JP2015191845A - Device and method for inspecting organic el device, and method of manufacturing organic el device - Google Patents

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嘉之 丹野
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純一 長瀬
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智也 木樽
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device and the like for an organic EL device, capable of efficiently inspecting a light-emitting state of a plurality of organic EL elements formed on a belt-like substrate having flexibility.SOLUTION: An inspection device 1 for an organic EL device 20 includes: a communication part 43 which grips a substrate 21 while being in contact with a conduction area of at least one organic EL element 19, which moves so as to send out the organic EL element to the downstream side, which separates the gripped substrate, which can move to an upstream side so that the substrate can be gripped while being in contact with the conduction area of the organic EL element on the upstream side, and which can make the organic EL element emit light by making the conduction area energized in a state where the substrate is gripped; and an inspection part 47 which inspects a light-emission state of the organic EL element made to emit light.

Description

本発明は、有機ＥＬデバイスの検査装置、検査方法及び製造方法に関する。   The present invention relates to an organic EL device inspection apparatus, inspection method, and manufacturing method.

近年、次世代の低消費電力の発光表示装置に用いられるデバイスとして有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子を備えたものが注目されている。有機ＥＬ素子は、互いに反対の極性を有する第１及び第２の電極層と、これらの間に配された有機ＥＬ層とを有するように、基材上に形成されるようになっている。また、第１及び第２の電極層に、それぞれ対応した電流が供給（通電）されることによって、第１及び第２の電極層と重なり合っている有機ＥＬ層が発光するようになっている。   In recent years, devices equipped with organic EL (electroluminescence) elements have attracted attention as devices used in next-generation low-power-consumption light-emitting display devices. The organic EL element is formed on a substrate so as to have first and second electrode layers having opposite polarities, and an organic EL layer disposed therebetween. In addition, when the corresponding currents are supplied (energized) to the first and second electrode layers, the organic EL layer overlapping the first and second electrode layers emits light.

この種の有機ＥＬデバイスでは、ロール状に巻回された可撓性を有する帯状の基材を繰り出し、繰り出された基材上に、第１の電極層、有機ＥＬ層、及び、第１の電極層と反対の極性を有する第２の電極層が、この順に、所望の形状の有機ＥＬ素子となるように形成されている。また、有機ＥＬ素子が、連続して複数形成されている（特許文献１参照）。   In this type of organic EL device, a flexible strip-shaped substrate wound in a roll shape is fed out, and the first electrode layer, the organic EL layer, and the first electrode are drawn on the drawn-out substrate. A second electrode layer having a polarity opposite to that of the electrode layer is formed in this order so as to form an organic EL element having a desired shape. Further, a plurality of organic EL elements are continuously formed (see Patent Document 1).

特開２００８−２８７９９６号公報JP 2008-287996 A

ここで、有機ＥＬデバイスは、出荷される前に、その有機ＥＬ素子が良好に発光するか否かを検査する必要がある。   Here, before an organic EL device is shipped, it is necessary to inspect whether or not the organic EL element emits light satisfactorily.

しかし、上記特許文献１に示されるように、可撓性を有する帯状の基材上に複数形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査する装置や方法は、未だ提案されていない。このため、かかる有機ＥＬデバイスを効率良く検査する装置や方法が要望されている。   However, as shown in Patent Document 1, an apparatus and method for inspecting the light emission state of a plurality of organic EL elements formed on a flexible belt-like base material have not yet been proposed. For this reason, there is a demand for an apparatus and method for efficiently inspecting such an organic EL device.

本発明は、上記事情に鑑み、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法を提供することを課題とする。   In view of the above circumstances, the present invention provides an organic EL device inspection apparatus and inspection method capable of efficiently inspecting the light emission states of a plurality of organic EL elements formed on a flexible strip-shaped substrate, and It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing an organic EL device using the inspection method.

本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置は、
有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記複数の有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
通電部と、検査部とを備え、
前記通電部は、少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することが可能であり、且つ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させることが可能であり、
前記検査部は、前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査する。 An inspection apparatus for an organic EL device according to the present invention comprises:
An inspection apparatus for organic EL devices,
The organic EL device has a flexible strip-shaped substrate and a plurality of organic EL elements formed along the longitudinal direction on the substrate,
Each of the plurality of organic EL elements includes a first electrode layer having a first current-carrying region, and a second electrode having a polarity opposite to that of the first electrode layer and having a second current-carrying region. A layer and an organic EL layer disposed between the first and second electrode layers, and the first and second energization regions are energized to emit light,
An energization section and an inspection section;
The energization part grips the base material so as to contact the first and second energization regions of at least one of the organic EL elements, moves to send the organic EL element to the downstream side, and moves the grasped base. It is possible to move the upstream side so that the base material can be gripped so that the material is released and in contact with the first and second energization regions of at least one organic EL element on the upstream side, In addition, it is possible to cause the organic EL element to emit light by energizing the first and second energization regions in a state where the substrate is grasped.
The inspection unit inspects a light emission state of an organic EL element that emits light by energization by the energization unit.

かかる構成によれば、通電部によって少なくとも１つの有機ＥＬ素子を下流側に送り、第１及び第２の通電領域に通電させて有機ＥＬ素子を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査部によって検査することができる。また、通電部が、掴んだ基材を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することによって、上流側の有機ＥＬ素子を上記と同様にして掴み、上記と同様にして、発光状態を検査することができる。これにより、基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る。 According to such a configuration, at least one organic EL element is sent to the downstream side by the energization unit, the first and second energization regions are energized to cause the organic EL element to emit light, and the emission state of the emitted organic EL element is changed. It can be inspected by the inspection unit. In addition, the energization unit separates the grasped base material and allows the base material to be grasped so as to be in contact with the first and second energization regions of at least one organic EL element on the upstream side. By moving, the upstream organic EL element can be grasped in the same manner as described above, and the light emission state can be inspected in the same manner as described above. Thereby, it becomes possible to inspect efficiently the light emission state of the plurality of organic EL elements formed on the substrate.
Therefore, the light emission state of the plurality of organic EL elements formed on the flexible belt-like base material can be efficiently inspected.

また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査装置においては、
前記通電部が前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で停止し、該通電部が停止している状態で前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記検査部が、停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査することが好ましい。 Moreover, in the inspection apparatus of the organic EL device having the above configuration,
The energization unit is stopped in a state where the organic EL element is sent to the downstream side, and the organic EL element is caused to emit light while the energization unit is stopped,
It is preferable that the inspection unit inspects the light emission state of the stopped organic EL element.

かかる構成によれば、精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to accurately inspect the light emission state.

本発明の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
前記有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、
前記通電部によって、該通電部が少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を前記下流側に送るように移動させ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させる第１の工程と、
前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材を離し、前記上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記通電部を前記上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子の発光状態を連続して検査する。 The inspection method of the organic EL device of the present invention is as follows.
Using the organic EL device inspection apparatus,
The energization unit grips the base material so that the energization unit contacts the first and second energization regions of at least one of the organic EL elements, and moves the organic EL element to send to the downstream side. A first step of causing the organic EL element to emit light by energizing the first and second energization regions while holding the base material;
A second step of inspecting the light emission state of the organic EL element that has been made to emit light by energization by the energization unit, by the inspection unit;
After the inspection, the gripped base material is separated, and the energization part is arranged so that the base material can be gripped so as to come into contact with the first and second energization regions of the at least one organic EL element on the upstream side. A third step of moving to the upstream side,
By repeating the first, second and third steps, the light emitting states of the plurality of organic EL elements are continuously inspected.

