JP2016157799A - El display device and manufacturing method for the same - Google Patents

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孝洋 牛窪
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an EL display device whose luminescence characteristic is maintained.SOLUTION: The EL display device includes a display portion including pixels. The pixels include an EL element including a luminescent layer containing a host and at least two kinds of dopants. The at least two kinds of dopants have different concentration distribution relative to the host. The at least two kinds of dopants include a first dopant and a second dopant. The first dopant has the concentration distribution in which the concentration decreases gradually in a first direction and the second dopant has the concentration distribution in which the concentration increases gradually in the first direction.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、エレクトロルミネセンス(Electroluminescence:EL)素子等の発光素子で構成される画素を有する表示装置に関する。特に、発光材料として、有機EL材料を用いた有機EL表示装置に関する。   The present invention relates to a display device having a pixel composed of a light emitting element such as an electroluminescence (EL) element. In particular, the present invention relates to an organic EL display device using an organic EL material as a light emitting material.

エレクトロルミネセンス現象を利用した発光素子として、エレクトロルミネセンス(以下「EL」ともいう)素子が知られている。EL素子は、発光層を構成する発光材料の選択により様々な波長の色で発光させることが可能であり、表示装置や照明器具への応用が進められている。特に、発光材料として有機材料を用いた有機EL素子が注目されている。   An electroluminescence (hereinafter also referred to as “EL”) element is known as a light-emitting element utilizing an electroluminescence phenomenon. The EL element can emit light with various wavelengths by selecting a light emitting material constituting the light emitting layer, and its application to a display device or a lighting fixture is being promoted. In particular, an organic EL element using an organic material as a light emitting material has attracted attention.

有機EL素子を表示装置に応用した有機EL表示装置においては、基板上にマトリクス状に配置した各画素に、発光素子としての有機EL素子と、その有機EL素子の発光制御を行うスイッチング素子とが設けられている。そして、画素ごとにスイッチング素子のオン/オフを制御することにより、表示領域全体として任意の画像を表示することが可能である。   In an organic EL display device in which an organic EL element is applied to a display device, an organic EL element as a light emitting element and a switching element for controlling light emission of the organic EL element are provided in each pixel arranged in a matrix on a substrate. Is provided. Then, by controlling on / off of the switching element for each pixel, it is possible to display an arbitrary image as the entire display region.

有機EL素子の発光色は、EL素子の発光層に使用するEL材料の種類によって異ならせることができる。例えば、発光層の主成分となるEL材料(ホスト)の種類や発光層の副成分となるEL材料(ドーパント)の種類に応じて、様々な発光色を実現することができる。特に、近年では、色純度の高い白色発光を可能とする有機EL素子の開発が進んでいる。   The light emission color of the organic EL element can be varied depending on the type of EL material used for the light emitting layer of the EL element. For example, various emission colors can be realized depending on the type of EL material (host) that is the main component of the light emitting layer and the type of EL material (dopant) that is the subcomponent of the light emitting layer. In particular, in recent years, development of organic EL elements that enable white light emission with high color purity has been progressing.

有機EL素子において、白色発光を実現するには、RGB各色に発光する発光層をそれぞれ積層する構造や青色に発光する発光層と黄色に発光する発光層とを積層した構造が知られている(特許文献1)。特に、青色に発光する発光層と黄色に発光する発光層とを積層した構造は、RGB各色の発光層を積層する場合に比べ、積層数を減らすことができるため注目されている。   In order to realize white light emission in an organic EL element, there are known a structure in which light emitting layers emitting light of RGB colors are laminated, or a structure in which a light emitting layer emitting blue light and a light emitting layer emitting yellow light are laminated ( Patent Document 1). In particular, a structure in which a light emitting layer that emits blue light and a light emitting layer that emits yellow light is stacked, is attracting attention because the number of stacked layers can be reduced as compared to the case where light emitting layers of RGB colors are stacked.

特開2005−285708号公報JP 2005-285708 A

黄色に発光する発光層を形成するに当たり、ホストに対してそれぞれ異なる色で発光するドーパントを添加することにより、色域を広くすることが可能である。この場合、それぞれのドーパントを異なる領域で発光させるために、各領域の間にほとんどドーパントを含まない層(つまり、実質的にホストのみで構成される層)を挟むことが好ましい。   In forming a light emitting layer that emits yellow light, it is possible to widen the color gamut by adding dopants that emit light of different colors to the host. In this case, in order to cause each dopant to emit light in different regions, it is preferable to sandwich a layer containing almost no dopant (that is, a layer substantially composed of only the host) between the regions.

図10は、青色に発光する発光層と黄色に発光する発光層とを積層したEL素子の例を示す図である。図10において、図面の下から順に、画素電極(陽極)11、第1電荷輸送層12、第1発光層13、第2電荷輸送層14、第2発光層15、第3電荷輸送層16、及び共通電極(陰極)17が積層されている。ここでは、第1発光層13として、黄色に発光する発光層を示し、第2発光層15として、青色に発光する発光層を示す。   FIG. 10 is a diagram illustrating an example of an EL element in which a light emitting layer emitting blue light and a light emitting layer emitting yellow light are stacked. 10, in order from the bottom of the drawing, a pixel electrode (anode) 11, a first charge transport layer 12, a first light-emitting layer 13, a second charge transport layer 14, a second light-emitting layer 15, a third charge transport layer 16, A common electrode (cathode) 17 is stacked. Here, a light emitting layer that emits yellow light is shown as the first light emitting layer 13, and a light emitting layer that emits blue light is shown as the second light emitting layer 15.

なお、図10に示す例では、第1電荷輸送層12は、正孔注入層及び正孔輸送層で構成される。第2電荷輸送層14は、正孔注入層、正孔輸送層、電荷発生層、電子注入層及び電子輸送層で構成される。第3電荷輸送層16は、電子注入層及び電子輸送層で構成される。   In the example shown in FIG. 10, the first charge transport layer 12 includes a hole injection layer and a hole transport layer. The second charge transport layer 14 includes a hole injection layer, a hole transport layer, a charge generation layer, an electron injection layer, and an electron transport layer. The third charge transport layer 16 includes an electron injection layer and an electron transport layer.

ここで、黄色に発光する第1発光層13は、3層の積層構造で構成される。第1層目は、ホストに対して第1ドーパントが添加された層(以下「第1発光領域」という)13a、第2層目は、ホストのみで構成される層(以下「非ドープ領域」という)13b、第3層目は、ホストに対して第2ドーパントが添加された層(以下「第2発光領域」という)13cである。   Here, the first light emitting layer 13 that emits yellow light has a three-layer structure. The first layer is a layer in which a first dopant is added to the host (hereinafter referred to as “first light-emitting region”) 13a, and the second layer is a layer composed only of the host (hereinafter referred to as “undoped region”). The third layer is a layer (hereinafter referred to as “second light emitting region”) 13c in which a second dopant is added to the host.

前述のように、このような構造とすることにより、第1発光領域13aと第2発光領域13cとでそれぞれ異なる色の発光を行うことができ、色域の広い黄色を表現することができる。例えば第1ドーパント及び第2ドーパントとしては、それぞれ黄緑色に発光するドーパント及び黄色に発光するドーパントを用いることができる。   As described above, with such a structure, the first light emitting region 13a and the second light emitting region 13c can emit light of different colors, and yellow with a wide color gamut can be expressed. For example, a dopant that emits yellow-green light and a dopant that emits yellow light can be used as the first dopant and the second dopant, respectively.

ここで、本発明者らが本発明に至るまでの試行過程について説明する。図11は、発光層の形成方法を模式的に示す図である。本発明者らは、開発当初、図10に示した積層構造を得るために図11に示すインライン蒸着を用いた発光層の形成方法を用いた。なお、「インライン蒸着」とは、複数の蒸着源からそれぞれ異なる材料を蒸着するに当たり、各材料の蒸着を、大気開放することなく直列に並んだ各チャンバー内で連続的に行うことを指す。   Here, the trial process up to the present invention by the inventors will be described. FIG. 11 is a diagram schematically showing a method for forming a light emitting layer. The inventors used the light emitting layer forming method using in-line vapor deposition shown in FIG. 11 in order to obtain the laminated structure shown in FIG. Note that “in-line deposition” refers to continuous deposition in each chamber arranged in series without opening to the atmosphere when depositing different materials from a plurality of deposition sources.

図11に示す形成方法では、まず、第1蒸着源21a、第2蒸着源22a及び第3蒸着源23aの上方において基板24を矢印の方向に移動させ、ドーパント(ここでは第1ドーパント)21b、第1ホスト22b及び第2ホスト23bが混在した層、すなわち第1発光領域13aを形成する。   In the forming method shown in FIG. 11, first, the substrate 24 is moved in the direction of the arrow above the first vapor deposition source 21a, the second vapor deposition source 22a, and the third vapor deposition source 23a, and a dopant (here, the first dopant) 21b, A layer in which the first host 22b and the second host 23b are mixed, that is, the first light emitting region 13a is formed.

次に、第2蒸着源22a及び第3蒸着源23aの上方において、第1発光領域13aが形成された基板24を矢印の方向に移動させ、第1ホスト22b及び第2ホスト23bのみが混在した層、すなわち非ドープ領域13bを形成する。   Next, the substrate 24 on which the first light emitting region 13a is formed is moved in the direction of the arrow above the second vapor deposition source 22a and the third vapor deposition source 23a, and only the first host 22b and the second host 23b are mixed. A layer, that is, an undoped region 13b is formed.

