JP2016094940A - Vacuum device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、付属ユニットの為の少なくとも一つの接続部と、付属ユニットの為の制御装置を有する真空装置に関する。本発明は更に、少なくとも一つの真空装置と、真空装置の為の少なくとも一つの付属ユニットを有するシステムに関する。 The present invention relates to a vacuum apparatus having at least one connection for an accessory unit and a control device for the accessory unit. The invention further relates to a system comprising at least one vacuum device and at least one accessory unit for the vacuum device.
例えばターボ分子ポンプまたは予真空ポンプのような制御装置を有する真空装置は、通常、一または複数の付属ユニットに対する複数の接続可能性を有している。そのような付属ユニットに対する例は、フラッドバルブ又は遮断バルブ及び圧力センサー又は温度センサーである。付属ユニットは、機械的に真空装置と接続される。制御装置に対する付属ユニットの必要とされる電気的及び/又は情報技術的な接続は、一または複数の接続ケーブルによって設けられる。 A vacuum device having a control device, such as a turbomolecular pump or a pre-vacuum pump, typically has multiple connections to one or more accessory units. Examples for such accessory units are flood valves or shut-off valves and pressure sensors or temperature sensors. The accessory unit is mechanically connected to the vacuum device. The required electrical and / or information technology connection of the accessory unit to the control device is provided by one or more connection cables.
そのような複数の配線は、その接続箇所が複数あることにより追加的な構造空間を必要とし、そして接続の際のエラー源を含むこととなる。 Such a plurality of wirings requires an additional structure space due to a plurality of connection points, and includes an error source at the time of connection.
よって本発明の課題は、真空装置、特に真空ポンプに対する付属ユニットの接続部を簡易化することである。 Therefore, the subject of this invention is simplifying the connection part of the attachment unit with respect to a vacuum device, especially a vacuum pump.
この課題は、請求項1に記載の特徴を有する真空装置によって、特に接続部が、付属ユニットの真空装置との機械的な接続の為にも、制御装置に対する付属ユニットの電気的及び/又は情報技術的な接続の為にも形成されていることによって解決される。 This object is achieved by means of a vacuum device having the features of claim 1, in particular for connecting the electrical and / or information of the accessory unit to the control device, also for the mechanical connection of the accessory unit with the vacuum device. It is solved by being formed for technical connection.
発明に従い、もはや、付属ユニットを制御装置に接続するために、付属ユニットから制御装置へと別のケーブルを設ける必要が無い。これによって、例えば誤ケーブルや誤接続箇所に基づくエラーを伴った接続が防止される。また、本発明はユーザーに対し、ケーブルのために追加的な組立ステップを省略させる。本発明の更なるメリットは、外部を推移するケーブルのために追加的な構造空間が必要とされないことである。特に、アクセス困難な配置の場合に、付属ユニットの接続が簡易化される。更に、例えば異なる長さや、多様に曲げられた接続要素を有する多数の異なる複数のケーブルを用意しておく必要が無くなる。その上、複雑なケーブル絶縁と、例えばストレインリリーフ(独語:Zugentlastungen)のような機械的な安全装置が省略可能である。更なるメリットは、付属ユニットを制御装置にケーブルを介して接続する接続箇所が、より少なく必要とされる、または必要とされない点にある。 According to the invention, it is no longer necessary to provide a separate cable from the accessory unit to the control device in order to connect the accessory unit to the control device. Thereby, for example, connection with an error based on an erroneous cable or an erroneous connection location is prevented. The present invention also allows the user to omit additional assembly steps for the cable. A further advantage of the present invention is that no additional structural space is required for cables traveling outside. In particular, in the case of an arrangement that is difficult to access, the connection of the accessory unit is simplified. Furthermore, there is no need to prepare a number of different cables, for example having different lengths and variously bent connection elements. In addition, complex cable insulation and mechanical safety devices such as strain relief (German: Zugenlastungen) can be omitted. A further advantage is that fewer or less connection points are required for connecting the accessory unit to the control device via a cable.
