JP2017067688A - Foreign matter inspection device - Google Patents

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真也 飯永
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foreign matter inspection device that can improve maintainability.SOLUTION: A foreign matter inspection device comprises: a conveyer 10 that conveys an inspected object S along a conveyance route 13; an X-ray inspection unit that detects a foreign matter in the inspected object S, using transmissivity of an X-ray; a linear type metal detection unit 3 that detects the foreign matter in the inspected object S, using an interaction between a magnetic field and metal; and a housing that internally houses the conveyer 10, the X-ray inspection unit, and the metal detection unit 3. The metal detection unit 3 includes detection heads 38A and 38B. The detection heads 38A and 38B are arranged so as to oppose each other in the conveyance route 13, and includes a search coil. The detection heads 38A and 38B are formed into a cantilever structure having the detection heads supported on a depth side of the metal detection unit.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、異物検査装置に関する。   The present invention relates to a foreign matter inspection apparatus.

特許文献1には、X線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出するX線検査と、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する金属検出との両方を行うことができる異物検査装置が記載されている。   In Patent Document 1, X-ray inspection for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray permeability and foreign matter contained in the object to be inspected using an interaction between a magnetic field and a metal are disclosed. A foreign substance inspection apparatus capable of performing both of metal detection and the detection is described.

特開2015−28465号公報JP 2015-28465 A

上述した異物検査装置では、X線検査を行うX線検査部が筐体内に収容され、X線の外部漏洩が抑制されると共に、この同じ筐体内に、金属検出を行う金属検出部と被検査物を搬送する搬送部の少なくとも一部とが収容される。このような構成においては、筐体内が手狭になる場合があり、作業員は、筐体内の清掃等の保守作業を行い難くなる可能性がある。   In the foreign substance inspection apparatus described above, an X-ray inspection unit that performs X-ray inspection is housed in a housing, and external leakage of X-rays is suppressed, and a metal detection unit that performs metal detection and an inspection target are included in the same housing. At least a part of a transport unit that transports an object is accommodated. In such a configuration, the inside of the housing may be narrow, and it may be difficult for an operator to perform maintenance work such as cleaning the inside of the housing.

そこで、本発明は、保守性を向上することが可能な異物検査装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a foreign object inspection apparatus capable of improving maintainability.

本発明の異物検査装置は、被検査物を搬送路に沿って搬送する搬送部と、X線の透過性を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出するX線検査部と、磁界と金属との相互作用を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出する直流型の金属検出部と、搬送部の少なくとも一部、金属検出部、及びX線検査部を内部に収容し、X線検査部のX線の外部漏洩を抑制する筐体と、を備え、金属検出部は、搬送路に対向するように配置され、サーチコイルを含む検出ヘッドを備え、検出ヘッドは、搬送路の幅方向一方側で支持された片持ち構造とされている。   The foreign matter inspection apparatus of the present invention detects a foreign matter contained in an inspection object being transported by the transport unit by using a transport unit that transports the test object along the transport path and X-ray permeability. An X-ray inspection unit, a direct current type metal detection unit that detects foreign matter contained in the object being transported by the transport unit using the interaction between the magnetic field and the metal, and at least a part of the transport unit; A metal detector and an X-ray inspection unit are housed therein, and a housing that suppresses external leakage of X-rays of the X-ray inspection unit is provided, and the metal detection unit is arranged to face the conveyance path, A detection head including a search coil is provided, and the detection head has a cantilever structure supported on one side in the width direction of the transport path.

この異物検査装置では、筐体内に収容された金属検出部の検出ヘッドが、搬送路の幅方向一方側で支持された片持ち構造とされている。これにより、作業員は、筐体内において搬送路の幅方向他方側から金属検出部の奥へと容易に手を挿入することが可能になり、筐体内の清掃や整備を行いやすくすることができる。その結果、異物検査装置の保守性を向上することが可能となる。   In this foreign matter inspection apparatus, the detection head of the metal detection unit accommodated in the housing has a cantilever structure supported on one side in the width direction of the transport path. Thereby, it becomes possible for the worker to easily insert a hand from the other side in the width direction of the transport path into the back of the metal detection unit in the housing, and to facilitate cleaning and maintenance in the housing. . As a result, the maintainability of the foreign substance inspection apparatus can be improved.

本発明の異物検査装置では、金属検出部は、搬送方向における検出ヘッドの上流側に配置され、被検査物を磁化させる着磁器を備え、X線検査部は、搬送方向における検出ヘッドと着磁器との間に配置されていてもよい。この構成によれば、金属検出部における検出ヘッドと着磁器との間のスペースを利用してX線検査部を配置でき、装置の小型化が可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus according to the present invention, the metal detection unit is disposed upstream of the detection head in the transport direction, and includes a magnetizer that magnetizes the inspection object. The X-ray inspection unit includes the detection head and the magnetizer in the transport direction. Between them. According to this configuration, the X-ray inspection unit can be arranged using the space between the detection head and the magnetizer in the metal detection unit, and the apparatus can be downsized.

本発明の異物検査装置では、搬送部は、コンベヤであり、コンベヤは、搬送路の幅方向一方側で支持された片持ち構造とされていてもよい。この構成によれば、作業員は、筐体内において搬送路の幅方向他方側からコンベヤの奥へも容易に手を挿入することが可能になり、異物検査装置の保守性を一層向上することが可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus of the present invention, the transport unit may be a conveyor, and the conveyor may have a cantilever structure supported on one side in the width direction of the transport path. According to this configuration, the worker can easily insert his / her hand from the other side in the width direction of the conveyance path into the back of the conveyor in the housing, and the maintainability of the foreign matter inspection apparatus can be further improved. It becomes possible.