かかる構成によれば、上記と同様、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る。   According to such a configuration, as described above, the light emission states of the plurality of organic EL elements formed on the flexible belt-like base material can be efficiently inspected.

また、上記構成の有機ＥＬデバイスの検査方法においては、
前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で前記通電部を停止させ、
停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査することが好ましい。 Moreover, in the inspection method of the organic EL device having the above configuration,
Stopping the energization part in a state where the organic EL element is sent to the downstream side,
It is preferable to inspect the light emission state of the stopped organic EL element by the inspection unit.

かかる構成によれば、上記と同様、精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to inspect the light emission state with high accuracy as described above.

本発明に係る有機ＥＬデバイスの製造方法は、
可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を、長手方向に沿って複数形成する工程と、
前記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備える。 The manufacturing method of the organic EL device according to the present invention includes:
A first electrode layer having a first current-carrying region and a polarity opposite to that of the first electrode layer and having a second current-carrying region on a flexible belt-like base material A step of forming a plurality of organic EL elements having two electrode layers and an organic EL layer disposed between the first and second electrode layers along the longitudinal direction;
And a step of obtaining an inspected organic EL device by inspecting a light emitting state of the formed organic EL element by using the organic EL device inspection method.

かかる構成によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を効率良く検査することができるため、検査済みの有機ＥＬデバイスを効率良く得ることができる。   According to such a configuration, since the organic EL device inspection method is used, the light-emitting state of the formed organic EL element can be efficiently inspected, so that an inspected organic EL device can be efficiently obtained. .

以上の通り、本発明によれば、可撓性を有する帯状の基材上に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光状態を、効率良く検査し得る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに、該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法が提供される。   As described above, according to the present invention, an inspection apparatus and an inspection method for an organic EL device capable of efficiently inspecting the light emission states of a plurality of organic EL elements formed on a flexible strip-shaped substrate, and An organic EL device manufacturing method using the inspection method is provided.

本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置で用いられる有機ＥＬデバイスを模式的に示す上面図The top view which shows typically the organic EL device used with the test | inspection apparatus of the organic EL device which concerns on one Embodiment of this invention 本実施形態で用いられる有機ＥＬデバイスを図１の左方から模式的に示す側面図The side view which shows typically the organic electroluminescent device used by this embodiment from the left of FIG. 本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの検査装置を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the inspection apparatus of the organic EL device which concerns on one Embodiment of this invention 本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置を図１の上方から概略的に示す上面図The top view which shows schematically the inspection apparatus of the organic EL device of this embodiment from the upper direction of FIG. 本実施形態における通電部を概略的に示す上面図The top view which shows roughly the electricity supply part in this embodiment 本実施形態における通電部を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the electricity supply part in this embodiment 本実施形態における通電部を概略的に示す正面図The front view which shows schematically the electricity supply part in this embodiment 本実施形態において通電部が基材を掴んでいない状態を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the state in which the electricity supply part is not holding the base material in this embodiment 本実施形態において通電部が基材を掴んだ状態を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the state in which the electricity supply part grabbed the base material in this embodiment 本実施形態において通電部が基材を掴んで下流側に移動し、静止した状態で通電させた状態を概略的に示す側面図In this embodiment, the energization part grabs the base material, moves to the downstream side, and is a side view schematically showing a state where the energization is performed in a stationary state 本実施形態において通電部が通電を停止し、基材を解放した状態を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the state which the electricity supply part stopped electricity supply and released the base material in this embodiment 本実施形態において通電部が上流側に移動した状態を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the state which the electricity supply part moved to the upstream in this embodiment 本発明の一実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置を概略的に示す側面図The side view which shows schematically the manufacturing apparatus of the organic EL device which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図The top view which shows schematically the organic EL device used for the manufacturing apparatus of the organic EL device which concerns on other embodiment of this invention. 本発明の他の実施形態に係る有機ＥＬデバイスの製造装置に用いられる有機ＥＬデバイスを概略的に示す上面図The top view which shows schematically the organic EL device used for the manufacturing apparatus of the organic EL device which concerns on other embodiment of this invention.

以下、本発明に係る有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法、並びに該検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。   Hereinafter, embodiments of an inspection apparatus and inspection method for an organic EL device according to the present invention and a method for manufacturing an organic EL device using the inspection method will be described with reference to the drawings.

まず、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置について説明する。   First, the organic EL device inspection apparatus of the present embodiment will be described.

図１、図２に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１で検査される有機ＥＬデバイス２０は、可撓性を有する帯状の基材２１と、該基材２１上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子１９とを有している（図４参照）。
有機ＥＬ素子１９は、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有し、前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって発光するように構成されている。
具体的には、有機ＥＬ素子１９は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、及び第２の電極層２７が、この順に形成されてなる。第１の電極層２３が陽極層である場合、第２の電極層２７は陰極層であり、第１の電極層２３が陰極層である場合、第２の電極層２７は陽極層である。
また、基材２１は、その主体をなす支持基材２１ａと、該支持基材２１ａ上に積層された絶縁層２１ｂとの積層体であり、基材２１の絶縁層２１ｂ上に有機ＥＬ素子１９が形成されている。
さらに、有機ＥＬ素子１９は、保護フィルム２８によって覆われており、具体的には、第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａの一部が露出するように、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７が、保護フィルム２８によって覆っている。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, an organic EL device 20 to be inspected by the organic EL device inspection apparatus 1 of the present embodiment has a strip-shaped base material 21 having flexibility and a longitudinal shape on the base material 21. And a plurality of organic EL elements 19 formed along the direction (see FIG. 4).
The organic EL element 19 includes a first electrode layer 23 having a first current-carrying region 23a, a second electrode having a polarity opposite to that of the first electrode layer 23 and having a second current-carrying region 27a. It has an electrode layer 27 and an organic EL layer 25 disposed between the first and second electrode layers 23 and 27, and emits light when energized to the first and second energization regions 23a and 27a. Is configured to do.
Specifically, the organic EL element 19 has a first electrode layer 23, an organic EL layer 25, and a second electrode layer 27 formed in this order on a flexible belt-like base material 21. Become. When the first electrode layer 23 is an anode layer, the second electrode layer 27 is a cathode layer, and when the first electrode layer 23 is a cathode layer, the second electrode layer 27 is an anode layer.
The base material 21 is a laminated body of a supporting base material 21a that is the main body and an insulating layer 21b laminated on the supporting base material 21a. The organic EL element 19 is formed on the insulating layer 21b of the base material 21. Is formed.
Furthermore, the organic EL element 19 is covered with a protective film 28. Specifically, the first electrode layer 23 is so exposed that a part of the first energized region 23a and the second energized region 27a are exposed. The organic EL layer 25 and the second electrode layer 27 are covered with a protective film 28.