最後に、第1蒸着源21a、第2蒸着源22a及び第3蒸着源23aの上方において、非ドープ領域13bが形成された基板24を矢印の方向に移動させ、ドーパント(ここでは第2ドーパント)21b、第1ホスト22b及び第2ホスト23bが混在した層、すなわち第2発光領域13cを形成する。   Finally, the substrate 24 on which the undoped region 13b is formed is moved in the direction of the arrow above the first vapor deposition source 21a, the second vapor deposition source 22a, and the third vapor deposition source 23a, and a dopant (here, a second dopant). 21b, a layer in which the first host 22b and the second host 23b are mixed, that is, the second light emitting region 13c is formed.

以上の形成方法を経て、図10に示した積層構造の第1発光層13を形成したところ、蒸着の際に、ドーパント、第1ホスト及び第2ホストが均一に混在せず、形成された各層の内部において濃度分布が生じていた。   Through the above forming method, the first light emitting layer 13 having the laminated structure shown in FIG. 10 is formed. During the vapor deposition, the dopant, the first host, and the second host are not uniformly mixed, and each formed layer is formed. Concentration distribution occurred in the inside.

図12は、図11に示したインライン蒸着により第1発光領域13aを形成した場合における濃度分布を示す図である。図12において、曲線25及び26は、それぞれドーパントの濃度及び第2ホストの濃度を示している。なお、図12に示すドーパントの濃度及び第2ホストの濃度は、それぞれ第1ホストの濃度で規格化したものである。すなわち、第1ホストの濃度に対する割合を示している。   FIG. 12 is a diagram showing a concentration distribution when the first light emitting region 13a is formed by in-line vapor deposition shown in FIG. In FIG. 12, curves 25 and 26 indicate the dopant concentration and the second host concentration, respectively. Note that the dopant concentration and the second host concentration shown in FIG. 12 are each normalized by the concentration of the first host. That is, the ratio with respect to the density | concentration of a 1st host is shown.

図12から明らかなように、ドーパントは、第1発光領域13aの一端近傍にピーク濃度(極大値)を有し、第2ホストは、第1発光領域13aの他端近傍にピーク濃度(極大値)を有する。そこで、本発明者らは、このような濃度分布を無くすため、インライン蒸着の方法を改良した。   As is apparent from FIG. 12, the dopant has a peak concentration (maximum value) near one end of the first light emitting region 13a, and the second host has a peak concentration (maximum value) near the other end of the first light emitting region 13a. ). Therefore, the present inventors improved the in-line deposition method in order to eliminate such a concentration distribution.

図13は、改良した発光層の形成方法を模式的に示す図である。図13に示す形成方法では、蒸着源21a及び23aを蒸着源22aの方に傾け、その状態で蒸着を行う構成とした。これにより、ドーパント、第1ホスト及び第2ホストが濃度分布なく均一に混在するようになり、寿命や発光効率の改善された第1発光領域13aを形成し得ることが分かった。   FIG. 13 is a diagram schematically showing an improved method for forming a light emitting layer. In the forming method shown in FIG. 13, the vapor deposition sources 21a and 23a are inclined toward the vapor deposition source 22a and vapor deposition is performed in that state. Thus, it has been found that the dopant, the first host, and the second host are mixed uniformly without a concentration distribution, and the first light emitting region 13a with improved lifetime and light emission efficiency can be formed.

しかしながら、図13に示した形成方法では、蒸着源21a及び蒸着源23aを傾ける角度を精度よく調整する必要があり、蒸着源を交換する際に非常に時間がかかるという問題があった。また、図10に示した構造を得るためには、多くの蒸着源を用意する必要があり、製造コストの増加を招く要因ともなっていた。   However, in the forming method shown in FIG. 13, it is necessary to accurately adjust the angle at which the vapor deposition source 21a and the vapor deposition source 23a are inclined, and there is a problem that it takes a very long time to replace the vapor deposition source. Further, in order to obtain the structure shown in FIG. 10, it is necessary to prepare a large number of vapor deposition sources, which has been a factor in increasing the manufacturing cost.

また、蒸着源の傾きがずれると第1発光領域13a内におけるドーパントや第2ホストの濃度分布が変化してしまい、発光層としての寿命や発光効率にも影響が出るという問題もあった。   Further, when the tilt of the vapor deposition source is deviated, the concentration distribution of the dopant and the second host in the first light emitting region 13a is changed, and there is a problem that the life as the light emitting layer and the light emission efficiency are affected.

本発明は、発光特性に優れたEL表示装置を提供することを目的の一つとする。   An object of the present invention is to provide an EL display device having excellent light emission characteristics.

本発明は、生産性の高いEL表示装置の製造方法を提供することを目的の一つとする。   An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an EL display device with high productivity.

本発明は、上述したような蒸着による濃度分布を無くす発想とはまったく逆の技術思想に基づくものであり、むしろ積極的に蒸着による濃度分布を利用し、ドーパントの濃度分布により図10に示した構造を達成するものである。   The present invention is based on the technical idea completely opposite to the idea of eliminating the concentration distribution by vapor deposition as described above. Rather, the concentration distribution by vapor deposition is positively utilized, and the concentration distribution of the dopant is shown in FIG. To achieve the structure.

本発明の一態様は、複数の画素を含む表示部を備えたEL表示装置であって、前記複数の画素は、ホストと、少なくとも2種類のドーパントとを含む発光層を有する有機EL素子を含み、前記少なくとも2種類のドーパントは、前記ホストに対してそれぞれ異なる濃度分布を有する。前記少なくとも2種類のドーパントには、第1ドーパント及び第2ドーパントが含まれ、前記第1ドーパントは、第1方向に向かって徐々に濃度が低下する濃度分布を有し、前記第2ドーパントは、前記第1方向に向かって徐々に濃度が上昇する濃度分布を有してもよい。前記第1ドーパントは、前記画素電極側の一端近傍にピーク濃度を有し、前記第2ドーパントは、前記共通電極側の他端近傍にピーク濃度を有してもよい。   One embodiment of the present invention is an EL display device including a display portion including a plurality of pixels, the plurality of pixels including an organic EL element having a light-emitting layer including a host and at least two types of dopants. The at least two dopants have different concentration distributions with respect to the host. The at least two kinds of dopants include a first dopant and a second dopant, the first dopant has a concentration distribution that gradually decreases in a first direction, and the second dopant is: It may have a concentration distribution in which the concentration gradually increases in the first direction. The first dopant may have a peak concentration near one end on the pixel electrode side, and the second dopant may have a peak concentration near the other end on the common electrode side.

本発明の一態様は、絶縁表面上に画素電極を形成し、前記画素電極上にホストと少なくとも2種類のドーパントとを含む発光層を、前記少なくとも2種類のドーパントが前記ホストに対してそれぞれ異なる濃度分布を有するように形成し、前記発光層上に共通電極を形成することを含む。前記少なくとも2種類のドーパントには、第1方向に向かって徐々に濃度が低下する濃度分布を有する第1ドーパント、及び前記第1方向に向かって徐々に濃度が上昇する濃度分布を輸する第2ドーパントが含まれてもよい。前記第1ドーパントのピーク濃度が前記画素電極側の一端近傍に位置し、前記第2ドーパントのピーク濃度が前記共通電極側の他端近傍に位置するように、前記発光層を形成してもよい。   According to one embodiment of the present invention, a pixel electrode is formed over an insulating surface, a light-emitting layer including a host and at least two kinds of dopants is formed over the pixel electrode, and the at least two kinds of dopants are different from the host. Forming a concentration distribution, and forming a common electrode on the light emitting layer. The at least two kinds of dopants include a first dopant having a concentration distribution in which the concentration gradually decreases in the first direction, and a second concentration distribution in which the concentration gradually increases in the first direction. A dopant may be included. The light emitting layer may be formed such that the peak concentration of the first dopant is located near one end on the pixel electrode side and the peak concentration of the second dopant is located near the other end on the common electrode side. .

本発明の一態様は、絶縁表面上に画素電極を形成し、前記画素電極上に、第1ドーパント、ホスト及び第2ドーパントの順にインライン蒸着を行って発光層を形成し、前記発光層上に共通電極を形成することを含む。前記発光層上に、さらに当該発光層が発する色と補色の関係にある色を発する他の発光層を形成してもよい。また、前記発光層及び前記他の発光層を形成する前後に、さらに電荷輸送層を形成してもよい。   In one embodiment of the present invention, a pixel electrode is formed over an insulating surface, and a light-emitting layer is formed on the pixel electrode by in-line deposition in the order of a first dopant, a host, and a second dopant. Forming a common electrode. On the light emitting layer, another light emitting layer that emits a color complementary to the color emitted from the light emitting layer may be formed. Further, a charge transport layer may be further formed before and after forming the light emitting layer and the other light emitting layer.

