JP2016114536A - Position detection sensor - Google Patents

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由季子 安田
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優司 児玉
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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position detection sensor with which it is possible to detect the position of a detection object with high accuracy, and for which downsizing is achieved.SOLUTION: A position detection sensor 101 has a magnet element 2 formed extending in one direction AD and magnetized so as to have a magnetic pole at both ends in the one direction AD, and a magnetism detection member 3 capable of detecting the direction of a magnetic field generated by the magnet element 2, and is characterized in that the magnetism detection member 3 is disposed facing the magnet element 2 on the side intersecting the one direction AD, detects the direction of a magnetic field changing along with the relative movement of the magnet element 2 and the magnetism detection member 3, and detects the position of a moving detection object, and the magnet element 2 has a base part M2 formed in shape of a rod in the one direction AD, and a protrusion part T2 formed at both ends in the one direction AD of the base part M2 and protruding at least toward the magnetism detection member 3 side.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、移動する被検知物の位置を検出する非接触式の位置検出センサに関する。   The present invention relates to a non-contact type position detection sensor that detects the position of a moving object to be detected.

非接触式の位置検出装置は、例えば、抵抗体との接触位置の変化に伴う出力電圧の変化から位置検出を行う接触式の位置検出装置と比較して、接触部分の摩耗がなく耐久性に優れているとともに、可動部分を気密にできるという利点を有している。このため、自動車におけるエキゾーストコントロールバルブやターボチャージャーの位置(開閉角度など)を測定するポジションセンサや家電における液体の圧力を測定する圧力測定装置等に用いられている。   The non-contact type position detection device, for example, is more durable than the contact type position detection device that detects the position from the change of the output voltage accompanying the change of the contact position with the resistor. In addition to being excellent, it has the advantage that the movable part can be airtight. For this reason, it is used in a position sensor that measures the position (opening / closing angle, etc.) of an exhaust control valve or a turbocharger in an automobile, a pressure measuring device that measures the pressure of a liquid in home appliances, and the like.

このような位置検出装置の従来例として、特許文献1では、検出対象物(可動体904)の移動に伴い移動する可動磁石972と可動磁石972の位置を検出するセンサ部(磁気抵抗効果素子976)とを有した位置検出センサ950を用いた非接触式の位置検出装置900が提案されている。図10は、従来例(特許文献1)における位置検出装置900の分解斜視図である。   As a conventional example of such a position detection device, in Patent Document 1, a movable magnet 972 that moves with the movement of a detection object (movable body 904) and a sensor unit that detects the position of the movable magnet 972 (magnetoresistance effect element 976). A non-contact type position detecting device 900 using a position detecting sensor 950 having a FIG. 10 is an exploded perspective view of a position detection device 900 in a conventional example (Patent Document 1).

図10に示す位置検出装置900は、可動磁石972及び磁気抵抗効果素子976を有した位置検出センサ950と、可動磁石972を収容して移動する可動体904と、磁気抵抗効果素子976が搭載された基板957を固定するセンサユニット支持体908と、位置検出センサ950、可動体904及びセンサユニット支持体908を収容するケース902及び蓋体903と、から構成されている。   A position detection apparatus 900 shown in FIG. 10 includes a position detection sensor 950 having a movable magnet 972 and a magnetoresistive effect element 976, a movable body 904 that moves by accommodating the movable magnet 972, and a magnetoresistive effect element 976. The sensor unit support 908 that fixes the substrate 957, the case 902 that houses the position detection sensor 950, the movable body 904, and the sensor unit support 908, and the lid 903 are configured.

そして、位置検出センサ950には、可動磁石972及び磁気抵抗効果素子976を取り囲めるように平面視略コ字状に形成された磁性体(保護板974)が設けられており、位置検出装置900が組み立てられた際には、保護板974の側板部974a(第1の対向部)が可動磁石972と対向するとともに、保護板974の側板部974b(第2の対向部)が磁気抵抗効果素子976と対向するようになる。これにより、側板部974aの対向面が可動磁石972からの磁場フラックスを確実に受け止め、保護板974の連結部974cを介して側板部974bに伝えることができるので、可動磁石972から流れる磁束を、側板部974a、連結部974c及び側板部974bを介して再び可動磁石972に戻して、磁気抵抗効果素子976が検知する磁場の流れを安定させることができる。このため、各構成部品の相対的な位置関係を合わせるための煩雑な作業を要することなしに検出対象物(可動体904)の位置を正確に検出できるとともに、ストローク距離に対応させて磁石等を長くする必要がないので、位置検出センサ950の小型化を図ることができるとしている。   The position detection sensor 950 is provided with a magnetic body (protective plate 974) formed in a substantially U shape in plan view so as to surround the movable magnet 972 and the magnetoresistive element 976. Is assembled, the side plate portion 974a (first facing portion) of the protection plate 974 faces the movable magnet 972, and the side plate portion 974b (second facing portion) of the protection plate 974 is a magnetoresistive element. 976 comes to face. Thus, the opposing surface of the side plate portion 974a can reliably receive the magnetic flux from the movable magnet 972 and transmit it to the side plate portion 974b via the connecting portion 974c of the protection plate 974. By returning to the movable magnet 972 again via the side plate portion 974a, the connecting portion 974c, and the side plate portion 974b, the flow of the magnetic field detected by the magnetoresistive effect element 976 can be stabilized. For this reason, the position of the detection target (movable body 904) can be accurately detected without requiring a complicated operation for adjusting the relative positional relationship of each component, and a magnet or the like can be used corresponding to the stroke distance. Since it is not necessary to lengthen the position detection sensor 950, the position detection sensor 950 can be downsized.

特開2010−185854号公報JP 2010-185854 A

しかしながら、従来例の位置検出センサ950を更に小型化したいと言う要望に対しては、可動磁石972及び磁気抵抗効果素子976を取り囲む磁性体(保護板974)を有しているので、難しいものがあった。一方、小型化のために、従来例の磁性体(保護板974)を除いた場合は、検出対象物(被検知物)の位置を正確に検出できるという良好な効果を失ってしまうという課題があった。   However, since it has a magnetic body (protection plate 974) surrounding the movable magnet 972 and the magnetoresistive effect element 976 for the desire to further reduce the position detection sensor 950 of the conventional example, it is difficult to do so. there were. On the other hand, when the magnetic material (protection plate 974) of the conventional example is removed for downsizing, there is a problem that the good effect that the position of the detection target (detected object) can be accurately detected is lost. there were.

本発明は、上述した課題を解決するもので、被検知物の位置を精度良く検出でき小型化が図れた位置検出センサを提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a position detection sensor that can accurately detect the position of an object to be detected and can be downsized.

この課題を解決するために、本発明の位置検出センサは、一方向へ延設して形成されるとともに前記一方向の両端に磁極を有するように磁化された磁石体と、該磁石体により生じる磁界の向きを検知可能な磁気検出部材と、を有し、前記磁気検出部材が前記一方向と交差する側に前記磁石体と対向して配置され、前記磁石体と前記磁気検出部材との相対的な移動に伴って変化する前記磁界の向きを検知して、移動する被検知物の位置を検出する位置検出センサにおいて、前記磁石体が、前記一方向に棒状で形成されたベース部と、該ベース部の前記一方向における両端部に形成され少なくとも前記磁気検出部材側に突出する突出部と、を有することを特徴としている。   In order to solve this problem, a position detection sensor of the present invention is formed by a magnet body that is formed to extend in one direction and is magnetized to have magnetic poles at both ends in the one direction, and the magnet body. A magnetic detection member capable of detecting the direction of the magnetic field, the magnetic detection member being disposed on the side crossing the one direction so as to face the magnet body, and relative to the magnet body and the magnetic detection member. In the position detection sensor that detects the position of the moving object to be detected by detecting the direction of the magnetic field that changes along with the general movement, the magnet body has a base portion formed in a bar shape in the one direction; And a protruding portion that is formed at both end portions in the one direction of the base portion and protrudes at least toward the magnetic detection member.

