JP2016178167A - Photoelectrode and manufacturing method therefor, and solar battery and manufacturing method therefor - Google Patents

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尚洋 藤沼
Naohiro Fujinuma
尚洋 藤沼
純一郎 安西
Junichiro Anzai
純一郎 安西
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a photoelectrode having a light absorption layer including a perovskite compound; a method for manufacturing such a photoelectrode, which need not include a sintering step as a requisite; a solar battery using such a photoelectrode; and a method for manufacturing such a solar battery.SOLUTION: A method for manufacturing a photoelectrode 9 having a conductive base material 8, an underlying layer 3 laminated on the base material 8, and a light absorption layer 7 including an organic inorganic perovskite compound and formed on the surface of the underlying layer 3 and in the underlying layer, or at least in the underlying layer comprises: a step of forming the underlying layer 3 by blowing, against the base material 8, at least any one kind of fine particles of N-type semiconductor fine particles and insulator fine particles, which have the organic inorganic perovskite compound deposited thereto. It is preferred that the organic inorganic perovskite compound is a compound expressed by the following composition formula (I): ABX(I) [where A represents an organic cation, B represents a metal ion, and X represents a halogen ion].SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、焼成処理を必須としない光電極の製造方法、その製造方法によって製造された光電極、その光電極を用いた太陽電池の製造方法、及びその製造方法によって製造された太陽電池に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a photoelectrode that does not require a baking treatment, a photoelectrode manufactured by the manufacturing method, a method for manufacturing a solar cell using the photoelectrode, and a solar cell manufactured by the manufacturing method.

有機無機ハイブリッドのペロブスカイト化合物は、色素増感太陽電池の色素に替わる増感剤として注目を集めている。このペロブスカイト化合物からなる結晶層(ペロブスカイト化合物層)の表面にビフルオレン型低分子sprio-OMeTADの有機正孔輸送層を製膜した、電解液を使用しない固体太陽電池が10.9%の光電変換効率を示したことが報告されている(非特許文献1参照)。この報告を皮切りに、更なる光電変換効率の向上が相次いで報告され(非特許文献2参照)、実用化に向けた開発が盛んになりつつある。実用化するためには、光電変換効率の向上を図るだけでなく、製造コストを下げることも求められている。   Organic-inorganic hybrid perovskite compounds have attracted attention as sensitizers that can replace the dyes of dye-sensitized solar cells. A solid solar cell using an organic hole transport layer of bifluorene-type low molecular weight sprio-OMeTAD formed on the surface of a crystal layer (perovskite compound layer) made of this perovskite compound shows 10.9% photoelectric conversion efficiency. Has been reported (see Non-Patent Document 1). Starting with this report, further improvements in photoelectric conversion efficiency have been reported one after another (see Non-Patent Document 2), and development for practical use is becoming active. In order to put it to practical use, it is required not only to improve the photoelectric conversion efficiency but also to reduce the manufacturing cost.

“Efficient Hybrid Solar Cells Based on Meso-Superstructured Organometal Halide Perovskites” Science, 2012, 338, p643-.“Efficient Hybrid Solar Cells Based on Meso-Superstructured Organometal Halide Perovskites” Science, 2012, 338, p643-. “Solvent engineering for high-performance inorganic-organic hybrid perovskite solar cells” Nature Materials 2014, 13, p897-.“Solvent engineering for high-performance inorganic-organic hybrid perovskite solar cells” Nature Materials 2014, 13, p897-.

従来、チタニア微粒子とバインダー樹脂を含むペーストを導電性ガラス基板上に塗布し、この塗膜を焼成して得られた多孔質膜が、ペロブスカイト化合物層の下地として利用されている。しかし、約500℃で30〜60分という条件の焼成工程は製造コストを押し上げる要因であるため、多孔質膜を低温かつ短時間で製膜することが求められている。   Conventionally, a porous film obtained by applying a paste containing titania fine particles and a binder resin onto a conductive glass substrate and firing this coating film has been used as a base for the perovskite compound layer. However, since the baking process at about 500 ° C. for 30 to 60 minutes is a factor that increases the manufacturing cost, it is required to form the porous film at a low temperature and in a short time.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、焼成工程を必須としない、ペロブスカイト化合物を含む光吸収層を備えた光電極の製造方法、光電極、その光電極を使用した太陽電池の製造方法及び太陽電池の提供を課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and does not require a firing step, a method for producing a photoelectrode having a light absorption layer containing a perovskite compound, a photoelectrode, and a solar cell using the photoelectrode It is an object to provide a manufacturing method and a solar cell.

[1] 導電性を有する基材と、前記基材上に積層された下地層と、前記下地層の表面及び内部のうち少なくとも内部に形成された有機無機ペロブスカイト化合物を含む光吸収層と、を有する光電極の製造方法であって、前記有機無機ペロブスカイト化合物が付着したN型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の少なくとも何れか一方を前記基材に吹き付けることにより前記下地層を形成する工程を有する光電極の製造方法。
[2] 前記N型半導体微粒子が、ZnO、TiO及びSnOから選ばれる何れか1種以上からなる微粒子である、上記[1]に記載の光電極の製造方法。
[3] 前記絶縁体微粒子が、Al、ZrO及びMgOから選ばれる何れか1種以上からなる微粒子である、上記[1]に記載の光電極の製造方法。
[4] 前記N型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の平均粒径が10nm〜70nmである、上記[1]〜[3]の何れか一項に記載の光電極の製造方法。
[5] 前記有機無機ペロブスカイト化合物が、下記組成式(I)で表される、上記[1]〜[4]の何れか一項に記載の光電極の製造方法。
ABX ・・・(I)
[式中、Aは有機カチオン、Bは金属イオン、Xはハロゲンイオンを表す。]
[6] 上記[1]〜[5]の何れか一項に記載の方法によって製造された光電極。
[7] 上記[6]に記載の光電極と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、上記[1]〜[5]の何れか一項に記載の方法によって前記光電極を得る工程と、前記光電極の光吸収層の表面に前記対向電極を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法。
[8] 上記[6]に記載の光電極と、正孔輸送層と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、上記[1]〜[5]の何れか一項に記載の方法によって前記光電極を得る工程と、前記光電極の光吸収層の上に前記正孔輸送層を形成する工程と、前記正孔輸送層の上に前記対向電極を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法。
[9] 前記光吸収層の表面に前記正孔輸送層を形成し、前記正孔輸送層の表面に前記対向電極を配置する、上記[8]に記載の太陽電池の製造方法。
[10] 上記[6]に記載の光電極と、対向電極とを備える太陽電池。
[11] 上記[7]〜[9]の何れか一項に記載の方法によって製造された太陽電池。
[1] A base material having conductivity, a base layer laminated on the base material, and a light absorption layer containing an organic / inorganic perovskite compound formed at least inside the surface and the inside of the base layer. A photoelectrode having a step of forming the underlayer by spraying at least one of N-type semiconductor fine particles and insulator fine particles to which the organic / inorganic perovskite compound is attached to the base material Manufacturing method.
[2] The method for producing a photoelectrode according to the above [1], wherein the N-type semiconductor fine particles are fine particles composed of at least one selected from ZnO, TiO 2 and SnO.
[3] The method for producing a photoelectrode according to the above [1], wherein the insulating fine particles are fine particles comprising at least one selected from Al 2 O 3 , ZrO 2 and MgO.
[4] The method for producing a photoelectrode according to any one of [1] to [3], wherein the N-type semiconductor fine particles and the insulating fine particles have an average particle diameter of 10 nm to 70 nm.
[5] The method for producing a photoelectrode according to any one of [1] to [4], wherein the organic-inorganic perovskite compound is represented by the following composition formula (I).
ABX 3 (I)
[Wherein, A represents an organic cation, B represents a metal ion, and X represents a halogen ion. ]
[6] A photoelectrode manufactured by the method according to any one of [1] to [5].
[7] A method for producing a solar cell comprising the photoelectrode according to [6] and a counter electrode, wherein the photoelectrode is produced by the method according to any one of [1] to [5]. And a step of disposing the counter electrode on the surface of the light absorption layer of the photoelectrode.
[8] A method for manufacturing a solar cell comprising the photoelectrode according to [6], a hole transport layer, and a counter electrode, wherein the method is any one of [1] to [5]. Obtaining the photoelectrode by the method, forming the hole transport layer on the light absorption layer of the photoelectrode, and disposing the counter electrode on the hole transport layer. A method for manufacturing a solar cell.
[9] The method for manufacturing a solar cell according to [8], wherein the hole transport layer is formed on a surface of the light absorption layer, and the counter electrode is disposed on the surface of the hole transport layer.
[10] A solar cell comprising the photoelectrode according to [6] above and a counter electrode.
[11] A solar cell manufactured by the method according to any one of [7] to [9].

本発明にかかる光電極及び太陽電池の製造方法によれば、ペロブスカイト化合物を含む光吸収層の下地層を、焼成することなく常温で製膜できるので、製造コストを低減することができる。さらに、下地層を形成する基材として、耐熱性の低い樹脂フィルムを適用できるので、従来よりも幅広い設置形態及び多様な用途に適用可能なフィルム型太陽電池を低コストで製造することができる。   According to the method for manufacturing a photoelectrode and a solar cell according to the present invention, since the base layer of the light absorption layer containing the perovskite compound can be formed at room temperature without firing, the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, since a resin film with low heat resistance can be applied as a base material for forming the base layer, a film-type solar cell applicable to a wide variety of installation forms and various uses can be manufactured at low cost.

本発明にかかる光電極の積層構造の一例を示した断面模式図である。It is the cross-sectional schematic diagram which showed an example of the laminated structure of the photoelectrode concerning this invention. 本発明にかかる光電極の製造方法に適用可能な製膜装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the film forming apparatus applicable to the manufacturing method of the photoelectrode concerning this invention.

以下、好適な実施の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明するが、本発明はかかる実施形態に限定されない。なお、本明細書において、「膜」と「層」は特に明記しない限り区別しない。   Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings based on preferred embodiments, but the present invention is not limited to such embodiments. In the present specification, “film” and “layer” are not distinguished unless otherwise specified.

《光電極》
本発明の光電極の第一実施形態は、図1に示す光電極9である。光電極9は、導電性を有する基板1と、基板1の表面に積層されたブロック層2と、基板1上であってブロック層2の表面に積層された下地層3と、下地層3の表面及び内部のうち少なくとも内部に形成された有機無機ペロブスカイト化合物を含む光吸収層7と、を有する。
本明細書においては、有機無機ペロブスカイト化合物を単に「ペロブスカイト化合物」と呼ぶ。
<< Photoelectrode >>
The first embodiment of the photoelectrode of the present invention is a photoelectrode 9 shown in FIG. The photoelectrode 9 includes a conductive substrate 1, a block layer 2 laminated on the surface of the substrate 1, an underlayer 3 laminated on the surface of the block layer 2 on the substrate 1, And a light absorption layer 7 containing an organic / inorganic perovskite compound formed at least inside the surface and the inside.
In the present specification, the organic / inorganic perovskite compound is simply referred to as “perovskite compound”.

光電極9において、導電性基板1とブロック層2を合わせて基材8と呼ぶ。導電性基板1及びブロック層2のうち何れか一方が配置されていない場合には、配置された残りの他方が基材8である。光電極9において基材8の表面に下地層3が配置されている。   In the photoelectrode 9, the conductive substrate 1 and the block layer 2 are collectively referred to as a base material 8. When either one of the conductive substrate 1 and the block layer 2 is not arranged, the remaining other arranged is the base material 8. In the photoelectrode 9, the base layer 3 is disposed on the surface of the substrate 8.

