JP2016131174A - Dry etching method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ドライエッチング方法に関する。 The present invention relates to a dry etching method.
従来から、ジャイロセンサーに用いられる駆動用振動腕や検出用振動腕を有するジャイロ素子は水晶などの二酸化ケイ素(SiO2)基板をフォトリソグラフィー技術やエッチング技術を用いて加工することで形成されている。二酸化ケイ素(SiO2)基板を加工するエッチング技術には、ウェットエッチング方法やドライエッチング方法があり、近年では、エッチング異方性や加工プロセスのばらつきなどにより、振動腕の断面形状が矩形状とならずに、平行四辺形や菱形になってしまうウェットエッチング方法に代わり、振動腕の断面形状が設計に近い矩形状に加工し易いドライエッチング方法が多用されている。例えば、特許文献1では、シリコン膜などの被エッチング体(被加工物)を炭素(C)およびフッ素(F)を含むエッチングガスを用い、被エッチング体の保護が必要な側壁に均一に緻密で薄い側壁保護膜を形成して、最終的に形成されるパターンの加工形状の歪みを防ぎ、且つパターンの加工精度を向上させたドライエッチングによる半導体装置の製造方法が開示されている。 Conventionally, a gyro element having a driving vibration arm and a detection vibration arm used for a gyro sensor is formed by processing a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate such as quartz using a photolithography technique or an etching technique. . Etching techniques for processing silicon dioxide (SiO 2 ) substrates include wet etching methods and dry etching methods. In recent years, the cross-sectional shape of the vibrating arm has become rectangular due to etching anisotropy and variations in processing processes. Instead, a dry etching method that is easy to process into a rectangular shape with a cross-sectional shape of the vibrating arm is frequently used instead of the wet etching method that becomes a parallelogram or a rhombus. For example, in Patent Document 1, an etching object containing carbon (C) and fluorine (F) is used as an object to be etched (workpiece) such as a silicon film, and the object to be etched needs to be uniformly and densely formed on a side wall. There has been disclosed a method of manufacturing a semiconductor device by dry etching in which a thin sidewall protective film is formed to prevent distortion of the processed shape of a pattern to be finally formed and the processing accuracy of the pattern is improved.
しかしながら、特許文献1に記載のエッチングガスを用い、被加工物として水晶などの二酸化ケイ素(SiO2)基板をドライエッチングした場合、エッチング中に側壁保護膜が側壁から剥離してしまい、剥がれた側壁保護膜によって、エッチングする領域が覆われエッチングされず段差状のエッチング残渣が生じるという課題があった。特に、ジャイロ素子の振動腕に段差状のエッチング残渣が生じると振動のQ値が低下し検出感度が劣化してしまい問題であった。 However, when the etching gas described in Patent Document 1 is used and dry etching is performed on a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate such as quartz as a workpiece, the side wall protective film is peeled off from the side wall during etching, and the side wall is peeled off. There is a problem in that the region to be etched is covered by the protective film, and the etching residue is not etched and a step-shaped etching residue is generated. In particular, when a step-like etching residue is generated on the vibrating arm of the gyro element, the Q value of the vibration is lowered and the detection sensitivity is deteriorated.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[適用例1]本適用例に係るドライエッチング方法は、炭素(C)およびフッ素(F)を含むエッチングガスを用い、被加工物の側壁に側壁保護膜を形成しながら前記被加工物をエッチングするドライエッチング方法であって、前記側壁保護膜のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を、2.0以上7.8以下とすることを特徴とする。 Application Example 1 A dry etching method according to this application example uses an etching gas containing carbon (C) and fluorine (F) to etch the workpiece while forming a sidewall protective film on the sidewall of the workpiece. In the dry etching method, the composition ratio of fluorine (F) to carbon (C) (fluorine (F) / carbon (C)) in the sidewall protective film is set to 2.0 or more and 7.8 or less. It is characterized by.
本適用例によれば、側壁保護膜のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を、2.0以上7.8以下とすることで、被加工物と側壁保護膜との線膨張係数の差を小さくできる、又は、側壁保護膜の硬度を軟らかくできるため、エッチング中の熱による被加工物と側壁保護膜との間に生じる応力歪を緩和することができ、被加工物の側壁に生成する側壁保護膜を剥がれ難くすることができる。そのため、側壁保護膜の剥離に起因した段差状のエッチング残渣の発生を低減することができる。従って、エッチング中に生成する側壁保護膜が被加工物の側壁から剥離するのを低減できるドライエッチング方法を提供することができる。 According to this application example, the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall protective film is set to 2.0 or more and 7.8 or less. Since the difference in coefficient of linear expansion between the workpiece and the sidewall protective film can be reduced, or the hardness of the sidewall protective film can be softened, the stress strain generated between the workpiece and the sidewall protective film due to heat during etching can be reduced. Therefore, the side wall protective film formed on the side wall of the workpiece can be made difficult to peel off. Therefore, it is possible to reduce the generation of step-like etching residues due to peeling of the sidewall protective film. Therefore, it is possible to provide a dry etching method capable of reducing the side wall protective film generated during the etching from peeling from the side wall of the workpiece.
