JP2015077555A - Blower type dust collector - Google Patents

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上 宏 村
Hiroshi Murakami
上 宏 村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blower type dust collector capable of effectively collecting dust generated in a dust generating mechanism.SOLUTION: A blower type dust collector installed for a dust generating mechanism generating dust comprises: a booth to surround the dust generating mechanism; a blower being disposed at one side surface of the booth and sending an air flow from the outside of the booth to the inside of the booth; and a suction exhaust port being disposed at the other side surface facing the one side surface of the booth and suctioning and exhausting the air flow sent by the blower.

Description

本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置に関する。   The present invention relates to a blast-type dust collector provided for a dust generation mechanism that generates dust.

例えばクリーンルームのように、内部における清浄雰囲気の維持が必要とされる空間がある。そのような空間内においても、製品製造や製品運搬などが行われる。その際、製品製造や製品運搬のために必要な機構、例えば金属製のギヤ駆動部から、当該金属の粉塵が発生することがある。このような粉塵は、清浄雰囲気の維持のために、当該空間内における飛散が防止されなければならない。   For example, there is a space that needs to maintain a clean atmosphere inside, such as a clean room. Even in such a space, product manufacturing and product transportation are performed. In that case, the metal dust may generate | occur | produce from the mechanism required for product manufacture or product conveyance, for example, metal gear drive parts. Such dust must be prevented from scattering in the space in order to maintain a clean atmosphere.

特許文献1に記載された集塵装置は、バキューム手段によって粉塵を吸引するタイプの集塵装置である。このようにバキューム手段を用いる集塵装置は、粉塵の種類を問わないことの他、集塵効率が高いという利点がある。   The dust collector described in Patent Document 1 is a type of dust collector that sucks dust by a vacuum means. Thus, the dust collector using a vacuum means has the advantage that dust collection efficiency is high besides the kind of dust is not ask | required.

詳しくは、特許文献1に記載された集塵装置では、バキューム手段により吸引した粉塵を通過させる流路内に、磁気吸着機構が設けられ、この磁気吸着機構に粉塵を吸着して回収する。この磁気吸着機構は、磁気発生手段と、磁気を帯びない素材から形成され磁気発生手段を囲繞し磁気発生手段周りを周回する方向に回転駆動される無端状の仕切材と、を備えている。そして、この磁気吸着機構は、仕切材を回転駆動させることで、上記した仕切材の外面に磁気吸着した粉塵を磁気が作用しない粉塵回収位置(仕切材)に搬送させることが可能となっている。   Specifically, in the dust collector described in Patent Document 1, a magnetic adsorption mechanism is provided in a flow path through which the dust sucked by the vacuum means passes, and the magnetic adsorption mechanism adsorbs and collects the dust. This magnetic attraction mechanism includes a magnetism generating means and an endless partition member that is formed of a material that does not have magnetism and that is driven to rotate around the magnetism generating means so as to go around the magnetism generating means. And this magnetic adsorption | suction mechanism can convey the dust magnetically adsorbed to the outer surface of an above-described partition material to the dust collection position (partition material) where magnetism does not act by rotating a partition material. .

特開平10−138083JP 10-138083 A

しかしながら、バキューム手段を用いる集塵装置は、例えば吸引口の付近などにおいて乱流が発生してしまって、当該乱流が粉塵の飛散を引き起こすという問題があった。   However, the dust collector using the vacuum means has a problem that turbulent flow is generated, for example, in the vicinity of the suction port, and the turbulent flow causes dust scattering.

また、バキューム手段を用いる集塵装置は、吸引による集塵効率を上げるためや、吸引口の付近などにおいて発生する乱流によって飛散される粉塵の拡散を防止するために、粉塵発生機構を密閉することが望まれるが、クリーンルーム内の狭い(限られた)空間では、そのような密閉機構(密閉ブース)を設置することが難しい場合がある。   In addition, the dust collector using the vacuum means seals the dust generation mechanism in order to increase the dust collection efficiency by suction and to prevent the diffusion of dust scattered by the turbulent flow generated near the suction port. However, it is sometimes difficult to install such a sealing mechanism (sealed booth) in a narrow (limited) space in a clean room.

本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、粉塵発生機構で発生する粉塵を効果的に集塵することができる送風式集塵装置を提供することである。   The present invention has been created based on the above findings. The objective of this invention is providing the ventilation type dust collector which can collect the dust generated with a dust generation mechanism effectively.

本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、粉塵発生機構を包囲するブースと、前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、を備えたことを特徴とする送風式集塵装置である。   The present invention is a blow-type dust collecting device provided for a dust generating mechanism for generating dust, the booth surrounding the dust generating mechanism, provided on one side of the booth, and from inside the booth to the inside of the booth A blower-type collector comprising: a blower that blows an airflow to the side; and a suction discharge port that is provided on the other side facing the one side of the booth and sucks and exhausts the airflow blown by the blower. It is a dust device.

本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。   According to the present invention, dust generated by the dust generation mechanism is prevented from scattering outside the booth, and the dust inside the booth is efficiently transferred to the suction outlet by the airflow flowing from the blower toward the suction outlet. Therefore, by using a known filter member in combination, for example, dust inside the booth can be effectively collected regardless of physical properties.

また、前記ブースは、略直方体に形成されていてもよい。この場合、ブースに対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高く、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることができる。   The booth may be formed in a substantially rectangular parallelepiped. In this case, the degree of freedom of design regarding the installation of the blower and the suction outlet for the booth is high, and the manufacturing efficiency and the dust collection efficiency can be improved.

例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの上面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面であってもよい。この場合、ブースの上面から底面に向けて気流が流れることで、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。   For example, the one side of the booth may be the top surface of the booth, and the other side of the booth may be the bottom surface of the booth. In this case, since the airflow flows from the top surface to the bottom surface of the booth, the dust collection efficiency of the dust can be improved in combination with the gravity acting on the dust.

また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から吸引排出口を介して気体が吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。   Further, in this case, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining communication with each other is provided inside the booth, and the suction The discharge port may be provided in a region near the dust generation mechanism so that the region near the dust generation mechanism is in a negative pressure state. In this case, the gas is sucked and exhausted from the area near the dust generation mechanism through the suction / discharge port, so that the area near the dust generation mechanism is in a negative pressure state, and the dust generation mechanism starts from the area near the dust generation mechanism. It is possible to prevent the dust from diffusing to a region far from the center.

あるいは、例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの前面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面であってもよい。この場合、ブースの前面から気流が後方に向けて流れることで、前後方向に沿って流れる気流によってブース内部の粉塵をブース外部に導くことができる。   Alternatively, for example, the one side of the booth may be the front of the booth, and the other side of the booth may be the rear of the booth. In this case, since the airflow flows backward from the front of the booth, the dust inside the booth can be guided to the outside of the booth by the airflow flowing along the front-rear direction.

