材料としては、例えば、石英ガラス等のガラス、及びアクリルアミド等の樹脂が使用可能である。 The light transmissive substrate 1 is transparent to the inspection light emitted from the inspection light source 3. As a material of the light transmissive substrate 1, for example, glass such as quartz glass and resin such as acrylamide can be used.
金属薄膜２は、検査光源３が発する検査光に対して実質的に不透明な材料からなり、検査光源３が発した検査光を反射する。金属薄膜２の材料としては、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、及びこれらの金属の複合体の光非透過性物質等が使用可能である。金属薄膜２の厚みは、数十から数百ｎｍであるが、これに限定されない。金属薄膜２の厚みは、所望の反射率が得られるよう、適宜設定される。 The metal thin film 2 is made of a material that is substantially opaque to the inspection light emitted from the inspection light source 3, and reflects the inspection light emitted from the inspection light source 3. As a material of the metal thin film 2, for example, aluminum (Al), gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), and a light non-transparent substance of a composite of these metals can be used. The thickness of the metal thin film 2 is several tens to several hundreds nm, but is not limited thereto. The thickness of the metal thin film 2 is appropriately set so that a desired reflectance is obtained.
金属薄膜２に設けられた複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・のそれぞれは、例えば正方形状であり、一辺の長さが数百ｎｍ、例えば３００ｎｍである。複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・は、例えば、それぞれの一辺の長さと同じ間隔をおいて設けられている。ただし、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・のそれぞれの形状や大きさ、及び間隔は、局在表面プラズモン共鳴を生じさせることができれば、特に限定されない。例えば、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・のそれぞれは、円形状、三角形状、六角形状、多角形状、環状、及びＣ字形状であってもよい。 Each of the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Provided in the metal thin film 2 has a square shape, for example, and the length of one side is several hundred nm, for example, 300 nm. The plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Are provided at the same interval as the length of each side, for example. However, the shape, size, and interval of the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Are not particularly limited as long as localized surface plasmon resonance can be generated. For example, each of the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... May be circular, triangular, hexagonal, polygonal, annular, and C-shaped.
好ましくは、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・のそれぞれの大きさは、検査光の波長よりも小さい。また、好ましくは、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・のそれぞれの幅は、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・の間隔以下であり、例えば、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・の間隔の１／３倍以上１倍以下、あるいは２／３以下である。例えば、複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・の面積の総和は、金属薄膜２の複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・が設けられていない部分の面積よりも小さい。 Preferably, each of the plurality of openings 12A, 12B, 12C... Is smaller than the wavelength of the inspection light. Preferably, the width of each of the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Is equal to or less than the interval between the plurality of openings 12A, 12B, 12C,. The interval is 1/3 times or more and 1 time or less, or 2/3 or less. For example, the total area of the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Is smaller than the area of the portion of the metal thin film 2 where the plurality of openings 12A, 12B, 12C,.
光透過性基板１と金属薄膜２の間に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）、酸化クロム（Ｃｒ2Ｏ3）、酸化ニッケル（ＮｉＯ）、又は酸化チタン（ＴｉＯ2）等の誘電体からなる酸化膜を配置してもよい。 An oxide film made of a dielectric material such as silicon dioxide (SiO 2 ), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), nickel oxide (NiO), or titanium oxide (TiO 2 ) between the light transmissive substrate 1 and the metal thin film 2. May be arranged.
検査光源３と受光器４は、光透過性基板１の裏面に対向して配置される。検査光源３が発する検査光は、白色光等の広波長帯域光であるが、これに限定されない。検査光は、可視光又は近赤外光であってもよい。光透過性基板１と、受光器４と、の間に、光学フィルタを設けてもよい。光学フィルタが透過する光の波長は、プラズモン共鳴波長によって、適宜設定される。検査光源３と受光器４は、外光の影響を遮断する筐体５に格納されていてもよい。 The inspection light source 3 and the light receiver 4 are arranged to face the back surface of the light transmissive substrate 1. The inspection light emitted from the inspection light source 3 is a wide wavelength band light such as white light, but is not limited thereto. The inspection light may be visible light or near infrared light. An optical filter may be provided between the light transmissive substrate 1 and the light receiver 4. The wavelength of light transmitted through the optical filter is appropriately set according to the plasmon resonance wavelength. The inspection light source 3 and the light receiver 4 may be stored in a housing 5 that blocks the influence of external light.
光透過性基板１の裏面に対し、検査光源３及び受光器４の光軸が略垂直であり、検査光源の光軸と、受光器の光軸と、が、略平行であってもよい。なお、この場合、検査光は非平行光であり、検査光源３から照射された後、光束が広がることが好ましい。また、検査光源の光軸と、受光器の光軸と、が、光透過性基板１の上方において交差するよう、光透過性基板１の裏面に対し、検査光源３及び受光器４の光軸が傾斜していてもよい。 The optical axes of the inspection light source 3 and the light receiver 4 may be substantially perpendicular to the back surface of the light transmissive substrate 1, and the optical axis of the inspection light source and the optical axis of the light receiver may be substantially parallel. In this case, the inspection light is non-parallel light, and it is preferable that the light beam spreads after being irradiated from the inspection light source 3. In addition, the optical axes of the inspection light source 3 and the light receiver 4 with respect to the back surface of the light transmissive substrate 1 so that the optical axis of the inspection light source and the optical axis of the light receiver intersect each other above the light transmissive substrate 1. May be inclined.
