JP2017026479A - Position specification device and positioning method - Google Patents

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大介 岡原
Daisuke Okahara
大介 岡原
侯一 宮本
Kimikazu Miyamoto
侯一 宮本
佐藤 博信
Hironobu Sato
博信 佐藤
雅浩 白井
Masahiro Shirai
雅浩 白井
隆一 根岸
Ryuichi Negishi
隆一 根岸
伸好 松嶌
Nobuyoshi Matsushima
伸好 松嶌
一樹 藤本
Kazuki Fujimoto
一樹 藤本
頼望也 内田
Ramoya Uchida
頼望也 内田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology that does not restrict a degree of working freedom regarding a device employing means for specifying a position, and allows a simple structure to specify a position relative to a measurement workpiece.SOLUTION: An output member position specification device comprises: a stage member that has a concavity or convexity-shaped three-dimensional shape part provided on a top surface; an output member that is oppositely arranged on the top surface of the stage member; movement means that moves the output member on the stage member; distance measurement means that is provided in the output member, and measures each of a distance to the top surface of the stage member, and a distance to the three-dimensional shape part; and position specification means that specifies a position of the output member relative to the three-dimensional shape part on the basis of a detection result of the distance measurement means.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、ある部材に対して基準となる平面からの相対位置を特定する手段に関する。   The present invention relates to a means for specifying a relative position from a reference plane with respect to a certain member.

従来から、産業用ロボットの出力部材(Tool Center Position)と治具に対しての位置関係を教示する、あるいは三次元で部材を測定する三次元測定機を校正する用途においては、部材の位置を特定することが行われている。   Conventionally, in applications that teach a positional relationship between an industrial robot output member (Tool Center Position) and a jig, or to calibrate a CMM that measures a member in three dimensions, the position of the member It is done to identify.

それぞれの分野において装置仕様は様々であるが、位置の特定手段を採用するにあたり、その装置で定められている仕様、具備している部品、動作自由度等の条件において実現できる手法を選択すべきである。   There are various device specifications in each field, but when adopting the position identification method, a method that can be realized under conditions such as the specifications specified for the device, the components provided, and the degree of freedom of operation should be selected. It is.

前述に例を挙げた位置の特定手段を実現するために、一般的に多く採用されている手法は、部材をその基準に対して動作させ、測定手段を用いて測定するという手法である。   In order to realize the position specifying means described above as an example, a technique that is generally used is a technique in which a member is operated with respect to its reference and measurement is performed using a measuring means.

この手法に関しては、手動、自動と様々な方法があり、一番原始的な手法としては、部材を直接人の操作により動作させ、基準上の目標地点に合わせて位置教示する手法である。   Regarding this method, there are various methods such as manual and automatic. The most primitive method is a method in which a member is directly operated by a human operation and a position is taught according to a target point on a reference.

この手法は、人が操作することで、基準となる位置は人が認識できるレベルでよいものとなり、その基準が変わっても柔軟に対応できるという利点があり、多くの装置において採用可能な手法である。   This method has the advantage that it can be recognized by humans so that the reference position is at a level that can be recognized by humans, and it can be flexibly handled even if the standard changes. is there.

しかし、操作する人が変わることで精度が大きく異なる可能性があり、かつ、手間もかかり、作業時間も差が発生してしまうという課題が残る。   However, there is a possibility that the accuracy may vary greatly depending on the person to be operated, and it takes time and effort, and the work time will be different.

次に、人を介することで生じる精度、速度差異をなくす手法として、装置自体が、部材を基準に対して自動で測定を行うことで前記部材の基準に対する教示もしくは校正を行う手法が挙げられる。   Next, as a technique for eliminating the accuracy and speed difference caused by passing a person, there is a technique in which the apparatus itself performs teaching or calibration with respect to the reference of the member by automatically measuring the member with respect to the reference.

この手法は、測定する手段が高精度なほど精度が高く位置教示ができ、装置自体の精度差異内で繰返し結果を出すことができるという利点がある。一方、この手法には、基準上の目標座標に対して特定のパターンを設ける必要があり、前記部材もしくは装置自体に前記パターンを認識するための機能を具備している必要がある。   This method has the advantage that the higher the accuracy of the measuring means, the higher the accuracy of the position teaching, and the repeated result within the accuracy difference of the apparatus itself. On the other hand, in this method, it is necessary to provide a specific pattern with respect to target coordinates on a reference, and it is necessary that the member or the device itself has a function for recognizing the pattern.

当然、前記パターンは構造上加工もし易く精度も出やすい汎用的かつ単純なものが部材に望まれ、前記機能においても大きな処理能力を必要とするものや高価なものより、単純で安価なものであることが望まれる。   Naturally, the pattern is desired to be a general and simple pattern that is easy to process and accurate, and is simpler and less expensive than those that require a large processing capacity or expensive in the function. It is desirable to be.

以下に紹介する特許文献1〜3は、位置特定手段をそれぞれの構成、用途に合わせて実現している装置例である。   Patent Documents 1 to 3 introduced below are examples of apparatuses that realize the position specifying means in accordance with each configuration and application.

特開2011−177845号公報JP2011-177845A 特開2011−52599号公報JP 2011-52599 A 特開2012−83192号公報JP 2012-83192 A

特許文献1に関しては、産業用ロボットが相対的に距離が固定されている基準位置の複数の発光体を有するマークに対して、出力部材に設置されたカメラを用いて基準位置上のマークを認識し計測することで、その計測値から出力部材の姿勢調整を行う校正方法が紹介されている。   With respect to Patent Document 1, an industrial robot recognizes a mark on a reference position using a camera installed on an output member for a mark having a plurality of light emitters at a reference position whose distance is relatively fixed. Then, a calibration method is introduced in which the attitude of the output member is adjusted based on the measured values.

マークに発光体を採用することでカメラ自体の照明を不要としており、マーク自体の座標はカメラ視野角に入る程度に事前教示することで、自動校正作業を行うことを可能としている。   By adopting a light emitter for the mark, the illumination of the camera itself is not necessary, and the coordinates of the mark itself are taught in advance to the extent that the camera viewing angle is entered, thereby enabling an automatic calibration operation.

そして、特許文献1での装置対象はスカラーロボットで、撮像するカメラは1台ということで、二次元空間での校正を行うという目的で前記特定手段を実現している例である。   An apparatus target in Patent Document 1 is a scalar robot and there is one camera for imaging, and this is an example in which the specifying means is realized for the purpose of performing calibration in a two-dimensional space.

