JP2015145972A - Lighting device and projector - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lighting device, provided with multiple light sources, which is excellent in speckle reduction effects.SOLUTION: A lighting device 2G according to the present invention comprises a light source device 7 provided with a plurality of light sources including a first light source, a second light source, and a third light source which are two-dimensionally disposed, and a shift device 11 for shifting the optical paths of a plurality of beams emitted from the light source device 7 in a prescribed direction, separately in time. The distance between the second light source and the first light source and the distance between the third light source and the first light source are shorter than the distance between any of the plurality of light sources, except the second and third light sources, and the first light source. The prescribed direction is a direction linking between the first light source and the second and third light sources.

Description

本発明は、照明装置およびプロジェクターに関する。   The present invention relates to a lighting device and a projector.

プロジェクターの光源として、コヒーレントな光を発する光源が用いられることがある。この種の光源には、レーザーダイオード(LD)、スーパールミネッセンスダイオード(SLD)等を用いた固体光源、短アークのランプ光源等がある。例えば、レーザー光源を用いたプロジェクターは、レーザー光の波長域が狭いために色再現範囲を十分に広くすることができ、小型化や構成部品の削減も可能である。   A light source that emits coherent light may be used as a light source of a projector. Examples of this type of light source include a solid-state light source using a laser diode (LD), a super luminescence diode (SLD), and a short arc lamp light source. For example, since a projector using a laser light source has a narrow wavelength range of laser light, the color reproduction range can be sufficiently widened, and the size and the number of components can be reduced.

コヒーレント光源を用いたプロジェクターにより表示を行うと、観察者がスペックルを認識することがある。スペックルは、光の干渉により明点と暗点が縞模様あるいは斑模様に分布するパターンである。スペックルが発生すると、表示を見る観察者は、ぎらつき感を感じ、不快感を覚えることがある。   When displaying with a projector using a coherent light source, an observer may recognize speckles. Speckle is a pattern in which bright spots and dark spots are distributed in stripes or spots due to light interference. When speckle occurs, an observer who sees the display may feel glare and feel uncomfortable.

スペックルを抑制する技術の一つとして、特許文献1には、コヒーレント光源とマイクロレンズアレイと光ビーム走査装置とを備えた照明装置が開示されている。この照明装置では、光ビームが光ビーム走査装置を経てマイクロレンズアレイに照射され、マイクロレンズアレイに対する光ビームの照射位置が時間的に変化する。このとき、マイクロレンズアレイに対する光ビームの入射位置に係わらず、光ビームは受光面の同一位置に照射され、一定の照射領域に様々な入射角度で入射することにより、スペックルが抑制される。   As one of the techniques for suppressing speckles, Patent Literature 1 discloses an illumination device including a coherent light source, a microlens array, and a light beam scanning device. In this illumination device, the light beam is irradiated onto the microlens array via the light beam scanning device, and the irradiation position of the light beam on the microlens array changes with time. At this time, regardless of the incident position of the light beam with respect to the microlens array, the light beam is irradiated to the same position on the light receiving surface, and the speckle is suppressed by being incident on the fixed irradiation region at various incident angles.

特開2012−58711号公報JP 2012-58711 A

プロジェクターには、コヒーレントな光を射出する複数の光源を用いた照明装置が用いられることがある。特許文献1の照明装置に複数のコヒーレント光源を採用した場合には、スペックルの低減効果が得られないことがある。   An illumination device using a plurality of light sources that emit coherent light may be used for the projector. When a plurality of coherent light sources are employed in the illumination device of Patent Document 1, the speckle reduction effect may not be obtained.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものである。本発明の一つの態様は、複数の光源を備え、スペックルの低減効果に優れた照明装置を提供することを目的の一つとする。本発明の一つの態様は、複数の光源を含む照明装置を備え、スペックルの低減により表示品質に優れたプロジェクターを提供することを目的の一つとする。   The present invention has been made to solve the above problems. An object of one embodiment of the present invention is to provide an illumination device including a plurality of light sources and having an excellent speckle reduction effect. An object of one embodiment of the present invention is to provide a projector that includes an illumination device including a plurality of light sources and has excellent display quality by reducing speckles.

上記の目的を達成するために、本発明の一つの態様の照明装置は、2次元的に配置された第1のコヒーレント光を射出する第1の光源、第2のコヒーレント光を射出する第2の光源および第3のコヒーレント光を射出する第3の光源、を含む複数の光源を備える光源装置と、前記光源装置から射出された複数のコヒーレント光の光路を所定の方向に時間的にシフトさせる光路シフト装置と、を備え、前記第2の光源と前記第1の光源との間の距離および前記第3の光源と前記第1の光源との間の距離は、前記複数の光源のうち前記第2の光源および前記第3の光源以外のいずれの光源と前記第1の光源との距離よりも短く、前記所定の方向は、前記第1の光源と、前記第2の光源と前記第3の光源との間の領域と、を結ぶ方向であることを特徴とする。   In order to achieve the above object, an illumination device according to an aspect of the present invention includes a first light source that emits first coherent light that is two-dimensionally arranged, and a second light source that emits second coherent light. And a third light source that emits third coherent light, and a light source device that includes a plurality of light sources, and optical paths of the plurality of coherent lights emitted from the light source device are shifted in time in a predetermined direction. An optical path shift device, and a distance between the second light source and the first light source and a distance between the third light source and the first light source are the light source of the plurality of light sources, The predetermined light source is shorter than the distance between the first light source and any light source other than the second light source and the third light source, and the predetermined direction includes the first light source, the second light source, and the third light source. It is the direction that connects the area between To.

第1の光源、第2の光源および第3の光源からなる3個の光源が2次元的に配置されている場合、仮にこれらの光源から射出される各コヒーレント光の光路をシフトさせる方向が第1の光源と第2の光源とを結ぶ方向であったとすると、照明対象上での第1のコヒーレント光の照射領域の軌跡と第2のコヒーレント光の照射領域の軌跡とが重なってしまう。同様に、仮に各コヒーレント光の光路をシフトさせる方向が第1の光源と第3の光源とを結ぶ方向であったとすると、照明対象上での第1のコヒーレント光の照射領域の軌跡と第3のコヒーレント光の照射領域の軌跡とが重なってしまう。その結果、照明対象上で2つのコヒーレント光の照射領域の軌跡が重なる領域と重ならない領域との間で照度の差が大きくなり、スペックルが発生しやすくなる。   When three light sources including the first light source, the second light source, and the third light source are two-dimensionally arranged, the direction in which the optical path of each coherent light emitted from these light sources is shifted is first. If it is the direction connecting the first light source and the second light source, the locus of the irradiation area of the first coherent light on the illumination target and the locus of the irradiation area of the second coherent light will overlap. Similarly, if the direction in which the optical path of each coherent light is shifted is the direction connecting the first light source and the third light source, the locus of the irradiation area of the first coherent light on the illumination target and the third The locus of the irradiation area of the coherent light overlaps. As a result, a difference in illuminance increases between a region where the loci of the two coherent light irradiation regions overlap and a region where they do not overlap on the illumination target, and speckles are likely to occur.

これに対して、本発明の一つの態様の照明装置においては、光路シフト装置が、複数のコヒーレント光の光路を、第1の光源と、第2の光源と第3の光源との間の領域と、を結ぶ方向に時間的にシフトさせる。そのため、光路シフト装置により第1のコヒーレント光、第2のコヒーレント光および第3のコヒーレント光の各々の光路が時間的にシフトしたとき、第1のコヒーレント光の照射領域の軌跡と第2のコヒーレント光の照射領域の軌跡との重なり、および第1のコヒーレント光の照射領域の軌跡と第3のコヒーレント光の照射領域の軌跡との重なりが上記の場合に比べて少なくなる。これにより、照明対象上での照度分布の均一性が向上するとともに、入射角度分布の均一性が向上する結果、スペックルを低減することができる。   On the other hand, in the illumination device according to one aspect of the present invention, the optical path shift device has a plurality of coherent light paths in the region between the first light source, the second light source, and the third light source. Is shifted in time in the direction connecting the two. Therefore, when the optical paths of the first coherent light, the second coherent light, and the third coherent light are temporally shifted by the optical path shift device, the locus of the irradiation region of the first coherent light and the second coherent light The overlap with the trajectory of the irradiation region of the light and the overlap of the trajectory of the irradiation region of the first coherent light and the trajectory of the irradiation region of the third coherent light are smaller than in the above case. As a result, the uniformity of the illuminance distribution on the illumination target is improved and the uniformity of the incident angle distribution is improved. As a result, speckle can be reduced.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記光路シフト装置は、前記光源装置の光軸に垂直な基準面において、前記第1のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡と前記第2のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡とが重なるように、複数のコヒーレント光の光路をシフトさせてもよい。
この構成によれば、第1のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡と第2のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡とが重なるため、照明対象においてこれら2つのコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡が重なる領域では双方のコヒーレント光の強度が積算される。これにより、2つのコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡が重なる領域における照度と強度分布のピーク位置における照度との差が小さくなる。その結果、照度分布の均一性をさらに向上させることができる。
In the illuminating device according to one aspect of the present invention, the optical path shift device includes a trajectory of the bottom of the intensity distribution of the first coherent light and the second coherent light on a reference plane perpendicular to the optical axis of the light source device. The optical paths of the plurality of coherent lights may be shifted so that the bottom traces of the intensity distributions overlap.
According to this configuration, the bottom locus of the intensity distribution of the first coherent light overlaps the bottom locus of the intensity distribution of the second coherent light. In the region where the tracks overlap, the intensities of both coherent lights are integrated. Thereby, the difference between the illuminance in the region where the loci of the tails of the intensity distributions of the two coherent lights overlap and the illuminance at the peak position of the intensity distribution is reduced. As a result, the uniformity of the illuminance distribution can be further improved.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記光路シフト装置は、回転可能なプリズムを備えていてもよい。
この構成によれば、プリズムを回転させることにより、コヒーレント光の光路を所定の方向に時間的にシフトさせることができる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the optical path shift device may include a rotatable prism.
According to this configuration, the optical path of the coherent light can be temporally shifted in a predetermined direction by rotating the prism.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記プリズムの回転速度が、時間的に変化してもよい。
この構成によれば、プリズムの回転速度を時間的に変化させることにより、照明対象における時間平均した照度分布を均一にでき、トップハット形状により近い照度分布が得られる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the rotational speed of the prism may change over time.
According to this configuration, by temporally changing the rotation speed of the prism, the time-averaged illuminance distribution in the illumination target can be made uniform, and an illuminance distribution closer to the top hat shape can be obtained.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記プリズムの回転速度が、一定であってもよい。
この構成によれば、プリズムから射出される光の照射領域の周縁部で、時間平均した照度が高くなる。これにより、スペックルをより効果的に低減することができる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the rotation speed of the prism may be constant.
According to this configuration, the time-averaged illuminance is increased at the periphery of the irradiation area of the light emitted from the prism. Thereby, speckle can be reduced more effectively.