図３に示すように、金属薄膜２表面上近傍に存在する試料１００の誘電率に応じて、金属薄膜２の裏面で反射される光のスペクトルが変化する。具体的には、金属薄膜２表面上近傍に存在する試料１００の誘電率に応じて、局在表面プラズモン共鳴により吸収される光の波長ピークがシフトする。試料１００は、特に限定されないが、例えば化学物質や、生化学物質等の生体物質である。例えば、金属薄膜２表面近傍にエタノールを滴下すると、図４に示すように、反射光スペクトルにおいて、波長９８０ｎｍで、反射率の低下が確認される。試料１００の誘電率は、試料１００の濃度や密度に依存するため、反射スペクトルの変化から、試料１００の濃度や密度を測定することが可能となる。反射スペクトルの変化の測定においては、吸収波長ピークのシフトを測定してもよいし、特定の波長における反射率の変化を測定してもよい。特定の波長における反射率の変化を測定する場合は、特定の波長を透過、又は減衰させる光学フィルタを、光透過性基板１と、受光器４と、の間に設けるとよい。 As shown in FIG. 3, the spectrum of light reflected on the back surface of the metal thin film 2 changes according to the dielectric constant of the sample 100 existing near the surface of the metal thin film 2. Specifically, the wavelength peak of the light absorbed by the localized surface plasmon resonance is shifted according to the dielectric constant of the sample 100 existing near the surface of the metal thin film 2. The sample 100 is not particularly limited, but is, for example, a biological substance such as a chemical substance or a biochemical substance. For example, when ethanol is dropped in the vicinity of the surface of the metal thin film 2, as shown in FIG. 4, a decrease in reflectance is confirmed at a wavelength of 980 nm in the reflected light spectrum. Since the dielectric constant of the sample 100 depends on the concentration and density of the sample 100, the concentration and density of the sample 100 can be measured from changes in the reflection spectrum. In measuring the change in the reflection spectrum, the shift of the absorption wavelength peak may be measured, or the change in reflectance at a specific wavelength may be measured. When measuring a change in reflectance at a specific wavelength, an optical filter that transmits or attenuates the specific wavelength may be provided between the light-transmitting substrate 1 and the light receiver 4.
従来の基板上に配置された金属微粒子や金属ナノディスクを用いる局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、金属微粒子や金属ナノディスクが配置された基板に検査光を照射して、基板を透過した検査光のスペクトルを検査している。しかし、基板上の試料が色を有していたり、濁っている場合、検査光が試料に吸収されたり、試料によって散乱したりして、透過光が減少し、スペクトルの分解能が低下するという問題がある。また、検査対象の試料そのものが透明であっても、試料に不純物が混じっていると、同様の問題が生じる。 In a localized surface plasmon resonance sensor using metal fine particles or metal nanodisks arranged on a conventional substrate, the inspection light transmitted through the substrate is irradiated with inspection light on the substrate on which metal fine particles or metal nanodisks are arranged. Inspect the spectrum. However, if the sample on the substrate has a color or is turbid, the inspection light is absorbed by the sample or scattered by the sample, which reduces the transmitted light and lowers the spectral resolution. There is. Moreover, even if the sample to be inspected is transparent, the same problem occurs if impurities are mixed in the sample.
これに対し、第１の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサが備える複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・が一定間隔で設けられた金属薄膜２は、金属微粒子や金属ナノディスクよりも多くの光を反射することが可能である。そのため、光透過性基板１の裏側から検査光を照射しても、反射光の強度が強く、反射光スペクトルの分解能が高い。そのため、高い精度で試料１００を検出することが可能となる。また、検査光の光路上に試料１００が存在しないため、試料１００の色や濁度の影響を受けることなく、試料１００を高い精度で検出することが可能となる。 On the other hand, the metal thin film 2 in which the plurality of openings 12A, 12B, 12C,... Provided in the localized surface plasmon resonance sensor according to the first embodiment are provided at regular intervals is more than metal fine particles and metal nanodisks. It is also possible to reflect a lot of light. Therefore, even if the inspection light is irradiated from the back side of the light transmissive substrate 1, the intensity of the reflected light is strong and the resolution of the reflected light spectrum is high. Therefore, the sample 100 can be detected with high accuracy. In addition, since the sample 100 does not exist on the optical path of the inspection light, the sample 100 can be detected with high accuracy without being affected by the color or turbidity of the sample 100.
