JP2015183207A - Heating method of composite material using millimeter wave, and formation method of composite material using the same - Google Patents

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布施 俊明
Toshiaki Fuse
俊明 布施
竜太 染谷
Ryuta Someya
竜太 染谷
遥 佐々木
Haruka Sasaki
遥 佐々木
直紀 浅利
Naoki Asari
直紀 浅利
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heating method applicable to wide use, having a simple treatment process, capable of selecting easily a portion to be heated, and having inexpensive operation cost.SOLUTION: In a heating method of a composite material in an embodiment, a millimeter wave is irradiated to the composite material including a substrate layer and a heat-generating layer containing a heat-generating material generating heat by absorbing the millimeter wave, to thereby raise the temperature of the heat-generating layer by allow the heat-generating material to generate heat.

Description

本発明の実施形態は、発熱層を具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記発熱層の温度を昇温させることによる複合材料の加熱方法、およびそれを用いた複合材料の形成方法に関する。   Embodiments of the present invention include a method of heating a composite material by irradiating a composite material including a heat generating layer with millimeter waves and increasing the temperature of the heat generating layer, and a method of forming a composite material using the same About.

従来、基材などの表面に皮膜を形成させて、保護する技術が検討されている。しかし、基材などの表面に溶射層のような皮膜を形成させただけでは、十分な硬度や耐久性が実現できない場合があり、種々の改良技術が検討されている。たとえば、特開平5−1364号公報(特許文献1)には特定の材料を用いて溶射被膜を形成させ、加圧電気抵抗加熱法を用いて溶射被膜の母材への拡散と被膜の加圧焼結を行うことで、溶射膜の拡散および緻密化する技術が開示されている。   Conventionally, a technique for forming a film on the surface of a substrate or the like to protect it has been studied. However, there are cases where sufficient hardness and durability cannot be realized only by forming a coating such as a sprayed layer on the surface of a substrate or the like, and various improved techniques have been studied. For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 5-13364 (Patent Document 1), a sprayed coating is formed using a specific material, and the diffusion of the sprayed coating to the base material and pressurization of the coating are performed using a pressurized electric resistance heating method. A technique for diffusing and densifying the sprayed film by sintering is disclosed.

また、特開平6−10112号公報(特許文献2)には、ロールなどの基材表面にセラミックス、またはサーメットなどを溶射して多気孔の被膜を形成させ、その気孔部分に無機質コーティング剤を含浸させ、さらに封止処理し、必要により焼成処理を施して生成するセラミックスで被膜を緻密化し強化する方法も検討されている。   Japanese Patent Laid-Open No. 6-10112 (Patent Document 2) discloses that a porous film is formed on a surface of a substrate such as a roll by spraying ceramics or cermet, and the porous portion is impregnated with an inorganic coating agent. Further, a method of densifying and strengthening the coating with ceramics produced by further sealing treatment and, if necessary, firing treatment has been studied.

特開平5−1364号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-1364 特開平6−10112号公報JP-A-6-10112

本願発明は、広範な用途に適用可能であり、処理工程が簡便であり、さらには加熱される部位の選択が容易であり、運転コストが安価な加熱方法を提供する。   The present invention provides a heating method that can be applied to a wide range of uses, has a simple treatment process, and that it is easy to select a portion to be heated, and that has low operating costs.

本発明の実施形態による複合材料の加熱方法は、基材層と、ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料を含んでなる発熱層とを具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記発熱性材料を発熱させることにより、前記発熱層の温度を昇温させることを特徴とするものである。   A method for heating a composite material according to an embodiment of the present invention irradiates a composite material comprising a base material layer and a heat generating layer containing a heat generating material that absorbs millimeter waves and generates heat, and radiates millimeter waves. The temperature of the heat generating layer is raised by causing the heat generating material to generate heat.

実施例1に係る複合材料の加熱方法を説明するための概念図である。3 is a conceptual diagram for explaining a method of heating a composite material according to Example 1. FIG. 実施例1における、加熱前の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 1, it is explanatory drawing showing the state of the composite material before a heating. 実施例1における、加熱後の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 1, it is explanatory drawing showing the state of the composite material after a heating. 実施例2に係る複合材料の加熱方法を説明するための概念図である。6 is a conceptual diagram for explaining a method of heating a composite material according to Example 2. FIG. 実施例2における、加熱前の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 2, it is explanatory drawing showing the state of the composite material before a heating. 実施例2における、加熱後の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 2, it is explanatory drawing showing the state of the composite material after a heating. 実施例3に係る複合材料の加熱方法を説明するための概念図である。6 is a conceptual diagram for explaining a method of heating a composite material according to Example 3. FIG. 実施例3における、加熱前の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 3, it is explanatory drawing showing the state of the composite material before a heating. 実施例3における、加熱後の複合材料の状態を表す説明図である。In Example 3, it is explanatory drawing showing the state of the composite material after a heating.

本発明の実施の形態について、詳細に説明すると以下の通りである。   The embodiment of the present invention will be described in detail as follows.

ミリ波加熱
本発明の実施形態において、ミリ波を照射することにより複合材料を加熱する。本発明においては、このような加熱方法をミリ波加熱という。
Millimeter wave heating In an embodiment of the present invention, a composite material is heated by irradiation with millimeter waves. In the present invention, such a heating method is called millimeter wave heating.

