JP2016211537A - Vacuum pump, and method of manufacturing vacuum pump - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily assemble a vacuum pump.SOLUTION: A vacuum pump has a housing 10, at least one function unit disposed in the housing 10, and at least one opposite unit 14 disposed outside of the housing 10. The opposite unit is electrically and/or information-technically connected to the function unit through at least one wire, here, the wire is penetrated through an opening portion 20 formed in a housing wall 18 and transited, and the opposite unit 14 is mounted outside of the housing wall 18 in an operating direction, and covers the opening portion 20. The opening portion 20 and the opposite unit 14 are fitted so that the opposite unit 14 can be penetrated and guided through the opening portion 20 in an assembling direction different from the operating direction with respect to their dimensions.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は真空ポンプ及び真空ポンプの製造の為の方法に関する。   The present invention relates to a vacuum pump and a method for manufacturing a vacuum pump.

例示的真空ポンプはモーター及びモーターユニットの為の制御ユニットを有する。モーターは、真空ポンプのハウジング内部に配置されている。制御ユニットは外側からハウジングに設けられている。その際、ハウジングは、ハウジング内の真空の外部領域に対する保護の為にシールされている必要がある。他方、同時に、電気的接続が、モーターと制御ユニットの間に必要である。   An exemplary vacuum pump has a control unit for the motor and motor unit. The motor is disposed inside the housing of the vacuum pump. The control unit is provided on the housing from the outside. In doing so, the housing needs to be sealed to protect against the vacuum external region within the housing. On the other hand, at the same time, an electrical connection is necessary between the motor and the control unit.

先行技術においては、そのような真空ポンプの製造の為の例示的な方法においてモーターは、ハウジング内に設けられている。その結果、線はモーターからハウジングの開口部を通って引き出され、そして線は、ハウジングの外側の制御ユニットの為の接続ユニットと電気的に接続され、例えばはんだ付けされる。接続ユニットはその後、外側からハウジングに固定される。   In the prior art, in an exemplary method for the manufacture of such a vacuum pump, a motor is provided in the housing. As a result, the wire is drawn from the motor through the opening in the housing, and the wire is electrically connected, for example soldered, with a connection unit for a control unit outside the housing. The connecting unit is then fixed to the housing from the outside.

この方法のデメリットは、モーターは、接続ユニットとの接続の後に初めて、完結的にテストされることが可能であるという点に存在する。モーターは、つまり真空ポンプのハウジング内に組み込まれた後に初めてテストされることが可能である。   The disadvantage of this method is that the motor can only be fully tested after connection with the connection unit. The motor can only be tested after it has been installed in the vacuum pump housing.

米国特許出願公開第2002/094277A1号明細書US Patent Application Publication No. 2002 / 094277A1 欧州特許出願公開第1843043A2号明細書European Patent Application Publication No. 1843043A2

本発明の課題は、真空ポンプの組立を簡単とすることである。   An object of the present invention is to simplify the assembly of a vacuum pump.

課題は、真空ポンプによって、請求項1に記載の特徴を有する真空ポンプによって解決される。そしてこれは特に、開口部と対向ユニットが、その寸法に関して、対向ユニットが、作動向きと異なる組立向きにおいて開口部を通して貫通案内可能であるように、互いに合わせられていることによって解決される。   The object is solved by a vacuum pump having the features of claim 1. This is particularly solved by the fact that the opening and the counter unit are aligned with each other so that, with respect to their dimensions, the counter unit can be guided through the opening in an assembly direction different from the operating direction.

本発明のメリットは、機能ユニットと対向ユニットが、機能ユニットの組立の前に既に、真空ポンプのハウジング内において電気的に及び/又は情報技術的に接続されることが可能である点に存在する。機能ユニットと対向ユニットは、よってまず、他のコンポーネントに依存することなく、真空ポンプの製造プロセスにおいて、極めて早期にテストされることが可能である。これによって、可能性のあるエラーが低い労力・コストのもと除去されることが可能である。第二に、組立自体が簡易とされ及び加速される、というのは、対向ユニットに対する線の、例えば熱的な接合が、組立過程の間に省略されることが可能だからである。   The advantage of the present invention resides in that the functional unit and the counter unit can be electrically and / or information-technically connected in the housing of the vacuum pump already before assembly of the functional unit. . The functional unit and the counter unit can thus be tested very early in the manufacturing process of the vacuum pump without first depending on other components. This allows for possible errors to be removed with low effort and cost. Secondly, the assembly itself is simplified and accelerated because the wires, for example thermal bonding, to the opposing unit can be omitted during the assembly process.