また、従来の基板上に配置された金属微粒子を用いる局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、プラズモン共鳴により吸収される光の波長が、およそ４００ｎｍから６００ｎｍの範囲にある。しかし、金属微粒子の材料として用いられる金属材料自体が、光を吸収する性質を有している。例えば、銀の吸収波長は３２０ｎｍであり、金の吸収波長は５００ｎｍであり、銅の吸収波長は６００ｎｍである。そのため、金属微粒子の材料そのものによる光の吸収波長と、プラズモン共鳴による光の吸収波長と、が重なるため、検出感度が低下する場合がある。 In a localized surface plasmon resonance sensor using metal fine particles arranged on a conventional substrate, the wavelength of light absorbed by plasmon resonance is in the range of approximately 400 nm to 600 nm. However, the metal material itself used as the material for the metal fine particles has a property of absorbing light. For example, the absorption wavelength of silver is 320 nm, the absorption wavelength of gold is 500 nm, and the absorption wavelength of copper is 600 nm. For this reason, the light absorption wavelength due to the metal fine particle material itself and the light absorption wavelength due to plasmon resonance overlap, so that the detection sensitivity may decrease.
これに対し、第１の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、プラズモン共鳴が生じうる金属微粒子等よりも大きな開口パターンでプラズモン共鳴を生じさせることが可能であるため、プラズモン共鳴により吸収される光の波長が、６００ｎｍ以上、７００ｎｍ以上、８００ｎｍ以上、９００ｎｍ以上、又は１０００ｎｍ以上である。そのため、金属材料自体による光の吸収波長と、プラズモン共鳴による光の吸収波長と、が重なりにくく、高い検出感度を得ることが可能となる。 On the other hand, in the localized surface plasmon resonance sensor according to the first embodiment, plasmon resonance can be generated with a larger opening pattern than a metal fine particle or the like that can generate plasmon resonance. The wavelength of the absorbed light is 600 nm or more, 700 nm or more, 800 nm or more, 900 nm or more, or 1000 nm or more. Therefore, the absorption wavelength of light by the metal material itself and the absorption wavelength of light by plasmon resonance are unlikely to overlap, and high detection sensitivity can be obtained.
さらに、例えば図５及び図６に示すように、従来の光透過型局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、筐体基板５３０に対し、検査光源５０３、金属微粒子や金属ナノディスクが配置された光透過性基板５０１、及び受光器５０４を垂直に配置する必要がある。これに付随して、検査光源５０３に接続された回路ブロック５２３、光透過性基板５０１と受光器５０４の間の光学フィルタ５０８、及び受光器５０４に接続された回路ブロック５２４も、筐体基板５３０に対し、垂直に配置する必要がある。そのため、従来の光透過型局在表面プラズモン共鳴センサは、小型化及び薄型化が困難である。 Further, for example, as shown in FIGS. 5 and 6, in a conventional light transmission type localized surface plasmon resonance sensor, a light transmission in which an inspection light source 503, metal fine particles, and metal nanodisks are arranged with respect to a housing substrate 530. The conductive substrate 501 and the light receiver 504 need to be arranged vertically. Concomitantly, the circuit block 523 connected to the inspection light source 503, the optical filter 508 between the light transmissive substrate 501 and the light receiver 504, and the circuit block 524 connected to the light receiver 504 are also included in the housing substrate 530. However, it is necessary to arrange them vertically. Therefore, it is difficult to reduce the size and thickness of the conventional light transmission type localized surface plasmon resonance sensor.
これに対し、図７及び図８に示すように、第１の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、検査光源３に例えば薄い発光ダイオード（ＬＥＤ）を用い、受光器４に例えば薄いフォトデテクタを用いれば、筐体基板３０に対し、回路ブロック２３、回路ブロック２３に接続された検査光源３、回路ブロック２４、回路ブロック２４に接続された受光器４、受光器４の上に配置された光学フィルタ８、光透過性基板１、及び複数の開口が一定間隔で設けられた金属薄膜２を積層させることが可能である。そのため、第１の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、小型化及び薄型化が容易である。 On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 8, in the localized surface plasmon resonance sensor according to the first embodiment, for example, a thin light emitting diode (LED) is used as the inspection light source 3 and If a thin photodetector is used, the circuit block 23, the inspection light source 3 connected to the circuit block 23, the circuit block 24, the photoreceiver 4 connected to the circuit block 24, and the photoreceiver 4 with respect to the housing substrate 30 are used. It is possible to laminate the optical filter 8, the light transmissive substrate 1, and the metal thin film 2 in which a plurality of openings are provided at regular intervals. Therefore, the localized surface plasmon resonance sensor according to the first embodiment can be easily reduced in size and thickness.
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図９に示すように、検査光源３に接続される第１光ファイバ４３と、受光器４に接続される第２光ファイバ４４と、をさらに備える。第２の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 9, the localized surface plasmon resonance sensor according to the second embodiment includes a first optical fiber 43 connected to the inspection light source 3 and a second optical fiber 44 connected to the light receiver 4. Are further provided. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
第１光ファイバ４３の一方の端面は、検査光源３に接続される。第１光ファイバ４３の他方の端面は、検査光源３からの出射された検査光１３が光透過性基板１に入射されるように配置される。第２光ファイバ４４の一方の端面は受光器４に接続される。第２光ファイバ４４の他方の端面は、反射光１４が入射されるように配置される。 One end face of the first optical fiber 43 is connected to the inspection light source 3. The other end face of the first optical fiber 43 is arranged such that the inspection light 13 emitted from the inspection light source 3 is incident on the light transmissive substrate 1. One end face of the second optical fiber 44 is connected to the light receiver 4. The other end face of the second optical fiber 44 is arranged so that the reflected light 14 is incident thereon.
