JP2016135584A - Liquid discharging head, liquid discharging unit, and device to discharge liquid - Google Patents

Liquid discharging head, liquid discharging unit, and device to discharge liquid Download PDF

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Tomohiro Tamai
智広 玉井
敏郎 得能
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敏郎 得能
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent liquid repellency from being degraded with abrasion of a liquid repellent film caused by repetition of wiping operations.SOLUTION: A liquid discharge head includes a nozzle plate 1 including a nozzle substrate 40 on which a plurality of nozzle holes 41 are formed serving as a nozzle 4 through which the liquid is discharged, and a liquid repellency film 42 is formed on the side of a discharging surface of the nozzle substrate 40. A plurality of dimples 43 are formed on the surface of the nozzle substrate 40. A liquid repellent material, which is a compound having a perfluoropolyether (PFPE) skeleton in its molecule forming the liquid repellent film 42, is held inside the dimple 43 in a flowable manner.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge unit, and an apparatus for discharging liquid.

液体を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッドとも称される。)のノズル板は、安定した吐出を行うために、吐出面側に撥液膜が形成される。   A nozzle plate of a liquid discharge head (also referred to as a droplet discharge head) that discharges a liquid has a liquid repellent film formed on the discharge surface side in order to perform stable discharge.

例えば、撥液膜を形成する撥液材料としてはパーフルオロポリエーテル(PFPE)骨格を分子中に有する化合物を使用するものが知られている(特許文献1)。   For example, a liquid repellent material for forming a liquid repellent film is known which uses a compound having a perfluoropolyether (PFPE) skeleton in the molecule (Patent Document 1).

また、ノズル基材の吐出面側に凹凸を形成して撥水膜を形成したもの(特許文献2)、ノズル基材の吐出面のうち、ノズル孔近傍の領域の表面粗さをその周囲の表面粗さよりも小さくしたもの(特許文献3)などが知られている。   In addition, a water repellent film is formed by forming irregularities on the discharge surface side of the nozzle base material (Patent Document 2), and the surface roughness of the area near the nozzle holes on the discharge surface of the nozzle base material What is made smaller than surface roughness (patent document 3) etc. is known.

特開2013−237259号公報JP 2013-237259 A 国際公開99/15337号公報International Publication No. 99/15337 特開2011−194668号公報JP 2011-194668 A

ところで、液体吐出ヘッドを使用する液体を吐出する装置にあっては、液体吐出ヘッドの吐出性能を維持回復するために吐出面をブレードによって払拭するワイピング動作を行う。   By the way, in an apparatus for ejecting liquid using a liquid ejection head, a wiping operation for wiping the ejection surface with a blade is performed in order to maintain and recover the ejection performance of the liquid ejection head.

そのため、ワイピング動作の繰り返しによって撥液膜が摩耗して撥液性が低下するという課題がある。   Therefore, there is a problem that the liquid repellency film is worn by the repetition of the wiping operation and the liquid repellency is lowered.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、経時的な撥液性の低下を抑制することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to suppress a decrease in liquid repellency over time.

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルとなる複数のノズル孔が形成されたノズル基材を含み、
前記ノズル基材の吐出面側には撥液膜が形成されているノズル板を有し、
前記ノズル基材の表面には複数の窪みが形成され、
前記窪み内部において前記撥液膜を形成する撥液材料が流動性を持った状態で保持されている
構成とした。
In order to solve the above-described problem, a liquid discharge head according to the present invention includes:
Including a nozzle base material in which a plurality of nozzle holes serving as nozzles for discharging liquid are formed;
A nozzle plate having a liquid repellent film formed on the discharge surface side of the nozzle substrate;
A plurality of depressions are formed on the surface of the nozzle substrate,
The liquid repellent material forming the liquid repellent film is held in a fluid state inside the recess.

本発明によれば、経時的な撥液性の低下を抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress a decrease in liquid repellency over time.

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の外観斜視説明図である。FIG. 3 is an external perspective view illustrating an example of a liquid discharge head according to the present invention. 図1のA―A線に沿うノズル配列方向と直交する方向(液室長手方向)の断面説明図である。FIG. 2 is a cross-sectional explanatory diagram in a direction (liquid chamber longitudinal direction) orthogonal to the nozzle arrangement direction along the line AA in FIG. 1. 図1のB−B線に沿うノズル配列方向(液室短手方向)の断面説明図である。It is a cross-sectional explanatory drawing of the nozzle arrangement direction (liquid chamber short direction) along the BB line of FIG. 本発明の第1実施形態におけるノズル板の平面説明図である。It is plane explanatory drawing of the nozzle plate in 1st Embodiment of this invention. 図4のC−C線に沿う拡大断面説明図である。It is an expanded sectional explanatory view which follows the CC line of FIG. 同ノズル板のノズル基材の平面説明図である。It is a plane explanatory view of the nozzle base material of the nozzle plate. 図6のD−D線に沿う拡大断面説明図である。It is an expanded sectional explanatory view which follows the DD line | wire of FIG. 同ノズル基材の窪み形成領域の説明に供する平面説明図である。It is a plane explanatory drawing used for description of the hollow formation area of the nozzle base material. 同実施形態の作用説明に供する断面説明図である。It is sectional explanatory drawing with which it uses for description of an effect | action of the embodiment. 撥液膜を形成する撥液材料が流動性を有する状態で保持されているか否かの判別方法の一例の説明に供するノズル板の吐出面と反対側の面の説明図である。It is explanatory drawing of the surface on the opposite side to the discharge surface of a nozzle plate with which it uses for description of an example of the determination method of whether the liquid repellent material which forms a liquid repellent film is hold | maintained in the state which has fluidity | liquidity. 図10のE−E線に沿う断面説明図である。It is sectional explanatory drawing which follows the EE line | wire of FIG. 図10のF−F線に沿う断面説明図である。It is sectional explanatory drawing in alignment with the FF line of FIG. ノズル板の製造方法の一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of the manufacturing method of a nozzle plate. 実施例及び比較例におけるディンプルランクの説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of the dimple rank in an Example and a comparative example. 実施例及び比較例の説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of an Example and a comparative example. ワイピング耐性の計測に使用するワイパ部材の説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of the wiper member used for measurement of wiping tolerance. ワイピング後のノズル板のインク引け時間の計測方法の一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of the measuring method of the ink drawing time of the nozzle plate after wiping. 本発明の第2実施形態におけるノズル板の断面説明図である。It is a section explanatory view of a nozzle plate in a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第3実施形態におけるノズル板の平面説明図である。It is plane explanatory drawing of the nozzle plate in 3rd Embodiment of this invention. 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of an example of the apparatus which discharges the liquid which concerns on this invention. 同装置の要部側面説明図である。It is principal part side explanatory drawing of the apparatus. 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of the other example of the liquid discharge unit which concerns on this invention. 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。It is front explanatory drawing of the further another example of the liquid discharge unit which concerns on this invention.

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図1ないし図3を参照して説明する。図1は同ヘッドの外観斜視説明図、図2は図1のA―A線に沿うノズル配列方向と直交する方向(液室長手方向)の断面説明図、図3は図1のB−B線に沿うノズル配列方向(液室短手方向)の断面説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. An example of a liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective explanatory view of the head, FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view in a direction (longitudinal direction of the liquid chamber) orthogonal to the nozzle arrangement direction along the line AA in FIG. 1, and FIG. It is sectional explanatory drawing of the nozzle arrangement direction (liquid chamber short direction) in alignment with a line.

この液体吐出ヘッドは、ノズル板1と、流路板2と、壁面部材としての振動板部材3とを積層接合している。そして、振動板部材3を変位させる圧電アクチュエータ11と、共通液室部材としてのフレーム部材20とを備えている。   In this liquid discharge head, a nozzle plate 1, a flow path plate 2, and a vibration plate member 3 as a wall surface member are laminated and joined. And the piezoelectric actuator 11 which displaces the diaphragm member 3 and the frame member 20 as a common liquid chamber member are provided.

ノズル板1、流路板2及び振動板部材3によって、液体を吐出する複数のノズル4が通じる個別流路5を形成している。個別流路5は、ノズル4側を下流側とするとき、下流側からノズル4が通じる個別液室6と、個別液室6に液体を供給する流体抵抗部7と、流体抵抗部7に通じる液導入部8とで構成される。   The nozzle plate 1, the flow channel plate 2, and the vibration plate member 3 form an individual flow channel 5 through which a plurality of nozzles 4 that discharge liquid communicate. When the nozzle 4 side is the downstream side, the individual flow path 5 communicates with the individual liquid chamber 6 through which the nozzle 4 communicates from the downstream side, the fluid resistance portion 7 that supplies liquid to the individual liquid chamber 6, and the fluid resistance portion 7. It is comprised with the liquid introduction part 8. FIG.

