JP2016156697A - Phase detection type radiographic x-ray apparatus - Google Patents

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浩司 永田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a phase detection type radiographic X-ray apparatus with which it is possible to establish an interference condition under different X-ray energies and take a photograph with discretionary X-ray energy.SOLUTION: A radiographic X-ray apparatus includes, between an X-ray source 101 and an X-ray detector 106, first to third grading units 103, 104, and 105 that are arranged in order from the X-ray source. Each of the first and third grating units 103, 105 comprises a plurality of grating members, and the in-plane rotation of the plurality of grating members generates a moire fringe in which an X-ray shielding part and an X-ray transmitting part are alternately arrayed. The repetition cycle of the shielding and transmitting parts of the moire fringe is changed by adjusting the relative rotation angles of the gratings in accordance with X-ray energy, whereby an interference condition is established.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、X線を用いた画像取得装置に関し、特に、X線微分位相コントラスト画像撮影装置に関する。   The present invention relates to an image acquisition apparatus using X-rays, and more particularly to an X-ray differential phase contrast image photographing apparatus.

従来のX線を用いた画像取得技術は、X線の透過すなわち被検体のX線吸収率の分布を基礎とするものであったが、被検体をX線が透過する際に組織に依存して生じるX線の位相シフトの効果(コントラスト)はX線吸収よりも大きいことが知られており、この位相シフトの画像化技術を医用画像へ適用する試みがなされている。この技術は、位相コントラスト撮影技術或いは位相検出型撮影技術と呼ばれ、吸収コントラスト画像では描画することが困難であった軟組織の描出が期待されている。   Conventional image acquisition technology using X-rays is based on the transmission of X-rays, that is, the distribution of the X-ray absorption rate of the subject, but depends on the tissue when X-rays pass through the subject. It is known that the effect (contrast) of the phase shift of X-rays generated is greater than that of X-ray absorption, and attempts have been made to apply this phase shift imaging technique to medical images. This technique is called a phase contrast imaging technique or a phase detection type imaging technique, and is expected to depict soft tissues that are difficult to draw with an absorption contrast image.

現在知られている位相コントラスト撮影技術では、タルボ・ロー干渉計を用いた装置を用いる。この装置では、X線源を微小光源に分割するための、吸収型回折格子からなる第1のグレーティングがX線源と被検体との間に配置される。また被検体とX線検出器との間には、位相を変化させる材質を所定周期で配列した第2のグレーティングと、第2のグレーティングの効果により形成される干渉縞のピッチで規制される周期をもつ第3のグレーティングとが配置される。このような装置において干渉条件を成立させるための構造は、X線エネルギー、グレーティング間距離、各グレーティングの周期等により決定される。例えば測定に用いるX線エネルギーを変化させた場合には、グレーティング間の距離や周期を変更する必要がある。   In the currently known phase contrast imaging technique, an apparatus using a Talbot-Lau interferometer is used. In this apparatus, a first grating composed of an absorption diffraction grating for dividing the X-ray source into minute light sources is disposed between the X-ray source and the subject. Further, a second grating in which materials for changing the phase are arranged at a predetermined period between the subject and the X-ray detector, and a period regulated by the pitch of interference fringes formed by the effect of the second grating. And a third grating having. The structure for establishing the interference condition in such an apparatus is determined by the X-ray energy, the distance between gratings, the period of each grating, and the like. For example, when the X-ray energy used for measurement is changed, it is necessary to change the distance and the period between the gratings.

一般に、人体等を撮影する場合、撮影部位に対する最適なX線エネルギーは異なるため、撮影部位ごとに使用されるX線エネルギーは変更される。上述したタルボ・ロー干渉計を用いたX線位相コントラスト撮影装置を人体に適用した場合、撮影部位に対応して最適なX線エネルギーに変更するには、X線エネルギーを変更する都度グレーティングも変更する必要がある。このことは装置の利便性の低下、高コスト化を招く。   In general, when imaging a human body or the like, the optimum X-ray energy for the imaging region is different, so the X-ray energy used for each imaging region is changed. When the X-ray phase contrast imaging device using the Talbot-Lau interferometer described above is applied to the human body, the grating is changed each time the X-ray energy is changed in order to change to the optimum X-ray energy corresponding to the imaging region. There is a need to. This leads to a decrease in convenience of the apparatus and an increase in cost.

X線エネルギーの変更に伴うグレーティングの変更を回避する技術が特許文献1に提案されている。この技術では、高いX線エネルギーと低いX線エネルギーの2種類に対応するために、被写体とX線検出器との間に配置される2つのグレーティングに、それぞれ高X線エネルギー用と低X線エネルギー用の2枚のグレーティングを重ねたものを用いる。そして高X線エネルギー用のグレーティングの組と低X線エネルギー用のグレーティングの組とで、グレーティングの方向を直交させて重ねている。   Patent Document 1 proposes a technique for avoiding the change of the grating accompanying the change of the X-ray energy. In this technique, in order to cope with two types of high X-ray energy and low X-ray energy, two gratings disposed between the subject and the X-ray detector are respectively used for high X-ray energy and low X-ray energy. Use a stack of two gratings for energy. The gratings for high X-ray energy and the gratings for low X-ray energy are overlapped with the grating directions orthogonal to each other.

特開2012−125423号公報JP 2012-125423 A

撮影部位に応じた最適X線エネルギーは、例えば20keV以下の低エネルギーから100keV以上の高いエネルギーまで広い範囲に存在するが、特許文献1に記載された技術では、2つの予め決められたX線エネルギーにしか対応することができない。   The optimum X-ray energy corresponding to the imaging region exists in a wide range from, for example, a low energy of 20 keV or less to a high energy of 100 keV or more, but in the technique described in Patent Document 1, two predetermined X-ray energies are used. Can only deal with.

またタルボ・ロー干渉計を用いたX線撮影装置では、グレーティング間の距離(X線の照射方向に沿った距離)を調整することで干渉条件を成立させて、X線エネルギーの変化に対応することも考えられるが、この場合、一般的な人体のX線撮影に用いられるX線エネルギーの範囲であっても調整すべき距離が1m以上に及ぶ場合もあり、実用的なX線撮影装置を実現できない。   In an X-ray imaging apparatus using a Talbot-Lau interferometer, the interference condition is established by adjusting the distance between the gratings (the distance along the X-ray irradiation direction) to cope with changes in X-ray energy. However, in this case, even in the range of X-ray energy used for general X-ray imaging of the human body, the distance to be adjusted may extend to 1 m or more. Cannot be realized.

本発明は、任意のX線エネルギーに対応可能な位相検出型X線撮影装置を提供することを課題とする。   It is an object of the present invention to provide a phase detection type X-ray imaging apparatus that can handle arbitrary X-ray energy.

上記課題を解決するため、本発明の位相検出型X線撮影装置は、吸収型回折格子で構成される2つのグレーティング部、すなわちX線源と被検体との間に配置される第1のグレーティング部、及び、被検体とX線検出器との間であってX線検出器側に配置される第3のグレーティング部に、グレーティング周期を変更する手段を設けたことを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the phase detection type X-ray imaging apparatus of the present invention includes two grating sections each composed of an absorption diffraction grating, that is, a first grating disposed between an X-ray source and a subject. And a third grating unit disposed on the X-ray detector side between the subject and the X-ray detector, and provided with means for changing the grating period.

本発明において、被検体とX線検出器との間であって被検体側に配置される第2のグレーティング部は、グレーティング周期が一定であり、第1のグレーティング部に対し位置が固定されている。   In the present invention, the second grating unit disposed between the subject and the X-ray detector and on the subject side has a constant grating period and is fixed in position with respect to the first grating unit. Yes.

また本発明の位相検出型X線撮影装置は、第2のグレーティング部に対し、第3のグレーティング部をX線の照射方向に沿って移動する移動手段を備えている。   The phase detection type X-ray imaging apparatus of the present invention further includes a moving unit that moves the third grating unit along the X-ray irradiation direction with respect to the second grating unit.

本発明によれば、吸収型回折格子で構成される2つのグレーティング部に、グレーティング周期を可変とする機構を備えることにより、被検体と検出器との間で被検体側に配置されるグレーティング(第2のグレーティング部)の周期と位置を固定したまま、X線エネルギーの変更に対応して干渉条件を成立できる、即ちX線微分位相コントラスト撮影が可能となる。   According to the present invention, by providing a mechanism that makes the grating period variable in the two grating parts configured by the absorption diffraction grating, the grating (on the subject side) between the subject and the detector ( The interference condition can be established corresponding to the change of the X-ray energy, that is, X-ray differential phase contrast imaging can be performed while the period and the position of the second grating portion) are fixed.

第一実施形態のX線撮影装置の全体構成の概要を示す図The figure which shows the outline | summary of the whole structure of the X-ray imaging apparatus of 1st embodiment. X線撮影装置を構成するグレーティングの構造を示す正面図及び拡大断面図で、(a)は第1グレーティング部を構成する1つのグレーティングを示し、(b)は第2グレーティング部を示し、(c)は第3グレーティング部を構成する1つのグレーティングを示す。FIG. 2 is a front view and an enlarged cross-sectional view showing a structure of a grating constituting the X-ray imaging apparatus, where (a) shows one grating constituting the first grating part, (b) shows the second grating part, and (c) ) Shows one grating constituting the third grating part. 2枚のグレーティングの面内回転のずれによってモアレが発生している状態を示し、(a)→(b)→(c)の順に回転のずれ(相対回転角度)が大きく、モアレ縞の周期g1tが小さくなる様子を示している。This shows a state in which moire is generated due to the in-plane rotation deviation of the two gratings, and the rotation deviation (relative rotation angle) is large in the order of (a) → (b) → (c), and the moire fringe period g1t Shows how it becomes smaller. 第1グレーティング部におけるグレーティングの相対回転角度とグレーティング周期g1tの関係を示す図The figure which shows the relationship between the relative rotation angle of the grating in a 1st grating part, and the grating period g1t. 従来のタルボ・ロー干渉計を用いたX線撮影装置の全体構成を示す図The figure which shows the whole structure of the X-ray imaging apparatus using the conventional Talbot low interferometer 従来のタルボ・ロー干渉計を用いたX線撮影装置において、異なるX線エネルギーにおいて干渉条件を成立するための条件を示す図The figure which shows the conditions for establishing interference conditions in different X-ray energy in the X-ray imaging apparatus using the conventional Talbot low interferometer 第一実施形態の制御部の構成を示す機能ブロック図Functional block diagram showing the configuration of the control unit of the first embodiment 第一実施形態のX線撮影装置において、異なるX線エネルギーにおいて干渉条件を成立するための条件を示す図The figure which shows the conditions for satisfy | filling interference conditions in different X-ray energy in the X-ray imaging apparatus of 1st embodiment. (a)は、図8と同じグラフを示す図、(b)は第1及び第3グレーティング部のグレーティング周期と、それを達成するグレーティング間の相対回転角度との関係を示す図(A) is a diagram showing the same graph as FIG. 8, (b) is a diagram showing the relationship between the grating period of the first and third grating parts and the relative rotation angle between the gratings that achieve it. 第一実施形態の撮影手順を示すフロー。The flow which shows the imaging | photography procedure of 1st embodiment. 2つのグレーティングの組み合わせにおける透過部の面積(開口面積)とグレーティングの相対回転角度との関係を示す図で、(a)は単一の開口の場合、(b)はグレーティング全体の場合を示す。It is a figure which shows the relationship between the area (opening area) of the permeation | transmission part in the combination of two gratings, and the relative rotation angle of a grating, (a) shows the case of a single opening, (b) shows the case of the whole grating. 第二実施形態のX線撮影装置の概要を示す図The figure which shows the outline | summary of the X-ray imaging apparatus of 2nd embodiment. 第二実施形態の制御部の構成を示す機能ブロック図Functional block diagram showing the configuration of the control unit of the second embodiment X線エネルギーの違いによる位相コントラストの変化を説明する図で、(a)はX線エネルギーと位相ずれ量との関係を示すグラフ、(b)はX線エネルギーが20keVの場合の位相コントラスト、(c)はX線エネルギーが100keVの場合の位相コントラストをそれぞれ示す。It is a figure explaining the change of a phase contrast by the difference in X-ray energy, (a) is a graph which shows the relationship between X-ray energy and a phase shift amount, (b) is a phase contrast in case X-ray energy is 20 keV, ( c) shows the phase contrast when the X-ray energy is 100 keV. 第二実施形態のX線撮影装置による効果を説明する図で、(a)はX線エネルギーと位相ずれ量との関係を示すグラフ、(b)はX線エネルギーが20keVの場合の位相コントラストを示す。It is a figure explaining the effect by the X-ray imaging apparatus of 2nd embodiment, (a) is a graph which shows the relationship between X-ray energy and phase shift amount, (b) shows the phase contrast in case X-ray energy is 20 keV. Show. 第二実施形態の撮影手順を示すフロー。The flow which shows the imaging | photography procedure of 2nd embodiment. 第三実施形態のX線撮影装置の全体構成の概要を示す図The figure which shows the outline | summary of the whole structure of the X-ray imaging apparatus of 3rd embodiment. 第三実施形態のX線撮影装置による効果を説明する図で、(a)は第2グレーティング部と第3グレーティング部との距離を一定にした場合のX線エネルギーによる画像拡大率の変化を示し、(b)は異なるX線エネルギー条件で画像拡大率を一定にするための第2グレーティング部と第3グレーティング部との距離の変化を示す。It is a figure explaining the effect by the X-ray imaging apparatus of 3rd embodiment, (a) shows the change of the image magnification by X-ray energy when the distance of a 2nd grating part and a 3rd grating part is made constant. , (B) shows the change in the distance between the second grating portion and the third grating portion for making the image enlargement ratio constant under different X-ray energy conditions. 第一〜第三実施形態の変更例を示す図。The figure which shows the example of a change of 1st-3rd embodiment.