また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から補助吸引排出口を介して吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。   Further, in this case, a partition for separating a region near the dust generation mechanism and a region far from the dust generation mechanism while maintaining communication with each other is provided inside the booth. An auxiliary suction exhaust port may be provided for a region in the vicinity of the generation mechanism, and the region in the vicinity of the dust generation mechanism may be in a negative pressure state. In this case, by suctioning and exhausting from the area near the dust generation mechanism via the auxiliary suction / discharge port, the area near the dust generation mechanism becomes a negative pressure state, and from the area near the dust generation mechanism to the dust generation mechanism. It is possible to prevent dust from diffusing to a distant area.

本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。   According to the present invention, dust generated by the dust generation mechanism is prevented from scattering outside the booth, and the dust inside the booth is efficiently transferred to the suction outlet by the airflow flowing from the blower toward the suction outlet. Therefore, by using a known filter member in combination, for example, dust inside the booth can be effectively collected regardless of physical properties.

本発明の第1の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。It is a schematic perspective perspective view of the ventilation type dust collector of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。It is a schematic perspective perspective view of the ventilation type dust collector of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。It is a schematic perspective perspective view of the ventilation type dust collector of the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施の形態の送風式集塵装置の概略正面透視図である。It is a schematic front perspective view of the ventilation type dust collector of the 4th Embodiment of this invention. 図4のV−V線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VV line of FIG. 本発明の第5の実施の形態の送風式集塵装置についての、図5に対応する図である。It is a figure corresponding to FIG. 5 about the ventilation type dust collector of the 5th Embodiment of this invention.

以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の第1の実施の形態の送風式集塵装置1の概略斜視透視図である。図1に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置1は、例えばクリーンルーム内において各種製品を運搬するための運搬機構の一部であって前後方向に2つ並んで配置された金属製ギヤ群101、102に対して設けられる装置である。この場合、金属製ギヤ群101、102が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置1は、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵を集塵するようになっている。   FIG. 1 is a schematic perspective perspective view of a blown dust collector 1 according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the blower-type dust collector 1 of the present embodiment is a part of a transport mechanism for transporting various products in a clean room, for example, and is arranged in two in the front-rear direction. It is a device provided for the gear groups 101 and 102. In this case, the metal gear groups 101 and 102 are dust generation mechanisms, and the blower-type dust collector 1 collects dust generated by the metal gear groups 101 and 102.

本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵は、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵であり、対象とする粒径は、0.7μm以上である。もっとも、目視できるのは数十μm程度である。なお、粉塵発生機構の材質、すなわち、粉塵発生機構が発生させる粉塵は、樹脂等であってもよい。   In the present embodiment, the dust generated by the metal gear groups 101 and 102 is dust made of stainless steel (SUS304, SUS305), chromium molybdenum steel (SCM415), and the target particle size is 0.7 μm. That's it. However, it is about several tens of μm that can be visually observed. The material of the dust generation mechanism, that is, the dust generated by the dust generation mechanism may be a resin or the like.

本実施の形態の送風式集塵装置1は、金属製ギヤ群101、102を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース10を備えている。   The blower type dust collector 1 of the present embodiment includes a booth 10 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that surrounds the metal gear groups 101 and 102 from the front, rear, top, bottom, left and right directions.

ブース10は、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵の飛散領域を制限する目的で設けられている。ブース10は、金属製ギヤ群101、102の周囲の空間を密閉するものに限定されず、金属製ギヤ群101、102に接続された各軸部材との干渉を避けるための種々の開口部(不図示)を有していてもよい。   The booth 10 is provided for the purpose of limiting the dust scattering region generated by the metal gear groups 101 and 102. The booth 10 is not limited to the one that seals the space around the metal gear groups 101 and 102, and various openings (for avoiding interference with the shaft members connected to the metal gear groups 101 and 102) ( (Not shown).

本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102の上方に位置するブース10の面、すなわちブース10の上面に、前後方向に並ぶように送風機21〜23が3つ配置されている。各送風機21〜23は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、3つの送風機21〜23の3つの支持部材によって、ブース10の上面の全体が占められている。   In the present embodiment, three blowers 21 to 23 are arranged on the surface of the booth 10 located above the metal gear groups 101 and 102, that is, on the upper surface of the booth 10 so as to be arranged in the front-rear direction. Each of the blowers 21 to 23 includes an impeller and a rectangular frame-shaped support member that rotatably supports the impeller. And in this Embodiment, the whole upper surface of the booth 10 is occupied by the three support members of the three air blowers 21-23.

各送風機21〜23は、ブース10の外部から空気を取り込んでブース10の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機21〜23の羽根車の回転軸は、鉛直方向(上下方向)に整列配置されている。これにより、各送風機21〜23により送風される気流は、ブース10の上面から底面に向けて鉛直方向に流れるようになっている。各送風機21〜23は、120mm×120mmのサイズであって、その送風量は、48CFM(13.6l/min)程度となっている。   Each of the blowers 21 to 23 is configured to take in air from the outside of the booth 10 and blow it as an airflow into the booth 10. Moreover, the rotating shafts of the impellers of the blowers 21 to 23 are aligned in the vertical direction (vertical direction). Thereby, the airflow blown by each of the blowers 21 to 23 flows in the vertical direction from the top surface of the booth 10 toward the bottom surface. Each of the blowers 21 to 23 has a size of 120 mm × 120 mm, and the blowing amount is about 48 CFM (13.6 l / min).

一方、ブース10の底面には、前後方向に並ぶように3つの吸引排出口31〜33が設けられている。各吸引排出口31〜33は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口31〜33の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口31〜33を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口31〜33による排気量の和は、前述の送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。   On the other hand, three suction / discharge ports 31 to 33 are provided on the bottom surface of the booth 10 so as to be aligned in the front-rear direction. Each suction / discharge port 31 to 33 is formed in a circular shape in the present embodiment. However, the shape of the suction / discharge ports 31 to 33 may not be circular, but may be elliptical or rectangular. The airflow passing through the suction / discharge ports 31 to 33 flows further downstream through a known filter member (not shown). The filter member captures dust contained in the airflow that has passed. The sum of the exhaust amount by the suction exhaust ports 31 to 33 is set to be larger than the sum of the above-mentioned air blowing amounts so that the inside of the apparatus is in a negative pressure state.

そして、本実施の形態では、送風機21と吸引排出口31とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機21の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口31の中心を通るようになっている。同様に、送風機22と吸引排出口32とは鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機22の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口32の中心を通るようになっている。同様に、送風機23と吸引排出口33とは鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機23の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口33の中心を通るようになっている。   And in this Embodiment, the air blower 21 and the suction discharge port 31 are located so that it may oppose a perpendicular direction (up-down direction). More specifically, the axis of the rotating shaft of the impeller of the blower 21 passes through the center of the suction / discharge port 31. Similarly, the blower 22 and the suction / discharge port 32 are positioned so as to face each other in the vertical direction (vertical direction). More specifically, the axis of the rotating shaft of the impeller of the blower 22 passes through the center of the suction / discharge port 32. Similarly, the blower 23 and the suction / discharge port 33 are positioned so as to face each other in the vertical direction (vertical direction). More specifically, the axis of the rotating shaft of the impeller of the blower 23 passes through the center of the suction / discharge port 33.