本発明によれば、保守性を向上することができる異物検査装置を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the foreign material inspection apparatus which can improve maintainability.

実施形態に係る異物検査装置の正面図である。It is a front view of the foreign material inspection apparatus which concerns on embodiment. 図1に示される異物検査装置の内部構成及び制御系を説明する概念図である。It is a conceptual diagram explaining the internal structure and control system of the foreign material inspection apparatus shown by FIG. 図2に示される筐体における検査室内の構成の概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view of a configuration in an examination room in the housing shown in FIG. 2. (a)は図3に示される構成の左側面図である。(b)は図3に示される構成の右側面図である。(A) is a left view of the structure shown by FIG. FIG. 4B is a right side view of the configuration shown in FIG.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same or an equivalent part, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図1は実施形態に係る異物検査装置1の正面図である。図1に示される異物検査装置1は、被検査物に含まれる異物を検出する装置である。被検査物は例えば食品である。異物検査装置1は、その内部において被検査物を搬送しつつX線検査及び金属検出を行い、被検査物に異物が含まれるか否かを検査する。   FIG. 1 is a front view of a foreign matter inspection apparatus 1 according to an embodiment. A foreign matter inspection device 1 shown in FIG. 1 is a device that detects foreign matter contained in an inspection object. The inspected object is, for example, food. The foreign object inspection apparatus 1 performs X-ray inspection and metal detection while conveying the inspection object in the interior thereof, and inspects whether or not the inspection object contains foreign objects.

X線検査は、X線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、X線検査部2(図2参照)によって実現される。X線検査では、被検査物とは異なるX線透過性を有する異物を検出することができる。一方、金属検出は、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、直流型の金属検出部3(図2参照)によって実現される。金属検出では金属異物を検出することができる。X線検査部2及び金属検出部3の詳細については後述する。   X-ray inspection is a technique for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray transparency, and is realized by the X-ray inspection unit 2 (see FIG. 2). In the X-ray inspection, it is possible to detect a foreign substance having X-ray permeability different from that of the inspection object. On the other hand, metal detection is a technique for detecting foreign matter contained in an object to be inspected by utilizing the interaction between a magnetic field and metal, and is realized by a direct current type metal detection unit 3 (see FIG. 2). In metal detection, a metal foreign object can be detected. Details of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 will be described later.

異物検査装置1は、その内部に空間が画成された筐体4を有する。筐体4は、X線検査部2及び金属検出部3を内部に収容する。筐体4は、X線検査部2により発生されるX線を遮蔽し、X線の外部漏洩を抑制する。筐体4は、例えばステンレスなどで形成される。   The foreign matter inspection apparatus 1 has a housing 4 in which a space is defined. The housing 4 accommodates the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 therein. The housing 4 shields X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppresses external leakage of X-rays. The housing 4 is made of, for example, stainless steel.

筐体4は、本実施形態では箱状を呈している。筐体4の左側面には、筐体4の内部に連通する開口部4aが形成されている。同様に、筐体4の右側面には、筐体4の内部に連通する開口部4bが形成されている。本実施形態では、被検査物は、開口部4aから筐体4の内部へ搬入されて検査が行われ、開口部4bから筐体4の外部へ搬出される。つまり、開口部4aが被検査物の搬入口、開口部4bが被検査物の搬出口となる。   The housing 4 has a box shape in this embodiment. An opening 4 a that communicates with the inside of the housing 4 is formed on the left side surface of the housing 4. Similarly, an opening 4 b that communicates with the inside of the housing 4 is formed on the right side surface of the housing 4. In the present embodiment, the object to be inspected is carried into the inside of the housing 4 from the opening 4a and inspected, and is carried out of the housing 4 through the opening 4b. That is, the opening 4a serves as an inspection object carry-in port, and the opening 4b serves as an inspection object carry-out port.

筐体4の前面には、筐体4を開閉する上部扉40及び下部扉41が設けられている。上部扉40及び下部扉41は、例えば開き戸構造である。上部扉40又は下部扉41が開閉されることで、後述するX線検査部2及び金属検出部3の少なくとも一部が外部に露出される。上部扉40及び下部扉41は、例えばステンレスなどで形成される。   On the front surface of the housing 4, an upper door 40 and a lower door 41 that open and close the housing 4 are provided. The upper door 40 and the lower door 41 have a hinged door structure, for example. By opening or closing the upper door 40 or the lower door 41, at least a part of an X-ray inspection unit 2 and a metal detection unit 3 described later are exposed to the outside. The upper door 40 and the lower door 41 are made of, for example, stainless steel.

上部扉40の前面には、ディスプレイ5及び操作スイッチ6が設けられている。ディスプレイ5は、表示機能と入力機能とを兼ね備えた表示装置であり、例えばタッチパネルである。ディスプレイ5は、X線検査及び金属検出の結果などを表示するとともに、金属検出及びX線検査に関する各種パラメータの設定を行う操作画面を表示する。操作スイッチ6は、X線検査部2及び金属検出部3の電源スイッチなどである。   A display 5 and operation switches 6 are provided on the front surface of the upper door 40. The display 5 is a display device having both a display function and an input function, for example, a touch panel. The display 5 displays the result of X-ray inspection and metal detection, and also displays an operation screen for setting various parameters related to metal detection and X-ray inspection. The operation switch 6 is a power switch for the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3.