[適用例2]上記適用例に記載のドライエッチング方法において、前記側壁保護膜は、フッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)を含む膜であることが好ましい。 Application Example 2 In the dry etching method described in the application example, the sidewall protective film is preferably a film containing fluorine (F), carbon (C), and silicon (Si).
本適用例によれば、側壁保護膜がフッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)を含む膜であるため、炭素(C)およびフッ素(F)を含むエッチングガスによる浸食を防ぐ強固な保護膜となるため、エッチング加工を施すことで生じる被加工物の側壁を侵食することを防ぎ、被加工物の厚さ方向にエッチングすることができる。そのため、加工精度が高く、アスペクト比の大きいエッチング加工を行うことができる。 According to this application example, since the sidewall protective film is a film containing fluorine (F), carbon (C), and silicon (Si), erosion due to an etching gas containing carbon (C) and fluorine (F) is prevented. Since it becomes a strong protective film, it is possible to prevent erosion of the side wall of the workpiece caused by etching and to etch in the thickness direction of the workpiece. Therefore, it is possible to perform etching with high processing accuracy and a large aspect ratio.
[適用例3]上記適用例に記載のドライエッチング方法において、前記エッチングガスは、六フッ化エタン(C2F6)とヘリウム(He)であることが好ましい。 Application Example 3 In the dry etching method described in the above application example, the etching gas is preferably hexafluoroethane (C 2 F 6 ) and helium (He).
本適用例によれば、六フッ化エタン(C2F6)は、被加工物としての二酸化ケイ素(SiO2)基板等のエッチング効果が高いプラズマイオンと、側壁保護膜を形成するラジカルと、を効率よく生成することができ、側壁を保護しながら高速で二酸化ケイ素(SiO2)基板等をエッチングすることができる。また、ヘリウム(He)は、六フッ化エタン(C2F6)のプラズマイオンやラジカルを適度に分散させる効果があるためエッチング加工の面内均一性を向上させることができる。従って、被加工物としての二酸化ケイ素(SiO2)基板等のエッチング加工を高速で精度良く行うことができる。 According to this application example, hexafluoroethane (C 2 F 6 ) includes plasma ions having a high etching effect such as a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate as a workpiece, radicals that form a sidewall protective film, Can be efficiently generated, and a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate or the like can be etched at a high speed while protecting the side wall. In addition, helium (He) has an effect of appropriately dispersing plasma ions and radicals of hexafluoroethane (C 2 F 6 ), so that in-plane uniformity of etching processing can be improved. Therefore, it is possible to perform etching processing of a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate or the like as a workpiece at high speed and with high accuracy.
[適用例4]上記適用例に記載のドライエッチング方法において、前記被加工物は、60μm以上の厚さを有する二酸化ケイ素(SiO2)基板であることが好ましい。 Application Example 4 In the dry etching method described in the above application example, the workpiece is preferably a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate having a thickness of 60 μm or more.
本適用例によれば、水晶などの二酸化ケイ素(SiO2)基板からジャイロ素子を製造する場合、基板の厚さが60μmより薄いと、角速度の印加に伴い振動腕の側面部に生じる電荷が少ないため、検出感度が小さくなり、高精度のジャイロ素子を製造することができない。そのため、二酸化ケイ素(SiO2)基板の厚さを60μm以上とすることで、高い検出感度を有するジャイロ素子を製造することができる。 According to this application example, when a gyro element is manufactured from a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate such as quartz, if the thickness of the substrate is less than 60 μm, less charge is generated on the side surface of the vibrating arm due to the application of angular velocity. Therefore, the detection sensitivity is reduced, and a highly accurate gyro element cannot be manufactured. Therefore, a gyro element having high detection sensitivity can be manufactured by setting the thickness of the silicon dioxide (SiO 2 ) substrate to 60 μm or more.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせている。また、図1、図3、および図4において、説明の便宜上、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「+側」、基端側を「−側」としている。また、以下の説明では、X軸に平行な方向を「X軸方向」と言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」と言い、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」と言う。更に、説明の便宜上、Z軸方向から見たときの平面視において、Z軸方向の面を主面として、また、X軸方向から見たときの平面視において、X軸方向の面を側面として説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each layer and each member is different from the actual scale so that each layer and each member can be recognized. 1, 3, and 4, for convenience of explanation, the X axis, the Y axis, and the Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other, and the tip side of the illustrated arrow is “+ side”. The base end side is the “− side”. In the following description, a direction parallel to the X axis is referred to as an “X axis direction”, a direction parallel to the Y axis is referred to as a “Y axis direction”, and a direction parallel to the Z axis is referred to as a “Z axis direction”. say. Furthermore, for convenience of explanation, the surface in the Z-axis direction is a main surface in a plan view when viewed from the Z-axis direction, and the surface in the X-axis direction is a side surface in a plan view when viewed from the X-axis direction. explain.
