JP2015065459A - Variable resistor for nonvolatile memory and its manufacturing method, and nonvolatile memory - Google Patents
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Description
不揮発性メモリ用可変抵抗およびその製造方法並びに不揮発性メモリであり、特に可変抵抗素子を有する不揮発性メモリ用可変抵抗およびその製造方法並びに不揮発性メモリに関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonvolatile memory variable resistor, a manufacturing method thereof, and a nonvolatile memory, and more particularly to a nonvolatile memory variable resistor having a variable resistance element, a manufacturing method thereof, and a nonvolatile memory.
近年、電源を切ってもデータ保持が可能な半導体装置である不揮発性メモリとして、ＭＲＡＭ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）やＰＲＡＭ（Ｐｈａｓｅ−ｃｈａｎｇｅ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＲＡＭ（Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）が開発されている。これらは、不揮発的に抵抗値を変更可能な可変抵抗を有する。ＰＲＡＭおよびＲＲＡＭにおいては、下部電極と上部電極との間に可変抵抗層が設けられている。可変抵抗層の抵抗を相変化により不揮発的に変更する。ＭＲＡＭにおいては、固定層、トンネル絶縁膜、自由層からなる磁気トンネル接合（ＭＴＪ）素子が設けられている。自由層の磁化方向を変更することにより、ＭＴＪ素子の抵抗を不揮発的に変更する。 In recent years, MRAM (Magnetic Random Access Memory), PRAM (Phase-change Random Access Memory), and RRAM (Resistance Random Access Memory) have been developed as nonvolatile memories that are semiconductor devices that can retain data even when the power is turned off. Yes. These have variable resistors that can change resistance values in a nonvolatile manner. In PRAM and RRAM, a variable resistance layer is provided between a lower electrode and an upper electrode. The resistance of the variable resistance layer is changed in a nonvolatile manner by phase change. In the MRAM, a magnetic tunnel junction (MTJ) element including a fixed layer, a tunnel insulating film, and a free layer is provided. By changing the magnetization direction of the free layer, the resistance of the MTJ element is changed in a nonvolatile manner.
図１（ａ）から図２（ｂ）を用い、ＲＲＡＭを例に不揮発性メモリ用可変抵抗の製造工程について説明する。図１（ａ）を参照に、層間絶縁膜１０に埋め込まれた配線層１２を形成する。図１（ｂ）を参照に、層間絶縁膜６０を形成する。層間絶縁膜６０に配線層１２に接続する貫通孔を形成し、貫通孔内にプラグ金属６２を形成する。図１（ｃ）を参照に、層間絶縁膜６０上に下部電極６４、可変抵抗層６６、上部電極６８を形成する。 A manufacturing process of a variable resistor for nonvolatile memory will be described with reference to FIG. 1A to FIG. Referring to FIG. 1A, a wiring layer 12 embedded in an interlayer insulating film 10 is formed. Referring to FIG. 1B, an interlayer insulating film 60 is formed. A through hole connected to the wiring layer 12 is formed in the interlayer insulating film 60, and a plug metal 62 is formed in the through hole. With reference to FIG. 1C, a lower electrode 64, a variable resistance layer 66, and an upper electrode 68 are formed on the interlayer insulating film 60.
図２（ａ）を参照に、下部電極６４、可変抵抗層６６、上部電極６８の所定領域を除去し下部電極６４がプラグ金属６２に接続する可変抵抗素子６１を形成する。図２（ｂ）を参照に、層間絶縁膜６０上に層間絶縁膜７０を形成する。上部電極６８に接続する貫通孔を形成する。貫通孔を埋め込むようにプラグ金属７２を形成する。プラグ金属７２上に配線層７４を形成する。以上により、ＲＲＡＭ用可変抵抗が完成する。 Referring to FIG. 2A, predetermined regions of the lower electrode 64, the variable resistance layer 66, and the upper electrode 68 are removed, and the variable resistance element 61 in which the lower electrode 64 is connected to the plug metal 62 is formed. With reference to FIG. 2B, an interlayer insulating film 70 is formed on the interlayer insulating film 60. A through hole connected to the upper electrode 68 is formed. Plug metal 72 is formed so as to fill the through hole. A wiring layer 74 is formed on the plug metal 72. The RRAM variable resistor is thus completed.
特許文献１の例えば図７には、凹部の底面にのみ高融点金属を形成する方法が開示されている。
しかしながら、従来の不揮発性メモリ用可変抵抗は、図１（ｂ）および図２（ｂ）のように、層間絶縁膜６０、７０およびプラグ金属６２、７２を２回形成することとなる。 However, in the conventional variable resistance for nonvolatile memory, the interlayer insulating films 60 and 70 and the plug metals 62 and 72 are formed twice as shown in FIGS. 1B and 2B.
本発明は、上記課題に鑑み、製造工程が削減可能な不揮発性メモリ用可変抵抗およびその製造方法並びに不揮発性メモリを提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a variable resistance for a nonvolatile memory, a manufacturing method thereof, and a nonvolatile memory that can reduce the number of manufacturing steps.
本発明は、第１配線層表面に設けられた可変抵抗層と、前記第１配線層上に設けられた層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜内に設けられ前記可変抵抗層に接続するプラグ金属と、を具備することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗である。本発明によれば、層間絶縁膜を１層で可変抵抗が形成できる。よって、製造工程を削減することができる。 The present invention relates to a variable resistance layer provided on a surface of a first wiring layer, an interlayer insulating film provided on the first wiring layer, and a plug metal provided in the interlayer insulating film and connected to the variable resistance layer. And a variable resistance for a nonvolatile memory. According to the present invention, a variable resistor can be formed with a single interlayer insulating film. Therefore, the manufacturing process can be reduced.
上記構成において、前記可変抵抗層は前記第１配線層の酸化物からなる構成とすることができる。この構成によれば、簡単に可変抵抗層を形成することができる。 In the above configuration, the variable resistance layer may be formed of an oxide of the first wiring layer. According to this configuration, the variable resistance layer can be easily formed.