本実施形態のX線撮影装置は、X線を照射するX線源(101)と、被検体(109)を挟んでX線源に対向配置され、被検体を透過したX線を検出するX線検出器(106)と、X線源とX線検出器との間に、X線源から順に配置された第1のグレーティング部(103)、第2のグレーティング部(104)及び第3のグレーティング部(105)とを含む。第1のグレーティング部(103)及び第3のグレーティング部(105)は、それぞれ、X線を遮蔽する遮蔽部とX線を透過する透過部とが交互に配列した構造を有し、遮蔽部と透過部との繰り返し周期が可変である。   The X-ray imaging apparatus according to this embodiment is arranged to face an X-ray source with an X-ray source (101) that irradiates X-rays and an object (109) interposed therebetween, and detects X-rays that have passed through the object. A first grating unit (103), a second grating unit (104), and a third grating disposed in order from the X-ray source between the X-ray source (106) and the X-ray source. A grating portion (105). Each of the first grating portion (103) and the third grating portion (105) has a structure in which shielding portions that shield X-rays and transmission portions that transmit X-rays are alternately arranged. The repetition period with the transmission part is variable.

具体的には、第1のグレーティング部(103)及び第3のグレーティング部(105)は、それぞれ、複数のグレーティング部材からなり、当該複数のグレーティング部材を面内回転して相対回転角度を調節する角度調節機構(501〜504)を備える。角度調節機構により、複数のグレーティング部材の相対回転角度を変化させることにより、複数のグレーティング部材の面内でのずれに基き発生するモアレ縞の周期、即ちグレーティング周期を変化させる。本実施形態のX線撮影装置は、また、撮影時のX線エネルギーに応じて、角度調節機構を制御する制御部(107)をさらに備える。   Specifically, each of the first grating portion (103) and the third grating portion (105) includes a plurality of grating members, and adjusts the relative rotation angle by rotating the plurality of grating members in a plane. An angle adjustment mechanism (501-504) is provided. By changing the relative rotation angle of the plurality of grating members by the angle adjusting mechanism, the period of moire fringes generated based on the in-plane displacement of the plurality of grating members, that is, the grating period is changed. The X-ray imaging apparatus of the present embodiment further includes a control unit (107) that controls the angle adjustment mechanism according to the X-ray energy at the time of imaging.

また本実施形態のX撮影装置は、第3のグレーティング部(105)を、第2のグレーティング部との距離を変化させるように移動する移動ステージ(508)をさらに備える。制御部は、撮影時のX線エネルギーに応じて、移動ステージを制御する。   The X imaging apparatus of the present embodiment further includes a moving stage (508) that moves the third grating part (105) so as to change the distance from the second grating part. The control unit controls the moving stage according to the X-ray energy at the time of imaging.

<第一実施形態>
以下、図面を参照して本実施形態のX線撮影装置を説明する。図1に本実施形態のX線撮影装置の全体構成を示す。
<First embodiment>
Hereinafter, the X-ray imaging apparatus of this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows the overall configuration of the X-ray imaging apparatus of the present embodiment.

このX線撮影装置は、位相コンストラスト画像撮影用の装置で、図示するように、X線源101と、X線源101が発するX線を検出可能な位置に配置されたX線検出器106と、X線源101と被写体109との間に配置される第1グレーティング部103と、被写体109とX線検出器との間に配置される第3グレーティング部105と、被写体109と第3グレーティング部105との間に配置される第2グレーティング部104と、を備えている。またX線撮像装置は、上述した各要素や各要素に備えられた機構部(後述)の動作を制御するための制御装置(制御部)107やX線検出器106が検出した信号を処理し、画像等を生成する演算装置(演算部)108が備えられている。演算装置108は制御装置107とともに一つのコンピュータシステムとして構築することができる。なお以下の説明において、第1から第3グレーティング部を特に区別しない場合は、総称してグレーティング部という場合もある。   This X-ray imaging apparatus is an apparatus for phase contrast image imaging, and as shown in the figure, an X-ray source 101 and an X-ray detector 106 arranged at a position where X-rays emitted from the X-ray source 101 can be detected. A first grating unit 103 disposed between the X-ray source 101 and the subject 109, a third grating unit 105 disposed between the subject 109 and the X-ray detector, and the subject 109 and the third grating. 2nd grating part 104 arrange | positioned between the parts 105. The X-ray imaging apparatus processes signals detected by the control device (control unit) 107 and the X-ray detector 106 for controlling the operation of each element described above and a mechanism unit (described later) provided in each element. , An arithmetic device (arithmetic unit) 108 for generating an image or the like is provided. The arithmetic unit 108 can be constructed as a single computer system together with the control unit 107. In the following description, when the first to third grating portions are not particularly distinguished, they may be collectively referred to as a grating portion.

また図1において、X線源101のX線焦点とX線検出器106とを結ぶ直線方向をz方向、z方向と直交する、図の上下方向をy方向、y方向と直交する方向をx方向と定義する。   In FIG. 1, the linear direction connecting the X-ray focal point of the X-ray source 101 and the X-ray detector 106 is the z direction, orthogonal to the z direction, the vertical direction in the figure is the y direction, and the direction orthogonal to the y direction is x. Defined as direction.

X線源101はX線管を備え、電源102に接続されており、所定のX線エネルギーのX線を照射する。X線管に供給する管電流、管電圧などの条件を変更することによりX線エネルギーを変化させることができる。通常、X線源101から照射されるX線は、エネルギー分布を有しており、分布のピークのX線エネルギーが位相コントラスト画像撮影において主たる働きをするX線エネルギーである。本明細書では、「X線源101が発する所定のX線エネルギー」は、「主たる働きをするX線エネルギー」を言うものとする。   The X-ray source 101 includes an X-ray tube, is connected to a power source 102, and emits X-rays having a predetermined X-ray energy. X-ray energy can be changed by changing conditions such as tube current and tube voltage supplied to the X-ray tube. Usually, the X-rays emitted from the X-ray source 101 have an energy distribution, and the X-ray energy at the peak of the distribution is the X-ray energy that mainly plays a role in phase contrast imaging. In the present specification, “predetermined X-ray energy emitted from the X-ray source 101” refers to “X-ray energy having a main function”.

X線検出器106は、FPD(FLAT PANEL DETECTOR)等の公知の平面検出器から構成することができ、その検出面がX線源101から照射されるX線の中心ビームとほぼ直交するように配置されている。X線検出器106は、必要に応じて挿入される信号処理装置を介して演算装置108に接続されている。信号処理装置は、信号を電気的に処理するアナログ回路であってもよいし、A/D変換後のデジタル信号を処理するプロセッサであってもよい。   The X-ray detector 106 can be composed of a known flat detector such as FPD (FLAT PANEL DETECTOR), and its detection surface is substantially orthogonal to the central beam of X-rays irradiated from the X-ray source 101. Is arranged. The X-ray detector 106 is connected to the arithmetic device 108 through a signal processing device inserted as necessary. The signal processing apparatus may be an analog circuit that electrically processes a signal, or may be a processor that processes a digital signal after A / D conversion.

第1グレーティング部103は、一組のグレーティングG1−1、G1−2からなり、これらグレーティングG1−1、G1−2を重ね合わせることにより発生するモアレを利用して所定の周期g1tをもつグレーティングとして機能する。グレーティングG1−1、G1−2の重ね合わせによるモアレについては後に詳述するが、グレーティングの重ね合わせにより発生するモアレ縞の配列方向は概ねグレーティングG1−1、G1−2の格子の配列方向と直交する。 The first grating 103, a pair of grating G1-1, consists G1-2, these gratings G1-1, a grating having a predetermined period g 1t utilizing moire generated by superimposing G1-2 Function as. Although the moire due to the superposition of the gratings G1-1 and G1-2 will be described in detail later, the arrangement direction of the moire fringes generated by the superposition of the gratings is substantially orthogonal to the arrangement direction of the gratings of the gratings G1-1 and G1-2. To do.

グレーティングG1−1、G1−2は、それぞれ、図2(a)に示すように、X線を透過する基板201の上に線状のX線遮蔽体202を所定の周期g1t0で配列した構造を有する。即ち、グレーティングG1−1、G1−2は、所謂吸収型回折格子であり、X線透過部(以下、単に透過部という)とX線遮蔽部(以下、単に遮蔽部という)とが交互に配列した構造を有する。グレーティングG1−1とG1−2とは構造及び周期が同じであり、図2(a)には一つのグレーティングのみを示している。 Each of the gratings G1-1 and G1-2 has a structure in which linear X-ray shields 202 are arranged at a predetermined period g 1t0 on a substrate 201 that transmits X-rays, as shown in FIG. Have That is, the gratings G1-1 and G1-2 are so-called absorption diffraction gratings, and X-ray transmission parts (hereinafter simply referred to as transmission parts) and X-ray shielding parts (hereinafter simply referred to as shielding parts) are alternately arranged. Has the structure. The gratings G1-1 and G1-2 have the same structure and period, and FIG. 2A shows only one grating.

