JP2015227036A

JP2015227036A - Ink jet device and control method for the same

Info

Publication number: JP2015227036A
Application number: JP2014114315A
Authority: JP
Inventors: 正嗣後藤; Masatsugu Goto; 貴之三好; Takayuki Miyoshi; 室　真弘; Shinko Muro; 真弘室
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2014-06-02
Filing date: 2014-06-02
Publication date: 2015-12-17

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology that suppresses a decrease in ink droplet arrival accuracy while suppressing non-discharge of ink.SOLUTION: An ink jet device 100 includes: an ink jet head 105; an ink supply system 106; an ink discharge system 107; and a control part 108 that performs control so that ink pressure P (kPa) and an ink flow Q (ml/min) within the ink jet head can reach target values, respectively. The respective target values of the pressure P and the flow Q satisfy the following inequalities: 2.0≤Q≤6.0; Q<1.1 P+7.2; and Q<-2.7 P+6.8.

Description

本発明は、インクジェットヘッドを備えるインクジェット装置およびその制御方法に関する。 The present invention relates to an inkjet apparatus including an inkjet head and a control method thereof.

インクジェットヘッドは、インクを外部に吐出させるノズル孔を有する。従来、インクジェットヘッドのノズル孔の目詰まりを抑制するため、インクジェットヘッド内のインクを常時流動させる技術が提案されている。特許文献１〜３は、ノズル孔と、インクジェットヘッドにインクを供給するためのインク供給口と、インクジェットヘッドからインクを排出するためのインク排出口とを有するインクジェットヘッドを開示している。インクは、外部からインク供給口を通じてインクジェットヘッドに供給され、インクジェットヘッド内を通過し、インク排出口を通じて外部に排出される。これにより、インクジェットヘッド内のインクが流動するので、同じインクが長期間にわたりインクジェットヘッド内に滞留することを抑制でき、その結果、ノズル孔の目詰まりを抑制することができる。 The ink jet head has a nozzle hole for discharging ink to the outside. Conventionally, in order to suppress clogging of nozzle holes of an ink jet head, a technique for constantly flowing ink in the ink jet head has been proposed. Patent Documents 1 to 3 disclose an ink jet head having nozzle holes, an ink supply port for supplying ink to the ink jet head, and an ink discharge port for discharging ink from the ink jet head. Ink is supplied from the outside to the ink jet head through the ink supply port, passes through the ink jet head, and is discharged to the outside through the ink discharge port. Thereby, since the ink in an inkjet head flows, it can suppress that the same ink retains in an inkjet head for a long period of time, As a result, clogging of a nozzle hole can be suppressed.

特開２０１１−２３０５００号公報JP 2011-230500 A 特開２０１１−２４５７２４号公報JP 2011-245724 A 特開２０１１−１４３３３１号公報JP 2011-143331 A

インクジェット装置では、インクの不吐出を抑制するだけでなく、吐出されたインクの着弾制度を高めることが望まれる。しかしながら、インクジェットヘッド内のインクを流動させるタイプのインクジェット装置では、ノズル孔の目詰まりとは異なるインク不吐出の原因が生じたり、吐出されたインクの着弾精度を低下させる原因が生じる場合があることが判明した。 In an ink jet apparatus, it is desired not only to suppress non-ejection of ink but also to improve the landing system of ejected ink. However, in an ink jet apparatus that flows ink in an ink jet head, there may be a cause of non-ejection of ink different from clogging of nozzle holes, or a cause of lowering the landing accuracy of ejected ink. There was found.

本発明は、インクの不吐出を抑制しつつ、インクの着弾精度の低下を抑制する技術を提案する。 The present invention proposes a technique for suppressing a decrease in ink landing accuracy while suppressing non-ejection of ink.

本発明の一態様に係るインクジェット装置は、インクを吐出するノズル孔を有するインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給系と、インクジェットヘッドからインクを排出するインク排出系と、インクジェットヘッド内のインクの大気圧を基準とする圧力Ｐ（ｋＰａ）およびインク供給系からインクジェットヘッドを通過してインク排出系に流れるインクの流量Ｑ（ｍｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ目標値になるように制御する制御部と、を備える。圧力Ｐおよび流量Ｑのそれぞれの目標値が、以下を満たす。 An inkjet apparatus according to an aspect of the present invention includes an inkjet head having a nozzle hole for ejecting ink, an ink supply system that supplies ink to the inkjet head, an ink discharge system that discharges ink from the inkjet head, and an inkjet head For controlling the pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure of the ink and the flow rate Q (ml / min) of the ink flowing from the ink supply system to the ink discharge system through the ink jet head to the target values, respectively. A section. The target values of the pressure P and the flow rate Q satisfy the following.

２．０≦Ｑ≦６．０・・・（式１）
Ｑ＜１．１Ｐ＋７．２・・・（式２）
Ｑ＜−２．７Ｐ＋６．８・・・（式３） 2.0 ≦ Q ≦ 6.0 (Formula 1)
Q <1.1P + 7.2 (Formula 2)
Q <−2.7P + 6.8 (Formula 3)

これにより、インクジェットヘッド内のインクを流動させるタイプのインクジェット装置において、インクの不吐出を抑制しつつ、インクの着弾精度の低下を抑制することができる。 Thereby, in the ink jet apparatus of the type that causes the ink in the ink jet head to flow, it is possible to suppress a decrease in ink landing accuracy while suppressing ink non-ejection.

インクジェット装置のシステム構成を示す図The figure which shows the system configuration of the ink jet device インクジェット装置の機構部分を模式的に示す斜視図A perspective view schematically showing a mechanism portion of an ink jet device インクジェットヘッドを模式的に示す斜視図Perspective view schematically showing an inkjet head 図３のインクジェットヘッドを一点鎖線Ｃに沿って切断したときの断面図Sectional view when the inkjet head of FIG. 3 is cut along the alternate long and short dash line C 図３のインクジェットヘッドを一点鎖線Ａに沿って切断したときの断面図Sectional view when the inkjet head of FIG. 3 is cut along the alternate long and short dash line A 図３のインクジェットヘッドを一点鎖線Ｂに沿って切断したときの断面図Sectional view when the inkjet head of FIG. 3 is cut along the alternate long and short dash line B （ａ）〜（ｃ）は、ノズル孔付近のインクの様子を模式的に示す図(A)-(c) is a figure which shows the mode of the ink of a nozzle hole vicinity typically. 実験により求められたインクジェットヘッド内のインクの圧力とインクの流量の適正範囲を示す図The figure which shows the appropriate range of the pressure of the ink in the ink jet head and the flow rate of the ink which were obtained by experiment インクジェットヘッド内のインクの圧力とインクの流量の適正範囲のインクの粘度の依存性を調べた結果を示す図The figure which shows the result of having investigated the dependence of the viscosity of the ink of the appropriate range of the pressure of the ink in an inkjet head, and the flow volume of an ink 変形例のインクジェット装置のシステム構成を示す図The figure which shows the system configuration | structure of the inkjet apparatus of a modification.