上記構成において、前記可変抵抗層は前記プラグ金属の下面により画定されている構成とすることができる。また、上記構成において、前記可変抵抗層は前記第１配線層表面全面に設けられている構成とすることができる。 In the above configuration, the variable resistance layer may be defined by a lower surface of the plug metal. In the above configuration, the variable resistance layer may be provided on the entire surface of the first wiring layer.
上記構成において、第１配線層は下部層間絶縁層に埋め込まれており、前記可変抵抗層は、前記下部層間絶縁膜の上面と平坦な上面を有する構成とすることができる。この構成によれば、可変抵抗層と第１配線層の材料とを独立に設定することができる。 In the above configuration, the first wiring layer may be embedded in the lower interlayer insulating layer, and the variable resistance layer may have a top surface that is flat with an upper surface of the lower interlayer insulating film. According to this configuration, the material of the variable resistance layer and the first wiring layer can be set independently.
上記構成において、前記プラグ金属上に、前記プラグ金属に接続し、前記層間絶縁膜に埋め込まれた第２配線層を具備する構成とすることができる。 In the above configuration, a second wiring layer connected to the plug metal and embedded in the interlayer insulating film may be provided on the plug metal.
本発明は、第１配線層上に設けられ、前記第１配線層に接続する貫通孔を有する層間絶縁膜と、前記貫通孔内に設けられ前記第１配線層に接続する下部電極と、前記貫通孔内に設けられ前記下部電極上に設けられた可変抵抗層と、前記貫通孔内に設けられ前記可変抵抗層上に設けられた上部電極と、前記層間絶縁膜上に設けられ、前記上部電極と接続する第２配線層と、を具備することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗である。本発明によれば、１層の層間絶縁膜により可変抵抗を形成することができる。よって、製造工程を削減することができる。 The present invention provides an interlayer insulating film provided on a first wiring layer and having a through hole connected to the first wiring layer, a lower electrode provided in the through hole and connected to the first wiring layer, A variable resistance layer provided in the through hole and provided on the lower electrode; an upper electrode provided in the through hole and provided on the variable resistance layer; provided on the interlayer insulating film; A variable resistance for nonvolatile memory, comprising: a second wiring layer connected to an electrode. According to the present invention, a variable resistor can be formed by a single interlayer insulating film. Therefore, the manufacturing process can be reduced.
上記構成において、前記可変抵抗層は前記下部電極の酸化物からなる構成とすることができる。 In the above structure, the variable resistance layer may be formed of an oxide of the lower electrode.
上記構成において、前記可変抵抗層は前記貫通孔内に選択的に形成されている構成とすることができる。この構成によれば、上部電極が小さくなることを抑制することができる。 The said structure WHEREIN: The said variable resistance layer can be set as the structure currently selectively formed in the said through-hole. According to this structure, it can suppress that an upper electrode becomes small.
上記構成において、前記可変抵抗層は、前記貫通孔の側面および前記層間絶縁膜上面にかけて設けられている構成とすることができる。この構成によれば、可変抵抗層と第１配線との材料とを独立に設定することができる。 The said structure WHEREIN: The said variable resistance layer can be set as the structure provided over the side surface of the said through-hole, and the said interlayer insulation film upper surface. According to this configuration, the material of the variable resistance layer and the first wiring can be set independently.
上記構成において、前記貫通孔内に設けられ前記第１配線層と前記下部電極との間に設けられた下部スペーサ層と、前記貫通孔内に設けられ前記第２配線層と前記上部電極との間に設けられた上部スペーサ層と、を具備する構成とすることができる。この構成によれば、下部電極および上部電極の膜厚を薄くすることができる。 In the above configuration, a lower spacer layer provided in the through hole and between the first wiring layer and the lower electrode, and a second wiring layer and the upper electrode provided in the through hole. And an upper spacer layer provided therebetween. According to this configuration, the film thickness of the lower electrode and the upper electrode can be reduced.
上記構成において、前記第２配線層は前記層間絶縁膜に埋め込まれている構成とすることができる。 In the above configuration, the second wiring layer may be embedded in the interlayer insulating film.
本発明は、上記不揮発性メモリ用可変抵抗を有する不揮発性メモリである。本発明によれば、不揮発性メモリの製造工程を削減することができる。 The present invention is a nonvolatile memory having the variable resistor for nonvolatile memory. According to the present invention, the manufacturing process of the nonvolatile memory can be reduced.
本発明は、第１配線層上に可変抵抗層を形成する工程と、前記第１配線層上に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜内に前記可変抵抗層に接続するプラグ金属を形成する工程と、を有することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗の製造方法である。本発明によれば、層間絶縁膜を１層で可変抵抗が形成できる。よって、製造工程を削減することができる。 The present invention includes a step of forming a variable resistance layer on a first wiring layer, a step of forming an interlayer insulating film on the first wiring layer, and a plug metal connected to the variable resistance layer in the interlayer insulating film. Forming a variable resistor for a non-volatile memory. According to the present invention, a variable resistor can be formed with a single interlayer insulating film. Therefore, the manufacturing process can be reduced.
上記構成において、前記可変抵抗層を形成する工程は、前記第１配線層表面を酸化する工程を含む構成とすることができる。この構成によれば、簡単に可変抵抗層を形成することができる。 In the above configuration, the step of forming the variable resistance layer may include a step of oxidizing the surface of the first wiring layer. According to this configuration, the variable resistance layer can be easily formed.
上記構成において、前記第１配線層表面を酸化する工程は、前記層間絶縁膜を貫通し前記第１配線層に接続する貫通孔を形成する工程と、前記層間絶縁膜をマスクに前記第１配線層を酸化する工程と、を有し、前記プラグ金属は前記貫通孔内に形成される構成とすることができる。 In the above configuration, the step of oxidizing the surface of the first wiring layer includes the step of forming a through hole that penetrates the interlayer insulating film and connects to the first wiring layer, and the first wiring using the interlayer insulating film as a mask. Oxidizing the layer, and the plug metal may be formed in the through hole.
