JP2015077555A - Blower type dust collector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置に関する。 The present invention relates to a blast-type dust collector provided for a dust generation mechanism that generates dust.
例えばクリーンルームのように、内部における清浄雰囲気の維持が必要とされる空間がある。そのような空間内においても、製品製造や製品運搬などが行われる。その際、製品製造や製品運搬のために必要な機構、例えば金属製のギヤ駆動部から、当該金属の粉塵が発生することがある。このような粉塵は、清浄雰囲気の維持のために、当該空間内における飛散が防止されなければならない。 For example, there is a space that needs to maintain a clean atmosphere inside, such as a clean room. Even in such a space, product manufacturing and product transportation are performed. In that case, the metal dust may generate | occur | produce from the mechanism required for product manufacture or product conveyance, for example, metal gear drive parts. Such dust must be prevented from scattering in the space in order to maintain a clean atmosphere.
特許文献1に記載された集塵装置は、バキューム手段によって粉塵を吸引するタイプの集塵装置である。このようにバキューム手段を用いる集塵装置は、粉塵の種類を問わないことの他、集塵効率が高いという利点がある。
The dust collector described in
詳しくは、特許文献1に記載された集塵装置では、バキューム手段により吸引した粉塵を通過させる流路内に、磁気吸着機構が設けられ、この磁気吸着機構に粉塵を吸着して回収する。この磁気吸着機構は、磁気発生手段と、磁気を帯びない素材から形成され磁気発生手段を囲繞し磁気発生手段周りを周回する方向に回転駆動される無端状の仕切材と、を備えている。そして、この磁気吸着機構は、仕切材を回転駆動させることで、上記した仕切材の外面に磁気吸着した粉塵を磁気が作用しない粉塵回収位置(仕切材)に搬送させることが可能となっている。
Specifically, in the dust collector described in
しかしながら、バキューム手段を用いる集塵装置は、例えば吸引口の付近などにおいて乱流が発生してしまって、当該乱流が粉塵の飛散を引き起こすという問題があった。 However, the dust collector using the vacuum means has a problem that turbulent flow is generated, for example, in the vicinity of the suction port, and the turbulent flow causes dust scattering.
また、バキューム手段を用いる集塵装置は、吸引による集塵効率を上げるためや、吸引口の付近などにおいて発生する乱流によって飛散される粉塵の拡散を防止するために、粉塵発生機構を密閉することが望まれるが、クリーンルーム内の狭い(限られた)空間では、そのような密閉機構(密閉ブース)を設置することが難しい場合がある。 In addition, the dust collector using the vacuum means seals the dust generation mechanism in order to increase the dust collection efficiency by suction and to prevent the diffusion of dust scattered by the turbulent flow generated near the suction port. However, it is sometimes difficult to install such a sealing mechanism (sealed booth) in a narrow (limited) space in a clean room.
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、粉塵発生機構で発生する粉塵を効果的に集塵することができる送風式集塵装置を提供することである。 The present invention has been created based on the above findings. The objective of this invention is providing the ventilation type dust collector which can collect the dust generated with a dust generation mechanism effectively.
本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、粉塵発生機構を包囲するブースと、前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、を備えたことを特徴とする送風式集塵装置である。 The present invention is a blow-type dust collecting device provided for a dust generating mechanism for generating dust, the booth surrounding the dust generating mechanism, provided on one side of the booth, and from inside the booth to the inside of the booth A blower-type collector comprising: a blower that blows an airflow to the side; and a suction discharge port that is provided on the other side facing the one side of the booth and sucks and exhausts the airflow blown by the blower. It is a dust device.
本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。 According to the present invention, dust generated by the dust generation mechanism is prevented from scattering outside the booth, and the dust inside the booth is efficiently transferred to the suction outlet by the airflow flowing from the blower toward the suction outlet. Therefore, by using a known filter member in combination, for example, dust inside the booth can be effectively collected regardless of physical properties.
また、前記ブースは、略直方体に形成されていてもよい。この場合、ブースに対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高く、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることができる。 The booth may be formed in a substantially rectangular parallelepiped. In this case, the degree of freedom of design regarding the installation of the blower and the suction outlet for the booth is high, and the manufacturing efficiency and the dust collection efficiency can be improved.