複合材料
本発明の実施形態において、複合材料は、基材層とミリ波を吸収し発熱する発熱性材料を含んでなる発熱層を具備する。また、本発明において用いることができる複合材料は、必要に応じて、その他の層を具備していてもよい。このような複合材料の例として、(i)基材層および該基材層の上に多層からなる溶射層を具備し、該溶射層の最表面層に発熱性材料を含有させたもの、(ii)基材層、該基材層の上に多層からなり、樹脂粒子を含んでなる溶射層および該溶射層の上にさらに金属メッキ層を具備するもの、ならびに(iii)基材層、該基材層の上に多層からなり、樹脂粒子を含む溶射層および該溶射層の上にさらに金属箔を具備するものなどが挙げられる。
Composite Material In an embodiment of the present invention, the composite material comprises a base layer and a heat generating layer comprising a heat generating material that absorbs millimeter waves and generates heat. Moreover, the composite material which can be used in this invention may have comprised the other layer as needed. Examples of such composite materials include (i) a base material layer and a thermal spray layer composed of multiple layers on the base material layer, and an outermost surface layer of the thermal spray layer containing an exothermic material, ii) a base material layer, a multilayer coating on the base material layer, comprising a thermal spray layer comprising resin particles, and further comprising a metal plating layer on the thermal spray layer, and (iii) a base material layer, Examples thereof include a thermal spray layer composed of multiple layers on the base material layer, a resin spray layer containing resin particles, and a metal foil further provided on the thermal spray layer.

基材層
本発明の実施形態において、複合材料が具備する基材層を構成する部材は、複合材料の用途などに応じて適宜に選択することができるが、例えば、金属やセラミックスからなる部材を用いることができる。金属からなる部材としては、炭素鋼やステンレス鋼などの鋼材、アルミニウム合金、銅合金およびニッケル合金などを用いることができる。また、セラミックスからなる部材としては、AlおよびMgOなどの酸化物系セラミックス、SiCなどのセラミックス、TiNなどの窒化物系セラミックスおよびSiAlONなどの複合酸化物を用いることができる。これらの中で、SiC以外の部材を基材層として用いることが好ましい。
Base material layer In the embodiment of the present invention, the members constituting the base material layer of the composite material can be appropriately selected according to the use of the composite material. For example, a member made of metal or ceramics is used. Can be used. As the member made of metal, steel materials such as carbon steel and stainless steel, aluminum alloys, copper alloys, nickel alloys, and the like can be used. As the member made of ceramics, oxide ceramics such as Al 2 O 3 and MgO, ceramics such as SiC, nitride ceramics such as TiN, and composite oxides such as SiAlON can be used. In these, it is preferable to use members other than SiC as a base material layer.

発熱層
本発明の実施形態において、加熱される複合材料は、ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料を含んでなる発熱層を具備する。この発熱層は、発熱性材料を任意の形態で含むことができるが、典型的には、発熱層は発熱性材料が担体中に分散された固体分散体の形態であるか、または発熱層が発熱性材料のみで構成されたフィルム状構造を有している。
Heat generation layer In the embodiment of the present invention, the heated composite material includes a heat generation layer including a heat generating material that absorbs millimeter waves and generates heat. The exothermic layer can include the exothermic material in any form, but typically the exothermic layer is in the form of a solid dispersion in which the exothermic material is dispersed in the carrier, or the exothermic layer is It has a film-like structure composed only of exothermic materials.

本発明の実施形態において、発熱層の厚さは、複合材料の用途などに応じて任意に設定することができるが、50〜500μmが好ましく、100〜300μmがより好ましい。   In the embodiment of the present invention, the thickness of the heat generating layer can be arbitrarily set according to the use of the composite material, but is preferably 50 to 500 μm, and more preferably 100 to 300 μm.

発熱性材料
ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料としては、正負の双極子の集合体であることが必要である。このような材料に高周波数のミリ波を照射したときに、双極子の分極が周波数に追従できなくなり、周囲の分子との間で摩擦を受けるため、発熱現象が起こる。この摩擦により発熱性材料内部でのエネルギーの消費が起こる現象を、誘電損失という。発熱材料として、炭化ケイ素SiCを適用することができる。
Exothermic material The exothermic material that absorbs millimeter waves and generates heat needs to be an assembly of positive and negative dipoles. When such a material is irradiated with a high-frequency millimeter wave, the polarization of the dipole cannot follow the frequency, and is subject to friction with surrounding molecules, resulting in an exothermic phenomenon. The phenomenon in which energy is consumed inside the heat-generating material due to this friction is called dielectric loss. Silicon carbide SiC can be applied as the heat generating material.

ミリ波による単位体積当たりの発熱量P(W/m)、ミリ波の周波数をf(MHz)、真空の誘電率ε、発熱性材料の比誘電率をε、発熱性材料の誘電損失角をδ、ミリ波の電界の強さをE(V/m)とすると下式で表される。なお、式中のεεtanδは誘電損率を表す。一般に、誘電損率の値が大きいほど、ミリ波吸収性は高い。 Heat generation amount P (W / m 3 ) per unit volume by millimeter wave, millimeter wave frequency f (MHz), vacuum permittivity ε 0 , exothermic material dielectric constant ε r , exothermic material dielectric When the loss angle is δ and the electric field strength of millimeter waves is E (V / m), it is expressed by the following equation. In the expression, ε 0 ε r tan δ represents a dielectric loss factor. In general, the higher the value of the dielectric loss factor, the higher the millimeter wave absorption.

P(W/m)=2πfεεtanδE P (W / m 3 ) = 2πfε 0 ε r tan δE 2

なお、本明細書において誘電損率は、摂動法を用いて、温度25℃、周波数1GHzの条件において測定された数値を適用することができる。   In this specification, the dielectric loss factor can be a numerical value measured using a perturbation method under conditions of a temperature of 25 ° C. and a frequency of 1 GHz.

本発明のひとつの実施形態において、発熱層は発熱性材料と担体とを含んでいる。そして、その発熱性材料は、その担体中に分散された微粒子である。   In one embodiment of the present invention, the heat generating layer includes a heat generating material and a carrier. The exothermic material is fine particles dispersed in the carrier.