機械的な接続は、差込み接続であることが可能であり、またはこれを含むことが可能である。その際、機械的な接続の為の接続部は、スリーブ要素又はプラグ要素を機械的な接続器官として含む。よって付属ユニットの取付は更に簡易化される。 The mechanical connection can be or include a bayonet connection. In this case, the connection for mechanical connection includes a sleeve element or a plug element as a mechanical connection organ. Therefore, the attachment of the accessory unit is further simplified.
更に、機械的な接続は、ねじ接続である、またはこれを含むことが可能である。その際、機械的な接続の為の接続部は、少なくとも一つのねじ部分を機械的な接続器官として含む。これによって、簡単かつ確実な機械接続が保証される。 Further, the mechanical connection can be or include a screw connection. In this case, the connection part for mechanical connection includes at least one screw part as a mechanical connection organ. This ensures a simple and reliable machine connection.
ねじ接続は、付属ユニットのための別体式の固定器官を含む。これは特に固定ねじ、または固定スクリュー開口部である。ここでのメリットは、ねじ接続は、これによって特別簡単に形成される点にある。 The screw connection includes a separate fixation organ for the accessory unit. This is in particular a fixed screw, or fixed screw opening. The advantage here is that the screw connection is thereby made particularly simple.
機械的な接続と、電気的及び/又は情報技術的な接続が、一つの共通な接続軸、特に差込み軸、スライド軸、及び/又は回転軸を有することが可能である。機械的な接続と電気的及び/又は情報技術的な接続は、付属ユニットの取付の為に、基本的に一つの取付操作、例えば簡単な差込みやねじ込みのみが必要であるよう形成されていることが可能である。よって付属ユニットの取付は更に簡易化される。 The mechanical connection and the electrical and / or information technology connection can have one common connection axis, in particular a plug-in axis, a slide axis and / or a rotation axis. The mechanical connection and the electrical and / or information technology connection are basically configured to require only one installation operation, for example a simple plug-in or screw-in, for the attachment of the accessory unit. Is possible. Therefore, the attachment of the accessory unit is further simplified.
電気的及び/又は情報技術的な接続は、接続軸の周りの回転に対して不変であることが可能である。その際、接続は、あらゆる角度位置において、または有限の角度位置において技術的に機能する。特に制限された構造空間においては、付属ユニットがより柔軟に取り付け可能、または初めて取り付け可能である点にここでのメリットがある。 Electrical and / or information technology connections can be invariant to rotation about the connection axis. The connection then functions technically at any angular position or at a finite angular position. Particularly in a limited structural space, the advantage here is that the attachment unit can be mounted more flexibly or for the first time.
機械的な接続の為の接続部は、少なくとも一つの機械的な接続器官を有する。その際、電気的及び/又は情報技術的な接続の為の少なくとも一つの接触器官が、接続器官に、又は接続器官の直近に設けられている。機械的な接続及び電気的及び/又は情報技術的な接続の機能性は、これによって更に統合され、そして簡易化される。 The connection for mechanical connection has at least one mechanical connection organ. In this case, at least one contact organ for electrical and / or information technology connection is provided at or close to the connection organ. The functionality of mechanical connections and electrical and / or information technology connections is thereby further integrated and simplified.
接触器官は、その中心軸が、機械的接続及び/又は電気的及び/又は情報技術的な接続の接続軸、特に差込み軸、スライド軸、及び/又は回転軸と一致して設けられる仮想のシリンダーに関して、周囲側に設けられる、又は正面側に設けられることが可能である。 The contact organ is an imaginary cylinder whose central axis coincides with a connection axis of mechanical connection and / or electrical and / or information technology connection, in particular an insertion axis, a slide axis and / or a rotation axis Can be provided on the peripheral side or on the front side.
