JP2015191211A - display device - Google Patents

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卓英 倉永
Takahide Kuranaga
卓英 倉永
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Rekito Tsuruoka
歴人 鶴岡
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Norio Oku
規夫 奥
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device that is much higher in reliability of an electric connection between a terminal (bump) of a semiconductor integrated circuit element and wiring on a substrate even when there is a difference between a thermal expansion coefficient of the semiconductor integrated circuit element and a thermal expansion coefficient of a substrate having the semiconductor integrated circuit element mounted.SOLUTION: A display device comprises: a substrate that has a display area where a pixel circuit is formed in each pixel to thereby display an image; a semiconductor integrated circuit element (180) that has a bump (182) to be electrically connected to wiring formed on the substrate via an anisotropic conductive film; and a thermal expansion suppressive film (122) that is arranged between the substrate and the wiring via an insulating film, is overlapped on the semiconductor integrated circuit element in a planar view, has a hole (128) formed in at least one portion, and is composed of a material having a thermal expansion coefficient lower than that of the substrate.

Description

本発明は、表示装置に関する。   The present invention relates to a display device.

コンピュータ等の情報通信端末やテレビ受像機の表示デバイスとして、液晶表示装置が広く用いられている。また、有機EL(Electro-Luminescent)表示装置も、薄型の表示装置として知られている。このような薄型の表示装置の表示パネルは、基板上の表示領域の各画素に形成されたTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)を動作させることにより表示を行なう。ここで、TFTは、表示領域外に搭載される半導体集積回路素子である駆動IC(Integrated Circuit)により駆動されており、通常、駆動ICの端子(バンプ)と基板上の配線とは、異方性導電膜(ACF:Anisotropic Conductive Film)等を用いて接続される。   Liquid crystal display devices are widely used as display devices for information communication terminals such as computers and television receivers. An organic EL (Electro-Luminescent) display device is also known as a thin display device. The display panel of such a thin display device performs display by operating TFTs (Thin Film Transistors) formed in each pixel in the display area on the substrate. Here, the TFT is driven by a driving IC (Integrated Circuit) which is a semiconductor integrated circuit element mounted outside the display area. Usually, the terminal (bump) of the driving IC and the wiring on the substrate are anisotropic. They are connected using an ACF (Anisotropic Conductive Film) or the like.

特許文献1は、基板上に形成されたポリシリコンTFTの回路に重畳させてシリコンICを配置することにより、表示領域の周辺領域である額縁領域を小さくすることについて開示している。   Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses that a frame region which is a peripheral region of a display region is reduced by arranging a silicon IC so as to overlap with a circuit of a polysilicon TFT formed on a substrate.

特開2002−72233号公報JP 2002-72233 A

近年、使用される用途により、表示装置の基板が可撓性又は柔軟性のある材料により形成されたシートディスプレイが用いられることがある。このようなシートディスプレイの基板上に駆動ICを配置する場合には、基板と駆動ICとの熱膨張係数の差から環境温度によって電気的接続部分の位置がずれ、接続不良を起こすことが考えられる。特に熱硬化性の異方性導電膜を使用した場合には、接着時の熱により位置ずれを起こし、接続不良となる恐れがあった。   In recent years, a sheet display in which a substrate of a display device is formed of a flexible or flexible material may be used depending on an application to be used. When the driving IC is arranged on the substrate of such a sheet display, it is considered that the position of the electrical connection portion is shifted due to the environmental temperature due to the difference in the thermal expansion coefficient between the substrate and the driving IC, causing a connection failure. . In particular, when a thermosetting anisotropic conductive film is used, there is a risk of misalignment due to heat during bonding, resulting in poor connection.

本発明は上述の事情に鑑みてされたものであり、半導体集積回路素子の熱膨張係数とその半導体集積回路素子が載置された基板の熱膨張係数とに差がある場合であっても、半導体集積回路素子の端子(バンプ)と基板の配線との間の電気的接続の信頼性が、より高い表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when there is a difference between the thermal expansion coefficient of the semiconductor integrated circuit element and the thermal expansion coefficient of the substrate on which the semiconductor integrated circuit element is placed, An object of the present invention is to provide a display device with higher reliability of electrical connection between terminals (bumps) of a semiconductor integrated circuit element and wiring on a substrate.