第1の実施形態に係るEL表示装置の全体構成を示す図である。1 is a diagram illustrating an overall configuration of an EL display device according to a first embodiment. 第1の実施形態に係るEL表示装置の画素部を示す図である。It is a figure which shows the pixel part of the EL display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るEL表示装置の画素部の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the pixel part of the EL display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るEL表示装置のEL素子の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the EL element of the EL display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るEL表示装置の発光層の形成方法を示す図である。It is a figure which shows the formation method of the light emitting layer of the EL display apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るEL表示装置において、EL素子を構成する第1発光層におけるドーパントの濃度分布を示す図である。In the EL display device according to the first embodiment, it is a diagram illustrating a dopant concentration distribution in a first light emitting layer constituting an EL element. 本発明の第1の実施形態に係るEL表示装置の画素部の製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the pixel part of the EL display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態に係るEL表示装置の画素部の製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the pixel part of the EL display apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 第3の実施形態に係るEL表示装置の発光層の形成方法を示す図である。It is a figure which shows the formation method of the light emitting layer of the EL display apparatus which concerns on 3rd Embodiment. EL表示装置のEL素子の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the EL element of EL display apparatus. EL表示装置の発光層の形成方法を示す図である。It is a figure which shows the formation method of the light emitting layer of EL display apparatus. EL表示装置において、EL素子を構成する第1発光領域におけるドーパント及び第2ホストの濃度分布を示す図である。In an EL display device, it is a figure which shows the dopant and the density | concentration distribution of the 2nd host in the 1st light emission area | region which comprises an EL element. EL表示装置の発光層の形成方法を示す図である。It is a figure which shows the formation method of the light emitting layer of EL display apparatus.

以下、本発明の各実施の形態について、図面等を参照しつつ説明する。但し、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲において様々な態様で実施することができ、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in various modes without departing from the gist thereof, and is not construed as being limited to the description of the embodiments exemplified below.

また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して説明したものと同様の機能を備えた要素には、同一の符号を付して、重複する説明を省略することがある。   Further, in order to make the explanation clearer, the drawings may be schematically represented with respect to the width, thickness, shape, and the like of each part as compared with the actual embodiment, but are merely examples, and the interpretation of the present invention. It is not intended to limit. In addition, in the present specification and each drawing, elements having the same functions as those described with reference to the previous drawings may be denoted by the same reference numerals and redundant description may be omitted.

(第1の実施形態)
<表示装置の構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置100の全体構成を示す図である。有機EL表示装置100は、基板101上に形成された、画素部(表示領域)102、走査線駆動回路103、データ線駆動回路104、及びドライバIC105を備えている。ドライバICは、走査線駆動回路103及びデータ線駆動回路104に信号を与える制御部として機能する。
(First embodiment)
<Configuration of display device>
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an organic EL display device 100 according to the first embodiment of the present invention. The organic EL display device 100 includes a pixel portion (display area) 102, a scanning line driving circuit 103, a data line driving circuit 104, and a driver IC 105 formed on a substrate 101. The driver IC functions as a control unit that provides signals to the scanning line driving circuit 103 and the data line driving circuit 104.

なお、データ線駆動回路104は、ドライバIC105に含まれる場合もある。図1では、基板101上にドライバIC105を一体形成した例を示しているが、ICチップのような形態で別途基板101上に配置してもよい。また、ドライバIC105をFPC(Flexible Printed Circuits)に設けて外付けする形態を採用してもよい。   Note that the data line driving circuit 104 may be included in the driver IC 105. Although FIG. 1 shows an example in which the driver IC 105 is integrally formed on the substrate 101, it may be separately arranged on the substrate 101 in the form of an IC chip. Further, a form in which the driver IC 105 is provided in an FPC (Flexible Printed Circuits) and externally attached may be employed.

図1に示す画素部102には、複数の画素がマトリクス状に配置される。各画素には、データ線駆動回路104から画像データに応じたデータ信号が与えられる。それらデータ信号を、各画素に設けられたトランジスタを介して画素電極に与えることにより、画像データに応じた画面表示を行うことができる。トランジスタとしては、典型的には、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)を用いることができる。但し、薄膜トランジスタに限らず、電流制御機能を備える素子であれば、如何なる素子を用いても良い。   A plurality of pixels are arranged in a matrix in the pixel portion 102 shown in FIG. A data signal corresponding to image data is given to each pixel from the data line driving circuit 104. By providing these data signals to the pixel electrodes through transistors provided in the respective pixels, screen display corresponding to the image data can be performed. As the transistor, typically, a thin film transistor can be used. However, not only the thin film transistor but any element having a current control function may be used.

図2は、図1に示す有機EL表示装置100における画素部102の構成を示す図である。本実施形態において、画素201は、白色発光の画素であり、薄膜トランジスタ202が設けられる。後述するが、各画素に対応してRGB各色に対応するカラーフィルタが設けられており、薄膜トランジスタ202を用いて各画素201をオン/オフ制御して様々な色を表現することができる。   FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the pixel portion 102 in the organic EL display device 100 shown in FIG. In this embodiment, the pixel 201 is a pixel that emits white light and is provided with a thin film transistor 202. As will be described later, a color filter corresponding to each RGB color is provided corresponding to each pixel, and various colors can be expressed by controlling each pixel 201 on / off using the thin film transistor 202.

なお、本実施形態では、すべての画素を白色発光とし、カラーフィルタを用いてカラー表示を行う例を示したが、これに限らず、RGBに白(W)又は黄(Y)を加えた4つのサブ画素で画素201を構成することもできる。この場合、特に白色又は黄色の画素に対して本発明を適用することが好ましい。   In the present embodiment, an example is shown in which all pixels emit white light and color display is performed using a color filter. However, the present invention is not limited to this, and 4 (white (W) or yellow (Y) is added to RGB). The pixel 201 can also be configured with two subpixels. In this case, it is preferable to apply the present invention to white or yellow pixels.

また、画素配列として、同一色に対応する画素がストライプ配列された例を示したが、その他デルタ配列やベイヤー配列、又はペンタイル構造を実現する配列であってもよい。   In addition, an example in which pixels corresponding to the same color are arranged in stripes is shown as the pixel arrangement, but other arrangements such as a delta arrangement, a Bayer arrangement, or a pen tile structure may be used.

図3は、図2に示す画素201をIII−III’で切断した断面の構成を示す図である。図3において、第1基板301上には、下地層302として、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム等の無機材料で構成される絶縁層が設けられ、その上に薄膜トランジスタ303が形成されている。   FIG. 3 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the pixel 201 illustrated in FIG. 2 taken along line III-III ′. In FIG. 3, an insulating layer made of an inorganic material such as silicon oxide, silicon nitride, or aluminum oxide is provided as a base layer 302 over a first substrate 301, and a thin film transistor 303 is formed thereover.

第1基板301としては、ガラス基板、石英基板、フレキシブル基板(ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートその他の曲げることが可能な基板)を用いることができる。第1基板301が透光性を有する必要がない場合には、金属基板、セラミックス基板、半導体基板を用いることも可能である。   As the first substrate 301, a glass substrate, a quartz substrate, or a flexible substrate (polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, or other bendable substrate) can be used. In the case where the first substrate 301 does not need to have a light-transmitting property, a metal substrate, a ceramic substrate, or a semiconductor substrate can be used.

薄膜トランジスタ303は、公知の方法で形成すればよい。薄膜トランジスタ303の構造は、トップゲート型であってもボトムゲート型であってもよい。本実施形態の有機EL表示装置100では、薄膜トランジスタ303を覆うように第1の絶縁層304を設け、薄膜トランジスタ303に起因する凹凸を平坦化する構造としている。第1の絶縁層304としては、樹脂材料を用いることが好ましい。例えば、ポリイミド、ポリアミド、アクリル、エポキシ等の公知の有機材料を用いることができる。平坦化効果を奏するのであれば、有機材料に代えて、酸化シリコン等の無機材料を用いてもよいし、有機材料と無機材料の積層構造とすることも可能である。   The thin film transistor 303 may be formed by a known method. The structure of the thin film transistor 303 may be a top gate type or a bottom gate type. In the organic EL display device 100 of the present embodiment, the first insulating layer 304 is provided so as to cover the thin film transistor 303, and the unevenness caused by the thin film transistor 303 is flattened. As the first insulating layer 304, a resin material is preferably used. For example, known organic materials such as polyimide, polyamide, acrylic, and epoxy can be used. As long as the planarization effect is achieved, an inorganic material such as silicon oxide may be used instead of the organic material, or a stacked structure of an organic material and an inorganic material may be used.

第1の絶縁層304上には、画素電極305が設けられる。画素電極305は、第1の絶縁層304に形成されたコンタクトホールを介して薄膜トランジスタ303に接続されている。本実施形態の有機EL表示装置100において、画素電極305は、有機EL素子を構成する陽極(アノード)として機能する。   A pixel electrode 305 is provided over the first insulating layer 304. The pixel electrode 305 is connected to the thin film transistor 303 through a contact hole formed in the first insulating layer 304. In the organic EL display device 100 of the present embodiment, the pixel electrode 305 functions as an anode that constitutes the organic EL element.

