JP2015048529A - Catalyst liquid for electroless plating - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a palladium ion catalyst aqueous solution for electroless metal plating, not containing tin having an adverse effect on an environment, not using toxic 2-aminopyridine, dispensing with high-temperature aging, and having a stable bath for an extended period at a service temperature.SOLUTION: A catalyst liquid for electroless plating contains a complex of palladium ion and 2-aminoethyl pyridine with pH of 8.5-12, and further contains nano-particles including palladium ion and 2-aminoethyl pyridine with pH of 8.5-12.

Description

本発明は、無電解めっきのための安定な触媒液に関する。より詳細には、本発明は、スズを含まず、かつ特定の化合物で安定化された、無電解金属めっきのための安定なパラジウムイオン触媒水溶液に関する。   The present invention relates to a stable catalyst solution for electroless plating. More particularly, the present invention relates to a stable aqueous palladium ion catalyst solution for electroless metal plating that is tin-free and stabilized with certain compounds.

無電解金属めっきは、基体表面上に金属層を堆積するための周知の方法である。無電解金属めっきは、装飾めっきや電子部品の製造を含む、種々の産業において用いられている。また、無電解金属めっきは、プリント回路基板における電気回路形成においても広く使われている。非導電性物品表面に無電解めっきを行う際には、その表面上にあらかじめ触媒を付着させる必要がある。この触媒として、従来はパラジウム−スズコロイド系触媒が用いられてきた。パラジウム−スズコロイド系触媒は、酸性溶液中で塩化スズ(II)と塩化パラジウムを混合することによって作られる。   Electroless metal plating is a well-known method for depositing a metal layer on a substrate surface. Electroless metal plating is used in various industries, including decorative plating and the manufacture of electronic components. Electroless metal plating is also widely used in the formation of electrical circuits on printed circuit boards. When electroless plating is performed on the surface of a non-conductive article, it is necessary to deposit a catalyst on the surface in advance. Conventionally, a palladium-tin colloidal catalyst has been used as this catalyst. The palladium-tin colloidal catalyst is made by mixing tin (II) chloride and palladium chloride in an acidic solution.

しかし、パラジウム−スズコロイド系触媒は凝集しやすい傾向があり、凝集したコロイド(粒子径数百ナノメートル)が被めっき物表面に散在し、コロイド周辺へのめっき析出量が極端に大きくなるなどして、被めっき物上への無電解めっき析出が不均一となり、その結果めっき皮膜と基板の間の密着性の低下や、絶縁性の低下につながると言われている。また、近年の環境問題による要求から、スズを含有しない触媒の開発が要望されている。   However, palladium-tin colloidal catalysts tend to agglomerate, and agglomerated colloids (particle diameter of several hundred nanometers) are scattered on the surface of the object to be plated, resulting in an extremely large amount of plating deposited around the colloid. It is said that the electroless plating deposition on the object to be plated becomes non-uniform, resulting in a decrease in adhesion between the plating film and the substrate and a decrease in insulation. In addition, development of a catalyst containing no tin has been demanded due to recent environmental problems.

