JP2015134323A

JP2015134323A - Article draining and drying method

Info

Publication number: JP2015134323A
Application number: JP2014006910A
Authority: JP
Inventors: 宏明光岡; Hiroaki Mitsuoka; 花田　毅; Takeshi Hanada; 毅花田
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2014-01-17
Filing date: 2014-01-17
Publication date: 2015-07-27

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an article draining and drying method in which a solvent composition has fire retardancy to make the management of the solvent composition be easy, and increase in water contact angle of a post-treatment article surface can be suppressed.SOLUTION: An article draining and drying method has a step (1) of immersing an article with water deposited on a surface into a solvent composition 100 including a solvent such as hydrofluoroether and alcohols to remove water deposited on the surface, a step (2) of separating the solvent composition containing the water getting away from the article into a water layer 112 and a solvent layer 110, a step (3) of bringing the solvent layer 110 obtained in the step (2) into contact with an adsorbent, and a step (4) of returning the solvent layer 110 in contact with active carbon to the step (1) as the solvent composition 100.

Description

本発明は、物品の水切り乾燥方法に関する。 The present invention relates to a method for draining and drying articles.

カメラレンズ等の光学レンズ、フォトマスク用ガラス基板、ハードディスク用ガラス基板等のガラス部品等の物品は、その製造工程において、純水等で洗浄されたり、水系洗浄剤等で洗浄された後に純水等ですすがれたりして清浄化される。該物品の表面に水が残存すると、シミの発生による外観不良や後工程の表面処理不良による性能不良等の原因となるおそれがある。そのため、該物品を純水等で洗浄した後には、通常、物品表面の水を除去して乾燥する水切り乾燥が行われる。 Articles such as optical lenses such as camera lenses, glass parts for photomasks, glass substrates for hard disks, etc. are washed with pure water or the like in the manufacturing process, and then washed with water-based cleaning agents. It is cleaned by rinsing with etc. If water remains on the surface of the article, it may cause an appearance failure due to the occurrence of spots or a performance failure due to a surface treatment failure in a subsequent process. For this reason, after the article is washed with pure water or the like, draining drying is usually performed in which water on the article surface is removed and dried.

物品の水切り乾燥方法としては、例えば、以下に示す方法が知られている。
（ｉ）イソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと記す。）中に物品を浸漬した後、該物品をＩＰＡの蒸気中で乾燥する方法（非特許文献１）。
（ｉｉ）ハイドロクロロフルオロカーボン類（以下、ＨＣＦＣ類と記す。）、ハイドロフルオロカーボン類（以下、ＨＦＣ類と記す。）、およびハイドロフルオロエーテル類（以下、ＨＦＥ類と記す。）から選ばれる少なくとも１種と、アルコール類とを含む溶剤組成物中に、表面に水が付着した物品を浸漬して水切り乾燥を行う方法（特許文献１）。 As methods for draining and drying articles, for example, the following methods are known.
(I) A method in which an article is immersed in isopropyl alcohol (hereinafter referred to as IPA) and then dried in the vapor of IPA (Non-patent Document 1).
(Ii) At least one selected from hydrochlorofluorocarbons (hereinafter referred to as HCFCs), hydrofluorocarbons (hereinafter referred to as HFCs), and hydrofluoroethers (hereinafter referred to as HFEs). And a method of performing draining and drying by immersing an article having water on the surface in a solvent composition containing alcohols (Patent Document 1).

国際公開第２００５／０７９９４３号International Publication No. 2005/079943

「代替金属洗浄技術」、平成５年４月３０日、初版第１刷発行、株式会社総合技術センター、２５２〜２６１頁"Alternative metal cleaning technology", April 30, 1993, first edition 1st edition issued, Technical Center Co., Ltd., pages 252-261

しかし、方法（ｉ）は、可燃性を有するＩＰＡを用いることから、充分な安全性を確保するためにはＩＰＡを厳重に管理する必要がある。
方法（ｉｉ）で用いる溶剤組成物は、ＩＰＡに比べて難燃性であり、厳重な管理を必要としない。しかし、方法（ｉｉ）では、特にガラス部品の場合に、方法（ｉ）を用いる場合に比べて、水切り乾燥後の物品表面の水接触角が高くなる問題がある。表面の水接触角が高くなると、後工程において不具合が起こりやすくなる。例えば、フォトマスク用ガラス基板、ハードディスク用ガラス基板等では、クロム膜蒸着や、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティング等の表面処理が施される際に、表面の水接触角が高いと表面処理が充分に行えない。さらに、表面処理を行った後も、膜の密着性が低下する。これらのガラス基板は該理由から特に表面の接触角を低く保つことが求められている。そのため、これらのガラス基板の場合には、水切り乾燥方法として方法（ｉ）を採用せざるを得ない。 However, since the method (i) uses flammable IPA, it is necessary to strictly manage the IPA in order to ensure sufficient safety.
The solvent composition used in method (ii) is flame retardant compared to IPA and does not require strict management. However, the method (ii) has a problem that the water contact angle on the surface of the article after draining and drying is higher than that in the case of using the method (i) particularly in the case of glass parts. When the water contact angle on the surface is increased, problems are likely to occur in the subsequent process. For example, when a glass substrate for photomask, a glass substrate for hard disk, etc. is subjected to surface treatment such as chromium film deposition or diamond-like carbon (DLC) coating, the surface treatment is sufficient if the surface has a high water contact angle. I can not do it. Furthermore, even after the surface treatment, the adhesion of the film is lowered. For these reasons, these glass substrates are particularly required to keep the surface contact angle low. Therefore, in the case of these glass substrates, method (i) must be adopted as a draining and drying method.

本発明は、溶剤組成物が難燃性で管理が容易なうえ、処理後の物品の表面の水接触角が高くなることを抑制できる物品の水切り乾燥方法の提供を目的とする。 It is an object of the present invention to provide a method for draining and drying an article that can prevent the solvent composition from being flame retardant and easy to manage, and can prevent an increase in the water contact angle on the surface of the article after treatment.