さらに、本実施の形態では、送風機21の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機22の羽根車の回転軸の直下の領域との間の領域に、金属製ギヤ群101が位置している。また、送風機22の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機23の羽根車の回転軸の直下の領域との間に、金属製ギヤ群102が位置している。   Further, in the present embodiment, the metal gear group 101 is located in a region between a region immediately below the rotation shaft of the impeller of the blower 21 and a region directly below the rotation shaft of the impeller of the blower 22. Yes. Further, the metal gear group 102 is located between a region immediately below the rotation shaft of the impeller of the blower 22 and a region directly below the rotation shaft of the impeller of the blower 23.

次に、本実施の形態の送風式集塵装置1の作用について説明する。   Next, the effect | action of the ventilation type dust collector 1 of this Embodiment is demonstrated.

各種製品を運搬するための運搬機構の一部である金属製ギヤ群101、102は、動作の結果として、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵を発生させる。   As a result of the operation, the metal gear groups 101 and 102 that are part of a transport mechanism for transporting various products generate dust made of stainless steel (SUS304, SUS305), chrome molybdenum steel (SCM415), or the like.

発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口31〜33に効率的に導かれる。そして、吸引排出口31〜33を通った粉塵は、吸引排出口31〜33の先にあるフィルタ部材によって集塵される。   The generated dust is scattered from the metal gear groups 101 and 102, but is prevented from scattering outside the booth 10 because the metal gear groups 101 and 102 are covered by the booth 10. Moreover, the dust inside the booth 10 is efficiently guided to the suction / discharge ports 31 to 33 along a linear track by the airflow flowing from the blowers 21 to 23 toward the suction / discharge ports 31 to 33. And the dust which passed through the suction discharge ports 31-33 is collected by the filter member ahead of the suction discharge ports 31-33.

以上の通り、本実施の形態によれば、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止され、また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、吸引排出口31〜33に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。   As described above, according to the present embodiment, dust generated in the metal gear groups 101 and 102 is prevented from scattering outside the booth 10, and the dust inside the booth 10 is blown from the fans 21 to 23. Since the airflow that flows toward the suction discharge ports 31 to 33 is efficiently guided to the suction discharge ports 31 to 33, dust can be effectively collected regardless of physical properties by using a known filter member in combination.

また、本実施の形態では、ブース10が、略直方体に形成されていることで、ブース10に対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高くなっている。このため、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることが容易である。   Moreover, in this Embodiment, the booth 10 is formed in the substantially rectangular parallelepiped, and the freedom degree of the design regarding installation of the air blower and the suction discharge port with respect to the booth 10 is high. For this reason, it is easy to improve manufacturing efficiency and dust collection efficiency.

また、本実施の形態では、送風機21〜23が設けられるブース10の一側面がブース10の上面であり、吸引排出口31〜33が設けられる一側面に対向する他側面がブース10の底面である。このため、ブース10の上面から気流は底面に向けて流れ、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。   Moreover, in this Embodiment, the one side surface of the booth 10 in which the air blowers 21-23 are provided is the upper surface of the booth 10, and the other side surface opposite to the one side surface in which the suction discharge ports 31-33 are provided is the bottom surface of the booth 10. is there. For this reason, airflow flows from the upper surface of the booth 10 toward the bottom surface, and it is possible to improve dust collection efficiency in combination with gravity acting on the dust.

次に、図2は、本発明の第2の実施の形態の送風式集塵装置2の概略斜視透視図である。   Next, FIG. 2 is a schematic perspective perspective view of the blow type dust collector 2 of the second embodiment of the present invention.

本実施の形態の送風式集塵装置2では、ブース10の前面に上下に並ぶように2つの送風機24、25が設けられている。また、ブース10の後面に上下に並ぶように2つの吸引排出口34、35が設けられている。   In the blower type dust collector 2 of the present embodiment, two blowers 24 and 25 are provided on the front face of the booth 10 so as to line up and down. Further, two suction / discharge ports 34 and 35 are provided on the rear surface of the booth 10 so as to be lined up and down.

詳しくは、各送風機24、25は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、2つの送風機24、25の2つの支持部材によって、ブース10の前面の全体が占められている。   Specifically, each of the blowers 24 and 25 includes an impeller and a rectangular frame-shaped support member that rotatably supports the impeller. In the present embodiment, the entire front surface of the booth 10 is occupied by the two support members of the two blowers 24 and 25.

各送風機24、25は、ブース10の外部から空気を取り込んでブース10の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機24、25の羽根車の回転軸は、前後方向に整列配置されている。これにより、各送風機24、25により送風される気流は、ブース10の前面から後面に向けて前後方向に流れるようになっている。   Each of the blowers 24 and 25 is configured to take in air from the outside of the booth 10 and blow it as an airflow into the booth 10. Moreover, the rotating shafts of the impellers of the blowers 24 and 25 are arranged in the front-rear direction. Thereby, the airflow blown by the blowers 24 and 25 flows in the front-rear direction from the front surface of the booth 10 toward the rear surface.

一方、各吸引排出口34、35は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口34、35の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口34、35を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口34、35による排気量の和は、送風機24、25による送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。   On the other hand, each suction / discharge port 34, 35 is formed in a circular shape in the present embodiment. However, the shape of the suction / discharge ports 34 and 35 may not be circular, but may be elliptical or rectangular. The airflow that has passed through the suction discharge ports 34 and 35 flows further downstream through a known filter member (not shown). The filter member captures dust contained in the airflow that has passed. The sum of the exhaust amount by the suction exhaust ports 34 and 35 is set larger than the sum of the air amount by the blowers 24 and 25 so that the inside of the apparatus is in a negative pressure state.

そして、本実施の形態では、送風機24と吸引排出口34とが前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機24の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口34の中心を通るようになっている。同様に、送風機25と吸引排出口35とは前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機25の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口35の中心を通るようになっている。   And in this Embodiment, it is located so that the air blower 24 and the suction discharge port 34 may oppose the front-back direction. More specifically, the axis of the rotating shaft of the impeller of the blower 24 passes through the center of the suction / discharge port 34. Similarly, the blower 25 and the suction / discharge port 35 are positioned so as to face each other in the front-rear direction. More specifically, the axis of the rotating shaft of the impeller of the blower 25 passes through the center of the suction / discharge port 35.