本発明の実施形態において、発熱性材料が微粒子形状を有する場合、その平均粒子径は、10〜500nmが好ましく、20〜100nmがより好ましい。この範囲の平均粒子径であると、ミリ波の吸収による発熱量が大きくなり、効果的に加熱を行うことができる。本発明の実施形態において、平均粒子径は、レーザ回折式粒度分布測定装置によって測定されたものである。   In the embodiment of the present invention, when the exothermic material has a fine particle shape, the average particle size is preferably 10 to 500 nm, and more preferably 20 to 100 nm. When the average particle diameter is within this range, the amount of heat generated by absorption of millimeter waves increases, and heating can be performed effectively. In the embodiment of the present invention, the average particle diameter is measured by a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus.

本発明の実施形態に用いられる前記発熱性材料としては、例えば、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属硼化物、カーボンなどを単独または混合して用いることができる。また、金属としては、鉄、ニッケル、銅およびそれらの合金からなる群より選択される金属を用いることができる。また、金属酸化物としては、アルミナ、ジルコニアおよびそれらの混合物からなる群より選択される金属酸化物を用いることができる。また、金属窒化物としては、窒化ケイ素、窒化アルミニウムおよびそれらの混合物からなる群より選択される金属窒化物を用いることができる。また、金属炭化物としては、炭化ケイ素を用いることができる。また、金属硼化物を用いることができる。なお、例えば純度が98%以上の高純度アルミナなどは、ミリ波を吸収せず透過してしまうため一般に発熱性材料としては適当では無い。   As said exothermic material used for embodiment of this invention, a metal, a metal oxide, a metal nitride, a metal carbide, a metal boride, carbon etc. can be used individually or in mixture, for example. Moreover, as a metal, the metal selected from the group which consists of iron, nickel, copper, and those alloys can be used. As the metal oxide, a metal oxide selected from the group consisting of alumina, zirconia, and a mixture thereof can be used. As the metal nitride, a metal nitride selected from the group consisting of silicon nitride, aluminum nitride, and a mixture thereof can be used. Moreover, silicon carbide can be used as the metal carbide. Moreover, a metal boride can be used. For example, high-purity alumina having a purity of 98% or more, for example, is not suitable as a heat-generating material because it does not absorb millimeter waves and passes through.

担体
本発明のひとつの実施形態において、発熱層は、発熱性材料が担体中に分散された固体分散体である。担体として、ミリ波を吸収または遮蔽しない材料が用いられるべきである。具体的には、担体としてジルコニアなどの金属酸化物、ニッケル基またはコバルト基などを有する自溶合金などを用いることができる。発熱体を分散させる担体は、担体としてのみではなく、基材に対する表面機能層としての溶射層となる。すなわち、ジルコニア層は、基材に対する熱遮蔽層として作用させるとともに、担体としても利用される。ジルコニア層はミリ波で発熱するが、ジルコニアよりもミリ波を吸収しやすい物質(例えば、発熱性材料としてのステンレス鋼粒子)を存在させると、発熱性材料にミリ波が集中させることができる。
Carrier In one embodiment of the present invention, the heat generating layer is a solid dispersion in which a heat generating material is dispersed in a carrier. As the carrier, a material that does not absorb or shield millimeter waves should be used. Specifically, a metal oxide such as zirconia, a self-fluxing alloy having a nickel group, a cobalt group, or the like can be used as a support. The carrier for dispersing the heating element is not only a carrier but also a sprayed layer as a surface functional layer on the substrate. That is, the zirconia layer acts as a heat shielding layer for the substrate and is also used as a carrier. The zirconia layer generates heat by millimeter waves, but if a substance that absorbs millimeter waves more easily than zirconia (for example, stainless steel particles as a heat generating material) is present, the millimeter waves can be concentrated on the heat generating material.

本発明の実施形態において、担体中に発熱性材料が分散された形態を有する発熱層における発熱性材料の配合量は、発熱性材料を含む層全体の重量を基準として、5〜30重量%が好ましく、10〜15重量%がより好ましい。発熱性材料の配合量がこの範囲であることにより、ミリ波加熱が効率よく進行する。   In the embodiment of the present invention, the amount of the exothermic material in the exothermic layer having a form in which the exothermic material is dispersed in the carrier is 5 to 30% by weight based on the weight of the entire layer including the exothermic material. Preferably, 10 to 15% by weight is more preferable. When the blending amount of the exothermic material is within this range, millimeter wave heating proceeds efficiently.

本発明のひとつの実施態様において、溶射材料のような担体中に発熱性材料を分散させた発熱層形成用材料を基材表面に溶射することで、発熱層を形成させることができる。ここで、発熱層形成用材料の溶射の前および後に、発熱性材料を含まない溶射材料を溶射することにより、多層構造を有し、その構造を形成する層のいずれかが発熱層である溶射層を形成させることができる。言い換えれば、溶射材料から形成される溶射層の特定の層だけに発熱性材料を配置させ、ミリ波を照射したときに該層および該層に隣接する層だけを昇温させることが可能となる。このような多層構造を有する溶射層において、最表面の層を発熱層とすると、その表面近傍を選択的に加熱できる。このような態様によれば、複合材料の最表面近傍だけを選択的に焼結させることができるため、表面近傍の硬度は高く、表面から離れた部分では硬度が低い溶射層を形成させることができる。この結果、形成された複合材料全体をみると、表面は硬く、溶射層のうち基材に隣接した部分は比較的硬度が低いために、剥離などの問題が起こりにくい複合材料を製造することができる。また、基材表面に直接発熱層を形成させ、ミリ波を照射することにより、溶射層と隣接する基材との界面において、拡散接合を進行させ、相互の密着力を向上させることができ、基材と溶射層との剥離が起こりにくい複合材料を製造することができる。   In one embodiment of the present invention, the heat generating layer can be formed by spraying a heat generating layer forming material in which a heat generating material is dispersed in a carrier such as a thermal spray material on the surface of the substrate. Here, before and after thermal spraying of the heat generating layer forming material, a thermal spray material that does not include the heat generating material is sprayed to form a multilayer structure, and any of the layers forming the structure is a heat sprayed layer. A layer can be formed. In other words, it is possible to place a heat-generating material only in a specific layer of the thermal spray layer formed from the thermal spray material, and to raise only the temperature of the layer and the layer adjacent to the layer when irradiated with millimeter waves. . In the sprayed layer having such a multilayer structure, when the outermost layer is a heat generating layer, the vicinity of the surface can be selectively heated. According to such an embodiment, since only the vicinity of the outermost surface of the composite material can be selectively sintered, it is possible to form a sprayed layer having a high hardness near the surface and a low hardness in a portion away from the surface. it can. As a result, when the entire composite material formed is viewed, the surface is hard, and the portion adjacent to the base material in the sprayed layer is relatively low in hardness. it can. In addition, by directly forming the heat generation layer on the surface of the substrate and irradiating millimeter waves, diffusion bonding can proceed at the interface between the sprayed layer and the adjacent substrate, and the mutual adhesion can be improved. A composite material in which peeling between the base material and the sprayed layer hardly occurs can be produced.