これによれば、本発明の位置検出センサは、磁石体により生じる磁界が一対の突出部を結ぶように形成され、突出部を有しない場合と比較して、磁石体に沿うように形成される磁界領域が磁石体の両端側に広がり安定したものとなる。このため、組み立て等により磁石体と磁気検出部材との相対的な距離が変化した場合であっても、所望の位置で検知すべき磁界との差が小さく、検出精度の低下を防止することができる。しかも安定した磁界領域が磁石体の両端側に広がっているので、磁石体を長くすることなしに、より長い検出領域を確保することができる。このことにより、被検知物の位置を精度良く検出でき小型化が図れた位置検出センサを提供することができる。   According to this, the position detection sensor of the present invention is formed so that the magnetic field generated by the magnet body connects the pair of protrusions, and is formed so as to follow the magnet body as compared with the case where there is no protrusion. The magnetic field region spreads to both ends of the magnet body and becomes stable. For this reason, even when the relative distance between the magnet body and the magnetic detection member changes due to assembly or the like, the difference from the magnetic field to be detected at a desired position is small, and deterioration in detection accuracy can be prevented. it can. In addition, since a stable magnetic field region extends to both ends of the magnet body, a longer detection region can be ensured without lengthening the magnet body. Accordingly, it is possible to provide a position detection sensor that can detect the position of the object to be detected with high accuracy and can be miniaturized.

また、本発明の位置検出センサは、一対の前記突出部の突出高さが、前記磁石体と前記磁気検出部材との間隔距離に対して、0.11から0.27の比率であることを特徴としている。   In the position detection sensor of the present invention, the protrusion height of the pair of protrusions may be a ratio of 0.11 to 0.27 with respect to the distance between the magnet body and the magnetic detection member. It is a feature.

これによれば、突出部の突出高さと磁石体の全長とのバランスが良くなり、一対の突出部を結ぶように形成されて磁石体に沿う磁界が安定したものとなる。このことにより、検出精度、特に、組み立て等により磁石体と磁気検出部材との相対的な距離が変化した場合でのリニアリティ精度の低下を防止することができる。   According to this, the balance between the projecting height of the projecting portion and the entire length of the magnet body is improved, and the magnetic field along the magnet body is stabilized by connecting the pair of projecting portions. As a result, it is possible to prevent a decrease in linearity accuracy when the detection accuracy, in particular, the relative distance between the magnet body and the magnetic detection member changes due to assembly or the like.

また、本発明の位置検出センサは、前記突出部が前記一方向と交差する全方向に亘って突出して形成されていることを特徴としている。   The position detection sensor of the present invention is characterized in that the projecting portion is formed so as to project in all directions intersecting the one direction.

これによれば、磁気検出部材側にだけ突出部が突出して形成されている場合と比較して、位置検出センサの組み立て時において、突出部の突出方向を磁気検出部材に対して厳密に位置合わせする必要がない。このことにより、位置検出センサの組み立てが容易になるとともに、突出部と磁気検出部材との相対的な位置精度が確保されて検出精度の低下を防止することができる。   According to this, in comparison with the case where the protruding portion is formed to protrude only on the magnetic detection member side, the protruding direction of the protruding portion is strictly aligned with the magnetic detection member when the position detection sensor is assembled. There is no need to do. As a result, the assembly of the position detection sensor is facilitated, and the relative positional accuracy between the projecting portion and the magnetic detection member is ensured, thereby preventing a decrease in detection accuracy.

また、本発明の位置検出センサは、前記ベース部が円柱形状に形成され、前記突出部が前記円柱形状の同心円となる円盤形状に形成されていることを特徴としている。   The position detection sensor according to the present invention is characterized in that the base portion is formed in a columnar shape, and the protruding portion is formed in a disk shape that is a concentric circle of the columnar shape.

これによれば、磁気検出部材側にだけ突出部が突出して形成されている場合と比較して、位置検出センサの組み立て時において、突出部の突出方向を位置決めする必要がない。このことにより、位置検出センサの組み立てがより容易になるとともに、突出部と磁気検出部材との相対的な位置精度が確保されて検出精度の低下をより防止することができる。   According to this, it is not necessary to position the protruding direction of the protruding portion when the position detection sensor is assembled, as compared with the case where the protruding portion is formed to protrude only on the magnetic detection member side. As a result, the assembly of the position detection sensor becomes easier, and the relative positional accuracy between the protrusion and the magnetic detection member is ensured, and the detection accuracy can be prevented from being lowered.

また、本発明の位置検出センサは、前記ベース部と前記突出部とは一体の永久磁石からなることを特徴としている。   In the position detection sensor of the present invention, the base portion and the protruding portion are formed of an integral permanent magnet.

これによれば、部品点数を少なくでき、組み立てを容易にすることができる。また、突出部の寸法精度や配設位置精度が確保することができ、検出精度の低下をより一層防止することができる。   According to this, the number of parts can be reduced and assembly can be facilitated. Further, it is possible to ensure the dimensional accuracy and the placement position accuracy of the protruding portion, and it is possible to further prevent the detection accuracy from being lowered.

また、本発明の位置検出センサは、前記ベース部が永久磁石からなり、前記突出部が軟質磁性体からなることを特徴としている。   The position detection sensor of the present invention is characterized in that the base portion is made of a permanent magnet and the protruding portion is made of a soft magnetic material.

これによれば、永久磁石のベース部を単純な形状で形成することができるとともに、永久磁石で形成する部分を減らすことができる。このことにより、磁石体を容易にしかも安価に作製することができる。   According to this, while being able to form the base part of a permanent magnet by a simple shape, the part formed with a permanent magnet can be reduced. This makes it possible to produce the magnet body easily and inexpensively.

また、本発明の位置検出センサは、前記突出部には、前記磁石体を固定するための取付部を有していることを特徴としている。   The position detection sensor of the present invention is characterized in that the protrusion has an attachment portion for fixing the magnet body.

これによれば、移動する被検知物側或いは移動しない固定側に容易に固定することができる。また、永久磁石を加工する場合と比較して、容易に取付部を作製することができる。   According to this, it can fix easily to the to-be-detected object side which moves, or the fixed side which does not move. In addition, the attachment portion can be easily manufactured as compared with the case of processing a permanent magnet.

本発明の位置検出センサは、磁石体により生じる磁界が一対の突出部を結ぶように形成され、突出部を有しない場合と比較して、磁石体に沿うように形成される磁界領域が磁石体の両端側に広がり安定したものとなる。このため、組み立て等により磁石体と磁気検出部材との相対的な距離が変化した場合であっても、所望の位置で検知すべき磁界との差が小さく、検出精度の低下を防止することができる。しかも安定した磁界領域が磁石体の両端側に広がっているので、磁石体を長くすることなしに、より長い検出領域を確保することができる。このことにより、被検知物の位置を精度良く検出でき小型化が図れた位置検出センサを提供することができる。   In the position detection sensor of the present invention, the magnetic field generated by the magnet body is formed so as to connect the pair of projecting portions, and the magnetic field region formed so as to follow the magnet body is smaller than the case where there is no projecting portion. It spreads to both ends of the and becomes stable. For this reason, even when the relative distance between the magnet body and the magnetic detection member changes due to assembly or the like, the difference from the magnetic field to be detected at a desired position is small, and deterioration in detection accuracy can be prevented. it can. In addition, since a stable magnetic field region extends to both ends of the magnet body, a longer detection region can be ensured without lengthening the magnet body. Accordingly, it is possible to provide a position detection sensor that can detect the position of the object to be detected with high accuracy and can be miniaturized.