また一組のグレーティングG1−1、G1−2は、それぞれ、回転調節機構501、502に固定されており、回転調節機構によって両者がなす角度(相対回転角度)を調節することができる。回転調節機構501、502は、制御装置107の制御のもとで動作し、本実施形態では、それぞれのグレーティングを、X軸或いはY軸を基準に符号が逆で同じ角度回転させる。なお図示する実施形態では、一組のグレーティングG1−1、G1−2の両方が、それぞれ回転調節機構501、502を備えている場合を示しているが、単一の回転調節機構で実現することも可能である。回転調節機構としては、例えばグレーティングを固定するリング状のフレームとそれを1°程度のオーダーで回転させる回転機構などが採用できる。回転機構は公知の構造を採用することができるので、ここでは説明を省略する。   The pair of gratings G1-1 and G1-2 are fixed to the rotation adjusting mechanisms 501 and 502, respectively, and the angle between the two (relative rotation angle) can be adjusted by the rotation adjusting mechanism. The rotation adjusting mechanisms 501 and 502 operate under the control of the control device 107. In this embodiment, the respective gratings are rotated by the same angle with the opposite signs with respect to the X axis or the Y axis. In the illustrated embodiment, the case where both of the pair of gratings G1-1 and G1-2 are provided with the rotation adjustment mechanisms 501 and 502, respectively, is realized by a single rotation adjustment mechanism. Is also possible. As the rotation adjusting mechanism, for example, a ring-shaped frame for fixing the grating and a rotating mechanism for rotating the frame on the order of about 1 ° can be employed. Since the rotation mechanism can adopt a known structure, description thereof is omitted here.

グレーティングG1−1とグレーティングG1−2との距離は、特に限定されるものではないが、付随する機構部の物理的な接近が許容する限り密着して一体化することが好ましい。   The distance between the grating G1-1 and the grating G1-2 is not particularly limited, but it is preferable that the distance between the grating G1-1 and the grating G1-2 is closely integrated as long as the physical approach of the accompanying mechanism portion is allowed.

第2グレーティング部104は、X線の回折像を生じさせる回折格子で、例えば図2(b)に示すように、X線を透過するシリコン基板等の基材203の上に、透過するX線の位相を変化させる材質からなる位相変化部204を所定の周期g2tで配列した構造を持つ。位相を変化させる材質とは、X線がその材質を透過するときにX線の位相が変化する材料であり、一般にAu、Ni等の金属が用いられる。位相シフト量は材料とその厚みによって異なり、材料と厚みを適切に選択することにより調整することができる。このような構造のグレーティングは位相格子或いは位相型回折格子とも呼ばれ、このグレーティングをX線が透過することにより回折像を生じる。ここでX線は被写体109を透過することによって位相シフトしたX線であるので、回折像はこの位相シフト分を含むものとなる。 The second grating unit 104 is a diffraction grating that generates an X-ray diffraction image. For example, as shown in FIG. 2B, the second grating unit 104 transmits X-rays on a base material 203 such as a silicon substrate that transmits X-rays. The phase change unit 204 made of a material that changes the phase of the phase is arranged with a predetermined period g 2t . The material that changes the phase is a material that changes the phase of the X-ray when the X-ray passes through the material. Generally, a metal such as Au or Ni is used. The amount of phase shift varies depending on the material and its thickness, and can be adjusted by appropriately selecting the material and thickness. A grating having such a structure is also called a phase grating or a phase type diffraction grating, and a diffraction image is generated when X-rays pass through the grating. Here, since the X-ray is an X-ray that is phase-shifted by passing through the subject 109, the diffraction image includes this phase shift.

第2グレーティング部104における位相変化部204の配列方向は、第1グレーティング部103において二つのグレーティングの組み合わせにより形成される透過部と遮蔽部の配列方向(モアレ縞の配列方向)と同じである。   The arrangement direction of the phase change sections 204 in the second grating section 104 is the same as the arrangement direction of the transmission section and the shielding section (the arrangement direction of moire fringes) formed by the combination of two gratings in the first grating section 103.

第1グレーティング部103と第2グレーティング部104は、両者の間に被写体109が配置される空間を含み、一定の距離Lを保つように装置内に固定されている。なお距離Lは、第1グレーティング部103の2つのグレーティングのうち、G1−2(第2グレーティング部104に近い方)から第2グレーティング部104までの距離と定義する。   The first grating unit 103 and the second grating unit 104 include a space in which the subject 109 is disposed between the first grating unit 103 and the second grating unit 104, and are fixed in the apparatus so as to maintain a certain distance L. The distance L is defined as the distance from G1-2 (the one closer to the second grating unit 104) to the second grating unit 104 out of the two gratings of the first grating unit 103.

第3グレーティンング部105は、第1グレーティング部103と同様に、一組のグレーティングG5−1、G5−2からなり、グレーティングG5−1、G5−2は、それぞれ回転調節機構503、504が備えられている。回転調節機構503、504の動作は制御装置107により制御される。グレーティングG5−1、G5−2の構造は、第1グレーティング部103を構成するグレーティングG1−1、G1−2と同様であり、図2(c)に示すように、X線を透過する基材205の上に、X線を遮蔽する材料からなる遮蔽部が縞状に形成されている。2つのグレーティングG5−1、G5−2はグレーティング周期が同じである。第3グレーティング部105は、これらグレーティングG5−1、G5−2をゼロ以外の相対回転角度で重ね合わせることにより発生するモアレを利用して所定の周期g3tをもつグレーティングとして機能する。 Similarly to the first grating unit 103, the third grating unit 105 includes a pair of gratings G5-1 and G5-2. The gratings G5-1 and G5-2 are respectively provided with rotation adjusting mechanisms 503 and 504. Is provided. The operations of the rotation adjusting mechanisms 503 and 504 are controlled by the control device 107. The structures of the gratings G5-1 and G5-2 are the same as those of the gratings G1-1 and G1-2 constituting the first grating unit 103, and as shown in FIG. On 205, a shielding part made of a material that shields X-rays is formed in a stripe shape. The two gratings G5-1 and G5-2 have the same grating period. The third grating 105, these gratings G5-1, functions as a grating having a predetermined period g 3t utilizing moire generated by superimposing a relative rotation angle other than zero G5-2.

第3グレーティング部105は、第2グレーティング部104により形成される回折像に対しモアレを生じさせて、第2グレーティング部104を透過するX線に含まれる位相シフトの情報をX線透過量として描出させるためのものである。このため第3グレーティングは、それを構成する2つのグレーティングの組み合わせにより生成されるグレーティング(モアレによるグレーティング)の配列方向が第2グレーティング部104のグレーティング配列方向と同じで且つグレーティング周期(透過部と遮蔽部の配列周期)g3tが、第2グレーティング部104の干渉縞の周期pと同じになるように、2つのグレーティングの相対回転角度が調整される。2つのグレーティングG5−1、G5−2間の距離は、第1グレーティング部103と同様に、物理的に最小な距離でもよいし所定の距離でもよい。 The third grating unit 105 generates moiré on the diffraction image formed by the second grating unit 104 and renders information on the phase shift included in the X-rays transmitted through the second grating unit 104 as an X-ray transmission amount. It is for making it happen. Therefore, in the third grating, the arrangement direction of the grating (grating by moire) generated by the combination of the two gratings constituting the third grating is the same as the grating arrangement direction of the second grating section 104, and the grating period (transmission section and shielding section). The relative rotation angle of the two gratings is adjusted so that the portion arrangement period) g 3t is the same as the period p of the interference fringes of the second grating unit 104. The distance between the two gratings G5-1 and G5-2 may be a physically minimum distance or a predetermined distance, like the first grating unit 103.

第3グレーティング部105は、第3グレーティング部105をグレーティング面と平行な面内でグレーティング配列方向と平行な方向(x方向)に移動する横移動ステージ507に搭載されている。この第3グレーティング部105を搭載した横移動ステージ507は、さらに縦移動ステージ508に搭載されている。縦移動ステージ508は、第3グレーティングをグレーティング面と直交する方向(z方向)に移動し、第2グレーティング部103との間の距離dを調整するための機構である。この場合の距離dは、第2グレーティング部104から第3グレーティング部105のグレーティングG5−1までの距離と定義する。   The third grating unit 105 is mounted on a lateral movement stage 507 that moves the third grating unit 105 in a direction parallel to the grating arrangement direction (x direction) within a plane parallel to the grating surface. The lateral movement stage 507 on which the third grating unit 105 is mounted is further mounted on the vertical movement stage 508. The longitudinal movement stage 508 is a mechanism for moving the third grating in a direction (z direction) orthogonal to the grating surface and adjusting the distance d between the second grating unit 103 and the third grating 103. The distance d in this case is defined as the distance from the second grating section 104 to the grating G5-1 of the third grating section 105.

横移動ステージ507及び縦移動ステージ508の動作は制御装置107により制御される。   The operations of the horizontal movement stage 507 and the vertical movement stage 508 are controlled by the control device 107.

次に、第1グレーティング部103及び第3グレーティング部105におけるグレーティング周期の調整について詳述する。なお第1グレーティング部103及び第3グレーティング部105において、2つのグレーティングの組み合わせでモアレ縞のグレーティングを形成するしくみは共通しているので、以下の説明では代表して第1グレーティング部について説明する。   Next, the adjustment of the grating period in the first grating unit 103 and the third grating unit 105 will be described in detail. The first grating unit 103 and the third grating unit 105 have a common mechanism for forming a moire fringe grating by combining two gratings. Therefore, the first grating unit will be described as a representative in the following description.

既に述べたように、グレーティングG1−1、G1−2は、回転調節機構501、502によって互いの面内での回転角度(相対回転角度)を変更することが可能である。この相対回転角度がゼロでない場合に、これらを重ね合わせるとモアレが発生する。モアレは、第1グレーティング部103を透過するX線の濃淡の縞模様であり、遮蔽部と透過部とからなる縞模様すなわちグレーティングと見做すことができる。   As already described, the gratings G1-1 and G1-2 can change the rotation angle (relative rotation angle) in the plane of each other by the rotation adjusting mechanisms 501 and 502. When these relative rotation angles are not zero, moire occurs when they are superimposed. Moire is an X-ray shading pattern transmitted through the first grating portion 103 and can be regarded as a striped pattern consisting of a shielding portion and a transmission portion, that is, a grating.

モアレにおける縞の配列方向は、グレーティングG1−1、G1−2のグレーティングの配列方向とほぼ直交する方向となる。詳しくは、例えばグレーティングG1−1、G1−2の遮蔽部或いは透過部に沿った方向のx方向に対する角度がそれぞれ±θ(相対回転角度が2θ)場合、モアレの縞の方向はy方向即ち縞の配列方向はx方向となる。   The arrangement direction of the stripes in the moire is a direction substantially orthogonal to the arrangement direction of the gratings of the gratings G1-1 and G1-2. Specifically, for example, when the angles of the gratings G1-1 and G1-2 along the shielding part or the transmission part with respect to the x direction are ± θ (relative rotation angle is 2θ), the moire fringe direction is the y direction, that is, the fringe. The arrangement direction is the x direction.

またモアレの周期は、第1グレーティング部103のグレーティング周期g1tと見做すことができ、二つのグレーティングG1−1及びG1−2がなす角度によって異なる。図3に、二つのグレーティングG1−1及びG1−2がなす相対回転角度が異なる場合に発生するモアレを示す。図中、(a)、(b)、(c)の順に、相対回転角度が大きくなり、それに従いモアレの周期即ちグレーティング周期は小さくなる。相対回転角度とグレーティング周期g1tとの関係は、図4に示すように、次式(1)で表すことができる。 Further, the moire period can be regarded as the grating period g 1t of the first grating section 103, and differs depending on the angle formed by the two gratings G1-1 and G1-2. FIG. 3 shows moire that occurs when the relative rotational angles formed by the two gratings G1-1 and G1-2 are different. In the figure, the relative rotation angle increases in the order of (a), (b), and (c), and the moire period, ie, the grating period, decreases accordingly. The relationship between the relative rotation angle and the grating period g 1t can be expressed by the following equation (1) as shown in FIG.

[数1]
1t=(g1t0/2)÷sinθ (1)
式(1)において、g1t0はグレーティングG1−1及びG1−2の周期である。式(1)より、二つのグレーティングG1−1及びG1−2の相対回転角度を調整することで、第1グレーティング部103のグレーティング周期g1tを制御することが可能であることがわかる。
[Equation 1]
g 1t = (g 1t0 / 2) ÷ sinθ (1)
In Expression (1), g 1t0 is the period of the gratings G1-1 and G1-2. From equation (1), it can be seen that the grating period g 1t of the first grating unit 103 can be controlled by adjusting the relative rotation angles of the two gratings G1-1 and G1-2.

