JP2016034739A - Liquid jet head and liquid jet device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head in which an electrode density is uniformized in a mounting region, with a mounting component such as a wiring board mounted.SOLUTION: A liquid jet head includes a plurality of drive elements F which jet ink from a nozzle N by applying a pressure on a pressure chamber Sc with the ink filled. The plurality of drive elements F are separated between a first element group G1 arrayed along a W1 direction, and a second element group G2 arrayed along the W1 direction on an opposite side to the first element group G1 with a mounting region Q, on which a wiring board is mounted, interposed therebetween. A plurality of first electrodes E1 connected to the respective drive elements F of the first element group G1 are arrayed along the W1 direction in a first region A1 out of the mounting region Q. A plurality of second electrodes E2 connected to the respective drive elements F, and third electrodes E3 formed between the respective second electrodes E2 adjacent to each other are arrayed along the W1 direction in a second region A2.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。   The present invention relates to a technique for ejecting a liquid such as ink.

印刷用紙等の媒体にインク等の液体を噴射する各種の技術が従来から提案されている。例えば特許文献1には、第1列および第2列の計2列に配列された複数の圧電素子の各々を駆動して圧力室内のインクをノズルから噴射させる液体噴射ヘッドが開示されている。第1列と第2列との間の領域(以下「実装領域」という)には、複数の圧電素子を可撓性の配線基板(フレキシブルケーブル)の配線に電気的に接続するための複数の電極(接続端子)が形成される。   Various techniques for ejecting a liquid such as ink onto a medium such as printing paper have been proposed. For example, Patent Document 1 discloses a liquid ejecting head that drives each of a plurality of piezoelectric elements arranged in a total of two rows of a first row and a second row to eject ink in a pressure chamber from a nozzle. In a region between the first row and the second row (hereinafter referred to as “mounting region”), a plurality of piezoelectric elements for electrically connecting a plurality of piezoelectric elements to the wiring of a flexible wiring board (flexible cable) Electrodes (connection terminals) are formed.

特開2013−103429号公報JP2013-103429A

複数の圧電素子は、各圧電素子に対応するノズルの位置に応じた多様な態様で配列され得る。他方、実装領域内の複数の電極の各々は、各圧電素子に対応した位置に形成される。したがって、例えば、圧電素子の配列方向における位置を第1列と第2列とで相違させた構成を想定すると、実装領域のうち圧電素子の第1列と第2列とが相互に重複する領域には、第1列の各圧電素子に接続される電極と第2列の各圧電素子に接続される電極とが混在し、実装領域の端部側の領域には、第1列および第2列の一方の各圧電素子に接続される電極のみが存在する、という具合に実装領域内の領域毎に電極の疎密が相違する構成となる。   The plurality of piezoelectric elements can be arranged in various manners according to the position of the nozzle corresponding to each piezoelectric element. On the other hand, each of the plurality of electrodes in the mounting region is formed at a position corresponding to each piezoelectric element. Therefore, for example, assuming a configuration in which the positions of the piezoelectric elements in the arrangement direction are different between the first row and the second row, the first row and the second row of the piezoelectric elements in the mounting region overlap each other. The electrode connected to each piezoelectric element in the first row and the electrode connected to each piezoelectric element in the second row are mixed, and the region on the end side of the mounting region includes the first row and the second row. Only the electrodes connected to each piezoelectric element on one side of the row are present, so that the density of the electrodes is different for each region in the mounting region.

しかし、実装領域内の電極の疎密に起因して種々の問題が発生し得る。例えば、実装領域に接着剤で配線基板等の実装部品を実装する過程で、実装領域内の電極の疎密に応じて接着剤の流動の度合が相違し、結果的に接着不良等の問題が発生する可能性がある。あるいは、例えば製造過程にて液体噴射ヘッドが加熱された場合に、実装領域内の電極の疎密に応じて実装領域内の熱分布に偏りが発生し、以降に形成される要素の特性の不均一性の原因となる可能性もある。以上に例示した少なくともひとつの事情を考慮して、本発明は、実装領域内の電極の密度を均一化することを目的とする。   However, various problems may occur due to the density of the electrodes in the mounting area. For example, in the process of mounting a mounting component such as a wiring board in the mounting area with an adhesive, the degree of adhesive flow varies depending on the density of the electrodes in the mounting area, resulting in problems such as poor adhesion there's a possibility that. Alternatively, for example, when the liquid ejecting head is heated during the manufacturing process, the heat distribution in the mounting area is biased according to the density of the electrodes in the mounting area, and the characteristics of the elements formed thereafter are not uniform. It can also cause sex. In consideration of at least one of the circumstances exemplified above, an object of the present invention is to make the density of the electrodes in the mounting region uniform.

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体が充填される圧力室に圧力を付与して当該液体をノズルから噴射させる複数の駆動素子であって、第1方向に沿って配列された複数の第1駆動素子と、実装部品が設置される実装領域を挟んで複数の第1駆動素子とは反対側で第1方向に沿って配列する複数の第2駆動素子とを含む複数の駆動素子と、第1方向に交差する第2方向に沿って延在するように実装領域に形成された複数の電極とを具備し、複数の電極は、実装領域のうちの第1領域において第1方向に沿って配列され、複数の第1駆動素子に電気的に接続された複数の第1電極と、実装領域のうちの第1領域と、実装領域のうちの第2領域であって第1領域からみて第1方向の一方側に位置する第2領域とにわたり第1方向に沿って配列され、複数の第2駆動素子に電気的に接続された複数の第2電極と、第2領域において第1方向に沿って相互に隣合う各第2電極の間に形成され、液体の噴射に寄与しない第3電極とを含む。以上の態様では、実装領域の第1領域に第1電極と第2電極とが形成されるとともに第2領域に第2電極が形成された構成において、第2領域内で第1方向に沿って相互に隣合う各第2電極の間に、液体の噴射に寄与しない第3電極が形成される。したがって、第2領域に第3電極を形成しない構成と比較すると、第1領域と第2領域との間における電極の密度の相違が低減される。すなわち、実装領域内の電極の密度を均一化することが可能である。第1領域内で第1電極と第2電極とが配列するピッチと、第2領域内で第2電極と第3電極とが配列するピッチとを相等しい数値とした構成によれば、実装領域内の電極の密度を均一化できるという効果は格別に顕著となる。   In order to solve the above problems, a liquid jet head according to a preferred aspect of the present invention is a plurality of drive elements that apply pressure to a pressure chamber filled with liquid and jet the liquid from a nozzle, A plurality of first drive elements arranged along the first direction and a plurality of first drive elements arranged along the first direction on the opposite side of the plurality of first drive elements across the mounting region where the mounting component is placed A plurality of drive elements including two drive elements, and a plurality of electrodes formed in the mounting region so as to extend along a second direction intersecting the first direction. A plurality of first electrodes arranged in a first direction in the first region and electrically connected to the plurality of first drive elements, a first region of the mounting region, and a mounting region The second region of the first region located on one side in the first direction when viewed from the first region. A plurality of second electrodes arranged along the first direction across the region and electrically connected to the plurality of second drive elements, and the second electrodes adjacent to each other along the first direction in the second region And a third electrode that does not contribute to liquid ejection. In the above aspect, in the configuration in which the first electrode and the second electrode are formed in the first region of the mounting region and the second electrode is formed in the second region, the first region is along the first direction in the second region. A third electrode that does not contribute to liquid ejection is formed between the second electrodes adjacent to each other. Therefore, as compared with the configuration in which the third electrode is not formed in the second region, the difference in the electrode density between the first region and the second region is reduced. That is, it is possible to make the density of the electrodes in the mounting region uniform. According to the configuration in which the pitch in which the first electrode and the second electrode are arranged in the first region is equal to the pitch in which the second electrode and the third electrode are arranged in the second region, The effect that the density of the inner electrodes can be made uniform is particularly remarkable.

なお、「液体の噴射に寄与しない第3電極」は、例えば、駆動素子に電気的に接続されない電極や、液体の噴射に寄与しない無効な駆動素子に電気的に接続された電極等を包含するいわゆるダミー電極を意味する。無効な駆動素子としては、液体の噴射に寄与する有効な駆動素子を構成する要素の一部が欠損した素子(すなわち、実際には動作しない素子)や、駆動素子の構造自体は有効な駆動素子と同様である(したがって、電気信号の供給により実際には動作する)けれども、外部に到達するまでの任意の箇所で閉塞された流路(例えば最下流のノズルが閉塞された流路や途中の箇所が閉塞された流路)に対応して配置された駆動素子を包含する。   The “third electrode that does not contribute to liquid ejection” includes, for example, an electrode that is not electrically connected to a drive element, an electrode that is electrically connected to an invalid drive element that does not contribute to liquid ejection, and the like. This means a so-called dummy electrode. As an invalid driving element, an element that lacks a part of an element that constitutes an effective driving element that contributes to liquid ejection (that is, an element that does not actually operate), or the driving element structure itself is an effective driving element. (Thus, it actually operates by supplying an electric signal), but is blocked at any point until it reaches the outside (for example, a channel where the most downstream nozzle is blocked or an intermediate channel) It includes a drive element arranged corresponding to a channel whose location is closed.

ところで、複数の第1電極と複数の第2電極とに電気的に接続される複数の接続端子が形成された可撓性の配線基板を実装部品として接着剤で固定する構成のもとで、第1領域と第2領域とで電極の疎密が相違する場合には、第1領域と第2領域とで接着剤の最適な塗布量や流動量が相違し得るから、接着強度の不足や配線基板の位置誤差等の問題が顕在化し得る。したがって、実装領域内の電極の密度を均一化することが可能な本発明は、可撓性の配線基板を実装部品として接着剤で固定する場合に特に有効である。特に、実装領域と複数の第1駆動素子との間に位置する第1壁面と、実装領域と第2駆動素子との間に位置する第2壁面とを含む構造体を具備する構成では、接着剤の余剰分が第1壁面や第2壁面で堰止められる結果、接着剤からの応力で配線基板の位置に誤差が発生する可能性がある。実装領域内の電極の密度を均一化することが可能な本発明は、第1壁面と第2壁面とを含む構造体が設置される構成に格別に好適である。   By the way, under a configuration in which a flexible wiring board on which a plurality of connection terminals that are electrically connected to a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes is formed is fixed with an adhesive as a mounting component. If the density of the electrodes is different between the first region and the second region, the optimal application amount and flow amount of the adhesive may be different between the first region and the second region. Problems such as substrate position errors may become apparent. Therefore, the present invention capable of making the density of the electrodes in the mounting region uniform is particularly effective when a flexible wiring board is fixed as a mounting component with an adhesive. In particular, in a configuration including a structure including a first wall surface positioned between the mounting region and the plurality of first driving elements and a second wall surface positioned between the mounting region and the second driving element, the bonding is performed. As a result of the excess of the agent being blocked by the first wall surface and the second wall surface, an error may occur in the position of the wiring board due to the stress from the adhesive. The present invention that can make the density of the electrodes in the mounting region uniform is particularly suitable for a configuration in which a structure including a first wall surface and a second wall surface is installed.

本発明の好適な態様において、第2領域のうち第1領域とは反対側には、第1方向に沿って第1ピッチで複数の第3電極が配列する。以上の態様では、第2領域のうち第2領域が形成された領域に第3電極が形成されるほか、第2領域のうち第1領域とは反対側に複数の電極が第1ピッチで配列される。したがって、第2領域のうち第2電極が存在しない領域を含む広範囲にわたり電極の密度を均一化できるという利点がある。   In a preferred aspect of the present invention, a plurality of third electrodes are arranged at a first pitch along the first direction on the opposite side of the second region from the first region. In the above aspect, the third electrode is formed in the region of the second region where the second region is formed, and a plurality of electrodes are arranged at the first pitch on the opposite side of the second region from the first region. Is done. Accordingly, there is an advantage that the density of the electrodes can be made uniform over a wide range including a region where the second electrode does not exist in the second region.