光電極9の下地層3は多孔質膜であり、ペロブスカイト化合物が多孔質膜の内部に含まれている。さらに多孔質膜の表面には、ペロブスカイト化合物によって構成されたアッパー層4が積層されている。多孔質構造によって支持されたペロブスカイト化合物を含む多孔質膜(下地層3)と、下地層3の上方に位置するペロブスカイト化合物によって構成されたペロブスカイト化合物層(アッパー層4)と、を合わせて光吸収層7と呼ぶ。   The underlayer 3 of the photoelectrode 9 is a porous film, and a perovskite compound is contained inside the porous film. Further, an upper layer 4 made of a perovskite compound is laminated on the surface of the porous film. The porous film (underlayer 3) containing the perovskite compound supported by the porous structure and the perovskite compound layer (upper layer 4) composed of the perovskite compound located above the underlayer 3 are combined to absorb light. Called layer 7.

光電極9において、アッパー層4は必須の構成ではなく、ペロブスカイト化合物の結晶を含む下地層3のみで光吸収層7が形成されていてもよい。   In the photoelectrode 9, the upper layer 4 is not an essential component, and the light absorption layer 7 may be formed only of the underlayer 3 containing crystals of a perovskite compound.

下地層3は、多孔質膜に替えて、非多孔質の緻密膜であってもよい。この場合においても、緻密膜中にペロブスカイト化合物は含まれる。   The underlayer 3 may be a non-porous dense film instead of the porous film. Even in this case, the perovskite compound is contained in the dense film.

光電極9において、ブロック層2は必須の構成ではないが、ブロック層2が導電性基板1と光吸収層7の間に配置されていることが好ましい。ブロック層2を配置することにより、導電性基板1と光吸収層7とが直接接触することを防ぎ、光電変換効率を向上させることができる。ブロック層2はN型半導体によって構成された緻密層であることが好ましい。   In the photoelectrode 9, the block layer 2 is not essential, but the block layer 2 is preferably disposed between the conductive substrate 1 and the light absorption layer 7. By disposing the block layer 2, it is possible to prevent the conductive substrate 1 and the light absorption layer 7 from being in direct contact with each other and improve the photoelectric conversion efficiency. The block layer 2 is preferably a dense layer made of an N-type semiconductor.

光吸収層7に含まれるペロブスカイト化合物層は、結晶構造を有し、典型的な化合物半導体と同様にバンドギャップ励起による光吸収を示す。ペロブスカイト化合物として公知であるCH3NH3PbI3からなる結晶においては、PbI2が可視光吸収を担い、色素増感太陽電池の増感色素と比べて、単位厚さ当たりの吸光係数(cm-1)が1桁高いことが知られている。 The perovskite compound layer included in the light absorption layer 7 has a crystal structure and exhibits light absorption by band gap excitation in the same manner as a typical compound semiconductor. In the crystal composed of CH 3 NH 3 PbI 3 known as a perovskite compound, PbI 2 is responsible for visible light absorption, and compared with the sensitizing dye of the dye-sensitized solar cell, the extinction coefficient per unit thickness (cm − 1 ) is known to be one digit higher.

光電極9は図1に示す太陽電池10を構成しており、光電極9のアッパー層4の表面に正孔輸送層5が形成され、正孔輸送層5の表面に対向電極6が配置されている。アッパー層4が配置されない場合には、下地層3の表面に正孔輸送層5又は対向電極6が形成される。正孔輸送層5及び対向電極6の詳細は後述する。   The photoelectrode 9 constitutes the solar cell 10 shown in FIG. 1, the hole transport layer 5 is formed on the surface of the upper layer 4 of the photoelectrode 9, and the counter electrode 6 is disposed on the surface of the hole transport layer 5. ing. When the upper layer 4 is not disposed, the hole transport layer 5 or the counter electrode 6 is formed on the surface of the base layer 3. Details of the hole transport layer 5 and the counter electrode 6 will be described later.

本発明にかかる光電極9の各構成の好適な材料、厚さなどについては次の製造方法の説明において例示する。   Suitable materials, thicknesses, and the like of each configuration of the photoelectrode 9 according to the present invention will be exemplified in the following description of the manufacturing method.

《光電極の製造方法》
本発明の光電極の製造方法の第一実施形態として、図1に例示した光電極9の製造方法を説明する。
<基板1の準備>
基材8を構成する基板1の種類は特に制限されず、例えば従来の太陽電池の光電極に使用される透明基板が挙げられる。前記透明基板としては、例えばガラス若しくは合成樹脂からなる基板、合成樹脂製フィルム等が挙げられる。基板1には可撓性を有するフレキシブルなフィルムも含まれる。
<< Photoelectrode Manufacturing Method >>
As a first embodiment of the method for producing a photoelectrode of the present invention, a method for producing the photoelectrode 9 illustrated in FIG. 1 will be described.
<Preparation of substrate 1>
The kind in particular of the board | substrate 1 which comprises the base material 8 is not restrict | limited, For example, the transparent substrate used for the photoelectrode of the conventional solar cell is mentioned. Examples of the transparent substrate include substrates made of glass or synthetic resin, synthetic resin films, and the like. The substrate 1 includes a flexible film having flexibility.

N型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の少なくとも何れか一方の微粒子の吹き付けによって下地層3を形成する本実施形態の製造方法においては、高温の焼成処理が必須ではなく、室温で下地層3を形成できるので、200℃未満のガラス転移温度を有する基板、例えば合成樹脂製の基板、フィルム等を基板1として適用できる。したがって、従来に比べて多種類の基板を使用することができるので、従来よりも広範な目的及び用途に応じた、種々のペロブスカイト化合物を有する太陽電池を製造することが可能である。   In the manufacturing method of this embodiment in which the underlayer 3 is formed by spraying at least one of N-type semiconductor fine particles and insulator fine particles, high-temperature baking is not essential, and the underlayer 3 can be formed at room temperature. Therefore, a substrate having a glass transition temperature of less than 200 ° C., for example, a synthetic resin substrate, a film, or the like can be applied as the substrate 1. Therefore, since many kinds of substrates can be used as compared with the conventional one, it is possible to manufacture solar cells having various perovskite compounds according to a wider range of purposes and applications than conventional ones.

基板1の材料がガラスである場合、そのガラスとしては、例えば、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、バイコールガラス、無アルカリガラス、青板ガラス及び白板ガラスなどの公知のガラスが挙げられる。   When the material of the substrate 1 is glass, examples of the glass include known glasses such as soda lime glass, borosilicate glass, quartz glass, borosilicate glass, Vycor glass, alkali-free glass, blue plate glass, and white plate glass. Can be mentioned.

基板1の材料が合成樹脂である場合、その合成樹脂としては、例えば、ポリアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられる。これらの中でも、ポリエステル樹脂、特にポリエチレンナフタレート(PEN)やポリエチレンテレフタレート(PET)が、薄く、軽く、かつフレキシブルな太陽電池を製造する観点から好ましい。   When the material of the substrate 1 is a synthetic resin, examples of the synthetic resin include polyacrylic resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyimide resin, polystyrene resin, polyvinyl chloride resin, and polyamide resin. Among these, polyester resins, particularly polyethylene naphthalate (PEN) and polyethylene terephthalate (PET) are preferable from the viewpoint of manufacturing a thin, light and flexible solar cell.

基板1の表面には透明導電層を構成する金属酸化物がコーティングされていることが好ましい。このコーティングにより、基板1の透明性を損なうことなく、その表面に導電性を付与することができる。金属酸化物としては、公知の太陽電池の透明導電層に使用される化合物が適用可能であり、例えば、スズドープ酸化インジウム(ITO)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、酸化亜鉛、酸化スズ、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化インジウム/酸化亜鉛(IZO)、酸化ガリウム/酸化亜鉛(GZO)等が挙げられる。
前記金属酸化物からなる透明導電層は、1層であってもよいし、複数層であってもよい。
The surface of the substrate 1 is preferably coated with a metal oxide constituting the transparent conductive layer. This coating can impart conductivity to the surface of the substrate 1 without impairing the transparency. As the metal oxide, a compound used for a transparent conductive layer of a known solar cell can be applied. For example, tin-doped indium oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide, tin oxide, antimony dope Examples thereof include tin oxide (ATO), indium oxide / zinc oxide (IZO), and gallium oxide / zinc oxide (GZO).
The transparent conductive layer made of the metal oxide may be a single layer or a plurality of layers.

本実施形態で使用する基板1は常法により作製可能であり、市販品を使用してもよい。
基板1の厚みと材料は特に限定されず、例えば1mm〜10mm厚のガラス基板、0.01mm〜3mm厚の樹脂フィルム等が挙げられる。
基板1の表面に設けられる透明導電層の厚みは、所望の導電性が得られる厚みであれば特に限定されず、例えば1nm〜10μm程度が挙げられる。
The substrate 1 used in the present embodiment can be manufactured by a conventional method, and a commercially available product may be used.
The thickness and material of the substrate 1 are not particularly limited, and examples thereof include a glass substrate having a thickness of 1 mm to 10 mm and a resin film having a thickness of 0.01 mm to 3 mm.
The thickness of the transparent conductive layer provided on the surface of the substrate 1 is not particularly limited as long as desired conductivity can be obtained, and examples thereof include about 1 nm to 10 μm.

<ブロック層2の形成>
基板1の表面の透明導電層と、光吸収層7を構成するペロブスカイト化合物とが直接接触して起電力の損失が生じることを防ぐために、基板1の透明導電層の表面にN型半導体からなるブロック層2を配置することが好ましい。上記損失を確実に防ぐために、非多孔性の緻密層のブロック層2を配置することが好ましい。
<Formation of block layer 2>
In order to prevent the loss of electromotive force due to direct contact between the transparent conductive layer on the surface of the substrate 1 and the perovskite compound constituting the light absorption layer 7, the surface of the transparent conductive layer of the substrate 1 is made of an N-type semiconductor. It is preferable to dispose the block layer 2. In order to prevent the above loss, it is preferable to dispose the non-porous dense block layer 2.

ブロック層2を構成するN型半導体としては、例えばZnO、TiO、SnO、IGZO、SrTiO、などの電子伝導性に優れた酸化物半導体が挙げられる。これらの中でも特にTiOが電子伝導性に優れるので好ましい。
ブロック層2を構成するN型半導体の種類は、1種類であってもよいし、複数種類であってもよい。
Examples of the N-type semiconductor constituting the block layer 2 include oxide semiconductors excellent in electron conductivity such as ZnO, TiO 2 , SnO, IGZO, SrTiO 3 , and the like. Among these, TiO 2 is particularly preferable because of its excellent electron conductivity.
There may be one type of N-type semiconductor constituting the block layer 2 or a plurality of types.

ブロック層2の層数は、1層であってもよいし、2層以上であってもよい。
ブロック層2の合計の厚みは特に限定されないが、例えば1nm〜1μm程度が挙げられる。1nm以上であると上記損失を防止する効果が充分に得られ、1μm以下であると内部抵抗を低く抑えることができる。
The number of layers of the block layer 2 may be one, or two or more.
Although the total thickness of the block layer 2 is not specifically limited, For example, about 1 nm-1 micrometer are mentioned. When the thickness is 1 nm or more, the effect of preventing the loss is sufficiently obtained, and when the thickness is 1 μm or less, the internal resistance can be kept low.