例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの上面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面であってもよい。この場合、ブースの上面から底面に向けて気流が流れることで、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。 For example, the one side of the booth may be the top surface of the booth, and the other side of the booth may be the bottom surface of the booth. In this case, since the airflow flows from the top surface to the bottom surface of the booth, the dust collection efficiency of the dust can be improved in combination with the gravity acting on the dust.
また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から吸引排出口を介して気体が吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。 Further, in this case, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining communication with each other is provided inside the booth, and the suction The discharge port may be provided in a region near the dust generation mechanism so that the region near the dust generation mechanism is in a negative pressure state. In this case, the gas is sucked and exhausted from the area near the dust generation mechanism through the suction / discharge port, so that the area near the dust generation mechanism is in a negative pressure state, and the dust generation mechanism starts from the area near the dust generation mechanism. It is possible to prevent the dust from diffusing to a region far from the center.
あるいは、例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの前面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面であってもよい。この場合、ブースの前面から気流が後方に向けて流れることで、前後方向に沿って流れる気流によってブース内部の粉塵をブース外部に導くことができる。 Alternatively, for example, the one side of the booth may be the front of the booth, and the other side of the booth may be the rear of the booth. In this case, since the airflow flows backward from the front of the booth, the dust inside the booth can be guided to the outside of the booth by the airflow flowing along the front-rear direction.
また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から補助吸引排出口を介して吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。 Further, in this case, a partition for separating a region near the dust generation mechanism and a region far from the dust generation mechanism while maintaining communication with each other is provided inside the booth. An auxiliary suction exhaust port may be provided for a region in the vicinity of the generation mechanism, and the region in the vicinity of the dust generation mechanism may be in a negative pressure state. In this case, by suctioning and exhausting from the area near the dust generation mechanism via the auxiliary suction / discharge port, the area near the dust generation mechanism becomes a negative pressure state, and from the area near the dust generation mechanism to the dust generation mechanism. It is possible to prevent dust from diffusing to a distant area.
本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。 According to the present invention, dust generated by the dust generation mechanism is prevented from scattering outside the booth, and the dust inside the booth is efficiently transferred to the suction outlet by the airflow flowing from the blower toward the suction outlet. Therefore, by using a known filter member in combination, for example, dust inside the booth can be effectively collected regardless of physical properties.
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の第1の実施の形態の送風式集塵装置1の概略斜視透視図である。図1に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置1は、例えばクリーンルーム内において各種製品を運搬するための運搬機構の一部であって前後方向に2つ並んで配置された金属製ギヤ群101、102に対して設けられる装置である。この場合、金属製ギヤ群101、102が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置1は、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵を集塵するようになっている。
FIG. 1 is a schematic perspective perspective view of a blown
本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵は、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵であり、対象とする粒径は、0.7μm以上である。もっとも、目視できるのは数十μm程度である。なお、粉塵発生機構の材質、すなわち、粉塵発生機構が発生させる粉塵は、樹脂等であってもよい。
In the present embodiment, the dust generated by the
本実施の形態の送風式集塵装置1は、金属製ギヤ群101、102を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース10を備えている。
The blower
ブース10は、金属製ギヤ群101、102が発生させる粉塵の飛散領域を制限する目的で設けられている。ブース10は、金属製ギヤ群101、102の周囲の空間を密閉するものに限定されず、金属製ギヤ群101、102に接続された各軸部材との干渉を避けるための種々の開口部(不図示)を有していてもよい。