１．本発明の一態様
本発明の一態様に係るインクジェット装置は、インクを吐出するノズル孔を有するインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給系と、インクジェットヘッドからインクを排出するインク排出系と、インクジェットヘッド内のインクの大気圧を基準とする圧力Ｐ（ｋＰａ）およびインク供給系からインクジェットヘッドを通過してインク排出系に流れるインクの流量Ｑ（ｍｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ目標値になるように制御する制御部と、を備える。圧力Ｐおよび流量Ｑのそれぞれの目標値が、以下を満たす。 1. One aspect of the present invention An ink jet apparatus according to one aspect of the present invention includes an ink jet head having a nozzle hole for discharging ink, an ink supply system for supplying ink to the ink jet head, and an ink discharge system for discharging ink from the ink jet head. And the pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure of the ink in the ink jet head and the flow rate Q (ml / min) of the ink flowing from the ink supply system to the ink discharge system through the ink jet system become target values, respectively. And a control unit for controlling as described above. The target values of the pressure P and the flow rate Q satisfy the following.

２．０≦Ｑ≦６．０・・・（式４）
Ｑ＜１．１Ｐ＋７．２・・・（式５）
Ｑ＜−２．７Ｐ＋６．８・・・（式６）
これにより、インクジェットヘッド内のインクを流動させるタイプのインクジェット装置において、インクの不吐出を抑制しつつ、インクの着弾精度の低下を抑制することができる。 2.0 ≦ Q ≦ 6.0 (Formula 4)
Q <1.1P + 7.2 (Formula 5)
Q <−2.7P + 6.8 (Formula 6)
Thereby, in the ink jet apparatus of the type that causes the ink in the ink jet head to flow, it is possible to suppress a decrease in ink landing accuracy while suppressing ink non-ejection.

また、上記インクジェット装置において、圧力Ｐおよび流量Ｑのそれぞれの目標値が、以下を満たすこととしてもよい。
２．５≦Ｑ≦５．５・・・（式７）
Ｑ≦１．１Ｐ＋６．９・・・（式８）
Ｐ＜０・・・（式９）
これにより、インクの不吐出を抑制する効果とインクの着弾精度の低下を抑制する効果をより高めることができる。 In the ink jet apparatus, the target values of the pressure P and the flow rate Q may satisfy the following.
2.5 ≦ Q ≦ 5.5 (Expression 7)
Q ≦ 1.1P + 6.9 (Formula 8)
P <0 (Formula 9)
As a result, the effect of suppressing the non-ejection of ink and the effect of suppressing the decrease in ink landing accuracy can be further enhanced.

また、制御部は、インク供給系内のインクの圧力とインク排出系内のインクの圧力をそれぞれ調整することにより、圧力Ｐおよび流量Ｑを調整することとしてもよい。インク供給系内およびインク排出系内のインクの圧力は、インクジェットヘッド内のインクの圧力やインク流量に比べて測定しやすい。従って、上記構成により、圧力Ｐおよび流量Ｑを容易に調整することができる。 The control unit may adjust the pressure P and the flow rate Q by adjusting the pressure of the ink in the ink supply system and the pressure of the ink in the ink discharge system, respectively. The ink pressure in the ink supply system and the ink discharge system is easier to measure than the ink pressure and the ink flow rate in the inkjet head. Therefore, the pressure P and the flow rate Q can be easily adjusted by the above configuration.

本発明の一態様に係るインクジェット装置の制御方法は、インクを吐出するノズル孔を有するインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給系と、インクジェットヘッドからインクを排出するインク排出系と、を備えたインクジェット装置の制御方法である。インクジェットヘッド内のインクの大気圧を基準とする圧力Ｐ（ｋＰａ）およびインク供給系からインクジェットヘッドを通過してインク排出系に流れるインクの流量Ｑ（ｍｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ目標値になるように調整する。圧力Ｐおよび流量Ｑのそれぞれの目標値が、以下を満たす。 An inkjet apparatus control method according to an aspect of the present invention includes an inkjet head having a nozzle hole that ejects ink, an ink supply system that supplies ink to the inkjet head, an ink discharge system that discharges ink from the inkjet head, Is a method of controlling an ink jet apparatus provided with The pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure of the ink in the ink jet head and the flow rate Q (ml / min) of the ink flowing from the ink supply system to the ink discharge system through the ink jet system are set to the target values, respectively. adjust. The target values of the pressure P and the flow rate Q satisfy the following.

２．０≦Ｑ≦６．０・・・（式１０）
Ｑ＜１．１Ｐ＋７．２・・・（式１１）
Ｑ＜−２．７Ｐ＋６．８・・・（式１２）
これにより、インクジェットヘッド内のインクを流動させるタイプのインクジェット装置において、インクの不吐出を抑制しつつ、インクの着弾精度の低下を抑制することができる。 2.0 ≦ Q ≦ 6.0 (Formula 10)
Q <1.1P + 7.2 (Formula 11)
Q <−2.7P + 6.8 (Formula 12)
Thereby, in the ink jet apparatus of the type that causes the ink in the ink jet head to flow, it is possible to suppress a decrease in ink landing accuracy while suppressing ink non-ejection.

また、上記インクジェット装置の制御方法において、圧力Ｐおよび流量Ｑのそれぞれの目標値が、以下を満たすこととしてもよい。
２．５≦Ｑ≦５．５・・・（式１３）
Ｑ≦１．１Ｐ＋６．９・・・（式１４）
Ｐ＜０・・・（式１５）
また、上記インクジェット装置の制御方法において、インク供給系内のインクの圧力とインク排出系内のインクの圧力をそれぞれ調整することにより、圧力Ｐおよび流量Ｑを調整することとしてもよい。インク供給系内およびインク排出系内のインクの圧力は、インクジェットヘッド内のインクの圧力やインク流量に比べて測定しやすい。従って、上記構成により、圧力Ｐおよび流量Ｑを容易に調整することができる。 Moreover, in the control method of the inkjet apparatus, the target values of the pressure P and the flow rate Q may satisfy the following.
2.5 ≦ Q ≦ 5.5 (Formula 13)
Q ≦ 1.1P + 6.9 (Formula 14)
P <0 (Formula 15)
In the control method of the ink jet apparatus, the pressure P and the flow rate Q may be adjusted by adjusting the pressure of the ink in the ink supply system and the pressure of the ink in the ink discharge system. The ink pressure in the ink supply system and the ink discharge system is easier to measure than the ink pressure and the ink flow rate in the inkjet head. Therefore, the pressure P and the flow rate Q can be easily adjusted by the above configuration.