本発明の表示装置は、各画素に画素回路が形成されることにより画像を表示する表示領域を有する基板と、前記基板上に形成された配線に、異方性導電膜を介して電気的に接続されるバンプを有する半導体集積回路素子と、前記基板と前記配線との間に絶縁膜を介して配置され、平面視で前記半導体集積回路素子と重畳し、少なくとも1箇所に穴が形成され、前記基板の熱膨張係数より低い熱膨張係数を有する材料からなる熱膨張抑制膜と、を備える表示装置である。   In the display device of the present invention, a pixel circuit is formed in each pixel, and a substrate having a display region for displaying an image and a wiring formed on the substrate are electrically connected to each other through an anisotropic conductive film. A semiconductor integrated circuit element having a bump to be connected, and an insulating film disposed between the substrate and the wiring, overlapping with the semiconductor integrated circuit element in a plan view, and a hole is formed in at least one place; And a thermal expansion suppression film made of a material having a thermal expansion coefficient lower than that of the substrate.

本発明の表示装置において、前記穴は、前記半導体集積回路素子の前記バンプの形成領域と重畳する領域に形成され、前記熱膨張抑制膜は、前記バンプの形成領域の周囲を囲むように形成されていてもよい。   In the display device of the present invention, the hole is formed in a region overlapping the bump formation region of the semiconductor integrated circuit element, and the thermal expansion suppression film is formed so as to surround the bump formation region. It may be.

本発明の表示装置において、前記バンプの形成領域は、前記表示領域側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される表示領域側バンプ形成領域と、前記表示領域側とは反対側で外部信号の入力端子側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される端子側バンプ形成領域とを有し、前記穴は、前記表示領域側バンプ形成領域と重畳する領域に形成され、前記熱膨張抑制膜は、端子側バンプ形成領域と重畳して形成されていてもよい。   In the display device of the present invention, the bump formation area includes a display area side bump formation area where the bump connected to the wiring extending to the display area side is formed, and an external signal on the opposite side to the display area side. A terminal-side bump forming region in which the bump connected to the wiring extending to the input terminal side is formed, and the hole is formed in a region overlapping the display region-side bump forming region, and the thermal expansion suppression The film may be formed so as to overlap with the terminal-side bump formation region.

本発明の表示装置において、前記バンプの形成領域は、前記表示領域側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される表示領域側バンプ形成領域と、前記表示領域側とは反対側で外部信号の入力端子側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される端子側バンプ形成領域とを有し、前記熱膨張抑制膜は、前記表示領域側バンプ形成領域と前記端子側バンプ形成領域との間を仕切る帯状部を有していてもよい。   In the display device of the present invention, the bump formation area includes a display area side bump formation area where the bump connected to the wiring extending to the display area side is formed, and an external signal on the opposite side to the display area side. A terminal-side bump forming region in which the bump connected to the wiring extending to the input terminal side is formed, and the thermal expansion suppressing film is formed between the display region-side bump forming region and the terminal-side bump forming region. You may have the strip | belt-shaped part which partitions off.

本発明の表示装置において、前記穴は、前記バンプに対してそれぞれ開けられていてもよい。   In the display device of the present invention, the holes may be formed in the bumps.

本発明の表示装置において、前記異方性導電膜は、熱硬化性であってもよい。また、前記熱膨張抑制膜は、ポリシリコンを含んでいてもよい。また、前記基板はポリイミドを含んでいてもよい。   In the display device of the present invention, the anisotropic conductive film may be thermosetting. The thermal expansion suppressing film may include polysilicon. The substrate may contain polyimide.

本発明の実施形態に係る表示装置について概略的に示す図である。It is a figure showing roughly about a display concerning an embodiment of the present invention. 図1のII−II線における断面を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically the cross section in the II-II line | wire of FIG. 平面視で駆動ICを拡大して示す概略図であり、バンプの配置と熱膨張抑制膜の配置について示す図である。It is the schematic which expands and shows drive IC by planar view, and is a figure shown about arrangement | positioning of a bump and arrangement | positioning of a thermal expansion suppression film | membrane. 図3と同様の視野により、熱膨張抑制膜の配置の第1の変形例について示す図である。It is a figure shown about the 1st modification of arrangement | positioning of a thermal expansion suppression film | membrane by the visual field similar to FIG. 図3と同様の視野により、熱膨張抑制膜の配置の第2の変形例について示す図である。It is a figure shown about the 2nd modification of arrangement | positioning of a thermal expansion suppression film | membrane by the visual field similar to FIG. 図3と同様の視野により、熱膨張抑制膜の配置の第3の変形例について示す図である。It is a figure shown about the 3rd modification of arrangement | positioning of a thermal expansion suppression film | membrane by the visual field similar to FIG.

以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the disclosure is merely an example, and those skilled in the art can easily conceive of appropriate modifications while maintaining the gist of the invention are naturally included in the scope of the present invention. In addition, the drawings may be schematically represented with respect to the width, thickness, shape, and the like of each part in comparison with actual aspects for the sake of clarity of explanation, but are merely examples, and the interpretation of the present invention is not limited. It is not limited. In addition, in the present specification and each drawing, elements similar to those described above with reference to the previous drawings are denoted by the same reference numerals, and detailed description may be omitted as appropriate.