本発明の一つの態様の照明装置は、前記光源装置と前記光路シフト装置との間の光路中に設けられたコリメート光学系と、前記光路シフト装置を経由した複数のコヒーレント光が入射する回折光学素子と、をさらに備えてもよい。
この構成によれば、光源装置から射出されたコヒーレント光はコリメート光学系で平行化され、平行化された光が光路シフト装置を経由して回折光学素子に入射する。光は回折光学素子により回折され、照明対象の所定の領域が照明される。
An illumination device according to an aspect of the present invention includes a collimating optical system provided in an optical path between the light source device and the optical path shift device, and a diffractive optical device in which a plurality of coherent lights incident through the optical path shift device are incident. And an element.
According to this configuration, the coherent light emitted from the light source device is collimated by the collimating optical system, and the collimated light enters the diffractive optical element via the optical path shift device. The light is diffracted by the diffractive optical element, and a predetermined area to be illuminated is illuminated.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記第1のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第1の回折光パターンは、前記第2のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第2の回折光パターンと異なっていてもよい。
この構成によれば、互いに異なる第1の回折光パターンと第2の回折光パターンとにより、スペックルを効果的に低減することができる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the first diffracted light pattern formed by the first coherent light and the diffractive optical element is formed by the second coherent light and the diffractive optical element. It may be different from the second diffracted light pattern.
According to this configuration, speckle can be effectively reduced by the first diffracted light pattern and the second diffracted light pattern which are different from each other.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記第1のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第1の回折光パターンは、前記第2のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第2の回折光パターンと同じであり、照明対象において前記第1の回折光パターンと前記第2の回折光パターンとを重畳させる重畳光学系をさらに備えていてもよい。
この構成によれば、第1の回折光パターンと第2の回折光パターンとが重畳光学系により照明対象上で重畳されることにより、スペックルを効果的に低減することができる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the first diffracted light pattern formed by the first coherent light and the diffractive optical element is formed by the second coherent light and the diffractive optical element. And a superimposing optical system that superimposes the first diffracted light pattern and the second diffracted light pattern on the illumination target.
According to this configuration, speckles can be effectively reduced by superimposing the first diffracted light pattern and the second diffracted light pattern on the object to be illuminated by the superimposing optical system.

本発明の一つの態様の照明装置は、前記光源装置と前記光路シフト装置との間の光路中に設けられたコリメート光学系と、前記光路シフト装置を経由した複数のコヒーレント光が入射するインテグレーター光学系と、をさらに備えていてもよい。
この構成によれば、光源装置から射出されたコヒーレント光はコリメート光学系により平行化され、平行化された光が光路シフト装置を経由してインテグレーター光学系に入射する。これにより、照明対象上での光の照度分布および入射角度分布は均一化される。
The illumination device according to one aspect of the present invention includes a collimating optical system provided in an optical path between the light source device and the optical path shift device, and an integrator optical in which a plurality of coherent lights incident through the optical path shift device are incident. And a system.
According to this configuration, the coherent light emitted from the light source device is collimated by the collimating optical system, and the collimated light is incident on the integrator optical system via the optical path shift device. Thereby, the illuminance distribution and the incident angle distribution of the light on the illumination target are made uniform.

本発明の一つの態様の照明装置において、前記インテグレーター光学系は、複数のレンズを有する第1のレンズアレイと、複数のレンズを有する第2のレンズアレイと、を備え、前記インテグレーター光学系の光入射側に拡散板を備えていてもよい。
この構成によれば、光源装置から射出されたコヒーレント光は拡散板により拡散され、均一な照度分布を持った光が第1のレンズアレイに入射する。これにより、第2のレンズアレイ上で均一な照度分布が形成され、スペックルを効果的に低減することができる。
In the illumination device according to one aspect of the present invention, the integrator optical system includes a first lens array having a plurality of lenses and a second lens array having a plurality of lenses, and the light of the integrator optical system. A diffusion plate may be provided on the incident side.
According to this configuration, the coherent light emitted from the light source device is diffused by the diffusion plate, and light having a uniform illuminance distribution enters the first lens array. Thereby, a uniform illuminance distribution is formed on the second lens array, and speckle can be effectively reduced.

本発明の一つの態様のプロジェクターは、本発明の一つの態様の照明装置と、前記照明装置からの光を変調する光変調装置と、前記光変調装置により変調された光を投射する投射光学系と、を備えている。
本発明の一つの態様によれば、上記の照明装置を備えたことにより、スペックルの低減により表示品質に優れたプロジェクターを提供することができる。
A projector according to one aspect of the present invention includes a lighting device according to one aspect of the present invention, a light modulation device that modulates light from the lighting device, and a projection optical system that projects light modulated by the light modulation device. And.
According to one aspect of the present invention, it is possible to provide a projector having excellent display quality by reducing speckles by including the above-described illumination device.

本発明の第1実施形態のプロジェクターを示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram illustrating a projector according to a first embodiment of the invention. 第1実施形態の照明装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the illuminating device of 1st Embodiment. 光路シフト装置による光路のシフトを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the shift of the optical path by an optical path shift apparatus. 照明装置の光軸方向から見たプリズムの正面図である。It is the front view of the prism seen from the optical axis direction of the illuminating device. 回折光学素子上でシフトする光の照射領域の軌跡を示す図である。It is a figure which shows the locus | trajectory of the irradiation area | region of the light shifted on a diffractive optical element. 比較例の照明装置の光軸方向から見たプリズムの正面図である。It is the front view of the prism seen from the optical axis direction of the illuminating device of the comparative example. 比較例の照明装置において回折光学素子上でシフトする光の照射領域の軌跡を示す図である。It is a figure which shows the locus | trajectory of the irradiation area | region of the light shifted on a diffractive optical element in the illuminating device of a comparative example. 光源装置における複数の光源の配置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of arrangement | positioning of the several light source in a light source device. 光源装置における複数の光源の配置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of arrangement | positioning of the several light source in a light source device. 光源装置における複数の光源の配置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of arrangement | positioning of the several light source in a light source device. 光源装置における複数の光源の配置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of arrangement | positioning of the several light source in a light source device. プリズムの回転速度を変化させたときの照度分布を示す図である。It is a figure which shows illumination intensity distribution when changing the rotational speed of a prism. プリズムの回転速度を一定としたときの照度分布を示す図である。It is a figure which shows illuminance distribution when the rotational speed of a prism is made constant. 複数の光源から射出された複数の光の強度分布を示す図である。It is a figure which shows intensity distribution of the some light inject | emitted from the some light source. 第2実施形態の照明装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the illuminating device of 2nd Embodiment. 第3実施形態の照明装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the illuminating device of 3rd Embodiment. 第4実施形態の照明装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the illuminating device of 4th Embodiment. 第5実施形態の照明装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the illuminating device of 5th Embodiment. 光路シフト装置の他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of an optical path shift apparatus.

[第1実施形態]
以下、本発明の第1実施形態について、図1〜図7を用いて説明する。
第1実施形態のプロジェクターは、複数のレーザー光源を有する照明装置を3組備えた液晶プロジェクターの例である。
図1は、第1実施形態のプロジェクターを示す概略構成図である。図2は、第1実施形態の照明装置を示す概略構成図である。
以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The projector according to the first embodiment is an example of a liquid crystal projector including three sets of illumination devices each having a plurality of laser light sources.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating the projector according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating the illumination device according to the first embodiment.
In the following drawings, in order to make each component easy to see, the scale of the size may be varied depending on the component.

第1実施形態のプロジェクター1は、DVDプレイヤー、PCなどの信号源から供給される画像データに基づいて画像を形成し、形成した画像をスクリーンや壁等の投射面SC(表示画面)に投射する。   The projector 1 according to the first embodiment forms an image based on image data supplied from a signal source such as a DVD player or a PC, and projects the formed image onto a projection surface SC (display screen) such as a screen or a wall. .

図1に示すように、プロジェクター1は、照明光学系2と、画像形成光学系3と、投射光学系4と、制御系5と、色合成光学系6と、を備えている。画像形成光学系3は、照明光学系2から射出された照明光から画像を形成する。投射光学系4は、画像形成光学系3が形成した画像を投射面SC上に投射する。制御系5は、プロジェクター1の各部を制御する。プロジェクター1は、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色の画像を個別に形成し、形成した3色の画像を色合成光学系6により合成することでフルカラーの画像を表現する。プロジェクター1は、いわゆる3板式のプロジェクターである。   As shown in FIG. 1, the projector 1 includes an illumination optical system 2, an image forming optical system 3, a projection optical system 4, a control system 5, and a color synthesis optical system 6. The image forming optical system 3 forms an image from the illumination light emitted from the illumination optical system 2. The projection optical system 4 projects the image formed by the image forming optical system 3 onto the projection surface SC. The control system 5 controls each part of the projector 1. The projector 1 expresses a full-color image by individually forming red (R), green (G), and blue (B) color images and synthesizing the formed three-color images by the color synthesis optical system 6. To do. The projector 1 is a so-called three-plate projector.

照明光学系2は、赤色の照明光を射出する照明装置2Rと、緑色の照明光を射出する照明装置2Gと、青色の照明光を射出する照明装置2Bと、を備えている。これらの照明装置は、いずれも同様の構成であり、それぞれ光源装置7と照明光学系8とを含んでいる。これら照明装置2R、照明装置2Gおよび照明装置2Bの詳細な構成については後述する。   The illumination optical system 2 includes an illumination device 2R that emits red illumination light, an illumination device 2G that emits green illumination light, and an illumination device 2B that emits blue illumination light. All of these illumination devices have the same configuration, and each include a light source device 7 and an illumination optical system 8. Detailed configurations of the lighting device 2R, the lighting device 2G, and the lighting device 2B will be described later.

画像形成光学系3は、赤色の画像を形成する画像形成装置3Rと、緑色の画像を形成する画像形成装置3Gと、青色の画像を形成する画像形成装置3Bと、を備えている。照明装置2R、照明装置2Gおよび照明装置2Bの各々と、画像形成装置3G、画像形成装置3Gおよび画像形成装置3Bの各々と、は1対1で対応している。画像形成装置3G、画像形成装置3Gおよび画像形成装置3Bの各々は、特許請求の範囲における光変調装置に対応する。   The image forming optical system 3 includes an image forming apparatus 3R that forms a red image, an image forming apparatus 3G that forms a green image, and an image forming apparatus 3B that forms a blue image. Each of illumination device 2R, illumination device 2G, and illumination device 2B has a one-to-one correspondence with image forming device 3G, image forming device 3G, and image forming device 3B. Each of the image forming apparatus 3G, the image forming apparatus 3G, and the image forming apparatus 3B corresponds to the light modulation device in the claims.