ブロック層2の形成方法は特に限定されず、基板1の透明導電層の表面に所望の厚みでN型半導体からなる緻密層を形成可能な公知方法が適用できる。例えば、スパッタ法、蒸着法、N型半導体の前駆体を含む分散液を塗布するゾルゲル法等の公知方法が挙げられる。   The formation method of the block layer 2 is not specifically limited, The well-known method which can form the dense layer which consists of N type semiconductor by desired thickness on the surface of the transparent conductive layer of the board | substrate 1 is applicable. For example, known methods such as a sputtering method, a vapor deposition method, and a sol-gel method in which a dispersion liquid containing an N-type semiconductor precursor is applied.

N型半導体の前駆体としては、例えば、四塩化チタン(TiCl)、ペルオキソチタン酸(PTA)や、チタンエトキシド、チタンイソプロポキシド(TTIP)等のチタンアルコキシド、亜鉛アルコキシド、アルコキシシラン、ジルコニウムアルコキシド等の金属アルコキシドが挙げられる。 Examples of N-type semiconductor precursors include titanium tetrachloride (TiCl 4 ), peroxotitanic acid (PTA), titanium alkoxide such as titanium ethoxide and titanium isopropoxide (TTIP), zinc alkoxide, alkoxysilane, and zirconium. Examples thereof include metal alkoxides such as alkoxides.

<下地層3の形成>
本発明の光電極の製造方法の第一実施形態は、導電性を有する基材8と、基材8上に積層された下地層3と、下地層3の表面及び内部のうち少なくとも内部に形成された有機無機ペロブスカイト化合物(以下、単にペロブスカイト化合物と呼ぶことがある。)を含む光吸収層7と、を有する光電極9の製造方法であって、ペロブスカイト化合物が付着したN型半導体微粒子及びペロブスカイト化合物が付着した絶縁体微粒子の少なくとも何れか一方を基材8に吹き付けることにより、ペロブスカイト化合物を内部に含んだ下地層3を形成する工程を有する。基材8は前述した導電性基板1及びブロック層2を備える。
<Formation of underlayer 3>
1st embodiment of the manufacturing method of the photoelectrode of this invention is formed in at least inside among the base material 8 which has electroconductivity, the base layer 3 laminated | stacked on the base material 8, and the surface of the base layer 3, and the inside. And a photoabsorptive layer 7 containing the organic-inorganic perovskite compound (hereinafter sometimes referred to simply as a perovskite compound), wherein the N-type semiconductor fine particles and the perovskite to which the perovskite compound is attached There is a step of forming the underlayer 3 containing the perovskite compound inside by spraying at least one of the insulating fine particles to which the compound is adhered onto the substrate 8. The base material 8 includes the conductive substrate 1 and the block layer 2 described above.

本実施形態の製造方法は、ペロブスカイト化合物が付着したN型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の少なくとも何れか一方を基材8に吹き付けることにより、基材8と微粒子とを接合させるとともに、微粒子同士を接合させ、下地層3を形成する工程を有する。   In the manufacturing method of the present embodiment, at least one of N-type semiconductor fine particles and insulator fine particles to which a perovskite compound is attached is sprayed onto the base material 8 to join the base material 8 and the fine particles, and the fine particles are joined together. And forming a base layer 3.

前記微粒子を基材8に吹き付ける方法は特に限定されず、従来の粉体吹き付け方法が適用可能であり、例えば、搬送ガスにより微粒子を加速するエアロゾルデポジション法(AD法)、静電力により微粒子を加速する静電微粒子コーティング法(静電スプレー法)、コールドスプレー法等が挙げられる。これらの方法のうち、吹き付ける微粒子の速度を調整することが容易であり、形成する下地層3の強度や層厚を調整することが容易であることから、AD法が好ましい。   The method of spraying the fine particles onto the base material 8 is not particularly limited, and a conventional powder spraying method can be applied. For example, the aerosol deposition method (AD method) in which the fine particles are accelerated by a carrier gas, the fine particles by electrostatic force. Examples include an accelerated electrostatic fine particle coating method (electrostatic spray method), a cold spray method, and the like. Among these methods, the AD method is preferable because it is easy to adjust the speed of the fine particles to be sprayed, and it is easy to adjust the strength and layer thickness of the underlying layer 3 to be formed.

AD法は、窒素等の搬送ガスによって微粒子を亜音速〜超音速程度まで加速して基材に吹き付け、基材表面に微粒子からなる膜を製膜する方法である。基材表面に接合した微粒子に対して、続けて吹き付けられた微粒子が衝突することによって、微粒子同士が接合した膜が形成される。微粒子同士の衝突においては、微粒子が溶融するような温度上昇は発生し難い。また、形成された多孔質膜は、太陽電池の電極として充分な強度及び電子伝導性を有するので、成膜後の焼結工程を必須としない。ただし、必要に応じて焼結(焼成)を行ってもよい。   The AD method is a method in which fine particles are accelerated to a subsonic to supersonic speed by a carrier gas such as nitrogen and sprayed onto a substrate to form a film made of fine particles on the substrate surface. The fine particles that have been sprayed collide with the fine particles that have been bonded to the surface of the substrate, thereby forming a film in which the fine particles are bonded. In the collision between the fine particles, a temperature rise that causes the fine particles to melt hardly occurs. Moreover, since the formed porous film has sufficient strength and electron conductivity as an electrode of a solar cell, a sintering step after film formation is not essential. However, sintering (firing) may be performed as necessary.

吹き付ける微粒子の速度を適宜調整することによって、製膜レートと膜の多孔度を調整することができる。通常、高速で吹き付けるほど、製膜レートは増加し、膜の多孔度が低下する傾向にある。従って、下地層3を形成する際に、微粒子の吹き付け速度を調整することにより、多孔質膜又は緻密膜の何れかの膜構造を任意に選択して、下地層3を形成することができる。   By appropriately adjusting the speed of the fine particles to be sprayed, the film forming rate and the porosity of the film can be adjusted. Usually, the higher the spray rate, the higher the film-forming rate and the lower the membrane porosity. Accordingly, when the underlayer 3 is formed, the underlayer 3 can be formed by arbitrarily selecting the film structure of the porous film or the dense film by adjusting the spraying speed of the fine particles.

前記吹き付けの速度を調整する方法としては、例えば吹き付けノズルの開口径(開口部の直径又は開口部の一辺の長さ)を調整することによって行うことができる。前記開口径を広げるほど、吹き付け速度を遅くすることができ、前記開口径を狭めるほど、吹き付け速度を速めることができる。例えば、窒素ガスで搬送された微粒子(小径微粒子又は大径微粒子)を1mm以下の開口径のノズル口を通して吹きつけることによって、例えば、10〜1000m/sに加速できる。微粒子の吹き付け速度は特に限定されず、基材の材質に応じて適宜設定される。   As a method of adjusting the spraying speed, for example, the opening diameter of the spray nozzle (the diameter of the opening or the length of one side of the opening) can be adjusted. As the opening diameter is increased, the spraying speed can be decreased. As the opening diameter is decreased, the spraying speed can be increased. For example, by spraying fine particles (small-sized fine particles or large-sized fine particles) conveyed by nitrogen gas through a nozzle opening having an opening diameter of 1 mm or less, acceleration can be achieved to 10 to 1000 m / s, for example. The spraying speed of the fine particles is not particularly limited and is appropriately set according to the material of the base material.

前記N型半導体微粒子を構成するN型半導体の種類は特に制限されず、公知の無機半導体が適用可能であり、例えば10nm〜100μm程度の粒子径を有する微粒子に成形することが可能な無機半導体が好ましい。このような無機半導体として、例えば、従来の色素増感太陽電池の光電極を構成する酸化物半導体が挙げられる。具体的には、酸化チタン(TiO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO, SnO2)、IGZO、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)等の電子伝導性に優れた酸化物半導体が例示できる。また、5価の元素をドープしたSi、Cd、ZnSなどの化合物半導体も適用できる場合がある。これらのうち、特に酸化チタンが電子伝導性に優れるので好ましい。
前記無機半導体として、1種の無機半導体を使用してもよいし、2種以上の無機半導体を併用してもよい。
The type of the N-type semiconductor constituting the N-type semiconductor fine particles is not particularly limited, and a known inorganic semiconductor can be applied. For example, an inorganic semiconductor that can be formed into fine particles having a particle diameter of about 10 nm to 100 μm is available. preferable. Examples of such an inorganic semiconductor include an oxide semiconductor that constitutes a photoelectrode of a conventional dye-sensitized solar cell. Specific examples include oxide semiconductors excellent in electronic conductivity such as titanium oxide (TiO 2 ), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO, SnO 2 ), IGZO, strontium titanate (SrTiO 3 ), and the like. . In some cases, a compound semiconductor such as Si, Cd, or ZnS doped with a pentavalent element may be used. Of these, titanium oxide is particularly preferable because of its excellent electron conductivity.
As the inorganic semiconductor, one kind of inorganic semiconductor may be used, or two or more kinds of inorganic semiconductors may be used in combination.

一般に、産業上利用される酸化チタン(チタニア)はアナターゼ型とルチル型とに大別され、その他にブルッカイト型や非晶質(アモルファス)の酸化チタンが知られている。
N型半導体として酸化チタンを用いる場合、上記いずれの型の酸化チタンを用いてもよく、複数の型が混合された酸化チタンであってもよい。
In general, titanium oxide (titania) used industrially is roughly classified into anatase type and rutile type, and brookite type and amorphous titanium oxide are also known.
When titanium oxide is used as the N-type semiconductor, any of the above types of titanium oxide may be used, and titanium oxide in which a plurality of types are mixed may be used.

前記絶縁体微粒子を構成する絶縁体の種類は特に制限されず、公知の無機絶縁体が適用可能であり、例えば10nm〜100μm程度の粒子径を有する微粒子に成形することが可能な無機絶縁体が好ましい。このような無機絶縁体として、例えば、従来の半導体デバイスの絶縁層を構成する酸化物が挙げられる。具体的には、二酸化ジルコニウム、二酸化珪素、酸化アルミニウム(AlO, Al2O3)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化ニッケル(NiO)等が例示できる。これらのうち、特に酸化アルミニウム(III)(Al2O3)が分散性に優れるので好ましい。
前記無機絶縁体として、1種の無機絶縁体を使用してもよいし、2種以上の無機絶縁体を併用してもよい。
The kind of insulator constituting the insulator fine particles is not particularly limited, and a known inorganic insulator can be applied. For example, an inorganic insulator that can be formed into fine particles having a particle diameter of about 10 nm to 100 μm is available. preferable. Examples of such an inorganic insulator include an oxide that constitutes an insulating layer of a conventional semiconductor device. Specific examples include zirconium dioxide, silicon dioxide, aluminum oxide (AlO, Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), nickel oxide (NiO), and the like. Of these, aluminum (III) (Al 2 O 3 ) is particularly preferable because of its excellent dispersibility.
As the inorganic insulator, one kind of inorganic insulator may be used, or two or more kinds of inorganic insulators may be used in combination.

下地層3を形成するために吹き付ける前記微粒子として、N型半導体微粒子の1種以上と、絶縁体微粒子の1種以上とを併用してもよい。   As the fine particles to be sprayed to form the underlayer 3, one or more types of N-type semiconductor fine particles and one or more types of insulator fine particles may be used in combination.