特に、対向ユニットに対する線の接続は、製造の際に既に適当な方法でカプセル化されて、又は、鋳出されて(独語:vergossen)形成されることが可能である。というのは、接続は後に真空ポンプの組立の際に、もはや解除される必要が無いからである。これは特に、接続が、確実かつ信頼性をもって、外部の影響から保護されることが可能であり、これによって長期にわたって保護されるというメリットを有する。   In particular, the connection of the wires to the opposing unit can be formed in a suitable manner, already in production, or cast (vergossen). This is because the connection no longer needs to be released later when the vacuum pump is assembled. This has the advantage, in particular, that the connection can be reliably and reliably protected from external influences, thereby protecting it for a long time.

機能ユニットおよび対向ユニットは、つまり、真空ポンプの完成したコンポーネントとして、共通して提供されることが可能である。このことは、これらコンポーネントを、ある特化したメーカー(このメーカーは、自身で機能ユニットの完結したテストを実施することができる)による総体としての入手の可能性が開かれる。その上、発明によって、真空ポンプの分解及び修理が簡易化される。というのは、場合によっては存在するシール、例えばОリングやフラットシールの形式のもの、が、対向ユニットを線から分離することなく簡単に交換されることが可能だからである。   The functional unit and the counter unit can thus be provided in common as a complete component of the vacuum pump. This opens up the collective availability of these components by a specialized manufacturer, who can carry out a complete test of the functional unit by himself. Moreover, the invention simplifies the disassembly and repair of the vacuum pump. This is because, in some cases, existing seals, for example in the form of O-rings or flat seals, can be easily replaced without separating the opposing unit from the line.

このメリットは、発明に従い、特に、線が対向ユニットとコネクター接続部を介さず接続されているときに達成される。この場合、相応する部材が省略されることが可能である一方で、組立は更に簡単とされる。   This advantage is achieved according to the invention, in particular when the line is connected to the opposing unit without a connector connection. In this case, the corresponding parts can be omitted, while the assembly is further simplified.

機能ユニットは、真空ポンプの為のモーターを有することが可能である。代替として、又は追加的に、機能ユニットは真空ポンプの別の装置を含むことが可能である。これは例えば、測定兼監視装置、真空ポンプ内における体積流の制御の為のバルブ又は他のアクチュエータのようなものである。   The functional unit can have a motor for the vacuum pump. Alternatively or additionally, the functional unit can include another device of a vacuum pump. This can be, for example, a measurement and monitoring device, a valve or other actuator for volume flow control in a vacuum pump.

電気的及び/又は情報技術的接続は、エネルギー(独語:Leistung)又は情報の伝達の為の手段を有することが可能である。その際、当該手段は、例えば電導体及び/又は光ファイバーを含むことが可能である。   The electrical and / or information technology connection may have a means for energy (German) or information transfer. In this case, the means can include, for example, a conductor and / or an optical fiber.

開口部は、円形と異なることが可能である。一つの実施形においては、開口部は、少なくとも基本的に長方形形状を有する。形状の概念は、本発明の別の実施例において、例えば丸め又は面取り又は追加的な切欠きによって、長方形形状のような理想形状と異なる可能性がある基本形状に関する。   The opening can be different from a circle. In one embodiment, the opening has at least an essentially rectangular shape. The concept of shape relates to a basic shape that, in another embodiment of the invention, may differ from an ideal shape, such as a rectangular shape, for example by rounding or chamfering or additional notches.

本発明の別の実施形においては、対向ユニットは組立向きにおいて最大幅、最大高さ、及び、開口部の平面に対して垂直に推移する長さを有する。その際、対向ユニットの最大幅は、開口部の幅よりも小さく、そして対向ユニットの最大高さは開口部の高さよりも小さい。対向ユニットの最大幅は、ここでは、開口部の高さよりも大きく、そして対向ユニットの長さは開口部の幅よりも大きい。   In another embodiment of the invention, the opposing unit has a maximum width, a maximum height and a length that runs perpendicular to the plane of the opening in assembly. At that time, the maximum width of the opposing unit is smaller than the width of the opening, and the maximum height of the opposing unit is smaller than the height of the opening. Here, the maximum width of the opposing unit is larger than the height of the opening, and the length of the opposing unit is larger than the width of the opening.