また、有機ＥＬ素子１９は、第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５及び第２の電極層２７の重なり合う領域が、有機ＥＬ層２５が発光する発光領域Ａを構成しており、該発光領域Ａよりも外側にそれぞれ突出するように形成されて露出している第１の電極層２３及び第２の電極層２７が、それぞれ第１の通電領域２３ａ及び第２の通電領域２７ａを構成している。そして、かかる第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されることによって、発光領域Ａが発光するようになっている。
なお、有機ＥＬ素子１９は、図１、図２の構成に特に限定されるものではない。
また、第１の電極層２３、第２の電極層２７及び有機ＥＬ層２５の形成材料も、特に限定されるものではない。 In the organic EL element 19, the overlapping region of the first electrode layer 23, the organic EL layer 25, and the second electrode layer 27 constitutes a light emitting region A in which the organic EL layer 25 emits light. The first electrode layer 23 and the second electrode layer 27 that are formed and exposed so as to protrude outward from A respectively constitute a first energization region 23a and a second energization region 27a, respectively. Yes. The light emitting area A emits light when the first and second energized areas 23a and 27a are energized.
In addition, the organic EL element 19 is not specifically limited to the structure of FIG. 1, FIG.
In addition, the material for forming the first electrode layer 23, the second electrode layer 27, and the organic EL layer 25 is not particularly limited.

図３、図４に示すように、本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査装置１は、複数の有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１が巻回されてなる（有機ＥＬデバイス２０が巻回されてなる）ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して供給する第１の供給部４１と、複数の有機ＥＬ素子１９のうち少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように、供給された前記基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように移動することが可能であり、且つ、前記基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させることが可能な通電部４３と、前記通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する検査部４７と、検査部４７によって検査された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に巻き取って回収する第１の回収部４９と、通電部４３及び検査部４７が収容される箱状部５１とを備えている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the organic EL device inspection apparatus 1 of the present embodiment is formed by winding a base material 21 on which a plurality of organic EL elements 19 are formed (the organic EL device 20 is wound). A first supply unit 41 that feeds and supplies the base material 21 together with the organic EL element 19 from the roll body 30, and the first and first of the at least one organic EL element 19 among the plurality of organic EL elements 19. The supplied base material 21 is gripped so as to come into contact with the two energization regions 23a and 27a, the organic EL element 19 is moved so as to be sent downstream, the gripped base material 21 is released, and the upstream side It is possible to move the base material 21 so as to be in contact with the first and second energization regions 23a, 27a of the at least one organic EL element 19, and the base material 21 In the gripped state In addition, the current-carrying unit 43 that can cause the organic EL element 19 to emit light by energizing the second current-carrying regions 23a and 27a, and the light-emitting state of the organic EL element 19 that emits light by the current-carrying by the current-carrying unit 43 An inspection unit 47, a first recovery unit 49 that winds and recovers the organic EL element 19 inspected by the inspection unit 47 together with the base material 21, and a box-shaped unit 51 in which the energization unit 43 and the inspection unit 47 are accommodated. It has.

第１の供給部４１は、上記ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して通電部４３に供給するものである。かかる第１の供給部４１は、通電部４３による基材２１の送り速度（すなわち有機ＥＬ素子１９の移動速度）に応じて、基材２１を繰り出すようになっている。
また、第１の回収部４９は、第１の供給部４１から供給され、支持部４３で支持されつつ検査部４７を通過した基材２１を、検査部４７で検査された有機ＥＬ素子１９と共に巻き取って回収するようになっている。すなわち、第１の供給部４１及び回収部４９によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。さらに換言すれば、第１の供給部４１及び回収部４９によって、有機ＥＬデバイス２０が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。 The first supply unit 41 feeds the base material 21 together with the organic EL element 19 from the roll body 30 and supplies it to the energization unit 43. The first supply unit 41 feeds the base material 21 in accordance with the feeding speed of the base material 21 by the energization unit 43 (that is, the moving speed of the organic EL element 19).
The first collection unit 49 is supplied from the first supply unit 41 and supported by the support unit 43 while passing through the inspection unit 47 together with the organic EL element 19 inspected by the inspection unit 47. It is designed to be rolled up and collected. That is, the base material 21 is fed out and wound up by the first supply unit 41 and the recovery unit 49. In other words, the organic EL device 20 is fed out and wound up by the first supply unit 41 and the recovery unit 49.

通電部４３は、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動し、掴んだ基材２１を離し、これよりも上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴むことができるように移動することが可能であり、且つ、基材２１を掴んだ状態で第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて上記有機ＥＬ素子１９を発光させることが可能なものである。また、通電部４３は、基材２１を掴んだ状態で（すなわち、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａにそれぞれ接触した状態で）、これら第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを介して第１及び第２の電極層２３、２７に通電させて有機ＥＬ素子１９（すなわち、上記発光領域Ａに位置する有機ＥＬ層２５）を発光させるものである。
より具体的には、かかる通電部４３を介して、少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに同時に通電されることによって、該少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９が発光するようになっている。
なお、本実施形態では、通電部４３が、１つの有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材を掴んで移動させる態様を示すが、本発明においては、通電部４３が、２つ以上の有機ＥＬ素子１９の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように基材２１を掴んで移動させる態様を採用してもよい。すなわち、通電部４３が、複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴んでもよい。 The energizing unit 43 moves so as to grasp the base material 21 so as to be in contact with the first and second energizing regions 23a, 27a of the at least one organic EL element 19 and send the organic EL element 19 to the downstream side, The gripped base material 21 is released and moved so that the base material 21 can be gripped so as to come into contact with the first and second current-carrying regions 23a and 27a of at least one organic EL element 19 on the upstream side of the base material 21. In addition, the organic EL element 19 can emit light by energizing the first and second energization regions 23a and 27a while holding the base material 21. In addition, the energization unit 43 holds the first and second energization regions 23a and 27a in a state where the substrate 21 is gripped (that is, in contact with the first and second energization regions 23a and 27a, respectively). Then, the first and second electrode layers 23 and 27 are energized to cause the organic EL element 19 (that is, the organic EL layer 25 located in the light emitting region A) to emit light.
More specifically, the first and second current-carrying regions 23a and 27a of the at least one organic EL element 19 are energized simultaneously through the current-carrying unit 43, whereby the at least one organic EL element 19 is It emits light.
In the present embodiment, the energization unit 43 shows a mode in which the base material is grasped and moved so as to be in contact with the first and second energization regions 23a and 27a of one organic EL element 19, but in the present invention, May adopt a mode in which the energization unit 43 holds and moves the base material 21 so as to be in contact with the first and second energization regions 23 a and 27 a of the two or more organic EL elements 19. That is, the energization unit 43 may hold the plurality of organic EL elements 19 as one unit.

本実施形態では、図５〜図７に示すように、通電部４３は、基材２１の長手方向（図３の左右方向）に沿って移動可能な支持部４４と、該支持部４４に支持されて、基材２１を掴むことが可能であり、且つ、第１及び第２通電領域２３ａ、２７ａに接触可能な把持部４５とを備えている。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 5 to 7, the energizing portion 43 is supported by the support portion 44 that can move along the longitudinal direction of the base material 21 (the left-right direction in FIG. 3), and the support portion 44. Thus, the base material 21 can be gripped, and the gripping portion 45 capable of contacting the first and second energization regions 23a and 27a is provided.

具体的には、把持部４５は、基材２１に対して互いに反対側に配された第１の把持片４５ａ及び第２の把持片４５ｂを有している。   Specifically, the grip portion 45 includes a first grip piece 45 a and a second grip piece 45 b that are arranged on opposite sides of the base material 21.