画像形成装置3G、画像形成装置3Gおよび画像形成装置3Bの各々は、対応する照明装置からの照明光により各色の画像を形成し、各色の画像に応じた画像光を射出する。すなわち、赤色用の画像形成装置3Rは、赤色用の照明装置2Rからの照明光(赤色光)により赤色の画像を形成し、画像に応じた光(画像光)を射出する。緑色用の画像形成装置3Gは、緑色用の照明装置2Gからの照明光(緑色光)により緑色の画像を形成し、画像に応じた光(画像光)を射出する。青色用の画像形成装置3Bは、青色用の照明装置2Bからの照明光(青色光)により青色の画像を形成し、画像に応じた光(画像光)を射出する。   Each of the image forming apparatus 3G, the image forming apparatus 3G, and the image forming apparatus 3B forms an image of each color with illumination light from the corresponding illumination device, and emits image light corresponding to the image of each color. That is, the red image forming apparatus 3R forms a red image by the illumination light (red light) from the red illumination apparatus 2R, and emits light (image light) corresponding to the image. The green image forming apparatus 3G forms a green image with illumination light (green light) from the green illumination apparatus 2G, and emits light (image light) corresponding to the image. The blue image forming apparatus 3B forms a blue image with the illumination light (blue light) from the blue illumination apparatus 2B, and emits light (image light) corresponding to the image.

画像形成光学系3から射出された各色の画像光は、色合成光学系6に入射する。色合成光学系6は、例えばダイクロイックプリズムで構成される。ダイクロイックプリズムは、入射光の波長に応じて入射光を反射または透過させる2つの波長分離膜を含む。1つの波長分離膜は、赤色光と緑色光とを透過させ、青色光を反射させる特性を有する。他の波長分離膜は、緑色光と青色光とを透過させ、赤色光を反射させる特性を有する。   The image light of each color emitted from the image forming optical system 3 enters the color synthesis optical system 6. The color synthesizing optical system 6 is composed of, for example, a dichroic prism. The dichroic prism includes two wavelength separation films that reflect or transmit incident light according to the wavelength of incident light. One wavelength separation film has characteristics of transmitting red light and green light and reflecting blue light. The other wavelength separation films have characteristics of transmitting green light and blue light and reflecting red light.

画像形成光学系3から色合成光学系6に入射した3色の色光は、波長によって波長分離膜で反射するか、もしくは波長分離膜を透過するかにより、進行方向が揃えられて色合成光学系6から射出される。色合成光学系6から射出された画像光は、投射光学系4に入射する。投射光学系4は、複数のレンズまたはミラーで構成される。投射光学系4は、画像形成光学系3が形成した画像を投射面SCに拡大投射する。   The three colors of color light incident on the color synthesis optical system 6 from the image forming optical system 3 are aligned in the traveling direction depending on whether they are reflected by the wavelength separation film or transmitted through the wavelength separation film depending on the wavelength. 6 is injected. Image light emitted from the color synthesis optical system 6 enters the projection optical system 4. The projection optical system 4 includes a plurality of lenses or mirrors. The projection optical system 4 enlarges and projects the image formed by the image forming optical system 3 on the projection surface SC.

以下、プロジェクター1の各部について、より詳しく説明する。
第1実施形態において、各色用の照明装置および画像形成装置はいずれも同様の構成である。そのため、緑色の画像に対応するシステムの構成を代表的に説明し、他色の画像に対応するシステムの説明を省略する。
Hereinafter, each part of the projector 1 will be described in more detail.
In the first embodiment, the illumination device for each color and the image forming apparatus have the same configuration. Therefore, the configuration of the system corresponding to the green image is representatively described, and the description of the system corresponding to the other color image is omitted.

図2は、照明装置2G、画像形成装置3G、色合成光学系6、および投射光学系4を示す図である。照明装置2Gは、画像形成装置3Gにおける複数の画素が配列された領域を、ケーラー照明法などにより略均一な明るさで照明する。照明装置2Gは、被照明領域IRの各点に入射する光の入射角度分布を時間的に変化させることにより、スペックルが視認されることを抑制できる。   FIG. 2 is a diagram showing the illumination device 2G, the image forming device 3G, the color synthesis optical system 6, and the projection optical system 4. The illumination device 2G illuminates a region in which a plurality of pixels in the image forming device 3G are arranged with substantially uniform brightness by a Kohler illumination method or the like. The illumination device 2G can suppress speckles from being visually recognized by temporally changing the incident angle distribution of light incident on each point of the illuminated area IR.

照明装置2Gは、光源装置7と、照明光学系8と、を備える。照明光学系8は、コリメート光学系10と、光路シフト装置11と、回折光学素子12と、重畳光学系13と、を備える。   The illumination device 2G includes a light source device 7 and an illumination optical system 8. The illumination optical system 8 includes a collimating optical system 10, an optical path shift device 11, a diffractive optical element 12, and a superimposing optical system 13.

光源装置7は、複数のレーザー光源15を備える。複数のレーザー光源15は、光源装置7の光軸AXの方向に垂直な基準面において、互いに直交する方向に等間隔で2次元的に配置されている。本実施形態の例では、9個のレーザー光源15が基準面内の互いに直交する方向に等間隔で3行3列に配置されている。レーザー光源15は、コヒーレントな光として緑色のレーザー光を射出する。その他の光源として、スーパールミネッセンスダイオード(SLD)、短アークのランプ光源等のコヒーレント光を射出する光源を用いることができる。
なお、光源装置7の光軸AXとは、光源装置7から射出された複数のコヒーレントな光ビームの束を1本の光ビームとみなしたときの、その光ビームの光軸のことである。
The light source device 7 includes a plurality of laser light sources 15. The plurality of laser light sources 15 are two-dimensionally arranged at equal intervals in directions orthogonal to each other on a reference plane perpendicular to the direction of the optical axis AX of the light source device 7. In the example of the present embodiment, nine laser light sources 15 are arranged in three rows and three columns at equal intervals in a direction orthogonal to each other in the reference plane. The laser light source 15 emits green laser light as coherent light. As another light source, a light source that emits coherent light such as a super luminescence diode (SLD) or a short arc lamp light source can be used.
The optical axis AX of the light source device 7 is the optical axis of the light beam when a bundle of a plurality of coherent light beams emitted from the light source device 7 is regarded as one light beam.

コリメート光学系10は、複数のレンズ16を備える。コリメート光学系10を構成する複数のレンズ16の各々は、光源装置7を構成する複数のレーザー光源15の各々と、1対1で対応している。そのため、光源装置7と同様、複数のレンズ16は、光源装置7の光軸AXの方向から見て互いに直交する方向に等間隔で2次元的に配置されている。   The collimating optical system 10 includes a plurality of lenses 16. Each of the plurality of lenses 16 constituting the collimating optical system 10 has a one-to-one correspondence with each of the plurality of laser light sources 15 constituting the light source device 7. Therefore, like the light source device 7, the plurality of lenses 16 are two-dimensionally arranged at equal intervals in directions orthogonal to each other when viewed from the direction of the optical axis AX of the light source device 7.

光路シフト装置11は、例えば回転可能とされた立方体状の透明材からなるプリズム17で構成される。プリズム17は、光源装置7から射出された複数の光が入射する位置に配置され、光源装置7から射出された複数の光を透過させる。プリズム17は、光源装置7の光軸AXの方向と交差する方向に配置された回転軸Rを中心として回転する。プリズム17は、電動モーター等の駆動部から供給されるトルクによって回転する。   The optical path shift device 11 includes a prism 17 made of, for example, a cubic transparent material that can be rotated. The prism 17 is disposed at a position where a plurality of lights emitted from the light source device 7 are incident, and transmits the plurality of lights emitted from the light source device 7. The prism 17 rotates around a rotation axis R disposed in a direction intersecting with the direction of the optical axis AX of the light source device 7. The prism 17 is rotated by torque supplied from a drive unit such as an electric motor.

プリズム17は、ある時刻において光源装置7からの光が入射する第1面17aと、第1面17aに平行な第2面17bとを有する。本実施形態において、プリズム17は、回転軸Rに直交する断面形状が正方形状であり、第1面17aおよび第2面17bに垂直な第3面17cおよび第4面17dを有する。第3面17cと第4面17dは、互いに平行である。回転軸Rは、プリズム17の中心(重心)を通り、第1面17a、第2面17b、第3面17cおよび第4面17dの各々に平行な方向に延びる軸である。   The prism 17 has the 1st surface 17a into which the light from the light source device 7 injects at a certain time, and the 2nd surface 17b parallel to the 1st surface 17a. In the present embodiment, the prism 17 has a square cross section perpendicular to the rotation axis R, and has a third surface 17c and a fourth surface 17d perpendicular to the first surface 17a and the second surface 17b. The third surface 17c and the fourth surface 17d are parallel to each other. The rotation axis R is an axis that passes through the center (center of gravity) of the prism 17 and extends in a direction parallel to each of the first surface 17a, the second surface 17b, the third surface 17c, and the fourth surface 17d.

回折光学素子12は、例えば計算機合成ホログラム(CGH:Computer Generated Hologram)から構成されている。図示を省略するが、回折光学素子12は、アレイ状に配列された複数のセルを有している。CGHは、例えば石英(ガラス)や合成樹脂などの光透過性材料からなる基材の一面に、計算機により設計された微細な凹凸構造が設けられた表面レリーフ型のホログラム素子である。回折光学素子12は、回折現象を利用して入射光の波面を変換する波面変換素子として機能する。   The diffractive optical element 12 is composed of, for example, a computer generated hologram (CGH). Although not shown, the diffractive optical element 12 has a plurality of cells arranged in an array. The CGH is a surface relief type hologram element in which a fine concavo-convex structure designed by a computer is provided on one surface of a base material made of a light transmissive material such as quartz (glass) or synthetic resin. The diffractive optical element 12 functions as a wavefront conversion element that converts the wavefront of incident light using a diffraction phenomenon.

回折光学素子12は、互いに異なる深さの矩形状の断面形状を有する複数の凹部と、互いに異なる高さの矩形状の断面形状を有する複数の凸部と、を有している。回折光学素子12においては、凹部や凸部のピッチ、凹部の深さや凸部の高さ等の設計条件を適宜調整することにより、被照明領域の大きさや形状、および回折光の照度分布を自在に設定することができる。回折光学素子12の設計条件を最適化する手法として、例えば反復フーリエ法などの演算手法を用いることができる。   The diffractive optical element 12 has a plurality of concave portions having rectangular cross-sectional shapes with different depths, and a plurality of convex portions having rectangular cross-sectional shapes with different heights. In the diffractive optical element 12, the size and shape of the illuminated region and the illuminance distribution of the diffracted light can be freely adjusted by appropriately adjusting the design conditions such as the pitch of the recesses and protrusions, the depth of the recesses and the height of the protrusions Can be set to As a technique for optimizing the design conditions of the diffractive optical element 12, for example, an arithmetic technique such as an iterative Fourier method can be used.

重畳光学系13は、第1のレンズ18と、第2のレンズ19と、を含む。重畳光学系13は、回折光学素子12から射出された光が入射する位置に配置されている。重畳光学系13は、回折光学素子12から射出されて重畳光学系13の互いに異なる位置に入射した光を、画像形成装置3G上の各点で互いに重畳させる。   The superimposing optical system 13 includes a first lens 18 and a second lens 19. The superimposing optical system 13 is disposed at a position where light emitted from the diffractive optical element 12 enters. The superimposing optical system 13 superimposes light emitted from the diffractive optical element 12 and incident on different positions of the superimposing optical system 13 at each point on the image forming apparatus 3G.