複数の駆動素子の各々が、第1駆動電極と、加熱処理を含む工程で第1駆動電極の面上に形成された圧電体と、圧電体の面上に形成された第2駆動電極とを含み、第1駆動素子の第1駆動電極に第1電極が電気的に接続され、第2駆動素子の第1駆動電極に第2電極が電気的に接続される構成では、圧電体を形成する加熱処理の工程において、第1駆動電極の有無に応じた熱分布の偏りが発生し、圧電体の成膜不良等の問題の原因となり得る。以上の事情を考慮して、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、複数の第1駆動素子の配列における一方の端部を挟んで他方の端部とは反対側に第1駆動電極と同層で形成された第4電極を具備する。以上の態様では、複数の第1駆動素子の配列における一方の端部を挟んで他方の端部とは反対側に第1駆動電極と同層で第4電極が形成されるから、第1駆動素子が配列される領域と他の領域との間で熱分布の偏りが低減される。したがって、各駆動素子の圧電体の成膜不良等の問題を解消することが可能である。以上の効果は、第1駆動素子の第1駆動電極と第2駆動素子の第1駆動電極との間隔は、第1方向に沿って第4電極が分布する範囲と比較して広い構成において格別に顕著である。   Each of the plurality of drive elements includes a first drive electrode, a piezoelectric body formed on the surface of the first drive electrode in a process including heat treatment, and a second drive electrode formed on the surface of the piezoelectric body. In addition, in the configuration in which the first electrode is electrically connected to the first drive electrode of the first drive element and the second electrode is electrically connected to the first drive electrode of the second drive element, a piezoelectric body is formed. In the heat treatment process, a deviation in heat distribution occurs depending on the presence or absence of the first drive electrode, which may cause problems such as poor film formation of the piezoelectric body. In view of the above circumstances, the liquid ejecting head according to a preferred aspect of the present invention includes the first drive electrode on the opposite side of the other end with respect to one end in the arrangement of the plurality of first drive elements. And a fourth electrode formed in the same layer. In the above aspect, since the fourth electrode is formed in the same layer as the first drive electrode on the side opposite to the other end with respect to one end in the arrangement of the plurality of first drive elements, the first drive The bias of the heat distribution is reduced between the region where the elements are arranged and other regions. Therefore, it is possible to solve problems such as a film formation failure of the piezoelectric body of each drive element. The above effect is particularly remarkable in a configuration in which the distance between the first drive electrode of the first drive element and the first drive electrode of the second drive element is wider than the range in which the fourth electrode is distributed along the first direction. It is remarkable.

本発明の好適な態様において、第2方向に沿って第1電極が存在する範囲と、第2方向に沿って第2電極が存在する範囲とは、第2方向において相互に重複する。以上の態様では、第2方向に沿って第1電極が存在する範囲と第2方向に沿って第2電極が存在する範囲とが重複するから、当該重複の範囲内に実装部品を設置する簡便な工程で、第1電極および第2電極を実装部品に対して接続することが可能である。   In a preferred aspect of the present invention, the range in which the first electrode exists along the second direction and the range in which the second electrode exists along the second direction overlap with each other in the second direction. In the above aspect, since the range where the first electrode exists along the second direction overlaps with the range where the second electrode exists along the second direction, it is easy to install the mounting component within the overlap range. In a simple process, the first electrode and the second electrode can be connected to the mounting component.

本発明の好適な態様において、複数の第1駆動素子のうち第1方向の一方側の端部に位置する第1駆動素子に対応するノズルと、複数の第2駆動素子のうち第1方向の一方側の端部に位置する第2駆動素子に対応するノズルとを連結する仮想線は、第1方向に対して30°以上かつ60°以下の範囲内(さらに好適には、30°以上かつ40°以下、または50°以上かつ60°以下の範囲内)の角度だけ傾斜する。以上の態様では、仮想線と第1方向とが相互に傾斜するから、例えば第1方向に垂直な方向に複数のノズルを配列した構成と比較して、当該方向におけるドット密度(解像度)を高めることが可能である。   In a preferred aspect of the present invention, the nozzle corresponding to the first drive element located at one end in the first direction among the plurality of first drive elements, and the first direction among the plurality of second drive elements. An imaginary line connecting the nozzle corresponding to the second drive element located at the one end is within a range of 30 ° to 60 ° with respect to the first direction (more preferably, 30 ° to It is inclined by an angle of 40 ° or less, or 50 ° or more and 60 ° or less. In the above aspect, since the virtual line and the first direction are inclined with respect to each other, for example, the dot density (resolution) in the direction is increased as compared with a configuration in which a plurality of nozzles are arranged in a direction perpendicular to the first direction. It is possible.

本発明の好適な態様に係る液体噴射装置は、以上の各態様に係る液体噴射ヘッドを具備する。液体噴射ヘッドの好例は、インクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。   A liquid ejecting apparatus according to a preferred aspect of the invention includes the liquid ejecting head according to each of the above aspects. A good example of the liquid ejecting head is a printing apparatus that ejects ink, but the use of the liquid ejecting apparatus according to the present invention is not limited to printing.

本発明の第1実施形態に係る印刷装置の構成図である。1 is a configuration diagram of a printing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 液体噴射モジュールの平面図である。It is a top view of a liquid ejection module. 液体噴射ユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a liquid injection unit. 複数のノズルの配列の説明図である。It is explanatory drawing of the arrangement | sequence of a some nozzle. 液体噴射ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a liquid ejecting head. 圧電素子の近傍を拡大した液体噴射ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a liquid ejecting head in which the vicinity of a piezoelectric element is enlarged. 実装領域に着目した液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a liquid ejecting head focusing on a mounting area. 第2実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a second embodiment. 第3実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a third embodiment. 第4実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a liquid jet head according to a fourth embodiment. 変形例に係る複数のノズルの配列の説明図である。It is explanatory drawing of the arrangement | sequence of the some nozzle which concerns on a modification. 複数の電極の配列におけるピッチの説明図である。It is explanatory drawing of the pitch in the arrangement | sequence of several electrodes.

<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係るインクジェット方式の印刷装置10の部分的な構成図である。第1実施形態の印刷装置10は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体(噴射対象)12に噴射する液体噴射装置であり、制御装置22と搬送機構24と液体噴射モジュール26とを具備する。複数色のインクを貯留する液体容器(カートリッジ)14が印刷装置10には装着される。第1実施形態では、シアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y),ブラック(B)の計4色のインクが液体容器14に貯留される。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a partial configuration diagram of an ink jet printing apparatus 10 according to a first embodiment of the present invention. The printing apparatus 10 according to the first embodiment is a liquid ejecting apparatus that ejects ink, which is an example of liquid, onto a medium (ejecting target) 12 such as printing paper, and includes a control device 22, a transport mechanism 24, and a liquid ejecting module 26. It has. A liquid container (cartridge) 14 that stores a plurality of colors of ink is attached to the printing apparatus 10. In the first embodiment, a total of four ink colors, cyan (C), magenta (M), yellow (Y), and black (B), are stored in the liquid container 14.

制御装置22は、印刷装置10の各要素を統括的に制御する。搬送機構24は、制御装置22による制御のもとで媒体12をY方向に搬送する。液体噴射モジュール26は、液体容器14から供給されるインクを制御装置22による制御のもとで媒体12に噴射する。第1実施形態の液体噴射モジュール26は、Y方向に交差(典型的には直交)するX方向に長尺なラインヘッドである。搬送機構24による媒体12の搬送に並行して液体噴射モジュール26が媒体12にインクを噴射することで媒体12の表面に所望の画像が形成される。なお、X-Y平面(媒体12の表面に平行な平面)に垂直な方向を以下ではZ方向と表記する。液体噴射モジュール26によるインクの噴射方向がZ方向に相当する。   The control device 22 comprehensively controls each element of the printing apparatus 10. The transport mechanism 24 transports the medium 12 in the Y direction under the control of the control device 22. The liquid ejecting module 26 ejects ink supplied from the liquid container 14 onto the medium 12 under the control of the control device 22. The liquid ejecting module 26 of the first embodiment is a line head that is long in the X direction that intersects (typically orthogonal) in the Y direction. In parallel with the transport of the medium 12 by the transport mechanism 24, the liquid ejecting module 26 ejects ink onto the medium 12, thereby forming a desired image on the surface of the medium 12. Hereinafter, a direction perpendicular to the XY plane (a plane parallel to the surface of the medium 12) is referred to as a Z direction. The ink ejection direction by the liquid ejection module 26 corresponds to the Z direction.

図2は、液体噴射モジュール26のうち媒体12との対向面の平面図である。図2に例示される通り、液体噴射モジュール26は、X方向に沿って配列された複数の液体噴射ユニットUを具備する。図3は、各液体噴射ユニットUの分解斜視図である。図2および図3に例示される通り、複数の液体噴射ユニットUの各々は、X方向に沿って配列された複数(6個)の液体噴射ヘッド30を包含する。各液体噴射ヘッド30には複数のノズル(噴射口)Nが形成される。図3に例示される通り、液体噴射モジュール26の6個の液体噴射ヘッド30は、平板状の固定板32の表面に固定される。固定板32には、各液体噴射ヘッド30のノズルNを露出させる開口部322が形成される。液体容器14に貯留された4色のインクが各液体噴射モジュール26の複数の液体噴射ヘッド30に並列に供給されて各液体噴射ヘッド30のノズルNから噴射される。   FIG. 2 is a plan view of a surface of the liquid ejecting module 26 facing the medium 12. As illustrated in FIG. 2, the liquid ejecting module 26 includes a plurality of liquid ejecting units U arranged along the X direction. FIG. 3 is an exploded perspective view of each liquid ejecting unit U. FIG. As illustrated in FIGS. 2 and 3, each of the plurality of liquid ejecting units U includes a plurality (six) of liquid ejecting heads 30 arranged along the X direction. A plurality of nozzles (ejection ports) N are formed in each liquid ejection head 30. As illustrated in FIG. 3, the six liquid ejecting heads 30 of the liquid ejecting module 26 are fixed to the surface of a flat fixed plate 32. The fixed plate 32 is formed with an opening 322 that exposes the nozzle N of each liquid jet head 30. The four color inks stored in the liquid container 14 are supplied in parallel to the plurality of liquid ejecting heads 30 of each liquid ejecting module 26 and ejected from the nozzles N of the respective liquid ejecting heads 30.

図4は、液体噴射ヘッド30の複数のノズルNの配列に着目した平面図である。図4に例示される通り、各液体噴射ヘッド30の複数のノズルNは第1ノズル列N1と第2ノズル列N2とに区分される。第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の各々は、X-Y平面内のW1方向(第1方向)に沿って配列する複数のノズルNの集合である。第1ノズル列N1と第2ノズル列N2とでノズルNの総数は相等しい。W1方向は、X-Y平面内でX方向およびY方向に対して非直角で交差する方向である。具体的には、W1方向は、Y方向に対して角度θで傾斜する。角度θは、30°以上かつ60°以下(好適には30°以上かつ40°以下または50°以上かつ60°以下)に設定される。以上の通り、第1実施形態では、媒体12が搬送されるY方向に対して傾斜したW1方向に複数のノズルNが配列されるから、複数のノズルNをX方向に沿って配列した構成と比較して、媒体12のX方向における実質的なドット密度(解像度)を高めることが可能である。   FIG. 4 is a plan view focusing on the arrangement of the plurality of nozzles N of the liquid ejecting head 30. As illustrated in FIG. 4, the plurality of nozzles N of each liquid jet head 30 are divided into a first nozzle row N1 and a second nozzle row N2. Each of the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 is a set of a plurality of nozzles N arranged along the W1 direction (first direction) in the XY plane. The total number of nozzles N is the same in the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2. The W1 direction is a direction that intersects the X direction and the Y direction at a non-right angle in the XY plane. Specifically, the W1 direction is inclined at an angle θ with respect to the Y direction. The angle θ is set to 30 ° to 60 ° (preferably 30 ° to 40 ° or 50 ° to 60 °). As described above, in the first embodiment, since the plurality of nozzles N are arranged in the W1 direction inclined with respect to the Y direction in which the medium 12 is conveyed, a configuration in which the plurality of nozzles N are arranged along the X direction In comparison, the substantial dot density (resolution) in the X direction of the medium 12 can be increased.

第1ノズル列N1と第2ノズル列N2とは、X-Y平面内でW1方向に交差(典型的には直交)するW2方向(第2方向)に沿って相互に間隔をあけて併設される。図4から理解される通り、各液体噴射ヘッド30の第1ノズル列N1と第2ノズル列N2とは、複数の液体噴射ヘッド30にわたり相等しい間隔で配列する。W2方向に相互に隣合う第1ノズル列N1と第2ノズル列N2とに着目すると、第1ノズル列N1の複数のノズルNが分布するX方向の範囲と、第2ノズル列N2の複数のノズルNが分布するX方向の範囲とは相互に重複する。   The first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 are provided with a space between each other along the W2 direction (second direction) intersecting (typically orthogonal) with the W1 direction in the XY plane. The As understood from FIG. 4, the first nozzle row N 1 and the second nozzle row N 2 of each liquid ejecting head 30 are arranged at equal intervals over the plurality of liquid ejecting heads 30. Paying attention to the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 that are adjacent to each other in the W2 direction, the range in the X direction in which the plurality of nozzles N of the first nozzle row N1 are distributed, and the plurality of second nozzle rows N2 The ranges in the X direction where the nozzles N are distributed overlap each other.