図1には、本発明の実施形態に係る表示装置100が概略的に示されている。この図に示されるように、表示装置100は、TFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)が形成され、ポリイミド等の樹脂からなるTFT基板120と、TFT基板120に対向して配置される対向基板150とが貼り合わせられるように形成されている。表示装置100のTFT基板120及び対向基板150には、マトリクス状に配置された画素210からなる表示領域205が形成されている。ここで、TFT基板120の材料にはポリイミドを用いることを例にしたがこれ以外の可撓性又は柔軟性のある絶縁材料を用いることができる。また、対向基板150も、TFT基板120と同様に、可撓性又は柔軟性のある絶縁材料を用いることができるが、対向基板150を配置せずに、TFT基板120のみの構成としてもよい。   FIG. 1 schematically shows a display device 100 according to an embodiment of the present invention. As shown in this figure, the display device 100 includes a TFT substrate 120 formed of a resin such as polyimide, on which a TFT (Thin Film Transistor) is formed, and a counter substrate 150 disposed to face the TFT substrate 120. Are formed so that they can be bonded together. A display region 205 including pixels 210 arranged in a matrix is formed on the TFT substrate 120 and the counter substrate 150 of the display device 100. Here, polyimide is used as an example of the material of the TFT substrate 120, but other flexible or flexible insulating materials can be used. The counter substrate 150 can also be made of a flexible or flexible insulating material like the TFT substrate 120, but the counter substrate 150 may not be provided and only the TFT substrate 120 may be used.

また、TFT基板120には、副画素212のそれぞれに配置された画素トランジスタの走査信号線に対してソース・ドレイン間を導通させるための電位を印加すると共に、画像信号線に対して副画素212の階調値に対応する電圧を印加する半導体集積回路素子である駆動IC(Integrated Circuit)180が載置され、更に外部から画像信号等を入力するためのFPC(Flexible Printed Circuits)181が取付けられている。なお、表示領域205における表示方式は、液晶を用いて輝度を制御するものであっても、有機EL等の自発光素子を用いて輝度を制御するものであってもよく、またその他の方式で表示されるものであってもよい。   Further, the TFT substrate 120 is applied with a potential for conducting between the source and the drain with respect to the scanning signal line of the pixel transistor arranged in each of the sub-pixels 212, and at the same time with respect to the image signal line. A driving IC (Integrated Circuit) 180, which is a semiconductor integrated circuit element that applies a voltage corresponding to the gradation value, is mounted, and an FPC (Flexible Printed Circuits) 181 for inputting an image signal or the like from the outside is mounted. ing. Note that the display method in the display area 205 may be a method of controlling luminance using liquid crystal, a method of controlling luminance using a self-luminous element such as an organic EL, and the like. It may be displayed.

図2は、図1のII−II線における断面を概略的に示す図である。この断面図に示されるように、駆動IC180は、TFT基板120と対向する面に、TFT基板120上の金属配線123と電気的に接続するための突起であるバンプ182を複数有している。なお図では説明を分かりやすくするために、バンプ182の数を減らして記載している。TFT基板120上には、例えばSiO又はSiN等の絶縁材料からなる絶縁膜121が成膜され、その上には例えばTi/Al/Tiが順に重ねられたサンドイッチ構造の金属配線123が形成されている。ここで金属配線123はサンドイッチ構造でなくともよく、Ag、Cuその他の金属等の導電材料を用いることができる。更に金属配線123の上には例えばITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)やその他導電性材料からなる透明導電膜124が形成され、金属配線123を覆っている。透明導電膜124上ではバンプ182の形成領域に重畳するように異方性導電膜184が配置されている。異方性導電膜184は、互いに対応するバンプ182と透明導電膜124との間を導通させ、隣合うバンプ182間の絶縁性を保ったまま、駆動IC180をTFT基板120に固定している。なお、本実施形態では透明導電膜124を有する構成としたが、金属配線123上に透明導電膜124が成膜されない構成であり、直接金属配線123に接続される異方性導電膜184が接続される構成であってもよい。   FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross section taken along line II-II in FIG. As shown in this cross-sectional view, the driving IC 180 has a plurality of bumps 182 that are protrusions for electrically connecting to the metal wiring 123 on the TFT substrate 120 on the surface facing the TFT substrate 120. In the drawing, the number of bumps 182 is reduced for easy understanding. An insulating film 121 made of an insulating material such as SiO or SiN is formed on the TFT substrate 120, and a metal wiring 123 having a sandwich structure in which, for example, Ti / Al / Ti are sequentially stacked is formed thereon. Yes. Here, the metal wiring 123 does not have to have a sandwich structure, and a conductive material such as Ag, Cu, or another metal can be used. Further, a transparent conductive film 124 made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), or other conductive material is formed on the metal wiring 123 to cover the metal wiring 123. On the transparent conductive film 124, an anisotropic conductive film 184 is disposed so as to overlap the formation region of the bump 182. The anisotropic conductive film 184 conducts between the corresponding bump 182 and the transparent conductive film 124, and fixes the driving IC 180 to the TFT substrate 120 while maintaining insulation between the adjacent bumps 182. In this embodiment, the transparent conductive film 124 is provided. However, the transparent conductive film 124 is not formed on the metal wiring 123, and the anisotropic conductive film 184 directly connected to the metal wiring 123 is connected. It may be configured.