以上に説明した各点で、送風式集塵装置2は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と異なっている。その他の構成は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図2において、第1の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   In each point described above, the blower dust collector 2 is different from the blower dust collector 1 of the first embodiment. The other configuration is the same as that of the blow type dust collector 1 of the first embodiment. In FIG. 2, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

次に、本実施の形態の送風式集塵装置2の作用について説明する。   Next, the effect | action of the ventilation type dust collector 2 of this Embodiment is demonstrated.

金属製ギヤ群101、102によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機24、25から吸引排出口34、35に向けて前後方向に流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口34、35に効率的に導かれる。そして、吸引排出口34、35を通った粉塵は、吸引排出口34、35の先にあるフィルタ部材(不図示、第1の実施の形態と同様のものである。)によって集塵される。   Dust generated by the metal gear groups 101, 102 scatters from the metal gear groups 101, 102, but since the metal gear groups 101, 102 are covered by the booth 10, they are not scattered outside the booth 10. Is prevented. Also, the dust inside the booth 10 is efficiently guided to the suction and discharge ports 34 and 35 along a linear track by an airflow flowing in the front-rear direction from the blowers 24 and 25 toward the suction and discharge ports 34 and 35. It is burned. And the dust which passed through the suction discharge ports 34 and 35 is collected by the filter member (not shown, the same as that of 1st Embodiment) ahead of the suction discharge ports 34 and 35.

以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機24、25から吸引排出口34、35に向けて前後方向に流れる気流によって、吸引排出口34、35に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。   As described above, the present embodiment also prevents dust generated in the metal gear groups 101 and 102 from being scattered outside the booth 10. Further, the dust inside the booth 10 is efficiently guided to the suction discharge ports 34 and 35 by the airflow flowing in the front-rear direction from the blowers 24 and 25 toward the suction discharge ports 34 and 35. By using in combination, dust can be effectively collected regardless of physical properties.

次に、図3は、本発明の第3の実施の形態の送風式集塵装置3の概略斜視透視図である。   Next, FIG. 3 is a schematic perspective perspective view of the blow type dust collector 3 of the third embodiment of the present invention.

本実施の形態の送風式集塵装置3は、ブース10の底面の所定位置の下方に設けられる磁石装置71、72と、磁石装置71、72に対応するブース10の底面の所定位置に設けられる粘着シート61、62とを有する点で、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と異なっている。   The blow-type dust collector 3 of the present embodiment is provided at a predetermined position on the bottom surface of the booth 10 corresponding to the magnet devices 71 and 72 provided below the predetermined position on the bottom surface of the booth 10 and the magnet devices 71 and 72. It differs from the ventilation type dust collector 1 of 1st Embodiment by the point which has the adhesive sheets 61 and 62. FIG.

磁石装置71は、金属製ギヤ群101の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置71の吸引面は、ブース10の底面側において吸引排気口31と吸引排気口32との間の領域に位置している。   The magnet device 71 is provided below the metal gear group 101 and has a suction surface that attracts dust made of a magnetic material. The suction surface of the magnet device 71 is located in a region between the suction exhaust port 31 and the suction exhaust port 32 on the bottom surface side of the booth 10.

同様に、磁石装置72は、金属製ギヤ群102の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置72の吸引面は、ブース10の底面側において吸引排気口32と吸引排気口33との間の領域に位置している。   Similarly, the magnet device 72 is provided below the metal gear group 102 and has a suction surface that attracts dust made of a magnetic material. The suction surface of the magnet device 72 is located in a region between the suction exhaust port 32 and the suction exhaust port 33 on the bottom surface side of the booth 10.

本実施の形態の磁石装置71、72は、金属製ギヤ群101、102の方向に強い磁力を有する異方性磁石で構成されている。具体的には、ニチレイマグネット株式会社製の商品名「マグタックテープ ロール 1.5mm×19mm」(品番:000228)が用いられている。あるいは、株式会社マグナ製の商品名「ネオジムマグネットシート 1.0mm×200mm」も用いられ得る。   Magnet devices 71 and 72 according to the present embodiment are made of anisotropic magnets having a strong magnetic force in the direction of metal gear groups 101 and 102. Specifically, a product name “MagTack Tape Roll 1.5 mm × 19 mm” (product number: 000228) manufactured by Nichirei Magnet Co., Ltd. is used. Alternatively, a trade name “neodymium magnet sheet 1.0 mm × 200 mm” manufactured by Magna Co., Ltd. may be used.

一方、粘着シート61は、磁石装置71の吸引面に対応するブース10の底面に設けられている。また、粘着シート62は、磁石装置72の吸引面に対応するブース10の底面に設けられている。本実施の形態では、複数が積層された積層粘着シートが用いられている。具体的には、30層積層タイプの、アズワン株式会社製の商品名「アズピュアクリーンマット」(品番:1−4731−63 白 450×900)が、設置場所のサイズに合わせて切断されて用いられている。   On the other hand, the adhesive sheet 61 is provided on the bottom surface of the booth 10 corresponding to the suction surface of the magnet device 71. The adhesive sheet 62 is provided on the bottom surface of the booth 10 corresponding to the suction surface of the magnet device 72. In the present embodiment, a laminated adhesive sheet in which a plurality is laminated is used. Specifically, a 30-layer laminate type “Azure Clean Mat” (product number: 1-4731-63 white 450 × 900) manufactured by AS ONE Co., Ltd. is used after being cut according to the size of the installation location. It has been.

その他の構成は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図3において、第1の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   The other configuration is the same as that of the blow type dust collector 1 of the first embodiment. In FIG. 3, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

次に、本実施の形態の送風式集塵装置3の作用について説明する。   Next, the effect | action of the ventilation type dust collector 3 of this Embodiment is demonstrated.

金属製ギヤ群101、102によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵の一部は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口31〜33に効率的に導かれる。ここで、気流に乗り損ねたブース10の内部の粉塵の一部は、磁石装置71、72の磁力の作用を受けて当該磁石装置71、72の吸引面上の粘着シート61、62によって吸着される。吸着された粉塵は、粘着シート61、62の粘着力によって、その後に再び飛散することが確実に防止される。   Dust generated by the metal gear groups 101, 102 scatters from the metal gear groups 101, 102, but since the metal gear groups 101, 102 are covered by the booth 10, they are not scattered outside the booth 10. Is prevented. Further, a part of the dust inside the booth 10 is efficiently guided to the suction discharge ports 31 to 33 along the linear trajectory by the airflow flowing from the blowers 21 to 23 toward the suction discharge ports 31 to 33. It is burned. Here, a part of the dust inside the booth 10 that missed the air flow is attracted by the adhesive sheets 61 and 62 on the suction surface of the magnet devices 71 and 72 under the action of the magnetic force of the magnet devices 71 and 72. The The adsorbed dust is reliably prevented from being scattered again thereafter by the adhesive force of the adhesive sheets 61 and 62.