筐体4は、支持台7によって支持されている。筐体4の上面には、報知部8及びクーラー9が設けられている。報知部8は、異物混入や機器の作動状態を報知する。報知部8は、X線検査部2に対応する第1報知器81、及び金属検出部3に対応する第2報知器82を備えている。クーラー9は、筐体4の内部に冷気を送り、筐体4の内部に配置された機器の温度を調整する。   The housing 4 is supported by a support base 7. A notification unit 8 and a cooler 9 are provided on the upper surface of the housing 4. The notification unit 8 notifies of foreign matter contamination and the operating state of the device. The notification unit 8 includes a first notification device 81 corresponding to the X-ray inspection unit 2 and a second notification device 82 corresponding to the metal detection unit 3. The cooler 9 sends cool air to the inside of the housing 4 and adjusts the temperature of the devices arranged inside the housing 4.

図2は、図1に示される異物検査装置1の内部構成及び制御系を説明する概念図である。図2に示されるように、筐体4の内部は、後述するX線発生器の一部や構成要素の制御基板などが配置される基板室T1と、被検査物Sが搬入されて検査が行われる検査室T2とに区画されている。基板室T1は、上述したクーラー9によって温度調整されている。   FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the internal configuration and control system of the foreign matter inspection apparatus 1 shown in FIG. As shown in FIG. 2, the inside of the housing 4 is inspected with a substrate chamber T <b> 1 in which a part of an X-ray generator to be described later and a control board of a component are arranged, and an object S to be inspected. It is divided into the inspection room T2 to be performed. The temperature of the substrate chamber T1 is adjusted by the cooler 9 described above.

検査室T2には、被検査物Sを搬送するコンベヤ(搬送部)10が配置されている。コンベヤ10は、本実施形態ではローラ式のベルトコンベヤであり、一端部が開口部4aに位置し且つ他端部が開口部4bに位置した状態で、筐体4の内部を水平方向に延在している。つまり、筐体4は、コンベヤ10のうち一端部及び他端部を除く部分を内部に収容している。本実施形態のコンベヤ10は、開口部4aを介して被検査物Sを筐体4の内部に搬入し、開口部4bを介して被検査物Sを筐体4の外部に搬出する。   In the inspection room T2, a conveyor (conveying unit) 10 that conveys the inspection object S is disposed. The conveyor 10 is a roller belt conveyor in the present embodiment, and extends in the horizontal direction inside the housing 4 with one end located in the opening 4a and the other end located in the opening 4b. doing. That is, the housing | casing 4 has accommodated the part except the one end part and other end part among the conveyors 10 inside. The conveyor 10 according to the present embodiment carries the inspection object S into the housing 4 through the opening 4a and carries the inspection object S out of the housing 4 through the opening 4b.

開口部4aには、X線遮蔽カーテン42が配置されている。同様に、開口部4bには、X線遮蔽カーテン43が配置されている。X線遮蔽カーテン42,43は、上端が筐体4に対する固定端であり且つ下端が自由端である。X線遮蔽カーテン42,43は、X線検査部2が発生したX線を遮蔽し、X線の外部漏洩を抑制する。X線遮蔽カーテン42,43は、例えばタングステンを含有する可撓性材料などにより形成される。なお、被検査物Sの搬入及び搬出を自動化すべく、コンベヤ10の右側に搬入用コンベヤ11を配置し、コンベヤ10の左側に搬出用コンベヤ12を配置してもよい。また、搬出用コンベヤ12が、被検査物Sの振分機能を備えていてもよい。   An X-ray shielding curtain 42 is disposed in the opening 4a. Similarly, an X-ray shielding curtain 43 is disposed in the opening 4b. The X-ray shielding curtains 42 and 43 have upper ends that are fixed to the housing 4 and lower ends that are free ends. The X-ray shielding curtains 42 and 43 shield X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppress external leakage of X-rays. The X-ray shielding curtains 42 and 43 are made of, for example, a flexible material containing tungsten. In order to automate the loading and unloading of the inspection object S, the loading conveyor 11 may be disposed on the right side of the conveyor 10 and the unloading conveyor 12 may be disposed on the left side of the conveyor 10. Further, the carry-out conveyor 12 may have a function of distributing the inspection object S.

X線検査部2は、X線検査制御部20、X線発生器21及びX線検出器22を備える。X線発生器21は、X線を発生するX線源及びスリット機構を含む。X線検出器22は、X線発生器21で発生したX線を検出する。X線発生器21及びX線検出器22は、コンベヤ10を上下方向から挟むように対向配置されている。なお、X線発生器21のうち、X線源などは基板室T1に配置され、X線を照射する機構が検査室T2に配置されている。X線検出器22としては、例えば複数のX線検出センサを前後方向に沿って並設したラインセンサが用いられる。X線検出器22は、X線漏洩を低減させるために、基板ケース23に収容されている。基板ケース23には、X線検出器22へX線を到達させるために、スリットが設けられている。   The X-ray inspection unit 2 includes an X-ray inspection control unit 20, an X-ray generator 21, and an X-ray detector 22. The X-ray generator 21 includes an X-ray source that generates X-rays and a slit mechanism. The X-ray detector 22 detects X-rays generated by the X-ray generator 21. The X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are arranged to face each other so as to sandwich the conveyor 10 from above and below. In the X-ray generator 21, an X-ray source and the like are disposed in the substrate chamber T1, and a mechanism for irradiating X-rays is disposed in the examination chamber T2. As the X-ray detector 22, for example, a line sensor in which a plurality of X-ray detection sensors are arranged in parallel in the front-rear direction is used. The X-ray detector 22 is accommodated in the substrate case 23 in order to reduce X-ray leakage. The substrate case 23 is provided with a slit for allowing X-rays to reach the X-ray detector 22.