上記構成において、前記第１配線層表面を酸化する工程は、前記第１配線層表面全面を酸化する工程を含む構成とすることができる。 In the above configuration, the step of oxidizing the surface of the first wiring layer can include a step of oxidizing the entire surface of the first wiring layer.
上記構成において、前記層間絶縁膜を形成する前に、前記第１配線層上方にストッパ層を形成する工程を有し、前記プラグ金属を形成する工程は、前記層間絶縁膜内に前記ストッパ層まで達する貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔内にプラグ金属を形成する工程と、を有する構成とすることができる。この構成によれば、層間絶縁膜に貫通孔を形成する際に、可変抵抗層の一部が削れることを抑制することができる。 In the above configuration, a step of forming a stopper layer above the first wiring layer before forming the interlayer insulating film, and the step of forming the plug metal includes the step of forming the stopper metal in the interlayer insulating film. It can be set as the structure which has the process of forming the through-hole which reaches, and the process of forming a plug metal in the said through-hole. According to this configuration, it is possible to suppress a part of the variable resistance layer from being scraped when the through hole is formed in the interlayer insulating film.
上記構成において、前記第１配線層を形成する工程は、下部層間絶縁膜に埋め込まれ、前記下部層間絶縁膜の上面にリセスを有するように第１配線層を形成する工程であり、前記可変抵抗層を形成する工程は、第１配線層上に、前記下部層間絶縁膜の上面と平坦な上面を有するように可変抵抗層を形成する工程である構成とすることができる。この構成によれば、可変抵抗層と第１配線層の材料とを独立に設定することができる。 In the above configuration, the step of forming the first wiring layer is a step of forming the first wiring layer so as to be embedded in the lower interlayer insulating film and to have a recess on the upper surface of the lower interlayer insulating film, The step of forming the layer may be a step of forming a variable resistance layer on the first wiring layer so as to have an upper surface and a flat upper surface of the lower interlayer insulating film. According to this configuration, the material of the variable resistance layer and the first wiring layer can be set independently.
本発明は、第１配線層上に層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜内に前記第１配線層に接続する貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔内に前記第１配線層に接続する下部電極を形成する工程と、前記貫通孔内の前記下部電極上に可変抵抗層を形成する工程と、前記貫通孔内の前記可変抵抗層上に上部電極を形成する工程と、前記層間絶縁膜上に前記上部電極と接続する第２配線層を形成する工程と、を有することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗の製造方法である。本発明によれば、層間絶縁膜を１層で可変抵抗が形成できる。よって、製造工程を削減することができる。 The present invention includes a step of forming an interlayer insulating film on a first wiring layer, a step of forming a through hole connected to the first wiring layer in the interlayer insulating film, and the first wiring in the through hole. Forming a lower electrode connected to a layer; forming a variable resistance layer on the lower electrode in the through hole; forming an upper electrode on the variable resistance layer in the through hole; Forming a second wiring layer connected to the upper electrode on the interlayer insulating film. A method for manufacturing a variable resistor for a nonvolatile memory. According to the present invention, a variable resistor can be formed with a single interlayer insulating film. Therefore, the manufacturing process can be reduced.
上記構成において、前記可変抵抗層を形成する工程は、前記下部電極を酸化する工程を含む構成とすることができる。この構成によれば、可変抵抗層を簡単に形成することができる。 In the above configuration, the step of forming the variable resistance layer may include a step of oxidizing the lower electrode. According to this configuration, the variable resistance layer can be easily formed.
上記構成において、前記可変抵抗層を形成する工程は、前記絶縁層を、前記貫通孔の側面および前記層間絶縁膜上面にかけて形成する構成とすることができる。この構成によれば、可変抵抗層と第１配線層の材料とを独立に設定することができる。 The said structure WHEREIN: The process of forming the said variable resistance layer can be set as the structure which forms the said insulating layer over the side surface of the said through-hole, and the said interlayer insulation film upper surface. According to this configuration, the material of the variable resistance layer and the first wiring layer can be set independently.
本発明によれば、層間絶縁膜を１層で可変抵抗が形成できる。よって、製造工程を削減することができる。 According to the present invention, a variable resistor can be formed with a single interlayer insulating film. Therefore, the manufacturing process can be reduced.
以下、図面を用い本発明の実施例について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
実施例１はデュアルダマシンを用いたＲＲＡＭの例である。図３は、不揮発性メモリの断面図である。Ｐ型シリコン半導体基板（または半導体基板内のＰ型領域）８０内にＮ型ソースドレイン領域８２が設けられている。半導体基板８０内に素子分離絶縁層８３が設けられている。半導体基板８０上にゲート絶縁膜８６を介しポリシリコンからなるゲート電極８４が設けられている。ゲート電極８４の側面には側壁８８が設けられている。半導体基板８０上に、酸化シリコンからなる層間絶縁膜１０が設けられている。層間絶縁膜１０内には銅からなる第１配線層１２が設けられている。第１配線層１２はソースドレイン領域８２に接続されている。両側の第１配線層１２の表面には第１配線層１２の酸化物（酸化銅）からなる可変抵抗層１４が設けられている。層間絶縁膜１０および第１配線層１２上に層間絶縁膜２０が設けられている。層間絶縁膜２０内にはプラグ金属２３および第２配線層２４が設けられている。プラグ金属２３と第２配線層２４とは銅からなり一体として層間絶縁膜２０に埋め込まれ形成されている。プラグ金属２３は可変抵抗層１４に接続されている。層間絶縁膜２０上に保護膜９０が形成されている。 The first embodiment is an example of an RRAM using a dual damascene. FIG. 3 is a cross-sectional view of the nonvolatile memory. An N-type source / drain region 82 is provided in a P-type silicon semiconductor substrate (or a P-type region in the semiconductor substrate) 80. An element isolation insulating layer 83 is provided in the semiconductor substrate 80. A gate electrode 84 made of polysilicon is provided on the semiconductor substrate 80 via a gate insulating film 86. Side walls 88 are provided on the side surfaces of the gate electrode 84. On the semiconductor substrate 80, an interlayer insulating film 10 made of silicon oxide is provided. A first wiring layer 12 made of copper is provided in the interlayer insulating film 10. The first wiring layer 12 is connected to the source / drain region 82. A variable resistance layer 14 made of an oxide (copper oxide) of the first wiring layer 12 is provided on the surface of the first wiring layer 12 on both sides. An interlayer insulating film 20 is provided on the interlayer insulating film 10 and the first wiring layer 12. A plug metal 23 and a second wiring layer 24 are provided in the interlayer insulating film 20. The plug metal 23 and the second wiring layer 24 are made of copper and are integrally embedded in the interlayer insulating film 20. The plug metal 23 is connected to the variable resistance layer 14. A protective film 90 is formed on the interlayer insulating film 20.