そして、フレーム部材20の共通流路としての共通液室10から振動板部材3に形成した導入口部(供給口)9を通じて、個別流路5に液体が導入され、液導入部8、流体抵抗部7を経て個別液室6に液体が供給される。なお、導入口部9にはフィルタが設けられても良い。   Then, the liquid is introduced into the individual flow path 5 from the common liquid chamber 10 as the common flow path of the frame member 20 through the introduction port portion (supply port) 9 formed in the diaphragm member 3, and the liquid introduction portion 8, the fluid resistance The liquid is supplied to the individual liquid chamber 6 through the section 7. Note that a filter may be provided at the inlet 9.

ここで、ノズル板1は、ノズル基材となるSUS基板にプレス加工でノズル4となるノズル孔を形成し、後述するように吐出側面には撥液膜が設けられているものである。   Here, the nozzle plate 1 is formed by forming a nozzle hole that becomes the nozzle 4 by press working on a SUS substrate that becomes a nozzle base material, and a liquid-repellent film is provided on the discharge side surface as described later.

流路板2は、SUS基板をエッチングして、個別液室6、流体抵抗部7、液導入部8などの個別流路5を形成する貫通部(あるいは溝部でもよい。)を形成している。   The flow path plate 2 forms a penetrating part (or a groove part) that forms the individual flow path 5 such as the individual liquid chamber 6, the fluid resistance part 7, and the liquid introduction part 8 by etching the SUS substrate. .

振動板部材3は、流路板2の個別液室6の壁面を形成する壁面部材である。この振動板部材3は3層構造(1層、2層、4層以上でもよい。)としている。そして、流路板2側を1層目とするとき、1層目で個別液室6に対応する部分に変形可能な振動領域(振動板)30を形成している。   The diaphragm member 3 is a wall surface member that forms the wall surface of the individual liquid chamber 6 of the flow path plate 2. The diaphragm member 3 has a three-layer structure (may be one layer, two layers, four layers or more). When the flow path plate 2 side is the first layer, a deformable vibration region (vibration plate) 30 is formed in a portion corresponding to the individual liquid chamber 6 in the first layer.

この振動板部材3は、ニッケル(Ni)の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法(電鋳)で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。   The diaphragm member 3 is formed from a nickel (Ni) metal plate and is manufactured by an electroforming method (electroforming). Not limited to this, other metal members, resin members, laminated members of resin layers and metal layers, and the like can be used.

そして、この振動板部材3の個別液室6とは反対側に、振動板部材3の振動領域30を変形させる駆動手段(アクチュエータ手段、圧力発生手段)としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ11を配置している。   A piezoelectric actuator 11 including an electromechanical conversion element as a driving means (actuator means, pressure generating means) for deforming the vibration region 30 of the diaphragm member 3 on the opposite side of the diaphragm member 3 from the individual liquid chamber 6. Is arranged.

この圧電アクチュエータ11は、ベース部材13上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材12を有し、圧電部材12にはハーフカットダイシングによって溝加工して1つの圧電部材12に対して所要数の柱状の圧電素子(圧電柱)12A、12Bを所定の間隔で櫛歯状に形成している。   The piezoelectric actuator 11 has a plurality of laminated piezoelectric members 12 bonded with adhesive on a base member 13, and the piezoelectric member 12 is grooved by half-cut dicing to have a required number of piezoelectric members 12. Columnar piezoelectric elements (piezoelectric columns) 12A and 12B are formed in a comb shape at predetermined intervals.

圧電部材12の圧電素子12A、12Bは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電素子12Aと、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電素子12Bとしている。   The piezoelectric elements 12A and 12B of the piezoelectric member 12 are the same, but are a piezoelectric element 12A that is driven by giving a drive waveform and a piezoelectric element 12B that is used as a mere support without giving a drive waveform.

そして、圧電素子12Aを振動板部材3の振動領域30に形成した島状の厚肉部である凸部30aに接合している。また、圧電素子12Bを振動板部材3の厚肉部である凸部30bに接合している。   The piezoelectric element 12 </ b> A is joined to a convex portion 30 a that is an island-shaped thick portion formed in the vibration region 30 of the diaphragm member 3. Further, the piezoelectric element 12 </ b> B is joined to the convex portion 30 b which is a thick portion of the diaphragm member 3.

この圧電部材12は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動柱12Aの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有するフレキシブル配線部材としてのFPC15が接続されている。   This piezoelectric member 12 is formed by alternately laminating piezoelectric layers and internal electrodes, and each internal electrode is pulled out to the end face to be provided with an external electrode, and can be used to supply a drive signal to the external electrode of the drive column 12A. An FPC 15 as a flexible wiring member having flexibility is connected.

フレーム部材20は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、ヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室10が形成されている。   The frame member 20 is formed by injection molding using, for example, epoxy resin or polyphenylene sulfite, which is a thermoplastic resin, and a common liquid chamber 10 to which liquid is supplied from a head tank or a liquid cartridge is formed.

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子12Aに印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子12Aが収縮し、振動板部材3の振動領域30が下降して個別液室6の容積が膨張することで、個別液室6内に液体が流入する。   In the liquid discharge head configured as described above, for example, by lowering the voltage applied to the piezoelectric element 12A from the reference potential, the piezoelectric element 12A contracts, and the vibration region 30 of the vibration plate member 3 descends, so that the individual liquid chamber 6 As the volume expands, the liquid flows into the individual liquid chamber 6.

その後、圧電素子12Aに印加する電圧を上げて圧電素子12Aを積層方向に伸長させ、振動板部材3の振動領域30をノズル4方向に変形させて個別液室6の容積を収縮させる。これにより、個別液室6内の液体が加圧され、ノズル4から液体が吐出(噴射)される。   Thereafter, the voltage applied to the piezoelectric element 12A is increased to extend the piezoelectric element 12A in the stacking direction, and the vibration region 30 of the diaphragm member 3 is deformed in the nozzle 4 direction to contract the volume of the individual liquid chamber 6. Thereby, the liquid in the individual liquid chamber 6 is pressurized, and the liquid is ejected (injected) from the nozzle 4.

そして、圧電素子12Aに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材3の振動領域30が初期位置に復元し、個別液室6が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室10から個別液室6内に液体が充填される。そこで、ノズル4のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。   Then, by returning the voltage applied to the piezoelectric element 12A to the reference potential, the vibration region 30 of the diaphragm member 3 is restored to the initial position, and the individual liquid chamber 6 expands to generate a negative pressure. The liquid is filled into the individual liquid chamber 6 from the liquid chamber 10. Therefore, after the vibration of the meniscus surface of the nozzle 4 is attenuated and stabilized, the operation proceeds to the next droplet discharge.

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。   Note that the driving method of the head is not limited to the above example (pulling-pushing), and it is also possible to perform striking or pushing depending on the direction to which the driving waveform is given.

次に、本発明の第1実施形態について図4ないし図8を参照して説明する。図4は同実施形態におけるノズル板の平面説明図、図5は図4のC−C線に沿う拡大断面説明図、図6は同ノズル板のノズル基材の平面説明図、図7は図6のD−D線に沿う拡大断面説明図、図8は同ノズル基材の窪み形成領域の説明に供する平面説明図である。   Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 is an explanatory plan view of the nozzle plate in the same embodiment, FIG. 5 is an enlarged sectional explanatory view taken along the line CC of FIG. 4, FIG. 6 is an explanatory plan view of the nozzle substrate of the nozzle plate, and FIG. 6 is an enlarged cross-sectional explanatory view taken along line DD, and FIG. 8 is an explanatory plan view for explaining a recess formation region of the nozzle base material.

ノズル板1は、液体を吐出するノズル4となる複数のノズル孔41が形成されたノズル基材40を有し、ノズル基材40の吐出面40a側には撥液膜42が形成されている。   The nozzle plate 1 has a nozzle base material 40 in which a plurality of nozzle holes 41 serving as nozzles 4 for discharging liquid are formed, and a liquid repellent film 42 is formed on the discharge surface 40 a side of the nozzle base material 40. .