２．構成
図１は、インクジェット装置のシステム構成を示す図である。インクジェット装置１００は、インクジェットヘッド１０５と、インクジェットヘッド１０５にインクを供給するためのインク供給系１０６と、インクジェットヘッド１０５からインクを排出するためのインク排出系１０７と、インクの圧力と流量を制御する制御部１０８とを備える。 2. Configuration FIG. 1 is a diagram illustrating a system configuration of an inkjet apparatus. The ink jet apparatus 100 controls an ink jet head 105, an ink supply system 106 for supplying ink to the ink jet head 105, an ink discharge system 107 for discharging ink from the ink jet head 105, and the pressure and flow rate of the ink. And a control unit 108.

インク供給系１０６は、インクタンク１１と、インクタンク１１内のインクの液面を適切な高さに維持するためのポンプ１２を備える。インクタンク１１は、インクジェットヘッド１０５と配管により接続されている。インクタンク１１内のインクの液面は、インクジェットヘッド１０５のノズル面よりも重力方向に高い位置に維持される。インクタンク１１内のインクは、インクの自重によりインクジェットヘッド１０５に向けて流れる。 The ink supply system 106 includes an ink tank 11 and a pump 12 for maintaining the ink level in the ink tank 11 at an appropriate height. The ink tank 11 is connected to the inkjet head 105 by piping. The liquid level of the ink in the ink tank 11 is maintained at a position higher in the gravity direction than the nozzle surface of the inkjet head 105. The ink in the ink tank 11 flows toward the inkjet head 105 due to its own weight.

インク排出系１０７は、インクタンク１３と、インクタンク１３内のインクの液面を適切な高さに維持するためのポンプ１４を備える。インクタンク１３は、インクジェットヘッド１０５と配管により接続されている。インクタンク１３内のインクの液面は、インクジェットヘッド１０５のノズル面よりも重力方向に低い位置に維持される。インクジェットヘッド１０５内のインクは、インクの自重によりインクタンク１３に向けて流れる。 The ink discharge system 107 includes an ink tank 13 and a pump 14 for maintaining the ink level in the ink tank 13 at an appropriate height. The ink tank 13 is connected to the inkjet head 105 by piping. The ink liquid level in the ink tank 13 is maintained at a position lower in the direction of gravity than the nozzle surface of the inkjet head 105. The ink in the inkjet head 105 flows toward the ink tank 13 due to its own weight.

制御部１０８は、インクジェットヘッド１０５内のインクの大気圧を基準とする圧力Ｐ（ｋＰａ）およびインク供給系１０６からインクジェットヘッド１０５を通過してインク排出系１０７に流れるインクの流量Ｑ（ｍｌ／ｍｉｎ）をそれぞれ目標値になるように制御する。実際には、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐを測定するのは容易ではない。一方、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１およびインク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２は容易に測定することができる。インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１の測定は、例えば、圧力センサ１６を用いればよい。インク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２は、例えば、圧力センサ１７を用いればよい。本明細書では、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１とインク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２との平均値を、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐとする。すなわち、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐは、以下ように表される。 The control unit 108 has a pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure of the ink in the inkjet head 105 and a flow rate Q (ml / min) of ink flowing from the ink supply system 106 to the ink discharge system 107 through the inkjet head 105. ) Are controlled so as to reach the target values. Actually, it is not easy to measure the pressure P of ink in the inkjet head 105. On the other hand, the ink pressure P1 in the ink supply system 106 and the ink pressure P2 in the ink discharge system 107 can be easily measured. For example, the pressure sensor 16 may be used to measure the pressure P1 of the ink in the ink supply system 106. For example, the pressure sensor 17 may be used as the ink pressure P2 in the ink discharge system 107. In this specification, the average value of the ink pressure P 1 in the ink supply system 106 and the ink pressure P 2 in the ink discharge system 107 is defined as the ink pressure P in the inkjet head 105. That is, the pressure P of the ink in the inkjet head 105 is expressed as follows.

Ｐ＝（Ｐ１＋Ｐ２）／２・・・（式１６）
インクの流量Ｑは、ハーゲン・ポアズイユ（Hagen-Poiseuille）の式により以下のように表される。ここで、αは、インクジェットヘッド１０５の形状およびインクの粘度により定まる比例定数である。
Ｑ＝α（Ｐ１−Ｐ２）・・・（式１７）
式１６および式１７から、インクの圧力Ｐおよびインクの流量Ｑは、何れも、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１およびインク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２に依存することが分かる。従って、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１およびインク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２を調整することにより、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐおよびインクの流量Ｑを調整することができる。 P = (P1 + P2) / 2 (Expression 16)
The ink flow rate Q is represented by the Hagen-Poiseuille equation as follows. Here, α is a proportionality constant determined by the shape of the inkjet head 105 and the viscosity of the ink.
Q = α (P1-P2) (Expression 17)
From equations 16 and 17, it can be seen that the ink pressure P and the ink flow rate Q both depend on the ink pressure P 1 in the ink supply system 106 and the ink pressure P 2 in the ink discharge system 107. Therefore, by adjusting the ink pressure P1 in the ink supply system 106 and the ink pressure P2 in the ink discharge system 107, the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 can be adjusted.

インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力の目標値Ｐｔは、インク供給系１０６内のインクの圧力の目標値Ｐｔ１とインク排出系１０７内のインクの圧力の目標値Ｐｔ２を用いて、以下のように表される。
Ｐｔ＝（Ｐｔ１＋Ｐｔ２）／２・・・（式１８）
インクジェットヘッド１０５内のインクの流量の目標値Ｑｔは、インク供給系１０６内のインクの圧力の目標値Ｐｔ１とインク排出系１０７内のインクの圧力の目標値Ｐｔ２を用いて、以下のように表される。 The target value Pt of the ink pressure in the inkjet head 105 is expressed as follows using the target value Pt1 of the ink pressure in the ink supply system 106 and the target value Pt2 of the ink pressure in the ink discharge system 107. Is done.
Pt = (Pt1 + Pt2) / 2 (Expression 18)
The target value Qt of the ink flow rate in the inkjet head 105 is expressed as follows using the target value Pt1 of the ink pressure in the ink supply system 106 and the target value Pt2 of the ink pressure in the ink discharge system 107. Is done.