しかし、特許文献1の手法においては、より汎用的なロボットを使用した校正方法としては適用できないという課題が残る。また、カメラで目標地点と出力部材を撮像しての位置合わせでは高精度が期待されるが、半面高精度の画像処理装置は高価であり、そのシステム自体も複雑になるという課題もある。   However, the technique of Patent Document 1 still has a problem that it cannot be applied as a calibration method using a more general-purpose robot. In addition, high accuracy is expected in the alignment by imaging the target point and the output member with a camera, but there is a problem that a half-side high-precision image processing apparatus is expensive and the system itself is complicated.

特許文献2に関しても、産業用ロボットが作業する治具を基準として自動でロボット出力部材を校正する方法が紹介されている。あらかじめ記憶されている目標値となる治具に対して出力部材に設置して
いる接触式の位置決め治具を用いてその治具の三平面を接触させ位置を検出することで、その3点を結んだ点を原点とする座標系を補正する方式で前記特定手段を実現している例である。
Patent Document 2 also introduces a method of automatically calibrating a robot output member with reference to a jig operated by an industrial robot. By using a contact-type positioning jig installed on the output member with a jig that has a target value stored in advance, the three planes of the jig are brought into contact with each other, and the position is detected. This is an example in which the specifying means is realized by a method of correcting a coordinate system having a connected point as an origin.

特許文献2の手法においては、作業者の熟練度に左右されず、精度の高い校正を行うことができるが、三平面を平行に接触できるロボットは性能的に少なくとも五自由度以上の自由度が必要であり、装置汎用性がないという課題が残る。   In the method of Patent Document 2, high-precision calibration can be performed regardless of the skill level of the operator, but a robot capable of contacting three planes in parallel has at least five degrees of freedom in terms of performance. The problem that it is necessary and the device is not versatile remains.

特許文献3に関しては、三次元測定器の校正方法が紹介されている。三次元測定器の回転テーブルの座標系を登録するためにテーブル表面に基準を設け、測定するための手段として球形のプローブを用いている。一方基準は、前記プローブに対して三点接触する形状であり、測定器はその三点の角度位置からプローブ先端の三次元位置を特定する方式で前記相対位置特定手段を実現している例である。   With respect to Patent Document 3, a calibration method for a three-dimensional measuring instrument is introduced. In order to register the coordinate system of the rotary table of the three-dimensional measuring device, a reference is provided on the table surface, and a spherical probe is used as a means for measuring. On the other hand, the reference is a shape that makes three-point contact with the probe, and the measuring instrument realizes the relative position specifying means by specifying the three-dimensional position of the probe tip from the angular position of the three points. is there.

特許文献3の手法においては、基準の位置は予め装置が記憶しておくことで人の手を介さず校正作業が可能だが、精度に関わる三つの基準となる球体の曲率を統一させる必要があり、かつ、設置の際に前記プローブに具備されている球状のセンサに対して均等に接触するよう位置決めの必要もあるため、基準自体の加工設置工程が複雑で高度である、という課題がある。   In the method of Patent Document 3, the reference position is stored in advance by the device so that calibration work can be performed without human intervention. However, it is necessary to unify the curvatures of the three reference spheres related to accuracy. In addition, there is a problem that the positioning and installation process of the reference itself is complicated and sophisticated because it is necessary to perform positioning so as to contact the spherical sensor provided in the probe evenly.

本発明は、位置の特定手段を採用する装置に関し、動作自由度を制限せず、かつ測定部材に対して単純な構造で位置を特定する技術を提供するものである。   The present invention relates to an apparatus that employs a position specifying means, and provides a technique for specifying a position with a simple structure with respect to a measurement member without limiting the degree of freedom of operation.

本発明の位置特定装置は、凹又は凸形状の立体形状部が上面に設けられたステージ部材と、前記ステージ部材の上面に対向配置される出力部材と、前記ステージ部材上で前記出力部材を移動させる移動手段と、前記出力部材に設けられ、前記ステージ部材の上面との距離、及び前記立体形状部との距離をそれぞれ計測する距離計測手段と、前記距離計測手段の検出結果に基づいて、前記立体形状部に対する前記出力部材の位置を特定する位置特定手段と、を備えたことを特徴とする。
かかる本発明の態様によれば、位置の特定手段を採用する装置に関し、動作自由度を制限せず、かつ測定部材に対して単純な構造で位置を特定することができる。
The position specifying device of the present invention includes a stage member having a concave or convex three-dimensional shape portion provided on the upper surface, an output member disposed opposite to the upper surface of the stage member, and moving the output member on the stage member Based on the detection results of the distance measuring means, the distance measuring means provided on the output member, and the distance measuring means for measuring the distance to the upper surface of the stage member and the distance to the three-dimensional shape portion, respectively. Position specifying means for specifying the position of the output member with respect to the three-dimensionally shaped portion.
According to this aspect of the present invention, it is possible to specify a position with a simple structure with respect to the measurement member without limiting the degree of freedom of operation with respect to an apparatus that employs a position specifying means.

また、本発明の位置測定(特定)方法は、ある位置を特定したい部材と位置を特定するために基準となる平面において、前記平面は、少なくとも一つ以上のパターンを有し、前記パターンは、前記平面に対して垂直な軸線を有し、底面は前記平面に接する直円錐または直円錐台形状の突起または窪みであり、前記部材は一方向の距離を測定することができる測距手段と、前記平面に対して平行に移動することができる移動手段を有し、前記移動手段を用いて、前記平面上の前記パターンが存在しない位置に移動し、前記部材から前記平面に対して垂直な距離を測定し得られる値をD0とし、前記移動手段を用いて、前記平面上の前記パターンと推定される位置に移動し、前記部材から前記平面に対して垂直な距離を測定することで得られる距離をD1とし、D0から、D1を測定した前記パターンの頂点もしくは上底から前記平面に対して垂直な距離を、前記パターンが突起形状の場合は加算して、前記パターンが窪み形状の場合は減算して得られる距離をD2とした時、D1と、D2と、D1を測定した前記パターンの辺と軸線との角度より、前記パターンの軸線とD1を測定した測定位置P1との前記平面に対して平行な離隔距離L1を求めることを特徴とする。   Further, in the position measurement (identification) method of the present invention, in a plane that serves as a reference for identifying a member for which a certain position is to be identified, the plane has at least one pattern, and the pattern includes: Ranging means having an axis perpendicular to the plane, the bottom surface is a right cone or right frustoconical protrusion or depression in contact with the plane, and the member is capable of measuring a distance in one direction; A moving unit capable of moving in parallel to the plane; using the moving unit, the moving unit moves to a position where the pattern does not exist on the plane; and a distance perpendicular to the plane from the member Is obtained by measuring the distance perpendicular to the plane from the member by moving to a position estimated as the pattern on the plane using the moving means. Distance Is D1, and from D0, the distance perpendicular to the plane from the apex or top of the pattern where D1 was measured is added if the pattern is a protrusion, and subtracted if the pattern is a depression When the distance obtained as D2 is D2, D2, and the angle between the side of the pattern where the D1 is measured and the axis, the axis of the pattern and the plane of the measurement position P1 where the D1 is measured A parallel separation distance L1 is obtained.

