JP2015165144A - Actuator for diaphragm valve and fluid controller including the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、キャップとボディとの間に弾性部材のシートを配設することにより、シール性に優れたダイヤフラム弁用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えた流体制御器に関する。 The present invention relates to an actuator for a diaphragm valve that is excellent in sealing performance by disposing a sheet of an elastic member between a cap and a body, and a fluid controller including the actuator.
従来、空気圧作動式ダイヤフラム弁用のアクチュエータは、キャップとボディの間にＯリングを介装することにより、キャップとボディの間のシールを行っている。Ｏリングはシール性の向上と破断防止のためにグリスを塗布して使用しているが、グリスはアクチュエータの作動温度が変化すると粘性が低くなり漏出するおそれがある。また、Ｏリングにグリスを塗布せずに使用した場合、Ｏリングが破断するおそれがある。更には、グリスを使用したとしても、グリスが漏出することによりＯリングが破断するおそれがある。
他方、バルブに用いられるシール技術としては、ゴムの焼付けを利用する方法（特許文献１〜３参照）が知られており、流体の流出を防止するために用いられている。
Conventionally, an actuator for a pneumatically operated diaphragm valve performs sealing between the cap and the body by interposing an O-ring between the cap and the body. The O-ring is used by applying grease to improve the sealing performance and preventing breakage. However, when the operating temperature of the actuator changes, the grease has a low viscosity and may leak. Further, when the O-ring is used without applying grease, the O-ring may be broken. Furthermore, even if grease is used, there is a possibility that the O-ring may break due to leakage of the grease.
On the other hand, as a sealing technique used for a valve, a method using rubber baking (see
上述したように、従来のＯリングを用いたアクチュエータのキャップとボディとの間のシールには、アクチュエータの作動温度が変化時におけるグリスの漏出やＯリングの破断の問題が生じる問題点を有していた。
本発明は、本課題を解決した流体制御器を提供することを目的とするものである。
As described above, the seal between the cap and the body of the actuator using the conventional O-ring has a problem that the problem of leakage of grease or breakage of the O-ring occurs when the operating temperature of the actuator changes. It was.
An object of the present invention is to provide a fluid controller that solves this problem.
本発明は、上記した課題点を解決するためになされたものであり、Ｏリング及びグリスを使用することなく、キャップとボディの長期間優れたシール性を有するダイヤフラム弁用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えた流体制御器を提供するものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and includes an actuator for a diaphragm valve that has an excellent sealing performance between a cap and a body for a long time without using an O-ring and grease, and the actuator. A fluid controller is provided.
請求項１に係る発明は、円筒部と、該円筒部の半径方向外側に延びるフランジ部とを有するボディと、内部空間を有し、前記ボディの前記フランジ部の上面に当接して設けられるキャップと、前記キャップと前記ボディを連通し、上下動によりダイヤフラム弁の開閉を行うステムからなるダイヤフラム弁用アクチュエータであって、前記キャップの底面と前記ボディの前記フランジ部の上面との間に配設されるシール部材とを備え、前記シール部材は弾性部材からなることを特徴とするダイヤフラム弁用アクチュエータに関する。
The invention according to
請求項２に係る発明は、前記シール部材は、前記ボディの前記フランジ部の上面に焼付け加工により固定されることを特徴とする請求項１記載のダイヤフラム弁用アクチュエータに関する。
The invention according to
請求項３に係る発明は、前記弾性部材はゴム材料からなることを特徴とする請求項１又は２記載のダイヤフラム弁用アクチュエータに関する。
The invention according to
請求項４に係る発明は、前記ボディは、前記フランジ部に円環状の凸部を有し、前記シール部材は、前記ボディの前記凸部の外側に設けられることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載のダイヤフラム弁用アクチュエータに関する。
The invention according to
請求項５に係る発明は、前記キャップは、前記内部空間にピストンとスプリングを有し、前記キャップ下部の外周端部にインレットポートを有することを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載のダイヤフラム弁用アクチュエータに関する。
The invention according to
請求項６に係る発明は、請求項１乃至５何れかに記載のダイヤフラム弁用アクチュエータを備え、前記アクチュエータの下部に入口流路と出口流路と弁座を有するバルブボディと、前記弁座に対して当接離反することにより、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイヤフラム弁とを備えることを特徴とする流体制御器に関する。
The invention according to
請求項１に係る発明によれば、キャップとボディとの間にシール部材を備えることにより、アクチュエータのキャップとボディとのシール性を高めることができ、メンテナンスし易いアクチュエータとなる。また、シール部材はキャップの底面とボディのフランジ部の上面との間に配設されていることから、組立時にシール部材を傷付ける恐れがなくなり、シール部材としての耐久性を向上させることができる。更に、シール部材は弾性部材からなることから、キャップとボディとの間にシール部材が密着し易くなり、エアーの漏出を防止することが可能となる。 According to the first aspect of the invention, by providing the seal member between the cap and the body, the sealing performance between the cap and the body of the actuator can be improved, and the actuator is easy to maintain. Further, since the seal member is disposed between the bottom surface of the cap and the upper surface of the flange portion of the body, there is no fear of damaging the seal member during assembly, and durability as a seal member can be improved. Furthermore, since the sealing member is made of an elastic member, the sealing member can be easily adhered between the cap and the body, and air leakage can be prevented.