画素電極305は、トップエミッション型であるかボトムエミッション型であるかで異なる構成とする。例えば、トップエミッション型である場合、画素電極305として反射率の高い金属膜を用いるか、酸化インジウム系透明導電膜(例えばITO)や酸化亜鉛系透明導電膜(例えばIZO、ZnO)といった仕事関数の高い透明導電膜と金属膜との積層構造を用いれば良い。逆に、ボトムエミッション型である場合、画素電極305として上述した透明導電膜を用いれば良い。本実施形態では、トップエミッション型の有機EL表示装置を例に挙げて説明する。   The pixel electrode 305 is configured differently depending on whether it is a top emission type or a bottom emission type. For example, in the case of the top emission type, a metal film having a high reflectance is used as the pixel electrode 305, or a work function such as an indium oxide-based transparent conductive film (for example, ITO) or a zinc oxide-based transparent conductive film (for example, IZO, ZnO) is used. A stacked structure of a high transparent conductive film and a metal film may be used. Conversely, in the case of the bottom emission type, the above-described transparent conductive film may be used as the pixel electrode 305. In the present embodiment, a top emission type organic EL display device will be described as an example.

隣接する画素電極305の間には、図3に示すように、バンク306が配置される。バンク306は、各画素電極306の端部(エッジ)を覆うように設けられ、結果として、各画素を区画する部材として機能する。なお、バンク306は、画素電極306の端部を覆うだけでなく、コンタクトホールに起因する凹部を埋める充填材として機能させてもよい。   Between adjacent pixel electrodes 305, a bank 306 is disposed as shown in FIG. The bank 306 is provided so as to cover the end (edge) of each pixel electrode 306, and as a result, functions as a member that partitions each pixel. Note that the bank 306 may function not only to cover the end portion of the pixel electrode 306 but also to function as a filler that fills the concave portion caused by the contact hole.

本実施形態では、バンク306としてポリイミド系、ポリアミド系、アクリル系、エポキシ系もしくはシロキサン系といった公知の樹脂材料を用いることができる。また、図3では、バンク306の頂部を含む断面(画素電極の主面に対して垂直な面で切断した断面)の輪郭が曲線状であるバンクを形成した例を示しているが、特に形状を限定する必要はなく、台形状であってもよい。   In the present embodiment, a known resin material such as polyimide, polyamide, acrylic, epoxy, or siloxane can be used for the bank 306. FIG. 3 shows an example in which a bank having a curved outline is formed in a cross section including the top of the bank 306 (cross section cut along a plane perpendicular to the main surface of the pixel electrode). It is not necessary to limit the shape, and it may be trapezoidal.

画素電極305及びバンク306の上には、エレクトロルミネセンス層(EL層)307が設けられる。EL層307は、少なくとも発光層を有し、有機EL素子の発光部として機能する。EL層307には、発光層以外に、電子注入層、電子輸送層、正孔注入層、正孔輸送層といった各種の電荷輸送層も含まれ得る。EL層の詳細については後述する。   An electroluminescent layer (EL layer) 307 is provided on the pixel electrode 305 and the bank 306. The EL layer 307 has at least a light emitting layer and functions as a light emitting portion of the organic EL element. In addition to the light-emitting layer, the EL layer 307 can also include various charge transport layers such as an electron injection layer, an electron transport layer, a hole injection layer, and a hole transport layer. Details of the EL layer will be described later.

本実施形態では、前述のとおり、白色光を発光するEL層307を設け、カラーフィルタで色分離する構成とする。EL層307には、公知の構造や公知の材料を用いることが可能であり、特に本実施形態の構成に限定されるものではない。また、EL層307は、各画素電極305上のみに形成されてもよい。すなわち、バンク306上には形成せず、画素ごとに塗り分けてもよい。   In the present embodiment, as described above, an EL layer 307 that emits white light is provided, and color separation is performed using a color filter. A known structure or a known material can be used for the EL layer 307, and the EL layer 307 is not particularly limited to the configuration of this embodiment. Further, the EL layer 307 may be formed only on each pixel electrode 305. That is, it may be formed separately for each pixel without being formed on the bank 306.

EL層307の上には、有機EL素子の陰極(カソード)として機能する共通電極308が設けられる。本実施形態の有機EL表示装置100は、トップエミッション型であるため、共通電極308として、MgAg薄膜もしくは透明導電膜(ITOやIZO)を用いることとする。共通電極308は、各画素間を跨いで画素部102の全面に設けられる。   On the EL layer 307, a common electrode 308 that functions as a cathode of the organic EL element is provided. Since the organic EL display device 100 of this embodiment is a top emission type, an MgAg thin film or a transparent conductive film (ITO or IZO) is used as the common electrode 308. The common electrode 308 is provided on the entire surface of the pixel portion 102 across the pixels.

本実施形態では、画素電極305、EL層307及び共通電極308によってEL素子309が構成される。さらに、EL素子309を外部の水分等から保護するための絶縁膜310が設けられる。絶縁膜310としては、窒化シリコン膜など緻密性の良い無機絶縁膜を用いることが好ましい。   In this embodiment, an EL element 309 is configured by the pixel electrode 305, the EL layer 307, and the common electrode 308. Further, an insulating film 310 is provided to protect the EL element 309 from external moisture and the like. As the insulating film 310, it is preferable to use a dense inorganic insulating film such as a silicon nitride film.

以上説明した第1基板301から絶縁膜310までをまとめて、本実施形態ではアレイ基板と呼ぶ。   The first substrate 301 to the insulating film 310 described above are collectively referred to as an array substrate in this embodiment.

アレイ基板上には、接着材及び保護材として機能する充填材(フィル材)311を介して封止基板が設けられる。充填材311としては、ポリイミド系、ポリアミド系、アクリル系、エポキシ系もしくはシロキサン系の公知の樹脂材料を用いることができる。一方、基板周辺部分で十分な封止、及び第1基板と第2基板とのギャップ保持が実現できるのであれば、充填材311を用いず、中空封止とすることもできる。   On the array substrate, a sealing substrate is provided via a filler (fill material) 311 that functions as an adhesive and a protective material. As the filler 311, a known resin material such as polyimide, polyamide, acrylic, epoxy, or siloxane can be used. On the other hand, as long as sufficient sealing at the peripheral portion of the substrate and maintaining the gap between the first substrate and the second substrate can be realized, hollow sealing can be performed without using the filler 311.

なお、本実施形態において、「封止基板」とは、第2基板312、第2基板312の主面(第1基板301に対向する面)に設けられたRGBの各色にそれぞれ対応するカラーフィルタ313R、313G、313B、及び、それらカラーフィルタの隙間に設けられたブラックマトリクス314を含む。   In the present embodiment, the “sealing substrate” is a color filter corresponding to each of the RGB colors provided on the second substrate 312 and the main surface of the second substrate 312 (the surface facing the first substrate 301). 313R, 313G, and 313B, and a black matrix 314 provided in a gap between the color filters.

ただし、封止基板の構造はこれに限定されるものではなく、ブラックマトリクス314を省略してもよい。また、EL層307をRGBWの各色で分けて設ければ、封止基板からカラーフィルタを省略することも可能である。さらに、カラーフィルタを省略するか第1基板301側に形成すれば、封止基板そのものを省略することも可能である。   However, the structure of the sealing substrate is not limited to this, and the black matrix 314 may be omitted. If the EL layer 307 is provided separately for each color of RGBW, the color filter can be omitted from the sealing substrate. Further, if the color filter is omitted or formed on the first substrate 301 side, the sealing substrate itself can be omitted.

ここで、本実施形態の有機EL表示装置100におけるEL素子309の詳細について説明する。   Here, details of the EL element 309 in the organic EL display device 100 of the present embodiment will be described.

図4は、本実施形態の有機EL表示装置100のEL素子309の断面を示す図である。図4において、図面の下から順に、画素電極(陽極)305、第1電荷輸送層401、第1発光層402、第2電荷輸送層403、第2発光層404、第3電荷輸送層405、及び共通電極(陰極)308が積層される。本実施形態では、第1発光層402として、黄色に発光する発光層を示し、第2発光層404として、青色に発光する発光層を示す。なお、この構成に限らず、第1発光層402と第2発光層404の位置を逆にしてもよい。   FIG. 4 is a diagram showing a cross section of the EL element 309 of the organic EL display device 100 of the present embodiment. 4, in order from the bottom of the drawing, a pixel electrode (anode) 305, a first charge transport layer 401, a first light-emitting layer 402, a second charge transport layer 403, a second light-emitting layer 404, a third charge transport layer 405, The common electrode (cathode) 308 is laminated. In this embodiment, the first light-emitting layer 402 is a light-emitting layer that emits yellow light, and the second light-emitting layer 404 is a light-emitting layer that emits blue light. Note that the present invention is not limited to this configuration, and the positions of the first light emitting layer 402 and the second light emitting layer 404 may be reversed.

第1電荷輸送層401は、正孔注入層及び正孔輸送層で構成される。ただし、正孔注入層又は正孔輸送層は、省略することも可能である。また、さらに複数の輸送層を積層してもよい。   The first charge transport layer 401 includes a hole injection layer and a hole transport layer. However, the hole injection layer or the hole transport layer can be omitted. Further, a plurality of transport layers may be stacked.