比較的簡単な幾何に基づくこの実施形においても、対向ユニットによって開口部の完全なカバーが保証されることが可能である。「高さ」、「幅」及び「長さ」の概念は、単に、開口部及び対向ユニットの異なる方向における伸張・規模(独語:Ausdehnungen)に関する。特に、「高さ」の概念は、その際、垂直な寸法・大きさの方向に制限されず、例えば、水平な方向における寸法・大きさも意味する。その際、そのような場合には「幅」の概念は、垂直方向における伸張・規模を意味することが可能である。「高さ」、「幅」及び「長さ」は、他の任意の、例えば傾斜した寸法・大きさ方向に関することも可能である。   Even in this embodiment, which is based on a relatively simple geometry, it is possible to ensure complete coverage of the opening by the opposing unit. The concepts of “height”, “width” and “length” simply relate to the extension and scale of the opening and the opposing unit in different directions (German: Ausdehungen). In particular, the concept of “height” is not limited to the vertical dimension / size direction, and also means, for example, the dimension / size in the horizontal direction. At that time, in such a case, the concept of “width” can mean expansion / scale in the vertical direction. “Height”, “width”, and “length” may be related to other arbitrary, for example, tilted dimensions and size directions.

組立向きにおいて、対向ユニットの最大幅及び長さは、板形状の要素によって定義されることが可能である。換言すると、対向ユニットは、(対向ユニットに)他のコンポーネントが存在する限り、幅及び長さにおいて、対向ユニットの他のコンポーネントよりも大きい板形状の要素を有することが可能である。最大高さは、この場合、板形状の要素の厚さと共に、該厚さの寸法・大きさ方向における別のコンポーネントの寸法・大きさの合算により定義される。   In assembly orientation, the maximum width and length of the opposing unit can be defined by a plate-shaped element. In other words, the opposing unit can have plate-like elements that are larger in width and length than the other components of the opposing unit as long as there are other components (in the opposing unit). The maximum height is in this case defined by the sum of the thickness of the plate-shaped element and the size / size of another component in the direction of the thickness.

一つの実施形においては、板形状の要素は、少なくとも基本的に長方形である。対向ユニットの製造は、これによって簡易化される。   In one embodiment, the plate-shaped elements are at least essentially rectangular. The production of the counter unit is thereby simplified.

板形状の要素は、キャリアプレートであることが可能である。キャリアプレートは、対向ユニットの一又は複数のコンポーネントを担持する。別のコンポーネントは、例えば、比較的簡単な部材、例えば一又は複数の接続要素のようなもの、又は複雑な装置、例えば機能ユニットの為の制御ユニットのようなものを含むことが可能である。コンポーネントは、キャリアプレートに其々長期にわたって、又は解除不能に固定されていることが可能である。   The plate-shaped element can be a carrier plate. The carrier plate carries one or more components of the opposing unit. Other components can include, for example, relatively simple members, such as one or more connecting elements, or complex devices, such as a control unit for a functional unit. The components can be fixed to the carrier plate for a long period of time or unreleasably, respectively.

別の一つの実施形においては、キャリアプレートは、線と(又は線によって)接続されている、導体板又は基盤(又は金属シート、独語:Platine)として形成されている。導体板又は基盤は、その際、別の線機能の為に形成されている、及び/又は、例えば演算ユニット又は制御ユニットのような別のコンポーネントを有している、及び/又は、電気的に接続することが可能である。   In another embodiment, the carrier plate is formed as a conductor plate or substrate (or metal sheet, German) connected to (or by) the line. The conductor plate or the substrate is then formed for another line function and / or has another component, for example a computing unit or a control unit, and / or electrically It is possible to connect.

対向ユニットは、線と(線によって)接続される少なくとも一つの接続コネクターを有することが可能である。これには、機能ユニットと接続すべき別の機能ユニットが接続可能である。これによって、対向ユニットは、比較的小さく形成されることが可能である。というのは、追加的に必要なコンポーネントが、ある意味、別の機能ユニット内に、「アウトソース」されることが可能だからである。よって、ハウジング壁内に、小さな開口部のみが必要であり、これを通して比較的小さな対向ユニットのみが貫通案内される必要がある。しばしばぎりぎりである真空ポンプ内の構造空間が、これによってより良好に利用されることが可能である。別の機能ユニットは、例えば制御ユニット、及び/又は、機能ユニットの為の、電源部材等であって、モーターの為のものをハウジング内に有することが可能である。   The opposing unit may have at least one connection connector connected to the line (by the line). To this, another functional unit to be connected to the functional unit can be connected. As a result, the opposing unit can be formed relatively small. This is because the additional required components can be “outsourced” in some sense in another functional unit. Therefore, only a small opening is required in the housing wall, and only a relatively small counter unit needs to be guided through it. The structural space within the vacuum pump, which is often marginal, can thereby be better utilized. Another functional unit may be a power supply member for the control unit and / or functional unit, for example, for the motor, in the housing.

