JP2016024103A - Pressure sensor - Google Patents

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佑樹 松本
Yuki Matsumoto
佑樹 松本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure the reliability of an electrical connection portion in a high-temperature environment, a cold environment, and a vibration environment in the configuration of a pressure sensor for electrically connecting a sensing portion to a circuit portion via an electrode rod.SOLUTION: A recessed portion 27b is formed in a second electrode portion 27. A first conductive magnet 30 is disposed in this recessed portion 27b with a bottom portion 27c and a space portion 27d present between the first conductive magnet 30 and the recessed portion 27b, and the first conductive magnet 30 contacts the second electrode portion 27 by a magnetic force. One end portion 41 of an electrode rod 40 is inserted into the recessed portion 27b of the second electrode portion 27 and contacts the first conductive magnet 30 by a magnetic force. On the other hand, a hole portion 44 is formed in the other end portion 42 of the electrode rod 40. A second conductive magnet 50 is disposed in this hole portion 44 with a bottom portion 46 and a space portion 47 present between the second conductive magnet 50 and the hole portion 44, and the second conductive magnet 50 contacts the electrode rod 40 by a magnetic force. Furthermore, the second conductive magnet 50 protruding from the hole portion 44 contacts a circuit portion terminal 61 by a magnetic force.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、センシング部の圧力信号を電極ロッドを介して回路部に伝達させる構成を備えた圧力センサに関する。   The present invention relates to a pressure sensor having a configuration for transmitting a pressure signal of a sensing unit to a circuit unit via an electrode rod.

従来より、センサダイヤフラムで受けた圧力を測定するように構成された圧力センサが、例えば特許文献1で提案されている。具体的には、センサダイヤフラムには圧電抵抗式の測定エレメントが設けられており、この測定エレメントは金属薄層に接続されている。そして、この金属薄層がばねエレメントを介して伝達エレメントに電気的に接続されている。すなわち、ばねエレメントが金属薄層と伝達エレメントとによって挟まれた構造になっている。   Conventionally, a pressure sensor configured to measure a pressure received by a sensor diaphragm has been proposed in Patent Document 1, for example. Specifically, the sensor diaphragm is provided with a piezoresistive measurement element, which is connected to a thin metal layer. The thin metal layer is electrically connected to the transmission element via the spring element. That is, the spring element is sandwiched between the thin metal layer and the transmission element.

さらに、伝達エレメントは評価エレクトロニクスに電気的に接続された構成が提案されている。このような構成によると、測定エレメントで検出された圧力信号が金属薄膜、ばねエレメント、及び伝達エレメントを介して評価エレクトロニクスに入力される。   Furthermore, a configuration is proposed in which the transmission element is electrically connected to the evaluation electronics. According to such a configuration, the pressure signal detected by the measurement element is input to the evaluation electronics via the metal thin film, the spring element, and the transmission element.

特開2005−43364号公報JP 2005-43364 A

しかしながら、上記従来の技術では、金属薄層側と伝達エレメント側とがばねエレメントを介して電気的に接続されている。このため、金属薄層とばねエレメントとの電気接続部と、ばねエレメントと伝達エレメントとの電気接続部と、の電気的導通の信頼性が低下してしまうという問題がある。   However, in the above conventional technique, the metal thin layer side and the transmission element side are electrically connected via the spring element. For this reason, there exists a problem that the reliability of the electrical continuity with the electrical connection part of a thin metal layer and a spring element and the electrical connection part of a spring element and a transmission element will fall.

具体的には、圧力センサが高温環境下で使用されることにより、上記の電気接続部の変形によって歪みが発生し、ひいてはへたり(材料クリープ)による接点不良が発生してしまうという問題がある。また、圧力センサが冷熱環境下で使用されることにより、上記の電気接続部に部品クラックや熱歪が発生し、ひいては電気的な導通が図れなくなってしまうという問題がある。   Specifically, when the pressure sensor is used in a high-temperature environment, there is a problem that distortion occurs due to the deformation of the electrical connection part, and as a result, contact failure due to sag (material creep) occurs. . In addition, when the pressure sensor is used in a cold environment, there is a problem in that component cracks and thermal distortion occur in the electrical connection portion, and electrical conduction cannot be achieved.

さらに、圧力センサが振動環境下で使用されることにより、上記の電気接続部に加わる振動衝撃によってばねエレメントが金属薄層や伝達エレメントから浮き上がり、ひいては電気的な導通が図れなくなってしまうという問題がある。   Further, when the pressure sensor is used in a vibration environment, the spring element is lifted from the thin metal layer or the transmission element due to the vibration shock applied to the electrical connection portion, and thus electrical conduction cannot be achieved. is there.

本発明は上記点に鑑み、電極ロッドを介してセンシング部と回路部とを電気的に繋ぐ構成において、高温環境下、冷熱環境下、及び振動環境下における電気接続部の信頼性を確保することができる圧力センサを提供することを目的とする。   In view of the above points, the present invention secures the reliability of an electrical connection portion in a high temperature environment, a cold environment, and a vibration environment in a configuration in which a sensing unit and a circuit unit are electrically connected via an electrode rod. An object of the present invention is to provide a pressure sensor capable of

上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、圧力を検出すると共に、磁性を有する電極部(27)から圧力の大きさに応じた圧力信号を出力するセンシング部(20)を備えている。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 includes a sensing unit (20) for detecting pressure and outputting a pressure signal corresponding to the magnitude of pressure from the magnetic electrode unit (27). ing.

また、一端部(41)と他端部(42)とを有すると共に磁性を有する柱状であり、圧力信号を伝達させる電極ロッド(40)を備えている。磁性を有する回路部端子(61)を有し、圧力信号に対する信号処理を行う回路部(60)を備えている。   In addition, it has a columnar shape having one end (41) and the other end (42) and having magnetism, and includes an electrode rod (40) for transmitting a pressure signal. It has a circuit part terminal (61) having magnetism and a circuit part (60) for performing signal processing on the pressure signal.

また、導電性及び磁性を有し、電極部(27)と一端部(41)との両方に磁力で接触することにより、電極部(27)から圧力信号を一端部(41)に入力する第1導電性磁石(30)を備えている。   In addition, it has electrical conductivity and magnetism, and a pressure signal is input to the one end portion (41) from the electrode portion (27) by magnetically contacting both the electrode portion (27) and the one end portion (41). One conductive magnet (30) is provided.