前記の課題を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
［１］下記工程（１）〜（４）を有する物品の水切り乾燥方法。
（１）ＨＦＥ類、ＨＦＣ類、およびＨＣＦＣ類からなる群から選ばれる少なくとも１種と、アルコール類とを含む溶剤組成物中に、表面に水が付着した物品を浸漬して、該表面に付着した水分を除去して乾燥する工程。
（２）前記物品より離脱した水を含有する溶剤組成物を、比重により水層と溶剤層に分離する工程。
（３）前記工程（２）で得られた溶剤層を吸着材と接触させる工程。
（４）前記吸着材と接触させた溶剤層を、前記溶剤組成物として前記工程（１）に返送する工程。
［２］前記吸着材が活性炭である、前記［１］の物品の水切り乾燥方法。
［３］前記物品がガラス部品である、前記［１］または［２］の物品の水切り乾燥方法。
［４］前記ガラス部品が、フォトマスク用ガラス基板またはハードディスク用ガラス基板である、前記［３］の物品の水切り乾燥方法。
［５］前記ＨＦＥ類が、１，１，２，２−テトラフルオロエチル−２，２，２−トリフルオロエチルエーテル、（パーフルオロブトキシ）メタン、および（パーフルオロブトキシ）エタンからなる群から選ばれる１種以上である、前記［１］〜［４］のいずれかの物品の水切り乾燥方法。
［６］前記ＨＦＣ類が、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロヘキサン、および１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−トリデカフルオロヘキサンからなる群から選ばれる１種以上である、前記［１］〜［５］のいずれかの物品の水切り乾燥方法。
［７］前記ＨＣＦＣ類が、３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパン、および１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパンからなる群から選ばれる１種以上である、前記［１］〜［６］のいずれかの物品の水切り乾燥方法。
［８］前記アルコール類が、炭素数１〜４のアルカノールである、前記［１］〜［７］のいずれかの物品の水切り乾燥方法。
［９］前記工程（１）において、前記溶剤組成物から引き上げた前記物品を前記溶剤組成物の蒸気に接触させて乾燥する、前記［１］〜［８］のいずれかの物品の水切り乾燥方法。 In order to achieve the above object, the present invention adopts the following configuration.
[1] A method for draining and drying an article comprising the following steps (1) to (4).
(1) An article having water attached thereto is immersed in a solvent composition containing at least one selected from the group consisting of HFEs, HFCs, and HCFCs, and alcohols, and attached to the surface. Removing the dried water.
(2) A step of separating the solvent composition containing water separated from the article into an aqueous layer and a solvent layer by specific gravity.
(3) A step of bringing the solvent layer obtained in the step (2) into contact with an adsorbent.
(4) A step of returning the solvent layer brought into contact with the adsorbent to the step (1) as the solvent composition.
[2] The method for draining and drying an article according to [1], wherein the adsorbent is activated carbon.
[3] The method for draining and drying an article according to [1] or [2], wherein the article is a glass part.
[4] The method for draining and drying an article according to [3], wherein the glass component is a glass substrate for a photomask or a glass substrate for a hard disk.
[5] The HFE is selected from the group consisting of 1,1,2,2-tetrafluoroethyl-2,2,2-trifluoroethyl ether, (perfluorobutoxy) methane, and (perfluorobutoxy) ethane. The method for draining and drying an article according to any one of [1] to [4], wherein the article is one or more selected.
[6] The HFCs are 1,1,1,3,3-pentafluorobutane, 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane, 1,1, From 1,2,2,3,3,4,4-nonafluorohexane and 1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-tridecafluorohexane The method for draining and drying an article according to any one of [1] to [5], wherein the article is one or more selected from the group consisting of:
[7] The HCFCs comprise 3,3-dichloro-1,1,1,2,2-pentafluoropropane and 1,3-dichloro-1,1,2,2,3-pentafluoropropane. The method for draining and drying an article according to any one of [1] to [6], wherein the article is one or more selected from the group.
[8] The method for draining and drying an article according to any one of [1] to [7], wherein the alcohol is an alkanol having 1 to 4 carbon atoms.
[9] The method for draining and drying an article according to any one of [1] to [8], wherein, in the step (1), the article pulled from the solvent composition is dried by contacting with the vapor of the solvent composition. .

本発明の物品の水切り乾燥方法にあっては、溶剤組成物が難燃性で管理が容易なうえ、処理後の物品の表面の水接触角が高くなることを抑制できる。 In the method for draining and drying an article of the present invention, the solvent composition is flame retardant and easy to manage, and it is possible to suppress an increase in the water contact angle on the surface of the article after treatment.

本発明の物品の水切り乾燥方法に用いる水切り乾燥装置の一例を示した概略構成図である。It is the schematic block diagram which showed an example of the draining drying apparatus used for the draining drying method of the articles | goods of this invention.

＜水切り乾燥装置＞
図１は、本発明の物品の水切り乾燥方法に使用する水切り乾燥装置の一例である、水切り乾燥装置１を示した図である。
水切り乾燥装置１は、浸漬槽１０と、比重分離槽１２と、吸着材接触部１４と、蒸気発生槽１６とを有する。浸漬槽１０、比重分離槽１２および蒸気発生槽１６はこの順に設けられている。
比重分離槽１２と吸着材接触部１４とが、途中にポンプ１８が設けられた配管５２により接続されている。また、吸着材接触部１４と浸漬槽１０とが配管５４で接続されている。
水切り乾燥装置１の上部には、冷却管２０と、冷却管２０により凝縮した溶剤組成物を受ける樋２２が設けられており、樋２２に入った溶剤組成物は比重分離槽１２に流入するようになっている。 <Draining dryer>
FIG. 1 is a diagram showing a drainer / dryer 1 which is an example of a drainer / dryer used in the method for draining and drying articles according to the present invention.
The drainer / dryer 1 includes an immersion tank 10, a specific gravity separation tank 12, an adsorbent contact portion 14, and a steam generation tank 16. The immersion tank 10, the specific gravity separation tank 12, and the steam generation tank 16 are provided in this order.
The specific gravity separation tank 12 and the adsorbent contact portion 14 are connected by a pipe 52 provided with a pump 18 on the way. Further, the adsorbent contact portion 14 and the immersion tank 10 are connected by a pipe 54.
In the upper part of the drainer / dryer 1, a cooling pipe 20 and a bowl 22 for receiving the solvent composition condensed by the cooling pipe 20 are provided, so that the solvent composition contained in the bowl 22 flows into the specific gravity separation tank 12. It has become.

浸漬槽１０は、水が付着した物品を溶剤組成物に浸漬させる槽である。
浸漬槽１０には、ヒーター２４および超音波振動器２６が設置されており、溶剤組成物１００が収容されている。ヒーター２４により、浸漬槽１０に収容された溶剤組成物１００の温度が調節される。また、超音波振動器２６により、浸漬槽１０に収容された溶剤組成物１００に超音波振動が与えられる。
また、浸漬槽１０には、オーバーフローした溶剤組成物１００が流入する樋２８が設けられている。 The immersion tank 10 is a tank in which an article to which water is attached is immersed in the solvent composition.
In the immersion tank 10, a heater 24 and an ultrasonic vibrator 26 are installed, and a solvent composition 100 is accommodated. The temperature of the solvent composition 100 accommodated in the immersion tank 10 is adjusted by the heater 24. Moreover, ultrasonic vibration is given to the solvent composition 100 accommodated in the immersion tank 10 by the ultrasonic vibrator 26.
Further, the immersion tank 10 is provided with a trough 28 into which the overflowed solvent composition 100 flows.

比重分離槽１２は、物品から離脱した水を含む溶剤組成物を、比重の違いにより溶剤層と水層に分離する槽である。
比重分離槽１２は、ヒーター３０が設置されており、浸漬槽１０からオーバーフローしてきた溶剤組成物１００が樋２８を通じて流入するようになっている。比重分離槽１２においては、物品から離脱した水を含む溶剤組成物１００が、比重の違いにより、下層の溶剤層１１０と上層の水層１１２とに二層分離する。比重分離槽１２中の溶剤層１１０は、比重分離槽１２の底部からポンプ１８によって吸引されて吸着材接触部１４へ送られる。 The specific gravity separation tank 12 is a tank that separates the solvent composition containing water separated from the article into a solvent layer and an aqueous layer according to the difference in specific gravity.
In the specific gravity separation tank 12, a heater 30 is installed, and the solvent composition 100 overflowing from the immersion tank 10 flows through the trough 28. In the specific gravity separation tank 12, the solvent composition 100 containing water separated from the article is separated into two layers into a lower solvent layer 110 and an upper water layer 112 due to the difference in specific gravity. The solvent layer 110 in the specific gravity separation tank 12 is sucked by the pump 18 from the bottom of the specific gravity separation tank 12 and sent to the adsorbent contact portion 14.

吸着材接触部１４は、比重分離槽１２から送られてくる溶剤層１１０に吸着材を接触させる部分である。
吸着材接触部１４としては、比重分離槽１２から送られてくる溶剤層１１０に吸着材を接触させることができるものであればよく、例えば、吸着材を充填したカートリッジが挙げられる。
吸着材接触部１４において吸着材と接触された溶剤層１１０は、浸漬槽１０の底部に返送される。 The adsorbent contact portion 14 is a portion for bringing the adsorbent into contact with the solvent layer 110 sent from the specific gravity separation tank 12.
The adsorbent contact portion 14 may be any adsorbent that can bring the adsorbent into contact with the solvent layer 110 sent from the specific gravity separation tank 12, and includes, for example, a cartridge filled with the adsorbent.
The solvent layer 110 brought into contact with the adsorbent in the adsorbent contact portion 14 is returned to the bottom of the immersion tank 10.