図４は、実施例１に係る可変抵抗を用いたＲＲＡＭの基本回路図である。選択トランジスタ９２のゲートはワードラインＷＬに、ソースはグランドＧＮＤに、ドレインは可変抵抗９４の一端に接続されている。可変抵抗９４の他端はビットラインＢＬに接続されている。ビットラインＢＬはセンスアンプ９６に接続されている。センスアンプ９６はビットラインＢＬ信号と参照信号ＲＥＦとを比較し、可変抵抗９４が高抵抗か低抵抗かに応じ“０”または“１”を出力する。 FIG. 4 is a basic circuit diagram of the RRAM using the variable resistor according to the first embodiment. The selection transistor 92 has a gate connected to the word line WL, a source connected to the ground GND, and a drain connected to one end of the variable resistor 94. The other end of the variable resistor 94 is connected to the bit line BL. The bit line BL is connected to the sense amplifier 96. The sense amplifier 96 compares the bit line BL signal with the reference signal REF, and outputs “0” or “1” depending on whether the variable resistor 94 is high resistance or low resistance.
図３において、ゲート絶縁膜８６、ゲート電極８４、ソースドレイン領域８２からなるＭＯＳＦＥＴが選択トランジスタに対応し、ゲート電極８４がワードラインＷＬを兼ねている。真ん中の第１配線層１２がグランドラインＧＮＤである。第１配線層１２の一部、可変抵抗層１４およびプラグ金属２３の一部が可変抵抗９４に相当する。第２配線層２４がビットラインＢＬに対応する。 In FIG. 3, a MOSFET including a gate insulating film 86, a gate electrode 84, and a source / drain region 82 corresponds to a selection transistor, and the gate electrode 84 also serves as a word line WL. The first wiring layer 12 in the middle is the ground line GND. A part of the first wiring layer 12, the variable resistance layer 14, and a part of the plug metal 23 correspond to the variable resistance 94. The second wiring layer 24 corresponds to the bit line BL.
図５（ａ）から図６を用い、実施例１に係る可変抵抗の製造方法について説明する。酸化シリコン膜からなる層間絶縁膜１０内に、メッキ法を用い銅からなる第１配線層１２を形成する。ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈ）法を用いることにより、層間絶縁膜１０および第１配線層１２の上面を平坦にする。図５（ｂ）を参照に、層間絶縁膜１０および第１配線層１２上に酸化シリコンからなる層間絶縁膜２０を形成する。層間絶縁膜２０に、第１配線層１２に接続しプラグ金属を形成すべき貫通孔１６および第２配線層を形成すべき凹部１８を形成する。層間絶縁膜２０をマスクに第１配線層１２の表面を酸化する。これにより、プラグ金属の下面により画定された酸化銅からなる可変抵抗層１４が形成される。 A method for manufacturing the variable resistor according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. A first wiring layer 12 made of copper is formed in the interlayer insulating film 10 made of a silicon oxide film by using a plating method. By using a CMP (Chemical Mechanical Polish) method, the upper surfaces of the interlayer insulating film 10 and the first wiring layer 12 are flattened. Referring to FIG. 5B, an interlayer insulating film 20 made of silicon oxide is formed on the interlayer insulating film 10 and the first wiring layer 12. The interlayer insulating film 20 is formed with a through hole 16 where the plug metal is to be connected to the first wiring layer 12 and a recess 18 where the second wiring layer is to be formed. The surface of the first wiring layer 12 is oxidized using the interlayer insulating film 20 as a mask. Thereby, the variable resistance layer 14 made of copper oxide defined by the lower surface of the plug metal is formed.
図６を参照に、貫通孔１６および凹部１８内に、タンタルからなるバリア層を形成する。プラグ金属２３が可変抵抗層１４に接続するように、層間絶縁膜２０の貫通孔１６内にプラグ金属２３、凹部１８内に第２配線層２４を銅を用い一体に形成する。ＣＭＰ法を用い、層間絶縁膜２０および第２配線層２４の上面を平坦化する。以上により、第１配線層１２、可変抵抗層１４およびプラグ金属２３からなる可変抵抗が完成する。 Referring to FIG. 6, a barrier layer made of tantalum is formed in through hole 16 and recess 18. In order to connect the plug metal 23 to the variable resistance layer 14, the plug metal 23 is formed in the through hole 16 of the interlayer insulating film 20, and the second wiring layer 24 is formed integrally in the recess 18 using copper. The upper surfaces of the interlayer insulating film 20 and the second wiring layer 24 are planarized using a CMP method. As described above, a variable resistor including the first wiring layer 12, the variable resistance layer 14, and the plug metal 23 is completed.
