JP2017004613A - heater - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液体加熱用ヒータ、粉体加熱用ヒータ、気体加熱用ヒータおよび酸素センサ用ヒータ等に用いられるヒータに関するものである。 The present invention relates to a heater used for a liquid heating heater, a powder heating heater, a gas heating heater, an oxygen sensor heater, and the like.
液体加熱用ヒータ、粉体加熱用ヒータ、気体加熱用ヒータおよび酸素センサ用ヒータ等に用いられるヒータとして、例えば特許文献1に開示されたヒータが知られている。特許文献1に開示されたヒータ装置は、内部に発熱抵抗体が埋設されたセラミック体と、セラミック体の表面に設けられた電極パッドと、電極パッドに接合された端子部材とを備えている。
As a heater used in a liquid heating heater, a powder heating heater, a gas heating heater, an oxygen sensor heater, and the like, for example, a heater disclosed in
特許文献1に開示されたヒータ装置は、端子部材がセラミック体から立ち上がるように設けられている。端子部材は、ろう材によって電極パッドに接合されている。このような構成のヒータ装置においては、セラミック体の長さ方向に垂直な方向の振動に対しては接合強度を向上させやすいものの、セラミック体の長さ方向に平行な方向の振動に対して接合強度を向上させることが困難であった。
The heater device disclosed in
接合強度を向上させるためには、端子部材に塗布するろう材を多くする方法が考えられる。しかしながら、単に端子部材に塗布するろう材を多くしてしまうと、振動に対する接合強度は高めることができるものの、ろう材に高い残留応力が発生してしまうおそれがあった。そのため、セラミック体と電極パッドとの間または電極パッドとリード端子との間に位置するろう材等にクラック等が生じてしまうおそれがあった。その結果、ヒータの長期信頼性を高めることが困難であった。 In order to improve the bonding strength, a method of increasing the amount of brazing material applied to the terminal member is conceivable. However, if the amount of brazing material applied simply to the terminal member is increased, the bonding strength against vibration can be increased, but high residual stress may be generated in the brazing material. For this reason, there is a risk that cracks or the like may occur in the brazing material or the like located between the ceramic body and the electrode pad or between the electrode pad and the lead terminal. As a result, it has been difficult to improve the long-term reliability of the heater.
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒータにおいて電極層(電極パッド)とリード端子(端子部材)との接合強度高めつつ、ヒータに生じる残留応力を低減させることにある。 The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to reduce the residual stress generated in the heater while increasing the bonding strength between the electrode layer (electrode pad) and the lead terminal (terminal member) in the heater. is there.
本発明の一態様のヒータは、棒状または筒状のセラミック体と、該セラミック体の内部に設けられた発熱抵抗体と、前記セラミック体の表面に設けられて前記発熱抵抗体に接続された電極層と、該電極層に接合材によって接合されたリード端子とを備えており、該リード端子は、前記電極層から立ち上がる第1部分と、前記セラミック体の長さ方向に沿って伸びた第2部分とを備えており、前記接合材は、前記電極層と前記第1部分とを接合するメニスカス部と、該メニスカス部から前記第2部分側に広がった厚みが一定のコーティング部とを有していることを特徴とする。 The heater according to one aspect of the present invention includes a rod-shaped or cylindrical ceramic body, a heating resistor provided inside the ceramic body, and an electrode provided on a surface of the ceramic body and connected to the heating resistor. A lead terminal joined to the electrode layer by a joining material, the lead terminal rising from the electrode layer, and a second part extending along the length direction of the ceramic body. The bonding material has a meniscus portion for bonding the electrode layer and the first portion, and a coating portion having a constant thickness extending from the meniscus portion to the second portion side. It is characterized by.
本発明の一態様のヒータによれば、ヒータにおいて電極層とリード端子との接合強度を高めつつ、ヒータに生じる残留応力を低減できる。 According to the heater of one aspect of the present invention, the residual stress generated in the heater can be reduced while increasing the bonding strength between the electrode layer and the lead terminal in the heater.