The
本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102の上方に位置するブース10の面、すなわちブース10の上面に、前後方向に並ぶように送風機21〜23が3つ配置されている。各送風機21〜23は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、3つの送風機21〜23の3つの支持部材によって、ブース10の上面の全体が占められている。
In the present embodiment, three
各送風機21〜23は、ブース10の外部から空気を取り込んでブース10の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機21〜23の羽根車の回転軸は、鉛直方向(上下方向)に整列配置されている。これにより、各送風機21〜23により送風される気流は、ブース10の上面から底面に向けて鉛直方向に流れるようになっている。各送風機21〜23は、120mm×120mmのサイズであって、その送風量は、48CFM(13.6l/min)程度となっている。
Each of the
一方、ブース10の底面には、前後方向に並ぶように3つの吸引排出口31〜33が設けられている。各吸引排出口31〜33は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口31〜33の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口31〜33を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口31〜33による排気量の和は、前述の送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。
On the other hand, three suction /
そして、本実施の形態では、送風機21と吸引排出口31とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機21の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口31の中心を通るようになっている。同様に、送風機22と吸引排出口32とは鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機22の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口32の中心を通るようになっている。同様に、送風機23と吸引排出口33とは鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。より詳しくは、送風機23の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口33の中心を通るようになっている。
And in this Embodiment, the
さらに、本実施の形態では、送風機21の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機22の羽根車の回転軸の直下の領域との間の領域に、金属製ギヤ群101が位置している。また、送風機22の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機23の羽根車の回転軸の直下の領域との間に、金属製ギヤ群102が位置している。
Further, in the present embodiment, the
次に、本実施の形態の送風式集塵装置1の作用について説明する。
Next, the effect | action of the ventilation
各種製品を運搬するための運搬機構の一部である金属製ギヤ群101、102は、動作の結果として、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵を発生させる。
As a result of the operation, the
発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口31〜33に効率的に導かれる。そして、吸引排出口31〜33を通った粉塵は、吸引排出口31〜33の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
The generated dust is scattered from the
以上の通り、本実施の形態によれば、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止され、また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、吸引排出口31〜33に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
As described above, according to the present embodiment, dust generated in the
また、本実施の形態では、ブース10が、略直方体に形成されていることで、ブース10に対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高くなっている。このため、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることが容易である。
Moreover, in this Embodiment, the
また、本実施の形態では、送風機21〜23が設けられるブース10の一側面がブース10の上面であり、吸引排出口31〜33が設けられる一側面に対向する他側面がブース10の底面である。このため、ブース10の上面から気流は底面に向けて流れ、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。
Moreover, in this Embodiment, the one side surface of the
次に、図2は、本発明の第2の実施の形態の送風式集塵装置2の概略斜視透視図である。
Next, FIG. 2 is a schematic perspective perspective view of the blow
本実施の形態の送風式集塵装置2では、ブース10の前面に上下に並ぶように2つの送風機24、25が設けられている。また、ブース10の後面に上下に並ぶように2つの吸引排出口34、35が設けられている。
In the blower
詳しくは、各送風機24、25は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、2つの送風機24、25の2つの支持部材によって、ブース10の前面の全体が占められている。
Specifically, each of the
各送風機24、25は、ブース10の外部から空気を取り込んでブース10の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機24、25の羽根車の回転軸は、前後方向に整列配置されている。これにより、各送風機24、25により送風される気流は、ブース10の前面から後面に向けて前後方向に流れるようになっている。
Each of the
一方、各吸引排出口34、35は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口34、35の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口34、35を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口34、35による排気量の和は、送風機24、25による送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。
On the other hand, each suction /
そして、本実施の形態では、送風機24と吸引排出口34とが前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機24の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口34の中心を通るようになっている。同様に、送風機25と吸引排出口35とは前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機25の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口35の中心を通るようになっている。
And in this Embodiment, it is located so that the
以上に説明した各点で、送風式集塵装置2は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と異なっている。その他の構成は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図2において、第1の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
In each point described above, the