画像形成装置3Gは、例えば透過型の液晶ライトバルブである。画像形成装置3Gは、複数の画素を有する液晶パネル21と、液晶パネル21の入射側(光源装置7側)に配置された入射側偏光板22と、液晶パネル21の射出側(投射光学系4側)に配置された射出側偏光板23と、を備えている。   The image forming apparatus 3G is, for example, a transmissive liquid crystal light valve. The image forming apparatus 3G includes a liquid crystal panel 21 having a plurality of pixels, an incident-side polarizing plate 22 disposed on the incident side (light source device 7 side) of the liquid crystal panel 21, and the emission side (projection optical system 4) of the liquid crystal panel 21. And an exit side polarizing plate 23 arranged on the side).

入射側偏光板22は、液晶パネル21において複数の画素が配列される面に平行な第1方向の直線偏光を通し、第1方向に直交する第2方向の直線偏光を遮光(吸収)する。液晶パネル21は、画像制御装置24により制御され、各画素に入射した光の偏光状態を画素ごとに変調する。画像制御装置24は、例えば図1に示した制御系5の一部である。   The incident-side polarizing plate 22 transmits linearly polarized light in a first direction parallel to a surface on which a plurality of pixels are arranged in the liquid crystal panel 21 and shields (absorbs) linearly polarized light in a second direction orthogonal to the first direction. The liquid crystal panel 21 is controlled by the image control device 24 and modulates the polarization state of light incident on each pixel for each pixel. The image control device 24 is, for example, a part of the control system 5 shown in FIG.

射出側偏光板23は、例えば、その透過軸が入射側偏光板22の透過軸と直交するように配置される。画像制御装置24は、画像データに基づいて液晶パネル21を駆動し、各画素を通った光の偏光状態を制御することにより、入射側偏光板22と液晶パネル21と射出側偏光板23との透過率を画素ごとに制御する。このようにして、画像形成装置3Gは、画像データに規定された画像を形成する。   For example, the emission side polarizing plate 23 is arranged so that the transmission axis thereof is orthogonal to the transmission axis of the incident side polarizing plate 22. The image control device 24 drives the liquid crystal panel 21 based on the image data, and controls the polarization state of the light passing through each pixel, so that the incident side polarizing plate 22, the liquid crystal panel 21, and the emission side polarizing plate 23 The transmittance is controlled for each pixel. In this way, the image forming apparatus 3G forms an image defined in the image data.

図1を参照して説明したように、画像形成装置3Gから出射した画像光は、色合成光学系6を介して投射光学系4に入射する。投射光学系4は、画像形成装置3G(物体面)と光学的に共役な像面を形成し、この像面に配置される投射面SC上には、画像形成装置3Gが形成した画像が投射される。   As described with reference to FIG. 1, the image light emitted from the image forming apparatus 3 </ b> G enters the projection optical system 4 via the color synthesis optical system 6. The projection optical system 4 forms an image plane optically conjugate with the image forming apparatus 3G (object plane), and an image formed by the image forming apparatus 3G is projected on the projection plane SC arranged on the image plane. Is done.

図3は、光路シフト装置11による光路のシフトを説明するための図である。
図3において、プリズム17の回転角は、光源装置7からの光が第1面17aの法線方向から第1面17aに入射する回転位置を基準位置(0°)とした場合の、基準位置からのプリズム17の回転角で示す。
図3において、プリズムの回転軸Rが延びる方向をY1軸方向とし、Y1軸に垂直な平面内の直交する2方向をそれぞれX1軸方向、Z1軸方向とする。
FIG. 3 is a diagram for explaining the shift of the optical path by the optical path shift device 11.
In FIG. 3, the rotation angle of the prism 17 is the reference position when the rotation position where the light from the light source device 7 is incident on the first surface 17a from the normal direction of the first surface 17a is the reference position (0 °). The rotation angle of the prism 17 from
In FIG. 3, the direction in which the rotation axis R of the prism extends is the Y1 axis direction, and the two orthogonal directions in the plane perpendicular to the Y1 axis are the X1 axis direction and the Z1 axis direction, respectively.

図3において、回転角が0°の状態において第1面17aに入射した光は、プリズム17の内部を通って第2面17bから射出される。回転角が0°の状態においては、第1面17aへ入射する光は第1面17aおよび第2面17bで屈折しない。そのため、第1面17aへの入射側の光路(以下、入射側光路Lx1という)と第2面17bからの射出側の光路(以下、射出側光路Lx2という)とは、同一直線上にある。   In FIG. 3, the light incident on the first surface 17 a in a state where the rotation angle is 0 ° is emitted from the second surface 17 b through the inside of the prism 17. In a state where the rotation angle is 0 °, the light incident on the first surface 17a is not refracted by the first surface 17a and the second surface 17b. Therefore, the incident side optical path to the first surface 17a (hereinafter referred to as the incident side optical path Lx1) and the emission side optical path from the second surface 17b (hereinafter referred to as the emission side optical path Lx2) are on the same straight line.

回転角が所定の角度以下(例えば15°)の状態において、光源装置7からの光の略全てが第1面17aに入射する。第1面17aに入射した光は、第1面17aと第2面17bとで屈折して、第2面17bから射出される。第1面17aと第2面17bとは互いに平行であるため、入射側光路Lx1と射出側光路Lx2は、互いに平行である。また、光軸(Z1軸方向)の方向と交差する方向(ここではX1軸方向)の、入射側光路Lx1の位置が、射出側光路Lx2のX1軸方向の位置からずれている。つまり、射出側光路Lx2は入射側光路Lx1からX1軸方向にシフトしている。   In a state where the rotation angle is equal to or smaller than a predetermined angle (for example, 15 °), substantially all of the light from the light source device 7 is incident on the first surface 17a. The light incident on the first surface 17a is refracted by the first surface 17a and the second surface 17b and is emitted from the second surface 17b. Since the first surface 17a and the second surface 17b are parallel to each other, the incident side optical path Lx1 and the emission side optical path Lx2 are parallel to each other. Further, the position of the incident side optical path Lx1 in the direction (here, the X1 axis direction) intersecting the direction of the optical axis (Z1 axis direction) is deviated from the position of the emission side optical path Lx2 in the X1 axis direction. That is, the emission side optical path Lx2 is shifted from the incident side optical path Lx1 in the X1 axis direction.

入射側光路Lx1と射出側光路Lx2とのシフト量d(以下、光路シフト量dという)は、プリズム17の屈折率と、第1面17aと第2面17bとの距離と、プリズム17の回転角によって定まる。換言すると、光路シフト量dは、プリズム17の回転角に応じて変化し、プリズム17の回転角が時間的に変化することで光路シフト量dも時間的に変化する。   The shift amount d (hereinafter referred to as optical path shift amount d) between the incident side optical path Lx1 and the exit side optical path Lx2 is the refractive index of the prism 17, the distance between the first surface 17a and the second surface 17b, and the rotation of the prism 17. It depends on the corner. In other words, the optical path shift amount d changes according to the rotation angle of the prism 17, and the optical path shift amount d also changes with time as the rotation angle of the prism 17 changes with time.

回転角が所定の角度以上(例えば30°)になると、光源装置7からの光は、第1面17aと第3面17cとに入射するようになる。光源装置7からの光のうち、第1面17aに入射した光(以下、第1部分光Baという)は、第1面17aおよび第2面17bで屈折し、射出側光路が第1部分光Baの入射側光路に対してX1軸の正方向にシフトする。一方、光源装置7からの光のうち第3面17cに入射した光(以下、第2部分光Bbという)は、第3面17cおよび第4面17dで屈折し、射出側光路が第2部分光Bbの入射側光路に対してX1軸の負方向にシフトする。第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、X1軸方向の位置が互いにずれており、ここでは互いに重複しない光路である。   When the rotation angle becomes equal to or greater than a predetermined angle (for example, 30 °), the light from the light source device 7 enters the first surface 17a and the third surface 17c. Of the light from the light source device 7, the light incident on the first surface 17a (hereinafter referred to as the first partial light Ba) is refracted by the first surface 17a and the second surface 17b, and the emission side optical path is the first partial light. Shifting in the positive direction of the X1 axis with respect to the Ba incident side optical path. On the other hand, light incident on the third surface 17c (hereinafter referred to as second partial light Bb) out of the light from the light source device 7 is refracted by the third surface 17c and the fourth surface 17d, and the emission side optical path is the second portion. It shifts in the negative direction of the X1 axis with respect to the incident side optical path of the light Bb. The emission side optical path of the first partial light Ba and the emission side optical path of the second partial light Bb are offset from each other in the X1-axis direction, and are optical paths that do not overlap each other here.

回転角が所定の角度よりも大きくなるにつれて、第1面17aに入射する光の光量(光源装置7からの光に対する第1部分光Baの割合)が減少するとともに、第3面17cに入射する光の光量(光源装置7からの光に対する第2部分光Bbの割合)が増加する。ここでは、回転角が45°になると、光源装置7からの光の約半分が第1面17aに入射し、残りの約半分が第3面17cに入射する。回転角が約45°である状態において、第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、プリズム17の回転軸Rと光の進行方向を含む面に関して対称的になる。   As the rotation angle becomes larger than a predetermined angle, the amount of light incident on the first surface 17a (the ratio of the first partial light Ba to the light from the light source device 7) decreases and enters the third surface 17c. The amount of light (the ratio of the second partial light Bb to the light from the light source device 7) increases. Here, when the rotation angle is 45 °, about half of the light from the light source device 7 is incident on the first surface 17a, and the remaining half is incident on the third surface 17c. In a state where the rotation angle is about 45 °, the emission side optical path of the first partial light Ba and the emission side optical path of the second partial light Bb are symmetrical with respect to the plane including the rotation axis R of the prism 17 and the light traveling direction. Become.

第1部分光Baの射出側光路と第2部分光Bbの射出側光路は、回転角が45°から90°まで変化する間に、回転角が0°から45°まで変化する間の光路の変化の態様とY1−Z1面に関して対称的に変化する。例えば、回転角が60°(45°+15°)である状態の第1部分光Baの射出側光路は、30°(45°−15°)である状態の第1部分光Baの射出側光路に対し、Y1−Z1平面に関して対称的になる。回転角が90°になると、光源装置7からの光が第3面17cに対して法線方向から入射するようになり、回転角が0°の状態と同じ状態になる。このようにして、光路シフト装置11は、光源装置7から射出された光の回折光学素子12への入射位置を時間的に変化させる。   The exit-side optical path of the first partial light Ba and the exit-side optical path of the second partial light Bb are optical paths while the rotation angle changes from 0 ° to 45 ° while the rotation angle changes from 45 ° to 90 °. The mode of change and the Y1-Z1 plane change symmetrically. For example, the emission side optical path of the first partial light Ba in a state where the rotation angle is 60 ° (45 ° + 15 °) is the emission side optical path of the first partial light Ba in a state of 30 ° (45 ° −15 °). On the other hand, it becomes symmetrical with respect to the Y1-Z1 plane. When the rotation angle reaches 90 °, the light from the light source device 7 enters the third surface 17c from the normal direction, which is the same as the state where the rotation angle is 0 °. In this way, the optical path shift device 11 temporally changes the incident position of the light emitted from the light source device 7 to the diffractive optical element 12.