ここで、絶縁膜121内には、駆動IC180の載置される位置に対応して、TFT基板120の熱膨張係数より低い熱膨張係数を有する材料からなる熱膨張抑制膜122を有している。熱膨張抑制膜122は、例えば、ポリシリコンからなる膜とすることができるが、TFT基板120の熱膨張係数より低い熱膨張係数を有する材料であれば適宜用いることができる。   Here, the insulating film 121 has a thermal expansion suppression film 122 made of a material having a thermal expansion coefficient lower than that of the TFT substrate 120 corresponding to the position where the driving IC 180 is placed. . The thermal expansion suppressing film 122 can be, for example, a film made of polysilicon, but any material having a thermal expansion coefficient lower than that of the TFT substrate 120 can be used as appropriate.

図3は、駆動IC180を平面視で拡大して示す概略図であり、バンプ182の配置と熱膨張抑制膜122の配置について示す図である。なお、図3においても説明のためにバンプ182の数を減らして記載しており、熱膨張抑制膜122の形成部分にはハッチングが施されている。この図に示されるように、複数のバンプ182が駆動IC180に形成されており、これらにそれぞれ対応して、異方性導電膜184を介してTFT基板120の透明導電膜124及び金属配線123が電気的に接続されている。熱膨張抑制膜122は、バンプ182の形成領域185に重畳しないように穴128を有しており、バンプ形成領域185を囲うように形成されている。   FIG. 3 is a schematic diagram showing the driving IC 180 in an enlarged view in plan view, and is a diagram showing the arrangement of the bumps 182 and the arrangement of the thermal expansion suppression film 122. In FIG. 3, the number of bumps 182 is also reduced for the sake of explanation, and the portion where the thermal expansion suppression film 122 is formed is hatched. As shown in this figure, a plurality of bumps 182 are formed on the drive IC 180, and the transparent conductive film 124 and the metal wiring 123 of the TFT substrate 120 are respectively corresponding to these via the anisotropic conductive film 184. Electrically connected. The thermal expansion suppression film 122 has a hole 128 so as not to overlap the bump 182 formation region 185, and is formed so as to surround the bump formation region 185.

TFT基板120はポリイミド等のように可撓性又は柔軟性のある絶縁材料が用いられるため、ガラスを材料とする基板と比較して熱膨張係数が高く、TFT基板120の熱膨張係数と駆動IC180の熱膨張係数との差により、環境温度が変化する(例えば高くなる)ことにより、TFT基板120の膨張が駆動IC180の膨張よりも大きくなり、各バンプ182に対応するTFT基板120の透明導電膜124及び金属配線123の位置がずれることが考えられる。このような場合であっても、駆動IC180が配置される領域に重畳して、熱膨張抑制膜122が配置されているため、各バンプ182に対応する透明導電膜124及び金属配線123の位置ずれを抑えることができる。つまり、駆動IC180の熱膨張係数とその駆動IC180が載置された基板の熱膨張係数に差があり、周囲の環境温度が変化する場合であっても、駆動IC180の端子(バンプ182)とTFT基板120の配線との間の位置ずれを抑え、信頼性の高い電気的接続とすることができる。   Since the TFT substrate 120 is made of a flexible or flexible insulating material such as polyimide, the coefficient of thermal expansion is higher than that of a substrate made of glass. When the environmental temperature changes (for example, becomes higher) due to a difference from the thermal expansion coefficient, the expansion of the TFT substrate 120 becomes larger than the expansion of the drive IC 180, and the transparent conductive film of the TFT substrate 120 corresponding to each bump 182 It is conceivable that the positions of 124 and the metal wiring 123 are shifted. Even in such a case, since the thermal expansion suppression film 122 is disposed so as to overlap with the region where the driving IC 180 is disposed, the displacement of the transparent conductive film 124 and the metal wiring 123 corresponding to each bump 182 is shifted. Can be suppressed. That is, even if there is a difference between the thermal expansion coefficient of the driving IC 180 and the thermal expansion coefficient of the substrate on which the driving IC 180 is mounted, and the ambient environmental temperature changes, the terminal (bump 182) of the driving IC 180 and the TFT A positional shift between the wiring of the substrate 120 and the wiring can be suppressed and highly reliable electrical connection can be achieved.