本発明の一実施形態のヒータ10について詳細に説明する。
The
図1は、本発明のヒータ10の実施形態の一例を示す縦断面図である。図1に示すように、このヒータ10は、棒状または筒状のセラミック体1と、セラミック体1の内部に設けられた発熱抵抗体2と、セラミック体1の表面に設けられた電極層3と、電極層3に接合されたリード端子4とを備えている。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of an embodiment of a
セラミック体1は、発熱抵抗体2を保護するために設けられる部材である。セラミック体1の形状は、棒状または筒状である。棒状としては、例えば円柱状または角柱状等の柱状等が挙げられる。なお、ここでいう柱状とは、例えば特定の方向に長く伸びた板状も含んでいる。筒状としては、例えば円筒状または角筒状が挙げられる。図1に示すヒータ10においては、セラミック体1は円柱状である。
The
セラミック体1は、絶縁性のセラミック材料から成る。絶縁性のセラミック材料としては、例えばアルミナ、窒化珪素または窒化アルミニウムが挙げられる。熱伝導率に優れるという観点からは窒化アルミニウムを用いることが好ましい。特に、窒化アルミニウムを用いる場合には、セラミック体1の熱伝導率を150W/(m・K)と高くできるので、セラミック体1の内部に形成した発熱抵抗体2で発生した熱をヒータ10の表面に効率良く伝えることができる。したがって、ヒータ10の急速昇温が可能となる。
The
また、製造のしやすさの観点からはアルミナを用いることが好ましい。セラミック体1が円柱状の場合には、セラミック体1の寸法は、例えば長さを100mmに、外径を20mmに設定することができる。また、セラミック体1が板状の場合には、セラミック体1の寸法は、例えば長さを80mmに、幅を50mmに、厚みを2mmに設定することができる。セラミック体1が円筒状の場合には、セラミック体1の寸法は、例えば長さを100mmに、外径を20mmに、内径を14mmに設定することができる。
From the viewpoint of ease of production, it is preferable to use alumina. When the
発熱抵抗体2は、電流が流れることによって発熱する抵抗体である。発熱抵抗体2はセラミック体1の内部に設けられている。すなわち、発熱抵抗体2はセラミック体1に埋設されている。本実施形態のヒータ10における発熱抵抗体2は折り返し形状を有している。発熱抵抗体2の両端部は引出電極21に接続されている。引出電極21は、セラミック体1の一方の端部へと引き出されており、端部においてセラミック体1の外周面に引き出されている。
The
発熱抵抗体2の折り返し部がセラミック体1の他方の端部に設けられている。すなわち、引出電極21は、セラミック体1のうち発熱抵抗体2の折り返し部とは反対側の領域に設けられている。発熱抵抗体2の両端部は、引出電極21を介して、セラミック体1の外周面に設けられた電極層3に電気的に接続されている。
A folded portion of the
発熱抵抗体2は金属材料から成る。金属材料としては、例えばタングステン、モリブデンまたはレニウム等が挙げられる。発熱抵抗体2の寸法は、例えば幅を1mmに、全長を3000mmに、厚みを0.02mmに設定することができる。引出電極21は、発熱抵抗体2と同じ金属材料を用いて、発熱抵抗体2と同時に形成することができる。また、引出電極21は、発熱抵抗体2とは異なる材料を用いて別々に形成することもできる。
The
電極層3はセラミック体1の表面に設けられている。電極層3は、引出電極21を介して発熱抵抗体2に接続されている。電極層3は金属材料からなる。金属材料としては、例えばタングステン、モリブデンまたはレニウム等が挙げられる。電極層3の寸法は、例えば長さを9mmに、幅を5mmに、厚みを0.02mmに設定することができる。なお、本実施形態においては、電極層3が引出電極21を介して発熱抵抗体2に接続されているが、これに限られない。具体的には、ヒータ10が引出電極21を有しておらず、電極層3と発熱抵抗体2とが直接接続されていてもよい。
The
リード端子4は発熱抵抗体2に電力を供給するための部材である。リード端子4は外部の電源(図示せず)に接続されて用いられる。リード端子4としては、ニッケルまたは銅の金属からなる線材または板材を用いることができる。リード端子4は、電極層3の表面上に接合材5を用いて取り付けることができる。接合材5としては、例えば、ろう材を用いることができる。
The
リード端子4は、電極層3から立ち上がる第1部分41と、セラミック体1の外周から外側において長さ方向に沿って延びた第2部分42と、第2部分42よりも外側を経由して第1部分41と第2部分42とを繋ぐ湾曲部43とを備えている。これにより、セラミック体1の長さ方向に平行な方向に振動が生じたときに、湾曲部43がたわむことによって、この振動を低減することができる。このため、第1部分41と電極層3との接合部に生じる応力を低減できる。その結果、セラミック体1の長さ方向に平行な方向の振動に対する強度を向上させることができる。
The
本実施形態においては、リード端子4の断面(第1部分41、第2部分42および湾曲部43の断面)が円形状である。特に、湾曲部43の断面が円形状であることによって、湾曲部43がたわんだときに、湾曲部43が損傷してしまうおそれを低減できる。リード端子4の断面のその他の形状としては、例えば、矩形状、コの字形状または中空状等が挙げられる。特に、湾曲部43の断面形状ががコの字形状の場合には、コの字のうち開口している側がセラミック体1とは反対側(すなわち、湾曲部43の外周側)に位置していることが好ましい。これにより、湾曲部43をたわませやすくすることができる。なお、ここでいうコの字形状としては、例えば、いわゆるC字形状等のように角が丸い場合も含む。
In the present embodiment, the cross section of the lead terminal 4 (the cross section of the
また、本実施形態においては、リード端子4のうち、第1部分41、第2部分42および湾曲部43の断面の形状および大きさが同一であるが、これに限られない。具体的には、それぞれの部位で形状および大きさが異なっていてもよい。特に、湾曲部43は第1部分41および第2部分42よりも細いことが好ましい。これにより、リード端子4の強度を確保しつつ、湾曲部43をたわませやすくすることができる。