<実施形態>
[ジャイロ素子の形状]
先ず、本発明の実施形態に係るドライエッチング方法で加工したジャイロ素子の形状について、図1を参照して説明する。図1はジャイロ素子を模式的に示す概略平面図である。なお、ジャイロ素子100には、検出用電極、検出用配線、駆動用電極、駆動用配線、および調整用電極などが設けられているが、説明の便宜上、図1においては省略している。
<Embodiment>
[Gyro element shape]
First, the shape of the gyro element processed by the dry etching method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic plan view schematically showing a gyro element. Note that the
ジャイロ素子100は、図1に示すように、基材(主要部分を構成する材料)を加工することにより一体に形成された基部10と、基部10のY軸方向の端部10a,10bのうち一方の端部10bから、並行するようにY軸に沿って延出された一対の駆動用振動腕12a,12bと、基部10の他方の端部10aからY軸に沿って並行するように延出された一対の検出用振動腕14a,14bと、基部10の他方の端部10aからY軸に沿って並行するように延出された一対の調整用振動腕16a,16bと、を有している。
As shown in FIG. 1, the
また、基部10から延出する第1連結部20a、および第1連結部20aに連結する第1支持部22aと、基部10から第1連結部20aと反対方向に延出する第2連結部20b、および第2連結部20bに連結する第2支持部22bと、が設けられている。更に、第1支持部22aおよび第2支持部22bは、駆動用振動腕12a,12bの側で一体的に繋って、固定枠部24を構成している。そして、ジャイロ素子100は、固定枠部24の所定の位置で、図示しないパッケージ等の基板に固定される。
Moreover, the
なお、駆動用振動腕12a,12bの先端部には錘部32a,32bが設けられており、検出用振動腕14a,14bの先端部には錘部34a,34bが設けられている。錘部32a,32b,34a,34bを設けることによって、共振周波数を同一で駆動用振動腕12a,12bおよび検出用振動腕14a,14bの延出する方向の長さ(Y軸方向の長さ)を短くすることができるため、ジャイロ素子100の小型化を図ることができる。また、駆動用振動腕12a,12bおよび検出用振動腕14a,14bの共振周波数を低めることができる。更に、錘部32a,32b,34a,34bは、必要に応じて複数の幅(X軸方向の長さ)を有していても良く、省略しても良い。なお、錘部32a,32b,34a,34bに金属膜等で形成された質量部(図示せず)を設け、この質量部の一部をレーザー光等で除去することにより駆動用振動腕12a,12bおよび検出用振動腕14a,14bの共振周波数を調整することができる。
In addition,
本実施形態のジャイロ素子100では、基材として圧電体材料である水晶を用いた例について説明する。ジャイロ素子100をなす基材は、水晶結晶軸において直交するX軸およびY軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するZ軸方向に所定の厚みを有している。X軸を中心に0度から2度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Y軸およびZ軸についても同様である。本実施形態においてジャイロ素子100は、水晶を用いたが他の圧電材料、例えば、タンタル酸リチウムやチタン酸ジルコン酸鉛等を基材として用いても良い。なお、所定の厚み(Z軸方向の長さ)は、振動周波数、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。
In the
更に、ジャイロ素子100には、図1に示すように、水晶の結晶X軸(電気軸)と交差する方向に検出用振動腕14a,14bと並行させて且つ検出用振動腕14a,14bを内側に挟むように、基部10の他方の端部10aから延出された一対の調整用振動腕16a,16bが設けられている。即ち、調整用振動腕16a,16bは、Y軸に沿って+Y軸方向に延出され、検出用振動腕14a,14bと所定の間隔を空けて内側に挟むように位置し、且つ並行するように設けられている。
Further, as shown in FIG. 1, the
なお、調整用振動腕16a,16bは、チューニングアームと呼ばれることもある。このような調整用振動腕16a,16bが設けられていることにより、水晶のエッチング異方性や加工プロセスのばらつきなどによって、駆動用振動腕12a,12bの断面形状が矩形状とならずに、平行四辺形や菱形となることによる駆動用振動腕12a,12bの振動方向の設計値からのずれ、所謂振動漏れによる漏れ出力を調整することが可能となる。換言すれば、駆動振動が漏れる(伝播する)、所謂振動漏れで発生する検出用振動腕14a,14bの電荷を調整用振動腕16a,16bに発生する電荷で相殺することができる。
The
また、調整用振動腕16a,16bは、駆動用振動腕12a,12bおよび検出用振動腕14a,14bよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕16a,16bの振動が、駆動用振動腕12a,12bと検出用振動腕14a,14bによるジャイロ素子100の主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子100の振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子100の小型化にも有利となる。
The