第3グレーティング部105についても、同様に、それを構成する二つのグレーティングG5−1及びG5−2がなす相対回転角度を調整することで、グレーティング周期g3tを制御することが可能となる。 Similarly, the grating period g 3t can also be controlled by adjusting the relative rotation angle formed by the two gratings G5-1 and G5-2 constituting the third grating unit 105.

このように第1グレーティング部103及び第3グレーティング部105を、それぞれ、調整可能なグレーティング周期を持つ一つのグレーティングと見做した場合、図1に示すX線撮影装置は、回転調整機構部501〜504及び縦移動ステージ508を除き、図5に示す従来のX線撮影装置と同様の構成となる。なお図5中、図1の要素と同じ要素は同じ符号で示す。   As described above, when the first grating unit 103 and the third grating unit 105 are each regarded as one grating having an adjustable grating period, the X-ray imaging apparatus illustrated in FIG. The configuration is the same as that of the conventional X-ray imaging apparatus shown in FIG. In FIG. 5, the same elements as those of FIG.

ここで本発明及び従来のX線撮影装置が利用するタルボ・ロー干渉計を用いた測定技術において、干渉条件を成立させる装置の条件は、X線エネルギー、第2グレーティング部104と第3グレーティング部105(図5の従来装置ではグレーティング405)の間の距離d等により決定され、それらの関係は式(2)で近似される。   Here, in the measurement technique using the Talbot-Lau interferometer used by the present invention and the conventional X-ray imaging apparatus, the conditions of the apparatus that establish the interference condition are X-ray energy, the second grating section 104 and the third grating section. 105 (grating 405 in the conventional apparatus in FIG. 5) is determined by the distance d and the like, and their relationship is approximated by the equation (2).

Figure 2016156697
式(2)中、mは奇数、ηは1又は2、λは主たる働きをするX線の波長、g2tは第2グレーティング部104のグレーティング周期である。
Figure 2016156697
In equation (2), m is an odd number, η is 1 or 2, λ is the wavelength of X-rays that mainly function, and g 2t is the grating period of the second grating unit 104.

また回折格子である第2グレーティング部104の回折像(干渉縞)の周期pは、第1グレーティング部103(図5の従来装置ではグレーティング403)と第2グレーティング部104の間の距離をLとすると次式(3)で表される。

Figure 2016156697
Further, the period p of the diffraction image (interference fringe) of the second grating unit 104 which is a diffraction grating is set such that the distance between the first grating unit 103 (grating 403 in the conventional device of FIG. 5) and the second grating unit 104 is L. Then, it is represented by the following formula (3).
Figure 2016156697

第3グレーティング部105(図5の従来装置ではグレーティング405)のグレーティング周期g3tは、この回折像の周期pと等しくなるように設計される。また第1グレーティング部の103のグレーティング周期g1tは、周期pを用いて次式(4)で近似される。
[数4]
1t=p(L/d) (4)
The grating period g 3t of the third grating unit 105 (grating 405 in the conventional apparatus of FIG. 5) is designed to be equal to the period p of this diffraction image. The grating period g 1t of 103 of the first grating unit is approximated by the following expression (4) using the period p.
[Equation 4]
g 1t = p (L / d) (4)

式(2)〜(4)からわかるように、X線エネルギーが決定すると干渉条件を成立させるために必要な各グレーティングの周期が規定されることになる。しかし一般にグレーティングは、シリコン基板の上に金属等で周期構造を形成したものであるので、X線エネルギーの変更に対応するためには、グレーティングの交換が必要となる。一方、各グレーティングの周期を固定したまま、X線エネルギーを変化させた場合に干渉条件を成立させるためには、第2及び第3グレーティング部間の距離dの変化を第1及び第2グレーティング部間の距離Lで調整することが考えられる。しかしこの場合、測定において主たる働きをするX線エネルギーの比率に応じて距離Lが変化するため実用的な寸法範囲で広いX線エネルギーに対応することは難しい。図6は各グレーティングの周期を固定してX線エネルギーを変化させた場合に干渉条件を成立させるための距離d及び距離Lの変化を示したグラフである。図6において、横軸はX線エネルギー(keV)、右側縦軸はグレーティング周期(単位:m)、左側縦軸は距離(単位:m)を示している。このグラフからわかるように、例えばX線エネルギーを20keVから40keVに変化させた場合には、第1及び第2グレーティング部間の距離Lを1mから2mに変更する必要があり、医療用のX線撮影装置としては到底実用的ではない。   As can be seen from the equations (2) to (4), when the X-ray energy is determined, the period of each grating necessary for satisfying the interference condition is defined. However, in general, the grating has a periodic structure formed of a metal or the like on a silicon substrate, so that it is necessary to replace the grating in order to cope with a change in X-ray energy. On the other hand, in order to satisfy the interference condition when the X-ray energy is changed while fixing the period of each grating, the change in the distance d between the second and third grating portions is changed to the first and second grating portions. It is conceivable to adjust the distance L between them. However, in this case, since the distance L changes according to the ratio of the X-ray energy that plays a major role in the measurement, it is difficult to cope with a wide X-ray energy in a practical size range. FIG. 6 is a graph showing changes in the distance d and the distance L for satisfying the interference condition when the period of each grating is fixed and the X-ray energy is changed. In FIG. 6, the horizontal axis represents X-ray energy (keV), the right vertical axis represents the grating period (unit: m), and the left vertical axis represents the distance (unit: m). As can be seen from this graph, for example, when the X-ray energy is changed from 20 keV to 40 keV, it is necessary to change the distance L between the first and second grating portions from 1 m to 2 m. It is far from practical as a photographing device.

本実施形態のX線撮影装置は、第3グレーティング部105が搭載される縦移動ステージ508により、第1グレーティング部103及び第2グレーティング部104を固定したまま、第グレーティング部105のX線の方向(Z方向)における位置すなわち距離dを調整するとともに、第1グレーティング部103及び第3グレーティング104のグレーティング周期g1t、g3tを調整することによって、主たる働きをするX線のエネルギー変化に対応し、タルボ・ロー干渉計を利用したX線撮影を可能にする。 In the X-ray imaging apparatus of the present embodiment, the X-ray direction of the first grating unit 105 is fixed while the first grating unit 103 and the second grating unit 104 are fixed by the longitudinal movement stage 508 on which the third grating unit 105 is mounted. The position in the (Z direction), that is, the distance d is adjusted, and the grating periods g 1t and g 3t of the first grating unit 103 and the third grating 104 are adjusted to cope with changes in the energy of X-rays that perform the main function. Enables X-ray imaging using a Talbot-Lau interferometer.

具体的には、図1及び図5のX線撮影装置において、第2グレーティング部104の位置を固定した場合、式(1)において、X線エネルギー(X線の波長λ)の変化に対し、第2グレーティング部104に対する第3グレーティング部105(図5の従来装置ではグレーティング405)の位置すなわち距離dを変化させることで干渉条件を成立させることができる。   Specifically, in the X-ray imaging apparatus of FIGS. 1 and 5, when the position of the second grating unit 104 is fixed, the change in the X-ray energy (X-ray wavelength λ) in Equation (1) The interference condition can be satisfied by changing the position of the third grating unit 105 (grating 405 in the conventional apparatus of FIG. 5), that is, the distance d with respect to the second grating unit 104.

また第1グレーティング部103の位置(即ち第2グレーティング部104との距離L)及び第2グレーティング部104の周期g2tを固定した場合、式(3)、(4)により、第1グレーティング部103の周期g1tと第3グレーティング部の周期g3tを変化させることにより、X線エネルギー(X線の波長λ)の変化に対応できることがわかる。 Further, when the position of the first grating unit 103 (that is, the distance L to the second grating unit 104) and the period g 2t of the second grating unit 104 are fixed, the first grating unit 103 is obtained by the equations (3) and (4). It can be seen that the change in the X-ray energy (X-ray wavelength λ) can be accommodated by changing the period g 1t and the period g 3t of the third grating portion.

次に上述した第1グレーティング部103の周期g1t、第3グレーティング部の周期g3t及び距離dを調整するための制御装置107について説明する。 Next, the control device 107 for adjusting the period g 1t of the first grating unit 103, the period g 3t of the third grating unit, and the distance d will be described.

制御装置107は、図7に概要を示すように、主として、計測制御部1071と、グレーティング制御部1075と、演算部(演算装置108)と、メモリ1078と、主制御部1070とを備えている。制御装置107は、さらに各部にその動作に必要な測定の条件や指令を入力するための入力装置110や演算部108が再構成した画像や入力装置として機能するGUIなどを表示する表示装置111を備えることができる。メモリ1078には、入力された条件及び計算中のデータや計算結果などが記憶される。   As schematically shown in FIG. 7, the control device 107 mainly includes a measurement control unit 1071, a grating control unit 1075, a calculation unit (calculation device 108), a memory 1078, and a main control unit 1070. . The control device 107 further includes an input device 110 for inputting measurement conditions and commands necessary for its operation, a display device 111 for displaying an image reconstructed by the arithmetic unit 108, a GUI functioning as an input device, and the like. Can be provided. The memory 1078 stores input conditions, data being calculated, calculation results, and the like.

計測制御部1071は、X線源制御部1072、X線検出器制御部1073、及び、スキャン制御部1074からなり、本実施形態のX線撮影装置が位相コンストラストX線画像を取得するための計測を行うようにX線撮影装置の各部を制御する。具体的にはX線源制御部1072により、X線源101の電源102の動作を制御し、例えば入力装置110を介して入力されるX線の管電圧や管電流などのX線条件に従い、X線源101から所定X線エネルギーのX線を照射させる。またスキャン部1074は、X線源101からX線が照射されている間に、横移動ステージ507を駆動し、第3グレーティング部105をグレーティング面と平行な方向に沿ってグレーティング周期よりも細かいピッチで走査する。この第3グレーティング部105の走査により、第3グレーティング部105のグレーティングと第2グレーティング部104の回折像との重なりによって生じるモアレ縞(透過部と遮蔽部とからなる縞)が移動し、このモアレ縞に相当するX線をX線検出器106で検出する。X線検出器制御部1073はX線検出器106を制御し、X線量に相当する電気信号の収集を行う。   The measurement control unit 1071 includes an X-ray source control unit 1072, an X-ray detector control unit 1073, and a scan control unit 1074. The X-ray imaging apparatus according to the present embodiment acquires a phase-contrast X-ray image. Each part of the X-ray imaging apparatus is controlled to perform measurement. Specifically, the operation of the power source 102 of the X-ray source 101 is controlled by the X-ray source control unit 1072, and, for example, according to the X-ray conditions such as the X-ray tube voltage and tube current input via the input device 110, X-rays having a predetermined X-ray energy are irradiated from the X-ray source 101. The scanning unit 1074 drives the lateral movement stage 507 while the X-ray source 101 is radiating X-rays, and causes the third grating unit 105 to have a pitch smaller than the grating period along a direction parallel to the grating surface. Scan with. By the scanning of the third grating unit 105, the moire fringes (the fringes formed by the transmission part and the shielding part) generated by the overlapping of the grating of the third grating part 105 and the diffraction image of the second grating part 104 are moved. X-rays corresponding to the stripes are detected by the X-ray detector 106. The X-ray detector control unit 1073 controls the X-ray detector 106 and collects an electrical signal corresponding to the X-ray dose.