そして、吸引排出口31〜33を通った粉塵は、吸引排出口31〜33の先にあるフィルタ部材(不図示、第1の実施の形態と同様のものである。)によって集塵される。   And the dust which passed through the suction discharge ports 31-33 is collected by the filter member (not shown and the same thing as 1st Embodiment) ahead of the suction discharge ports 31-33.

本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102の所定時間の運転の後、金属製ギヤ群101、102の運転が停止された際に、例えば、作業者によってブース10が取り外されて、作業者によって粘着シート61、62が剥がされることによって粘着シート61、62に吸着された粉塵が粘着シート61、62ごと廃棄される。この作業の際に、粉塵は、粘着シート61、62に吸着されたまま飛散することがないため、作業者による作業は容易である。また、粘着シート61、62が積層粘着シートからなるため、粉塵を吸着した最上位のシートが剥がされることで、次のシートの粘着面が簡便に露出される。この場合、その後、再びブース10が取り付けられて、金属製ギヤ群101、102の運転が再開される。   In the present embodiment, after the operation of the metal gear groups 101 and 102 for a predetermined time, when the operation of the metal gear groups 101 and 102 is stopped, for example, the booth 10 is removed by an operator, When the adhesive sheets 61 and 62 are peeled off by the person, the dust adsorbed on the adhesive sheets 61 and 62 is discarded together with the adhesive sheets 61 and 62. During this operation, dust does not scatter while adsorbed to the adhesive sheets 61 and 62, so that the operation by the operator is easy. In addition, since the pressure-sensitive adhesive sheets 61 and 62 are made of laminated pressure-sensitive adhesive sheets, the pressure-sensitive adhesive surface of the next sheet is easily exposed by peeling off the uppermost sheet that adsorbs dust. In this case, after that, the booth 10 is attached again, and the operation of the metal gear groups 101 and 102 is resumed.

以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、吸引排出口31〜33に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。加えて、磁石装置71、72の吸引面に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面に設置された粘着シート61、62の粘着面によって吸着されることにより、その後に再び飛散することが確実に防止される。   As described above, the present embodiment also prevents dust generated in the metal gear groups 101 and 102 from being scattered outside the booth 10. Moreover, since the dust inside the booth 10 is efficiently guided to the suction discharge ports 31 to 33 by the airflow flowing from the blowers 21 to 23 toward the suction discharge ports 31 to 33, a known filter member should be used in combination. Thus, dust can be effectively collected regardless of physical properties. In addition, the dust made of a magnetic material attracted to the suction surfaces of the magnet devices 71 and 72 is scattered again after being adsorbed by the adhesive surfaces of the adhesive sheets 61 and 62 installed on the suction surfaces. Is reliably prevented.

また、吸着された粉塵は、粘着シート61、62ごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。   Further, since the adsorbed dust can be discarded together with the adhesive sheets 61 and 62, the operator's work is also easy.

また、磁石装置71、72は、金属製ギヤ群101、102の方向に強い磁力を有する異方性磁石であるため、当該金属製ギヤ群101、102に対して、より強力に磁力を効かせることができる。   Further, since the magnet devices 71 and 72 are anisotropic magnets having a strong magnetic force in the direction of the metal gear groups 101 and 102, the magnetic gear groups 101 and 102 are more strongly applied with a magnetic force. be able to.

なお、磁石装置71、72は、電磁石装置によって置換することが可能である。この場合、磁力の強度調整が容易である他、磁力のON−OFF制御も容易となる。従って、例えば粘着シート61、62の交換時に磁力をOFFにして、吸引排気口31〜33からの吸引作用を優先させるといったことも可能となる。   The magnet devices 71 and 72 can be replaced by electromagnet devices. In this case, it is easy to adjust the strength of the magnetic force, and it is easy to control the ON / OFF of the magnetic force. Therefore, for example, it is possible to prioritize the suction action from the suction exhaust ports 31 to 33 by turning off the magnetic force when replacing the adhesive sheets 61 and 62.

また、粘着シートとして、本実施の形態では積層粘着シートが用いられたが、粘着面に粘着ジェルが塗布されたタイプのシートであってもよい。この場合、例えば粘着ジェルと一緒に粉塵が拭き取られ、その後に再び新たな粘着ジェルが塗布されることで、当該粘着シートは繰り返しの利用に供される。   Moreover, although the lamination adhesive sheet was used in this Embodiment as an adhesive sheet, the sheet | seat of the type by which the adhesive gel was apply | coated to the adhesive surface may be sufficient. In this case, for example, dust is wiped off together with the adhesive gel, and then the new adhesive gel is applied again, so that the adhesive sheet is used repeatedly.

次に、図4は、本発明の第4の実施の形態の送風式集塵装置4の概略正面透視図であり、図5は、図4のV−V線に沿う断面図である。   Next, FIG. 4 is a schematic front perspective view of the blow type dust collector 4 of the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG.

図4及び図5に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置4は、例えばクリーンルーム内においてウェハWを運搬するための運搬機構の一部であるベルトコンベア用ギヤ群201、202に対して設けられる装置である。この場合、ベルトコンベア用ギヤ群201、202が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置4は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202が発生させる粉塵を集塵するようになっている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the blower dust collector 4 according to the present embodiment includes, for example, belt conveyor gear groups 201 and 202 that are part of a transport mechanism for transporting the wafer W in a clean room. It is an apparatus provided with respect to it. In this case, the belt conveyor gear groups 201 and 202 are dust generating mechanisms, and the blower dust collector 4 collects dust generated by the belt conveyor gear groups 201 and 202.

本実施の形態の送風式集塵装置4は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース11を備えている。   The blower type dust collector 4 of the present embodiment includes a booth 11 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape that surrounds the belt conveyor gear groups 201 and 202 from the front, rear, up, down, left and right directions.

図4においてブース11の内部における紙面左側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群201には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤが含まれ、ブース11の内部における紙面右側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群202には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤ(図5参照)が含まれている。図5には、ベルトコンベア用ギヤ群202に含まれているギヤ202a〜202fが図示されている。   In FIG. 4, the belt conveyor gear group 201 arranged at the left side of the paper surface inside the booth 11 includes a plurality of gears arranged so as to be arranged at intervals in the front-rear direction. The belt conveyor gear group 202 arranged at the position on the right side of the drawing includes a plurality of gears (see FIG. 5) arranged so as to be arranged in the front-rear direction at intervals. FIG. 5 illustrates gears 202 a to 202 f included in the belt conveyor gear group 202.