パラジウム−スズコロイド系触媒に替えて、貴金属イオンとアミン系錯化剤などからなる触媒が開発されている。例えば特開昭61−15983号公報(特許文献1)には、アミドにパラジウム(II)、銀(I)、銅(I)、銅(II)、ニッケル(II)の化合物の少なくとも一種を溶解して得られた錯体を含む無電解めっき用触媒が開示されている。また、国際公開第2007/066460号(特許文献2)には、塩基性アミノ酸とパラジウムとで形成するパラジウム錯体からなる触媒が開示されている。特開平1−195281号公報(特許文献3)には、2価のパラジウム化合物と低級アルキルアミン及びアミノピリジンをアルカリ水溶液中で混合して得られる触媒が開示されている。ここでは、アミノピリジンとしては、2−アミノピリジン、3−アミノピリジン、4−アミノピリジンを使用すると記載されている。特開2007−138218号公報(特許文献4)には、2価のパラジウム化合物とアミン系錯化剤を含む無電解めっき用触媒濃縮液が開示されている。アミン系錯化剤としては、ピリジン、2−アミノピリジン、3−アミノピリジン、4−アミノピリジンなどが例示されている。米国特許第4,248,632号(特許文献5)には、貴金属の錯化合物からなる触媒が開示されており、配位子としてピリジン、2−アミノピリジン、2−アミノメチルピリジンなどが開示されている。また、米国特許第5,503,877号(特許文献6)には、少なくとも1つの有機リガンドを有する金属を含む錯化合物であって、錯体がオリゴマーまたはポリマーの形態で存在する錯化合物が開示されており、配位子形成に際して2−アミノ−6−メチルピリジンを使用している。   Instead of palladium-tin colloidal catalysts, catalysts comprising noble metal ions and amine complexing agents have been developed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-15983 (Patent Document 1) dissolves at least one compound of palladium (II), silver (I), copper (I), copper (II), and nickel (II) in an amide. A catalyst for electroless plating containing the complex obtained in this manner is disclosed. International Publication No. 2007/066460 (Patent Document 2) discloses a catalyst comprising a palladium complex formed by a basic amino acid and palladium. JP-A-1-195281 (Patent Document 3) discloses a catalyst obtained by mixing a divalent palladium compound, a lower alkylamine and an aminopyridine in an alkaline aqueous solution. Here, it is described that 2-aminopyridine, 3-aminopyridine, and 4-aminopyridine are used as aminopyridine. JP 2007-138218 (Patent Document 4) discloses a catalyst concentrate for electroless plating containing a divalent palladium compound and an amine complexing agent. Examples of amine complexing agents include pyridine, 2-aminopyridine, 3-aminopyridine, 4-aminopyridine and the like. US Pat. No. 4,248,632 (Patent Document 5) discloses a catalyst comprising a complex compound of a noble metal, and pyridine, 2-aminopyridine, 2-aminomethylpyridine and the like are disclosed as ligands. ing. US Pat. No. 5,503,877 (Patent Document 6) discloses a complex compound containing a metal having at least one organic ligand, wherein the complex exists in the form of an oligomer or polymer. 2-amino-6-methylpyridine is used for ligand formation.

しかし、これらの先行技術文献では、建浴後液温を50℃に上げて2時間の熟成を行わなければならない、二種類以上の錯化剤を使用しなければならないなどの問題があった。また、2−アミノピリジンは毒性があるため使用が望ましくなく、さらに本発明者らの研究によれば、2−アミノメチルピリジンはアルカリ条件下ではパラジウムイオンとの錯形成能が弱いため、触媒浴をその使用温度(55℃)で数時間保持すると浴が分解し、工業的な使用場面において問題を生じ得ることが判明している。   However, in these prior art documents, there are problems such that the solution temperature after the bathing is increased to 50 ° C. and aging is performed for 2 hours, and two or more complexing agents must be used. Further, 2-aminopyridine is toxic and therefore undesirable to use. Further, according to the study of the present inventors, 2-aminomethylpyridine has a weak complexing ability with palladium ions under an alkaline condition, and therefore, a catalyst bath. It has been found that holding the water at its use temperature (55 ° C.) for several hours can cause the bath to decompose and cause problems in industrial use situations.

特開昭61−15983号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 61-15983 国際公開第2007/066460号International Publication No. 2007/066460 特開平1−195281号公報JP-A-1-195281 特開2007−138218号公報JP 2007-138218 A 米国特許第4248632号明細書US Pat. No. 4,248,632 米国特許第5503877号明細書US Pat. No. 5,503,877

したがって、本発明の目的は、毒性のある2−アミノピリジンを用いず、高温で熟成する必要がなく、また使用温度において浴が長時間安定な触媒を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a catalyst which does not use toxic 2-aminopyridine, does not need to be aged at high temperature, and has a stable bath for a long time at the use temperature.

本発明者らは、鋭意検討した結果、2−アミノエチルピリジンとパラジウムイオンを含有し、pHを8.5〜12の範囲とすることにより、無電解金属めっき皮膜を均一に析出させることができるだけでなく、触媒浴が高温でも長時間安定で、実用的な触媒液が得られることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、パラジウムイオンと2−アミノエチルピリジンの錯体を含有する触媒液であって、かつpHが8.5〜12である、無電解めっき用触媒液に関する。
As a result of intensive studies, the present inventors can only deposit an electroless metal plating film uniformly by containing 2-aminoethylpyridine and palladium ions and adjusting the pH to a range of 8.5 to 12. In addition, the present inventors have found that a practical catalyst solution can be obtained that is stable for a long time even when the catalyst bath is at a high temperature, and the present invention has been completed.
That is, this invention relates to the catalyst liquid for electroless plating which is a catalyst liquid containing the complex of palladium ion and 2-aminoethyl pyridine, and pH is 8.5-12.