Ｑｔ＝α（Ｐｔ１−Ｐｔ２）・・・（式１９）
式１８、式１９は、以下のように変換することができる。
Ｐｔ１＝（２Ｐｔ＋Ｑｔ／α）／２・・・（式２０）
Ｐｔ２＝（２Ｐｔ−Ｑｔ／α）／２・・・（式２１）
本実施形態では、制御部１０８は、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１の目標値Ｐｔ１と、インク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２の目標値Ｐｔ２とを記憶している。制御部１０８は、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１を測定し、この測定結果とインク供給系１０６内のインクの圧力の目標値Ｐｔ１の差分が小さくなるように、インク供給系１０６内の圧力をフィードバック制御する。また、制御部１０８は、インク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２を測定し、この測定結果とインク排出系１０７内のインクの圧力の目標値Ｐｔ２の差分が小さくなるようにインク排出系１０７内の圧力をフィードバック制御する。インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１の制御は、公知の方法を適用すればよい。例えば、ポンプ１２を用いてインクタンク１１内のインクの液面の高さを制御することにより、インク供給系１０６内のインクの圧力Ｐ１を制御してもよい。インク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２の制御も、公知の方法を適用すればよい。例えば、ポンプ１４を用いてインクタンク１３内のインクの液面の高さを制御することにより、インク排出系１０７内のインクの圧力Ｐ２を制御してもよい。 Qt = α (Pt1-Pt2) (Equation 19)
Equations 18 and 19 can be converted as follows.
Pt1 = (2Pt + Qt / α) / 2 (Expression 20)
Pt2 = (2Pt−Qt / α) / 2 (Expression 21)
In the present embodiment, the control unit 108 stores a target value Pt1 of the ink pressure P1 in the ink supply system 106 and a target value Pt2 of the ink pressure P2 in the ink discharge system 107. The control unit 108 measures the pressure P1 of the ink in the ink supply system 106, and the difference between the measurement result and the target value Pt1 of the ink pressure in the ink supply system 106 becomes small. Feedback control of pressure. Further, the control unit 108 measures the pressure P2 of the ink in the ink discharge system 107, and in the ink discharge system 107 so that the difference between the measurement result and the target value Pt2 of the ink pressure in the ink discharge system 107 becomes small. Feedback control of the pressure. A known method may be applied to control the ink pressure P1 in the ink supply system 106. For example, the ink pressure P <b> 1 in the ink supply system 106 may be controlled by controlling the height of the ink level in the ink tank 11 using the pump 12. A known method may be applied to control the pressure P2 of the ink in the ink discharge system 107. For example, the ink pressure P <b> 2 in the ink discharge system 107 may be controlled by controlling the height of the ink level in the ink tank 13 using the pump 14.

なお、圧力の表記には、真空を基準（ゼロ）とする表記と大気圧を基準（ゼロ）とする表記の２種類が存在する。本明細書では、大気圧を基準とする表記を採用する。すなわち、大気圧と同じであればゼロであり、大気圧よりも高ければ正圧であり、大気圧よりも低ければ負圧である。真空を基準とする表記と大気圧を基準とする表記は、相互に換算が可能である。 There are two types of pressure notation: a notation using vacuum as a reference (zero) and a notation using atmospheric pressure as a reference (zero). In this specification, the description based on atmospheric pressure is adopted. That is, if it is the same as the atmospheric pressure, it is zero, if it is higher than the atmospheric pressure, it is a positive pressure, and if it is lower than the atmospheric pressure, it is a negative pressure. The notation based on the vacuum and the notation based on the atmospheric pressure can be mutually converted.

本実施形態では、インクジェット装置１００は、さらに、インク供給系１０６とインク排出系１０７を接続するインクタンク１０９を備える。インクジェットヘッド１０５から排出されたインクは、インク排出系１０７を介してインクタンク１０９に貯蔵される。インクタンク１０９に貯蔵されたインクは、インク供給系１０６を介して再びインクジェットヘッド１０５に供給される。これにより、インクを再利用することができ、インクの有効利用を図ることができる。 In the present embodiment, the inkjet apparatus 100 further includes an ink tank 109 that connects the ink supply system 106 and the ink discharge system 107. The ink discharged from the inkjet head 105 is stored in the ink tank 109 via the ink discharge system 107. The ink stored in the ink tank 109 is supplied again to the inkjet head 105 via the ink supply system 106. Thereby, the ink can be reused, and the ink can be effectively used.

図２は、インクジェット装置の機構部分を模式的に示す斜視図である。
インクジェット装置１００は、基台１０１と、ガイドレール１０２と、ステージ１０３と、インクジェットヘッド支持構造１０４と、インクジェットヘッド１０５とを備える。ガイドレール１０２は、基台１０１上にｘ方向に沿って設けられている。ステージ１０３は、ガイドレール１０２に沿ってｘ方向にスライド自在に取り付けられている。インクジェットヘッド支持構造１０４は、基台１０１上にガイドレール１０２を挟んで立てられた２本の脚部と、ガイドレール１０２を跨いで２本の脚部を連結する梁部とを備える。インクジェットヘッド１０５は、インクジェットヘッド支持構造１０４の梁部に固定されている。インクが塗布される基板Ｓは、ステージ１０３上に載置される。インクジェット装置１００は、ステージ１０３をガイドレール１０２に沿ってスライドさせながら、適切なタイミングでインクジェットヘッド１０５からインクを吐出させる。これにより、基板Ｓ上の適切な位置にインクを着弾させることができる。基板Ｓは、インクジェット装置１００によりインクが塗布される対象であれば、どのようなものでも構わない。例えば、基板Ｓが、有機ＥＬ表示パネルを製造するための基板であってもよい。有機ＥＬ表示パネルは、基板と、基板上に配された複数の有機ＥＬ素子を備える。各有機ＥＬ素子は、第１電極と、第１電極上に配された発光層と、発光層上に配された第２電極とを備える。発光層は、有機発光層を含み、必要に応じて、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層をさらに含む。これらの一つまたは複数が塗布法で形成される場合がある。この場合に、インクジェット装置１００が利用可能である。なお、有機ＥＬ表示パネルを製造するための基板に限らず、ＴＦＴ基板を製造するための基板であってもよい。ＴＦＴ基板は、基板と、基板上に配された複数のＴＦＴ（Thin Film Transistor）を備える。各ＴＦＴは、ゲート電極と、ゲート電極上に配されたゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上に配されたチャネル層と、チャネル層上の第１位置に接続したソース電極と、チャネル層上の第２位置に接続したドレイン電極とを備える。チャネル層が塗布法で形成される場合がある。この場合に、インクジェット装置１００が利用可能である。 FIG. 2 is a perspective view schematically showing a mechanism portion of the ink jet apparatus.
The ink jet apparatus 100 includes a base 101, a guide rail 102, a stage 103, an ink jet head support structure 104, and an ink jet head 105. The guide rail 102 is provided on the base 101 along the x direction. The stage 103 is slidably attached in the x direction along the guide rail 102. The ink jet head support structure 104 includes two legs standing on the base 101 with the guide rail 102 sandwiched therebetween, and a beam portion that connects the two legs across the guide rail 102. The inkjet head 105 is fixed to the beam portion of the inkjet head support structure 104. The substrate S on which ink is applied is placed on the stage 103. The ink jet apparatus 100 ejects ink from the ink jet head 105 at an appropriate timing while sliding the stage 103 along the guide rail 102. Thereby, the ink can be landed at an appropriate position on the substrate S. The substrate S may be any object as long as it is a target to which ink is applied by the inkjet apparatus 100. For example, the substrate S may be a substrate for manufacturing an organic EL display panel. The organic EL display panel includes a substrate and a plurality of organic EL elements arranged on the substrate. Each organic EL element includes a first electrode, a light emitting layer disposed on the first electrode, and a second electrode disposed on the light emitting layer. The light emitting layer includes an organic light emitting layer, and further includes a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer as necessary. One or more of these may be formed by a coating method. In this case, the ink jet apparatus 100 can be used. The substrate for manufacturing the organic EL display panel is not limited to the substrate for manufacturing the TFT substrate. The TFT substrate includes a substrate and a plurality of TFTs (Thin Film Transistors) disposed on the substrate. Each TFT includes a gate electrode, a gate insulating film disposed on the gate electrode, a channel layer disposed on the gate insulating film, a source electrode connected to a first position on the channel layer, and a channel layer. A drain electrode connected to the second position. The channel layer may be formed by a coating method. In this case, the ink jet apparatus 100 can be used.