第1ノズル列N1の各ノズルNと第2ノズル列N2の各ノズルNとはX方向の位置が共通する。すなわち、第1ノズル列N1の各ノズルNと第2ノズル列N2の各ノズルNとは、Y方向に平行な直線上に位置する。例えば、第1ノズル列N1のうちW1方向の負側の端部に位置する1個のノズルNと、第2ノズル列N2のうちW1方向の負側の端部に位置する1個のノズルNとの中心間を連結する仮想線Lは、Y方向に平行な方向に延在し、W1方向に対して前述の角度θ(30°≦θ≦60°)だけ傾斜する。したがって、Y方向に搬送される媒体12の同じ位置に、第1ノズル列N1のノズルNから噴射されたインクと第2ノズル列N2のノズルNから噴射されたインクとを重複させることが可能である。   Each nozzle N in the first nozzle row N1 and each nozzle N in the second nozzle row N2 have a common position in the X direction. That is, each nozzle N of the first nozzle row N1 and each nozzle N of the second nozzle row N2 are located on a straight line parallel to the Y direction. For example, one nozzle N located at the negative end of the first nozzle row N1 in the W1 direction and one nozzle N located at the negative end of the second nozzle row N2 in the W1 direction. The imaginary line L connecting the centers of the two lines extends in a direction parallel to the Y direction and is inclined with respect to the W1 direction by the aforementioned angle θ (30 ° ≦ θ ≦ 60 °). Therefore, it is possible to overlap the ink ejected from the nozzle N of the first nozzle row N1 and the ink ejected from the nozzle N of the second nozzle row N2 at the same position of the medium 12 conveyed in the Y direction. is there.

また、第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の各々の複数のノズルNは、X方向における各ノズルNのピッチ(相互に隣合う各ノズルNの中心間の距離)PXとY方向における各ノズルNのピッチPYとが整数比(例えばPX:PY=1:2)となるように形成される。以上の構成によれば、複数の画素が行列状に配列された画像を媒体12に印刷する場合に、画像データで指定される画像の各画素と液体噴射ヘッド30の各ノズルNとの対応関係が簡素化されるという利点がある。   The plurality of nozzles N in each of the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 has a pitch of each nozzle N in the X direction (a distance between the centers of the adjacent nozzles N) PX and each in the Y direction. The pitch N of the nozzles N is formed to have an integer ratio (for example, PX: PY = 1: 2). According to the above configuration, when an image in which a plurality of pixels are arranged in a matrix is printed on the medium 12, the correspondence relationship between each pixel of the image specified by the image data and each nozzle N of the liquid ejecting head 30. Has the advantage of being simplified.

第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の各々は、相異なる2色(第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の2列で合計4色)のインクの噴射に利用される。具体的には、図4に例示される通り、各液体噴射ヘッド30の第1ノズル列N1のうちW1方向の負側に位置する所定個のノズルNからはイエロー(Y)のインクが噴射され、第1ノズル列N1のうちW1方向の正側に位置する所定個のノズルNからはシアン(C)のインクが噴射される。また、各液体噴射ヘッド30の第2ノズル列N2のうちW1方向の負側に位置する所定個のノズルNからはマゼンタ(M)のインクが噴射され、第2ノズル列N2のうちW1方向の正側に位置する所定個のノズルNからはブラック(B)のインクが噴射される。以上の構成において、相異なる4色に対応する各ノズルNがY方向に沿って配列する。したがって、Y方向に搬送される媒体12の同じ位置に4色のインクを重複させることが可能である。   Each of the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 is used for ejecting ink of two different colors (a total of four colors in the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2). Specifically, as illustrated in FIG. 4, yellow (Y) ink is ejected from a predetermined number of nozzles N located on the negative side in the W1 direction in the first nozzle row N1 of each liquid ejecting head 30. The cyan (C) ink is ejected from a predetermined number of nozzles N located on the positive side in the W1 direction in the first nozzle row N1. In addition, magenta (M) ink is ejected from a predetermined number of nozzles N located on the negative side in the W1 direction in the second nozzle row N2 of each liquid ejecting head 30, and in the W1 direction in the second nozzle row N2. Black (B) ink is ejected from a predetermined number of nozzles N located on the positive side. In the above configuration, the nozzles N corresponding to the four different colors are arranged along the Y direction. Therefore, it is possible to overlap four color inks at the same position of the medium 12 transported in the Y direction.

図5は、任意の1個の液体噴射ヘッド30の断面図であり、図4のV-V線の断面(W1方向に垂直な断面)が図示されている。図5に例示される通り、液体噴射ヘッド30は、流路基板42のうちZ方向の負側の面上に圧力室基板44と振動板46と封止体52と支持体54とを設置するとともに、流路基板42のうちZ方向の正側の面上にノズル板62とコンプライアンス部64とを設置した構造体(ヘッドチップ)である。液体噴射ヘッド30の各要素は、概略的にはW1方向に長尺な略平板状の部材であり、例えば接着剤を利用して相互に固定される。   FIG. 5 is a cross-sectional view of an arbitrary liquid jet head 30, and shows a cross section taken along the line VV of FIG. 4 (a cross section perpendicular to the W1 direction). As illustrated in FIG. 5, in the liquid jet head 30, the pressure chamber substrate 44, the vibration plate 46, the sealing body 52, and the support body 54 are installed on the negative side surface in the Z direction of the flow path substrate 42. In addition, this is a structure (head chip) in which the nozzle plate 62 and the compliance portion 64 are installed on the positive side surface in the Z direction of the flow path substrate 42. Each element of the liquid ejecting head 30 is generally a substantially flat member that is long in the W1 direction, and is fixed to each other by using, for example, an adhesive.

図4を参照して前述した複数のノズルNがノズル板62に形成される。図5から理解される通り、各液体噴射ヘッド30には、第1ノズル列N1の各ノズルNに対応する構造と第2ノズル列N2の各ノズルNに対応する構造とが略線対称に形成されるから、以下では第1ノズル列N1に便宜的に着目して液体噴射ヘッド30の構造を説明する。   The plurality of nozzles N described above with reference to FIG. As understood from FIG. 5, each liquid ejecting head 30 has a structure corresponding to each nozzle N of the first nozzle row N1 and a structure corresponding to each nozzle N of the second nozzle row N2 formed in substantially line symmetry. Therefore, hereinafter, the structure of the liquid ejecting head 30 will be described focusing attention on the first nozzle row N1 for the sake of convenience.

流路基板42は、流路を形成する平板材であり、開口部422と供給流路424と連通流路426とが形成される。供給流路424および連通流路426はノズルN毎に形成され、開口部422は、1色のインクを噴射する複数のノズルNにわたり連続する。圧力室基板44は、相異なるノズルNに対応する複数の開口部422が形成された平板材である。流路基板42および圧力室基板44は、例えばシリコンの単結晶基板で形成される。   The flow path substrate 42 is a flat plate material that forms a flow path, and an opening 422, a supply flow path 424, and a communication flow path 426 are formed. The supply channel 424 and the communication channel 426 are formed for each nozzle N, and the opening 422 is continuous over a plurality of nozzles N that eject ink of one color. The pressure chamber substrate 44 is a flat plate in which a plurality of openings 422 corresponding to different nozzles N are formed. The flow path substrate 42 and the pressure chamber substrate 44 are formed of, for example, a silicon single crystal substrate.

図5のコンプライアンス部64は、液体噴射ヘッド30の内部の流路内の圧力変動を抑制(吸収)する要素であり、例えばシート状に形成された可撓性の部材を含んで構成される。具体的には、流路基板42の開口部422と各供給流路424とが閉塞されるように流路基板42の表面にコンプライアンス部64が固定される。   The compliance unit 64 in FIG. 5 is an element that suppresses (absorbs) pressure fluctuation in the flow path inside the liquid jet head 30 and includes, for example, a flexible member formed in a sheet shape. Specifically, the compliance section 64 is fixed to the surface of the flow path substrate 42 so that the opening 422 of the flow path substrate 42 and each supply flow path 424 are closed.

図5に例示される通り、流路基板42のうちZ方向の負側の表面に支持体54が固定される。支持体54には収容部542と導入流路544とが形成される。収容部542は、平面視で(すなわちZ方向からみて)、流路基板42の開口部422に対応した外形の凹部(窪み)であり、導入流路544は、収容部542に連通する流路である。図5から理解される通り、流路基板42の開口部422と支持体54の収容部542とを相互に連通させた空間が液体貯留室(リザーバー)SRとして機能する。液体貯留室SRは、液体容器14から供給されるインクの色毎に相互に独立に形成され、導入流路544を通過したインクを貯留する。すなわち、任意の1個の液体噴射ヘッド30の内部には、相異なるインクに対応する4個の液体貯留室SRが形成される。図5のコンプライアンス部64は、液体貯留室SRの底面を構成し、液体貯留室SR内のインクの圧力変動を吸収する。   As illustrated in FIG. 5, the support body 54 is fixed to the negative surface of the flow path substrate 42 in the Z direction. An accommodating portion 542 and an introduction channel 544 are formed in the support 54. The accommodating portion 542 is a concave portion (dent) having an outer shape corresponding to the opening 422 of the flow path substrate 42 in a plan view (that is, viewed from the Z direction), and the introduction flow path 544 is a flow path communicating with the accommodating portion 542. It is. As understood from FIG. 5, a space in which the opening 422 of the flow path substrate 42 and the accommodating portion 542 of the support 54 communicate with each other functions as a liquid storage chamber (reservoir) SR. The liquid storage chamber SR is formed independently for each color of ink supplied from the liquid container 14 and stores the ink that has passed through the introduction flow path 544. That is, in one arbitrary liquid ejecting head 30, four liquid storage chambers SR corresponding to different inks are formed. The compliance unit 64 in FIG. 5 constitutes the bottom surface of the liquid storage chamber SR and absorbs pressure fluctuations of the ink in the liquid storage chamber SR.

圧力室基板44は、相異なるノズルNに対応する複数の開口部442が形成された平板材である。圧力室基板44のうち流路基板42とは反対側の表面に振動板46が設置される。振動板46は、弾性的に振動可能な平板状の部材である。例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で振動板46が構成される。図5から理解される通り、振動板46と流路基板42とは、圧力室基板44の各開口部442の内側で相互に間隔をあけて対向する。各開口部442の内側で流路基板42と振動板46とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室(キャビティ)SCとして機能する。各圧力室SCは、流路基板42の各連通流路426を介してノズルNに連通する。   The pressure chamber substrate 44 is a flat plate in which a plurality of openings 442 corresponding to different nozzles N are formed. A diaphragm 46 is installed on the surface of the pressure chamber substrate 44 opposite to the flow path substrate 42. The diaphragm 46 is a flat plate-like member that can vibrate elastically. For example, the diaphragm 46 is constituted by a laminate of an elastic film formed of an elastic material such as silicon oxide and an insulating film formed of an insulating material such as zirconium oxide. As understood from FIG. 5, the diaphragm 46 and the flow path substrate 42 oppose each other with an interval inside each opening 442 of the pressure chamber substrate 44. A space sandwiched between the flow path substrate 42 and the diaphragm 46 inside each opening 442 functions as a pressure chamber (cavity) SC that applies pressure to the ink. Each pressure chamber SC communicates with the nozzle N via each communication channel 426 of the channel substrate 42.

振動板46のうち圧力室基板44とは反対側の表面には、相異なるノズルN(圧力室SC)に対応する複数の駆動素子Fが形成される。図6は、任意の1個の駆動素子Fの近傍を拡大した断面図(W1方向に垂直な断面)である。図6に例示される通り、複数の駆動素子Fの各々は、振動板46の面上に形成された第1駆動電極72と、第1駆動電極72の面上に形成された圧電体74と、圧電体74の面上に形成された第2駆動電極76とを包含する圧電素子である。第1駆動電極72と第2駆動電極76とが圧電体74を挟んで対向する領域が駆動素子Fとして機能する。   A plurality of drive elements F corresponding to different nozzles N (pressure chambers SC) are formed on the surface of the diaphragm 46 opposite to the pressure chamber substrate 44. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view (cross section perpendicular to the W1 direction) of the vicinity of any one drive element F. FIG. As illustrated in FIG. 6, each of the plurality of drive elements F includes a first drive electrode 72 formed on the surface of the diaphragm 46, and a piezoelectric body 74 formed on the surface of the first drive electrode 72. The piezoelectric element includes a second drive electrode 76 formed on the surface of the piezoelectric body 74. A region where the first drive electrode 72 and the second drive electrode 76 face each other with the piezoelectric body 74 interposed therebetween functions as the drive element F.

圧電体74は、例えば加熱処理(焼成)を含む工程で形成される。具体的には、複数の第1駆動電極72が形成された振動板46の表面に塗布された圧電材料を、焼成炉内での加熱処理により焼成してから駆動素子F毎に成形(例えばプラズマを利用したミーリング)することで圧電体74が形成される。各第1駆動電極72は、駆動素子F毎に個別に形成されて電気的に相互に絶縁され、各第2駆動電極76は、駆動素子F毎に個別に形成されて定電位(例えば接地電位等の基準電位)の配線に共通に接続される。なお、第2駆動電極76を複数の駆動素子Fにわたり連続させた構成も採用され得る。   The piezoelectric body 74 is formed by a process including heat treatment (firing), for example. Specifically, the piezoelectric material applied to the surface of the diaphragm 46 on which the plurality of first drive electrodes 72 are formed is fired by heat treatment in a firing furnace and then shaped for each drive element F (for example, plasma The piezoelectric body 74 is formed by milling using the above. Each first drive electrode 72 is individually formed for each drive element F and is electrically insulated from each other, and each second drive electrode 76 is formed individually for each drive element F and has a constant potential (for example, ground potential). Common reference potential). A configuration in which the second drive electrode 76 is continuous over a plurality of drive elements F can also be employed.