ベルトコンベア用ギヤ群201に含まれている複数のギヤは、それぞれ、ベルトコンベア用ギヤ群202に含まれている複数のギヤのうちのいずれかと、左右方向に対向している。そして、左右方向に対向するベルトコンベア用ギヤ群201のギヤとベルトコンベア用ギヤ群202のギヤとは、左右方向に延びるシャフト203によって連結されている。当該シャフト203は、当該左右一対のギヤの回転に伴って回転するようになっている。   The plurality of gears included in the belt conveyor gear group 201 respectively opposes one of the plurality of gears included in the belt conveyor gear group 202 in the left-right direction. The gear of the belt conveyor gear group 201 and the gear of the belt conveyor gear group 202 facing in the left-right direction are connected by a shaft 203 extending in the left-right direction. The shaft 203 rotates with the rotation of the pair of left and right gears.

シャフト203には、当該シャフト203の軸方向に間隔をあけて並ぶように6つのローラ204が設けられている。各ローラ204はシャフト203に対して相対回転不能に固定されている。図4では、最前方のシャフト203及びローラ204のみが図示されているが、後方に配置されるシャフトについても、同様のローラが設けられている。   The shaft 203 is provided with six rollers 204 so as to be arranged at intervals in the axial direction of the shaft 203. Each roller 204 is fixed so as not to rotate relative to the shaft 203. In FIG. 4, only the frontmost shaft 203 and the roller 204 are illustrated, but the same roller is provided for the rear shaft.

図4及び図5に示すように、ブース10の底面には、上方に向けて立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる左右一対の立壁部81、82が形成されている。立壁部81は、ベルトコンベア用ギヤ群201の内側(左右方向でブース10の中央側)でベルトコンベア用ギヤ群201に隣接する位置に配置されている。対称的に、立壁部82は、ベルトコンベア用ギヤ群202の内側(左右方向でブース10の中央側)でベルトコンベア用ギヤ群202に隣接する位置に配置されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, a pair of left and right standing wall portions 81 and 82 are formed on the bottom surface of the booth 10 so as to rise upward and extend in the longitudinal direction. The upright wall portion 81 is disposed at a position adjacent to the belt conveyor gear group 201 on the inner side of the belt conveyor gear group 201 (in the left-right direction, the center side of the booth 10). Symmetrically, the standing wall portion 82 is disposed at a position adjacent to the belt conveyor gear group 202 inside the belt conveyor gear group 202 (center side of the booth 10 in the left-right direction).

図4に示すように、シャフト203は、立壁部81、82を貫通して、当該立壁部81、82に回転可能に支持されている。シャフト203の後方に配置されるシャフトも、立壁部81、82に回転可能に支持されている。   As shown in FIG. 4, the shaft 203 passes through the standing wall portions 81 and 82 and is rotatably supported by the standing wall portions 81 and 82. A shaft disposed behind the shaft 203 is also rotatably supported by the standing wall portions 81 and 82.

そして、本実施の形態では、立壁部81の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁91が設けられている。同様に、本実施の形態では、立壁部82の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁92が設けられている。   In the present embodiment, a partition wall 91 is provided that further rises from the upper surface of the standing wall portion 81 in a direction inclined outward in the left-right direction and extends long in the front-rear direction. Similarly, in the present embodiment, there is provided a partition wall 92 that further rises from the upper surface of the standing wall portion 82 in a direction that is inclined outward in the left-right direction and that extends in the longitudinal direction.

隔壁91は、紙面左側におけるブース11の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1とベルトコンベア用ギヤ群201から遠い領域Fとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。同様に、隔壁92は、紙面右側におけるブース11の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2とベルトコンベア用ギヤ群202から遠い領域Fとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。   The partition wall 91 separates the region N1 in the vicinity of the belt conveyor gear group 201 and the region F far from the belt conveyor gear group 201 within the booth 11 on the left side of the paper while maintaining a narrow flow path area. ing. Similarly, in the booth 11 on the right side of the page, the partition wall 92 maintains communication between the area N2 near the belt conveyor gear group 202 and the area F far from the belt conveyor gear group 202 in a narrow flow path area. However, they are separated.

シャフト203に固定されたローラ204及びその後方のシャフトに固定されたローラの全体には、無端状ベルト(不図示)が巻き掛けられている。ベルトコンベア用ギヤ群201、202は、無端状ベルトを駆動することで、無端状ベルト上に載置されるウェハWを運搬するようになっている。図5に示すように、本実施の形態では、無端状ベルト上に載置されたウェハWが、ブース11の後方から前方に向けて運搬されるようになっている。   An endless belt (not shown) is wound around the roller 204 fixed to the shaft 203 and the entire roller fixed to the shaft behind the roller 204. The belt conveyor gear groups 201 and 202 are configured to carry the wafer W placed on the endless belt by driving the endless belt. As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the wafer W placed on the endless belt is transported from the back of the booth 11 toward the front.

本実施の形態では、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の上方に位置するブース11の面、すなわちブース11の上面に、左右方向に並ぶように送風機26〜28が3つ配置されている。図示の例では、紙面左側に送風機26が配置され、紙面右側に送風機28が配置され、送風機26と送風機28との間に送風機27が配置されている。更に詳しくは、本実施の形態では、図5に示すように、送風機28は、前後2つの送風機本体28a、28bを有している。図示は省略するが、同様に、送風機26、27もそれぞれ、前後2つの送風機本体を有している。送風機26〜28における各送風機本体は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を有している。そして、本実施の形態では、3つの送風機26〜28に含まれている計6つの支持部材によって、ブース11の上面の全体が占められている。   In the present embodiment, three blowers 26 to 28 are arranged on the surface of the booth 11 located above the belt conveyor gear groups 201 and 202, that is, on the upper surface of the booth 11 so as to be arranged in the left-right direction. In the illustrated example, the blower 26 is disposed on the left side of the paper, the blower 28 is disposed on the right side of the paper, and the blower 27 is disposed between the blower 26 and the blower 28. More specifically, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the blower 28 has two front and rear blower bodies 28 a and 28 b. Although illustration is omitted, similarly, each of the fans 26 and 27 has two front and rear fan bodies. Each blower body in the blowers 26 to 28 has an impeller and a rectangular frame-shaped support member that rotatably supports the impeller. In the present embodiment, the entire upper surface of the booth 11 is occupied by a total of six support members included in the three blowers 26 to 28.

一方、ブース10の底面には、送風機26〜28に対応して吸引排出口36〜38が設けられている。図5に示すように、吸引排出口38には、前後2つの開口38a、38bが含まれている。図示は省略するが、吸引排出口36、37にもそれぞれ、前後2つの開口が含まれている。そして、本実施の形態においても、送風機26と吸引排出口36とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。同様に、送風機27と吸引排出口37とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。同様に、送風機28と吸引排出口38とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。   On the other hand, suction and discharge ports 36 to 38 are provided on the bottom surface of the booth 10 corresponding to the fans 26 to 28. As shown in FIG. 5, the suction / discharge port 38 includes two front and rear openings 38 a and 38 b. Although not shown, the suction / discharge ports 36 and 37 each include two front and rear openings. Also in the present embodiment, the blower 26 and the suction outlet 36 are positioned so as to face each other in the vertical direction (vertical direction). Similarly, the blower 27 and the suction / discharge port 37 are positioned so as to face each other in the vertical direction (vertical direction). Similarly, the blower 28 and the suction / discharge port 38 are positioned so as to face each other in the vertical direction (vertical direction).