第１光ファイバ４３及び第２光ファイバ４４は、例えば平行に配置されてもよい。 The first optical fiber 43 and the second optical fiber 44 may be arranged in parallel, for example.
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１０に示すように、金属薄膜２上に配置されたガス吸着層６をさらに備える。第３の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。
(Third embodiment)
The localized surface plasmon resonance sensor according to the third embodiment further includes a gas adsorption layer 6 disposed on the metal thin film 2 as shown in FIG. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the third embodiment are the same as those of the first embodiment.
ガス吸着層６は、例えば、多孔質吸着材である。多孔質吸着材の平均孔径は、例えば０．５ｎｍ〜５０ｎｍである。また、ガス吸着層６の膜厚は、例えば１０ｎｍ〜２μｍである。ただし、金属薄膜２の表面上近傍にガス１０６を吸着可能であれば、ガス吸着層６の構造はこれらに限定されない。ガス吸着層６は、金属薄膜２の複数の開口１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ・・・を埋めていてもよいし、埋めていなくてもよい。 The gas adsorption layer 6 is a porous adsorbent, for example. The average pore diameter of the porous adsorbent is, for example, 0.5 nm to 50 nm. Moreover, the film thickness of the gas adsorption layer 6 is 10 nm-2 micrometers, for example. However, the structure of the gas adsorption layer 6 is not limited to this as long as the gas 106 can be adsorbed in the vicinity of the surface of the metal thin film 2. The gas adsorption layer 6 may or may not fill a plurality of openings 12A, 12B, 12C.
ガス吸着層６は、例えばメソポーラス材料、マクロポーラス材料、複合メソ／マクロポーラス材料、多孔性配位高分子（ＰＣＰ）、及び金属有機構造体（ＭＯＦ）等からなる。例えば、メソポーラス材料は、２〜５０ｎｍの平均孔径を有し、ラメラ、ヘキサゴナル、及びキュービックなどの規則正しい構造を有する。 The gas adsorption layer 6 is made of, for example, a mesoporous material, a macroporous material, a composite meso / macroporous material, a porous coordination polymer (PCP), and a metal organic structure (MOF). For example, mesoporous materials have an average pore size of 2-50 nm and have a regular structure such as lamella, hexagonal, and cubic.
また、ガス吸着層６の素材としては、例えばポリマー、金属、シリカ材料、粘土、セルロース、シリカゲル、カーボンナノチューブ、セラミック、ゼオライト、及びそれらの組み合わせが使用可能である。 Moreover, as a raw material of the gas adsorption layer 6, for example, polymer, metal, silica material, clay, cellulose, silica gel, carbon nanotube, ceramic, zeolite, and combinations thereof can be used.
ガス吸着層６には、局在表面プラズモン共鳴センサの周辺を漂うガスが吸着される。ガス吸着層６にガスが吸着されると、金属薄膜２近傍の物質密度が増加するため、みかけの誘電率が増加する。この結果プラズモン共鳴波長が変化し、金属薄膜２の裏面で反射される光のスペクトルが変化する。ガスの吸着量は、ガスの濃度に依存するため、反射スペクトルの変化から、ガスの濃度を高い精度で測定することが可能となる。 A gas drifting around the localized surface plasmon resonance sensor is adsorbed on the gas adsorption layer 6. When the gas is adsorbed on the gas adsorption layer 6, the material density in the vicinity of the metal thin film 2 increases, so that the apparent dielectric constant increases. As a result, the plasmon resonance wavelength changes, and the spectrum of light reflected by the back surface of the metal thin film 2 changes. Since the gas adsorption amount depends on the gas concentration, the gas concentration can be measured with high accuracy from the change in the reflection spectrum.
さらに、ガス吸着層６が金属薄膜２表面を保護することから、局在表面プラズモン共鳴センサの安定性を向上させることが可能となる。 Furthermore, since the gas adsorption layer 6 protects the surface of the metal thin film 2, the stability of the localized surface plasmon resonance sensor can be improved.
なお、図１１に示すように、第３の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、検査光源３に接続される第１光ファイバ４３と、受光器４に接続される第２光ファイバ４４と、をさらに備えていてもよい。第１光ファイバ４３と、第２光ファイバ４４と、は、第２の実施の形態と同様であるので、説明は省略する。 As shown in FIG. 11, the localized surface plasmon resonance sensor according to the third embodiment includes a first optical fiber 43 connected to the inspection light source 3 and a second optical fiber connected to the light receiver 4. 44 may be further provided. Since the first optical fiber 43 and the second optical fiber 44 are the same as those in the second embodiment, description thereof is omitted.