X線検査制御部20は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースI/O、処理を行うためのプログラム及び情報などが記憶されたROM(Read Only Memory)、データを一時的に記憶するRAM(RandomAccess Memory)、HDD(Hard Disk Drive)などの記憶媒体、CPU(Central Processing Unit)、及び通信回路などを有する。X線検査制御部20は、CPUが出力する信号に基づいて、入力データをRAMに記憶し、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、RAMにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。   The X-ray inspection control unit 20 temporarily stores an input / output interface I / O for inputting / outputting signals from / to the outside, a ROM (Read Only Memory) in which a program and information for processing are stored, and data. It has a storage medium such as a RAM (Random Access Memory) and a HDD (Hard Disk Drive), a CPU (Central Processing Unit), a communication circuit, and the like. The X-ray inspection control unit 20 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded in the RAM. The functions described later are realized.

X線検査制御部20は、基板室T1に配置され、X線発生器21及びX線検出器22に接続されている。X線検査制御部20は、ディスプレイ5に接続され、操作画面を介して作業員から操作情報を受け付ける。X線検査制御部20は、操作情報に基づいてX線発生器21及びX線検出器22の動作プロファイルを設定するとともに、X線発生器21及びX線検出器22の動作を制御する。X線検査制御部20は、X線検査部2よりも上流側に配置されたレーザセンサ24を用いて被検査物Sを検出した場合、当該被検査物Sの検査を開始する。X線検査制御部20は、X線発生器21を制御して、コンベヤ10によって搬送されている被検査物SにX線を照射させる。X線検出器22は、被検査物Sを透過したX線のX線透過量を計測し、計測したX線透過量をX線検査制御部20へ出力する。   The X-ray inspection control unit 20 is disposed in the substrate chamber T <b> 1 and is connected to the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22. The X-ray inspection control unit 20 is connected to the display 5 and receives operation information from an operator via an operation screen. The X-ray inspection control unit 20 sets operation profiles of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 based on the operation information, and controls operations of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22. When the X-ray inspection control unit 20 detects the inspection object S using the laser sensor 24 arranged on the upstream side of the X-ray inspection unit 2, the X-ray inspection control unit 20 starts inspection of the inspection object S. The X-ray inspection control unit 20 controls the X-ray generator 21 to irradiate the inspection object S being conveyed by the conveyor 10 with X-rays. The X-ray detector 22 measures the X-ray transmission amount of X-rays that have passed through the inspection object S, and outputs the measured X-ray transmission amount to the X-ray inspection control unit 20.

X線検査制御部20は、時系列で取得したX線透過量を画素値に反映させたX線透過画像を生成する。そして、X線検査制御部20は、画像処理技術によりX線透過画像を解析して、異物を検出する。例えば、X線検査制御部20は、X線透過画像の画素値に基づいて、被検査物Sの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在するか否かを判定する。そして、X線検査制御部20は、被検査物Sの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在する場合には、異物を検出したと判定する。   The X-ray inspection control unit 20 generates an X-ray transmission image in which the X-ray transmission amount acquired in time series is reflected in the pixel value. Then, the X-ray inspection control unit 20 detects the foreign matter by analyzing the X-ray transmission image using an image processing technique. For example, the X-ray inspection control unit 20 determines whether there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more based on the pixel value of the X-ray transmission image. The X-ray inspection control unit 20 determines that a foreign object has been detected when there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more.

X線検査制御部20は、作業員からの要求に応じて、X線検査の結果データをディスプレイ5に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。また、X線検査制御部20は、X線発生器21及びX線検出器22が正常に作動している場合、第1報知器81を用いてX線検査に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、X線検査制御部20は、異物を検出したと判定した場合、第1報知器81を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。   The X-ray inspection control unit 20 displays the result data of the X-ray inspection on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker. Further, the X-ray inspection control unit 20 indicates that when the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are operating normally, the device relating to the X-ray inspection is operating using the first alarm 81. To the workers. Further, when it is determined that a foreign object has been detected, the X-ray inspection control unit 20 notifies the worker that the foreign object has been detected using the first notification device 81.

金属検出部3は、直流磁界を用いて金属検出を行う直流型の装置である。金属検出部3は、直流磁界を発生させる着磁器39と、受信コイルとしての2つあるいは3つ以上のサーチコイルと、を有している。サーチコイルは、例えば磁力線が等量交わるように配置されている。   The metal detection unit 3 is a DC type device that performs metal detection using a DC magnetic field. The metal detection unit 3 includes a magnetizer 39 that generates a DC magnetic field, and two or three or more search coils as reception coils. The search coils are arranged so that, for example, equal amounts of magnetic field lines intersect.