次に、本実施の形態の送風式集塵装置2の作用について説明する。
Next, the effect | action of the ventilation
金属製ギヤ群101、102によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機24、25から吸引排出口34、35に向けて前後方向に流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口34、35に効率的に導かれる。そして、吸引排出口34、35を通った粉塵は、吸引排出口34、35の先にあるフィルタ部材(不図示、第1の実施の形態と同様のものである。)によって集塵される。
Dust generated by the
以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機24、25から吸引排出口34、35に向けて前後方向に流れる気流によって、吸引排出口34、35に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
As described above, the present embodiment also prevents dust generated in the
次に、図3は、本発明の第3の実施の形態の送風式集塵装置3の概略斜視透視図である。
Next, FIG. 3 is a schematic perspective perspective view of the blow
本実施の形態の送風式集塵装置3は、ブース10の底面の所定位置の下方に設けられる磁石装置71、72と、磁石装置71、72に対応するブース10の底面の所定位置に設けられる粘着シート61、62とを有する点で、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と異なっている。
The blow-
磁石装置71は、金属製ギヤ群101の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置71の吸引面は、ブース10の底面側において吸引排気口31と吸引排気口32との間の領域に位置している。
The
同様に、磁石装置72は、金属製ギヤ群102の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置72の吸引面は、ブース10の底面側において吸引排気口32と吸引排気口33との間の領域に位置している。
Similarly, the
本実施の形態の磁石装置71、72は、金属製ギヤ群101、102の方向に強い磁力を有する異方性磁石で構成されている。具体的には、ニチレイマグネット株式会社製の商品名「マグタックテープ ロール 1.5mm×19mm」(品番:000228)が用いられている。あるいは、株式会社マグナ製の商品名「ネオジムマグネットシート 1.0mm×200mm」も用いられ得る。
一方、粘着シート61は、磁石装置71の吸引面に対応するブース10の底面に設けられている。また、粘着シート62は、磁石装置72の吸引面に対応するブース10の底面に設けられている。本実施の形態では、複数が積層された積層粘着シートが用いられている。具体的には、30層積層タイプの、アズワン株式会社製の商品名「アズピュアクリーンマット」(品番:1−4731−63 白 450×900)が、設置場所のサイズに合わせて切断されて用いられている。
On the other hand, the adhesive sheet 61 is provided on the bottom surface of the
その他の構成は、第1の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図3において、第1の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
The other configuration is the same as that of the blow
次に、本実施の形態の送風式集塵装置3の作用について説明する。
Next, the effect | action of the ventilation
金属製ギヤ群101、102によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群101、102から飛散するが、金属製ギヤ群101、102がブース10によって覆われているためブース10の外部へ飛散することは防止される。また、ブース10の内部の粉塵の一部は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口31〜33に効率的に導かれる。ここで、気流に乗り損ねたブース10の内部の粉塵の一部は、磁石装置71、72の磁力の作用を受けて当該磁石装置71、72の吸引面上の粘着シート61、62によって吸着される。吸着された粉塵は、粘着シート61、62の粘着力によって、その後に再び飛散することが確実に防止される。
Dust generated by the
そして、吸引排出口31〜33を通った粉塵は、吸引排出口31〜33の先にあるフィルタ部材(不図示、第1の実施の形態と同様のものである。)によって集塵される。 And the dust which passed through the suction discharge ports 31-33 is collected by the filter member (not shown and the same thing as 1st Embodiment) ahead of the suction discharge ports 31-33.
本実施の形態では、金属製ギヤ群101、102の所定時間の運転の後、金属製ギヤ群101、102の運転が停止された際に、例えば、作業者によってブース10が取り外されて、作業者によって粘着シート61、62が剥がされることによって粘着シート61、62に吸着された粉塵が粘着シート61、62ごと廃棄される。この作業の際に、粉塵は、粘着シート61、62に吸着されたまま飛散することがないため、作業者による作業は容易である。また、粘着シート61、62が積層粘着シートからなるため、粉塵を吸着した最上位のシートが剥がされることで、次のシートの粘着面が簡便に露出される。この場合、その後、再びブース10が取り付けられて、金属製ギヤ群101、102の運転が再開される。
In the present embodiment, after the operation of the
以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群101、102で発生した粉塵がブース10の外部に飛散することが防止される。また、ブース10の内部の粉塵は、送風機21〜23から吸引排出口31〜33に向けて流れる気流によって、吸引排出口31〜33に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。加えて、磁石装置71、72の吸引面に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面に設置された粘着シート61、62の粘着面によって吸着されることにより、その後に再び飛散することが確実に防止される。
As described above, the present embodiment also prevents dust generated in the
また、吸着された粉塵は、粘着シート61、62ごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。
Further, since the adsorbed dust can be discarded together with the
また、磁石装置71、72は、金属製ギヤ群101、102の方向に強い磁力を有する異方性磁石であるため、当該金属製ギヤ群101、102に対して、より強力に磁力を効かせることができる。
Further, since the
なお、磁石装置71、72は、電磁石装置によって置換することが可能である。この場合、磁力の強度調整が容易である他、磁力のON−OFF制御も容易となる。従って、例えば粘着シート61、62の交換時に磁力をOFFにして、吸引排気口31〜33からの吸引作用を優先させるといったことも可能となる。
The
また、粘着シートとして、本実施の形態では積層粘着シートが用いられたが、粘着面に粘着ジェルが塗布されたタイプのシートであってもよい。この場合、例えば粘着ジェルと一緒に粉塵が拭き取られ、その後に再び新たな粘着ジェルが塗布されることで、当該粘着シートは繰り返しの利用に供される。 Moreover, although the lamination adhesive sheet was used in this Embodiment as an adhesive sheet, the sheet | seat of the type by which the adhesive gel was apply | coated to the adhesive surface may be sufficient. In this case, for example, dust is wiped off together with the adhesive gel, and then the new adhesive gel is applied again, so that the adhesive sheet is used repeatedly.