第2電荷輸送層403は、正孔注入層、正孔輸送層、電荷発生層、電子注入層及び電子輸送層で構成される。電荷発生層は、正孔及び電子を発生させる役割を果たす。ここで発生した正孔は、正孔注入層及び正孔輸送層を経て第2発光層404へと向かう。また、ここで発生した電子は、電子注入層及び電子輸送層を経て第1発光層402へと向かう。   The second charge transport layer 403 includes a hole injection layer, a hole transport layer, a charge generation layer, an electron injection layer, and an electron transport layer. The charge generation layer plays a role of generating holes and electrons. The holes generated here go to the second light emitting layer 404 through the hole injection layer and the hole transport layer. Further, the electrons generated here travel to the first light emitting layer 402 through the electron injection layer and the electron transport layer.

第3電荷輸送層405は、電子注入層及び電子輸送層で構成される。ただし、電子注入層又は電子輸送層は、省略することも可能である。また、さらに複数の輸送層を積層してもよい。   The third charge transport layer 405 includes an electron injection layer and an electron transport layer. However, the electron injection layer or the electron transport layer can be omitted. Further, a plurality of transport layers may be stacked.

本実施形態では、前述のように、黄色に発光する第1発光層402を3層の積層構造で構成する。具体的には、第1層目としてホストに対して第1ドーパントを添加した層(第1発光領域)を設け、第2層目として実質的にホストのみで構成される層(非ドープ領域)を設け、第3層目としてホストに対して第2ドーパントを添加した層(第2発光領域)を設けている。なお、本実施形態では、第2発光層404は、公知の青色発光材料を用いている。   In the present embodiment, as described above, the first light-emitting layer 402 that emits yellow light is configured with a three-layer structure. Specifically, a layer (first light-emitting region) in which a first dopant is added to a host is provided as a first layer, and a layer substantially composed of only a host (undoped region) as a second layer. And a layer (second light emitting region) in which a second dopant is added to the host is provided as a third layer. In the present embodiment, the second light emitting layer 404 uses a known blue light emitting material.

ここで、本実施形態の有機EL表示装置100は、第1発光層402を第1発光領域、非ドープ領域及び第2発光領域で構成するに当たり、図13で説明した蒸着源を傾ける方法を用いずに発光層の形成を行っている。具体的には、図5に示すように、第1蒸着源501a、第2蒸着源502a及び第3蒸着源503aを傾けることなく並べ、その上方を基板504が通過する構成となっている。   Here, the organic EL display device 100 of the present embodiment uses the method of tilting the vapor deposition source described with reference to FIG. 13 when the first light emitting layer 402 includes the first light emitting region, the undoped region, and the second light emitting region. Without forming the light emitting layer. Specifically, as shown in FIG. 5, the first vapor deposition source 501a, the second vapor deposition source 502a, and the third vapor deposition source 503a are arranged without inclining, and the substrate 504 passes therethrough.

このとき、第1蒸着源501aからは第1ドーパント501bが拡散され、第2蒸着源502aからはホスト502bが拡散され、第3蒸着源503aからは第2ドーパント503bが拡散される。第1ドーパント501bと第2ドーパント503bは、それぞれ異なる色で発光するドーパントである。   At this time, the first dopant 501b is diffused from the first vapor deposition source 501a, the host 502b is diffused from the second vapor deposition source 502a, and the second dopant 503b is diffused from the third vapor deposition source 503a. The first dopant 501b and the second dopant 503b are dopants that emit light of different colors.

本実施形態では、第1ドーパント501bとして黄緑色に発光するドーパントを用い、第2ドーパント503bとして黄色に発光するドーパントを用いるが、これに限定されるものではない。例えば、第1ドーパント501bと第2ドーパント503bを添加する順番を逆にしてもよい。また、ホスト502bは、1種類に限る必要はなく、2種類以上のホストを含ませることも可能である。   In the present embodiment, a dopant that emits yellow-green light is used as the first dopant 501b, and a dopant that emits yellow light is used as the second dopant 503b. However, the present invention is not limited to this. For example, the order of adding the first dopant 501b and the second dopant 503b may be reversed. Further, the host 502b is not limited to one type, and two or more types of hosts can be included.

図11及び図12を用いて説明したように、3つの蒸着源を傾けることなく並べて発光層を形成した場合に、発光層の内部において発光材料の濃度に偏りが生じる。すなわち、基板の進行方向に対して最初に配置された蒸着源から拡散される材料と最後に配置された蒸着源から拡散される材料とでは、発光層内部における濃度分布がほぼ対称となり、濃度の極大値(ピーク濃度)の位置が逆の位置になる。   As described with reference to FIGS. 11 and 12, when the light emitting layer is formed by arranging the three vapor deposition sources without tilting, the concentration of the light emitting material is biased inside the light emitting layer. That is, in the material diffused from the vapor deposition source arranged first with respect to the traveling direction of the substrate and the material diffused from the vapor deposition source arranged last, the concentration distribution inside the light emitting layer is almost symmetrical, The position of the maximum value (peak concentration) is the opposite position.

本実施形態では、上述した本発明者らの試行過程とは逆に、上記現象を積極的に利用し、第1発光層402の内部において意図的にドーパント濃度を偏らせ、ドーパントごとに異なる発光領域を形成する。ここで、本実施形態の有機EL表示装置100における第1発光層402の具体的な構成を図6に示す。   In the present embodiment, contrary to the above-described trial process of the present inventors, the above phenomenon is used positively, the dopant concentration is intentionally biased inside the first light emitting layer 402, and light emission is different for each dopant. Form a region. Here, FIG. 6 shows a specific configuration of the first light emitting layer 402 in the organic EL display device 100 of the present embodiment.

図6は、第1の実施形態に係る有機EL表示装置において、EL素子309を構成する第1発光層402の内部におけるドーパントの濃度分布を示す図である。曲線601は、黄緑色に発光する第1ドーパント501bの濃度分布を示し、曲線602は、黄色に発光する第2ドーパント503bの濃度分布を示している。なお、図6に示す第1ドーパント501bの濃度及び第2ドーパント503bの濃度は、それぞれホスト502bの濃度で正規化したものである。すなわち、ホスト502bの濃度に対する相対的な割合を示している。   FIG. 6 is a diagram showing a dopant concentration distribution in the first light emitting layer 402 constituting the EL element 309 in the organic EL display device according to the first embodiment. A curve 601 indicates the concentration distribution of the first dopant 501b that emits yellow-green light, and a curve 602 indicates the concentration distribution of the second dopant 503b that emits yellow light. Note that the concentration of the first dopant 501b and the concentration of the second dopant 503b shown in FIG. 6 are normalized by the concentration of the host 502b, respectively. That is, the relative ratio with respect to the density | concentration of the host 502b is shown.

図6に示されるように、第1ドーパント501bは、画素電極側の一端近傍にピーク濃度(極大値)を有し、画素電極から共通電極に向かう方向(以下「第1方向」という)に向かって徐々に濃度が低下する濃度分布を有している。逆に、第2ドーパント503bは、共通電極側の他端近傍にピーク濃度(極大値)を有し、第1方向に向かって徐々に濃度が上昇する濃度分布を有している。なお、ここで「近傍」とは、第1発光層402の膜厚で正規化した場合(第1発光層402の膜厚を「1」とした場合)において、第1発光層402と他の層との界面から0.3以内(典型的には、0.2以内)の範囲を指す。   As shown in FIG. 6, the first dopant 501b has a peak concentration (maximum value) in the vicinity of one end on the pixel electrode side, and is directed in the direction from the pixel electrode toward the common electrode (hereinafter referred to as “first direction”). The concentration distribution gradually decreases. On the contrary, the second dopant 503b has a peak concentration (maximum value) in the vicinity of the other end on the common electrode side, and has a concentration distribution in which the concentration gradually increases in the first direction. Note that “near” here means that when normalized by the film thickness of the first light-emitting layer 402 (when the film thickness of the first light-emitting layer 402 is “1”), The range is within 0.3 (typically within 0.2) from the interface with the layer.

その結果、第1発光層402の内部には、ホスト502bに対して主として第1ドーパント501bが添加された第1発光領域402aと、ホスト502bに対して主として第2ドーパント503bが添加された第2発光領域402bとが形成されている。さらに、第1発光領域402aと第2発光領域402bとの間には、第1ドーパント501b及び第2ドーパント503bの濃度が十分に低い領域、すなわち実質的にホスト502bのみで構成される非ドープ領域402cが形成されている。非ドープ領域402cでは、第1ドーパント501b及び第2ドーパント503bの濃度がそれぞれ15%以下(好ましくは、10%以下)となることが望ましい。   As a result, in the first light emitting layer 402, the first light emitting region 402a in which the first dopant 501b is mainly added to the host 502b and the second light emitting region 402a in which the second dopant 503b is mainly added to the host 502b. A light emitting region 402b is formed. Furthermore, a region where the concentration of the first dopant 501b and the second dopant 503b is sufficiently low between the first light emitting region 402a and the second light emitting region 402b, that is, an undoped region configured substantially only by the host 502b. 402c is formed. In the undoped region 402c, it is desirable that the concentration of the first dopant 501b and the second dopant 503b is 15% or less (preferably 10% or less).

以上のように、本実施形態では、インライン蒸着によるドーパントの濃度分布の偏りを利用して、異なる2つの発光領域とその間の非ドープ領域とで構成される発光層を形成することができる。そして、そのような発光層を含む有機EL表示装置を、蒸着源を傾けるという緻密な調整をすることなく、生産性の高い方法で提供することが可能となる。   As described above, in the present embodiment, a light emitting layer composed of two different light emitting regions and an undoped region between them can be formed by utilizing the uneven concentration distribution of the dopant by in-line deposition. Then, an organic EL display device including such a light emitting layer can be provided by a highly productive method without performing precise adjustment of tilting the evaporation source.