請求項２に係る発明によれば、シール部材をボディに焼付け加工することにより、ボディの上面にシール部材の下面が焼付けにより密着固定するため、キャップとボディとのシール性をより高めることが可能となる。 According to the second aspect of the present invention, since the sealing member is baked on the body, the lower surface of the sealing member is firmly fixed to the upper surface of the body by baking, so that the sealing performance between the cap and the body can be further improved. It becomes.
請求項３に係る発明によれば、シール部材がゴムからなることから、キャップとボディとの間にシール部材が密着し易くなり、エアーの漏出を防止することが可能となる。
According to the invention of
請求項４に係る発明によれば、ボディはフランジ部に円環状の凸部を有し、シール部材はボディの凸部の外側に設けられることにより、シール部材は、ボディのフランジ部の凸部の外側部分と略同形状であることから、キャップとボディとのシール性を高め、エアーの漏出を防止することが可能となる。
According to the invention of
請求項５に係る発明によれば、キャップがピストンとスプリングとインレットポートを備えることにより、空気圧作動式アクチュエータとして使用することができる。
According to the invention which concerns on
請求項６に係る発明によれば、アクチュエータのキャップとボディとのシール性を高め、メンテナンスし易く、更にこのアクチュエータを備えた流体制御器を提供することが可能となる。
According to the invention which concerns on
本発明の実施形態の一例について図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係るアクチュエータを示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）はＡ−Ａ線断面図である。
本発明に係るアクチュエータ（１）は、円筒部（６）と、該円筒部（６）の半径方向外側に延びるフランジ部（７）とを有するボディ（２）と、内部空間を有し、ボディ（２）のフランジ部（７）の上面に当接して設けられるキャップ（３）と、キャップ（３）とボディ（２）を連通し、上下動によりダイヤフラム弁の開閉を行うステム（４）と、キャップ（３）の底面とボディ（２）のフランジ部（７）の上面との間に配設されるシール部材（５）とを備えている。
An example of an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1A and 1B are views showing an actuator according to the present invention, in which FIG. 1A is a front view, FIG. 1B is a plan view, and FIG.
The actuator (1) according to the present invention includes a body (2) having a cylindrical portion (6) and a flange portion (7) extending outward in the radial direction of the cylindrical portion (6), an internal space, A cap (3) provided in contact with the upper surface of the flange portion (7) of (2), a stem (4) communicating the cap (3) and the body (2), and opening and closing the diaphragm valve by vertical movement; And a sealing member (5) disposed between the bottom surface of the cap (3) and the upper surface of the flange portion (7) of the body (2).
ステム（４）は、アクチュエータ（１）の略中心部に配設され、キャップ（３）とボディ（２）を連通し、後述するダイヤフラム弁（２５）に連結されている。ステム（４）が上下動することにより、弁が開閉し、流路が開放又は遮断されることとなる。 The stem (4) is disposed substantially at the center of the actuator (1), communicates with the cap (3) and the body (2), and is connected to a diaphragm valve (25) described later. When the stem (4) moves up and down, the valve opens and closes, and the flow path is opened or shut off.