更に、調整用振動腕16a,16bの基部10と接続する一端と反対側の他端側の先端部には、調整用振動腕16a,16bより幅が広い(X軸方向の寸法が大きい)略矩形状の幅広部としての錘部36a,36bが設けられている。このように、調整用振動腕16a,16bの先端部に錘部36a,36bを設けることにより、調整用振動腕16a,16bにおける質量変化を顕著にさせることができ、ジャイロ素子100の高感度化に寄与する効果を更に向上させることができる。
Further, the tip of the other end side opposite to the one end connected to the
基部10の中央は、ジャイロ素子100の重心とすることができる。そして、X軸、Y軸およびZ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子100の外形は、重心を通るY軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子100の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子100の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子100の外形は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング(ウェットエッチング又はドライエッチング)により形成することができる。なお、ジャイロ素子100は、1枚の水晶ウェハーから複数個取りすることが可能である。
The center of the base 10 can be the center of gravity of the
[ジャイロ素子の動作原理]
次に、ジャイロ素子100の動作原理について説明する。
駆動モードにおいて、駆動用電極に所定の交流電圧を印加すると、駆動用振動腕12a,12bは、XY面内方向で逆向きに即ち互いに接近離反する向きに屈曲振動(面内モード振動)する。また、調整用振動腕16a,16bは、駆動用振動腕12a,12bの屈曲振動(面内モード振動)に基部10を介して共振し、駆動用振動腕12a,12bと同様に、XY面内方向で逆向きに即ち互いに接近離反する向きに屈曲振動(面内モード振動)する。
[Gyro element operating principle]
Next, the operation principle of the
When a predetermined AC voltage is applied to the drive electrode in the drive mode, the
この状態でジャイロ素子100が各振動腕の延出方向であるY軸回りに回転する角速度ωを印加すると、その角速度ωに応じて発生するコリオリ力の作用により、駆動用振動腕12a,12bは主面に垂直な面外方向即ちZ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動(面外モード振動)する。このZ軸方向の振動に共振して、検出用振動腕14a,14bが検出モードで、同じくZ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動(面外モード振動)する。このとき、検出用振動腕14a,14bの振動方向は、駆動用振動腕12a,12bの振動方向とは逆相になる。
In this state, when the angular velocity ω that rotates around the Y axis that is the extending direction of each vibrating arm is applied, the
つまり、駆動用振動腕12aが+Z軸方向に振動すると、駆動用振動腕12bは−Z軸方向に振動する面外モード振動の屈曲振動となる。この駆動用振動腕12a,12bの面外モードの屈曲振動が基部10を介して検出用振動腕14a,14bに伝わることで、検出用振動腕14a,14bを共振させ、検出用振動腕14aが−Z軸方向に振動すると、検出用振動腕14bは+Z軸方向に振動する面外モードの屈曲振動となる。
That is, when the
この検出モードにおいて、検出用振動腕14a,14bの検出用電極間に発生する電荷量を取り出すことによって、ジャイロ素子100に加えられた角速度ωが求められる。
In this detection mode, the angular velocity ω applied to the
このようなジャイロ素子100の外形は、後述する二酸化ケイ素(SiO2)基板をドライエッチングすることで形成することができる。また、ジャイロ素子100は、1枚の二酸化ケイ素(SiO2)基板から複数個取りすることが可能である。
Such an outer shape of the
[ジャイロ素子の製造方法]
次に、本発明の実施形態に係るドライエッチング方法を用い、水晶を基材(主要部分を構成する材料)とするジャイロ素子100を製造する方法を図2から図4を参照して説明する。
図2は、ジャイロ素子の外形を形成する製造方法を示す工程図である。図3(a)〜図3(d)は、図2に示す主要な工程毎の図1におけるA−A線での概略断面図である。図4(e)〜図4(h)は、図2に示す主要な工程毎の図1におけるA−A線での概略断面図である。
[Gyro element manufacturing method]
Next, a method for manufacturing the
FIG. 2 is a process diagram showing a manufacturing method for forming the outer shape of the gyro element. FIG. 3A to FIG. 3D are schematic cross-sectional views taken along line AA in FIG. 1 for each main process shown in FIG. 4E to 4H are schematic cross-sectional views taken along the line AA in FIG. 1 for each main process shown in FIG.