金属検出部3において、例えば着磁器39で磁化された被検査物Sが直流磁界中を通過すると、被検査物S中に磁性体金属の異物が混入している場合、被検査物Sの通過に伴って磁力線に変化が生じる。この磁力線の変化がサーチコイルの起電力差として検出され、その結果、異物の混入が検出される。なお、食品製造設備に多用されているステンレスは、非磁性体であるが加工等により着磁する性質を有していることから、直流型の金属検出部3では、ステンレスを異物として検出可能である。一方、アルミニウムは磁化しないことから、直流型の金属検出部3では、包材にアルミニウムを用いた被検査物でも、混入する磁性体金属の異物のみを検出可能である。   In the metal detection unit 3, for example, when the inspection object S magnetized by the magnetizer 39 passes through the DC magnetic field, if the magnetic metal foreign matter is mixed in the inspection object S, the inspection object S passes. As a result, the magnetic field lines change. This change in the magnetic field lines is detected as a difference in electromotive force between the search coils, and as a result, foreign matter is detected. Note that stainless steel frequently used in food production facilities is a non-magnetic material, but has a property of being magnetized by processing or the like, so the direct current type metal detector 3 can detect stainless steel as a foreign substance. is there. On the other hand, since aluminum is not magnetized, the DC-type metal detection unit 3 can detect only the foreign substance of the magnetic metal that is mixed even with the inspection object using aluminum as the packaging material.

金属検出制御部30は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースI/O、処理を行うためのプログラム及び情報などが記憶されたROM、データを一時的に記憶するRAM、HDDなどの記憶媒体、CPU、及び通信回路などを有する。金属検出制御部30は、CPUが出力する信号に基づいて、入力データをRAMに記憶し、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、RAMにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。   The metal detection control unit 30 includes an input / output interface I / O for inputting / outputting signals to / from the outside, a ROM storing programs and information for processing, a RAM for temporarily storing data, an HDD, etc. Storage medium, CPU, and communication circuit. The metal detection control unit 30 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded into the RAM, which will be described later. Realize the function to do.

金属検出制御部30は、基板室T1に配置されるとともにX線検査制御部20に接続され、X線検査制御部20を介してディスプレイ5の操作画面に入力された作業員からの操作情報を受け付ける。金属検出制御部30は、操作情報に基づいてサーチコイルの動作プロファイルを設定する。金属検出制御部30は、金属検出部3よりも上流側に配置されたレーザセンサ25を用いて被検査物Sを検出した場合、当該被検査物Sの金属検出を開始する。   The metal detection control unit 30 is disposed in the substrate chamber T1 and connected to the X-ray inspection control unit 20, and receives operation information from the worker input to the operation screen of the display 5 via the X-ray inspection control unit 20. Accept. The metal detection control unit 30 sets an operation profile of the search coil based on the operation information. When the metal detection control unit 30 detects the inspection object S using the laser sensor 25 disposed on the upstream side of the metal detection unit 3, the metal detection control unit 30 starts metal detection of the inspection object S.

金属検出制御部30は、直流磁界における磁力線の変化をサーチコイルの起電力差として取得し、金属検出の判定を行う。金属検出制御部30は、作業員からの要求に応じて、金属検出の結果データをディスプレイ5に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。   The metal detection control unit 30 acquires the change in the magnetic field lines in the DC magnetic field as the electromotive force difference of the search coil, and performs metal detection determination. The metal detection control unit 30 displays the metal detection result data on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker.

また、金属検出制御部30は、金属検出部3が正常に作動している場合、第2報知器82を用いて金属検出に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、金属検出制御部30は、異物を検出したと判定した場合、第2報知器82を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。   In addition, when the metal detection unit 3 is operating normally, the metal detection control unit 30 notifies the worker that the device related to metal detection is operating using the second notification device 82. Furthermore, when the metal detection control unit 30 determines that a foreign object has been detected, the metal detection control unit 30 notifies the worker that the foreign object has been detected using the second notification device 82.

上述したX線検査部2及び金属検出部3は、それぞれ独立に作動可能に構成されている。つまり、異物検査装置1は、X線検査及び金属検出の両方を行うだけでなく、X線検査及び金属検出の何れか一方を実行することもできる。上述のとおり、本実施形態では、X線検査部2がディスプレイ5の表示制御を行うため、X線検査部2が停止している場合には、ディスプレイ5に金属検出部3の操作画面が表示されない。このため、筐体4の内部には、金属検出部3に接続されたサブディスプレイ(不図示)が配置されている。金属検出部3は、X線検査部2が停止している場合には、サブディスプレイを介して操作情報を受け付け、サブディスプレイに結果データなどを表示する。   The X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 described above are configured to be independently operable. That is, the foreign substance inspection apparatus 1 can perform not only both the X-ray inspection and the metal detection but also any one of the X-ray inspection and the metal detection. As described above, in the present embodiment, since the X-ray inspection unit 2 performs display control of the display 5, the operation screen of the metal detection unit 3 is displayed on the display 5 when the X-ray inspection unit 2 is stopped. Not. For this reason, a sub-display (not shown) connected to the metal detection unit 3 is disposed inside the housing 4. When the X-ray inspection unit 2 is stopped, the metal detection unit 3 receives operation information via the sub display and displays result data or the like on the sub display.