実施例２は、第１配線層１２の上面を全面にわたり酸化する例である。図７（ａ）から図７（ｃ）を用い、実施例２に係る可変抵抗の製造方法について説明する。図７（ａ）を参照に、実施例１の図５（ａ）の後第１配線層１２の表面を全面に渡り酸化させる。これにより、第１配線層１２上に可変抵抗層１４ａが形成される。図７（ｂ）を参照に、層間絶縁膜１０および第１配線層１２の上方に、窒化シリコン膜からなるストッパ層２６および酸化シリコンからなる層間絶縁膜２０を形成する。層間絶縁膜２０をエッチングし層間絶縁膜２０内に貫通孔１６および凹部１８を形成する。このとき、ストッパ層２６によりエッチングが停止するため、可変抵抗層１４ａがエッチングされることが抑制される。図７（ｃ）を参照に、実施例１の図６と同じように、可変抵抗層１４ａに接続するプラグ金属２３および第２配線層２４を形成する。以上により、実施例２に係る可変抵抗が完成する。 Example 2 is an example in which the upper surface of the first wiring layer 12 is oxidized over the entire surface. A method for manufacturing a variable resistor according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. Referring to FIG. 7A, the surface of the first wiring layer 12 is oxidized over the entire surface after FIG. 5A of the first embodiment. As a result, the variable resistance layer 14 a is formed on the first wiring layer 12. Referring to FIG. 7B, a stopper layer 26 made of a silicon nitride film and an interlayer insulating film 20 made of silicon oxide are formed above the interlayer insulating film 10 and the first wiring layer 12. The interlayer insulating film 20 is etched to form through holes 16 and recesses 18 in the interlayer insulating film 20. At this time, since the etching is stopped by the stopper layer 26, the etching of the variable resistance layer 14a is suppressed. Referring to FIG. 7C, the plug metal 23 and the second wiring layer 24 connected to the variable resistance layer 14a are formed as in FIG. 6 of the first embodiment. Thus, the variable resistor according to the second embodiment is completed.
実施例３は、可変抵抗層として第１配線層の酸化物以外の絶縁層を用いる例である。図８（ａ）から図９を用い、実施例３に係る可変抵抗の製造方法について説明する。図８（ａ）を参照に、下部層間絶縁膜１０に埋め込まれ下部層間絶縁層１０の上面に深さＴのリセス１３を有するように銅からなる第１配線層１２を形成する。図８（ｂ）を参照に、スパッタ法を用いリセス１３を埋め込み下部層間絶縁膜１０上にＳｒＴｉＯ３やＰｒＣａＭｎＯ３のようなペロブスカイト酸化物からなる可変抵抗層１５を形成する。ＣＭＰ法を用い、下部層間絶縁膜１０の表面が露出するように可変抵抗層１５を研磨する。これにより、下部層間絶縁膜１０と可変抵抗層１５との上面は平坦となる。図８（ｃ）を参照に、実施例１の図６と同じように、第１配線層１２の上方であり可変抵抗層１５および下部層間絶縁膜１０上に、窒化シリコンからなるストッパ層２６および酸化シリコンからなる層間絶縁膜２０を形成する。層間絶縁膜２０に可変抵抗層１５に接続する貫通孔１６および凹部１８を形成する。このときストッパ層２６により、可変抵抗層１５がエッチングされることを抑制することができる。 Example 3 is an example in which an insulating layer other than the oxide of the first wiring layer is used as the variable resistance layer. A method for manufacturing a variable resistor according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. Referring to FIG. 8A, a first wiring layer 12 made of copper is formed so as to have a recess 13 having a depth T on the upper surface of the lower interlayer insulating layer 10 embedded in the lower interlayer insulating film 10. Referring to FIG. 8B, the recess 13 is embedded by sputtering, and the variable resistance layer 15 made of a perovskite oxide such as SrTiO 3 or PrCaMnO 3 is formed on the lower interlayer insulating film 10. The variable resistance layer 15 is polished by CMP so that the surface of the lower interlayer insulating film 10 is exposed. Thereby, the upper surfaces of the lower interlayer insulating film 10 and the variable resistance layer 15 become flat. Referring to FIG. 8C, as in FIG. 6 of the first embodiment, the stopper layer 26 made of silicon nitride is formed on the variable resistance layer 15 and the lower interlayer insulating film 10 above the first wiring layer 12 and An interlayer insulating film 20 made of silicon oxide is formed. A through hole 16 and a recess 18 connected to the variable resistance layer 15 are formed in the interlayer insulating film 20. At this time, etching of the variable resistance layer 15 can be suppressed by the stopper layer 26.
図９を参照に、実施例２の図７（ｃ）と同じように、層間絶縁膜２０内に可変抵抗層１５に接続するプラグ金属２３および第２配線層２４を形成する。以上により、実施例３に係る可変抵抗が完成する。 Referring to FIG. 9, the plug metal 23 and the second wiring layer 24 connected to the variable resistance layer 15 are formed in the interlayer insulating film 20 as in FIG. 7C of the second embodiment. Thus, the variable resistor according to Example 3 is completed.
実施例１から実施例３によれば、層間絶縁膜２０およびプラグ金属２３を１回形成することにより可変抵抗が形成できる。よって、図１（ａ）から図２（ｂ）の例に比べ製造工程を削減することができる。 According to the first to third embodiments, the variable resistance can be formed by forming the interlayer insulating film 20 and the plug metal 23 once. Therefore, the manufacturing process can be reduced as compared with the example of FIGS.
実施例１および実施例２においては、第１配線層１２を酸化することにより、可変抵抗層１４または１４ａを形成している。これにより、簡単に可変抵抗層１４または１４ａを形成することができる。 In Example 1 and Example 2, the variable resistance layer 14 or 14 a is formed by oxidizing the first wiring layer 12. Thereby, the variable resistance layer 14 or 14a can be easily formed.
実施例１のように、層間絶縁膜２０をマスクに第１配線層１２の表面を酸化し、可変抵抗層１４を形成する場合、ストッパ層２６を形成しなくともよい。しかし、第１配線層１２上の微細領域を酸化することとなる。一方、実施例２のように、第１配線層１２の上面全体を酸化し、可変抵抗層１４ａを形成する場合、微細領域を酸化しないが、貫通孔１６を形成する際に可変抵抗層１４ａの上面が削れないようにストッパ層２６を形成するが好ましい。 When the variable resistance layer 14 is formed by oxidizing the surface of the first wiring layer 12 using the interlayer insulating film 20 as a mask as in the first embodiment, the stopper layer 26 may not be formed. However, the fine region on the first wiring layer 12 is oxidized. On the other hand, when the entire upper surface of the first wiring layer 12 is oxidized and the variable resistance layer 14a is formed as in the second embodiment, the fine region is not oxidized, but the variable resistance layer 14a is not formed when the through hole 16 is formed. It is preferable to form the stopper layer 26 so that the upper surface is not shaved.