図7は、液体噴射ヘッド30をZ方向の負側(媒体12とは反対側)からみた各要素の模式図である。図7に例示される通り、液体噴射ヘッド30の複数の駆動素子Fは、第1素子群G1と第2素子群G2とに区分される。第1素子群G1は、第1ノズル列N1の各ノズルNに対応する複数の駆動素子F(第1駆動素子)の集合であり、第2素子群G2は、第2ノズル列N2の各ノズルNに対応する複数の駆動素子F(第2駆動素子)の集合である。第1素子群G1の複数の駆動素子FはW1方向に沿って配列し、第2素子群G2の複数の駆動素子Fも同様にW1方向に沿って配列する。第1素子群G1のうちW1方向の負側に位置する所定個の駆動素子Fはイエローに対応し(すなわちイエローのインクが充填された圧力室SCに圧力を付与することでノズルNからイエローのインクを噴射させ)、第1素子群G1のうちW1方向の正側に位置する所定個の駆動素子Fはシアンに対応する。他方、第2素子群G2のうちW1方向の負側に位置する所定個の駆動素子Fはマゼンタに対応し、第2素子群G2のうちW1方向の正側に位置する所定個の駆動素子Fはブラックに対応する。   FIG. 7 is a schematic diagram of each element when the liquid ejecting head 30 is viewed from the negative side in the Z direction (the side opposite to the medium 12). As illustrated in FIG. 7, the plurality of driving elements F of the liquid jet head 30 are divided into a first element group G1 and a second element group G2. The first element group G1 is a set of a plurality of driving elements F (first driving elements) corresponding to the respective nozzles N of the first nozzle array N1, and the second element group G2 includes the nozzles of the second nozzle array N2. A set of a plurality of drive elements F (second drive elements) corresponding to N. The plurality of drive elements F of the first element group G1 are arranged along the W1 direction, and the plurality of drive elements F of the second element group G2 are arranged along the W1 direction in the same manner. A predetermined number of drive elements F located on the negative side in the W1 direction in the first element group G1 correspond to yellow (that is, by applying pressure to the pressure chamber SC filled with yellow ink, Ink is ejected), and a predetermined number of driving elements F located on the positive side in the W1 direction in the first element group G1 correspond to cyan. On the other hand, a predetermined number of driving elements F located on the negative side in the W1 direction in the second element group G2 correspond to magenta, and a predetermined number of driving elements F located on the positive side in the W1 direction in the second element group G2. Corresponds to black.

第1素子群G1と第2素子群G2とは、W2方向に相互に間隔をあけて併設される。図7に例示される通り、振動板46の表面のうち第1素子群G1と第2素子群G2との間には、実装部品が設置される領域(以下「実装領域」という)Qが確保される。すなわち、第1素子群G1の複数の駆動素子Fと第2素子群G2の複数の駆動素子Fとは、W1方向に長尺な実装領域Qを挟んで相互に反対側に位置する。第1実施形態では、図5および図6に例示される通り、液体噴射ヘッド30を外部装置(制御装置22や電源回路)に電気的に接続するための可撓性の配線基板34(COF:Chip On Film)が実装部品として実装領域Qに実装される。   The first element group G1 and the second element group G2 are provided side by side with an interval in the W2 direction. As illustrated in FIG. 7, an area (hereinafter referred to as “mounting area”) Q in which mounting components are installed is secured between the first element group G1 and the second element group G2 on the surface of the diaphragm 46. Is done. That is, the plurality of driving elements F of the first element group G1 and the plurality of driving elements F of the second element group G2 are located on opposite sides of the mounting region Q that is long in the W1 direction. In the first embodiment, as illustrated in FIGS. 5 and 6, a flexible wiring substrate 34 (COF: for electrically connecting the liquid ejecting head 30 to an external device (the control device 22 or a power supply circuit). Chip On Film) is mounted on the mounting region Q as a mounting component.

図5の封止体52は、各駆動素子Fを保護する(例えば駆動素子Fに対する水分等の付着を防止する)とともに圧力室基板44や振動板46の機械的な強度を補強する構造体であり、振動板46の表面に例えば接着剤で固定される。封止体52のうち振動板46側の表面に形成された凹部に各駆動素子Fが収容される。図5に例示される通り、第1実施形態の封止体52は、平面視で実装領域Qと第1素子群G1との間に位置する第1壁面521と、平面視で実装領域Qと第2素子群G2との間に位置する第2壁面522とを包含する。すなわち、実装領域Qは、平面視で第1壁面521と第2壁面522とに挟まれた領域とも換言され得る。   5 is a structure that protects each driving element F (for example, prevents adhesion of moisture and the like to the driving element F) and reinforces the mechanical strength of the pressure chamber substrate 44 and the diaphragm 46. Yes, and fixed to the surface of the diaphragm 46 with an adhesive, for example. Each drive element F is accommodated in a recess formed on the surface of the sealing body 52 on the diaphragm 46 side. As illustrated in FIG. 5, the sealing body 52 of the first embodiment includes a first wall surface 521 positioned between the mounting region Q and the first element group G1 in a plan view, and a mounting region Q in a plan view. And a second wall surface 522 positioned between the second element group G2. That is, the mounting area Q can also be referred to as an area sandwiched between the first wall surface 521 and the second wall surface 522 in plan view.

図7に例示される通り、振動板46の表面のうち実装領域Qには複数の電極Eが形成される。各電極Eは、平面視でW2方向に延在する形状に形成(パターニング)された導電体であり、配線基板34の各配線と振動板46の表面の各駆動素子Fとの電気的な接続に利用される。実装領域Q内の複数の電極Eは、複数の第1電極E1と複数の第2電極E2と複数の第3電極E3とを包含する。なお、振動板46が実装領域Qにて除去された構成では、圧力室基板44の面上に複数の電極Eが形成され得る。   As illustrated in FIG. 7, a plurality of electrodes E are formed in the mounting region Q in the surface of the diaphragm 46. Each electrode E is a conductor formed (patterned) in a shape extending in the W2 direction in plan view, and is electrically connected to each wiring of the wiring board 34 and each driving element F on the surface of the diaphragm 46. Used for The plurality of electrodes E in the mounting region Q include a plurality of first electrodes E1, a plurality of second electrodes E2, and a plurality of third electrodes E3. In the configuration in which the diaphragm 46 is removed in the mounting region Q, a plurality of electrodes E can be formed on the surface of the pressure chamber substrate 44.

図7に例示される通り、実装領域Qは第1領域A1と第2領域A2と第3領域A3とに区分される。第2領域A2は第1領域A1からみてW1方向の負側に位置し、第3領域A3は第1領域A1からみてW1方向の正側に位置する。すなわち、第2領域A2と第3領域A3との間に第1領域A1が位置する。図7から理解される通り、第1領域A1は、第1素子群G1と第2素子群G2(第1ノズル列N1と第2ノズル列N2)とがW1方向に沿って相互に重複する領域に相当する。他方、第2領域A2は、第2素子群G2が存在するW1方向の範囲のうち第1素子群G1とは重複しない領域に相当し、第3領域A3は、第1素子群G1が存在するW1方向の範囲のうち第2素子群G2とは重複しない領域に相当する。   As illustrated in FIG. 7, the mounting area Q is divided into a first area A1, a second area A2, and a third area A3. The second area A2 is located on the negative side in the W1 direction as viewed from the first area A1, and the third area A3 is located on the positive side in the W1 direction as viewed from the first area A1. That is, the first area A1 is located between the second area A2 and the third area A3. As understood from FIG. 7, the first area A1 is an area where the first element group G1 and the second element group G2 (first nozzle array N1 and second nozzle array N2) overlap each other along the W1 direction. It corresponds to. On the other hand, the second region A2 corresponds to a region that does not overlap the first element group G1 in the W1 direction range where the second element group G2 exists, and the third region A3 includes the first element group G1. It corresponds to a region that does not overlap with the second element group G2 in the range in the W1 direction.

複数の第1電極E1は、実装領域Qのうち第1領域A1と第3領域A3とにわたりW1方向に沿って所定のピッチPWで配列される。他方、複数の第2電極E2は、実装領域Qのうち第1領域A1と第2領域A2とにわたり各第1電極E1と同等のピッチPWでW1方向に沿って配列される。複数の第1電極E1の各々は、実装領域Q内でW2方向の正側に延在して第1素子群G1の各駆動素子F(第1駆動素子)に電気的に接続され、複数の第2電極E2の各々は、実装領域Q内でW2方向の負側に延在して第2素子群G2の各駆動素子F(第2駆動素子)に電気的に接続される。具体的には、図6に例示される通り、各第1電極E1および各第2電極E2は、接続配線82と接続端子84との積層で構成される。接続配線82は、各駆動素子Fの第1駆動電極72に接続された導電体(配線)である。第1実施形態では、接続配線82を第1駆動電極72と同層で連続させた構成を例示するが、第1駆動電極72とは別層で形成された接続配線82を第1電極E1に接続することも可能である。他方、接続端子84は、接続配線82のうち駆動素子Fとは反対側の端部の表面に形成された導電体(圧着端子)である。   The plurality of first electrodes E1 are arranged at a predetermined pitch PW along the W1 direction across the first region A1 and the third region A3 in the mounting region Q. On the other hand, the plurality of second electrodes E2 are arranged along the W1 direction at the same pitch PW as each first electrode E1 over the first region A1 and the second region A2 in the mounting region Q. Each of the plurality of first electrodes E1 extends to the positive side in the W2 direction within the mounting region Q and is electrically connected to each driving element F (first driving element) of the first element group G1. Each of the second electrodes E2 extends to the negative side in the W2 direction within the mounting region Q and is electrically connected to each driving element F (second driving element) of the second element group G2. Specifically, as illustrated in FIG. 6, each first electrode E <b> 1 and each second electrode E <b> 2 is configured by stacking connection wirings 82 and connection terminals 84. The connection wiring 82 is a conductor (wiring) connected to the first driving electrode 72 of each driving element F. In the first embodiment, a configuration in which the connection wiring 82 is continuous in the same layer as the first drive electrode 72 is illustrated, but the connection wiring 82 formed in a layer different from the first drive electrode 72 is used as the first electrode E1. It is also possible to connect. On the other hand, the connection terminal 84 is a conductor (crimp terminal) formed on the surface of the end of the connection wiring 82 opposite to the drive element F.

図7に例示される通り、実装領域Qの第1領域A1内では、複数の第1電極E1と複数の第2電極E2とがピッチPWの半分のピッチP0(P0=PW/2)でW1方向に沿って交互に配列される。すなわち、W1方向に相互に隣合う2個の第1電極E1の間に第2電極E2が位置する。W2方向に沿って第1電極E1が存在する範囲とW2方向に沿って第2電極E2が存在する範囲とはW2方向において相互に重複する。すなわち、実装領域QのうちW2方向の所定の範囲α内には第1電極E1および第2電極E2の双方が存在する。   As illustrated in FIG. 7, in the first region A1 of the mounting region Q, the plurality of first electrodes E1 and the plurality of second electrodes E2 are W1 at a pitch P0 (P0 = PW / 2) which is half the pitch PW. Alternatingly arranged along the direction. That is, the second electrode E2 is located between the two first electrodes E1 adjacent to each other in the W1 direction. The range in which the first electrode E1 exists along the W2 direction and the range in which the second electrode E2 exists along the W2 direction overlap with each other in the W2 direction. That is, both the first electrode E1 and the second electrode E2 exist within a predetermined range α in the W2 direction in the mounting region Q.

図7に例示される通り、複数の第3電極E3は、第2領域A2および第3領域A3の各々に形成される。他方、第1領域A1に第3電極E3は形成されない。また、第1電極E1および第2電極E2は前述の通り各駆動素子Fに電気的に接続されるのに対し、第1実施形態の第3電極E3は何れの駆動素子Fにも電気的に接続されない。すなわち、第3電極E3は、駆動素子Fの動作(インクの噴射)に実際には寄与しないダミー配線(無効配線)である。   As illustrated in FIG. 7, the plurality of third electrodes E3 are formed in each of the second region A2 and the third region A3. On the other hand, the third electrode E3 is not formed in the first region A1. The first electrode E1 and the second electrode E2 are electrically connected to each drive element F as described above, whereas the third electrode E3 of the first embodiment is electrically connected to any drive element F. Not connected. That is, the third electrode E3 is a dummy wiring (invalid wiring) that does not actually contribute to the operation (ink ejection) of the driving element F.