（第４の実施の形態）
第４の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１２及び図１３に示すように、金属薄膜２に接続されたヒーター７をさらに備える。第４の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。ヒーター７としては、発熱抵抗素子等が使用可能である。ヒーター７の材料としては、例えば、クロム及びニッケル等の金属、酸化錫等の酸化物半導体、シリコン等の半導体、並びに炭素等が使用可能である。
(Fourth embodiment)
The localized surface plasmon resonance sensor according to the fourth embodiment further includes a heater 7 connected to the metal thin film 2 as shown in FIGS. 12 and 13. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the fourth embodiment are the same as those of the first embodiment. As the heater 7, a heating resistance element or the like can be used. As a material of the heater 7, for example, a metal such as chromium and nickel, an oxide semiconductor such as tin oxide, a semiconductor such as silicon, and carbon can be used.
ヒーター７が金属薄膜２に熱接触しておれば、ヒーター７を金属薄膜２に接続する方法は特に限定されない。ヒーター７は、金属薄膜２に貼り付けられていてもよいし、金属薄膜２に組み込まれていてもよいし、金属薄膜２と一体化していてもよい。あるいは、ヒーター７と、金属薄膜２と、を、ワイヤボンディングにより接続してもよい。ヒーター７で加熱された金属薄膜２は、面状発熱体となる。 As long as the heater 7 is in thermal contact with the metal thin film 2, the method for connecting the heater 7 to the metal thin film 2 is not particularly limited. The heater 7 may be attached to the metal thin film 2, may be incorporated in the metal thin film 2, or may be integrated with the metal thin film 2. Alternatively, the heater 7 and the metal thin film 2 may be connected by wire bonding. The metal thin film 2 heated by the heater 7 becomes a planar heating element.
例えば、局在表面プラズモン共鳴センサの検出対象が化学物質や生体物質である場合、ヒーター７によって金属薄膜２を加熱することにより、金属薄膜２上で化学物質や生体物質の化学反応や分解を促進することが可能となる。生体物質の分解の例としては、二本鎖ＤＮＡの解離が挙げられる。 For example, when the detection object of the localized surface plasmon resonance sensor is a chemical substance or a biological substance, the chemical reaction or decomposition of the chemical substance or the biological substance is promoted on the metal thin film 2 by heating the metal thin film 2 with the heater 7. It becomes possible to do. An example of biological material degradation is dissociation of double-stranded DNA.
従来の金属微粒子や金属ナノディスクを用いる局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、配置された金属微粒子や金属ナノディスクが互いに分離しているため、配置された金属微粒子や金属ナノディスクすべてに熱を伝導させることは困難である。これに対し、第４の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる構造が熱伝導膜である金属薄膜２に設けられているため、ヒーター７の熱を金属薄膜２全体に伝えることが可能となる。 In the conventional localized surface plasmon resonance sensor using metal fine particles and metal nanodisks, the arranged metal fine particles and metal nanodisks are separated from each other, so that heat is conducted to all the arranged metal fine particles and metal nanodisks. It is difficult to make it. On the other hand, in the localized surface plasmon resonance sensor according to the fourth embodiment, the structure that generates the localized surface plasmon resonance is provided in the metal thin film 2 that is the heat conducting film, so that the heat of the heater 7 is increased. Can be transmitted to the entire metal thin film 2.
（第５の実施の形態）
第５の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１４に示すように、ガス吸着層６に接続されたヒーター７をさらに備える。第５の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第３の実施の形態と同様である。第５の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサによれば、ヒーター７によってガス吸着層６を加熱することにより、ガス吸着層６に吸着された気体分子を脱着することが可能となる。
(Fifth embodiment)
The localized surface plasmon resonance sensor according to the fifth embodiment further includes a heater 7 connected to the gas adsorption layer 6 as shown in FIG. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the fifth embodiment are the same as those of the third embodiment. According to the localized surface plasmon resonance sensor according to the fifth embodiment, it is possible to desorb the gas molecules adsorbed on the gas adsorption layer 6 by heating the gas adsorption layer 6 with the heater 7.
（第６の実施の形態）
第６の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１５に示すように、金属薄膜２に電圧を印加し、金属薄膜２を発熱させる加熱電源１７をさらに備える。第６の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。加熱電源１７によって電圧を印加された金属薄膜２には電流が流れ、熱が生じる。この場合、金属薄膜２を連続する折り返し構造とすることによって、電気抵抗を高くし、ジュール発熱しやすくしてもよい。加熱電源１７が接続された金属薄膜２上に、図１０に示したガス吸着層６が配置されていてもよい。
(Sixth embodiment)
As shown in FIG. 15, the localized surface plasmon resonance sensor according to the sixth embodiment further includes a heating power source 17 that applies a voltage to the metal thin film 2 to cause the metal thin film 2 to generate heat. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the sixth embodiment are the same as those in the first embodiment. A current flows through the metal thin film 2 to which a voltage is applied by the heating power source 17, and heat is generated. In this case, the metal thin film 2 may have a continuous folded structure to increase electrical resistance and facilitate Joule heat generation. The gas adsorption layer 6 shown in FIG. 10 may be disposed on the metal thin film 2 to which the heating power source 17 is connected.