さらに、導電性及び磁性を有し、他端部(42)と回路部端子(61)との両方に磁力で接触することにより、他端部(42)から圧力信号を回路部端子(61)に入力する第2導電性磁石(50)を備えている。   Furthermore, it has electroconductivity and magnetism, and a pressure signal is sent from the other end part (42) to the circuit part terminal (61) by magnetically contacting both the other end part (42) and the circuit part terminal (61). A second conductive magnet (50) is provided.

そして、第1導電性磁石(30)は、電極部(27)及び一端部(41)に対して接触状態を維持しつつ、電極部(27)及び一端部(41)のいずれか一方または両方に対して当該電極ロッド(40)の長手方向に移動可能になっている。   The first conductive magnet (30) is in contact with the electrode part (27) and the one end part (41), and one or both of the electrode part (27) and the one end part (41). In contrast, the electrode rod (40) is movable in the longitudinal direction.

また、第2導電性磁石(50)は、他端部(42)及び回路部端子(61)に対して接触状態を維持しつつ、他端部(42)及び回路部端子(61)のいずれか一方または両方に対して長手方向に移動可能になっていることを特徴とする。   In addition, the second conductive magnet (50) is in contact with the other end (42) and the circuit unit terminal (61), and either of the other end (42) and the circuit unit terminal (61). It is possible to move in the longitudinal direction with respect to one or both.

これによると、電極部(27)と電極ロッド(40)とは第1導電性磁石(30)に対して常に接触状態が維持されるので、高温環境下において材料クリープが発生したとしても電極部(27)と電極ロッド(40)との電気的導通を常に維持することができる。   According to this, since the electrode part (27) and the electrode rod (40) are always kept in contact with the first conductive magnet (30), even if material creep occurs in a high temperature environment, the electrode part The electrical continuity between (27) and the electrode rod (40) can always be maintained.

また、第1導電性磁石(30)が電極部(27)及び一端部(41)のいずれかに対して移動可能になっているので、冷熱環境下において電極部(27)や電極ロッド(40)に熱歪が発生したとしても電極部(27)と電極ロッド(40)との電気的導通を常に維持することができる。   In addition, since the first conductive magnet (30) is movable with respect to either the electrode part (27) or the one end part (41), the electrode part (27) or the electrode rod (40) in a cold environment. ), The electrical conduction between the electrode part (27) and the electrode rod (40) can always be maintained.

さらに、第1導電性磁石(30)に対する浮き上がりが発生しないので、振動環境下においても電極部(27)と電極ロッド(40)との電気的導通を常に維持することができる。   Furthermore, since the lift with respect to the first conductive magnet (30) does not occur, the electrical continuity between the electrode portion (27) and the electrode rod (40) can always be maintained even under a vibration environment.

同様に、電極ロッド(40)と回路部端子(61)とは第2導電性磁石(50)によって常に接触状態が維持されるので、高温環境下、冷熱環境下、及び振動環境下において電極ロッド(40)と回路部端子(61)との電気的導通を常に維持することができる。   Similarly, since the electrode rod (40) and the circuit portion terminal (61) are always kept in contact with each other by the second conductive magnet (50), the electrode rod is used in a high temperature environment, a cold environment, and a vibration environment. The electrical continuity between (40) and the circuit portion terminal (61) can always be maintained.

以上のように、高温環境下における耐高熱性、冷熱環境下における耐冷熱性、そして振動環境下における耐振動性を確保することができ、電極ロッド(40)とセンシング部(20)及び回路部(60)との電気接続部の信頼性を確保することができる。   As described above, high heat resistance under a high temperature environment, cold heat resistance under a cold environment, and vibration resistance under a vibration environment can be ensured. The electrode rod (40), the sensing unit (20), and the circuit unit ( 60) and the reliability of the electrical connection part can be ensured.

なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第1実施形態に係る圧力センサの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a pressure sensor according to a first embodiment of the present invention. センシング部の断面図である。It is sectional drawing of a sensing part. 電極ロッドの他端部、第2導電性磁石、及び回路部端子の断面図である。It is sectional drawing of the other end part of an electrode rod, a 2nd conductive magnet, and a circuit part terminal. 本発明の第2実施形態に係る回路部の断面図である。It is sectional drawing of the circuit part which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or equivalent parts are denoted by the same reference numerals in the drawings.

(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力センサは、燃焼室を構成する燃焼機構に取り付けられると共に、燃焼室の燃焼圧を検出する装置である。燃焼機構は、例えば車両に搭載されたエンジンである。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The pressure sensor according to the present embodiment is a device that detects the combustion pressure in the combustion chamber while being attached to the combustion mechanism that constitutes the combustion chamber. The combustion mechanism is an engine mounted on a vehicle, for example.

図1及び図2に示されるように、圧力センサ1は、ハウジング部10、センシング部20、第1導電性磁石30、電極ロッド40、第2導電性磁石50、回路部60、及びコネクタ部70を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the pressure sensor 1 includes a housing part 10, a sensing part 20, a first conductive magnet 30, an electrode rod 40, a second conductive magnet 50, a circuit part 60, and a connector part 70. It is configured with.

ハウジング部10は、圧力センサ1の外観をなす筒状の部品である。ハウジング部10は例えば金属材料で形成されている。ハウジング部10は、一端側にセンシング部20が固定されている。   The housing part 10 is a cylindrical part that forms the appearance of the pressure sensor 1. The housing part 10 is made of, for example, a metal material. As for the housing part 10, the sensing part 20 is being fixed to the one end side.

また、ハウジング部10は、当該ハウジング部10の長手方向に貫通した貫通孔11を有している。そして、貫通孔11のうちハウジング部10の他端側に当該貫通孔11の径が大きくされた収容部12が設けられている。収容部12は、回路部60が収容された部分である。   In addition, the housing part 10 has a through hole 11 that penetrates in the longitudinal direction of the housing part 10. And the accommodating part 12 in which the diameter of the said through-hole 11 was enlarged is provided in the other end side of the housing part 10 among the through-holes 11. FIG. The accommodating part 12 is a part in which the circuit part 60 is accommodated.

なお、ハウジング部10は側壁に形成された図示しないネジ部を有しており、このネジ部を介してエンジンブロックにネジ止めされる。   The housing portion 10 has a screw portion (not shown) formed on the side wall, and is screwed to the engine block via the screw portion.

センシング部20は、圧力を検出し、圧力の大きさに応じた圧力信号を出力するように構成された圧力検出部である。具体的には、図2に示されるように、ダイヤフラム21及び予荷重保持部22を備えて構成されている。   The sensing unit 20 is a pressure detection unit configured to detect a pressure and output a pressure signal corresponding to the magnitude of the pressure. Specifically, as shown in FIG. 2, the diaphragm 21 and the preload holding unit 22 are provided.