更に、接触器官は、機械的な接続及び/又は電気的及び/又は情報技術的な接続の接続軸に関して、特に差込み軸、スライド軸、及び/又は回転軸に関して、半径方向又は軸方向で接触されることが可能であるよう形成され設けられている。 Furthermore, the contact organ is contacted in the radial or axial direction with respect to the connection axis of mechanical connection and / or electrical and / or information technology connection, in particular with respect to the plug-in axis, slide axis and / or rotation axis. It is formed and provided so that it can be.
接触器官は、突出部又は隆起部の形式で設けられるか、または閉店に形成されていることが可能である。接触は、よって簡易化されかつ改善される。更に、接触器官は、リング形状に形成されていることが可能である。更なる形態では、接触器官は柔軟に形成されている、または設けられていることが可能である。特にこれは弾性的に支承されていることが可能である。これによって確実かつ簡単な接触が保証される。 The contact organ can be provided in the form of a protrusion or a ridge, or it can be formed closed. Contact is thus simplified and improved. Furthermore, the contact organ can be formed in a ring shape. In a further form, the contact organ can be flexibly formed or provided. In particular, it can be elastically supported. This ensures a reliable and easy contact.
複数の接触器官が設けられていることが可能である。これら接触器官は、機械的な接続及び/又は電気的及び/又は情報技術的な接続の、接続軸、特に差込み軸、スライド軸及び/又は回転軸に関して整向されており、その際、特に接触器官は、接続軸に沿って及び/又は接続軸の周りに分配されて設けられていることが可能である。 A plurality of contact organs can be provided. These contact organs are oriented with respect to the connection axis, in particular the plug-in axis, the slide axis and / or the rotary axis, in mechanical connection and / or electrical and / or information technology connection, in particular in contact The organs can be provided distributed along and / or around the connecting axis.
当該接触器官は、好ましくは軸方向に向けられた接触面を有する同軸な複数のリングの形式で接続軸の周りに、または好ましくは半径方向に向けられた接触面を有する、接続に沿って間隔をあけた複数のリングの形式で接続軸の周りに設けられていることが可能である。 The contact organ is preferably spaced around the connection axis in the form of a plurality of coaxial rings with axially oriented contact surfaces, or along the connection, preferably with radially oriented contact surfaces It can be provided around the connecting shaft in the form of a plurality of rings with openings.
電気的及び/又は情報技術的な接続は、多チャンネル式及び/又はマルチ機能式に形成されていることが可能である。その際、特に各チャネルに対して又は各機能に対して一つの接触器官が設けられている。 Electrical and / or information technology connections can be formed in multi-channel and / or multi-functional manner. In particular, one contact organ is provided for each channel or for each function.
接続の一つの機能又は唯一の機能が、付属ユニットの為の電気的な電源供給であることが可能である。制御装置に対する付属ユニットの情報技術的な接続は、ワイヤレス及び/又は非接触に形成されていることが可能である。これは例えば無線、音響、又は光学的伝達によって行われる。よって真空装置内では、接続配線の為に構造が簡易化される。別のメリットは、機械的な接続が同様に構造的に簡易化される点にある。 One function or only one function of the connection can be an electrical power supply for the accessory unit. The information technology connection of the accessory unit to the control device can be made wireless and / or contactless. This can be done, for example, by radio, acoustic or optical transmission. Therefore, in the vacuum apparatus, the structure is simplified for the connection wiring. Another advantage is that the mechanical connection is likewise structurally simplified.
接続部は、付属ユニットの少なくとも一つの機能ユニット、特にバルブユニットまたはセンサーユニットのためのインターフェース部を有することが可能である。その際好ましくはインターフェース部は、機能ユニットの為の収容部、貫通部、またはアクセス開口部として形成されている。よって例えば真空装置における接続部は、フラッドバルブ(独語:Flutventil)の為のスクリューねじを含むことが可能である。その際、同じ箇所に、バルブの電気的な接続のための手段、詳しくいうと、電気的なエネルギーを供給する為、及び/又はバルブから制御装置及び/又は制御装置からバルブへの信号の伝達の為の手段が設けられている。 The connecting part can have an interface part for at least one functional unit of the accessory unit, in particular a valve unit or a sensor unit. In this case, the interface part is preferably formed as a housing part, a penetrating part or an access opening for the functional unit. Thus, for example, the connection in a vacuum device can include a screw thread for a flood valve (German: Flutventil). In doing so, means for the electrical connection of the valve to the same location, in particular for supplying electrical energy and / or the transmission of signals from the valve to the control device and / or from the control device to the valve. Means are provided for this purpose.
