JP2015040517A - Diaphragm breakage detection device in hydraulic type diaphragm pump - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a diaphragm breakage detection device in a hydraulic type diaphragm pump capable of surely detecting breakage of a diaphragm.SOLUTION: A diaphragm is energized to a backward movement side by energizing means, working fluid in a working fluid chamber is pressurized to a prescribed pressure so as to push back the diaphragm energized to the backward movement side by the energizing means to an initial position set in advance, and breakage of the diaphragm is detected based on a detection signal when decrease of the working fluid for the prescribed amount or more is detected by working fluid amount detecting means 20.

Description

本発明は、搬送流体を吸引して吐出する油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置に関する。   The present invention relates to a diaphragm breakage detection device in a hydraulic diaphragm pump that sucks and discharges a transport fluid.

上記油圧式ダイヤフラムポンプにおいては、ダイヤフラムで搬送流体室と作動流体室とが隔絶されており、例えばピストン部の復動により、作動流体室側が減圧されることによりダイヤフラムが復動側である作動流体室側へ変形する。これにより、搬送流体が吸引口を通して搬送流体室内へ吸引される。この搬送流体の吸引後、前記とは反対にピストン部の往動により、作動流体室側が加圧されることによりダイヤフラムが往動側である搬送流体側へ変形する。これにより、吸引された搬送流体が搬送流体室から吐出口を通して排出される。   In the above-mentioned hydraulic diaphragm pump, the transfer fluid chamber and the working fluid chamber are isolated from each other by the diaphragm. For example, the working fluid chamber side is depressurized by the backward movement of the piston portion, so that the working fluid has the diaphragm on the returning side. Deforms to the room side. Thereby, the carrier fluid is sucked into the carrier fluid chamber through the suction port. After the suction of the transport fluid, the diaphragm is deformed to the transport fluid side, which is the forward movement side, by pressurizing the working fluid chamber side by the forward movement of the piston portion. As a result, the sucked carrier fluid is discharged from the carrier fluid chamber through the discharge port.

ところで、ダイヤフラムは、製品不良や経年劣化等により破損してしまうことがある。その破損を検出するための破損検出装置が既に提案されている。この破損検出装置は、作動流体を貯留するための補給室であるメインタンクと、このメインタンク内の作動流体の一部を取り出して油面変位を検出するためのサブタンクと、サブタンクの油面に浮かぶ浮動体と、浮動体の過剰下降を検出するための検出スイッチとを設けて構成されている(例えば特許文献1参照)。   By the way, the diaphragm may be damaged due to defective products or aging. A breakage detection device for detecting the breakage has already been proposed. This damage detection device includes a main tank that is a replenishment chamber for storing working fluid, a sub tank for taking out a part of the working fluid in the main tank and detecting oil level displacement, and an oil level of the sub tank. A floating body that floats and a detection switch for detecting excessive descent of the floating body are provided (see, for example, Patent Document 1).

実開昭61−123893号公報(図1、図2参照)Japanese Utility Model Publication No. 61-123893 (see FIGS. 1 and 2)

しかしながら、上記特許文献1の破損検出装置では、事実上(実際上)ダイヤフラムが破損したことを検出することができない。その理由について説明する。まず、搬送流体を吸引するために前述のように作動流体室側が減圧される。すると、破損しているダイヤフラムは変形しないが、減圧によって搬送流体が吸引口を通して搬送流体室内へ吸引される。吸引した搬送流体の一部が、ダイヤフラムの破損部分を通して作動流体室側へも流れ込む。この流れ込んだ搬送流体は、作動流体室内の作動流体と混じった状態になる。続いて、作動流体室が加圧されると、破損しているダイヤフラムは変形しないが、混じった状態の流体の所定量がダイヤフラムの破損部分を通して搬送流体室側へ流れ込み、排出口から排出される。このように吸引時には、搬送流体がダイヤフラムの破損部分を介して搬送流体室から作動流体室へ流れ込み、吐出時には、混じった状態の流体が作動流体室から搬送流体室へ流れ込むため、作動流体室内の流体の量が減り続けたり、増え続けたりすることがなく、メインタンク内の流体量に変化がない。従って、サブタンクの油面は、ほぼ変化しない。このため、浮動体の過剰下降を検出することができない。そして、作動流体が混じった汚染された搬送流体を搬送し続けるという不都合を発生することになる。   However, the damage detection device of Patent Document 1 cannot detect that the diaphragm is practically (in fact) damaged. The reason will be described. First, the working fluid chamber side is depressurized as described above in order to suck the carrier fluid. Then, although the damaged diaphragm is not deformed, the carrier fluid is sucked into the carrier fluid chamber through the suction port by decompression. Part of the sucked carrier fluid flows into the working fluid chamber side through the damaged portion of the diaphragm. The flowing carrier fluid is mixed with the working fluid in the working fluid chamber. Subsequently, when the working fluid chamber is pressurized, the damaged diaphragm is not deformed, but a predetermined amount of mixed fluid flows into the conveying fluid chamber through the damaged portion of the diaphragm and is discharged from the discharge port. . Thus, during suction, the transport fluid flows from the transport fluid chamber to the working fluid chamber through the damaged portion of the diaphragm, and during discharge, the mixed fluid flows from the working fluid chamber to the transport fluid chamber. The amount of fluid does not continue to decrease or increase, and there is no change in the amount of fluid in the main tank. Therefore, the oil level of the sub tank is not substantially changed. For this reason, it is not possible to detect an excessive descent of the floating body. And the problem of continuing conveying the contaminated carrier fluid mixed with the working fluid occurs.