本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する図であって、位置検出センサが適用された位置検出装置の斜視図である。It is a figure explaining the position detection sensor of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is a perspective view of the position detection apparatus with which the position detection sensor was applied. 本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する図であって、位置検出センサが適用された位置検出装置の上面図である。It is a figure explaining the position detection sensor of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is a top view of the position detection apparatus with which the position detection sensor was applied. 本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する図であって、図3は、図2に示すIII−III線における位置検出装置の断面図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the position detection sensor according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the position detection apparatus taken along line III-III shown in FIG. 本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する図であって、図3の下限状態から磁石体が上方に移動して上限状態に位置した際の位置検出装置の断面図である。It is a figure explaining the position detection sensor of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is sectional drawing of a position detection apparatus when a magnet body moves upwards from the lower limit state of FIG. 3, and is located in an upper limit state. 本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する図であって、磁石体の斜視図である。It is a figure explaining the position detection sensor of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is a perspective view of a magnet body. 本発明の第1実施形態の位置検出センサを説明する模式図であって、磁石体と磁気検出部材の断面構成図である。It is a schematic diagram explaining the position detection sensor of 1st Embodiment of this invention, Comprising: It is a cross-sectional block diagram of a magnet body and a magnetic detection member. 本発明の第1実施形態に係わる位置検出センサにおける効果を説明する図であって、図7(a)は、位置検出センサのシミュレーション結果(A)であり、図7(b)は、比較として行った比較例のシミュレーション結果(Z)である。It is a figure explaining the effect in the position detection sensor concerning a 1st embodiment of the present invention, and Drawing 7 (a) is a simulation result (A) of a position detection sensor, and Drawing 7 (b) is as a comparison. It is a simulation result (Z) of the comparative example performed. 本発明の第1実施形態に係わる位置検出センサにおける効果を説明する図であって、図8(a)は、位置検出センサのシミュレーション結果(B)であり、図8(b)は、位置検出センサのシミュレーション結果(C)である。It is a figure explaining the effect in the position detection sensor concerning a 1st embodiment of the present invention, and Drawing 8 (a) is a simulation result (B) of a position detection sensor, and Drawing 8 (b) is position detection. It is a simulation result (C) of a sensor. 本発明の第1実施形態に係わる位置検出センサにおける効果を説明する図であって、図9(a)は、磁石体が発生する磁気の流れを示した模式図であり、図9(b)は、図9(a)に対し、突出部を有しない場合の比較例を示した模式図である。FIG. 9A is a diagram for explaining the effect of the position detection sensor according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 9A is a schematic diagram showing a magnetic flow generated by the magnet body, and FIG. FIG. 9 is a schematic view showing a comparative example in the case where no protrusion is provided, with respect to FIG. 従来例の位置検出装置の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the position detection apparatus of a prior art example.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[第1実施形態]
先ず、本発明の第1実施形態の位置検出センサ101が用いられる位置検出装置500について、簡単に説明する。図1は、本発明の第1実施形態の位置検出センサ101を説明する図であって、位置検出センサ101が適用された位置検出装置500の斜視図である。図2は、位置検出センサ101が適用された位置検出装置500の上面図である。図3は、図2に示すIII−III線における位置検出装置500の断面図である。なお、図3においては、磁石体2が下方側に移動した下限状態を示している。図4は、図3の下限状態から磁石体2が上方側に移動して上限状態に位置した際の位置検出装置500の断面図である。
[First Embodiment]
First, the position detection device 500 using the position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention will be briefly described. FIG. 1 is a diagram illustrating a position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention, and is a perspective view of a position detection device 500 to which the position detection sensor 101 is applied. FIG. 2 is a top view of a position detection apparatus 500 to which the position detection sensor 101 is applied. FIG. 3 is a cross-sectional view of the position detection apparatus 500 taken along the line III-III shown in FIG. In addition, in FIG. 3, the lower limit state which the magnet body 2 moved to the downward side is shown. 4 is a cross-sectional view of the position detection device 500 when the magnet body 2 moves upward from the lower limit state of FIG. 3 and is positioned in the upper limit state.

位置検出装置500は、図1及び図2に示すような外観を呈し、図3及び図4に示すように、外観を構成する上ケースK11及び下ケースK19と、一方向AD(図3及び図4に示すZ方向)に移動する磁石体2及び磁界の向きを検知可能な磁気検出部材3を有した位置検出センサ101と、磁石体2と一体的に駆動可能な移動体25と、磁石体2を移動させる駆動部26と、を備えて構成されている。他に、位置検出装置500は、磁石体2の一方向ADへの移動を案内するガイド部材G17と、外部機器と電気的に接続するためのコネクタCNが内蔵されたコネクタケースH18と、図示しない減圧源等の空気式制御装置にチューブ等で接続されるフィッティングF19と、を有している。なお、本発明の第1実施形態の位置検出センサ101については、位置検出装置500の概要を説明した後、詳細に説明する。   The position detection device 500 has an appearance as shown in FIGS. 1 and 2, and as shown in FIGS. 3 and 4, the upper case K11 and the lower case K19 that form the appearance, and a one-way AD (see FIGS. 3 and 4). A position detection sensor 101 having a magnet body 2 that moves in the Z direction shown in FIG. 4 and a magnetic detection member 3 that can detect the direction of the magnetic field, a moving body 25 that can be driven integrally with the magnet body 2, and a magnet body. 2 and a drive unit 26 that moves 2. In addition, the position detection device 500 includes a guide member G17 that guides the movement of the magnet body 2 in one direction AD, a connector case H18 in which a connector CN for electrical connection with an external device is incorporated, and not illustrated. And a fitting F19 connected to a pneumatic control device such as a decompression source by a tube or the like. The position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention will be described in detail after the outline of the position detection device 500 is described.

先ず、位置検出装置500の上ケースK11及び下ケースK19は、金属材を加工して作製されており、上ケースK11と下ケースK19とが組み合わされた際には、図3及び図4に示すように、磁石体2及び駆動部26を収容し、磁石体2が移動可能な収容部K1sを形成している。   First, the upper case K11 and the lower case K19 of the position detecting device 500 are manufactured by processing a metal material. When the upper case K11 and the lower case K19 are combined, they are shown in FIGS. Thus, the magnet body 2 and the drive part 26 are accommodated, and the accommodating part K1s in which the magnet body 2 is movable is formed.

上ケースK11の収容部K1s内には、図3及び図4に示すように、ガイド部材G17が配設されるとともに、上ケースK11の外側の上方には、図1に示すように、コネクタケースH18が配設されている。また、上ケースK11には、図1に示すように、その中間部の側壁から側壁に対して垂直方向に延設されたフィッティングF19が設けられている。このフィッティングF19は、中空に形成されており、この中空により収容部K1sと外部とが空間で繋がっている。   As shown in FIGS. 3 and 4, a guide member G17 is disposed in the housing portion K1s of the upper case K11, and a connector case is disposed above the outer side of the upper case K11 as shown in FIG. H18 is provided. Further, as shown in FIG. 1, the upper case K11 is provided with a fitting F19 extending from the side wall of the intermediate portion in a direction perpendicular to the side wall. The fitting F19 is formed in a hollow shape, and the housing portion K1s is connected to the outside through the hollow space.

下ケースK19には、図3及び図4に示すように、中央部に開口した開口部K19hを有しており、後述する移動体25の移動軸J5が挿通されている。そして、この開口部K19hにより、下ケースK19側の収容部K1s内を大気圧に保持している。   As shown in FIGS. 3 and 4, the lower case K19 has an opening K19h opened at the center, and a moving shaft J5 of the moving body 25 described later is inserted therethrough. The opening K19h keeps the inside of the accommodating portion K1s on the lower case K19 side at atmospheric pressure.

次に、位置検出装置500の移動体25は、磁石体2と一体的に移動動可能となっており、図3及び図4に示すように、磁石体2を固定するホルダ部H5と、ホルダ部H5が固着されたピストン部P5と、ピストン部P5に係合された移動軸J5と、移動軸J5と係合しピストン部P5の下方(図3に示すZ2方向)に配設された補強板A5と、を有して構成されている。   Next, the moving body 25 of the position detecting device 500 can move integrally with the magnet body 2, and as shown in FIGS. 3 and 4, a holder portion H5 for fixing the magnet body 2 and a holder Piston portion P5 to which portion H5 is fixed, moving shaft J5 engaged with piston portion P5, and reinforcement disposed at the lower side of piston portion P5 (Z2 direction shown in FIG. 3) that engages with moving shaft J5. And a plate A5.

移動体25のホルダ部H5及びピストン部P5は、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT、polybutyleneterephtalate)等の合成樹脂を用いて射出成形されており、詳細な図示はしていないが、ピストン部P5は、円筒状に形成されて、その底面部P5bの中央には穴部を有している。   The holder part H5 and the piston part P5 of the moving body 25 are injection-molded using a synthetic resin such as polybutylene terephthalate resin (PBT, polybutyleneterephtalate). Although not shown in detail, the piston part P5 is a cylinder. The bottom surface P5b has a hole at the center.

移動体25の補強板A5は、金属材を用いて作製されており、詳細な図示はしていないが、円盤状に形成されて、その中央には貫通孔を有している。また、補強板A5は、図3及び図4に示すように、補強板A5とピストン部P5の底面部P5bとで、駆動部26(後述するダイヤフラムD6)を挟む位置に配設されている。   The reinforcing plate A5 of the moving body 25 is made of a metal material, and although not shown in detail, it is formed in a disk shape and has a through hole at the center thereof. As shown in FIGS. 3 and 4, the reinforcing plate A5 is disposed at a position where the driving plate 26 (diaphragm D6 described later) is sandwiched between the reinforcing plate A5 and the bottom surface portion P5b of the piston portion P5.