制御装置は、真空装置のハウジング内に統合されているか、又は真空装置のハウジングの外側に設けられている。その際、とっくに制御装置は、独自のハウジングを有する。 The control device is integrated in the housing of the vacuum device or is provided outside the housing of the vacuum device. In particular, the control device has its own housing.
接続部の制御装置に対する接続の為の一または複数の配線が、少なくとも部分的に、そして特に少なくとも基本的に真空装置のハウジングの内部を推移することが可能である。 It is possible for one or more wirings for the connection of the connection to the control device to run at least partially and in particular at least essentially inside the housing of the vacuum device.
本発明の別の実施形に従い、付属ユニットの存在、特にその、真空装置との機械的接続を検出し、そして措置、特に切替過程を、付属ユニットが存在するときのみ行わせる、又はリリースするよう接続部が形成されていることが意図されている。 According to another embodiment of the invention, the presence of an accessory unit, in particular its mechanical connection with a vacuum device, is detected, and the action, in particular the switching process, is performed or released only when the accessory unit is present. It is intended that a connection is formed.
本発明の課題は、更に、接続部を有する少なくとも一つの真空装置、接続部を有する少なくとも一つの付属ユニット、および付属ユニットの為の制御装置を有するシステムによって解決される。その際、接続部は、付属ユニットの真空装置との機械的な接続も、制御装置に対する付属ユニットの電気的及び/又は情報技術的な接続も共に行う。 The object of the invention is further solved by a system comprising at least one vacuum device having a connection, at least one accessory unit having a connection, and a control device for the accessory unit. In this case, the connecting part performs both mechanical connection of the accessory unit to the vacuum device and electrical and / or information technology connection of the accessory unit to the control device.
そのようなシステムは、上述した、真空装置に関する実施形によっても更に改善されることが可能である。つまり、当該発展形は、発明に係るシステムにおいても対応して意図されることが可能である。 Such a system can be further improved by the above-described embodiments relating to the vacuum apparatus. In other words, the developed form can be correspondingly intended in the system according to the invention.
本発明の別の実施形は従属請求項、明細書並びに図面に記載されている。 Further embodiments of the invention are described in the dependent claims, the description and the drawings.
本発明を以下に簡略的な図面を参照しつつ単に例示的に説明する。図面には以下が示されている。 The invention will now be described, by way of example only, with reference to the simplified drawings. The following is shown in the drawing.