図２は、本発明に係るアクチュエータのボディを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）はＢ−Ｂ線断面図である。
ボディ（２）は、円筒部（６）と、該円筒部（６）の半径方向外側に延びるフランジ部（７）を有している。フランジ部（７）は、円環状の断面視略逆コの字状の凸部（８）と、中心部と該凸部（８）の外側に夫々貫通孔（９）を有している。中心部の貫通孔（９Ａ）は複数のガイド溝（１０）を有している。図２（ｃ）の拡大図に示すようにガイド溝（１０）は２つ設けられ、その溝幅は夫々異なり、上部よりも下部の方が大きい。ガイド溝（１０）にはＯリングが配置され、ステム（４）は貫通孔（９Ａ）を貫通している。凸部（８）の外側に設けられる貫通孔（９Ｂ）は複数あり後述するキャップ（３）の雌ねじ部（１６）と同じ位置に設けられる。
2A and 2B are views showing the body of the actuator according to the present invention, in which FIG. 2A is a plan view, FIG. 2B is a bottom view, and FIG.
The body (2) has a cylindrical portion (6) and a flange portion (7) extending radially outward of the cylindrical portion (6). The flange portion (7) has a ring-shaped convex portion (8) having a substantially inverted U shape in sectional view, and a through hole (9) on the center portion and outside the convex portion (8). The through hole (9A) in the center has a plurality of guide grooves (10). As shown in the enlarged view of FIG. 2 (c), two guide grooves (10) are provided, the groove widths are different, and the lower part is larger than the upper part. An O-ring is disposed in the guide groove (10), and the stem (4) passes through the through hole (9A). There are a plurality of through-holes (9B) provided outside the convex portion (8), and they are provided at the same position as the female screw portion (16) of the cap (3) described later.
図３は、本発明に係るアクチュエータのキャップを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。
キャップ（３）は、内部空間を有する円筒部（１１）と上部に蓋部（１２）を有している。蓋部（１２）は略中央に貫通孔（１３）を有し、貫通孔（１３）には複数のガイド溝（１４）が設けられている。このガイド溝（１４）にはＯリングが配置され、ステム（４）とキャップ（３）とが密着することにより、シール性を高めている。更にガイド溝（１４）の角部はシール性を高めることに加え、Ｏリングの損傷を防ぐためにアール形状であることが好ましい。
3A and 3B are views showing a cap of the actuator according to the present invention, wherein FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a bottom view, and FIG.
The cap (3) has a cylindrical part (11) having an internal space and a lid part (12) on the upper part. The lid portion (12) has a through hole (13) at substantially the center, and the through hole (13) is provided with a plurality of guide grooves (14). An O-ring is disposed in the guide groove (14), and the stem (4) and the cap (3) are in close contact with each other, thereby improving the sealing performance. Furthermore, it is preferable that the corners of the guide groove (14) have a round shape in order to improve the sealing performance and prevent damage to the O-ring.
キャップ（３）の底面（１５）は開口している。更に円筒部（１１）の下部は複数の突起部（１６）を有し、円筒部（１１）の底面（１５）は、ボディ（２）のフランジ部（７）の凸部（８）より外側の上面と略同形状となっている。キャップ（３）の突起部（１６）は雌ねじ部（１７）を有し、ボディ（２）の凸部（８）の外側に雌ねじ部（１７）と連通するように貫通孔（９Ｂ）が設けられる。キャップ（３）は、雄ねじ部を有するボルト等でキャップ（３）の雌ねじ部（１７）と螺合されることにより、ボディ（２）と固定される。
尚、円筒部（１１）の底面（１５）の形状は、ボディ（２）のフランジ部（７）の凸部（８）より外側の上面と略同形状であれば、特に限定されない。
The bottom surface (15) of the cap (3) is open. Further, the lower portion of the cylindrical portion (11) has a plurality of protrusions (16), and the bottom surface (15) of the cylindrical portion (11) is outside the convex portion (8) of the flange portion (7) of the body (2). It has substantially the same shape as the top surface of The protrusion (16) of the cap (3) has an internal thread portion (17), and a through hole (9B) is provided outside the convex portion (8) of the body (2) so as to communicate with the internal thread portion (17). It is done. The cap (3) is fixed to the body (2) by being screwed to the female screw portion (17) of the cap (3) with a bolt or the like having a male screw portion.