ノズル基材40は、SUS基板などの金属板を使用し、プレス加工によってノズル孔41を形成して、研磨を行って平坦化している。ノズル孔41の断面形状は特に限定されるものではない。   The nozzle base material 40 uses a metal plate such as a SUS substrate, forms a nozzle hole 41 by pressing, and is flattened by polishing. The cross-sectional shape of the nozzle hole 41 is not particularly limited.

ノズル基材40は、例えば、SUS基板以外でも、Al、Bi、Cr、InSn、ITO、Nb、Nb、NiCr、Si、SiO、Sn、Ta、Ti、W、ZAO(ZnO+Al)、Znやこれらを基材上に成膜したもの使用できる。 For example, the nozzle substrate 40 may be made of Al, Bi, Cr, InSn, ITO, Nb, Nb 2 O 5 , NiCr, Si, SiO 2 , Sn, Ta 2 O 5 , Ti, W, ZAO (other than the SUS substrate). ZnO + Al 2 O 3 ), Zn, or a film formed of these on a substrate can be used.

撥液膜42は、パーフルオロポリエーテル(PFPE)骨格を分子中に有する化合物である撥液材料を使用してノズル基材40の吐出面40aに形成している。   The liquid repellent film 42 is formed on the discharge surface 40 a of the nozzle substrate 40 using a liquid repellent material that is a compound having a perfluoropolyether (PFPE) skeleton in the molecule.

ここで、ノズル基材40の吐出面40aには複数の窪み(以下「ディンプル」という。)43が形成されている。なお、各図では説明を簡単にするためにディンプル43の配置を単純化して示しているが、複数のノズル4が配列されたノズル列の周囲には多数のディンプル43が形成配置される。   Here, a plurality of depressions (hereinafter referred to as “dimples”) 43 are formed in the discharge surface 40 a of the nozzle base material 40. In each figure, the arrangement of the dimples 43 is shown in a simplified manner for the sake of simplicity, but a large number of dimples 43 are formed and arranged around the nozzle row in which the plurality of nozzles 4 are arranged.

ディンプル43はノズル孔41の孔径よりも大きくしている。また、ディンプル43の壁面は曲面形状とすることが好ましい。また、ディンプル43は、図8に示すように、ノズル孔41の周囲の領域40bを除く領域40cに形成されている。具体的には、ディンプル43はノズル孔41の中心から少なくとも150μm離れた位置に形成されている。また、ディンプル43の形成によるノズル基材40の表面粗さRaは0.1μm以下としている。   The dimple 43 is larger than the hole diameter of the nozzle hole 41. The wall surface of the dimple 43 is preferably curved. Further, as shown in FIG. 8, the dimple 43 is formed in a region 40 c excluding the region 40 b around the nozzle hole 41. Specifically, the dimple 43 is formed at a position at least 150 μm away from the center of the nozzle hole 41. Further, the surface roughness Ra of the nozzle base material 40 due to the formation of the dimples 43 is set to 0.1 μm or less.

このノズル基材40の吐出面40aにパーフルオロポリエーテル(PFPE)骨格を分子中に有する化合物である撥液材料のような流動性を有する撥液材料を塗布して撥液膜42を形成する。   A liquid repellent material such as a liquid repellent material, which is a compound having a perfluoropolyether (PFPE) skeleton in its molecule, is applied to the discharge surface 40a of the nozzle substrate 40 to form a liquid repellent film 42. .

このとき、ディンプル43の内部において撥液膜42を形成する撥液材料が流動性を持った状態で保持される。   At this time, the liquid repellent material forming the liquid repellent film 42 is held in the dimple 43 in a fluid state.

つまり、ディンプル43の内部において、撥液膜42の分子は、ノズル基材40との界面側ではノズル基材40と結合しているが、ノズル基材40との界面以外に位置する(撥液膜42の表面側、撥液膜42の表面とノズル基材40との界面との間)分子は遊離状態にある。なお、「ノズル基材40との界面」とは、後述の実施形態で説明するように、ノズル基材40が下地層を含むときには、下地層との界面の意味である。   That is, in the dimple 43, the molecules of the liquid repellent film 42 are bonded to the nozzle base 40 on the interface side with the nozzle base 40, but are located outside the interface with the nozzle base 40 (liquid repellent). The molecules are in a free state (on the surface side of the film 42, between the surface of the liquid repellent film 42 and the interface between the nozzle substrate 40). The “interface with the nozzle base material 40” means the interface with the base layer when the nozzle base material 40 includes a base layer, as will be described in the following embodiments.

次に、本実施形態の作用について図9も参照して説明する。図9は同説明に供する断面説明図である。   Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a cross-sectional explanatory view for explaining the same.

この液体吐出ヘッドを使用する液体を吐出する装置では、液体吐出ヘッドの性能を維持、回復するため、弾性部材からなる払拭部材であるワイパ部材483によってノズル面(ここでは、撥液膜42の表面となる)を払拭するワイピング動作が行われる。   In this apparatus for ejecting liquid using the liquid ejection head, in order to maintain and recover the performance of the liquid ejection head, a wiper member 483, which is a wiping member made of an elastic member, is used for the nozzle surface (here, the surface of the liquid repellent film 42). A wiping operation for wiping off is performed.

このとき、図9に示すように、ワイパ部材483がディンプル43内に入り込むことで、ディンプル43の内部で流動性を持って保持されている撥液膜42の撥液材料が掻き出される。   At this time, as shown in FIG. 9, the wiper member 483 enters the dimple 43, so that the liquid repellent material of the liquid repellent film 42 held with fluidity inside the dimple 43 is scraped out.

したがって、ノズル4周囲の撥液膜42がワイピング動作で薄くなり、あるいは、剥離した場合でも、ディンプル43から掻き出される撥液材料がノズル4の周囲に移動して、撥液膜42を回復する。   Therefore, even when the liquid repellent film 42 around the nozzle 4 is thinned or peeled off by the wiping operation, the liquid repellent material scraped out from the dimple 43 moves around the nozzle 4 to recover the liquid repellent film 42. .

これによって、ワイピング動作に伴う経時的な撥液膜の撥液性の低下を抑制し、長期にわたって撥液性を維持することができる。   As a result, it is possible to suppress a decrease in the liquid repellency of the liquid repellent film over time associated with the wiping operation and maintain the liquid repellency over a long period of time.

ここで、ノズル板1の表面に撥液膜42を形成する撥液材料が流動性を有する状態で保持されているか否かの判定(判別)方法について図10ないし図12を参照して説明する。図10は同説明に供するノズル板の吐出面と反対側の面の説明図、図11は図10のE−E線に沿う断面説明図、図12は図10のF−F線に沿う断面説明図である。   Here, a method of determining (discriminating) whether or not the liquid repellent material that forms the liquid repellent film 42 on the surface of the nozzle plate 1 is held in a fluid state will be described with reference to FIGS. . 10 is an explanatory view of the surface opposite to the discharge surface of the nozzle plate used for the same description, FIG. 11 is a cross-sectional explanatory view taken along line EE in FIG. 10, and FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. It is explanatory drawing.

まず、ノズル板1を加熱しない状態で、ノズル板1の吐出面40aと反対面40b側にフェルトペンでノズル孔41を横切ってライン500を引く。このとき、吐出面40a側には撥液膜42が形成されているが、この時点では、撥液膜40は吐出面40aと反対面40bには移動して付着していないため、図10及び図11に示すように、ノズル孔41の周辺にもライン500を引くことができる。   First, in a state where the nozzle plate 1 is not heated, a line 500 is drawn across the nozzle hole 41 with a felt pen on the surface 40b opposite to the discharge surface 40a of the nozzle plate 1. At this time, the liquid-repellent film 42 is formed on the ejection surface 40a side, but at this point, the liquid-repellent film 40 does not move and adhere to the surface 40b opposite to the ejection surface 40a. As shown in FIG. 11, the line 500 can also be drawn around the nozzle hole 41.

次に、ノズル板1を120℃で1時間加熱する。このとき、撥液膜42の撥液材料が流動性を有する状態である場合には、図12(a)に示すように、加熱により、吐出面40aの撥液材料がノズル孔41内部に移動して、反対面40b側にも一部撥液材料が付着する。   Next, the nozzle plate 1 is heated at 120 ° C. for 1 hour. At this time, if the liquid repellent material of the liquid repellent film 42 is in a fluid state, the liquid repellent material on the discharge surface 40a moves into the nozzle hole 41 by heating as shown in FIG. As a result, part of the liquid repellent material also adheres to the opposite surface 40b side.