次に、図4は、本発明の第4の実施の形態の送風式集塵装置4の概略正面透視図であり、図5は、図4のV−V線に沿う断面図である。 Next, FIG. 4 is a schematic front perspective view of the blow type dust collector 4 of the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG.
図4及び図5に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置4は、例えばクリーンルーム内においてウェハWを運搬するための運搬機構の一部であるベルトコンベア用ギヤ群201、202に対して設けられる装置である。この場合、ベルトコンベア用ギヤ群201、202が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置4は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202が発生させる粉塵を集塵するようになっている。
As shown in FIGS. 4 and 5, the blower dust collector 4 according to the present embodiment includes, for example, belt
本実施の形態の送風式集塵装置4は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース11を備えている。
The blower type dust collector 4 of the present embodiment includes a
図4においてブース11の内部における紙面左側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群201には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤが含まれ、ブース11の内部における紙面右側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群202には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤ(図5参照)が含まれている。図5には、ベルトコンベア用ギヤ群202に含まれているギヤ202a〜202fが図示されている。
In FIG. 4, the belt
ベルトコンベア用ギヤ群201に含まれている複数のギヤは、それぞれ、ベルトコンベア用ギヤ群202に含まれている複数のギヤのうちのいずれかと、左右方向に対向している。そして、左右方向に対向するベルトコンベア用ギヤ群201のギヤとベルトコンベア用ギヤ群202のギヤとは、左右方向に延びるシャフト203によって連結されている。当該シャフト203は、当該左右一対のギヤの回転に伴って回転するようになっている。
The plurality of gears included in the belt
シャフト203には、当該シャフト203の軸方向に間隔をあけて並ぶように6つのローラ204が設けられている。各ローラ204はシャフト203に対して相対回転不能に固定されている。図4では、最前方のシャフト203及びローラ204のみが図示されているが、後方に配置されるシャフトについても、同様のローラが設けられている。
The
図4及び図5に示すように、ブース10の底面には、上方に向けて立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる左右一対の立壁部81、82が形成されている。立壁部81は、ベルトコンベア用ギヤ群201の内側(左右方向でブース10の中央側)でベルトコンベア用ギヤ群201に隣接する位置に配置されている。対称的に、立壁部82は、ベルトコンベア用ギヤ群202の内側(左右方向でブース10の中央側)でベルトコンベア用ギヤ群202に隣接する位置に配置されている。
As shown in FIGS. 4 and 5, a pair of left and right standing
図4に示すように、シャフト203は、立壁部81、82を貫通して、当該立壁部81、82に回転可能に支持されている。シャフト203の後方に配置されるシャフトも、立壁部81、82に回転可能に支持されている。
As shown in FIG. 4, the
そして、本実施の形態では、立壁部81の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁91が設けられている。同様に、本実施の形態では、立壁部82の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁92が設けられている。
In the present embodiment, a
隔壁91は、紙面左側におけるブース11の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1とベルトコンベア用ギヤ群201から遠い領域Fとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。同様に、隔壁92は、紙面右側におけるブース11の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2とベルトコンベア用ギヤ群202から遠い領域Fとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。
The
シャフト203に固定されたローラ204及びその後方のシャフトに固定されたローラの全体には、無端状ベルト(不図示)が巻き掛けられている。ベルトコンベア用ギヤ群201、202は、無端状ベルトを駆動することで、無端状ベルト上に載置されるウェハWを運搬するようになっている。図5に示すように、本実施の形態では、無端状ベルト上に載置されたウェハWが、ブース11の後方から前方に向けて運搬されるようになっている。
An endless belt (not shown) is wound around the
本実施の形態では、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の上方に位置するブース11の面、すなわちブース11の上面に、左右方向に並ぶように送風機26〜28が3つ配置されている。図示の例では、紙面左側に送風機26が配置され、紙面右側に送風機28が配置され、送風機26と送風機28との間に送風機27が配置されている。更に詳しくは、本実施の形態では、図5に示すように、送風機28は、前後2つの送風機本体28a、28bを有している。図示は省略するが、同様に、送風機26、27もそれぞれ、前後2つの送風機本体を有している。送風機26〜28における各送風機本体は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を有している。そして、本実施の形態では、3つの送風機26〜28に含まれている計6つの支持部材によって、ブース11の上面の全体が占められている。
In the present embodiment, three
一方、ブース10の底面には、送風機26〜28に対応して吸引排出口36〜38が設けられている。図5に示すように、吸引排出口38には、前後2つの開口38a、38bが含まれている。図示は省略するが、吸引排出口36、37にもそれぞれ、前後2つの開口が含まれている。そして、本実施の形態においても、送風機26と吸引排出口36とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。同様に、送風機27と吸引排出口37とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。同様に、送風機28と吸引排出口38とが鉛直方向(上下方向)に対向するように位置している。
On the other hand, suction and
そして、吸引排出口36〜38を通った気流は、公知のフィルタ部材(不図示)を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。