図３は、インクジェットヘッドを模式的に示す斜視図である。インクジェットヘッド１０５は、底板１１０と、外枠１３０と、天板１５０とを備える。底板１１０および天板１５０は、略同寸法の長尺矩形状の形状を有している。外枠１３０は、底板１１０と天板１５０の間に存在している。インクジェットヘッド１０５は、さらに、図４の断面図に示す通り、外枠１３０で囲まれた空間を仕切る仕切壁１３１、１３２、１３３を備える。仕切壁１３１および仕切壁１３２は、それぞれｙ方向に沿って延びている。複数の仕切壁１３３は、仕切壁１３１および仕切壁１３２の間に位置し、それぞれｘ方向に沿って延びている。インク供給室１３４は、外枠１３０の一部と仕切壁１３１とで構成される。インク排出室１３５は、外枠１３０の一部と仕切壁１３２とで構成される。各インク室１３６は、仕切壁１３１と仕切壁１３２と仕切壁１３３とで構成される。複数のインク室１３６は、ｙ方向に並んでいる。インク供給室１３４とインク排出室１３５は、複数のインク室１３６をｘ方向に挟んで互いに反対に存在する。図５の断面図に示す通り、各インク室１３６は、インク室１３６内のインクに圧力変動を付与するアクチュエータ１４１を備える。アクチュエータ１４１は、天板１５０の下面に固定されている。アクチュエータ１４１としては、例えば、ピエゾ素子を利用することができる。アクチュエータ１４１がインク室１３６内のインクに圧力を付与することにより、インク室１３６内のインクがノズル孔１１１を通じて外部に吐出される。また、図６の断面図に示す通り、各インク室１３６は、インク供給孔１３９、インク排出孔１４０を有する。インク供給室１３４内のインクは、インク供給孔１３９を通じてインク室１３６に供給される。インク室１３６内のインクは、インク排出孔１４０を通じてインク排出室１３５に排出される。図３に戻り、インク供給室１３４は、天板１５０に設けられたインク供給口１３７を通じてインク供給系１０６に接続されている。インク排出室１３５は、天板１５０に設けられたインク排出口１３８を通じてインク排出系１０７に接続されている。これにより、インクジェットヘッド１０５内のインクを流動させることができる。 FIG. 3 is a perspective view schematically showing the inkjet head. The inkjet head 105 includes a bottom plate 110, an outer frame 130, and a top plate 150. The bottom plate 110 and the top plate 150 have a long rectangular shape with substantially the same dimensions. The outer frame 130 exists between the bottom plate 110 and the top plate 150. The inkjet head 105 further includes partition walls 131, 132, and 133 that partition the space surrounded by the outer frame 130, as shown in the cross-sectional view of FIG. The partition wall 131 and the partition wall 132 each extend along the y direction. The plurality of partition walls 133 are positioned between the partition wall 131 and the partition wall 132, and each extend along the x direction. The ink supply chamber 134 includes a part of the outer frame 130 and a partition wall 131. The ink discharge chamber 135 includes a part of the outer frame 130 and a partition wall 132. Each ink chamber 136 includes a partition wall 131, a partition wall 132, and a partition wall 133. The plurality of ink chambers 136 are arranged in the y direction. The ink supply chamber 134 and the ink discharge chamber 135 are opposite to each other with the plurality of ink chambers 136 sandwiched in the x direction. As shown in the cross-sectional view of FIG. 5, each ink chamber 136 includes an actuator 141 that applies pressure fluctuation to the ink in the ink chamber 136. The actuator 141 is fixed to the lower surface of the top plate 150. As the actuator 141, for example, a piezo element can be used. When the actuator 141 applies pressure to the ink in the ink chamber 136, the ink in the ink chamber 136 is ejected to the outside through the nozzle hole 111. Further, as shown in the cross-sectional view of FIG. 6, each ink chamber 136 has an ink supply hole 139 and an ink discharge hole 140. The ink in the ink supply chamber 134 is supplied to the ink chamber 136 through the ink supply hole 139. The ink in the ink chamber 136 is discharged to the ink discharge chamber 135 through the ink discharge hole 140. Returning to FIG. 3, the ink supply chamber 134 is connected to the ink supply system 106 through an ink supply port 137 provided in the top plate 150. The ink discharge chamber 135 is connected to the ink discharge system 107 through an ink discharge port 138 provided in the top plate 150. Thereby, the ink in the inkjet head 105 can be made to flow.

３．インク圧力Ｐおよびインク流量Ｑ
次に、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐとインク流量Ｑの適正な範囲について検討する。図７（ａ）〜（ｃ）は、ノズル孔付近のインクの様子を模式的に示す図である。インクジェットヘッド１０５の不良モードには、「エア混入」と「液ダレ」とが存在する。 3. Ink pressure P and ink flow rate Q
Next, an appropriate range of the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 will be examined. 7A to 7C are diagrams schematically illustrating the state of ink near the nozzle holes. The defective mode of the inkjet head 105 includes “air mixing” and “liquid dripping”.

図７（ａ）は、インクジェットヘッド１０５にエア混入が生じた場合を示している。これは、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐが適正範囲よりも小さい場合に生じやすい。インク室にエア１６１が混入すると、アクチュエータ１４１の振動がノズル孔１１１内のインクに伝達しにくくなる。これは、インクの不吐出の原因となる。
図７（ｂ）は、インクジェットヘッド１０５内のインクが正常なメニスカスを形成している場合を示している。これは、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐが適正範囲内にあるときに実現される。 FIG. 7A shows a case where air mixing occurs in the inkjet head 105. This is likely to occur when the ink pressure P in the inkjet head 105 is smaller than the appropriate range. When the air 161 is mixed into the ink chamber, the vibration of the actuator 141 is not easily transmitted to the ink in the nozzle hole 111. This causes non-ejection of ink.
FIG. 7B shows a case where the ink in the inkjet head 105 forms a normal meniscus. This is realized when the pressure P of the ink in the inkjet head 105 is within an appropriate range.