また、本発明の実施形態において、発熱層が、多孔性材料と、多孔性材料の空孔に充填された発熱性材料とから構成されていてもよい。この場合には、多孔性材料が前記した担体としての機能を果たす。また、基材表面が多孔質層であってもよい。この場合には発熱性材料が充填された基材表面が発熱層の機能を兼ねることとなる。このような多孔性材料と発熱性材料との組み合わせを含んでなる発熱層は、多孔質層の空孔部に、発熱性材料を適切な溶媒に分散させたペーストまたは組成物を充填し、必要に応じて乾燥させることにより形成させることができる。   In the embodiment of the present invention, the heat generating layer may be composed of a porous material and a heat generating material filled in the pores of the porous material. In this case, the porous material functions as the carrier described above. Further, the substrate surface may be a porous layer. In this case, the surface of the base material filled with the heat generating material also functions as the heat generating layer. A heat generating layer comprising a combination of such a porous material and a heat generating material is required by filling the pores of the porous layer with a paste or composition in which the heat generating material is dispersed in an appropriate solvent. It can be formed by drying according to.

また、本発明の別の実施形態において、発熱層は発熱性材料のみで構成されたフィルム状構造を有していてもよい。例えば、発熱性材料自体がフィルム状構造の発熱層を構成してもよい。このような態様において、発熱層は、金属メッキ層とすることができる。メッキ処理に用いる金属としては、ニッケル、銀、銅、スズからなる群より選択される金属を用いることができる。メッキ処理は任意の方法により行うことができ、例えば、電気メッキ法および溶融メッキ法などにより行うことができる。   In another embodiment of the present invention, the heat generating layer may have a film-like structure composed only of a heat generating material. For example, the exothermic material itself may constitute a heat generating layer having a film-like structure. In such an embodiment, the heat generating layer can be a metal plating layer. As the metal used for the plating treatment, a metal selected from the group consisting of nickel, silver, copper, and tin can be used. The plating treatment can be performed by any method, for example, an electroplating method, a hot dipping method, or the like.

また、本発明の実施形態において、発熱層は、金属箔を含んでなる層とすることができる。金属箔に用いる金属としては、ニッケル、銀、銅、スズからなる群より選択される金属を用いることができる。金属箔の上には、ミリ波透過性が極めて高い高純度のアルミナ板を配置し、金属箔を固定することが好ましい。   In the embodiment of the present invention, the heat generating layer can be a layer comprising a metal foil. As the metal used for the metal foil, a metal selected from the group consisting of nickel, silver, copper, and tin can be used. It is preferable to dispose a high-purity alumina plate having extremely high millimeter wave permeability on the metal foil and fix the metal foil.

その他の層
本発明の実施態様おいて、複合材料は、基材層および発熱層の他に1以上の任意の層を具備することができる。例えば、基材層と発熱層との間に密着性改良などの目的で中間層を設けたり、複合材料の表面に保護層を設けたりすることができる。また、発熱層から伝導する熱によって変形または変性する、被加工層を設けることもできる。
Other Layers In the embodiment of the present invention, the composite material may include one or more arbitrary layers in addition to the base material layer and the heat generating layer. For example, an intermediate layer can be provided between the base material layer and the heat generating layer for the purpose of improving adhesion or a protective layer can be provided on the surface of the composite material. It is also possible to provide a layer to be processed that is deformed or modified by heat conducted from the heat generating layer.

具体的には、基材層と発熱層との間に溶射層を設けることができる。このような複合材料に対しミリ波を照射した場合、発熱層中の発熱性材料が発熱し、発熱層の温度が昇温する。次いで、この昇温した発熱層により、隣接する溶射層が加熱されることとなる。該溶射層が樹脂粒子を含んでなる場合、該樹脂粒子は、溶射層が加熱されることにより蒸発しうる。   Specifically, a sprayed layer can be provided between the base material layer and the heat generating layer. When such a composite material is irradiated with millimeter waves, the exothermic material in the heat generating layer generates heat, and the temperature of the heat generating layer rises. Next, the adjacent sprayed layer is heated by the heated heating layer. When the thermal spray layer includes resin particles, the resin particles can be evaporated by heating the thermal spray layer.

