JP2016191745A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents

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龍一 松浦
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a colored photosensitive resin composition capable of maintaining high yield and providing a high-definition color filter with preferable luminosity.SOLUTION: There is provided a colored photosensitive resin composition comprising: a coloring agent (A); a resin (B); a polymerizable compound (C); and a polymerization initiator (D), in which the coloring agent (A) is a polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) which comprises less than 13 pieces of bromine in average in one molecule, and comprises a wavelength of 500-520 nm at which transmittance of a spectral transmittance spectrum in 380-780 nm becomes maximum, and the polymerization initiator (D) is an O-acyloxime compound.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、緑色の着色感光性樹脂組成物に関するものであり、特に着色剤(A)として特定の構成を有するポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(以下、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)という場合がある。)、及び重合開始剤(D)としてO−アシルオキシム化合物を含む着色感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a green colored photosensitive resin composition, and in particular, may be referred to as polyhalogenated zinc phthalocyanine (hereinafter referred to as polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1)) having a specific configuration as a colorant (A). And a colored photosensitive resin composition containing an O-acyl oxime compound as a polymerization initiator (D).

近年、表示ディスプレイは表示することができる色再現域を広げる為の開発が進められており、その一環としてカラーフィルタも、より濃色なものが求められている。その要求を満たす為には、カラーフィルタ中の色材濃度を上げる方法が挙げられるが、色材濃度が上昇すると、パターン形状の悪化など、着色感光性樹脂組成物としての性能が悪化することから好ましくない。また、目的の色特性を持たせる為には、カラーフィルタを厚膜にして作製する必要があるが、液晶表示装置に適用する場合には、隣接画素との光の混色が発生するため、厚膜化も好ましくない。   In recent years, display displays have been developed to widen the color gamut that can be displayed, and as part of this, color filters having a darker color are required. In order to satisfy the requirement, there is a method of increasing the color material concentration in the color filter. However, when the color material concentration increases, the performance as a colored photosensitive resin composition deteriorates, such as the deterioration of the pattern shape. It is not preferable. In addition, in order to have the desired color characteristics, it is necessary to produce a color filter with a thick film. However, when applied to a liquid crystal display device, a color mixture of light with adjacent pixels occurs. Membrane formation is also not preferable.

特許文献1には、濃色な緑色のカラーフィルタを設計するために、C.I.ピグメントグリーンG58とC.I.ピグメントブルー15:3とC.I.ピグメントイエロー150などを含む着色剤、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤及び溶剤を含む緑色感光性樹脂組成物が記載されている。   In Patent Document 1, C.I. I. Pigment Green G58 and C.I. I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. A green photosensitive resin composition containing a colorant containing CI Pigment Yellow 150, a resin, a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator and a solvent is described.

特開2012−247539号公報JP 2012-247539 A

本発明者らが検討したところ、カラーレジスト用のパターン基板の作製に際し、現像液に基板を浸漬して現像する工程において、基板に塗布された未露光部の着色感光性樹脂組成物が、ガラス基板から剥離し、剥離片が他の画素へ付着するという課題が認められた。剥離片が他の画素へ付着してしまうと、正常なカラーフィルタが得られないために、歩留まりが極端に低下し、問題である。また露光部においても、現像工程で露光部が剥がれたり溶解したりして、パターン形状が残らないという問題も生じていた。   As a result of studies by the present inventors, in the step of developing a color resist pattern substrate by immersing the substrate in a developing solution and developing it, the colored photosensitive resin composition of the unexposed portion applied to the substrate is glass. The problem of peeling from the substrate and adhesion of the peeled pieces to other pixels was recognized. If the peeled piece adheres to other pixels, a normal color filter cannot be obtained, and the yield is extremely reduced, which is a problem. Also in the exposed area, the exposed area is peeled off or dissolved in the development process, causing a problem that the pattern shape does not remain.

そこで本発明は、高い歩留まりを保ったまま、良好な明度を有する高精細カラーフィルタの提供が可能な着色感光性樹脂組成物を提供することを課題として掲げた。   Therefore, the present invention has been made as an object to provide a colored photosensitive resin composition capable of providing a high-definition color filter having good brightness while maintaining a high yield.

本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、着色感光性樹脂組成物において、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)とO−アシルオキシム化合物を組み合わせると、上記課題を解決可能な着色感光性樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors solved the above problems by combining a polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) and an O-acyloxime compound in a colored photosensitive resin composition. The present inventors have found that a possible colored photosensitive resin composition can be obtained and completed the present invention.

すなわち、本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、以下の点に要旨を有するものである。
[1]着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、
前記着色剤(A)として、一分子中に臭素を平均13個未満含有し、且つ、380〜780nmにおける分光透過率スペクトルの透過率が最大となる波長が500〜520nmであるポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)を含み、
前記重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
[2]更に第2の着色剤として顔料及び/または染料を含む[1]に記載の着色感光性樹脂組成物。
[3]前記ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料、黄色顔料、及び青色顔料からなる群より選択される少なくとも1種以上を第2の着色剤として含む[2]に記載の着色感光性樹脂組成物。
[4]前記O−アシルオキシム化合物として、下記式(d1)、(d2)、及び(d3)からなる群より選択される少なくとも1種以上を含む[1]〜[3]のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
That is, the colored photosensitive resin composition according to the present invention has a gist in the following points.
[1] Including a colorant (A), a resin (B), a polymerizable compound (C) and a polymerization initiator (D),
As the colorant (A), a polyhalogenated zinc phthalocyanine containing less than 13 bromine on average in one molecule and having a wavelength of 500 to 520 nm at which the transmittance of the spectral transmittance spectrum at 380 to 780 nm is maximum. Including (a1),
A colored photosensitive resin composition comprising an O-acyloxime compound as the polymerization initiator (D).
[2] The colored photosensitive resin composition according to [1], further including a pigment and / or a dye as the second colorant.
[3] The colored photosensitive composition according to [2], comprising at least one selected from the group consisting of a green pigment, a yellow pigment, and a blue pigment other than the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) as a second colorant. Resin composition.
[4] Any one of [1] to [3], which includes at least one selected from the group consisting of the following formulas (d1), (d2), and (d3) as the O-acyloxime compound. The colored photosensitive resin composition described in 1.

[式(d1)〜(d3)中、
d1は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基、置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキル基、または芳香族炭化水素基と該アルキル基から導かれるアルカンジイル基とを組み合わせた、置換基を有していてもよい基を表し、前記アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−、−S−、−SO2−又は−NRd5−に置き換わっていてもよい。
d2は、炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、炭素数3〜36の複素環基又は炭素数1〜10のアルキル基を表す。
d3は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基を表す。
d4は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数1〜15の脂肪族炭化水素基を表し、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−又は−S−に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチン基(−CH<)は、−PO3<に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子はOH基で置換されていてもよい。
d5は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。]
[5]更に、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物及びチオール化合物(T)からなる群より選ばれる少なくとも1種以上を含む[1]〜[4]のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
[6]更に、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤から選ばれる少なくとも1種のレベリング剤(F)を含む[1]〜[5]のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
[7][1]〜[6]のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
[8][1]〜[6]のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
[9][8]に記載のカラーフィルタを含む表示装置。
[In the formulas (d1) to (d3),
R d1 has an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, and a substituent. Represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group derived from the alkyl group, which may have a substituent; The contained methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O—, —CO—, —S—, —SO 2 — or —NR d5 —.
R d2 represents an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
R d3 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms.
R d4 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms; The methylene group (—CH 2 —) contained in the aromatic hydrocarbon group may be replaced by —O—, —CO— or —S—, and the methine group (—CH < ) May be replaced with —PO 3 <, and the hydrogen atom contained in the aliphatic hydrocarbon group may be substituted with an OH group.
R d5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the methylene group (—CH 2 —) contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—. ]
[5] Any one of [1] to [4], further including at least one selected from the group consisting of alkylphenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, acylphosphine oxide compounds, and thiol compounds (T). The colored photosensitive resin composition described in 1.
[6] Any one of [1] to [5], further comprising at least one leveling agent (F) selected from silicone surfactants, fluorine surfactants, and silicone surfactants having fluorine atoms. 2. The colored photosensitive resin composition according to item 1.
[7] A coating film formed using the colored photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].
[8] A color filter formed using the colored photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].
[9] A display device including the color filter according to [8].

本発明によれば、着色感光性樹脂組成物中において、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)とオキシム化合物とを組み合わせて使用することにより、高い歩留まりを保ったまま、良好な明度を有する高精細カラーフィルタの提供が可能な着色感光性樹脂組成物が得られる。   According to the present invention, a high-definition color having good brightness while maintaining a high yield by using a combination of a polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) and an oxime compound in a colored photosensitive resin composition. A colored photosensitive resin composition capable of providing a filter is obtained.

本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、前記着色剤(A)として、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)を含み、前記重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物を含むことを特徴とする。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更に溶剤(E)を含むことが好ましい。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更にチオール化合物(T)を含むことが好ましい。
また本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、更にレベリング剤(F)を含むことが好ましい。
なお本明細書において各成分として例示する化合物は、特に断りのない限り、単独で、又は、複数種を組み合わせて使用することができる。
The colored photosensitive resin composition according to the present invention includes a colorant (A), a resin (B), a polymerizable compound (C), and a polymerization initiator (D), and the colorant (A) is a polyhalogenated compound. It contains zinc phthalocyanine (a1) and contains an O-acyloxime compound as the polymerization initiator (D).
The colored photosensitive resin composition according to the present invention preferably further contains a solvent (E).
The colored photosensitive resin composition according to the present invention preferably further contains a thiol compound (T).
Moreover, it is preferable that the colored photosensitive resin composition which concerns on this invention contains a leveling agent (F) further.
In addition, unless otherwise indicated, the compound illustrated as each component in this specification can be used individually or in combination of multiple types.

<着色剤(A)>
本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)として、一分子中に臭素を平均13個未満含有し、且つ、380〜780nmにおける分光透過率スペクトルの透過率が最大となる波長が500〜520nmであるポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)を必須成分として含む。ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、同じくポリハロゲン化亜鉛フタロシアニンに相当する公知のC.I.ピグメントグリーン58の臭素の付加数を変更することによって製造可能であり、例えば、特許4368157号に記載の方法などで製造することができる。
<Colorant (A)>
The colored photosensitive resin composition according to the present invention contains, as a colorant (A), an average of less than 13 bromine atoms in one molecule and a wavelength at which the transmittance of the spectral transmittance spectrum at 380 to 780 nm is maximized. The polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) having a thickness of 500 to 520 nm is contained as an essential component. The polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is a known C.I. I. It can be produced by changing the number of bromine added to CI Pigment Green 58, for example, by the method described in Japanese Patent No. 4368157.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、公知のC.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン58とは、分子中の臭素の数、及び透過率が最大となる波長の点で区別できる。C.I.ピグメントグリーン7は、塩素化銅フタロシアニンであり、分子中に臭素を有さず、C.I.ピグメントグリーン58分子中には臭素が平均14個含まれる。また透過率スペクトルの最大値が90%となる塗膜を作製した場合、C.I.ピグメントグリーン58は、520nm超〜530nmの範囲で最大の透過率を示し、570〜575nmの範囲で50%の透過率を示す。一方、本発明において必須のポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、500〜520nmの範囲で最大の透過率を示し、560〜565nmの範囲で50%の透過率を示す。   Polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is a known C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. It can be distinguished from the pigment green 58 in terms of the number of bromine in the molecule and the wavelength at which the transmittance is maximum. C. I. Pigment Green 7 is chlorinated copper phthalocyanine, does not have bromine in the molecule, and C.I. I. Pigment Green 58 molecule contains an average of 14 bromines. When a coating film having a maximum transmittance spectrum of 90% was prepared, C.I. I. Pigment Green 58 exhibits the maximum transmittance in the range of more than 520 nm to 530 nm and the transmittance of 50% in the range of 570 to 575 nm. On the other hand, the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) essential in the present invention exhibits the maximum transmittance in the range of 500 to 520 nm and the transmittance of 50% in the range of 560 to 565 nm.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)の一分子中に含まれる臭素の数は、平均12個以下であることが好ましく、11個以下であることがより好ましい。下限は限定されないが、1個以上であり、3個以上が好ましく、6個以上がより好ましく、8個以上が更に好ましい。   The number of bromine contained in one molecule of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is preferably 12 or less on average, and more preferably 11 or less. Although a minimum is not limited, it is 1 or more, 3 or more are preferable, 6 or more are more preferable, and 8 or more are still more preferable.

本明細書において「固形分の総量」とは、本発明の着色感光性樹脂組成物から溶剤(E)を除いた成分の合計量をいう。固形分の総量及びこれに対する各成分の含有量は、例えば、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。   In the present specification, the “total amount of solids” refers to the total amount of components obtained by removing the solvent (E) from the colored photosensitive resin composition of the present invention. The total amount of solids and the content of each component relative thereto can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography, for example.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水等による洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理等が施されていてもよい。   If necessary, the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) can be prepared by rosin treatment, surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or basic group introduced, graft treatment on the pigment surface with a polymer compound, sulfuric acid, etc. An atomization process by an atomization method or the like, a cleaning process with an organic solvent or water for removing impurities, a removal process by an ion exchange method of an ionic impurity, or the like may be performed.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、溶媒中で均一に分散した分散液の状態で使用されることが好ましく、該分散液は、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)を溶媒中で混合することにより得ることができる。必要に応じて、分散剤を混合してもよい。   The polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is preferably used in the form of a dispersion uniformly dispersed in a solvent, and the dispersion is prepared by mixing the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) in the solvent. Can be obtained. You may mix a dispersing agent as needed.

分散剤としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系及び両性の何れの分散剤であってもよく、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系等の分散剤等が挙げられる。
これらの分散剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。分散剤としては、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、フローレン(共栄社化学(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(BASF社製)、アジスパー(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)等が挙げられる。
分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料100質量部に対して、好ましくは100質量部以下であり、より好ましくは5質量部以上50質量部以下である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、顔料が溶媒中に均一に分散した顔料分散液が得られる傾向がある。
The dispersant may be any of cationic, anionic, nonionic, and amphoteric dispersants, and examples thereof include polyester-based, polyamine-based, and acrylic-based dispersants.
These dispersants may be used alone or in combination of two or more. As the dispersant, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Floren (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by BASF Corp.), Ajispur (Ajinomoto Fine Techno) (Manufactured by Co., Ltd.), Disperbyk (manufactured by Big Chemie) and the like.
When the dispersant is used, the amount used is preferably 100 parts by mass or less, more preferably 5 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the pigment. When the amount of the pigment dispersant used is in the above range, a pigment dispersion in which the pigment is uniformly dispersed in the solvent tends to be obtained.

溶媒としては、特に限定されず、本発明の着色感光性樹脂組成物における溶媒(E)と同様の溶媒が挙げられる。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、N,N−ジメチルホルムアミド等が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、3−エトキシプロピオン酸エチル等がより好ましい。
溶媒の使用量は特に限定されるものではないが、溶媒は、顔料分散液中の固形分濃度が3〜20質量%、より好ましくは5〜18質量%に調整できるように用いるとよい。
It does not specifically limit as a solvent, The solvent similar to the solvent (E) in the colored photosensitive resin composition of this invention is mentioned. Among them, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, ethyl 3-ethoxypropionate, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butanol 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, N, N-dimethylformamide and the like, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, More preferred are 3-methoxy-1-butanol, ethyl 3-ethoxypropionate and the like.
Although the usage-amount of a solvent is not specifically limited, It is good to use a solvent so that solid content concentration in a pigment dispersion liquid can be adjusted to 3-20 mass%, More preferably, it can be adjusted to 5-18 mass%.

なお着色剤(A)としては、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の第2の着色剤である顔料及び/または染料を含有していてもよい。   In addition, as a coloring agent (A), you may contain the pigment and / or dye which are 2nd coloring agents other than a polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1).

顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。
有機顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、185、194、214等の黄色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60等の青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36、58等のポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料;
が挙げられる。
Examples of the pigment include organic pigments and inorganic pigments, and compounds classified as pigments by Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists).
Examples of organic pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, Yellow pigments such as 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 185, 194, 214;
C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60; I. Violet color pigments such as CI Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Green pigments other than polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) such as CI Pigment Green 7, 36, 58;
Is mentioned.