特に、異方性導電膜184として熱硬化性のものを使用する場合には、所定の位置に配置された駆動IC180を、異方性導電膜184を介して所定の圧力でTFT基板120に対して抑え、熱を加えることにより、駆動IC180とTFT基板120とを互いに固定する。この際に加えた熱により各バンプ182に対応する透明導電膜124及び金属配線123の位置ずれが発生することが考えられるが、このような場合であっても、熱膨張抑制膜122がTFT基板120の熱膨張を抑えることにより、位置ずれを防ぐことができる。ここで、異方性導電膜184には熱硬化性のものを使用することとしたが、紫外線硬化性等他の方法により硬化する性質の異方性導電膜184を使用してもよい。この場合においても、製造時及び使用時における熱膨張等の伸縮による位置ずれを抑制することができる。   In particular, when a thermosetting material is used as the anisotropic conductive film 184, the drive IC 180 disposed at a predetermined position is attached to the TFT substrate 120 with a predetermined pressure via the anisotropic conductive film 184. The drive IC 180 and the TFT substrate 120 are fixed to each other by applying heat and applying heat. Although it is conceivable that the transparent conductive film 124 and the metal wiring 123 corresponding to each bump 182 are displaced due to the heat applied at this time, even in such a case, the thermal expansion suppressing film 122 is formed on the TFT substrate. By suppressing the thermal expansion of 120, it is possible to prevent displacement. Here, a thermosetting material is used for the anisotropic conductive film 184, but an anisotropic conductive film 184 having a property of being cured by other methods such as ultraviolet curing may be used. Even in this case, it is possible to suppress displacement due to expansion and contraction such as thermal expansion during manufacture and use.

また、本実施形態においては、バンプ形成領域185の周囲にのみ熱膨張抑制膜122を形成し、バンプ形成領域185に重畳する領域には熱膨張抑制膜122を形成しないこととしている。これにより、バンプ182やバンプ182に接続される透明導電膜124及び金属配線123と、熱膨張抑制膜122との間に寄生容量を形成しないようにし、TFT基板120と駆動IC180との間の信号の授受における信頼性を確保することができる。   Further, in this embodiment, the thermal expansion suppression film 122 is formed only around the bump formation region 185, and the thermal expansion suppression film 122 is not formed in a region overlapping the bump formation region 185. As a result, the parasitic capacitance is not formed between the bump 182 and the transparent conductive film 124 and the metal wiring 123 connected to the bump 182 and the thermal expansion suppression film 122, and the signal between the TFT substrate 120 and the driving IC 180. Can ensure the reliability of the exchange.

また、例えば、TFT基板120に形成される半導体膜がポリシリコンにより形成される場合には、熱膨張抑制膜122をポリシリコンとすることにより、半導体膜の形成と同時に熱膨張抑制膜122を形成することができ、製造工程を簡略化することができる。また、駆動IC180に用いられる例えばシリコンと同様の材料を用いることにより、駆動IC180の熱膨張率と同様の熱膨張率とすることができ、位置ずれの抑制をより効果的なものとができる。   For example, when the semiconductor film formed on the TFT substrate 120 is formed of polysilicon, the thermal expansion suppression film 122 is formed simultaneously with the formation of the semiconductor film by using polysilicon as the thermal expansion suppression film 122. The manufacturing process can be simplified. Further, by using a material similar to that of silicon used for the driving IC 180, for example, the thermal expansion coefficient can be made the same as that of the driving IC 180, and the displacement can be suppressed more effectively.