ダイヤフラム21は、燃焼室の燃焼圧に基づく荷重を予荷重保持部22に伝達する有底筒状の部品である。具体的には、ダイヤフラム21は、中空筒状の支持部21aと、支持部21aのうちの一方の開口部を塞ぐ受圧部21bと、を有して構成されている。支持部21aは中空部21cを有し、この中空部21cに予荷重保持部22を収容している。受圧部21bは、燃焼圧が印加される部分である。   The diaphragm 21 is a bottomed cylindrical part that transmits a load based on the combustion pressure in the combustion chamber to the preload holding unit 22. Specifically, the diaphragm 21 includes a hollow cylindrical support portion 21a and a pressure receiving portion 21b that closes one opening of the support portion 21a. The support portion 21a has a hollow portion 21c, and the preload holding portion 22 is accommodated in the hollow portion 21c. The pressure receiving part 21b is a part to which combustion pressure is applied.

また、支持部21aは、外壁面21dに当該外壁面21dの一部が突出した突出部21eを有している。突出部21eは、ハウジング部10の一端側の開口端に溶接された部分である。これにより、ダイヤフラム21は第1溶接部20aによってハウジング部10に固定されている。   Moreover, the support part 21a has the protrusion part 21e which a part of said outer wall surface 21d protruded in the outer wall surface 21d. The protruding portion 21 e is a portion welded to the opening end on one end side of the housing portion 10. Thereby, the diaphragm 21 is being fixed to the housing part 10 by the 1st welding part 20a.

予荷重保持部22は、ダイヤフラム21から分離された部品であると共に、ダイヤフラム21から伝わる荷重の大きさを検出するように構成されている。このような予荷重保持部22は、圧電素子23及び予荷重印加部24を有している。   The preload holding unit 22 is a component separated from the diaphragm 21 and is configured to detect the magnitude of the load transmitted from the diaphragm 21. Such a preload holding unit 22 includes a piezoelectric element 23 and a preload application unit 24.

圧電素子23は、印加される荷重を検出するための板状の荷重検出素子である。具体的に、圧電素子23は、荷重が印加されることで荷重の大きさに応じた電荷を発生させるものであり、例えば圧電体で構成されている。したがって、圧電素子23は、印加された荷重の大きさを例えば電圧に変換して出力する。   The piezoelectric element 23 is a plate-like load detection element for detecting an applied load. Specifically, the piezoelectric element 23 generates a charge corresponding to the magnitude of the load when a load is applied, and is constituted by, for example, a piezoelectric body. Therefore, the piezoelectric element 23 converts the magnitude of the applied load into, for example, a voltage and outputs the voltage.

予荷重印加部24は、圧電素子23を挟み込むと共に圧電素子23に所定の予荷重を印加することで圧電素子23に圧接された構造を有する。具体的に、予荷重印加部24は、ケース25、第1電極部26、第2電極部27、絶縁リング28、及び予荷重印加材29を有している。   The preload application unit 24 has a structure in which the piezoelectric element 23 is sandwiched and pressed against the piezoelectric element 23 by applying a predetermined preload to the piezoelectric element 23. Specifically, the preload application unit 24 includes a case 25, a first electrode unit 26, a second electrode unit 27, an insulating ring 28, and a preload application material 29.

ケース25は、中空部25aを有する有底筒状の部品である。ケース25は中空筒状の筒部25bと、筒部25bの一方の開口部を塞ぐ蓋部25cと、によって構成されている。したがって、ケース25は、筒部25bの他方の開口部25dが開口した構造になっている。   The case 25 is a bottomed cylindrical part having a hollow portion 25a. The case 25 is configured by a hollow cylindrical cylindrical portion 25b and a lid portion 25c that closes one opening of the cylindrical portion 25b. Therefore, the case 25 has a structure in which the other opening 25d of the cylindrical portion 25b is opened.

また、ケース25は 筒部25bの外壁面25eに設けられた予荷重受け部25fを備えている。予荷重受け部25fは、筒部25bの外壁面25eの一部が突出した部分である。予荷重受け部25fは、予荷重印加材29を介して圧電素子23、各電極部26、27、及び絶縁リング28が蓋部25c側に押し込まれる際に予荷重印加材29に印加される荷重を受け止める役割を果たすものである。   The case 25 includes a preload receiving portion 25f provided on the outer wall surface 25e of the cylindrical portion 25b. The preload receiving portion 25f is a portion from which a part of the outer wall surface 25e of the cylindrical portion 25b protrudes. The preload receiving portion 25f is a load applied to the preload applying material 29 when the piezoelectric element 23, the electrode portions 26 and 27, and the insulating ring 28 are pushed into the lid portion 25c via the preload applying material 29. It plays the role of catching up.

第1電極部26は、ケース25の中空部25aの底面25gに接するように中空部25aに収容された板状の部品である。第1電極部26は、圧電素子23に当接すると共に圧電素子23の一方の電極として機能する。   The first electrode part 26 is a plate-like component accommodated in the hollow part 25 a so as to contact the bottom surface 25 g of the hollow part 25 a of the case 25. The first electrode portion 26 abuts on the piezoelectric element 23 and functions as one electrode of the piezoelectric element 23.

第2電極部27は、ケース25の内壁面25hから離間するようにケース25の中空部25aに収容された部品である。第2電極部27は、圧電素子23の他方の電極として機能する。第2電極部27は、ケース25の中空部25aにおいて圧電素子23のうち第2電極部27とは反対側に当接している。これにより、第2電極部27は第1電極部26と共に圧電素子23を挟んでいる。   The second electrode portion 27 is a component housed in the hollow portion 25 a of the case 25 so as to be separated from the inner wall surface 25 h of the case 25. The second electrode portion 27 functions as the other electrode of the piezoelectric element 23. The second electrode portion 27 is in contact with the opposite side of the piezoelectric element 23 to the second electrode portion 27 in the hollow portion 25 a of the case 25. Thereby, the second electrode part 27 sandwiches the piezoelectric element 23 together with the first electrode part 26.

また、第2電極部27は、圧電素子23側とは反対側に一面27aを有する板状をなしている。さらに、第2電極部は、磁性を有している。そして、第2電極部27は、当該一面27aの一部が凹んだ凹部27bを有している。   Further, the second electrode portion 27 has a plate shape having a surface 27a on the side opposite to the piezoelectric element 23 side. Furthermore, the second electrode part has magnetism. And the 2nd electrode part 27 has the recessed part 27b where a part of the said one surface 27a was dented.