ミリ波
ミリ波とは、周波数が20〜300GHzの電磁波をいう。また、ミリ波加熱とは、ミリ波帯の電磁波を用いた加熱のことをいい、ミリ波の電場によって被加熱物自身が発熱する。例えば、誘電体は誘電加熱、金属は抵抗加熱で磁場により加熱される。本発明の実施形態において、ミリ波の周波数は、10〜50GHzが好ましく、20〜30GHzがより好ましい。このような範囲の周波数のミリ波を用いることで、発熱性材料を効率よく発熱させることができる点で有利である。
Millimeter wave Millimeter wave refers to an electromagnetic wave having a frequency of 20 to 300 GHz. In addition, millimeter wave heating refers to heating using an electromagnetic wave in the millimeter wave band, and the object to be heated itself generates heat by an electric field of millimeter waves. For example, a dielectric is heated by a magnetic field by dielectric heating, and a metal is heated by resistance. In the embodiment of the present invention, the millimeter wave frequency is preferably 10 to 50 GHz, and more preferably 20 to 30 GHz. Using millimeter waves with a frequency in such a range is advantageous in that the heat-generating material can efficiently generate heat.

複合材料に照射されるミリ波の出力は、例えば、1〜2kW/cmである。 The output of the millimeter wave irradiated to the composite material is, for example, 1 to 2 kW / cm 2 .

本発明の実施形態において、複合材料へのミリ波の照射時間は特に限定されないが、得ようとする複合材料に応じて適宜変更することが好ましい。一般的には照射時間は1〜60分が好ましく、1〜5分がより好ましい。   In the embodiment of the present invention, the irradiation time of the millimeter wave to the composite material is not particularly limited, but is preferably changed as appropriate according to the composite material to be obtained. In general, the irradiation time is preferably 1 to 60 minutes, more preferably 1 to 5 minutes.

ミリ波加熱装置
本発明の実施形態において、ミリ波加熱は、ミリ波加熱装置を用いて行うことができる。ミリ波加熱装置の構成は特に限定されるものではない。例えば、被加熱物に照射するミリ波を生成するミリ波発振器、ミリ波を所望の位置に伝送するための導波管および非加熱物を収容する加熱炉からなるミリ波加熱装置を用いることができる。
Millimeter-wave heating device In an embodiment of the present invention, millimeter-wave heating can be performed using a millimeter-wave heating device. The configuration of the millimeter wave heating device is not particularly limited. For example, it is possible to use a millimeter-wave heating device that includes a millimeter-wave oscillator that generates a millimeter-wave to irradiate an object to be heated, a waveguide for transmitting the millimeter-wave to a desired position, and a heating furnace that contains an unheated object. it can.

複合材料に対するミリ波の照射は、大気中、不活性雰囲気中または真空中のいずれの条件下で行ってもよいが、不活性雰囲気中または真空中において、照射を行うことにより、複合材料の酸化を防止することができる。このため、前記の加熱炉は密閉できるものが好ましい。加熱炉は、複合材料を覆うように配置した金属容器からなるものであってよい。また、真空チャンバー等を適用することもできる。   Irradiation of the composite material with millimeter waves may be performed under any condition in the air, in an inert atmosphere, or in vacuum. However, by performing irradiation in an inert atmosphere or in vacuum, oxidation of the composite material is performed. Can be prevented. For this reason, what the said heating furnace can seal is preferable. A heating furnace may consist of a metal container arrange | positioned so that a composite material may be covered. A vacuum chamber or the like can also be applied.

表面に緻密化された層を具備する複合材料の形成
本発明の実施形態において、基材層と表面に発熱性材料を含んでなる溶射層とを具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記溶射層中の発熱性材料を発熱させ、該溶射層表面の温度を昇温させることにより緻密化させることができる。結果として、緻密化された層を表面に具備してなる複合材料を得ることができる。
Formation of Composite Material Comprising Layer Dense on Surface In an embodiment of the present invention, a composite material comprising a base material layer and a thermal spray layer containing a heat generating material on the surface is irradiated with millimeter waves. The heat-generating material in the sprayed layer can be heated to increase the temperature of the surface of the sprayed layer, thereby densifying the material. As a result, a composite material having a densified layer on the surface can be obtained.

例えば、基材層およびその上に、多層からなり、そのうちの最表層が発熱層である溶射層を具備する複合材料に対しミリ波を照射した場合、発熱層中の発熱性材料が発熱し、発熱層が昇温するため該層の焼結が進み、最表面の硬度を高めることができる。一方で、溶射層のその他の層は、発熱性材料を含んでいないため、焼結の進行は少なく、硬度の低い状態を維持することができる。この結果、最表層と基材との間に存在する層の硬度が低いことにより、基材層の熱膨張に起因する基材層と溶射層との剥離などを防止することができる。   For example, when a composite material comprising a base material layer and a thermal spray layer, of which the outermost layer is a heat generating layer, is irradiated with millimeter waves, the heat generating material in the heat generating layer generates heat, Since the temperature of the heat generating layer rises, the sintering of the layer proceeds and the hardness of the outermost surface can be increased. On the other hand, since the other layers of the sprayed layer do not contain an exothermic material, the progress of the sintering is small and the low hardness state can be maintained. As a result, since the hardness of the layer existing between the outermost layer and the base material is low, peeling between the base material layer and the sprayed layer due to the thermal expansion of the base material layer can be prevented.

また、基材層およびその上に、多層からなり、そのうちの基材層と直接接触する層が発熱層である溶射層を具備する複合材料にミリ波を照射した場合、基材層と溶射層との界面において、拡散接合を進行させ、相互の密着力を向上させることができる場合がある。この場合であっても、発熱材料を含まない溶射層の焼結の進行は少なく、硬度が低い状態にすることができる。
上記のような構造を有する複合材料を得ようとした場合、照射時間は、1〜60分が好ましく、1〜5分がより好ましい。
In addition, when a composite material including a base material layer and a thermal spray layer in which the base material layer includes a multilayer, and the layer in direct contact with the base material layer is a heating layer, the base material layer and the thermal spray layer are irradiated. In some cases, diffusion bonding can be promoted at the interface between the two and the mutual adhesion can be improved. Even in this case, the progress of the sintering of the sprayed layer containing no heat generating material is small, and the hardness can be lowered.
When it is going to obtain the composite material which has the above structures, 1-60 minutes are preferable and, as for irradiation time, 1-5 minutes are more preferable.