中でも顔料としては、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料、黄色顔料、及び青色顔料からなる群より選択される少なくとも1種以上を含むことが好ましく、青色顔料は黄色顔料と共に含むのが好ましい。
ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料、黄色顔料及び青色顔料は、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、185、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6、C.I.ピグメントグリーン7、36、58が好ましい。これらの顔料は、2種以上用いてもよい。
Among them, the pigment preferably contains at least one selected from the group consisting of a green pigment other than polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1), a yellow pigment, and a blue pigment, and the blue pigment is included together with the yellow pigment. preferable.
Green pigments, yellow pigments and blue pigments other than polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) are C.I. I. Pigment yellow 138, 139, 150, 185, C.I. I. Pigment blue 15: 3, 15: 6, C.I. I. Pigment Green 7, 36, and 58 are preferable. Two or more of these pigments may be used.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水等による洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理等が施されていてもよい。また、顔料は、粒径が均一であることが好ましい。顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。   Pigments other than the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) may be a rosin treatment, a surface treatment using a pigment derivative or a pigment dispersant into which an acidic group or a basic group is introduced, a pigment by a polymer compound, etc. Even if surface grafting, atomization by sulfuric acid atomization, etc., washing with organic solvent or water to remove impurities, removal by ionic impurity ion exchange, etc. Good. The pigment preferably has a uniform particle size. By carrying out a dispersion treatment by containing a pigment dispersant, a pigment dispersion in which the pigment is uniformly dispersed in the solution can be obtained.

前記顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系等の界面活性剤等が挙げられる。前記界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、フローレン(共栄社化学(株)製)、ソルパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(BASFジャパン(株)社製)、アジスパー(登録商標)(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)等が挙げられる。これらは、それぞれ単独でも2種以上を組合せて用いることができる。   As the pigment dispersant, commercially available surfactants can be used, and silicone, fluorine, ester, cationic, anionic, nonionic, amphoteric, polyester, polyamine, acrylic, and other surface activities. Agents and the like. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines. , KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Floren (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Solpers (manufactured by Zeneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by BASF Japan K.K.), Ajisper (registered trademark) (Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.), Disperbyk (Bic Chemie Co., Ltd.) and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料に対して、好ましくは100質量%以下であり、より好ましくは5〜50質量%である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向にある。   When a pigment dispersant is used, the amount used is preferably 100% by mass or less, more preferably 5 to 50% by mass, based on the pigment. When the amount of the pigment dispersant used is in the above range, a pigment dispersion in a uniform dispersion state tends to be obtained.

染料は、特に限定されず公知の染料を使用することができ、例えば、溶剤染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等が挙げられる。染料としては、例えば、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグメント以外で色相を有するものに分類されている化合物や、染色ノート(色染社)に記載されている公知の染料が挙げられる。また、化学構造によれば、アゾ染料、シアニン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、フタロシアニン染料、アントラキノン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、アゾメチン染料、スクワリリウム染料、アクリジン染料、スチリル染料、クマリン染料、キノリン染料及びニトロ染料等が挙げられる。これらのうち、有機溶剤可溶性染料が好ましい。   The dye is not particularly limited, and a known dye can be used. Examples thereof include a solvent dye, an acid dye, a direct dye, and a mordant dye. Examples of the dye include compounds classified as those having a hue other than pigment in the color index (published by The Society of Dyers and Colorists), and known dyes described in dyeing notes (color dyeing company). It is done. Also, according to chemical structure, azo dye, cyanine dye, triphenylmethane dye, xanthene dye, phthalocyanine dye, anthraquinone dye, naphthoquinone dye, quinoneimine dye, methine dye, azomethine dye, squarylium dye, acridine dye, styryl dye, coumarin dye And dyes, quinoline dyes and nitro dyes. Of these, organic solvent-soluble dyes are preferred.

ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)の使用量は、着色剤(A)100質量%中、好ましくは5質量%以上であり、より好ましくは10質量%以上であり、更に好ましくは20質量%以上である。またポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)の使用量は、着色剤(A)100質量%中、100質量%でもよく、90質量%以下でもよく、50質量%以下でもよく、30質量%以下でもよい。
ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料を含有する場合、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料の使用量は、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)100質量部に対し、0.1質量部以上が好ましく、より好ましくは1質量部以上であり、更に好ましくは10質量部以上であり、2000質量部以下が好ましく、300質量部以下がより好ましく、100質量部以下が更に好ましい。
The amount of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) used is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and further preferably 20% by mass or more in 100% by mass of the colorant (A). is there. The amount of polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) used may be 100% by mass, 90% by mass or less, 50% by mass or less, or 30% by mass or less in 100% by mass of the colorant (A). .
When a green pigment other than the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is contained, the amount of the green pigment other than the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) is 0. 1 mass part or more is preferable, More preferably, it is 1 mass part or more, More preferably, it is 10 mass parts or more, 2000 mass parts or less are preferable, 300 mass parts or less are more preferable, 100 mass parts or less are still more preferable.

全黄色顔料の使用量は、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)100質量部に対し、1〜1000質量部が好ましく、10〜100質量部がより好ましく、20〜80質量部が更に好ましい。
全青色顔料の使用量は、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)100質量部に対し、0.001〜300質量部が好ましく、0.1〜100質量部がより好ましく、1〜20質量部が更に好ましく、特に1〜10質量部が好ましい。
The amount of all yellow pigment used is preferably 1 to 1000 parts by weight, more preferably 10 to 100 parts by weight, and still more preferably 20 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1).
The amount of all blue pigment used is preferably 0.001 to 300 parts by mass, more preferably 0.1 to 100 parts by mass, and further 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1). 1-10 mass parts is especially preferable.

着色剤(A)の合計量は、着色感光性樹脂組成物の固形分100質量%中、20〜60質量%が好ましく、より好ましくは25〜50質量%であり、更に好ましくは35〜50質量%である。   The total amount of the colorant (A) is preferably 20 to 60% by mass, more preferably 25 to 50% by mass, and further preferably 35 to 50% by mass in 100% by mass of the solid content of the colored photosensitive resin composition. %.

<樹脂(B)>
樹脂(B)は、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。樹脂(B)としては、以下の樹脂[K1]〜[K6]等が挙げられる。
樹脂[K1]不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種(a)(以下「(a)」という場合がある)と、炭素数2〜4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b)(以下「(b)」という場合がある)との共重合体。
樹脂[K2](a)と(b)と、(a)と共重合可能な単量体(c)(ただし、(a)及び(b)とは異なる。)(以下「(c)」という場合がある)との共重合体。
樹脂[K3](a)と(c)との共重合体。
樹脂[K4](a)と(c)との共重合体に(b)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K5](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K6](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させ、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂。
<Resin (B)>
The resin (B) is preferably an alkali-soluble resin. Examples of the resin (B) include the following resins [K1] to [K6].
Resin [K1] At least one (a) selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter sometimes referred to as “(a)”), and a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms And a monomer (b) (hereinafter sometimes referred to as “(b)”) having an ethylenically unsaturated bond.
Resin [K2] (a) and (b), monomer (c) copolymerizable with (a) (however, different from (a) and (b)) (hereinafter referred to as “(c)”) In some cases).
Resin [K3] Copolymer of (a) and (c).
Resin [K4] A resin obtained by reacting (b) with a copolymer of (a) and (c).
Resin [K5] A resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c).
Resin [K6] A resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c) and further reacting with a carboxylic acid anhydride.

(a)としては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3−ビニルフタル酸、4−ビニルフタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、1、4−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;
メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等の不飽和ジカルボン酸類無水物;
As (a), specifically, unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, o-, m-, and p-vinylbenzoic acid;
Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, 3-vinylphthalic acid, 4-vinylphthalic acid, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic acid, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic acid, dimethyl Unsaturated dicarboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid and 1,4-cyclohexene dicarboxylic acid;
Methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo Bicyclounsaturated compounds containing a carboxy group such as [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene;
Maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2,3,6- Unsaturated dicarboxylic acid anhydrides such as tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride);

こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル類;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性の点やアルカリ水溶液への溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
Unsaturated mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Kind;
Examples thereof include unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxy group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.
Among these, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution.

(b)は、炭素数2〜4の環状エーテル構造(例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環(オキソラン環)からなる群から選ばれる少なくとも1種)とエチレン性不飽和結合とを有する重合性化合物をいい、好ましい(b)は、炭素数2〜4の環状エーテルと(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体である。(b)がオキシ環(オキシラニル基)とエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物(以下「(b1)」という場合がある)である場合に、樹脂(B)は炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分になる。
尚、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。「(メタ)アクリロイル」及び「(メタ)アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
(B) is a polymerizable compound having a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms (for example, at least one selected from the group consisting of an oxirane ring, an oxetane ring and a tetrahydrofuran ring (oxolane ring)) and an ethylenically unsaturated bond. A compound is preferred, and (b) is preferably a monomer having a cyclic ether having 2 to 4 carbon atoms and a (meth) acryloyloxy group. When (b) is a polymerizable compound having an oxy ring (oxiranyl group) and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b1)”), the resin (B) is a cyclic group having 2 to 4 carbon atoms. It becomes an ether structure-containing component.
In the present specification, “(meth) acrylic acid” represents at least one selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. Notations such as “(meth) acryloyl” and “(meth) acrylate” have the same meaning.

(b)としては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b1)(以下「(b1)」という場合がある)、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)(以下「(b2)」という場合がある)、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)(以下「(b3)」という場合がある)等が挙げられる。   Examples of (b) include a monomer (b1) having an oxiranyl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b1)”), and a single monomer having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond. Monomer (b2) (hereinafter sometimes referred to as “(b2)”), monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b3)”), etc. Can be mentioned.

(b1)は、不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−1)(以下「(b1−1)」という場合がある)、不飽和脂環式炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−2)(以下「(b1−2)」という場合がある)が挙げられる。   (B1) is a monomer (b1-1) having a structure obtained by epoxidizing an unsaturated aliphatic hydrocarbon (hereinafter sometimes referred to as “(b1-1)”), an unsaturated alicyclic hydrocarbon And a monomer (b1-2) having a converted structure (hereinafter may be referred to as “(b1-2)”).

(b1−1)としては、グリシジル(メタ)アクリレート、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルビニルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,5−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,6−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,4−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、3,4,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン等が挙げられる。   As (b1-1), glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, β-ethylglycidyl (meth) acrylate, glycidyl vinyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p -Vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-o-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-m-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-p-vinylbenzyl glycidyl ether, 2,3-bis (glycidyloxymethyl) styrene 2,4-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,5-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,6-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,4-tris (glycidyloxymethyl) styrene 2,3,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,6-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 3,4,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,4,6- Examples include tris (glycidyloxymethyl) styrene.

(b1−2)としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(例えば、セロキサイド2000;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーA400;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーM100;ダイセル化学工業(株)製)、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物等が挙げられる。   Examples of (b1-2) include vinylcyclohexene monooxide, 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane (for example, Celoxide 2000; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate ( For example, Cyclomer A400 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate (for example, Cyclomer M100; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), represented by formula (I) Examples thereof include compounds and compounds represented by formula (II).

[式(I)及び式(II)中、Ra及びRbは、互いに独立に、水素原子、又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。
1及びX2は、互いに独立に、単結合、*−Rc−、*−Rc−O−、*−Rc−S−、又は*−Rc−NH−を表す。
cは、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。
*は、Oとの結合手を表す。]
[In Formula (I) and Formula (II), R a and R b each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the alkyl group is a hydroxy group May be substituted.
X 1 and X 2 are each independently a single bond, * - R c -, * - R c -O -, * - R c -S-, or * represents a -R c -NH-.
R c represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* Represents a bond with O. ]

炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。
水素原子がヒドロキシで置換されたアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、3−ヒドロキシプロピル基、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、1−ヒドロキシブチル基、2−ヒドロキシブチル基、3−ヒドロキシブチル基、4−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
a及びRbとしては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group.
Examples of the alkyl group in which a hydrogen atom is substituted with hydroxy include hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxypropyl group, 2-hydroxypropyl group, 3-hydroxypropyl group, 1-hydroxy Examples include a -1-methylethyl group, a 2-hydroxy-1-methylethyl group, a 1-hydroxybutyl group, a 2-hydroxybutyl group, a 3-hydroxybutyl group, and a 4-hydroxybutyl group.
R a and R b are preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group, and a 2-hydroxyethyl group, and more preferably a hydrogen atom and a methyl group.

アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−1,2−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ヘキサン−1,6−ジイル基等が挙げられる。
1及びX2としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、*−CH2−O−(*はOとの結合手を表す)基、*−CH2CH2−O−基が挙げられ、より好ましくは単結合、*−CH2CH2−O−基が挙げられる。
Examples of the alkanediyl group include methylene group, ethylene group, propane-1,2-diyl group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane- Examples include 1,6-diyl group.
X 1 and X 2 are preferably a single bond, a methylene group, an ethylene group, * —CH 2 —O— (* represents a bond to O), or * —CH 2 CH 2 —O— group. More preferably, a single bond and a * —CH 2 CH 2 —O— group are mentioned.

式(I)で表される化合物としては、式(I−1)〜式(I−15)で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式(I−1)、式(I−3)、式(I−5)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−11)〜式(I−15)が挙げられる。より好ましくは式(I−1)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−15)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (I) include compounds represented by the formula (I-1) to the formula (I-15). Preferably Formula (I-1), Formula (I-3), Formula (I-5), Formula (I-7), Formula (I-9), Formula (I-11) to Formula (I-15) Is mentioned. More preferably, Formula (I-1), Formula (I-7), Formula (I-9), and Formula (I-15) are mentioned.

式(II)で表される化合物としては、式(II−1)〜式(II−15)で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式(II−1)、式(II−3)、式(II−5)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−11)〜式(II−15)が挙げられる。より好ましくは式(II−1)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−15)が挙げられる。   Examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by the formula (II-1) to the formula (II-15). Preferably Formula (II-1), Formula (II-3), Formula (II-5), Formula (II-7), Formula (II-9), Formula (II-11) to Formula (II-15) Is mentioned. More preferably, Formula (II-1), Formula (II-7), Formula (II-9), and Formula (II-15) are mentioned.

式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式(I):式(II)で、5:95〜95:5、より好ましくは10:90〜90:10、さらに好ましくは20:80〜80:20である。   The compound represented by the formula (I) and the compound represented by the formula (II) can be used alone. They can also be mixed in any ratio. When mixing, the mixing ratio is a molar ratio, preferably 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 to 90:10, and still more preferably 20:80 in the formula (I): formula (II). ~ 80: 20.

オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)としては、オキセタニル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。(b2)としては、3−メチル−3−メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。   As the monomer (b2) having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having an oxetanyl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. (B2) includes 3-methyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-methyl-3-acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxymethyloxetane , 3-methyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, and the like.

テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)としては、テトラヒドロフリル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。(b3)としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート(例えば、ビスコートV#150、大阪有機化学工業(株)製)、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。   As the monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having a tetrahydrofuryl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. Specific examples of (b3) include tetrahydrofurfuryl acrylate (for example, Biscoat V # 150, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), tetrahydrofurfuryl methacrylate, and the like.

(c)としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート」といわれている。また、「トリシクロデシル(メタ)アクリレート」という場合がある。)、トリシクロ[5.2.1.02,6]デセン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート」といわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパルギル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−tert−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(tert−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性及び耐熱性の点から、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、スチレン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等が好ましい。また、パターン形成時の現像性に優れることから、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレートがより好ましい。
As (c), methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, Dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] Decan-8-yl (meth) acrylate (in this technical field, it is said to be “dicyclopentanyl (meth) acrylate” as a common name. It may also be referred to as “tricyclodecyl (meth) acrylate”) ), Tricyclo [ .2.1.0 2,6] (in the art, it is said that "dicyclopentenyl (meth) acrylate" as trivial name.) Decene-8-yl (meth) acrylate, dicyclopentenyl oxyethyl (Meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, etc. ) Acrylic esters;
Hydroxy group-containing (meth) acrylic acid esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;
Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] Hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2. 1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2 1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5 -Hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [ 2.2.1] Hept-2-ene, 5-cyclohexyloxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5 , 6-bis (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bis (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, etc. Bicyclounsaturated compounds;
N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -Dicarbonylimide derivatives such as maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene , Isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene and the like.
Of these, benzyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, styrene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, bicyclo [2. 2.1] hept-2-ene and the like are preferable. Moreover, since it is excellent in the developability at the time of pattern formation, benzyl (meth) acrylate and tricyclodecyl (meth) acrylate are more preferable.

樹脂[K1]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K1]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)に由来する構造単位;2〜50モル%(より好ましくは10〜45モル%)
(b)に由来する構造単位;50〜98モル%(より好ましくは55〜90モル%)
樹脂[K1]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性に優れる傾向がある。
In the resin [K1], the ratio of the structural units derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the resin [K1].
Structural unit derived from (a); 2 to 50 mol% (more preferably 10 to 45 mol%)
Structural unit derived from (b); 50 to 98 mol% (more preferably 55 to 90 mol%)
When the ratio of the structural unit of the resin [K1] is in the above range, the storage stability, developability, and solvent resistance of the resulting pattern tend to be excellent.