複数の第3電極E3の各々は、第1電極E1および第2電極E2と同層(接続配線82と接続端子84との積層)で形成される。実装領域Qの第2領域A2内に形成された各第3電極E3は、第2領域A2内でW1方向に沿ってピッチPWで相互に隣合う2個の第2電極E2の間に位置する。具体的には、図7に例示される通り、実装領域Qの第1領域A1内で第1電極E1と第2電極E2とが配列するピッチP0と同等のピッチP0で、第2領域A2内では第2電極E2と第3電極E3とがW1方向に沿って交互に配列される。他方、実装領域Qの第3領域A3内に形成された各第3電極E3は、第3領域A3内でW1方向に沿ってピッチPWで相互に隣合う2個の第1電極E1の間に位置する。具体的には、図7に例示される通り、第1領域A1における第1電極E1と第2電極E2との配列と同等のピッチP0で、第3領域A3内では第1電極E1と第3電極E3とがW1方向に沿って交互に配列される。以上の説明から理解される通り、第1実施形態では、第1領域A1に加えて第2領域A2および第3領域A3を含む実装領域Qの全体にわたり、複数の電極EがW1方向に沿って相等しいピッチP0で配列される。   Each of the plurality of third electrodes E3 is formed in the same layer as the first electrode E1 and the second electrode E2 (lamination of the connection wiring 82 and the connection terminal 84). Each third electrode E3 formed in the second region A2 of the mounting region Q is located between the two second electrodes E2 adjacent to each other at a pitch PW along the W1 direction in the second region A2. . Specifically, as illustrated in FIG. 7, in the first region A1 of the mounting region Q, the pitch P0 is equal to the pitch P0 in which the first electrode E1 and the second electrode E2 are arranged. Then, the second electrode E2 and the third electrode E3 are alternately arranged along the W1 direction. On the other hand, each third electrode E3 formed in the third region A3 of the mounting region Q is between the two first electrodes E1 adjacent to each other at a pitch PW along the W1 direction in the third region A3. To position. Specifically, as illustrated in FIG. 7, the pitch P0 is equal to the arrangement of the first electrode E1 and the second electrode E2 in the first region A1, and the first electrode E1 and the third electrode in the third region A3. Electrodes E3 are alternately arranged along the W1 direction. As understood from the above description, in the first embodiment, the plurality of electrodes E extend along the W1 direction over the entire mounting region Q including the second region A2 and the third region A3 in addition to the first region A1. They are arranged at the same pitch P0.

実装領域QのうちW2方向に沿って第3電極E3が存在する範囲は、W2方向における第1電極E1および第2電極E2の範囲に重複する。すなわち、実装領域Qのうち第1電極E1および第2電極E2が重複して存在する範囲α内に、第2領域A2および第3領域A3における各第3電極E3が存在する。   The range in which the third electrode E3 exists along the W2 direction in the mounting region Q overlaps the range of the first electrode E1 and the second electrode E2 in the W2 direction. That is, the third electrodes E3 in the second region A2 and the third region A3 exist within a range α in the mounting region Q where the first electrode E1 and the second electrode E2 overlap.

前述の通り、実装領域Qには可撓性の配線基板34が実装される。図6に例示される通り、配線基板34の表面に形成された接続端子342(配線)が振動板46の表面の各電極E(接続端子84)に接触した状態で、配線基板34は接着剤36により振動板46の表面に固定される。具体的には、流体状の接着剤36が実装領域Q(範囲α)内に塗布され、配線基板34の端部を振動板46の表面に押圧した状態で接着剤36を硬化させることで、配線基板34が液体噴射ヘッド30に実装される。各駆動素子Fを制御するための駆動信号は、配線基板34の各接続端子342から、第1電極E1を介して第1素子群G1の各駆動素子Fに供給されるとともに、第2電極E2を介して第2素子群G2の各駆動素子Fに供給される。   As described above, the flexible wiring board 34 is mounted in the mounting region Q. As illustrated in FIG. 6, in the state where the connection terminals 342 (wiring) formed on the surface of the wiring board 34 are in contact with the electrodes E (connection terminals 84) on the surface of the diaphragm 46, the wiring board 34 is adhesive. It is fixed to the surface of the diaphragm 46 by 36. Specifically, the fluid adhesive 36 is applied in the mounting region Q (range α), and the adhesive 36 is cured in a state where the end of the wiring board 34 is pressed against the surface of the diaphragm 46. The wiring board 34 is mounted on the liquid jet head 30. A drive signal for controlling each drive element F is supplied from each connection terminal 342 of the wiring board 34 to each drive element F of the first element group G1 through the first electrode E1, and at the same time the second electrode E2. Is supplied to each driving element F of the second element group G2.

第2領域A2および第3領域A3に第3電極E3を形成しない構成を第1実施形態との対比例として想定する。対比例において、第1領域A1内では第1電極E1と第2電極E2とがW1方向に沿ってピッチP0で交互に配列するが、第2領域A2内では第2電極E2のみがピッチPWで配列し、第3領域A3内では第1電極E1のみがピッチPWで配列する。すなわち、第2領域A2および第3領域A3では、電極Eの疎密が第1領域A1とは相違する。具体的には、第2電極E2および第3電極E3での各電極Eの密度は、第1領域A1での密度を下回る。以上の対比例において、配線基板34の実装のために振動板46の表面に塗布される接着剤36は、第1領域A1では、ピッチP0で相互に隣合う第1電極E1と第2電極E2との間の狭い空間に分布するのに対し、第2領域A2では、ピッチPW(PW=P0×2)で相互に隣合う各第2電極E2の間の広い空間に分布し得る。したがって、第1領域A1内で接着剤36が最適に分布するように接着剤36の塗布量を選定した場合には、第2領域A2内では接着剤36が不足し、結果的に配線基板34の接着強度を充分に確保することが困難となる。他方、第2領域A2内で接着剤36が最適に分布するように接着剤36の塗布量を選定した場合には、第1領域A1内では接着剤36の過剰が問題となる。例えば、第1領域A1内で接着剤36が過剰である場合、配線基板34を振動板46に対して押圧する過程において第1領域A1の接着剤36が広範囲に流動して封止体52まで到達し、第1壁面521や第2壁面522で堰止められた接着剤36からの応力で配線基板34の位置がずれるという問題がある。なお、以上の説明では第1領域A1と第2領域A2とに便宜的に着目したが、第3領域A3についても同様の問題が発生し得る。   A configuration in which the third electrode E3 is not formed in the second region A2 and the third region A3 is assumed as being proportional to the first embodiment. In contrast, in the first region A1, the first electrode E1 and the second electrode E2 are alternately arranged at a pitch P0 along the W1 direction. However, only the second electrode E2 has a pitch PW in the second region A2. In the third region A3, only the first electrodes E1 are arranged with a pitch PW. That is, in the second region A2 and the third region A3, the density of the electrodes E is different from that of the first region A1. Specifically, the density of each electrode E in the second electrode E2 and the third electrode E3 is lower than the density in the first region A1. In the above comparison, the adhesive 36 applied to the surface of the diaphragm 46 for mounting the wiring board 34 is the first electrode E1 and the second electrode E2 that are adjacent to each other at the pitch P0 in the first region A1. In the second region A2, it can be distributed in a wide space between the second electrodes E2 adjacent to each other at a pitch PW (PW = P0 × 2). Therefore, when the application amount of the adhesive 36 is selected so that the adhesive 36 is optimally distributed in the first area A1, the adhesive 36 is insufficient in the second area A2, and as a result, the wiring board 34 is obtained. It is difficult to ensure sufficient adhesive strength. On the other hand, when the application amount of the adhesive 36 is selected so that the adhesive 36 is optimally distributed in the second region A2, the excess of the adhesive 36 becomes a problem in the first region A1. For example, when the adhesive 36 is excessive in the first region A1, the adhesive 36 in the first region A1 flows over a wide range to the sealing body 52 in the process of pressing the wiring board 34 against the diaphragm 46. There is a problem that the position of the wiring board 34 is shifted due to the stress from the adhesive 36 that reaches and is blocked by the first wall surface 521 and the second wall surface 522. In the above description, the first area A1 and the second area A2 are noted for convenience, but the same problem may occur in the third area A3.

以上に例示した対比例とは対照的に、第1実施形態では、第1領域A1内に第1電極E1と第2電極E2とがピッチP0で交互に配列する一方、第2領域A2のうち相互に隣合う2個の第2電極E2の間に第3電極E3が形成され、第3領域A3のうち相互に隣合う2個の第1電極E1の間に第3電極E3が形成される。すなわち、第1実施形態では、実装領域Q内の電極Eの疎密の相違(第1領域A1と第2領域A2または第3領域A3との間の相違)が対比例と比較して抑制される。したがって、第1実施形態によれば、実装領域Q内の電極Eの疎密の相違に起因した対比例の前述の問題(接着強度の不足や配線基板34の位置誤差)を解消できるという利点がある。第1実施形態では特に、第1領域A1内の第1電極E1および第2電極E2の配列と同等のピッチP0で第2領域A2内では第2電極E2と第3電極E3とが配列するから、第1領域A1と第2領域A2との間の電極Eの疎密の相違が抑制されるという前述の効果は格別に顕著である。なお、過剰な接着剤36が配線基板34を押圧して位置の誤差を発生させるという前述の問題は、接着剤36の余剰分が封止体52まで到達して第1壁面521や第2壁面522で堰止められる結果として発生する。以上の事情を考慮すると、第1実施形態は、実装領域Qと第1素子群G1との間に第1壁面521が位置し、実装領域Qと第2素子群G2との間に第2壁面522が位置する形状の封止体52を設置した構成に格別に好適である。   In contrast to the above-described comparative example, in the first embodiment, the first electrode E1 and the second electrode E2 are alternately arranged at the pitch P0 in the first region A1, while the second region A2 A third electrode E3 is formed between the two second electrodes E2 adjacent to each other, and a third electrode E3 is formed between the two first electrodes E1 adjacent to each other in the third region A3. . That is, in the first embodiment, the difference in density of the electrodes E in the mounting region Q (difference between the first region A1 and the second region A2 or the third region A3) is suppressed as compared with the comparative example. . Therefore, according to the first embodiment, there is an advantage that the above-described problems (insufficient adhesion strength and position error of the wiring board 34) due to the difference in density of the electrodes E in the mounting region Q can be solved. . Particularly in the first embodiment, the second electrode E2 and the third electrode E3 are arranged in the second region A2 at the same pitch P0 as the arrangement of the first electrode E1 and the second electrode E2 in the first region A1. The above-described effect that the difference in density of the electrode E between the first region A1 and the second region A2 is suppressed is particularly remarkable. Note that the above-described problem that excessive adhesive 36 presses the wiring board 34 to generate a position error is caused by the surplus of the adhesive 36 reaching the sealing body 52 and the first wall surface 521 and the second wall surface. Occurs as a result of damming at 522. Considering the above circumstances, in the first embodiment, the first wall surface 521 is positioned between the mounting region Q and the first element group G1, and the second wall surface is interposed between the mounting region Q and the second element group G2. It is particularly suitable for a configuration in which a sealing body 52 having a shape where 522 is located is installed.

なお、以上の説明では、配線基板34の接着に関連した問題を例示したが、実装領域Q内の電極Eの疎密に起因した問題は以上の例示に限定されない。例えば、第3電極E3が形成されない対比例では、複数の電極Eの密度(ピッチP0)が高い第1領域A1と複数の電極Eの密度(ピッチPW)が低い第2領域A2との間で熱伝導の度合が相違するから、例えば加熱処理により圧電体74を焼成する工程では、第1領域A1と第2領域A2または第3領域A3との間で温度の相違(熱分布の偏り)が発生し得る。以上のように熱分布が偏った状態では、以降の各工程で形成される要素に成膜不良等の問題が発生する可能性がある。他方、第2領域A2および第3領域A3に第3電極E3を形成した第1実施形態では、実装領域Q内の電極Eの疎密が抑制されるから、実装領域Q内で熱分布が均一化される。したがって、熱分布の偏りに起因した成膜不良等の問題を防止できるという利点がある。以上の説明から理解される通り、第3電極E3を形成することで実装領域Q内の複数の電極Eの密度が均一化されるという第1実施形態の前述の効果は、配線基板34の接着を前提としない構成でも充分に発揮され得る。すなわち、接着剤36を利用して配線基板34を接着するという構成は本発明において必須ではない。   In the above description, the problem related to the adhesion of the wiring board 34 is exemplified, but the problem caused by the density of the electrodes E in the mounting region Q is not limited to the above example. For example, in the comparison in which the third electrode E3 is not formed, between the first region A1 where the density (pitch P0) of the plurality of electrodes E is high and the second region A2 where the density (pitch PW) of the plurality of electrodes E is low. Since the degree of heat conduction is different, for example, in the step of firing the piezoelectric body 74 by heat treatment, there is a difference in temperature (bias of heat distribution) between the first region A1 and the second region A2 or the third region A3. Can occur. In the state where the heat distribution is biased as described above, there is a possibility that a problem such as film formation failure may occur in an element formed in each subsequent process. On the other hand, in the first embodiment in which the third electrode E3 is formed in the second region A2 and the third region A3, since the density of the electrodes E in the mounting region Q is suppressed, the heat distribution is made uniform in the mounting region Q. Is done. Therefore, there is an advantage that problems such as film formation defects caused by uneven heat distribution can be prevented. As understood from the above description, the above-described effect of the first embodiment in which the density of the plurality of electrodes E in the mounting region Q is made uniform by forming the third electrode E3 is the adhesion of the wiring board 34. Even a configuration not premised on can be fully exhibited. That is, the configuration in which the wiring board 34 is bonded using the adhesive 36 is not essential in the present invention.