蒸気発生槽１６は、収容されている溶剤組成物を加熱して蒸気を発生させる槽である。
蒸気発生槽１６は、ヒーター３２が設置されており、溶剤組成物１００が収容されている。蒸気発生槽１６には、比重分離槽１２において水層１１２と分離された溶剤層１１０の一部が流入するようになっている。
蒸気発生槽１６において、溶剤組成物１００がヒーター３２により加熱されて発生した蒸気は、冷却管２０により冷却され、水切り乾燥装置１の外に放出されることが抑制されており、水切り乾燥装置１内に蒸気ゾーン１Ａが形成される。 The steam generation tank 16 is a tank that generates steam by heating the solvent composition contained therein.
The steam generation tank 16 is provided with a heater 32 and contains the solvent composition 100. A part of the solvent layer 110 separated from the water layer 112 in the specific gravity separation tank 12 flows into the steam generation tank 16.
In the steam generation tank 16, the steam generated when the solvent composition 100 is heated by the heater 32 is cooled by the cooling pipe 20 and is prevented from being released to the outside of the draining and drying apparatus 1. A steam zone 1A is formed inside.

＜物品の水切り乾燥方法＞
本発明の物品の水切り乾燥方法は、表面に水が付着した物品から水を除去して乾燥する方法である。例えば、純水等で洗浄されたり、水系洗浄剤等で洗浄された後に純水等ですすがれたりして清浄化された後の物品に対して、その表面の水を除去して乾燥する際に本発明の水切り乾燥方法を使用することができる。 <Draining and drying method for articles>
The method for draining and drying an article of the present invention is a method for removing water from an article having water attached to the surface and drying the article. For example, when removing water on the surface of an article that has been cleaned with pure water or after being cleaned with an aqueous cleaning agent, etc. The draining and drying method of the present invention can be used.

本発明の物品の水切り乾燥方法は、物品がガラス部品の場合に特に有効である。
ガラス部品としては、例えば、光学部品（カメラレンズ、プリズム、偏光子、光学フィルター等）、フォトマスク用ガラス基板等の半導体製造装置に用いるガラス部材、ハードディスク用ガラス基板等が挙げられる。なかでも、本発明の物品の水切り乾燥方法は、水切り乾燥の高い乾燥性能、および高精度の仕上がり品質が要求される、フォトマスク用ガラス基板またはハードディスク用ガラス基板の水切り乾燥に最も有効である。
ガラス部品の材質は、例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、無アルカリガラス、白板ガラス、青板ガラス等が挙げられる。フォトマスク用ガラス基板やハードディスク用ガラス基板には、石英ガラスが適している。 The method for draining and drying an article of the present invention is particularly effective when the article is a glass part.
Examples of the glass parts include optical parts (camera lenses, prisms, polarizers, optical filters, etc.), glass members used in semiconductor manufacturing apparatuses such as glass substrates for photomasks, glass substrates for hard disks, and the like. Among them, the method for draining and drying an article of the present invention is most effective for draining and drying a glass substrate for a photomask or a glass substrate for a hard disk, which requires a high drying performance for draining and a high-quality finished quality.
Examples of the material of the glass component include quartz glass, borosilicate glass, soda lime glass, lead glass, alkali-free glass, white plate glass, and blue plate glass. Quartz glass is suitable for the glass substrate for photomasks and the glass substrate for hard disks.

以下、本発明の物品の水切り乾燥方法の一例として、前記した水切り乾燥装置１を用いる場合について説明する。本実施形態の物品の水切り乾燥方法は、下記工程（１）〜（４）を有する。
（１）浸漬槽１０に収容された溶剤組成物１００中に、表面に水が付着した物品を浸漬して、該表面に付着した水分を除去して乾燥する工程。
（２）前記物品より離脱した水を含有する溶剤組成物１００を、比重分離槽１２において、比重により水層１１２と溶剤層１１０に分離する工程。
（３）前記工程（２）で得られた溶剤層１１０を、吸着材接触部１４において吸着材と接触させる工程。
（４）前記吸着材と接触させた溶剤層１１０を、溶剤組成物１００として前記工程（１）の浸漬槽１０に返送する工程。 Hereinafter, the case where the above-described draining and drying apparatus 1 is used will be described as an example of the draining and drying method for an article of the present invention. The method for draining and drying an article according to this embodiment includes the following steps (1) to (4).
(1) A step of immersing an article having water attached to the surface in the solvent composition 100 accommodated in the immersion tank 10 to remove moisture attached to the surface and drying the article.
(2) A step of separating the solvent composition 100 containing water separated from the article into the water layer 112 and the solvent layer 110 by the specific gravity in the specific gravity separation tank 12.
(3) A step of bringing the solvent layer 110 obtained in the step (2) into contact with the adsorbent in the adsorbent contact portion 14.
(4) The process of returning the solvent layer 110 made to contact with the said adsorbent as the solvent composition 100 to the immersion tank 10 of the said process (1).

［工程（１）］
浸漬槽１０に収容された溶剤組成物１００中に、表面に水が付着した物品を浸漬する。これにより、該物品に付着した水に溶剤組成物１００中のアルコール類が溶解し、水が物品から分離する。 [Step (1)]
An article having water attached to the surface is immersed in the solvent composition 100 accommodated in the immersion tank 10. Thereby, the alcohols in the solvent composition 100 are dissolved in the water adhering to the article, and the water is separated from the article.

また、物品を、浸漬槽１０から、蒸気発生槽１６においてヒーター３２の加熱により発生させた溶剤組成物１００の蒸気を含む蒸気ゾーン１Ａに引き上げ、溶剤組成物１００の蒸気に接触させて乾燥することが好ましい。物品の温度が溶剤組成物１００の沸点に達するまでの間は、溶剤組成物１００の蒸気が物品の表面で凝縮され、該表面がリンスされる。物品の表面温度が溶剤組成物の沸点に達した後に、蒸気ゾーン１Ａから取り出す。溶剤組成物の蒸気の供給は、連続的であってもよく、断続的であってもよい。
物品を該蒸気と接触させた状態で乾燥することにより、物品の温度が溶剤組成物の沸点まで容易に上昇するため、物品の乾燥が容易になる。 Further, the article is pulled up from the immersion tank 10 to the vapor zone 1A containing the vapor of the solvent composition 100 generated by the heating of the heater 32 in the vapor generation tank 16, and dried by contacting with the vapor of the solvent composition 100. Is preferred. Until the temperature of the article reaches the boiling point of the solvent composition 100, the vapor of the solvent composition 100 is condensed on the surface of the article and the surface is rinsed. After the surface temperature of the article reaches the boiling point of the solvent composition, it is removed from the vapor zone 1A. The supply of the vapor of the solvent composition may be continuous or intermittent.
By drying the article in contact with the vapor, the temperature of the article easily rises to the boiling point of the solvent composition, so that the article can be easily dried.

また、物品を蒸気と接触させることは、以下の効果も奏する。
溶剤組成物が物品の表面から揮発する際には、蒸発潜熱により物品の表面温度が低下する。物品の表面温度が室温より下がると、空気中の水分が物品の表面に結露して乾燥シミが生じるおそれがある。しかし、物品を蒸気に接触させることで、該蒸気の温度まで物品が温められるため、結露による乾燥シミを抑制でき、物品の水切り乾燥における仕上がりの品質が向上する。
また、物品の表面温度が溶剤組成物の沸点に達した後に蒸気ゾーン１Ａから取り出すことにより、系外に持ち出される溶剤組成物の量を最小限にでき、その後の物品の乾燥も短時間で行える。 Further, bringing the article into contact with steam also has the following effects.
When the solvent composition volatilizes from the surface of the article, the surface temperature of the article decreases due to latent heat of vaporization. When the surface temperature of the article falls below room temperature, moisture in the air may condense on the article surface and dry spots may occur. However, by bringing the article into contact with the steam, the article is warmed to the temperature of the steam, so that drying spots due to condensation can be suppressed, and the quality of the finished product in draining and drying the article is improved.
Further, by removing from the vapor zone 1A after the surface temperature of the article reaches the boiling point of the solvent composition, the amount of the solvent composition taken out of the system can be minimized, and the subsequent drying of the article can be performed in a short time. .