The shape of the bottom surface (15) of the cylindrical portion (11) is not particularly limited as long as it is substantially the same shape as the upper surface outside the convex portion (8) of the flange portion (7) of the body (2).
更にキャップ（３）の円筒部（１１）の底面（１５）の内縁端部は面取り加工されていることが好ましい。これにより、キャップ（２）とシート部材（５）との接触面積が増加することにより、キャップ（２）とシート部材（５）との密着性が増すことで、シール性をより高めることが可能となる。 Furthermore, it is preferable that the inner edge end portion of the bottom surface (15) of the cylindrical portion (11) of the cap (3) is chamfered. As a result, the contact area between the cap (2) and the sheet member (5) increases, thereby increasing the adhesion between the cap (2) and the sheet member (5), thereby further improving the sealing performance. It becomes.
更にキャップ（２）は、内部空間にスプリング（１８）とピストン（１９）と下部の外周端部にインレットポート（２０）が配設される。これにより、空圧作動式ダイヤフラム弁アクチュエータとして使用することができる。このとき、スプリング（１８）は、ピストン（１９）を下方向に付勢し、ピストン（１９）はステム（４）に固定されている。インレットポート（２０）は、キャップ（３）の円筒部（１１）の外縁部の突起部（２１）に設けられ、ボディ（２）にも同形状の突起部（２２）が設けられている。 Further, the cap (2) is provided with a spring (18) and a piston (19) in the internal space and an inlet port (20) at the outer peripheral end of the lower part. Thereby, it can be used as a pneumatically operated diaphragm valve actuator. At this time, the spring (18) urges the piston (19) downward, and the piston (19) is fixed to the stem (4). The inlet port (20) is provided on the protrusion (21) at the outer edge of the cylindrical part (11) of the cap (3), and the body (2) is also provided with a protrusion (22) having the same shape.
かかる構造の空圧作動式ダイヤフラム弁は、インレットポート（２０）からエアーがキャップ（３）内に供給されると、エアー通路（２３）に導入されたエアーの圧力によりスプリング（１８）が収縮し、これにより下方に押圧されていたステム（４）が上昇し、ダイヤフラム弁が弁座から離間し、流路が開放される。
一方、インレットポート（２０）からエアー供給が停止されると、エアー通路（２３）に導入されたエアーの圧力が低下してスプリング（１８）が伸長しこれによりステム（４）が下降し、ダイヤフラム弁が弁座へと当接し、流路が閉鎖される。
In the pneumatically operated diaphragm valve having such a structure, when air is supplied into the cap (3) from the inlet port (20), the spring (18) contracts due to the pressure of the air introduced into the air passage (23). As a result, the stem (4) pressed downward is raised, the diaphragm valve is separated from the valve seat, and the flow path is opened.
On the other hand, when the air supply from the inlet port (20) is stopped, the pressure of the air introduced into the air passage (23) is reduced, the spring (18) is extended, and thereby the stem (4) is lowered, and the diaphragm is lowered. The valve contacts the valve seat and the flow path is closed.
シール部材（５）は、図１（ｃ）に示されるようにキャップ（３）の底面（１５）とボディ（２）のフランジ部（７）の上面との間に配設されている。
図４は、本発明に係るアクチュエータに配されるシール部材の形状を示す図である。図４の（ａ）に示されるシール部材（５）は、ボディ（２）のフランジ部（７）の凸部（８）の外側部分と略同形状であり、これにより、キャップ（３）とボディ（２）とのシール性を高め、エアーの漏出を防止することが可能となる。
また、シール部材（５）はキャップ（３）の底面（１５）とボディ（２）のフランジ部（７）の上面との間に配設されていることから、組立時にシール部材を傷付ける恐れがなくなり、シール部材としての耐久性を向上させることができる。更に、これまでのようにＯリングにグリスを塗布する必要がなくなり、メンテナンスが容易となる。
The seal member (5) is disposed between the bottom surface (15) of the cap (3) and the top surface of the flange portion (7) of the body (2) as shown in FIG. 1 (c).