<第2実施形態>
本発明の第2実施形態について説明する。なお、以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
Second Embodiment
A second embodiment of the present invention will be described. In addition, about the element which an effect | action and function are the same as that of 1st Embodiment in each form illustrated below, the code | symbol used by description of 1st Embodiment is diverted, and each detailed description is abbreviate | omitted suitably.

図8は、第2実施形態の液体噴射ヘッド30をZ方向の負側からみた各要素の模式図である。図8に例示される通り、第2実施形態の液体噴射ヘッド30は、実際にはインクの噴射に利用されない複数のダミー素子FDを包含する。具体的には、図8に例示される通り、第1素子群G1のうちイエローに対応する複数の駆動素子Fとシアンに対応する複数の駆動素子Fとの間(すなわち第1ノズル列N1の色間)に複数のダミー素子FDが形成され、第2素子群G2のうちマゼンタに対応する複数の駆動素子Fとブラックに対応する複数の駆動素子Fとの間に複数のダミー素子FDが形成される。各ダミー素子FDは、実際にインクの噴射に利用される駆動素子Fと同様に、第1駆動電極72と圧電体74と第2駆動電極76との積層で構成される。   FIG. 8 is a schematic diagram of each element when the liquid jet head 30 of the second embodiment is viewed from the negative side in the Z direction. As illustrated in FIG. 8, the liquid ejecting head 30 of the second embodiment includes a plurality of dummy elements FD that are not actually used for ejecting ink. Specifically, as illustrated in FIG. 8, between the plurality of drive elements F corresponding to yellow and the plurality of drive elements F corresponding to cyan in the first element group G1 (that is, in the first nozzle row N1). A plurality of dummy elements FD are formed between the colors), and a plurality of dummy elements FD are formed between the plurality of driving elements F corresponding to magenta and the plurality of driving elements F corresponding to black in the second element group G2. Is done. Each dummy element FD is formed by stacking a first drive electrode 72, a piezoelectric body 74, and a second drive electrode 76, like the drive element F actually used for ink ejection.

第2実施形態の圧力室基板44には各ダミー素子FDに対応する圧力室SDが形成される。圧力室SDは、駆動素子Fに対応する圧力室SCと同様(共通または類似)の構造に形成されるが実際にはインクの噴射に利用されない疑似的な空間である。具体的には、液体貯留室SRから各圧力室SDにインクは供給されるが、圧力室SDの下流側に連通流路426やノズルNが形成されない。したがって、圧力室SD内の圧力が変動してもインクは噴射されない。以上の説明から理解される通り、各ダミー素子FDは、実際にインクの噴射に利用される駆動素子Fと同様(共通または類似)の構造に形成されるけれども実際にはインクの噴射に寄与しない疑似的な要素である。   A pressure chamber SD corresponding to each dummy element FD is formed on the pressure chamber substrate 44 of the second embodiment. The pressure chamber SD is a pseudo space that is formed in the same structure (common or similar) as the pressure chamber SC corresponding to the drive element F, but is not actually used for ink ejection. Specifically, ink is supplied from the liquid storage chamber SR to each pressure chamber SD, but the communication channel 426 and the nozzle N are not formed on the downstream side of the pressure chamber SD. Therefore, ink is not ejected even if the pressure in the pressure chamber SD fluctuates. As understood from the above description, each dummy element FD is formed in the same structure (common or similar) as the drive element F actually used for ink ejection, but does not actually contribute to ink ejection. It is a pseudo element.

第2実施形態では、実装領域Qの第1領域A1が領域RAと領域RBとに区分される。領域RAは領域RBからみてW1方向の正側に位置する。領域RAは、第3領域A3側の領域RA1と、領域RA1からみてW1方向の負側に位置する領域RA2とを包含し、領域RBは、第2領域A2側の領域RB1と、領域RB1からみてW1方向の正側に位置する領域RB2とを包含する。領域RA2は、第1素子群G1の複数のダミー素子FDと第2素子群G2のブラックの駆動素子Fとの間に位置し、領域RB2は、第2素子群G2の複数のダミー素子FDと第1素子群G1のイエローの駆動素子Fとの間に位置する。   In the second embodiment, the first area A1 of the mounting area Q is divided into an area RA and an area RB. The region RA is located on the positive side in the W1 direction when viewed from the region RB. The region RA includes a region RA1 on the third region A3 side and a region RA2 located on the negative side in the W1 direction as viewed from the region RA1, and the region RB includes the region RB1 on the second region A2 side and the region RB1. And a region RB2 located on the positive side in the W1 direction. The region RA2 is located between the plurality of dummy elements FD of the first element group G1 and the black driving element F of the second element group G2, and the region RB2 is composed of the plurality of dummy elements FD of the second element group G2. It is located between the yellow drive element F of the first element group G1.

実装領域Qの領域RA1には、第1素子群G1の各駆動素子Fに接続される複数の第1電極E1が、W1方向に沿ってピッチPWで配列される。また、第2素子群G2の各駆動素子Fに接続される複数の第2電極E2が、領域RA1と領域RA2とにわたりW1方向に沿ってピッチPWで配列される。したがって、領域RA1には、第1実施形態の第1領域A1と同様に、複数の第1電極E1と複数の第2電極E2とがW1方向に沿ってピッチP0で交互に配列される。他方、各ダミー素子FDは実際にはインクの噴射に利用されないから、各ダミー素子FDに対応する電極Eは本来的には不要である。しかし、第2実施形態では、図8に例示される通り、各ダミー素子FDに電気的に接続された複数の第3電極E3が領域RA2に形成される。領域RA2内では、第2領域A2内と同様に、相互に隣合う各第2電極E2の間に第3電極E3が位置するように複数の第2電極E2と複数の第3電極E3とがW1方向に沿ってピッチP0で交互に配列する。   In the region RA1 of the mounting region Q, a plurality of first electrodes E1 connected to each driving element F of the first element group G1 are arranged at a pitch PW along the W1 direction. A plurality of second electrodes E2 connected to each driving element F of the second element group G2 are arranged at a pitch PW along the W1 direction across the regions RA1 and RA2. Accordingly, in the region RA1, as in the first region A1 of the first embodiment, a plurality of first electrodes E1 and a plurality of second electrodes E2 are alternately arranged at a pitch P0 along the W1 direction. On the other hand, since each dummy element FD is not actually used for ejecting ink, the electrode E corresponding to each dummy element FD is essentially unnecessary. However, in the second embodiment, as illustrated in FIG. 8, a plurality of third electrodes E3 electrically connected to the respective dummy elements FD are formed in the region RA2. In the region RA2, as in the second region A2, a plurality of second electrodes E2 and a plurality of third electrodes E3 are arranged so that the third electrode E3 is located between the second electrodes E2 adjacent to each other. They are alternately arranged at a pitch P0 along the W1 direction.

領域RB内にも複数の電極Eが同様に配置される。すなわち、領域RB1内には第1電極E1と第2電極E2とがW1方向に沿ってピッチP0で交互に配列し、領域RB2には、第1素子群G1の各駆動素子Fに接続された第1電極E1と各ダミー素子FDに接続された第3電極E3とがW1方向に沿ってピッチP0で交互に配列する。   A plurality of electrodes E are similarly arranged in the region RB. That is, the first electrode E1 and the second electrode E2 are alternately arranged at a pitch P0 along the W1 direction in the region RB1, and the region RB2 is connected to each driving element F of the first element group G1. The first electrodes E1 and the third electrodes E3 connected to the respective dummy elements FD are alternately arranged at a pitch P0 along the W1 direction.

第2領域A2や第3領域A3における各電極Eの配列は第1実施形態と同様である。したがって、第2実施形態においても第1実施形態と同様の効果が実現される。また、第2実施形態では、第2領域A2や第3領域A3と同様に領域RA2および領域RB2に第3電極E3が形成されるから、例えば領域RA2および領域RB2に第3電極E3を形成しない構成と比較すると、領域RA1と領域RA2との間や領域RB1と領域RB2との間における電極Eの疎密の相違が低減される。したがって、第1実施形態と同様に、実装領域Q内の電極Eの疎密の相違に起因した前述の問題(接着強度の不足や配線基板34の位置誤差)を解消できるという利点がある。以上の説明から理解される通り、本発明における「第3電極」は、第2領域A2や第3領域A3に形成された第3電極E3のほか、ダミー素子FDに対応して領域RA2や領域RB2に形成された第3電極E3も包含する。   The arrangement of the electrodes E in the second region A2 and the third region A3 is the same as in the first embodiment. Therefore, the same effects as those of the first embodiment are realized in the second embodiment. In the second embodiment, the third electrode E3 is formed in the region RA2 and the region RB2 similarly to the second region A2 and the third region A3. Therefore, for example, the third electrode E3 is not formed in the region RA2 and the region RB2. Compared with the configuration, the difference in density of the electrode E between the region RA1 and the region RA2 and between the region RB1 and the region RB2 is reduced. Therefore, similarly to the first embodiment, there is an advantage that the above-described problems (insufficient adhesion strength and positional error of the wiring board 34) due to the difference in density of the electrodes E in the mounting region Q can be solved. As understood from the above description, the “third electrode” in the present invention corresponds to the region RA2 and the region corresponding to the dummy element FD, in addition to the third electrode E3 formed in the second region A2 and the third region A3. A third electrode E3 formed on RB2 is also included.

なお、第2実施形態では、領域RA2や領域RB2に形成された第3電極E3をダミー素子FDに接続した構成を例示した。すなわち、駆動素子Fとダミー素子FDとの間で配線基板34までの電気的な構成は共通する。図8では、各ダミー素子FDに対応するインクの流路を閉塞した構成(以下「構成1」という)を例示したが、各ダミー素子FDに対応するインクの流路を液体貯留室SRからノズルNまで連通させれば、各ダミー素子FDを通常の駆動素子Fとして利用してインクを噴射させる構成(以下「構成2」という)が実現される。構成1は、第1素子群G1および第2素子群G2の各々で複数色のインクを噴射する場合に好適であるが、構成2は、例えば全部のノズルNから1色(例えばブラック)のインクを噴射する場合に好適である。以上の説明から理解される通り、第2実施形態では、各駆動素子Fから配線基板34までの電気的な構造を構成1と構成2とで共用できる(ひいては製造コストを低減できる)という利点がある。ただし、領域RA2および領域RB2内の第3電極E3を各ダミー素子FDに電気的に接続しない構成(例えば領域RA2や領域RB2内で範囲αに包含されるように第3電極E3を形成した構成)も採用され得る。   In the second embodiment, the configuration in which the third electrode E3 formed in the region RA2 or the region RB2 is connected to the dummy element FD is exemplified. That is, the electrical configuration up to the wiring board 34 is common between the drive element F and the dummy element FD. FIG. 8 illustrates the configuration in which the ink flow paths corresponding to the respective dummy elements FD are closed (hereinafter referred to as “configuration 1”), but the ink flow paths corresponding to the respective dummy elements FD are arranged from the liquid storage chamber SR to the nozzles. If communication is performed up to N, a configuration (hereinafter referred to as “configuration 2”) in which ink is ejected using each dummy element FD as a normal drive element F is realized. The configuration 1 is suitable when a plurality of colors of ink are ejected from each of the first element group G1 and the second element group G2, but the configuration 2 is an ink of one color (for example, black) from all the nozzles N, for example. It is suitable when jetting. As understood from the above description, the second embodiment has an advantage that the electrical structure from each drive element F to the wiring board 34 can be shared by the configuration 1 and the configuration 2 (and thus the manufacturing cost can be reduced). is there. However, a configuration in which the third electrode E3 in the region RA2 and the region RB2 is not electrically connected to each dummy element FD (for example, a configuration in which the third electrode E3 is formed so as to be included in the range α in the region RA2 and the region RB2). ) May also be employed.

<第3実施形態>
図9は、第3実施形態の液体噴射ヘッド30をZ方向の負側からみた各要素の模式図である。図9に例示される通り、第3実施形態では、第1素子群G1の各駆動素子Fに対応する圧力室SCからみてW1方向の正側および負側に複数の圧力室SDが形成される。同様に、第2素子群G2の各駆動素子Fに対応する圧力室SCからみてW1方向の正側および負側に複数の圧力室SDが形成される。各圧力室SDは、第2実施形態と同様に、圧力室SCと同様の構造に形成されるが実際にはインクの噴射に利用されない疑似的な空間である。
<Third Embodiment>
FIG. 9 is a schematic diagram of each element when the liquid jet head 30 of the third embodiment is viewed from the negative side in the Z direction. As illustrated in FIG. 9, in the third embodiment, a plurality of pressure chambers SD are formed on the positive side and the negative side in the W1 direction when viewed from the pressure chambers SC corresponding to the drive elements F of the first element group G1. . Similarly, a plurality of pressure chambers SD are formed on the positive side and the negative side in the W1 direction when viewed from the pressure chambers SC corresponding to the drive elements F of the second element group G2. Each pressure chamber SD is a pseudo space that is formed in the same structure as the pressure chamber SC as in the second embodiment, but is not actually used for ink ejection.