従来の金属微粒子や金属ナノディスクを用いる局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、配置された金属微粒子や金属ナノディスクが互いに分離しているため、配置された金属微粒子や金属ナノディスクすべてに通電することは困難である。これに対し、第６の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる構造が金属薄膜２に設けられているため、加熱電源１７によって金属薄膜２全体を印加して、加熱することが可能となる。 In a localized surface plasmon resonance sensor using conventional metal fine particles and metal nanodisks, the arranged metal fine particles and metal nanodisks are separated from each other. It is difficult. In contrast, in the localized surface plasmon resonance sensor according to the sixth embodiment, the metal thin film 2 is provided with a structure for generating localized surface plasmon resonance. It can be applied and heated.
（第７の実施の形態）
第７の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、図１６に示すように、金属薄膜２に対し、金属薄膜２におけるプラズモン共鳴波長を含む加熱光を照射する加熱光源２７をさらに備える。第７の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。金属薄膜２は、加熱光源２７から、金属薄膜２におけるプラズモン共鳴波長を含む光である加熱光を照射されると、光熱変換により、発熱する。図１７に示すように、加熱光を照射される金属薄膜２上に、ガス吸着層６が配置されていてもよい。この場合、ガス吸着層６は、加熱光に対して透明であることが好ましい。
(Seventh embodiment)
As shown in FIG. 16, the localized surface plasmon resonance sensor according to the seventh embodiment further includes a heating light source 27 that irradiates the metal thin film 2 with heating light including the plasmon resonance wavelength in the metal thin film 2. Other components of the localized surface plasmon resonance sensor according to the seventh embodiment are the same as those in the first embodiment. When the metal thin film 2 is irradiated with heating light that is light including the plasmon resonance wavelength in the metal thin film 2 from the heating light source 27, the metal thin film 2 generates heat by photothermal conversion. As shown in FIG. 17, the gas adsorption layer 6 may be arranged on the metal thin film 2 irradiated with the heating light. In this case, the gas adsorption layer 6 is preferably transparent to the heating light.
従来の金属微粒子や金属ナノディスクを用いる局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、プラズモン共鳴が弱いため、光熱変換効率が低い。これに対し、第７の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサにおいては、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる構造が金属薄膜２に設けられているため、強いプラズモン共鳴を生じさせることが可能であり、光熱変換効率が高い。 Conventional localized surface plasmon resonance sensors using metal fine particles or metal nanodisks have low photothermal conversion efficiency due to weak plasmon resonance. On the other hand, in the localized surface plasmon resonance sensor according to the seventh embodiment, the metal thin film 2 is provided with a structure that generates localized surface plasmon resonance, so that strong plasmon resonance can be generated. The photothermal conversion efficiency is high.
（実施例１）
図１８に示すように光透過性基板として石英基板２０１を用意し、図１９に示すように、石英基板２０１上に厚さ５から１０ｎｍのシリコン（Ｓｉ）薄膜２０２をスパッタで形成した。その後、図２０に示すように、シリコン薄膜２０２上に、ポジ型電子線レジスト（ＺＥＰ ５２０Ａ−７、日本ゼオン株式会社）を塗布してレジスト膜２０３を形成し、図２１に示すように、レジスト膜２０３上に導電性樹脂（ＥＳＰＡＣＥＲ、昭和電工株式会社）を塗布して導電性樹脂層２０４を形成した。
Example 1
A quartz substrate 201 was prepared as a light transmissive substrate as shown in FIG. 18, and a silicon (Si) thin film 202 having a thickness of 5 to 10 nm was formed on the quartz substrate 201 by sputtering as shown in FIG. After that, as shown in FIG. 20, a positive electron beam resist (ZEP 520A-7, Nippon Zeon Co., Ltd.) is applied on the silicon thin film 202 to form a resist film 203. As shown in FIG. A conductive resin (ESPACER, Showa Denko KK) was applied on the film 203 to form a conductive resin layer 204.
なお、シリコン薄膜２０２は、レジスト膜２０３の密着性を向上させ、レジスト膜２０３の剥離や、レジスト膜２０３に形成されるパターンの崩壊を抑制する。また、シリコン薄膜２０２の厚さを２０ｎｍ程度に厚くするか、あるいはシリコン薄膜２０２の代わりに金属クロム膜を配置することによって、導電性樹脂層２０４は省略することもできる。 Note that the silicon thin film 202 improves the adhesion of the resist film 203 and suppresses the peeling of the resist film 203 and the collapse of the pattern formed on the resist film 203. Further, the conductive resin layer 204 can be omitted by increasing the thickness of the silicon thin film 202 to about 20 nm or by disposing a metal chromium film instead of the silicon thin film 202.