実施例３によれば、リセス１３に可変抵抗層１５が埋め込まれるように形成することにより、可変抵抗層１５として第１配線層１２を構成する材料の酸化物以外の材料からなる層を用いることができる。これにより、下部電極３６と可変抵抗層１５の材料を独立に用いることができるため、それぞれより適切な材料を選択することができる。なお、下部層間絶縁膜１０と可変抵抗層１５との上面を平坦とするのは、プラグ金属２３等の微細化を可能とするためである。 According to the third embodiment, by forming the variable resistance layer 15 in the recess 13, a layer made of a material other than the oxide of the material constituting the first wiring layer 12 is used as the variable resistance layer 15. Can do. Thereby, since the material of the lower electrode 36 and the variable resistance layer 15 can be used independently, a more suitable material can be selected, respectively. The reason why the upper surfaces of the lower interlayer insulating film 10 and the variable resistance layer 15 are made flat is that the plug metal 23 and the like can be miniaturized.
実施例４は貫通孔内に可変抵抗層を形成する例である。図１０（ａ）から図１１（ｃ）を用い実施例４に係る可変抵抗の製造方法について説明する。図１０（ａ）を参照に、酸化シリコンからなる層間絶縁膜１０上に銅からなる第１配線層１２を形成する。図１０（ｂ）を参照に、層間絶縁膜１０および第１配線層１２上に層間絶縁膜３０を形成する。層間絶縁膜３０内に第１配線層１２に接続する貫通孔３２を形成する。図１０（ｃ）を参照に、貫通孔３２内に、第１配線層１２と同じ材料である銅からなる下部スペーサ層３４をＭＣＲ（Ｍｅｔａｌ Ｃｈｌｏｒｉｄｅ Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ）−ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用い形成する。ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用いることにより、貫通孔２２内の底面のみに選択的に下部スペーサ層３４を形成することができる。貫通孔３２内の下部スペーサ層３４上に下部電極３６をＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い形成する。 Example 4 is an example in which a variable resistance layer is formed in a through hole. A method for manufacturing a variable resistor according to the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. Referring to FIG. 10A, a first wiring layer 12 made of copper is formed on an interlayer insulating film 10 made of silicon oxide. With reference to FIG. 10B, an interlayer insulating film 30 is formed on the interlayer insulating film 10 and the first wiring layer 12. A through hole 32 connected to the first wiring layer 12 is formed in the interlayer insulating film 30. Referring to FIG. 10C, a lower spacer layer 34 made of copper, which is the same material as the first wiring layer 12, is formed in the through hole 32 using an MCR (Metal Chloride Reduction) -CVD (Chemical Vapor Deposition) method. To do. By using the MCR-CVD method, the lower spacer layer 34 can be selectively formed only on the bottom surface in the through hole 22. A lower electrode 36 is formed on the lower spacer layer 34 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method.
図１１（ａ）を参照に、下部電極３６の上面を酸化し、貫通孔３２内に、ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い下部電極３６を構成する材料の酸化物からなる可変抵抗層３８を形成する。図１１(ｂ)を参照に、ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い、貫通孔３２内の可変抵抗層３８上に上部電極４０を形成する。ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い、貫通孔３２内の上部電極４０上に、上部スペーサ層４２を形成する。上部スペーサ層４２と層間絶縁膜３０との上面はほぼ平坦となるように上部スペーサ層４２を形成する。図１１（ｃ）を参照に、層間絶縁膜３０上に上部スペーサ層４２に接続する第２配線層４４を形成する。以上により実施例４に係る可変抵抗が完成する。 Referring to FIG. 11A, the upper surface of the lower electrode 36 is oxidized, and a variable resistance layer 38 made of an oxide of the material constituting the lower electrode 36 is formed in the through hole 32 using the MCR-CVD method. Referring to FIG. 11B, the upper electrode 40 is formed on the variable resistance layer 38 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method. The upper spacer layer 42 is formed on the upper electrode 40 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method. The upper spacer layer 42 is formed so that the upper surfaces of the upper spacer layer 42 and the interlayer insulating film 30 are substantially flat. With reference to FIG. 11C, a second wiring layer 44 connected to the upper spacer layer 42 is formed on the interlayer insulating film 30. Thus, the variable resistor according to the fourth embodiment is completed.
実施例５は、実施例４に対し下部スペーサ層および上部スペーサ層を有さない例である。図１２（ａ）から図１２（ｃ）を用い実施例５の製造方法について説明する。図１２（ａ）を参照に、実施例４の図１０（ｂ）の後、貫通孔３２内の第１配線層１２上にＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い下部電極３６を形成する。図１２（ｂ）を参照に、貫通孔３２内の下部電極３６の上面を酸化し可変抵抗層３８を形成する。ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い、貫通孔３２内の可変抵抗層３８上に上部電極４０を形成する。図１２（ｃ）を参照に、実施例４の図１１（ｃ）と同じように層間絶縁膜３０上に第２配線層４４を形成する。 Example 5 is an example which does not have a lower spacer layer and an upper spacer layer as compared with Example 4. A manufacturing method of the fifth embodiment will be described with reference to FIGS. Referring to FIG. 12A, after FIG. 10B of the fourth embodiment, the lower electrode 36 is formed on the first wiring layer 12 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method. Referring to FIG. 12B, the upper surface of the lower electrode 36 in the through hole 32 is oxidized to form the variable resistance layer 38. The upper electrode 40 is formed on the variable resistance layer 38 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method. Referring to FIG. 12C, the second wiring layer 44 is formed on the interlayer insulating film 30 as in FIG. 11C of the fourth embodiment.