グレーティング制御部1075は、グレーティング角度調節部1076、及び、グレーティング間距離調整部1077からなる。グレーティング角度調節部1076は、例えば入力装置111を介して入力されたX線エネルギーの情報に応じて、回転調節機構501〜504を制御し、第1グレーティング部103を構成するグレーティングG1−1、G1−2の相対回転角度及び第3グレーティング部105を構成するグレーティングG5−1、G5−2の相対回転角度を調整し、それぞれのグレーティング周期g1t、g3tを制御する。相対回転角度を変化させることによって生成されるグレーティングの方向と周期については既に説明したとおりである。 The grating control unit 1075 includes a grating angle adjusting unit 1076 and an inter-grating distance adjusting unit 1077. The grating angle adjustment unit 1076 controls the rotation adjustment mechanisms 501 to 504 in accordance with, for example, information on the X-ray energy input via the input device 111, and the gratings G1-1 and G1 constituting the first grating unit 103 are controlled. -2 and the relative rotation angles of the gratings G5-1 and G5-2 constituting the third grating unit 105 are adjusted, and the respective grating periods g 1t and g 3t are controlled. The direction and period of the grating generated by changing the relative rotation angle is as described above.

本実施形態において前掲の式(2)〜(4)で表される干渉条件を成立させるために、グレーティング制御部1075により調整される第1グレーティング部103のグレーティング周期g1t、第2グレーティンング部104の回折像のピッチp即ち第3グレーティング部105のグレーティング周期g3t、及び第2グレーティング部104と第3グレーティング部105との距離dと、X線エネルギーとの関係を図8に示す。図8は、第1グレーティング部103の2つのグレーティングG1−1、G1−2の周期g1t0を10μm、第3グレーティング部のグレーティングG5−1、G5−2の周期g3t0を2μmとしてプロットしたグラフであり、図8において、横軸はX線エネルギー(keV)、右側縦軸はグレーティング周期(m)、左側縦軸は距離(m)を示している。 In the present embodiment, the grating period g 1t of the first grating unit 103 and the second grating are adjusted by the grating control unit 1075 in order to satisfy the interference conditions represented by the above formulas (2) to (4). FIG. 8 shows the relationship between the diffraction pattern pitch p of the section 104, that is, the grating period g 3t of the third grating section 105, the distance d between the second grating section 104 and the third grating section 105, and the X-ray energy. FIG. 8 is a graph in which the periods g1t0 of the two gratings G1-1 and G1-2 of the first grating section 103 are 10 μm, and the periods g3t0 of the gratings G5-1 and G5-2 of the third grating section are 2 μm. 8, the horizontal axis represents X-ray energy (keV), the right vertical axis represents the grating period (m), and the left vertical axis represents the distance (m).

図8からわかるように、X線エネルギーのレンジを例えば20keVから100keVに変更する場合、距離dは0.1mから0.65m(55cm)程度の範囲で調整すればよく、装置の実用的な寸法範囲で調整が可能である。またグレーティング周期g1tについては10μmから40μmの範囲、グレーティング周期g3tについては4μmから7μmの範囲で調整すればよく、これらの調整範囲は2つのグレーティングの相対回転角度2θでは、式(1)より、g1tについては15度〜60度、g3tについては17度〜30度となる。 As can be seen from FIG. 8, when the X-ray energy range is changed from, for example, 20 keV to 100 keV, the distance d may be adjusted within the range of about 0.1 m to 0.65 m (55 cm), and the practical dimensions of the apparatus. Adjustment is possible in the range. Further, the grating period g 1t may be adjusted within the range of 10 μm to 40 μm, and the grating period g 3t may be adjusted within the range of 4 μm to 7 μm. These adjustment ranges are obtained from the equation (1) at the relative rotation angle 2θ of the two gratings. , G 1t is 15 to 60 degrees, and g 3t is 17 to 30 degrees.

グレーティング周期g1t、g3tと相対回転角度2θとの関係を図9(b)に示す。図9(a)は、図8と同じグラフで、X線エネルギー(横軸)に対するg1t、g3t及びdの変化を示している。図9(a)のグラフのX線エネルギー20keV〜100keVの範囲の、g1t、g3t及びdの変化を、図9(b)に両矢印で示す。この矢印で示す範囲が、相対回転角度2θを調整する範囲となる。 FIG. 9B shows a relationship between the grating periods g 1t and g 3t and the relative rotation angle 2θ. FIG. 9A is the same graph as FIG. 8 and shows changes in g 1t , g 3t, and d with respect to X-ray energy (horizontal axis). Changes in g 1t , g 3t, and d in the X-ray energy range of 20 keV to 100 keV in the graph of FIG. 9A are indicated by double arrows in FIG. 9B. The range indicated by this arrow is the range for adjusting the relative rotation angle 2θ.

次に、図10を参照して、本実施形態のX線撮影装置による撮影手順を説明する。
まず入力装置110を介して、撮影部位の指定を行う(S1)。その撮影部位に最適なX線エネルギーを選定する(S2)。X線エネルギーの選定は、撮影部位に応じて検査者が行ってもよいし、計測制御部1071が予め決められた撮影部位に応じたX線エネルギーの目安をもとに自動的に設定することもできる。X線エネルギーが選定されると、演算部108は波長を算出し(S3)、干渉条件が成立するための、装置条件を前掲の式(1)〜(4)に基づき算出する(S4)。装置条件のうち、第2グレーティング部104の周期g2t、第1グレーティング部103と第2グレーティング部104との間の距離Lは固定されているので、第2グレーティング部104と第3グレーティング部105との間の距離d、第2グレーティング部105の干渉縞の周期p、第1及び第3グレーティング部103、105のグレーティング周期g1t、g3tが算出される。因みに周期g3tは、干渉縞の周期pに設定される。さらにグレーティング周期g1t、g3tを用いて、第1及び第3グレーティング部103,105を構成するグレーティングの相対回転角度をそれぞれ算出する(S5)。
Next, an imaging procedure by the X-ray imaging apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG.
First, an imaging region is designated via the input device 110 (S1). The optimum X-ray energy for the imaging region is selected (S2). The X-ray energy may be selected by the examiner according to the imaging region, or the measurement control unit 1071 may automatically set the X-ray energy based on the predetermined X-ray energy guide according to the imaging region. You can also. When the X-ray energy is selected, the calculation unit 108 calculates the wavelength (S3), and calculates the apparatus condition for satisfying the interference condition based on the above-described equations (1) to (4) (S4). Among the apparatus conditions, since the period g 2t of the second grating unit 104 and the distance L between the first grating unit 103 and the second grating unit 104 are fixed, the second grating unit 104 and the third grating unit 105 are fixed. , The interference fringe period p of the second grating unit 105, and the grating periods g 1t and g 3t of the first and third grating units 103 and 105 are calculated. Incidentally, the period g 3t is set to the period p of the interference fringes. Further, the relative rotation angles of the gratings constituting the first and third grating sections 103 and 105 are calculated using the grating periods g 1t and g 3t (S5).

演算部108は算出された値をグレーティング制御部1075に設定する(S6)。グレーティング制御部1075は、グレーティング間距離調整部1077及びグレーティング角度調節部1076を介して、縦移動ステージ108及び回転機構部501〜504をそれぞれ制御し、設定された距離d、相対回転角度となるように第3グレーティング部105の移動、及び、第1及び第3グレーティング部を構成する2枚のグレーティングの回転を行う。なおX線エネルギーに応じた距離や相対回転角度の決定は、その都度、算出してもよいし、X線エネルギー毎に所定の値をテーブルとして持っていてもよい。   The calculation unit 108 sets the calculated value in the grating control unit 1075 (S6). The grating control unit 1075 controls the longitudinal movement stage 108 and the rotation mechanism units 501 to 504 via the inter-grating distance adjustment unit 1077 and the grating angle adjustment unit 1076, respectively, so that the set distance d and the relative rotation angle are obtained. Further, the third grating unit 105 is moved and the two gratings constituting the first and third grating units are rotated. The determination of the distance and the relative rotation angle according to the X-ray energy may be calculated each time, or a predetermined value may be held for each X-ray energy as a table.

このようにグレーティング制御部1075により干渉条件が成立するように第1及び第3グレーティング部を調整した上で、計測制御部1071の制御のもとで撮影を実行する(S7)。即ち、横移動ステージ507を駆動しながら第3グレーティング部105をx方向にずらしながらX線検出器106にて信号を計測する。横移動ステージ507による第3グレーティング部105の移動ピッチは、第3グレーティング部105のグレーティング周期g3tより小さく、例えば1/n(nは2以上の整数)である。これにより、第3グレーティングのx方向の位置毎に、X線検出器106には、被写体による位相シフト情報を含むモアレ画像が得られる。   In this manner, the first and third grating units are adjusted so that the interference condition is satisfied by the grating control unit 1075, and then imaging is performed under the control of the measurement control unit 1071 (S7). That is, a signal is measured by the X-ray detector 106 while moving the third grating unit 105 in the x direction while driving the lateral movement stage 507. The moving pitch of the third grating unit 105 by the lateral movement stage 507 is smaller than the grating period g3t of the third grating unit 105, for example, 1 / n (n is an integer of 2 or more). As a result, for each position in the x direction of the third grating, the X-ray detector 106 can obtain a moiré image including phase shift information depending on the subject.

このモアレ画像は、第2グレーティング部104と第3グレーティング部105のx方向へのずれにより生じるモアレ画像であり、第2グレーティング部の回折像に被写体による位相シフト情報を含んでいる。第3グレーティング部105をそのグレーティング周期g3tに相当するピッチ数分(例えばn回)走査しながら複数(n個)のモアレ画像を取得する。 This moire image is a moire image generated by the displacement of the second grating portion 104 and the third grating portion 105 in the x direction, and the diffraction image of the second grating portion includes phase shift information due to the subject. A plurality (n) of moire images are acquired while scanning the third grating unit 105 by the number of pitches corresponding to the grating period g3t (for example, n times).

演算部108は、取得した複数のモアレ画像を処理し、位相コントラスト画像を作成する(S8)。具体的には、複数のモアレ画像は、第3グレーティング部105のx方向のピッチ毎に、位相シフト量の微小変化即ち微分位相を含むので、これを積分することにより位相シフト量をコントラストで表した位相コントラスト画像を再構成する。位相コントラスト画像を算出するアルゴリズムは、例えば特許文献1や特開2007−203074号公報等に記載される従来のX線撮影装置と同じであり、ここでは説明を省略する。   The computing unit 108 processes the plurality of acquired moire images and creates a phase contrast image (S8). Specifically, since the plurality of moire images include a minute change of the phase shift amount, that is, a differential phase, for each pitch in the x direction of the third grating unit 105, the phase shift amount is expressed by contrast by integrating this. The phase contrast image thus obtained is reconstructed. The algorithm for calculating the phase contrast image is the same as that of the conventional X-ray imaging apparatus described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-203074 and the like, and the description thereof is omitted here.

演算部108が再構成した画像は、表示装置110に表示させることができる(S9)。被写体の組織内で生じるX線の位相シフトは、X線の減衰(吸収)が小さい組織でも大きな値となる。従って位相シフトをコントラストで表した画像では、生体軟組織などの弱吸収組織が良好に描出される。   The image reconstructed by the calculation unit 108 can be displayed on the display device 110 (S9). The phase shift of the X-ray generated in the tissue of the subject takes a large value even in a tissue where X-ray attenuation (absorption) is small. Therefore, in the image representing the phase shift as contrast, weakly absorbed tissues such as living soft tissues are well depicted.

本実施形態によれば、2つの吸収型回折格子であるグレーティング部を、それぞれ、2つのグレーティングを組み合わせて構成し、その相対回転角度によって周期を調整可能にしたので、調整が困難な第1グレーティングと第2グレーティングとの間の距離や第2グレーティング部の周期を固定したままで、X線エネルギーが変化しても干渉条件を成立させることができ、任意のX線エネルギー条件下で位相コントラスト画像の撮影ができる。   According to the present embodiment, the grating parts that are two absorption diffraction gratings are configured by combining two gratings, respectively, and the period can be adjusted by the relative rotation angle, so that the first grating that is difficult to adjust is used. The interference condition can be satisfied even if the X-ray energy changes while the distance between the first grating and the second grating and the period of the second grating portion are fixed, and a phase contrast image can be obtained under any X-ray energy condition. Can be taken.

