JP2015072066A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 分配チャンバのチャンバ内部空間に通じる注入開口を有する分配チャンバと、
   前記チャンバ内部空間をいくつかの接続ポートに接続するいくつかの排出開口を有する第１の有孔ブレードディスクと、
   ドライブシャフト軸の周りを旋回可能に装着されたブレードドライブシャフトと、を備え、
   前記ブレードドライブシャフトに接続され、前記ドライブシャフト軸から離間された第１の偏心軸が定義される第１の偏心部材と、
   前記第１の偏心部材に接続され、前記第１の有孔ブレードディスクに接して配置されるカッティングエッジを有し、前記第１の偏心部材の手段によって前記第１の有孔ブレードディスクに対して相対的に移動可能である第１のカッティングブレードと、
   によって特徴付けられる、液体のための分配装置。
2. 前記偏心部材を前記ブレードドライブシャフトに接続し、前記偏心部材上の第１の回り止め位置において、前記偏心部材を、前記ドライブシャフト軸に対する前記第１の偏心軸の第１の偏心度を有するように位置付け、前記偏心部材上の第２の回り止め位置において、前記偏心部材を、前記第１の偏心度よりも大きい、前記ドライブシャフト軸に対する前記第１の偏心軸の第２の偏心度を有するように位置付ける、連結部材
   によって特徴付けられる、請求項１記載の分配装置。
3. 前記連結部材は、ブレードドライブシャフトの回転方向の反転の手段によって、前記第１の回り止め位置と前記第２の回り止め位置との間で往復移動される、
   ことを特徴とする、請求項２記載の分配装置。
4. 前記連結部材は、前記第１の偏心部材の凹部に確実に係合する、
   ことを特徴とする、請求項２または３記載の分配装置。
5. 前記連結部材は前記第１の偏心部材の前記凹部に係合するカムを備え、
   前記凹部は、前記ブレードドライブシャフトの第１の回転方向への前記カムのための第１の回り止め位置と、前記第１の回転方向と反対方向である前記ブレードドライブシャフトの回転方向への第２の回り止め位置と、を提供する、
   ことを特徴とする、請求項４記載の分配装置。
6. 前記連結部材および前記ドライブシャフトは、一体的に具現化される、
   ことを特徴とする、請求項２〜５のうちのいずれか一項記載の分配装置。
7. いくつかの排出開口を有する第２の有孔ブレードディスクは、前記分配チャンバの内部空間の境界を定め、
   第２のカッティングブレードは提供され、当該第２のカッティングブレードは、前記第２の有孔ブレードディスクに接して配置され且つそれに対して相対的に移動可能であるカッティングエッジを有する、
   ことを特徴とする、請求項１〜６のうちのいずれか一項記載の分配装置。
8. 前記第２のカッティングブレードは前記第１の偏心部材に接続され、
   前記第２の偏心部材のカッティングエッジは、前記第１の偏心部材の手段によって、前記第２の有孔ブレードディスクに対して相対的に移動可能である、
   ことを特徴とする、請求項７記載の分配装置。
9. 前記第１および／または第２のカッティングブレードは、前記第１の偏心部材上に、前記第１の偏心軸の周りを回転可能に装着される、
   ことを特徴とする、請求項７または８記載の分配装置。
10. 釣り合い重り部材は前記ブレードドライブシャフトに接続され、その質量中心は前記ドライブシャフト軸に対して偏心して配置され、好ましくは前記第１の偏心シャフト軸に対して１８０度だけオフセットされる、
    ことを特徴とする、請求項１〜９のうちのいずれか一項記載の分配装置。
11. 前記注入開口は、前記ドライブシャフト軸と平行となる、好ましくはこれと同軸となる固体含有液体の注入方向を定義する、
    ことを特徴とする、請求項１〜１０のうちのいずれか一項記載の分配装置。
12. 液体制御システムは前記チャンバ内部空間に配置され、当該液体制御システムは、軸方向に流入する液体がそこで半径方向外向きに偏向される形状を有する、