前記微粒子の平均粒径rは、1nm≦r<200nmが好ましく、10nm≦r≦70nmがより好ましく、10nm≦r≦30nmがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上において大きい程、ペロブスカイト化合物を下地層3の多孔質構造を構成する細孔内に充分に挿入することが容易である。上記範囲の上限値以下において小さい程、ペロブスカイト化合物とN型半導体微粒子との界面が増加し、光電子の取り出しが容易になるとともに、下地層3と正孔輸送層5が接触して起電力の損失が生じることを防止できる。
The average particle diameter r of the fine particles is preferably 1 nm ≦ r <200 nm, more preferably 10 nm ≦ r ≦ 70 nm, and further preferably 10 nm ≦ r ≦ 30 nm.
The larger the value is above the lower limit of the above range, the easier it is to insert the perovskite compound sufficiently into the pores constituting the porous structure of the underlayer 3. The smaller the value is below the upper limit of the above range, the more the interface between the perovskite compound and the N-type semiconductor fine particles increases, the photoelectrons can be easily taken out, and the underlayer 3 and the hole transport layer 5 come into contact with each other to lose the electromotive force. Can be prevented.

前記微粒子の平均粒径rは、複数の微粒子を電子顕微鏡で観察して測定した粒子径の平均値として求めることができる。この場合、測定する微粒子の個数は多いほど好ましく、例えば10〜50個を測定して、その算術平均を求めればよい。或いは、レーザー回折式粒度分布測定装置の測定により得られた粒子径(体積平均径)分布のピーク値として決定することもできる。同じ微粒子の測定試料を上記2種類の方法によって測定し、その測定値が互いに異なった場合、電子顕微鏡で観察して得られた値に基づいて上記平均粒径の範囲に含まれるか否かを判定する。   The average particle diameter r of the fine particles can be obtained as an average value of particle diameters measured by observing a plurality of fine particles with an electron microscope. In this case, the larger the number of fine particles to be measured, the better. For example, 10 to 50 particles may be measured and the arithmetic average thereof may be obtained. Or it can also determine as a peak value of the particle diameter (volume average diameter) distribution obtained by the measurement of the laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus. If the measurement sample of the same fine particles is measured by the above two methods and the measured values are different from each other, whether or not they are included in the above average particle diameter range based on the values obtained by observation with an electron microscope. judge.

前記微粒子の平均粒径の測定方法は、前記2種類の方法(電子顕微鏡観察又はレーザー回折式粒度分布測定)には限られず、その他の公知方法によって測定してもよい。その他の公知方法によって測定した粒子径が、上述の好適な範囲外であっても、前記2種類の方法によって測定して、上述の粒子径の範囲に入るのであれば、当該微粒子は本実施形態における好適な粒子径を有する微粒子である。   The method for measuring the average particle size of the fine particles is not limited to the two types of methods (electron microscope observation or laser diffraction particle size distribution measurement), and may be measured by other known methods. Even if the particle diameter measured by other known methods is outside the above-mentioned preferred range, the fine particle is not limited to the present embodiment as long as it is measured by the above two methods and falls within the above-mentioned particle diameter range. Fine particles having a suitable particle size in

前記微粒子にペロブスカイト化合物を付着させる方法としては、ペロブスカイト化合物又はペロブスカイト化合物の前駆体を溶解した原料溶液に、前記微粒子を浸漬し、さらに溶媒を乾燥することによって、結晶化したペロブスカイト化合物が付着した原料粒子を得る方法が挙げられる。ペロブスカイト化合物の詳細は後述する。   As a method for attaching the perovskite compound to the fine particles, a raw material to which the perovskite compound crystallized is adhered by immersing the fine particles in a raw material solution in which a perovskite compound or a precursor of the perovskite compound is dissolved and further drying the solvent. The method of obtaining particle | grains is mentioned. Details of the perovskite compound will be described later.

前記微粒子に付着させるペロブスカイト化合物の量は特に限定されず、例えば、前記微粒子表面の5〜10割に、当該微粒子の直径の1〜20%程度、例えば、厚さ0.1nm〜20nm程度、で付着させることができる。   The amount of the perovskite compound attached to the fine particles is not particularly limited. For example, about 50 to 100% of the fine particle surface is about 1 to 20% of the diameter of the fine particles, for example, a thickness of about 0.1 nm to 20 nm. Can be attached.

下地層3の形成は、ペロブスカイト化合物を後から挿入することが可能な細孔を有する多孔質膜として形成することが好ましい。下地層3の多孔質膜に後からペロブスカイト化合物を挿入することにより、多孔質膜内に含まれるペロブスカイト化合物の量が増加するため、光吸収効率をさらに高めて、光電変換効率をより向上させることができる。   The underlayer 3 is preferably formed as a porous film having pores into which a perovskite compound can be inserted later. By inserting the perovskite compound into the porous film of the underlayer 3 later, the amount of the perovskite compound contained in the porous film increases, so that the light absorption efficiency can be further increased and the photoelectric conversion efficiency can be further improved. Can do.

下地層3を構成する多孔質膜の平均細孔径は、1nm〜100nm以上が好ましく、5nm〜80nmがより好ましく、10nm〜50nmがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、細孔内にペロブスカイト化合物を十分に挿入することができる。上記範囲の上限値以下であると多孔質膜の強度を高めることができる。
平均細孔径は、公知のガス吸着試験又は水銀圧入試験によって測定することができる。
The average pore diameter of the porous film constituting the underlayer 3 is preferably 1 nm to 100 nm or more, more preferably 5 nm to 80 nm, and still more preferably 10 nm to 50 nm.
When it is at least the lower limit of the above range, the perovskite compound can be sufficiently inserted into the pores. The intensity | strength of a porous membrane can be raised as it is below the upper limit of the said range.
The average pore diameter can be measured by a known gas adsorption test or mercury intrusion test.

下地層3としての多孔質又は非多孔質の厚さは特に限定されず、例えば、10nm〜10μmが好ましく、50nm〜1μmが好ましく、100nm〜0.5μmがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、アッパー層4を構成するペロブスカイト化合物の結晶化に適した足場になる。さらに、多孔質膜の細孔内に多くのペロブスカイト化合物を挿入し、光の吸収効率をより高めて光電変換効率をより向上させることができる。
上記範囲の上限値以下であると、光吸収層7で発生した光電子が下地層3を介して導電性基材8に到達する効率が高まり、光電変換効率をより向上させることができる。
The porous or non-porous thickness as the underlayer 3 is not particularly limited, and is preferably 10 nm to 10 μm, preferably 50 nm to 1 μm, and more preferably 100 nm to 0.5 μm, for example.
When it is at least the lower limit of the above range, a scaffold suitable for crystallization of the perovskite compound constituting the upper layer 4 is obtained. Furthermore, a large number of perovskite compounds can be inserted into the pores of the porous film, so that the light absorption efficiency can be further increased and the photoelectric conversion efficiency can be further improved.
If it is not more than the upper limit of the above range, the efficiency with which the photoelectrons generated in the light absorption layer 7 reach the conductive substrate 8 via the underlayer 3 is increased, and the photoelectric conversion efficiency can be further improved.

<光吸収層7の形成>
光電極9において、ペロブスカイト化合物を含む多孔質膜(下地層3)及び多孔質膜の表面に形成されたアッパー層4からなる光吸収層7には、ペロブスカイト化合物の結晶が含まれている。ペロブスカイト化合物の結晶が光を吸収すると、結晶内で光電子及び正孔が発生する。光電子は基材1が構成する作用極(正極)に移動し、正孔は正孔輸送層5を介して対向電極6が構成する対極(負極)に移動する。
<Formation of the light absorption layer 7>
In the photoelectrode 9, a light absorption layer 7 comprising a porous film (underlayer 3) containing a perovskite compound and an upper layer 4 formed on the surface of the porous film contains crystals of the perovskite compound. When the crystal of the perovskite compound absorbs light, photoelectrons and holes are generated in the crystal. Photoelectrons move to the working electrode (positive electrode) formed by the substrate 1, and holes move to the counter electrode (negative electrode) formed by the counter electrode 6 via the hole transport layer 5.

本実施形態で使用するペロブスカイト化合物は、光吸収により起電力を発生させ得るものであれば特に限定されず、公知のペロブスカイト化合物が適用可能である。なかでも、ペロブスカイト型の結晶を形成可能であり、単一の化合物内に有機成分及び無機成分を有する下記組成式(1):
ABX ・・・(1)
で表されるペロブスカイト化合物が好ましい。
The perovskite compound used in the present embodiment is not particularly limited as long as it can generate an electromotive force by light absorption, and a known perovskite compound is applicable. Among these, perovskite-type crystals can be formed, and the following composition formula (1) having an organic component and an inorganic component in a single compound:
ABX 3 (1)
The perovskite compound represented by these is preferable.

組成式(1)において、Aは有機カチオンを表し、Bは金属カチオンを表し、Xはハロゲンイオンを表す。ペロブスカイト型結晶構造において、Bサイトは、Xサイトに対して八面体配位をとり得る。Bサイトの金属カチオンと、Xサイトのハロゲンイオンの原子軌道とが混成し、光電変換に関わる価電子帯と伝導帯が形成される、と考えられる。   In the composition formula (1), A represents an organic cation, B represents a metal cation, and X represents a halogen ion. In the perovskite crystal structure, the B site can take octahedral coordination with the X site. It is considered that the metal cation at the B site and the atomic orbital of the halogen ion at the X site are mixed to form a valence band and a conduction band related to photoelectric conversion.

組成式(1)のBで表される金属カチオンを構成する金属は特に限定されず、例えばCu、Ni、Mn、Fe、Co、Pd、Ge、Sn、Pb、Euが挙げられる。なかでも、Xサイトのハロゲンイオンの原子軌道との混成により伝導性の高いバンドを容易に形成することが可能な、Pb及びSnが好ましい。
Bサイトを構成する金属カチオンは1種類であってもよいし、2種類以上であってもよい。
The metal constituting the metal cation represented by B in the composition formula (1) is not particularly limited, and examples thereof include Cu, Ni, Mn, Fe, Co, Pd, Ge, Sn, Pb, and Eu. Among these, Pb and Sn are preferable because they can easily form a highly conductive band by hybridization with the atomic orbitals of halogen ions at the X site.
The metal cation constituting the B site may be one type or two or more types.

組成式(1)のXで表されるハロゲンイオンを構成するハロゲンは特に限定されず、例えばF、Cl、Br、Iが挙げられる。なかでも、Bサイトの金属カチオンとの混成軌道により伝導性の高いバンドを容易に形成することが可能な、Cl、Br及びIが好ましい。
Xサイトを構成するハロゲンイオンは1種類であってもよいし、2種類以上であってもよい。
The halogen constituting the halogen ion represented by X in the composition formula (1) is not particularly limited, and examples thereof include F, Cl, Br, and I. Among these, Cl, Br, and I are preferable because they can easily form a highly conductive band by a hybrid orbital with a metal cation at the B site.
There may be one kind of halogen ion constituting the X site, or two or more kinds.

組成式(1)のAで表される有機カチオンを構成する有機基は特に限定されず、例えばアルキルアンモニウム誘導体、ホルムアミジニウム誘導体が挙げられる。
Aサイトを構成する有機カチオンは1種類であってもよいし、2種類以上であってもよい。
The organic group constituting the organic cation represented by A in the composition formula (1) is not particularly limited, and examples thereof include alkylammonium derivatives and formamidinium derivatives.
The organic cation constituting the A site may be one type or two or more types.