そこで、加熱後のノズル板1に対して、吐出面40aと反対面40bに、フェルトペンでノズル孔41を横切ってライン501を引くと、図10及び図12(b)に示すように、ライン501はノズル孔41付近には引かれない状態になる。つまり、撥液材料が流動して、吐出面40aと反対面40bのノズル孔41付近に付着することで、インクがはじかれてこの領域502ではライン501が途切れる状態になる。   Therefore, when the line 501 is drawn across the nozzle hole 41 with a felt pen on the surface 40b opposite to the discharge surface 40a with respect to the heated nozzle plate 1, as shown in FIG. 10 and FIG. 501 is not pulled near the nozzle hole 41. That is, the liquid repellent material flows and adheres to the vicinity of the nozzle hole 41 on the opposite surface 40b to the discharge surface 40a, whereby the ink is repelled and the line 501 is interrupted in this region 502.

以上の方法で、撥液材料が流動性を有しているか判別することができる。   With the above method, it is possible to determine whether the liquid repellent material has fluidity.

次に、ノズル板の製造方法の一例について図13を参照して説明する。図13は同方法の一例を説明する説明図である。   Next, an example of a nozzle plate manufacturing method will be described with reference to FIG. FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining an example of the method.

ここでは、上流工程、前処理工程、撥液膜の成膜工程、後処理工程、下流工程を行っている。また、以下では、ノズル基材40として、ステンレス板を例に説明するが、これに限られるものではない。   Here, an upstream process, a pretreatment process, a liquid repellent film forming process, a post-treatment process, and a downstream process are performed. In the following, a stainless steel plate will be described as an example of the nozzle base material 40, but the present invention is not limited to this.

−上流工程−
上流工程とは、ノズル基材40の表面、すなわち、液体を吐出する面である吐出面を研磨する工程である。
-Upstream process-
The upstream process is a process of polishing the surface of the nozzle base material 40, that is, a discharge surface that is a surface for discharging a liquid.

ノズル孔41を形成したノズル基材40の表面(吐出面40a側の面)の研磨方法としては、例えば、超精密揺動型片面ポリンシングマシン(CMP研磨装置)にて、ポリウレタンパッドを用いてノズル基材40の表面を研磨する方法がある。研磨は、ポリウレタンパッドを1〜20rpmで回転させ、ノズル基材40の表面の表面粗さRaが0.1μm以下になるまで研磨することが好ましい。   As a polishing method of the surface (surface on the discharge surface 40a side) of the nozzle base material 40 in which the nozzle holes 41 are formed, for example, a polyurethane pad is used in an ultra-precise swing type single-side polishing machine (CMP polishing apparatus). There is a method of polishing the surface of the nozzle substrate 40. Polishing is preferably performed by rotating the polyurethane pad at 1 to 20 rpm until the surface roughness Ra of the surface of the nozzle substrate 40 becomes 0.1 μm or less.

ノズル基材40の吐出面の表面粗さRaは、JIS 0601に従って測定することが可能であり、例えば触針式表面形状測定装置Dektak150(アルバック社製)を用いて測定することができる。   The surface roughness Ra of the discharge surface of the nozzle substrate 40 can be measured according to JIS 0601. For example, the surface roughness Ra can be measured using a stylus type surface shape measuring device Dektak 150 (manufactured by ULVAC).

表面粗さRaを調整するためには、例えば、ポリウレタンパッドでノズル基材40の表面を押さえる際の圧力、ポリウレタンパッドを回転させる際の回転速度(rpm:1分間に回転させる回数)、研磨液の流量、研磨時間等を変えることにより調整することが可能である。   In order to adjust the surface roughness Ra, for example, pressure when pressing the surface of the nozzle substrate 40 with a polyurethane pad, rotation speed when rotating the polyurethane pad (rpm: number of rotations per minute), polishing liquid It is possible to adjust by changing the flow rate, polishing time and the like.

このノズル基材40の吐出面を研磨する研磨工程を行うときにディンプル43を形成する。   The dimple 43 is formed when a polishing process for polishing the discharge surface of the nozzle substrate 40 is performed.

−前処理工程−
前処理工程とは、表面を研磨したノズル基材40の処理であり、超音波洗浄する工程である。超音波以外にもスクラブ洗浄・シャワー洗浄(高圧スプレー洗浄・超音波シャワー洗浄)・浸漬洗浄(流水洗浄・噴流洗浄・バブリング洗浄)・蒸気洗浄などのウェット洗浄を行うことも可能である。
-Pretreatment process-
A pre-processing process is a process of the nozzle base material 40 which grind | polished the surface, and is a process of ultrasonically cleaning. In addition to ultrasonic cleaning, wet cleaning such as scrub cleaning, shower cleaning (high pressure spray cleaning, ultrasonic shower cleaning), immersion cleaning (running water cleaning, jet cleaning, bubbling cleaning), and steam cleaning can also be performed.

−撥液膜の成膜工程−
撥液膜42の成膜工程は次のとおりである。
-Film formation process of liquid repellent film-
The film forming process of the liquid repellent film 42 is as follows.

まず、撥液膜42を形成するための、PFPEを有するディップ液を調整する。   First, a dip solution having PFPE for forming the liquid repellent film 42 is adjusted.

前記の前処理を行った後のノズル基材40の表面、すなわち、液滴の吐出面をプラズマ処理する。プラズマ処理以外にも真空洗浄(イオンビーム洗浄)・常圧洗浄(UVオゾン洗浄・アイススクラバ洗浄・レーザ洗浄)などのドライ洗浄を行うことも可能である。   Plasma treatment is performed on the surface of the nozzle substrate 40 after the pre-treatment, that is, the droplet ejection surface. In addition to the plasma treatment, it is also possible to perform dry cleaning such as vacuum cleaning (ion beam cleaning) and normal pressure cleaning (UV ozone cleaning, ice scrubber cleaning, laser cleaning).

その後、ノズル基材40に、調整したディップ液をディッピング法にて塗布する。常温(約25度)に放置した後、加熱し、余剰パーフルオロポリエーテルを除去するための超音波洗浄を行う。超音波洗浄を行うことで、余剰のPFPEが除去され、撥液膜42の膜厚が単分子層レベルに整えられて好ましい。   Thereafter, the adjusted dipping liquid is applied to the nozzle substrate 40 by a dipping method. After being left at room temperature (about 25 degrees), it is heated and subjected to ultrasonic cleaning for removing excess perfluoropolyether. By performing ultrasonic cleaning, excess PFPE is removed, and the thickness of the liquid repellent film 42 is preferably adjusted to a monomolecular layer level.

撥液膜42のディップ液としては、パーフルオロポリエーテル誘導体をフッ素系溶媒に1重量%以下に希釈したものを用いることができる。パーフルオロポリエーテル誘導体は、末端に極性基を有しているものが好ましい。ここでいう極性基は、−OH、C=O、−COOH、−NH、−NO、−NH 、−CNなどが挙げられる。 As the dip liquid for the liquid repellent film 42, a solution obtained by diluting a perfluoropolyether derivative to 1 wt% or less in a fluorine-based solvent can be used. The perfluoropolyether derivative preferably has a polar group at the terminal. Examples of the polar group herein include —OH, C═O, —COOH, —NH 2 , —NO 2 , —NH 3 + , —CN, and the like.

この極性基が、ノズル基材、若しくはノズル基材上の下地層と結合する。   This polar group is bonded to the nozzle substrate or the base layer on the nozzle substrate.

フッ素系溶媒としては、ノベック(住友3M社製)、バートレル(Dupont社製)、ガルデン(ソルベイソレクシス社製)などのハイドロフルオロエーテルが挙げられる。   Examples of the fluorine-based solvent include hydrofluoroethers such as Novec (manufactured by Sumitomo 3M), Bertrell (manufactured by Dupont), and Galden (manufactured by Solvay Solexis).

さらに、ノズル基材40の吐出面を、酸素プラズマ処理を実施する。   Further, the discharge surface of the nozzle substrate 40 is subjected to oxygen plasma treatment.

撥液膜42の成膜は、例えば溶液中にノズル基材40を浸漬し、引き上げ、続いて常温環境下で自然乾燥し、さらに加熱処理し定着する方法が挙げられる。加熱温度や加熱時間は目的に応じて変更することができる。   For example, the liquid repellent film 42 may be formed by immersing the nozzle substrate 40 in a solution, pulling it up, and then naturally drying it in a room temperature environment, followed by heat treatment and fixing. The heating temperature and the heating time can be changed according to the purpose.