絶縁リング28は、ケース25の中空部25aに配置されていると共に、第2電極部27と予荷重印加材29とを絶縁するためのリング状の部品である。絶縁リング28は、第2電極部27の一面27aに当接している。絶縁リング28は、例えばアルミナ等のセラミックスで形成されている。絶縁リング28の中空部分には電極ロッド40が通される。   The insulating ring 28 is a ring-shaped component that is disposed in the hollow portion 25 a of the case 25 and insulates the second electrode portion 27 and the preload application material 29. The insulating ring 28 is in contact with one surface 27 a of the second electrode portion 27. The insulating ring 28 is made of ceramics such as alumina. An electrode rod 40 is passed through the hollow portion of the insulating ring 28.

予荷重印加材29は、絶縁リング28のうち第2電極部27とは反対側に当接した部品である。予荷重印加材29はケース25の中心軸に平行な方向の断面が凸形状をなしている。そして、予荷重印加材29は、ケース25の中心軸に垂直な方向において幅が狭い凸部分がケース25のうち他方の開口部25dに差し込まれている。   The preload application material 29 is a component that contacts the opposite side of the insulating ring 28 from the second electrode portion 27. The preload application material 29 has a convex cross section in a direction parallel to the central axis of the case 25. In the preload application material 29, a convex portion having a narrow width in the direction perpendicular to the central axis of the case 25 is inserted into the other opening 25 d of the case 25.

また、予荷重印加材29はケース25の中心軸に沿って設けられた貫通孔29aを有している。この貫通孔29aには電極ロッド40が通される。貫通孔29aには予荷重印加材29と電極ロッド40とを絶縁するための絶縁材29bが設けられている。   The preload application material 29 has a through hole 29 a provided along the central axis of the case 25. The electrode rod 40 is passed through the through hole 29a. In the through hole 29a, an insulating material 29b for insulating the preload applying material 29 and the electrode rod 40 is provided.

さらに、予荷重印加材29は、圧電素子23、各電極部26、27、及び絶縁リング28をケース25の蓋部25c側に押し込んだ状態でケース25のうち他方の開口部25dに溶接によって固定されている。これにより、予荷重印加材29は第2溶接部20bによってケース25に固定されている。また、予荷重印加材29は、圧電素子23、各電極部26、27、及び絶縁リング28に予荷重を印加すると共に各電極部26、27と圧電素子23とを圧接している。   Further, the preload application material 29 is fixed to the other opening 25d of the case 25 by welding in a state where the piezoelectric element 23, the electrode portions 26 and 27, and the insulating ring 28 are pushed into the lid portion 25c side of the case 25. Has been. Thereby, the preload application material 29 is fixed to the case 25 by the second welding portion 20b. The preload application material 29 applies a preload to the piezoelectric element 23, the electrode portions 26 and 27, and the insulating ring 28, and press-contacts the electrode portions 26 and 27 and the piezoelectric element 23.

このように圧電素子23に所定の予荷重を印加する目的の1つは、燃焼室は正圧だけでなく負圧も発生するため、予荷重印加部24に負圧が作用しても圧電素子23が各電極部26、27から浮き上がって計測不能になることを避けるためである。もう1つの目的は、エンジンで異常燃焼が生じると衝撃波が発生するので、この衝撃波によって圧電素子23が浮き上がってケース25の内壁面25hや各電極部26、27に衝突することにより破損してしまうことを防止するためである。   Thus, one of the purposes of applying a predetermined preload to the piezoelectric element 23 is that not only positive pressure but also negative pressure is generated in the combustion chamber, so even if negative pressure acts on the preload application section 24, the piezoelectric element This is to prevent 23 from being lifted from the electrode portions 26 and 27 and becoming impossible to measure. Another object is that a shock wave is generated when abnormal combustion occurs in the engine, and the piezoelectric element 23 is lifted by the shock wave and is damaged by colliding with the inner wall surface 25h of the case 25 and the electrode portions 26 and 27. This is to prevent this.

なお、予荷重印加部24のうち、ケース25、各電極部26、27、及び予荷重印加材29は、例えば同じ金属材料で形成されている。圧力センサ1は高温に晒されることになるため、各部品の熱膨張率に差を生じさせないようにするべく、各部品が同じ金属材料で形成されていることが好ましい。また、予荷重印加部24は高耐圧性や高ヤング率(硬い)であることも要求される。このようなことから、ケース25、各電極部26、27、及び予荷重印加材29は、例えばSUS630で形成されている。   In the preload application unit 24, the case 25, the electrode units 26 and 27, and the preload application material 29 are made of, for example, the same metal material. Since the pressure sensor 1 is exposed to a high temperature, it is preferable that each component is formed of the same metal material so as not to cause a difference in the coefficient of thermal expansion of each component. The preload application unit 24 is also required to have high pressure resistance and high Young's modulus (hard). For this reason, the case 25, the electrode portions 26 and 27, and the preload application material 29 are made of, for example, SUS630.

また、予荷重印加部24は、ダイヤフラム21の中空部21cに収容されていると共にダイヤフラム21に固定されている。具体的には、予荷重印加部24はダイヤフラム21の支持部21aの内壁面21fに対してクリアランスを持ってダイヤフラム21の中空部21cに配置されている。また、ケース25の蓋部25cがダイヤフラム21の受圧部21bに接触している。   Further, the preload application unit 24 is housed in the hollow portion 21 c of the diaphragm 21 and is fixed to the diaphragm 21. Specifically, the preload application unit 24 is disposed in the hollow portion 21 c of the diaphragm 21 with a clearance from the inner wall surface 21 f of the support portion 21 a of the diaphragm 21. Further, the lid portion 25 c of the case 25 is in contact with the pressure receiving portion 21 b of the diaphragm 21.

そして、予荷重印加部24の予荷重印加材29がダイヤフラム21の開口部21gに溶接によって固定されている。すなわち、予荷重印加材29は、第3溶接部20cによってダイヤフラム21に固定されている。したがって、予荷重印加部24のケース25はダイヤフラム21及びハウジング部10を介してエンジンブロックと同じ電位に固定される。エンジンブロックの電位は例えば接地電位である。   And the preload application material 29 of the preload application part 24 is being fixed to the opening part 21g of the diaphragm 21 by welding. That is, the preload application material 29 is fixed to the diaphragm 21 by the third welding portion 20c. Therefore, the case 25 of the preload application unit 24 is fixed to the same potential as the engine block via the diaphragm 21 and the housing unit 10. The potential of the engine block is, for example, a ground potential.