ジャイロ素子100の外形を形成する製造方法は、図2に示すように、下地層形成工程(Step1)と、レジストパターニング工程(Step2)と、金属層形成工程(Step3)と、レジスト・下地層剥離工程(Step4)と、支持基板固定工程(Step5)と、ドライエッチング工程(Step6)と、支持基板分離工程(Step7)と、下地層剥離工程(Step8)と、を含んでいる。
As shown in FIG. 2, the manufacturing method for forming the outer shape of the
<下地層形成工程(Step1)>
先ず、下地層形成工程(Step1)では、二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板110の表裏の両主面に下地層120を形成する。図3(a)は、水晶基板110に下地層120を形成した後の概略断面図である。下地層120は、スパッタリング法、CVD(chemical vapor deposition)法、無電解めっき法などで成膜できる。下地層120の材料としては、例えば、金(Au)、銅(Cu)、チタンタングステン(TiW)、クロム(Cr)、ニッケルクロム(NiCr)、アルミニウム(Al)などを使用することができる。水晶基板110と下地層120との密着性を高めるための密着層(図示せず)が設けられていてもよい。本実施形態では、60μm以上の厚さを有する厚さ略110μmの水晶基板110上にクロム(Cr)の密着層を介して厚さ略100nmの下地層120を銅(Cu)で形成している。
<Under layer forming step (Step 1)>
First, in the foundation layer forming step (Step 1), the foundation layers 120 are formed on both main surfaces of the front and back surfaces of the
<レジストパターニング工程(Step2)>
レジストパターニング工程(Step2)では、フォトリソグラフィーを用いて一方(+Z軸方向)の主面上にレジスト130をパターニングする。図3(b)は、パターニング後の概略断面図である。レジスト130は、例えばコーターなどを使用して水晶基板110の一方(+Z軸方向)の主面に略25μmの厚さで均一に塗布される。水晶基板110に塗布されたレジスト130は、例えば、コンタクトアライナー、プロキシミティアライナーなどの露光装置を用いて図示しないフォトマスクを介して露光される。その後、レジスト130を現像することにより、平面視におけるジャイロ素子100の外形形状に開口されたパターンのレジスト130が形成される。
<Resist patterning step (Step 2)>
In the resist patterning step (Step 2), the resist 130 is patterned on one (+ Z-axis direction) main surface using photolithography. FIG. 3B is a schematic cross-sectional view after patterning. The resist 130 is uniformly applied with a thickness of approximately 25 μm on one main surface (+ Z-axis direction) of the
<金属層形成工程(Step3)>
次に、金属層形成工程(Step3)では、水晶基板110をエッチングしてジャイロ素子100を形成する際のマスクになる金属層140を水晶基板110の表裏の両主面に形成する。図3(c)は、金属層140を形成した後の概略断面図である。金属層140は、パターニングしたレジスト130をマスクとして露出している下地層120の上と、他方(−Z軸方向)の主面側の下地層120の上と、にめっき技術により形成される。本実施形態の金属層140は、ニッケル(Ni)を無電解めっき法により略15μmの厚さで形成されている。
<Metal layer forming step (Step 3)>
Next, in the metal layer forming step (Step 3), the
<レジスト・下地層剥離工程(Step4)>
レジスト・下地層剥離工程(Step4)では、レジスト130と下地層120とを除去して金属マスクとなる金属層140を形成する。図3(d)は、レジスト130と下地層120とを剥離した後の概略断面図である。金属層形成工程(Step3)で下地層120のマスクとして使用され不要となったレジスト130を剥離し、露出した下地層120を除去することで、金属マスクとなるジャイロ素子100の外形形状にパターニングされた金属層140が形成される。レジスト130の剥離方法としては、レジスト剥離剤を用いたウェットエッチング法や、オゾンやプラズマを用いたドライエッチング法などを用いることができる。下地層120の剥離方法としては、下地層120に用いた材料に反応する反応性ガスなどを用いたドライエッチング法や、下地層120に用いた材料を腐食溶解する液体に浸漬させるウェットエッチング法などを用いることができる。
<Resist / Underlayer Stripping Step (Step 4)>
In the resist / underlying layer peeling step (Step 4), the resist 130 and the
<支持基板固定工程(Step5)>
支持基板固定工程(Step5)では、シリコンなどの支持基板150上に両面接着テープなどの固定用部材160を介して金属層140が形成された水晶基板110を固定する。図4(e)は、支持基板150上に水晶基板110を固定した後の概略断面図である。水晶基板110は固定用部材160を介して支持基板150に貼り合わせた状態で、ドライエッチング装置のチャンバー内への搬入とチャンバー内に設けられたステージへの載置がなされる。前述のように本実施形態の水晶基板110は厚さが略110μmと非常に薄いが、厚さが600〜800μmと十分な強度を有する支持基板150に貼り合わせた状態で取り扱うことによって搬入時に作用する外力による水晶基板110の損傷を確実に防止できる。
<Supporting substrate fixing step (Step 5)>
In the support substrate fixing step (Step 5), the
<ドライエッチング工程(Step6)>
ドライエッチング工程(Step6)では、ドライエッチング装置(図示せず)を用い、本実施形態に係るドライエッチング方法により、金属層140をマスクとしてジャイロ素子100の外形に水晶基板110をエッチングする。ドライエッチング装置には、一例として、ICP(Inductive Coupling Plasma)型(誘導結合プラズマ型)のRIE(Reactive Ion Etching)装置を用いる。図4(f)は、水晶基板110をエッチングした後の概略断面図である。
<Dry etching process (Step 6)>
In the dry etching step (Step 6), the