−後処理工程−
後処理工程は次のとおりである。撥液膜42の表面を保護するため、ラミネート材で吐出面を覆い(ラミネート加工を行い)、ノズル基材40の裏面、すなわち吐出面と反対側の面をプラズマ処理する。
-Post-treatment process-
The post-treatment process is as follows. In order to protect the surface of the liquid repellent film 42, the discharge surface is covered with a laminate material (lamination is performed), and the back surface of the nozzle substrate 40, that is, the surface opposite to the discharge surface is subjected to plasma treatment.

−下流工程−
下流工程は必要に応じて行われる工程であり、下流工程はノズル板1と液室を構成する部材等とを接着し、加熱により接着力を強める工程である。
-Downstream process-
A downstream process is a process performed as needed, and a downstream process is a process which adhere | attaches the nozzle plate 1 and the member which comprises a liquid chamber, etc., and strengthens the adhesive force by heating.

上記の後処理工程で得られたノズル板1は下流工程の接着工程にて、流路板と低温硬化型エポキシ系接着剤等を用いて接着する。接着状態を長期に維持するためには加熱・圧着して接着するのが好ましい。   The nozzle plate 1 obtained in the post-processing step is bonded using a flow path plate and a low-temperature curable epoxy adhesive or the like in a downstream bonding step. In order to maintain the adhesive state for a long period of time, it is preferable to bond by heating and pressure bonding.

次に、ノズル板を構成するノズル基材の製造方法の詳細について説明する。   Next, the detail of the manufacturing method of the nozzle base material which comprises a nozzle plate is demonstrated.

ノズル基材40の吐出面側表面は、例えば、超精密揺動型片面ポリンシングマシン(CMP研磨装置)にて、ポリウレタンパッドを用いて研磨する。研磨を行うとき、5〜20kPaの圧力で押えながら研磨することが好ましい。また、研磨を行うときには、研磨剤スラリーを純水で希釈したものに、例えばアルミナなどの粒子を少量添加することで作製した研磨液とともに研磨することが好ましい。   The discharge surface side surface of the nozzle base material 40 is polished using a polyurethane pad by, for example, an ultraprecision swing type single-side polishing machine (CMP polishing apparatus). When polishing, it is preferable to polish while pressing with a pressure of 5 to 20 kPa. Further, when polishing is performed, it is preferable to perform polishing together with a polishing liquid prepared by adding a small amount of particles such as alumina to a slurry obtained by diluting an abrasive slurry with pure water.

研磨は、ポリウレタンパッドを1〜20rpmで回転させ、ノズル基材40の表面粗さRaが0.1μm以下になるまで研磨することが好ましい。このような研磨を行うことで、研磨後のノズル基材40の研磨面には無数の窪み(ディンプル)43を形成することができる。   Polishing is preferably performed by rotating the polyurethane pad at 1 to 20 rpm until the surface roughness Ra of the nozzle substrate 40 becomes 0.1 μm or less. By performing such polishing, innumerable dimples 43 can be formed on the polished surface of the nozzle substrate 40 after polishing.

ここで、ディンプル43は、例えば、直径80〜120μm、深さ2〜4μmの窪みとなる。ディンプル43は内壁面がなだらかな傾斜を有することが好ましい。形成するディンプル43の数は、研磨液に混入する粒子の混入量や、研磨時間により制御することができる。   Here, the dimple 43 is a recess having a diameter of 80 to 120 μm and a depth of 2 to 4 μm, for example. It is preferable that the dimple 43 has a gentle slope on the inner wall surface. The number of dimples 43 to be formed can be controlled by the amount of particles mixed in the polishing liquid and the polishing time.

添加する粒子は、平均粒径が90〜250μm程度のものが好ましい。例えば、アルミナ粒子や炭化珪素粒子やジルコン粒子などのセラミックス系研磨剤を使用できる。   The particles to be added preferably have an average particle size of about 90 to 250 μm. For example, ceramic abrasives such as alumina particles, silicon carbide particles, and zircon particles can be used.

表面粗さRaは、前述したように、JIS0601に従って測定することが可能であり、例えば触針式表面形状測定装置を用いて測定できる。   As described above, the surface roughness Ra can be measured according to JIS0601, and can be measured using, for example, a stylus type surface shape measuring apparatus.

次に、具体的な実施例及び比較例におけるワイピング耐性について図14及び図15も参照して説明する。図14はディンプルランクの説明に供する説明図、図15は実施例及び比較例の説明に供する説明図である。   Next, the wiping resistance in specific examples and comparative examples will be described with reference to FIGS. FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining the dimple rank, and FIG. 15 is an explanatory diagram for explaining examples and comparative examples.

まず、ノズル基材40に形成されるディンプル43の数に応じてノズル板1をランク分けした。ここでは、金属顕微鏡により暗視野においてノズル基材40の表面を観察し、ハイライトされる微小凹部の個数をカウントする。このとき、ディンプル43の大きさは80〜120μmであるので、ノズル孔41や傷との差は容易に判別できる。   First, the nozzle plates 1 were ranked according to the number of dimples 43 formed on the nozzle substrate 40. Here, the surface of the nozzle substrate 40 is observed in a dark field with a metal microscope, and the number of minute concave portions to be highlighted is counted. At this time, since the size of the dimple 43 is 80 to 120 μm, the difference from the nozzle hole 41 and scratches can be easily determined.

そして、図14に示すように、特定長さにおけるノズル孔の数であるノズル孔密度(a)と、ノズル列から150μm〜10mmの範囲にあるすべてのディンプル43をノズル列方向へ投影したときのノズル列方向の特定長さにおけるディンプルの数であるディンプル密度(b)の大小関係から、次のランク(ディンプルランク)0〜5までの6段階にランク付けした。   And as shown in FIG. 14, when the nozzle hole density (a) which is the number of nozzle holes in a specific length and all the dimples 43 in the range of 150 μm to 10 mm from the nozzle row are projected in the nozzle row direction Based on the magnitude relationship of the dimple density (b), which is the number of dimples in a specific length in the nozzle row direction, the following ranks (dimple ranks) 0 to 5 were ranked.

ランク0:(b)=0
ランク1:0<b<2a
ランク2:2a<b<2.5a
ランク3:2.5a<b<3.3a
ランク4:3.3a<b<5a
ランク5:b>5a
Rank 0: (b) = 0
Rank 1: 0 <b <2a
Rank 2: 2a <b <2.5a
Rank 3: 2.5a <b <3.3a
Rank 4: 3.3a <b <5a
Rank 5: b> 5a

図14の例では、(a)=8、(b)=14であるので、ランク1となる。   In the example of FIG. 14, since (a) = 8 and (b) = 14, the rank is 1.

ここで、図15に示すように、ノズル基材40の表面を研磨するときの研磨液に含まれるアルミナ粒子の含有率を変化させて実施例1〜3及び比較例1〜3のノズル基材40を得た。アルミナ粒子の粒子径は90〜250μmとした。   Here, as shown in FIG. 15, the nozzle base materials of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were changed by changing the content of alumina particles contained in the polishing liquid when polishing the surface of the nozzle base material 40. 40 was obtained. The particle diameter of the alumina particles was 90 to 250 μm.

このとき、実施例1〜3及び比較例1〜3におけるディンプル43以外の平坦部の表面粗さRa、ディンプル43の有無、ディンプルランクは、それぞれ図15に示すとおりであった。   At this time, the surface roughness Ra of the flat portion other than the dimple 43, the presence / absence of the dimple 43, and the dimple rank in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were as shown in FIG.

これらの実施例1、2、3から、表面研磨に用いる研磨液中のアルミナ粒子の含有率を高くするほど、ディンプルランクが上昇し、ディンプル数が増えることが分かる。   From Examples 1, 2, and 3 it can be seen that the dimple rank increases and the number of dimples increases as the content of alumina particles in the polishing liquid used for surface polishing increases.

また、比較例2、3のアルミナ粒子の含有量は、実施例2と同じであるが、ディンプルは形成されていない。これは、比較例2、3では、実施例2よりも研磨時間が短いために、ノズル基材の表面が十分に平坦化されておらず、単に表面が粗い状態(粗面)となるだけで、ディンプルが形成されない。   The contents of alumina particles in Comparative Examples 2 and 3 are the same as in Example 2, but no dimples are formed. In Comparative Examples 2 and 3, since the polishing time is shorter than that in Example 2, the surface of the nozzle base material is not sufficiently flattened, and the surface is simply rough (rough surface). Dimples are not formed.