樹脂[K1]は、文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。   Resin [K1] is described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., 1st edition, 1st edition, published on March 1, 1972) and the document. It can be produced with reference to the cited references.

具体的には、(a)及び(b)の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で、攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。重合開始剤としては、アゾ化合物(2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)等)や有機過酸化物(ベンゾイルペルオキシド等)が挙げられ、溶剤としては、各モノマーを溶解するものであればよく、着色感光性樹脂組成物の溶剤として後述する溶剤(E)等を用いることができる。   Specifically, a predetermined amount of (a) and (b), a polymerization initiator, a solvent, and the like are charged into a reaction vessel, and stirred, heated, and kept warm in a deoxygenated atmosphere. In addition, the polymerization initiator, the solvent, and the like used here are not particularly limited, and any of those usually used in the field can be used. Examples of the polymerization initiator include azo compounds (such as 2,2′-azobisisobutyronitrile and 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile)) and organic peroxides (such as benzoyl peroxide). Any solvent may be used as long as it dissolves each monomer, and a solvent (E) described later can be used as a solvent for the colored photosensitive resin composition.

なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤(E)を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。   In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, a concentrated or diluted solution may be used, and it took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used. In particular, by using a solvent (E) described later as a solvent in the polymerization, the solution after the reaction can be used as it is, and the manufacturing process can be simplified.

樹脂[K2]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K2]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)に由来する構造単位;4〜45モル%(より好ましくは10〜30モル%)
(b)に由来する構造単位;2〜95モル%(より好ましくは5〜80モル%)
(c)に由来する構造単位;1〜65モル%(より好ましくは5〜60モル%)
樹脂[K2]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
In the resin [K2], the ratio of the structural units derived from each is preferably within the following range among all the structural units constituting the resin [K2].
Structural unit derived from (a); 4-45 mol% (more preferably 10-30 mol%)
Structural unit derived from (b); 2-95 mol% (more preferably 5-80 mol%)
Structural unit derived from (c); 1 to 65 mol% (more preferably 5 to 60 mol%)
When the ratio of the structural unit of the resin [K2] is in the above range, the storage stability, developability, solvent resistance of the resulting pattern, heat resistance, and mechanical strength tend to be excellent.

樹脂[K2]は、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
具体的には、(a)、(b)及び(c)の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で、攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
Resin [K2] can be manufactured similarly to the method described as a manufacturing method of resin [K1].
Specifically, a predetermined amount of (a), (b) and (c), a polymerization initiator, and a solvent are charged into a reaction vessel, and the mixture is stirred, heated and kept warm in a deoxygenated atmosphere. As the obtained copolymer, the solution after the reaction may be used as it is, a concentrated or diluted solution may be used, or a solid (powder) taken out by a method such as reprecipitation. May be used.

樹脂[K3]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)2〜55モル%、より好ましくは10〜50モル%
(c)45〜98モル%、より好ましくは50〜90モル%
樹脂[K3]は、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
In the resin [K3], the ratio of the structural unit derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the resin [K3].
(A) 2 to 55 mol%, more preferably 10 to 50 mol%
(C) 45-98 mol%, more preferably 50-90 mol%
Resin [K3] can be manufactured similarly to the method described as a manufacturing method of resin [K1].

樹脂[K4]は、(a)と(c)との共重合体を得て、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを(a)が有するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物に付加させることにより製造することができる。
まず(a)と(c)との共重合体を、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、(a)と(c)との共重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)5〜50モル%、より好ましくは10〜45モル%
(c)50〜95モル%、より好ましくは55〜90モル%
Resin [K4] obtains a copolymer of (a) and (c), and (a) has a carboxylic acid and / or carboxylic acid anhydride having (a) a cyclic ether having 2 to 4 carbon atoms that (b) has It can manufacture by adding to.
First, a copolymer of (a) and (c) is produced in the same manner as described in the method for producing resin [K1]. In this case, the ratio of the structural units derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the copolymer of (a) and (c).
(A) 5 to 50 mol%, more preferably 10 to 45 mol%
(C) 50 to 95 mol%, more preferably 55 to 90 mol%

次に、前記共重合体中の(a)に由来するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物の一部に、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを反応させる。
(a)と(c)との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、(b)、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒(例えばトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等)及び重合禁止剤(例えばハイドロキノン等)等をフラスコ内に入れて、60〜130℃で、1〜10時間反応することにより、樹脂[K4]を得ることができる。
(b)の使用量は、(a)100モルに対して、5〜80モルが好ましく、より好ましくは10〜75モルである。この範囲とすることにより、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K4]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
前記反応触媒の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。前記重合禁止剤の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
Next, the C2-C4 cyclic ether which (b) has is reacted with a part of the carboxylic acid and / or carboxylic anhydride derived from (a) in the copolymer.
Subsequent to the production of the copolymer of (a) and (c), the atmosphere in the flask is replaced from nitrogen to air, and (b) a reaction catalyst of carboxylic acid or carboxylic anhydride and cyclic ether (for example, tris ( Resin [K4] can be obtained by placing dimethylaminomethyl) phenol and the like) and a polymerization inhibitor (such as hydroquinone) in a flask and reacting at 60 to 130 ° C. for 1 to 10 hours.
The amount of (b) used is preferably 5 to 80 mol, more preferably 10 to 75 mol, per 100 mol of (a). By setting it as this range, there exists a tendency for the balance of storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, mechanical strength, and sensitivity to become favorable. Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K4], and (b1-1) is more preferable.
The amount of the reaction catalyst used is preferably 0.001 to 5 mass% with respect to the total amount of (a), (b) and (c). The amount of the polymerization inhibitor used is preferably 0.001 to 5% by mass with respect to the total amount of (a), (b) and (c).
The reaction conditions such as the charging method, reaction temperature, and time can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment and the amount of heat generated by polymerization. In addition, like the polymerization conditions, the charging method and the reaction temperature can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment, the amount of heat generated by the polymerization, and the like.

樹脂[K5]は、第一段階として、上述した樹脂[K1]の製造方法と同様にして、(b)と(c)との共重合体を得る。上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
(b)及び(c)に由来する構造単位の比率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
(b)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
(c)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
Resin [K5] obtains a copolymer of (b) and (c) as a first step in the same manner as in the method for producing resin [K1] described above. Similarly to the above, the obtained copolymer may be used as it is after the reaction, or may be a concentrated or diluted solution, or may be solid (powder) by a method such as reprecipitation. You may use what was taken out as.
The ratio of the structural units derived from (b) and (c) is preferably in the following range with respect to the total number of moles of all structural units constituting the copolymer.
Structural unit derived from (b); 5-95 mol% (more preferably 10-90 mol%)
Structural unit derived from (c); 5-95 mol% (more preferably 10-90 mol%)

さらに、樹脂[K4]の製造方法と同様の条件で、(b)と(c)との共重合体が有する(b)に由来する環状エーテルに、(a)が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより、樹脂[K5]を得ることができる。
前記の共重合体に反応させる(a)の使用量は、(b)100モルに対して、5〜80モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K5]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
Further, under the same conditions as in the method for producing the resin [K4], the cyclic ether derived from (b) of the copolymer of (b) and (c) is added to the carboxylic acid or carboxylic acid anhydride of (a). Resin [K5] can be obtained by reacting the product.
As for the usage-amount of (a) made to react with the said copolymer, 5-80 mol is preferable with respect to 100 mol of (b). Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K5], and (b1-1) is more preferable.

樹脂[K6]は、樹脂[K5]に、さらにカルボン酸無水物を反応させた樹脂である。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、カルボン酸無水物を反応させる。
カルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等が挙げられる。
Resin [K6] is a resin obtained by further reacting carboxylic anhydride with resin [K5]. Carboxylic anhydride is reacted with a hydroxy group generated by reaction of cyclic ether with carboxylic acid or carboxylic anhydride.
Carboxylic anhydrides include maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1 2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (highmic acid anhydride) and the like. It is done.

樹脂(B)としては、具体的に、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K1];グリシジル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、グリシジル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体、3−メチル−3−(メタ)アクリルロイルオキシメチルオキセタン/(メタ)アクリル酸/スチレン共重合体等の樹脂[K2];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/トリシクロデシル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K3];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂等の樹脂[K4];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂等の樹脂[K5];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の樹脂[K6]等が挙げられ、中でも好ましくは樹脂[K1]である。
これらの樹脂は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
As the resin (B), specifically, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] Resin such as decyl acrylate / (meth) acrylic acid copolymer [K1]; glycidyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, glycidyl (meth) acrylate / styrene / (meta ) Acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decyl acrylate / (meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide copolymer, 3-methyl-3- ( Resin such as (meth) acryloyloxymethyloxetane / (meth) acrylic acid / styrene copolymer [K2]; benzyl (meth) acrylate / (meth) Resin such as acrylic acid copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, benzyl (meth) acrylate / tricyclodecyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer [K3]; benzyl (meth) Resin with glycidyl (meth) acrylate added to acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, glycidyl (meth) acrylate added to tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / (meth) acrylic acid copolymer Resin, resin such as resin obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to tricyclodecyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer [K4]; tricyclodecyl (meth) acrylate / (Meth) acrylic acid is reacted with glycidyl (meth) acrylate copolymer Resin [K5] such as a resin obtained by reacting a copolymer of tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / glycidyl (meth) acrylate with (meth) acrylic acid; tricyclodecyl (meth) acrylate / glycidyl ( Examples include resins [K6] such as resins obtained by further reacting a copolymer of (meth) acrylate with (meth) acrylic acid and further reacting with tetrahydrophthalic anhydride, among which resin [K1] is preferable. .
These resins may be used alone or in combination of two or more.

樹脂(B)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000であり、より好ましくは5,000〜50,000であり、さらに好ましくは5,000〜30,000である。分子量が前記の範囲にあると、未露光部の現像液に対する溶解性が高く、得られるパターンの残膜率や硬度も高い傾向がある。
樹脂(B)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4である。
The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the resin (B) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000, and further preferably 5,000 to 30,000. . When the molecular weight is in the above range, the solubility of the unexposed part in the developer tends to be high, and the remaining film ratio and hardness of the resulting pattern tend to be high.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the resin (B) is preferably 1.1 to 6, and more preferably 1.2 to 4.

樹脂(B)の溶液酸価は、好ましくは5〜180mg−KOH/gであり、より好ましくは10〜100mg−KOH/gであり、更に好ましくは12〜50mg−KOH/gである。ここで酸価は樹脂1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、例えば水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。   The solution acid value of the resin (B) is preferably 5 to 180 mg-KOH / g, more preferably 10 to 100 mg-KOH / g, and still more preferably 12 to 50 mg-KOH / g. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the resin, and can be determined by titration using, for example, an aqueous potassium hydroxide solution.

樹脂(B)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分100質量%中、好ましくは5〜50質量%であり、より好ましくは10〜40質量%であり、さらに好ましくは15〜30質量%である。樹脂(B)の含有量が、前記の範囲にあると、未露光部の現像液に対する溶解性が高い傾向がある。   The content of the resin (B) is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and further preferably 15 to 30% in the solid content of 100% by mass of the colored photosensitive resin composition. % By mass. When content of resin (B) exists in the said range, there exists a tendency for the solubility with respect to the developing solution of an unexposed part to be high.

<重合性化合物(C)>
重合性化合物(C)は、光を照射されることによって重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル等によって重合しうる化合物であれば、特に限定されず、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。重合性化合物(C)の重量平均分子量は、3,000以下であることが好ましい。
<Polymerizable compound (C)>
The polymerizable compound (C) is not particularly limited as long as it is a compound that can be polymerized by an active radical or the like generated from the polymerization initiator (D) when irradiated with light, and has a polymerizable ethylenically unsaturated bond. And the like. The weight average molecular weight of the polymerizable compound (C) is preferably 3,000 or less.

中でも、重合性化合物(C)としては、エチレン性不飽和結合を3つ以上有する光重合性化合物であることが好ましく、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、エチレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エチレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。中でも、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Among them, the polymerizable compound (C) is preferably a photopolymerizable compound having three or more ethylenically unsaturated bonds, such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol. Tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tetrapentaerythritol deca (meth) acrylate , Tetrapentaerythritol nona (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, ethylene glycol modified pentaerythritol te La (meth) acrylate, ethylene glycol modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, propylene glycol modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, propylene glycol modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate And caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. Among these, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and the like can be given.

重合性化合物(C)の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の樹脂(B)100質量部に対して、好ましくは20〜150質量部であり、より好ましくは80〜120質量部である。   The content of the polymerizable compound (C) is preferably 20 to 150 parts by mass, more preferably 80 to 120 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin (B) in the colored photosensitive resin composition. .

<重合開始剤(D)>
重合開始剤(D)は、光や熱の作用により活性ラジカル、酸等を発生し、重合を開始しうる化合物である。本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、前記重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物を含む。
<Polymerization initiator (D)>
The polymerization initiator (D) is a compound capable of generating an active radical, an acid, or the like by the action of light or heat and initiating polymerization. The colored photosensitive resin composition according to the present invention contains an O-acyloxime compound as the polymerization initiator (D).

前記O−アシルオキシム化合物は、式(d)で表される構造を有する化合物である。以下、*は結合手を表す。   The O-acyl oxime compound is a compound having a structure represented by the formula (d). Hereinafter, * represents a bond.

前記O−アシルオキシム化合物としては、例えば、下記式(d1)で表される化合物(以下、化合物(d1)という場合がある。)、式(d2)で表される化合物(以下、化合物(d2)という場合がある。)、及び式(d3)で表される化合物(以下、化合物(d3)という場合がある。)からなる群より選択される少なくとも1種以上が好ましい。   Examples of the O-acyloxime compound include a compound represented by the following formula (d1) (hereinafter sometimes referred to as compound (d1)) and a compound represented by the formula (d2) (hereinafter referred to as compound (d2). And at least one selected from the group consisting of compounds represented by formula (d3) (hereinafter sometimes referred to as compound (d3)) is preferred.

[式(d1)〜(d3)中、
d1は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基、置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキル基、または芳香族炭化水素基と該アルキル基から導かれるアルカンジイル基とを組み合わせた、置換基を有していてもよい基を表し、前記アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−、−S−、−SO2−又は−NRd5−に置き換わっていてもよい。
d2は、炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、炭素数3〜36の複素環基又は炭素数1〜10のアルキル基を表す。
d3は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基を表す。
d4は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数1〜15の脂肪族炭化水素基を表し、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−又は−S−に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチン基(−CH<)は、−PO3<に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子はOH基で置換されていてもよい。
d5は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。]
[In the formulas (d1) to (d3),
R d1 has an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, and a substituent. Represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group derived from the alkyl group, which may have a substituent; The contained methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O—, —CO—, —S—, —SO 2 — or —NR d5 —.
R d2 represents an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
R d3 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms.
R d4 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms; The methylene group (—CH 2 —) contained in the aromatic hydrocarbon group may be replaced by —O—, —CO— or —S—, and the methine group (—CH < ) May be replaced with —PO 3 <, and the hydrogen atom contained in the aliphatic hydrocarbon group may be substituted with an OH group.
R d5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the methylene group (—CH 2 —) contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—. ]

d1で表される芳香族炭化水素基の炭素数は、6〜15であることが好ましく、より好ましくは6〜12、さらに好ましくは6〜10である。該芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニル基、ターフェニル基等が挙げられ、フェニル基、ナフチル基がより好ましく、フェニル基が特に好ましい。
またRd1で表される芳香族炭化水素基は、1又は2以上の置換基を有していてもよい。置換基は、芳香族炭化水素基のα位やγ位に置換していることが好ましく、γ位に置換していることがより好ましい。該置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基等の炭素数1〜15のアルキル基;フッ素原子、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子等のハロゲン原子;等が挙げられる。
前記置換基としてのアルキル基の炭素数は、1〜10であることが好ましく、1〜7であることがより好ましい。該置換基としてのアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。該置換基としてのアルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−又は−S−に置き換わっていてもよい。また、該アルキル基に含まれる水素原子は、フッ素原子、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換されていてもよく、フッ素原子で置換されていることが好ましい。
The number of carbon atoms of the aromatic hydrocarbon group represented by R d1 is preferably 6 to 15, more preferably 6 to 12, and still more preferably 6 to 10. Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, a biphenyl group, and a terphenyl group. A phenyl group and a naphthyl group are more preferable, and a phenyl group is particularly preferable.
The aromatic hydrocarbon group represented by R d1 may have one or more substituents. The substituent is preferably substituted at the α-position or γ-position of the aromatic hydrocarbon group, and more preferably substituted at the γ-position. Examples of the substituent include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, tridecyl group, tetradecyl group, pentadecyl group An alkyl group having 1 to 15 carbon atoms such as a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom, an iodine atom or a bromine atom;
The alkyl group as the substituent preferably has 1 to 10 carbon atoms, and more preferably 1 to 7 carbon atoms. The alkyl group as the substituent may be linear, branched, or cyclic, or may be a group that combines a linear group and a cyclic group. The methylene group (—CH 2 —) contained in the alkyl group as the substituent may be replaced with —O— or —S—. The hydrogen atom contained in the alkyl group may be substituted with a halogen atom such as a fluorine atom, a chlorine atom, an iodine atom or a bromine atom, and is preferably substituted with a fluorine atom.

d1で表される芳香族炭化水素基の置換基としてのアルキル基としては、例えば、下記式で表される基等が挙げられる。式中、*は結合手を表す。 Examples of the alkyl group as a substituent for the aromatic hydrocarbon group represented by R d1 include groups represented by the following formulas. In the formula, * represents a bond.

d1で表される置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基としては、例えば、下記式で表される基等が挙げられる。式中、*は結合手を表す。 Examples of the aromatic hydrocarbon group which may have a substituent represented by R d1 include a group represented by the following formula. In the formula, * represents a bond.

d1で表される置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基としては、下記式で表される基が好ましい。 As the aromatic hydrocarbon group which may have a substituent represented by R d1 , a group represented by the following formula is preferable.