図3は、図2の筐体4における検査室T2内の構成の概略斜視図である。図4(a)は、図3の構成の左側面図である。図4(b)は、図3の構成の右側面図である。以下の説明では、異物検査装置1の前後方向のうち正面側を「手前側」と称し、手前側と反対側を「奥側」と称する。   FIG. 3 is a schematic perspective view of the configuration inside the examination room T2 in the housing 4 of FIG. FIG. 4A is a left side view of the configuration of FIG. FIG. 4B is a right side view of the configuration of FIG. In the following description, the front side of the foreign substance inspection apparatus 1 is referred to as “front side”, and the side opposite to the front side is referred to as “back side”.

図3に示されるように、異物検査装置1は、コンベヤ10と金属検出部3とX線検査部2とを、検査室T2内に備えている。コンベヤ10は、被検査物Sを搬送路13に沿って搬送する搬送部である。コンベヤ10は、搬送路13を構成する無端状(環状)のベルト14と、ベルト14を駆動可能に支持する複数のローラ15と、を備えている。例えばベルト14は、図略のドライブプーリを介してモータにより駆動される。コンベヤ10としては、特に限定されず、被検査物Sを搬送路13に沿って搬送するものであれば、種々の公知の搬送手段を採用できる。   As shown in FIG. 3, the foreign matter inspection apparatus 1 includes a conveyor 10, a metal detection unit 3, and an X-ray inspection unit 2 in an inspection room T2. The conveyor 10 is a transport unit that transports the inspection object S along the transport path 13. The conveyor 10 includes an endless (annular) belt 14 that constitutes a conveyance path 13 and a plurality of rollers 15 that support the belt 14 so as to be driven. For example, the belt 14 is driven by a motor via a drive pulley (not shown). The conveyor 10 is not particularly limited, and various known conveying means can be adopted as long as the object to be inspected S is conveyed along the conveying path 13.

金属検出部3は、検出器38と着磁器39とを備えている。検出器38は、側方から見て横U字形状(コの字形状)を呈している。検出器38は、ベルト14を介して互いに対向する一対の検出ヘッド38A,38Bを含んで構成されている。検出ヘッド38Aは、ベルト14の上方に所定長離れて配置され、搬送路13に対向する。検出ヘッド38A内には、受信コイルとしてのサーチコイルが1又は複数設けられている。検出ヘッド38Bは、ベルト14の環内に配置され、搬送路13に対向する。検出ヘッド38B内には、受信コイルとしてのサーチコイルが1又は複数設けられている。   The metal detection unit 3 includes a detector 38 and a magnetizer 39. The detector 38 has a horizontal U shape (a U shape) when viewed from the side. The detector 38 includes a pair of detection heads 38A and 38B that are opposed to each other with the belt 14 interposed therebetween. The detection head 38 </ b> A is disposed above the belt 14 by a predetermined length and faces the conveyance path 13. One or a plurality of search coils as receiving coils are provided in the detection head 38A. The detection head 38B is disposed in the ring of the belt 14 and faces the conveyance path 13. One or a plurality of search coils as receiving coils are provided in the detection head 38B.

着磁器39は、被検査物Sに含まれる磁性体の金属異物を磁化させる。着磁器39は、搬送方向における検出器38の上流側に配置されている。着磁器39は、側方から見て、逆L字形状を呈している。着磁器39は、ベルト14の上方に所定長離れて配置された着磁ヘッド39A(図4(b)参照)を含んで構成されている。着磁ヘッド39Aは、搬送路13に対向する。着磁ヘッド39Aには、例えば永久磁石が設けられている。   The magnetizer 39 magnetizes the magnetic metallic foreign matter contained in the inspection object S. The magnetizer 39 is disposed on the upstream side of the detector 38 in the transport direction. The magnetizer 39 has an inverted L shape when viewed from the side. The magnetizer 39 includes a magnetizing head 39 </ b> A (see FIG. 4B) disposed above the belt 14 by a predetermined length. The magnetizing head 39 </ b> A faces the conveyance path 13. The magnetizing head 39A is provided with a permanent magnet, for example.

X線検査部2は、搬送方向における検出器38(検出ヘッド38A,38B)と着磁器39(着磁ヘッド39A)との間に配置されている。X線検査部2は、コンベヤ10で搬送されている被検査物Sに対して、検出器38と着磁器39との間の位置にてX線検査を実施する。   The X-ray inspection unit 2 is disposed between the detector 38 (detection heads 38A and 38B) and the magnetizer 39 (magnetization head 39A) in the transport direction. The X-ray inspection unit 2 performs an X-ray inspection on the inspection object S being conveyed by the conveyor 10 at a position between the detector 38 and the magnetizer 39.

図3及び図4(a)に示されるように、金属検出部3の検出ヘッド38A,38Bは、搬送路13の幅方向一方側である奥側にて支持された片持ち構造とされている。図示する例では、検出ヘッド38A,38Bは、上下方向を厚さ方向とするブロック状の外形形状を呈しており、その奥側にて支持されていると共に、搬送路13の幅方向他方側である手前側に向かって水平に突き出るように構成されている。ここでは、例えば筐体4内の支持具46に対して、検出器38がそのU字形の開口側が手前側に向く片持ち構造で固定されて、検出ヘッド38A,38Bが片持ち構造で保持されている。   As shown in FIGS. 3 and 4A, the detection heads 38 </ b> A and 38 </ b> B of the metal detection unit 3 have a cantilever structure supported on the back side, which is one side in the width direction of the transport path 13. . In the example shown in the figure, the detection heads 38A and 38B have a block-like outer shape with the vertical direction as the thickness direction, and are supported on the back side and on the other side in the width direction of the transport path 13. It is configured to protrude horizontally toward a certain front side. Here, for example, the detector 38 is fixed to the support 46 in the housing 4 in a cantilever structure with the U-shaped opening side facing forward, and the detection heads 38A and 38B are held in a cantilever structure. ing.