本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、ダイヤフラムが破損したことを確実に検出することができる油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置を提供する。   In view of the above-described circumstances, the present invention provides a diaphragm breakage detection device in a hydraulic diaphragm pump that can reliably detect that a diaphragm is broken.

本発明の油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置は、前述の課題解決のために、ダイヤフラムの初期位置を基準とする往復動により搬送流体を吸引して吐出するための搬送流体室と、該搬送流体室に対してダイヤフラムで隔絶され、かつ、前記ダイヤフラムを往動側となる搬送流体室側へ変形させるための作動流体が供給される作動流体室と、該作動流体室へ供給するための作動流体が貯留されるメインタンクと、該メインタンク内の作動流体を前記作動流体室へ供給する供給状態と前記メインタンク側へ戻す戻し状態とを現出するための往復動可能なピストン部と、前記メインタンク内の作動流体の一部を取り出して該作動流体の増減を検出すべく前記メインタンクに接続されるサブタンクと、該サブタンク内の作動流体の増減を検出する作動流体量検出手段とを備えた油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置であって、前記ダイヤフラムは、復動側となる作動流体室側に付勢手段により付勢され、該付勢手段により復動側に付勢されたダイヤフラムを前記初期位置で釣り合うように作動流体室内の作動流体の圧力が設定されており、前記作動流体量検出手段から所定量以上の作動流体の減少を検出したときの検出信号に基づいて、前記ダイヤフラムが破損していることを検出することを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, a diaphragm breakage detecting device for a hydraulic diaphragm pump according to the present invention includes a carrier fluid chamber for sucking and discharging a carrier fluid by reciprocating motion based on the initial position of the diaphragm, A working fluid chamber that is isolated from the carrier fluid chamber by a diaphragm and that is supplied with a working fluid for deforming the diaphragm to the carrier fluid chamber side on the forward movement side, and for supplying the working fluid chamber to the working fluid chamber A main tank in which the working fluid is stored, and a reciprocating piston portion for revealing a supply state in which the working fluid in the main tank is supplied to the working fluid chamber and a return state in which the working fluid is returned to the main tank side A sub-tank connected to the main tank to detect a change in the working fluid by taking out a part of the working fluid in the main tank, and an operation in the sub-tank. A diaphragm breakage detecting device in a hydraulic diaphragm pump having a working fluid amount detecting means for detecting an increase / decrease of fluid, wherein the diaphragm is biased by a biasing means to a working fluid chamber side which is a return side. The pressure of the working fluid in the working fluid chamber is set so that the diaphragm urged to the backward movement side by the urging means is balanced at the initial position, and the working fluid more than a predetermined amount from the working fluid amount detecting means. It is characterized in that it is detected that the diaphragm is damaged based on a detection signal when a decrease in the frequency is detected.

かかる構成によれば、例えばピストン部を復動させることによって作動流体室側を減圧して搬送流体を吸引する時に、ダイヤフラムが破損すると、ダイヤフラムが付勢手段により復動側に位置する。これと同時に、ダイヤフラムを初期位置で釣り合うように圧力が高められた作動流体室内の作動流体、つまり搬送流体よりも高い圧力の作動流体が、メインタンクからダイヤフラムが破損した部分を通して搬送流体室側へ流れ込む。この高い圧力の作動流体の流れ込みによって、吸引口から所定量の搬送流体を搬送流体室内に吸引することができない。前記減圧した後、作動流体室を加圧して搬送流体を排出する時には、加圧された分に対応する所定量の流体が搬送流体室から排出口を通して排出される。このため、搬送流体を吸引する度にメインタンク内の作動流体が搬送流体室側へ流れ込むため、メインタンク内の作動流体は搬送流体を排出する動作を行う度に減少する。これに連動してサブタンク内の作動流体も同様に減少する。そのサブタンク内の減少量が所定量以上になったことを作動流体量検出手段により検出することによって、ダイヤフラムが破損したことを確実に検出することができる。   According to this configuration, for example, when the diaphragm is damaged when the working fluid chamber side is decompressed by sucking back the piston portion and the carrier fluid is sucked, the diaphragm is positioned on the return side by the biasing means. At the same time, the working fluid in the working fluid chamber whose pressure is increased so that the diaphragm is balanced at the initial position, that is, the working fluid having a pressure higher than that of the conveying fluid, is transferred from the main tank to the conveying fluid chamber side through the damaged portion of the diaphragm. Flows in. Due to the flow of the high-pressure working fluid, a predetermined amount of the transport fluid cannot be sucked into the transport fluid chamber from the suction port. When the working fluid chamber is pressurized and the transport fluid is discharged after the decompression, a predetermined amount of fluid corresponding to the pressurized portion is discharged from the transport fluid chamber through the discharge port. For this reason, since the working fluid in the main tank flows into the carrier fluid chamber each time the carrier fluid is sucked, the working fluid in the main tank decreases each time the carrier fluid is discharged. In conjunction with this, the working fluid in the sub-tank also decreases. By detecting that the amount of decrease in the sub-tank has become a predetermined amount or more by the working fluid amount detecting means, it is possible to reliably detect that the diaphragm is broken.