[式中、Rd6は、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜10のアルキル基を表し、Rd6に含まれる水素原子はハロゲン原子に置換されていてもよい。m2は、1〜5の整数を表す。] [Wherein R d6 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and a hydrogen atom contained in R d6 may be substituted with a halogen atom. m2 represents an integer of 1 to 5. ]

d6で表されるアルキル基としては、Rd1で表される芳香族炭化水素基の置換基として例示したアルキル基と同様の基が挙げられる。Rd6の炭素数は、2〜7であることが好ましく、2〜5であることがより好ましい。また、Rd6で表されるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状であることが好ましい。
d6に含まれる水素原子を置換していてもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子が挙げられ、フッ素が特に好ましい。また、Rd6に含まれる水素原子の2個以上、10個以下がハロゲン原子に置換されていることが好ましく、3個以上、6個以下がハロゲン原子に置換されていることが好ましい。Rd6O−基の置換位置は、オルト位、パラ位が好ましく、パラ位が特に好ましい。
またm2は、1〜2であることが好ましく、1であることが特に好ましい。
Examples of the alkyl group represented by R d6 include the same groups as the alkyl groups exemplified as the substituent for the aromatic hydrocarbon group represented by R d1 . R d6 has preferably 2 to 7 carbon atoms, more preferably 2 to 5 carbon atoms. The alkyl group represented by R d6 may be linear, branched, or cyclic, and is preferably linear.
Examples of the halogen atom that may substitute the hydrogen atom contained in R d6 include a fluorine atom, a chlorine atom, an iodine atom, and a bromine atom, and fluorine is particularly preferable. In addition, 2 or more and 10 or less of hydrogen atoms contained in R d6 are preferably substituted with halogen atoms, and 3 or more and 6 or less are preferably substituted with halogen atoms. The substitution position of the R d6 O— group is preferably the ortho position or the para position, and particularly preferably the para position.
M2 is preferably 1 to 2, particularly preferably 1.

d1で表される複素環基の炭素数は、3〜20であることが好ましく、より好ましくは3〜10であり、さらに好ましくは3〜5である。該複素環基としては、ピロリル基、フリル基、チエニル基、インドリル基、ベンゾフリル基及びカルバゾリル基等が挙げられる。
またRd1で表される複素環基は、1又は2以上の置換基を有していてもよい。該置換基としては、Rd1で表される芳香族炭化水素基が有していてもよい置換基として例示した基と同様の基が挙げられる。
The number of carbon atoms in the heterocyclic group represented by R d1 is preferably 3-20, more preferably 3-10, and even more preferably 3-5. Examples of the heterocyclic group include a pyrrolyl group, a furyl group, a thienyl group, an indolyl group, a benzofuryl group, and a carbazolyl group.
The heterocyclic group represented by R d1 may have one or more substituents. Examples of the substituent include the same groups as those exemplified as the substituent that the aromatic hydrocarbon group represented by R d1 may have.

d1で表されるアルキル基の炭素数は、1〜12であることが好ましい。Rd1で表されるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基及びペンタデシル基等が挙げられる。これらのアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。また、Rd1で表されるアルキル基において、メチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−、−S−、−SO2−又は−NRd5−に置き換わっていてもよく、水素原子は、OH基又はSH基で置換されていてもよい。 The number of carbon atoms of the alkyl group represented by R d1 is preferably 1-12. Examples of the alkyl group represented by R d1 include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl, nonyl, decyl, undecyl, dodecyl, tridecyl, A tetradecyl group, a pentadecyl group, etc. are mentioned. These alkyl groups may be linear, branched, or cyclic, and may be a group in which a linear group and a cyclic group are combined. In the alkyl group represented by R d1 , the methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O—, —CO—, —S—, —SO 2 — or —NR d5 —, The hydrogen atom may be substituted with an OH group or an SH group.

d5は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、炭素数1〜5のアルキル基であることが好ましく、炭素数1〜3のアルキル基であることがより好ましい。該アルキル基は、鎖状(直鎖状又は分岐鎖状)であっても、環状であってもよく、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。また、Rd5のアルキル基において、メチレン基(−CH2−)は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。 R d5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and more preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. The alkyl group may be linear (linear or branched) or cyclic, and may be linear, branched, or cyclic. And a group in which a cyclic group is combined. In the alkyl group for R d5 , the methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O— or —CO—.

d1で表される置換基を有していてもよいアルキル基としては、具体的には、下記式で表される基等が挙げられる。*は結合手を表す。 Specific examples of the alkyl group which may have a substituent represented by R d1 include groups represented by the following formulas. * Represents a bond.

さらに、Rd1で表される、芳香族炭化水素基と上記Rd1で表されるアルキル基から導かれるアルカンジイル基とを組み合わせた基の炭素数は、7〜33であることが好ましく、より好ましくは7〜18であり、さらに好ましくは7〜12である。該組み合わせた基は、1又は2以上の置換基を有していてもよく、該置換基としては、芳香族炭化水素基、アルキル基が有していてもよい置換基として例示した基と同様の基が挙げられる。該Rd1で表される、芳香族炭化水素基と上記Rd1で表されるアルキル基から導かれるアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、アラルキル基が挙げられ、具体的には、下記式で表される基を挙げることができる。式中、*は結合手を表す。 Further, as represented by R d1, the number of carbon atoms of the group formed by combining an alkanediyl group derived from an alkyl group represented by an aromatic hydrocarbon group and the R d1 is preferably 7-33, more Preferably it is 7-18, More preferably, it is 7-12. The combined group may have one or more substituents, and the substituent is the same as the group exemplified as the substituent that the aromatic hydrocarbon group or the alkyl group may have. The group of is mentioned. Represented by the R d1, as the group which is a combination of an alkanediyl group derived from an alkyl group represented by an aromatic hydrocarbon group and the R d1, an aralkyl group, specifically, the following formula The group represented by these can be mentioned. In the formula, * represents a bond.

中でも、Rd1としては、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよいアルキル基が好ましく、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基がより好ましい。 Among them, R d1 is preferably an aromatic hydrocarbon group which may have a substituent or an alkyl group which may have a substituent, and an aromatic hydrocarbon group which may have a substituent. Is more preferable.

d2で表される芳香族炭化水素基の炭素数は、6〜15であることが好ましく、より好ましくは6〜12、さらに好ましくは6〜10である。該芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニル基及びターフェニル基等が挙げられる。
d2で表される複素環基の炭素数は、3〜20であることが好ましく、より好ましくは3〜10であり、さらに好ましくは3〜5である。該複素環基としては、ピロリル基、フリル基、チエニル基、インドリル基、ベンゾフリル基及びカルバゾリル基等が挙げられる。
d2で表されるアルキル基の炭素数は、1〜7であることが好ましく、より好ましくは1〜5であり、さらに好ましくは1〜3である。該アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基及びデシル基等が挙げられる。該アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。
The number of carbon atoms of the aromatic hydrocarbon group represented by R d2 is preferably 6 to 15, more preferably 6 to 12, and still more preferably 6 to 10. Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, a biphenyl group, and a terphenyl group.
The number of carbon atoms of the heterocyclic group represented by R d2 is preferably 3-20, more preferably 3-10, and even more preferably 3-5. Examples of the heterocyclic group include a pyrrolyl group, a furyl group, a thienyl group, an indolyl group, a benzofuryl group, and a carbazolyl group.
The number of carbon atoms in the alkyl group represented by R d2 is preferably from 1 to 7, more preferably from 1 to 5, more preferably from 1 to 3. Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group and decyl group. The alkyl group may be linear, branched, or cyclic, or may be a group that combines a chain group and a cyclic group.

d2としては、鎖状アルキル基が好ましく、より好ましくは炭素数1〜5の鎖状アルキル基であり、さらに好ましくは炭素数1〜3の鎖状アルキル基であり、メチル基であることが特に好ましい。 R d2 is preferably a chain alkyl group, more preferably a chain alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, still more preferably a chain alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and a methyl group. Particularly preferred.

d3で表される芳香族炭化水素基の炭素数は、6〜15であることが好ましく、より好ましくは6〜12、さらに好ましくは6〜10である。該芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニル基及びターフェニル基等が挙げられ、フェニル基、ナフチル基がより好ましい。
また、Rd3で表される芳香族炭化水素基は、1又は2以上の置換基を有していてもよい。置換基は、芳香族炭化水素基のα位やγ位に置換していることが好ましい。該置換基としては、炭素数1〜15の脂肪族炭化水素基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基及びデシル基等の炭素数1〜15のアルキル基;エテニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、ノネニル基及びデセニル基等の炭素数1〜15のアルケニル基;等が挙げられる。
d3で表される芳香族炭化水素基が有していてもよい脂肪族炭化水素基の炭素数は1〜7であることがより好ましく、該脂肪族炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。また、該脂肪族炭化水素基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−又は−S−に置き換わっていてもよく、メチン基(−CH<)は、−N<に置き換わっていてもよい。
The aromatic hydrocarbon group represented by R d3 preferably has 6 to 15 carbon atoms, more preferably 6 to 12 carbon atoms, and still more preferably 6 to 10 carbon atoms. Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, a biphenyl group and a terphenyl group, and a phenyl group and a naphthyl group are more preferable.
The aromatic hydrocarbon group represented by R d3 may have one or more substituents. The substituent is preferably substituted at the α-position or γ-position of the aromatic hydrocarbon group. The substituent is preferably an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms, specifically, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl. An alkyl group having 1 to 15 carbon atoms such as a group and a decyl group; an alkenyl group having 1 to 15 carbon atoms such as an ethenyl group, a propenyl group, a butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, a heptenyl group, a nonenyl group, and a decenyl group; Is mentioned.
The aliphatic hydrocarbon group which the aromatic hydrocarbon group represented by R d3 may have more preferably 1 to 7 carbon atoms, and the aliphatic hydrocarbon group is linear or branched Either a chain or a ring may be used, or a group obtained by combining a chain group and a cyclic group may be used. The methylene group (—CH 2 —) contained in the aliphatic hydrocarbon group may be replaced with —O—, —CO— or —S—, and the methine group (—CH <) is represented by —N— <May be replaced.

d3で表される芳香族炭化水素基が有していてもよい脂肪族炭化水素基としては、下記式で表される基等が挙げられる。式中、*は結合手を表す。 Examples of the aliphatic hydrocarbon group that the aromatic hydrocarbon group represented by R d3 may have include groups represented by the following formulas. In the formula, * represents a bond.

d3で表される置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基としては、下記式で表される基等が挙げられる。式中、*は結合手を表す。 Examples of the aromatic hydrocarbon group which may have a substituent represented by R d3 include groups represented by the following formulae. In the formula, * represents a bond.

d3で表される複素環基の炭素数は、3〜20であることが好ましく、より好ましくは3〜10であり、さらに好ましくは3〜5である。該複素環基としては、ピロリル基、フリル基、チエニル基、インドリル基、ベンゾフリル基及びカルバゾリル基等が挙げられる。
また、Rd3で表される複素環基は、1又は2以上の置換基を有していてもよく、該置換基としては、Rd1で表される芳香族炭化水素基が有していてもよい置換基として例示した基と同様の基が挙げられる。
The number of carbon atoms of the heterocyclic group represented by R d3 is preferably 3 to 20, more preferably 3 to 10, and further preferably 3 to 5. Examples of the heterocyclic group include a pyrrolyl group, a furyl group, a thienyl group, an indolyl group, a benzofuryl group, and a carbazolyl group.
Further, the heterocyclic group represented by R d3 may have one or more substituents, and the substituent includes an aromatic hydrocarbon group represented by R d1. Examples thereof include the same groups as those exemplified as the good substituent.

中でもRd3は、置換基を有する芳香族炭化水素基であることが好ましく、該置換基としては、炭素数1〜7(より好ましくは炭素数1〜3)の鎖状アルキル基が好ましく、置換基の個数は、2個以上、5個以下であることが好ましい。 Among them, R d3 is preferably an aromatic hydrocarbon group having a substituent, and the substituent is preferably a chain alkyl group having 1 to 7 carbon atoms (more preferably 1 to 3 carbon atoms). The number of groups is preferably 2 or more and 5 or less.

d4で表される芳香族炭化水素基の炭素数は、6〜15であることが好ましく、より好ましくは6〜12、さらに好ましくは6〜10である。該芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、ビフェニル基及びターフェニル基等が挙げられ、フェニル基及びナフチル基がより好ましく、フェニル基がさらに好ましい。
またRd4で表される芳香族炭化水素基は、1又は2以上の置換基を有していてもよい。該置換基としては、Rd1の芳香族炭化水素基が有していてもよい置換基と同様の基が挙げられる。
The number of carbon atoms of the aromatic hydrocarbon group represented by R d4 is preferably 6 to 15, more preferably 6 to 12, and still more preferably 6 to 10. Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, a biphenyl group, and a terphenyl group. A phenyl group and a naphthyl group are more preferable, and a phenyl group is more preferable.
Moreover, the aromatic hydrocarbon group represented by R d4 may have one or more substituents. Examples of the substituent include the same groups as the substituent that the aromatic hydrocarbon group represented by R d1 may have.

d4で表される脂肪族炭化水素基の炭素数は、1〜13であることが好ましく、より好ましくは2〜10であり、さらに好ましくは4〜9である。Rd4で表される脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基及びペンタデシル基等のアルキル基;エテニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基、トリデセニル基、ブタデセニル基及びペンタデセニル基等のアルケニル基;等が挙げられる。これらの脂肪族炭化水素基は、鎖状(直鎖状又は分岐鎖状)であっても、環状であってもよく、鎖状の基と環状の基を組み合わせた基であってもよい。また、Rd4の脂肪族炭化水素基において、メチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−又は−S−に置き換わっていてもよく、メチン基(−CH<)は、−PO3<に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子はOH基で置換されていてもよい。 The number of carbon atoms of the aliphatic hydrocarbon group represented by R d4 is preferably 1-13, more preferably 2-10, more preferably from 4 to 9. Examples of the aliphatic hydrocarbon group represented by R d4 include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, Alkyl groups such as tridecyl, tetradecyl and pentadecyl; ethenyl, propenyl, butenyl, pentenyl, hexenyl, heptenyl, octenyl, nonenyl, decenyl, undecenyl, dodecenyl, tridecenyl, butadecenyl Groups, and alkenyl groups such as a pentadecenyl group. These aliphatic hydrocarbon groups may be chain (linear or branched), cyclic, or a combination of a chain group and a cyclic group. In the aliphatic hydrocarbon group for R d4 , the methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O—, —CO— or —S—, and the methine group (—CH <) is represented by — PO 3 <may be substituted, and a hydrogen atom contained in the aliphatic hydrocarbon group may be substituted with an OH group.

d4で表される置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基としては、下記式で表される基等が挙げられる。式中、*は結合手を表す。 Examples of the aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent represented by R d4 include groups represented by the following formulas. In the formula, * represents a bond.

d4は、置換基を有していてもよい鎖状脂肪族炭化水素基であることが好ましく、より好ましくは置換基を有しない鎖状アルキル基であり、さらに好ましくは置換基を有しない分岐鎖状アルキル基である。 R d4 is preferably a chain aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent, more preferably a chain alkyl group having no substituent, and still more preferably a branched chain having no substituent. It is a chain alkyl group.