図4は、図3と同様の視野による図であり、熱膨張抑制膜122の配置の第1の変形例について示す図である。この図に示されるように、バンプ形成領域185は、表示領域205側に延びる配線が接続されるバンプ182が形成される表示領域側バンプ形成領域186と、表示領域205側とは反対側でFPC181を介して外部信号が入力される入力端子側に延びる配線が接続されるバンプ182が形成される端子側バンプ形成領域187とを有している。熱膨張抑制膜122は、表示領域側バンプ形成領域186に穴128を有し、端子側バンプ形成領域187には重畳して形成されている。これは、表示領域205側には、各画素210の輝度を示すアナログ信号が出力される端子が形成されることから、FPC181が接続される端子が形成された側の端子と比較して、熱膨張抑制膜122が重畳されることにより形成される寄生容量の影響を受けやすく、表示品質に影響を与えてしまうため、表示領域側バンプ形成領域186に重畳する熱膨張抑制膜122を削除することにより、効率的に寄生容量の影響を排除し、信号の信頼性を高めることとしている。一方、端子側に延びる配線はデジタル信号の授受が主であり、寄生容量があったとしても信号の品質に与える影響は少なく、表示品質には影響しないため、熱膨張抑制膜122を形成し、効率的に熱膨張等の伸縮による位置ずれを抑制している。また、熱膨張抑制膜122をこのような形状とした場合であっても、図3の場合と同様の効果を得ることができる。   FIG. 4 is a view with the same field of view as FIG. 3, and is a diagram showing a first modification of the arrangement of the thermal expansion suppression film 122. As shown in this figure, the bump formation region 185 includes a display region side bump formation region 186 where a bump 182 to which a wiring extending toward the display region 205 is connected is formed, and an FPC 181 opposite to the display region 205 side. And a terminal-side bump forming region 187 in which a bump 182 to which a wiring extending to the input terminal to which an external signal is input is connected is formed. The thermal expansion suppression film 122 has a hole 128 in the display region side bump formation region 186 and is formed so as to overlap the terminal side bump formation region 187. This is because, on the display region 205 side, a terminal for outputting an analog signal indicating the luminance of each pixel 210 is formed, so that compared with the terminal on the side where the terminal to which the FPC 181 is connected is formed, The thermal expansion suppression film 122 that is superimposed on the display area side bump formation area 186 is deleted because the expansion suppression film 122 is easily influenced by the parasitic capacitance formed by the superimposition of the expansion suppression film 122 and affects display quality. Thus, the influence of the parasitic capacitance is efficiently eliminated, and the signal reliability is improved. On the other hand, the wiring extending to the terminal side mainly receives and transmits digital signals, and even if there is a parasitic capacitance, the influence on the signal quality is small and does not affect the display quality. Therefore, the thermal expansion suppression film 122 is formed, The position shift due to expansion and contraction such as thermal expansion is efficiently suppressed. Further, even when the thermal expansion suppression film 122 has such a shape, the same effect as in the case of FIG. 3 can be obtained.

また、この図に示されるように、表示領域側バンプ形成領域186は、端子側バンプ形成領域187と比較して、バンプ182が形成される密度が高く、同じ穴の大きさであっても効率的に寄生容量の影響を受けるバンプ182の数を削減し、位置ずれを防止することができる。   Further, as shown in this figure, the display area side bump forming area 186 has a higher density of forming the bumps 182 than the terminal side bump forming area 187, and even if the size of the hole is the same. In particular, the number of bumps 182 that are affected by the parasitic capacitance can be reduced, and displacement can be prevented.

図5は、図3と同様の視野による図であり、熱膨張抑制膜122の配置の第2の変形例について示す図である。第2の変形例においても、第1の変形例と同様に表示領域側バンプ形成領域186には穴128が形成されているが、第2の変形例では更に、端子側バンプ形成領域187にも独立に穴128が形成され、合わせて2つの穴128が形成されている。これにより、表示領域側バンプ形成領域186と端子側バンプ形成領域187との間には、これらを仕切る帯状部129が形成されることとなる。熱膨張抑制膜122をこのような形状とすることにより、表示領域側バンプ形成領域186に形成されたバンプ182に寄生容量が形成されないようにするだけでなく、端子側バンプ形成領域187に形成されたバンプ182にも寄生容量が形成されることがないようにすることができ、信号の信頼性を更に高めることができる。また、表示領域側バンプ形成領域186と端子側バンプ形成領域187との間に帯状に熱膨張抑制膜122を形成していることから、表示領域側バンプ形成領域186と端子側バンプ形成領域187との間においても、熱膨張による位置ずれを抑制することができるため、更に各バンプ182に対応する透明導電膜124及び金属配線123の位置ずれを抑えることができる。ここで、表示領域側バンプ形成領域186のバンプ間隔より広い幅とすることができ、この場合には、熱膨張抑制膜122形成時のフォトリソグラフィ工程等を比較的簡易な工程に保ちつつ、より効率的にTFT基板120の膨張を抑え、位置ずれを防止することができる。なお、本実施形態においては、帯状の熱膨張抑制膜122は、表示領域側バンプ形成領域186と端子側バンプ形成領域187との間に1つ形成することとしたが、表示領域側バンプ形成領域186内及び/又は端子側バンプ形成領域187内の例えばバンプ182間に帯状の熱膨張抑制膜122を平行に複数並べることとしてもよい。   FIG. 5 is a view based on the same field of view as FIG. 3, and is a diagram illustrating a second modification of the arrangement of the thermal expansion suppression film 122. In the second modified example, as in the first modified example, a hole 128 is formed in the display region side bump forming region 186. However, in the second modified example, the terminal side bump forming region 187 is also formed. A hole 128 is formed independently, and two holes 128 are formed together. As a result, a band-shaped portion 129 is formed between the display region side bump forming region 186 and the terminal side bump forming region 187 to partition them. By forming the thermal expansion suppressing film 122 in such a shape, not only the parasitic capacitance is not formed in the bump 182 formed in the display region side bump forming region 186 but also formed in the terminal side bump forming region 187. In addition, parasitic capacitance can be prevented from being formed on the bumps 182 and signal reliability can be further improved. Further, since the thermal expansion suppression film 122 is formed in a band shape between the display region side bump formation region 186 and the terminal side bump formation region 187, the display region side bump formation region 186, the terminal side bump formation region 187, Since the displacement due to thermal expansion can be suppressed even during the interval, the displacement of the transparent conductive film 124 and the metal wiring 123 corresponding to each bump 182 can be further suppressed. Here, it is possible to make the width wider than the bump interval of the display region side bump formation region 186. In this case, while maintaining the photolithography process or the like when forming the thermal expansion suppression film 122 in a relatively simple process, It is possible to efficiently suppress the expansion of the TFT substrate 120 and prevent positional deviation. In the present embodiment, one band-shaped thermal expansion suppression film 122 is formed between the display region side bump formation region 186 and the terminal side bump formation region 187. A plurality of strip-shaped thermal expansion suppression films 122 may be arranged in parallel between, for example, the bumps 182 in the 186 and / or the terminal-side bump formation region 187.