複数の圧力室SCの配列の両側に圧力室SDを形成しない構成(例えば第1実施形態)では、複数の圧力室SCのうち配列の両端部に位置する圧力室SCと配列の中央寄に位置する圧力室SCとで圧力変動の条件(W1方向の片側のみに他の圧力室SCが存在するかW1方向の両側に他の圧力室SCが存在するか)が相違し得る。したがって、第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の各々において各ノズルNからのインクの噴射特性(噴射量や噴射速度)がノズルNの位置に応じて相違し得る。第3実施形態では、複数の圧力室SCの配列の両側に各圧力室SCと同様の構成のダミーの圧力室SDが形成されるから、複数の圧力室SCのうち配列の両端部に位置する圧力室SCと配列の中央寄に位置する圧力室SCとの間で圧力変動の条件を近付けることが可能である。したがって、各ノズルNからのインクの噴射特性が第1ノズル列N1および第2ノズル列N2の各々における両端側と中央寄とで均一化されるという利点がある。   In the configuration in which the pressure chambers SD are not formed on both sides of the arrangement of the plurality of pressure chambers SC (for example, the first embodiment), the pressure chambers SC located at both ends of the arrangement among the plurality of pressure chambers SC are positioned at the center of the arrangement. The pressure variation conditions (whether there are other pressure chambers SC only on one side in the W1 direction or other pressure chambers SC on both sides in the W1 direction) can be different from the pressure chambers SC. Accordingly, in each of the first nozzle array N1 and the second nozzle array N2, the ejection characteristics (ejection amount and ejection speed) of the ink from each nozzle N may differ depending on the position of the nozzle N. In the third embodiment, dummy pressure chambers SD having the same configuration as the pressure chambers SC are formed on both sides of the arrangement of the plurality of pressure chambers SC, so that they are located at both ends of the arrangement of the plurality of pressure chambers SC. It is possible to bring the pressure fluctuation condition closer between the pressure chamber SC and the pressure chamber SC located near the center of the array. Therefore, there is an advantage that the ejection characteristics of the ink from each nozzle N are made uniform at both ends and the center of each of the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2.

第3実施形態における実装領域Qの第2領域A2は、領域A21と領域A22とに区分される。領域A21は、第2領域A2のうち第1領域A1側の領域であり、領域A22は、第2領域A2のうち第1領域A1とは反対側の領域である。領域A21からみてW2方向の負側には第2素子群G2の各駆動素子Fが存在する。第1実施形態の第2領域A2と同様に、領域A21には、駆動素子Fに接続される第2電極E2が形成され、相互に隣合う各第2電極E2の間に第3電極E3が位置するように第2電極E2と第3電極E3とがピッチP0でW1方向に配列する。したがって、第3実施形態においても第1実施形態と同様の効果が実現される。   The second area A2 of the mounting area Q in the third embodiment is divided into an area A21 and an area A22. The region A21 is a region on the first region A1 side in the second region A2, and the region A22 is a region on the opposite side to the first region A1 in the second region A2. Each driving element F of the second element group G2 exists on the negative side in the W2 direction when viewed from the region A21. Similar to the second region A2 of the first embodiment, a second electrode E2 connected to the drive element F is formed in the region A21, and a third electrode E3 is provided between the second electrodes E2 adjacent to each other. The second electrode E2 and the third electrode E3 are arranged in the W1 direction at a pitch P0 so as to be positioned. Therefore, the third embodiment can achieve the same effect as the first embodiment.

他方、第2領域A2のうち領域A22についてはW2方向の正側および負側の何れにも駆動素子Fは存在しないから、領域A22には第1電極E1および第2電極E2の何れも形成されない。図9に例示される通り、第3実施形態では、複数の第3電極E3が領域A22に形成される。領域A22では、第1領域A1における第1電極E1および第2電極E2の配列や第2領域A2の領域A21における第2電極E2および第3電極E3の配列と同等のピッチP0で複数の第3電極E3がW1方向に沿って配列する。   On the other hand, in the region A22 of the second region A2, since there is no drive element F on either the positive side or the negative side in the W2 direction, neither the first electrode E1 nor the second electrode E2 is formed in the region A22. . As illustrated in FIG. 9, in the third embodiment, a plurality of third electrodes E3 are formed in the region A22. In the area A22, a plurality of third electrodes are arranged at a pitch P0 equivalent to the arrangement of the first electrode E1 and the second electrode E2 in the first area A1 and the arrangement of the second electrode E2 and the third electrode E3 in the area A21 of the second area A2. The electrode E3 is arranged along the W1 direction.

以上の説明では第2領域A2に着目したが、第3領域A3にも同様の構成が採用される。すなわち、第3領域A3のうち第1領域A1側の領域A31では複数の第1電極E1と複数の第3電極E3とがW1方向に沿ってピッチP0で配列し、第3領域A3のうち第1領域A1とは反対側の領域A32では複数の第3電極E3がW1方向に沿ってピッチP0で配列する。   In the above description, the second area A2 is focused on, but the same configuration is also adopted for the third area A3. That is, in the region A31 on the first region A1 side in the third region A3, the plurality of first electrodes E1 and the plurality of third electrodes E3 are arranged at the pitch P0 along the W1 direction, and the third region A3 includes the first region A3. In the area A32 opposite to the one area A1, a plurality of third electrodes E3 are arranged at a pitch P0 along the W1 direction.

以上に説明した通り、第3実施形態では、第2領域A2のうち第1領域A1とは反対側の領域A22において複数の第3電極E3がピッチP0でW1方向に沿って配列する。したがって、第2領域A2のうち第2電極E2が存在する領域A21に加えて第2電極E2が存在しない領域A22を含む広範囲にわたり電極Eの疎密が均一化されるという利点がある。第3領域A3についても同様に、第1電極E1が存在する領域A31に加えて第1電極E1が存在しない領域A32を含む広範囲にわたり電極Eの密度を均一化することが可能である。なお、第2実施形態の構成を第3実施形態に適用することも可能である。   As described above, in the third embodiment, the plurality of third electrodes E3 are arranged at the pitch P0 along the W1 direction in the region A22 of the second region A2 opposite to the first region A1. Therefore, there is an advantage that the density of the electrodes E is uniform over a wide range including the region A21 where the second electrode E2 is not present in addition to the region A21 where the second electrode E2 is present in the second region A2. Similarly, in the third region A3, it is possible to make the density of the electrode E uniform over a wide range including the region A32 where the first electrode E1 does not exist in addition to the region A31 where the first electrode E1 exists. Note that the configuration of the second embodiment can also be applied to the third embodiment.

<第4実施形態>
図10は、第4実施形態の液体噴射ヘッド30をZ方向の負側からみた各要素の模式図である。第3実施形態では、複数の圧力室SCの配列の両側にダミーの圧力室SDを形成した。第4実施形態では、第3実施形態の構成に加えて、各圧力室SDに対応するダミー素子FDが形成される。各ダミー素子FDは、駆動素子Fと同様の構造に形成されるが実際にはインクの噴射に利用されない疑似的な要素であり、第2実施形態において前述した通り、各駆動素子Fと同様に、第1駆動電極72と圧電体74と第2駆動電極76との積層で構成される。以上の説明から理解される通り、第4実施形態では、第1素子群G1および第2素子群G2の各々におけるW1方向の両側(複数の駆動素子Fの配列における一方の端部を挟んで他方の端部とは反対側)に、第1駆動電極72(第4電極)と圧電体74と第2駆動電極76とを含むダミー素子FDが形成される。
<Fourth embodiment>
FIG. 10 is a schematic diagram of each element when the liquid jet head 30 of the fourth embodiment is viewed from the negative side in the Z direction. In the third embodiment, dummy pressure chambers SD are formed on both sides of the arrangement of the plurality of pressure chambers SC. In the fourth embodiment, in addition to the configuration of the third embodiment, dummy elements FD corresponding to the respective pressure chambers SD are formed. Each dummy element FD is a pseudo element that is formed in the same structure as the drive element F but is not actually used for ink ejection. As described above in the second embodiment, each dummy element FD is the same as each drive element F. The first drive electrode 72, the piezoelectric body 74, and the second drive electrode 76 are stacked. As understood from the above description, in the fourth embodiment, both sides in the W1 direction in each of the first element group G1 and the second element group G2 (the other side across one end in the array of the plurality of drive elements F). A dummy element FD including a first drive electrode 72 (fourth electrode), a piezoelectric body 74, and a second drive electrode 76 is formed on the side opposite to the end of the first drive electrode 72 (fourth electrode).

図10から理解される通り、第1素子群G1の各駆動素子Fの第1駆動電極72と第2素子群G2の各駆動素子Fの第1駆動電極72との間隔d1は、第1素子群G1におけるW1方向の正側や第2素子群G2におけるW1方向の負側に複数のダミー素子FDの第1駆動電極72が分布する範囲d2と比較して広い(d1>d2)。   As understood from FIG. 10, the distance d1 between the first drive electrode 72 of each drive element F of the first element group G1 and the first drive electrode 72 of each drive element F of the second element group G2 is the first element. It is wider than the range d2 in which the first drive electrodes 72 of the plurality of dummy elements FD are distributed on the positive side in the W1 direction in the group G1 and on the negative side in the W1 direction in the second element group G2 (d1> d2).

第4実施形態においても第3実施形態と同様の効果が実現される。ところで、各駆動素子Fの圧電体74は、前述の通り、振動板46の表面に塗布された圧電材料を焼成炉内での加熱処理により焼成してから駆動素子F毎に分離することで形成される。振動板46の表面のうち第1駆動電極72が形成された領域と第1駆動電極72が形成されない領域とでは熱伝導の度合が相違するから、圧電体74を形成する工程のうち加熱処理の段階では、第1駆動電極72の有無に応じた温度の相違(X-Y平面内における熱分布の偏り)が発生し得る。第3実施形態では、各圧力室SCに対応する領域に駆動素子Fの第1駆動電極72が形成されるほか、各圧力室SDに対応する領域にダミー素子FDの第1駆動電極72が形成されるから、各圧力室SCの領域と各圧力室SDの領域とで熱分布が均一化される。したがって、熱分布の偏りに起因した圧電材料の成膜不良等の問題を防止できるという利点がある。なお、第2実施形態の構成を第4実施形態に適用することも可能である。   In the fourth embodiment, the same effect as in the third embodiment is realized. By the way, as described above, the piezoelectric body 74 of each driving element F is formed by firing the piezoelectric material applied to the surface of the diaphragm 46 by heat treatment in a firing furnace and then separating the piezoelectric material for each driving element F. Is done. Since the degree of thermal conduction is different between the region where the first drive electrode 72 is formed and the region where the first drive electrode 72 is not formed on the surface of the diaphragm 46, the heat treatment is performed in the step of forming the piezoelectric body 74. In the stage, a temperature difference (bias of heat distribution in the XY plane) according to the presence or absence of the first drive electrode 72 may occur. In the third embodiment, the first drive electrode 72 of the drive element F is formed in the region corresponding to each pressure chamber SC, and the first drive electrode 72 of the dummy element FD is formed in the region corresponding to each pressure chamber SD. Therefore, the heat distribution is made uniform between the area of each pressure chamber SC and the area of each pressure chamber SD. Therefore, there is an advantage that problems such as poor film formation of the piezoelectric material due to uneven heat distribution can be prevented. Note that the configuration of the second embodiment can also be applied to the fourth embodiment.

<変形例>
以上に例示した形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
<Modification>
The form illustrated above can be variously modified. Specific modifications are exemplified below. Two or more aspects arbitrarily selected from the following examples can be appropriately combined as long as they do not contradict each other.

(1)前述の各形態では、駆動素子F(ダミー素子FD)のうち振動板46側に位置する第1駆動電極72に駆動信号を供給するとともに振動板46とは反対側の第2駆動電極76を共通の定電位に設定する構成を例示したが、各第1駆動電極72を共通の定電位に設定するとともに各第2駆動電極76に駆動素子F毎の駆動信号を供給する構成も採用され得る。また、前述の各形態では、駆動素子Fと同様の構造のダミー素子FDを例示したが、ダミー素子FDの構造は以上の例示に限定されない。例えば、第1駆動電極72と圧電体74と第2駆動電極76との一部を省略した構造のダミー素子FDを形成することも可能である。 (1) In each of the embodiments described above, a drive signal is supplied to the first drive electrode 72 located on the diaphragm 46 side of the drive element F (dummy element FD) and the second drive electrode on the opposite side of the diaphragm 46 is provided. Although the configuration in which 76 is set to a common constant potential is illustrated, a configuration in which each first drive electrode 72 is set to a common constant potential and a drive signal for each drive element F is supplied to each second drive electrode 76 is also employed. Can be done. Further, in each of the above-described embodiments, the dummy element FD having the same structure as that of the driving element F is illustrated, but the structure of the dummy element FD is not limited to the above examples. For example, it is also possible to form a dummy element FD having a structure in which some of the first drive electrode 72, the piezoelectric body 74, and the second drive electrode 76 are omitted.