化合物(d1)としては、式(d1)で表される化合物、具体的には式(d1−1)で表される化合物〜式(d1−67)で表される化合物が挙げられる。表1〜7中、*は結合手を表す。   Examples of the compound (d1) include a compound represented by the formula (d1), specifically, a compound represented by the formula (d1-1) to a compound represented by the formula (d1-67). In Tables 1 to 7, * represents a bond.

中でも、式(d1−3)で表される化合物〜式(d1−6)で表される化合物、式(d1−18)で表される化合物〜式(d1−52)で表される化合物、式(d1−55)で表される化合物、式(d1−56)で表される化合物、式(d1−60)で表される化合物、式(d1−61)で表される化合物が好ましく、
より好ましくは式(d1−3)で表される化合物〜式(d1−6)で表される化合物、式(d1−18)で表される化合物〜式(d1−41)で表される化合物であり、さらに好ましくは式(d1−24)で表される化合物、式(d1−36)で表される化合物〜式(d1−40)で表される化合物であり、特に好ましくは式(d1−24)で表される化合物である。
Among them, the compound represented by formula (d1-3) to the compound represented by formula (d1-6), the compound represented by formula (d1-18) to the compound represented by formula (d1-52), A compound represented by the formula (d1-55), a compound represented by the formula (d1-56), a compound represented by the formula (d1-60), and a compound represented by the formula (d1-61) are preferable.
More preferably, a compound represented by formula (d1-3) to a compound represented by formula (d1-6), a compound represented by formula (d1-18) to a compound represented by formula (d1-41) And more preferably a compound represented by the formula (d1-24), a compound represented by the formula (d1-36) to a compound represented by the formula (d1-40), particularly preferably the formula (d1 -24).

化合物(d1)は、特表2014−500852号公報に記載の製造方法により製造することができる。   Compound (d1) can be produced by the production method described in JP-T-2014-500852.

化合物(d2)は、
d1が置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキル基、
d2が炭素数1〜10のアルキル基、
d3が置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、
d4が置換基を有していてもよい炭素数1〜15の脂肪族炭化水素基である化合物が好ましく、
より好ましくは、Rd1がメチル基、エチル基又はプロピル基を表し、
d2がメチル基、エチル基又はプロピル基を表し、
d3がメチル基で置換されたフェニル基を表し、
d4がメチル基、エチル基又はプロピル基である化合物であり、
更に好ましくは、Rd1及びRd2がメチル基、Rd3がo−トリル基及びRd4がエチル基である化合物である。
Compound (d2) is
R d1 may have a substituent, an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms,
R d2 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms,
An aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms in which R d3 may have a substituent,
A compound in which R d4 is an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms is preferred,
More preferably, R d1 represents a methyl group, an ethyl group or a propyl group,
R d2 represents a methyl group, an ethyl group or a propyl group;
R d3 represents a phenyl group substituted with a methyl group;
A compound in which R d4 is a methyl group, an ethyl group or a propyl group;
More preferably, R d1 and R d2 are methyl groups, R d3 is an o-tolyl group, and R d4 is an ethyl group.

化合物(d3)は、Rd1が置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキル基及びRd2が炭素数6〜18の芳香族炭化水素基である化合物が好ましく、
より好ましくは、Rd1がヘキシル基及びRd2がフェニル基である化合物である。
The compound (d3) is preferably a compound in which R d1 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 15 carbon atoms and R d2 is an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
More preferably, R d1 is a hexyl group and R d2 is a phenyl group.

このようなO−アシルオキシム化合物としては、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−3−シクロペンチルプロパン−1−オン−2−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(3,3−ジメチル−2,4−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−3−シクロペンチルプロパン−1−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−3−シクロペンチルプロパン−1−オン−2−イミン等が挙げられる。イルガキュアOXE01、OXE02、OXE03(以上、BASF社製)、N−1919(ADEKA社製)等の市販品を用いてもよい。これらのO−アシルオキシム化合物であると、リソ性能に優れたカラーフィルタが得られる傾向にある。   Examples of such O-acyloxime compounds include N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane. -1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) -3-cyclopentylpropane-1-one-2-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (3,3-dimethyl-2, 4-Dioxacyclopentanylmethyloxy) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [ -Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -3-cyclopentylpropane-1-imine, N-benzoyloxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -3-cyclopentylpropan-1-one-2-imine and the like. Commercial products such as Irgacure OXE01, OXE02, OXE03 (manufactured by BASF) and N-1919 (ADEKA) may be used. When these O-acyloxime compounds are used, a color filter excellent in litho performance tends to be obtained.

O−オキシム化合物の使用量は、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)の100質量部に対し、0.3質量部以上が好ましく、0.5質量部以上がより好ましく、1質量部以上が更に好ましく、特に好ましくは5質量部以上であり、800質量部以下であってもよく、300質量部以下が好ましく、200質量部以下がより好ましく、100質量部以下が更に好ましく、80質量部以下が特に更に好ましい。   The amount of the O-oxime compound used is preferably 0.3 parts by mass or more, more preferably 0.5 parts by mass or more, and still more preferably 1 part by mass or more with respect to 100 parts by mass of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1). In particular, it is 5 parts by mass or more and may be 800 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, still more preferably 100 parts by mass or less, and particularly preferably 80 parts by mass or less. Further preferred.

本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、さらに、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物及びアシルホスフィンオキサイド化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種以上を含んでいてもよい。   The colored photosensitive resin composition according to the present invention may further contain at least one selected from the group consisting of alkylphenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, and acylphosphine oxide compounds.

アルキルフェノン化合物は、式(d4)で表される部分構造又は式(d5)で表される部分構造を有する化合物である。これらの部分構造中、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。   The alkylphenone compound is a compound having a partial structure represented by the formula (d4) or a partial structure represented by the formula (d5). In these partial structures, the benzene ring may have a substituent.

式(d4)で表される構造を有する化合物としては、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルスルファニルフェニル)プロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジルブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]ブタン−1−オン等が挙げられる。イルガキュア369、907、379(以上、BASF社製)等の市販品を用いてもよい。
式(d5)で表される構造を有する化合物としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−イソプロペニルフェニル)プロパン−1−オンのオリゴマー、α,α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
感度の点で、アルキルフェノン化合物としては、式(d4)で表される構造を有する化合物が好ましい。
Examples of the compound having a structure represented by the formula (d4) include 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) ) -2-benzylbutan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] butan-1-one, and the like. It is done. Commercial products such as Irgacure 369, 907, 379 (above, manufactured by BASF) may be used.
Examples of the compound having a structure represented by the formula (d5) include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2-hydroxyethoxy ) Phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-isopropenylphenyl) propan-1-one oligomer, α, α-diethoxyacetophenone, benzyl Examples thereof include dimethyl ketal.
In terms of sensitivity, the alkylphenone compound is preferably a compound having a structure represented by the formula (d4).

ビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報等参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報等参照。)、4,4’,5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報等参照)等が挙げられる。中でも、下記式で表される化合物及びこれらの混合物が好ましい。   Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4. ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4' , 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2- Chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (trialkoxypheny ) Biimidazole (for example, see JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), the phenyl group at the 4,4 ′, 5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group. Examples thereof include imidazole compounds (for example, see JP-A-7-10913). Among these, compounds represented by the following formula and mixtures thereof are preferable.

トリアジン化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン等が挙げられる。   As triazine compounds, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl)- 1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis ( Trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methyl) Phenyl) etheni ] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.

アシルホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。   Examples of the acylphosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

さらに重合開始剤(D)としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物;ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物;9,10−フェナンスレンキノン、2−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物;10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤(D1)(特にアミン類)と組み合わせて用いることが好ましい。   Furthermore, examples of the polymerization initiator (D) include benzoin compounds such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl- Benzophenone compounds such as 4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone; 9,10-phenanthrenequinone, Examples include quinone compounds such as 2-ethylanthraquinone and camphorquinone; 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, methyl phenylglyoxylate, and titanocene compounds. These are preferably used in combination with a polymerization initiation assistant (D1) (particularly amines) described later.

重合開始剤(D)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部であり、より好ましくは5〜25質量部であり、更に好ましくは10〜20質量部である。重合開始剤(D)の含有量が、前記の範囲内にあると、高感度化して露光時間が短縮される傾向があるためカラーフィルタの生産性が向上する。   The content of the polymerization initiator (D) is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 5 to 25 parts per 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). It is a mass part, More preferably, it is 10-20 mass parts. When the content of the polymerization initiator (D) is within the above range, the sensitivity is increased and the exposure time tends to be shortened, so the productivity of the color filter is improved.

またO−オキシム化合物の使用量は、重合開始剤(D)100質量%中、5質量%以上が好ましく、より好ましくは10質量%以上であり、上限は特に限定されないが、100質量%以下であってもよく、70質量%以下であってもよい。   The amount of the O-oxime compound used is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more in 100% by mass of the polymerization initiator (D), and the upper limit is not particularly limited, but is 100% by mass or less. It may be 70 mass% or less.

<重合開始助剤(D1)>
重合開始助剤(D1)は、重合開始剤によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。重合開始助剤(D1)を含む場合、重合開始剤(D)と組み合わせて用いられる。
重合開始助剤(D1)としては、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物及びカルボン酸化合物等が挙げられる。中でも、チオキサントン化合物が好ましい。重合開始助剤(D1)を2種以上含有してもよい。
<Polymerization initiation aid (D1)>
The polymerization initiation assistant (D1) is a compound or a sensitizer used for accelerating the polymerization of the polymerizable compound that has been polymerized by the polymerization initiator. When the polymerization initiation assistant (D1) is included, it is used in combination with the polymerization initiator (D).
Examples of the polymerization initiation aid (D1) include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and carboxylic acid compounds. Of these, thioxanthone compounds are preferred. Two or more polymerization initiation assistants (D1) may be contained.

アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。EAB−F(保土谷化学工業(株)製)等の市販品を用いてもよい。   Examples of amine compounds include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, 4- 2-ethylhexyl dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-bis ( Ethylmethylamino) benzophenone and the like, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferred. Commercial products such as EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) may be used.

アルコキシアントラセン化合物としては、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。   Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and 9,10-dibutoxy. Anthracene, 2-ethyl-9,10-dibutoxyanthracene, etc. are mentioned.

チオキサントン化合物としては、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like.

カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。   Carboxylic acid compounds include phenylsulfanyl acetic acid, methylphenylsulfanyl acetic acid, ethylphenylsulfanyl acetic acid, methylethylphenylsulfanyl acetic acid, dimethylphenylsulfanyl acetic acid, methoxyphenylsulfanyl acetic acid, dimethoxyphenylsulfanyl acetic acid, chlorophenylsulfanyl acetic acid, dichlorophenylsulfanyl acetic acid, N -Phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, naphthoxyacetic acid and the like.

重合開始助剤(D1)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部、より好ましくは1〜20質量部である。重合開始助剤(D1)の量がこの範囲内にあると、さらに高感度で着色パターンを形成することができ、カラーフィルタの生産性が向上する傾向にある。   The content of the polymerization initiation assistant (D1) is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). Part. When the amount of the polymerization initiation assistant (D1) is within this range, a colored pattern can be formed with higher sensitivity and the productivity of the color filter tends to be improved.

<チオール化合物(T)>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、チオール化合物(T)を含有していてもよい。チオール化合物(T)は、上記重合開始剤(D)がO−アシルオキシム化合物、及び/又はビイミダゾール化合物である時に、特に好ましく使用される。チオール化合物(T)は、分子内にスルファニル基(−SH)を有する化合物である。
<Thiol compound (T)>
The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain a thiol compound (T). The thiol compound (T) is particularly preferably used when the polymerization initiator (D) is an O-acyl oxime compound and / or a biimidazole compound. The thiol compound (T) is a compound having a sulfanyl group (—SH) in the molecule.

分子内にスルファニル基を1つ有する化合物としては、2−スルファニルオキサゾール、2−スルファニルチアゾール、2−スルファニルベンズイミダゾール、2−スルファニルベンゾチアゾール、2−スルファニルベンゾオキサゾール、2−スルファニルニコチン酸、2−スルファニルピリジン、2−スルファニルピリジン−3−オール、2−スルファニルピリジン−N−オキサイド、4−アミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4−アミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4−アミノ−2−スルファニルピリミジン、6−アミノ−5−ニトロソ−2−チオウラシル、4,5−ジアミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4,6−ジアミノ−2−スルファニルピリミジン、2,4−ジアミノ−6−スルファニルピリミジン、4,6−ジヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4,6−ジメチル−2−スルファニルピリミジン、4−ヒドロキシ−2−スルファニル−6−メチルピリミジン、4−ヒドロキシ−2−スルファニル−6−プロピルピリミジン、2−スルファニル−4−メチルピリミジン、2−スルファニルピリミジン、2−チオウラシル、3,4,5,6−テトラヒドロピリミジン−2−チオール、4,5−ジフェニルイミダゾール−2−チオール、2−スルファニルイミダゾール、2−スルファニル−1−メチルイミダゾール、4−アミノ−3−ヒドラジノ−5−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、2−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、3−スルファニル1H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、2−アミノ−5−スルファニル−1,3,4−チアジアゾール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、2,5−ジスルファニル−1,3,4−チアジアゾール、(フラン−2−イル)メタンチオール、2−スルファニル−5−チアゾリドン、2−スルファニルチアゾリン、2−スルファニル−4(3H)−キナゾリノン、1−フェニル−1H−テトラゾール−5−チオール、2−キノリンチオール、2−スルファニル−5−メチルベンズイミダゾール、2−スルファニル−5−ニトロベンズイミダゾール、6−アミノ−2−スルファニルベンゾチアゾール、5−クロロ−2−スルファニルベンゾチアゾール、6−エトキシ−2−スルファニルベンゾチアゾール、6−ニトロ−2−スルファニルベンゾチアゾール、2−スルファニルナフトイミダゾール、2−スルファニルナフトオキサゾール、3−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−6−スルファニルピラゾロ[2,4−d]ピリジン、2−アミノ−6−プリンチオール、6−スルファニルプリン及び4−スルファニル−1H−ピラゾロ[2,4−d]ピリミジン等が挙げられる。   The compounds having one sulfanyl group in the molecule include 2-sulfanyloxazole, 2-sulfanylthiazole, 2-sulfanylbenzimidazole, 2-sulfanylbenzothiazole, 2-sulfanylbenzoxazole, 2-sulfanylnicotinic acid, 2-sulfanyl. Pyridine, 2-sulfanylpyridin-3-ol, 2-sulfanylpyridine-N-oxide, 4-amino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4-amino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4-amino- 2-sulfanylpyrimidine, 6-amino-5-nitroso-2-thiouracil, 4,5-diamino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4,6-diamino-2-sulfanylpyrimidine, 2,4-diamidine -6-sulfanylpyrimidine, 4,6-dihydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4,6-dimethyl-2-sulfanylpyrimidine, 4-hydroxy-2-sulfanyl-6-methylpyrimidine, 4-hydroxy-2-sulfanyl-6 -Propylpyrimidine, 2-sulfanyl-4-methylpyrimidine, 2-sulfanylpyrimidine, 2-thiouracil, 3,4,5,6-tetrahydropyrimidine-2-thiol, 4,5-diphenylimidazole-2-thiol, 2- Sulfanylimidazole, 2-sulfanyl-1-methylimidazole, 4-amino-3-hydrazino-5-sulfanyl-1,2,4-triazole, 3-amino-5-sulfanyl-1,2,4-triazole, 2- Methyl-4H-1,2,4-triazo Lu-3-thiol, 4-methyl-4H-1,2,4-triazole-3-thiol, 3-sulfanyl 1H-1,2,4-triazole-3-thiol, 2-amino-5-sulfanyl-1 , 3,4-thiadiazole, 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, 2,5-disulfanyl-1,3,4-thiadiazole, (furan-2-yl) methanethiol, 2- Sulfanyl-5-thiazolidone, 2-sulfanylthiazoline, 2-sulfanyl-4 (3H) -quinazolinone, 1-phenyl-1H-tetrazole-5-thiol, 2-quinolinethiol, 2-sulfanyl-5-methylbenzimidazole, 2 -Sulfanyl-5-nitrobenzimidazole, 6-amino-2-sulfanylbenzothiazole, 5-chloro Ro-2-sulfanylbenzothiazole, 6-ethoxy-2-sulfanylbenzothiazole, 6-nitro-2-sulfanylbenzothiazole, 2-sulfanylnaphthimidazole, 2-sulfanylnaphthoxazole, 3-sulfanyl-1,2,4- Triazole, 4-amino-6-sulfanylpyrazolo [2,4-d] pyridine, 2-amino-6-purinethiol, 6-sulfanylpurine, 4-sulfanyl-1H-pyrazolo [2,4-d] pyrimidine, etc. Is mentioned.