移動体25の移動軸J5は、金属材を用いて作製されており、詳細な図示はしていないが、略円柱状に形成されている。そして、移動軸J5は、図3及び図4に示すように、移動軸J5の一方側の先端部がピストン部P5の穴部及び補強板A5の貫通孔に挿通され、図示していない軸受けやリング等を用いて、ピストン部P5及び補強板A5に固着されている。また、移動軸J5の他方側の先端部には、位置検出装置500で検出したい操作対象部品(被検知物)が接続される。なお、図1では、他方側の端面が平面の円柱形状であるが、接続される操作対象部品との結合の都合により、種々の形状に変更が可能である。   The moving axis J5 of the moving body 25 is made of a metal material, and is not shown in detail, but is formed in a substantially cylindrical shape. As shown in FIGS. 3 and 4, the moving shaft J5 has a tip on one side of the moving shaft J5 inserted through the hole of the piston portion P5 and the through hole of the reinforcing plate A5. It is fixed to the piston part P5 and the reinforcing plate A5 using a ring or the like. In addition, an operation target component (detected object) to be detected by the position detection device 500 is connected to the tip of the other side of the movement axis J5. In FIG. 1, the other end face has a flat cylindrical shape, but can be changed to various shapes for convenience of connection with the operation target component to be connected.

次に、位置検出装置500の駆動部26は、図3及び図4に示すように、収容部K1s内を2つの空間に分けるダイヤフラムD6と、ダイヤフラムD6の底部26bを付勢する付勢部材F6と、を有して構成されている。なお、2つの空間とは、ダイヤフラムD6の上ケースK11側の減圧室とダイヤフラムD6の下ケースK19側の大気室とを指している。   Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the drive unit 26 of the position detection device 500 includes a diaphragm D6 that divides the interior of the housing portion K1s into two spaces, and a biasing member F6 that biases the bottom 26b of the diaphragm D6. And is configured. The two spaces refer to a decompression chamber on the upper case K11 side of the diaphragm D6 and an atmosphere chamber on the lower case K19 side of the diaphragm D6.

駆動部26のダイヤフラムD6は、弾性を有するゴム材を用いて作製されており、図3及び図4に示すように、上ケースK11と下ケースK19とに挟持されるフランジ部26fと、変形自在な変形部26eと、中央に移動軸J5が挿通される貫通穴を有する底部26bと、から構成されている。また、前述したように、ダイヤフラムD6の底部26bがピストン部P5の底面部P5bと補強板A5とに挟持されて配設されているので、移動体25の上下方向(図3及び図4に示すZ方向)への移動に伴いダイヤフラムD6が変形しても、ダイヤフラムD6の底部26bは、平面を保つことができる。   The diaphragm D6 of the drive unit 26 is made of an elastic rubber material, and as shown in FIGS. 3 and 4, a flange portion 26f sandwiched between the upper case K11 and the lower case K19, and a freely deformable member. And a bottom portion 26b having a through hole through which the moving shaft J5 is inserted. Further, as described above, since the bottom portion 26b of the diaphragm D6 is interposed between the bottom surface portion P5b of the piston portion P5 and the reinforcing plate A5, the vertical direction of the moving body 25 (shown in FIGS. 3 and 4). Even if the diaphragm D6 is deformed with the movement in the Z direction), the bottom portion 26b of the diaphragm D6 can be kept flat.

駆動部26の付勢部材F6は、両端を平面に研磨したコイルバネで、図3及び図4に示すように、一方端が上ケースK11の天井面に当接し、他方端がピストン部P5の底面部P5bに当接している。そして、付勢部材F6は、ピストン部P5を下方に付勢している。   The urging member F6 of the drive unit 26 is a coil spring whose both ends are flattened. As shown in FIGS. 3 and 4, one end abuts against the ceiling surface of the upper case K11 and the other end is the bottom surface of the piston part P5. It is in contact with the portion P5b. The urging member F6 urges the piston portion P5 downward.

以上のようにして構成された位置検出装置500は、図3に示す下限状態から減圧室が減圧されると、ダイヤフラムD6が変形し、付勢部材F6の付勢力に抗してダイヤフラムD6の底部26bが上方(図3に示すZ1方向)に移動するようになる。そして、減圧室の減圧による力が付勢部材F6の付勢力より勝った場合には、図4の上限状態にまでダイヤフラムD6の底部26bの移動が行われる。一方、減圧室の減圧が解除されると、付勢部材F6の付勢力により、図3の下限状態にまで、ダイヤフラムD6の底部26bの移動が行われる。このようにして、駆動部26が上下方向に移動することで、磁石体2及び移動体25が上下方向に移動している。そして、位置検出装置500は、移動する被検知物(検出したい操作対象部品)の位置を、本発明の第1実施形態の位置検出センサ101を用いて、検出するようにしている。   In the position detection device 500 configured as described above, when the decompression chamber is decompressed from the lower limit state shown in FIG. 3, the diaphragm D6 is deformed and resists the urging force of the urging member F6, and the bottom of the diaphragm D6. 26b moves upward (Z1 direction shown in FIG. 3). Then, when the force due to the decompression of the decompression chamber is greater than the urging force of the urging member F6, the bottom 26b of the diaphragm D6 is moved to the upper limit state of FIG. On the other hand, when the decompression of the decompression chamber is released, the bottom portion 26b of the diaphragm D6 is moved to the lower limit state of FIG. 3 by the biasing force of the biasing member F6. In this way, the magnet body 2 and the moving body 25 are moved in the vertical direction by the drive unit 26 moving in the vertical direction. The position detection device 500 detects the position of the moving object (operation target component to be detected) using the position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention.

次に、本発明の位置検出センサ101について、詳細に説明する。図5は、磁石体2の斜視図である。図6は、本発明の第1実施形態の位置検出センサ101を説明する模式図であって、磁石体2と磁気検出部材3の断面構成図である。   Next, the position detection sensor 101 of the present invention will be described in detail. FIG. 5 is a perspective view of the magnet body 2. FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention, and is a cross-sectional configuration diagram of the magnet body 2 and the magnetic detection member 3.

本発明の第1実施形態の位置検出センサ101は、上ケースK11及び下ケースK19内の収容部K1sを一方向AD(図3及び図4に示すZ方向)に沿って移動する磁石体2と、磁石体2の移動動作を検出する磁気検出部材3と、を有して構成されている。そして、位置検出センサ101は、磁石体2が移動する一方向ADと交差する側に、磁気検出部材3を磁石体2と対向して配置して構成し、この磁石体2と磁気検出部材3との相対的な移動に伴って変化する磁界の向きを磁気検出部材3で検知している。これにより、磁石体2と連動して移動する被検知物(検出したい操作対象部品)の位置を検出できるようになっている。   The position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention includes a magnet body 2 that moves in one direction AD (the Z direction shown in FIGS. 3 and 4) in the housing portion K1s in the upper case K11 and the lower case K19. And a magnetic detection member 3 for detecting the moving operation of the magnet body 2. The position detection sensor 101 is configured by disposing the magnetic detection member 3 so as to face the magnet body 2 on the side intersecting the one direction AD in which the magnet body 2 moves, and the magnet body 2 and the magnetic detection member 3. The magnetic detection member 3 detects the direction of the magnetic field that changes with relative movement. Thereby, the position of the detected object (operation target part to be detected) moving in conjunction with the magnet body 2 can be detected.

先ず、位置検出センサ101の磁石体2は、図5に示すように、一方向ADに棒状に延設して形成されたベース部M2と、ベース部M2の一方向ADにおける両端部に形成された突出部T2と、を有して構成されている。そして、磁石体2は、一方向ADの両端に磁極を有するように磁化されている。   First, as shown in FIG. 5, the magnet body 2 of the position detection sensor 101 is formed at a base portion M2 formed to extend in a bar shape in one direction AD and at both ends in the one direction AD of the base portion M2. And a protruding portion T2. The magnet body 2 is magnetized so as to have magnetic poles at both ends in one direction AD.