第1導電性磁石30は、導電性及び磁性を有する磁石部品である。第1導電性磁石30は、第2電極部27の凹部27bの底部27cから空間部27dを持って離間するように凹部27bに収容されている。   The first conductive magnet 30 is a magnet component having conductivity and magnetism. The first conductive magnet 30 is accommodated in the concave portion 27b so as to be separated from the bottom portion 27c of the concave portion 27b of the second electrode portion 27 with a space portion 27d.

また、第1導電性磁石30は、第2電極部27の凹部27bの側壁面27eに磁力で接触している。第1導電性磁石30の径は凹部27bの径よりも若干小さくなっている。これにより、第1導電性磁石30は、凹部27bの側壁面27eの一部に磁力で接触した状態になっている。したがって、第1導電性磁石30は、第2電極部27から圧力信号を入力する。   The first conductive magnet 30 is in contact with the side wall surface 27e of the concave portion 27b of the second electrode portion 27 by a magnetic force. The diameter of the first conductive magnet 30 is slightly smaller than the diameter of the recess 27b. Thereby, the 1st electroconductive magnet 30 is in the state which contacted a part of side wall surface 27e of the recessed part 27b by magnetic force. Therefore, the first conductive magnet 30 inputs a pressure signal from the second electrode unit 27.

第1導電性磁石30として、例えば酸化インジウムスズにマンガンを添加したものを用いることができる。酸化インジウムスズに添加するマンガンの量をコントロールすることにより第1導電性磁石30の磁力を調整することができる。   As the 1st electroconductive magnet 30, what added manganese to indium tin oxide can be used, for example. The magnetic force of the first conductive magnet 30 can be adjusted by controlling the amount of manganese added to indium tin oxide.

図1に示されるように、電極ロッド40は、一端部41と他端部42とを有すると共に磁性を有する柱状の部品である。電極ロッド40は、ハウジング部10の貫通孔11に配置されている。そして、電極ロッド40の一端部41は、第2電極部27の凹部27bに差し込まれている。   As shown in FIG. 1, the electrode rod 40 is a columnar part having a first end 41 and a second end 42 and having magnetism. The electrode rod 40 is disposed in the through hole 11 of the housing part 10. One end portion 41 of the electrode rod 40 is inserted into the recess 27 b of the second electrode portion 27.

また、図2に示されるように、電極ロッド40は、一端部41の一端面43が第1導電性磁石30に接触している。言い換えると、第1導電性磁石30は、第2電極部27と電極ロッド40の一端部41との両方に磁力で接触することにより、第2電極部27から圧力信号を一端部41に入力する。これにより、電極ロッド40は、第1導電性磁石30から入力した圧力信号を他端部42側に伝達させる。   As shown in FIG. 2, in the electrode rod 40, one end surface 43 of the one end portion 41 is in contact with the first conductive magnet 30. In other words, the first conductive magnet 30 inputs a pressure signal from the second electrode portion 27 to the one end portion 41 by magnetically contacting both the second electrode portion 27 and the one end portion 41 of the electrode rod 40. . Thereby, the electrode rod 40 transmits the pressure signal input from the first conductive magnet 30 to the other end portion 42 side.

さらに、図3に示されるように、電極ロッド40は、他端部42に設けられた穴部44を有している。穴部44は、電極ロッド40の他端部42の他端面45が一端部41側に凹んだ部分である。なお、電極ロッド40の他端部42の径は当該電極ロッド40の中間部よりも大きくなっているが、これは形状の一例である。   Furthermore, as shown in FIG. 3, the electrode rod 40 has a hole 44 provided in the other end 42. The hole portion 44 is a portion where the other end surface 45 of the other end portion 42 of the electrode rod 40 is recessed toward the one end portion 41 side. In addition, although the diameter of the other end part 42 of the electrode rod 40 is larger than the intermediate part of the said electrode rod 40, this is an example of a shape.

第2導電性磁石50は、導電性及び磁性を有する磁石部品である。第2導電性磁石50として、第1導電性磁石30と同様に、例えば酸化インジウムスズにマンガンを添加したものを用いることができる。   The second conductive magnet 50 is a magnet component having conductivity and magnetism. As the 2nd conductive magnet 50, the thing which added manganese to indium tin oxide like the 1st conductive magnet 30, for example can be used.

また、第2導電性磁石50は、第1端部51と、この第1端部51とは反対側の第2端部52と、を有する柱状をなしている。そして、第2導電性磁石50の第1端部51は、当該第1端部51の第1端面53が穴部44の底部46から空間部47を持って離間するように穴部44に差し込まれている。   The second conductive magnet 50 has a columnar shape having a first end portion 51 and a second end portion 52 opposite to the first end portion 51. The first end 51 of the second conductive magnet 50 is inserted into the hole 44 so that the first end surface 53 of the first end 51 is separated from the bottom 46 of the hole 44 with the space 47. It is.

第2導電性磁石50は、穴部44の側壁面48に磁力で接触している。第2導電性磁石50の径は穴部44の径よりも若干小さくなっている。これにより、第2導電性磁石50は、穴部44の側壁面48の一部に磁力で接触した状態になっている。したがって、第2導電性磁石50は、電極ロッド40から圧力信号を入力する。   The second conductive magnet 50 is in magnetic contact with the side wall surface 48 of the hole 44. The diameter of the second conductive magnet 50 is slightly smaller than the diameter of the hole 44. As a result, the second conductive magnet 50 is in a state of being in contact with a part of the side wall surface 48 of the hole 44 by a magnetic force. Therefore, the second conductive magnet 50 inputs a pressure signal from the electrode rod 40.

一方、第2導電性磁石50の第2端部52は、当該第2端部52の第2端面54が穴部44から突出している。   On the other hand, in the second end portion 52 of the second conductive magnet 50, the second end face 54 of the second end portion 52 projects from the hole portion 44.

回路部60は、圧力信号に対する信号処理を行うものである。このため、回路部60は、回路部端子61、ボンディングワイヤ、回路基板、及びモールド樹脂を有している。なお、本実施形態では、ボンディングワイヤ、回路基板、及びモールド樹脂を図示していない。   The circuit unit 60 performs signal processing on the pressure signal. For this reason, the circuit unit 60 includes a circuit unit terminal 61, bonding wires, a circuit board, and a mold resin. In the present embodiment, bonding wires, a circuit board, and a mold resin are not shown.