分子内にスルファニル基を2つ以上有する化合物としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ビス(メチルスルファニル)ベンゼン、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルアセテート)、エチレングリコールビス(3−スルファニルアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルアセテート)、トリスヒドロキシエチルトリス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルブチレート)及び1,4−ビス(3−スルファニルブチルオキシ)ブタン等が挙げられる。   Compounds having two or more sulfanyl groups in the molecule include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-bis (methylsulfanyl) benzene, butanediol bis (3-sulfanylpropionate), butanediol bis (3-sulfanyl) Acetate), ethylene glycol bis (3-sulfanyl acetate), trimethylolpropane tris (3-sulfanyl acetate), butanediol bis (3-sulfanylpropionate), trimethylolpropane tris (3-sulfanylpropionate), tri Methylolpropane tris (3-sulfanyl acetate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylpropionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl acetate), tris Mud carboxyethyl tris (3-sulfanyl propionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl butyrate) and 1,4-bis (3-sulfanyl-butyloxy) include butane and the like.

チオール化合物(T)としては、分子内にスルファニル基を1つ有する化合物が好ましい。
チオール化合物(T)の含有量は、重合開始剤(D)100質量部に対して、好ましくは0.5〜50質量部、より好ましくは5〜45質量部であり、更に好ましくは10〜40質量部である。チオール化合物(T)の含有量がこの範囲内にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。
As the thiol compound (T), a compound having one sulfanyl group in the molecule is preferable.
The content of the thiol compound (T) is preferably 0.5 to 50 parts by mass, more preferably 5 to 45 parts by mass, and still more preferably 10 to 40 parts per 100 parts by mass of the polymerization initiator (D). Part by mass. When the content of the thiol compound (T) is within this range, sensitivity tends to be high and developability tends to be good.

<溶剤(E)>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤(E)を含むことが好ましい。溶剤(E)としては、エステル溶剤(−COO−を含む溶剤)、エステル溶剤以外のエーテル溶剤(−O−を含む溶剤)、エーテルエステル溶剤(−COO−と−O−とを含む溶剤)、エステル溶剤以外のケトン溶剤(−CO−を含む溶剤)、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤及びジメチルスルホキシド等が挙げられる。
<Solvent (E)>
The colored photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a solvent (E). As the solvent (E), ester solvents (solvents containing —COO—), ether solvents other than ester solvents (solvents containing —O—), ether ester solvents (solvents containing —COO— and —O—), Examples include ketone solvents (solvents containing —CO—) other than ester solvents, alcohol solvents, aromatic hydrocarbon solvents, amide solvents, and dimethyl sulfoxide.

エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。   As ester solvents, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutanoate, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, pentyl formate, isopentyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate , Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, cyclohexanol acetate, γ-butyrolactone and the like.

エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート及びγ−ブチロラクトン等が挙げられる。   As ester solvents, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutanoate, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, pentyl formate, isopentyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, cyclohexanol acetate, and γ-butyrolactone.

エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール及びメチルアニソール等が挙げられる。   Ether solvents include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether , Propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutanol, tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethyl Glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, anisole, include phenetol and methyl anisole and the like.

エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート及びジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が挙げられる。   Examples of ether ester solvents include methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, Ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether Acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate and dipropylene glycol methyl ether acetate and the like.

ケトン溶剤としては、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン及びイソホロン等が挙げられる。   Examples of ketone solvents include 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, cyclohexanone and isophorone. Etc.

アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール及びグリセリン等が挙げられる。
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン及びメシチレン等が挙げられる。
アミド溶剤としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド及びN−メチルピロリドン等が挙げられる。
Examples of the alcohol solvent include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, and glycerin.
Examples of the aromatic hydrocarbon solvent include benzene, toluene, xylene and mesitylene.
Examples of the amide solvent include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide and N-methylpyrrolidone.

溶剤(E)は、2種以上を併用してもよい。
塗布性、乾燥性の点から、1atmにおける沸点が120℃以上180℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン及びN,N−ジメチルホルムアミドが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール及び3−エトキシプロピオン酸エチルがより好ましい。
Two or more solvents (E) may be used in combination.
An organic solvent having a boiling point at 1 atm of 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower is preferable from the viewpoint of coating properties and drying properties. Among them, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, ethyl 3-ethoxypropionate, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butanol 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone and N, N-dimethylformamide are preferred, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, 3 More preferred are -methoxy-1-butanol and ethyl 3-ethoxypropionate.

溶剤(E)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、好ましくは70〜95質量%であり、より好ましくは75〜92質量%である。言い換えると、着色感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは5〜30質量%、より好ましくは8〜25質量%である。溶剤(E)の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向がある。   The content of the solvent (E) is preferably 70 to 95% by mass and more preferably 75 to 92% by mass with respect to the colored photosensitive resin composition. In other words, the solid content of the colored photosensitive resin composition is preferably 5 to 30% by mass, more preferably 8 to 25% by mass. When the content of the solvent (E) is in the above range, the flatness at the time of coating is good, and when the color filter is formed, the color density does not become insufficient and the display characteristics tend to be good.

<レベリング剤(F)>
レベリング剤(F)としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。これらは、側鎖に重合性基を有していてもよい。
<Leveling agent (F)>
Examples of the leveling agent (F) include silicone surfactants, fluorine surfactants, and silicone surfactants having a fluorine atom. These may have a polymerizable group in the side chain.

シリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンDC3PA、同SH7PA、同DC11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH8400(商品名:東レ・ダウコーニング(株)製)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工業(株)製)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF−4446、TSF4452及びTSF4460(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製)等が挙げられる。   Examples of the silicone surfactant include a surfactant having a siloxane bond in the molecule. Specifically, Torre Silicone DC3PA, SH7PA, DC11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH8400 (trade names: manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.), KP321, KP322, KP323, KP324 , KP326, KP340, KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), TSF400, TSF401, TSF410, TSF4300, TSF4440, TSF4445, TSF-4446, TSF4452 and TSF4460 (made by Momentive Performance Materials Japan GK) Can be mentioned.

フッ素系界面活性剤としては、分子内にフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、フロラード(登録商標)FC430、同FC431(住友スリーエム(株)製)、メガファック(登録商標)F142D、同F171、同F172、同F173、同F177、同F183、同F554、同R30、同RS−718−K(DIC(株)製)、エフトップ(登録商標)EF301、同EF303、同EF351、同EF352(三菱マテリアル電子化成(株)製)、サーフロン(登録商標)S381、同S382、同SC101、同SC105(旭硝子(株)製)及びE5844((株)ダイキンファインケミカル研究所製)等が挙げられる。   Examples of the fluorosurfactant include a surfactant having a fluorocarbon chain in the molecule. Specifically, Florard (registered trademark) FC430, FC431 (manufactured by Sumitomo 3M), MegaFac (registered trademark) F142D, F171, F172, F173, F177, F183, F183, F554, R30, RS-718-K (manufactured by DIC Corporation), Ftop (registered trademark) EF301, EF303, EF351, EF352 (manufactured by Mitsubishi Materials Electronic Chemicals), Surflon (registered trademark) S381, S382, SC101, SC105 (Asahi Glass Co., Ltd.) and E5844 (Daikin Fine Chemical Laboratory Co., Ltd.).

フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、分子内にシロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤等が挙げられる。具体的には、メガファック(登録商標)R08、同BL20、同F475、同F477及び同F443(DIC(株)製)等が挙げられる。   Examples of the silicone-based surfactant having a fluorine atom include a surfactant having a siloxane bond and a fluorocarbon chain in the molecule. Specifically, Megafac (registered trademark) R08, BL20, F475, F477, F443 (manufactured by DIC Corporation), and the like can be given.

レベリング剤(F)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の総量に対して、好ましくは0.001質量%以上0.2質量%以下であり、好ましくは0.002質量%以上0.1質量%以下、より好ましくは0.005質量%以上0.05質量%以下である。尚、この含有量に、前記顔料分散剤の含有量は含まれない。   The content of the leveling agent (F) is preferably from 0.001% by mass to 0.2% by mass, and preferably from 0.002% by mass to 0.1%, based on the total amount of the colored photosensitive resin composition. It is not more than mass%, more preferably not less than 0.005 mass% and not more than 0.05 mass%. This content does not include the content of the pigment dispersant.

<酸化防止剤(J)>
着色剤の耐熱性及び耐光性を向上させる観点からは、酸化防止剤を含有することが好ましい。酸化防止剤としては、工業的に一般に使用される酸化防止剤であれば特に限定はなく、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及び硫黄系酸化防止剤等を用いることができる。酸化防止剤は、2種以上用いてもよい。
フェノール系酸化防止剤としては、イルガノックス1010(Irganox 1010:ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、BASF(株)製)、イルガノックス1076(Irganox 1076:オクタデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、BASF(株)製)、イルガノックス1330(Irganox 1330:3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−t−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、BASF(株)製)、イルガノックス3114(Irganox 3114:1,3,5−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、BASF(株)製)、イルガノックス3790(Irganox 3790:1,3,5−トリス((4−t−ブチル−3−ヒドロキシ−2,6−キシリル)メチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、BASF(株)製)、イルガノックス1035(Irganox 1035:チオジエチレンビス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、BASF(株)製)、イルガノックス1135(Irganox 1135:ベンゼンプロパン酸、3,5−ビス(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシ、C7−C9側鎖アルキルエステル、BASF(株)製)、イルガノックス1520L(Irganox 1520L:4,6−ビス(オクチルチオメチル)−o−クレゾール、BASF(株)製)、イルガノックス3125(Irganox 3125、BASF(株)製)、イルガノックス565(Irganox 565:2,4−ビス(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ3’、5’−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、BASF(株)製)、アデカスタブAO−80(アデカスタブAO−80:3,9−ビス(2−(3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ)−1,1−ジメチルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ(5,5)ウンデカン、(株)ADEKA製)、スミライザーBHT(Sumilizer BHT、住友化学(株)製)、スミライザーGA−80(Sumilizer GA−80、住友化学(株)製)、スミライザーGS(Sumilizer GS、住友化学(株)製)、シアノックス1790(Cyanox 1790、(株)サイテック製)及びビタミンE(エーザイ(株)製)等が挙げられる。
リン系酸化防止剤としては、イルガフォス168(Irgafos 168:トリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)フォスファイト、BASF(株)製)、イルガフォス12(Irgafos 12:トリス[2−[[2,4,8,10−テトラ−t−ブチルジベンゾ[d、f][1,3,2]ジオキサフォスフィン−6−イル]オキシ]エチル]アミン、BASF(株)製)、イルガフォス38(Irgafos 38:ビス(2,4−ビス(1,1−ジメチルエチル)−6−メチルフェニル)エチルエステル亜りん酸、BASF(株)製)、アデカスタブ329K((株)ADEKA製)、アデカスタブPEP36((株)ADEKA製)、アデカスタブPEP−8((株)ADEKA製)、Sandstab P−EPQ(クラリアント社製)、ウェストン618(Weston 618、GE社製)、ウェストン619G(Weston 619G、GE社製)、ウルトラノックス626(Ultranox 626、GE社製)及びスミライザーGP(Sumilizer GP:6−[3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−t−ブチルジベンズ[d,f][1.3.2]ジオキサホスフェピン)(住友化学(株)製)等が挙げられる。
硫黄系酸化防止剤としては、チオジプロピオン酸ジラウリル、ジミリスチル又はジステアリール等のジアルキルチオジプロピオネート化合物及びテトラキス[メチレン(3−ドデシルチオ)プロピオネート]メタン等のポリオールのβ−アルキルメルカプトプロピオン酸エステル化合物等が挙げられる。
<Antioxidant (J)>
From the viewpoint of improving the heat resistance and light resistance of the colorant, it is preferable to contain an antioxidant. The antioxidant is not particularly limited as long as it is an antioxidant generally used industrially, and a phenol-based antioxidant, a phosphorus-based antioxidant, a sulfur-based antioxidant, and the like can be used. Two or more antioxidants may be used.
Examples of phenolic antioxidants include Irganox 1010 (Irganox 1010: pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], manufactured by BASF Corp.), Irganox 1076. (Irganox 1076: octadecyl-3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate, manufactured by BASF Corp.), Irganox 1330 (Irganox 1330: 3, 3 ′, 3 ″, 5 , 5 ′, 5 ″ -hexa-t-butyl-a, a ′, a ″-(mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, manufactured by BASF Corporation), Irganox 3114 (Irganox 3114: 1,3,5-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -1 , 3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, manufactured by BASF Corporation), Irganox 3790: 1,3,5-tris ((4-t-butyl) -3-Hydroxy-2,6-xylyl) methyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione (manufactured by BASF Corp.), Irganox 1035 : Thiodiethylenebis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], manufactured by BASF Corporation, Irganox 1135 (Irganox 1135: benzenepropanoic acid, 3,5-bis ( 1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy, C7-C9 side chain alkyl ester, manufactured by BASF Corp.), Irganox 1520 (Irganox 1520L: 4,6-bis (octylthiomethyl) -o-cresol, manufactured by BASF Corp.), Irganox 3125 (Irganox 3125, manufactured by BASF Corp.), Irganox 565 (Irganox 565: 2, 4 -Bis (n-octylthio) -6- (4-hydroxy 3 ', 5'-di-t-butylanilino) -1,3,5-triazine, manufactured by BASF Corp.), ADK STAB AO-80 (ADK STAB AO- 80: 3,9-bis (2- (3- (3-t-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propionyloxy) -1,1-dimethylethyl) -2,4,8,10-tetra Oxaspiro (5,5) undecane (manufactured by ADEKA), Sumilizer BHT (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) , Sumilizer GA-80 (Sumilizer GA-80, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Sumilizer GS (Sumilizer GS, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Cyanox 1790 (Cyanox 1790, manufactured by Cytec Co., Ltd.) and Vitamin E (Eisai) Etc.).
Examples of phosphorus antioxidants include Irgafos 168 (Irgafos 168: Tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite, manufactured by BASF Corp.), Irgafos 12 (Irgafos 12: Tris [2-[[2 , 4,8,10-tetra-t-butyldibenzo [d, f] [1,3,2] dioxaphosphin-6-yl] oxy] ethyl] amine (manufactured by BASF Corporation), Irgaphos 38 ( Irgafos 38: bis (2,4-bis (1,1-dimethylethyl) -6-methylphenyl) ethyl ester phosphorous acid, manufactured by BASF Corporation), Adeka Stub 329K (manufactured by ADEKA Corporation), Adeka Stub PEP36 ( (Manufactured by ADEKA), ADK STAB PEP-8 (manufactured by ADEKA), Sandstab P-EPQ (Clarian) ), Weston 618 (Weston 618, manufactured by GE), Weston 619G (Weston 619G, manufactured by GE), Ultranox 626 (Ultranox 626, manufactured by GE) and Sumilyzer GP (Sumizer GP: 6- [3- (3-t-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy] -2,4,8,10-tetra-t-butyldibenz [d, f] [1.3.2] dioxaphosphine (Manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.).
Examples of sulfur-based antioxidants include dialkylthiodipropionate compounds such as dilauryl thiodipropionate, dimyristyl or distearyl, and β-alkyl mercaptopropionate compounds of polyols such as tetrakis [methylene (3-dodecylthio) propionate] methane. Is mentioned.

また、本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分を含むことが好ましい。炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分とは、炭素数2〜4の環状エーテル構造(例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環等)を有する化合物であれば特に限定されず、炭素数2〜4の環状エーテル構造を有する単量体であってもよいし、炭素数2〜4の環状エーテル構造を有する共重合体であってもよい。また、例えば、樹脂(B)が、炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分を兼ねていてもよい。   Moreover, it is preferable that the colored photosensitive resin composition which concerns on this invention contains a C2-C4 cyclic ether structure containing component. The C2-C4 cyclic ether structure-containing component is not particularly limited as long as it is a compound having a C2-C4 cyclic ether structure (for example, an oxirane ring, an oxetane ring, a tetrahydrofuran ring, etc.). It may be a monomer having a cyclic ether structure of ˜4, or a copolymer having a cyclic ether structure of 2 to 4 carbon atoms. Further, for example, the resin (B) may also serve as a C2-C4 cyclic ether structure-containing component.