溶剤組成物１００中で物品から分離した水は、ＨＦＥ類等の溶剤との比重の差により溶剤組成物１００の液面へと浮上する。その際、溶剤組成物１００のアルコール類の一部も、物品に付着していた水に抽出されて液面に浮上する。物品を離脱して溶剤組成物１００の液面付近に浮上してきた水がそのまま存在すると、物品を溶剤組成物１００から引き上げる際に、物品の表面に水が再び付着して、乾燥後のシミの原因となる。 The water separated from the article in the solvent composition 100 floats to the liquid surface of the solvent composition 100 due to the difference in specific gravity with the solvent such as HFEs. At that time, a part of the alcohol of the solvent composition 100 is also extracted by the water adhering to the article and floats on the liquid surface. If water that has left the article and has floated near the liquid surface of the solvent composition 100 is present, when the article is lifted from the solvent composition 100, the water adheres again to the surface of the article, and the dried stain Cause.

本実施形態では、物品から離脱した水を含有する溶剤組成物１００を浸漬槽１０からオーバーフローさせ、樋２８を通じて比重分離槽１２に流入させる。具体的には、配管５４を通じて溶剤層１１０が浸漬槽１０の底部に流入することで、浸漬槽１０内の溶剤組成物１００に上方に向かう液流が生じ、上部から水を含む溶剤組成物１００がオーバーフローするようになっている。
なお、浸漬槽１０から溶剤組成物をオーバーフローさせる態様は、溶剤組成物１００に、比重分離槽１２に向けて液流を起こしてオーバーフローさせる態様としてもよい。 In the present embodiment, the solvent composition 100 containing water released from the article is caused to overflow from the immersion tank 10 and flow into the specific gravity separation tank 12 through the trough 28. Specifically, when the solvent layer 110 flows into the bottom of the immersion tank 10 through the pipe 54, an upward liquid flow is generated in the solvent composition 100 in the immersion tank 10, and the solvent composition 100 containing water from above. Is designed to overflow.
In addition, the aspect which overflows a solvent composition from the immersion tank 10 is good also as an aspect which raise | generates a liquid flow toward the specific gravity separation tank 12 in the solvent composition 100, and makes it overflow.

溶剤組成物１００は、ＨＦＥ類、ＨＦＣ類、およびＨＣＦＣ類からなる群から選ばれる少なくとも１種と、アルコール類とを含む。
ＨＦＥ類としては、１，１，２，２−テトラフルオロエチル−２，２，２−トリフルオロエチルエーテル、（パーフルオロブトキシ）メタン、および（パーフルオロブトキシ）エタンからなる群から選ばれる１種以上が好ましい。 The solvent composition 100 includes at least one selected from the group consisting of HFEs, HFCs, and HCFCs, and alcohols.
HFEs are selected from the group consisting of 1,1,2,2-tetrafluoroethyl-2,2,2-trifluoroethyl ether, (perfluorobutoxy) methane, and (perfluorobutoxy) ethane. The above is preferable.

ＨＦＣ類としては、１，１，１，３，３−ペンタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロヘキサン、および１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，５，６，６−トリデカフルオロヘキサンからなる群から選ばれる１種以上が好ましい。 As HFCs, 1,1,1,3,3-pentafluorobutane, 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane, 1,1,1,2 , 2,3,3,4,4-nonafluorohexane and 1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-tridecafluorohexane One or more selected are preferable.

ＨＣＦＣ類としては、１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン、３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパン、および１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパンからなる群から選ばれる１種以上が好ましい。 HCFCs include 1,1-dichloro-1-fluoroethane, 3,3-dichloro-1,1,1,2,2-pentafluoropropane, and 1,3-dichloro-1,1,2,2 1, or more selected from the group consisting of 3-pentafluoropropane is preferred.

アルコール類としては、例えば、アリルアルコール、アルカノール等が挙げられる。なかでも、炭素数１〜４のアルカノールが好ましく、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールが特に好ましい。
アルコール類は、１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。 Examples of alcohols include allyl alcohol and alkanol. Of these, alkanols having 1 to 4 carbon atoms are preferable, and methanol, ethanol, and isopropyl alcohol are particularly preferable.
Alcohol may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

溶剤組成物（１００質量％）中のアルコール類の含有量は、１〜２０質量％が好ましく、３〜１５質量％がより好ましい。アルコール類の含有量が前記下限値以上であれば、物品の表面から水を離脱させやすくなり、物品の表面に水が残存してシミが発生することを抑制しやすい。アルコール類の含有量が前記上限値以下であれば、溶剤組成物が引火点を有する組成となって取扱いが煩雑となることを抑制しやすい。また、物品の表面から離脱して浮上する水に含まれるアルコール濃度が高くなることを抑制しやすくなるため、その水処理に係る負荷を低減できる。さらに、溶剤組成物中のアルコール類の含有量が低下しにくくなるため、水切り性能を維持させやすい。 1-20 mass% is preferable and, as for content of alcohol in a solvent composition (100 mass%), 3-15 mass% is more preferable. If the content of the alcohol is equal to or more than the lower limit, it is easy to remove water from the surface of the article, and it is easy to suppress the generation of spots due to water remaining on the surface of the article. If content of alcohol is below the said upper limit, it will be easy to suppress that a solvent composition becomes a composition which has a flash point, and handling becomes complicated. Moreover, since it becomes easy to suppress that the alcohol concentration contained in the water which separates from the surface of the article and rises, the load related to the water treatment can be reduced. Furthermore, since it becomes difficult to reduce the content of alcohols in the solvent composition, it is easy to maintain drainage performance.

溶剤組成物において、ＨＣＦＣ類、ＨＦＣ類またはＨＦＥ類と、アルコール類とが共沸組成を有する場合は、蒸発する際の組成変動を抑制できることから、溶剤組成物は共沸組成であるものが好ましい。 In the solvent composition, when the HCFCs, HFCs or HFEs, and the alcohols have an azeotropic composition, the solvent composition is preferably an azeotropic composition because composition fluctuations during evaporation can be suppressed. .

工程（１）における溶剤組成物の温度は、該溶剤組成物の沸点をＴｂとしたとき、Ｔｂ−１０〜Ｔｂ（℃）が好ましく、Ｔｂ−５℃〜Ｔｂ（℃）がより好ましい。
なお、「溶剤組成物の沸点」とは、当該溶剤組成物が共沸組成物または共沸様組成物である場合はその共沸点である。また、溶剤組成物が共沸組成物ではない場合、「溶剤組成物の沸点」とは、その溶剤組成物の組成における沸点を意味するものとする。 The temperature of the solvent composition in the step (1) is preferably Tb-10 to Tb (° C), more preferably Tb-5 ° C to Tb (° C), where Tb is the boiling point of the solvent composition.
The “boiling point of the solvent composition” is the azeotropic point when the solvent composition is an azeotropic composition or an azeotrope-like composition. When the solvent composition is not an azeotropic composition, the “boiling point of the solvent composition” means the boiling point in the composition of the solvent composition.

工程（１）では、超音波振動器２６によって溶剤組成物１００に超音波振動を与えながら物品の浸漬を行うことが好ましい。これにより、物品の表面から水が離脱することを促進できるため、物品の表面の水の離脱に要する時間を短縮することができる。
工程（１）では、超音波の他に、揺動洗浄、噴流洗浄等を併用して、物品の表面から水が離脱することを促進してもよい。
物品を溶剤組成物中に浸漬する時間は、３０秒〜１０分間が好ましい。 In the step (1), it is preferable to immerse the article while applying ultrasonic vibration to the solvent composition 100 by the ultrasonic vibrator 26. Thereby, since it can accelerate | stimulate that water detach | leaves from the surface of an article | item, the time required for detachment | leave of the water of the surface of an article | item can be shortened.
In the step (1), in addition to ultrasonic waves, rocking cleaning, jet cleaning, or the like may be used in combination to promote the separation of water from the surface of the article.
The time for immersing the article in the solvent composition is preferably 30 seconds to 10 minutes.