図6は、図3と同様の視野による図であり、熱膨張抑制膜122の配置の第3の変形例について示す図である。この変形例では、熱膨張抑制膜122は、各バンプ182にそれぞれ対応する穴128を有している。このような態様であっても上述の実施形態と同様の効果を得ることができると共に、熱膨張抑制膜122が各バンプ182間に対応する位置に形成されているため、より効率的にTFT基板120の膨張による位置ずれを抑えることができると共に、各バンプ182に対応する位置には、熱膨張抑制膜122が形成されていないため、寄生容量の形成を抑えることができる。   FIG. 6 is a view based on the same field of view as FIG. 3, and is a diagram illustrating a third modification of the arrangement of the thermal expansion suppression film 122. In this modification, the thermal expansion suppression film 122 has holes 128 corresponding to the respective bumps 182. Even if it is such an aspect, while being able to acquire the same effect as the above-mentioned embodiment, since the thermal expansion suppression film | membrane 122 is formed in the position corresponding between each bump 182, more efficiently TFT substrate Positional displacement due to expansion of 120 can be suppressed, and formation of parasitic capacitance can be suppressed because the thermal expansion suppression film 122 is not formed at the position corresponding to each bump 182.

上述の実施形態及び変形例においては、熱膨張抑制膜122に形成される穴128についていくつか例を挙げて示したが、寄生容量の形成を抑えると考えられる態様であれば、上述の例に限られず位置、大きさ及び数を適宜定めることができる。   In the above-described embodiments and modifications, some examples of the hole 128 formed in the thermal expansion suppression film 122 are shown. However, if the mode is considered to suppress the formation of parasitic capacitance, the above example is used. Without being limited thereto, the position, size, and number can be determined as appropriate.

また、上述の実施形態においては、TFT基板120に載置される駆動IC180について示したが、表示装置に用いられる基板に載置される半導体集積回路素子であれば、これ以外の基板及び半導体集積回路素子であってもよく、この場合であっても、半導体集積回路素子の熱膨張係数と基板の熱膨張係数との差により環境温度によってバンプと配線との間に生じるずれを抑えることができる。つまり、表示装置を駆動する半導体集積回路素子の熱膨張係数とその半導体集積回路素子が載置された基板の熱膨張係数とに差がある場合であっても、半導体集積回路素子の端子(バンプ)と基板の配線との間の電気的接続の信頼性を高めることができる。   In the above-described embodiment, the driving IC 180 mounted on the TFT substrate 120 has been described. However, other semiconductor integrated circuits and semiconductor integrated circuits may be used as long as they are semiconductor integrated circuit elements mounted on a substrate used in a display device. Even in this case, the difference between the thermal expansion coefficient of the semiconductor integrated circuit element and the thermal expansion coefficient of the substrate can suppress the deviation between the bump and the wiring due to the environmental temperature. . That is, even if there is a difference between the thermal expansion coefficient of the semiconductor integrated circuit element that drives the display device and the thermal expansion coefficient of the substrate on which the semiconductor integrated circuit element is mounted, the terminal (bump of the semiconductor integrated circuit element) ) And the wiring of the board can be improved in reliability.