また、本発明は、パラジウムイオンと2−アミノエチルピリジンを含むナノ粒子を含有する触媒液であって、かつpHが8.5〜12である、無電解めっき用触媒液に関する。
さらに本発明は、上記触媒液を用いて、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成する方法に関する。
The present invention also relates to a catalyst solution for electroless plating, which is a catalyst solution containing nanoparticles containing palladium ions and 2-aminoethylpyridine, and has a pH of 8.5-12.
Furthermore, this invention relates to the method of forming a plating film on the surface of a to-be-plated object using the said catalyst liquid.

実施例1の無電解銅めっき後のガラスエポキシ銅張積層板について、バックライト試験を行ったときのガラスクロスに被覆された銅の状態を示す写真である。It is a photograph which shows the state of the copper coat | covered with the glass cloth when the backlight test is done about the glass epoxy copper clad laminated board after the electroless copper plating of Example 1. FIG.

本明細書において、用語「触媒液」及び「触媒浴」は互いに交換可能に用いられ、「めっき液」及び「めっき浴」は互いに交換可能に用いられる。℃は摂氏度、g/Lはグラムパーリットル、mg/Lはミリグラムパーリットル、μmはマイクロメートルを意味する。また、パーセント(%)は本明細書に別段の記載がない限り重量%を意味する。   In the present specification, the terms “catalyst solution” and “catalyst bath” are used interchangeably, and “plating solution” and “plating bath” are used interchangeably. ° C means degrees Celsius, g / L means gram per liter, mg / L means milligram per liter, and μm means micrometer. Percentage (%) means% by weight unless otherwise specified herein.

本発明の無電解めっき用触媒液は、パラジウムイオン及び下記構造の2−アミノエチルピリジンを含有する。   The electroless plating catalyst solution of the present invention contains palladium ions and 2-aminoethylpyridine having the following structure.

Figure 2015048529
Figure 2015048529

パラジウムイオンは、水溶液中でパラジウムイオンを生成するパラジウム化合物を水に溶解することによって得ることができる。このようなパラジウム化合物の例としては、塩化パラジウム、フッ化パラジウム、臭化パラジウム、ヨウ化パラジウム、硝酸パラジウム、硫酸パラジウム、酸化パラジウム、硫化パラジウムなどが挙げられ、これらは1種または2種以上用いても良い。
パラジウムイオンの含有量は、触媒水溶液全体の量を基準として好ましくは0.05g/L以上、さらに好ましくは0.1g/L以上である。同時にパラジウムイオンの含有量は、触媒水溶液全体の量を基準として好ましくは1g/L以下、さらに好ましくは0.5g/L以下である。
Palladium ions can be obtained by dissolving a palladium compound that generates palladium ions in water in water. Examples of such palladium compounds include palladium chloride, palladium fluoride, palladium bromide, palladium iodide, palladium nitrate, palladium sulfate, palladium oxide, palladium sulfide and the like, and these are used alone or in combination. May be.
The content of palladium ions is preferably 0.05 g / L or more, more preferably 0.1 g / L or more, based on the total amount of the catalyst aqueous solution. At the same time, the content of palladium ions is preferably 1 g / L or less, more preferably 0.5 g / L or less, based on the total amount of the catalyst aqueous solution.

2−アミノエチルピリジンは、パラジウムイオンを安定化し、実用的なパラジウムイオン触媒としての使用を可能にするものである。本発明者らの研究によれば、2−アミノエチルピリジンの類似化合物である、2−アミノメチルピリジン、3−アミノメチルピリジン及び2−アミノ−3−メチルピリジンを用いた場合は、いずれも触媒浴が高温で安定せず分解するか、または得られた無電解めっき皮膜が均一ではなく、めっきされない箇所が生じる(スキップ・プレーティング)ことが判明した。理論に拘束されるものではないが、ピリジン環の2位に炭素数2の炭化水素鎖を介してアミノ基が存在することにより、ピリジン環の窒素原子とアミノ基の窒素原子がパラジウムとの錯形成に最適な距離に位置することができ、本発明で示されるような高温下でも長時間安定な触媒浴を得ることができるものと考えられる。   2-Aminoethylpyridine stabilizes palladium ions and enables use as a practical palladium ion catalyst. According to the study by the present inventors, when 2-aminomethylpyridine, 3-aminomethylpyridine and 2-amino-3-methylpyridine, which are similar compounds of 2-aminoethylpyridine, were used, all were catalysts. It has been found that the bath does not stabilize at high temperatures and decomposes, or the electroless plating film obtained is not uniform and some areas are not plated (skip plating). Without being bound by theory, the presence of an amino group at the 2-position of the pyridine ring via a hydrocarbon chain having 2 carbon atoms allows the nitrogen atom of the pyridine ring and the nitrogen atom of the amino group to be complexed with palladium. It can be positioned at an optimum distance for formation, and it is considered that a catalyst bath that is stable for a long time even at a high temperature as shown in the present invention can be obtained.