磁石体2のベース部M2は、ネオジウム磁石等の永久磁石からなり、図5に示すように、円柱形状に形成されている。これにより、ベース部M2を単純な形状で形成することができるとともに、永久磁石で形成する部分を減らすことができる。このことにより、磁石体2を容易にしかも安価に作製することができる。   The base portion M2 of the magnet body 2 is made of a permanent magnet such as a neodymium magnet, and is formed in a cylindrical shape as shown in FIG. Thereby, while being able to form the base part M2 with a simple shape, the part formed with a permanent magnet can be reduced. Thereby, the magnet body 2 can be manufactured easily and inexpensively.

磁石体2の突出部T2は、鉄または鉄合金等の軟質磁性体からなり、図5に示すように、ベース部M2の円柱形状の同心円となる外形を有した円盤形状に形成されており、ベース部M2の両端部にそれぞれ装着されている。なお、本発明の第1実施形態では、円盤形状の中心部に貫通孔を設けた円環形状に形成されているが、これに限るものではなく、例えば、ベース部M2側に凹部を設けた形状とし、ベース部M2と凹部とを嵌めて装着する構成でも良い。   The projecting portion T2 of the magnet body 2 is made of a soft magnetic material such as iron or an iron alloy, and is formed in a disk shape having an outer shape that is a cylindrical concentric circle of the base portion M2, as shown in FIG. It is attached to both ends of the base part M2. In addition, in 1st Embodiment of this invention, although formed in the annular shape which provided the through-hole in the disk-shaped center part, it does not restrict to this, For example, the recessed part was provided in the base part M2 side. A configuration may be adopted in which the base portion M2 and the concave portion are fitted and mounted.

そして、位置検出センサ101が組み立てられた際には、図3及び図4に示すように、この突出部T2の一部は、磁気検出部材3に対して、磁気検出部材3側に突出するように配設されている。これにより、磁石体2により生じる磁界が一対の突出部T2を結ぶように形成され、突出部T2を有しない場合と比較して、磁石体2に沿うように形成される磁界領域が磁石体2の両端側に広がるようになる。言い換えると、磁石体2の両端側においても磁石体2により平行な磁界が形成され、磁石体2に平行な磁界領域が広がり、磁気検出部材3が受ける磁界領域が安定したものとなる。このため、磁石体2を長くすることなしに、より長い検出領域を確保することができる。   When the position detection sensor 101 is assembled, as shown in FIGS. 3 and 4, a part of the protruding portion T <b> 2 protrudes toward the magnetic detection member 3 with respect to the magnetic detection member 3. It is arranged. Thereby, the magnetic field generated by the magnet body 2 is formed so as to connect the pair of projecting portions T2, and the magnetic field region formed along the magnet body 2 is compared with the case where the projecting portion T2 is not provided. Will spread to both ends. In other words, a parallel magnetic field is formed by the magnet body 2 at both ends of the magnet body 2, a magnetic field area parallel to the magnet body 2 is expanded, and the magnetic field area received by the magnetic detection member 3 is stabilized. For this reason, a longer detection region can be secured without lengthening the magnet body 2.

また、本発明の第1実施形態では、突出部T2が円盤形状に形成されて円柱形状のベース部M2に装着されているので、突出部T2が一方向ADと交差する全方向に亘って突出して形成されるように構成されている。これにより、磁気検出部材3側にだけ突出部T2が突出して形成されている場合と比較して、位置検出センサ101の組み立て時において、突出部T2の突出方向を磁気検出部材3に対して厳密に位置合わせする必要がなく、位置検出センサ101を容易に組み立てることができる。   Moreover, in 1st Embodiment of this invention, since the protrusion part T2 is formed in the disk shape and is mounted | worn with the cylindrical base part M2, the protrusion part T2 protrudes in all the directions which cross | intersect one direction AD. It is comprised so that it may be formed. Thereby, compared with the case where the protruding portion T2 protrudes only on the magnetic detection member 3 side, the protruding direction of the protruding portion T2 is strictly set with respect to the magnetic detection member 3 when the position detection sensor 101 is assembled. Therefore, the position detection sensor 101 can be easily assembled.

また、一対の突出部T2の突出高さTH(図6を参照)は、いずれも同じ高さに設定されており、磁石体2の磁気検出部材3側の表面と磁気検出部材3の感磁点との間隔距離SD(図6を参照)に対して、0.11から0.27の比率にするのが好適である。これにより、突出部T2の突出高さTHと磁石体2の全長とのバランスが良くなり、一対の突出部T2を結ぶように形成されて磁石体2に沿う磁界が安定したものとなる。また、突出部T2の幅TW(図6を参照)は、磁気検出部材3の幅と同等若しくは少し広めに設定するのが好適である。   Further, the protrusion height TH (see FIG. 6) of the pair of protrusions T2 is set to the same height, and the surface of the magnet body 2 on the magnetic detection member 3 side and the magnetic detection of the magnetic detection member 3 are set. A ratio of 0.11 to 0.27 is preferable for the distance SD between points (see FIG. 6). Thereby, the balance between the projecting height TH of the projecting portion T2 and the entire length of the magnet body 2 is improved, and the magnetic field along the magnet body 2 formed so as to connect the pair of projecting portions T2 becomes stable. The width TW (see FIG. 6) of the protruding portion T2 is preferably set to be equal to or slightly wider than the width of the magnetic detection member 3.

また、軟磁性体からなる突出部T2には、図5に示すように、磁石体2を移動体25のホルダ部H5に固定するための取付部T2rが形成されている。この取付部T2rは、本発明の第1実施形態では、貫通孔となっており、ネジ等を用いて突出部T2をネジ止めすることにより、磁石体2を容易に固定することができる。また、軟磁性体からなる突出部T2なので、永久磁石を加工して取付部T2rを設ける場合と比較して、容易に取付部T2rを作製することができる。   Further, as shown in FIG. 5, a mounting portion T <b> 2 r for fixing the magnet body 2 to the holder portion H <b> 5 of the moving body 25 is formed on the protruding portion T <b> 2 made of a soft magnetic body. In the first embodiment of the present invention, the attachment portion T2r is a through hole, and the magnet body 2 can be easily fixed by screwing the protruding portion T2 using a screw or the like. Moreover, since it is protrusion part T2 which consists of a soft magnetic body, compared with the case where a permanent magnet is processed and the attachment part T2r is provided, the attachment part T2r can be produced easily.

最後に、位置検出センサ101の磁気検出部材3は、ホール素子を2つ用いており、詳細な図示はしていないが、半導体素子と併せて熱硬化性の合成樹脂でパッケージングされて、回路基板に搭載されている。この2つのホール素子は、図5に示すZ方向及びX方向にそれぞれ感度軸を有している。そして、磁気検出部材3は、一方向ADと交差する側に磁石体2と対向して配置され、磁石体2の上下方向の動作に伴う磁界の変化を2軸のホール素子により検出して、磁石体2の位置を検出している。   Finally, the magnetic detection member 3 of the position detection sensor 101 uses two Hall elements. Although not shown in detail, the magnetic detection member 3 is packaged with a thermosetting synthetic resin together with a semiconductor element, It is mounted on the board. These two Hall elements have sensitivity axes in the Z direction and the X direction shown in FIG. And the magnetism detection member 3 is arrange | positioned facing the magnet body 2 on the side which cross | intersects one direction AD, detects the change of the magnetic field accompanying the operation | movement of the up-down direction of the magnet body 2, with a biaxial Hall element, The position of the magnet body 2 is detected.

この位置検出センサ101は、前述したように、磁気検出部材3が受ける磁界領域が安定したものとなっているので、組み立て等により磁石体2と磁気検出部材3との相対的な距離が変化した場合であっても、磁気検出部材3が所望の位置で検知すべき磁界との差が小さく、検出精度の低下が防止されている。特に、突出部T2を有しない場合と比較して、磁石体2の両端部における検出精度の低下が防止されている。   As described above, since the magnetic field region received by the magnetic detection member 3 is stable in the position detection sensor 101, the relative distance between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3 changes due to assembly or the like. Even in this case, the difference between the magnetic detection member 3 and the magnetic field that should be detected at a desired position is small, and a decrease in detection accuracy is prevented. In particular, a decrease in detection accuracy at both end portions of the magnet body 2 is prevented as compared with a case where the protruding portion T2 is not provided.