多孔性溶射層を具備する複合材料の形成
基材層と、発熱層と、前記発熱層に近接して形成された樹脂粒子を含む溶射層とを具備してなる複合材料に、ミリ波を照射し、前記発熱層を昇温させ、その熱を受け取った前記溶射層に含まれる前記樹脂粒子を蒸発させることにより多孔性溶射層を形成させることができる。結果として、多孔性溶射層を具備してなる複合材料を得ることができる。
Forming a composite material having a porous spray layer A millimeter wave is applied to a composite material including a base material layer, a heat generation layer, and a thermal spray layer including resin particles formed in the vicinity of the heat generation layer. The porous thermal spray layer can be formed by elevating the temperature of the heat generating layer and evaporating the resin particles contained in the thermal spray layer that has received the heat. As a result, a composite material comprising a porous sprayed layer can be obtained.

例えば、基材層、その上に樹脂粒子を含んでなる溶射層および、その上に発熱層を具備する複合材料に対しミリ波を照射した場合、ミリ波により、発熱層中の発熱性材料が発熱し、発熱層が昇温する。次いで、この熱を、発熱層に近接する溶射層が受け取り、溶射層中の樹脂粒子が蒸発する。結果、溶射層の樹脂粒子が存在していた場所に空孔が形成され、多孔性溶射層を具備してなる複合材料が得られる。このような場合、樹脂は任意のものから選択して用いることができるが、例えばポリエチレンテレフタレート(以下、PETということがある)、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、メラミン樹脂、およびフェノール樹脂などが挙げられる。
上記のような構造を有する複合材料を得ようとした場合、照射時間は、1〜60分が好ましく、1〜5分が好ましい。
For example, when a millimeter wave is irradiated to a base material layer, a thermal spray layer comprising resin particles thereon, and a composite material having a heat generating layer thereon, the heat generating material in the heat generating layer is generated by the millimeter wave. Heat is generated and the heating layer rises in temperature. Next, this heat is received by the thermal spray layer adjacent to the heat generating layer, and the resin particles in the thermal spray layer are evaporated. As a result, pores are formed at the locations where the resin particles of the thermal spray layer were present, and a composite material comprising the porous thermal spray layer is obtained. In such a case, the resin can be selected from arbitrary ones, and examples thereof include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes referred to as PET), polyethylene, polypropylene, polystyrene, melamine resin, and phenol resin.
When it is going to obtain the composite material which has the above structures, 1-60 minutes are preferable and 1-5 minutes are preferable for irradiation time.

複合材料の用途
これらの複合材料は、様々な分野へ適用することができるものであるが、具体的には、各種摺動部品またはガスタービン動翼のガスシール部に用いられるアブレイダブルシール部を作成する場合などに用いることができる。なお、実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない
Applications of composite materials These composite materials can be applied to various fields. Specifically, abradable seal parts used for various sliding parts or gas turbine rotor gas seal parts. It can be used when creating In addition, embodiment is an illustration and the range of invention is not limited to them.

以下、本発明の一実施例を図1〜図9により説明する。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

実施例1
図1〜3を参照しながら実施例1を説明すると以下の通りである。まず、基材層101として5cm×5cm、厚さ10mmのステンレス鋼(SUS304)を準備した。
Example 1
The first embodiment will be described with reference to FIGS. First, stainless steel (SUS304) having a size of 5 cm × 5 cm and a thickness of 10 mm was prepared as the base material layer 101.

次に、基材層101の表面に、3回に分けてジルコニア(ジルコニア/8%イットリア(ZrO2/8%Y2O3))、株式会社ニューメタルスエンド ケミカルス コーポレーション社製)を溶射し、3層からなる厚さ0.3mmの溶射層102を設けた。   Next, zirconia (zirconia / 8% yttria (ZrO2 / 8% Y2O3)), manufactured by New Metals End Chemicals Corporation, Inc.) is sprayed on the surface of the base material layer 101 three times, and consists of three layers. A sprayed layer 102 having a thickness of 0.3 mm was provided.

さらに、溶射層102の表面に、約50nmの平均粒子径の銀(NAG−32−2、大研化学製造販売株式会社製)を混合したジルコニアからなる溶射材料(溶射材料の総量に対し、約10重量%の銀を混合)を溶射し、厚さ0.1mmの発熱層103を設けた。   Further, the surface of the sprayed layer 102 is made of zirconia in which silver (NAG-32-2, manufactured by Daiken Chemical Manufacturing and Sales Co., Ltd.) having an average particle diameter of about 50 nm is mixed. 10% by weight of silver was sprayed to provide a heat-generating layer 103 having a thickness of 0.1 mm.

この基材層101、溶射層102および発熱層103からなる複合材料100を、加熱炉104内におけるステージ105の上に配置した。加熱炉104内を真空とした後、ミリ波導波管106を通しミリ波発振器から周波数28GHzのミリ波107を、2kWの出力で15分間照射した。ミリ波加熱装置には富士電波工業株式会社製のFMW−10−28を用いた。ミリ波107の照射により、発熱層103が含有する銀のナノ粒子を発熱させ、発熱層103全体の温度を上昇させることにより発熱層103の焼結を進行させた。その結果、図3に表されるように、硬度の高い発熱層103、基材層101の膨張に起因する該層からの剥離を防止することのできる硬度の低い溶射層102を具備する複合材料110を得た。   The composite material 100 including the base material layer 101, the sprayed layer 102, and the heat generating layer 103 was disposed on the stage 105 in the heating furnace 104. After the inside of the heating furnace 104 was evacuated, the millimeter wave 107 having a frequency of 28 GHz was irradiated from the millimeter wave oscillator through the millimeter wave waveguide 106 at an output of 2 kW for 15 minutes. FMW-10-28 manufactured by Fuji Radio Industry Co., Ltd. was used as the millimeter wave heating device. By irradiation with the millimeter wave 107, the silver nanoparticles contained in the heat generating layer 103 are heated, and the temperature of the entire heat generating layer 103 is increased to advance the sintering of the heat generating layer 103. As a result, as shown in FIG. 3, the composite material including the heat generation layer 103 with high hardness and the thermal spray layer 102 with low hardness that can prevent peeling from the layer due to expansion of the base material layer 101. 110 was obtained.