図1は制御装置12を有する真空装置10を示す。本真空装置10は、一つの接続部16を有する。この接続部は電気的に及び/又は情報技術的に制御装置12と配線32を介して接続されている。配線32は複数の個配線を含む。これらは、例えば其々一つの機能又は信号チャネル若しくは通信チャネルに割り当てられている。接続部16に対して付属ユニット14が示されている。付属ユニット14は、その、接続部16の方の側に同様に一つの接続部17を、そしてその、平行線を付された領域に複数の手段を有する。これら手段は、付属ユニット14を真空装置10と機械的に接続させるため、及び付属ユニット14を制御装置12に電気的に及び/又は情報技術的に接続するための接続部16と協働可能である。
FIG. 1 shows a
配線32は、接続部16から出発して真空装置10のハウジング11内を推移している。しかしこれは、例えば真空装置10のハウジング11の外部に固定的に組付けられていることも可能である。ここでは自身のハウジング13に収納された制御装置12は、真空装置10のハウジング11の外に取り付けられている。これは代替的に真空装置10のハウジング11の内部に統合されていることが可能である。
The
制御装置12は、付属ユニット14を制御するよう形成されており、その際、これは最も広い意味で理解されるべきである。制御とは、例えば、付属ユニット14に電気的なエネルギーを供給することのみであることが可能である。代替として、または追加的に、例えば制御が、制御装置12と付属ユニット14の間の情報技術的なやり取り(独語:Austausch)を含むことが可能である。例えば、制御装置12は、付属ユニット14のセンサーのセンサーデータを受け取り及び/又は評価することが可能である。
The
図1の制御装置10内では、接続部16及び/又は制御装置12は、付属ユニット14が接続部16に接続されているか検出するよう形成されていることが可能である。これは例えば、接続部16に設けられたキースイッチによって行われることが可能である。このキースイッチは接続される付属ユニット14によって操作される。例えばまた、制御装置12は、付属ユニット14の電気的な内部抵抗を検出し、そしてこれから付属ユニット14が接続部16に存在するかに関する情報を導き出すよう形成されていることが可能である。
Within the
図2には真空装置10の接続部16の一つの例が示されている。接続部16は、付属ユニット14を真空装置10に機械的に接続し、及び付属ユニット14をここでは図示されていない制御装置12に情報技術的に接続するよう形成されている。
FIG. 2 shows an example of the
機械的な接続の為に、接続部16には内側ねじ山部分22を有する孔部40が設けられている。付属ユニット14は、その、接続部16の方の側に、外側ねじ山部分24を有するシリンダー38を有する一つの接続部17を有する。内側ねじやま部分22と外側ねじ山部分24は、機械的な接続を保証するために協働する。シリンダー38と孔部40は、機械的に接続された状態で接続軸26の周りに同軸に配置されている。
For mechanical connection, the
電気的な、及び/又は情報技術的な接続の為に、図2の真空装置10の接続部16には、接続軸26から半径方向に間隔をあけた複数の接触期間28が設けられている。接続部16の接触器官28は、ここでは点接触部として形成されている。これらは、其々配線32を介して、図示されていない制御装置12と電気的及び/又は情報技術的に接続されている。接続部16の接触器官28に対して、付属ユニット14の接続部17には同様に複数の接触器官28が設けられている。これらは、右側の図に示されている。この図には中央の図の付属ユニット14が右に向かって倒されて示されている。付属ユニット14の接触器官28は、同軸なリング面として形成されている。接続された状態で、付属ユニット14の接触器官28と接続部16の接触器官28は接触している。この実施形において、シリンダー38が孔部40内に、ストップするまで又は目的位置までねじ込まれると、接続された状態が達成される。
For electrical and / or information technology connections, the
付属ユニット14の接触器官28は、図2においては更に、連続する円リング面として形成されている。これらは、任意の各角度位置で、接続部16の接触器官28と接触することができる。接触器官28は、ここではスリップリング(独語:Schleifring)の原理に従い構成されている。付属ユニット14の接触器官28のリング面は、セグメントとして、又は部分角度領域にわたってのみ設けられていることが可能である。付属ユニット14の接触器官28は、付属ユニット14の図示されていない機能ユニットと電気的に及び/又は情報技術的に接続される。
The
図2の右側には更に、中央の孔部として形成されたアクセス開口部30が、付属ユニット18のシリンダー38内に示されている。その上、左側の図における孔部40は、内側ねじ山部分22を越えて延在している。これは、図示されていない真空装置10のハウジングの内部まで延在している。よって、アクセス開口部30を通して、真空装置のハウジングの内部への付属ユニット14の機能ユニットのアクセスが保証される。このアクセスは、例えば、圧力センサーとして形成された機能ユニットによって、真空装置10のハウジングの内部の圧力を計測するのに使用されることが可能である。