また、本発明の油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置は、前記ダイヤフラムが破損した場合には、該ダイヤフラムが、前記付勢手段により作動流体室側に移動した状態に維持され、前記ピストン部がメインタンク側へ戻す戻し状態において該ダイヤフラムの破損箇所を通して前記メインタンクから搬送流体室側へ作動流体が流れ込み、前記ピストン部が作動流体を前記作動流体室へ供給する供給状態において搬送流体室側へ流れ込んだ作動流体が搬送流体として吐出される構成であってもよい。   Further, the diaphragm breakage detecting device in the hydraulic diaphragm pump of the present invention is such that, when the diaphragm is broken, the diaphragm is maintained in a state of being moved to the working fluid chamber side by the biasing means, and the piston portion In the return state to the main tank side, the working fluid flows from the main tank to the carrier fluid chamber side through the damaged portion of the diaphragm, and in the supply state in which the piston portion supplies the working fluid to the working fluid chamber side A configuration may be employed in which the working fluid that has flowed into is discharged as a carrier fluid.

上記構成によれば、ダイヤフラムが破損した場合には、ピストン部を往復動して搬送流体を吸引して吐出する度に、搬送流体を吸引することができず、メインタンクから搬送流体室側へ作動流体が流れ込んだ作動流体を吐出することになり、ピストン部を往復動する度にメインタンク内の作動流体が減ることになる。   According to the above configuration, when the diaphragm is broken, the transport fluid cannot be sucked every time the transport fluid is sucked and discharged by reciprocating the piston portion, and the main tank is moved to the transport fluid chamber side. The working fluid into which the working fluid has flowed is discharged, and the working fluid in the main tank is reduced each time the piston part reciprocates.

本発明によれば、ダイヤフラムを復動側に付勢するための付勢手段を設けることによって、ダイヤフラムを初期位置で釣り合うように作動流体室内の作動流体の圧力を設定する構成となる。このため、ダイヤフラムが破損すると、搬送流体が排出される度にメインタンク内の作動流体が補給されて排出されることになって、サブタンク内の作動流体が減少していく。この減少量を作動流体量検出手段により検出することによって、ダイヤフラムが破損したことを確実に検出することができる。   According to the present invention, the pressure of the working fluid in the working fluid chamber is set so as to balance the diaphragm at the initial position by providing the urging means for urging the diaphragm to the backward movement side. For this reason, when the diaphragm is damaged, the working fluid in the main tank is replenished and discharged every time the transport fluid is discharged, and the working fluid in the sub tank decreases. By detecting this reduction amount by the working fluid amount detection means, it is possible to reliably detect that the diaphragm is broken.

油圧式ダイヤフラムポンプの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a hydraulic diaphragm pump. 油圧式ダイヤフラムポンプの要部の断面図を示し、(a)は搬送流体を吸引している状態を示し、(b)は搬送流体を排出している状態を示している。Sectional drawing of the principal part of a hydraulic diaphragm pump is shown, (a) shows the state which is attracting | sucking carrier fluid, (b) has shown the state which has discharged | emitted carrier fluid. ダイヤフラムが破損して作動流体室内の作動流体が搬送流体室内の搬送流体に流れ込んでいる状態を示す油圧式ダイヤフラムポンプの要部の断面図である。It is sectional drawing of the principal part of the hydraulic diaphragm pump which shows the state in which the diaphragm is damaged and the working fluid in the working fluid chamber flows into the carrying fluid in the carrying fluid chamber. 油圧式ダイヤフラムポンプの正面図である。It is a front view of a hydraulic diaphragm pump. 油圧式ダイヤフラムポンプの側面図である。It is a side view of a hydraulic diaphragm pump. サブタンクの正面図である。It is a front view of a sub tank.

以下、油圧式ダイヤフラムポンプを、図面に基づいて説明する。   Hereinafter, a hydraulic diaphragm pump will be described with reference to the drawings.

図1に、油圧式ダイヤフラムポンプの概略断面図を示している。油圧式ダイヤフラムポンプは、脈動防止のために2つの流体搬送部1,1を備えているが、流体を搬送するタイミングが異なるだけで、その構成は同様であるため、一方の流体搬送部1についてのみ説明する。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a hydraulic diaphragm pump. The hydraulic diaphragm pump includes two fluid transfer units 1 and 1 for preventing pulsation, but the configuration is the same except that the timing of transferring the fluid is different. Only explained.

図2(a),(b)に示すように、一方(右側)の流体搬送部1は、ダイヤフラム2と、ポンプヘッド(他方(左側)の流体搬送部1と共通のもの)3と、このポンプヘッド3と共にダイヤフラム2を挟んだ状態で支持する作動流体供給部4と、この作動流体供給部4の上部に設けられたガス排出機構5とを備えている。前記作動流体供給部4とポンプヘッド3とを合わせることによって、1つの空間を形成し、その空間に往復動自在なダイヤフラム2を配置することによって、搬送流体室6と、作動流体室7とに区画される。搬送流体室6は、ダイヤフラム2の往復動により搬送流体を吸引して吐出するための部屋であり、作動流体室7は、搬送流体室6に対してダイヤフラム2で隔絶され、かつ、ダイヤフラム2を往動側となる搬送流体室側へ変形させるための作動流体が供給される部屋である。   As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), one (right side) fluid conveyance unit 1 includes a diaphragm 2, a pump head (common to the other (left side) fluid conveyance unit 1) 3, A working fluid supply unit 4 that supports the pump 2 with the diaphragm 2 sandwiched between the pump head 3 and a gas discharge mechanism 5 provided above the working fluid supply unit 4 is provided. By combining the working fluid supply unit 4 and the pump head 3, one space is formed, and the diaphragm 2 that can reciprocate is disposed in the space, so that the carrier fluid chamber 6 and the working fluid chamber 7 are arranged. Partitioned. The carrier fluid chamber 6 is a chamber for sucking and discharging the carrier fluid by the reciprocating motion of the diaphragm 2, and the working fluid chamber 7 is isolated from the carrier fluid chamber 6 by the diaphragm 2, and the diaphragm 2 is This is a room in which a working fluid is supplied to be deformed to the transport fluid chamber side which is the forward movement side.