また、本実施形態の有機EL表示装置100は、第1発光領域402aと第2発光領域402bとの間に非ドープ領域403cを設けた3層構造の第1発光層402を黄色に発光する発光層として有するため、色域が広く、発光特性に優れたものとすることができる。   In addition, the organic EL display device 100 of the present embodiment emits yellow light from the first light-emitting layer 402 having a three-layer structure in which the undoped region 403c is provided between the first light-emitting region 402a and the second light-emitting region 402b. Since it has as a layer, it can have a wide color gamut and excellent emission characteristics.

以下、上述した構成を備える本実施形態の有機EL表示装置100の製造工程について、図7、8を参照して説明する。   Hereinafter, the manufacturing process of the organic EL display device 100 of the present embodiment having the above-described configuration will be described with reference to FIGS.

<表示装置の製造方法>
まず、図7(A)に示すように、第1基板301上に下地層302を形成し、その上に公知の方法により薄膜トランジスタ(TFT)303を形成する。そして、薄膜トランジスタ303の形成により生じた凹凸を平坦化するように、第1の絶縁層304を形成する。
<Manufacturing method of display device>
First, as shown in FIG. 7A, a base layer 302 is formed on a first substrate 301, and a thin film transistor (TFT) 303 is formed thereon by a known method. Then, the first insulating layer 304 is formed so as to flatten the unevenness generated by the formation of the thin film transistor 303.

第1基板301としては、ガラス基板、石英基板、フレキシブル基板(ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートその他の曲げることが可能な基板)等を用いることができる。第1基板301が透光性を有する必要がない場合には、金属基板、セラミックス基板、半導体基板を用いることも可能である。   As the first substrate 301, a glass substrate, a quartz substrate, a flexible substrate (polyimide, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate or other bendable substrate) or the like can be used. In the case where the first substrate 301 does not need to have a light-transmitting property, a metal substrate, a ceramic substrate, or a semiconductor substrate can be used.

下地層302としては、典型的には、酸化シリコン系絶縁膜、窒化シリコン系絶縁膜またはそれらの積層膜を用いることができる。下地層302は、第1基板301からの汚染物質の侵入を防いだり、第1基板301の伸縮により発生する応力を緩和したりする機能を有する。   As the base layer 302, typically, a silicon oxide insulating film, a silicon nitride insulating film, or a stacked film thereof can be used. The base layer 302 has a function of preventing entry of contaminants from the first substrate 301 and relaxing stress generated by expansion and contraction of the first substrate 301.

本実施形態では、薄膜トランジスタ303としてトップゲート型TFTを形成する例を示しているが、ボトムゲート型TFTであっても良い。   In this embodiment, an example in which a top gate TFT is formed as the thin film transistor 303 is shown, but a bottom gate TFT may be used.

第1の絶縁層304は、ポリイミド系、ポリアミド系、アクリル系、エポキシ系もしくはシロキサン系といった公知の樹脂材料を塗布し、その後、塗布した樹脂材料を光もしくは熱により硬化させて形成すれば良い。第1の絶縁層304の膜厚は、薄膜トランジスタ303に起因する凹凸を平坦化するに十分な膜厚であれば良い。典型的には、1〜3μmとすることができるが、これに限定されるものではない。   The first insulating layer 304 may be formed by applying a known resin material such as polyimide, polyamide, acrylic, epoxy, or siloxane, and then curing the applied resin material with light or heat. The thickness of the first insulating layer 304 may be sufficient to flatten the unevenness caused by the thin film transistor 303. Typically, the thickness may be 1 to 3 μm, but is not limited thereto.

次に、図7(B)に示すように、第1の絶縁層304に薄膜トランジスタ303に達するコンタクトホールを形成した後、公知の方法により画素電極305を形成する。本実施形態では、公知のスパッタ法によりITO(Indium Tin Oxide)とアルミニウム膜との積層膜を形成した後、公知のフォトリソグラフィにより積層膜をパターニングして画素電極305を形成する。画素電極305は、複数の画素に対応する位置にそれぞれ対応するようにパターニングされる。   Next, as shown in FIG. 7B, after a contact hole reaching the thin film transistor 303 is formed in the first insulating layer 304, a pixel electrode 305 is formed by a known method. In this embodiment, after forming a laminated film of ITO (Indium Tin Oxide) and an aluminum film by a known sputtering method, the pixel film 305 is formed by patterning the laminated film by a known photolithography. The pixel electrode 305 is patterned so as to correspond to positions corresponding to a plurality of pixels, respectively.

次に、樹脂材料で構成されるバンク306を形成する。本実施形態では、光硬化性樹脂を塗布することによりバンク306を形成する。バンク306の形成に関して、特に形状を限定する必要はなく、台形状であってもよいし、半円形状であってもよい。また、バンク306の形成に当たり、公知のフォトリソグラフィ、印刷法及び溶液塗布法のいずれを用いてもよい。   Next, a bank 306 made of a resin material is formed. In this embodiment, the bank 306 is formed by applying a photocurable resin. Regarding the formation of the bank 306, the shape is not particularly limited, and may be trapezoidal or semicircular. In forming the bank 306, any of known photolithography, printing, and solution coating methods may be used.

次に、図8(A)に示すように、画素電極305及びバンク306の上にEL層307を形成する。本実施形態では、EL層307を白色光の発光部とし、すべての画素に対して共通に形成する。したがって、製造プロセスを簡略化でき、生産性の高い製造プロセスを構築することができる。   Next, as illustrated in FIG. 8A, an EL layer 307 is formed over the pixel electrode 305 and the bank 306. In this embodiment, the EL layer 307 is a white light emitting portion, and is formed in common for all pixels. Therefore, the manufacturing process can be simplified and a manufacturing process with high productivity can be constructed.

なお、本実施形態では、EL層307の構造として、図4を用いて説明した積層構造を用いる。すなわち、本実施形態におけるEL層307は、第1電荷輸送層401、第1発光層402、第2電荷輸送層403、第2発光層404及び第3電荷輸送層405を含む積層構造を例とする。   In the present embodiment, the stacked structure described with reference to FIG. 4 is used as the structure of the EL layer 307. That is, the EL layer 307 in this embodiment is an example of a stacked structure including the first charge transport layer 401, the first light emitting layer 402, the second charge transport layer 403, the second light emitting layer 404, and the third charge transport layer 405. To do.

そして、本実施形態では、図5を用いて説明したインライン蒸着により第1発光層402を形成する。すなわち、図5に示したように、黄緑色に発光する第1ドーパント501bを蒸着するための第1蒸着源501aと、ホスト502bを蒸着するための第2蒸着源502aと、黄色に発光する第2ドーパント503bを蒸着するための第3蒸着源503aとを順に並べてインライン蒸着を行い、第1発光層402を形成する。   In the present embodiment, the first light-emitting layer 402 is formed by in-line deposition described with reference to FIG. That is, as shown in FIG. 5, the first deposition source 501a for depositing the first dopant 501b emitting yellow-green, the second deposition source 502a for depositing the host 502b, and the first emission source emitting yellow. The first light emitting layer 402 is formed by sequentially arranging the third vapor deposition source 503a for vapor deposition of the two dopants 503b and performing in-line vapor deposition.

これにより、図6を用いて説明した第1発光領域402aと第2発光領域402bとの間に非ドープ領域402cを有する第1発光層402を形成することができる。この場合、蒸着源を精度よく傾けるという調整が必要なく、通常と同様のインライン蒸着により第1発光層402を形成することができる。さらに、インライン蒸着による濃度分布の偏りを利用して、1回のインライン蒸着により第1発光領域402a、第2発光領域402b及び非ドープ領域402cを含む第1発光層402を形成することができる。そのため、本実施形態によれば、蒸着源の数を減らして製造コストを抑えることができ、生産性の高いEL表示装置の製造方法を提供することができる。   Accordingly, the first light emitting layer 402 having the undoped region 402c between the first light emitting region 402a and the second light emitting region 402b described with reference to FIG. 6 can be formed. In this case, the first light emitting layer 402 can be formed by in-line vapor deposition as usual without adjusting the vapor deposition source with high accuracy. Furthermore, the first light-emitting layer 402 including the first light-emitting region 402a, the second light-emitting region 402b, and the undoped region 402c can be formed by one-time in-line vapor deposition using the uneven concentration distribution by in-line vapor deposition. Therefore, according to the present embodiment, the number of vapor deposition sources can be reduced to reduce the manufacturing cost, and a method for manufacturing an EL display device with high productivity can be provided.

第1発光層402以外の層については、本実施形態では、いずれも蒸着法により形成する。EL層は水分に非常に弱いため、なるべく外気に触れさせないことが望ましい。したがって、第1発光層402をインライン蒸着により形成する以上、他の層についてもインライン蒸着を用いて形成することが好ましい。これにより、すべての層を外気に触れさせることなく連続的に積層することも可能である。勿論、そのような方法に限定する必要はなく、必要に応じてインクジェット法等の他の公知の方法を併用してもよい。   In the present embodiment, all layers other than the first light emitting layer 402 are formed by vapor deposition. Since the EL layer is very sensitive to moisture, it is desirable that the EL layer be not exposed to the outside air as much as possible. Therefore, as long as the first light-emitting layer 402 is formed by in-line vapor deposition, it is preferable to form other layers using in-line vapor deposition. Thereby, it is also possible to laminate | stack all the layers continuously, without making outside air contact. Of course, it is not necessary to limit to such a method, and you may use together other well-known methods, such as an inkjet method, as needed.