光路シフト装置11は、回転角が90°変化する間に、回転角が0°から90°まで変化するときと同様に、光源装置7から射出された光の回折光学素子12への入射位置を変化させる。プリズム17が1回転する間に4周期分の入射位置の変化が生じる。そのため、プリズム17の回転速度を毎秒6回転以上にすると、入射位置が1秒間に24回以上(1周期が1/24秒以下)変化し、被照明領域IRの各点に入射する光の角度分布が1/24秒以下の周期で変化する。その結果、スペックルパターンが、人間が識別できる速度以上(周期が1/24秒以下)で変化し、観察者に固定のパターンとして視認されにくくなる。   The optical path shift device 11 determines the incident position of the light emitted from the light source device 7 to the diffractive optical element 12 in the same manner as when the rotation angle changes from 0 ° to 90 ° while the rotation angle changes by 90 °. Change. While the prism 17 rotates once, the incident position changes for four periods. Therefore, when the rotation speed of the prism 17 is 6 rotations or more per second, the incident position changes 24 times or more per second (one cycle is 1/24 seconds or less), and the angle of light incident on each point in the illuminated region IR. The distribution changes with a period of 1/24 seconds or less. As a result, the speckle pattern changes at a speed higher than a human-identifiable speed (period is 1/24 seconds or less), and is less likely to be visually recognized by a viewer as a fixed pattern.

図面が見にくくなるため、図2では図示していないが、実際にはプリズム17の回転軸Rは図2の紙面に垂直な方向に配置されているのではなく、プリズム17の回転軸Rは図2の紙面に垂直な方向から傾いて配置されている。図4に示すように、光源装置7の光軸AXの方向から見て、レーザー光源15が横方向に並ぶ方向をX軸方向、レーザー光源15が縦方向に並ぶ方向をY軸方向としたとき、プリズム17の回転軸Rは、X軸方向もしくはY軸方向と平行な方向ではなく、X軸方向およびY軸方向と交差する方向に沿って配置されている。例えば図4の例では、プリズム17の回転軸Rとx軸(負方向)とのなす角度θ1は、例えば60°〜70°程度である。
また、プリズム17の回転軸Rは、必ずしも光源装置7の光軸AXの方向、すなわちZ軸方向と直交していなくてもよく、Z軸方向と直角以外の角度で交差していてもよい。
Although not shown in FIG. 2 because the drawing becomes difficult to see, actually, the rotation axis R of the prism 17 is not arranged in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 2 is inclined from the direction perpendicular to the paper surface. As shown in FIG. 4, when the direction in which the laser light sources 15 are arranged in the horizontal direction when viewed from the direction of the optical axis AX of the light source device 7 is taken as the X-axis direction, and the direction in which the laser light sources 15 are arranged in the vertical direction The rotation axis R of the prism 17 is arranged not in a direction parallel to the X-axis direction or the Y-axis direction but in a direction intersecting with the X-axis direction and the Y-axis direction. For example, in the example of FIG. 4, the angle θ1 formed between the rotation axis R of the prism 17 and the x-axis (negative direction) is, for example, about 60 ° to 70 °.
The rotation axis R of the prism 17 does not necessarily have to be orthogonal to the direction of the optical axis AX of the light source device 7, that is, the Z-axis direction, and may intersect with the Z-axis direction at an angle other than a right angle.

図5に、プリズム17を回転させたときに回折光学素子12上でシフトする光の照射領域の軌跡を示す。
図3を用いて説明したように、光源装置7から射出された複数の光の光路がシフトする方向は、プリズム17の回転軸Rと直交する方向である。したがって、本実施形態の場合、図5に矢印S1で示すように、複数の光の光路がシフトする方向は、X軸方向およびY軸方向と交差する方向となる。
FIG. 5 shows a locus of an irradiation region of light that shifts on the diffractive optical element 12 when the prism 17 is rotated.
As described with reference to FIG. 3, the direction in which the optical paths of the plurality of lights emitted from the light source device 7 are shifted is a direction orthogonal to the rotation axis R of the prism 17. Therefore, in the case of the present embodiment, as indicated by an arrow S1 in FIG. 5, the direction in which the optical paths of the plurality of lights are shifted is a direction that intersects the X-axis direction and the Y-axis direction.

光の光路がシフトしていない状態(図3の回転角0°の状態)において、光源装置7の光軸AXの方向から見て、複数の光の照射領域SHの位置はレーザー光源15の位置に一致していたとする。このとき、プリズム17が回転したときに光の光路がシフトしてできる照射領域SHの軌跡Kは、プリズム17の回転軸Rと直交する方向に細長く延びた形状となる。光の照射領域SHの軌跡Kが延びる方向、すなわち光の光路がシフトする方向とX軸(正方向)とのなす角度θ2は、例えば20°〜30°程度となる。   In the state where the optical path of light is not shifted (the state where the rotation angle is 0 ° in FIG. 3), the positions of the plurality of light irradiation regions SH are the positions of the laser light source 15 when viewed from the direction of the optical axis AX of the light source device 7. Suppose that At this time, the locus K of the irradiation region SH formed by shifting the optical path of the light when the prism 17 is rotated has a shape extending elongated in a direction orthogonal to the rotation axis R of the prism 17. An angle θ2 formed by the direction in which the locus K of the light irradiation region SH extends, that is, the direction in which the light path of light shifts and the X axis (positive direction) is, for example, about 20 ° to 30 °.

ただし、光源装置7とプリズム17との間にミラーなどが配置され、光源装置7から射出される光の光路が折り曲げられている場合、光源装置7の光軸AXの方向から見て、複数の光の照射領域SHの位置とレーザー光源15の位置とは一致しない。この場合には、ミラーがないものとして光の光路を直線状に延ばして考えればよい。   However, when a mirror or the like is disposed between the light source device 7 and the prism 17 and the optical path of the light emitted from the light source device 7 is bent, a plurality of light sources are viewed from the direction of the optical axis AX of the light source device 7. The position of the light irradiation region SH and the position of the laser light source 15 do not match. In this case, it can be considered that the optical path of light is extended linearly assuming that there is no mirror.

図5に示す9個のレーザー光源15のうち、2次元的に配置された3個のレーザー光源15を選択し、これら3個のレーザー光源15を第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cとする。このとき、第2のレーザー光源15Bと第1のレーザー光源15Aとの間の距離、および第3のレーザー光源15Cと第1のレーザー光源15Aとの間の距離が、9個のレーザー光源15のうち、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15C以外のいずれのレーザー光源15と第1のレーザー光源15Aとの距離よりも短くなるように、第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cを選択する。この条件を満たす光源の選び方の一例として、9個のレーザー光源15のうち、中段の中央のレーザー光源を第1のレーザー光源15Aとし、中段の右側のレーザー光源を第2のレーザー光源15Bとし、上段の中央の光源を第3のレーザー光源15Cとする。   Among the nine laser light sources 15 shown in FIG. 5, three laser light sources 15 arranged two-dimensionally are selected, and these three laser light sources 15 are selected as the first laser light source 15A and the second laser light source. 15B and the third laser light source 15C. At this time, the distance between the second laser light source 15B and the first laser light source 15A and the distance between the third laser light source 15C and the first laser light source 15A are the same as those of the nine laser light sources 15. Among these, the first laser light source 15A and the second laser are shorter than the distance between any one of the laser light sources 15 other than the second laser light source 15B and the third laser light source 15C and the first laser light source 15A. The light source 15B and the third laser light source 15C are selected. As an example of how to select a light source that satisfies this condition, among the nine laser light sources 15, the middle laser light source in the middle is the first laser light source 15A, and the right laser light source in the middle is the second laser light source 15B. The upper center light source is defined as a third laser light source 15C.

第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cを上記の例のように選択した場合、光の光路がシフトする方向は、第1のレーザー光源15Aと、第2のレーザー光源15Bと第3のレーザー光源15Cとの間の領域と、を結ぶ方向であればよい。言い換えると、上記の例で言えば、光の光路がシフトする方向とX軸(正方向)とのなす角度θ2は、0°よりも大きく、90°よりも小さい角度であればよい。   When the first laser light source 15A, the second laser light source 15B, and the third laser light source 15C are selected as in the above example, the direction in which the optical path of light shifts is the first laser light source 15A and the second laser light source 15A. Any direction may be used as long as it connects the region between the laser light source 15B and the third laser light source 15C. In other words, in the above example, the angle θ2 formed by the direction in which the optical path of light shifts and the X axis (positive direction) may be an angle that is larger than 0 ° and smaller than 90 °.

図6に示すように、仮にプリズム117の回転軸R1がY軸方向と平行に配置されていたとする。すなわち、プリズム117の回転軸R1とX軸(負方向)とのなす角度θ3が90°であったとする。この場合、図7に矢印S2で示すように、複数の光の光路がシフトする方向は、X軸方向に平行な方向となる。光の照射領域SHの軌跡Kが延びる方向、すなわち光の光路がシフトする方向とX軸とのなす角度は0°となる。   As shown in FIG. 6, it is assumed that the rotation axis R1 of the prism 117 is arranged parallel to the Y-axis direction. That is, it is assumed that the angle θ3 formed by the rotation axis R1 of the prism 117 and the X axis (negative direction) is 90 °. In this case, as indicated by an arrow S2 in FIG. 7, the direction in which the optical paths of the plurality of lights are shifted is a direction parallel to the X-axis direction. The angle formed by the X axis and the direction in which the locus K of the light irradiation region SH extends, that is, the direction in which the light path of light shifts, is 0 °.

この場合、X軸方向に並ぶ3個のレーザー光源115からの光の照射領域SHの軌跡Kが重なり合う。そのため、回折光学素子112の全体で見たときに光の照射領域SHの軌跡K同士の間に光が照射されない領域ができ、照度分布のムラが大きくなる。これに対して、本実施形態の場合、図5に示すように、光の照射領域SHの軌跡Kの重なりが少なく、光が照射されない領域が少ない。このように、回折光学素子12における照度分布のムラが小さくなる結果、画像形成装置3Gでの照度分布の均一性が向上するとともに、入射角度分布の均一性が向上する。これにより、スペックルを低減することができる。   In this case, the trajectories K of the light irradiation areas SH from the three laser light sources 115 arranged in the X-axis direction overlap. Therefore, when viewed as a whole of the diffractive optical element 112, a region where no light is irradiated is formed between the trajectories K of the light irradiation region SH, and the unevenness of the illuminance distribution increases. On the other hand, in the case of the present embodiment, as shown in FIG. 5, the overlapping of the locus K of the light irradiation region SH is small, and there are few regions where the light is not irradiated. As described above, the unevenness of the illuminance distribution in the diffractive optical element 12 is reduced, so that the uniformity of the illuminance distribution in the image forming apparatus 3G is improved and the uniformity of the incident angle distribution is improved. Thereby, speckle can be reduced.