本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。   In the scope of the idea of the present invention, those skilled in the art can conceive various changes and modifications, and it is understood that these changes and modifications also belong to the scope of the present invention. For example, those in which the person skilled in the art has appropriately added, deleted, or changed the design of the above-described embodiments, or those in which processes have been added, omitted, or changed conditions are also the subject matter of the present invention. As long as it is included in the scope of the present invention.

100 表示装置、120 TFT基板、121 絶縁膜、122 熱膨張抑制膜、123 金属配線、124 透明導電膜、128 穴、129 帯状部、150 対向基板、180 駆動IC、182 バンプ、184 異方性導電膜、185 バンプ形成領域、186 表示領域側バンプ形成領域、187 端子側バンプ形成領域、205 表示領域、210 画素、212 副画素。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Display apparatus, 120 TFT substrate, 121 Insulating film, 122 Thermal expansion suppression film, 123 Metal wiring, 124 Transparent conductive film, 128 holes, 129 Band part, 150 Opposite substrate, 180 Driver IC, 182 Bump, 184 Anisotropic conductivity Film, 185 bump formation region, 186 display region side bump formation region, 187 terminal side bump formation region, 205 display region, 210 pixels, 212 subpixels.

Claims (8)

各画素に画素回路が形成されることにより画像を表示する表示領域を有する基板と、
前記基板上に形成された配線に、異方性導電膜を介して電気的に接続されるバンプを有する半導体集積回路素子と、
前記基板と前記配線との間に絶縁膜を介して配置され、平面視で前記半導体集積回路素子と重畳し、少なくとも1箇所に穴が形成され、前記基板の熱膨張係数より低い熱膨張係数を有する材料からなる熱膨張抑制膜と、を備える表示装置。
A substrate having a display area for displaying an image by forming a pixel circuit in each pixel;
A semiconductor integrated circuit element having a bump electrically connected to the wiring formed on the substrate through an anisotropic conductive film;
The insulating film is disposed between the substrate and the wiring, overlaps with the semiconductor integrated circuit element in a plan view, has a hole formed in at least one location, and has a thermal expansion coefficient lower than the thermal expansion coefficient of the substrate. And a thermal expansion suppressing film made of a material.
請求項1に記載の表示装置において、
前記穴は、前記半導体集積回路素子の前記バンプの形成領域と重畳する領域に形成され、前記熱膨張抑制膜は、前記バンプの形成領域の周囲を囲むように形成されている、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The hole is formed in a region overlapping the bump formation region of the semiconductor integrated circuit element, and the thermal expansion suppression film is formed so as to surround the bump formation region. Display device.
請求項1に記載の表示装置において、
前記バンプの形成領域は、前記表示領域側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される表示領域側バンプ形成領域と、前記表示領域側とは反対側で外部信号の入力端子側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される端子側バンプ形成領域とを有し、
前記穴は、前記表示領域側バンプ形成領域と重畳する領域に形成され、
前記熱膨張抑制膜は、端子側バンプ形成領域と重畳して形成される、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The bump formation area includes a display area side bump formation area where the bump connected to the wiring extending to the display area side, and a wiring extending to the input terminal side of the external signal on the side opposite to the display area side And a terminal-side bump forming region in which the bump connected to is formed,
The hole is formed in a region overlapping the display region side bump formation region,
The display device, wherein the thermal expansion suppression film is formed so as to overlap with a terminal-side bump formation region.
請求項1に記載の表示装置において、
前記バンプの形成領域は、前記表示領域側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される表示領域側バンプ形成領域と、前記表示領域側とは反対側で外部信号の入力端子側に延びる配線と接続される前記バンプが形成される端子側バンプ形成領域とを有し、
前記熱膨張抑制膜は、前記表示領域側バンプ形成領域と前記端子側バンプ形成領域との間を仕切る帯状部を有している、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The bump formation area includes a display area side bump formation area where the bump connected to the wiring extending to the display area side, and a wiring extending to the input terminal side of the external signal on the side opposite to the display area side And a terminal-side bump forming region in which the bump connected to is formed,
The display device according to claim 1, wherein the thermal expansion suppressing film has a belt-like portion that partitions the display region side bump formation region and the terminal side bump formation region.
請求項1に記載の表示装置において、
前記穴は、前記バンプに対してそれぞれ開けられている、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The display device, wherein the holes are respectively formed in the bumps.
請求項1に記載の表示装置において、
前記異方性導電膜は、熱硬化性である、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The display device, wherein the anisotropic conductive film is thermosetting.
請求項1に記載の表示装置において、
前記熱膨張抑制膜は、ポリシリコンを含んでいる、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The display device according to claim 1, wherein the thermal expansion suppressing film includes polysilicon.
請求項1に記載の表示装置において、
前記基板はポリイミドを含んでいる、ことを特徴とする表示装置。
The display device according to claim 1,
The display device, wherein the substrate contains polyimide.
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