接続コネクターは、例えば、別の機能ユニットのジャック又はプラグの為の、プラグ又はジャックとして形成されていることが可能である。接続コネクターは、対向ユニットの作動向きにおける外側の面に設けられ、そして、対向ユニットの内側面において線と(線によって)接続されていることが可能である。接続コネクターは、特に対向ユニットの導体板と組み合わせることが可能である。その際、接続コネクターは、少なくとも一つのピンを有することが可能である。このピンは、導体板を通って貫通案内され、そして導体板の内側の面において線とはんだ付けされる。代替的に、又は追加的に、接続コネクターは、導体板の外側に存在する表面に取り付けられていることが可能であり、そして導体経路によって導体板の内側の面と接続され、そしてそこで線と接続されていることが可能である。   The connection connector can be formed as a plug or jack, for example for a jack or plug of another functional unit. The connecting connector is provided on the outer surface in the operating direction of the opposing unit, and can be connected to the line (by the line) on the inner surface of the opposing unit. The connection connector can be combined with the conductor plate of the opposing unit. In this case, the connection connector can have at least one pin. This pin is guided through the conductor plate and soldered to the wire on the inner surface of the conductor plate. Alternatively or additionally, the connection connector can be attached to a surface that lies outside the conductor plate and is connected to the inner surface of the conductor plate by a conductor path, where It can be connected.

他の実施形においては、対向ユニットはハウジング壁にねじ留めされている。これによって、対向ユニットのハウジング壁との簡単かつ解除可能な接続が保証される。   In other embodiments, the opposing unit is screwed to the housing wall. This ensures a simple and releasable connection with the housing wall of the opposing unit.

対向ユニットとハウジング壁の間には、シールが設けられていることが可能である。   A seal can be provided between the opposing unit and the housing wall.

一つの実施形においては、ハウジング壁及び/又は対向ユニットは、シールを収容するための凹部を有する。この凹部内には、シール、例えばОリングが確実に固定可能であり、そして例えば、ハウジング壁への対向ユニットのねじ留めによって、定義された圧縮が可能である。必要なシール作用を達成するためである。   In one embodiment, the housing wall and / or the opposing unit has a recess for receiving the seal. Within this recess, a seal, for example an O-ring, can be securely fixed and a defined compression is possible, for example, by screwing the opposing unit onto the housing wall. This is to achieve a necessary sealing action.

線はフレキシブルであることが可能である。対向ユニットは、これによって特別簡単に開口部を通して通過案内されることが可能である。特に、線は、一又は複数のケーブルを含む。これらは、其々一又は複数の心線を有することが可能である。   The line can be flexible. The counter unit can thereby be guided through the opening in a particularly simple manner. In particular, the line includes one or more cables. Each of these can have one or more core wires.

一つの発展形においては、線は対向ユニットと解除不能に接続されている。線は、対向ユニットと例えばはんだ付けされ及び/又は鋳出されている。これによって接続の安定性と、外部の影響からの保護が改善される。   In one development, the line is irreversibly connected to the opposing unit. The wire is for example soldered and / or cast with the opposing unit. This improves connection stability and protection from external influences.

課題は更に、請求項15に記載の真空ポンプの製造のための方法によって解決される。これは例えば、装置の上述した実施形に相当して更に改善されることが可能である。   The problem is further solved by a method for the manufacture of a vacuum pump according to claim 15. This can be further improved, for example, corresponding to the above-described embodiment of the device.

別の実施形は、従属請求項、明細書及び図面に記載されている。   Further embodiments are described in the dependent claims, the description and the drawings.

本発明を以下に簡略図を参照しつつ、単に例示的に説明する。   The invention will now be described by way of example only with reference to the simplified drawings.

対向ユニットおよびこれと接続される発明に従う機能ユニットの図Illustration of the opposing unit and the functional unit according to the invention connected to it 対向ユニットの側面図Side view of opposing unit 対向ユニットの背面図Rear view of the opposing unit ハウジング壁内の開口部を有する発明に係るハウジングの一部の図Figure 2 is a partial view of a housing according to the invention having an opening in the housing wall. 組立向きにおいて開口部を通って通過案内された対向ユニットの図View of the opposing unit guided through the opening in assembly 作動向きにおいてハウジング壁に固定されている対向ユニットの図Illustration of the opposing unit fixed to the housing wall in the working orientation 対向ユニット14と開口部20の大きさの比率の図The ratio of the size of the opposing unit 14 and the opening 20