光の光路がシフトする方向についてさらに説明する。
例えば図8に示すように、第1のレーザー光源15Aを中心として、第1のレーザー光源15Aの上側に隣り合う光源を第2のレーザー光源15Bとし、第1のレーザー光源15Aの右側に隣り合う光源を第3のレーザー光源15Cとする。第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cが2次元的に配置され、かつ、第2のレーザー光源15Bと第1のレーザー光源15Aとの間の距離および第3のレーザー光源15Cと第1のレーザー光源15Aとの間の距離が、9個のレーザー光源のうち第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15C以外のいずれのレーザー光源と第1のレーザー光源15Aとの距離よりも短いという条件を満たすために、第1のレーザー光源15Aと第2のレーザー光源15Bとを図8のように決定した場合に、例えばハッチングを付した光源は第3のレーザー光源15Cとして選択されない。
The direction in which the optical path of light shifts will be further described.
For example, as shown in FIG. 8, the light source adjacent to the upper side of the first laser light source 15A is the second laser light source 15B with the first laser light source 15A as the center, and is adjacent to the right side of the first laser light source 15A. The light source is a third laser light source 15C. The first laser light source 15A, the second laser light source 15B, and the third laser light source 15C are two-dimensionally arranged, and the distance between the second laser light source 15B and the first laser light source 15A and the first laser light source 15A The distance between the third laser light source 15C and the first laser light source 15A is any one of the nine laser light sources other than the second laser light source 15B and the third laser light source 15C and the first laser light source. When the first laser light source 15A and the second laser light source 15B are determined as shown in FIG. 8 in order to satisfy the condition of being shorter than the distance to the light source 15A, for example, the hatched light source is the third light source. It is not selected as the laser light source 15C.

このとき、光の光路がシフトする方向は、第1のレーザー光源15Aと、第2のレーザー光源15Bと第3のレーザー光源15Cとの間の領域と、を結ぶ方向である。言い換えると、光の光路がシフトする方向とX軸(正方向)とのなす角度θ2は、0°より大きく、90°より小さい角度である。光の光路がシフトする方向として好ましい方向の一例を符号S1の実線の矢印で示し、光の光路がシフトする方向として避けるべき方向の一例を符号B1,B2の破線の矢印で示す。光の光路がシフトする方向とX軸とのなす角度θ2が45°の場合、第1のレーザー光源15Aからの光の照射領域の軌跡は、第1のレーザー光源15Aに対して斜め方向に隣り合うレーザー光源15E,15Fからの光の照射領域の軌跡と重なる。その場合であっても、光の光路がシフトする方向とX軸とのなす角度θ2が0°もしくは90°の場合に比べれば、回折光学素子12における照度分布の均一性を高めることができる。   At this time, the direction in which the optical path of light shifts is the direction connecting the first laser light source 15A and the region between the second laser light source 15B and the third laser light source 15C. In other words, the angle θ2 formed by the direction in which the optical path of light shifts and the X axis (positive direction) is larger than 0 ° and smaller than 90 °. An example of a preferable direction as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a solid line arrow of S1, and an example of a direction to be avoided as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a dashed arrow of reference numerals B1 and B2. When the angle θ2 formed by the direction in which the optical path of the light is shifted and the X axis is 45 °, the locus of the irradiation region of the light from the first laser light source 15A is adjacent to the first laser light source 15A in an oblique direction. It overlaps with the locus of the irradiation area of the light from the matching laser light sources 15E and 15F. Even in that case, the uniformity of the illuminance distribution in the diffractive optical element 12 can be improved as compared with the case where the angle θ2 formed by the direction in which the optical path of light shifts and the X axis is 0 ° or 90 °.

次に、図9に示すように、横方向に並ぶ複数の光源からなる1行のレーザー光源群と、そのレーザー光源群の上側もしくは下側のレーザー光源群とが、横方向に隣り合うレーザー光源のピッチの半ピッチ分だけずれて配置され、全てのレーザー光源が最密充填配置されている場合を考える。この場合も、第1のレーザー光源15Aと第2のレーザー光源15Bとを図9のように決定した場合に、例えばハッチングを付した光源は第3のレーザー光源15Cとして選択されない。光の光路がシフトする方向として好ましい方向の一例を符号S1の実線の矢印で示し、光の光路がシフトする方向として避けるべき方向の一例を符号B1,B2,B3の破線の矢印で示す。   Next, as shown in FIG. 9, a laser light source group in which one row of laser light source groups composed of a plurality of light sources arranged in the horizontal direction and an upper or lower laser light source group of the laser light source groups are adjacent in the horizontal direction. Let us consider a case in which all the laser light sources are arranged in a close-packed arrangement, with a shift by a half pitch of the pitch. Also in this case, when the first laser light source 15A and the second laser light source 15B are determined as shown in FIG. 9, for example, a hatched light source is not selected as the third laser light source 15C. An example of a preferable direction as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a solid line arrow of S1, and an example of a direction to be avoided as a direction of shift of the optical path of light is indicated by broken line arrows of B1, B2, and B3.

例えばレンズの外形に対応させる目的で、光源装置の中央部にあたる複数のレーザー光源と周縁部にあたる複数のレーザー光源でピッチを異ならせる場合がある。
図10に示す例は、左右それぞれ2列分のレーザー光源間のピッチを中央部のレーザー光源間のピッチよりも小さくした例である。この場合、第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cは、光源装置の中央部にあたる複数のレーザー光源から選択してもよいし、周縁部にあたる複数のレーザー光源から選択してもよい。光の光路がシフトする方向として好ましい方向の一例を符号S1の実線の矢印で示し、光の光路がシフトする方向として避けるべき方向の一例を符号B1,B2の破線の矢印で示す。
For example, the pitch may be different between a plurality of laser light sources corresponding to the central portion of the light source device and a plurality of laser light sources corresponding to the peripheral portion in order to correspond to the outer shape of the lens.
The example shown in FIG. 10 is an example in which the pitch between the laser light sources for two rows on the left and the right is made smaller than the pitch between the laser light sources in the center. In this case, the first laser light source 15A, the second laser light source 15B, and the third laser light source 15C may be selected from a plurality of laser light sources corresponding to the central portion of the light source device, or a plurality of laser light sources corresponding to the peripheral portion. You may choose from. An example of a preferable direction as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a solid line arrow of S1, and an example of a direction to be avoided as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a dashed arrow of reference numerals B1 and B2.

図11に示す例は、左右それぞれ1列分のレーザー光源間のピッチを中央部のレーザー光源間のピッチよりも小さくした例である。この場合、第1のレーザー光源15A、第2のレーザー光源15Bおよび第3のレーザー光源15Cは、光源装置の中央部にあたる複数のレーザー光源から選択してもよいし、周縁部にあたる複数のレーザー光源から選択してもよい。周縁部にあたる複数のレーザー光源から選択した場合、第1のレーザー光源15Aと第2のレーザー光源15Bを図11のように決定した場合に、例えばハッチングを付した光源は第3のレーザー光源15Cとして選択されない。光の光路がシフトする方向として好ましい方向の一例を符号S1の実線の矢印で示し、光の光路がシフトする方向として避けるべき方向の一例を符号B1,B2の破線の矢印で示す。   The example shown in FIG. 11 is an example in which the pitch between the laser light sources for one row on each of the left and right sides is made smaller than the pitch between the laser light sources in the center. In this case, the first laser light source 15A, the second laser light source 15B, and the third laser light source 15C may be selected from a plurality of laser light sources corresponding to the central portion of the light source device, or a plurality of laser light sources corresponding to the peripheral portion. You may choose from. When a plurality of laser light sources corresponding to the peripheral portion are selected, when the first laser light source 15A and the second laser light source 15B are determined as shown in FIG. 11, for example, a hatched light source is used as the third laser light source 15C. Not selected. An example of a preferable direction as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a solid line arrow of S1, and an example of a direction to be avoided as a direction in which the optical path of light shifts is indicated by a dashed arrow of reference numerals B1 and B2.

本実施形態の照明装置2Gにおいて、プリズム17の回転速度は、時間的に変化してもよいし、一定であってもよい。
プリズム17の回転速度を時間的に変化させた場合、図12に示すように、プリズム17から射出された光Lの時間平均した照度分布は、プリズム17から射出される位置に係わらず、一定にすることができる。言い換えると、プリズム17から射出された光Lの時間平均した照度分布をトップハット型にすることができる。これにより、画像形成装置3Gの被照明領域IRにおける時間平均した照度分布を略一定にすることができる。
In the illumination device 2G of the present embodiment, the rotational speed of the prism 17 may change with time or may be constant.
When the rotational speed of the prism 17 is changed with time, the time-averaged illuminance distribution of the light L emitted from the prism 17 is constant regardless of the position emitted from the prism 17, as shown in FIG. can do. In other words, the time-averaged illuminance distribution of the light L emitted from the prism 17 can be a top hat type. Thereby, the time-averaged illuminance distribution in the illuminated area IR of the image forming apparatus 3G can be made substantially constant.

これに対して、プリズム17の回転速度を一定にした場合、図13に示すように、プリズム17から射出された光の時間平均した照度分布は、プリズム17の周縁部に対応する領域では照度が高く、プリズム17の中央部に対応する領域では照度が低くなる。このように、光の照射領域の周縁部の時間平均した照度を高めることにより、スペックルをより効果的に低減することができる。   On the other hand, when the rotation speed of the prism 17 is constant, as shown in FIG. 13, the time-averaged illuminance distribution of the light emitted from the prism 17 has an illuminance in the region corresponding to the peripheral edge of the prism 17. In the region corresponding to the central portion of the prism 17, the illuminance is low. As described above, the speckle can be more effectively reduced by increasing the time-averaged illuminance at the peripheral portion of the light irradiation region.

本実施形態の照明装置2Gにおいて、光の照射領域SHを重ねる場合、図14に示すように、光源装置7の光軸AXに垂直な基準面において、第1の光の強度分布の裾の軌跡と第2の光の強度分布の裾の軌跡とを重ねることが望ましい。図14において、光の照射領域SHを示す楕円のうち、白っぽく見える箇所は光の強度が相対的に高い箇所を示し、黒っぽく見える箇所は光の強度が相対的に低い箇所を示す。レーザー光の照度分布は基本的にガウス分布であるため、強度分布の裾の部分同士を重ねることにより、重なり部分の強度をピーク強度に近付けることができ、照度分布の均一化が図れる。   In the illuminating device 2G of the present embodiment, when the light irradiation regions SH are overlapped, as shown in FIG. 14, on the reference plane perpendicular to the optical axis AX of the light source device 7, the locus of the bottom of the intensity distribution of the first light Is preferably overlapped with the bottom locus of the second light intensity distribution. In FIG. 14, in the ellipse indicating the light irradiation region SH, a portion that appears whitish indicates a portion where the light intensity is relatively high, and a portion that appears blackish indicates a portion where the light intensity is relatively low. Since the illuminance distribution of the laser light is basically a Gaussian distribution, by overlapping the bottom portions of the intensity distribution, the intensity of the overlapping portion can be brought close to the peak intensity, and the illuminance distribution can be made uniform.