The airflow that has passed through the suction /
ここで、吸引排出口36は、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1を陰圧状態にするようになっている。同様に、吸引排出口38は、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2を陰圧状態にするようになっている。
Here, the
次に、本実施の形態の送風式集塵装置4の作用について説明する。 Next, the effect | action of the ventilation type dust collector 4 of this Embodiment is demonstrated.
ベルトコンベア用ギヤ群201、202は、動作の結果として、ステンレス鋼(SUS304、SUS305)、クロムモリブデン鋼(SCM415)などからなる粉塵を発生させる。
The belt
発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群201、202がブース11によって覆われているためブース11の外部へ飛散することは防止される。また、ブース11の内部の粉塵は、送風機26〜28から吸引排出口36〜38に向けて流れる気流によって、吸引排出口36〜38に効率的に導かれる。そして、吸引排出口36〜38を通った粉塵は、吸引排出口36〜38の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
The generated dust is scattered from the belt
ここで、本実施の形態では、隔壁91によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群201の近傍の領域N1に吸引排出口36が設けられ、領域N1から吸引排出口36を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N1が陰圧状態となる。このため、領域N1から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。
Here, in the present embodiment, a
しかも、本実施の形態では、隔壁91が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機26からの気流が領域N1に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N1が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N1から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。
In addition, in the present embodiment, the
同様に、本実施の形態では、隔壁92によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に吸引排出口38が設けられ、領域N2から吸引排出口38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N2が陰圧状態となる。このため、領域N2から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。
Similarly, in the present embodiment, a
しかも、本実施の形態では、隔壁92が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機28からの気流が領域N2に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N2が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N2から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。
In addition, in the present embodiment, the
以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群201、202で発生した粉塵がブース11の外部に飛散することが防止され、また、ブース11の内部の粉塵は、送風機26〜28から吸引排出口36〜38に向けて流れる気流によって、吸引排出口36〜38に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
As described above, according to the present embodiment, dust generated in the belt
しかも、隔壁91、92が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2から吸引排出口36、38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2からベルトコンベア用ギヤ群201、202から遠い領域Fへと粉塵が拡散することを防止できる。
In addition,
次に、図6は、本発明の第5の実施の形態の送風式集塵装置5についての図5に対応する図である。以下、図4も適宜参照して、第5の実施の形態の送風式集塵装置5について説明する。
Next, FIG. 6 is a figure corresponding to FIG. 5 about the ventilation
本実施の形態の送風式集塵装置5は、送風機29がブース11の前面に設けられていて送風機がブース11の上面に設けられていない点、及び、ブース11の後面に送風機29に対応する吸引排出口39が設けられている点で、第4の実施の形態の送風式集塵装置4と異なっている。
The blower
その他の構成は、第4の実施の形態の送風式集塵装置1と同様である。図6において、第4の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
Other configurations are the same as those of the blow
本実施の形態の送風式集塵装置5の作用について説明する。発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群201、202から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群201、202がブース11によって覆われているためブース11の外部へ飛散することは防止される。また、ブース11の内部の粉塵は、送風機29から吸引排出口39に向けて流れる気流によって、吸引排出口39に効率的に導かれる。そして、吸引排出口39を通った粉塵は、吸引排出口39の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
The effect | action of the ventilation
ここで、本実施の形態では、吸引排出口38が、送風機29からの気流を直接的に受け入れるのではなく、補助的に受け入れる補助吸引排出口として機能する。そして、隔壁92によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群202の近傍の領域N2に吸引排出口38が設けられ、領域N2から吸引排出口38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、領域N2が陰圧状態となる。このため、領域N2から遠い領域Fへと粉塵が拡散することが防止される。
Here, in the present embodiment, the suction /