<その他の成分>
本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、樹脂(B)以外の高分子化合物、密着促進剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミン化合物、硬化剤等の添加剤を併用することもできる。
<Other ingredients>
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, a filler, a polymer compound other than the resin (B), an adhesion promoter, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, an organic acid, an organic amine compound, curing An additive such as an agent can also be used in combination.

充填剤としては、ガラス、シリカ、アルミナ等が挙げられる。   Examples of the filler include glass, silica, and alumina.

樹脂(B)以外の高分子化合物としては、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル及びポリフロロアルキルアクリレート等が挙げられる。   Examples of the polymer compound other than the resin (B) include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate.

密着促進剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン及び3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。なお2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランは、炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分の一例である。   As adhesion promoters, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy Examples include silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane. Note that 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane is an example of a component having a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms.

紫外線吸収剤としては、2−(2−ヒドロキシ−3−tert−ブチル−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール系化合物;2−ヒドロキシ−4−オクチルオキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物;2,4−ジ−tert−ブチルフェニル−3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等のベンゾエート系化合物;2−(4,6−ジフェニル−1,3,5−トリアジン−2−イル)−5−ヘキシルオキシフェノール等のトリアジン系化合物;等が挙げられる。   Examples of ultraviolet absorbers include benzotriazole compounds such as 2- (2-hydroxy-3-tert-butyl-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole; benzophenone compounds such as 2-hydroxy-4-octyloxybenzophenone Compound; benzoate compounds such as 2,4-di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate; 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazine- 2-yl) -5-hexyloxyphenol and other triazine compounds;

凝集防止剤としては、ポリアクリル酸ナトリウム等が挙げられる。   Examples of the aggregation inhibitor include sodium polyacrylate.

有機酸は、現像性の調整に用いられ、具体的には、
蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸;
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の芳香族ポリカルボン酸;等が挙げられる。
Organic acids are used to adjust developability. Specifically,
Aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid;
Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid , Aliphatic dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, mesaconic acid;
Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid;
Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid;
Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;
And aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, merophanic acid, and pyromellitic acid.

有機アミン化合物としては、
n―プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン等のモノアルキルアミン;
シクロヘキシルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン等のモノシクロアルキルアミン;
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−tert−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン等のジアルキルアミン;
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン等のモノアルキルモノシクロアルキルアミン;
ジシクロヘキシルアミン等のジシクロアルキルアミン;
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル−n−プロピルアミン、ジエチル−n−プロピルアミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−tert−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン等のトリアルキルアミン;
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等のジアルキルモノシクロアルキルアミン;
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のモノアルキルジシクロアルキルアミン;
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール等のモノアルカノールアミン;
4−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノシクロアルカノールアミン;
ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン;
ジ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン;
トリエタノールアミン、トリ−n−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールアミン等のトリアルカノールアミン;
トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等のトリシクロアルカノールアミン;
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノアルカンジオール;
4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール等のアミノシクロアルカンジオール;
1−アミノシクロペンタノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカノンメタノール;
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シクロアルカンメタノール;
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノカルボン酸;
アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチルアニリン、p−tert−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン;
o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール;
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール;
m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸;等が挙げられる。
As an organic amine compound,
n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, sec-butylamine, tert-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine Monoalkylamines such as n-undecylamine and n-dodecylamine;
Monocycloalkylamines such as cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine;
Methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, di-sec-butylamine, di-tert-butylamine, di- dialkylamines such as n-pentylamine and di-n-hexylamine;
Monoalkylmonocycloalkylamines such as methylcyclohexylamine and ethylcyclohexylamine;
Dicycloalkylamines such as dicyclohexylamine;
Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl-n-propylamine, diethyl-n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, triisopropylamine, tri-n -Trialkylamines such as butylamine, triisobutylamine, tri-sec-butylamine, tri-tert-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine;
Dialkylmonocycloalkylamines such as dimethylcyclohexylamine and diethylcyclohexylamine;
Monoalkyldicycloalkylamines such as methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;
Monoalkanolamines such as 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, and 6-amino-1-hexanol ;
Monocycloalkanolamines such as 4-amino-1-cyclohexanol;
Dialkanolamines such as diethanolamine, di-n-propanolamine, diisopropanolamine, di-n-butanolamine, diisobutanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine;
Dicycloalkanolamines such as di (4-cyclohexanol) amine;
Trialkanolamines such as triethanolamine, tri-n-propanolamine, triisopropanolamine, tri-n-butanolamine, triisobutanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine;
Tricycloalkanolamines such as tri (4-cyclohexanol) amine;
3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 3-dimethylamino-1 Aminoalkane diols such as 2, 2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol;
Aminocycloalkanediols such as 4-amino-1,2-cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol;
Amino group-containing cycloalkanone methanol such as 1-aminocyclopentanone methanol, 4-aminocyclopentanone methanol;
Amino group-containing cycloalkanemethanol such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol;
β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclo Aminocarboxylic acids such as propanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid;
Aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, p-isopropylaniline, pn-butylaniline, p-tert-butylaniline, 1- Aromatic amines such as naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline;
aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl alcohol;
aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol, p-diethylaminophenol;
m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, aminobenzoic acid such as p-diethylaminobenzoic acid; and the like.

硬化剤としては、加熱されることによって樹脂(B)中のカルボキシ基と反応して樹脂(B)を架橋することができる化合物、単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物等が挙げられ、エポキシ化合物、オキセタン化合物等が挙げられる。これらは、炭素数2〜4の環状エーテル構造含有成分に該当する。   Examples of the curing agent include a compound that can react with the carboxy group in the resin (B) when heated to crosslink the resin (B), a compound that can be polymerized alone to cure the colored pattern, and the like. , Epoxy compounds, oxetane compounds and the like. These correspond to a cyclic ether structure-containing component having 2 to 4 carbon atoms.

ここで、エポキシ化合物としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂及びその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族又は芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重合体及びトリグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。
エポキシ樹脂の市販品としては、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシ(登録商標)ESCN−195XL−80」(住友化学(株)製)等が挙げられる。
Here, as the epoxy compound, bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, other aromatic type epoxy resin, fat Aliphatic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, epoxy resins such as epoxidized oils, brominated derivatives of these epoxy resins, fats other than epoxy resins and their brominated derivatives Epoxy compounds of aliphatic, alicyclic or aromatic, epoxidized products of butadiene (co) polymers, epoxidized products of isoprene (co) polymers, (co) polymers of glycidyl (meth) acrylates and triglycidyl isocyanurates Etc.
Examples of commercially available epoxy resins include orthocresol novolac type epoxy resins, “Sumiepoxy (registered trademark) ESCN-195XL-80” (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), and the like.

オキセタン化合物としては、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタン等が挙げられる。   Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物等を含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。該化合物としては、多価カルボン酸、多価カルボン酸無水物、酸発生剤等が挙げられる。   When the colored photosensitive resin composition of the present invention contains an epoxy compound, an oxetane compound, or the like as a curing agent, it may contain a compound capable of ring-opening polymerization of the epoxy group of the epoxy compound or the oxetane skeleton of the oxetane compound. Good. Examples of the compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, and acid generators.

多価カルボン酸としては、
フタル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸;
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等の脂肪族多価カルボン酸;
ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸等の脂環式多価カルボン酸;等が挙げられる。
As polyvalent carboxylic acid,
Phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetra Aromatic polycarboxylic acids such as carboxylic acids;
Aliphatic polycarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid;
Hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexahydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid Alicyclic polycarboxylic acids such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid; and the like.

多価カルボン酸無水物としては、
無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物;
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族多価カルボン酸無水物;
無水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸等の脂環式多価カルボン酸無水物;
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物等のエステル基含有カルボン酸無水物;等が挙げられる。
As polyvalent carboxylic acid anhydride,
Aromatic polycarboxylic anhydrides such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride;
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride, maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride ;
Hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride Alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, hymic anhydride and nadic anhydride;
And ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitic acid and glycerol tristrimellitic anhydride.

カルボン酸無水物としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。エポキシ樹脂硬化剤としては、商品名「アデカハードナー(登録商標)EH−700」((株)ADEKA製)、商品名「リカシッド(登録商標)HH」(新日本理化(株)製)、商品名「MH−700」(新日本理化(株)製)等が挙げられる。
酸発生剤としては、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類等が挙げられる。
As the carboxylic acid anhydride, a commercially available epoxy resin curing agent may be used. As the epoxy resin curing agent, trade name “Adeka Hardener (registered trademark) EH-700” (manufactured by ADEKA), trade name “Rikacid (registered trademark) HH” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), trade name “MH-700” (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) and the like.
Examples of acid generators include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl methyl benzylsulfonium. Onium salts such as hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, nitrobenzyl tosylate, benzoin tosylate Examples include rates.

硬化剤は、2種以上を組合せて用いてもよい。   Two or more curing agents may be used in combination.

<着色感光性樹脂組成物の製造方法>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含有し、並びに必要に応じて、溶剤(E)、チオール化合物(T)、レベリング剤(F)、重合開始助剤(D1)、酸化防止剤(J)、及びその他の成分を混合することにより調製できる。
<Method for producing colored photosensitive resin composition>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a colorant (A), a resin (B), a polymerizable compound (C) and a polymerization initiator (D), and, if necessary, a solvent (E), It can be prepared by mixing the thiol compound (T), the leveling agent (F), the polymerization initiation assistant (D1), the antioxidant (J), and other components.

<カラーフィルタの製造方法>
本発明の着色感光性樹脂組成物から着色パターンを製造する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。フォトリソグラフ法は、前記着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥させて着色組成物層を形成し、フォトマスクを介して該着色組成物層を露光して、現像する方法である。フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び/又は現像しないことにより、上記着色組成物層の硬化物である着色塗膜を形成することができる。このように形成した着色パターンや着色塗膜が本発明のカラーフィルタである。
<Color filter manufacturing method>
Examples of the method for producing a colored pattern from the colored photosensitive resin composition of the present invention include a photolithographic method, an ink jet method, and a printing method. Of these, the photolithographic method is preferable. The photolithographic method is a method in which the colored photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried to form a colored composition layer, and the colored composition layer is exposed through a photomask and developed. In the photolithography method, a colored coating film that is a cured product of the colored composition layer can be formed by not using a photomask and / or not developing during exposure. The colored pattern and the colored coating film thus formed are the color filter of the present invention.

基板としては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミナケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラス等のガラス板や、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレート等の樹脂板、シリコン、前記基板上にアルミニウム、銀、銀/銅/パラジウム合金薄膜等を形成したものが用いられる。これらの基板上には、別のカラーフィルタ層、樹脂層、トランジスタ、回路等が形成されていてもよい。   As a substrate, quartz glass, borosilicate glass, alumina silicate glass, glass plate such as soda lime glass coated with silica on the surface, resin plate such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, silicon, on the substrate Further, aluminum, silver, a silver / copper / palladium alloy thin film or the like is used. On these substrates, another color filter layer, a resin layer, a transistor, a circuit, and the like may be formed.

フォトリソグラフ法による各色画素の形成は、公知又は慣用の装置や条件で行うことができる。例えば、下記のようにして作製することができる。
まず、着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、加熱乾燥(プリベーク)及び/又は減圧乾燥することにより溶剤等の揮発成分を除去して乾燥させ、平滑な着色組成物層を得る。
塗布方法としては、スピンコート法、スリットコート法、スリット アンド スピンコート法等が挙げられる。
加熱乾燥を行う場合の温度は、30〜120℃が好ましく、50〜110℃がより好ましい。また加熱時間としては、10秒間〜5分間であることが好ましく、30秒間〜3分間であることがより好ましい。
減圧乾燥を行う場合は、50〜150Paの圧力下、20〜25℃の温度範囲で行うことが好ましい。
着色組成物層の膜厚は、特に限定されず、目的とするカラーフィルタの膜厚に応じて適宜選択すればよい。
Formation of each color pixel by the photolithographic method can be performed by a known or commonly used apparatus and conditions. For example, it can be produced as follows.
First, a colored photosensitive resin composition is applied on a substrate, dried by heating (pre-baking) and / or drying under reduced pressure to remove volatile components such as a solvent, and a smooth colored composition layer is obtained.
Examples of the coating method include spin coating, slit coating, and slit and spin coating.
30-120 degreeC is preferable and the temperature in the case of performing heat drying has more preferable 50-110 degreeC. Further, the heating time is preferably 10 seconds to 5 minutes, more preferably 30 seconds to 3 minutes.
When performing vacuum drying, it is preferable to carry out in the temperature range of 20-25 degreeC under the pressure of 50-150 Pa.
The film thickness of the coloring composition layer is not particularly limited, and may be appropriately selected according to the film thickness of the target color filter.

次に、着色組成物層は、目的の着色パターンを形成するためのフォトマスクを介して露光される。該フォトマスク上のパターンは特に限定されず、目的とする用途に応じたパターンが用いられる。
露光に用いられる光源としては、250〜450nmの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、光源としては、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、フォトマスクと着色組成物層が形成された基板との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ及びステッパ等の露光装置を使用することが好ましい。
露光後の着色組成物層を現像液に接触させて現像することにより、基板上に着色パターンが形成される。現像により、着色組成物層の未露光部が現像液に溶解して除去される。現像液としては、例えば、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ性化合物の水溶液が好ましい。これらのアルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。さらに、現像液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法及びスプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
さらに、得られた着色パターンに、ポストベークを行うことが好ましい。ポストベーク温度は、150〜250℃が好ましく、160〜235℃がより好ましい。ポストベーク時間は、1〜120分間が好ましく、10〜60分間がより好ましい。
Next, the coloring composition layer is exposed through a photomask for forming a target coloring pattern. The pattern on the photomask is not particularly limited, and a pattern according to the intended use is used.
The light source used for exposure is preferably a light source that generates light having a wavelength of 250 to 450 nm. For example, light less than 350 nm can be cut using a filter that cuts this wavelength range, or light near 436 nm, 408 nm, and 365 nm can be selectively extracted using a bandpass filter that extracts these wavelength ranges. Or you may. Specifically, examples of the light source include a mercury lamp, a light emitting diode, a metal halide lamp, and a halogen lamp.
Use an exposure device such as a mask aligner or a stepper because the entire exposure surface can be illuminated with parallel rays uniformly, or the photomask can be accurately aligned with the substrate on which the colored composition layer is formed. Is preferred.
A colored pattern is formed on the substrate by developing the exposed colored composition layer in contact with a developer. By the development, the unexposed portion of the colored composition layer is dissolved in the developer and removed. As the developer, for example, an aqueous solution of an alkaline compound such as potassium hydroxide, sodium hydrogen carbonate, sodium carbonate, tetramethylammonium hydroxide is preferable. The concentration of these alkaline compounds in the aqueous solution is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass. Further, the developer may contain a surfactant.
The developing method may be any of paddle method, dipping method, spray method and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development.
After development, it is preferable to wash with water.
Furthermore, it is preferable to post-bake the obtained colored pattern. The post-bake temperature is preferably 150 to 250 ° C, more preferably 160 to 235 ° C. The post-bake time is preferably 1 to 120 minutes, more preferably 10 to 60 minutes.

得られた塗膜の膜厚は隣接画素に影響することから、できる限り塗膜は薄いことが好ましい。特に厚膜になった場合には、液晶パネルを作製した際に、光源の光が2色以上の画素を通過して漏れ出てくることがあり、斜めからパネルを見た場合、色の鮮やかさが失われてしまうおそれがある。ポストベーク後の塗膜は、例えば、3μm以下であることが好ましく、より好ましくは2.8μm以下である。塗膜の下限は特に限定されないが、通常1μm以上であり、1.5μm以上であってもよい。   Since the film thickness of the obtained coating film affects adjacent pixels, the coating film is preferably as thin as possible. In particular, when the film is thick, the light from the light source may leak through the pixels of two or more colors when the liquid crystal panel is manufactured. May be lost. The coating film after post-baking is preferably, for example, 3 μm or less, more preferably 2.8 μm or less. Although the minimum of a coating film is not specifically limited, Usually, 1 micrometer or more may be 1.5 micrometers or more.

また塗膜の明度は高い程好ましく、38.5以上が好ましく、より好ましくは39以上であり、上限は特に限定されないが、通常は70以下である。   Moreover, the lightness of a coating film is so preferable that it is high, 38.5 or more are preferable, More preferably, it is 39 or more, Although an upper limit is not specifically limited, Usually, it is 70 or less.