FIG. 4 is a view showing the shape of a seal member arranged in the actuator according to the present invention. The seal member (5) shown in (a) of FIG. 4 has substantially the same shape as the outer portion of the convex portion (8) of the flange portion (7) of the body (2), whereby the cap (3) and It becomes possible to improve the sealing property with the body (2) and prevent air leakage.
Further, since the seal member (5) is disposed between the bottom surface (15) of the cap (3) and the upper surface of the flange portion (7) of the body (2), the seal member may be damaged during assembly. The durability as a sealing member can be improved. Furthermore, it is not necessary to apply grease to the O-ring as before, and maintenance becomes easy.
更に図４の（ｂ）に示されるシール部材（５）は、円環状であってもよく、該円環状のシール部材（５）の内径は、フランジ部（７）の凸部（８）の外径と略同じで、外径は凸部（８）の外側に設けられる複数の貫通孔（９Ｂ）よりも内側である。これにより、キャップ（３）とボディ（２）とのシール性を高めることに加え、円環形状とすることで、形状が単純化し、シール部材の作製効率を高めることが可能となる。 Further, the seal member (5) shown in FIG. 4 (b) may be an annular shape, and the inner diameter of the annular seal member (5) is that of the convex portion (8) of the flange portion (7). It is substantially the same as the outer diameter, and the outer diameter is inside the plurality of through holes (9B) provided outside the convex portion (8). Thereby, in addition to improving the sealing performance between the cap (3) and the body (2), the shape is simplified and the production efficiency of the sealing member can be increased by adopting an annular shape.
シール部材（５）は弾性部材からなり、その材質は特に限定されないが、ゴム材料であることが好ましい。これにより、キャップ（３）とボディ（２）との間にシート部材（５）が密着し易くなり、エアーの漏出を防止することが可能となる。更に空気透過性の低さから、ゴム材料にブチルゴムからなる材料を使用することがより好ましい。これにより、キャップ（３）とボディ（２）の密着性を高めることに加え、キャップ（３）内のエアーの漏出をより確実に防止することが可能となる。 The seal member (5) is made of an elastic member, and the material thereof is not particularly limited, but is preferably a rubber material. Thereby, the sheet member (5) can be easily adhered between the cap (3) and the body (2), and air leakage can be prevented. Furthermore, it is more preferable to use a material made of butyl rubber as the rubber material because of its low air permeability. As a result, in addition to improving the adhesion between the cap (3) and the body (2), it is possible to more reliably prevent air leakage in the cap (3).
シール部材（５）は、ボディ（２）のフランジ部（７）の上面に焼付け加工により取り付けられることが好ましい。シール部材（５）の下面がボディ（２）の上面に焼付けにより密着固定されることにより、ボディ（２）とキャップ（３）とのシール性を更に高めることが可能となる。加工方法については特に限定されないが、未加硫の生ゴムをボディ（２）に焼き付ける方法が好適に利用される。
また、シール部材（５）の上面は平坦面であるが、金型成形により円環状の突起等を設けても構わない。特にアクチュエータの径が大きいものにおいては、アクチュエータの径が小さいものに比べてシール部材の面圧が小さくなるため、シール性能の向上を図るために上面に突起を設けることが望ましい。更にシール部材（５）の突起の断面形状は特に限定されないが、曲線形状（例えば半円形状、楕円形状）や、角形状等が好適に利用される。
The seal member (5) is preferably attached to the upper surface of the flange portion (7) of the body (2) by baking. By sealing and fixing the lower surface of the seal member (5) to the upper surface of the body (2) by baking, it is possible to further improve the sealing performance between the body (2) and the cap (3). Although it does not specifically limit about a processing method, The method of baking unvulcanized raw rubber on a body (2) is utilized suitably.
Moreover, although the upper surface of the sealing member (5) is a flat surface, an annular protrusion or the like may be provided by molding. In particular, when the actuator has a large diameter, the surface pressure of the seal member is smaller than when the actuator has a small diameter. Therefore, it is desirable to provide a protrusion on the upper surface in order to improve the sealing performance. Furthermore, although the cross-sectional shape of the protrusion of the seal member (5) is not particularly limited, a curved shape (for example, a semicircular shape or an elliptical shape), a square shape, or the like is preferably used.