作動流体供給部4内には、ダイヤフラム2の作動流体室7側に連結された棒状部材としてのロッドR及びこのロッドRに取り付けられた弁体8を収容するための作動流体制限室10が形成されている。作動流体制限室10には、弁体8に対応するように弁座9が形成されている。   In the working fluid supply unit 4, there is formed a working fluid restriction chamber 10 for accommodating a rod R as a rod-like member connected to the working fluid chamber 7 side of the diaphragm 2 and a valve body 8 attached to the rod R. Has been. A valve seat 9 is formed in the working fluid restriction chamber 10 so as to correspond to the valve body 8.

ガス排出機構5は、作動流体室7及び作動流体制限室10内の作動流体に混入したガス(例えば空気)を適切に排出するために設けられている。   The gas discharge mechanism 5 is provided to appropriately discharge gas (for example, air) mixed in the working fluid in the working fluid chamber 7 and the working fluid restriction chamber 10.

ポンプヘッド3には、搬送流体を吸引するための吸引側逆止弁11及び吸引した搬送流体を排出するための排出側逆止弁12が設けられている。これらの逆止弁(左側の流体搬送部1の逆止弁は右側の流体搬送部1の逆止弁の後側にあるため、見えていない)11,12は、それぞれ吸引経路13及び排出経路14を介して搬送流体室6に連通されている。図示していないが、吸引側逆止弁11には、搬送流体を供給するための供給管が接続され、排出側逆止弁12には、搬送流体室6内の搬送流体を受け取って所定位置まで搬送するための排出管が接続される。   The pump head 3 is provided with a suction side check valve 11 for sucking the transport fluid and a discharge side check valve 12 for discharging the sucked transport fluid. These check valves (not shown because the check valve of the left fluid transport unit 1 is behind the check valve of the right fluid transport unit 1) 11 and 12 are respectively a suction path 13 and a discharge path 14 is communicated with the transfer fluid chamber 6 via 14. Although not shown, the suction side check valve 11 is connected to a supply pipe for supplying a carrier fluid, and the discharge side check valve 12 receives the carrier fluid in the carrier fluid chamber 6 to receive a predetermined position. A discharge pipe for transporting up to is connected.

また、油圧式ダイヤフラムポンプは、図1に示すように、ダイヤフラム2,2を往復動させるために適切なタイミングで作動流体を作動流体室7,7へ供給する駆動力供給部15と、この駆動力供給部15を構成する偏心カム16を駆動させる駆動部17とを備えている。   Further, as shown in FIG. 1, the hydraulic diaphragm pump includes a driving force supply unit 15 that supplies the working fluid to the working fluid chambers 7 and 7 at an appropriate timing for reciprocating the diaphragms 2 and 2, and this drive And a drive unit 17 that drives an eccentric cam 16 constituting the force supply unit 15.

図1、図4〜図6に示すように、作動流体室7,7へ供給するための作動流体は、メインタンク18に貯留されている。このメインタンク18内の作動流体の一部を取り出して作動流体の増減を検出すべくメインタンク18にサブタンク19が接続されている。このサブタンク19には、サブタンク19内の作動流体の増減を検出する作動流体量検出手段20が設けられている。サブタンク19の内径は、メインタンク18の内径に比べて非常に小さく構成され、作動流体の多少の増減量でサブタンク19内の液面が大きく変化するようになっている。   As shown in FIGS. 1 and 4 to 6, the working fluid to be supplied to the working fluid chambers 7 and 7 is stored in the main tank 18. A sub tank 19 is connected to the main tank 18 in order to take out a part of the working fluid in the main tank 18 and detect increase / decrease in the working fluid. The sub-tank 19 is provided with a working fluid amount detection means 20 that detects increase / decrease of the working fluid in the sub-tank 19. The inner diameter of the sub tank 19 is very small compared to the inner diameter of the main tank 18, and the liquid level in the sub tank 19 changes greatly with a slight increase / decrease amount of the working fluid.

駆動部17は、回転運動を発生させる電動モータ21と、この電動モータ21からの回転力を駆動力伝達軸22に伝えるためのギヤ部23とを備えている。   The drive unit 17 includes an electric motor 21 that generates a rotational motion, and a gear unit 23 that transmits the rotational force from the electric motor 21 to the drive force transmission shaft 22.

駆動力供給部15は、前述した電動モータ21からの回転力が伝達される前記駆動力伝達軸22と、この駆動力伝達軸22に取り付けられた前記偏心カム16と、この偏心カム16の動きに応じて往復動するピストン部24,25と、一方の第1ピストン部24内のベアリング26の内輪で支持される第1回動軸27と、他方の第2ピストン部25内のベアリング28の内輪で支持される第2回動軸29と、第2ピストン部25内にて第1ピストン部24と第2ピストン部25とを適切に付勢して、各ピストン部24,25内に設けられている各回動軸27,29を偏心カム16に接触させるべく機能する付勢手段としてのコイルスプリング(図示せず)と、これらの各要素を内包している前記メインタンク18であるケーシング部を備えている。   The drive force supply unit 15 includes the drive force transmission shaft 22 to which the rotational force from the electric motor 21 described above is transmitted, the eccentric cam 16 attached to the drive force transmission shaft 22, and the movement of the eccentric cam 16. Of the piston portions 24 and 25 that reciprocate in response to the first rotation shaft 27 supported by the inner ring of the bearing 26 in the first piston portion 24 and the bearing 28 in the other second piston portion 25. Provided in each piston part 24, 25 by appropriately energizing the first piston part 24 and the second piston part 25 in the second rotating shaft 29 supported by the inner ring and in the second piston part 25. A coil spring (not shown) as an urging means that functions to bring the rotating shafts 27 and 29 into contact with the eccentric cam 16, and a casing portion that is the main tank 18 containing these elements. With That.