Moreover, in this embodiment, although the shape and magnitude | size of the cross section of the
リード端子4の寸法は、例えば、以下のように設定できる。図1に示すヒータ10の場合には、第1部分41の長さを2.3mmに設定できる。第2部分42の長さは、セラミック体1の長さ方向に垂直な方向の長さを1.5mmに、セラミック体1の長さ方向に平行な方向の長さを2.5mmに設定できる。また、湾曲部43の長さを6.5mmに設定できる。また、第1部分41、第2部分42および湾曲部43のそれぞれの断面は、直径がΦ0.8mmの円形状に設定できる。
The dimension of the
図2に示すように、本実施形態のヒータ10においては、接合材5は、電極層3と第1部分41とを接合するメニスカス部50と、メニスカス部50から第2部分42側に広がった厚みが一定のコーティング部51とを備えている。より具体的には、メニスカス部50の端部から厚みが一定のまま第2部分42側にコーティング部51が広がっている。これにより、単に接合材5によってメニスカス部50のみを形成する場合と比較して、少ない量の接合材5で第1部分41の広範囲に接合材5を設けることができる。これにより、第1部分41と電極層3との接合強度を高めつつ、残留応力の発生を低減できる。その結果、接合強度を確保しつつ、ヒータ10の長期信頼性を向上させることができる。
As shown in FIG. 2, in the
ここでいうメニスカス部50とは、メニスカス形状であって、先端に向かうにつれて厚みが薄くなる部位である。そして、コーティング部51とは、メニスカス部50に隣接して設けられた、厚みが一定の部位である。すなわち、接合材5を見たときに、第1部分41に濡れ広がるとともに、厚みが薄くなり続けている部位がメニスカス部50であり、メニスカス部50の端部から厚みが一定のままさらに第2部分42側に濡れ広がった部分がコーティング部51である。なお、ここでいう第2部分42側とは、メニスカス部50の端部から見て第2部分42に近づく方向を意味しているだけである。すなわち、必ずしも接合材5(コーティング部51)が第2部分42にまで広がっている必要はない。
The
また、ここでいう「厚みが薄くなり続けている」および「厚みが一定である」とは、厳密な意味で「厚みが薄くなり続けている」および「厚みが一定である」必要はない。具体的には、接合材5の表面に生じる微細な気泡程度の誤差は無視して考えることができる。
In addition, the terms “thickness continues to decrease” and “thickness is constant” as used herein do not need to be “thickness continues to decrease” and “thickness is constant” in a strict sense. Specifically, an error of a fine bubble level generated on the surface of the
コーティング部51を形成するための方法としては、以下の方法が挙げられる。具体的には、接合材5がろう材から成る場合には、メニスカス部50を形成するためのろう材とは別に、コーティング部51を形成する部分にシート状のろう材等を巻き付けた上で加熱すればよい。このとき、カルボン酸等の有機酸と活性剤から成るフラックス等を第1部分41のうちコーティング部51を形成したい部分に塗布した上にシート状のろう材を巻きつけておくとよい。これにより、コーティング部51を形成したい部分に巻き付けたシート状のろう材が流れてしまうことを低減できるので、コーティング部51を形成しやすくできる。
Examples of the method for forming the
また、第1部分41のうちメニスカス部50が設けられている部分よりもコーティング部51が設けられている部分の方が長くなっていてもよい。これにより、第1部分41のうち接合材5に覆われる部分の大部分(少なくとも半分以上)の領域がコーティング部50によって覆われることになるので、接合強度を高めつつ残留応力の発生をさらに低減できる。
Moreover, the part in which the
また、コーティング部51が湾曲部43の一部を覆っていてもよい。湾曲部43の一部を接合材5が覆っていることによって、さまざまな方向からの力に対する接合強度を向上できる。これは、第1部分41のみにコーティング部51が広がっており、かつ、第1部分の全周に広がっている場合には、コーティング部51は直線状の中心軸を有する筒状に広がることになる。ここで、コーティング部51が湾曲部41の一部にも広がっている場合には、この上述の直線状の中心軸とは異なる方向に曲線状に伸びる筒状にコーティング部51が広がることになる。これにより、コーティング部51が、直線状の中心軸とは異なる方向に伸びる曲線上の筒状の部分を有することになるので、さまざまな方向からの力に対する強度を向上させることができる。なお、上記の例では、理解を助けるために、コーティング部51が第1部分41の全周に設けられている例を挙げたが、これに限られるものではない。具体的には、コーティング部51が部分的に設けられていてもよい。
Further, the
また、湾曲部43のうち外周側よりも内周側の方がコーティング部51が設けられている部分が長くなっていてもよい。リード端子4に外部の振動が伝わった場合には、湾曲部43が撓むように振動しやすい。そのため、接合材5のうち、特に湾曲部43の外周側よりも内周側において、応力が集中しやすい傾向にある。これに対して、コーティング51を湾曲部43の内周側に広げることによって、振動によって生じた応力を接合材5の広範
囲(メニスカス部50およびコーティング部51)で吸収することができるので、メニスカス部50にクラックが生じることを低減できる。
Moreover, the part by which the
1:セラミック体
2:発熱抵抗体
21:引出電極
3:電極層
4:リード端子
41:第1部分
42:第2部分
43:湾曲部
5:接合材
50:メニスカス部
51:コーティング部
10:ヒータ
1: Ceramic body 2: Heating resistor 21: Lead electrode 3: Electrode layer 4: Lead terminal 41: First part 42: Second part 43: Curved part 5: Bonding material 50: Meniscus part 51: Coating part 10: Heater