次に、図２２に示すように、電子ビーム描画装置を用いて導電性樹脂層２０４、及びレジスト膜２０３に電子ビームを照射し、図２３に示すように、レジスト膜２０３に複数の円形状パターン２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ・・・が残るよう描画した。その後、導電性樹脂層２０４を除去し、レジスト膜２０３を現像処理することにより、電子ビームを照射した部分が除去された結果、図２４に示すように、シリコン薄膜２０２上に、複数の円筒状レジストパターン２２３Ａ、２２３Ｂ、２２３Ｃ・・・が形成された。 Next, as shown in FIG. 22, the conductive resin layer 204 and the resist film 203 are irradiated with an electron beam using an electron beam drawing apparatus, and a plurality of circular patterns are formed on the resist film 203 as shown in FIG. Drawing is performed so that 214A, 214B, 214C,... Remain. Thereafter, the conductive resin layer 204 is removed and the resist film 203 is developed to remove the portion irradiated with the electron beam. As a result, a plurality of cylindrical shapes are formed on the silicon thin film 202 as shown in FIG. Resist patterns 223A, 223B, 223C,... Were formed.
次に、図２５に示すように、シリコン薄膜２０２及び複数の円筒状レジストパターン２２３Ａ、２２３Ｂ、２２３Ｃ・・・上に、アルミニウムをスパッタし、厚さが２０から１００ｎｍの金属薄膜２０５を形成した。その後、有機溶剤によって、複数の円筒状レジストパターン２２３Ａ、２２３Ｂ、２２３Ｃ・・・を除去した。なお、超音波洗浄機によって、有機溶剤を振動させた。これに伴い、複数の円筒状レジストパターン２２３Ａ、２２３Ｂ、２２３Ｃ・・・を覆っていた部分の金属薄膜２０５もリフトオフされ、図２６に示すように、金属薄膜２０５に複数の円形状の開口２１５Ａ、２１５Ｂ、２１５Ｃ・・・が形成された。次に、酸素プラズマ照射によって、レジストの残渣を除去すると共に、図２７に示すように、シリコン薄膜２０２を酸化させ、酸化膜２０６に変化させた。 Next, as shown in FIG. 25, aluminum was sputtered on the silicon thin film 202 and the plurality of cylindrical resist patterns 223A, 223B, 223C... To form a metal thin film 205 having a thickness of 20 to 100 nm. Thereafter, the plurality of cylindrical resist patterns 223A, 223B, 223C,... Were removed with an organic solvent. The organic solvent was vibrated with an ultrasonic cleaner. Accordingly, the portion of the metal thin film 205 that covered the plurality of cylindrical resist patterns 223A, 223B, 223C,... Is lifted off, and a plurality of circular openings 215A, 215B, 215C... Were formed. Next, the resist residue was removed by oxygen plasma irradiation, and the silicon thin film 202 was oxidized and changed to an oxide film 206 as shown in FIG.
（実施例２）
実施例１と同様の方法によって、光透過性基板上に、複数の正方形状の開口が設けられた厚さ２２ｎｍの金属薄膜を形成した。開口の辺の長さは３００ｎｍであり、複数の開口の隣り合う辺の間隔は３００ｎｍであった。得られた金属薄膜の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を図２８に、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）写真を図２９に示す。
(Example 2)
By a method similar to that of Example 1, a 22 nm thick metal thin film having a plurality of square openings was formed on a light transmissive substrate. The length of the side of the opening was 300 nm, and the interval between adjacent sides of the plurality of openings was 300 nm. A scanning electron microscope (SEM) photograph of the obtained metal thin film is shown in FIG. 28, and an atomic force microscope (AFM) photograph is shown in FIG.
得られた光透過性基板と金属薄膜の複合体に対して、光を照射したところ、図３０に示すように、高い反射率が確認され、また、急峻なプラズモン共鳴特性が確認された。また、図３１に示すように、プラズモン共鳴波長以外の波長帯域において、透過率がほぼ２０％以下であることが確認された。 When the obtained light-transmitting substrate / metal thin film composite was irradiated with light, high reflectivity was confirmed as shown in FIG. 30, and steep plasmon resonance characteristics were confirmed. In addition, as shown in FIG. 31, it was confirmed that the transmittance was approximately 20% or less in a wavelength band other than the plasmon resonance wavelength.
（実施例３）
実施例２と同様の方法によって、光透過性基板上に、複数の正方形状の開口が設けられた厚さ５０ｎｍの金属薄膜を形成した。開口の辺の長さは３００ｎｍであり、複数の開口の隣り合う辺の間隔は３００ｎｍであった。得られた光透過性基板と金属薄膜の複合体に対して、光を照射したところ、図３２に示すように、高い反射率が確認され、また、急峻なプラズモン共鳴特性が確認された。また、図３３に示すように、プラズモン共鳴波長以外の波長帯域において、透過率がほぼ２０％以下であることが確認された。さらに、図３４に示すように、吸収率スペクトルにおいても、急峻なプラズモン共鳴特性が確認された。
(Example 3)
In the same manner as in Example 2, a metal thin film having a thickness of 50 nm provided with a plurality of square openings was formed on a light transmissive substrate. The length of the side of the opening was 300 nm, and the interval between adjacent sides of the plurality of openings was 300 nm. When the obtained light-transmitting substrate / metal thin film composite was irradiated with light, high reflectivity was confirmed as shown in FIG. 32, and steep plasmon resonance characteristics were confirmed. Further, as shown in FIG. 33, it was confirmed that the transmittance was approximately 20% or less in a wavelength band other than the plasmon resonance wavelength. Furthermore, as shown in FIG. 34, steep plasmon resonance characteristics were also confirmed in the absorptance spectrum.