そして、駆動力供給部15においては、ケーシング部18の内壁とピストン部24,25との間に発生する密閉空間に、作動流体が充填されている。そして、ピストン部24,25の往復動によって、後述するメインタンク18内の作動流体を作動流体室7,7へ供給する供給状態とメインタンク18側へ戻す戻し状態とを現出することができる。   In the driving force supply unit 15, the working fluid is filled in a sealed space generated between the inner wall of the casing unit 18 and the piston units 24 and 25. The reciprocating motion of the piston portions 24 and 25 can reveal a supply state in which a working fluid in the main tank 18 described later is supplied to the working fluid chambers 7 and 7 and a return state in which the working fluid is returned to the main tank 18 side. .

また、図1及び図4に示すように、ケーシング部18の左右両端には、蓋体30,31が設けられている。これら蓋体30,31には、後述する各配管部32,33に連通すべく、作動流体の供給口(第1供給口30A及び第2供給口31A)が形成されている。そして、メインタンク(ケーシング部)18内の作動流体が、各ピストン部24,25の端部から、供給口30A,31A、配管部32,33を介して、各ダイヤフラム2,2に至るまでの間に形成される空間内に充填されている。   Moreover, as shown in FIG.1 and FIG.4, the cover bodies 30 and 31 are provided in the left-right both ends of the casing part 18. As shown in FIG. The lids 30 and 31 are provided with working fluid supply ports (a first supply port 30A and a second supply port 31A) so as to communicate with respective piping portions 32 and 33, which will be described later. The working fluid in the main tank (casing part) 18 reaches the diaphragms 2 and 2 from the end parts of the piston parts 24 and 25 through the supply ports 30A and 31A and the piping parts 32 and 33. The space formed between them is filled.

従って、各ピストン部24,25の動きに応じてメインタンク18内の作動流体を加圧する、又は減圧することによって、各供給口30A,31Aを介して作動流体が流通する。この作動流体によって、ダイヤフラム2,2が往復動する。   Accordingly, the working fluid flows through the supply ports 30A and 31A by pressurizing or depressurizing the working fluid in the main tank 18 according to the movement of the piston portions 24 and 25. The diaphragms 2 and 2 reciprocate by this working fluid.

駆動力供給部15と作動流体供給部4,4とが作動流体配管部32,33を介して連通されており、前述したように作動流体供給部4,4と作動流体配管部32,32とが作動流体で満たされている。従って、駆動部17からの駆動力が作動流体を介してダイヤフラム2,2に伝達されることによって、ダイヤフラム2,2を往復動させる。   The driving force supply unit 15 and the working fluid supply units 4 and 4 communicate with each other via the working fluid piping units 32 and 33. As described above, the working fluid supply units 4 and 4 and the working fluid piping units 32 and 32 Is filled with working fluid. Accordingly, the driving force from the driving unit 17 is transmitted to the diaphragms 2 and 2 through the working fluid, so that the diaphragms 2 and 2 are reciprocated.

また、油圧式ダイヤフラムポンプには、図1に示すように、ダイヤフラム2,2を復動側に付勢する付勢手段としてのコイルスプリング34,35が設けられている。このため、コイルスプリング34,35により復動側に付勢されたダイヤフラム2,2を予め設定されている初期位置(図1では、空間内の略中央位置となる中立位置)で釣り合うようにメインタンク18から作動流体室7,7内へ供給される経路内の作動流体の圧力が設定されている。   Further, as shown in FIG. 1, the hydraulic diaphragm pump is provided with coil springs 34 and 35 as urging means for urging the diaphragms 2 and 2 to the backward movement side. Therefore, the diaphragms 2 and 2 urged to the backward side by the coil springs 34 and 35 are balanced so as to be balanced at a preset initial position (in FIG. 1, a neutral position which is a substantially central position in the space). The pressure of the working fluid in the path supplied from the tank 18 into the working fluid chambers 7 and 7 is set.

また、前記作動流体量検出手段20から所定量以上の作動流体の減少を検出したときの検出信号に基づいて、ダイヤフラム2,2が破損していることを検出することができる。   Further, it is possible to detect that the diaphragms 2 and 2 are damaged based on a detection signal when a decrease in the working fluid of a predetermined amount or more is detected from the working fluid amount detecting means 20.