［工程（２）］
工程（２）では、比重分離槽１２において、浸漬槽１０からオーバーフローしてきた、水を含む溶剤組成物を静置し、比重の違いによって、溶剤層１１０と、溶剤層１１０上の水層１１２とに分離する。
ＨＦＥ類、ＨＦＣ類およびＨＣＦＣ類は、水よりも比重が大きく、水をわずかしか溶解しない。アルコール類の比重はおよそ０．８、ＨＣＦＣ類、ＨＦＣ類、ＨＦＥ類の比重は１を超え、大きいものでは約１．６程度である。そのため、溶剤組成物からなる溶剤層１１０（下層）の上に、アルコール類が溶解した水層１１２（上層）が形成される。
静置時間は、１〜３０分間が好ましい。 [Step (2)]
In the step (2), the solvent composition containing water that has overflowed from the immersion tank 10 in the specific gravity separation tank 12 is allowed to stand, and the solvent layer 110 and the water layer 112 on the solvent layer 110 are To separate.
HFEs, HFCs and HCFCs have a higher specific gravity than water and only slightly dissolve water. The specific gravity of alcohols is approximately 0.8, and the specific gravity of HCFCs, HFCs, and HFEs is more than 1, and is about 1.6 for large ones. Therefore, an aqueous layer 112 (upper layer) in which alcohols are dissolved is formed on the solvent layer 110 (lower layer) made of the solvent composition.
The standing time is preferably 1 to 30 minutes.

工程（２）の比重分離槽１２における液温は、それらの分離を容易に迅速に行われる点から、溶剤組成物の沸点をＴｂとして、Ｔｂ−１０以上Ｔｂ未満が好ましく、Ｔｂ−５℃以上Ｔｂ未満がより好ましい。 The liquid temperature in the specific gravity separation tank 12 of the step (2) is preferably Tb-10 or more and less than Tb, preferably Tb-5 ° C. or more, with the boiling point of the solvent composition being Tb from the viewpoint that the separation can be easily and quickly performed. Less than Tb is more preferable.

水層１１２は、そのまま排出してもよく、蒸留、パーベーパレーション等の手段を用いて、アルコール類の他、微量に含まれるＨＣＦＣ類、ＨＦＣ類またはＨＦＥ類を回収してから排出してもよい。
水層１１２には、溶剤組成物１００中に含まれていたアルコール類が含まれる。そのため、水層１１２をそのまま排出する場合には、溶剤組成物１００のアルコール濃度は徐々に低下するため、溶剤組成物１００にアルコール類を適宜補充する必要がある。この場合、例えば溶剤組成物の比重を随時測定することによりアルコール類の含有量を把握して、その結果に応じてアルコール類を添加してアルコール類の含有量を調整することが好ましい。 The water layer 112 may be discharged as it is, or may be discharged after recovering HCFCs, HFCs or HFEs contained in a trace amount in addition to alcohols using means such as distillation and pervaporation. Good.
The water layer 112 includes alcohols that are included in the solvent composition 100. Therefore, when the water layer 112 is discharged as it is, the alcohol concentration of the solvent composition 100 gradually decreases, and therefore it is necessary to appropriately supplement the solvent composition 100 with alcohols. In this case, for example, it is preferable to determine the content of the alcohol by measuring the specific gravity of the solvent composition as needed, and adjust the content of the alcohol by adding the alcohol according to the result.

［工程（３）］
工程（３）では、工程（２）の比重分離槽１２で得られた溶剤層１１０を吸着材接触部１４に送り、吸着材と接触させる。具体的には、ポンプ１８によって、比重分離槽１２の底部から溶剤層１１０を抜き出して吸着材接触部１４に送り、吸着材と接触させる。
吸着材としては、合成ゼオライト、ベントナイト、スチレンやジビニルベンゼンの共重合体の粒子、メタクリル酸メチルの共重合体の粒子、グラファイトカーボンブラック、グラファイトモレキュラーシーブス、シリカゲル、活性炭が好ましい。水切り乾燥後に物品表面の水接触角が高まることを抑制しやすい点から、活性炭が特に好ましい。
吸着材により物品、特にガラス部品表面の接触角が低く保たれるメカニズムは定かではないが、溶剤中の水切り乾燥に悪影響を与える不純物が吸着材に吸着されることが関与しているものとも考えられる。 [Step (3)]
In the step (3), the solvent layer 110 obtained in the specific gravity separation tank 12 in the step (2) is sent to the adsorbent contact portion 14 and brought into contact with the adsorbent. Specifically, the solvent layer 110 is extracted from the bottom of the specific gravity separation tank 12 by the pump 18 and sent to the adsorbent contact portion 14 to be brought into contact with the adsorbent.
As the adsorbent, synthetic zeolite, bentonite, styrene and divinylbenzene copolymer particles, methyl methacrylate copolymer particles, graphite carbon black, graphite molecular sieves, silica gel, and activated carbon are preferable. Activated carbon is particularly preferred because it is easy to suppress an increase in the water contact angle on the surface of the article after draining and drying.
Although the mechanism by which the contact angle of the surface of articles, particularly glass parts, is kept low by the adsorbent is not clear, it is considered that the adsorbent adsorbs impurities that adversely affect drainage drying in the solvent. It is done.

活性炭は、大部分の炭素の他、酸素、水素、カルシウム等からなる多孔質の物質である。その微細な穴（細孔）に多くの物質を吸着する性質がある。
活性炭の形態は、特に限定されず、例えば、粉末状活性炭、粒状活性炭、繊維状活性炭の他、ハニカム状やシート状に成形された特殊成型活性炭等が挙げられる。 Activated carbon is a porous substance composed of oxygen, hydrogen, calcium, etc. in addition to most carbon. The fine holes (pores) have a property of adsorbing many substances.
The form of the activated carbon is not particularly limited, and examples thereof include powdered activated carbon, granular activated carbon, fibrous activated carbon, and specially molded activated carbon formed into a honeycomb shape or a sheet shape.

粉末活性炭とは、１００メッシュよりも小さな粉末の活性炭を意味する。粉末状活性炭は発塵する可能性があり、注意して使用する必要がある。
粒状活性炭としては、ヤシ殻、石炭、木炭を破砕したものが挙げられる。
繊維状活性炭としては、フェルト状活性炭、布状活性炭、紙状活性炭、ファイバー型活性炭等が挙げられる。
活性炭は、賦活化処理が施されたものでもよい。賦活化処理としては、例えば、ガス賦活化、塩化亜鉛賦活化、リン酸賦活化等が挙げられる。 Powdered activated carbon means powdered activated carbon smaller than 100 mesh. Powdered activated carbon may generate dust and should be used with caution.
Examples of granular activated carbon include those obtained by crushing coconut shells, coal, and charcoal.
Examples of fibrous activated carbon include felt-like activated carbon, cloth-like activated carbon, paper-like activated carbon, and fiber-type activated carbon.
The activated carbon may be activated. Examples of the activation treatment include gas activation, zinc chloride activation, phosphoric acid activation, and the like.

市販の活性炭としては、クラレケミカル株式会社製の液相用活性炭クラレコール、日本エンバイロケミカルズ株式会社製の白鷺、カルゴンカーボンジャパン株式会社製のカルゴンやダイアホープ等が挙げられる。
活性炭は、使用に際して、例えば、円柱状カラム等の適切なカラムに充填することができる。 Examples of commercially available activated carbon include Kuraray Chemical Co., Ltd. liquid phase activated carbon Kuraray Coal, Nippon Enviro Chemicals Co., Ltd., White Calf, Calgon Carbon Japan Co., Ltd., Calgon and Diahope.
In use, the activated carbon can be packed in an appropriate column such as a cylindrical column.