ドライエッチング工程(Step6)は、先ず、ドライエッチング装置のチャンバー内に設けられたステージ上に、水晶基板110を固定した支持基板150を静電吸着によって高い密着度で固定する。その後、チャンバー内を1.0Pa程度まで減圧し、炭素(C)およびフッ素(F)を含むエッチングガスである六フッ化エタン(C2F6)と、ヘリウム(He)と、をチャンバー内に供給する。なお、六フッ化エタン(C2F6)とヘリウム(He)とを含むエッチングガスの流量については、一例として、六フッ化エタン(C2F6)の流量を40sccm(standard cubic centimeter per minute)〜60sccmの範囲とし、ヘリウム(He)の流量を15sccmとしている。
In the dry etching step (Step 6), first, a
次に、チャンバー内に設けられているコイルに高周波数の大電流を流すことによって高電圧と高周波数の変動磁場により、六フッ化エタン(C2F6)の誘導結合プラズマイオンを発生させる。その後、ステージの電位をマイナス電位とすると、誘導結合プラズマのプラスイオンがステージに引き寄せられて、水晶基板110に衝突し、金属層140でマスクされていない部分の水晶基板110がエッチングされ、ジャイロ素子100の外形が形成される。また、その時に発生するフッ素(F)および炭素(C)のラジカルと、ケイ素(Si)と、の反応生成物は真空排気されるが、一部はエッチング側面に付着する。これは側壁保護膜200(図5参照)と呼ばれエッチングが進行する水晶基板110の厚さ方向(Z軸方向)と交差する横方向(X軸方向)のエッチングを阻止する役目を果たす。
Next, inductively coupled plasma ions of hexafluoroethane (C 2 F 6 ) are generated by a high voltage and a high-frequency fluctuating magnetic field by flowing a high-frequency large current through a coil provided in the chamber. Thereafter, when the potential of the stage is set to a negative potential, positive ions of inductively coupled plasma are attracted to the stage, collide with the
ここで、生成された側壁保護膜200(図5参照)のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))は、2.0以上7.8以下の範囲であり、エッチング中に側壁から剥離することはない。なお、この範囲の組成比(フッ素(F)/炭素(C))を有する側壁保護膜200(図5参照)が剥離しない理由については、後に詳細に説明する。 Here, the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) in the generated sidewall protective film 200 (see FIG. 5) is 2.0 or more and 7.8 or less. And does not peel from the sidewall during etching. The reason why the sidewall protective film 200 (see FIG. 5) having the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) in this range does not peel will be described in detail later.
なお、本実施形態では、ドライエッチング装置に誘導結合型を用いた場合を説明したが、ドライエッチング装置には、コイルの部分に対向電極を用いた容量結合型(平行平板型)を用いてもよい。 In this embodiment, the case where the inductive coupling type is used for the dry etching apparatus has been described. However, the dry etching apparatus may be a capacitive coupling type (parallel plate type) using a counter electrode in the coil portion. Good.
<支持基板分離工程(Step7)>
支持基板分離工程(Step7)では、金属層140を剥離してエッチングを施した水晶基板110から支持基板150を分離する。図4(g)は、金属層140を剥離し水晶基板110と支持基板150とを分離した後の概略断面図である。金属層140の剥離方法としては、金属層140に用いた材料を腐食溶解する液体に浸漬させるウェットエッチング法などを用いることができる。
<Support substrate separation step (Step 7)>
In the support substrate separation step (Step 7), the
<下地層剥離工程(Step8)>
下地層剥離工程(Step8)では、下地層120を剥離する。図4(h)は、下地層120を剥離した後の概略断面図である。下地層120の剥離方法としては、下地層120に用いた材料に反応する反応性ガスなどを用いたドライエッチング法や、下地層120に用いた材料を腐食溶解する液体に浸漬させるウェットエッチング法などを用いることができる。
<Underlayer peeling step (Step 8)>
In the base layer peeling step (Step 8), the
以上の工程を経てジャイロ素子100の外形が形成される。その後、フォトリソグラフィー技術により電極が形成されることで、ジャイロ素子100が完成する。
The outer shape of the
次に、図2のドライエッチング工程(Step6)において生じる段差状のエッチング残渣不良について述べる。 Next, a step-like etching residue defect occurring in the dry etching step (Step 6) of FIG. 2 will be described.
[段差状のエッチング残渣不良]
ドライエッチング中に生じる段差状のエッチング残渣300による不良について、図5を参照し説明する。
図5(a)〜(f)は、ドライエッチング工程において生じる段差状のエッチング残渣の発生要因を説明する図4(e)におけるB部の拡大図である。
図5(f)で示す段差状のエッチング残渣300は、以下に説明する経緯で発生するものと考えられる。
先ず、図5(a)における金属層140のマスクで覆われていない水晶基板110の表面にエッチングガスの誘導結合プラズマのプラスイオンが衝突し、エッチングが始まる。
[Step-like etching residue defect]
A defect caused by the step-shaped
5 (a) to 5 (f) are enlarged views of a portion B in FIG. 4 (e) for explaining the generation factor of the step-shaped etching residue generated in the dry etching process.