[第2実施形態]
以下、本発明の第2実施形態について、図15を用いて説明する。
第2実施形態は、プロジェクターの基本構成が第1実施形態と同様であり、照明装置の構成が第1実施形態と異なる。
図15は、第2実施形態の照明装置を示す概略構成図である。
図15において、第1実施形態で用いた図2と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the second embodiment, the basic configuration of the projector is the same as that of the first embodiment, and the configuration of the illumination device is different from that of the first embodiment.
FIG. 15 is a schematic configuration diagram illustrating the illumination device according to the second embodiment.
In FIG. 15, the same components as those in FIG. 2 used in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図15に示すように、第2実施形態の照明装置31Gを構成する照明光学系37は、プリズム17と重畳光学系13との間の光路上に拡散板32とインテグレーター光学系33とを備えている。拡散板32とインテグレーター光学系33とは、光の進行方向に沿ってこの順に配置されている。拡散板32は、基材中に基材とは屈折率が異なる粒子を分散させたもの、もしくは基材の一面に凹凸を形成したもの等が用いられる。拡散板32は、入射した光を拡散させて角度分布を広げる機能を有する。光利用効率を高めるためには、拡散板32の拡散角は、拡散板32により角度分布が広がった光をインテグレーター光学系33が飲み込めるだけの大きさに設定することが望ましい。   As shown in FIG. 15, the illumination optical system 37 constituting the illumination device 31 </ b> G of the second embodiment includes a diffusion plate 32 and an integrator optical system 33 on the optical path between the prism 17 and the superimposing optical system 13. Yes. The diffusion plate 32 and the integrator optical system 33 are arranged in this order along the light traveling direction. As the diffusing plate 32, a material in which particles having a refractive index different from that of the base material are dispersed in the base material, or a surface in which unevenness is formed on one surface of the base material is used. The diffusion plate 32 has a function of diffusing incident light to widen the angle distribution. In order to increase the light use efficiency, it is desirable that the diffusion angle of the diffusion plate 32 is set to a size that allows the integrator optical system 33 to swallow light whose angular distribution is widened by the diffusion plate 32.

インテグレーター光学系33は、第1のレンズアレイ34と第2のレンズアレイ35とを含む。第1のレンズアレイ34は、光源装置7の照明光軸AXに直交する2つの方向(図15におけるX軸方向およびY軸方向)に2次元的に配列された複数のレンズ36を有する。第2のレンズアレイ35は、第1のレンズアレイ34の光射出側に配置されており、第1のレンズアレイ34と同様の構成を有する。第1のレンズアレイ34は、拡散板32から入射した光を複数の光束に分割する機能を有する。第2のレンズアレイ35は、第1のレンズアレイ34から入射した複数の光束各々を同一の被照明領域である画像形成装置3Gの被照明領域IRに伝達する機能を有する。その他の構成は第1実施形態と同様である。   The integrator optical system 33 includes a first lens array 34 and a second lens array 35. The first lens array 34 has a plurality of lenses 36 that are two-dimensionally arranged in two directions orthogonal to the illumination optical axis AX of the light source device 7 (X-axis direction and Y-axis direction in FIG. 15). The second lens array 35 is disposed on the light emission side of the first lens array 34 and has the same configuration as the first lens array 34. The first lens array 34 has a function of dividing light incident from the diffusion plate 32 into a plurality of light beams. The second lens array 35 has a function of transmitting each of the plurality of light beams incident from the first lens array 34 to the illumination area IR of the image forming apparatus 3G that is the same illumination area. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

第2実施形態の場合、インテグレーター光学系33の光入射側に拡散板32が設けられているため、照度分布および角度分布の均一性が高い光が第1のレンズアレイ34に入射する。そのため、第2のレンズアレイ35に照射される光の照度分布および角度分布の均一性が高まり、スペックルを効果的に低減することができる。   In the case of the second embodiment, since the diffusion plate 32 is provided on the light incident side of the integrator optical system 33, light with high uniformity in illuminance distribution and angular distribution enters the first lens array 34. Therefore, the uniformity of the illuminance distribution and the angular distribution of the light irradiated to the second lens array 35 is increased, and speckle can be effectively reduced.

[第3実施形態]
以下、本発明の第3実施形態について、図16を用いて説明する。
第3実施形態は、プロジェクターの基本構成が第1実施形態と同様であり、照明装置の構成が第1実施形態と異なる。
図16は、第3実施形態の照明装置を示す概略構成図である。
図16において、第1実施形態で用いた図2と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Third Embodiment]
Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the third embodiment, the basic configuration of the projector is the same as that of the first embodiment, and the configuration of the illumination device is different from that of the first embodiment.
FIG. 16 is a schematic configuration diagram illustrating the illumination device according to the third embodiment.
In FIG. 16, the same reference numerals are given to the same components as those in FIG. 2 used in the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

図16に示すように、第3実施形態の照明装置41Gを構成する照明光学系42は、プリズム17と重畳光学系13との間の光路上にインテグレーター光学系33を備えている。すなわち、第3実施形態の照明装置41Gは、第2実施形態の照明装置31Gから拡散板32を除いたものである。その他の構成は第2実施形態と同様である。   As shown in FIG. 16, the illumination optical system 42 constituting the illumination device 41G of the third embodiment includes an integrator optical system 33 on the optical path between the prism 17 and the superimposing optical system 13. That is, the illumination device 41G of the third embodiment is obtained by removing the diffusion plate 32 from the illumination device 31G of the second embodiment. Other configurations are the same as those of the second embodiment.

第3実施形態の場合、インテグレーター光学系33の光入射側に拡散板が設けられていないため、微小な時間内では第2のレンズアレイ35上にできる光源像が離散的になってしまう。すなわち、プリズム17が実線で示した位置にあるとき、光源装置7からの光の光路はX軸の負方向にシフトするため、光は第2のレンズアレイ35のうちの下側のレンズ36に入射し、上側のレンズ36に入射しない。また、プリズム17が2点鎖線で示した位置にあるとき、光源装置7からの光の光路はX軸の正方向にシフトするため、光は第2のレンズアレイ35のうちの上側のレンズ36に入射し、下側のレンズ36に入射しない。しかしながら、画像形成装置3Gの被照明領域IR上での時間平均した照度分布は一定になり、照度ムラを低減することができる。   In the case of the third embodiment, since the diffusion plate is not provided on the light incident side of the integrator optical system 33, the light source image formed on the second lens array 35 becomes discrete within a very short time. That is, when the prism 17 is at the position indicated by the solid line, the optical path of the light from the light source device 7 is shifted in the negative direction of the X axis, so that the light is directed to the lower lens 36 of the second lens array 35. Incident but not incident on the upper lens 36. When the prism 17 is at the position indicated by the two-dot chain line, the optical path of the light from the light source device 7 is shifted in the positive direction of the X axis, so that the light is the upper lens 36 in the second lens array 35. And does not enter the lower lens 36. However, the time-averaged illuminance distribution on the illuminated area IR of the image forming apparatus 3G is constant, and illuminance unevenness can be reduced.

[第4実施形態]
以下、本発明の第4実施形態について、図17を用いて説明する。
第4実施形態は、プロジェクターの基本構成が第1実施形態と同様であり、照明装置の構成が第1実施形態と異なる。
図17は、第4実施形態の照明装置を示す概略構成図である。
図17において、第1実施形態で用いた図2と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Fourth Embodiment]
Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the fourth embodiment, the basic configuration of the projector is the same as that of the first embodiment, and the configuration of the illumination device is different from that of the first embodiment.
FIG. 17 is a schematic configuration diagram illustrating the illumination device according to the fourth embodiment.
In FIG. 17, the same components as those in FIG. 2 used in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図17に示すように、第4実施形態の照明装置51Gを構成する照明光学系52は、プリズム17と画像形成装置3Gとの間の光路上に回折光学素子53を備えている。第4実施形態の照明光学系52は、重畳光学系を備えていない。第4実施形態の回折光学素子53は、第1実施形態の回折光学素子12と異なり、光が入射する場所によって異なる回折光パターンを生成する。すなわち、第1のレーザー光源15Aから射出される第1の光と回折光学素子53とにより形成される第1の回折光パターンは、第2のレーザー光源15Bから射出される第2の光と回折光学素子53とにより形成される第2の回折光パターンと異なる。その他の構成は第1実施形態と同様である。   As shown in FIG. 17, the illumination optical system 52 constituting the illumination device 51G of the fourth embodiment includes a diffractive optical element 53 on the optical path between the prism 17 and the image forming device 3G. The illumination optical system 52 of the fourth embodiment does not include a superimposing optical system. Unlike the diffractive optical element 12 of the first embodiment, the diffractive optical element 53 of the fourth embodiment generates a diffracted light pattern that differs depending on where light enters. In other words, the first diffracted light pattern formed by the first light emitted from the first laser light source 15A and the diffractive optical element 53 is diffracted from the second light emitted from the second laser light source 15B. This is different from the second diffracted light pattern formed by the optical element 53. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

第4実施形態の場合、回折光学素子53により互いに異なる複数の回折光パターンが被照明領域IR上で時間的に重畳されることによって、スペックルを効果的に低減することができる。   In the case of the fourth embodiment, speckles can be effectively reduced by temporally superimposing a plurality of different diffracted light patterns on the illuminated region IR by the diffractive optical element 53.

[第5実施形態]
以下、本発明の第5実施形態について、図18を用いて説明する。
第5実施形態のプロジェクターは、光変調装置としてデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD、テキサスインスツルメンツ社登録商標)を備えたプロジェクターの例である。
図18は、第5実施形態の照明装置を示す概略構成図である。
図18において、第1実施形態で用いた図2と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Fifth Embodiment]
Hereinafter, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The projector according to the fifth embodiment is an example of a projector including a digital micromirror device (DMD, registered trademark of Texas Instruments) as a light modulation device.
FIG. 18 is a schematic configuration diagram illustrating the illumination device of the fifth embodiment.
In FIG. 18, the same components as those in FIG. 2 used in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図18に示すように、第5実施形態の照明装置61Gを構成する照明光学系62は、重畳光学系13を構成する第1のレンズ18と第2のレンズ19との間にロッドレンズ63を備えている。ロッドレンズ63は、光入射端面から入射した光を内部で導光させることにより強度分布を均一化して射出する機能を有する。プリズム17を回転させたとき、ロッドレンズ63への光の入射角度が時間的に変化し、ロッドレンズ63から射出される光の強度分布が時間平均で均一化される。強度分布が均一化された光は、第2のレンズ19を経てDMD64の被照明領域を照明する。DMD64に入射した光は、画素毎に設けられたマイクロミラー(図示略)で反射し、投射光学系4によりスクリーン上に投射される。   As shown in FIG. 18, the illumination optical system 62 constituting the illumination device 61G of the fifth embodiment includes a rod lens 63 between the first lens 18 and the second lens 19 constituting the superposition optical system 13. I have. The rod lens 63 has a function of emitting light with uniform intensity distribution by guiding light incident from the light incident end face inside. When the prism 17 is rotated, the incident angle of the light to the rod lens 63 changes with time, and the intensity distribution of the light emitted from the rod lens 63 is made uniform over time. The light having the uniform intensity distribution illuminates the illuminated area of the DMD 64 through the second lens 19. The light incident on the DMD 64 is reflected by a micromirror (not shown) provided for each pixel and projected on the screen by the projection optical system 4.