［工程（４）］
工程（４）では、工程（３）の吸着材接触部１４を通過した溶剤層１１０を、配管５４を通じて工程（１）の浸漬槽１０に溶剤組成物１００として返送する。このように、本実施形態では、溶剤組成物１００を循環させつつ吸着材で処理する。そのため、工程（１）で水切り乾燥に使用する溶剤組成物１００は、吸着材で処理したものとなっている。 [Step (4)]
In step (4), the solvent layer 110 that has passed through the adsorbent contact portion 14 in step (3) is returned as the solvent composition 100 to the immersion tank 10 in step (1) through the pipe 54. Thus, in this embodiment, it processes with an adsorbent, circulating the solvent composition 100. FIG. Therefore, the solvent composition 100 used for draining and drying in the step (1) is treated with an adsorbent.

以上説明した本発明の物品の水切り乾燥方法にあっては、工程（１）で水が付着した物品を浸漬した溶剤組成物を工程（２）で溶剤層と水層に分離し、工程（３）で該溶剤層を吸着材と接触させた後に工程（４）で工程（１）に返送する。このように、工程（１）で水切り乾燥に使用する溶剤組成物が吸着材で処理されたものである。理由は明らかではないが、工程（１）において吸着材で処理した溶剤組成物を用いることで、水切り乾燥後の物品の表面の水接触角が高くなることが抑制される。
また、本発明の物品の水切り乾燥方法では、ＨＦＥ類、ＨＦＣ類およびＨＣＦＣ類からなる群から選ばれる１種と、アルコール類とを含む溶剤組成物を用いるため、ＩＰＡを用いる方法に比べて該溶剤組成物の管理が容易である。 In the method for draining and drying an article according to the present invention described above, the solvent composition in which the article to which water has adhered in step (1) is immersed is separated into a solvent layer and an aqueous layer in step (2), and step (3 ), The solvent layer is brought into contact with the adsorbent and then returned to step (1) in step (4). Thus, the solvent composition used for draining and drying in the step (1) is treated with the adsorbent. Although the reason is not clear, the use of the solvent composition treated with the adsorbent in the step (1) suppresses an increase in the water contact angle on the surface of the article after draining and drying.
Further, in the method for draining and drying an article of the present invention, since a solvent composition containing one kind selected from the group consisting of HFEs, HFCs and HCFCs and alcohols is used, the method is compared with the method using IPA. Management of the solvent composition is easy.

なお、本発明の物品の水切り乾燥方法は、前記した水切り乾燥装置１を用いる方法には限定されない。
例えば、本発明の物品の水切り乾燥方法は、溶剤層を吸着材と接触させる前後に、水分除去手段により該溶剤層から水分を除去したり、フィルターにより活性炭等の微粒子を除去したりする工程を含んでいてもよい。 In addition, the draining and drying method of the article of the present invention is not limited to the method using the draining and drying apparatus 1 described above.
For example, the method for draining and drying an article of the present invention includes a step of removing moisture from the solvent layer by a moisture removing means before or after contacting the solvent layer with an adsorbent, or removing fine particles such as activated carbon by a filter. May be included.

水分除去手段としては、例えば、コアレッサー型フィルター、モレキュラーシーブス等が挙げられる。モレキュラーシーブスは、分子ふるいにより選択的に物質を吸着することができ、水分の除去には、３Ａ、４Ａ、５Ａが好ましい。 Examples of the moisture removing means include coalescer type filters and molecular sieves. Molecular sieves can selectively adsorb substances by molecular sieving, and 3A, 4A, and 5A are preferable for removing moisture.

微粒子を除去するフィルターとしては、目的とする微粒子サイズの微粒子を除去できるフィルターであればよい。少なくとも、吸着材が工程（１）の溶剤組成物に戻ることを防ぐ必要があり、吸着材の粒子径に応じて該吸着材を除去できるフィルターを採用する。
フィルターの材質としては、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレンーパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等が挙げられる。なかでも、フィルターからの汚染が起きにくい点から、ＰＴＦＥ、ＰＦＡが好ましい。
溶剤層中の微粒子数は、公知の液中微粒子カウンターによって測定できる。 The filter that removes the fine particles may be any filter that can remove fine particles having a desired fine particle size. It is necessary to prevent at least the adsorbent from returning to the solvent composition in the step (1), and a filter capable of removing the adsorbent according to the particle diameter of the adsorbent is employed.
Examples of the filter material include polypropylene (PP), polyethylene (PE), polytetrafluoroethylene (PTFE), and tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA). Of these, PTFE and PFA are preferred because contamination from the filter hardly occurs.
The number of fine particles in the solvent layer can be measured by a known liquid fine particle counter.

また、本発明の物品の水切り乾燥方法は、比重分離槽から供給した溶剤組成物を蒸気発生槽で使用せず、別途蒸気発生槽に供給した溶剤組成物から蒸気を発生させる装置を用いる方法としてもよい。 In addition, the method for draining and drying the article of the present invention uses a device that generates steam from the solvent composition separately supplied to the steam generation tank without using the solvent composition supplied from the specific gravity separation tank in the steam generation tank. Also good.

以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明は以下の記載によっては限定されない。例１〜１３は実験例、例１４、１７は実施例、例１５、１８は比較例、例１６、１９は参考例である。
［使用した溶剤組成物］
ＡＥ−３１００Ｅ：ＨＦＥ−３４７ｐｃ−ｆ（９４．５質量％）とエタノール（５．５質量％）との混合物。商品名「アサヒクリンＡＥ−３１００Ｅ」、旭硝子株式会社製）。
ＨＦＥ−７１ＩＰＡ：ＨＦＥ−４４９ｓｆ（９５．５質量％）とイソプロパノール（４．５質量％）との混合物。商品名「ＨＦＥ−７１ＩＰＡ」、住友スリーエム株式会社製。
ＸＥ：ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ（９６質量％）とエタノール（４質量％）との混合物。商品名「バートレルＸＥ」、三井デュポン株式会社製。
ＸＥ−１０：ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ（９０質量％）とエタノール（１０質量％）の混合物。商品名「バートレルＸＥ−１０」、三井デュポン株式会社製。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by the following description. Examples 1 to 13 are experimental examples, Examples 14 and 17 are examples, Examples 15 and 18 are comparative examples, and Examples 16 and 19 are reference examples.
[Solvent composition used]
AE-3100E: A mixture of HFE-347pc-f (94.5% by mass) and ethanol (5.5% by mass). Trade name “Asahi Krine AE-3100E”, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.).
HFE-71IPA: A mixture of HFE-449sf (95.5% by mass) and isopropanol (4.5% by mass). Product name “HFE-71IPA”, manufactured by Sumitomo 3M Limited.
XE: A mixture of HFC-43-10mee (96% by mass) and ethanol (4% by mass). Product name "Bertrel XE", manufactured by Mitsui DuPont.
XE-10: A mixture of HFC-43-10mee (90% by mass) and ethanol (10% by mass). Product name “Bertrel XE-10” manufactured by Mitsui DuPont Co., Ltd.

［略号の説明］
ＨＦＥ−３４７ｐｃ−ｆ：１，１，２，２−テトラフルオロエチル−２，２，２−トリフルオロエチルエーテル。
ＨＦＥ−４４９ｓｆ：（パーフルオロブトキシ）メタン。
ＨＦＣ−４３−１０ｍｅｅ：１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロペンタン。 [Explanation of abbreviations]
HFE-347pc-f: 1,1,2,2-tetrafluoroethyl-2,2,2-trifluoroethyl ether.
HFE-449sf: (perfluorobutoxy) methane.
HFC-43-10mee: 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane.

［水接触角の測定］
水切り乾燥後のガラス部品表面の水接触角は、接触角測定装置（ＤＭ−３０１：協和界面化学株式会社製）を使用して測定した。各例で得た水切り乾燥後のガラス板のそれぞれについて、表面における３点で水接触角を測定し、それら測定値のすべてを平均した平均値を水接触角とした。 [Measurement of water contact angle]
The water contact angle of the glass component surface after draining and drying was measured using a contact angle measuring device (DM-301: manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd.). About each of the glass plate after drying and drying obtained in each example, the water contact angle was measured at three points on the surface, and an average value obtained by averaging all of the measured values was defined as the water contact angle.