より具体的には、第１の把持片４５ａは、基材２１上に形成された有機ＥＬ素子１９に対向する側（図６、図７の上方）に配されており、その主体をなす矩形のフレーム状の第１の基体部４５ａａと、該第１の基体部４５ａａから基材２１側（図６、図７の下方）に向かって、且つ、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように突出している２つの導電部４５ａｂとを有している。   More specifically, the first gripping piece 45a is arranged on the side facing the organic EL element 19 formed on the base material 21 (upper side in FIGS. 6 and 7), and is a rectangular that forms the main body. Frame-shaped first base portion 45aa, and the first and second energization regions 23a and 27a from the first base portion 45aa toward the base material 21 (downward in FIGS. 6 and 7). And two conductive portions 45ab projecting so as to be in contact with each other.

第１の基体部４５ａａがフレーム状に形成されていることによって、その開口を通して、有機ＥＬ素子１９の発光領域Ａを検査部４７に向けて露出させるようになっている。
また、導電部４５ａｂは、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触し得るように、基材２１の幅方向において離間した位置において長手方向に延びている。該導電部４５ａｂは、導電性材料によって形成されており、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに接触している状態で不図示の電流供給部からそれぞれ対応する極性を有する電流が供給されて、導電部４５ａｂを介して該第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。
第１の基体部４５ａａの形成材料としては、例えば、アルミニウム等の金属材料等が挙げられる。また、導電部４５ａｂの形成材料としては、例えば、導電シリコーンゴム（カーボンシリコーンゴム）等の導電性を有する弾性材料等が挙げられる。導電部４５ａｂが、弾性材料によって形成されることによって、把持部４５が、より確実に基材２１を掴むことができるようになっている。
かかる第１の基体部４５ａａの大きさや形状は、特に限定されるものではなく、また、かかる導電部４５ａｂの形状及び配置も、特に限定されるものではない。 Since the first base portion 45aa is formed in a frame shape, the light emitting region A of the organic EL element 19 is exposed toward the inspection portion 47 through the opening.
Further, the conductive portion 45ab extends in the longitudinal direction at a position separated in the width direction of the base material 21 so as to be in contact with the first and second energization regions 23a and 27a. The conductive portion 45ab is made of a conductive material, and currents having corresponding polarities are supplied from current supply portions (not shown) in contact with the first and second energization regions 23a and 27a. Thus, the first and second energization regions 23a and 27a are energized through the conductive portion 45ab.
Examples of the material for forming the first base body 45aa include a metal material such as aluminum. Examples of the material for forming the conductive portion 45ab include conductive elastic materials such as conductive silicone rubber (carbon silicone rubber). By forming the conductive portion 45ab from an elastic material, the grip portion 45 can grip the base material 21 more reliably.
The size and shape of the first base portion 45aa are not particularly limited, and the shape and arrangement of the conductive portion 45ab are not particularly limited.

第２の把持片４５ｂは、その主体をなす第２の基体部４５ｂａと、該第２の基体部４５ｂａから基材２１側（図６、図７の上方）に突出して基材２１（の有機ＥＬ素子１９が形成されていない面）と接触し得るように突出しているグリップ部４５ｂｂとを有している。
第２の基体部４５ｂａの形成材料としては、例えば、アルミニウム等の金属材料等が挙げられる。また、グリップ部４５ｂｂの形成材料としては、例えば、シリコーンゴムＡ７０等の弾性材料等が挙げられる。グリップ部４５ｂｂが、弾性材料によって形成されることによって、把持部４５が、より確実に基材２１を掴むことができるようになっている。
かかる第２の基体部４５ｂａ及びグリップ部４５ｂｂの大きさや形状は、特に限定されるものではない。また、本発明においては、第２の把持片４５ｂが、グリップ部４５ｂｂを有しない構成を採用することもできる。 The second gripping piece 45b protrudes from the second base portion 45ba, which is the main body, to the base 21 side (upward in FIGS. 6 and 7) from the second base portion 45ba. And a grip part 45bb protruding so as to be in contact with the surface on which the EL element 19 is not formed.
Examples of the material for forming the second base portion 45ba include metal materials such as aluminum. Examples of the material for forming the grip portion 45bb include elastic materials such as silicone rubber A70. By forming the grip portion 45bb from an elastic material, the grip portion 45 can grip the base material 21 more reliably.
The size and shape of the second base portion 45ba and the grip portion 45bb are not particularly limited. In the present invention, a configuration in which the second gripping piece 45b does not have the grip portion 45bb can also be adopted.

また、第１の把持片４５ａ及び第２の把持片４５ｂは、基材２１を掴むように互いに近づき、また、掴んだ基材２１を離すように互いに遠ざかるように構成されている。これにより、把持部４５が、基材２１を掴み、掴んだ基材２１を離すようになっている。また、より具体的には、導電部４５ａｂとグリップ部４５ｂｂとで基材２１を掴むようになっている。   Further, the first grip piece 45 a and the second grip piece 45 b are configured to approach each other so as to grip the base material 21 and to move away from each other so as to separate the gripped base material 21. Thereby, the gripping part 45 grips the base material 21 and releases the gripped base material 21. More specifically, the base member 21 is gripped by the conductive portion 45ab and the grip portion 45bb.

このように、通電部４３が上記支持部４４と上記把持部４５とを有していることによって、通電部４３が少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を掴み、検査部４７によって検査される位置まで下流側に移動させ、移動させた後、通電部４３によって第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子１９を検査部４７によって検査可能な状態にすることができる。また、検査終了後、通電部４７が基材２１を離し、これよりも上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を掴むことができる位置まで、基材２１と接触することなく移動させることができる。そして、上流側の有機ＥＬ素子１９を上記と同様にして掴み、移動させ、発光させて検査可能な状態にすることができる。
また、通電部４３の移動距離、通電部４３に電流を供給するタイミングは、有機ＥＬ素子１９の大きさ、有機ＥＬ素子１９同士の間隔、検査部４７の配置等に応じて適宜設定することができる。
また、本実施形態では、通電部４３が有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、該通電部４３が停止し、停止している状態で、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電されるようになっている。 As described above, the energization unit 43 includes the support unit 44 and the gripping unit 45, so that the energization unit 43 grasps at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19). After being moved downstream to a position to be inspected by the inspection unit 47 and moved, the first and second energization regions 23a and 27a are energized by the energization unit 43 to cause the organic EL element 19 to emit light and emit light. The organic EL element 19 can be in a state in which it can be inspected by the inspection unit 47. In addition, after completion of the inspection, the energization unit 47 releases the base material 21 and reaches the position where the base material 21 can be gripped by at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19) on the upstream side. Can be moved without contact. Then, the organic EL element 19 on the upstream side can be grasped and moved in the same manner as described above to emit light and be ready for inspection.
In addition, the moving distance of the energization unit 43 and the timing of supplying current to the energization unit 43 can be appropriately set according to the size of the organic EL elements 19, the distance between the organic EL elements 19, the arrangement of the inspection unit 47, and the like. it can.
In the present embodiment, after the energization unit 43 sends the organic EL element 19 to the downstream side, the first and second energizations in the organic EL element 19 with the energization unit 43 stopped and stopped. The regions 23a and 27a are energized.