また、図13では明確に示していないが、研磨面の表面粗さRaが0.1より大きい場合には、直径80〜120μm、深さ2〜4μmの窪み状のディンプルは形成されないことが確認された。そのため、ディンプル43は、研磨面の表面粗さRaが0、1μm以下であるときに形成される。   Further, although not clearly shown in FIG. 13, when the surface roughness Ra of the polished surface is larger than 0.1, it is confirmed that a hollow dimple having a diameter of 80 to 120 μm and a depth of 2 to 4 μm is not formed. It was done. Therefore, the dimple 43 is formed when the surface roughness Ra of the polished surface is 0 or 1 μm or less.

そして、ワイピング耐久寿命を、インク引け時間が50sec以上になるまで擦ったワイピング回数で評価した。ワイピング回数が多くなるほどワイピング耐久寿命が長いことを意味している。評価結果(ワイピング回数)を図15に示している。   Then, the wiping durability life was evaluated by the number of wiping rubbed until the ink draw-out time was 50 sec or more. This means that the longer the wiping frequency is, the longer the wiping durability life is. The evaluation results (number of wiping operations) are shown in FIG.

この図15の評価結果から分かるように、比較例1〜3ではワイピング回数が2000回以下でインク引け時間が50sec以上になる。これに対して、実施例1〜3ではワイピング回数が2000回を超えてもインク引け時間が50sec以上にならず、ワイピング耐久寿命が長くなっている。   As can be seen from the evaluation results in FIG. 15, in Comparative Examples 1 to 3, the number of wipings is 2000 times or less, and the ink withdrawal time is 50 seconds or more. On the other hand, in Examples 1 to 3, even if the number of wipings exceeds 2000, the ink draw-out time does not become 50 seconds or more, and the wiping durability life is long.

ここで、インク引け時間が50secになるまでのワイピング回数の測定方法について図16も参照して説明する。図16はワイパ部材の説明に供する説明図である。   Here, a method of measuring the number of times of wiping until the ink closing time reaches 50 sec will be described with reference to FIG. FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining the wiper member.

まず、厚さ1.2mm、幅30mmのEPDM(エチレンプロピレンゴム)ゴムブレードを、図16に示すように、長さ20mmのうち7mmだけ自由に撓む状態で、固定治具602により一端を固定して、ワイパ部材601とした。   First, an EPDM (ethylene propylene rubber) rubber blade having a thickness of 1.2 mm and a width of 30 mm is fixed at one end by a fixing jig 602 in a state where it is freely bent by 7 mm out of a length of 20 mm as shown in FIG. Thus, the wiper member 601 was obtained.

そして、ワイパ部材601がノズル板1の吐出面に2mm(/7mm)干渉する状態で撓ませながら100mm/secの速さで吐出面をワイピングした。なお、「2mm(/7mm)干渉する状態」とは、図16に示すように、ワイパ部材601のうち、撓む部分の長さが7mmのとき、ノズル板1の吐出面に触れる部分の長さが2mmである状態を表す。   Then, the wiper member 601 was wiped at a speed of 100 mm / sec while being bent in a state where the wiper member 601 interfered with the discharge surface of the nozzle plate 1 by 2 mm (/ 7 mm). In addition, as shown in FIG. 16, the “2 mm (/ 7 mm) interference state” means the length of the portion of the wiper member 601 that touches the discharge surface of the nozzle plate 1 when the length of the flexing portion is 7 mm. Represents a state of 2 mm.

このとき、ワイパ部材601は、吐出面に接触する位置まで下降させ、吐出面を払拭後、吐出面から上昇離間させ、払拭開始位置に戻し、再度、吐出面に接触する位置まで下降させる動作を繰り返した。   At this time, the wiper member 601 is lowered to a position in contact with the discharge surface, and after wiping the discharge surface, lifted and separated from the discharge surface, returned to the wiping start position, and lowered again to a position in contact with the discharge surface. Repeated.

次に、ワイピング後のノズル板1のインク引け時間の計測方法について図17を参照して説明する。   Next, a method for measuring the ink drawing time of the nozzle plate 1 after wiping will be described with reference to FIG.

図17(a)、(b)に示すように、ノズル板1の半分をインク610に浸し、同図(c)に示すように100mm/secの速さで引き上げる。この引き上げた直後(t=0)から、同図(d)に示すようにインク610が吐出面から引き、同図(e)に示すように、吐出面を覆うインク610がt=0時点の1割の面積になるまでに要する時間を計測し、これをインク引け時間とした。   As shown in FIGS. 17 (a) and 17 (b), half of the nozzle plate 1 is immersed in the ink 610 and pulled up at a speed of 100 mm / sec as shown in FIG. 17 (c). Immediately after the pulling up (t = 0), the ink 610 is drawn from the ejection surface as shown in FIG. 4D, and the ink 610 covering the ejection surface is at the time t = 0 as shown in FIG. The time required to reach 10% of the area was measured, and this was defined as ink drawing time.

このように、インク引け時間の測定は、ワイピング後のノズル板1を用いて測定する。そして、前述したように、インク引け時間が50秒となるノズル板1を得るために必要なワイピング回数を測定した。   As described above, the ink removal time is measured using the nozzle plate 1 after wiping. As described above, the number of times of wiping necessary to obtain the nozzle plate 1 with an ink drawing time of 50 seconds was measured.

ここで、インク引け時間の測定に用いたインクの組成は次のとおりである。   Here, the composition of the ink used for the measurement of the ink closing time is as follows.

下記処方の組成物を60℃で撹拌溶解し、室温にて放冷後、pHが9〜10になるように水酸化リチウム10%水溶液にて調整し、これを0.22μmのポリテトラフルオロエチレンフィルタにて濾過しインク610を作製した。   The composition having the following formulation was stirred and dissolved at 60 ° C., allowed to cool at room temperature, and then adjusted with a 10% aqueous solution of lithium hydroxide so that the pH would be 9-10. The ink 610 was produced by filtering through a filter.

(インク610)
C.I.ダイレクトブラック168 3質量%
2−ピロリドン 3質量%
ジエチレングリコール 4質量%
グリセリン 1質量%
アルキルエーテルカルボン酸塩系界面活性剤 ECTD−3NEX 0.1質量%(日本サーファクタント工業化学製界面活性剤)
ノニポール400(三洋化成製界面活性剤) 0.5質量%
サンアイバックP−100(三愛石油製防腐防黴剤) 0.4質量%
イオン交換水 残量
(Ink 610)
C. I. Direct Black 168 3% by mass
2-pyrrolidone 3% by mass
Diethylene glycol 4% by mass
Glycerin 1% by mass
Alkyl ether carboxylate surfactant ECTD-3NEX 0.1% by mass (surfactant manufactured by Nippon Surfactant Kogyo Kagaku)
Nonipol 400 (Sanyo Kasei surfactant) 0.5% by mass
Sun eye bag P-100 (San-ai Petroleum antiseptic and fungicide) 0.4% by mass
Ion exchange water

このインク610の静的表面張力は、25.1mN/m であった。   The static surface tension of this ink 610 was 25.1 mN / m 2.

次に、本発明の第2実施形態について図18を参照して説明する。図18は同実施形態におけるノズル板の断面説明図である。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 18 is a cross-sectional explanatory view of the nozzle plate in the same embodiment.

本実施形態では、ノズル基材40は、基材51と、基材51の表面に形成した下地膜(下地層)52によって構成している。下地膜52は基材51と撥液膜42との結合力を高める膜であり、例えばSiO膜などを使用できる。前述したノズル基材の界面は、本実施形態では下地膜52と撥液膜42との界面に相当する。 In the present embodiment, the nozzle base material 40 is configured by a base material 51 and a base film (base layer) 52 formed on the surface of the base material 51. The base film 52 is a film that enhances the bonding force between the base material 51 and the liquid repellent film 42, and for example, a SiO 2 film can be used. The interface of the nozzle substrate described above corresponds to the interface between the base film 52 and the liquid repellent film 42 in this embodiment.

次に、本発明の第3実施形態について図19を参照して説明する。図19は同実施形態におけるノズル板の平面説明図である。   Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 19 is an explanatory plan view of the nozzle plate in the same embodiment.