Also shown on the right side of FIG. 2 is an access opening 30 formed as a central hole in the
図3は、より良好な理解の為に同様に図2の実施形を示すが、斜視図として示している。付属ユニット14は、その、図示されていない接続部16の方の側に、複数の接触器官28、シリンダー及び中央の孔部として形成されたアクセス開口部30を有する一つの接続部を有する。付属ユニット14の接触器官28は、シリンダー38を、図2の真空装置10の孔部40内にねじ込む際に図2の接続軸26を中心として回転する。付属ユニット14の接続部17の代わりに、接続部16が、図3の接触器官28及び/又はシリンダー38を有することが可能である。図2において接続部16の代わりに付属ユニット14が孔部40を設けられていることも可能である。接続原理は、つまり逆となってもよい。
FIG. 3 also shows the embodiment of FIG. 2 for better understanding, but is shown as a perspective view. The
図4は、例えばコンシューマエレクトロニクスから既知であるジャックプラグ(独語:Klinkenstecker)から構成されている他の実施形を示している。左側の図には、真空装置10の接続部16が示されている。接続部16は、スリーブ要素20を有している。接触器官28は、スリーブ要素20の領域内に突き出すよう、スリーブ要素20に取り付けられている。接触器官28は、ばね34によって接触方向に予テンションを与えられている。つまり弾性的に支承されている。接触器官28は、配線32を介して、ここでは図示されていない制御装置12と電気的に及び/又は情報技術的に接続されている。
FIG. 4 shows another embodiment, which consists for example of a jack plug known from consumer electronics (German: Klinkenchecker). The
図4の右側の図には、付属ユニット14の接続部17が、プラグ要素18及び接触器官28と共に示されている。接触器官28は、其々平らにプラグ要素18の周りに配置されている。接触器官28は、付属ユニット14の機能ユニットと電気的及び/又は情報技術的に接続されている(図示されていない)。接触器官28は、軸方向に間隔をあけた、其々非伝導性の中間領域によって互いに絶縁されている。
In the figure on the right side of FIG. 4, the
プラグ要素18とスリーブ要素20は、其々シリンダー形状に形成されている。両者は、接続軸26上に同軸に配置されている。接続された状態を達成するために、付属ユニット14は左に向かって、つまりフラグ要素18がスリーブ要素20内へと押し込まれる。その際、接続部16の接触器官28は、プラグ要素18によって弾性的に戻される。接続された状態に相当する端部位置において、接続部16の接触器官28は、付属ユニット14の接触器官28と向き合っており、そしてばね34によってこれと接触保持される。よって、図示されていない制御装置12に対する付属ユニット14の電気的及び/又は情報技術的な接続は、複数の配線32を介して保証される。
The
付属ユニット14の真空装置10との機械的な接続は、同様にプラグ要素18とスリーブ要素20によって協働的に行われる。その際、例えばプラグ要素18が摩擦結合的にスリーブ要素20内に保持されることが可能である。それと共に、またはそれに代えて、プラグ要素18は、例えば戻ることが可能であり、かつアンダーカットと係合する、又はロックする要素を有していることが可能である。この要素は、接続された状態でスリーブ要素20のアンダーカットと係合し、またはロックし、そしてそのようにしてプラグ要素18はスリーブ要素20内に軸方向で固定される。例えば、プラグ要素18とスリーブ要素20は、プラグ要素18をスリーブ要素20内に挿入した後、またはする際、付属ユニット14がロック位置へと回転され、これによって固定されるよう形成されていることも可能である。
The mechanical connection of the
図5は、ジャックプラグの原理に従う別の実施形を示す。付属ユニット14は、四つの接触器官28を有するプラグ要素18を有する接続部17を有している。これら接触器官は、其々、軸方向に間隔をあけて、プラグ要素18の周りに平面的に配置されている。プラグ要素18上に配置された接触器官28の向かいに、図示されていない接続部16の接触器官28が示されている。接続部16の各接触器官28は、これに割り当てられた付属ユニット14の接触器官28と向かい合っており、かつこれらと接触している。
FIG. 5 shows another embodiment according to the principle of jack plug. The
図4および5の接続部における機械的な接続及び/又は電気的及び/又は情報技術的な接続は、逆に形成されていることもまた可能である。よって、例えば図5内では、付属ユニット14の接続部17の代わりに接続部16が設けられていることも可能である。接続部16が、プラグ要素、及び付属ユニット14がスリーブ要素を有することも可能であろう。スリーブ要素20の接触器官28及び/又はプラグ要素18の接触器官28もまた、図4において弾性的に支承され、及び/又はリング形状に形成されていることが可能である。