前記アルキルアンモニウム誘導体がなす有機カチオンとして、例えば、メチルアンモニウム、ジメチルアンモニウム、トリメチルアンモニウム、エチルアンモニウム、プロピルアンモニウム、イソプロピルアンモニウム、tert-ブチルアンモニウム、ペンチルアンモニウム、ヘキシルアンモニウム、オクチルアンモニウム、フェニルアンモニウム等の、炭素数1〜6のアルキル基を有する1級又は2級のアンモニウムが挙げられる。なかでも、ペロブスカイト型結晶が容易に得られる、メチルアンモニウムが好ましい。   Examples of the organic cation formed by the alkyl ammonium derivative include carbon such as methyl ammonium, dimethyl ammonium, trimethyl ammonium, ethyl ammonium, propyl ammonium, isopropyl ammonium, tert-butyl ammonium, pentyl ammonium, hexyl ammonium, octyl ammonium, and phenyl ammonium. Examples include primary or secondary ammonium having an alkyl group of 1 to 6. Of these, methylammonium, which can easily obtain a perovskite crystal, is preferable.

前記ホルムアミジニウム誘導体がなす有機カチオンとして、例えば、ホルムアミジニウム、メチルホルムアミジニウム、ジメチルホルムアミジニウム、トリメチルホルムアミジニウム、テトラメチルホルムアミジニウムが挙げられる。なかでも、ペロブスカイト型結晶が容易に得られる、ホルムアミジニウムが好ましい。   Examples of the organic cation formed by the formamidinium derivative include formamidinium, methylformamidinium, dimethylformamidinium, trimethylformamidinium, and tetramethylformamidinium. Of these, formamidinium is preferred because a perovskite crystal can be easily obtained.

組成式(1)で表される好適なペロブスカイト化合物として、例えば、CH3NH3PbI3、CH3NH3PbI3-hClh(hは0〜3を表す。)、CH3NH3PbI3-jBrj(jは0〜3を表す。)等の下記組成式(2):
RNH3PbX3 ・・・(2)
で表されるアルキルアミノ鉛ハロゲン化物が挙げられる。組成式(2)において、Rはアルキル基を表し、Xはハロゲンイオンを表す。この組成式を有するペロブスカイト化合物は、その吸収波長域が広く、太陽光の広い波長範囲を吸収できるので、優れた光電変換効率が得られる。
As a suitable perovskite compound represented by the composition formula (1), for example, CH 3 NH 3 PbI 3 , CH 3 NH 3 PbI 3-h Cl h (h represents 0 to 3 ), CH 3 NH 3 PbI The following composition formula (2) such as 3-j Br j (j represents 0 to 3):
RNH 3 PbX 3 (2)
The alkylamino lead halide represented by these is mentioned. In the composition formula (2), R represents an alkyl group, and X represents a halogen ion. Since the perovskite compound having this composition formula has a wide absorption wavelength range and can absorb a wide wavelength range of sunlight, excellent photoelectric conversion efficiency can be obtained.

組成式(2)のRで表されるアルキル基は、炭素数1〜6の直鎖状、分岐鎖状若しくは環状の飽和又は不飽和アルキル基であることが好ましく、炭素数1〜6の直鎖状飽和アルキル基であることがより好ましく、メチル基、エチル基又はn−プロピル基であることがさらに好ましい。これらの好適なアルキル基であると、ペロブスカイト型結晶が容易に得られる。   The alkyl group represented by R in the composition formula (2) is preferably a linear, branched or cyclic saturated or unsaturated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. It is more preferably a chain saturated alkyl group, and further preferably a methyl group, an ethyl group, or an n-propyl group. With these suitable alkyl groups, perovskite crystals can be easily obtained.

光吸収層7を構成するペロブスカイト化合物は、下地層3を構成する原料微粒子に予め付着されている。下地層3を形成した後で、ペロブスカイト化合物を下地層3の内部又は表面に追加する方法として、ペロブスカイト化合物又はペロブスカイト化合物の前駆体を溶解した原料溶液を下地層3の表面に塗布し、溶媒を乾燥することによって、ペロブスカイト型結晶を追加する方法が挙げられる。   The perovskite compound constituting the light absorption layer 7 is attached in advance to the raw material fine particles constituting the underlayer 3. After forming the underlayer 3, as a method for adding the perovskite compound to the inside or the surface of the underlayer 3, a raw material solution in which the perovskite compound or a perovskite compound precursor is dissolved is applied to the surface of the underlayer 3, and the solvent is added. A method of adding a perovskite crystal by drying is mentioned.

前記前駆体からペロブスカイト化合物が形成される反応は、常温で起き得るが、この反応を促進するために加熱してもよい。また、光電変換効率を高める観点から、ペロブスカイト型結晶を80〜150℃程度でアニーリングしてもよい。さらに、必要に応じて150℃を超える温度で加熱又は焼結しても構わない。   The reaction in which the perovskite compound is formed from the precursor can occur at room temperature, but may be heated to promote this reaction. Moreover, you may anneal a perovskite type crystal | crystallization at about 80-150 degreeC from a viewpoint of improving photoelectric conversion efficiency. Furthermore, you may heat or sinter at the temperature exceeding 150 degreeC as needed.

下地層3に塗布した前記原料溶液の少なくとも一部は下地層3の多孔質膜内に浸透し、溶媒の乾燥とともに結晶化が進行し、多孔質膜内にペロブスカイト型結晶が形成される。また、充分量の前記原料溶液を塗布することにより、多孔質膜内に浸透しなかった前記原料溶液は、溶媒の乾燥とともに多孔質膜の表面にペロブスカイト型結晶を形成し、ペロブスカイト型結晶からなるアッパー層4を形成する。アッパー層4を構成するペロブスカイト型結晶と下地層3内のペロブスカイト型結晶は、一体的に形成されており、光吸収層7を一体的に構成する。   At least a part of the raw material solution applied to the underlayer 3 penetrates into the porous film of the underlayer 3, and crystallization proceeds with drying of the solvent, and perovskite crystals are formed in the porous film. In addition, by applying a sufficient amount of the raw material solution, the raw material solution that has not penetrated into the porous film forms perovskite crystals on the surface of the porous film together with the drying of the solvent, and consists of perovskite crystals. The upper layer 4 is formed. The perovskite crystal constituting the upper layer 4 and the perovskite crystal in the underlayer 3 are integrally formed, and the light absorption layer 7 is integrally formed.

前記原料溶液に含まれる前記前駆体としては、例えば、前述したBサイトの金属イオン及びXサイトのハロゲンイオンが含有されたハロゲン化物(BX)、前述したAサイトの有機カチオン及びXサイトのハロゲンイオンが含有されたハロゲン化物(AX)、が挙げられる。ハロゲン化物(AX)及びハロゲン化物(BX)が含まれた単一の原料溶液を下地層3に塗布してもよいし、各ハロゲン化物が個別に含まれた2つの原料溶液を順に下地層3に塗布してもよい。   Examples of the precursor contained in the raw material solution include a halide (BX) containing the B site metal ion and the X site halogen ion, the A site organic cation, and the X site halogen ion. A halide (AX) containing. A single raw material solution containing halide (AX) and halide (BX) may be applied to the underlayer 3, or two raw material solutions each containing halide individually may be applied in turn to the underlayer 3. You may apply to.

前記原料溶液の溶媒は、原料を溶解し、下地層3を損なわない溶媒であれば特に限定されず、例えば、エステル、ケトン、エーテル、アルコール、グリコールエーテル、アミド、ニトリル、カーボネート、ハロゲン化炭化水素、炭化水素、スルホン、スルホキシド等の化合物が挙げられる。   The solvent of the raw material solution is not particularly limited as long as it dissolves the raw material and does not impair the underlayer 3. For example, ester, ketone, ether, alcohol, glycol ether, amide, nitrile, carbonate, halogenated hydrocarbon , Hydrocarbons, sulfones, sulfoxides and the like.

一例として、ハロゲン化アルキルアミンとハロゲン化鉛を、γ-ブチロラクトン(GBL)及びジメチルスルホキシド(DMSO)の混合溶媒に溶かし、その溶液を下地層3に塗布して乾かすことによって、前記組成式(2)で表されるペロブスカイト化合物からなるペロブスカイト型結晶が得られる。さらに、非特許文献2に記載されているように、ペロブスカイト型結晶の上に当該結晶を溶解せず、GBLやDMSOと混和する溶媒、例えばトルエン、クロロホルムなどを塗布した後、100℃程度でアニーリングする処理を加えてもよい。この追加処理によって、結晶の安定性が向上し、光電変換効率が高まる場合がある。   As an example, a halogenated alkylamine and a lead halide are dissolved in a mixed solvent of γ-butyrolactone (GBL) and dimethyl sulfoxide (DMSO), and the solution is applied to the underlayer 3 and dried, whereby the composition formula (2 The perovskite type crystal which consists of the perovskite compound represented by this is obtained. Furthermore, as described in Non-Patent Document 2, after applying a solvent miscible with GBL or DMSO, such as toluene or chloroform, on the perovskite crystal, annealing is performed at about 100 ° C. You may add the process to do. This additional treatment may improve crystal stability and increase photoelectric conversion efficiency.

前記原料溶液中の原料の濃度は特に限定されず、充分に溶解され、多孔質膜内に当該原料溶液が浸透可能な程度の粘度を呈する濃度であることが好ましい。   The concentration of the raw material in the raw material solution is not particularly limited, and is preferably a concentration that is sufficiently dissolved and exhibits a viscosity that allows the raw material solution to penetrate into the porous membrane.

下地層3に塗布する前記原料溶液の塗布量は特に限定されず、例えば、多孔質膜内の全体又は少なくとも一部に浸透するとともに、多孔質膜の表面に厚さ1nm〜1μm程度のアッパー層4が形成される程度の塗布量が好ましい。   The amount of the raw material solution applied to the underlayer 3 is not particularly limited. For example, the raw material solution penetrates all or at least a part of the porous film and has an upper layer having a thickness of about 1 nm to 1 μm on the surface of the porous film. A coating amount such that 4 is formed is preferable.

下地層3に対する前記原料溶液の塗布方法は特に限定されず、グラビア塗布法、バー塗布法、印刷法、スプレー法、スピンコーティング法、ディップ法、ダイコート法等の公知方法を適用できる。
下地層3に対する前記原料溶液の塗布は、1回で終えてもよいし、乾燥後に2回目以降の塗布を繰り返してもよい。2回目以降の塗布量は、1回目の塗布量と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
The method for applying the raw material solution to the underlayer 3 is not particularly limited, and known methods such as a gravure coating method, a bar coating method, a printing method, a spray method, a spin coating method, a dip method, and a die coating method can be applied.
Application | coating of the said raw material solution with respect to the base layer 3 may be completed by 1 time, and you may repeat application | coating after the 2nd time after drying. The application amount after the second time may be the same as or different from the first application amount.