そして、吸引排出口36〜38を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。   The airflow that has passed through the suction / discharge ports 36 to 38 flows further downstream through a known filter member (not shown). The filter member captures dust contained in the airflow that has passed.

ここで、吸引排出口36は、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1を陰圧状態にするようになっている。同様に、吸引排出口38は、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2を陰圧状態にするようになっている。   Here, the suction discharge port 36 is provided for the region N1 in the vicinity of the belt conveyor gear group 201, and the region N1 in the vicinity of the belt conveyor gear group 201 is in a negative pressure state. . Similarly, the suction discharge port 38 is provided for a region N2 in the vicinity of the belt conveyor gear group 202, and the region N2 in the vicinity of the belt conveyor gear group 202 is in a negative pressure state. .

次に、本実施の形態の送風式集塵装置4の作用について説明する。   Next, the effect | action of the ventilation type dust collector 4 of this Embodiment is demonstrated.

ベルトコンベア用ギヤ群201、202は、動作の結果として、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵を発生させる。   The belt conveyor gear groups 201 and 202 generate dust made of stainless steel (SUS304, SUS305), chrome molybdenum steel (SCM415), or the like as a result of operation.

発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群201、202がブース11によって覆われているためブース11の外部へ飛散することは防止される。また、ブース11の内部の粉塵は、送風機26〜28から吸引排出口36〜38に向けて流れる気流によって、吸引排出口36〜38に効率的に導かれる。そして、吸引排出口36〜38を通った粉塵は、吸引排出口36〜38の先にあるフィルタ部材によって集塵される。   The generated dust is scattered from the belt conveyor gear groups 201, 202, but the belt conveyor gear groups 201, 202 are covered by the booth 11, so that they are prevented from scattering outside the booth 11. The dust inside the booth 11 is efficiently guided to the suction discharge ports 36 to 38 by the airflow flowing from the blowers 26 to 28 toward the suction discharge ports 36 to 38. And the dust which passed through the suction discharge ports 36-38 is collected by the filter member ahead of the suction discharge ports 36-38.

ここで、本実施の形態では、隔壁91によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1に吸引排出口36が設けられ、領域N1から吸引排出口36を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N1が陰圧状態となる。このため、領域N1から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。   Here, in the present embodiment, a suction discharge port 36 is provided in a region N1 in the vicinity of the belt conveyor gear group 201 separated by the partition wall 91, and air (gas) is supplied from the region N1 through the suction discharge port 36. By suctioning and exhausting, the region N1 is in a negative pressure state. For this reason, dust is prevented from diffusing to the region F far from the region N1.

しかも、本実施の形態では、隔壁91が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機26からの気流が領域N1に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N1が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N1から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。   In addition, in the present embodiment, the partition wall 91 rises in a direction inclined outward in the left-right direction and narrows the flow path area, so that the airflow from the blower 26 hardly flows into the region N1 and enters the region F. Easy to flow in. Thereby, the region N1 is more likely to have a negative pressure than the region F. This reliably prevents the dust from diffusing from the region N1 to the region F.

同様に、本実施の形態では、隔壁92によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に吸引排出口38が設けられ、領域N2から吸引排出口38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N2が陰圧状態となる。このため、領域N2から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。   Similarly, in the present embodiment, a suction discharge port 38 is provided in a region N2 in the vicinity of the belt conveyor gear group 202 separated by a partition wall 92, and air (gas) is supplied from the region N2 via the suction discharge port 38. By suctioning and exhausting, the region N2 is in a negative pressure state. For this reason, dust is prevented from diffusing to the region F far from the region N2.

しかも、本実施の形態では、隔壁92が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機28からの気流が領域N2に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N2が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N2から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。   In addition, in the present embodiment, the partition wall 92 rises in the direction inclined in the left-right direction and narrows the flow path area, so that the airflow from the blower 28 hardly flows into the region N2 and enters the region F. Easy to flow in. Thereby, the region N2 is more likely to have a negative pressure than the region F. This reliably prevents dust from diffusing from the region N2 to the region F.

以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群201、202で発生した粉塵がブース11の外部に飛散することが防止され、また、ブース11の内部の粉塵は、送風機26〜28から吸引排出口36〜38に向けて流れる気流によって、吸引排出口36〜38に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。   As described above, according to the present embodiment, dust generated in the belt conveyor gear groups 201 and 202 is prevented from being scattered outside the booth 11, and the dust inside the booth 11 28 is efficiently guided to the suction and discharge ports 36 to 38 by the airflow flowing from the suction port 28 to the suction and discharge ports 36 to 38. Therefore, by using a known filter member in combination, dust can be effectively collected regardless of physical properties. .

しかも、隔壁91、92が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2から吸引排出口36、38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2からベルトコンベア用ギヤ群201、202から遠い領域Fへと粉塵が拡散することを防止できる。   In addition, partition walls 91 and 92 are provided, and air (gas) is sucked and exhausted from the regions N1 and N2 in the vicinity of the belt conveyor gear groups 201 and 202 through the suction discharge ports 36 and 38, thereby being used for the belt conveyor. Regions N1 and N2 in the vicinity of the gear groups 201 and 202 are in a negative pressure state. For this reason, it is possible to prevent dust from diffusing from the regions N1 and N2 near the belt conveyor gear groups 201 and 202 to the region F far from the belt conveyor gear groups 201 and 202.

次に、図6は、本発明の第5の実施の形態の送風式集塵装置5についての図5に対応する図である。以下、図4も適宜参照して、第5の実施の形態の送風式集塵装置5について説明する。   Next, FIG. 6 is a figure corresponding to FIG. 5 about the ventilation type dust collector 5 of the 5th Embodiment of this invention. Hereinafter, the blowing type dust collector 5 of the fifth embodiment will be described with reference to FIG. 4 as appropriate.

本実施の形態の送風式集塵装置5は、送風機29がブース11の前面に設けられていて送風機がブース11の上面に設けられていない点、及び、ブース11の後面に送風機29に対応する吸引排出口39が設けられている点で、第4の実施の形態の送風式集塵装置4と異なっている。   The blower type dust collector 5 of the present embodiment corresponds to the blower 29 on the rear surface of the booth 11 and the point that the blower 29 is provided on the front surface of the booth 11 and the blower is not provided on the upper surface of the booth 11. It differs from the ventilation type dust collector 4 of 4th Embodiment by the point by which the suction discharge port 39 is provided.