また、理論に拘束されるものではないが、本発明の触媒液においては、パラジウムイオンは2−アミノエチルピリジンによって安定化されたナノ粒子となり、触媒液中に安定的に存在するものと考えられる。このため、パラジウム−スズコロイド系触媒に比べて格段に小さい触媒粒子として基体表面に均一に吸着することができ、均一で密着性の高いめっき皮膜を得ることができるものと考えられる。   Further, although not limited by theory, in the catalyst solution of the present invention, palladium ions become nanoparticles stabilized by 2-aminoethylpyridine and are considered to exist stably in the catalyst solution. . For this reason, it is considered that the catalyst particles can be uniformly adsorbed on the substrate surface as catalyst particles that are much smaller than the palladium-tin colloidal catalyst, and a uniform and highly adhesive plating film can be obtained.

2−アミノエチルピリジンの含有量は、好ましくは0.05g/L以上、さらに好ましくは0.1g/L以上であり、また好ましくは1g/L以下、さらに好ましくは0.5g/L以下である。   The content of 2-aminoethylpyridine is preferably 0.05 g / L or more, more preferably 0.1 g / L or more, preferably 1 g / L or less, more preferably 0.5 g / L or less. .

パラジウムイオンの2−アミノエチルピリジンに対するモル比は、1.0:0.7〜1.0:1.5であることが好ましい。この範囲内とすることにより、得られる触媒液が高温でも長時間安定する。パラジウムイオンに対する2−アミノエチルピリジンのモル比が小さすぎると、パラジウムイオンがキレート化されずに析出し、触媒浴に沈殿が生じる。また、パラジウムイオンに対する2−アミノエチルピリジンのモル比が大きすぎると、触媒の基体表面への付着量が少なくなり、その後の無電解めっき析出に問題が生じる。なお、本発明では、触媒液を55℃で4時間維持した後も、触媒液に濁りや沈殿の見られないものを、高温で長時間安定であるとする。パラジウムイオンの2−アミノエチルピリジンに対するモル比は、得られる触媒水溶液のより一層の安定性の観点から、より好ましくは1.0:1.0〜1.0:1.2である。   The molar ratio of palladium ion to 2-aminoethylpyridine is preferably 1.0: 0.7 to 1.0: 1.5. By setting it within this range, the obtained catalyst solution is stable for a long time even at a high temperature. If the molar ratio of 2-aminoethylpyridine to palladium ions is too small, palladium ions are deposited without being chelated, and precipitation occurs in the catalyst bath. On the other hand, if the molar ratio of 2-aminoethylpyridine to palladium ions is too large, the amount of catalyst adhering to the substrate surface is reduced, causing problems in subsequent electroless plating deposition. In the present invention, even if the catalyst solution is maintained at 55 ° C. for 4 hours, the catalyst solution in which no turbidity or precipitation is observed is assumed to be stable at a high temperature for a long time. The molar ratio of palladium ion to 2-aminoethylpyridine is more preferably 1.0: 1.0 to 1.0: 1.2 from the viewpoint of further stability of the resulting aqueous catalyst solution.

本発明の触媒液に含まれる触媒粒子は好ましくはナノ粒子である。ナノ粒子はその直径が好ましくは1〜100ナノメートル、より好ましくは1〜50ナノメートル、さらに好ましくは1〜10ナノメートルである。   The catalyst particles contained in the catalyst solution of the present invention are preferably nanoparticles. The diameter of the nanoparticles is preferably 1 to 100 nanometers, more preferably 1 to 50 nanometers, and even more preferably 1 to 10 nanometers.