図1には、機能ユニット12と対向ユニット14(独語:Gegeneinheit)が表されている。これらは、三つの線(独語:Leitungen)を介して接続されている。機能ユニット12は、例えば真空ポンプのモーターを有する。対向ユニット14は、導板として形成されたキャリアプレート22を有している。キャリアプレートは、接続コネクター24を担持している。接続コネクター(独語:Anschlussverbinder)24は、別の機能ユニット(例えば、真空ポンプのモーターの為の制御装置のようなもの)のプラグ(独語:Stecker)の為のソケット(独語:Buchse)として形成されている。三つの線16は、それぞれ接続コネクター24のジャックの接触点と接続されており、例えば、モーターの電気的駆動の各フェーズに割り当てられている。   In FIG. 1, a functional unit 12 and a counter unit 14 (German: Gegeneinheit) are shown. These are connected via three lines (German: Leitungen). The functional unit 12 has, for example, a vacuum pump motor. The opposing unit 14 has a carrier plate 22 formed as a conductive plate. The carrier plate carries the connection connector 24. The connecting connector (German: Anchorverbinder) 24 is formed as a socket (German: Buchse) for a plug (German: Sticker) of another functional unit (such as a controller for a vacuum pump motor). ing. The three lines 16 are respectively connected to the contact points of the jack of the connection connector 24, and are assigned to, for example, each phase of electric drive of the motor.

キャリアプレート22は、長方形形状を有しており、その四つの角は、対向ユニット14のより良好な取扱いの為に丸められている。角の近傍では、キャリアプレート22は、四つの貫通穴28を有している。これらを通して、対向ユニットの固定の為の各ねじが貫通させられることが可能である。   The carrier plate 22 has a rectangular shape, and its four corners are rounded for better handling of the opposing unit 14. In the vicinity of the corner, the carrier plate 22 has four through holes 28. Through these, each screw for fixing the opposing unit can be passed through.

図1においては、対向ユニット14が、作動向きに関するその外側の面とともに示されている。「作動向き」とは、これ(対向ユニット)が、図6に示されているように、ハウジング10のハウジング壁18に固定されている状態における対向ユニットの配置を意味する。換言すると、「作動向き」の概念は、真空ポンプの運転の間のハウジング10に対する相対的な対向ユニットの向きに関する。キャリアプレート22の図1に示された内側面は、よって作動向きにおいて、ハウジング10の内部の方に向けられている。一方で、キャリアプレート22の外側の面は、図6に示されているように、ハウジング10と反対の方に向けられている。   In FIG. 1, the opposing unit 14 is shown with its outer surface with respect to the working orientation. “Operating direction” means the arrangement of the opposing unit in a state in which this (opposing unit) is fixed to the housing wall 18 of the housing 10 as shown in FIG. 6. In other words, the concept of “operating orientation” relates to the orientation of the opposing unit relative to the housing 10 during operation of the vacuum pump. The inner surface shown in FIG. 1 of the carrier plate 22 is thus directed towards the interior of the housing 10 in the working orientation. On the other hand, the outer surface of the carrier plate 22 is directed away from the housing 10, as shown in FIG.

図2は、対向ユニット14を側面図として示す。接続コネクター24は、キャリアプレート22の(ここでは上側の)外側の面に固定されている。キャリアプレート22の(ここでは下側の)内側の面においては、複数の線16が発している。これら線は、ここでは表されていない機能ユニット12へと通じている。接続コネクター24は、キャリアプレート22を通って線16と電気的に接続されている。   FIG. 2 shows the opposing unit 14 as a side view. The connection connector 24 is fixed to the outer surface (here, the upper side) of the carrier plate 22. On the inner surface (here, the lower side) of the carrier plate 22, a plurality of lines 16 are emitted. These lines lead to functional units 12 not represented here. The connection connector 24 is electrically connected to the line 16 through the carrier plate 22.

図3においては、対向ユニット14のキャリアプレート22の内側の面が、表されている。複数の線16は、其々、個々では覆い隠されている接続コネクター24のピン及びキャリアプレート22とはんだ付けされているので、線16及び接続コネクター24は、電気的に互いに接続されており、そしてキャリアプレート22に長期にわたって固定されている。   In FIG. 3, the inner surface of the carrier plate 22 of the opposing unit 14 is shown. Since the plurality of wires 16 are soldered to the pins of the connection connector 24 and the carrier plate 22 that are individually covered, the wires 16 and the connection connectors 24 are electrically connected to each other. And it is fixed to the carrier plate 22 for a long time.

図4は、真空ポンプのハウジング10の一部を示す。ハウジング10は、ハウジング壁18を有する。この中に、長方形の開口部20が形成されている。開口部は、シール26によって囲まれている。キャリアプレート22の貫通穴28に合うよう、ハウジング壁18は四つのねじ穴30を有する。これらの中に、対向ユニット14をハウジング壁18へと固定するための複数のねじがねじ込まれることが可能である。   FIG. 4 shows a portion of the housing 10 of the vacuum pump. The housing 10 has a housing wall 18. In this, a rectangular opening 20 is formed. The opening is surrounded by a seal 26. The housing wall 18 has four screw holes 30 to fit the through holes 28 of the carrier plate 22. In these, a plurality of screws for fixing the opposing unit 14 to the housing wall 18 can be screwed.