第5実施形態の照明装置61Gにおいても、光の照度分布および角度分布の均一性が高められ、スペックルを効果的に低減することができる。   Also in the illuminating device 61G of the fifth embodiment, the uniformity of the illuminance distribution and the angular distribution of light can be improved, and speckle can be effectively reduced.

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施形態では、光路シフト装置として回転プリズムを用いたが、回転プリズムに代えて、以下の光路シフト装置を用いてもよい。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the rotating prism is used as the optical path shift device, but the following optical path shift device may be used instead of the rotating prism.

図19は、変形例の光路シフト装置71を示す図である。光路シフト装置71は、光源装置7からの光が入射する第1のミラー72と、第1のミラー72で反射した光を重畳光学系13に導く第2のミラー73と、第1のミラー72を移動させる移動部74と、を備える。   FIG. 19 is a diagram showing an optical path shift device 71 according to a modification. The optical path shift device 71 includes a first mirror 72 on which light from the light source device 7 is incident, a second mirror 73 that guides light reflected by the first mirror 72 to the superposition optical system 13, and a first mirror 72. And a moving unit 74 for moving.

第1のミラー72は、反射面が光源装置7からの光の射出方向L1に対して45°の角度をなすように傾いている。第2のミラー73は、反射面が重畳光学系13の光軸AX2に対して45°の角度をなすように傾いている。第1のミラー72と第2のミラー73とは、互いに略平行になるように配置されている。移動部74は、第1のミラー72を、光源装置7からの光の射出方向L1に対して垂直な方向に移動させる。   The first mirror 72 is inclined such that the reflection surface forms an angle of 45 ° with respect to the light emission direction L1 from the light source device 7. The second mirror 73 is inclined such that the reflection surface forms an angle of 45 ° with respect to the optical axis AX2 of the superposition optical system 13. The 1st mirror 72 and the 2nd mirror 73 are arrange | positioned so that it may mutually become substantially parallel. The moving unit 74 moves the first mirror 72 in a direction perpendicular to the light emission direction L <b> 1 from the light source device 7.

この変形例において、光源装置7から射出された光は、移動部74による第1のミラー72の移動に伴って第1のミラー72上の入射位置が時間的に変化し、第2のミラー73上での入射位置が時間的に変化する。そのため、このような光路シフト装置71によっても、重畳光学系13に入射する光の入射位置を光軸AX2の方向と交差する方向に時間的に変化させることができる。   In this modification, the incident position on the first mirror 72 of the light emitted from the light source device 7 changes with time as the first mirror 72 is moved by the moving unit 74, and the second mirror 73. The incident position above changes with time. Therefore, even with such an optical path shift device 71, the incident position of the light incident on the superimposing optical system 13 can be temporally changed in a direction intersecting the direction of the optical axis AX2.

なお、第1のミラー72の移動方向は、光源装置7の光の射出方向L1と平行であってもよいし、交差していてもよい。また、光路シフト装置71は、第1のミラー72を移動させる代わりに第2のミラー73を移動させる構成でもよいし、第1のミラー72と第2のミラー73の双方を移動させる構成でもよい。第1のミラー72と第2のミラー73の双方を移動させる場合には、各ミラーの移動速度と双方のミラーの相対位置は、重畳光学系13に入射する光の入射位置が変化するように適宜設定できる。また、第1のミラー72と第2のミラー73とは、互いに平行に配置しなくてもよい。光路シフト装置71は、第1のミラー72と第2のミラー73の一方または双方を回転させることで光路をシフトする構成でもよく、ミラーの回転および併進移動の双方により光路をシフトする構成でもよい。   The moving direction of the first mirror 72 may be parallel to or intersecting with the light emission direction L1 of the light source device 7. Further, the optical path shift device 71 may be configured to move the second mirror 73 instead of moving the first mirror 72, or may be configured to move both the first mirror 72 and the second mirror 73. . When both the first mirror 72 and the second mirror 73 are moved, the moving speed of each mirror and the relative position of both mirrors change the incident position of the light incident on the superposition optical system 13. It can be set appropriately. Further, the first mirror 72 and the second mirror 73 may not be arranged in parallel to each other. The optical path shift device 71 may be configured to shift the optical path by rotating one or both of the first mirror 72 and the second mirror 73, or may be configured to shift the optical path by both rotation and translation of the mirror. .

その他、照明装置およびプロジェクターにおける各種の構成要素の形状、数、配置等の具体的な構成は、上記実施形態に限ることなく、適宜変更が可能である。   In addition, specific configurations such as shapes, numbers, and arrangements of various components in the illumination device and the projector are not limited to the above-described embodiments, and can be changed as appropriate.

1…プロジェクター、2R,2G,2B,31G,41G,51G,61G…照明装置、3R,3G,3B…画像形成装置、4…投射光学系、7…光源装置、10…コリメート光学系、11,71…光路シフト装置、12…回折光学素子、15…レーザー光源、15A…第1のレーザー光源、15B…第2のレーザー光源、15C…第3のレーザー光源、17…プリズム、33…インテグレーター光学系、34…第1のレンズアレイ、35…第2のレンズアレイ、36…レンズ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Projector, 2R, 2G, 2B, 31G, 41G, 51G, 61G ... Illuminating device, 3R, 3G, 3B ... Image forming device, 4 ... Projection optical system, 7 ... Light source device, 10 ... Collimating optical system, 11, DESCRIPTION OF SYMBOLS 71 ... Optical path shift device, 12 ... Diffractive optical element, 15 ... Laser light source, 15A ... 1st laser light source, 15B ... 2nd laser light source, 15C ... 3rd laser light source, 17 ... Prism, 33 ... Integrator optical system 34 ... 1st lens array, 35 ... 2nd lens array, 36 ... Lens.

Claims (11)

2次元的に配置された第1のコヒーレント光を射出する第1の光源、第2のコヒーレント光を射出する第2の光源および第3のコヒーレント光を射出する第3の光源、を含む複数の光源を備える光源装置と、
前記光源装置から射出された複数のコヒーレント光の光路を所定の方向に時間的にシフトさせる光路シフト装置と、を備え、
前記第2の光源と前記第1の光源との間の距離および前記第3の光源と前記第1の光源との間の距離は、前記複数の光源のうち前記第2の光源および前記第3の光源以外のいずれの光源と前記第1の光源との距離よりも短く、
前記所定の方向は、前記第1の光源と、前記第2の光源と前記第3の光源との間の領域と、を結ぶ方向であることを特徴とする照明装置。
A plurality of first light sources that emit two-dimensionally arranged first coherent light, a second light source that emits second coherent light, and a third light source that emits third coherent light. A light source device comprising a light source;
An optical path shift device that temporally shifts the optical paths of the plurality of coherent lights emitted from the light source device in a predetermined direction,
The distance between the second light source and the first light source and the distance between the third light source and the first light source are the second light source and the third light source among the plurality of light sources. Shorter than the distance between any light source other than the light source and the first light source,
The illumination device according to claim 1, wherein the predetermined direction is a direction connecting the first light source and a region between the second light source and the third light source.
前記光路シフト装置は、前記光源装置の光軸に垂直な基準面において、前記第1のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡と前記第2のコヒーレント光の強度分布の裾の軌跡とが重なるように、前記複数のコヒーレント光の光路を時間的にシフトさせることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。   In the optical path shift device, the locus of the tail of the intensity distribution of the first coherent light and the locus of the tail of the intensity distribution of the second coherent light overlap each other on a reference plane perpendicular to the optical axis of the light source device. The lighting device according to claim 1, wherein optical paths of the plurality of coherent lights are temporally shifted. 前記光路シフト装置が、回転可能なプリズムを備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の照明装置。   The illuminating device according to claim 1, wherein the optical path shift device includes a rotatable prism. 前記プリズムの回転速度が、時間的に変化することを特徴とする請求項3に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 3, wherein the rotation speed of the prism changes with time. 前記プリズムの回転速度が、一定であることを特徴とする請求項3に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 3, wherein a rotation speed of the prism is constant. 前記光源装置と前記光路シフト装置との間の光路中に設けられたコリメート光学系と、前記光路シフト装置を経由した複数のコヒーレント光が入射する回折光学素子と、をさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の照明装置。   A collimating optical system provided in an optical path between the light source device and the optical path shift device, and a diffractive optical element on which a plurality of coherent lights incident via the optical path shift device are further provided. The lighting device according to any one of claims 1 to 5. 前記第1のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第1の回折光パターンは、前記第2のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第2の回折光パターンと異なることを特徴とする請求項6に記載の照明装置。   The first diffracted light pattern formed by the first coherent light and the diffractive optical element is different from the second diffracted light pattern formed by the second coherent light and the diffractive optical element. The lighting device according to claim 6. 前記第1のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第1の回折光パターンは、前記第2のコヒーレント光と前記回折光学素子とにより形成される第2の回折光パターンと同じであり、
照明対象において前記第1の回折光パターンと前記第2の回折光パターンとを重畳させる重畳光学系をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の照明装置。
The first diffracted light pattern formed by the first coherent light and the diffractive optical element is the same as the second diffracted light pattern formed by the second coherent light and the diffractive optical element. ,
The illumination apparatus according to claim 6, further comprising a superimposing optical system that superimposes the first diffracted light pattern and the second diffracted light pattern on an illumination target.
前記光源装置と前記光路シフト装置との間の光路中に設けられたコリメート光学系と、前記光路シフト装置を経由した複数のコヒーレント光が入射するインテグレーター光学系と、をさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の照明装置。   A collimating optical system provided in an optical path between the light source device and the optical path shift device, and an integrator optical system into which a plurality of coherent lights incident via the optical path shift device are provided. The lighting device according to any one of claims 1 to 5. 前記インテグレーター光学系は、複数のレンズを有する第1のレンズアレイと、複数のレンズを有する第2のレンズアレイと、を備え、
前記インテグレーター光学系の光入射側に拡散板を備えることを特徴とする請求項9に記載の照明装置。
The integrator optical system includes a first lens array having a plurality of lenses, and a second lens array having a plurality of lenses,
The illumination device according to claim 9, further comprising a diffusion plate on a light incident side of the integrator optical system.
請求項1から請求項10までのいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置からの光を変調する光変調装置と、
前記光変調装置により変調された光を投射する投射光学系と、
を備えたことを特徴とするプロジェクター。
The lighting device according to any one of claims 1 to 10,
A light modulation device for modulating light from the illumination device;
A projection optical system that projects the light modulated by the light modulation device;
A projector characterized by comprising:
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