下地層3に塗布した前記原料溶液を乾燥する方法は特に限定されず、自然乾燥、減圧乾燥、温風乾燥等の公知方法を適用できる。
下地層3に塗布した前記原料溶液の乾燥温度は、ペロブスカイト化合物の結晶化が充分に進行する温度であればよく、例えば4〜40℃の範囲が挙げられる。
The method for drying the raw material solution applied to the underlayer 3 is not particularly limited, and known methods such as natural drying, reduced pressure drying, and hot air drying can be applied.
The drying temperature of the raw material solution applied to the underlayer 3 may be a temperature at which the crystallization of the perovskite compound proceeds sufficiently, and examples thereof include a range of 4 to 40 ° C.

以上で説明した本実施形態の製造方法によって、導電性基板1及びブロック層2からなる基材8と、下地層3及びアッパー層4からなる光吸収層7とを備えた光電極9が得られる。以下にAD法による製膜方法の説明を補足する。   By the manufacturing method of the present embodiment described above, a photoelectrode 9 including the base material 8 made of the conductive substrate 1 and the block layer 2 and the light absorption layer 7 made of the base layer 3 and the upper layer 4 is obtained. . The explanation of the film forming method by the AD method will be supplemented below.

《AD法による製膜方法》
図2は、本実施形態に適用可能な製膜装置60の構成図である。但し、本実施形態の製膜方法に用いる製膜装置は、基材に前記微粒子を吹き付けることができる装置であればよく、図2に示す構成に限定されない。
<< Film formation method by AD method >>
FIG. 2 is a configuration diagram of a film forming apparatus 60 applicable to the present embodiment. However, the film forming apparatus used in the film forming method of the present embodiment is not limited to the configuration shown in FIG.

<製膜装置>
製膜装置60は、ガスボンベ55と、搬送管56と、ノズル52と、基台63と、製膜室51と、を備えている。ガスボンベ55には、微粒子54を加速させて基材53に吹き付けるための搬送ガスが充填されている。ガスボンベ55には、搬送管56の一端が接続されている。ガスボンベ55から供給される搬送ガスは、搬送管56に供給される。搬送管56には、前段側から順に、マスフロー制御器57と、エアロゾル発生器58と、搬送ガス中の微粒子54の分散具合を適度に調整できる解砕器59及び分級器61とが設けられている。マスフロー制御器57により、ガスボンベ55から搬送管56に供給される搬送ガスの流量を調整する。エアロゾル発生器58に装填された微粒子54は、マスフロー制御器57から供給された搬送ガス中に分散され、解砕器59及び分級器61へ搬送される。
<Film forming device>
The film forming apparatus 60 includes a gas cylinder 55, a transfer pipe 56, a nozzle 52, a base 63, and a film forming chamber 51. The gas cylinder 55 is filled with a carrier gas for accelerating the fine particles 54 and spraying the fine particles 54 on the base material 53. One end of a transfer pipe 56 is connected to the gas cylinder 55. The carrier gas supplied from the gas cylinder 55 is supplied to the carrier pipe 56. The transport pipe 56 is provided with a mass flow controller 57, an aerosol generator 58, and a disintegrator 59 and a classifier 61 that can appropriately adjust the dispersion degree of the fine particles 54 in the transport gas, in order from the front side. Yes. The mass flow controller 57 adjusts the flow rate of the carrier gas supplied from the gas cylinder 55 to the carrier pipe 56. The fine particles 54 loaded in the aerosol generator 58 are dispersed in the carrier gas supplied from the mass flow controller 57 and conveyed to the crusher 59 and the classifier 61.

ノズル52は、図示略の開口部が基台63上の基材53に対向するように配置されている。ノズル52には、搬送管56の他端が接続されている。微粒子54を含む搬送ガスは、ノズル52の開口部から基材53に噴射される。基台63の上面72には、基材53の一方の面73が当接するように、基材53が載置されている。また、基材53の他方の面71(製膜面)はノズル52の開口部に対向している。ノズル52から搬送ガスと共に噴射される微粒子54は、製膜面に衝突し、微粒子54からなる複合膜が製膜される。減圧雰囲気で製膜を行うために設けられた製膜室51には、真空ポンプ62が接続されており、必要に応じて製膜室51内が減圧される。   The nozzle 52 is disposed such that an opening (not shown) faces the base material 53 on the base 63. The other end of the transport pipe 56 is connected to the nozzle 52. The carrier gas containing the fine particles 54 is injected to the base material 53 from the opening of the nozzle 52. The base material 53 is placed on the upper surface 72 of the base 63 so that one surface 73 of the base material 53 comes into contact therewith. Further, the other surface 71 (film forming surface) of the substrate 53 faces the opening of the nozzle 52. The fine particles 54 injected together with the carrier gas from the nozzle 52 collide with the film forming surface, and a composite film made of the fine particles 54 is formed. A vacuum pump 62 is connected to the film forming chamber 51 provided for film formation in a reduced pressure atmosphere, and the inside of the film forming chamber 51 is depressurized as necessary.

《太陽電池》
本発明の太陽電池の第一実施形態は、図1に示すように、前述の光電極9と、正孔輸送層5と、対向電極6とを備える。本実施形態の正孔輸送層5及び対向電極6として、従来の太陽電池に使用される正孔輸送層及び対向電極が挙げられる。
《Solar cell》
As shown in FIG. 1, the first embodiment of the solar cell of the present invention includes the above-described photoelectrode 9, hole transport layer 5, and counter electrode 6. Examples of the hole transport layer 5 and the counter electrode 6 of the present embodiment include a hole transport layer and a counter electrode used in conventional solar cells.

光電極9において光を吸収したペロブスカイト化合物で生じた光電子と正孔は、光吸収層7をそれぞれ拡散する。正孔は、正孔輸送層5を介して又は正孔輸送層5が存在しなければ直接に、対向電極6に受容され、対向電極6が構成する対極(正極)に移動する。一方、光電子は下地層3又はブロック層2に受容され、導電性基板1が構成する作用極(負極)に移動する。   Photoelectrons and holes generated in the perovskite compound that has absorbed light in the photoelectrode 9 diffuse in the light absorption layer 7. The holes are received by the counter electrode 6 through the hole transport layer 5 or directly if the hole transport layer 5 is not present, and move to the counter electrode (positive electrode) formed by the counter electrode 6. On the other hand, photoelectrons are received by the underlayer 3 or the block layer 2 and move to the working electrode (negative electrode) formed by the conductive substrate 1.

太陽電池10において正孔輸送層5は必須の構成ではないが、光吸収層7の表面に配置されていることが好ましい。光吸収層7の表面、好ましくはアッパー層4の表面に正孔輸送層5を配置することにより、逆電流の発生を抑制し、光吸収層7で発生した正孔を対極へ容易に輸送することが可能となり、光電変換効率及び電圧を高めることができる。   In the solar cell 10, the hole transport layer 5 is not essential, but is preferably disposed on the surface of the light absorption layer 7. By arranging the hole transport layer 5 on the surface of the light absorption layer 7, preferably on the surface of the upper layer 4, the generation of reverse current is suppressed and the holes generated in the light absorption layer 7 are easily transported to the counter electrode. And the photoelectric conversion efficiency and voltage can be increased.

《太陽電池の製造方法》
本発明の太陽電池の製造方法の第一実施形態は、光電極と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、前述の光電極9を得る工程と、光電極9の有機無機ペロブスカイト化合物を含む光吸収層7の表面に対向電極6を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法である。対向電極6の形成方法は特に限定されず、例えば後で説明する方法が挙げられる。
<< Solar Cell Manufacturing Method >>
1st embodiment of the manufacturing method of the solar cell of this invention is a manufacturing method of the solar cell provided with the photoelectrode and the counter electrode, Comprising: The process of obtaining the above-mentioned photoelectrode 9, The organic inorganic of the photoelectrode 9 And disposing a counter electrode 6 on the surface of the light absorption layer 7 containing a perovskite compound. The formation method of the counter electrode 6 is not specifically limited, For example, the method demonstrated later is mentioned.

本発明の太陽電池の製造方法の第二実施形態は、光電極と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、前述の光電極9を得る工程と、光電極9の有機無機ペロブスカイト化合物を含む光吸収層7の上に正孔輸送層5を形成する工程と、正孔輸送層5の上に対向電極6を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法である。正孔輸送層5の形成方法は特に限定されず、例えば後で説明する方法が挙げられる。   2nd embodiment of the manufacturing method of the solar cell of this invention is a manufacturing method of the solar cell provided with the photoelectrode and the counter electrode, Comprising: The process of obtaining the above-mentioned photoelectrode 9, The organic inorganic of the photoelectrode 9 A method for manufacturing a solar cell, comprising: a step of forming a hole transport layer 5 on a light absorption layer 7 containing a perovskite compound; and a step of disposing a counter electrode 6 on the hole transport layer 5. The formation method of the positive hole transport layer 5 is not specifically limited, For example, the method demonstrated later is mentioned.

本実施形態において、光吸収層7と正孔輸送層5の間に、任意の導電性層を挿入しても構わない。また、正孔輸送層5と対向電極6の間に、任意の導電性層を挿入しても構わない。太陽電池10の内部抵抗を減らして光電変換効率を高める観点から、光吸収層7の表面に正孔輸送層5を形成し、正孔輸送層5の表面に対向電極6を配置することが好ましい。   In the present embodiment, an arbitrary conductive layer may be inserted between the light absorption layer 7 and the hole transport layer 5. Further, an arbitrary conductive layer may be inserted between the hole transport layer 5 and the counter electrode 6. From the viewpoint of increasing the photoelectric conversion efficiency by reducing the internal resistance of the solar cell 10, it is preferable to form the hole transport layer 5 on the surface of the light absorption layer 7 and dispose the counter electrode 6 on the surface of the hole transport layer 5. .

<正孔輸送層5の形成>
正孔輸送層5の材料は特に限定されず、有機材料であってもよいし、無機材料であってもよく、例えば、公知の太陽電池の正孔輸送層の材料が適用できる。
前記有機材料としては、例えば、Spiro-OMeTAD
(2,2',7,7'-tetrakis(N,N-di-p-methoxyphenilamine)-9,9'-spirobifluorene)、
P3HT(Poly(3-hexylthiophene))、PTAA(polytriarylamine) などが挙げられる。
前記無機材料としては、例えばCuI、CuSCN、CuO、CuO等の銅化合物やNiOなどのニッケル化合物などが挙げられる。
<Formation of hole transport layer 5>
The material of the hole transport layer 5 is not particularly limited, and may be an organic material or an inorganic material. For example, a known material for the hole transport layer of a solar cell can be applied.
Examples of the organic material include Spiro-OMeTAD.
(2,2 ', 7,7'-tetrakis (N, N-di-p-methoxyphenilamine) -9,9'-spirobifluorene),
P3HT (Poly (3-hexylthiophene)), PTAA (polytriarylamine), etc. are mentioned.
Examples of the inorganic material include copper compounds such as CuI, CuSCN, CuO, and Cu 2 O and nickel compounds such as NiO.