[実施例]
以上のように構成された位置検出センサ101について、シミュレーションを行い、効果の検証を行った。図7は、位置検出センサ101における効果を説明する図であって、図7(a)は、位置検出センサ101のシミュレーション結果(A)であり、図7(b)は、比較として行った比較例のシミュレーション結果(Z)である。なお、図7の縦軸は、基準の間隔距離SDの位置で得られる磁気検出部材3の出力値に対する差(変動差)の割合であり、図7の横軸は、磁気検出部材3が移動するストロークSTである。また、図8は、位置検出センサ101における効果を説明する図であって、図8(a)は、位置検出センサ101のシミュレーション結果(B)であり、図8(b)は、位置検出センサ101のシミュレーション結果(C)である。なお、図8の縦軸は、基準の間隔距離SDの位置で得られる磁気検出部材3の出力値に対する差(変動差)の割合であり、図8(a)の横軸は、ストロークSTに対する磁石体長MLの比率であり、図8(b)の横軸は、間隔距離SDに対する突出高さTHの比率である。また、説明を分かり易くするため、図8(a)には、比較例のシミュレーション結果(図中に示すZ1)を2点鎖線で示している。図9は、位置検出センサ101における効果を説明する図であって、図9(a)は、磁石体2が発生する磁気の流れを示したシミュレーション結果に模式図であり、図9(b)は、図9(a)に対し、突出部T2を有しない場合の比較例のシミュレーション結果を示した模式図である。
[Example]
The position detection sensor 101 configured as described above was simulated and the effect was verified. FIG. 7 is a diagram for explaining the effect of the position detection sensor 101. FIG. 7A is a simulation result (A) of the position detection sensor 101, and FIG. 7B is a comparison performed as a comparison. It is a simulation result (Z) of an example. The vertical axis in FIG. 7 is the ratio of the difference (variation difference) to the output value of the magnetic detection member 3 obtained at the position of the reference interval distance SD, and the horizontal axis in FIG. 7 is the movement of the magnetic detection member 3. The stroke ST to be performed. FIG. 8 is a diagram for explaining the effect of the position detection sensor 101. FIG. 8A is a simulation result (B) of the position detection sensor 101, and FIG. 8B is a position detection sensor. 101 is a simulation result (C). The vertical axis in FIG. 8 is the ratio of the difference (variation difference) to the output value of the magnetic detection member 3 obtained at the position of the reference interval distance SD, and the horizontal axis in FIG. This is the ratio of the magnet body length ML, and the horizontal axis in FIG. 8B is the ratio of the protrusion height TH to the interval distance SD. For easy understanding, FIG. 8A shows a simulation result of the comparative example (Z1 shown in the figure) by a two-dot chain line. FIG. 9 is a diagram for explaining the effect of the position detection sensor 101. FIG. 9A is a schematic diagram showing a simulation result showing the flow of magnetism generated by the magnet body 2, and FIG. FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a simulation result of a comparative example in the case where the protrusion T <b> 2 is not provided with respect to FIG. 9A.

また、シミュレーションで用いた各サイズ(図6に示すサイズ)は、次のような値となっている。先ず、図7及び図8で共通するサイズとして、基準の間隔距離SDを7.25(mm)と固定して、この基準値から±2(mm)の間隔距離SDが変動するとした。図7に示す実線の値は、基準値から+2(mm)ずれた時の結果を示し、図7に示す破線の値は、基準値から−2(mm)ずれた時の結果を示している。また、磁気検出部材3が移動するストロークSTを12(mm)と固定した。図7に示すストロークSTは、磁石体長MLの中心と対向する位置を“0"として表している。   Each size used in the simulation (the size shown in FIG. 6) has the following values. First, as a size common to FIGS. 7 and 8, the reference distance SD is fixed to 7.25 (mm), and the distance SD of ± 2 (mm) varies from this reference value. The solid line value shown in FIG. 7 indicates the result when the reference value is deviated by +2 (mm), and the broken line value shown in FIG. 7 indicates the result when the reference value is deviated by −2 (mm). . Moreover, the stroke ST in which the magnetic detection member 3 moves was fixed at 12 (mm). The stroke ST shown in FIG. 7 represents the position facing the center of the magnet body length ML as “0”.

次に、図7では、磁石体2の磁石体長MLを25(mm)に固定し、ベース部径MWを10.7(mm)に固定した。また、図7(a)では、突出部T2の幅TWを2.5(mm)に固定し、突出高さTHを1.6(mm)に固定した。なお、この際のストロークSTに対する磁石体長MLの比率は2.1であり、突出高さTHと間隔距離SDとの比率は0.22である。また、図7(b)では、比較例なので、突出部T2を設けない構成とした。   Next, in FIG. 7, the magnet body length ML of the magnet body 2 is fixed to 25 (mm), and the base portion diameter MW is fixed to 10.7 (mm). In FIG. 7A, the width TW of the protrusion T2 is fixed to 2.5 (mm), and the protrusion height TH is fixed to 1.6 (mm). In this case, the ratio of the magnet body length ML to the stroke ST is 2.1, and the ratio of the protrusion height TH to the interval distance SD is 0.22. Moreover, in FIG.7 (b), since it was a comparative example, it was set as the structure which does not provide the protrusion part T2.

次に、図8(a)では、磁石体2の磁石体長MLを12(mm)から30(mm)と可変させ、磁石体2のベース部径MWを10.7(mm)に固定し、突出高さTHを1.6(mm)に固定し、突出部T2の幅TWを2.5(mm)に固定した。なお、この際の突出高さTHと間隔距離SDとの比率は0.22である。最後に、図8(b)では、磁石体2の磁石体長MLを30(mm)に固定し、ベース部径MWを10.7(mm)に固定し、突出部T2の幅TWを2.5(mm)に固定し、突出高さTHを1.0(mm)から3.6(mm)と可変させた。なお、この際のストロークSTに対する磁石体長MLの比率は2.5である。   Next, in FIG. 8A, the magnet body length ML of the magnet body 2 is varied from 12 (mm) to 30 (mm), and the base part diameter MW of the magnet body 2 is fixed to 10.7 (mm). The protrusion height TH was fixed at 1.6 (mm), and the width TW of the protrusion T2 was fixed at 2.5 (mm). In this case, the ratio between the protrusion height TH and the distance SD is 0.22. Finally, in FIG. 8B, the magnet body length ML of the magnet body 2 is fixed to 30 (mm), the base portion diameter MW is fixed to 10.7 (mm), and the width TW of the protruding portion T2 is set to 2. The protrusion height TH was varied from 1.0 (mm) to 3.6 (mm). Note that the ratio of the magnet body length ML to the stroke ST at this time is 2.5.

本発明の第1実施形態の位置検出センサ101は、図7(b)に示す突出部T2を有しない比較例の結果(Z)と比較して、図7(a)に示すように、磁気検出部材3で得られるの出力値の変動差(リニアリティ)が大幅に低減されている。これは、図9(a)に示すように、磁石体2により生じる磁界が一対の突出部T2を結ぶように形成され、磁石体2に沿うように形成される磁界領域が磁石体2の両端側に広がり安定したものとなっているからである。一方、突出部T2を有しない比較例では、図9(b)に示すように、磁界が磁石体702の両端部間を結ぶように形成され、磁石体702に沿うように形成される磁界領域が狭まっている。以上のことにより、位置検出センサ101は、組み立て等により磁石体2と磁気検出部材3との相対的な距離が変化した場合であっても、所望の位置で検知すべき磁界との差が小さく、検出精度の低下を防止することができる。   As shown in FIG. 7A, the position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention is magnetic as shown in FIG. 7A compared with the result (Z) of the comparative example that does not have the protrusion T2 shown in FIG. The output value fluctuation difference (linearity) obtained by the detection member 3 is greatly reduced. As shown in FIG. 9A, the magnetic field generated by the magnet body 2 is formed so as to connect the pair of protrusions T <b> 2, and the magnetic field regions formed along the magnet body 2 are at both ends of the magnet body 2. This is because it spreads to the side and is stable. On the other hand, in the comparative example that does not have the projecting portion T2, as shown in FIG. 9B, the magnetic field is formed so as to connect both end portions of the magnet body 702 and along the magnet body 702. Is narrowing. As described above, the position detection sensor 101 has a small difference from the magnetic field to be detected at a desired position even when the relative distance between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3 changes due to assembly or the like. Therefore, it is possible to prevent a decrease in detection accuracy.