図5内には、対向ユニット14が、組立向きで、ハウジング10のハウジング壁18の開口部20を通してどのように貫通させられるかが示されている。対向ユニット14は、その際、側方から、その長手方向軸に沿って、開口部22の延在平面に対して垂直に、開口部22を通って貫通させられており、特に、貫通シフトされている(独語:hindurchgeschoben wird)。   In FIG. 5, it is shown how the opposing unit 14 can be passed through the opening 20 in the housing wall 18 of the housing 10 for assembly. The opposing unit 14 is then penetrated through the opening 22 from the side, along its longitudinal axis, perpendicular to the plane of extension of the opening 22, in particular through-shifting. (German: Hindu Gescheben wild).

対向ユニット14が完全に開口部20を通って貫通させられた後、対向ユニット14は、図6に表されているように、その作動向きにおいて、ねじ32でもってハウジング壁にねじ留めされる。その際、キャリアプレート22の内側の面は、開口部20を覆い、そしてシール26は、キャリアプレート22の内側の面と係合状態とされるので、シールは、ハウジング10の内部を効率的にシールする。   After the opposing unit 14 is completely penetrated through the opening 20, the opposing unit 14 is screwed to the housing wall with screws 32 in its operational orientation, as represented in FIG. In doing so, the inner surface of the carrier plate 22 covers the opening 20 and the seal 26 is engaged with the inner surface of the carrier plate 22, so that the seal efficiently moves inside the housing 10. Seal.

図6および7内には、対向ユニット14と開口部20の大きさの比率が表されている。これは、対向ユニット14が組立向きにおいて開口部20を貫通可能であること、しかし開口部20を作動向きにおいては覆うことを可能とする。このため図7には図5の開口部20が拡大して表されている。   6 and 7, the ratio of the size of the opposing unit 14 and the opening 20 is shown. This allows the opposing unit 14 to penetrate the opening 20 in the assembly direction, but cover the opening 20 in the operating direction. Therefore, FIG. 7 shows the opening 20 of FIG. 5 in an enlarged manner.

対向ユニット14は、長さLを有する。この長さは、キャリアプレート22の長方形形状の二つの短い面の間隔によって定義されている。図7より見て取れるように、対向ユニット14は、キャリアプレート22の長方形形状の両方の長い面の間隔によって定義されている最大幅aを有する。対向ユニット14の最大高さbは、対向ユニット14の垂直方向の全ての伸張・規模によって、つまり、接続コネクター24、キャリアプレート22及び線16を含めた伸張・規模によって定義されている。開口部20の幅cは、水平方向における長方形の開口部の幅、または換言すると開口部20の長方形形状の短い面の間隔を意味する。開口部20の長方形形状の長い面の間隔は、開口部20の高さを定義する。   The facing unit 14 has a length L. This length is defined by the distance between two short surfaces of the rectangular shape of the carrier plate 22. As can be seen from FIG. 7, the opposing unit 14 has a maximum width a defined by the spacing of both long sides of the rectangular shape of the carrier plate 22. The maximum height b of the opposing unit 14 is defined by all the extension / scales of the opposing unit 14 in the vertical direction, that is, the extension / scale including the connection connector 24, the carrier plate 22 and the line 16. The width c of the opening 20 means the width of the rectangular opening in the horizontal direction, or in other words, the interval between the rectangular short surfaces of the opening 20. The interval between the long rectangular surfaces of the opening 20 defines the height of the opening 20.

対向ユニット14の最大幅aは、開口部20の幅cよりも小さく、そして対向ユニット14の最大高さbは開口部20の高さdよりも小さい。対向ユニット14の最大幅aは、しかし、開口部20の高さよりも大きく、そして対向ユニット14の長さlは、開口部20の幅cよりも大きい。よって、図6に表されているように、対向ユニット14は開口部20を完全に覆う。   The maximum width a of the facing unit 14 is smaller than the width c of the opening 20, and the maximum height b of the facing unit 14 is smaller than the height d of the opening 20. However, the maximum width a of the opposing unit 14 is larger than the height of the opening 20, and the length l of the opposing unit 14 is larger than the width c of the opening 20. Therefore, as shown in FIG. 6, the facing unit 14 completely covers the opening 20.