前記作動流体量検出手段20は、サブタンク19内の作動流体の液面の高さを検出する手段である。この作動流体量検出手段20は、具体的には、図4〜図6に示すように、サブタンク19に設けられたフロート式レベルセンサから構成されている。このフロート式レベルセンサ20は、マグネットが内蔵されたフロート36と、フロート36を案内するとともに電極を備えた棒状ロッド37と、液面の変動に追従して棒状ロッド37に対してフロート36が上下動することによって静電容量が変化し、その変化量を検出して液面のレベルを検出する検知部38とを備えている。その検出した液面のレベルが予め設定している液面よりも下がったことを検出することによって、ダイヤフラム2,2が破損している(破れている)と判断するように構成されている。尚、サブタンク19の上端には、サブタンク19内を大気開放するための大気開放部39が連結されている。   The working fluid amount detecting means 20 is means for detecting the level of the working fluid in the sub tank 19. Specifically, the working fluid amount detection means 20 is configured by a float type level sensor provided in the sub tank 19 as shown in FIGS. 4 to 6. The float type level sensor 20 includes a float 36 with a built-in magnet, a rod-shaped rod 37 that guides the float 36 and includes electrodes, and the float 36 moves up and down with respect to the rod-shaped rod 37 following the fluctuation of the liquid level. It has a detection unit 38 that detects the level of the liquid level by detecting the amount of change by changing the electrostatic capacity by moving. By detecting that the level of the detected liquid level has fallen below a preset liquid level, it is determined that the diaphragms 2 and 2 are broken (broken). Note that an air release portion 39 for releasing the inside of the sub tank 19 to the atmosphere is connected to the upper end of the sub tank 19.

次に、前述のように構成された油圧式ダイヤフラムポンプを用いて、搬送流体を定量ずつ吸引して搬送する動作について説明する。   Next, the operation of sucking and transporting the transport fluid by a fixed amount using the hydraulic diaphragm pump configured as described above will be described.

まず、電動モータ21を駆動し、その駆動力が駆動力伝達軸22に伝達される。この伝達された駆動力により、偏心カム16を回転させる。この偏心カム16の回転により、第1及び第2ピストン部24,25を往復動させる。   First, the electric motor 21 is driven, and the driving force is transmitted to the driving force transmission shaft 22. The eccentric cam 16 is rotated by the transmitted driving force. The rotation of the eccentric cam 16 causes the first and second piston portions 24 and 25 to reciprocate.

ピストン部24,25の往復動により、所定方向に移動させる所定の圧力が作動流体に作用する。一方のピストン部24が往動側へ移動すると、メインタンク18から一方のダイヤフラムの作動流体室7への経路が加圧され、他方のピストン部25は復動側へ移動して、メインタンク18から他方のダイヤフラムの作動流体室7への経路が減圧される。これにより、一方のダイヤフラム2の作動流体室7に、メインタンク18からの作動流体が供給される一方、他方のダイヤフラム2の作動流体室7内の作動流体がメインタンク18内に戻されることになる。例えば、ピストン部25が復動側へ移動して前記経路が減圧されると、一方のダイヤフラム2の作動流体室7内の作動流体がメインタンク18側へ戻される。これにより、一方のダイヤフラム2が、図2(a)の破線で示す中立位置から図2(a)の実線で示すように作動流体室7側へ変形する。これにより、吸引側逆止弁11のボール11Bを矢印の方向(上方)へ移動させることで、吸引側逆止弁11を開放させ(排出側逆止弁12は閉じた状態で)、吸引口11Aを通して搬送流体をダイヤフラム2が変形した分の所定量だけ搬送流体室6へ吸引する(取り込む)。   By the reciprocating motion of the piston portions 24 and 25, a predetermined pressure that moves in a predetermined direction acts on the working fluid. When one piston portion 24 moves to the forward movement side, the path from the main tank 18 to the working fluid chamber 7 of one diaphragm is pressurized, and the other piston portion 25 moves to the backward movement side to move the main tank 18. To the working fluid chamber 7 of the other diaphragm is decompressed. As a result, the working fluid from the main tank 18 is supplied to the working fluid chamber 7 of one diaphragm 2, while the working fluid in the working fluid chamber 7 of the other diaphragm 2 is returned to the main tank 18. Become. For example, when the piston portion 25 moves to the backward side and the path is depressurized, the working fluid in the working fluid chamber 7 of one diaphragm 2 is returned to the main tank 18 side. Thereby, one diaphragm 2 deform | transforms into the working fluid chamber 7 side, as shown by the continuous line of Fig.2 (a) from the neutral position shown with the broken line of Fig.2 (a). Accordingly, the suction side check valve 11 is opened (with the discharge side check valve 12 closed) by moving the ball 11B of the suction side check valve 11 in the direction of the arrow (upward), and the suction port The carrier fluid is sucked (taken in) into the carrier fluid chamber 6 through a predetermined amount corresponding to the deformation of the diaphragm 2 through 11A.

続いて、ピストン部25が復動側から往動側へ移動して前記経路が加圧されると、一方のダイヤフラム2が、図2(b)に示すように、作動流体室7側から搬送流体室6側へ変形する。これにより、排出側逆止弁12のボール12Bを矢印の方向(上方)へ移動させることで、排出側逆止弁12を開放させ(吸引側逆止弁11は閉じた状態で)、排出口12Aを通して搬送流体を排出して所定の場所まで搬送する。   Subsequently, when the piston portion 25 moves from the backward movement side to the forward movement side and the path is pressurized, one diaphragm 2 is conveyed from the working fluid chamber 7 side as shown in FIG. Deformation toward the fluid chamber 6 side. As a result, the ball 12B of the discharge side check valve 12 is moved in the direction of the arrow (upward) to open the discharge side check valve 12 (with the suction side check valve 11 closed), and the discharge port The transport fluid is discharged through 12A and transported to a predetermined place.