The step-shaped
First, positive ions of inductively coupled plasma of an etching gas collide with the surface of the
その後、水晶基板110のエッチングと同時に、エッチングにより生じる水晶基板110のケイ素(Si)と、エッチングガスに含まれる六フッ化エタン(C2F6)の誘導結合プラズマのラジカルであるフッ素(F)および炭素(C)と、の反応生成物が側壁保護膜200として、図5(b)に示すように、水晶基板110の側壁170に付着する。なお、フッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)の反応生成物である側壁保護膜200は、六フッ化エタン(C2F6)を含むエッチングガスによる浸食を防ぐ強固な保護膜であるため、エッチング加工を施すことで生じる水晶基板110の側壁170を侵食することを防ぎ、水晶基板110の厚さ方向(Z軸方向)にエッチングすることができる。そのため、加工精度が高く、アスペクト比の大きいエッチング加工を行うことができる。
Thereafter, simultaneously with the etching of the
更に、エッチングを継続し、図5(c)に示すように、水晶基板110の厚さ方向(Z軸方向)の半分以上をエッチングする。
すると、エッチング装置のチャンバー内の温度上昇に伴い、水晶基板110とフッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)の反応生成物である側壁保護膜200との線膨張係数の違い、又は側壁保護膜200の硬度が硬いことにより側壁保護膜200に内部応力が発生することで、側壁保護膜200が亀裂し、図5(d)に示すように、水晶基板110の側壁170から剥離してしまう。
Further, the etching is continued, and as shown in FIG. 5C, more than half of the
Then, with the temperature rise in the chamber of the etching apparatus, the difference in linear expansion coefficient between the
その後、エッチングを継続すると、水晶基板110の側壁170から剥離した側壁保護膜200の一部がエッチング加工する水晶基板110の表面を覆い、一種のマスクとなるため、図5(e)に示すように、エッチングされずに残ってしまう。
そのため、水晶基板110のエッチングが終了しても、図5(f)に示すように、剥離した側壁保護膜200の一部に覆われた領域は、段差状のエッチング残渣300を生じる。
この段差状のエッチング残渣300は、水晶基板110から前述したジャイロ素子100などを製造する場合、ジャイロ素子100の各振動腕に生じると、各振動腕の振動を阻害しQ値を著しく低下させ、検出感度を劣化してしまい、製造歩留まりの点で問題となる。そのため、このような段差状のエッチング残渣300が生じない良好な側壁保護膜200の組成比を見出す必要がある。
After that, when the etching is continued, a part of the side wall
Therefore, even after the etching of the
When the step-shaped
[側壁保護膜の組成比]
次に、本実施形態に係るドライエッチング方法におけるエッチング中に側壁保護膜200の剥離が生じない側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))について、図6および図7を参照し説明する。
図6は、側壁保護膜の剥離が生じない側壁保護膜のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を示す図である。図7は、側壁保護膜の剥離が生じた側壁保護膜のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を示す図である。なお、図6と図7において、フッ素(F)および炭素(C)はat%(アトミックパーセント:原子組成百分率)で示してある。at%とは、原子100個の中に考えている原子が何個含まれていれるかを百分率で示すものであり、例えば、20個含まれていれば20at%である。フッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))の測定には、SEM−EDXと呼ばれる走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)に付属するエネルギー分散型X線分析装置(Energy Dispersive X−ray Detector)を用いて行っている。
[Composition ratio of sidewall protective film]
Next, the composition ratio (fluorine (F) / carbon (fluorine (F) / carbon (C)) of the sidewall
FIG. 6 is a view showing the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall protective film in which peeling of the sidewall protective film does not occur. FIG. 7 is a diagram showing the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall protective film where the sidewall protective film is peeled off. In FIGS. 6 and 7, fluorine (F) and carbon (C) are indicated by at% (atomic percent: atomic composition percentage). “at%” indicates a percentage of how many atoms to be considered are contained in 100 atoms. For example, if 20 atoms are included, it is 20 at%. For measurement of the composition ratio of fluorine (F) and carbon (C) (fluorine (F) / carbon (C)), an energy dispersive X attached to a scanning electron microscope called SEM-EDX (Scanning Electron Microscope) is used. This is performed using a line analyzer (Energy Dispersive X-ray Detector).