上記本発明では、前記パターンの軸線との離隔距離を更に近づけるために、第一に、請求項1に記載の離隔距離L1を求めた後、さらに、前記移動手段を用いて前記部材を前記パターン内でP1より微小距離移動させ、請求項1に記載の位置測定方法を用いて求められた離隔距離をL2、L2が得られた測定位置をP2とし、L1とL2を比較し、第二に、L1がL2より大きい場合は、P2を前記パターンの軸線からより近い位置PL2として特定し、第三に、L1がL2より小さい場合は、前記部材をP1に前記移動手段を用いて移動し、L2を測定した位置とは別の位置に前記移動手段を用いて微小距離移動させ、前記位置測定方法を用いて得られる離隔距離L2´をさらに前記L1と比較し、L1がL2´より大きい場合は、L2´が得られた測定位置を前記パターンの軸線からより近い位置PL2として特定し、L1がL2´より小さい場合は、再び前記部材をP1に前記移動手段を用いて移動し、L2をL2´と置き換え、前記第三の処理と同等な処理を繰り返すことで、L1が測定された測定位置より前記パターンの軸線からより近い位置PL2を特定し、前記より特定されたPL2を新たなL1として、第一の処理から繰り返すことで、前記パターンの軸線と前記部材の前記平面に対して平行な離隔距離を近づけることを特徴としてもよい。   In the present invention, in order to further reduce the separation distance from the axis of the pattern, first, after obtaining the separation distance L1 according to claim 1, the member is further moved to the pattern using the moving means. The distance obtained by using the position measurement method according to claim 1 is L2, the measurement position where L2 is obtained is P2, the L1 and L2 are compared, and second, , If L1 is greater than L2, identify P2 as the position PL2 closer to the axis of the pattern; and third, if L1 is less than L2, move the member to P1 using the moving means; When the distance L2 ′ obtained by using the moving means is moved to a position different from the position where L2 is measured and the position measuring method is further compared with L1, and L1 is larger than L2 ′ Is L2 ' The measured measurement position is specified as a position PL2 closer to the axis of the pattern, and when L1 is smaller than L2 ′, the member is moved again to P1 using the moving means, and L2 is replaced with L2 ′. By repeating a process equivalent to the third process, a position PL2 closer to the axis of the pattern than the measurement position at which L1 is measured is specified, and the more specified PL2 is set as a new L1 in the first process. By repeating the above, it is possible to make the separation distance parallel to the axis of the pattern and the plane of the member closer.

また、上記本発明では、上記離隔距離L1と距離D0及び、上記位置合せ方法を用いて前記部材の前記平面を基準とした三次元座標上での位置合せを行うことを特徴としてもよい。   Further, the present invention may be characterized in that alignment on the three-dimensional coordinates with respect to the plane of the member is performed using the separation distance L1 and the distance D0 and the alignment method.

なお、本発明に関して、位置を特定したい部材に対して基準となる平面を準備する。前記部材は、一方向の距離を測定できる手段(以下測定手段)を有し、前記平面は前記部材が測定するための複数のパターンを有しているとする。前記部材はさらに、前記平面に対して平行に移動できる手段(以下移動手段)を有し、この手段を利用して、前記平面上に存在するすべての前記パターン上まで動作することが可能とする。前記パターンは、前記平面に対して垂直な軸線を有し、底面は前記平面に接する直円錐または直円錐台形状の突起または窪みであることを特徴とする。また、複数の前記パターンは総て同じ形状であるとする。これらの手段と特徴を使用して、以下に前記部材の三次元位置を特定する処理を示す。第一に、前記移動手段を用いて、前記パターンの存在しない前記平面上に移動し、到着後、前記測定手段を用いて前記平面に対して垂直方向の距離を測定する。この処理で得られる距離を第一の距離とする。前記パターンの頂点(または上底)から前記平面までの前記平面に対して垂直な距離を、前記パターンが突起形状の場合は第一の距離と減算を、前記パターンが窪み形状の場合は第一の距離と加算を行って得られる距離を第二の距離とする。第三に、前記移動手段を用いて、前記パターン上と推定される前記平面上に移動し、到着後、前記測定手段を用いて前記パターンとの前記平面に対して垂直な距離を測定する。この処理で得られる距離を第三の距離とする。第二の距離と第三の距離と、第三の距離を測定した前記パターンの辺と軸線から得られる角度から、前記パターンの軸線から第三の距離を測定した測定位置の前記平面に対して平行な距離が求まることから、前記パターンの中心から前記平面に対して平行な二次元位置を特定することができる。さらに、第一の距離の情報から、前記平面を基準とした垂直方向の距離情報が加えられ、前記部材の前記平面を基準とした三次元位置を特定することができる。   In the present invention, a reference plane is prepared for a member whose position is to be specified. The member has means (hereinafter, measuring means) capable of measuring a distance in one direction, and the plane has a plurality of patterns for the member to measure. The member further has means (hereinafter referred to as moving means) that can move in parallel with the plane, and by using this means, it is possible to operate up to all the patterns existing on the plane. . The pattern has an axis perpendicular to the plane, and the bottom surface is a right cone or right frustoconical protrusion or depression in contact with the plane. The plurality of patterns are all assumed to have the same shape. A process for specifying the three-dimensional position of the member using these means and features will be described below. First, the moving means is used to move onto the plane where the pattern does not exist, and after arrival, the distance in the direction perpendicular to the plane is measured using the measuring means. The distance obtained by this processing is set as the first distance. A distance perpendicular to the plane from the apex (or upper base) of the pattern to the plane, a first distance and subtraction when the pattern is a protrusion, and a first when the pattern is a depression The distance obtained by performing addition with the distance is taken as the second distance. Third, the moving means is used to move on the plane estimated to be on the pattern, and after arrival, the distance to the plane perpendicular to the pattern is measured using the measuring means. The distance obtained by this processing is the third distance. From the second distance, the third distance, and the angle obtained from the side and the axis of the pattern from which the third distance was measured, with respect to the plane of the measurement position at which the third distance was measured from the axis of the pattern Since a parallel distance is obtained, a two-dimensional position parallel to the plane can be specified from the center of the pattern. Furthermore, the distance information in the vertical direction with respect to the plane is added from the information on the first distance, and the three-dimensional position of the member with respect to the plane can be specified.