示された実施形においては、キャリアプレート22は、その延在平面が、開口部20の長方形形状の長い面に対して基本的に平行に向けられているよう、対向ユニット14が、開口部20を貫通案内される。対向ユニット14および開口部20に対しては、楕円形状、平行四辺形状の形状、または不規則な形状のような他の形状のみならず考え得る。対向ユニット14は、平行と異なる組立向きで開口部20を貫通させられることも可能である。よって、対向ユニット14は、例えば、対角に方向に、及び/又は傾斜して、開口部20の長方形形状を貫通案内されることが可能である。   In the embodiment shown, the carrier plate 22 is arranged so that the opposing unit 14 has the opening 20 such that its extending plane is oriented essentially parallel to the long rectangular surface of the opening 20. Is guided through. For the facing unit 14 and the opening 20, not only other shapes such as an elliptical shape, a parallelogram shape, or an irregular shape can be considered. The opposing unit 14 can be made to penetrate the opening 20 in an assembly direction different from parallel. Therefore, the opposing unit 14 can be guided through the rectangular shape of the opening 20 in a diagonally and / or inclined manner, for example.

10 ハウジング
12 機能ユニット
14 対向ユニット
16 線
18 ハウジング壁
20 開口部
22 キャリアプレート
24 接続コネクター
26 シール
28 貫通穴
30 ねじ穴
32 ねじ
a 対向ユニットの最大幅
b 対向ユニットの最大高さ
c 開口部の幅
d 開口部の高さ
l 対向ユニットの長さ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Housing 12 Functional unit 14 Opposing unit 16 Line 18 Housing wall 20 Opening part 22 Carrier plate 24 Connection connector 26 Seal 28 Through hole 30 Screw hole 32 Screw a Maximum width of opposing unit b Maximum height of opposing unit c Opening width d Opening height l Opposite unit length

Claims (15)