実施例2
図4〜6を参照しながら実施例2を説明すると以下の通りである。まず、基材層201として3cm×3cm、厚さ5mmのニッケル基合金(インコネル600、ニラコ社製)を準備した。
Example 2
The second embodiment will be described with reference to FIGS. First, a nickel-based alloy (Inconel 600, manufactured by Niraco) having a size of 3 cm × 3 cm and a thickness of 5 mm was prepared as the base material layer 201.

次に、基材層201の表面に、PET樹脂粒子203(三井PETTM、三井化学株式会社製)を含むCoNiCrAlY合金を溶射し、厚さ0.2mmの溶射層202を設けた。 Next, a CoNiCrAlY alloy containing PET resin particles 203 (Mitsui PET , manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was sprayed on the surface of the base material layer 201 to provide a 0.2 mm thick sprayed layer 202.

さらに、溶射層202の表面に、ニッケルを(溶融)メッキし、厚さ約5μmのニッケルメッキ層204を設けた。   Furthermore, nickel was (molten) plated on the surface of the sprayed layer 202 to provide a nickel plating layer 204 having a thickness of about 5 μm.

この基材層201、PET樹脂粒子203を含む溶射層202およびニッケルメッキ層204からなる複合材料200を、加熱炉104内におけるステージ105の上に配置した。加熱炉104内を真空とした後、導波管106を通し、ミリ波発振器(図示せず)から周波数28GHzのミリ波107を、2kWの出力で15分間照射した(図4を参照)。   The composite material 200 including the base material layer 201, the thermal spray layer 202 including the PET resin particles 203, and the nickel plating layer 204 was disposed on the stage 105 in the heating furnace 104. After evacuating the inside of the heating furnace 104, a millimeter wave 107 having a frequency of 28 GHz was irradiated from a millimeter wave oscillator (not shown) for 15 minutes at an output of 2 kW through a waveguide 106 (see FIG. 4).

ニッケルメッキ層204を、ミリ波107の照射により発熱および昇温させた。これにより、メッキ層204から該メッキ層に隣接する溶射層202の表面へ熱が伝わり、その熱により溶射層202に含まれるPET樹脂粒子203が分解して除去され、気孔205が形成された。さらに加熱を続け、ニッケルメッキ層を自己発熱により蒸発させ、溶射層202上から消失させた。結果として、多孔性の溶射層202を備える複合材料206を得た(図5および6を参照)。   The nickel plating layer 204 was heated and heated by irradiation with the millimeter wave 107. As a result, heat was transferred from the plating layer 204 to the surface of the thermal spray layer 202 adjacent to the plating layer, and the PET resin particles 203 contained in the thermal spray layer 202 were decomposed and removed by the heat, and pores 205 were formed. Further, heating was continued, the nickel plating layer was evaporated by self-heating, and disappeared from the sprayed layer 202. As a result, a composite material 206 having a porous sprayed layer 202 was obtained (see FIGS. 5 and 6).

図7〜9を参照しながら実施例3を説明すると以下の通りである。まず、基材層301として3cm×3cm、厚さ5mmのニッケル基合金(インコネル600、ニラコ株式会社製)を準備した。   The third embodiment will be described with reference to FIGS. First, a nickel base alloy (Inconel 600, manufactured by Nilaco Corporation) having a size of 3 cm × 3 cm and a thickness of 5 mm was prepared as the base material layer 301.

次に、基材層301の表面に、PET樹脂粒子303(三井PETTM、三井化学株式会社製)を含むCoNiCrAlY合金を溶射し、厚さ0.3mmの溶射層302を設けた。 Next, a CoNiCrAlY alloy containing PET resin particles 303 (Mitsui PET , manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) was sprayed on the surface of the base material layer 301 to provide a sprayed layer 302 having a thickness of 0.3 mm.

さらに、溶射層302の表面に、厚さ10μmのニッケル金属箔304を配置し、該箔の上に高純度のアルミナ板305(厚さ2mm)を配置した。高純度アルミナ板としては、コバレントマテリアルズ(株)製SAPPHAL(サファール:商標名)純度99.97%を用いた。このレベルの高純度アルミナ材料はミリ波をほとんど吸収しないため、ニッケル箔の固定材として利用した。   Further, a nickel metal foil 304 having a thickness of 10 μm was disposed on the surface of the sprayed layer 302, and a high-purity alumina plate 305 (thickness 2 mm) was disposed on the foil. As the high-purity alumina plate, SAPPHAL (Saffal: trade name) purity 99.97% manufactured by Covalent Materials Co., Ltd. was used. Since this level of high-purity alumina material hardly absorbs millimeter waves, it was used as a fixing material for nickel foil.

この基材層301、PET樹脂粒子303を含む溶射層302およびニッケル金属箔304からなる複合材料300を、加熱炉104内におけるステージ105の上に配置した。加熱炉104内を真空とした後、導波管106を通し、ミリ波発振器(図示せず)から周波数28GHzのミリ波107を、1kWの出力で15分間照射した(図7を参照)。   The composite material 300 including the base material layer 301, the thermal spray layer 302 including the PET resin particles 303, and the nickel metal foil 304 was disposed on the stage 105 in the heating furnace 104. After the inside of the heating furnace 104 was evacuated, a millimeter wave 107 having a frequency of 28 GHz was irradiated for 15 minutes at a power of 1 kW from a millimeter wave oscillator (not shown) through a waveguide 106 (see FIG. 7).