本発明では、位置の特定手段を採用する装置に関し、動作自由度を制限せず、かつ測定部材に対して単純な構造で位置を特定することができる。なお、上述の手法を使用することで、動作自由度は前記平面に対して平行もしくは垂直方向に動作できればよいため、三自由度あれば実現でき、また、前記部材の三次元位置を特定するにあたり、基準となる平面と、一方向のみの測定手段を有していればよいため単純な構造で実現可能となる。   The present invention relates to an apparatus that employs position specifying means, and can specify the position with a simple structure with respect to the measurement member without limiting the degree of freedom of operation. By using the above-described method, the degree of freedom of movement only needs to be able to move in a direction parallel or perpendicular to the plane. Since it is only necessary to have a reference plane and measuring means only in one direction, it can be realized with a simple structure.

本発見の概要を示す図。The figure which shows the outline | summary of this discovery. 本発明のロボットに関しての構造図。FIG. 3 is a structural diagram related to the robot of the present invention. 本発明の実施例において、Z方向の校正手段を表す図。The figure showing the calibration means of a Z direction in the Example of this invention. 本発明の実施例において、Z方向の校正工程を表す図。The figure showing the calibration process of a Z direction in the Example of this invention. 図4のZ方向の校正において、Z方向の判定方法、式を表す図。The figure showing the determination method of a Z direction and a type | formula in the calibration of the Z direction of FIG. 本発明の実施例において、X−Y方向の校正手段を表す図。The figure showing the calibration means of a XY direction in the Example of this invention. 本発明の実施例において、X−Y方向の校正工程を表す図。The figure showing the calibration process of a XY direction in the Example of this invention. 図7のX−Y方向の校正において、計測、判定式を表す図。FIG. 8 is a diagram illustrating measurement and determination formulas in the XY calibration in FIG. 7. 図7のX−Y方向の校正において、閾値範囲内に計測点を移動させる処理を表す図。FIG. 8 is a diagram illustrating processing for moving a measurement point within a threshold range in the XY calibration in FIG. 7. 図7のX−Y方向の校正において、終了処理を表す図。FIG. 8 is a diagram illustrating end processing in calibration in the XY direction in FIG. 7. 本発明の実施例での他ロボット構成を表す図。The figure showing the other robot structure in the Example of this invention.

以下、本発明を実施の形態に基づいて詳細に説明する。具体的には、本発明にかかる位置合せ方法に関して、その工程と処理を具体化した一実施形態を図に従って説明する。なお、以下の実施形態はあくまで事例であり、内容で具体的に採用している構造は、本請求の範囲を限定するものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments. Specifically, with respect to the alignment method according to the present invention, an embodiment in which the steps and processes are embodied will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following embodiments are merely examples, and the structure specifically adopted in the content does not limit the scope of the claims.

本事例では、産業用ロボットとその出力部材の位置に関しての校正方法を具体例として採用し、以下に紹介する。   In this example, the calibration method regarding the position of the industrial robot and its output member is adopted as a specific example and introduced below.

図2では本実施形態の事例でのロボットの構成について示す。ロボット本体A200は本事例では6自由度を有するシリアルリンクロボットとし、その出力部材A205に前記ロボット本体の校正に使用する距離センサが設置されている。前記ロボット本体は基準平面(ステージ部材の上面)A101を有し、その基準面には4つのパターン(凹部又は凸部の立体形状部)A102が形成されている。本事例での座標系はXYZで表される三次元の直行座標系とし、基準平面上をZ=0、すなわちX−Y平面の基準とする。ロボット本体A200も前記X−Y平面上に設置されている構造とする。   FIG. 2 shows the configuration of the robot in the case of this embodiment. The robot main body A200 is a serial link robot having six degrees of freedom in this example, and a distance sensor used for calibration of the robot main body is installed on the output member A205. The robot main body has a reference plane (upper surface of the stage member) A101, and four patterns (a concave or convex three-dimensional shape portion) A102 are formed on the reference plane. The coordinate system in this example is a three-dimensional orthogonal coordinate system represented by XYZ, and Z = 0 on the reference plane, that is, the reference of the XY plane. The robot body A200 is also installed on the XY plane.

ロボット本体A200はさらに、外部情報端末A204から動作目標地点を得るための通信部A201、前記外部情報端末から教示された情報、出力部材A205の補正値、校正を行うための座標値および動作手順を保持するための記憶部A203、前記記憶部の情報から前記ロボットを制御する制御部A202を有する。本実施形態を実施するにあたり、まず、前記外部情報端末より、以降に実施する測定位置群を、前記通信部を通じて前記記憶部に記憶させる。   The robot body A200 further includes a communication unit A201 for obtaining an operation target point from the external information terminal A204, information taught from the external information terminal, a correction value for the output member A205, a coordinate value for performing calibration, and an operation procedure. A storage unit A203 for holding, and a control unit A202 for controlling the robot from information in the storage unit. In carrying out the present embodiment, first, a measurement position group to be performed later is stored in the storage unit through the communication unit from the external information terminal.

図3では、出力部材A205のZ方向での基準平面A101に対する校正方法を示す。ロボット本体A200の前記出力部材の位置を前記基準平面に対して位置校正を行うにあたり、前記出力部材の前記基準平面を基準としたZ方向の距離校正から開始する。距離計測手段である距離センサ(本事例ではレーザーを採用した変位センサとする)A100は一方向の距離を被接触で測定できる機能を持ち、前記出力部材と共に動作を行う。   FIG. 3 shows a calibration method for the reference plane A101 in the Z direction of the output member A205. In calibrating the position of the output member of the robot main body A200 with respect to the reference plane, the calibration starts with distance calibration in the Z direction with respect to the reference plane of the output member. A distance sensor A100 (displacement sensor employing a laser in this example) A100 has a function of measuring a distance in one direction by contact, and operates with the output member.