先ず、図5(d)に示す側壁保護膜200の剥離が発生しない側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を見出すために、六フッ化エタン(C2F6)の流量を40sccm〜60sccmの範囲とし、ヘリウム(He)の流量を15sccmとして側壁保護膜200を生成し、各資料(1−1〜1−14)のフッ素(F)と炭素(C)とを分析した結果を図6に示す。
図6より、側壁保護膜200の剥離が発生しない側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))は、最小が資料1−12の2.0であり、最大が資料1−3の7.8であることが明らかとなった。
First, in order to find the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) in the sidewall
As shown in FIG. 6, the minimum composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall
次に、側壁保護膜200の剥離が発生する側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を見出すために、六フッ化エタン(C2F6)の流量を65sccm以上とし、ヘリウム(He)の流量を45sccmとして側壁保護膜200を生成し、各資料(2−1〜2−9)のフッ素(F)と炭素(C)とを分析した結果を図7に示す。
図7より、側壁保護膜200の剥離が発生する側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))は、最小が資料2−6の0.8であり、最大が資料2−9の1.5であることが明らかとなった。
Next, in order to find the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall
From FIG. 7, the minimum composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall
従って、側壁保護膜200の剥離が発生しない側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))は、2.0以上7.8以下であるといえる。
Therefore, the composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall
以上、本実施形態に係るドライエッチング方法において、炭素(C)およびフッ素(F)を含むエッチングガスを用い、被加工物である二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板110の側壁170に側壁保護膜200を形成しながら水晶基板110をエッチングする際に、側壁保護膜200のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を、2.0以上7.8以下としている。
As described above, in the dry etching method according to the present embodiment, the etching gas containing carbon (C) and fluorine (F) is used, and the
そのため、水晶基板110と側壁保護膜200との線膨張係数の差を小さくできる、又は、側壁保護膜200の硬度を軟らかくできるため、エッチング中の熱による水晶基板110と側壁保護膜200との間に生じる応力歪を緩和することができ、水晶基板110の側壁170に生成する側壁保護膜200を剥がれ難くすることができる。また、側壁保護膜200の剥離に起因した段差状のエッチング残渣300の発生を低減することができる。従って、エッチング中に生成する側壁保護膜200が水晶基板110の側壁170から剥離するのを低減できるドライエッチング方法を提供することができる。
Therefore, the difference in the coefficient of linear expansion between the
また、側壁保護膜200は、フッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)を含む膜であるため、六フッ化エタン(C2F6)を含むエッチングガスによる浸食を防ぐ強固な保護膜とすることができるため、エッチング加工を施すことで生じる水晶基板110の側壁170を侵食することを防ぎ、水晶基板110の厚さ方向(Z軸方向)にエッチングすることができる。そのため、加工精度が高く、アスペクト比の大きいエッチング加工を行うことができる。
Further, since the sidewall
また、エッチングガスが六フッ化エタン(C2F6)とヘリウム(He)である。そのため、六フッ化エタン(C2F6)は、被加工物である二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板110等のエッチング効果が高いプラズマイオンと、側壁保護膜200を形成するラジカルと、を効率よく生成することができ、側壁170を保護しながら高速で水晶基板110等をエッチングすることができる。また、ヘリウム(He)は、六フッ化エタン(C2F6)のプラズマイオンやラジカルを適度に分散させる効果があるためエッチング加工の面内均一性を向上させることができる。従って、被加工物である二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板110等のエッチング加工を高速で精度良く行うことができる。
The etching gas is ethane hexafluoride (C 2 F 6 ) and helium (He). Therefore, hexafluoroethane (C 2 F 6 ) contains plasma ions having a high etching effect, such as the
また、被加工物である二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板110の厚さを60μm以上とすることで、水晶基板110からジャイロ素子100を製造する場合、水晶基板110の厚さが60μmより薄いと、角速度の印加に伴い振動腕の側面部に生じる電荷が少ないため、検出感度が小さくなり、高精度のジャイロ素子を製造することができない。そのため、高い検出感度を有するジャイロ素子100を製造することができる。
Further, when the
10…基部、10a,10b…端部、12a,12b…駆動用振動腕、14a,14b…検出用振動腕、16a,16b…調整用振動腕、20a…第1連結部、20b…第2連結部、22a…第1支持部、22b…第2支持部、24…固定枠部、32a,32b,34a,34b,36a,36b…錘部、100…ジャイロ素子、110…二酸化ケイ素(SiO2)基板としての水晶基板、120…下地層、130…レジスト、140…金属層、150…支持基板、160…固定用部材、170…側壁、200…側壁保護膜、300…段差状のエッチング残渣。
DESCRIPTION OF
Claims (4)
被加工物の側壁に側壁保護膜を形成しながら前記被加工物をエッチングするドライエッチング方法であって、
前記側壁保護膜のフッ素(F)と炭素(C)との組成比(フッ素(F)/炭素(C))を、2.0以上7.8以下とすることを特徴とするドライエッチング方法。 Using an etching gas containing carbon (C) and fluorine (F),
A dry etching method for etching a workpiece while forming a sidewall protective film on a sidewall of the workpiece,
A dry etching method, wherein a composition ratio (fluorine (F) / carbon (C)) of fluorine (F) and carbon (C) of the sidewall protective film is set to 2.0 or more and 7.8 or less.
前記側壁保護膜は、フッ素(F)、炭素(C)、およびケイ素(Si)を含む膜であることを特徴とするドライエッチング方法。 The dry etching method according to claim 1,
The dry etching method, wherein the sidewall protective film is a film containing fluorine (F), carbon (C), and silicon (Si).
前記エッチングガスは、六フッ化エタン(C2F6)とヘリウム(He)であることを特徴とするドライエッチング方法。 In the dry etching method according to claim 1 or 2,
The dry etching method, wherein the etching gas is ethane hexafluoride (C 2 F 6 ) and helium (He).
前記被加工物は、60μm以上の厚さを有する二酸化ケイ素(SiO2)基板であることを特徴とするドライエッチング方法。 In the dry etching method according to any one of claims 1 to 3,
The dry etching method, wherein the workpiece is a silicon dioxide (SiO 2 ) substrate having a thickness of 60 μm or more.
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