本発明の触媒水溶液は、そのpHが8.5以上であり、好ましくは10以上である。また、pHは12以下である。pHは公知のpH調整剤で目的の値に調整することができる。通常パラジウム化合物を水に溶解する際は酸性条件下で行われることから、得られたパラジウムイオンと2−アミノエチルピリジンを含有する水溶液にアルカリ水溶液を加えることによって、pHを上記範囲に調整する。アルカリ水溶液としては、特に制限はないが、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウムなどを用いることができる。   The aqueous catalyst solution of the present invention has a pH of 8.5 or higher, preferably 10 or higher. Moreover, pH is 12 or less. The pH can be adjusted to a desired value with a known pH adjusting agent. Since the palladium compound is usually dissolved in water under acidic conditions, the pH is adjusted to the above range by adding an alkaline aqueous solution to the obtained aqueous solution containing palladium ions and 2-aminoethylpyridine. The alkaline aqueous solution is not particularly limited, and sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate and the like can be used.

本発明の触媒水溶液は、例えば、塩化パラジウムを塩酸に添加し、塩化パラジウムが完全に溶解するまで溶液を撹拌し、2−アミノエチルピリジンを添加した後規定量まで水を加え、さらに水酸化ナトリウム水溶液でpHを目的の値に調整することによって調製することができる。   The catalyst aqueous solution of the present invention is prepared, for example, by adding palladium chloride to hydrochloric acid, stirring the solution until the palladium chloride is completely dissolved, adding 2-aminoethylpyridine, adding water to a specified amount, and further adding sodium hydroxide. It can be prepared by adjusting the pH to the desired value with an aqueous solution.

本発明の触媒水溶液を用いて非導電性基体に無電解金属めっきを行う際には、以下のプロセスに従って行うことができる。例として、無電解銅めっきを行う場合について述べる。まず、酸またはアルカリ溶液などで洗浄することによって基体の脱脂を行い、脱イオン水で洗浄した後、公知のエッチング液でマイクロエッチを行う。続いて脱イオン水洗浄、酸洗浄、脱イオン水洗浄を行った後、本発明の触媒水溶液を用いて基体表面に触媒を付与する。触媒付与は、20〜60℃に調整した触媒水溶液に基体を2〜5分間接触させることにより行う。続いて基体を脱イオン水で洗浄し、還元剤溶液に接触させる。還元剤は、次亜リン酸ナトリウム、ホルムアルデヒド、塩化第一錫、ジメチルアミンボラン、水素化アルミニウムリチウム、水素化ホウ素リチウム、水素化ホウ素ナトリウム等を使用することができる。還元剤溶液中の還元剤の含有量は、用いる還元剤の種類によって異なるが、例えば次亜リン酸ナトリウムを用いる場合は、20g/L〜100g/Lである。その後、脱イオン水で洗浄し、無電解銅めっきを行う。無電解銅めっきに際しては、キューポジット(CUPOSIT)TM 328(ローム・アンド・ハース電子材料(株)製)などの公知の無電解銅めっき液を用いることができる。 When electroless metal plating is performed on a non-conductive substrate using the aqueous catalyst solution of the present invention, it can be performed according to the following process. As an example, the case where electroless copper plating is performed will be described. First, the substrate is degreased by washing with an acid or alkali solution, washed with deionized water, and then microetched with a known etching solution. Subsequently, after performing deionized water cleaning, acid cleaning, and deionized water cleaning, a catalyst is applied to the substrate surface using the aqueous catalyst solution of the present invention. The catalyst is applied by bringing the substrate into contact with an aqueous catalyst solution adjusted to 20 to 60 ° C. for 2 to 5 minutes. Subsequently, the substrate is washed with deionized water and brought into contact with the reducing agent solution. As the reducing agent, sodium hypophosphite, formaldehyde, stannous chloride, dimethylamine borane, lithium aluminum hydride, lithium borohydride, sodium borohydride and the like can be used. Although content of the reducing agent in a reducing agent solution changes with kinds of reducing agent to be used, when using sodium hypophosphite, for example, they are 20 g / L-100 g / L. Then, it wash | cleans with deionized water and performs electroless copper plating. In the electroless copper plating, a known electroless copper plating solution such as CUPOSIT 328 (manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.) can be used.