前記距離センサを前記基準平面に対してあらかじめ記憶部A203に保存されているZ方向の校正を行うための目標座標値を制御部A202は読み出し、前記基準平面に対して平行に前記出力部材を測定部A300へ移動させる。このときそれぞれの測定部A300は前記パターン上ではない前記基準平面上とする。移動終了後、前記距離センサを照射し測定を行う。この動作を4箇所繰返し測定し、集計されたそれぞれの測定値A301の集合A302を前記記憶部に保存する。   The control unit A202 reads out the target coordinate value for performing the calibration in the Z direction stored in the storage unit A203 in advance with respect to the reference plane with respect to the reference plane, and measures the output member in parallel with the reference plane. Move to part A300. At this time, each measurement unit A300 is on the reference plane not on the pattern. After the movement is completed, the distance sensor is irradiated to perform measurement. This operation is repeatedly measured at four locations, and the aggregated set A302 of the measured values A301 is stored in the storage unit.

図4では、出力部材A205のZ方向の基準平面A101に対する校正工程を示す。まず、ここではn=0〜3の値でnを指定し(S400)、前記出力部材を目標座標へ前記基準平面に対して平行に移動させる(S401)。まず、前記出力部材が正しく目標座標に移動完了できたかどうかを判定し(S402)、問題があればエラー処理(S406)に処理を移行させる。移動が問題なく完了している場合は、その場所で距離センサA100を用いて前記基準平面との垂直な距離を測定し(S403)、測定結果の判定を行う(S404)。この判定に関しては、記憶部A203内に測定値の閾値があり、制御部A202が、その値から比較を行う。(図5、A501、A502参照)測定値に問題なければ、前記記憶部に値を保存し(S405)、次の目標座標へと処理を進める。   FIG. 4 shows a calibration process for the reference plane A101 in the Z direction of the output member A205. First, here, n is designated by a value of n = 0 to 3 (S400), and the output member is moved to the target coordinates parallel to the reference plane (S401). First, it is determined whether or not the output member has been correctly moved to the target coordinates (S402). If there is a problem, the process proceeds to error processing (S406). When the movement is completed without any problem, the distance perpendicular to the reference plane is measured using the distance sensor A100 at that location (S403), and the measurement result is determined (S404). Regarding this determination, there is a threshold value of the measurement value in the storage unit A203, and the control unit A202 performs comparison from the value. (See FIG. 5, A501, A502) If there is no problem with the measured value, the value is stored in the storage unit (S405), and the process proceeds to the next target coordinate.

図5では、実際に測定した値に対して補正値を決める計算式を示す。本事例での測定では測定値がS501とS503内に総て内包されていることを前提とし、この閾値はロボットの要求精度に対して決定される。   FIG. 5 shows a calculation formula for determining a correction value for the actually measured value. In the measurement in this example, it is assumed that all the measurement values are included in S501 and S503, and this threshold value is determined with respect to the required accuracy of the robot.

まず、前記S404の工程において、記憶部A203内にはZの測定値に対して、基準値S502を基準とした上限判定閾値S501と下限判定閾値S503を比較することで、計測結果が許容範囲内に入っているかどうかを確認する。   First, in the process of S404, the measurement result is within an allowable range by comparing the upper limit determination threshold value S501 and the lower limit determination threshold value S503 with reference to the reference value S502 with respect to the Z measurement value in the storage unit A203. Check if it is in.

4点とも許容範囲内に入っている場合は、それら4点の計測値から平均を取り、その差分をZ方向の補正値とする。以上の処理を行うことで、前記出力部材の前記基準平面に対して垂直なZ方向の距離を確定し(S504)、以降の処理は前記距離を基準として、前記出力部材は前記基準平面に対して平行に移動するものとする。   When all four points are within the allowable range, an average is taken from the measured values of these four points, and the difference is set as a correction value in the Z direction. By performing the above processing, the distance in the Z direction perpendicular to the reference plane of the output member is determined (S504), and the subsequent processing is based on the distance, and the output member is relative to the reference plane. And move in parallel.

図6では、出力部材A205のX−Y方向での基準平面A101に対する校正方法を示す。   FIG. 6 shows a calibration method for the reference plane A101 in the XY direction of the output member A205.

本事例の前記基準平面にはX−Y方向の校正を行うためのパターンA102が4箇所設けられており、このパターンに対して距離センサA100を用いて前記基準平面に対して垂直な距離の測定を行う。   Four patterns A102 for calibration in the X and Y directions are provided on the reference plane in this example, and a distance perpendicular to the reference plane is measured using the distance sensor A100 with respect to this pattern. I do.

前記パターンはX−Y平面に対して垂直に窪む直円錐形状(A602)とする。例えば半径は5mmで高さは10mmとする。この形状は前記ロボット本体の位置決め精度に合わせて変化させることが望ましく、さらに円錐側面の傾斜角が小さい場合は、例えばレーザーを使用した距離センサなどで測定する場合、光の反射光を受けにくく測定値が暴れる可能性があるため、先端が鋭角過ぎない形状を採用することが望まれる。このパターンでの目標座標は円錐の頂点であり、A601での測定距離となる。しかし、実際はA600のように少しずれた場所を測定することになる。   The pattern has a right cone shape (A602) that is recessed perpendicular to the XY plane. For example, the radius is 5 mm and the height is 10 mm. It is desirable to change this shape according to the positioning accuracy of the robot body. Furthermore, when the angle of inclination of the conical side is small, for example, when measuring with a distance sensor using a laser, it is difficult to receive reflected light. Since the value may be violated, it is desirable to adopt a shape whose tip is not too acute. The target coordinate in this pattern is the apex of the cone, which is the measurement distance at A601. However, in actuality, a slightly shifted place such as A600 is measured.

図7では、出力部材A205のX−Y方向での基準平面A101に対する校正工程を示す。   FIG. 7 shows a calibration process for the reference plane A101 in the XY direction of the output member A205.