［シミ発生の有無］
水切り乾燥後のガラス部品表面のシミ発生の有無は、該ガラス部品の表面を目視で確認することで評価した。 [Presence or absence of spots]
The presence or absence of spots on the glass component surface after draining and drying was evaluated by visually confirming the surface of the glass component.

［例１］
製品缶からＡＥ−３１００Ｅを５０００ｇ採取し、１５０ｇの活性炭（商品名「ダイアホープＭ０１６」、カルゴンカーボンジャパン株式会社製）を加え、２４時間静置し、ろ紙で活性炭を分離除去した。
５００ｍＬのビーカーに、溶剤組成物として活性炭による処理済みのＡＥ−３１００Ｅの５００ｍＬを入れ、４５℃とした。洗浄済みで表面に水が付着したガラス板（４０ｍｍ×４０ｍｍ×厚さ２ｍｍ）を溶剤組成物中に浸漬し、超音波を３分間照射してガラス表面から水分を除去した。その後、上部に冷却コイルを取り付けた別の１Ｌビーカーに活性炭による処理済みのＡＥ−３１００Ｅを２００ｍＬ入れ、ビーカー下部をホットプレートで加熱して発生させたＡＥ−３１００Ｅの蒸気に、前記ガラス板を１分間接触させて蒸気乾燥を行い、水切り乾燥したガラス板を得た。
同様の操作をさらに２回実施し、合計で３枚の水切り乾燥したガラス板を得た。 [Example 1]
5000 g of AE-3100E was collected from the product can, 150 g of activated carbon (trade name “Diahope M016”, manufactured by Calgon Carbon Japan Co., Ltd.) was added, and the mixture was allowed to stand for 24 hours, and the activated carbon was separated and removed with filter paper.
In a 500 mL beaker, 500 mL of AE-3100E that had been treated with activated carbon was added as a solvent composition to 45 ° C. A glass plate (40 mm × 40 mm × 2 mm in thickness) that had been washed and had water attached thereto was immersed in the solvent composition, and ultrasonic waves were applied for 3 minutes to remove moisture from the glass surface. Thereafter, 200 mL of activated AE-3100E treated with activated carbon is placed in another 1 L beaker with a cooling coil attached to the upper part, and the glass plate is placed on the AE-3100E steam generated by heating the lower part of the beaker with a hot plate. It was made to contact for minutes, and was steam-dried, and the glass plate dried and drained was obtained.
The same operation was performed twice more, and a total of three drained and dried glass plates were obtained.

［例２〜４］
使用する溶剤組成物を表１に示すとおりに変更した以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したガラス板を得た。 [Examples 2 to 4]
Except that the solvent composition used was changed as shown in Table 1, a total of three drained and dried glass plates were obtained in the same manner as in Example 1.

［例５〜８］
使用する溶剤組成物を表１に示すとおりに変更し、該溶剤組成物について活性炭による処理を行わなかった以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したガラス板を得た。 [Examples 5 to 8]
The solvent composition to be used was changed as shown in Table 1, and a total of three drained and dried glass plates were obtained in the same manner as in Example 1 except that the treatment with activated carbon was not performed on the solvent composition.

［例９］
ガラス板の代わりに、＃４００でバフ研磨した２５ｍｍ×３０ｍｍ×厚さ２ｍｍのＳＵＳ４３０板を用いた以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したＳＵＳ板を得た。 [Example 9]
A total of three drained and dried SUS plates were obtained in the same manner as in Example 1 except that a SUS430 plate of 25 mm × 30 mm × thickness 2 mm buffed with # 400 was used instead of the glass plate.

［例１０］
ガラス板の代わりに、＃４００でバフ研磨した２５ｍｍ×３０ｍｍ×厚さ２ｍｍのＳＵＳ４３０板を用い、溶剤組成物について活性炭による処理を行わなかった以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したＳＵＳ板を得た。 [Example 10]
Instead of the glass plate, a SUS430 plate of 25 mm × 30 mm × 2 mm thickness buffed with # 400 was used, and the solvent composition was not treated with activated carbon. A drained and dried SUS plate was obtained.

［例１１］
ガラス板の代わりに、２５ｍｍ×３０ｍｍ×厚さ２ｍｍのポリスチレン板を用いた以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したポリスチレン板を得た。 [Example 11]
A total of three drained and dried polystyrene plates were obtained in the same manner as in Example 1 except that a polystyrene plate having a size of 25 mm × 30 mm × thickness 2 mm was used instead of the glass plate.

［例１２］
ガラス板の代わりに、２５ｍｍ×３０ｍｍ×厚さ２ｍｍのポリスチレン板を用い、溶剤組成物について活性炭による処理を行わなかった以外は、例１と同様にして合計で３枚の水切り乾燥したポリスチレン板を得た。 [Example 12]
Instead of the glass plate, a 25 mm × 30 mm × 2 mm thick polystyrene plate was used, and a total of three drained and dried polystyrene plates were obtained in the same manner as in Example 1 except that the solvent composition was not treated with activated carbon. Obtained.

［例１３］
洗浄済みで表面に水が付着したガラス板３枚を、エアブローにより乾燥した。
例１〜１３における水接触角の測定結果を表１に示す。 [Example 13]
Three glass plates that had been washed and had water attached to the surface were dried by air blow.
The measurement results of water contact angles in Examples 1 to 13 are shown in Table 1.

表１に示すように、活性炭で処理した溶剤組成物によってガラス板の水切り乾燥を行った例１〜４では、水切り乾燥後のガラス板表面の水接触角がエアブロー乾燥した例１３と同等であり、水切り乾燥によって表面の水接触角が大きくなることが抑制された。
一方、活性炭による処理を行っていない溶剤組成物によって水切り乾燥を行った例５〜８では、水切り乾燥後のガラス板表面の水接触角が１４〜１５°と大きくなった。
また、ＳＵＳ板、ポリスチレン板を用いた例９〜１２では、溶剤組成物に対する活性炭処理の有無では、表面の水接触角に変化はなかった。 As shown in Table 1, in Examples 1 to 4 where the glass plate was drained and dried with the solvent composition treated with activated carbon, the water contact angle on the surface of the glass plate after draining and drying was the same as in Example 13 where air blow drying was performed. In addition, it was suppressed that the water contact angle on the surface was increased by draining and drying.
On the other hand, in Examples 5 to 8 where draining and drying were performed with a solvent composition not treated with activated carbon, the water contact angle on the surface of the glass plate after draining and drying was increased to 14 to 15 °.
Moreover, in Examples 9-12 using a SUS board and a polystyrene board, there was no change in the surface water contact angle by the presence or absence of the activated carbon treatment with respect to a solvent composition.