本発明のアクチュエータ（１）のボディ（２）とキャップ（３）の材料は特に限定されず、金属、プラスチック等が好適に利用される。また、表面はＰＴＦＥコーティング処理を行うことにより耐食性に優れたアクチュエータとなる。 The material of the body (2) and the cap (3) of the actuator (1) of the present invention is not particularly limited, and metals, plastics and the like are preferably used. Moreover, the surface becomes an actuator excellent in corrosion resistance by performing PTFE coating treatment.
本発明に係るダイヤフラム弁用アクチュエータは流体制御器に利用される。図５は、本発明に係るダイヤフラム弁用アクチュエータを備えた流体制御器（１００）を示している。流体制御器（１００）は、アクチュエータ（１）と、該アクチュエータ（１）の下部に入口流路と出口流路と弁座を有するバルブボディ（２４）と、弁座に対して当接離反することにより、入口流路から出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイヤフラム弁（２５）を備えている。 The actuator for a diaphragm valve according to the present invention is used for a fluid controller. FIG. 5 shows a fluid controller (100) equipped with a diaphragm valve actuator according to the present invention. The fluid controller (100) comes into contact with and separates from the valve seat, the actuator (1), the valve body (24) having an inlet channel, an outlet channel and a valve seat at the lower part of the actuator (1). Thus, a diaphragm valve (25) that allows or blocks the flow of fluid from the inlet channel to the outlet channel is provided.
本発明に係るダイヤフラム弁用アクチュエータは、アクチュエータのキャップとボディとのシール性を高め、メンテナンスし易く、更にこのアクチュエータを備えた流体制御器を提供することができる。従って、様々な流体制御器に好適に利用することができる。 The actuator for a diaphragm valve according to the present invention improves the sealing performance between the cap and the body of the actuator, facilitates maintenance, and can provide a fluid controller including the actuator. Therefore, it can be suitably used for various fluid controllers.
１ アクチュエータ
２ ボディ
３ キャップ
４ ステム
５ シール部材
６ 円筒部
７ フランジ部
１８ ピストン
１９ スプリング
２０ インレットポート
２４ バルブホディ
２５ ダイヤフラム弁
１００ 流体制御器
DESCRIPTION OF
Claims (6)
内部空間を有し、前記ボディの前記フランジ部の上面に当接して設けられるキャップと、
前記キャップと前記ボディを連通し、上下動によりダイヤフラム弁の開閉を行うステムからなるダイヤフラム弁用アクチュエータであって、
前記キャップの底面と前記ボディの前記フランジ部の上面との間に配設されるシール部材とを備え、
前記シール部材は弾性部材からなる、
ことを特徴とするダイヤフラム弁用アクチュエータ。 A body having a cylindrical portion and a flange portion extending radially outward of the cylindrical portion;
A cap having an internal space and provided in contact with the upper surface of the flange portion of the body;
A diaphragm valve actuator comprising a stem that communicates the cap and the body and opens and closes the diaphragm valve by moving up and down,
A seal member disposed between a bottom surface of the cap and an upper surface of the flange portion of the body;
The seal member is made of an elastic member.
A diaphragm valve actuator characterized by the above.
前記シール部材は、前記ボディの前記凸部の外側に設けられる
ことを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載のダイヤフラム弁用アクチュエータ。 The body has an annular convex portion on the flange portion,
The diaphragm valve actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the seal member is provided outside the convex portion of the body.
前記アクチュエータの下部に入口流路と出口流路と弁座を有するバルブボディと、
前記弁座に対して当接離反することにより、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイヤフラム弁とを備える
ことを特徴とする流体制御器。 A diaphragm valve actuator according to any one of claims 1 to 5,
A valve body having an inlet channel, an outlet channel and a valve seat at a lower part of the actuator;
A fluid controller comprising: a diaphragm valve that allows or blocks fluid flow from the inlet channel to the outlet channel by contacting and separating from the valve seat.
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