検査部４７は、通電部４３による通電によって発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するものである。
具体的には、かかる検査部４７は、発光している有機ＥＬ素子１９を撮影し、撮影結果を電子信号に変換して、不図示の制御部に送信するようになっている。 The inspection unit 47 inspects the light emission state of the organic EL element 19 that emits light by energization by the energization unit 43.
Specifically, the inspection unit 47 captures the organic EL element 19 that emits light, converts the captured result into an electronic signal, and transmits the electronic signal to a control unit (not shown).

また、本実施形態では、検査部４７は、通電部４３によって移動させた有機ＥＬ素子１９が静止している状態で、有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査するようになっている。   In the present embodiment, the inspection unit 47 inspects the light emission state of the organic EL element 19 while the organic EL element 19 moved by the energization unit 43 is stationary.

また、検査部４７は、２つ配されており、有機ＥＬ素子１９の発光状態を、該有機ＥＬ素子１９に対して垂直な方向（有機ＥＬ素子１９の接線と垂直な方向）と、斜めの方向（有機ＥＬの接線と垂直な方向に対して傾斜した方向）とから検査できるようになっている。また、かかる斜めの方向としては、例えば上記垂直な方向に対して３０°傾斜した方向を採用することができる。   In addition, two inspection units 47 are arranged, and the light emitting state of the organic EL element 19 is set in a direction perpendicular to the organic EL element 19 (a direction perpendicular to the tangent to the organic EL element 19) and an oblique direction. Inspection can be performed from the direction (direction inclined with respect to the direction perpendicular to the tangent to the organic EL). Further, as the oblique direction, for example, a direction inclined by 30 ° with respect to the perpendicular direction can be adopted.

また、本実施形態では、上記の通り、通電部４３が停止している状態で第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止しながら発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を、検査部４７が検査するようになっている。   Further, in the present embodiment, as described above, the light emission state of the organic EL element 19 that emits light while standing by energizing the first and second energization regions 23a and 27a while the energization unit 43 is stopped. Is inspected by the inspection unit 47.

このような検査部４７として、本実施形態では、エリアセンサカメラが採用されている。エリアセンサカメラは、複数の受像素子の列が、複数配されており（複数ライン）、所定の領域を１つの画像として一度に撮影し得るものである。かかる構成を採用した場合、通電部４３を移動させて有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、該通電部４３を停止させつつ第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止している有機ＥＬ素子１９を発光させてその画像を撮影し、撮影結果（検査結果）を上記した制御部に電子データとして送信することになる。このような検査部４７としては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、株式会社キーエンス製のデジタル高速２１００万画素カラーカメラＸＧ−Ｈ２１００Ｃが挙げられる。   As such an inspection unit 47, an area sensor camera is employed in the present embodiment. The area sensor camera has a plurality of rows of image receiving elements arranged (a plurality of lines), and can capture a predetermined area as one image at a time. When such a configuration is adopted, the energization unit 43 is moved and the organic EL element 19 is sent to the downstream side, and then the first and second energization regions 23a and 27a are energized while the energization unit 43 is stopped. The organic EL element 19 is made to emit light to take an image thereof, and the photographing result (inspection result) is transmitted as electronic data to the control unit described above. As such an inspection unit 47, a commercially available product can be used. Examples of the commercially available product include a digital high-speed 21 million pixel color camera XG-H2100C manufactured by Keyence Corporation.

かかる検査部４７によって撮影された結果（検査結果）は、上記の通り、電子信号に変換されて不図示の制御部に送信され、検査部４７から送信された電子信号は、制御部に備えられた分析回路によって分析され、分析された電気信号が、所定の基準信号（閾値）と比較され、該閾値を下回ったとき、発光状態が不良であると判定されるようになっている。例えば、発光状態の指標としては、輝度や彩度等が挙げられる。
なお、本発明においては、検査部４７は、上記エリアセンサカメラに特に限定されるものではない。 As described above, the result (inspection result) photographed by the inspection unit 47 is converted into an electronic signal and transmitted to a control unit (not shown), and the electronic signal transmitted from the inspection unit 47 is provided in the control unit. The electrical signal analyzed and analyzed by the analyzing circuit is compared with a predetermined reference signal (threshold value), and when it falls below the threshold value, it is determined that the light emission state is defective. For example, as an indicator of the light emission state, brightness, saturation, and the like can be given.
In the present invention, the inspection unit 47 is not particularly limited to the area sensor camera.

箱状部５１は、検査部４７が有機ＥＬ素子１９の発光状態を十分に検査できるように、有機ＥＬ素子１９の発光部分及び検査部４７の周囲を暗くするためのものである。本実施形態では、該箱状部５１内に、上記支持部４３、導電部４５及び検査部４７が配された構成を採用するが、箱状部５１内に配されるものは、これらに特に限定されるものではない。   The box-shaped portion 51 is for darkening the light emitting portion of the organic EL element 19 and the periphery of the inspection portion 47 so that the inspection portion 47 can sufficiently inspect the light emission state of the organic EL element 19. In the present embodiment, a configuration in which the support part 43, the conductive part 45, and the inspection part 47 are arranged in the box-shaped part 51 is adopted. It is not limited.

次に、上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイスの検査方法について説明する。   Next, an organic EL device inspection method using the inspection apparatus 1 will be described.

本実施形態の有機ＥＬデバイスの検査方法は、
上記検査装置１を用いた有機ＥＬデバイス２０の検査方法であって、
前記通電部４３によって、該通電部４３が少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動させ、前記基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させる第１の工程と、
前記通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を前記検査部４７によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように前記通電部４３を上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子１９の発光状態を連続して検査する。 The inspection method of the organic EL device of the present embodiment is as follows:
An inspection method of the organic EL device 20 using the inspection apparatus 1,
The energizing part 43 causes the energizing part 43 to contact the first and second energizing regions 23a, 27a of at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19). The organic EL element 19 is moved so as to be sent to the downstream side, and the organic EL element 19 is caused to emit light by energizing the first and second current-carrying regions 23a and 27a in a state where the substrate 21 is grasped. A first step;
A second step of inspecting the light emitting state of the organic EL element 19 that has been caused to emit light by energization by the energization unit 43 by the inspection unit 47;
After the inspection, the grasped base material 21 is separated so as to come into contact with the first and second current-carrying regions 23a and 27a of at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19) on the upstream side. A third step of moving the energization part 43 upstream so that the substrate 21 can be gripped,
By repeating the first, second and third steps, the light emitting states of the plurality of organic EL elements 19 are continuously inspected.

具体的には、まず、図８に示すように、第１の供給部４１によって、ロール体３０から、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を繰り出して供給する。   Specifically, first, as shown in FIG. 8, the base 21 on which the organic EL element 19 is formed is fed and supplied from the roll body 30 by the first supply unit 41.

