JP2016132107A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するため、本発明に係る分割溝形成装置の特徴は、基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成装置であって、前記基板を切削することにより前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記基板を切削することにより前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターと、前記第１カッターを回転駆動するための第１回転駆動手段と、前記第２カッターを回転駆動するための第２回転駆動手段と、前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように支持するためのカッター支持手段と、前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターの少なくとも一方の位相を調整するための位相調整手段とを備えることにある。
上記目的を達成するため、本発明に係る分割溝形成方法の特徴は、基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成方法であって、（ａ）前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターとを、回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように配置し、（ｂ）前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転させ、（ｃ）前記第１分割溝および前記第２分割溝が延びるＸ方向において前記第１カッターおよび前記第２カッターを前記基板に対して相対的に移動させながら前記第１カッターおよび前記第２カッターがそれぞれ前記基板を切削することにより前記第１分割溝および前記第２分割溝を形成することにある。
すなわち、ステップＳ２において、制御部７０は、第１位相検出部９０および第２位相検出部９８（図２）が検出した第１カッター２０および第２カッター２２の各位相を取得する。ステップＳ３において、制御部７０は、対向領域Ｑ（図４）において第１回転刃３２と第２回転刃５２とが対向するように、第２モーター５４（図２）を制御して第２カッター２２の位相を調整する。制御部７０は、ステップＳ２およびＳ３の各工程を分割溝形成プログラムが終了するまで継続する。なお、ステップＳ３では、第１モーター３４（図２）を制御して、第１カッター２０の位相を調整してもよい。また、第１モーター３４および第２モーター５４（図２）の両方を制御して、第１カッター２０および第２カッター２２の両方の位相を調整してもよい。
Claims (2)
- 基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成装置であって、
前記基板を切削することにより前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、
前記基板を切削することにより前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターと、
前記第１カッターを回転駆動するための第１回転駆動手段と、
前記第２カッターを回転駆動するための第２回転駆動手段と、
前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように支持するためのカッター支持手段と、
前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターの少なくとも一方の位相を調整するための位相調整手段とを備える、分割溝形成装置。
- 基板の一方面および他方面の互いに対応する位置に前記基板を分割するための第１分割溝および第２分割溝を同時に形成するための分割溝形成方法であって、
（ａ）前記第１分割溝を形成するための複数の第１回転刃を有する第１カッターと、前記第２分割溝を形成するための複数の第２回転刃を有する第２カッターとを、回転軸どうしが平行になるようにして径方向で対向するように配置し、
（ｂ）前記第１カッターと前記第２カッターとが対向する対向領域において前記第１回転刃と前記第２回転刃とが対向するように前記第１カッターおよび前記第２カッターを回転させ、
（ｃ）前記第１分割溝および前記第２分割溝が延びる方向において前記第１カッターおよび前記第２カッターを前記基板に対して相対的に移動させながら前記第１カッターおよび前記第２カッターがそれぞれ前記基板を切削することにより前記第１分割溝および前記第２分割溝を形成する、分割溝形成方法。
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