［例１４］
図１に例示した水切り乾燥装置１を用いて、ディスクの直径が３．５インチ（約８．９ｃｍ）の石英ガラス製のハードディスク用ガラス基板（旭硝子株式会社製）５枚の水切り乾燥を行った。各槽の容量は、浸漬槽１０を１８Ｌ、比重分離槽１２を１５Ｌ、蒸気発生槽１６を１０〜２０Ｌとした。
該ガラス基板５枚を、ＳＵＳとポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）で構成された洗浄治具に乗せ、これを純水に浸漬した後に引き上げた。その後、以下の条件で水切り乾燥を行った。
溶剤組成物の種類：ＡＥ−３１００Ｅ（沸点５４℃）、
浸漬槽１０の溶剤組成物１００の温度：４５℃、
浸漬槽１０における超音波振動器２６の使用：有、
浸漬槽１０におけるガラス基板の浸漬時間：３分間、
比重分離槽１２の液温：４５℃、
吸着材の種類：活性炭（商品名「ダイアホープＭ０１６」、カルゴンカーボンジャパン株式会社製）、
ガラス基板の蒸気中の暴露時間：１分間。
比重分離槽１２における溶剤層１１０は、比重分離槽１２の底部からポンプ１８により吸着材接触部１４に送り、約３Ｌ／分で浸漬槽１０へ返送した。水切り後のガラス基板は、５枚とも浸漬槽１０から引き上げた直後に乾燥した。 [Example 14]
Using the draining and drying apparatus 1 illustrated in FIG. 1, five sheets of quartz glass hard disk glass substrates (Asahi Glass Co., Ltd.) having a disk diameter of 3.5 inches (about 8.9 cm) were drained and dried. . The capacity of each tank was 18L for the immersion tank 10, 15L for the specific gravity separation tank 12, and 10-20L for the steam generation tank 16.
The five glass substrates were placed on a cleaning jig composed of SUS and polytetrafluoroethylene (PTFE), and this was dipped in pure water and then pulled up. Thereafter, draining and drying were performed under the following conditions.
Type of solvent composition: AE-3100E (boiling point 54 ° C.),
Temperature of the solvent composition 100 in the immersion bath 10: 45 ° C.
Use of the ultrasonic vibrator 26 in the immersion tank 10: Yes,
Immersion time of the glass substrate in the immersion tank 10: 3 minutes,
Liquid temperature of specific gravity separation tank 12: 45 ° C.
Type of adsorbent: activated carbon (trade name “Diahope M016”, Calgon Carbon Japan Co., Ltd.),
Exposure time in vapor of glass substrate: 1 minute.
The solvent layer 110 in the specific gravity separation tank 12 was sent from the bottom of the specific gravity separation tank 12 to the adsorbent contact portion 14 by the pump 18 and returned to the immersion tank 10 at about 3 L / min. All five glass substrates after draining were dried immediately after being pulled up from the immersion bath 10.

［例１５］
比重分離槽１２から抜き出された溶剤層１１０が吸着材接触部１４を通過せずに浸漬槽１０に返送される配管経路とした以外は図１の水切り乾燥装置１と同じ装置を用いた以外は、例１４と同様にしてハードディスク用ガラス基板の水切り乾燥を行った。 [Example 15]
Except for using the same apparatus as the draining and drying apparatus 1 in FIG. 1 except that the solvent layer 110 extracted from the specific gravity separation tank 12 is returned to the immersion tank 10 without passing through the adsorbent contact portion 14. In the same manner as in Example 14, the glass substrate for hard disk was drained and dried.

［例１６］
比較対象として、未処理のハードディスク用ガラス基板の水接触角を測定した。 [Example 16]
As a comparison object, the water contact angle of an untreated glass substrate for hard disk was measured.

［例１７］
寸法が１２７ｍｍ×１２７ｍｍ×２．３ｍｍの合成石英製のフォトマスク用ガラス基板（旭硝子株式会社製）を使用した以外は、例１４と同様の試験を実施した。 [Example 17]
A test similar to Example 14 was performed except that a glass substrate for a photomask made of synthetic quartz (Asahi Glass Co., Ltd.) having dimensions of 127 mm × 127 mm × 2.3 mm was used.

［例１８］
比重分離槽１２から抜き出された溶剤層１１０が吸着材接触部１４を通過せずに浸漬槽１０に返送される配管経路とした以外は図１の水切り乾燥装置１と同じ装置を用い、寸法が１２７ｍｍ×１２７ｍｍ×２．３ｍｍの合成石英製のフォトマスク用ガラス基板（旭硝子株式会社製）を使用した以外は、例１４と同様にしての水切り乾燥を行った。 [Example 18]
The same apparatus as the draining and drying apparatus 1 of FIG. 1 is used except that the solvent layer 110 extracted from the specific gravity separation tank 12 is returned to the immersion tank 10 without passing through the adsorbent contact portion 14. Was dried in the same manner as in Example 14 except that a glass substrate for a photomask made of synthetic quartz (Asahi Glass Co., Ltd.) having a size of 127 mm × 127 mm × 2.3 mm was used.

［例１９］
比較対象として、未処理のフォトマスク用ガラス基板の水接触角を測定した。
例１４〜１９の評価結果を表２に示す。 [Example 19]
As a comparison object, the water contact angle of an untreated glass substrate for a photomask was measured.
The evaluation results of Examples 14 to 19 are shown in Table 2.

表２に示すように、比重分離槽で分離した溶剤層を、活性炭と接触させた後に浸漬槽に返送する例１４、例１７の水切り乾燥方法では、水切り乾燥後のガラス基板の表面にシミの発生は見られなかった。また、例１４、例１７での水接触角は、例１６、例１９の未処理のハードディスク用ガラス基板および未処理のフォトマスク用ガラス基板の水接触角と同等であり、水切り乾燥によって水接触角が大きくなることが抑制されていた。
一方、比重分離槽１２で分離した溶剤層を、活性炭と接触させずに浸漬槽に返送する例１５、例１８の水切り乾燥方法では、水切り乾燥後のガラス基板にシミの発生はみられなかったものの、水接触角は３０°および１９°となり、水切り乾燥によって水接触角が大きくなった。 As shown in Table 2, in the draining drying method of Example 14 and Example 17 in which the solvent layer separated in the specific gravity separation tank is brought into contact with activated carbon and then returned to the immersion tank, the surface of the glass substrate after draining and drying is stained. There was no outbreak. Further, the water contact angles in Examples 14 and 17 are equivalent to the water contact angles of the untreated hard disk glass substrate and untreated photomask glass substrate of Examples 16 and 19, and the water contact angle is obtained by draining and drying. An increase in the angle was suppressed.
On the other hand, in the draining and drying methods of Examples 15 and 18 in which the solvent layer separated in the specific gravity separation tank 12 is returned to the immersion tank without being brought into contact with the activated carbon, no spots were observed on the glass substrate after the draining and drying. However, the water contact angle was 30 ° and 19 °, and the water contact angle was increased by draining and drying.

１水切り乾燥装置
１０浸漬槽
１２比重分離槽
１６吸着材接触部
１８蒸気発生槽 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Draining drying apparatus 10 Immersion tank 12 Specific gravity separation tank 16 Adsorbent contact part 18 Steam generation tank

Claims

A method for draining and drying articles having the following steps (1) to (4).
(1) An article having water attached to the surface is immersed in a solvent composition containing at least one selected from the group consisting of hydrofluoroethers, hydrofluorocarbons, and hydrochlorofluorocarbons, and alcohols. , Removing the water adhering to the surface and drying.
(2) A step of separating the solvent composition containing water separated from the article into an aqueous layer and a solvent layer by specific gravity.
(3) A step of bringing the solvent layer obtained in the step (2) into contact with an adsorbent.
(4) A step of returning the solvent layer brought into contact with the adsorbent to the step (1) as the solvent composition.

The method for draining and drying an article according to claim 1, wherein the adsorbent is activated carbon.

The method for draining and drying an article according to claim 1 or 2, wherein the article is a glass part.

The method of draining and drying an article according to claim 3, wherein the glass component is a glass substrate for a photomask or a glass substrate for a hard disk.

The hydrofluoroether is selected from the group consisting of 1,1,2,2-tetrafluoroethyl-2,2,2-trifluoroethyl ether, (perfluorobutoxy) methane, and (perfluorobutoxy) ethane. The method for draining and drying an article according to any one of claims 1 to 4, wherein the method is one or more kinds.

The hydrofluorocarbon is 1,1,1,3,3-pentafluorobutane, 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane, 1,1,1, The group consisting of 2,2,3,3,4,4-nonafluorohexane and 1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6-tridecafluorohexane The method for draining and drying an article according to any one of claims 1 to 5, wherein the method is one or more selected from the group consisting of:

The hydrochlorofluorocarbon group is composed of 3,3-dichloro-1,1,1,2,2-pentafluoropropane and 1,3-dichloro-1,1,2,2,3-pentafluoropropane The method for draining and drying an article according to any one of claims 1 to 6, which is one or more selected from the group consisting of:

The method for draining and drying an article according to any one of claims 1 to 7, wherein the alcohol is an alkanol having 1 to 4 carbon atoms.

The method for draining and drying an article according to any one of claims 1 to 8, wherein in the step (1), the article pulled up from the solvent composition is dried by contacting with the vapor of the solvent composition.