（実施例４）
図９に示すような平行２芯光ファイバを備える局在表面プラズモン共鳴センサを用意した。アルミニウムからなる厚さ７０ｎｍの金属薄膜には、開口幅２６０ｎｍの複数の矩形が、５４０ｎｍの間隔で設けられていた。試料としては、水とエタノールの混合物を用い、水とエタノールの混合比を変えた時の反射率の変化を、測定した。測定対象の反射光の波長は８６０ｎｍであった。結果として、図３５に示すように、エタノール濃度が上昇するにつれて、プラズモン共鳴波長が変化したことにより、波長８６０ｎｍにおける反射率が上昇したことが確認された。
Example 4
A localized surface plasmon resonance sensor provided with a parallel two-core optical fiber as shown in FIG. 9 was prepared. A metal thin film made of aluminum and having a thickness of 70 nm was provided with a plurality of rectangles having an opening width of 260 nm at intervals of 540 nm. As a sample, a mixture of water and ethanol was used, and the change in reflectance when the mixing ratio of water and ethanol was changed was measured. The wavelength of reflected light to be measured was 860 nm. As a result, as shown in FIG. 35, it was confirmed that the reflectance at a wavelength of 860 nm was increased due to a change in the plasmon resonance wavelength as the ethanol concentration was increased.
本発明の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサは、揮発性有機物（ＶＯＣ）処理装置を安定的に運転させるための工業用ガスセンサ、簡易型ウイルス検査装置、環境発電装置や無線電送装置の小型で低消費電力な環境モニター、並びに口臭及び体臭を検出するための携帯端末に搭載される小型で低消費電力な健康モニター等として利用可能である。ただし、本発明の実施の形態に係る局在表面プラズモン共鳴センサの利用方法は、これらに限定されない。 The localized surface plasmon resonance sensor according to the embodiment of the present invention is an industrial gas sensor, a simple virus inspection device, an environmental power generation device, and a wireless power transmission device for stably operating a volatile organic matter (VOC) treatment device. It can be used as a small and low power consumption environmental monitor and a small and low power consumption health monitor mounted on a portable terminal for detecting bad breath and body odor. However, the utilization method of the localized surface plasmon resonance sensor according to the embodiment of the present invention is not limited to these.
１ 光透過性基板
２ 金属薄膜
３ 検査光源
４ 受光器
５ 筐体
６ ガス吸着層
７ ヒーター
８ 光学フィルタ
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ 開口
１７ 加熱電源
２３、２４ 回路ブロック
２７ 加熱光源
３０ 筐体基板
１００ 試料
２０１ 石英基板
２０２ 薄膜
２０２ シリコン薄膜
２０３ レジスト膜
２０４ 導電性樹脂層
２０５ 金属薄膜
２０６ 酸化膜
２１３Ａ、２１３Ｂ、２１３Ｃ 変性部分
２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ 円形状パターン
２１５Ａ、２１５Ｂ、２１５Ｃ 開口
２２３Ａ、２２３Ｂ、２２３Ｃ 円筒状レジストパターン
５０１ 光透過性基板
５０３ 検査光源
５０４ 受光器
５０８ 光学フィルタ
５２３ 回路ブロック
５２４ 回路ブロック
５３０ 筐体基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light transmissive board | substrate 2 Metal thin film 3 Inspection light source 4 Light receiver 5 Case 6 Gas adsorption layer 7 Heater 8 Optical filter 12A, 12B, 12C Opening 17 Heating power supply 23, 24 Circuit block 27 Heating light source 30 Case substrate 100 Sample 201 Quartz substrate 202 Thin film 202 Silicon thin film 203 Resist film 204 Conductive resin layer 205 Metal thin film 206 Oxide film 213A, 213B, 213C Modified portion 214A, 214B, 214C Circular pattern 215A, 215B, 215C Opening 223A, 223B, 223C Cylindrical resist Pattern 501 Light transmissive substrate 503 Inspection light source 504 Light receiver 508 Optical filter 523 Circuit block 524 Circuit block 530 Housing substrate
Claims (11)
前記光透過性基板の表面上に設けられた、局在表面プラズモン共鳴を生じさせる、複数の開口が一定間隔で設けられた金属薄膜と、
前記光透過性基板の裏面に検査光を照射する検査光源と、
前記金属薄膜からの前記検査光の反射光を検出する受光器と、
を備える、局在表面プラズモン共鳴センサ。 A light transmissive substrate;
A metal thin film provided on the surface of the light-transmitting substrate, which generates localized surface plasmon resonance, and a plurality of openings provided at regular intervals;
An inspection light source for irradiating the back surface of the light transmissive substrate with inspection light;
A light receiver for detecting reflected light of the inspection light from the metal thin film;
A localized surface plasmon resonance sensor comprising:
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