なお本実施形態のX線撮影装置では、二つのグレーティングの組み合わせで透過部と遮蔽部からなるグレーティングを作成するので、その角度によって、透過部の面積(開口面積)が変化し、透過部を透過するX線量が変わる。単一の開口についてみると、図11(a)に示すように、回転角度が大きくなるに従って開口面積は小さくなり、回転角度90°のときに最小となる。しかしグレーティング全体でみると、図11(b)に示すように回転角度が大きくなるとモアレ周期が短くなるため開口数が増え、単一の開口についての面積の低下を補うように作用する。従ってX線エネルギーが小さいときは開口面積の変化は無視してよい。但し、角度が大きくなった際、つまりエネルギーが高くなった場合には、若干全体としての開口面積は増加となる。エネルギーを高く設定した場合の開口面積の増加分は、管電流やX線発生時間で補正し、均一化を図ることは可能である。   In the X-ray imaging apparatus according to the present embodiment, a grating composed of a transmission part and a shielding part is created by combining two gratings. Therefore, the area (opening area) of the transmission part changes depending on the angle, and the transmission part is transmitted through the transmission part. X-ray dose to be changed. Looking at a single opening, as shown in FIG. 11A, the opening area decreases as the rotation angle increases, and is minimum when the rotation angle is 90 °. However, looking at the entire grating, as shown in FIG. 11B, when the rotation angle is increased, the moire cycle is shortened, so that the numerical aperture is increased, which acts to compensate for a decrease in the area of a single opening. Therefore, when the X-ray energy is small, the change in the opening area may be ignored. However, when the angle increases, that is, when the energy increases, the opening area as a whole slightly increases. When the energy is set high, the increase in the opening area can be corrected by the tube current and the X-ray generation time, and uniformized.

<第二実施形態>
第一実施形態では、第1〜第3グレーティング部を、その格子面がX線照射方向(Z方向)に対し直交するように配置した場合を示したが、本実施形態は、第1〜第3グレーティング部の格子面をZ方向に直交する面と平行ではなく、傾斜可能にしたことが特徴である。
<Second embodiment>
In 1st embodiment, although the case where the 1st-3rd grating part was arrange | positioned so that the lattice plane was orthogonally crossed with respect to an X-ray irradiation direction (Z direction), this embodiment is 1st-1st. It is characterized in that the grating surface of the 3 grating portion is not parallel to the surface orthogonal to the Z direction but can be inclined.

その他の構成は第一実施形態と同様であるので、以下、第一実施形態と異なる点を中心に説明する。図12に本実施形態のX線撮影装置のグレーティング部の構造を示す。その他の要素は図12では省略しているが、図1に示す第一実施形態のX線装置と同様であり、適宜、図1を援用して説明する。本実施形態においても、第1及び第3グレーティング部103、105は吸収型回折格子であって、それぞれ一組のグレーティングで構成され、グレーティングに備えられた回転調節機構301〜304によってグレーティングの相対回転角度を変化させることでグレーティング周期g1t、g3tを調整できる。第2グレーティング部104は所定のグレーティング周期g2tを持つ位相型回折格子である。また第3グレーティング105は横移動ステージ507とともに縦移動ステージ508に搭載され、第2グレーティング104との距離dを調整できる。 Since the other configuration is the same as that of the first embodiment, the following description will focus on differences from the first embodiment. FIG. 12 shows the structure of the grating portion of the X-ray imaging apparatus of this embodiment. Although other elements are omitted in FIG. 12, they are the same as those of the X-ray apparatus of the first embodiment shown in FIG. 1, and will be described with the aid of FIG. Also in this embodiment, the first and third grating portions 103 and 105 are absorption diffraction gratings, each of which is composed of a pair of gratings, and relative rotation of the gratings by the rotation adjusting mechanisms 301 to 304 provided in the gratings. The grating periods g 1t and g 3t can be adjusted by changing the angle. The second grating unit 104 is a phase type diffraction grating having a predetermined grating period g2t . The third grating 105 is mounted on the vertical movement stage 508 together with the horizontal movement stage 507, and the distance d from the second grating 104 can be adjusted.

本実施形態のX線撮影装置は、さらにこれらグレーティング部103〜105を、z方向に対し傾斜させるための機構(傾斜機構)509が備えられている。傾斜機構としては、x方向に平行な軸を中心にグレーティング部を回転させる機構、各グレーティング部のy方向の上端と下端とをそれぞれ2つのリンク部材で連結し、これらリンク部材の一方又は両方をz方向に沿って移動させるリンク機構など、公知の機構を採用することができる。   The X-ray imaging apparatus according to the present embodiment further includes a mechanism (tilting mechanism) 509 for tilting the grating sections 103 to 105 with respect to the z direction. As the tilt mechanism, a mechanism that rotates the grating portion around an axis parallel to the x direction, the upper end and the lower end in the y direction of each grating portion are connected by two link members, and one or both of these link members are connected. A known mechanism such as a link mechanism that moves along the z direction can be employed.

制御装置107(図1)の構成は、図7に示す構成とほぼ同じであるが、図13に示すように、グレーティング制御部1075に、傾斜機構509を制御するグレーティング傾斜角度調整部1079が追加される。   The configuration of the control device 107 (FIG. 1) is almost the same as the configuration shown in FIG. 7, but a grating tilt angle adjusting unit 1079 for controlling the tilt mechanism 509 is added to the grating control unit 1075 as shown in FIG. Is done.

本実施形態では、グレーティング部を傾斜させることにより、位相格子である第2グレーティング部104において発生する位相差が、X線エネルギーの低下により低下することを防止できる。以下、その理由を詳述する。   In the present embodiment, by tilting the grating portion, it is possible to prevent the phase difference generated in the second grating portion 104 that is a phase grating from being lowered due to a decrease in X-ray energy. The reason will be described in detail below.

第一実施形態及び本実施形態のX線撮影装置では、グレーティングの重なりの相対回転角度を調整して干渉条件を成立させており、グレーティングの重なりによって形成されるモアレの縞の透過部がX線を透過する量(X線エネルギー)が相対角度に応じて変化する。一方、位相格子である第2グレーティング部104が生成する位相差はX線エネルギーに依存し、第2グレーティング部104を透過するX線エネルギーが低下するとそこで発生させる位相差が低下する。   In the X-ray imaging apparatus of the first embodiment and the present embodiment, the interference condition is established by adjusting the relative rotation angle of the grating overlap, and the transmission part of the moire fringes formed by the grating overlap is the X-ray. The amount (X-ray energy) that passes through changes in accordance with the relative angle. On the other hand, the phase difference generated by the second grating section 104 that is a phase grating depends on the X-ray energy, and when the X-ray energy transmitted through the second grating section 104 decreases, the phase difference generated there decreases.

この様子を図14に示す。図14(a)は、X線エネルギーと第2グレーティング部104で発生する位相差を示している。この第2グレーティング部104は、X線エネルギーが20keVの場合に、π(rad)の位相差を発生する構造になっている。図14(b)、(c)は、このような第2グレーティング部104を用いたときに、X線エネルギーが20keVに生成する干渉縞と、X線エネルギーが100keVに生成する干渉縞をそれぞれシミュレーションにより求めた結果を示している。また図14(c)には、位相シフトがπである理想状態を点線で示している。第一実施形態の場合、X線エネルギーが100keVの場合には、理想状態と比べると、位相差が0.2π(rad)まで低下する。このため干渉縞の状態は、干渉条件は成立しているが理想状態の干渉縞に比べコントラストが低下している。   This is shown in FIG. FIG. 14A shows the X-ray energy and the phase difference generated in the second grating unit 104. The second grating section 104 has a structure that generates a phase difference of π (rad) when the X-ray energy is 20 keV. FIGS. 14B and 14C respectively simulate the interference fringes generated when the X-ray energy is 20 keV and the X-ray energies generated when the second grating unit 104 is used. Shows the results obtained. In FIG. 14C, the ideal state where the phase shift is π is indicated by a dotted line. In the case of the first embodiment, when the X-ray energy is 100 keV, the phase difference is reduced to 0.2π (rad) compared to the ideal state. For this reason, the interference fringe state is lower in contrast than the ideal interference fringe, although the interference condition is satisfied.

これに対し本実施形態では、第2グレーティング部104が傾斜していることにより、第2グレーティング部104の位相変化部(図2(b)の204)をX線が通過する距離(通過距離)Tは式(5)に示すように変化する。
[数5]
T=g2h÷cosφ (5)
ここで[g2h]は第2グレーティング部104の位相変化部204の幅、φは第2グレーティング部104の傾斜角度(図12のφ)である。
On the other hand, in the present embodiment, since the second grating section 104 is inclined, the distance (passing distance) through which the X-ray passes through the phase change section (204 in FIG. 2B) of the second grating section 104. T varies as shown in equation (5).
[Equation 5]
T = g 2h ÷ cosφ (5)
Here, [g 2h ] is the width of the phase changing unit 204 of the second grating unit 104, and φ is the inclination angle (φ in FIG. 12) of the second grating unit 104.

即ち通過距離Tは、第2グレーティング部104がZ方向に直交している場合に比べ、傾斜している場合は(1/cosφ)倍長くすることができる。図15(a)に第2グレーティング部104を45度傾けた場合の、X線エネルギーと発生する位相差との関係を示す。図15(a)中、第2グレーティング部104を傾けない場合のX線エネルギーと発生する位相差との関係(図14(a)と同じ)を点線で示す。またX線エネルギーが100keVのときに生成する干渉縞をシュミレーションした結果を図15(b)に示す。ここでも比較のために、理想状態の場合と傾斜がない場合を、それぞれ点線及び破線で示す。これらシミュレーション結果の比較から、第2グレーティング部を傾斜させることによりコントラストが向上することがわかる。   That is, the passing distance T can be increased by (1 / cosφ) times when the second grating portion 104 is inclined as compared to when the second grating portion 104 is orthogonal to the Z direction. FIG. 15A shows the relationship between the X-ray energy and the generated phase difference when the second grating section 104 is inclined 45 degrees. In FIG. 15A, the relationship between the X-ray energy and the generated phase difference when the second grating unit 104 is not tilted (same as FIG. 14A) is indicated by a dotted line. FIG. 15B shows the result of simulating the interference fringes generated when the X-ray energy is 100 keV. Again, for comparison, the case of the ideal state and the case of no inclination are indicated by a dotted line and a broken line, respectively. From the comparison of these simulation results, it can be seen that the contrast is improved by inclining the second grating portion.

グレーティング部を傾斜させる角度φは、用いるX線エネルギーに応じて、適宜調整することができる。角度調整を含む本実施形態の撮影手順を図16に示す。図10と同じ処理は、同じ符号で示す。   The angle φ for inclining the grating portion can be appropriately adjusted according to the X-ray energy used. FIG. 16 shows a photographing procedure of this embodiment including angle adjustment. The same processes as those in FIG. 10 are denoted by the same reference numerals.