まず、ここではn=0〜3の値でnを指定し(S700)、前記出力部材を前記基準平面に対して平行に前記nで指定された目標値へ移動させる(S701)。まず、前記出力部材が正しく移動箇所に移動完了できたかどうかを判定し(S702)、問題があればエラー処理(S709)に処理を移行させる。移動が問題なく完了している場合は、その場所で距離センサA100を用い前記基準平面に対して垂直な距離を測定し(S703)、制御部A202が測定結果の判定を行う(S704)。この判定に関しては、測定箇所がパターンA102内に内包されているかどうかを判定するものとし、前記距離センサで測定した測定値がS504の工程で求められた前記出力部材と前記基準平面からの前記基準平面に対して垂直な距離 ±(固定値)内にS703で測定された結果が内包されている場合は、前記測定値は前記パターン外と判断し、エラー処理S709に移行する。なお、前記固定値は前記ロボット本体の位置決め精度により決定される。   First, n is designated by a value of n = 0 to 3 (S700), and the output member is moved in parallel to the reference plane to the target value designated by n (S701). First, it is determined whether or not the output member has been correctly moved to the moving position (S702). If there is a problem, the process proceeds to error processing (S709). When the movement is completed without any problem, the distance perpendicular to the reference plane is measured using the distance sensor A100 at that place (S703), and the control unit A202 determines the measurement result (S704). With respect to this determination, it is determined whether or not the measurement location is included in the pattern A102, and the measurement value measured by the distance sensor is the reference from the output member and the reference plane obtained in step S504. If the result measured in S703 is included within a distance ± (fixed value) perpendicular to the plane, the measured value is determined to be outside the pattern, and the process proceeds to error processing S709. The fixed value is determined by the positioning accuracy of the robot body.

S704にて測定箇所に問題なければ、S705の工程にて、制御部A202が、前記出力部材と前記パターンとの前記基準平面に対して垂直に測定した距離D1と前記出力部材から前記パターンの頂点との前記基準平面に対して垂直な距離D2、及び、前記パターンの軸線と辺が交わる角度θから、測定している前記パターンの軸線と測定箇所との前記平面に対して平行な離隔距離Dを求める。   If there is no problem in the measurement location in S704, in step S705, the control unit A202 measures the distance D1 measured perpendicularly to the reference plane between the output member and the pattern and the vertex of the pattern from the output member. The distance D2 perpendicular to the reference plane and the angle θ at which the axis and side of the pattern intersect each other, and the distance D parallel to the plane between the axis of the pattern being measured and the measurement location Ask for.

S705における詳しい算出方法は図8に示す。次に離隔距離Dが離隔距離閾値以内かどうかの判定を実施する(S706)。前記離隔距離閾値は、離隔距離Dと同じく、測定している前記パターンの軸線を中心とする前記基準平面に対して平行な距離を表し、ロボット本体A200の精度により前記値は変化する。前記閾値外の場合は、図9に示される処理を、前記閾値内に入るまで処理を繰り返す(S707)。前記閾値内に測定値が入った場合は、前記記憶部に保存され(S708)、次の目標座標へと処理を移行する。   A detailed calculation method in S705 is shown in FIG. Next, it is determined whether or not the separation distance D is within the separation distance threshold (S706). The separation distance threshold, like the separation distance D, represents a distance parallel to the reference plane centered on the axis of the pattern being measured, and the value changes depending on the accuracy of the robot body A200. If it is outside the threshold value, the process shown in FIG. 9 is repeated until it falls within the threshold value (S707). If the measured value falls within the threshold value, it is stored in the storage unit (S708), and the process proceeds to the next target coordinate.

図8では、S705の工程において、測定している前記パターンの軸線と測定箇所との前記平面に対して平行な離隔距離を求める手順を示す。   FIG. 8 shows a procedure for obtaining a separation distance parallel to the plane between the axis of the pattern being measured and the measurement location in the step of S705.

実際の測定値A600の測定点A800とパターンA102の円錐形状の頂点A801において、その円錐の頂点から基準平面A101に垂直に伸びる基準線との角度をθとし、測定点A800から円錐の頂点A801のX−Y平面における距離は、A600を(r) A601を(R)とする。   At the measurement point A800 of the actual measurement value A600 and the conical vertex A801 of the pattern A102, the angle between the vertex of the cone and the reference line extending perpendicularly to the reference plane A101 is θ, and from the measurement point A800 to the vertex A801 of the cone. The distance in the XY plane is A600 (r) and A601 (R).

rはS703の工程で求められ、RはS504の工程で求めた前記出力部材と前記基準平面からの前記基準平面に対して垂直な距離に対して、予め記憶部A203に保存されている直円錐形状A602の頂点から底辺に対して垂直な距離を加算することで求められる。   r is obtained in step S703, and R is a right cone stored in the storage unit A203 in advance with respect to a distance perpendicular to the reference plane from the reference plane and the output member obtained in step S504. It is obtained by adding a distance perpendicular to the base from the apex of the shape A602.

前述で求められたR、およびr、そして角度θから、A801の頂点からの軸線と測定点A800の前記基準平面に対して平行な距離A802(D)は、[D = tanθ*(R・r)]で表される。   From R and r determined above, and the angle θ, the distance A 802 (D) parallel to the reference plane of the axis from the vertex of A 801 and the measurement point A 800 is [D = tan θ * (R · r )].

以上により、現在A800を測定している前記出力部材は、制御部A202が、目標座標であるA801から前記基準平面に対して平行に距離Dほど離れた場所に存在することを特定する。すなわち、制御部A202が、距離センサの検出結果に基づいて、立体形状部であるパターンA102に対する出力部材の位置を特定する位置特定手段となる。   As described above, the output member that is currently measuring A800 specifies that the control unit A202 exists at a distance D from the target coordinate A801 parallel to the reference plane by a distance D. That is, the control unit A202 serves as a position specifying unit that specifies the position of the output member with respect to the pattern A102 that is a three-dimensionally shaped part based on the detection result of the distance sensor.

図9では、S706においての詳細な工程を示す。実際測定する箇所が前記マーク内に入っているが、あらかじめ記憶部A203内で決められた閾値に達していない場合この工程を実施する。   FIG. 9 shows detailed steps in S706. This step is carried out when the location to be actually measured is included in the mark but the threshold value determined in advance in the storage unit A203 has not been reached.