図７（ｃ）は、インクジェットヘッド１０５に液ダレが生じた場合を示している。これは、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐが適正範囲よりも大きい場合に生じやすい。インクが垂れて底板１１０のノズル面１１２のノズル孔回りにインク１６３が付着している。インク１６３がノズル孔回りに付着すると、インクを吐出したときにインクの液滴がノズル孔回りのインクに引っ張られ、インクの液滴が意図しない角度に曲げられることがある。これは、インクの液滴の着弾精度の低下の原因となる。 FIG. 7C shows a case where liquid dripping occurs in the inkjet head 105. This is likely to occur when the ink pressure P in the inkjet head 105 is greater than the appropriate range. The ink drips and the ink 163 adheres around the nozzle holes in the nozzle surface 112 of the bottom plate 110. If the ink 163 adheres around the nozzle hole, the ink droplet may be pulled by the ink around the nozzle hole when the ink is ejected, and the ink droplet may be bent to an unintended angle. This causes a drop in the landing accuracy of ink droplets.

発明者は、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐとインクの流量Ｑを変化させながら、エア混入、正常、液ダレのいずれが生じるかを実験で求めた。図８に実験の結果を示す。これによると、インクジェットヘッド１０５内のインク流量Ｑが同じ場合には、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐが低ければエア混入が生じ、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐが高ければ液ダレが生じることが分かる。また、インク流量Ｑが大きくなるほど、インクジェットヘッド１０５が正常となるインクの圧力Ｐの範囲が狭くなることが分かる。 The inventor determined through experiments whether or not air mixing, normality, or liquid dripping occurred while changing the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105. FIG. 8 shows the result of the experiment. According to this, when the ink flow rate Q in the ink jet head 105 is the same, air mixing occurs if the ink pressure P in the ink jet head 105 is low, and liquid dripping occurs if the ink pressure P in the ink jet head 105 is high. You can see that it happens. It can also be seen that the greater the ink flow rate Q, the narrower the range of ink pressure P at which the inkjet head 105 is normal.

また、図８の実験結果において、エア混入と正常の境界線が右上がりという結果が得られた。この理由は、次のように考えられる。インク室１３６内では、インクがほぼ水平方向に流れる。ノズル孔１１１は、インク室１３６から鉛直下方に向けて延びている。インク室１３６内を水平方向にインクが流れると、ノズル孔１１１内のインクがインク室１３６内に引き戻される力が働く。これによりノズル孔１１１内の局所的な圧力が低下する。インク室１３６内のインクの流量が大きいほど、この傾向が強くなり、これによりエアが混入しやすくなる。そのため、エア混入と正常の境界線が右上がりになるものと考えられる。 Moreover, in the experimental result of FIG. 8, the result that an air mixing and a normal boundary line went up to the right was obtained. The reason is considered as follows. In the ink chamber 136, ink flows in a substantially horizontal direction. The nozzle hole 111 extends vertically downward from the ink chamber 136. When the ink flows in the ink chamber 136 in the horizontal direction, a force that pulls the ink in the nozzle hole 111 back into the ink chamber 136 works. Thereby, the local pressure in the nozzle hole 111 falls. This tendency becomes stronger as the flow rate of the ink in the ink chamber 136 is larger, and air is thereby easily mixed. For this reason, it is considered that the boundary between air mixing and normality rises to the right.

また、図８の実験結果において、液ダレと正常の境界線がほぼ垂直、あるいは、やや右下がりという結果が得られた。これから、液ダレは、エア混入に比べてインク流量Ｑの影響を受けにくいことが分かる。
上述の通り、インク流量Ｑが大きくなるほど、インクの圧力Ｐの適正な範囲が狭くなるので、インクジェットヘッド１０５内のインクを常時流動させるタイプのインクジェット装置では、インクの圧力Ｐとインク流量Ｑを正確に調整することが重要である。 Moreover, in the experimental result of FIG. 8, the result that the dripping and the normal boundary line were almost vertical or slightly lowered to the right was obtained. From this, it is understood that the liquid dripping is less affected by the ink flow rate Q than the air mixing.
As described above, as the ink flow rate Q increases, the appropriate range of the ink pressure P becomes narrower. Therefore, in an ink jet apparatus of a type in which the ink in the ink jet head 105 always flows, the ink pressure P and the ink flow rate Q are accurately set. It is important to adjust to.

図８の実験結果から、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐとインク流量Ｑが以下の条件を満たすことが望ましい。
２．０≦Ｑ≦６．０・・・（式２１）
Ｑ＜１．１Ｐ＋７．２・・・（式２２）
Ｑ＜−２．７Ｐ＋６．８・・・（式２３）
式２１の通り、インク流量Ｑを２．０ｍｌ／ｍｉｎ以上にすることで、インクの流動によりノズル孔の目詰まりを抑制することができる。インク流量Ｑを６．０ｍｌ／ｍｉｎ以下にすることで、インクを安定的に流動させることができる。 From the experimental results of FIG. 8, it is desirable that the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 satisfy the following conditions.
2.0 ≦ Q ≦ 6.0 (Formula 21)
Q <1.1P + 7.2 (Formula 22)
Q <−2.7P + 6.8 (Formula 23)
As shown in Equation 21, by setting the ink flow rate Q to 2.0 ml / min or more, clogging of the nozzle holes due to the flow of ink can be suppressed. By setting the ink flow rate Q to 6.0 ml / min or less, the ink can flow stably.

図８の実験結果から、インクジェットヘッド１０５にエア混入が生じた点を直線で近似すると、以下の通りである。
Ｑ＝１．１Ｐ＋７．２・・・（式２４）
従って、式２２を満たすことで、インクジェットヘッド１０５にエア混入が生じるのを抑制することができる。 From the experimental results shown in FIG. 8, the points where air mixing occurs in the inkjet head 105 are approximated by a straight line as follows.
Q = 1.1P + 7.2 (formula 24)
Therefore, by satisfying Expression 22, it is possible to suppress the occurrence of air mixing in the inkjet head 105.

図８の実験結果から、インクジェットヘッド１０５に液ダレが生じた点を直線で近似すると、以下の通りである。
Ｑ＝−２．７Ｐ＋６．８・・・（式２５）
従って、式２３を満たすことで、インクジェットヘッド１０５に液ダレが生じるのを抑制することができる。 From the experimental results shown in FIG. 8, the point where the liquid dripping occurs in the inkjet head 105 is approximated by a straight line as follows.
Q = −2.7P + 6.8 (Formula 25)
Therefore, satisfying Expression 23 can suppress the occurrence of liquid dripping in the inkjet head 105.