回路部端子61は、磁性を有する端子部品である。また、回路部端子61は、平坦部62を有する板状の板部63を有している。そして、板部63が第2導電性磁石50の第2端部52に磁力で接触している。言い換えると、第2導電性磁石50は、電極ロッド40の他端部42と回路部端子61の板部63(平坦部62)との両方に磁力で接触することにより、電極ロッド40から圧力信号を回路部端子61に入力する。   The circuit unit terminal 61 is a terminal component having magnetism. The circuit unit terminal 61 has a plate-like plate portion 63 having a flat portion 62. The plate portion 63 is in contact with the second end portion 52 of the second conductive magnet 50 by a magnetic force. In other words, the second conductive magnet 50 makes a pressure signal from the electrode rod 40 by making magnetic contact with both the other end portion 42 of the electrode rod 40 and the plate portion 63 (flat portion 62) of the circuit portion terminal 61. Is input to the circuit unit terminal 61.

回路基板は、信号処理を行うICチップ等が実装されたものである。ボンディングワイヤは、回路部端子61と回路基板とを繋ぐことにより回路部端子61から回路基板に圧力信号を入力する配線である。モールド樹脂は回路部端子61の一部をモールドしたものである。モールド樹脂には回路基板が固定されている。   The circuit board is mounted with an IC chip or the like that performs signal processing. The bonding wire is a wiring for inputting a pressure signal from the circuit unit terminal 61 to the circuit board by connecting the circuit unit terminal 61 and the circuit board. The mold resin is obtained by molding a part of the circuit unit terminal 61. A circuit board is fixed to the mold resin.

コネクタ部70は、回路部60で信号処理された圧力信号を外部に出力するためのコネクタをなすものである。コネクタ部70は、例えば樹脂材料で形成されており、ピン状の図示しないターミナルがインサート成形等により一体成形されている。ターミナルの両端部は樹脂材料から露出するようにインサート成形されている。そして、ターミナルの一端側は回路基板に対してボンディングワイヤで電気的に接続されており、他端側は外部コネクタに電気的に接続される。   The connector unit 70 serves as a connector for outputting the pressure signal processed by the circuit unit 60 to the outside. The connector part 70 is made of, for example, a resin material, and a pin-like terminal (not shown) is integrally formed by insert molding or the like. Both ends of the terminal are insert-molded so as to be exposed from the resin material. One end of the terminal is electrically connected to the circuit board with a bonding wire, and the other end is electrically connected to an external connector.

また、コネクタ部70は、ハウジング部10に電極ロッド40及び回路部60が収容された状態でハウジング部10にはめ込まれている。コネクタ部70は、ハウジング部10にかしめ固定されている。以上が、本実施形態に係る圧力センサ1の全体構成である。   The connector part 70 is fitted in the housing part 10 in a state where the electrode rod 40 and the circuit part 60 are accommodated in the housing part 10. The connector part 70 is fixed by caulking to the housing part 10. The above is the overall configuration of the pressure sensor 1 according to the present embodiment.

圧力センサ1は、次のように製造される。まず、ハウジング部10にセンシング部20が固定される。また、電極ロッド40、回路部60、及びコネクタ部70が一体化された構造体がハウジング部10の貫通孔11に一方向すなわち電極ロッド40の長手方向に沿って差し込まれる。そして、コネクタ部70をハウジング部10でかしめ固定する。こうして圧力センサ1が完成する。   The pressure sensor 1 is manufactured as follows. First, the sensing unit 20 is fixed to the housing unit 10. Further, a structure in which the electrode rod 40, the circuit unit 60, and the connector unit 70 are integrated is inserted into the through hole 11 of the housing unit 10 in one direction, that is, along the longitudinal direction of the electrode rod 40. Then, the connector part 70 is caulked and fixed by the housing part 10. Thus, the pressure sensor 1 is completed.

ここで、第1導電性磁石30は、予めセンシング部20の第2電極部27に接触させておいても良いし、電極ロッド40の一端部41に接触させておいても良い。   Here, the first conductive magnet 30 may be brought into contact with the second electrode part 27 of the sensing unit 20 in advance, or may be brought into contact with the one end part 41 of the electrode rod 40.

続いて、圧力検出方法について説明する。まず、燃焼室で発生した衝撃がダイヤフラム21に印加される。これにより、ダイヤフラム21の衝撃がケース25及び第1電極部26を介して圧電素子23に伝わる。圧電素子23は印加された荷重の大きさに応じて電荷を発生させる。これにより、第1電極部26と第2電極部27との間の電圧が変化する。したがって、当該電圧の変化が圧力信号として第2電極部27から第1導電性磁石30、電極ロッド40、第2導電性磁石50、回路部端子61を介して回路基板の回路に入力される。この後、回路部60にて圧力信号の信号処理が行われ、コネクタ部70を介して外部に出力される。   Subsequently, a pressure detection method will be described. First, an impact generated in the combustion chamber is applied to the diaphragm 21. Thereby, the impact of the diaphragm 21 is transmitted to the piezoelectric element 23 through the case 25 and the first electrode portion 26. The piezoelectric element 23 generates a charge according to the magnitude of the applied load. Thereby, the voltage between the 1st electrode part 26 and the 2nd electrode part 27 changes. Therefore, the voltage change is input as a pressure signal from the second electrode portion 27 to the circuit on the circuit board via the first conductive magnet 30, the electrode rod 40, the second conductive magnet 50, and the circuit portion terminal 61. Thereafter, the signal processing of the pressure signal is performed in the circuit unit 60 and is output to the outside through the connector unit 70.

次に、本実施形態に係る圧力センサ1の構成による作用効果について説明する。まず、上記の圧力センサ1の構成によると、第1導電性磁石30は、第2電極部27及び電極ロッド40の一端部41に対して接触状態を常に維持している。また、第2導電性磁石50は、電極ロッド40の他端部42及び回路部端子61に対して接触状態を常に維持している。   Next, the effect by the structure of the pressure sensor 1 which concerns on this embodiment is demonstrated. First, according to the configuration of the pressure sensor 1 described above, the first conductive magnet 30 always maintains contact with the second electrode portion 27 and the one end portion 41 of the electrode rod 40. Further, the second conductive magnet 50 always maintains contact with the other end portion 42 of the electrode rod 40 and the circuit portion terminal 61.

これにより、高温環境下において材料クリープが発生したとしても、第2電極部27と電極ロッド40との電気的導通及び電極ロッド40と回路部端子61との電気的導通を常に維持することができる。したがって、高温環境下における耐高熱性を確保することができる。   Thereby, even if material creep occurs in a high temperature environment, the electrical continuity between the second electrode portion 27 and the electrode rod 40 and the electrical continuity between the electrode rod 40 and the circuit portion terminal 61 can always be maintained. . Therefore, high heat resistance in a high temperature environment can be ensured.