ここでの閾値は、A801から前記平面に対して平行な距離で、A902のように表される。まず、測定点からある方向へ微動作A900を行う(S900)。この微動作に関しては、ロボット本体A200の精度に対して十分に小さい値であり、最小の動作解像度が好ましい。動作方向の順番としては、本事例では、−Xを初めとして、−Y、+X、+Yの順番に動作を行う(A901)。動作後に測定を行い(S901)、測定値が大きくなった場合は目標点である中心点に近づいていることになるため、さらに同じ方向に微動作を進める。値が小さくなった場合は、次の方向の動作へと移行する(S902)。以上のような動作を行い、再度図7、S705で範囲内かどうかの判定を行う動作を続けることで、最終的に出力部材A205がA902に内包されるまでこの工程を実施する。   The threshold value here is a distance parallel to the plane from A801, and is expressed as A902. First, fine operation A900 is performed in a certain direction from the measurement point (S900). This fine motion is a value sufficiently small with respect to the accuracy of the robot main body A200, and the minimum motion resolution is preferable. As the order of the operation direction, in this example, the operation is performed in the order of -Y, + X, + Y, starting with -X (A901). Measurement is performed after the operation (S901), and if the measured value becomes large, it is approaching the center point which is the target point, and therefore the fine operation is further advanced in the same direction. When the value becomes smaller, the operation proceeds to the next direction (S902). This operation is performed until the output member A205 is finally included in A902 by performing the operation as described above and continuing the operation of determining whether it is within the range again in FIG. 7 or S705.

図10では、出力部材A205のX−Y方向での判定基準内になるまでの工程が終了した後のX−Y方向における補正値を決定する工程を示す。   FIG. 10 shows a step of determining the correction value in the XY direction after the step until the output member A205 is within the determination reference in the XY direction is completed.

図7〜図8の工程で算出されたそれぞれの計測点でのX−Yにおける目標座標と計測座標のずれについて、そのずれ量を平均し、補正量を算出する(S1000)。前記補正値を記憶部A203に保存し、再度制御部A202において、その補正値を加味した動作を再度実施する(S1001)。   The deviation amount between the target coordinate and the measurement coordinate in XY at each measurement point calculated in the steps of FIGS. 7 to 8 is averaged to calculate a correction amount (S1000). The correction value is stored in the storage unit A203, and the control unit A202 again performs an operation taking the correction value into account (S1001).

総ての測定地点にてあらかじめきめられた閾値内であればそのまま校正終了とするが、範囲外が存在する場合は、再度測定→補正値の決定までの工程を繰り返す(S1002)。本事例では繰り返す回数を4回としている(S1003)がこの回数は限定されない。この工程を経て、最終的なX−Y平面における補正値を決定する。   If it is within the predetermined threshold values at all measurement points, the calibration is terminated as it is, but if there is an out of range, the process from measurement to correction value determination is repeated again (S1002). In this example, the number of repetitions is 4 (S1003), but this number is not limited. Through this step, the final correction value in the XY plane is determined.

最終的に決定されたX、Y、Zそれぞれの補正値から、Zを固定した、X−Y平面において閾値である半径を断面とした円柱形上A1000を精度誤差とした校正が終了する。   From the finally determined correction values for X, Y, and Z, the calibration with the accuracy error of the cylindrical upper A1000 with a fixed radius Z and having a radius as a threshold in the XY plane is completed.

図12では、本事例以外の構成でも本発明が採用されることを示す。本事例では距離センサを用いて円錐の窪みを目標座標として基準平面A101に対するX−Y座標において校正を行ったが、他の事例としては、例えばロボット本体A200とその前記基準平面の位置関係は、A1200、A1201に示すように、どの平面でも問題なく前記基準平面に対して校正を行うことができる。   FIG. 12 shows that the present invention is adopted in configurations other than this example. In this example, calibration was performed in the XY coordinates with respect to the reference plane A101 using a conical depression as a target coordinate using a distance sensor. As another example, for example, the positional relationship between the robot main body A200 and the reference plane is As shown in A1200 and A1201, calibration can be performed on the reference plane without any problem on any plane.

また、測定に関してもA1202のように物理的な測定器を使用して行うことも可能である。ただ、その際には、形状はA1203のように突起形状を選択すべきである。その突起形状に関しても、完全な円錐形状ではなく、測定閾値の範囲内を平面にするなど工夫すればさらに測定しやすくなり、判定処理を省略できる。ただし、この手法は、物理的な接触により測定時の速度低下を伴うことが予想されるため、非接触での測定が好ましい。   Measurement can also be performed using a physical measuring instrument such as A1202. However, in that case, the shape of the protrusion should be selected as A1203. With regard to the shape of the protrusion, it is not a perfect conical shape, and if it is devised, for example, by making the measurement threshold range a flat surface, it becomes easier to measure, and the determination process can be omitted. However, since this method is expected to be accompanied by a decrease in speed during measurement due to physical contact, measurement without contact is preferable.

本発明は上述した実施形態、事例に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, but is shown by the description of the scope of claims, and further includes all modifications within the meaning and scope equivalent to the description of the scope of claims.

A100 距離センサ
A101 ロボット本体の基準平面
A102 校正用マーク
A103 校正用マーク形状
A200 ロボット本体
A201 ロボット本体の通信部
A202 ロボット本体の制御部
A203 ロボット本体の記憶部
A204 外部情報処理端末
A205 ロボットの出力部材
A300 基準平面からの高さ測定箇所
A301 距離センサの値
A302 測定した数値
A600 実際の測定値
A601 理想の測定値
A602 目標座標
A800 測定位置
A801 目標座標
A802 測定位置から目標座標の距離
A803 距離計算式
A900 微動作方向
A901 微動作方向の検索順番
A902 目標座標からの許容誤差
A1000 校正後の精度範囲
A1100 ロボット本体の構成例1
A1101 ロボット本体の構成例2
A1102 測定方法例
A1103 測定対象
A100 Distance sensor A101 Reference plane of the robot body A102 Calibration mark A103 Calibration mark shape A200 Robot body A201 Robot body communication unit A202 Robot body control unit A203 Robot body memory unit A204 External information processing terminal A205 Robot output member A300 Height measurement location from reference plane A301 Distance sensor value A302 Measured value A600 Actual measurement value A601 Ideal measurement value A602 Target coordinate A800 Measurement position A801 Target coordinate A802 Distance from measurement position to target coordinate A803 Distance calculation formula A900 Fine Motion direction A901 Fine motion direction search order A902 Tolerance from target coordinates A1000 Accuracy range after calibration A1100 Robot body configuration example 1
A1101 Robot body configuration example 2
A1102 Measurement method example A1103 Measurement target