実施例６は可変抵抗層を下部電極の酸化物以外で形成する例である。図１３（ａ）から図１３（ｃ）を用い実施例６に係る可変抵抗の製造方法を説明する。図１３（ａ）を参照に、実施例４の図１０（ｃ）までの工程を行う。図１３（ｂ）を参照に、可変抵抗層３８ａを下部電極３６の上面、貫通孔３２の側面および層間絶縁膜３０の上面にかけて形成する。図１３（ｃ）を参照に、ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い、貫通孔３２内の可変抵抗層３８上に上部電極４０を形成する。ＭＣＲ−ＣＶＤ法を用い、貫通孔３２内の上部電極４０上に上部スペーサ層４２を形成する。上部スペーサ層４２上に第２配線層４４を形成する。 Example 6 is an example in which the variable resistance layer is formed of a material other than the oxide of the lower electrode. A method for manufacturing a variable resistor according to the sixth embodiment will be described with reference to FIGS. Referring to FIG. 13A, the steps up to FIG. 10C of Example 4 are performed. Referring to FIG. 13B, the variable resistance layer 38 a is formed over the upper surface of the lower electrode 36, the side surface of the through hole 32, and the upper surface of the interlayer insulating film 30. Referring to FIG. 13C, the upper electrode 40 is formed on the variable resistance layer 38 in the through hole 32 by using the MCR-CVD method. The upper spacer layer 42 is formed on the upper electrode 40 in the through hole 32 using the MCR-CVD method. A second wiring layer 44 is formed on the upper spacer layer 42.
実施例７は、デュアルダマシンの例である。図１４（ａ）から１５（ｂ）を用い実施例７に係る製造方法について説明する。図１４（ａ）を参照に、実施例１の図５（ｂ）までの工程を行う。図１４（ｂ）を参照に、貫通孔１６および凹部１８内面および層間絶縁膜２０上にバリア層５０を形成する。図１５（ａ）を参照に、貫通孔１６内に下部電極３６を形成する。下部電極３６の上面を酸化し、可変抵抗層３８を形成する。図１５（ｂ）を参照に、可変抵抗層３８上の貫通孔内および凹部内に銅を用い上部電極４０ａおよび第２配線層４４ａを一体として形成する。これにより、実施例７に係る可変抵抗が完成する。 Example 7 is an example of dual damascene. A manufacturing method according to Example 7 will be described with reference to FIGS. 14 (a) to 15 (b). Referring to FIG. 14A, the steps up to FIG. 5B of Example 1 are performed. Referring to FIG. 14B, a barrier layer 50 is formed on the inner surface of the through hole 16 and the recess 18 and the interlayer insulating film 20. With reference to FIG. 15A, the lower electrode 36 is formed in the through hole 16. The upper surface of the lower electrode 36 is oxidized to form the variable resistance layer 38. Referring to FIG. 15B, the upper electrode 40a and the second wiring layer 44a are integrally formed using copper in the through hole and the concave portion on the variable resistance layer 38. Thereby, the variable resistor according to the seventh embodiment is completed.
実施例８は、実施例７に対し可変抵抗層を絶縁層で形成する例である。図１６（ａ）を参照に、実施例７の図１４（ｂ）までの工程を行う。貫通孔１６内に下部電極３６を形成する。下部電極３６上、貫通孔１６の側面、凹部１８の側面および層間絶縁膜２０上のバリア層５０上に可変抵抗層３８ａをスパッタ法を用い形成する。貫通孔１６内の可変抵抗層３８ａ上および凹部１８内に銅を用い上部電極４０ａおよび第２配線層４４ａを一体として形成する。これにより、実施例８に係る可変抵抗が完成する。 Example 8 is an example in which the variable resistance layer is formed of an insulating layer as compared with Example 7. Referring to FIG. 16A, the steps up to FIG. 14B of Example 7 are performed. A lower electrode 36 is formed in the through hole 16. A variable resistance layer 38 a is formed on the lower electrode 36, the side surface of the through-hole 16, the side surface of the recess 18, and the barrier layer 50 on the interlayer insulating film 20 by sputtering. The upper electrode 40a and the second wiring layer 44a are integrally formed on the variable resistance layer 38a in the through hole 16 and in the recess 18 using copper. Thereby, the variable resistor according to the eighth embodiment is completed.
実施例４から実施例８によれば、層間絶縁膜２０または３０に設けられた貫通孔１６または３２内に下部電極３６、可変抵抗層３８または３８ａおよび上部電極４０または４０ａが設けられている。これにより、１層の層間絶縁膜２０または３０により可変抵抗素子を形成することができる。よって、図１（ａ）から図２（ｂ）に係る可変抵抗に比べ、製造工程を削減することができる。 According to the fourth to eighth embodiments, the lower electrode 36, the variable resistance layer 38 or 38a, and the upper electrode 40 or 40a are provided in the through hole 16 or 32 provided in the interlayer insulating film 20 or 30. As a result, a variable resistance element can be formed by one interlayer insulating film 20 or 30. Therefore, the manufacturing process can be reduced as compared with the variable resistors according to FIGS. 1A to 2B.
実施例４、実施例５および実施例７によれば、下部電極３６を酸化することにより可変抵抗層３８を形成する。これにより、可変抵抗層３８を貫通孔３２内の下部電極３６上に選択的に形成することができる。よって、実施例６および実施例８のように、上部電極４０または４０ａおよび上部スペーサ層４２を形成する貫通孔１６または３２が小さくなることを抑制することができる。一方、実施例６および実施例８のよれば、可変抵抗層３８ａを下部電極３６の酸化物以外の絶縁層とすることができる。例えば、前述のペロブスカイト酸化物とすることができる。 According to the fourth, fifth, and seventh embodiments, the variable resistance layer 38 is formed by oxidizing the lower electrode 36. Thereby, the variable resistance layer 38 can be selectively formed on the lower electrode 36 in the through hole 32. Therefore, as in the sixth and eighth embodiments, it is possible to suppress the through holes 16 or 32 forming the upper electrode 40 or 40a and the upper spacer layer 42 from being reduced. On the other hand, according to Example 6 and Example 8, the variable resistance layer 38a can be an insulating layer other than the oxide of the lower electrode 36. For example, the perovskite oxide described above can be used.