正孔輸送層5の形成方法は特に限定されず、公知方法が適用可能であり、例えば、ペロブスカイト型結晶を溶解しない溶媒に上記の材料を溶解又は分散し、光吸収層7の表面に塗布し、乾かすことにより正孔輸送層5を得る方法が挙げられる。
上記方法により、例えば、厚さ1nm〜1000nmの正孔輸送層5を形成することができる。
正孔輸送層5の厚さが1nm以上であることにより、光吸収層7と対向電極6の接触を防ぐことでリーク電流を防ぐことができる。
正孔輸送層5の厚さが1000nm以下であることにより、正孔を対向電極6まで充分に輸送することができる。
The formation method of the hole transport layer 5 is not particularly limited, and a known method can be applied. For example, the above material is dissolved or dispersed in a solvent that does not dissolve the perovskite crystal, and is applied to the surface of the light absorption layer 7. And a method of obtaining the hole transport layer 5 by drying.
By the above method, for example, the hole transport layer 5 having a thickness of 1 nm to 1000 nm can be formed.
When the thickness of the hole transport layer 5 is 1 nm or more, leakage current can be prevented by preventing contact between the light absorption layer 7 and the counter electrode 6.
When the thickness of the hole transport layer 5 is 1000 nm or less, holes can be sufficiently transported to the counter electrode 6.

<対向電極6の形成>
正孔輸送層5の表面、或いは正孔輸送層5を設けない場合には光吸収層7の表面に、対向電極6を形成する方法は特に限定されず、例えば、従来の太陽電池の対極を形成する、スパッタ法、蒸着法等の公知の製膜方法が適用できる。
<Formation of counter electrode 6>
When the surface of the hole transport layer 5 or the hole transport layer 5 is not provided, the method of forming the counter electrode 6 on the surface of the light absorption layer 7 is not particularly limited. For example, a counter electrode of a conventional solar cell is used. A known film forming method such as sputtering or vapor deposition can be applied.

対向電極6を構成する材料は特に限定されず、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、タングステン、ニッケル及びクロムからなる群から選択される何れか1種以上の金属が好適である。   The material which comprises the counter electrode 6 is not specifically limited, For example, any 1 or more types of metal selected from the group which consists of gold | metal | money, silver, copper, aluminum, tungsten, nickel, and chromium is suitable.

次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited by these examples.

[実施例1]
ガラス基板の表面にフッ素ドープされたSnO2からなるFTO膜が成膜された導電性ガラス基板を使用した。チタンジイソプロポキシドビス(アセチルアセトナート)をイソプロパノールに溶解した溶液(シグマ-アルドリッチ社製)を公知の噴霧熱分解法によりFTO膜の表面に吹き付けて、チタニアからなる厚さ30nmのブロック層を形成した。
[Example 1]
A conductive glass substrate having an FTO film made of fluorine-doped SnO 2 formed on the surface of the glass substrate was used. A solution of titanium diisopropoxide bis (acetylacetonate) dissolved in isopropanol (manufactured by Sigma-Aldrich) was sprayed on the surface of the FTO film by a known spray pyrolysis method to form a block layer made of titania having a thickness of 30 nm. Formed.

0.9M濃度のヨウ化鉛(PbI2)及び0.9M濃度のヨウ化メチルアンモニウム(CH3NH3I)を含むN,N-ジメチルホルムアミド(DMF)の原料溶液を調製した。この原料溶液中に、平均粒径が約15nmのアナターゼ型TiO粒子(日本エアロジル社製;商品名:P15)を浸漬し、15分穏やかに撹拌した後、取り出して乾かすことにより、組成式(CH3NH3PbI3)で表されるペロブスカイト化合物からなる有機無機ハイブリッドのペロブスカイト結晶が表面に付着した原料微粒子を得た。 A raw material solution of N, N-dimethylformamide (DMF) containing 0.9 M concentration of lead iodide (PbI 2 ) and 0.9 M concentration of methylammonium iodide (CH 3 NH 3 I) was prepared. In this raw material solution, anatase-type TiO 2 particles having an average particle diameter of about 15 nm (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd .; trade name: P15) were immersed, stirred gently for 15 minutes, and then taken out and dried to obtain a composition formula ( Raw material fine particles having organic-inorganic hybrid perovskite crystals composed of a perovskite compound represented by CH 3 NH 3 PbI 3 ) adhered to the surface were obtained.

エアロゾルデポジション法(AD法)によって、上記の原料微粒子をブロック層の表面に吹き付けて、ペロブスカイト結晶が表面に付着したチタニア微粒子からなる厚さ300nmの多孔質層を1分で形成した。   By the aerosol deposition method (AD method), the above raw material fine particles were sprayed on the surface of the block layer to form a porous layer having a thickness of 300 nm composed of titania fine particles with perovskite crystals adhering to the surface in 1 minute.

0.07M濃度のspiro-OMeTADが含まれたクロロベンゼン溶液をスピンコート法によりペロブスカイト結晶層の表面に塗布し、spiro-OMeTADからなる厚さ200nmの正孔輸送層を形成した。   A chlorobenzene solution containing 0.07M spiro-OMeTAD was applied to the surface of the perovskite crystal layer by spin coating to form a 200 nm thick hole transport layer made of spiro-OMeTAD.

公知の蒸着法により、正孔輸送層の表面に金(Au)からなる厚さ50nmの対向電極を成膜した。   A counter electrode having a thickness of 50 nm made of gold (Au) was formed on the surface of the hole transport layer by a known vapor deposition method.

上記方法によって、導電性基板1/ブロック層2/ペロブスカイト化合物を含んだ多孔質層3/正孔輸送層5/対向電極6、が順に積層した図1に示す構造(ただしアッパー層4を除く。)を備えた実施例1の太陽電池10を得た。   The structure shown in FIG. 1 in which conductive substrate 1 / blocking layer 2 / porous layer 3 containing a perovskite compound / hole transport layer 5 / counter electrode 6 are sequentially laminated by the above method (excluding the upper layer 4). ) Was obtained.

[実施例2〜10]
前記原料微粒子を構成する微粒子として、表1に記載のN型半導体又は絶縁体からなる微粒子(φは平均粒径)を使用した以外は、実施例1と同様に光電極及び太陽電池を作製した。
[Examples 2 to 10]
A photoelectrode and a solar cell were produced in the same manner as in Example 1 except that the fine particles comprising the N-type semiconductor or insulator shown in Table 1 (φ is the average particle size) were used as the fine particles constituting the raw material fine particles. .

[実施例11〜12]
実施例1と同様のAD法によって、上記の原料微粒子をブロック層の表面に吹き付けて、ペロブスカイト結晶が表面に付着したチタニア微粒子からなる厚さ300nmの多孔質層を1分で形成した。
続いて、0.9M濃度のヨウ化鉛(PbI2)を含むN,N-ジメチルホルムアミド(DMF)をスピンコート法により多孔質層の上に塗布し、70℃で30分の乾燥処理をした後、0.04M濃度のヨウ化メチルアンモニウム(CH3NH3I)を含むイソプロパノール溶液に20秒間浸漬し、取り出した後、100℃で30分の乾燥処理を施すことにより、組成式(CH3NH3PbI3)で表されるペロブスカイト化合物からなる有機無機ハイブリッドのペロブスカイト結晶を多孔質膜の細孔内に挿入すると共に、多孔質膜の表面にも形成した。
[Examples 11 to 12]
By the same AD method as in Example 1, the above raw material fine particles were sprayed on the surface of the block layer to form a porous layer having a thickness of 300 nm composed of titania fine particles with perovskite crystals adhering to the surface in one minute.
Subsequently, N, N-dimethylformamide (DMF) containing 0.9 M concentration of lead iodide (PbI 2 ) was applied onto the porous layer by spin coating, followed by drying at 70 ° C. for 30 minutes. Then, after being immersed in an isopropanol solution containing 0.04 M concentration of methylammonium iodide (CH 3 NH 3 I) for 20 seconds and then taken out, it was subjected to a drying treatment at 100 ° C. for 30 minutes, whereby the composition formula (CH 3 An organic-inorganic hybrid perovskite crystal composed of a perovskite compound represented by NH 3 PbI 3 ) was inserted into the pores of the porous film and also formed on the surface of the porous film.

上記方法によって、導電性基板1/ブロック層2/ペロブスカイト化合物を含んだ多孔質層3/アッパー層4としてのペロブスカイト結晶層/正孔輸送層5/対向電極6、が順に積層した図1に示す構造を備えた実施例1の太陽電池10を得た。   As shown in FIG. 1, the conductive substrate 1 / block layer 2 / porous layer 3 containing a perovskite compound / perovskite crystal layer / hole transport layer 5 / counter electrode 6 as the upper layer 4 are sequentially laminated by the above method. A solar cell 10 of Example 1 having a structure was obtained.

[比較例1]
実施例1と同様に、FTO基板の表面にチタニアからなる厚さ30nmのブロック層を形成した。
次に、平均粒径が約15nmのアナターゼ型TiO粒子(日本エアロジル社製;商品名:P15)をイソプロパノールに分散した分散液をスピンコート法によってブロック層の上に塗布し、乾燥した。形成された塗膜を500℃で60分間焼成し、チタニア微粒子からなる厚さ300nmの多孔質層を形成した。
続いて、0.9M濃度のヨウ化鉛(PbI2)を含むN,N-ジメチルホルムアミド(DMF)をスピンコート法により多孔質層の上に塗布し、70℃で30分の乾燥処理をした後、0.04M濃度のヨウ化メチルアンモニウム(CH3NH3I)を含むイソプロパノール溶液に20秒間浸漬し、取り出した後、100℃で30分の乾燥処理を施すことにより、組成式(CH3NH3PbI3)で表されるペロブスカイト化合物からなる有機無機ハイブリッドのペロブスカイト結晶層を多孔質膜の表面及び内部に形成した。
さらに、実施例1と同様の方法で、正孔輸送層、対向電極を順に形成した。
[Comparative Example 1]
As in Example 1, a 30 nm thick block layer made of titania was formed on the surface of the FTO substrate.
Next, a dispersion obtained by dispersing anatase TiO 2 particles having an average particle size of about 15 nm (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd .; trade name: P15) in isopropanol was applied onto the block layer by a spin coating method and dried. The formed coating film was baked at 500 ° C. for 60 minutes to form a porous layer made of titania fine particles having a thickness of 300 nm.
Subsequently, N, N-dimethylformamide (DMF) containing 0.9 M concentration of lead iodide (PbI 2 ) was applied onto the porous layer by spin coating, followed by drying at 70 ° C. for 30 minutes. Then, after being immersed in an isopropanol solution containing 0.04 M concentration of methylammonium iodide (CH 3 NH 3 I) for 20 seconds and then taken out, it was subjected to a drying treatment at 100 ° C. for 30 minutes, whereby the composition formula (CH 3 An organic-inorganic hybrid perovskite crystal layer made of a perovskite compound represented by NH 3 PbI 3 ) was formed on the surface and inside of the porous film.
Further, a hole transport layer and a counter electrode were formed in this order by the same method as in Example 1.

上記方法によって、導電性基板1/ブロック層2/ペロブスカイト化合物を含んだ多孔質層3/アッパー層4としてのペロブスカイト結晶層/正孔輸送層5/対向電極6、が順に積層した図1に示す構造を備えた実施例1の太陽電池10を得た。   As shown in FIG. 1, the conductive substrate 1 / block layer 2 / porous layer 3 containing a perovskite compound / perovskite crystal layer / hole transport layer 5 / counter electrode 6 as the upper layer 4 are sequentially laminated by the above method. A solar cell 10 of Example 1 having a structure was obtained.

[比較例2〜4]
多孔質層を形成する微粒子として、表1に記載のN型半導体又は絶縁体からなる微粒子(φは平均粒径)を使用した以外は、比較例1と同様に光電極及び太陽電池を作製した。
[Comparative Examples 2 to 4]
A photoelectrode and a solar cell were produced in the same manner as in Comparative Example 1 except that the fine particles comprising the N-type semiconductor or insulator shown in Table 1 (φ is the average particle size) were used as the fine particles forming the porous layer. .