(2)前述の各形態では、1個の液体噴射ヘッド30に第1ノズル列N1および第2ノズル列N2が形成された構成を例示したが、1個の液体噴射ヘッド30に形成されるノズルの列数は適宜に変更される。例えば、1個の液体噴射ヘッド30の複数のノズルNを3列以上に配列した構成も採用され得る。 (2) In each of the above-described embodiments, the configuration in which the first nozzle row N1 and the second nozzle row N2 are formed in one liquid ejecting head 30 is exemplified. However, the nozzles formed in one liquid ejecting head 30 The number of columns is appropriately changed. For example, a configuration in which a plurality of nozzles N of one liquid ejecting head 30 are arranged in three or more rows may be employed.

(3)前述の各形態では、第1ノズル列N1の各ノズルNと第2ノズル列N2の各ノズルNとでX方向の位置が共通する構成を例示したが、各ノズルNの配置は以上の例示に限定されない。例えば、図11に例示される通り、第1ノズル列N1の各ノズルNと第2ノズル列N2の各ノズルNとでX方向の位置を相違させることも可能である。図11では、第1ノズル列N1の各ノズルNと第2ノズル列N2の各ノズルNとのX方向の位置を、第1ノズル列N1(または第2ノズル列N2)のX方向における各ノズルNのピッチPXの半分(PX/2)だけ相違させた構成が例示されている。図11の構成によれば、図4の例示のように複数のノズルNを配置した構成と比較して、媒体12のX方向における実質的なドット密度を高める(倍増させる)ことが可能である。 (3) In each of the above-described embodiments, the configuration in which the positions in the X direction are common to the nozzles N of the first nozzle array N1 and the nozzles N of the second nozzle array N2 is illustrated. However, the arrangement of the nozzles N is as described above. It is not limited to the illustration. For example, as illustrated in FIG. 11, the positions in the X direction may be different between the nozzles N of the first nozzle array N1 and the nozzles N of the second nozzle array N2. In FIG. 11, the positions in the X direction of the nozzles N of the first nozzle row N1 and the nozzles N of the second nozzle row N2 are indicated by the nozzles in the X direction of the first nozzle row N1 (or the second nozzle row N2). A configuration in which the pitch is different by half (PX / 2) of the pitch PX of N is illustrated. According to the configuration in FIG. 11, it is possible to increase (double) the substantial dot density in the X direction of the medium 12 as compared to the configuration in which a plurality of nozzles N are arranged as illustrated in FIG. 4. .

(4)複数の電極Eの配列のピッチPは、相互に隣合う各電極Eの中心間の距離として定義される。例えば、図12に例示される通り、相互に隣合う電極EAと電極EBとに着目した場合、電極EAの中心(重心)eAと電極EBの中心eBとの距離がピッチPに相当する。各電極Eの中心e(eA,eB)は、例えば、電極Eが延在する方向(長手方向)に沿う中心線と電極Eの幅方向の中心線との交点として定義され、各電極Eの形状や方向は不問である。 (4) The pitch P of the arrangement of the plurality of electrodes E is defined as the distance between the centers of the electrodes E adjacent to each other. For example, as illustrated in FIG. 12, when focusing on the electrodes EA and EB adjacent to each other, the distance between the center (center of gravity) eA of the electrode EA and the center eB of the electrode EB corresponds to the pitch P. The center e (eA, eB) of each electrode E is defined as, for example, the intersection of the center line along the direction (longitudinal direction) in which the electrode E extends and the center line in the width direction of the electrode E. The shape and direction are not questioned.

(5)圧力室SC内の圧力を変化させる要素(駆動素子F)は、前述の各形態で例示した圧電素子に限定されない。例えば、静電アクチュエータ等の振動体を駆動素子Fとして利用することも可能である。また、駆動素子Fは、圧力室SCに機械的な振動を付与する要素に限定されない。例えば、加熱により圧力室SCの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子(ヒーター)を駆動素子Fとして利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子Fは、圧力室SCの内部に圧力を付与する要素(圧力発生素子)として包括され、圧力を付与する方式(ピエゾ方式/サーマル方式)や具体的な構成の如何は不問である。 (5) The element (driving element F) that changes the pressure in the pressure chamber SC is not limited to the piezoelectric element exemplified in the above-described embodiments. For example, a vibrating body such as an electrostatic actuator can be used as the drive element F. Further, the drive element F is not limited to an element that imparts mechanical vibration to the pressure chamber SC. For example, a heating element (heater) that changes the pressure by generating bubbles in the pressure chamber SC by heating can be used as the driving element F. As understood from the above examples, the drive element F is included as an element (pressure generating element) for applying pressure to the inside of the pressure chamber SC, and a method for applying pressure (piezo method / thermal method) or a specific method. The configuration is not questioned.

(6)以上の各形態で例示した印刷装置10は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。 (6) The printing apparatus 10 exemplified in each of the above embodiments can be employed in various apparatuses such as a facsimile apparatus and a copying machine in addition to apparatuses dedicated to printing. However, the use of the liquid ejecting apparatus of the present invention is not limited to printing. For example, a liquid ejecting apparatus that ejects a solution of a coloring material is used as a manufacturing apparatus that forms a color filter of a liquid crystal display device. Further, a liquid ejecting apparatus that ejects a solution of a conductive material is used as a manufacturing apparatus that forms wiring and electrodes of a wiring board.

10……印刷装置(液体噴射装置)、12……媒体、14……液体容器、22……制御装置、24……搬送機構、26……液体噴射モジュール、U……液体噴射ユニット、30……液体噴射ヘッド、32……固定板、34……配線基板、42……流路基板、44……圧力室基板、46……振動板、52……封止体、54……支持体、62……ノズル板、64……コンプライアンス部、72……第1駆動電極、74……圧電体、76……第2駆動電極。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Printing apparatus (liquid ejecting apparatus), 12 ... Medium, 14 ... Liquid container, 22 ... Control apparatus, 24 ... Conveyance mechanism, 26 ... Liquid ejecting module, U ... Liquid ejecting unit, 30 ... ... Liquid jet head, 32 ... Fixed plate, 34 ... Wiring board, 42 ... Flow path board, 44 ... Pressure chamber board, 46 ... Vibrating plate, 52 ... Sealing body, 54 ... Supporting body, 62 ... Nozzle plate, 64 ... Compliance section, 72 ... First drive electrode, 74 ... Piezoelectric body, 76 ... Second drive electrode.

Claims (10)

液体が充填される圧力室に圧力を付与して当該液体をノズルから噴射させる複数の駆動素子であって、第1方向に沿って配列された複数の第1駆動素子と、実装部品が設置される実装領域を挟んで前記複数の第1駆動素子とは反対側で前記第1方向に沿って配列する複数の第2駆動素子とを含む複数の駆動素子と、
前記第1方向に交差する第2方向に沿って延在するように前記実装領域に形成された複数の電極とを具備し、
前記複数の電極は、
前記実装領域のうちの第1領域において前記第1方向に沿って配列され、前記複数の第1駆動素子に電気的に接続された複数の第1電極と、
前記実装領域のうちの前記第1領域と、前記実装領域のうちの第2領域であって前記第1領域からみて前記第1方向の一方側に位置する前記第2領域とにわたり前記第1方向に沿って配列され、前記複数の第2駆動素子に電気的に接続された複数の第2電極と、
前記第2領域において前記第1方向に沿って相互に隣合う前記各第2電極の間に形成され、前記液体の噴射に寄与しない第3電極とを含む
液体噴射ヘッド。
A plurality of driving elements for applying pressure to a pressure chamber filled with liquid and ejecting the liquid from a nozzle, the plurality of first driving elements arranged along a first direction, and a mounting component are installed A plurality of drive elements including a plurality of second drive elements arranged along the first direction on the opposite side of the plurality of first drive elements across the mounting region;
A plurality of electrodes formed in the mounting region so as to extend along a second direction intersecting the first direction;
The plurality of electrodes are:
A plurality of first electrodes arranged along the first direction in the first region of the mounting region and electrically connected to the plurality of first drive elements;
The first direction across the first region of the mounting region and the second region of the mounting region that is located on one side of the first direction as viewed from the first region. A plurality of second electrodes arranged along and electrically connected to the plurality of second drive elements;
A liquid ejecting head including: a third electrode which is formed between the second electrodes adjacent to each other along the first direction in the second region and does not contribute to the ejection of the liquid.
前記実装部品は、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とに電気的に接続される複数の接続端子が形成された可撓性の配線基板であり、前記実装領域に接着剤で固定される
請求項1の液体噴射ヘッド。
The mounting component is a flexible wiring board on which a plurality of connection terminals that are electrically connected to the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed. The liquid jet head according to claim 1, which is fixed.
平面視で前記実装領域と前記複数の第1駆動素子との間に位置する第1壁面と、平面視で前記実装領域と前記複数の第2駆動素子との間に位置する第2壁面とを含む構造体
を具備する請求項1または請求項2の液体噴射ヘッド。
A first wall surface positioned between the mounting region and the plurality of first drive elements in plan view; and a second wall surface positioned between the mounting region and the plurality of second drive elements in plan view. The liquid jet head according to claim 1, further comprising: a structure including:
前記第1領域内で前記第1電極と前記第2電極とが配列するピッチと、前記第2領域内で前記第2電極と前記第3電極とが配列するピッチとは、相等しいピッチである
請求項1から請求項3の何れかの液体噴射ヘッド。
The pitch at which the first electrode and the second electrode are arranged in the first region and the pitch at which the second electrode and the third electrode are arranged in the second region are equal to each other. The liquid jet head according to claim 1.
前記第2領域のうち前記第1領域とは反対側には、前記第1方向に沿って前記ピッチで複数の前記第3電極が配列する
請求項4の液体噴射ヘッド。
The liquid ejecting head according to claim 4, wherein a plurality of the third electrodes are arranged at the pitch along the first direction on the opposite side of the second region to the first region.
前記複数の駆動素子の各々は、第1駆動電極と、加熱処理を含む工程で前記第1駆動電極の面上に形成された圧電体と、前記圧電体の面上に形成された第2駆動電極とを含み、
前記第1電極は、前記第1駆動素子の前記第1駆動電極に電気的に接続され、
前記第2電極は、前記第2駆動素子の前記第1駆動電極に電気的に接続され、
前記複数の第1駆動素子の配列における一方の端部を挟んで他方の端部とは反対側に前記第1駆動電極と同層で形成された第4電極
を具備する請求項1から請求項5の何れかの液体噴射ヘッド。
Each of the plurality of drive elements includes a first drive electrode, a piezoelectric body formed on the surface of the first drive electrode in a process including heat treatment, and a second drive formed on the surface of the piezoelectric body. An electrode,
The first electrode is electrically connected to the first drive electrode of the first drive element;
The second electrode is electrically connected to the first drive electrode of the second drive element;
The fourth electrode formed in the same layer as the first drive electrode on the opposite side to the other end with respect to one end in the arrangement of the plurality of first drive elements. The liquid jet head according to any one of 5.
前記第1駆動素子の前記第1駆動電極と前記第2駆動素子の前記第1駆動電極との間隔は、前記第1方向に沿って前記第4電極が分布する範囲と比較して広い   A distance between the first drive electrode of the first drive element and the first drive electrode of the second drive element is wider than a range in which the fourth electrode is distributed along the first direction. 前記第2方向に沿って前記第1電極が存在する範囲と、前記第2方向に沿って前記第2電極が存在する範囲とは、前記第2方向において相互に重複する
請求項1から請求項7の何れかの液体噴射ヘッド。
The range in which the first electrode exists along the second direction and the range in which the second electrode exists along the second direction overlap with each other in the second direction. The liquid jet head according to any one of 7.
前記複数の第1駆動素子のうち前記第1方向の一方側の端部に位置する第1駆動素子に対応するノズルと、前記複数の第2駆動素子のうち前記第1方向の一方側の端部に位置する第2駆動素子に対応するノズルとを連結する仮想線は、前記第1方向に対して30°以上かつ60°以下の範囲内の角度だけ傾斜する
請求項1から請求項8の何れかの液体噴射ヘッド。
A nozzle corresponding to a first drive element located at one end in the first direction among the plurality of first drive elements, and an end on one side in the first direction among the plurality of second drive elements. The imaginary line connecting the nozzle corresponding to the second drive element located in the section is inclined by an angle within a range of 30 ° to 60 ° with respect to the first direction. Any liquid jet head.
請求項1から請求項9の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
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