また、第1導電性磁石30に対する第2電極部27及び電極ロッド40の浮き上がりが発生しない。同様に、第2導電性磁石50に対する電極ロッド40及び回路部端子61の浮き上がりが発生しない。このため、振動環境下においても第2電極部27と電極ロッド40との電気的導通及び電極ロッド40と回路部端子61との電気的導通を常に維持することができる。したがって、振動環境下における耐振動性を確保することができる。   Further, the second electrode portion 27 and the electrode rod 40 are not lifted with respect to the first conductive magnet 30. Similarly, the electrode rod 40 and the circuit unit terminal 61 are not lifted with respect to the second conductive magnet 50. For this reason, the electrical continuity between the second electrode portion 27 and the electrode rod 40 and the electrical continuity between the electrode rod 40 and the circuit portion terminal 61 can always be maintained even in a vibration environment. Therefore, the vibration resistance under the vibration environment can be ensured.

そして、第1導電性磁石30は、第2電極部27の凹部27bに空間部27dを持って配置されているので、第2電極部27に対して当該電極ロッド40の長手方向に移動可能になっている。また、第2導電性磁石50は、電極ロッド40の他端部42の穴部44に空間部47を持って配置されているので、電極ロッド40の他端部42に対して長手方向に移動可能になっている。   Since the first conductive magnet 30 is disposed with the space 27d in the recess 27b of the second electrode portion 27, the first conductive magnet 30 is movable in the longitudinal direction of the electrode rod 40 with respect to the second electrode portion 27. It has become. Further, since the second conductive magnet 50 is disposed with the space 47 in the hole 44 of the other end 42 of the electrode rod 40, it moves in the longitudinal direction with respect to the other end 42 of the electrode rod 40. It is possible.

このため、冷熱環境下において第2電極部27、電極ロッド40、回路部端子61に熱歪が発生したとしても、第2電極部27と電極ロッド40との電気的導通及び電極ロッド40と回路部端子61との電気的導通を常に維持することができる。したがって、冷熱環境下における耐冷熱性を確保することができる。   For this reason, even if thermal distortion occurs in the second electrode portion 27, the electrode rod 40, and the circuit portion terminal 61 in a cold environment, the electrical continuity between the second electrode portion 27 and the electrode rod 40 and the electrode rod 40 and the circuit. The electrical continuity with the part terminal 61 can always be maintained. Accordingly, it is possible to ensure cold resistance in a cold environment.

以上のように、高温環境下、振動環境下、冷熱環境下において、電極ロッド40とセンシング部20及び回路部60との電気接続部の信頼性を確保することができる。なお、本実施形態の記載と特許請求の範囲の記載との対応関係については、第2電極部27が特許請求の範囲の「電極部」に対応する。   As described above, the reliability of the electrical connection portion between the electrode rod 40, the sensing unit 20, and the circuit unit 60 can be ensured in a high temperature environment, a vibration environment, and a cold environment. Regarding the correspondence between the description of this embodiment and the description of the claims, the second electrode portion 27 corresponds to the “electrode portion” of the claims.

(第2実施形態)
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図4に示されるように、回路部端子61は、上述の板部63と、この板部63に接続されていると共に一部が湾曲した湾曲部64と、を有して構成されている。
(Second Embodiment)
In the present embodiment, parts different from the first embodiment will be described. As shown in FIG. 4, the circuit portion terminal 61 includes the above-described plate portion 63 and a curved portion 64 that is connected to the plate portion 63 and is partially curved.

また、回路部60は、モールド樹脂部65を有している。モールド樹脂部65は、板部63の平坦部62と湾曲部64の一部が露出するように、板部63及び湾曲部64をモールドしている。   The circuit unit 60 has a mold resin portion 65. The mold resin part 65 molds the plate part 63 and the curved part 64 so that a part of the flat part 62 and the curved part 64 of the plate part 63 is exposed.

これによると、平坦部62に電極ロッド40の他端部42や第2導電性磁石50から予期せぬ応力が加わったときに、モールド樹脂部65及び湾曲部64が変形することによって当該応力を緩和することができる。   According to this, when an unexpected stress is applied to the flat portion 62 from the other end portion 42 of the electrode rod 40 or the second conductive magnet 50, the mold resin portion 65 and the curved portion 64 are deformed to cause the stress. Can be relaxed.

(他の実施形態)
上記各実施形態で示された圧力センサ1の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、センシング部20の構成は他の構成でも構わない。
(Other embodiments)
The configuration of the pressure sensor 1 shown in each of the above embodiments is an example, and is not limited to the configuration shown above, and may be another configuration that can realize the present invention. For example, the configuration of the sensing unit 20 may be another configuration.

上記で示された第2電極部27、第1導電性磁石30、及び電極ロッド40の一端部41の電気接続部の形状や、電極ロッド40の他端部42、第2導電性磁石50、及び回路部端子61の電気接続部の形状は一例である。したがって、これらの電気接続部の形状を適宜変更しても良い。   The shape of the electrical connection part of the one end part 41 of the second electrode part 27, the first conductive magnet 30 and the electrode rod 40 shown above, the other end part 42 of the electrode rod 40, the second conductive magnet 50, And the shape of the electrical connection part of the circuit part terminal 61 is an example. Therefore, the shape of these electrical connection portions may be changed as appropriate.

例えば、第2電極部27には凹部27bが設けられていたが、凹部27bを設けなくても良い。この場合、電極ロッド40の一端部41を第1導電性磁石30の側面に接触させても良い。一方、電極ロッド40の一端部41に凹部を設ける等の形状の変更を施しても良い。   For example, although the concave portion 27b is provided in the second electrode portion 27, the concave portion 27b may not be provided. In this case, the one end portion 41 of the electrode rod 40 may be brought into contact with the side surface of the first conductive magnet 30. On the other hand, the shape of the electrode rod 40 may be changed, for example, a recess may be provided in the one end 41.

同様に、電極ロッド40の他端部42には穴部44が設けられていたが、穴部44が設けられていなくても良い。この場合、電極ロッド40の他端部42を第2導電性磁石50の側面にさせても良い。一方、回路部端子61に穴部や凸部を設ける等の形状の変形を施しても良い。   Similarly, the hole 44 is provided in the other end 42 of the electrode rod 40, but the hole 44 may not be provided. In this case, the other end 42 of the electrode rod 40 may be a side surface of the second conductive magnet 50. On the other hand, the circuit part terminal 61 may be deformed in shape such as providing a hole or a convex part.