その他の構成は、第4の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図6において、第4の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。   Other configurations are the same as those of the blow type dust collector 1 of the fourth embodiment. In FIG. 6, the same components as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

本実施の形態の送風式集塵装置5の作用について説明する。発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群201、202がブース11によって覆われているためブース11の外部へ飛散することは防止される。また、ブース11の内部の粉塵は、送風機29から吸引排出口39に向けて流れる気流によって、吸引排出口39に効率的に導かれる。そして、吸引排出口39を通った粉塵は、吸引排出口39の先にあるフィルタ部材によって集塵される。   The effect | action of the ventilation type dust collector 5 of this Embodiment is demonstrated. The generated dust is scattered from the belt conveyor gear groups 201, 202, but the belt conveyor gear groups 201, 202 are covered by the booth 11, so that they are prevented from scattering outside the booth 11. Further, the dust inside the booth 11 is efficiently guided to the suction discharge port 39 by the airflow flowing from the blower 29 toward the suction discharge port 39. And the dust which passed through the suction discharge port 39 is collected by the filter member ahead of the suction discharge port 39.

ここで、本実施の形態では、吸引排出口38が、送風機29からの気流を直接的に受け入れるのではなく、補助的に受け入れる補助吸引排出口として機能する。そして、隔壁92によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に吸引排出口38が設けられ、領域N2から吸引排出口38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N2が陰圧状態となる。このため、領域N2から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。   Here, in the present embodiment, the suction / discharge port 38 functions as an auxiliary suction / discharge port that receives the airflow from the blower 29 directly, instead of receiving it. A suction / discharge port 38 is provided in a region N2 in the vicinity of the belt conveyor gear group 202 separated by the partition wall 92, and air (gas) is sucked and exhausted from the region N2 through the suction / discharge port 38. Region N2 is in a negative pressure state. For this reason, dust is prevented from diffusing to the region F far from the region N2.

しかも、本実施の形態では、隔壁92が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機28からの気流が領域N2に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N2が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N2から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。なお、図6においては、隔壁91が図示されていないが、隔壁91側においても、隔壁92側と同じ作用効果が得られる。   In addition, in the present embodiment, the partition wall 92 rises in the direction inclined in the left-right direction and narrows the flow path area, so that the airflow from the blower 28 hardly flows into the region N2 and enters the region F. Easy to flow in. Thereby, the region N2 is more likely to have a negative pressure than the region F. This reliably prevents dust from diffusing from the region N2 to the region F. In FIG. 6, the partition wall 91 is not shown, but the same effect as the partition wall 92 side can be obtained on the partition wall 91 side.

以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群201、202で発生した粉塵がブース11の外部に飛散することが防止され、また、ブース11の内部の粉塵は、送風機29から吸引排出口39に向けて流れる気流によって、吸引排出口39に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。   As described above, according to the present embodiment, dust generated in the belt conveyor gear groups 201 and 202 is prevented from scattering outside the booth 11, and dust inside the booth 11 is removed from the blower 29. Since the airflow flowing toward the suction / discharge port 39 is efficiently guided to the suction / discharge port 39, dust can be effectively collected regardless of physical properties by using a known filter member in combination.

しかも、隔壁91、92が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2から吸引排出口36、38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2からベルトコンベア用ギヤ群201、202から遠い領域Fへと粉塵が拡散することを防止できる。   In addition, partition walls 91 and 92 are provided, and air (gas) is sucked and exhausted from the regions N1 and N2 in the vicinity of the belt conveyor gear groups 201 and 202 through the suction discharge ports 36 and 38, thereby being used for the belt conveyor. Regions N1 and N2 in the vicinity of the gear groups 201 and 202 are in a negative pressure state. For this reason, it is possible to prevent dust from diffusing from the regions N1 and N2 near the belt conveyor gear groups 201 and 202 to the region F far from the belt conveyor gear groups 201 and 202.

1、2、3、4、5 送風式集塵装置
10、11 ブース
21、22、23、24、25、26、27、28、29 送風機
31、32、33、34、35、36、37、38、39 吸引排出口
61、62 粘着シート
71、72 磁石装置
81、82 立壁部
91、92 隔壁
101、102 金属製ギヤ群(粉塵発生機構)
201、202 ベルトコンベヤ用ギヤ群(粉塵発生機構)
203 シャフト
204 ローラ
N1、N2 ベルトコンベヤ用ギヤ群の近傍の領域
F ベルトコンベヤ用ギヤ群から遠い領域
1, 2, 3, 4, 5 Blower type dust collector 10, 11 Booth 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29 Blower 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39 Suction discharge port 61, 62 Adhesive sheet 71, 72 Magnet device 81, 82 Standing wall portion 91, 92 Partition 101, 102 Metal gear group (dust generation mechanism)
201, 202 Belt conveyor gear group (dust generation mechanism)
203 Shaft 204 Roller N1, N2 Area near the belt conveyor gear group F Area far from the belt conveyor gear group

Claims (7)

粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、
粉塵発生機構を包囲するブースと、
前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、
前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、
を備えたことを特徴とする送風式集塵装置。
A blower type dust collector provided for a dust generation mechanism that generates dust,
A booth surrounding the dust generation mechanism,
A blower that is provided on one side of the booth and blows an airflow from the outside of the booth to the inside of the booth,
A suction discharge port that is provided on the other side facing the one side of the booth and sucks and exhausts the airflow blown by the blower;
A blower type dust collector characterized by comprising:
前記ブースは、略直方体に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の送風式集塵装置。
The blast type dust collector according to claim 1, wherein the booth is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
前記ブースの一側面とは、前記ブースの上面であり、
前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の送風式集塵装置。
One side of the booth is the upper surface of the booth,
The blower type dust collector according to claim 1 or 2, wherein the other side surface of the booth is a bottom surface of the booth.
前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、
前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の送風式集塵装置。
Inside the booth, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining mutual communication is provided,
4. The suction discharge port is provided for a region in the vicinity of the dust generation mechanism so that the region in the vicinity of the dust generation mechanism is in a negative pressure state. The ventilation type dust collector according to any one of the above.
前記ブースの一側面とは、前記ブースの前面であり、
前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の送風式集塵装置。
One side of the booth is the front of the booth,
The blower type dust collector according to claim 1 or 2, wherein the other side surface of the booth is a rear surface of the booth.
前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、
前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項5に記載の送風式集塵装置。
Inside the booth, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining mutual communication is provided,
The auxiliary suction exhaust port is provided for the area in the vicinity of the dust generation mechanism, and the area in the vicinity of the dust generation mechanism is in a negative pressure state. The ventilation type dust collector as described.
前記ブースは、粉塵発生機構として、運搬機構の一部である金属製ギヤを包囲するようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の送風式集塵装置。
The blast type dust collector according to any one of claims 1 to 6, wherein the booth surrounds a metal gear which is a part of a transport mechanism as a dust generation mechanism.
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