以上のように、インライン蒸着法を用いて、画素電極305上に第1電荷輸送層401、第1発光層402、第2電荷輸送層403、第2発光層404及び第3電荷輸送層405を含むEL層307を形成する。   As described above, the first charge transport layer 401, the first light-emitting layer 402, the second charge transport layer 403, the second light-emitting layer 404, and the third charge transport layer 405 are formed on the pixel electrode 305 by using an in-line vapor deposition method. An EL layer 307 is formed.

次に、図8(B)に示すように、有機EL素子の陰極として機能する共通電極308を形成する。本実施形態において、共通電極308としては、スパッタ法で形成したITO膜又はIZO膜を用いる。勿論、他の透明導電膜を用いてもよいし、MgAgといった金属膜を用いてもよい。その後、保護膜として窒化シリコン膜を含む絶縁膜309を形成する。このとき、共通電極308と絶縁膜309とを外気に触れさせることなく連続形成することが望ましい。   Next, as shown in FIG. 8B, a common electrode 308 that functions as a cathode of the organic EL element is formed. In this embodiment, as the common electrode 308, an ITO film or an IZO film formed by a sputtering method is used. Of course, another transparent conductive film may be used, or a metal film such as MgAg may be used. After that, an insulating film 309 including a silicon nitride film is formed as a protective film. At this time, it is desirable that the common electrode 308 and the insulating film 309 be continuously formed without being exposed to the outside air.

最後に、第2基板312上に、公知のカラーフィルタ313R、313G、313Bと金属膜または黒色顔料を含む樹脂で構成されるブラックマトリクス314とを設けた封止基板を用意し、充填材311を介してアレイ基板に貼り合わせる。こうして図3に示した有機EL表示装置100が完成する。   Finally, a sealing substrate provided with a known color filter 313R, 313G, 313B and a black matrix 314 made of a resin containing a metal film or a black pigment on a second substrate 312 is prepared, and a filler 311 is prepared. To the array substrate. Thus, the organic EL display device 100 shown in FIG. 3 is completed.

(第2の実施形態)
上述した第1の実施形態では、白色発光のEL層を構成するために、第1発光層402として黄色に発光する発光層を用い、第2発光層404として青色に発光する発光層を用いた例を示した。しかし、本発明は、これとは異なる発光層の組み合わせにおいても実施することが可能である。なお、発光層の発光色の組み合わせが異なる以外は、第1の実施形態に係る有機EL表示装置100と同じ構成を有する。
(Second Embodiment)
In the first embodiment described above, a light emitting layer that emits yellow light is used as the first light emitting layer 402 and a light emitting layer that emits blue light is used as the second light emitting layer 404 in order to form an EL layer that emits white light. An example is shown. However, the present invention can also be implemented in a combination of different light emitting layers. In addition, it has the same structure as the organic EL display device 100 according to the first embodiment except that the combination of emission colors of the light emitting layers is different.

本実施形態によれば、例えば、第1発光層402として赤色に発光する発光層を用い、第2発光層404として青緑色に発光する発光層を用いてもよい。この場合、第2発光層404の形成に第1実施形態で説明したインライン蒸着を適用し得る。例えば、ホスト502bに対して青色に発光する第1ドーパント501b及び緑色に発光する第2ドーパント503bを添加すればよい。勿論、第1ドーパント501b及び第2ドーパント502bを蒸着する順序は任意である。   According to this embodiment, for example, a light emitting layer that emits red light may be used as the first light emitting layer 402, and a light emitting layer that emits blue green light may be used as the second light emitting layer 404. In this case, the in-line deposition described in the first embodiment can be applied to the formation of the second light emitting layer 404. For example, a first dopant 501b that emits blue light and a second dopant 503b that emits green light may be added to the host 502b. Of course, the order of depositing the first dopant 501b and the second dopant 502b is arbitrary.

また、第1発光層402として赤緑色に発光する発光層を用い、第2発光層404として青色に発光する発光層を用いてもよい。この場合、第1発光層402の形成に第1実施形態で説明したインライン蒸着を適用し、例えば、ホスト502bに対して赤色に発光する第1ドーパント501b及び緑色に発光する第2ドーパント503bを添加すればよい。この場合も、第1ドーパント501b及び第2ドーパント502bを蒸着する順序は任意である。   Alternatively, a light-emitting layer that emits red-green light may be used as the first light-emitting layer 402, and a light-emitting layer that emits blue light may be used as the second light-emitting layer 404. In this case, in-line deposition described in the first embodiment is applied to the formation of the first light emitting layer 402, and for example, a first dopant 501b that emits red light and a second dopant 503b that emits green light are added to the host 502b. do it. Also in this case, the order of depositing the first dopant 501b and the second dopant 502b is arbitrary.

以上のように、本実施形態では、第1発光層と、該第1発光層の発光色と補色の関係にある色の光を発する第2発光層とを用いて白色発光のEL素子を形成する。そして、第1の実施形態で説明した構造の発光層を、第1発光層及び第2発光層のいずれかに適用することができる。   As described above, in this embodiment, a white light-emitting EL element is formed using the first light-emitting layer and the second light-emitting layer that emits light having a color complementary to the light emission color of the first light-emitting layer. To do. The light emitting layer having the structure described in the first embodiment can be applied to either the first light emitting layer or the second light emitting layer.

(第3の実施形態)
図9は、本発明の第3の実施形態に係る有機EL表示装置の発光層の形成方法を示す図である。第1の実施形態との違いは、第3の実施形態では、ホストとして2種類の材料を用いた点である。その他の構成は、第1の実施形態に係る有機EL表示装置100と同じである。
(Third embodiment)
FIG. 9 is a diagram showing a method for forming a light emitting layer of an organic EL display device according to the third embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that the third embodiment uses two types of materials as the host. Other configurations are the same as those of the organic EL display device 100 according to the first embodiment.

本実施形態の場合、図5の第2蒸着源502aに代えて、ホスト用の第2蒸着源として、蒸着源901a及び蒸着源902aを用いる。蒸着源901aは、第1ホスト901bを拡散させ、蒸着源902aは、第2ホスト902bを拡散させる。本実施形態では、蒸着源901a及び902aを隣接して並べることにより、2種類のホストを混在させた領域903bを広く確保できるようにしてある。これにより、ホスト自体は2種類のホスト材料が濃度分布なく蒸着され、ホスト材料の濃度分布による悪影響を排除することができる。   In the present embodiment, instead of the second vapor deposition source 502a in FIG. 5, a vapor deposition source 901a and a vapor deposition source 902a are used as the second vapor deposition source for the host. The deposition source 901a diffuses the first host 901b, and the deposition source 902a diffuses the second host 902b. In this embodiment, the vapor deposition sources 901a and 902a are arranged adjacent to each other so that a wide area 903b in which two types of hosts are mixed can be secured. Thereby, two types of host materials are deposited on the host itself without concentration distribution, and adverse effects due to the concentration distribution of the host material can be eliminated.

なお、本実施形態では、蒸着源901a及び902aを隣接して並べた例を示したが、両者を互いに向かって傾けて異なるホスト材料を混在させた領域903bを形成してもよい。   Note that although an example in which the vapor deposition sources 901a and 902a are arranged adjacent to each other is shown in the present embodiment, a region 903b in which different host materials are mixed may be formed by inclining both of them toward each other.

また、本実施形態では、異なる2種類のホスト材料を用いる例を示したが、3種類以上のホスト材料を用いることも可能である。その場合においても、密接して複数の蒸着源を配置することにより、濃度分布なく複数のホスト材料を蒸着することが可能となる。   In the present embodiment, an example in which two different types of host materials are used has been described, but it is also possible to use three or more types of host materials. Even in that case, it is possible to deposit a plurality of host materials without concentration distribution by arranging a plurality of deposition sources closely.

本発明の実施形態として上述した各実施形態は、相互に矛盾しない限りにおいて、適宜組み合わせて実施することができる。また、各実施形態の表示装置を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。   The embodiments described above as the embodiments of the present invention can be implemented in appropriate combination as long as they do not contradict each other. Also, those in which those skilled in the art appropriately added, deleted, or changed the design based on the display device of each embodiment, or those in which the process was added, omitted, or changed in conditions are also included in the present invention. As long as the gist is provided, it is included in the scope of the present invention.

また、上述した各実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、又は、当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。   In addition, even for other operational effects different from the operational effects brought about by the aspects of the above-described embodiments, those that are apparent from the description of the present specification, or that can be easily predicted by those skilled in the art, Of course, it is understood that the present invention provides.