次に、図９に示すように、該通電部４３を少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触させつつ、図１０に示すように、該通電部４３によって基材２１を掴み、該有機ＥＬ素子１９を下流側に送るように移動させる。また、通電部４３が基材２１を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて前記有機ＥＬ素子１９を発光させる（第１の工程）。本実施形態では、第１の工程において、通電部４３によって基材２１を移動させて有機ＥＬ素子１９を下流側に送った後、通電部４３を停止させつつ第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させ、静止している有機ＥＬ素子１９を発光させる。
また、通電部４３による通電によって発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査部４７によって検査する（第２の工程）。本実施形態では、第２の工程において、静止している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する。
検査後、図１１に示すように、通電部４３による通電を停止し、通電部４３に掴んだ基材２１を離させ、図１２に示すように、通電部４３を、該通電部４３が上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができる位置に移動させる（第３の工程）。 Next, as shown in FIG. 9, the current-carrying portion 43 is brought into contact with the first and second current-carrying regions 23a and 27a of at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19). As shown in FIG. 10, the base material 21 is grasped by the energizing portion 43 and moved so as to send the organic EL element 19 to the downstream side. Further, the organic EL element 19 is caused to emit light by energizing the first and second energization regions 23a and 27a in a state where the energization unit 43 holds the substrate 21 (first step). In the present embodiment, in the first step, after the base member 21 is moved by the energization unit 43 and the organic EL element 19 is sent to the downstream side, the first and second energization regions 23a are stopped while the energization unit 43 is stopped. , 27a, the stationary organic EL element 19 emits light.
Further, the light emitting state of the organic EL element 19 that has been made to emit light by energization by the energization unit 43 is inspected by the inspection unit 47 (second step). In the present embodiment, the light emitting state of the stationary organic EL element 19 is inspected in the second step.
After the inspection, as shown in FIG. 11, the energization by the energization unit 43 is stopped, the base material 21 gripped by the energization unit 43 is released, and the energization unit 43 is upstream of the energization unit 43 as shown in FIG. The base material 21 is moved to a position where it can be gripped so as to be in contact with the first and second energization regions 23a and 27a of at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19) on the side ( (3rd process).

さらに、通電部４３によって上記と同様にして基材２１を掴んで第１の工程を実施し、上記次の有機ＥＬ素子１９を検査する第２の工程を実施し、基材２１を離した通電部４３を、さらに次の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触しながら基材２１を掴むことができる位置まで移動させる第３の工程を実施する。さらに、第１〜第３の工程を繰り返して、有機ＥＬ素子１９の発光状態を連続して検査する。なお、第１〜第３の工程を繰り返し行う際には、いずれの工程で一連の検査を終了してもよい。
また、検査した有機ＥＬ素子１９を、第１の回収部４９によって基材２１と共に巻き取って、回収する。すなわち、検査した有機ＥＬデバイス２０を、第１の回収部４９によって回収する。 Further, the energization unit 43 holds the base material 21 in the same manner as described above, performs the first step, performs the second step of inspecting the next organic EL element 19, and energizes the base material 21 separated. The portion 43 is further moved to a position where the substrate 21 can be gripped while being in contact with the first and second current-carrying regions 23a and 27a of the next at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19). A third step of moving is performed. Further, the first to third steps are repeated to continuously inspect the light emission state of the organic EL element 19. In addition, when performing the 1st-3rd process repeatedly, you may complete | finish a series of inspections in any process.
Further, the inspected organic EL element 19 is wound and collected together with the base material 21 by the first collecting unit 49. That is, the inspected organic EL device 20 is recovered by the first recovery unit 49.

上記した通り、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法によれば、通電部４３によって少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）を下流側に送り、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａに通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、発光させた有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査部４７によって検査することができる。また、通電部４３が、掴んだ基材２１を離し、上流側の少なくとも１つの有機ＥＬ素子１９（ここでは１つの有機ＥＬ素子１９）の第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａと接触するように前記基材２１を掴むことができるように上流側に移動することによって、次の有機ＥＬ素子１９を上記と同様にして掴み、発光状態の検査を行うことができる。これにより、基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、連続的に検査することが可能となる。
従って、可撓性を有する帯状の基材２１上に形成された複数の有機ＥＬ素子１９の発光状態を、効率良く検査し得る。
また、通電部４３が基材２１を離して上流側に移動することによって、有機ＥＬ素子１９を繰り返し送る際に、通電部４３が、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａや基材２１上を摺動する場合よりも、通電部４３と第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａ等との間に生じる摩擦が抑制されるため、有機ＥＬデバイス２０の損傷を抑制し得る。 As described above, according to the inspection apparatus 1 and the inspection method of the organic EL device 20 of the present embodiment, the energization unit 43 sends at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19) to the downstream side, The first and second energization regions 23 a and 27 a are energized to cause the organic EL element 19 to emit light, and the light emission state of the emitted organic EL element 19 can be inspected by the inspection unit 47. Further, the energization unit 43 separates the gripped base material 21 and comes into contact with the first and second energization regions 23a and 27a of at least one organic EL element 19 (here, one organic EL element 19) on the upstream side. Thus, by moving the base material 21 upstream so that the base material 21 can be gripped, the next organic EL element 19 can be gripped in the same manner as described above, and the light emission state can be inspected. Thereby, it becomes possible to continuously inspect the light emission states of the plurality of organic EL elements 19 formed on the substrate 21.
Therefore, the light emission state of the plurality of organic EL elements 19 formed on the flexible belt-like base material 21 can be efficiently inspected.
Further, when the energization unit 43 moves away from the base material 21 and moves upstream, when the organic EL element 19 is repeatedly sent, the energization unit 43 causes the first and second energization regions 23a and 27a and the base material 21 to move. Since the friction which arises between the electricity supply part 43 and the 1st and 2nd electricity supply area | regions 23a and 27a is suppressed rather than the case where it slides on, damage to the organic EL device 20 can be suppressed.

また、本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の検査装置１及び検査方法においては、
前記通電部４３が前記有機ＥＬ素子１９を下流側に送った状態で停止し、停止している状態で前記有機ＥＬ素子１９を発光させ、
前記検査部４７が、停止している前記有機ＥＬ素子１９を検査することが好ましい。 Moreover, in the inspection apparatus 1 and the inspection method of the organic EL device 20 of the present embodiment,
The energization unit 43 stops in a state where the organic EL element 19 is sent to the downstream side, and causes the organic EL element 19 to emit light in a stopped state,
It is preferable that the inspection unit 47 inspects the stopped organic EL element 19.

かかる構成によれば、より精度良く発光状態の検査を行うことが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to inspect the light emission state with higher accuracy.

次に、上記検査方法を用いた有機ＥＬデバイスの製造方法について説明する。
本実施形態の有機ＥＬデバイス２０の製造方法は、可撓性を有する帯状の基材２１上に、第１の通電領域２３ａを有する第１の電極層２３と、前記第１の電極層２３と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域２７ａを有する第２の電極層２７と、これら第１及び第２の電極層２３、２７間に配された有機ＥＬ層２５とを有する有機ＥＬ素子１９を、長手方向に複数形成する工程と、
上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得る工程とを備えている。 Next, a method for manufacturing an organic EL device using the above inspection method will be described.
The manufacturing method of the organic EL device 20 of the present embodiment includes a first electrode layer 23 having a first current-carrying region 23a on a flexible strip-shaped base material 21, and the first electrode layer 23, Organic having a second electrode layer 27 having the opposite polarity and having a second current-carrying region 27a, and an organic EL layer 25 disposed between the first and second electrode layers 23, 27 Forming a plurality of EL elements 19 in the longitudinal direction;
And a step of obtaining an inspected organic EL device 20 by inspecting the light emission state of the formed organic EL element 19 using the above-described organic EL device inspection method.