被めっき物である非導電性基体としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、またはこれらの組み合わせを用いた樹脂基体が挙げられる。樹脂基体に用いる樹脂としては、これらに限定されないが、アセタール樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ABS、ビスマレイミド・トリアジン樹脂、ポリイミド、これらの混合物などが挙げられる。本発明に用いる非導電性基体は樹脂基体に限定されず、例えばガラス、セラミック、磁器、樹脂、紙、布、これらの組み合わせなどの無機及び有機物質をはじめとする材料を用いた基体であってもよい。金属−クラッド材料または非クラッド材料を用いた基体も、本発明の触媒液を用いて金属めっきし得る基体である。   Examples of the non-conductive substrate to be plated include a resin substrate using a thermosetting resin, a thermoplastic resin, or a combination thereof. The resin used for the resin substrate is not limited to these, but acetal resin, acrylic resin, cellulose resin, epoxy resin, polyimide resin, phenol resin, cyanate resin, ABS, bismaleimide / triazine resin, polyimide, and mixtures thereof Etc. The non-conductive substrate used in the present invention is not limited to a resin substrate, for example, a substrate using materials including inorganic and organic substances such as glass, ceramic, porcelain, resin, paper, cloth, and combinations thereof. Also good. A substrate using a metal-clad material or an unclad material is also a substrate that can be metal-plated using the catalyst solution of the present invention.

基体にはプリント回路板も挙げられる。このようなプリント回路板には、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂およびこれらの組み合わせが含まれ、樹脂とガラス繊維のような繊維との混合物も含まれる。用いることのできる樹脂の具体例としては上記樹脂が挙げられるが、これらに限定されない。   Examples of the substrate include a printed circuit board. Such printed circuit boards include thermosetting resins, thermoplastic resins, and combinations thereof, including mixtures of resins and fibers such as glass fibers. Specific examples of resins that can be used include, but are not limited to, the above resins.

以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、これらの実施例は本発明の範囲を限定するものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated based on an Example, these Examples do not limit the scope of the present invention.

ガラスエポキシ樹脂基板であるFR−4基板(MCL−E67、厚さ1.6mm、日立化成(株)製)をテスト基板として用い、下記表1のプロセスに従って処理した。   An FR-4 substrate (MCL-E67, thickness 1.6 mm, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is a glass epoxy resin substrate, was used as a test substrate and processed according to the process shown in Table 1 below.

Figure 2015048529
Figure 2015048529

実施例1
0.3gの塩化パラジウム粉を6mLの塩酸に添加し、塩化パラジウム粉が完全に溶解するまで約3時間撹拌した。その後、0.22gの2−アミノエチルピリジンを添加し、さらに10分間撹拌した後、脱イオン水で1リットルまでメスアップした。続いて水酸化ナトリウム水溶液を用いてpHを12に調整し、触媒液とした。
Example 1
0.3 g of palladium chloride powder was added to 6 mL of hydrochloric acid and stirred for about 3 hours until the palladium chloride powder was completely dissolved. Thereafter, 0.22 g of 2-aminoethylpyridine was added, and the mixture was further stirred for 10 minutes, and then diluted to 1 liter with deionized water. Subsequently, the pH was adjusted to 12 using an aqueous sodium hydroxide solution to obtain a catalyst solution.

上記表1のプロセスに従って無電解銅めっきを行った後の析出状態を、目視にて確認したところ、綺麗な明るい銅色の均一析出皮膜が確認された。また、蛍光エックス線膜厚器(SEIKO SFT9450XRF)で膜厚を測定したところ、0.45μmであった。スルーホールを形成したガラスエポキシ銅張積層板R−1705(FR−4、厚さ1.6mm、スルーホール直径0.9mm)で同様の処理を行い、バックライト試験を行ったところ、ガラスクロスは均一に被覆されていた(図1)。   When the deposition state after performing electroless copper plating according to the process of Table 1 was visually confirmed, a beautiful bright copper-colored uniform deposition film was confirmed. Moreover, it was 0.45 micrometer when the film thickness was measured with the fluorescent X-ray film thickness apparatus (SEIKO SFT9450XRF). A glass epoxy copper-clad laminate R-1705 (FR-4, thickness 1.6 mm, through-hole diameter 0.9 mm) with through-holes was subjected to the same treatment and a backlight test was conducted. It was uniformly coated (FIG. 1).