以上より、式２１、式２２、式２３を満たすことで、インクジェットヘッド１０５内のインクを常時流動させるタイプのインクジェット装置において、インクの不吐出を抑制しつつ、インクの着弾精度の低下を抑制することができる。上述の通り、制御部１０８は、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐおよびインクの流量Ｑをそれぞれ目標値になるよう制御している。その目標値が、式２１、式２２、式２３を満たすこととすればよい。 As described above, by satisfying Expression 21, Expression 22, and Expression 23, in the ink jet apparatus in which the ink in the ink jet head 105 always flows, the ink landing failure is suppressed and the decrease in ink landing accuracy is suppressed. be able to. As described above, the control unit 108 controls the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 so as to reach the target values, respectively. The target value may satisfy Expression 21, Expression 22, and Expression 23.

また、以下の条件を満たすと、より望ましい。
２．５≦Ｑ≦５．５・・・（式２６）
Ｑ≦１．１Ｐ＋６．９・・・（式２７）
Ｐ＜０・・・（式２８）
式２６の通り、インク流量Ｑを２．５ｍｌ／ｍｉｎ以上にすることで、ノズル孔の目詰まりを抑制する効果をより高めることができる。インク流量Ｑを５．５ｍｌ／ｍｉｎ以下にすることで、インクを安定的に流動させる効果をより高めることができる。 Moreover, it is more desirable to satisfy the following conditions.
2.5 ≦ Q ≦ 5.5 (Formula 26)
Q ≦ 1.1P + 6.9 (Formula 27)
P <0 (Formula 28)
As shown in Equation 26, by setting the ink flow rate Q to 2.5 ml / min or more, the effect of suppressing clogging of the nozzle holes can be further enhanced. By setting the ink flow rate Q to 5.5 ml / min or less, the effect of causing the ink to flow stably can be further enhanced.

式２４と同じ傾きの直線で、エア混入が生じない正常な点を含む直線は、以下の通りである。
Ｑ＝１．１Ｐ＋６．９・・・（式２９）
従って、式２７を満たすことで、インクジェットヘッド１０５にエア混入が生じるのを抑制する効果をより高めることができる。 A straight line having the same inclination as that of Expression 24 and including a normal point where air mixing does not occur is as follows.
Q = 1.1P + 6.9 (formula 29)
Therefore, by satisfying Expression 27, it is possible to further enhance the effect of suppressing air mixing in the inkjet head 105.

また、式２８の通り、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力を負圧にすることで、インクジェットヘッド１０５に液ダレが生じる効果をより高めることができる。
以上より、式２６、式２７、式２８を満たすことで、インクの不吐出を抑制する効果およびインクの着弾精度の低下を抑制する効果をより高めることができる。
なお、図８の実験は、粘度が８．３ｍＰａ・ｓのインクを用いている。図９に、図８の実験結果に加えて、粘度１６．０ｍＰａ・ｓのインクの場合の実験結果を示す。これによると、粘度が８．３ｍＰａ・ｓでも１６．０ｍＰａ・ｓでもほとんど同じ結果が得られている。従って、上述のインクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐとインク流量Ｑの適正な範囲は、インクの粘度にはほとんど依存しないと考えられる。通常、インクジェット装置で吐出可能なインクの粘度の範囲は、３．０ｍＰａ・ｓ以上１８ｍＰａ・ｓ以下と考えられる。これらの粘度の範囲においても、上述の適正な範囲が適用できると考えられる。 Further, as shown in Expression 28, by setting the pressure of the ink in the inkjet head 105 to a negative pressure, it is possible to further enhance the effect of causing liquid dripping in the inkjet head 105.
As described above, satisfying Expression 26, Expression 27, and Expression 28 can further enhance the effect of suppressing non-ejection of ink and the effect of suppressing reduction in ink landing accuracy.
In the experiment of FIG. 8, ink having a viscosity of 8.3 mPa · s is used. FIG. 9 shows the experimental results in the case of ink having a viscosity of 16.0 mPa · s in addition to the experimental results of FIG. According to this, almost the same result is obtained whether the viscosity is 8.3 mPa · s or 16.0 mPa · s. Accordingly, it is considered that the appropriate ranges of the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 described above hardly depend on the viscosity of the ink. Usually, the range of the viscosity of ink that can be ejected by an inkjet apparatus is considered to be 3.0 mPa · s or more and 18 mPa · s or less. It is considered that the appropriate range described above can also be applied in these viscosity ranges.

４．変形例
上記実施形態では、インクジェットヘッド内のインクの圧力は、インク供給系のインクタンクおよびインク排出系のインクタンクのそれぞれのインクの液面の高さを調整することにより制御されている。これに限らず、インクジェットヘッド内のインクの圧力は、インク供給系のインクタンクおよびインク排出系のインクタンクのそれぞれのタンク内圧を調整することにより制御することとしてもよい。 4). In the above embodiment, the pressure of the ink in the ink jet head is controlled by adjusting the height of the liquid level of each ink in the ink tank of the ink supply system and the ink tank of the ink discharge system. The present invention is not limited to this, and the pressure of the ink in the ink jet head may be controlled by adjusting the tank internal pressures of the ink tank of the ink supply system and the ink tank of the ink discharge system.

図１０は、変形例のインクジェット装置のシステム構成を示す図である。インクジェット装置２００は、インクジェットヘッド１０５と、インク供給系２０６と、インク排出系２０７と、インク再循環系２７３と、制御部２０８とを備える。インク供給系２０６は、インクタンク２７１と、インク供給系２０６のインクの流量を検出する流量センサ２７５とを含む。インク排出系２０７は、インクタンク２７２を含む。インク再循環系２７３は、インクタンク２７２からインクタンク２７１までインクを移送するためのポンプ２７４を含む。 FIG. 10 is a diagram illustrating a system configuration of an inkjet apparatus according to a modification. The ink jet apparatus 200 includes an ink jet head 105, an ink supply system 206, an ink discharge system 207, an ink recirculation system 273, and a control unit 208. The ink supply system 206 includes an ink tank 271 and a flow rate sensor 275 that detects the ink flow rate of the ink supply system 206. The ink discharge system 207 includes an ink tank 272. The ink recirculation system 273 includes a pump 274 for transferring ink from the ink tank 272 to the ink tank 271.

本変形例では、インク供給系２０６及びインク排出系２０７におけるインク循環時の圧力損失が十分小さい場合、インク供給系２０６内のインクの圧力Ｐ１は、インクタンク２７１のタンク内圧に相当し、インク排出系２０７内のインクの圧力Ｐ２は、インクタンク２７２のタンク内圧に相当する。インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力は、インクタンク２７１のタンク内圧とインクタンク２７２のタンク内圧の平均値となる。また、インクの流量は、インクタンク２７１のタンク内圧Ｐ１とインクタンク２７２のタンク内圧Ｐ２の差圧に依存する。 In this modification, when the pressure loss during ink circulation in the ink supply system 206 and the ink discharge system 207 is sufficiently small, the ink pressure P1 in the ink supply system 206 corresponds to the tank internal pressure of the ink tank 271 and the ink discharge The ink pressure P <b> 2 in the system 207 corresponds to the tank internal pressure of the ink tank 272. The ink pressure in the inkjet head 105 is an average value of the tank internal pressure of the ink tank 271 and the tank internal pressure of the ink tank 272. The ink flow rate depends on the differential pressure between the tank internal pressure P1 of the ink tank 271 and the tank internal pressure P2 of the ink tank 272.