100 有機EL表示装置
102 画素部
103 走査線駆動回路
104 データ線駆動回路
105 ドライバIC
201 画素
202 薄膜トランジスタ
301 第1基板
302 下地層
303 薄膜トランジスタ(TFT)
304 第1の絶縁層
305 画素電極(陽極)
306 バンク
307 EL層
308 共通電極(陰極)
309 EL素子
310 絶縁膜
311 充填材
312 第2基板
313R R(赤)に対応するカラーフィルタ
313G G(緑)に対応するカラーフィルタ
313B B(青)に対応するカラーフィルタ
314 ブラックマトリクス
401 第1電荷輸送層
402 第1発光層
403 第2電荷輸送層
404 第2発光層
405 第3電荷輸送層
501a 第1蒸着源
502a 第2蒸着源
503a 第3蒸着源
501b 第1ドーパント
502b ホスト
503b 第2ドーパント
504 基板
402a 第1発光領域
402b 第2発光領域
402c 非ドープ領域
601及び602 濃度分布を示す曲線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Organic EL display device 102 Pixel part 103 Scan line drive circuit 104 Data line drive circuit 105 Driver IC
201 Pixel 202 Thin Film Transistor 301 First Substrate 302 Underlayer 303 Thin Film Transistor (TFT)
304 First insulating layer 305 Pixel electrode (anode)
306 Bank 307 EL layer 308 Common electrode (cathode)
309 EL element 310 Insulating film 311 Filler 312 Second substrate 313R Color filter corresponding to R (red) 313G Color filter corresponding to G (green) 313B Color filter corresponding to B (blue) 314 Black matrix 401 First charge Transport layer 402 First light-emitting layer 403 Second charge-transport layer 404 Second light-emitting layer 405 Third charge-transport layer 501a First deposition source 502a Second deposition source 503a Third deposition source 501b First dopant 502b Host 503b Second dopant 504 Substrate 402a First light emitting region 402b Second light emitting region 402c Undoped region 601 and 602 Curve showing concentration distribution

Claims (20)

複数の画素を含む表示部を備えたEL表示装置であって、
前記複数の画素は、ホストと、少なくとも2種類のドーパントとを含む発光層を有するEL素子を含み、
前記少なくとも2種類のドーパントは、前記ホストに対してそれぞれ異なる濃度分布を有するEL表示装置。
An EL display device including a display unit including a plurality of pixels,
The plurality of pixels include an EL element having a light emitting layer including a host and at least two kinds of dopants,
The EL display device, wherein the at least two kinds of dopants have different concentration distributions with respect to the host.
前記少なくとも2種類のドーパントには、第1ドーパント及び第2ドーパントが含まれ、
前記第1ドーパントは、第1方向に向かって徐々に濃度が低下する濃度分布を有し、前記第2ドーパントは、前記第1方向に向かって徐々に濃度が上昇する濃度分布を有する請求項1に記載のEL表示装置。
The at least two kinds of dopants include a first dopant and a second dopant,
The first dopant has a concentration distribution in which the concentration gradually decreases in the first direction, and the second dopant has a concentration distribution in which the concentration gradually increases in the first direction. The EL display device described in 1.
前記第1ドーパントは、前記画素電極側の一端近傍にピーク濃度を有し、前記第2ドーパントは、前記共通電極側の他端近傍にピーク濃度を有する請求項2に記載のEL表示装置。   The EL display device according to claim 2, wherein the first dopant has a peak concentration in the vicinity of one end on the pixel electrode side, and the second dopant has a peak concentration in the vicinity of the other end on the common electrode side. 前記発光層は、前記ホストに対する前記第1ドーパント及び前記第2ドーパントの濃度が共に15%以下となる領域を有する請求項2に記載のEL表示装置。   3. The EL display device according to claim 2, wherein the light emitting layer has a region where the concentration of the first dopant and the second dopant with respect to the host is 15% or less. 前記少なくとも2種類のドーパントは、黄色光を発光させるドーパント及び黄緑色光を発光させるドーパントを含む請求項1に記載のEL表示装置。   The EL display device according to claim 1, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits yellow light and a dopant that emits yellow-green light. 前記少なくとも2種類のドーパントは、青色光を発光させるドーパント及び緑色光を発光させるドーパントを含む請求項1に記載のEL表示装置。   The EL display device according to claim 1, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits blue light and a dopant that emits green light. 前記少なくとも2種類のドーパントは、赤色光を発光させるドーパント及び緑色光を発光させるドーパントを含む請求項1に記載のEL表示装置。   The EL display device according to claim 1, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits red light and a dopant that emits green light. 前記EL素子は、前記発光層及び該発光層の発光色と補色の関係にある色の光を発する他の発光層を含む請求項1に記載のEL表示装置。   2. The EL display device according to claim 1, wherein the EL element includes the light emitting layer and another light emitting layer that emits light having a color complementary to a light emission color of the light emitting layer. 絶縁表面上に画素電極を形成し、
前記画素電極上にホストと少なくとも2種類のドーパントとを含む発光層を、前記少なくとも2種類のドーパントが前記ホストに対してそれぞれ異なる濃度分布を有するように形成し、
前記発光層上に共通電極を形成することを含む、
EL表示装置の製造方法。
Forming a pixel electrode on the insulating surface;
Forming a light emitting layer including a host and at least two kinds of dopants on the pixel electrode so that the at least two kinds of dopants have different concentration distributions with respect to the host;
Forming a common electrode on the light emitting layer,
Manufacturing method of EL display device.
前記少なくとも2種類のドーパントには、第1方向に向かって徐々に濃度が低下する濃度分布を有する第1ドーパント、及び前記第1方向に向かって徐々に濃度が上昇する濃度分布を輸する第2ドーパントが含まれる請求項9に記載のEL表示装置の製造方法。   The at least two kinds of dopants include a first dopant having a concentration distribution in which the concentration gradually decreases in the first direction, and a second concentration distribution in which the concentration gradually increases in the first direction. The method for manufacturing an EL display device according to claim 9, wherein a dopant is contained. 前記第1ドーパントのピーク濃度が前記画素電極側の一端近傍に位置し、前記第2ドーパントのピーク濃度が前記共通電極側の他端近傍に位置するように、前記発光層を形成する請求項10に記載のEL表示装置の製造方法。   The light emitting layer is formed so that the peak concentration of the first dopant is located near one end on the pixel electrode side and the peak concentration of the second dopant is located near the other end on the common electrode side. The manufacturing method of EL display apparatus as described in 1 .. 前記ホストに対する前記第1ドーパント及び前記第2ドーパントの濃度が共に15%以下となる領域を有するように、前記発光層を形成する請求項10に記載のEL表示装置の製造方法。   11. The method for manufacturing an EL display device according to claim 10, wherein the light emitting layer is formed so as to have a region in which both the concentration of the first dopant and the second dopant are 15% or less with respect to the host. 前記少なくとも2種類のドーパントは、黄色光を発光させるドーパント及び黄緑色光を発光させるドーパントを含む請求項9に記載のEL表示装置の製造方法。   The method for manufacturing an EL display device according to claim 9, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits yellow light and a dopant that emits yellow-green light. 前記少なくとも2種類のドーパントは、青色光を発光させるドーパント及び緑色光を発光させるドーパントを含む請求項9に記載のEL表示装置の製造方法。   The method of manufacturing an EL display device according to claim 9, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits blue light and a dopant that emits green light. 前記少なくとも2種類のドーパントは、赤色光を発光させるドーパント及び緑色光を発光させるドーパントを含む請求項9に記載のEL表示装置の製造方法。   The method of manufacturing an EL display device according to claim 9, wherein the at least two kinds of dopants include a dopant that emits red light and a dopant that emits green light. さらに、前記画素電極上に前記発光層の発光色と補色の関係にある色の光を発する他の発光層を形成する請求項9に記載のEL表示装置の製造方法。   The method for manufacturing an EL display device according to claim 9, further comprising forming another light emitting layer that emits light having a color complementary to a light emission color of the light emitting layer on the pixel electrode. 前記画素電極上に前記発光層を形成する際、前記第1ドーパント、前記ホスト、前記第2ドーパントの順に蒸着源を並べたインライン蒸着を行う請求項10に記載のEL表示装置の製造方法。   The method for manufacturing an EL display device according to claim 10, wherein when forming the light emitting layer on the pixel electrode, in-line deposition is performed in which deposition sources are arranged in the order of the first dopant, the host, and the second dopant. 絶縁表面上に画素電極を形成し、
前記画素電極上に、第1ドーパント、ホスト及び第2ドーパントの順にインライン蒸着を行って発光層を形成し、
前記発光層上に共通電極を形成することを含む、
EL表示装置の製造方法。
Forming a pixel electrode on the insulating surface;
A light emitting layer is formed on the pixel electrode by performing in-line deposition in the order of the first dopant, the host, and the second dopant,
Forming a common electrode on the light emitting layer,
Manufacturing method of EL display device.
前記発光層上に、さらに当該発光層が発する色と補色の関係にある色を発する他の発光層を形成することを含む、請求項18に記載のEL表示装置の製造方法。   The method for manufacturing an EL display device according to claim 18, further comprising: forming another light emitting layer that emits a color complementary to a color emitted from the light emitting layer on the light emitting layer. 前記発光層及び前記他の発光層を形成する前後に、さらに電荷輸送層を形成する、請求項19に記載のEL表示装置の製造方法。
The method for manufacturing an EL display device according to claim 19, wherein a charge transport layer is further formed before and after forming the light emitting layer and the other light emitting layer.
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