ニッケル金属箔からなる層304を、ミリ波107の照射により発熱および昇温させた。これにより、ニッケル金属箔からなる層304から隣接する溶射層302の表面へ熱が伝わり、その熱により溶射層302に含まれるPET樹脂粒子303が分解して除去され、気孔306が形成された。さらに加熱を続け、ニッケル金属箔からなる層304を自己発熱により蒸発させ、溶射層302上から消失させた。アルミナ板35を取り除き、結果として、多孔性の溶射層302を備える複合材料307を得た(図8および9を参照)。   The layer 304 made of nickel metal foil was heated and heated by irradiation with the millimeter wave 107. As a result, heat was transferred from the layer 304 made of nickel metal foil to the surface of the adjacent sprayed layer 302, and the PET resin particles 303 contained in the sprayed layer 302 were decomposed and removed by the heat to form pores 306. Further, heating was continued, the layer 304 made of nickel metal foil was evaporated by self-heating, and disappeared from the sprayed layer 302. The alumina plate 35 was removed, and as a result, a composite material 307 including a porous sprayed layer 302 was obtained (see FIGS. 8 and 9).

100:ミリ波照射前の複合材料
101:基材層
102:溶射層
103:発熱層
104:加熱炉
105:ステージ
106:導波管
107:ミリ波
108:加熱により焼結が進行した発熱層
109:界面
110:ミリ波照射後の複合材料
200:ミリ波照射前の複合材料
201:基材層
202:溶射層
203:PET樹脂粒子
204:メッキ層
205:気孔
206:ミリ波照射後の複合材料
300:ミリ波照射前の複合材料
301:基材層
302:溶射層
303:PET樹脂粒子
304:金属箔
305:高純度アルミナ板
306:気孔
307:ミリ波照射後の複合材料
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100: Composite material 101 before millimeter wave irradiation 101: Base material layer 102: Thermal spray layer 103: Heat generation layer 104: Heating furnace 105: Stage 106: Waveguide 107: Millimeter wave 108: Heat generation layer 109 which sintering advanced by heating : Interface 110: Composite material after millimeter wave irradiation 200: Composite material before millimeter wave irradiation 201: Base material layer 202: Thermal spray layer 203: PET resin particles 204: Plating layer 205: Pore 206: Composite material after millimeter wave irradiation 300: Composite material before millimeter wave irradiation 301: Base material layer 302: Thermal spray layer 303: PET resin particle 304: Metal foil 305: High-purity alumina plate 306: Pore 307: Composite material after millimeter wave irradiation

Claims (11)

基材層と、ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料を含んでなる発熱層とを具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記発熱性材料を発熱させることにより、前記発熱層の温度を昇温させることを特徴とする、複合材料の加熱方法。   The heat generating layer is formed by irradiating a composite material comprising a base material layer and a heat generating layer including a heat generating material that absorbs millimeter waves and generating heat to cause the heat generating material to generate heat. A method for heating a composite material, characterized in that the temperature of the composite material is raised. 前記ミリ波の周波数が、10〜50GHzである請求項1に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein a frequency of the millimeter wave is 10 to 50 GHz. 前記ミリ波の照射を、真空条件下において行う、請求項1または2に記載の方法。   The method according to claim 1 or 2, wherein the millimeter wave irradiation is performed under vacuum conditions. 前記発熱性材料が、平均粒子径10〜500nmである微粒子である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the exothermic material is fine particles having an average particle diameter of 10 to 500 nm. 前記発熱性材料が、金属粒子である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the exothermic material is metal particles. 前記金属粒子が鉄、ニッケル、銅およびそれらの合金からなる群より選択される金属からなる、請求項5に記載の方法。   6. The method of claim 5, wherein the metal particles comprise a metal selected from the group consisting of iron, nickel, copper, and alloys thereof. 前記発熱層が、前記微粒子が担体中に分散された固体分散体を含んでなる、請求項4〜6のいずれか1項に記載の方法。   The method according to any one of claims 4 to 6, wherein the heat generating layer comprises a solid dispersion in which the fine particles are dispersed in a carrier. 前記発熱層が、金属メッキ層である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the heat generating layer is a metal plating layer. 前記発熱層が、金属箔を含んでなる層である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the heat generating layer is a layer comprising a metal foil. 基材層と、ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料を含んでなる溶射層とを具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記発熱性材料を発熱させることにより、前記溶射層の温度を昇温させて緻密化させることを特徴とする、表面に緻密化された層を具備する複合材料の形成方法。   The sprayed layer is formed by irradiating a composite material comprising a base material layer and a sprayed layer containing a heat-generating material that absorbs millimeter waves and generating heat to cause the heat-generating material to generate heat. The method of forming a composite material comprising a densified layer on the surface, wherein the temperature is raised and densified. 基材層と、ミリ波を吸収して発熱する発熱性材料を含んでなる発熱層と、前記発熱層に近接して形成された、樹脂粒子を含む溶射層とを具備してなる複合材料にミリ波を照射し、前記発熱性材料を発熱させることにより、前記発熱層の温度を昇温させ、前記溶射層に含まれる前記樹脂粒子を蒸発させて多孔性溶射層を形成させることを特徴とする、多孔性溶射層を具備する複合材料の形成方法。   A composite material comprising: a base material layer; a heat generation layer including a heat generating material that absorbs millimeter waves and generates heat; and a sprayed layer including resin particles formed in the vicinity of the heat generation layer. Irradiating millimeter waves to generate heat in the exothermic material, the temperature of the exothermic layer is increased, and the resin particles contained in the thermal spray layer are evaporated to form a porous thermal spray layer. A method for forming a composite material comprising a porous sprayed layer.
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