Claims (4)
該リード端子は、前記電極層から立ち上がる第1部分と、前記セラミック体の長さ方向に沿って伸びた第2部分とを備えており、
前記接合材は、前記電極層と前記第1部分とを接合するメニスカス部と、該メニスカス部から前記第2部分側に広がった厚みが一定のコーティング部とを有していることを特徴とするヒータ。 A rod-shaped or cylindrical ceramic body, a heating resistor provided inside the ceramic body, an electrode layer provided on the surface of the ceramic body and connected to the heating resistor, and a bonding material to the electrode layer With lead terminals joined at
The lead terminal includes a first portion rising from the electrode layer, and a second portion extending along the length direction of the ceramic body,
The bonding material includes a meniscus portion for bonding the electrode layer and the first portion, and a coating portion having a constant thickness extending from the meniscus portion to the second portion side. heater.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018128449A1 (en) * | 2017-01-06 | 2018-07-12 | 엘지이노텍 주식회사 | Heating rod and heater having same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04262564A (en) * | 1991-02-18 | 1992-09-17 | Nec Corp | Manufacture of semiconductor device |
JPH0730043A (en) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Seiko Epson Corp | Semiconductor device and manufacture thereof |
JP2006210138A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Denso Corp | Ceramic heater |
JP2011060712A (en) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ceramic heater |
JP2012141279A (en) * | 2010-12-17 | 2012-07-26 | Denso Corp | Ceramic heater for gas sensor |
US20130241083A1 (en) * | 2012-03-15 | 2013-09-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Joint Structure for Substrates and Methods of Forming |
-
2015
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04262564A (en) * | 1991-02-18 | 1992-09-17 | Nec Corp | Manufacture of semiconductor device |
JPH0730043A (en) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Seiko Epson Corp | Semiconductor device and manufacture thereof |
JP2006210138A (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Denso Corp | Ceramic heater |
JP2011060712A (en) * | 2009-09-14 | 2011-03-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ceramic heater |
JP2012141279A (en) * | 2010-12-17 | 2012-07-26 | Denso Corp | Ceramic heater for gas sensor |
US20130241083A1 (en) * | 2012-03-15 | 2013-09-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Joint Structure for Substrates and Methods of Forming |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018128449A1 (en) * | 2017-01-06 | 2018-07-12 | 엘지이노텍 주식회사 | Heating rod and heater having same |
US11452179B2 (en) | 2017-01-06 | 2022-09-20 | Lg Innotek Co., Ltd. | Heating rod and heater having same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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