ハウジング(10)、
ハウジング(10)内に設けられた少なくとも一つの機能ユニット(12)、及び
ハウジング(10)の外に設けられた少なくとも一つの対向ユニット(14)を有し、この対向ユニットが、少なくとも一つの線(16)を介して機能ユニット(12)と電気的に及び/又は情報技術的に接続されており、
その際、線(16)が、ハウジング壁(18)内に形成された開口部(20)を貫通して推移しており、
その際、対向ユニット(14)が、作動向きにおいて、ハウジング壁(18)に外側に取り付けられており、そして開口部(20)を覆っており、そして、
その際、開口部(20)及び対向ユニット(14)が、その寸法に関して、対向ユニット(14)が、作動向きと異なる組立向きにおいて、開口部(20)を通って貫通案内可能であるよう互いに合わせられていることを特徴とする真空ポンプ。
Housing (10),
At least one functional unit (12) provided in the housing (10) and at least one opposing unit (14) provided outside the housing (10), the opposing unit comprising at least one line Electrically and / or information-technically connected to the functional unit (12) via (16),
In doing so, the line (16) has passed through the opening (20) formed in the housing wall (18),
In this case, the opposing unit (14) is mounted outwardly on the housing wall (18) in the working orientation and covers the opening (20), and
In this case, the opening (20) and the opposing unit (14) are mutually connected so that the opposing unit (14) can be guided through the opening (20) in an assembly direction different from the operating direction with respect to its dimensions. A vacuum pump characterized by being combined.
開口部(20)が、円形状と異なることを特徴とする請求項1に記載の装置。 Device according to claim 1, characterized in that the opening (20) differs from a circular shape. 開口部(20)が、少なくとも基本的に長方形形状又は正方形形状を有することを特徴とする請求項1または2に記載の装置。 Device according to claim 1 or 2, characterized in that the opening (20) has at least essentially a rectangular or square shape. 対向ユニット(14)が、組立向きにおいて最大幅(a)、最大高さ(b)、及び、開口部(20)の平面に対して垂直に推移する長さ(l)を有し、
その際、対向ユニット(14)の最大幅(a)が、開口部(20)の幅(c)よりも小さく、そして対向ユニット(14)の最大高さ(b)が、開口部(20)の高さ(d)よりも小さく、
その際、対向ユニット(14)の最大幅(a)が、開口部(14)の高さ(d)より大きく、そして、
その際、対向ユニット(14)の長さ(l)が、開口部(20)の幅(c)よりも大きいことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の装置。
The opposing unit (14) has a maximum width (a), a maximum height (b) and a length (l) that moves perpendicular to the plane of the opening (20) in the assembly direction;
At that time, the maximum width (a) of the opposing unit (14) is smaller than the width (c) of the opening (20), and the maximum height (b) of the opposing unit (14) is set to the opening (20). Less than the height (d) of
At that time, the maximum width (a) of the opposing unit (14) is larger than the height (d) of the opening (14), and
4. The device according to claim 1, wherein the length (l) of the opposing unit (14) is greater than the width (c) of the opening (20).
組立向きにおいて、対向ユニット(14)の最大幅(a)及び長さ(l)が、板形状の要素(22)によって定義されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の装置。 5. The assembly according to claim 1, wherein the maximum width (a) and length (l) of the opposing unit (14) is defined by a plate-shaped element (22) in assembly direction. The device described in 1. 板形状の要素(22)が、少なくとも基本的に長方形状または正方形状であることを特徴とうする請求項5に記載の装置。 6. Device according to claim 5, characterized in that the plate-shaped element (22) is at least essentially rectangular or square. 板形状の要素が、対向ユニット(14)の一又は複数の別のコンポーネントを担持するキャリアプレート(22)であることを特徴とする請求項5または6に記載の装置。 Device according to claim 5 or 6, characterized in that the plate-shaped element is a carrier plate (22) carrying one or more other components of the opposing unit (14). キャリアプレート(22)が、線(16)と接続されている導体板として又は基盤として形成されていることを特徴とする請求項7に記載の装置。 8. Device according to claim 7, characterized in that the carrier plate (22) is formed as a conductor plate or as a base connected to the line (16). 対向ユニット(14)が、線(16)と接続された少なくとも一つの接続コネクター(24)を有し、この接続コネクターに、機能ユニット(12)と接続される別の機能ユニットが接続可能であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の装置。 The opposing unit (14) has at least one connection connector (24) connected to the line (16), and another functional unit connected to the functional unit (12) can be connected to the connection connector. A device according to any one of the preceding claims, characterized in that 対向ユニット(14)が、ハウジング壁(18)にねじ留めされていることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の装置。 10. A device according to any one of the preceding claims, characterized in that the counter unit (14) is screwed to the housing wall (18). 対向ユニット(14)とハウジング壁(18)の間にシール(26)が設けられていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の装置。 11. A device according to any one of the preceding claims, characterized in that a seal (26) is provided between the opposing unit (14) and the housing wall (18). ハウジング壁(18)及び/又は対向ユニット(14)が、シール(18)を収容するための凹部を有することを特徴とする請求項11に記載の装置。 12. Device according to claim 11, characterized in that the housing wall (18) and / or the counter unit (14) has a recess for receiving a seal (18). 線(16)がフレキシブルであることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の装置。 Device according to any one of the preceding claims, characterized in that the line (16) is flexible. 線(16)が、対向ユニット(14)と解除不能に接続されていることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の装置。 14. A device according to any one of the preceding claims, characterized in that the line (16) is irreversibly connected to the opposing unit (14). ハウジング(10)及びハウジング(10)の内部に設けるべき少なくとも一つの機能ユニット(12)を有する真空ポンプの製造の為の方法であって、機能ユニットに対して真空ポンプの作動中、ハウジング(10)の外側から電気的及び/又は情報技術的接続が存在し、その際、本方法が以下のステップ、つまり、
ハウジング(10)内に機能ユニット(12)を設ける前に、機能ユニット(12)が、少なくとも一つの線(16)を介して対向ユニット(14)と電気的及び/又は情報技術的に接続される、
機能ユニット(12)が、ハウジング(10)内に設けられ、そして対向ユニット(14)がハウジング(10)の内部から、ハウジング壁(18)に形成された開口部(20)を貫通して外に向かって案内される、
対向ユニット(14)が、外側からハウジング壁(18)に作動向きで取り付けられ、当該作動向きにおいては対向ユニット(14)は開口部(20)を覆っている、
開口部(20)及び対向ユニット(14)は、その寸法に関して、対向ユニット(14)が、作動向きと異なる組立向きにおいて開口部(20)を貫通案内されることが可能であるよう合わせられる、
というステップを有することを特徴とする方法。
A method for the manufacture of a vacuum pump having a housing (10) and at least one functional unit (12) to be provided inside the housing (10), wherein the housing (10 ) From outside the electrical and / or information technology connection, in which case the method comprises the following steps:
Prior to providing the functional unit (12) in the housing (10), the functional unit (12) is electrically and / or information-technically connected to the opposing unit (14) via at least one line (16). The
A functional unit (12) is provided in the housing (10), and an opposing unit (14) extends from the inside of the housing (10) through the opening (20) formed in the housing wall (18). Guided to the
A counter unit (14) is attached to the housing wall (18) in an operating direction from the outside, and the counter unit (14) covers the opening (20) in the operating direction.
The opening (20) and the opposing unit (14) are adapted with respect to their dimensions so that the opposing unit (14) can be guided through the opening (20) in an assembly orientation different from the operating orientation.
A method comprising the steps of:
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