そして、例えば搬送流体を吸引するためにピストン部25を復動側へ移動させて一方の作動流体室7への経路を減圧した時に、ダイヤフラム2が破損すると、ダイヤフラム2が付勢手段35により復動側に位置する。これと同時に、ダイヤフラム2を初期位置で釣り合うように圧力が高められた作動流体室7内の作動流体(実際には、メインタンク18から作動流体室7に至るまでの作動流体)、つまり搬送流体よりも高い圧力の作動流体が、図3(a)に示すように、ダイヤフラム2が破損した破損部分(孔)2Zを通して搬送流体室6側へ流れ込む。この高い圧力の作動流体の流れ込みにより、ボール11Bが押さえ付けられて、吸引口11Aから搬送流体を搬送流体室6内に吸引することができない。前記減圧した後、ピストン部25を往動側へ移動させて作動流体室7を加圧して搬送流体を排出する時には、図3(b)に示すように、ボール11Bが上昇して加圧された分に対応する所定量の流体が排出口12Aから排出される。このため、搬送流体を吸引する度にメインタンク18内の作動流体が搬送流体室6側へ流れ込むため、メインタンク18内の作動流体は、搬送流体を排出する動作を行う度に減少する。これに連動してサブタンク19内の作動流体も同様に減少する。その減少量が所定量以上になったことを前述した作動流体量検出手段20により検出することによって、ダイヤフラム2が破損したことを確実に検出することができる。尚、作動流体量検出手段20が検出する減少量の設定は、作業者によって任意に設定できる。   For example, when the diaphragm 2 is damaged when the piston 25 is moved to the backward movement side to reduce the path to one working fluid chamber 7 in order to suck the carrier fluid, the diaphragm 2 is restored by the biasing means 35. Located on the moving side. At the same time, the working fluid in the working fluid chamber 7 whose pressure is increased to balance the diaphragm 2 at the initial position (actually, the working fluid from the main tank 18 to the working fluid chamber 7), that is, the carrier fluid. As shown in FIG. 3A, the working fluid having a higher pressure flows into the conveying fluid chamber 6 through the damaged portion (hole) 2Z where the diaphragm 2 is damaged. Due to the flow of the high-pressure working fluid, the ball 11B is pressed down, and the transport fluid cannot be sucked into the transport fluid chamber 6 from the suction port 11A. After the pressure reduction, when the piston portion 25 is moved to the forward movement side to pressurize the working fluid chamber 7 and discharge the transport fluid, the ball 11B is raised and pressurized as shown in FIG. A predetermined amount of fluid corresponding to the amount is discharged from the discharge port 12A. For this reason, since the working fluid in the main tank 18 flows into the carrier fluid chamber 6 side every time the carrier fluid is sucked, the working fluid in the main tank 18 decreases every time the operation for discharging the carrier fluid is performed. In conjunction with this, the working fluid in the sub-tank 19 is similarly reduced. By detecting that the amount of decrease is greater than or equal to a predetermined amount by the working fluid amount detecting means 20 described above, it is possible to reliably detect that the diaphragm 2 is damaged. The amount of decrease detected by the working fluid amount detection means 20 can be arbitrarily set by the operator.

ダイヤフラム2が破損したことを検出すると、ブザーやランプあるいは音声装置等の警報装置を作動させる、又は電光掲示板やモニター等の表示手段によりダイヤフラム2が破損したことを表示して、破損したことを作業者等に報知するように構成している。また、前記報知すると同時に、油圧式ダイヤフラムポンプの作動を停止する強制停止手段を設けることが好ましい。   When it is detected that the diaphragm 2 is damaged, an alarm device such as a buzzer, a lamp, or a sound device is activated, or a display means such as an electric bulletin board or a monitor is used to indicate that the diaphragm 2 is damaged. It is configured to notify the person or the like. Moreover, it is preferable to provide a forced stop means for stopping the operation of the hydraulic diaphragm pump simultaneously with the notification.

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.

前記実施形態では、作動流体量検出手段20として、フロート式レベルセンサを用いたが、レーザー式や超音波式のレベルセンサであってもよい。また、液面レベルを測定するセンサに代えて、作動流体の重量を測定する重量センサにより重量変化が予め設定している所定重量よりも少なくなったことを検出してダイヤフラムの破損を検出する構成であってもよい。   In the above embodiment, the float type level sensor is used as the working fluid amount detecting means 20, but a laser type or ultrasonic type level sensor may be used. Further, instead of the sensor for measuring the liquid level, a weight sensor for measuring the weight of the working fluid detects that the change in weight is less than a predetermined weight set in advance and detects a breakage of the diaphragm. It may be.

また、前記実施形態では、作動流体が減少したことを検出してダイヤフラムの破損を検出するようにしたが、これとは逆に作動流体が増大したことを検出して排出側逆止弁12の異常を検出する構成も付加して実施してもよい。つまり、排出側逆止弁12が詰まり等のトラブルにより吸引した搬送流体を排出することができなくなると、搬送流体を吸引する度にサブタンクの作動流体量が増大し、その増大した量が所定量に達したことを検出手段により検出し、その検出結果に基づいて排出側逆止弁12の異常を検出する。検出手段としては、前述した各種レベルセンサの他、重量センサを用いることができる。   In the above embodiment, the diaphragm is detected by detecting that the working fluid has decreased. On the contrary, the increase in the working fluid is detected and the discharge check valve 12 is detected. A configuration for detecting an abnormality may also be added. That is, if the transport fluid sucked due to trouble such as the discharge-side check valve 12 being clogged cannot be discharged, the amount of working fluid in the sub tank increases every time the transport fluid is sucked, and the increased amount is a predetermined amount. Is detected by the detecting means, and abnormality of the discharge check valve 12 is detected based on the detection result. As the detection means, a weight sensor can be used in addition to the various level sensors described above.