[比較例5〜8]
多孔質層を形成する微粒子として、表1に記載のN型半導体又は絶縁体からなる微粒子(φは平均粒径)を使用し、焼成温度を150℃に変更した以外は、比較例2〜4と同様に光電極及び太陽電池を作製した。
[Comparative Examples 5 to 8]
Comparative Examples 2 to 4 except that the fine particles comprising the N-type semiconductor or insulator shown in Table 1 (φ is the average particle size) were used as the fine particles forming the porous layer, and the firing temperature was changed to 150 ° C. A photoelectrode and a solar cell were prepared in the same manner as described above.

Figure 2016178167
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作製した太陽電池の電流-電圧特性を評価するために、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲線因子FF、光電変換効率Effを、ソーラーシュミレーター(AM1.5)を使用して測定した。その結果を表2に示す。   In order to evaluate the current-voltage characteristics of the produced solar cell, the short circuit current Isc, the open circuit voltage Voc, the fill factor FF, and the photoelectric conversion efficiency Eff were measured using a solar simulator (AM1.5). The results are shown in Table 2.

Figure 2016178167
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以上の結果において、同じ原料微粒子を使用した、実施例1と比較例1及び比較例5、実施例2と比較例2及び比較例6、実施例7と比較例3及び比較例7、実施例8と比較例4及び比較例8、の何れの組み合わせの試験群においても、ペロブスカイト結晶が付着した原料微粒子を使用し、AD法により多孔質膜(下地層)を製膜した実施例の方が、光電変換効率に優れていた。   In the above results, Example 1 and Comparative Example 1 and Comparative Example 5, Example 2 and Comparative Example 2 and Comparative Example 6, Example 7 and Comparative Example 3 and Comparative Example 7 and Example using the same raw material fine particles In the test group of any combination of No. 8 and Comparative Example 4 and Comparative Example 8, the example in which the raw material fine particles to which the perovskite crystals were attached was used and the porous film (underlayer) was formed by the AD method was used. The photoelectric conversion efficiency was excellent.

実施例1〜12において、ペロブスカイト結晶の形成場は、製膜する前の原料微粒子の表面である。このように、従来の焼成された微粒子からなる多孔質膜の表面とは異なる形成場で結晶化したペロブスカイト結晶を備えていることが、実施例の光電極の発電性能が向上した理由の一つであると考えられる。   In Examples 1 to 12, the formation site of the perovskite crystal is the surface of the raw material fine particles before film formation. Thus, it is one of the reasons why the power generation performance of the photoelectrode of the example is improved by having a perovskite crystal that is crystallized in a different formation field from the surface of the porous film made of conventional fired fine particles. It is thought that.

また、特に光電変換効率に優れる実施例11〜12において、後から追加したペロブスカイト結晶の形成場は、AD法により形成した既にペロブスカイト結晶が付着した多孔質膜(下地層)である。この多孔質膜が、ペロブスカイト化合物の結晶の形成場として、従来の焼成による多孔質膜からは得られ難い何らかの好ましい作用を発揮した、と推測される。   Further, in Examples 11 to 12 which are particularly excellent in photoelectric conversion efficiency, the formation field of the perovskite crystal added later is a porous film (underlayer) to which the perovskite crystal already formed by the AD method is attached. It is presumed that this porous film exhibited some preferable action that is difficult to obtain from a porous film obtained by conventional baking as a crystal formation field of a perovskite compound.

また、実施例1〜10と実施例11〜12とを比較すると、下地層である多孔質膜の内部に後から追加してペロブスカイト結晶を挿入し、さらに多孔質膜の表面にもペロブスカイト結晶からなるアッパー層を形成した実施例11〜12の方が光電変換効率に優れる。この理由の一つとして、ペロブスカイト結晶の総量が増加したことが挙げられる。   In addition, when Examples 1 to 10 and Examples 11 to 12 are compared, a perovskite crystal is inserted later into the porous film that is the underlayer, and the perovskite crystal is also formed on the surface of the porous film. Examples 11-12 in which the upper layer formed is superior in photoelectric conversion efficiency. One reason for this is that the total amount of perovskite crystals has increased.

本発明の光電極の製造方法においては室温で下地層を製膜することができるため、従来の焼成工程を要する製膜方法においては使用することができなかった耐熱性の低い基材に対しても製膜することができる。さらに、AD法によれば短時間(例えば1分)で下地層を製膜できるので、樹脂シートを基材として用いて、ロールトゥロール方式による大量生産も可能である。
なお、従来のスピンコート法と低温焼成により製膜した場合(比較例5〜8)には、比較的耐熱性の低い基材の使用は可能であるが、発電性能が低下する問題と、大量生産には不向きな比較的長時間の焼成時間を要する問題がある。
Since the underlayer can be formed at room temperature in the method for producing a photoelectrode of the present invention, the substrate having low heat resistance, which could not be used in the conventional method for forming a film that requires a baking step, is used. Can also be formed. Furthermore, since the underlayer can be formed in a short time (for example, 1 minute) according to the AD method, mass production by a roll-to-roll method is possible using a resin sheet as a base material.
In addition, in the case of forming a film by the conventional spin coating method and low temperature baking (Comparative Examples 5 to 8), it is possible to use a substrate having a relatively low heat resistance, but there is a problem that power generation performance is deteriorated and a large amount There is a problem that a relatively long baking time is unsuitable for production.

以上で説明した各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は各実施形態によって限定されることはなく、請求項(クレーム)の範囲によってのみ限定される。   The configurations and combinations thereof in the embodiments described above are examples, and the addition, omission, replacement, and other modifications of the configurations can be made without departing from the spirit of the present invention. Further, the present invention is not limited by each embodiment, and is limited only by the scope of the claims.

本発明の光電極の製造方法は、太陽電池の分野に広く適用可能である。   The method for producing a photoelectrode of the present invention is widely applicable in the field of solar cells.

1…基板、2…ブロック層、3…下地層、4…アッパー層、5…正孔輸送層、6…対向電極、7…光吸収層、8…基材、9…光電極、10…太陽電池、51…製膜室、52…ノズル、53…基材、54…複合微粒子、55…ボンベ、56…搬送管、57…マスフロー制御器、58…エアロゾル発生器、59…解砕器、60…製膜装置、61…分級器、62…真空ポンプ、63…基台、71…製膜面、72…基台の載置面(上面)、73…製膜面の反対側の面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate, 2 ... Block layer, 3 ... Underlayer, 4 ... Upper layer, 5 ... Hole transport layer, 6 ... Counter electrode, 7 ... Light absorption layer, 8 ... Base material, 9 ... Photoelectrode, 10 ... Sun Battery: 51 ... Film forming chamber, 52 ... Nozzle, 53 ... Base material, 54 ... Composite fine particle, 55 ... Cylinder, 56 ... Transport pipe, 57 ... Mass flow controller, 58 ... Aerosol generator, 59 ... Crusher, 60 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Film forming apparatus, 61 ... Classifier, 62 ... Vacuum pump, 63 ... Base, 71 ... Film forming surface, 72 ... Mounting surface (upper surface) of base, 73 ... Surface opposite to film forming surface

Claims (11)

導電性を有する基材と、前記基材上に積層された下地層と、前記下地層の表面及び内部のうち少なくとも内部に形成された有機無機ペロブスカイト化合物を含む光吸収層と、を有する光電極の製造方法であって、
前記有機無機ペロブスカイト化合物が付着したN型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の少なくとも何れか一方を前記基材に吹き付けることにより前記下地層を形成する工程を有する光電極の製造方法。
A photoelectrode comprising a base material having conductivity, a base layer laminated on the base material, and a light absorption layer containing an organic / inorganic perovskite compound formed at least inside the surface and the inside of the base layer A manufacturing method of
A method for producing a photoelectrode comprising a step of forming the underlayer by spraying at least one of N-type semiconductor fine particles and insulator fine particles to which the organic / inorganic perovskite compound is adhered to the base material.
前記N型半導体微粒子が、ZnO、TiO及びSnOから選ばれる何れか1種以上からなる微粒子である、請求項1に記載の光電極の製造方法。 2. The method for producing a photoelectrode according to claim 1, wherein the N-type semiconductor fine particles are fine particles comprising at least one selected from ZnO, TiO 2 and SnO. 前記絶縁体微粒子が、Al、ZrO及びMgOから選ばれる何れか1種以上からなる微粒子である、請求項1に記載の光電極の製造方法。 The method for producing a photoelectrode according to claim 1, wherein the insulating fine particles are fine particles comprising at least one selected from Al 2 O 3 , ZrO 2 and MgO. 前記N型半導体微粒子及び絶縁体微粒子の平均粒径が10nm〜70nmである、請求項1〜3の何れか一項に記載の光電極の製造方法。   The method for producing a photoelectrode according to any one of claims 1 to 3, wherein an average particle diameter of the N-type semiconductor fine particles and the insulating fine particles is 10 nm to 70 nm. 前記有機無機ペロブスカイト化合物が、下記組成式(I)で表される、請求項1〜4の何れか一項に記載の光電極の製造方法。
ABX ・・・(I)
[式中、Aは有機カチオン、Bは金属イオン、Xはハロゲンイオンを表す。]
The method for producing a photoelectrode according to any one of claims 1 to 4, wherein the organic / inorganic perovskite compound is represented by the following composition formula (I).
ABX 3 (I)
[Wherein, A represents an organic cation, B represents a metal ion, and X represents a halogen ion. ]
請求項1〜5の何れか一項に記載の方法によって製造された光電極。   The photoelectrode manufactured by the method as described in any one of Claims 1-5. 請求項6に記載の光電極と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、
請求項1〜5の何れか一項に記載の方法によって前記光電極を得る工程と、
前記光電極の光吸収層の表面に前記対向電極を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法。
A method for producing a solar cell comprising the photoelectrode according to claim 6 and a counter electrode,
Obtaining the photoelectrode by the method according to any one of claims 1 to 5,
Disposing the counter electrode on the surface of the light absorption layer of the photoelectrode.
請求項6に記載の光電極と、正孔輸送層と、対向電極とを備えた太陽電池の製造方法であって、
請求項1〜5の何れか一項に記載の方法によって前記光電極を得る工程と、
前記光電極の光吸収層の上に前記正孔輸送層を形成する工程と、
前記正孔輸送層の上に前記対向電極を配置する工程と、を有する、太陽電池の製造方法。
A method for producing a solar cell comprising the photoelectrode according to claim 6, a hole transport layer, and a counter electrode,
Obtaining the photoelectrode by the method according to any one of claims 1 to 5,
Forming the hole transport layer on the light absorption layer of the photoelectrode;
And disposing the counter electrode on the hole transport layer.
前記光吸収層の表面に前記正孔輸送層を形成し、前記正孔輸送層の表面に前記対向電極を配置する、請求項8に記載の太陽電池の製造方法。   The method for manufacturing a solar cell according to claim 8, wherein the hole transport layer is formed on a surface of the light absorption layer, and the counter electrode is disposed on the surface of the hole transport layer. 請求項6に記載の光電極と、対向電極とを備える太陽電池。   A solar cell comprising the photoelectrode according to claim 6 and a counter electrode. 請求項7〜9の何れか一項に記載の方法によって製造された太陽電池。   The solar cell manufactured by the method as described in any one of Claims 7-9.
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