実施例2〜8、比較例1〜19
実施例1の2−アミノエチルピリジンの代わりに表2〜8に示す化合物を用い、またpHを表2〜8に示す値に調整した他は実施例1と同様の操作を行った。また、実施例7,8及び比較例16〜19は、処理プロセスの還元剤として1g/Lジメチルアミノボランの代わりに50g/L次亜リン酸ナトリウムを用いた。得られた結果を表2〜8に示す。
Examples 2-8, Comparative Examples 1-19
The same operation as in Example 1 was performed except that the compounds shown in Tables 2 to 8 were used instead of 2-aminoethylpyridine of Example 1 and the pH was adjusted to the values shown in Tables 2 to 8. In Examples 7 and 8 and Comparative Examples 16 to 19, 50 g / L sodium hypophosphite was used instead of 1 g / L dimethylaminoborane as a reducing agent in the treatment process. The obtained results are shown in Tables 2-8.

Figure 2015048529
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比較例1〜3で用いた2−アミノ−5−クロロピリジンの構造

Figure 2015048529
Structure of 2-amino-5-chloropyridine used in Comparative Examples 1-3
Figure 2015048529

比較例4で用いた2−アミノメチルピリジンの構造

Figure 2015048529
Structure of 2-aminomethylpyridine used in Comparative Example 4
Figure 2015048529

比較例5で用いた3−アミノメチルピリジンの構造

Figure 2015048529
Structure of 3-aminomethylpyridine used in Comparative Example 5
Figure 2015048529

比較例6で用いたスルファセタミドの構造

Figure 2015048529
Structure of sulfacetamide used in Comparative Example 6
Figure 2015048529

比較例7で用いたヒダントインの構造

Figure 2015048529
Hydantoin structure used in Comparative Example 7
Figure 2015048529

比較例8で用いたピコリンの構造

Figure 2015048529
Structure of picoline used in Comparative Example 8
Figure 2015048529

比較例9で用いたニコチン酸の構造

Figure 2015048529
Structure of nicotinic acid used in Comparative Example 9
Figure 2015048529

比較例10で用いた1,3−ジ(4−ピリジル)プロパンの構造

Figure 2015048529
Structure of 1,3-di (4-pyridyl) propane used in Comparative Example 10
Figure 2015048529

比較例11で用いたヘキサメチレンジアミンの構造

Figure 2015048529
Structure of hexamethylenediamine used in Comparative Example 11
Figure 2015048529

比較例12〜13、及び16〜17で用いた2−アミノ−3−メチルピリジンの構造

Figure 2015048529
Structure of 2-amino-3-methylpyridine used in Comparative Examples 12-13 and 16-17
Figure 2015048529

比較例14〜15、及び18〜19で用いた2−アミノ−6−メチルピリジンの構造

Figure 2015048529
Structure of 2-amino-6-methylpyridine used in Comparative Examples 14-15 and 18-19
Figure 2015048529

Claims (6)

パラジウムイオンと2−アミノエチルピリジンの錯体を含有し、かつpHが8.5〜12である、無電解めっき用触媒液。   A catalyst solution for electroless plating containing a complex of palladium ion and 2-aminoethylpyridine and having a pH of 8.5-12. パラジウムイオンと2−アミノエチルピリジンを含むナノ粒子を含有し、かつpHが8.5〜12である、無電解めっき用触媒液。   A catalyst solution for electroless plating, containing nanoparticles containing palladium ions and 2-aminoethylpyridine, and having a pH of 8.5-12. パラジウムイオンの2−アミノエチルピリジンに対するモル比が1.0:0.7〜1.0:1.5である、請求項1または2に記載の無電解めっき用触媒液。   The catalyst solution for electroless plating according to claim 1 or 2, wherein the molar ratio of palladium ion to 2-aminoethylpyridine is 1.0: 0.7 to 1.0: 1.5. pHが10〜12である、請求項1〜3のいずれかに記載の無電解めっき用触媒液。   The catalyst solution for electroless plating according to any one of claims 1 to 3, wherein the pH is 10 to 12. 55℃で4時間加熱後に沈殿が生じない、請求項1〜4のいずれかに記載の無電解めっき用触媒液。   The catalyst solution for electroless plating according to any one of claims 1 to 4, wherein no precipitation occurs after heating at 55 ° C for 4 hours. 請求項1〜5のいずれかに記載の無電解めっき用触媒液を用いて、非導電性基体に無電解めっきを行う方法。     A method for performing electroless plating on a non-conductive substrate using the electroless plating catalyst solution according to claim 1.
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