1…流体搬送部、2…ダイヤフラム、3…ポンプヘッド、4…作動流体供給部、5…ガス排出機構、6…搬送流体室、7…作動流体室、8…弁体、9…弁座、10…作動流体制限室、11…吸引側逆止弁、11A…吸引口、12…排出側逆止弁、12A…排出口、13…吸引経路、14…排出経路、15…駆動力供給部、16…偏心カム、17…駆動部、18…メインタンク(ケーシング部)、19…サブタンク、20…作動流体量検出手段(フロート式レベルセンサ)、21…電動モータ、22…駆動力伝達軸、23…ギヤ部、24,25…ピストン部、26,28…ベアリング、27,29…回動軸、30,31…蓋体、30A,31A…供給口、32,33…配管部、34,35…付勢手段(コイルスプリング)、36…フロート、37…棒状ロッド、38…検知部、39…大気開放部、R…ロッド   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fluid conveying part, 2 ... Diaphragm, 3 ... Pump head, 4 ... Working fluid supply part, 5 ... Gas discharge mechanism, 6 ... Conveying fluid chamber, 7 ... Working fluid chamber, 8 ... Valve body, 9 ... Valve seat, DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Working fluid restriction | limiting chamber, 11 ... Suction side check valve, 11A ... Suction port, 12 ... Discharge side check valve, 12A ... Discharge port, 13 ... Suction route, 14 ... Discharge route, 15 ... Driving force supply part, DESCRIPTION OF SYMBOLS 16 ... Eccentric cam, 17 ... Drive part, 18 ... Main tank (casing part), 19 ... Sub tank, 20 ... Working fluid amount detection means (float type level sensor), 21 ... Electric motor, 22 ... Driving force transmission shaft, 23 ... Gear part, 24, 25 ... Piston part, 26, 28 ... Bearing, 27, 29 ... Rotating shaft, 30, 31 ... Lid, 30A, 31A ... Supply port, 32, 33 ... Piping part, 34, 35 ... Biasing means (coil spring), 36 ... float, 3 ... bar-like rod, 38 ... detection unit, 39 ... open air section, R ... Rod

Claims (2)

ダイヤフラムの初期位置を基準とする往復動により搬送流体を吸引して吐出するための搬送流体室と、該搬送流体室に対してダイヤフラムで隔絶され、かつ、前記ダイヤフラムを往動側となる搬送流体室側へ変形させるための作動流体が供給される作動流体室と、該作動流体室へ供給するための作動流体が貯留されるメインタンクと、該メインタンク内の作動流体を前記作動流体室へ供給する供給状態と前記メインタンク側へ戻す戻し状態とを現出するための往復動可能なピストン部と、前記メインタンク内の作動流体の一部を取り出して該作動流体の増減を検出すべく前記メインタンクに接続されるサブタンクと、該サブタンク内の作動流体の増減を検出する作動流体量検出手段とを備えた油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置であって、
前記ダイヤフラムは、復動側となる作動流体室側に付勢手段により付勢され、該付勢手段により復動側に付勢されたダイヤフラムを前記初期位置で釣り合うように作動流体室内の作動流体の圧力が設定されており、前記作動流体量検出手段から所定量以上の作動流体の減少を検出したときの検出信号に基づいて、前記ダイヤフラムが破損していることを検出することを特徴とする油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置。
A carrier fluid chamber for sucking and discharging the carrier fluid by reciprocating movement with respect to the initial position of the diaphragm, and a carrier fluid separated from the carrier fluid chamber by the diaphragm, and the diaphragm serving as a forward side A working fluid chamber to which a working fluid for deforming toward the chamber is supplied; a main tank in which the working fluid to be supplied to the working fluid chamber is stored; and the working fluid in the main tank to the working fluid chamber A piston part capable of reciprocating to reveal a supply state to be supplied and a return state to return to the main tank side, and a part of the working fluid in the main tank should be taken out to detect an increase or decrease in the working fluid Diaphragm in a hydraulic diaphragm pump comprising a sub tank connected to the main tank and a working fluid amount detecting means for detecting an increase or decrease in the working fluid in the sub tank A damage detection device,
The diaphragm is urged by the urging means to the working fluid chamber side which is the return side, and the working fluid in the working fluid chamber is balanced with the diaphragm urged to the return side by the urging means at the initial position. And detecting that the diaphragm is broken based on a detection signal when a decrease in the working fluid of a predetermined amount or more is detected from the working fluid amount detecting means. Diaphragm damage detector for hydraulic diaphragm pumps.
前記ダイヤフラムが破損した場合には、該ダイヤフラムが、前記付勢手段により作動流体室側に移動した状態に維持され、前記ピストン部がメインタンク側へ戻す戻し状態において該ダイヤフラムの破損箇所を通して前記メインタンクから搬送流体室側へ作動流体が流れ込み、前記ピストン部が作動流体を前記作動流体室へ供給する供給状態において搬送流体室側へ流れ込んだ作動流体が搬送流体として吐出されることを特徴とする請求項1に記載の油圧式ダイヤフラムポンプにおけるダイヤフラムの破損検出装置。   When the diaphragm is damaged, the diaphragm is maintained in a state of being moved to the working fluid chamber side by the urging means, and the main part is passed through the damaged part of the diaphragm in a return state in which the piston part is returned to the main tank side. The working fluid flows from the tank to the transport fluid chamber side, and the working fluid that flows into the transport fluid chamber side in the supply state where the piston portion supplies the working fluid to the working fluid chamber is discharged as the transport fluid. A diaphragm breakage detecting device in the hydraulic diaphragm pump according to claim 1.
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