また、位置検出センサ101は、図8(a)に示す比較例のシミュレーション結果Z1と比較して、図8(a)に示すように、いずれの磁石体長MLにおいて、磁気検出部材3で得られるの出力値の変動差(リニアリティ)が大幅に低減されている。これは、磁石体2を長くすることなしに、より長い検出領域を確保することができとということである。逆に、同じ変動差(リニアリティ)を得ようとした場合、比較例よりストロークSTに対する磁石体長MLの比率を小さくすることができる。つまり、磁石体長MLを短くすることができ、位置検出センサ101の小型化を図ることができる。   Further, the position detection sensor 101 is obtained by the magnetic detection member 3 at any magnet body length ML as shown in FIG. 8A, as compared with the simulation result Z1 of the comparative example shown in FIG. The difference in output value (linearity) is greatly reduced. This means that a longer detection area can be secured without lengthening the magnet body 2. On the contrary, when it is going to obtain the same fluctuation | variation difference (linearity), the ratio of the magnet body length ML with respect to stroke ST can be made smaller than a comparative example. That is, the magnet body length ML can be shortened, and the position detection sensor 101 can be downsized.

また、位置検出センサ101における突出部T2の突出高さTHには、図8(b)に示すように、間隔距離SDに対に対する比率に極小値(図8(b)では0.21前後)を有している。つまり、間隔距離SDに対する突出高さTHの比率が大きくなるにつれ、徐々にリニアリティが向上し、ある比率(極小値)を超えると、徐々にリニアリティが低下するようになる。これは、突出部T2の突出高さTHと磁石体2の全長(磁石体長ML)とのバランスがある比率で良くなり、一対の突出部T2を結ぶように形成されて磁石体2に沿う磁界が安定したものとなるからである。これにより、一対の突出部T2の突出高さTHが、磁石体2と磁気検出部材3との間隔距離SDに対して、0.11から0.27の比率であるのが好適である。   Further, as shown in FIG. 8B, the protrusion height TH of the protrusion T2 in the position detection sensor 101 is a minimum value in the ratio of the distance to the distance SD (about 0.21 in FIG. 8B). have. That is, as the ratio of the protrusion height TH to the interval distance SD increases, the linearity gradually increases, and when the ratio exceeds a certain ratio (local minimum value), the linearity gradually decreases. This is a ratio in which the protrusion height TH of the protrusion T2 and the total length of the magnet body 2 (magnet length ML) are balanced, and the magnetic field along the magnet body 2 is formed so as to connect the pair of protrusions T2. This is because it becomes stable. Thereby, it is preferable that the protrusion height TH of the pair of protrusions T2 is a ratio of 0.11 to 0.27 with respect to the distance SD between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3.

以上のように構成された本発明の第1実施形態の位置検出センサ101における、効果について、以下に纏めて説明する。   The effects of the position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be collectively described below.

本発明の第1実施形態の位置検出センサ101は、磁石体2が一方向ADに棒状で形成されたベース部M2の両端部に磁気検出部材3側に突出する突出部T2を有しているので、磁石体2により生じる磁界が一対の突出部T2を結ぶように形成され、突出部T2を有しない場合と比較して、磁石体2に沿うように形成される磁界領域が磁石体2の両端側に広がり安定したものとなる。このため、組み立て等により磁石体2と磁気検出部材3との相対的な距離が変化した場合であっても、所望の位置で検知すべき磁界との差が小さく、検出精度の低下を防止することができる。しかも安定した磁界領域が磁石体2の両端側に広がっているので、磁石体2を長くすることなしに、より長い検出領域を確保することができる。このことにより、被検知物の位置を精度良く検出でき小型化が図れた位置検出センサ101を提供することができる。   The position detection sensor 101 according to the first embodiment of the present invention has protrusions T2 that protrude toward the magnetic detection member 3 at both ends of a base part M2 in which the magnet body 2 is formed in a bar shape in one direction AD. Therefore, the magnetic field generated by the magnet body 2 is formed so as to connect the pair of projecting portions T2, and the magnetic field region formed along the magnet body 2 is compared to the case where the projecting portion T2 is not provided. It spreads to both ends and becomes stable. For this reason, even when the relative distance between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3 is changed due to assembly or the like, the difference from the magnetic field to be detected at a desired position is small, thereby preventing a decrease in detection accuracy. be able to. In addition, since a stable magnetic field area extends to both ends of the magnet body 2, a longer detection area can be secured without lengthening the magnet body 2. Accordingly, it is possible to provide the position detection sensor 101 that can accurately detect the position of the object to be detected and can be downsized.

また、一対の突出部T2の突出高さTHが、磁石体2と磁気検出部材3との間隔距離SDに対して、0.11から0.27の比率であるので、突出部T2の突出高さTHと磁石体2の全長とのバランスが良くなり、一対の突出部T2を結ぶように形成されて磁石体2に沿う磁界が安定したものとなる。このことにより、検出精度、特に、組み立て等により磁石体2と磁気検出部材3との相対的な距離が変化した場合でのリニアリティ精度の低下を防止することができる。   Further, since the protrusion height TH of the pair of protrusions T2 is a ratio of 0.11 to 0.27 with respect to the distance SD between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3, the protrusion height of the protrusion T2 is as follows. The balance between the length TH and the entire length of the magnet body 2 is improved, and the magnetic field along the magnet body 2 is stabilized by connecting the pair of protrusions T2. Thereby, it is possible to prevent a decrease in linearity accuracy when the detection accuracy, in particular, the relative distance between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3 changes due to assembly or the like.

また、突出部T2が一方向ADと交差する全方向に亘って突出して形成されているので、磁気検出部材3側にだけ突出部T2が突出して形成されている場合と比較して、位置検出センサ101の組み立て時において、突出部T2の突出方向を磁気検出部材3に対して厳密に位置合わせする必要がない。このことにより、位置検出センサ101の組み立てが容易になるとともに、突出部T2と磁気検出部材3との相対的な位置精度が確保されて検出精度の低下を防止することができる。   Further, since the protruding portion T2 is formed so as to protrude in all directions intersecting the one direction AD, the position detection is performed as compared with the case where the protruding portion T2 is formed to protrude only on the magnetic detection member 3 side. When the sensor 101 is assembled, it is not necessary to strictly align the protruding direction of the protruding portion T2 with respect to the magnetic detection member 3. As a result, the assembly of the position detection sensor 101 is facilitated, and the relative positional accuracy between the projecting portion T2 and the magnetic detection member 3 is ensured, and a decrease in detection accuracy can be prevented.

また、突出部T2がベース部M2の円柱形状の同心円となる円盤形状に形成されているので、磁気検出部材3側にだけ突出部T2が突出して形成されている場合と比較して、位置検出センサ101の組み立て時において、突出部T2の突出方向を位置決めする必要がない。このことにより、位置検出センサ101の組み立てがより容易になるとともに、突出部T2と磁気検出部材3との相対的な位置精度が確保されて検出精度の低下をより防止することができる。   Further, since the projecting portion T2 is formed in a disk shape that is a cylindrical concentric circle of the base portion M2, position detection is performed as compared with the case where the projecting portion T2 is projected only on the magnetic detection member 3 side. When the sensor 101 is assembled, it is not necessary to position the protruding direction of the protruding portion T2. As a result, the position detection sensor 101 can be assembled more easily, and the relative positional accuracy between the protruding portion T2 and the magnetic detection member 3 can be ensured, and the detection accuracy can be prevented from being lowered.

また、磁石体2のベース部M2を永久磁石、磁石体2の突出部T2を軟磁性体としたので、永久磁石のベース部M2を単純な形状で形成することができるとともに、永久磁石で形成する部分を減らすことができる。このことにより、磁石体2を容易にしかも安価に作製することができる。   Further, since the base portion M2 of the magnet body 2 is a permanent magnet and the protruding portion T2 of the magnet body 2 is a soft magnetic body, the base portion M2 of the permanent magnet can be formed in a simple shape and formed with a permanent magnet. Can be reduced. Thereby, the magnet body 2 can be manufactured easily and inexpensively.

また、突出部T2には磁石体2を固定するための取付部T2rを有しているので、移動する被検知物側に容易に固定することができる。また、軟磁性体からなる突出部T2なので、永久磁石を加工する場合と比較して、容易に取付部T2rを作製することができる。   Further, since the protruding portion T2 has an attachment portion T2r for fixing the magnet body 2, it can be easily fixed to the moving object to be detected. Further, since the protruding portion T2 is made of a soft magnetic material, the mounting portion T2r can be easily manufactured as compared with the case of processing a permanent magnet.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, For example, it can deform | transform and implement as follows, These embodiments also belong to the technical scope of this invention.