Claims (4)

凹又は凸形状の立体形状部が上面に設けられたステージ部材と、
前記ステージ部材の上面に対向配置される出力部材と、
前記ステージ部材上で前記出力部材を移動させる移動手段と、
前記出力部材に設けられ、前記ステージ部材の上面との距離、及び前記立体形状部との距離をそれぞれ計測する距離計測手段と、
前記距離計測手段の検出結果に基づいて、前記立体形状部に対する前記出力部材の位置を特定する位置特定手段と、を備えたことを特徴とする出力部材の位置特定装置。
A stage member provided with a concave or convex three-dimensional shape portion on the upper surface;
An output member disposed opposite to the upper surface of the stage member;
Moving means for moving the output member on the stage member;
A distance measuring means provided on the output member, each for measuring a distance from the upper surface of the stage member and a distance from the three-dimensional shape part;
An output member position specifying device comprising: position specifying means for specifying a position of the output member with respect to the three-dimensional shape portion based on a detection result of the distance measuring means.
ある位置を特定したい部材と位置を特定するために基準となる平面において、
前記平面は、少なくとも一つ以上のパターンを有し、
前記パターンは、前記平面に対して垂直な軸線を有し、
底面は前記平面に接する直円錐または直円錐台形状の突起または窪みであり、
前記部材は一方向の距離を測定することができる測距手段と、
前記平面に対して平行に移動することができる移動手段を有し、
前記移動手段を用いて、前記平面上の前記パターンが存在しない位置に移動し、前記部材から前記平面に対して垂直な距離を測定し得られる値をD0とし、
前記移動手段を用いて、前記平面上の前記パターンと推定される位置に移動し、前記部材から前記平面に対して垂直な距離を測定することで得られる距離をD1とし、
D0から、D1を測定した前記パターンの頂点もしくは上底から前記平面に対して垂直な距離を、前記パターンが突起形状の場合は加算して、前記パターンが窪み形状の場合は減算して得られる距離をD2とした時、D1と、D2と、D1を測定した前記パターンの辺と軸線との角度より、前記パターンの軸線とD1を測定した測定位置P1との前記平面に対して平行な離隔距離L1を求めることを特徴とする位置測定方法。
In the plane that serves as a reference for specifying the position and the member that wants to specify a position,
The plane has at least one pattern,
The pattern has an axis perpendicular to the plane;
The bottom surface is a right cone or right frustoconical protrusion or depression in contact with the plane,
The member is a distance measuring means capable of measuring a distance in one direction;
Moving means capable of moving parallel to the plane;
Using the moving means, move to a position where the pattern does not exist on the plane, and a value obtained by measuring a distance perpendicular to the plane from the member is D0,
D1 is a distance obtained by moving to the position estimated as the pattern on the plane using the moving means, and measuring a distance perpendicular to the plane from the member,
From D0, the distance perpendicular to the plane from the apex or upper base of the pattern where D1 is measured is added when the pattern is a protrusion, and subtracted when the pattern is a depression. When the distance is D2, the distance parallel to the plane between the axis of the pattern and the measurement position P1 at which D1 is measured is determined from the angle between D1, D2, and the side of the pattern at which D1 is measured and the axis. A position measuring method characterized by obtaining a distance L1.
前記パターンの軸線との離隔距離を更に近づけるために、第一に、請求項1に記載の離隔距離L1を求めた後、さらに、前記移動手段を用いて前記部材を前記パターン内でP1より微小距離移動させ、請求項1に記載の位置測定方法を用いて求められた離隔距離をL2、L2が得られた測定位置をP2とし、L1とL2を比較し、第二に、L1がL2より大きい場合は、P2を前記パターンの軸線からより近い位置PL2として特定し、第三に、L1がL2より小さい場合は、前記部材をP1に前記移動手段を用いて移動し、L2を測定した位置とは別の位置に前記移動手段を用いて微小距離移動させ、前記位置測定方法を用いて得られる離隔距離L2´をさらに前記L1と比較し、L1がL2´より大きい場合は、L2´が得られた測定位置を前記パターンの軸線からより近い位置PL2として特定し、L1がL2´より小さい場合は、再び前記部材をP1に前記移動手段を用いて移動し、L2をL2´と置き換え、前記第三の処理と同等な処理を繰り返すことで、L1が測定された測定位置より前記パターンの軸線からより近い位置PL2を特定し、前記より特定されたPL2を新たなL1として、第一の処理から繰り返すことで、前記パターンの軸線と前記部材の前記平面に対して平行な離隔距離を近づけることを特徴とする位置合せ方法。   In order to further reduce the separation distance from the axis of the pattern, first, after obtaining the separation distance L1 according to claim 1, the member is further made smaller than P1 in the pattern by using the moving means. The distance measured by using the position measuring method according to claim 1 is L2, the measurement position where L2 is obtained is P2, L1 and L2 are compared, and secondly, L1 is greater than L2. If it is larger, P2 is specified as a position PL2 closer to the axis of the pattern. Third, if L1 is smaller than L2, the member is moved to P1 by using the moving means, and the position where L2 is measured The distance L2 ′ obtained by using the moving means is moved to a position different from the position by using the moving means, and the distance L2 ′ obtained by using the position measuring method is further compared with L1. When L1 is larger than L2 ′, L2 ′ is Obtained measurement position When the position PL2 closer to the axis of the pattern is specified and L1 is smaller than L2 ′, the member is moved again to P1 by using the moving means, and L2 is replaced with L2 ′. By repeating the same process, the position PL2 closer to the pattern axis than the measurement position where L1 is measured is specified, and the more specified PL2 is set as a new L1, and the process is repeated from the first process. An alignment method, wherein a separation distance parallel to an axis of the pattern and the plane of the member is made closer. 請求項2に記載の離隔距離L1と距離D0及び、請求項2に記載の位置合せ方法を用いて前記部材の前記平面を基準とした三次元座標上での位置合せを行うことを特徴とする位置合せ方法。


Using the separation distance L1 and the distance D0 according to claim 2 and the alignment method according to claim 2, alignment of the member on a three-dimensional coordinate with respect to the plane is performed. Alignment method.


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