上記有機ＥＬ素子１９を形成する工程においては、例えば、図１３に示すような製造装置６０を用い、真空チャンバー３内において、ロール状に巻回された基材２１を第２の供給部５から繰り出して供給し、供給した基材２１をキャンローラ７によって支持しつつ下流側に送り、該キャンローラ７に支持されている基材２１上に、スパッタ源や蒸着源等の層形成部９ａ、９ｂ、９ｃによってそれぞれ第１の電極層２３、有機ＥＬ層２５、第２の電極層２７を順次形成して、基材２１上に有機ＥＬ素子１９を連続して複数形成し、第２の回収部６によって、形成された有機ＥＬ素子１９を基材２１と共に有機ＥＬデバイス２０として巻き取って回収して、上記ロール体３０とする。また、当該工程では、第２の供給部５及び第２の回収部６によって、基材２１が繰り出され且つ巻き取られるようになっている。   In the step of forming the organic EL element 19, for example, using the manufacturing apparatus 60 as shown in FIG. 13, the base material 21 wound in a roll shape is removed from the second supply unit 5 in the vacuum chamber 3. The substrate 21 fed out and supplied, and sent to the downstream side while being supported by the can roller 7, the layer forming portion 9 a such as a sputtering source or a vapor deposition source on the substrate 21 supported by the can roller 7, The first electrode layer 23, the organic EL layer 25, and the second electrode layer 27 are sequentially formed by 9b and 9c, respectively, and a plurality of organic EL elements 19 are continuously formed on the base material 21, and the second recovery is performed. The formed organic EL element 19 is wound up and collected together with the base material 21 as the organic EL device 20 by the unit 6 to obtain the roll body 30. Moreover, in the said process, the base material 21 is drawn | fed out by the 2nd supply part 5 and the 2nd collection | recovery part 6, and is wound up.

そして、有機ＥＬ１９の発光状態を検査する工程においては、上記した検査方法を用いて、上記工程で形成されたロール体３０から、有機ＥＬ素子１９と共に基材２１を繰り出して、上記と同様に有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査し、第１の回収部４９によって回収する。   And in the process which test | inspects the light emission state of organic EL19, using the above-mentioned inspection method, the base material 21 is drawn | fed out with the organic EL element 19 from the roll body 30 formed at the said process, and it is organic like the above. The light emission state of the EL element 19 is inspected and collected by the first collection unit 49.

本実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法によれば、上記有機ＥＬデバイスの検査方法を用いることから、形成された有機ＥＬ素子１９を効率良く検査して、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。しかも、損傷を抑制された、検査済みの有機ＥＬデバイス２０を得ることができる。   According to the manufacturing method of the organic EL device of the present embodiment, since the organic EL device inspection method is used, the formed organic EL element 19 is efficiently inspected to obtain the inspected organic EL device 20. Can do. In addition, the inspected organic EL device 20 in which damage is suppressed can be obtained.

本発明の有機ＥＬデバイスの検査装置及び検査方法の実施形態は、上記の通りであるが、本発明は上記実施形態に限定されず本発明の意図する範囲内において適宜設計変更可能である。
例えば、上記実施形態の検査装置１では、有機ＥＬ素子１９が通電部４３によって送られ、停止している状態で、該有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用したが、本発明の検査装置１及び検査方法は、上記実施形態に特に限定されるものでない。例えば、通電部４３によって有機ＥＬ素子１９を送っている間に、第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａによって通電させて有機ＥＬ素子１９を発光させ、移動しながら発光している有機ＥＬ素子１９の発光状態を検査する構成を採用してもよい。この場合、検査部４７としては、例えばラインセンサカメラを採用することができる。ラインセンサカメラは、複数の受像素子が一列（１ライン）に配されており、移動する対象物の画像を連続的に一列ずつ撮影し、各列の撮影結果をつなぎ合わせて全体として１つの画像を撮影し得るものである。かかるラインセンサカメラとしては、市販品を用いることができ、該市販品としては、例えば、デジタルカラーラインスキャンカメラＳＵＣＬ２０２５Ｔ３（日本エレクトロセンサリデバイス株式会社製）が挙げられる。また、かかる検査部４７は、上記受像素子が基材２１の幅方向（移動方向と垂直な方向）に沿って位置するように配され、支持部４３の回転に伴って移動する１つの有機ＥＬ素子１９の画像を一列ずつ連続的に撮影し、全体として１つの画像データを得るように構成し得る。 The embodiments of the inspection apparatus and the inspection method of the organic EL device of the present invention are as described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments and can be appropriately changed in design within the intended scope of the present invention.
For example, in the inspection apparatus 1 of the above embodiment, the configuration in which the light emission state of the organic EL element 19 is inspected while the organic EL element 19 is sent and stopped by the energization unit 43 is employed. The inspection apparatus 1 and the inspection method are not particularly limited to the above embodiment. For example, while the organic EL element 19 is sent by the energization unit 43, the organic EL element 19 emits light by being energized by the first and second energization regions 23a and 27a, and emits light while moving. You may employ | adopt the structure which test | inspects 19 light emission states. In this case, for example, a line sensor camera can be employed as the inspection unit 47. In the line sensor camera, a plurality of image receiving elements are arranged in one row (one line), and images of moving objects are continuously taken one by one, and the photographing results of each row are joined together to form one image as a whole. An image can be taken. As such a line sensor camera, a commercially available product can be used, and examples of the commercially available product include a digital color line scan camera SUCL2025T3 (manufactured by Nippon Electro Sensory Devices Co., Ltd.). In addition, the inspection unit 47 is arranged so that the image receiving element is positioned along the width direction (direction perpendicular to the movement direction) of the base material 21, and moves as the support unit 43 rotates. An image of the EL element 19 may be continuously taken one by one to obtain one image data as a whole.

また、有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等は、上記実施形態の構成に特に限定されるものではなく、また、通電部４５の形状等も、適用する有機ＥＬ素子１９における第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａの配置や形状等に応じて適宜設計すればよい。
例えば、図１４に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第２の通電領域２７ａを有するように構成され、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。あるいは、図示しないが、これとは逆に、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１の通電領域２３ａを有し、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。
また、図１５に示すように、有機ＥＬデバイス２０が、複数の有機ＥＬ素子１９に共通する第１及び第２の通電領域２３ａ、２７ａを有するように構成され、通電部４３が、これら複数の有機ＥＬ素子１９の通電領域と同時に接触するように、これら複数の有機ＥＬ素子１９を１ユニットとして掴むように構成されていてもよい。 Further, the arrangement and shape of the first and second energization regions 23a and 27a in the organic EL element 19 are not particularly limited to the configuration of the above embodiment, and the shape and the like of the energization unit 45 are also applicable. What is necessary is just to design suitably according to arrangement | positioning, shape, etc. of the 1st and 2nd electricity supply area | regions 23a and 27a in the organic EL element 19 to perform.
For example, as shown in FIG. 14, the organic EL device 20 is configured to have a second energization region 27 a common to the plurality of organic EL elements 19, and the energization unit 43 includes the plurality of organic EL elements 19. The plurality of organic EL elements 19 may be configured to be held as a unit so as to be in contact with the energized region at the same time. Alternatively, although not shown, the organic EL device 20 has a first current-carrying region 23 a common to the plurality of organic EL elements 19, and the current-carrying portion 43 is connected to the plurality of organic EL elements 19. The plurality of organic EL elements 19 may be configured to be held as a unit so as to be in contact with the energized region at the same time.
Further, as shown in FIG. 15, the organic EL device 20 is configured to have first and second current-carrying regions 23 a and 27 a that are common to the plurality of organic EL elements 19, and the current-carrying unit 43 includes The plurality of organic EL elements 19 may be held as one unit so as to be in contact with the energization region of the organic EL element 19 simultaneously.