<変形例1>
上記第1実施形態では、磁石体2のベース部M2を永久磁石、磁石体2の突出部T2を軟磁性体とした構成にしたが、磁石体2のベース部M2と突出部とは一体の永久磁石として構成しても良い。これにより、部品点数を少なくでき、組み立てを容易にすることができる。また、突出部の寸法精度や配設位置精度を確保することができ、検出精度の低下を防止することができる。
<Modification 1>
In the first embodiment, the base portion M2 of the magnet body 2 is configured as a permanent magnet, and the protruding portion T2 of the magnet body 2 is configured as a soft magnetic material. However, the base portion M2 and the protruding portion of the magnet body 2 are integrated. You may comprise as a permanent magnet. Thereby, the number of parts can be reduced and assembly can be facilitated. Further, it is possible to ensure the dimensional accuracy and the arrangement position accuracy of the protruding portion, and it is possible to prevent a decrease in detection accuracy.

<変形例2>
上記第1実施形態では、突出部T2が一方向ADと交差する全方向に亘って突出して形成された構成としたが、これに限るものではなく、少なくとも磁気検出部材3側に突出する突出部であれば良い。
<Modification 2>
In the first embodiment, the protrusion T2 is formed to protrude in all directions intersecting the one direction AD. However, the present invention is not limited to this, and the protrusion protrudes at least toward the magnetic detection member 3 side. If it is good.

<変形例3>
上記第1実施形態では、突出部T2がベース部M2の円柱形状の同心円となる円盤形状に形成された構成としたが、これに限るものではない。例えば、突出部を多角形に形成し、その辺に対応した突出部の部分の突出高さTHを各々変えた構成にしても良い。これにより、磁石体2と磁気検出部材3との間隔距離SDを、場合により変化させることもでき、その変化した場合に対応して、最適な突出部の突出高さTHに設定することができる。
<Modification 3>
In the said 1st Embodiment, although it was set as the structure formed in the disk shape which the protrusion part T2 becomes a cylindrical concentric circle of the base part M2, it is not restricted to this. For example, the protruding portion may be formed in a polygonal shape, and the protruding height TH of the protruding portion corresponding to the side may be changed. Thereby, the distance SD between the magnet body 2 and the magnetic detection member 3 can be changed depending on the case, and the optimal protrusion height TH of the protrusion can be set in accordance with the change. .

<変形例4>
上記第1実施形態では、取付部T2rとして、簡易な貫通孔を用いたが、これに限るものではなく、例えば円盤形状の突出部T2から延出させたフック状の取付部でも良い。その際には、磁気検出部材3と対向する側とは反対側の突出部に取付部を設けるのがより好ましい。
<Modification 4>
In the first embodiment, a simple through hole is used as the attachment portion T2r. However, the present invention is not limited to this. For example, a hook-like attachment portion extended from a disk-shaped protrusion T2 may be used. In that case, it is more preferable to provide an attachment part in the protrusion part on the opposite side to the side facing the magnetic detection member 3.

<変形例5>
上記第1実施形態では、磁石体2のベース部M2として、単純な形状の円柱形状の永久磁石を用いた構成としたが、これに限るものではなく、例えば円筒形状の永久磁石を用いてベース部を構成しても良い。その際には、円柱状の軸部を有した磁石ホルダを用い、この軸部をベース部の円筒内に挿入して、磁石体を保持するようにしても良い。更に、移動体25のホルダ部H5にこの軸部を設けて、磁石ホルダとしても良い。
<Modification 5>
In the first embodiment, a simple cylindrical columnar permanent magnet is used as the base portion M2 of the magnet body 2. However, the present invention is not limited to this. For example, a cylindrical permanent magnet is used as the base. You may comprise a part. In that case, a magnet holder having a columnar shaft portion may be used, and the shaft portion may be inserted into a cylinder of the base portion to hold the magnet body. Furthermore, this shaft part may be provided in the holder part H5 of the moving body 25 to form a magnet holder.

<変形例6>
上記第1実施形態では、磁気検出部材3としてホール素子を用いたが、これに限るものではなく、例えば、GMR(Giant Magneto Resistive)素子、MR(Magneto Resistive)素子、AMR(Anisotropic Magneto Resistive)素子、TMR(Tunnel Magneto Resistive)素子等であっても良い。
<Modification 6>
In the first embodiment, the Hall element is used as the magnetic detection member 3, but the present invention is not limited to this. For example, a GMR (Giant Magneto Resistive) element, an MR (Magneto Resistive) element, and an AMR (Anisotropic Magneto Resistive) element A TMR (Tunnel Magneto Resistive) element or the like may be used.

<変形例7>
上記第1実施形態では、位置検出センサ101が位置検出装置500に適用された場合の例で説明を行ったが、これに限るものではなく、本発明の位置検出センサは、移動する被検知物の位置を検出する装置に、適宜、利用することができる。
<Modification 7>
In the first embodiment, the example in which the position detection sensor 101 is applied to the position detection device 500 has been described. However, the present invention is not limited to this, and the position detection sensor of the present invention is a moving object to be detected. It can utilize suitably for the apparatus which detects this position.

本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.

2 磁石体
M2 ベース部
T2 突出部
T2r 取付部
3 磁気検出部材
AD 一方向
SD 間隔距離
TH 突出高さ
101 位置検出センサ
2 Magnet body M2 Base part T2 Protrusion part T2r Mounting part 3 Magnetic detection member AD Unidirectional SD Spacing distance TH Projection height 101 Position detection sensor

Claims (7)

一方向へ延設して形成されるとともに前記一方向の両端に磁極を有するように磁化された磁石体と、該磁石体により生じる磁界の向きを検知可能な磁気検出部材と、を有し、
前記磁気検出部材が前記一方向と交差する側に前記磁石体と対向して配置され、
前記磁石体と前記磁気検出部材との相対的な移動に伴って変化する前記磁界の向きを検知して、移動する被検知物の位置を検出する位置検出センサにおいて、
前記磁石体は、前記一方向に棒状で形成されたベース部と、該ベース部の前記一方向における両端部に形成され少なくとも前記磁気検出部材側に突出する突出部と、を有することを特徴とする位置検出センサ。
A magnet body formed to extend in one direction and magnetized to have magnetic poles at both ends in the one direction, and a magnetic detection member capable of detecting the direction of the magnetic field generated by the magnet body,
The magnetic detection member is disposed opposite the magnet body on the side intersecting the one direction;
In the position detection sensor that detects the position of the moving detection object by detecting the direction of the magnetic field that changes with relative movement of the magnet body and the magnetic detection member,
The magnet body has a base portion formed in a bar shape in the one direction, and protrusions formed at both ends of the base portion in the one direction and projecting at least toward the magnetic detection member. Position detection sensor.
一対の前記突出部の突出高さは、前記磁石体と前記磁気検出部材との間隔距離に対して、0.11から0.27の比率であることを特徴とする請求項1に記載の位置検出センサ。   2. The position according to claim 1, wherein a protrusion height of the pair of protrusions is a ratio of 0.11 to 0.27 with respect to a distance between the magnet body and the magnetic detection member. Detection sensor. 前記突出部は、前記一方向と交差する全方向に亘って突出して形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の位置検出センサ。   The position detection sensor according to claim 1, wherein the protrusion is formed so as to protrude in all directions intersecting the one direction. 前記ベース部は、円柱形状に形成され、
前記突出部は、前記円柱形状の同心円となる円盤形状に形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の位置検出センサ。
The base portion is formed in a cylindrical shape,
The position detection sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the protruding portion is formed in a disk shape that is the cylindrical concentric circle.
前記ベース部と前記突出部とは一体の永久磁石からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の位置検出センサ。   The position detection sensor according to claim 1, wherein the base portion and the protruding portion are formed of an integral permanent magnet. 前記ベース部は、永久磁石からなり、
前記突出部は、軟質磁性体からなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の位置検出センサ。
The base portion is made of a permanent magnet,
The position detection sensor according to claim 1, wherein the protrusion is made of a soft magnetic material.
前記突出部には、前記磁石体を固定するための取付部を有していることを特徴とする請求項6に記載の位置検出センサ。
The position detection sensor according to claim 6, wherein the protrusion has an attachment portion for fixing the magnet body.
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