制御部２０８は、インクタンク２７１のタンク内圧Ｐ１およびインクタンク２７２のタンク内圧Ｐ２をそれぞれの目標値Ｐｔ１、Ｐｔ２に近づくようにフィードバック制御する。具体的には、制御部２０８は、圧力センサ２７６を用いてインクタンク２７１のタンク内圧Ｐ１を検出し、検出されたタンク内圧Ｐ１が目標値Ｐｔ１に近づくようにポンプ２７８を動作させる。同様に、制御部２０８は、圧力センサ２７７を用いてインクタンク２７２のタンク内圧Ｐ２を検出し、検出されたタンク内圧Ｐ２が目標値Ｐｔ２に近づくようにポンプ２７９を動作させる。目標値Ｐｔ１、Ｐｔ２は、前述の実施形態と同様の手法により設定される。これにより、インクジェットヘッド１０５内のインクの圧力Ｐおよびインクの流量Ｑを適切な範囲に調整することができる。また、インク循環流路内の圧力損失が無視できない装置構成の場合、目標値Ｐｔ１、Ｐｔ２は圧力損失を考慮した値を用いてもよい。また、制御部２０８は、流量センサ２７５を用いてインクの流量を監視することとしてもよい。これにより、インクの流量の異常を検出することができる。 The control unit 208 performs feedback control so that the tank internal pressure P1 of the ink tank 271 and the tank internal pressure P2 of the ink tank 272 approach the target values Pt1 and Pt2. Specifically, the control unit 208 detects the tank internal pressure P1 of the ink tank 271 using the pressure sensor 276, and operates the pump 278 so that the detected tank internal pressure P1 approaches the target value Pt1. Similarly, the control unit 208 detects the tank internal pressure P2 of the ink tank 272 using the pressure sensor 277, and operates the pump 279 so that the detected tank internal pressure P2 approaches the target value Pt2. The target values Pt1 and Pt2 are set by the same method as in the above-described embodiment. Accordingly, the ink pressure P and the ink flow rate Q in the inkjet head 105 can be adjusted to appropriate ranges. In the case of an apparatus configuration in which the pressure loss in the ink circulation channel cannot be ignored, the target values Pt1 and Pt2 may be values that take pressure loss into consideration. The control unit 208 may monitor the ink flow rate using the flow rate sensor 275. Thereby, an abnormality in the ink flow rate can be detected.

インクジェット装置は、例えば、有機ＥＬ表示パネルおよびＴＦＴ基板の製造過程で利用可能である。 The ink jet device can be used, for example, in the manufacturing process of an organic EL display panel and a TFT substrate.

１１インクタンク
１２ポンプ
１３インクタンク
１４ポンプ
１６圧力センサ
１７圧力センサ
２３ポンプ
２４ポンプ
１００インクジェット装置
１０１基台
１０２ガイドレール
１０３ステージ
１０４インクジェットヘッド支持構造
１０５インクジェットヘッド
１０６インク供給系
１０７インク排出系
１０８制御部
１０９インクタンク
１１０底板
１１１ノズル孔
１３０外枠
１３１仕切壁
１３２仕切壁
１３３仕切壁
１３４インク供給室
１３５インク排出室
１３６インク室
１３７インク供給口
１３８インク排出口
１３９インク供給孔
１４０インク排出孔
１４１アクチュエータ
１５０天板
２００インクジェット装置
２０６インク供給系
２０７インク排出系
２０８制御部
２７１インクタンク
２７２インクタンク
２７３インク再循環系
２７４ポンプ
２７５流量センサ
２７６、２７７圧力センサ
２７８、２７９ポンプ 11 Ink Tank 12 Pump 13 Ink Tank 14 Pump 16 Pressure Sensor 17 Pressure Sensor 23 Pump 24 Pump 100 Inkjet Device 101 Base 102 Guide Rail 103 Stage 104 Inkjet Head Support Structure 105 Inkjet Head 106 Ink Supply System 107 Ink Ejection System 108 Control Unit 109 Ink tank 110 Bottom plate 111 Nozzle hole 130 Outer frame 131 Partition wall 132 Partition wall 133 Partition wall 134 Ink supply chamber 135 Ink discharge chamber 136 Ink supply port 138 Ink discharge port 139 Ink supply port 139 Ink supply hole 140 Ink discharge hole 141 Actuator 150 Top plate 200 Inkjet device 206 Ink supply system 207 Ink discharge system 208 Control unit 271 Ink tank 272 Ink tank 273 Ink recirculation System 274 Pump 275 Flow rate sensor 276, 277 Pressure sensor 278, 279 Pump

Claims

An ink jet head having a nozzle hole for ejecting ink; an ink supply system for supplying ink to the ink jet head; an ink discharge system for discharging ink from the ink jet head; and a large amount of ink in the ink jet head. A control unit that controls the pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure and the flow rate Q (ml / min) of the ink that flows from the ink supply system to the ink discharge system through the ink jet head to a target value. Each of the target values of the pressure P and the flow rate Q is
2.0 ≦ Q ≦ 6.0
Q <1.1P + 7.2
Q <−2.7P + 6.8
An inkjet device that meets the requirements.

The target values of the pressure P and the flow rate Q are respectively
2.5 ≦ Q ≦ 5.5
Q ≦ 1.1P + 6.9
P <0
The inkjet apparatus according to claim 1, wherein:

The said control part adjusts the said pressure P and the said flow volume Q by adjusting the pressure of the ink in the said ink supply system, and the pressure of the ink in the said ink discharge system, respectively. Inkjet device.

An inkjet device control method comprising: an inkjet head having a nozzle hole for ejecting ink; an ink supply system for supplying ink to the inkjet head; and an ink discharge system for discharging ink from the inkjet head,
A target value is a pressure P (kPa) based on the atmospheric pressure of ink in the ink jet head and a flow rate Q (ml / min) of ink flowing from the ink supply system to the ink discharge system through the ink jet head. The target values of the pressure P and the flow rate Q are
2.0 ≦ Q ≦ 6.0
Q <1.1P + 7.2
Q <−2.7P + 6.8
A method for controlling an inkjet apparatus that satisfies the above requirements.

The target values of the pressure P and the flow rate Q are respectively
2.5 ≦ Q ≦ 5.5
Q ≦ 1.1P + 6.9
P <0
The method for controlling an ink jet device according to claim 4, wherein:

6. The method of controlling an ink jet apparatus according to claim 4, wherein the pressure P and the flow rate Q are adjusted by adjusting the pressure of ink in the ink supply system and the pressure of ink in the ink discharge system, respectively. .