    ことを特徴とする、請求項１１記載の分配装置。
13. 流れの方向における、前記チャンバ内部空間における前記注入開口から上流の流路と、
    流れの方向において、当該流路に配置される縮小される断面およびこれに続く増大される断面を有するノズルと、
    によって特徴付けられる、請求項１〜１２のうちのいずれか一項記載の分配装置。
14. 前記第２のカッティングブレードは第２の偏心部材に接続される、
    ことを特徴とする、請求項７記載の分配装置。
15. 前記第２の偏心部材は、前記ブレードドライブシャフトに接続され、前記ドライブシャフト軸に対して離れて位置する第２の偏心軸を定義し、当該第２の偏心軸は好ましくは前記第１の偏心シャフトと同軸上に延びない、
    ことを特徴とする、請求項１４記載の分配装置。
16. 前記第２のカッティングブレードは、前記第２の偏心部材上に前記第２の偏心軸の周りを回転可能に装着される、
    ことを特徴とする、請求項１３または１５項記載の分配装置。
17. 前記連結部材は、前記第２の偏心部材の凹部に係合し、
    前記第２の偏心部材上の第１の回り止め位置において、前記第２の偏心部材は、前記ドライブシャフト軸に対する前記第２の偏心軸の第１の偏心度を有するように位置付けられ、
    前記第２の偏心部材上の第２の回り止め位置において、前記第２の偏心部材は、前記第１の偏心度よりも大きい、前記ドライブシャフト軸に対する前記第２の偏心軸の第２の偏心度を有するように位置付けられる、
    ことを特徴とする、請求項２、７〜１６のうちのいずれか一項記載の分配装置。
18. 前記第２の偏心軸は、前記第１の偏心軸に対して前記ドライブシャフト軸の周りをオフセットされ、好ましくは前記ドライブシャフト軸の周りを１８０度だけオフセットされる、
    ことを特徴とする、請求項１４〜１７のうちのいずれか一項記載の分配装置。
19. 第２のカムは前記第１の偏心部材の凹部に係合し、
    前記凹部は、前記ブレードドライブシャフトの第１の回転方向への前記カムのための第１の回り止め位置と、前記第１の回転方向と反対方向である前記ブレードドライブシャフトの回転方向への第２の回り止め位置と、を提供する、
    ことを特徴とする、請求項５、８〜１８のうちのいずれか一項記載の分配装置。
20. 前記第１および／または第２のカッティングブレードは、円環形状を有し、第１または第２の有孔ブレードディスクに接して配置される少なくとも１つの円周方向のカッティングエッジを有し、好ましくは前記第１または第２のカッティングブレードの内側エッジおよび外側エッジ上に具現化される、
    ことを特徴とする、請求項１〜１９のうちのいずれか一項記載の分配装置。
21. 通気開口は前記有孔ブレードディスクにおいて存在し、当該通気開口は、前記カッティングエッジによって、好ましくは前記カッティングブレードの内側カッティングエッジによって表される空間に通じ、
    前記ドライブシャフト軸に対する前記第１／第２の偏心軸の距離、および前記カッティングエッジ、特に外側カッティングエッジの直径は、前記カッティングエッジまたは前記外側カッティングエッジが、前記通気開口が通じる面を取り囲む偏心経路上を、移動するように選択され、
    前記第１および／または第２のカッティングブレードの前記内側エッジと前記外側エッジとの間の距離は好ましくは、前記有孔ブレードディスクにおける前記複数の排出開口の直径よりも小さいまたはこれに等しい、
    ことを特徴とする、請求項１〜２０のうちのいずれか一項記載の分配装置。
22. 前記凹部は、丸みがつけられたＬ字形状を有し、
    カムは、前記第１の回り止め位置において前記凹部の第１のアームに接して配置され、前記第２の回り止め位置において前記凹部の第２のアームに接して配置される、
    ことを特徴とする、請求項５または９記載の分配装置。