実施例４および実施例６によれば、第１配線層１２と下部電極３６との間に下部スペーサ層３４が設けられ、第２配線層４４と上部電極４０との間に上部スペーサ層４２が設けられている。これにより、下部電極３６および上部電極４０の膜厚を薄くすることができる。よって、下部電極３６および上部電極４０の成膜速度が遅い場合有効である。一方、実施例５によれば、下部スペーサ層３４および上部スペーサ層４２を形成せず、第１配線層１２上に直接下部電極３６を形成し、上部電極４０上に直接第２配線層４４を形成する。下部スペーサ層３４および上部スペーサ層を形成しないため、製造工程数を削減することができる。 According to the fourth and sixth embodiments, the lower spacer layer 34 is provided between the first wiring layer 12 and the lower electrode 36, and the upper spacer layer 42 is provided between the second wiring layer 44 and the upper electrode 40. Is provided. Thereby, the film thickness of the lower electrode 36 and the upper electrode 40 can be made thin. Therefore, it is effective when the film formation rates of the lower electrode 36 and the upper electrode 40 are slow. On the other hand, according to the fifth embodiment, the lower spacer layer 34 and the upper spacer layer 42 are not formed, the lower electrode 36 is formed directly on the first wiring layer 12, and the second wiring layer 44 is directly formed on the upper electrode 40. Form. Since the lower spacer layer 34 and the upper spacer layer are not formed, the number of manufacturing steps can be reduced.
実施例７および８のように、第２配線層４４ａは層間絶縁膜３０に埋め込まれたディアルダマシン技術を適用することもできる。 As in the seventh and eighth embodiments, the second wiring layer 44a may be applied with a dialer machine technique embedded in the interlayer insulating film 30.
下部スペーサ層３４および上部スペーサ層４２としては、Ｔｉ（チタン）、Ｗ（タングステン）、ＷＮ（窒化タングステン）、ＴｉＮ(窒化チタン）、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）およびＴａＮ（窒化タンタル）等を用いることができる。下部電極３６および上部電極４０としては、Ｃｕ（銅）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｎｂ（ニオブ）およびＡｌ（アルミニウム）等を用いることができる。 As the lower spacer layer 34 and the upper spacer layer 42, Ti (titanium), W (tungsten), WN (tungsten nitride), TiN (titanium nitride), AlN (aluminum nitride), TaN (tantalum nitride), or the like is used. it can. As the lower electrode 36 and the upper electrode 40, Cu (copper), Ni (nickel), Nb (niobium), Al (aluminum), or the like can be used.
実施例１から実施例８はＲＲＡＭ用の可変抵抗を例に説明したが、ＰＲＡＭ用の可変抵抗やＭＲＡＭ用のＭＴＪ素子でもよい。ＭＴＪ素子の場合は、下部電極および上部電極は強磁性体から構成される。可変抵抗層としてトンネル絶縁膜を用いる。 In the first to eighth embodiments, the variable resistance for RRAM has been described as an example. However, a variable resistance for PRAM or an MTJ element for MRAM may be used. In the case of the MTJ element, the lower electrode and the upper electrode are made of a ferromagnetic material. A tunnel insulating film is used as the variable resistance layer.
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, but the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims.・ Change is possible.
１０ 層間絶縁膜
１２ 第１配線層
１４、１５ 可変抵抗層
１６ 貫通孔
１８ 凹部
２０ 層間絶縁膜
２１ トンネル絶縁膜
２２ バリア層
２３ プラグ金属
２４ 第２配線層
２６ ストッパ層
３０ 層間絶縁膜
３２ 貫通孔
３４ 下部スペーサ層
３６ 下部電極
３８ 可変抵抗層
４０ 上部電極
４２ 上部スペーサ層
４４ 第２配線層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Interlayer insulating film 12 1st wiring layer 14, 15 Variable resistance layer 16 Through hole 18 Recess 20 Interlayer insulating film 21 Tunnel insulating film 22 Barrier layer 23 Plug metal 24 2nd wiring layer 26 Stopper layer 30 Interlayer insulating film 32 Through hole 34 Lower spacer layer 36 Lower electrode 38 Variable resistance layer 40 Upper electrode 42 Upper spacer layer 44 Second wiring layer
Claims (10)
前記貫通孔内に設けられ前記第１配線層に接続する下部電極と、
前記貫通孔内に設けられ前記下部電極上に設けられた可変抵抗層と、
前記貫通孔内に設けられ前記可変抵抗層上に設けられた上部電極と、
前記層間絶縁膜上に設けられ、前記上部電極と接続する第２配線層と、
を具備することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗。 An interlayer insulating film provided on the first wiring layer and having a through hole connected to the first wiring layer;
A lower electrode provided in the through hole and connected to the first wiring layer;
A variable resistance layer provided in the through-hole and provided on the lower electrode;
An upper electrode provided in the through-hole and provided on the variable resistance layer;
A second wiring layer provided on the interlayer insulating film and connected to the upper electrode;
A variable resistor for a non-volatile memory, comprising:
前記貫通孔内に設けられ前記第２配線層と前記上部電極との間に設けられた上部スペーサ層と、
を具備することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の不揮発性メモリ用可変抵抗。 A lower spacer layer provided in the through hole and provided between the first wiring layer and the lower electrode;
An upper spacer layer provided in the through hole and provided between the second wiring layer and the upper electrode;
Nonvolatile variable resistance memory of any one of claims 1, wherein 4 to be provided with a.
前記層間絶縁膜内に前記第１配線層に接続する貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔内に前記第１配線層に接続する下部電極を形成する工程と、
前記貫通孔内の前記下部電極上に可変抵抗層を形成する工程と、
前記貫通孔内の前記可変抵抗層上に上部電極を形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に前記上部電極と接続する第２配線層を形成する工程と、
を有することを特徴とする不揮発性メモリ用可変抵抗の製造方法。 Forming an interlayer insulating film on the first wiring layer;
Forming a through hole connected to the first wiring layer in the interlayer insulating film;
Forming a lower electrode connected to the first wiring layer in the through hole;
Forming a variable resistance layer on the lower electrode in the through hole;
Forming an upper electrode on the variable resistance layer in the through hole;
Forming a second wiring layer connected to the upper electrode on the interlayer insulating film;
A method for manufacturing a variable resistor for a nonvolatile memory.
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