まず入力装置110を介して、撮影部位の指定を行う(S1)。その撮影部位に最適なX線エネルギーを選定する(S2)。X線エネルギーの選定は、撮影部位に応じて検査者が行ってもよいし、計測制御部1071が予め決められた撮影部位に応じたX線エネルギーの目安をもとに自動的に設定することもできる。X線エネルギーが選定されると、演算部108は波長を算出し(S3)、干渉条件が成立するための、装置条件を前掲の式(1)〜(4)に基づき算出する(S4)。装置条件のうち、第2グレーティング部104の周期g2t、第1グレーティング部103と第2グレーティング部104との間の距離Lは固定されているので、第2グレーティング部104と第3グレーティング部105との間の距離d、第2グレーティング部105の干渉縞の周期p、第1及び第3グレーティング部103、105のグレーティング周期g1t、g3tが算出される。さらにグレーティング周期g1t、g3tを用いて、第1及び第3グレーティング部103,105を構成するグレーティングの相対回転角度を算出する(S5)。 First, an imaging region is designated via the input device 110 (S1). The optimum X-ray energy for the imaging region is selected (S2). The X-ray energy may be selected by the examiner according to the imaging region, or the measurement control unit 1071 may automatically set the X-ray energy based on the predetermined X-ray energy guide according to the imaging region. You can also. When the X-ray energy is selected, the calculation unit 108 calculates the wavelength (S3), and calculates the apparatus condition for satisfying the interference condition based on the above-described equations (1) to (4) (S4). Among the apparatus conditions, since the period g 2t of the second grating unit 104 and the distance L between the first grating unit 103 and the second grating unit 104 are fixed, the second grating unit 104 and the third grating unit 105 are fixed. , The interference fringe period p of the second grating unit 105, and the grating periods g 1t and g 3t of the first and third grating units 103 and 105 are calculated. Further, using the grating periods g 1t and g 3t , the relative rotation angles of the gratings constituting the first and third grating sections 103 and 105 are calculated (S5).

その後、演算部108は、入力されたX線エネルギーをもとにグレーティング部を傾斜させるか否かを判断する(S11)。例えば、図14(b)に示すようにX線エネルギーが比較的低く十分な位相コントラストが得られる場合には、傾斜させない。この場合には、第一実施形態と同様に、演算部108がS4、S5で算出した結果をグレーティング制御部1075(グレーティング角度調節部1076及びグレーティング距離調節部1077)に設定し、回転調節機構501〜504及び縦移動ステージ508を制御し、グレーティング部の設定を行う(S6)。その後、X線源101、X線検出器106及び横移動ステージ507を制御し、撮影を実行する(S7)。   Thereafter, the calculation unit 108 determines whether to tilt the grating unit based on the input X-ray energy (S11). For example, when the X-ray energy is relatively low and a sufficient phase contrast is obtained as shown in FIG. In this case, similarly to the first embodiment, the calculation unit 108 sets the results calculated in S4 and S5 in the grating control unit 1075 (the grating angle adjustment unit 1076 and the grating distance adjustment unit 1077), and the rotation adjustment mechanism 501. ˜504 and the longitudinal movement stage 508 are controlled to set the grating section (S6). Thereafter, the X-ray source 101, the X-ray detector 106, and the lateral movement stage 507 are controlled to perform imaging (S7).

一方、演算部108は、S11においてグレーティング部の傾斜が必要と判断した場合には、さらに傾斜の角度φを算出する(S12)。傾斜の角度φは、例えば、予めX線エネルギーと傾斜角度との関係を設定しておき、この関係に基き決定してもよいし、傾斜要の場合、予め定めた一定の角度φを設定してもよい。設定した傾斜角度の情報は、グレーティング傾斜角度調節部1079に渡され、傾斜機構509を駆動する(S6)。その後、X線源101、X線検出器106及び横移動ステージ507を制御し、撮影を実行すること(S7)及び必要に応じて画像再構成すること、画像を表示することは図10に示す第一実施形態の撮影手順と同様である。   On the other hand, when it is determined in S11 that the grating portion needs to be tilted, the calculation unit 108 further calculates a tilt angle φ (S12). The tilt angle φ may be determined based on, for example, a relationship between the X-ray energy and the tilt angle in advance, or a predetermined constant angle φ may be set if tilt is necessary. May be. Information on the set tilt angle is passed to the grating tilt angle adjusting unit 1079, and the tilt mechanism 509 is driven (S6). Thereafter, the X-ray source 101, the X-ray detector 106, and the lateral movement stage 507 are controlled to execute imaging (S7), image reconstruction as necessary, and image display as shown in FIG. This is the same as the shooting procedure of the first embodiment.

本実施形態によれば、グレーティング部を傾斜させる機構を追加したことにより、第2グレーティング部が発生する位相シフトが、通過するX線エネルギーの変化によって低下することを抑制することができ、得られる画像のコントラストの低下を抑制できる。   According to the present embodiment, by adding a mechanism for inclining the grating part, it is possible to suppress and obtain a decrease in the phase shift generated by the second grating part due to a change in the passing X-ray energy. A reduction in the contrast of the image can be suppressed.

<第三実施形態>
本実施形態のX線撮影装置は、第3グレーティング部とX線検出器との距離を可変にする機構を設けたことが特徴であり、これによりX線検出器が検出する位相コントラスト画像の拡大率を一定にする。
<Third embodiment>
The X-ray imaging apparatus according to the present embodiment is characterized in that a mechanism for changing the distance between the third grating unit and the X-ray detector is provided, thereby expanding the phase contrast image detected by the X-ray detector. Keep the rate constant.

図17に本実施形態のX線撮影装置の概要を示す。図中、図1に示す第一実施形態と同じ要素は同じ符号で示し、その要素の説明は省略する。本実施形態のX線撮影装置は、図17に示すようにX線検出器106は、第2の縦移動ステージ518に固定されており、縦移動ステージ518を駆動することにより第3グレーティング部105との距離Dが調節できる。なお縦移動ステージ518の駆動は、図示を省略するが、図7に示すグレーティング制御部1075で制御される。   FIG. 17 shows an outline of the X-ray imaging apparatus of the present embodiment. In the figure, the same elements as those of the first embodiment shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description of the elements is omitted. In the X-ray imaging apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 17, the X-ray detector 106 is fixed to the second longitudinal movement stage 518, and the third grating unit 105 is driven by driving the longitudinal movement stage 518. Distance D can be adjusted. The longitudinal movement stage 518 is driven by a grating controller 1075 shown in FIG.

距離Dが一定の場合、画像の拡大率はX線エネルギーが大きいほど大きくなる。距離Dを変化させることにより拡大率を一定にすることができる。この距離Dと拡大率との関係を、図18を用いて説明する。図18(a)は距離Dを固定した場合、図18(b)は拡大率を固定した場合を示しており、グラフの横軸はX線エネルギー(keV)、右側縦軸は第2グレーティング部−第3グレーティング部間の距離D(m)と拡大率Magを示す。また参考のために、干渉縞の周期pと第1グリッティング部103の周期g1tを併せてグラフ中に示す。 When the distance D is constant, the enlargement ratio of the image increases as the X-ray energy increases. By changing the distance D, the enlargement ratio can be made constant. The relationship between the distance D and the enlargement ratio will be described with reference to FIG. 18A shows the case where the distance D is fixed, FIG. 18B shows the case where the magnification is fixed, the horizontal axis of the graph is X-ray energy (keV), and the right vertical axis is the second grating portion. -Indicates the distance D (m) between the third grating portions and the magnification rate Mag. For reference, the period p of the interference fringes and the period g 1t of the first gritting unit 103 are shown together in the graph.

図18(a)は、距離Dを1cm固定した場合のX線エネルギーと画像の拡大率Magとの関係を示し、このグラフからわかるように、X線エネルギーと拡大率とは比例しており、X線エネルギーが40keVの時の拡大率を1としたとき、X線エネルギーが100keVではおよそ1.2倍になる。これに対し図18(b)に示すように、X線エネルギー20〜100keVの範囲で、距離Dを約1.1mから0.8mの範囲で変化させることにより拡大率を一定に保つことができる。   FIG. 18A shows the relationship between the X-ray energy and the magnification factor Mag of the image when the distance D is fixed to 1 cm. As can be seen from this graph, the X-ray energy and the magnification factor are proportional to each other. Assuming that the enlargement factor when the X-ray energy is 40 keV is 1, the X-ray energy is about 1.2 times when the X-ray energy is 100 keV. On the other hand, as shown in FIG. 18B, the enlargement ratio can be kept constant by changing the distance D in the range of about 1.1 m to 0.8 m in the range of X-ray energy of 20 to 100 keV. .

本実施形態のX線撮影装置は、例えば、X線エネルギーを設定する際に、検査者が拡大率を一定にするか否かを入力装置110を介して選択できるように構成する。拡大率を一定にすることが選択された場合には、演算部108は、デフォルトとして設定されているX線エネルギーと設定されたX線エネルギーとを用いてデフォルトの拡大率(=1)を一定にする距離D(或いはX線検出器106の移動量ΔD)を算出し、第2の縦移動ステージ518を制御する制御装置107に設定し、X線検出器106の第3グレーティング105に対する位置を調節する。或いは演算部108は、前回の測定のX線エネルギーと拡大率を参照し、新たに設定されたX線エネルギーに応じて、そのX線エネルギーにおける拡大率が前回の拡大率と同じになるように、距離Dを算出してもよい。   The X-ray imaging apparatus according to the present embodiment is configured such that, for example, when setting the X-ray energy, the examiner can select whether or not the magnification rate is constant through the input device 110. When it is selected to make the enlargement factor constant, the calculation unit 108 keeps the default enlargement factor (= 1) constant using the X-ray energy set as the default and the set X-ray energy. The distance D (or the movement amount ΔD of the X-ray detector 106) is calculated and set in the control device 107 that controls the second longitudinal movement stage 518, and the position of the X-ray detector 106 relative to the third grating 105 is calculated. Adjust. Alternatively, the calculation unit 108 refers to the X-ray energy and the magnification rate of the previous measurement, and according to the newly set X-ray energy, the magnification rate in the X-ray energy is the same as the previous magnification rate. The distance D may be calculated.

なおX線エネルギーに応じて第3グレーティング部を移動(即ち距離dを調整)した場合、X線検出器106と第3グレーティング部105との距離Dも変化する。この場合は、距離dが変化する分を考慮して距離Dを調整する。   When the third grating portion is moved (that is, the distance d is adjusted) according to the X-ray energy, the distance D between the X-ray detector 106 and the third grating portion 105 also changes. In this case, the distance D is adjusted in consideration of the change in the distance d.

本実施形態は、X線エネルギーを異ならせて複数の計測を行う場合や、過去のX線エネルギーと異なるX線エネルギーで計測を行う場合に効果的である。なお本実施形態においても、第二実施形態と同様に、各グレーティング部に傾斜する機能を設けることが可能であり、その場合の撮影手順は図16に示すフローと同じである。   This embodiment is effective when a plurality of measurements are performed with different X-ray energies or when measurement is performed with an X-ray energy different from the past X-ray energy. In the present embodiment as well, as in the second embodiment, it is possible to provide a function of inclining each grating portion, and the photographing procedure in this case is the same as the flow shown in FIG.

<第四実施形態>
第一〜第三実施形態のX線撮影装置は、第3グレーティング部105を横移動ステージ507に搭載し、第3グレーティング部105を微細ピッチでx方向に移動させながら計測を行うものであったが、本実施形態のX線撮影装置は、第3グレーティング部105を移動させる代わりに、第1グレーティング部103を移動させることが特徴である。
<Fourth embodiment>
In the X-ray imaging apparatuses of the first to third embodiments, the third grating unit 105 is mounted on the lateral movement stage 507, and measurement is performed while moving the third grating unit 105 in the x direction at a fine pitch. However, the X-ray imaging apparatus of the present embodiment is characterized in that the first grating unit 103 is moved instead of moving the third grating unit 105.

図19に装置全体の概要を示す。図1及び図17のX線撮影装置と共通する要素は同じ符号で示す。このX線撮影装置は、図1或いは図17のX線撮影装置との比較からわかるように、第1グレーティング部103は、x方向に走査するための横移動ステージ507に搭載されており、第3グレーティング部105には横移動ステージは設けられていない。   FIG. 19 shows an outline of the entire apparatus. Elements common to the X-ray imaging apparatus of FIGS. 1 and 17 are denoted by the same reference numerals. As can be seen from a comparison with the X-ray imaging apparatus of FIG. 1 or FIG. 17, the X-ray imaging apparatus is mounted on a lateral movement stage 507 for scanning in the x direction. The 3 grating section 105 is not provided with a lateral movement stage.