本実施形態では、ノズル基材40には、複数のノズル孔41が配列されたノズル孔列41A1、41B1と、ノズル孔列41A2、41B2の合計4つのノズル列が形成されている。なお、図を簡略化するため、ノズル孔列は線で図示している。この構成では、ノズル孔列に対応してノズル板には4列のノズル列が配置されることになる。   In the present embodiment, the nozzle base 40 is formed with a total of four nozzle rows including nozzle hole rows 41A1 and 41B1 in which a plurality of nozzle holes 41 are arranged, and nozzle hole rows 41A2 and 41B2. In order to simplify the drawing, the nozzle hole rows are shown by lines. In this configuration, four nozzle rows are arranged on the nozzle plate corresponding to the nozzle hole rows.

ここで、ノズル孔列41B1とノズル列41A2との間は,ノズル孔列41A1、41B1間、ノズル列41A2、41B2間の間隔よりも広く形成されている。   Here, the space between the nozzle hole row 41B1 and the nozzle row 41A2 is formed wider than the space between the nozzle hole rows 41A1 and 41B1 and between the nozzle rows 41A2 and 41B2.

そして、本実施形態では、ノズル孔列41B1とノズル列41A2との間にもディンプル43が形成されている。   In the present embodiment, the dimples 43 are also formed between the nozzle hole row 41B1 and the nozzle row 41A2.

これにより、ノズル孔列41B1とノズル孔列41A2との間のディンプル43に保持される撥液材料が、ノズル孔列41B1側又はノズル孔列41A側(ワイピング方向による)にノズル4の周囲に供給される。   Thereby, the liquid repellent material held in the dimple 43 between the nozzle hole row 41B1 and the nozzle hole row 41A2 is supplied to the periphery of the nozzle 4 on the nozzle hole row 41B1 side or the nozzle hole row 41A side (depending on the wiping direction). Is done.

このように、複数のノズル列(ノズル孔列)の間にもディンプルを形成することで、よりノズルに近い場所からノズルの周囲に撥液材料を補充することができ、より長期にわたって撥液性を維持することができる。   In this way, by forming dimples between a plurality of nozzle rows (nozzle hole rows), liquid repellent material can be replenished around the nozzles from a location closer to the nozzles, and the liquid repellency can be maintained over a longer period of time. Can be maintained.

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図20及び図21を参照して説明する。図20は同装置の要部平面説明図、図21は同装置の要部側面説明図である。   Next, an example of an apparatus for ejecting liquid according to the present invention will be described with reference to FIGS. 20 is an explanatory plan view of the main part of the apparatus, and FIG. 21 is an explanatory side view of the main part of the apparatus.

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構493によって、キャリッジ403は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構493は、ガイド部材401、主走査モータ405、タイミングベルト408等を含む。ガイド部材401は、左右の側板491A、491Bに架け渡されてキャリッジ403を移動可能に保持している。そして、主走査モータ405によって、駆動プーリ406と従動プーリ407間に架け渡したタイミングベルト408を介して、キャリッジ403は主走査方向に往復移動される。   This apparatus is a serial type apparatus, and the carriage 403 reciprocates in the main scanning direction by the main scanning moving mechanism 493. The main scanning movement mechanism 493 includes a guide member 401, a main scanning motor 405, a timing belt 408, and the like. The guide member 401 spans the left and right side plates 491A and 491B and holds the carriage 403 so as to be movable. The carriage 403 is reciprocated in the main scanning direction by the main scanning motor 405 via the timing belt 408 spanned between the driving pulley 406 and the driven pulley 407.

このキャリッジ403には、本発明に係るノズル板を含む本発明に係る液体吐出ヘッド404及びヘッドタンク441を一体にした液体吐出ユニット440を搭載している。   The carriage 403 is equipped with a liquid discharge unit 440 in which a liquid discharge head 404 and a head tank 441 according to the present invention including a nozzle plate according to the present invention are integrated.

液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。   The liquid discharge head 404 of the liquid discharge unit 440 discharges, for example, yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K) liquids. The liquid ejection head 404 is mounted with a nozzle row composed of a plurality of nozzles arranged in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and the ejection direction facing downward.

液体吐出ヘッド404の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド404に供給するための供給機構494により、ヘッドタンク441には、液体カートリッジ450に貯留されている液体が供給される。   The liquid stored in the liquid cartridge 450 is supplied to the head tank 441 by the supply mechanism 494 for supplying the liquid stored outside the liquid discharge head 404 to the liquid discharge head 404.

供給機構494は、液体カートリッジ450を装着する充填部であるカートリッジホルダ451、チューブ456、送液ポンプを含む送液ユニット452等で構成される。液体カートリッジ450はカートリッジホルダ451に着脱可能に装着される。ヘッドタンク441には、チューブ456を介して送液ユニット452によって、液体カートリッジ450から液体が送液される。   The supply mechanism 494 includes a cartridge holder 451 that is a filling unit for mounting the liquid cartridge 450, a tube 456, a liquid feeding unit 452 including a liquid feeding pump, and the like. The liquid cartridge 450 is detachably attached to the cartridge holder 451. Liquid is fed from the liquid cartridge 450 to the head tank 441 by the liquid feeding unit 452 via the tube 456.

この装置は、用紙410を搬送するための搬送機構495を備えている。搬送機構495は、搬送手段である搬送ベルト412、搬送ベルト412を駆動するための副走査モータ416を含む。   This apparatus includes a transport mechanism 495 for transporting the paper 410. The transport mechanism 495 includes a transport belt 412 serving as transport means, and a sub-scanning motor 416 for driving the transport belt 412.

搬送ベルト412は用紙410を吸着して液体吐出ヘッド404に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト412は、無端状ベルトであり、搬送ローラ413と、テンションローラ414との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。   The conveyance belt 412 adsorbs the paper 410 and conveys it at a position facing the liquid ejection head 404. The transport belt 412 is an endless belt and is stretched between the transport roller 413 and the tension roller 414. The adsorption can be performed by electrostatic adsorption or air suction.

そして、搬送ベルト412は、副走査モータ416によってタイミングベルト417及びタイミングプーリ418を介して搬送ローラ413が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。   The transport belt 412 rotates in the sub-scanning direction when the transport roller 413 is rotationally driven by the sub-scanning motor 416 via the timing belt 417 and the timing pulley 418.

さらに、キャリッジ403の主走査方向の一方側には搬送ベルト412の側方に液体吐出ヘッド404の維持回復を行う維持回復機構420が配置されている。   Further, on one side of the carriage 403 in the main scanning direction, a maintenance / recovery mechanism 420 that performs maintenance / recovery of the liquid ejection head 404 is disposed on the side of the transport belt 412.

維持回復機構420は、例えば液体吐出ヘッド404のノズル面(ノズルが形成された面)をキャッピングするキャップ部材421、ノズル面を払拭するワイパ部材422などで構成されている。   The maintenance / recovery mechanism 420 includes, for example, a cap member 421 for capping the nozzle surface (surface on which the nozzle is formed) of the liquid ejection head 404, a wiper member 422 for wiping the nozzle surface, and the like.

主走査移動機構493、供給機構494、維持回復機構420、搬送機構495は、側板491A,491B、背板491Cを含む筐体に取り付けられている。   The main scanning movement mechanism 493, the supply mechanism 494, the maintenance / recovery mechanism 420, and the transport mechanism 495 are attached to a housing including the side plates 491A and 491B and the back plate 491C.

このように構成したこの装置においては、用紙410が搬送ベルト412上に給紙されて吸着され、搬送ベルト412の周回移動によって用紙410が副走査方向に搬送される。   In this apparatus configured as described above, the paper 410 is fed and sucked onto the transport belt 412, and the paper 410 is transported in the sub-scanning direction by the circular movement of the transport belt 412.

そこで、キャリッジ403を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド404を駆動することにより、停止している用紙410に液体を吐出して画像を形成する。   Therefore, the liquid ejection head 404 is driven in accordance with the image signal while moving the carriage 403 in the main scanning direction, thereby ejecting liquid onto the stopped paper 410 to form an image.

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。   Thus, since this apparatus includes the liquid ejection head according to the present invention, a high-quality image can be stably formed.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図22を参照して説明する。図22は同ユニットの要部平面説明図である。   Next, another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 22 is an explanatory plan view of the main part of the unit.

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板491A、491B及び背板491Cで構成される筐体部分と、主走査移動機構493と、キャリッジ403と、液体吐出ヘッド404で構成されている。   This liquid discharge unit includes a housing part composed of side plates 491A and 491B and a back plate 491C, a main scanning movement mechanism 493, a carriage 403, and a liquid among the members constituting the liquid discharge device. The discharge head 404 is configured.