しかも、本実施の形態では、隔壁92が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機28からの気流が領域N2に流入し難く、領域Fに流入し易い。これにより、領域N2が領域Fよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域N2から領域Fへと粉塵が拡散することが確実に防止される。なお、図6においては、隔壁91が図示されていないが、隔壁91側においても、隔壁92側と同じ作用効果が得られる。
In addition, in the present embodiment, the
以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群201、202で発生した粉塵がブース11の外部に飛散することが防止され、また、ブース11の内部の粉塵は、送風機29から吸引排出口39に向けて流れる気流によって、吸引排出口39に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
As described above, according to the present embodiment, dust generated in the belt
しかも、隔壁91、92が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2から吸引排出口36、38を介して空気(気体)が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群201、202の近傍の領域N1、N2からベルトコンベア用ギヤ群201、202から遠い領域Fへと粉塵が拡散することを防止できる。
In addition,
1、2、3、4、5 送風式集塵装置
10、11 ブース
21、22、23、24、25、26、27、28、29 送風機
31、32、33、34、35、36、37、38、39 吸引排出口
61、62 粘着シート
71、72 磁石装置
81、82 立壁部
91、92 隔壁
101、102 金属製ギヤ群(粉塵発生機構)
201、202 ベルトコンベヤ用ギヤ群(粉塵発生機構)
203 シャフト
204 ローラ
N1、N2 ベルトコンベヤ用ギヤ群の近傍の領域
F ベルトコンベヤ用ギヤ群から遠い領域
1, 2, 3, 4, 5 Blower
201, 202 Belt conveyor gear group (dust generation mechanism)
203
Claims (7)
粉塵発生機構を包囲するブースと、
前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、
前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、
を備えたことを特徴とする送風式集塵装置。 A blower type dust collector provided for a dust generation mechanism that generates dust,
A booth surrounding the dust generation mechanism,
A blower that is provided on one side of the booth and blows an airflow from the outside of the booth to the inside of the booth,
A suction discharge port that is provided on the other side facing the one side of the booth and sucks and exhausts the airflow blown by the blower;
A blower type dust collector characterized by comprising:
ことを特徴とする請求項1に記載の送風式集塵装置。 The blast type dust collector according to claim 1, wherein the booth is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の送風式集塵装置。 One side of the booth is the upper surface of the booth,
The blower type dust collector according to claim 1 or 2, wherein the other side surface of the booth is a bottom surface of the booth.
前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の送風式集塵装置。 Inside the booth, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining mutual communication is provided,
4. The suction discharge port is provided for a region in the vicinity of the dust generation mechanism so that the region in the vicinity of the dust generation mechanism is in a negative pressure state. The ventilation type dust collector according to any one of the above.
前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の送風式集塵装置。 One side of the booth is the front of the booth,
The blower type dust collector according to claim 1 or 2, wherein the other side surface of the booth is a rear surface of the booth.
前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項5に記載の送風式集塵装置。 Inside the booth, a partition for separating the area near the dust generation mechanism and the area far from the dust generation mechanism while maintaining mutual communication is provided,
The auxiliary suction exhaust port is provided for the area in the vicinity of the dust generation mechanism, and the area in the vicinity of the dust generation mechanism is in a negative pressure state. The ventilation type dust collector as described.
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の送風式集塵装置。 The blast type dust collector according to any one of claims 1 to 6, wherein the booth surrounds a metal gear which is a part of a transport mechanism as a dust generation mechanism.
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- 2013-10-16 JP JP2013215818A patent/JP2015077555A/en active Pending
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