The mechanical and / or electrical and / or information technology connections at the connections of FIGS. 4 and 5 can also be reversed. Therefore, for example, in FIG. 5, a
図6には、本発明に係る接続部17の別の実施形が簡略的に示されている。この実施形は、基本的に任意の付属ユニット、例えばベンチレーター又はその部材、例えばベンチレーター格子部36が、真空装置に固定されるべきであり、そして付属ユニットの接続の為に固定部が使用されるという原理に基づいている。
FIG. 6 schematically shows another embodiment of the
ベンチレーター甲指部36は付属ユニットの構成部材として、ねじ連結部材42を介して図1の真空装置10とねじ接続されることが可能である。つまり図示されていない接続要素、例えば組立ねじが設けられている。接触器官28は、電気的及び/又は情報技術的にベンチレーター格子部36の構成部材として付属ユニットと接続されている。これはつまり、接触面28として接触器官が連結部材42に形成されており、固定された状態でこれらの上に電動性の組立ねじが当接することによって行われる。真空装置10(図1)の接続部16における図示されていないカウンターホルダーは、同様に少なくとも一つの接触器官を有する。この接触器官は、各組立ねじを介して関係するフランジ42の接触面28と電気的に接続される。
The
制御装置12に対する付属ユニット14の電気的及び/又は情報技術的な接続は、つまりここでは、接触器官28の間の接続は、(一般的にいうと)伝導性の接続要素または組立要素を使って保証される。この実施形のメリットは、構造的に存在する機械的な接続が、少ない労力で、電気的及び/又は情報技術的な接続にも利用されることが可能であるという点にある。
The electrical and / or information technology connection of the
逆に、図6の接触面28が、接続要素によって直接、これに割り当てられている、例えば同様に平らな接触器官(真空装置10の接続部16の接触器官)と接触させられている、つまりここではベンチレーター格子部36のねじ接続連結部材42が、真空装置における対応する接触面に対してねじ接続されていることも考え得る。
Conversely, the
一般的に、上述した実施形に関するのみでなく、発明に従い、付属ユニットの真空装置に対する取付けが、回転動作によって、または回転動作を伴わず実施されることが可能である。付属ユニット14の接触器官28と接続部16の接触器官28の間の接触が、例えば接続軸26に関して放射方向または軸方向に実施されていることが可能である。制御装置12に対する付属ユニット14の電気的及び/又は情報技術的な接続は、一または複数の供給電流、デジタル及び/又はアナログ信号の為の信号配線及び/又は通信配線(例えばデータバスのようなもの)を含みうる。接続部16は、後から設けることも可能である。これは、例えばケーブルの後方の接続箇所が組立側のスリップリング上に形成されることによって行われる。接続部16においては、少なくとも一つの接触器官28がプラグ要素又はスリーブ要素として形成されていることも可能である。これは機能的に、付属ユニット14と真空装置10の間の機械的な接続からは分離している。この実施形では、例えば、接続部16においてスリーブ要素が電気的及び/又は情報技術的な接続のため、および追加的にスクリューねじが、付属ユニットを真空装置と機械的に接続するために設けられている。
In general, not only with respect to the embodiment described above, but according to the invention, the attachment of the accessory unit to the vacuum device can be carried out with or without rotational movement. The contact between the
真空装置10の接続部16と付属ユニット14の接続部17の示された実施形、特に図2−5のそれは、其々逆に設けられることも可能である。よって例えば、スリーブ要素または弾性的な接触器官が、真空装置10の接続部16に、または付属ユニット14の接続部17の側にあることも考え得る。
The illustrated embodiment of the
その上、接触器官の数量も様々であることが考え得る。この数量は、電気的及び/又は情報技術的な接続のための必要な心線の数量に従っている。 In addition, the number of contact organs may vary. This quantity is in accordance with the quantity of cores required for electrical and / or information technology connections.