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板491Bに、前述した維持回復機構420、及び供給機構494の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。   Note that a liquid discharge unit in which at least one of the above-described maintenance and recovery mechanism 420 and the supply mechanism 494 is further attached to, for example, the side plate 491B of the liquid discharge unit may be configured.

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図23を参照して説明する。図23は同ユニットの正面説明図である。   Next, still another example of the liquid discharge unit according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 23 is an explanatory front view of the unit.

この液体吐出ユニットは、流路部品444が取付けられた液体吐出ヘッド404と、流路部品444に接続されたチューブ456で構成されている。   This liquid discharge unit includes a liquid discharge head 404 to which a flow path component 444 is attached, and a tube 456 connected to the flow path component 444.

なお、流路部品444はカバー442の内部に配置されている。流路部品444に代えてヘッドタンク441を含むこともできる。また、流路部品444の上部には液体吐出ヘッド404と電気的接続を行うコネクタ443が設けられている。   The flow path component 444 is disposed inside the cover 442. A head tank 441 may be included instead of the flow path component 444. In addition, a connector 443 that is electrically connected to the liquid ejection head 404 is provided above the flow path component 444.

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。   In the present application, the “apparatus for discharging liquid” is an apparatus that includes a liquid discharge head or a liquid discharge unit and drives the liquid discharge head to discharge liquid. The apparatus for ejecting liquid includes not only an apparatus capable of ejecting liquid to an object to which liquid can adhere, but also an apparatus for ejecting liquid toward the air or liquid.

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。   This “apparatus for discharging liquid” may include means for feeding, transporting, and discharging a liquid to which liquid can adhere, as well as a pre-processing apparatus and a post-processing apparatus.

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物(三次元造形物)を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置(三次元造形装置)がある。   For example, as a “liquid ejecting device”, an image forming device that forms an image on paper by ejecting ink, a powder is formed in layers to form a three-dimensional model (three-dimensional model) There is a three-dimensional modeling apparatus (three-dimensional modeling apparatus) that discharges a modeling liquid onto the powder layer.

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。   Further, the “apparatus for ejecting liquid” is not limited to an apparatus in which significant images such as characters and figures are visualized by the ejected liquid. For example, what forms a pattern etc. which does not have a meaning in itself, and what forms a three-dimensional image are also included.

上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。   The above-mentioned “thing to which liquid can adhere” means that liquid can adhere even temporarily. The material to which “the liquid adheres” may be any material as long as the liquid can temporarily adhere, such as paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics.

また、「液体」は、インク、処理液、DNA試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。   “Liquid” also includes ink, treatment liquid, DNA sample, resist, pattern material, binder, modeling liquid, and the like.

また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。   Further, the “device for ejecting liquid” includes both a serial type device that moves the liquid ejection head and a line type device that does not move the liquid ejection head, unless otherwise specified.

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。   In addition to the “device for discharging liquid”, a processing liquid coating apparatus for discharging a processing liquid onto a sheet for applying a processing liquid to the surface of the sheet for the purpose of modifying the surface of the sheet, or a raw material There is an injection granulator for granulating raw material fine particles by spraying a composition liquid dispersed in a solution through a nozzle.

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。   A “liquid ejection unit” is a unit in which functional parts and mechanisms are integrated with a liquid ejection head, and is an assembly of parts related to liquid ejection. For example, the “liquid discharge unit” includes a combination of at least one of a head tank, a carriage, a supply mechanism, a maintenance / recovery mechanism, and a main scanning movement mechanism with a liquid discharge head.

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。   Here, the term “integrated” refers to, for example, a liquid discharge head, a functional component, and a mechanism that are fixed to each other by fastening, adhesion, engagement, etc., and one that is held movably with respect to the other. Including. Further, the liquid discharge head, the functional component, and the mechanism may be configured to be detachable from each other.

例えば、液体吐出ユニットとして、図21で示した液体吐出ユニット440のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。   For example, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a head tank are integrated as in the liquid discharge unit 440 shown in FIG. Also, there are some in which the liquid discharge head and the head tank are integrated by being connected to each other by a tube or the like. Here, a unit including a filter may be added between the head tank and the liquid discharge head of these liquid discharge units.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。   In addition, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head and a carriage are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図22で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。   In addition, there is a liquid discharge unit in which the liquid discharge head and the scanning movement mechanism are integrated by holding the liquid discharge head movably on a guide member that forms a part of the scanning movement mechanism. Further, as shown in FIG. 22, there is a liquid discharge unit in which a liquid discharge head, a carriage, and a main scanning movement mechanism are integrated.

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。   Also, there is a liquid discharge unit in which a cap member that is a part of the maintenance / recovery mechanism is fixed to a carriage to which the liquid discharge head is attached, and the liquid discharge head, the carriage, and the maintenance / recovery mechanism are integrated. .

また、液体吐出ユニットとして、図23で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。   Further, as shown in FIG. 23, as a liquid discharge unit, there is a unit in which a tube is connected to a liquid discharge head to which a head tank or a flow path component is attached, and the liquid discharge head and the supply mechanism are integrated. .

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。   The main scanning movement mechanism includes a guide member alone. The supply mechanism includes a single tube and a single loading unit.

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ(積層型圧電素子を使用するものでもよい。)以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。   The “liquid discharge head” is not limited to the pressure generating means to be used. For example, in addition to the piezoelectric actuator as described in the above embodiment (a multilayer piezoelectric element may be used), a thermal actuator using an electrothermal conversion element such as a heating resistor, a diaphragm and a counter electrode are included. An electrostatic actuator or the like may be used.

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。   In addition, the terms “image formation”, “recording”, “printing”, “printing”, “printing”, “modeling” and the like in the terms of the present application are all synonymous.

1 ノズル板
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
6 個別液室
8 液導入部
10 共通液室
12 圧電部材
20 フレーム部材
40 ノズル基材
41 ノズル孔
42 撥液膜
43 ディンプル(窪み)
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
440 液体吐出ユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Nozzle plate 2 Flow path plate 3 Vibration plate member 4 Nozzle 6 Individual liquid chamber 8 Liquid introduction part 10 Common liquid chamber 12 Piezoelectric member 20 Frame member 40 Nozzle base material 41 Nozzle hole 42 Liquid repellent film 43 Dimple (dent)
403 Carriage 404 Liquid discharge head 440 Liquid discharge unit

Claims (7)

液体を吐出するノズルとなる複数のノズル孔が形成されたノズル基材を含み、
前記ノズル基材の吐出面側には撥液膜が形成されているノズル板を有し、
前記ノズル基材の表面には複数の窪みが形成され、
前記窪み内部において前記撥液膜を形成する撥液材料が流動性を持った状態で保持されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
Including a nozzle base material in which a plurality of nozzle holes serving as nozzles for discharging liquid are formed;
A nozzle plate having a liquid repellent film formed on the discharge surface side of the nozzle substrate;
A plurality of depressions are formed on the surface of the nozzle substrate,
A liquid ejection head, wherein the liquid repellent material forming the liquid repellent film is held in a fluid state inside the recess.
前記撥液膜を形成する撥液材料がパーフルオロポリエーテル(PFPE)骨格を分子中に有する化合物である
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid repellent material forming the liquid repellent film is a compound having a perfluoropolyether (PFPE) skeleton in a molecule.
前記ノズル基材の複数の窪みは前記ノズル孔の周囲を除く領域に形成されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the plurality of depressions of the nozzle base material are formed in a region excluding the periphery of the nozzle hole.
前記ノズル基材の表面には前記撥液膜の下地となる下地膜を有している
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
4. The liquid discharge head according to claim 1, wherein a surface of the nozzle base material has a base film serving as a base of the liquid repellent film. 5.
請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。   A liquid discharge unit comprising the liquid discharge head according to claim 1. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ユニット。
A head tank for storing liquid to be supplied to the liquid discharge head, a carriage on which the liquid discharge head is mounted, a supply mechanism for supplying liquid to the liquid discharge head, a maintenance / recovery mechanism for maintaining and recovering the liquid discharge head, and the liquid 6. The liquid discharge unit according to claim 5, wherein the liquid discharge head is integrated with at least one of a main scanning movement mechanism that moves the discharge head in the main scanning direction.
請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項5若しくは6に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。   An apparatus for ejecting liquid, comprising the liquid ejection head according to claim 1 or the liquid ejection unit according to claim 5 or 6.
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