すなわち、第1導電性磁石30は、第2電極部27及び電極ロッド40の一端部41のいずれか一方または両方に対して電極ロッド40の長手方向に移動可能になっていれば良い。同様に、第2導電性磁石50は、電極ロッド40の他端部42及び回路部端子61のいずれか一方または両方に対して電極ロッド40の長手方向に移動可能になっていれば良い。   That is, the first conductive magnet 30 only needs to be movable in the longitudinal direction of the electrode rod 40 with respect to one or both of the second electrode portion 27 and the one end portion 41 of the electrode rod 40. Similarly, the second conductive magnet 50 only needs to be movable in the longitudinal direction of the electrode rod 40 with respect to either one or both of the other end portion 42 and the circuit portion terminal 61 of the electrode rod 40.

20 センシング部
27 第2電極部(電極部)
30 第1導電性磁石
40 電極ロッド
41 一端部
42 他端部
50 第2導電性磁石
60 回路部
20 Sensing part 27 Second electrode part (electrode part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 1st electroconductive magnet 40 Electrode rod 41 One end part 42 Other end part 50 2nd electroconductive magnet 60 Circuit part

Claims (4)

圧力を検出すると共に、磁性を有する電極部(27)から圧力の大きさに応じた圧力信号を出力するセンシング部(20)と、
一端部(41)と他端部(42)とを有すると共に磁性を有する柱状であり、前記圧力信号を伝達させる電極ロッド(40)と、
磁性を有する回路部端子(61)を有し、前記圧力信号に対する信号処理を行う回路部(60)と、
導電性及び磁性を有し、前記電極部(27)と前記一端部(41)との両方に磁力で接触することにより、前記電極部(27)から前記圧力信号を前記一端部(41)に入力する第1導電性磁石(30)と、
導電性及び磁性を有し、前記他端部(42)と前記回路部端子(61)との両方に磁力で接触することにより、前記他端部(42)から前記圧力信号を前記回路部端子(61)に入力する第2導電性磁石(50)と、
を備え、
前記第1導電性磁石(30)は、前記電極部(27)及び前記一端部(41)に対して接触状態を維持しつつ、前記電極部(27)及び前記一端部(41)のいずれか一方または両方に対して当該電極ロッド(40)の長手方向に移動可能になっており、
前記第2導電性磁石(50)は、前記他端部(42)及び前記回路部端子(61)に対して接触状態を維持しつつ、前記他端部(42)及び前記回路部端子(61)のいずれか一方または両方に対して前記長手方向に移動可能になっていることを特徴とする圧力センサ。
A sensing unit (20) for detecting pressure and outputting a pressure signal corresponding to the magnitude of pressure from the magnetic electrode unit (27);
An electrode rod (40) having one end (41) and the other end (42) and having a magnetic column shape and transmitting the pressure signal;
A circuit part (60) having a magnetic circuit part terminal (61) and performing signal processing on the pressure signal;
The pressure signal is transmitted from the electrode part (27) to the one end part (41) by being magnetically contacted with both the electrode part (27) and the one end part (41). A first conductive magnet (30) for input;
The pressure signal is transmitted from the other end portion (42) to the circuit portion terminal by being magnetically contacted with both the other end portion (42) and the circuit portion terminal (61). A second conductive magnet (50) input to (61);
With
While the first conductive magnet (30) is in contact with the electrode part (27) and the one end part (41), either the electrode part (27) or the one end part (41) Is movable in the longitudinal direction of the electrode rod (40) with respect to one or both,
The second conductive magnet (50) maintains the contact state with the other end (42) and the circuit part terminal (61), while the other end (42) and the circuit part terminal (61). The pressure sensor is movable in the longitudinal direction with respect to either one or both of the above.
前記電極部(27)は、一面(27a)を有する板状であると共に、前記一面(27a)の一部が凹んだ凹部(27b)を有しており、
前記第1導電性磁石(30)は、前記凹部(27b)の底部(27c)から空間部(27d)を持って離間するように前記凹部(27b)に収容されていると共に当該凹部(27b)の側壁面(27e)に接触しており、
前記電極ロッド(40)の一端部(41)は、前記凹部(27b)に差し込まれていると共に、当該一端部(41)の一端面(43)が前記第1導電性磁石(30)に接触していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
The electrode portion (27) has a plate shape having one surface (27a), and has a recess (27b) in which a portion of the one surface (27a) is recessed,
The first conductive magnet (30) is accommodated in the recess (27b) so as to be separated from the bottom (27c) of the recess (27b) with a space (27d), and the recess (27b). In contact with the side wall surface (27e) of
One end (41) of the electrode rod (40) is inserted into the recess (27b), and one end surface (43) of the one end (41) is in contact with the first conductive magnet (30). The pressure sensor according to claim 1, wherein:
前記回路部端子(61)は、平坦部(62)を有する板状であり、
前記電極ロッド(40)の他端部(42)は、当該他端部(42)の他端面(45)が前記一端部(41)側に凹んだ穴部(44)を有し、
前記第2導電性磁石(50)は、第1端部(51)と、この第1端部(51)とは反対側の第2端部(52)と、を有する柱状をなしており、
前記第2導電性磁石(50)の第1端部(51)は、当該第1端部(51)の第1端面(53)が前記穴部(44)の底部(46)から空間部(47)を持って離間するように前記穴部(44)に差し込まれており、
前記第2導電性磁石(50)の第2端部(52)は、当該第2端部(52)の第2端面(54)が前記穴部(44)から突出すると共に前記平坦部(62)に接触していることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
The circuit part terminal (61) is a plate having a flat part (62),
The other end (42) of the electrode rod (40) has a hole (44) in which the other end surface (45) of the other end (42) is recessed toward the one end (41).
The second conductive magnet (50) has a columnar shape having a first end (51) and a second end (52) opposite to the first end (51).
The first end portion (51) of the second conductive magnet (50) is such that the first end surface (53) of the first end portion (51) is spaced from the bottom portion (46) of the hole portion (44) ( 47) is inserted into the hole (44) so as to be separated,
The second end portion (52) of the second conductive magnet (50) has a second end surface (54) of the second end portion (52) protruding from the hole portion (44) and the flat portion (62). The pressure sensor according to claim 1, wherein the pressure sensor is in contact with the pressure sensor.
前記回路部端子(61)は、平坦部(62)を有する板状の板部(63)と、前記板部(63)に接続されていると共に一部が湾曲した湾曲部(64)と、を有しており、
前記板部(63)及び前記湾曲部(64)は、前記平坦部(62)が露出するようにモールド樹脂部(65)にモールドされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
The circuit portion terminal (61) includes a plate-like plate portion (63) having a flat portion (62), a curved portion (64) connected to the plate portion (63) and partially curved. Have
The said board part (63) and the said curved part (64) are molded by the mold resin part (65) so that the said flat part (62) may be exposed. The pressure sensor according to one.
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