第1グレーティング部103を搭載する横移動ステージ507は、計測制御部1071のスキャン制御部1074の制御のもとで動作し、第3グレーティング部105のグレーティング周期g3tよりも細かいピッチで移動し、これにより第3グレーティング部105をx方向に走査した場合と同様に、X線検出器106において各ピッチで位相の微小変化(微分)を含む情報が得られる。 The lateral movement stage 507 on which the first grating unit 103 is mounted operates under the control of the scan control unit 1074 of the measurement control unit 1071, moves at a pitch finer than the grating period g 3t of the third grating unit 105, As a result, as in the case where the third grating unit 105 is scanned in the x direction, the X-ray detector 106 can obtain information including a minute phase change (differentiation) at each pitch.

図19に示すX線撮影装置は、さらにX線検出器106に縦移動する機構(第二の縦移動ステージ)518が備えられており、これにより第三実施形態と同様に、X線エネルギーが異なっても一定の拡大率に保つ機能を持つ。本実施形態は、第一〜第三実施形態のいずれにも適用することが可能であり、同様の効果を得ることができる。   The X-ray imaging apparatus shown in FIG. 19 is further provided with a mechanism (second longitudinal movement stage) 518 that moves vertically in the X-ray detector 106, so that the X-ray energy is the same as in the third embodiment. Even if it is different, it has a function to maintain a constant magnification. This embodiment can be applied to any of the first to third embodiments, and the same effect can be obtained.

以上、図面を参照して、本発明のX線撮影装置の各実施形態を説明したが、本発明のX線撮影装置はこれら実施形態に限定されることなく、種々の変更が可能である。例えば、図1等では、第2グレーティング部の格子の方向がy方向である場合を示したが、第2グレーティングの方向は、z方向に対し直交する面内であれば任意であり、y方向に限定されない。第1及び第3グレーティングは、この第2グレーティングの方向に一致するようにモアレ縞が発生するように配置さればよい。   As mentioned above, although each embodiment of the X-ray imaging apparatus of this invention was described with reference to drawings, the X-ray imaging apparatus of this invention is not limited to these embodiment, A various change is possible. For example, FIG. 1 and the like show the case where the direction of the grating of the second grating portion is the y direction, but the direction of the second grating is arbitrary as long as it is in a plane orthogonal to the z direction, and the y direction It is not limited to. The first and third gratings may be arranged so that moire fringes are generated so as to coincide with the direction of the second grating.

また各実施形態において挙げた数値は、一例であって、本発明がこれら数値に限定されないことは言うまでもない。   Moreover, the numerical value quoted in each embodiment is an example, and it cannot be overemphasized that this invention is not limited to these numerical values.

本発明は、タルボ・ロー干渉測定方法を用いたX線撮影装置に適用可能であり、特に人体を対象とするX線画像診断装置、X線CT装置に好適に適用できる。   The present invention can be applied to an X-ray imaging apparatus using the Talbot-Lau interferometry method, and can be suitably applied to an X-ray diagnostic imaging apparatus and an X-ray CT apparatus especially for the human body.

101・・・X線源、102・・・電源、103・・・第1グレーティング部、104・・・第2グレーティング部、105・・・第3グレーティング部、106・・・X線検出器、107・・・制御装置、108・・・演算部(演算装置)、109・・・被写体、110・・・入力装置、111・・・表示装置、201、203、304・・・基材、202、206・・・X線遮蔽体(吸収型格子)、204・・・縞状格子(位相型格子)、501〜504・・・回転調節機構、507・・・横移動ステージ、508・・・縦移動ステージ、509・・・傾斜機構、518・・・第二の縦移動ステージ、1071・・・計測制御部、1075・・・グレーティング制御部、1076・・・グレーティング回転角度調節部、1077・・・グレーティング距離調節部、1079・・・グレーティング傾斜角度調節部。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... X-ray source, 102 ... Power supply, 103 ... 1st grating part, 104 ... 2nd grating part, 105 ... 3rd grating part, 106 ... X-ray detector, DESCRIPTION OF SYMBOLS 107 ... Control apparatus, 108 ... Calculation part (calculation apparatus), 109 ... Subject, 110 ... Input device, 111 ... Display apparatus, 201, 203, 304 ... Base material, 202 , 206 ... X-ray shield (absorption type grating), 204 ... Striped grating (phase type grating), 501 to 504 ... Rotation adjustment mechanism, 507 ... Horizontal movement stage, 508 ... Vertical movement stage, 509... Tilting mechanism, 518... Second vertical movement stage, 1071... Measurement control unit, 1075... Grating control unit, 1076.・ ・Computing distance adjusting unit, 1079 ... grating tilt angle adjusting unit.

Claims (13)

X線を照射するX線源と、被検体を挟んで前記X線源に対向配置され、前記被検体を透過したX線を検出するX線検出器と、前記X線源と前記X線検出器との間に、前記X線源から順に配置された第1のグレーティング部、第2のグレーティング部及び第3のグレーティング部とを含み、
前記第1のグレーティング部及び第3のグレーティング部は、それぞれ、X線を遮蔽する遮蔽部とX線を透過する透過部とが交互に配列した構造を有し、前記遮蔽部と透過部との繰り返し周期が可変であることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
An X-ray source that irradiates X-rays, an X-ray detector that is disposed opposite to the X-ray source across the subject and detects X-rays that have passed through the subject, and the X-ray source and the X-ray detection A first grating unit, a second grating unit, and a third grating unit arranged in order from the X-ray source,
Each of the first grating portion and the third grating portion has a structure in which shielding portions that shield X-rays and transmission portions that transmit X-rays are alternately arranged. A phase detection type X-ray imaging apparatus characterized in that a repetition cycle is variable.
請求項1に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第1のグレーティング部及び第3のグレーティング部は、それぞれ、複数のグレーティング部材からなり、当該複数のグレーティング部材を面内回転して相対回転角度を調節する角度調節機構を備えることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to claim 1,
Each of the first grating portion and the third grating portion includes a plurality of grating members, and includes an angle adjustment mechanism that adjusts a relative rotation angle by rotating the plurality of grating members in a plane. Phase detection type X-ray imaging apparatus.
請求項2に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第1のグレーティング部及び第3のグレーティング部は、それぞれ、前記複数のグレーティング部材の相対回転角度を変化させることにより、前記複数のグレーティング部材の面内でのずれに基き発生するモアレ縞の周期が変化することを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to claim 2,
The first grating portion and the third grating portion each have a period of moiré fringes generated based on an in-plane shift of the plurality of grating members by changing a relative rotation angle of the plurality of grating members. The phase detection type X-ray imaging apparatus is characterized in that changes.
請求項2に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
撮影時のX線エネルギーに応じて、前記角度調節機構を制御する制御部をさらに備えることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to claim 2,
A phase detection type X-ray imaging apparatus, further comprising a control unit that controls the angle adjustment mechanism in accordance with X-ray energy at the time of imaging.
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第3のグレーティング部を、前記第2のグレーティング部との距離が変化すように移動する移動ステージをさらに備えることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 4,
A phase detection type X-ray imaging apparatus, further comprising a moving stage that moves the third grating section so that a distance from the second grating section changes.
請求項5に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
撮影時のX線エネルギーに応じて、前記移動ステージを制御する制御部を有することを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to claim 5,
A phase detection type X-ray imaging apparatus comprising: a control unit that controls the moving stage in accordance with X-ray energy at the time of imaging.
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第1から第3のグレーティング部は、それらの主平面が、前記X線源から照射されるX線の方向に対し直交する位置から傾斜した位置に傾斜角度を変更する傾斜機構を備えることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 6,
The first to third grating portions include an inclination mechanism that changes an inclination angle of the principal plane from a position orthogonal to a direction of X-rays irradiated from the X-ray source. A phase detection type X-ray imaging apparatus.
請求項1ないし7のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第2のグレーティング部は、グレーティング周期が固定された位相格子からなり、第1のグレーティング部からの距離が固定されていることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
A phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 7,
The phase detection type X-ray imaging apparatus, wherein the second grating section is composed of a phase grating having a fixed grating period, and a distance from the first grating section is fixed.
請求項1ないし8のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記X線検出器を、前記X線源から照射されるX線の方向に沿って、前記第3のグレーティングに対し相対移動する移動ステージをさらに備えたことを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
A phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 8,
Phase detection X-ray imaging characterized in that said X-ray detector further comprises a moving stage that moves relative to said third grating along the direction of X-rays emitted from said X-ray source apparatus.
請求項1ないし9のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第1のグレーティング部又は第3のグレーティング部を、前記X線源から照射されるX線の方向と直交し且つ前記第2のグレーティング部のグレーティング配列方向に沿って移動する横移動ステージをさらに備えたことを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
A phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 9,
A lateral movement stage that moves the first grating part or the third grating part perpendicular to the direction of X-rays emitted from the X-ray source and along the grating arrangement direction of the second grating part; A phase detection X-ray imaging apparatus comprising:
請求項10に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記第1のグレーティング部又は第3のグレーティング部の横移動方向の異なる位置で前記X線検出器が検出した信号を用いて、位相コントラスト画像を再構成する演算部をさらに備えたことを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
The phase detection type X-ray imaging apparatus according to claim 10,
The image processing apparatus further includes a calculation unit that reconstructs a phase contrast image using signals detected by the X-ray detector at different positions in the lateral movement direction of the first grating unit or the third grating unit. A phase detection type X-ray imaging apparatus.
請求項1ないし10のいずれか一項に記載の位相検出型X線撮影装置であって、
前記X線源、第1から第3のグレーティング部及びX線検出器を、互いの位置関係を維持した状態で、前記第1のグレーティング部と第2のグレーティング部との中間にある点を中心として回転させる回転機構と、前記回転中に前記X線検出器が検出した信号を用いて検査対象の位相コントラストCT像を形成する演算部とをさらに備えたことを特徴とする位相検出型X線撮影装置。
A phase detection type X-ray imaging apparatus according to any one of claims 1 to 10,
The X-ray source, the first to third grating sections, and the X-ray detector are centered on a point that is intermediate between the first grating section and the second grating section in a state in which the positional relationship is maintained. A phase detection type X-ray characterized by further comprising: a rotation mechanism that rotates as a rotation unit; and a calculation unit that forms a phase contrast CT image to be inspected using a signal detected by the X-ray detector during the rotation. Shooting device.
X線を照射するX線源と、被検体を挟んで前記X線源に対向配置され、前記被検体を透過したX線を検出するX線検出器と、前記X線源と前記X線検出器との間に、前記X線源から順に配置された第一のグレーティング部、第二のグレーティング部及び第三のグレーティング部とを含み、
前記第一のグレーティング部及び第三のグレーティング部は、それぞれ、複数のグレーティング部材からなり、複数のグレーティング部材間の面内角度のずれによって、X線を遮蔽する遮蔽部とX線を透過する透過部とが交互に配列した縞状の構造を発生するものであり、
前記複数のグレーティング部材を面内回転して相対回転角度を調節する角度調節機構を備えることを特徴とする位相検出型X線撮影装置。

An X-ray source that irradiates X-rays, an X-ray detector that is disposed opposite to the X-ray source across the subject and detects X-rays that have passed through the subject, and the X-ray source and the X-ray detection Including a first grating portion, a second grating portion and a third grating portion arranged in order from the X-ray source,
Each of the first grating portion and the third grating portion is composed of a plurality of grating members, and a shielding portion that shields X-rays and a transmission that transmits X-rays due to an in-plane angle shift between the plurality of grating members. Which produces a striped structure with alternating parts
A phase detection type X-ray imaging apparatus comprising an angle adjustment mechanism that adjusts a relative rotation angle by rotating the plurality of grating members in a plane.

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