また、上記実施形態の有機ＥＬデバイスの製造方法も、上記実施形態に特に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、有機ＥＬ素子１９を形成した後、基材２１を一旦巻き取ってロール体３０とし、該ロール体３０から基材２１を供給して検査を行う態様を示したが、その他、有機ＥＬ素子１９が形成された基材２１を巻き取らず、そのまま通電部４３へ供給して検査を行う態様を採用してもよい。   Moreover, the manufacturing method of the organic EL device of the said embodiment is not specifically limited to the said embodiment. For example, in the above embodiment, after forming the organic EL element 19, the substrate 21 is temporarily wound to form the roll body 30, and the inspection is performed by supplying the substrate 21 from the roll body 30. In addition, a mode in which the substrate 21 on which the organic EL element 19 is formed is not wound up but is supplied to the energization unit 43 as it is for inspection may be employed.

１：有機ＥＬデバイスの検査装置、３：真空チャンバー、５：第２の供給部、６：第２の回収部、７：キャンローラ、９ａ〜９ｃ：層形成部、１９：有機ＥＬ素子、２０：有機ＥＬデバイス、２１：基材、２３：第１の電極層、２３ａ：第１の通電領域、２５：有機ＥＬ層、２７：第２の電極層、２７ａ：第２の通電領域、３０：ロール体、４１：第１の供給部、４３：通電部、４４：支持部、４５：把持部、４７：検査部、４９：第１の回収部、５１箱状部、６０：有機ＥＬデバイスの製造装置 1: Inspection device for organic EL device, 3: Vacuum chamber, 5: Second supply unit, 6: Second recovery unit, 7: Can roller, 9a to 9c: Layer formation unit, 19: Organic EL element, 20 : Organic EL device, 21: substrate, 23: first electrode layer, 23a: first energization region, 25: organic EL layer, 27: second electrode layer, 27a: second energization region, 30: Roll body, 41: first supply unit, 43: energization unit, 44: support unit, 45: gripping unit, 47: inspection unit, 49: first recovery unit, 51 box-shaped unit, 60: organic EL device manufacturing device

Claims (5)

有機ＥＬデバイスの検査装置であって、
前記有機ＥＬデバイスは、可撓性を有する帯状の基材と、該基材上に長手方向に沿って形成された複数の有機ＥＬ素子とを有し、
前記複数の有機ＥＬ素子は、それぞれ第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有し、前記第１及び第２の通電領域に通電されることによって発光するようになっており、
通電部と、検査部とを備え、
前記通電部は、少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を下流側に送るように移動し、掴んだ前記基材を離し、上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記上流側に移動することが可能であり、且つ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させることが可能であり、
前記検査部は、前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を検査する有機ＥＬデバイスの検査装置。 An inspection apparatus for organic EL devices,
The organic EL device has a flexible strip-shaped substrate and a plurality of organic EL elements formed along the longitudinal direction on the substrate,
Each of the plurality of organic EL elements includes a first electrode layer having a first current-carrying region, and a second electrode having a polarity opposite to that of the first electrode layer and having a second current-carrying region. A layer and an organic EL layer disposed between the first and second electrode layers, and the first and second energization regions are energized to emit light,
An energization section and an inspection section;
The energization part grips the base material so as to contact the first and second energization regions of at least one of the organic EL elements, moves to send the organic EL element to the downstream side, and moves the grasped base. It is possible to move the upstream side so that the base material can be gripped so that the material is released and in contact with the first and second energization regions of at least one organic EL element on the upstream side, In addition, it is possible to cause the organic EL element to emit light by energizing the first and second energization regions in a state where the substrate is grasped.
The inspection unit is an inspection apparatus for an organic EL device that inspects a light emission state of an organic EL element that emits light by energization by the energization unit. 前記通電部が前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で停止し、該通電部が停止している状態で前記有機ＥＬ素子を発光させ、
前記検査部が、停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を検査する請求項１に記載の有機ＥＬデバイスの検査装置。 The energization unit is stopped in a state where the organic EL element is sent to the downstream side, and the organic EL element is caused to emit light while the energization unit is stopped,
The organic EL device inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit inspects a light emission state of the stopped organic EL element. 請求項１または２に記載された有機ＥＬデバイスの検査装置を用い、
前記通電部によって、該通電部が少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴み、該有機ＥＬ素子を前記下流側に送るように移動させ、前記基材を掴んだ状態で前記第１及び第２の通電領域に通電させて前記有機ＥＬ素子を発光させる第１の工程と、
前記通電部による通電によって発光させた有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する第２の工程と、
検査後、掴んだ前記基材を離し、前記上流側の少なくとも１つの前記有機ＥＬ素子の第１及び第２の通電領域と接触するように前記基材を掴むことができるように前記通電部を前記上流側に移動させる第３の工程とを備え、
前記第１、第２及び第３の工程を繰り返して、複数の前記有機ＥＬ素子の発光状態を連続して検査する有機ＥＬデバイスの検査方法。 Using the inspection apparatus for an organic EL device according to claim 1 or 2,
The energization unit grips the base material so that the energization unit contacts the first and second energization regions of at least one of the organic EL elements, and moves the organic EL element to send to the downstream side. A first step of causing the organic EL element to emit light by energizing the first and second energization regions while holding the base material;
A second step of inspecting the light emission state of the organic EL element that has been made to emit light by energization by the energization unit, by the inspection unit;
After the inspection, the gripped base material is separated, and the energization part is arranged so that the base material can be gripped so as to come into contact with the first and second energization regions of the at least one organic EL element on the upstream side. A third step of moving to the upstream side,
An inspection method for an organic EL device, in which the first, second, and third steps are repeated to continuously inspect the light emission states of the plurality of organic EL elements. 前記有機ＥＬ素子を前記下流側に送った状態で前記通電部の移動を停止させ、
停止している前記有機ＥＬ素子の発光状態を前記検査部によって検査する請求項３に記載の有機デバイスの検査方法。 Stop the movement of the energization part in a state where the organic EL element is sent to the downstream side,
The organic device inspection method according to claim 3, wherein the inspection unit inspects a light emission state of the stopped organic EL element. 可撓性を有する帯状の基材上に、第１の通電領域を有する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対の極性を有し、且つ、第２の通電領域を有する第２の電極層と、これら第１及び第２の電極層間に配された有機ＥＬ層とを有する有機ＥＬ素子を、長手方向に沿って複数形成する工程と、
請求項３または４に記載の有機ＥＬデバイスの検査方法を用いて、形成された有機ＥＬ素子の発光状態を検査することによって、検査済みの有機ＥＬデバイスを得る工程とを備えた有機ＥＬデバイスの製造方法。 A first electrode layer having a first current-carrying region and a polarity opposite to that of the first electrode layer and having a second current-carrying region on a flexible belt-like base material A step of forming a plurality of organic EL elements having two electrode layers and an organic EL layer disposed between the first and second electrode layers along the longitudinal direction;
A method of obtaining an inspected organic EL device by inspecting the light emission state of the formed organic EL element using the organic EL device inspection method according to claim 3. Production method.
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