制御装置12に対する付属ユニット14の電気的及び/又は情報技術的な接続は、ワイヤレス、例えば無線接続又は光学的なデータ交換によって形成されることも可能である。
The electrical and / or information technology connection of the
図1から6の接触器官28と配線32は、伝導性に形成されていることが可能である。しかしまたこれらは、情報技術的な接続の為に光学的な伝達手段によって形成されていることも可能である。配線32は、光ファイバーとして形成されていることが可能であり、接触器官28が光ファイバーの連結要素として形成されていることが可能である。
The
付属ユニットは、例えば蓄電池又はバッテリーのような独自の電源供給を有することが可能である。これは、そのエネルギーを、無線信号又はキャリア信号又は誘導的なエネルギー伝達から受け取ることも可能である。しかしまた、付属ユニットはそのエネルギーを例えば周囲から受け取ることも可能である。これは例えば、ペルチェ素子によって温度差から受け取ったり、振動、太陽光発電、または他の形式の放射から受け取ったりする。 The accessory unit can have its own power supply, for example a storage battery or a battery. It can also receive its energy from a radio signal or carrier signal or inductive energy transfer. However, the accessory unit can also receive its energy, for example from the surroundings. This may be received, for example, from a temperature difference by a Peltier element, or from vibration, solar power, or other types of radiation.
付属ユニットは、例えば個々の又は一又は複数のバルブ、圧力、温度または振動の為のセンサー、ベンチレーター、外部の作動時間カウンター、または作動データ検出の為の外部の装置、またはそのメモリを含む。 The accessory unit includes, for example, individual or one or more valves, sensors for pressure, temperature or vibration, ventilators, external operating time counters, or external devices for detecting operating data, or memory thereof.
付属ユニット14は、必然的に、またはオプションとして真空装置10に接続されていることが可能である。真空装置10の接続部16に付属ユニット14が接続されていない限り、接続部16はフリーのままであるか、またはダミープラグによって封されていることが可能である。
The
制御装置12は、付属ユニット14の制御のために、および真空装置10の制御の為に、特にその駆動の制御の為に、設けられていることが可能である。
The
接続部16の接触器官28の接続部17の接触器官28との接触が、例えば図4および5におけるような放射方向、例えば図2および3におけるような軸方向、及び/又は接線方向で行われるよう接続部16が形成されていることが可能である。
Contact of the
10 真空装置
11 ハウジング
12 制御装置
13 ハウジング
14 付属ユニット
16 接続部
17 接続部
18 プラグ要素
20 スリーブ要素
22 内側ねじ山部分
24 外側ねじ山部分
26 接続軸
28 接触器官
30 アクセス開口部
32 配線
34 ばね
36 部材
38 シリンダー
40 孔部
42 ねじ接続連結部材
DESCRIPTION OF
Claims (21)
付属ユニット(14)の為の少なくとも一つの接続部(16)を有し、及び、
付属ユニット(14)の為の制御装置(12)を有し、
その際、接続部(16)が、付属ユニット(14)の真空装置(10)との機械的な接続のためにも、付属ユニット(14)の制御装置(12)に対する電気的及び/又は情報技術的な接続の為にも形成されていることを特徴とする真空装置(10)。 A vacuum device (10), in particular a vacuum pump,
Having at least one connection (16) for the accessory unit (14); and
A control device (12) for the accessory unit (14);
At that time, the connection (16) is electrically and / or information to the controller (12) of the accessory unit (14) for mechanical connection with the vacuum device (10) of the accessory unit (14). Vacuum device (10) characterized in that it is also formed for technical connection.
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