図3及び図4(b)に示されるように、金属検出部3の着磁ヘッド39Aは、その奥側にて支持された片持ち構造とされている。図示する例では、着磁ヘッド39Aは、搬送路13の幅方向に沿ったアーム状の外形形状を呈している。着磁ヘッド39Aは、その奥側にて支持されていると共に、手前側に向かって水平に突き出るように構成されている。ここでの着磁器39は、例えば筐体4内に立設された支柱部39Bを備え、この支柱部39Bの上端に着磁ヘッド39Aが片持ち構造で保持されている。   As shown in FIGS. 3 and 4B, the magnetizing head 39 </ b> A of the metal detection unit 3 has a cantilever structure supported on the back side. In the illustrated example, the magnetizing head 39 </ b> A has an arm-like outer shape along the width direction of the transport path 13. The magnetizing head 39A is supported on the back side and is configured to protrude horizontally toward the near side. The magnetizer 39 here includes, for example, a support column 39B standing in the casing 4, and a magnetizing head 39A is held in a cantilever structure at the upper end of the support column 39B.

図3及び図4に示されるように、コンベヤ10は、その奥側で支持された片持ち構造とされている。図示する例では、コンベヤ10のローラ15における奥側の端部が、筐体4内のステー47で回転可能に支持されて、コンベヤ10が片持ち構造で保持されている。このようなコンベヤ10は、搬送路13の幅方向に沿って着脱可能(つまり、手前側に向かって取外し可能、及び、奥側に向かって取付け可能)に構成されている。なお、コンベヤ10の手前側は、カバー部(不図示)によって覆われて保護されていてもよい。   As shown in FIGS. 3 and 4, the conveyor 10 has a cantilever structure supported on the back side. In the example shown in the figure, the end on the back side of the roller 15 of the conveyor 10 is rotatably supported by a stay 47 in the housing 4, and the conveyor 10 is held in a cantilever structure. Such a conveyor 10 is configured to be detachable along the width direction of the transport path 13 (that is, removable toward the front side and attachable toward the back side). In addition, the near side of the conveyor 10 may be covered and protected by a cover part (not shown).

以上、異物検査装置1では、筐体4内に収容された金属検出部3の検出ヘッド38A,38Bが、奥側で支持された片持ち構造とされている。これにより、作業員は、筐体4内において手前側から金属検出部3の奥へと容易に手を挿入することが可能になり、筐体4内の清掃や整備を行いやすくすることができる。その結果、異物検査装置1の保守性を向上することが可能となる。   As described above, the foreign substance inspection apparatus 1 has a cantilever structure in which the detection heads 38A and 38B of the metal detection unit 3 accommodated in the housing 4 are supported on the back side. As a result, the worker can easily insert his / her hand from the near side into the back of the metal detection unit 3 in the housing 4, and can easily clean and maintain the housing 4. . As a result, the maintainability of the foreign object inspection apparatus 1 can be improved.

異物検査装置1では、金属検出部3は、搬送方向における検出ヘッド38A,38Bの上流側に配置された着磁器39を備え、X線検査部2は、搬送方向における検出ヘッド38A,38Bと着磁器39との間に配置されている。この構成によれば、金属検出部3における検出ヘッド38A,38Bと着磁器39との間のスペースを利用してX線検査部2を配置でき、装置の小型化が可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus 1, the metal detection unit 3 includes a magnetizer 39 disposed upstream of the detection heads 38A and 38B in the transport direction, and the X-ray inspection unit 2 is attached to the detection heads 38A and 38B in the transport direction. It is arranged between the porcelain 39. According to this configuration, the X-ray inspection unit 2 can be arranged using the space between the detection heads 38A and 38B and the magnetizer 39 in the metal detection unit 3, and the apparatus can be downsized.

異物検査装置1では、コンベヤ10は、奥側で支持された片持ち構造とされている。この構成によれば、作業員は、筐体4内において手前側からコンベヤ10の奥へも容易に手を挿入することが可能になり、異物検査装置1の保守性を一層向上することが可能となる。   In the foreign material inspection apparatus 1, the conveyor 10 has a cantilever structure supported on the back side. According to this configuration, the worker can easily insert his / her hand from the front side into the inside of the conveyor 10 in the housing 4, and the maintainability of the foreign matter inspection apparatus 1 can be further improved. It becomes.

なお、異物検査装置1では、筐体4内に収容された金属検出部3の着磁ヘッド39Aについても奥側で支持された片持ち構造とされている。よって、作業員は筐体4内において手前側から金属検出部3の奥へと一層容易に手を挿入することが可能になり、異物検査装置1の保守性を一層向上することが可能となる。   In the foreign matter inspection apparatus 1, the magnetizing head 39 </ b> A of the metal detection unit 3 accommodated in the housing 4 has a cantilever structure supported on the back side. Therefore, the operator can more easily insert his / her hand from the front side into the back of the metal detection unit 3 in the housing 4, and the maintainability of the foreign matter inspection apparatus 1 can be further improved. .