本発明の着色感光性樹脂組成物を用いることにより、特に高明度なカラーフィルタを製造できる。該カラーフィルタは、表示装置(例えば、液晶表示装置、有機EL装置、電子ペーパー等)及び固体撮像素子に用いられるカラーフィルタとして有用である。   By using the colored photosensitive resin composition of the present invention, a color filter with particularly high brightness can be produced. The color filter is useful as a color filter used in display devices (for example, liquid crystal display devices, organic EL devices, electronic paper, etc.) and solid-state image sensors.

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。なお、以下においては、特に断りのない限り、「部」は「質量部」を、「%」は「質量%」を意味する。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited by the following examples, but may be appropriately modified within a range that can meet the purpose described above and below. Of course, it is possible to implement them, and they are all included in the technical scope of the present invention. In the following, “part” means “part by mass” and “%” means “mass%” unless otherwise specified.

合成例1
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた1Lのフラスコ内に窒素を適量流し窒素雰囲気に置換し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート280質量部を入れ、攪拌しながら80℃まで加熱した。次いで、アクリル酸38質量部、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8及び/又は9−イルアクリレートの混合物289質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート125質量部の混合溶液を5時間かけて滴下した。一方、2,2−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)33質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート235質量部に溶解した混合溶液を6時間かけて滴下した。滴下終了後、4時間同温度で保持した後、室温まで冷却して、B型粘度(23℃)125mPas、固形分37.0質量%、溶液酸価27mg−KOH/gの共重合体を得た(以下、樹脂溶液(B1)という場合がある。)。生成した共重合体の重量平均分子量Mwは9200、分散度2.08であった。得られた共重合体は、500〜600nmではほとんど吸収がみられなかった。
Synthesis example 1
An appropriate amount of nitrogen was passed through a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer to replace the nitrogen atmosphere, and 280 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 80 ° C. with stirring. Next, 38 parts by mass of acrylic acid, 289 parts by mass of a mixture of 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8 and / or 9-yl acrylate, 125 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate Part of the mixed solution was added dropwise over 5 hours. On the other hand, a mixed solution in which 33 parts by mass of 2,2-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was dissolved in 235 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added dropwise over 6 hours. After completion of dropping, the mixture was held at the same temperature for 4 hours and then cooled to room temperature to obtain a copolymer having a B-type viscosity (23 ° C.) of 125 mPas, a solid content of 37.0% by mass and a solution acid value of 27 mg-KOH / g (Hereinafter, it may be referred to as a resin solution (B1).) The produced copolymer had a weight average molecular weight Mw of 9,200 and a dispersity of 2.08. The obtained copolymer showed almost no absorption at 500 to 600 nm.

上記の合成例で得られた樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量Mw及び数平均分子量Mnの測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置 ;HLC−8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG2000HXL
カラム温度 ;40℃
溶媒 ;THF
流速 ;1.0mL/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
校正用標準物質 ;TSK STANDARD POLYSTYRENE
F−40、F−4、F−288、A−2500、A−500
(東ソー(株)製)
About the measurement of polystyrene conversion weight average molecular weight Mw and number average molecular weight Mn of resin obtained by said synthesis example, it carried out on condition of the following using GPC method.
Apparatus: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent: THF
Flow rate: 1.0 mL / min
Test liquid solid content concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μL
Detector; RI
Reference material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE
F-40, F-4, F-288, A-2500, A-500
(Manufactured by Tosoh Corporation)

〔顔料分散液1の調製〕
ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1) 14.0部
アクリル系顔料分散剤 1.9部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 84.1部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−1)を得た。
ここで、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)としては、特許4368157号に記載の方法で合成され、得られたポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、一分子中に平均10個の臭素を含有するものであった。顔料分散液1と樹脂溶液(B1)を混合し、固形分中ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)の濃度が30%になるように調整した組成物を、2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、スピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、さらにオーブンにて、230℃で30分間ポストベークを行い得られた塗膜の色を測色機(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測定した所、最大透過率の波長は515nmであった。アクリル系顔料分散剤、樹脂溶液(B1)及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートは、それぞれ、透過率にほとんど影響がなかった。
[Preparation of pigment dispersion 1]
Polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) 14.0 parts Acrylic pigment dispersant 1.9 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 84.1 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill. (A-1) was obtained.
Here, as the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1), it was synthesized by the method described in Japanese Patent No. 4368157, and the obtained polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) was analyzed in one molecule from the halogen content analysis by mass spectrometry. Contained an average of 10 bromines. A composition prepared by mixing the pigment dispersion 1 and the resin solution (B1) and adjusting the concentration of the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) in the solid content to 30% is a 2-inch square glass substrate (Eagle XG; After being applied by spin coating, it was pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling and further baking in an oven at 230 ° C. for 30 minutes, the color of the coating film obtained was measured using a colorimeter (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation), maximum transmission The wavelength of the rate was 515 nm. The acrylic pigment dispersant, the resin solution (B1), and propylene glycol monomethyl ether acetate had almost no effect on the transmittance.

〔顔料分散液2の調製〕
C.I.ピグメントグリーン58 13.0部
アクリル系顔料分散剤 2.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 85.0部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−2)を得た。
C.I.ピグメントグリーン58は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、一分子中に平均14個の臭素を含有するものであった。顔料分散液1の場合と同様に測色機(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて測色を行った所、最大透過率の波長は525nmであった。アクリル系顔料分散剤、樹脂溶液(B1)及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートは、それぞれ、透過率にほとんど影響がなかった。
[Preparation of pigment dispersion 2]
C. I. Pigment Green 58 13.0 parts Acrylic pigment dispersant 2.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 85.0 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-2) Got.
C. I. Pigment Green 58 contained an average of 14 bromine atoms in one molecule based on a halogen content analysis by mass spectrometry. As in the case of pigment dispersion 1, colorimetry was performed using a colorimeter (OSP-SP-200; manufactured by Olympus Corporation), and the maximum transmittance wavelength was 525 nm. The acrylic pigment dispersant, the resin solution (B1), and propylene glycol monomethyl ether acetate had almost no effect on the transmittance.

〔顔料分散液3の調製〕
C.I.ピグメントグリーン7 11.0部
アクリル系顔料分散剤 3.3部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 85.7部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−3)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 3]
C. I. Pigment Green 7 11.0 parts Acrylic pigment dispersant 3.3 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 85.7 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-3) Got.

〔顔料分散液4の調製〕
C.I.ピグメントブルー15:3 12.0部
アクリル系顔料分散剤 4.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 84.0部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−4)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 4]
C. I. Pigment Blue 15: 3 12.0 parts Acrylic pigment dispersant 4.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 84.0 parts are mixed, and the pigment dispersion (A- 4) was obtained.

〔顔料分散液5の調製〕
C.I.ピグメントイエロー185 5.0部
アクリル系顔料分散剤 3.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 91.5部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−5)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 5]
C. I. Pigment Yellow 185 5.0 parts Acrylic pigment dispersant 3.5 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 91.5 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-5) Got.

〔顔料分散液6の調製〕
C.I.ピグメントイエロー138 15.0部
アクリル系顔料分散剤 4.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 80.5部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−6)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 6]
C. I. Pigment Yellow 138 15.0 parts Acrylic pigment dispersant 4.5 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 80.5 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-6) Got.

実施例1〜9及び比較例1〜3
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
表8記載の成分を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。尚、着色感光性樹脂組成物の固形分が表8の「固形分(%)」となるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを混合した。
Examples 1-9 and Comparative Examples 1-3
[Preparation of colored photosensitive resin composition]
The components shown in Table 8 were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition. In addition, propylene glycol monomethyl ether acetate was mixed so that the solid content of the colored photosensitive resin composition was “solid content (%)” in Table 8.

表8において、各成分は以下のとおりである。
着色分散剤(A1);上記で得られた顔料分散液(A−1)
着色分散剤(A2);上記で得られた顔料分散液(A−2)
着色分散剤(A3);上記で得られた顔料分散液(A−3)
着色分散剤(A4);上記で得られた顔料分散液(A−4)
着色分散剤(A5);上記で得られた顔料分散液(A−5)
着色分散剤(A6);上記で得られた顔料分散液(A−6)
樹脂溶液(B1);合成例1で得た共重合体溶液
重合性化合物(C1);ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製)
重合開始剤(D1);N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン(イルガキュアOXE01;BASF社製;O−アシルオキシム化合物)
重合開始剤(D2);2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルスルファニルフェニル)プロパン−1−オン(イルガキュア907;BASF社製;アルキルフェノン化合物)
レベリング剤(F1);ポリエーテル変性シリコーンオイル(SH8400;東レ・ダウコーニング株式会社製)
In Table 8, each component is as follows.
Colored dispersant (A1); Pigment dispersion (A-1) obtained above
Colored dispersant (A2); Pigment dispersion (A-2) obtained above
Colored dispersant (A3); Pigment dispersion (A-3) obtained above
Colored dispersant (A4); Pigment dispersion (A-4) obtained above
Colored dispersant (A5); Pigment dispersion obtained above (A-5)
Colored dispersant (A6); Pigment dispersion (A-6) obtained above
Resin solution (B1); copolymer solution obtained in Synthesis Example 1 polymerizable compound (C1); dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Polymerization initiator (D1); N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane-1-one-2-imine (Irgacure OXE01; manufactured by BASF; O-acyloxime compound)
Polymerization initiator (D2); 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one (Irgacure 907; manufactured by BASF; alkylphenone compound)
Leveling agent (F1); polyether-modified silicone oil (SH8400; manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.)

〔パターンの作製〕
2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を100μmとして、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、150mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。尚、フォトマスクとしては、50μmラインアンドスペースパターンが形成されたマスクを使用した。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に24℃で60秒間浸漬現像し、水洗後、オーブン中、230℃で30分間ポストベークを行い、パターンを得た。
[Preparation of pattern]
A colored photosensitive resin composition was applied by spin coating on a 2-inch square glass substrate (Eagle XG; manufactured by Corning), and then pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling, the distance between the substrate coated with the colored photosensitive resin composition and the photomask made of quartz glass having a pattern is set to 100 μm, using an exposure machine (TME-150RSK; manufactured by Topcon Co., Ltd.) , And was irradiated with light at an exposure dose of 150 mJ / cm 2 (based on 365 nm). As a photomask, a mask on which a 50 μm line and space pattern was formed was used. After light irradiation, the coating film was immersed and developed in an aqueous developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 24 ° C. for 60 seconds, washed with water, and 230 ° C. in an oven. And post-baked for 30 minutes to obtain a pattern.

〔膜厚測定〕
得られたパターンについて、膜厚測定装置(DEKTAK3;日本真空技術(株)製))を用いて膜厚FT(μm)を測定した。結果を表9に示す。表中、膜厚が3μm以下の場合を「○」、3μm超の場合を「×」とした。
[Film thickness measurement]
About the obtained pattern, film thickness FT (micrometer) was measured using the film thickness measuring apparatus (DEKTAK3; Nippon Vacuum Technology Co., Ltd. product). The results are shown in Table 9. In the table, the case where the film thickness is 3 μm or less is “◯”, and the case where the film thickness is more than 3 μm is “x”.

〔色度評価〕
得られたパターンについて、測色機(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて分光を測定し、C光源の特性関数を用いてCIEのXYZ表色系におけるxy色度座標(x、y)と明度Yを測定した。結果を表9に示す。表中、明度が38.5以上の場合を「○」、38.5未満の場合を「×」とした。
[Chromaticity evaluation]
About the obtained pattern, spectrum was measured using the colorimeter (OSP-SP-200; Olympus Co., Ltd.), and the xy chromaticity coordinates in the XYZ color system of CIE (Characteristic function of C light source) x, y) and brightness Y were measured. The results are shown in Table 9. In the table, the case where the brightness is 38.5 or more is “◯”, and the case where the brightness is less than 38.5 is “x”.

〔パターン形状〕
得られたパターンを光学顕微鏡形状にて観察し、パターン端部が直線となっていれば「○」、欠け等によりギザギザになっている場合には「×」として評価した。結果を表9に示す。
[Pattern shape]
The obtained pattern was observed with the shape of an optical microscope. When the pattern edge was a straight line, it was evaluated as “◯”, and when it was notched due to chipping or the like, it was evaluated as “x”. The results are shown in Table 9.

本発明の着色感光性樹脂組成物から、良好な明度を有する高精細カラーフィルタを製造することができる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物から、良好なパターン形状でパターンを作製することができ、パターンの作製時に着色感光性樹脂組成物由来の欠けが発生しにくい。   A high-definition color filter having good lightness can be produced from the colored photosensitive resin composition of the present invention. Moreover, a pattern with a favorable pattern shape can be produced from the colored photosensitive resin composition of the present invention, and chipping derived from the colored photosensitive resin composition is unlikely to occur during pattern production.

Claims (9)

着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、
前記着色剤(A)として、一分子中に臭素を平均13個未満含有し、且つ、380〜780nmにおける分光透過率スペクトルの透過率が最大となる波長が500〜520nmであるポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)を含み、
前記重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物を含むことを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
A colorant (A), a resin (B), a polymerizable compound (C) and a polymerization initiator (D);
As the colorant (A), a polyhalogenated zinc phthalocyanine containing less than 13 bromine on average in one molecule and having a wavelength of 500 to 520 nm at which the transmittance of the spectral transmittance spectrum at 380 to 780 nm is maximum. Including (a1),
A colored photosensitive resin composition comprising an O-acyloxime compound as the polymerization initiator (D).
更に第2の着色剤として顔料及び/または染料を含む請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising a pigment and / or a dye as the second colorant. 前記ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン(a1)以外の緑色顔料、黄色顔料、及び青色顔料からなる群より選択される少なくとも1種以上を第2の着色剤として含む請求項2に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 2, comprising at least one selected from the group consisting of a green pigment, a yellow pigment, and a blue pigment other than the polyhalogenated zinc phthalocyanine (a1) as the second colorant. object. 前記O−アシルオキシム化合物として、下記式(d1)、(d2)、及び(d3)からなる群より選択される少なくとも1種以上を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
[式(d1)〜(d3)中、
d1は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基、置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキル基、または芳香族炭化水素基と該アルキル基から導かれるアルカンジイル基とを組み合わせた、置換基を有していてもよい基を表し、前記アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−、−S−、−SO2−又は−NRd5−に置き換わっていてもよい。
d2は、炭素数6〜18の芳香族炭化水素基、炭素数3〜36の複素環基又は炭素数1〜10のアルキル基を表す。
d3は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数3〜36の複素環基を表す。
d4は、置換基を有していてもよい炭素数6〜18の芳香族炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数1〜15の脂肪族炭化水素基を表し、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−、−CO−又は−S−に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれるメチン基(−CH<)は、−PO3<に置き換わっていてもよく、前記脂肪族炭化水素基に含まれる水素原子はOH基で置換されていてもよい。
d5は、炭素数1〜10のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれるメチレン基(−CH2−)は、−O−又は−CO−に置き換わっていてもよい。]
The colored photosensitive composition according to any one of claims 1 to 3, comprising at least one selected from the group consisting of the following formulas (d1), (d2), and (d3) as the O-acyloxime compound. Resin composition.
[In the formulas (d1) to (d3),
R d1 has an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, and a substituent. Represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group derived from the alkyl group, which may have a substituent; The contained methylene group (—CH 2 —) may be replaced by —O—, —CO—, —S—, —SO 2 — or —NR d5 —.
R d2 represents an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms.
R d3 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted heterocyclic group having 3 to 36 carbon atoms.
R d4 represents an optionally substituted aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms or an optionally substituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms; The methylene group (—CH 2 —) contained in the aromatic hydrocarbon group may be replaced by —O—, —CO— or —S—, and the methine group (—CH < ) May be replaced with —PO 3 <, and the hydrogen atom contained in the aliphatic hydrocarbon group may be substituted with an OH group.
R d5 represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and the methylene group (—CH 2 —) contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—. ]
更に、アルキルフェノン化合物、ビイミダゾール化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物及びチオール化合物(T)からなる群より選ばれる少なくとも1種以上を含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   Furthermore, at least 1 sort (s) or more chosen from the group which consists of an alkylphenone compound, a biimidazole compound, a triazine compound, an acyl phosphine oxide compound, and a thiol compound (T) is contained, The colored photosensitivity of any one of Claims 1-4. Resin composition. 更に、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤から選ばれる少なくとも1種のレベリング剤(F)を含む請求項1〜5のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   Furthermore, at least 1 type of leveling agent (F) chosen from the silicone type surfactant, a fluorine type surfactant, and the silicone type surfactant which has a fluorine atom is contained in any one of Claims 1-5. Colored photosensitive resin composition. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。   The coating film formed using the colored photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。   The color filter formed using the colored photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6. 請求項8に記載のカラーフィルタを含む表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 8.
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