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment.

上述した実施形態では、搬送方向における検出ヘッド38A,38Bと着磁器39との間にX線検査部2を配置したが、X線検査部2の配置は限定されない。X線検査部2は、搬送方向における着磁器39の上流側に配置されていてもよいし、搬送方向における検出ヘッド38A,38Bの下流側に配置されていてもよい。金属検出部3の方式は限定されず、上述の実施形態のように着磁式のものを用いてもよいし、交番磁界式のものを用いてもよい。   In the above-described embodiment, the X-ray inspection unit 2 is disposed between the detection heads 38A and 38B and the magnetizer 39 in the transport direction, but the arrangement of the X-ray inspection unit 2 is not limited. The X-ray inspection unit 2 may be disposed on the upstream side of the magnetizer 39 in the transport direction, or may be disposed on the downstream side of the detection heads 38A and 38B in the transport direction. The method of the metal detection unit 3 is not limited, and a magnetized type may be used as in the above-described embodiment, or an alternating magnetic type may be used.

上述した実施形態では、筐体4の内部にコンベヤ10の一部を配置する例を説明したが、コンベヤ10はその全てが筐体4の内部に収容されていてもよい。上述した実施形態では、着磁器39が側方から見て逆L字形状とされ、これにより、感度が低くても良い場合やコストダウンに対応したが、着磁器39の形状は特に限定されない。例えば着磁器39は、検出器38と同様に、側方から見て横U字形状(コの字形状)とされてもよい。この場合、着磁器39は、ベルト14を介して着磁ヘッド39Aに対向する他の着磁ヘッドをさらに含み、当該他の着磁ヘッドは、ベルト14の環内に配置される。着磁器39を横U字形状(コの字形状)に構成することで、感度を高めることができる。   In the above-described embodiment, an example in which a part of the conveyor 10 is disposed inside the housing 4 has been described, but the conveyor 10 may be entirely accommodated inside the housing 4. In the embodiment described above, the magnetizer 39 has an inverted L shape when viewed from the side, and this corresponds to a case where the sensitivity may be low or cost reduction. However, the shape of the magnetizer 39 is not particularly limited. For example, the magnetizer 39 may have a horizontal U shape (a U shape) when viewed from the side, similarly to the detector 38. In this case, the magnetizer 39 further includes another magnetizing head that faces the magnetizing head 39 </ b> A via the belt 14, and the other magnetizing head is disposed in the ring of the belt 14. The sensitivity can be increased by configuring the magnetizer 39 in a horizontal U shape (U shape).

1…異物検査装置、2…X線検査部、3…金属検出部、4…筐体、10…コンベヤ(搬送部)、13…搬送路、38A,38B…検出ヘッド、39…着磁器、S…被検査物。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Foreign substance inspection apparatus, 2 ... X-ray inspection part, 3 ... Metal detection part, 4 ... Case, 10 ... Conveyor (conveyance part), 13 ... Conveyance path, 38A, 38B ... Detection head, 39 ... Magnetizer, S ... inspection object.

Claims (3)

被検査物を搬送路に沿って搬送する搬送部と、
X線の透過性を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出するX線検査部と、
磁界と金属との相互作用を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出する直流型の金属検出部と、
前記搬送部の少なくとも一部、前記X線検査部、及び前記金属検出部を内部に収容し、前記X線検査部のX線の外部漏洩を抑制する筐体と、を備え、
前記金属検出部は、
前記搬送路に対向するように配置され、サーチコイルを含む検出ヘッドを備え、
前記検出ヘッドは、
前記搬送路の幅方向一方側で支持された片持ち構造とされている、異物検査装置。
A transport unit that transports the object to be inspected along the transport path;
An X-ray inspection unit that detects foreign matter contained in the inspection object being transported by the transport unit, utilizing X-ray transparency;
A direct current type metal detection unit that detects foreign matter contained in the inspection object being conveyed by the conveyance unit using an interaction between a magnetic field and a metal,
A housing that houses at least a part of the transport unit, the X-ray inspection unit, and the metal detection unit, and suppresses external leakage of X-rays of the X-ray inspection unit,
The metal detector is
A detection head including a search coil, disposed so as to face the conveyance path;
The detection head is
A foreign matter inspection apparatus having a cantilever structure supported on one side in the width direction of the conveyance path.
前記金属検出部は、
搬送方向における前記検出ヘッドの上流側に配置され、前記被検査物を磁化させる着磁器を備え、
前記X線検査部は、
搬送方向における前記検出ヘッドと前記着磁器との間に配置されている、請求項1に記載の異物検査装置。
The metal detector is
A magnetizer disposed on the upstream side of the detection head in the transport direction and magnetizing the inspection object;
The X-ray inspection unit
The foreign matter inspection device according to claim 1, wherein the foreign matter inspection device is disposed between the detection head and the magnetizer in a transport direction.
前記搬送部は、コンベヤであり、
前記コンベヤは、前記搬送路の前記幅方向一方側で支持された片持ち構造とされている、請求項1又は2に記載の異物検査装置。
The transport unit is a conveyor,
The foreign matter inspection apparatus according to claim 1, wherein the conveyor has a cantilever structure supported on one side in the width direction of the conveyance path.
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