JP2015040159A - Cutting method for brittle structure and cutting method for brittle structure - Google Patents

Cutting method for brittle structure and cutting method for brittle structure Download PDF

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仁史 乾
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仁史 乾
竜児 酒井
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竜児 酒井
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Takashi Nakamura
岳志 中村
宏明 児島
Hiroaki Kojima
宏明 児島
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably cut a brittle structure at a position overlapping with an adhesive layer as a cutting position.SOLUTION: A cutting method for a brittle structure includes the steps of: cutting one brittle substrate between a pair of brittle substrates by forming and growing a first crack from the opposite side from a part where an adhesive layer 13 sticks; and cutting the other brittle substrate 12 between the pair of brittle substrates and the adhesive layer 13 by forming and growing a second crack from the opposite side from the part where the adhesive layer 13 sticks along the cutting line along which the one brittle substrate 11 is cut. In the step of cutting the other brittle substrate 12, the second crack 12c is formed and grown with a cutter 110 while the joint part of the adhesive layer 13 for the other brittle substrate 12 is preheated at a position at least along the cutting line so as to cut the brittle structure 10 by connecting the first crack and second crack 12c to each other.

Description

本発明は、脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置に関し、特に、液晶パネルの製造に用いられる1対のマザーガラスが張り合わされて構成された脆性構造体の切断方法および上記脆性構造体の切断装置に関する。   The present invention relates to a brittle structure cutting method and a brittle structure cutting apparatus, and more particularly to a brittle structure cutting method in which a pair of mother glasses used for manufacturing a liquid crystal panel are laminated and the brittle structure. The present invention relates to a body cutting device.

液晶パネル形成用構成体の製造方法を開示した先行文献として、特開2011−197143号公報(特許文献1)がある。   JP-A-2011-197143 (Patent Document 1) is a prior document disclosing a method for manufacturing a liquid crystal panel forming structure.

特許文献1に記載された液晶パネル形成用構成体の製造方法においては、1対の透明基板のうちの一方に素子シール材を形成し、他方の透明基板の外周辺のうちの対向する1組の2辺に沿って外周シール材を形成する。1対の透明基板を互いに張り合わせた後、1対の透明基板を互いに張り合わせることによって作製される構成体の外周面のうち、外周シール材が形成されていない面に外周封止材を形成する。その後、外周シール材と重なる位置を切断位置として構成体をガラスカッターなどを用いて切断して液晶パネル形成用構成体を製造する。   In the method for manufacturing a liquid crystal panel forming structure described in Patent Document 1, an element sealant is formed on one of a pair of transparent substrates, and a pair of opposing outer peripheral edges of the other transparent substrate The outer peripheral sealing material is formed along the two sides. After bonding a pair of transparent substrates to each other, an outer peripheral sealing material is formed on a surface on which an outer peripheral sealing material is not formed, of the outer peripheral surfaces of a structure manufactured by bonding the pair of transparent substrates to each other. . Thereafter, the structure is cut using a glass cutter or the like with the position overlapping with the outer peripheral sealing material as a cutting position, and a liquid crystal panel forming structure is manufactured.

特開2011−197143号公報JP 2011-197143 A

特許文献1に記載された外周シール材は、1対の脆性基板を互いに張り合わせる接着剤層として機能している。接着剤層による接着力が強く、1対の脆性基板が接着剤層によって互いに強固に接合されている場合、特許文献1に記載されているように外周シール材と重なる位置を切断位置として構成体をガラスカッターなどを用いて切断することができないことがある。特許文献1に記載された発明においては、このような事態について考慮されていない。   The outer peripheral sealing material described in Patent Document 1 functions as an adhesive layer that bonds a pair of brittle substrates together. When the adhesive force by the adhesive layer is strong and a pair of brittle substrates are firmly joined to each other by the adhesive layer, the structure is formed with the position overlapping with the outer peripheral sealing material as described in Patent Document 1 as the cutting position May not be cut using a glass cutter or the like. In the invention described in Patent Document 1, such a situation is not considered.

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、接着剤層と重なる位置を切断位置として脆性構造体を安定して切断することができる、脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and a brittle structure cutting method and a brittle structure capable of stably cutting a brittle structure with a position overlapping with the adhesive layer as a cutting position. An object of the present invention is to provide a cutting device.

本発明に基づく脆性構造体の切断方法は、1対の脆性基板が接着剤層によって互いに張り合わされて構成された脆性構造体の切断方法である。脆性構造体の切断方法は、1対の脆性基板のうちの一方の脆性基板において、接着剤層が付着している部分の反対側から第1亀裂を形成して進展させることにより一方の脆性基板を切断する工程と、1対の脆性基板のうちの他方の脆性基板において、一方の脆性基板が切断される切断ラインに沿うように、接着剤層が付着している部分の反対側から第2亀裂を形成して進展させることにより、他方の脆性基板および接着剤層を切断する工程とを備える。他方の脆性基板を切断する工程において、少なくとも切断ラインに沿う位置にて接着剤層の他方の脆性基板との接合部を予め加熱した状態でカッターにより第2亀裂を形成して進展させることにより、第1亀裂と第2亀裂とを繋げて脆性構造体を切断する。   The method for cutting a brittle structure according to the present invention is a method for cutting a brittle structure in which a pair of brittle substrates are bonded to each other with an adhesive layer. A method for cutting a brittle structure is to form one brittle substrate by forming a first crack from one side of a brittle substrate of a pair of brittle substrates to form a first crack from the opposite side. And the second brittle substrate of the pair of brittle substrates from the opposite side of the portion to which the adhesive layer is adhered so as to follow a cutting line where one brittle substrate is cut. And a step of cutting the other brittle substrate and the adhesive layer by forming and developing a crack. In the step of cutting the other brittle substrate, at least at the position along the cutting line, the joint portion of the adhesive layer with the other brittle substrate is preheated to form a second crack with a cutter and advance, The brittle structure is cut by connecting the first crack and the second crack.

本発明の一形態においては、他方の脆性基板を切断する工程が、一方の脆性基板を切断する工程の終了前に開始される。   In one embodiment of the present invention, the step of cutting the other brittle substrate is started before the end of the step of cutting the one brittle substrate.

本発明の一形態においては、他方の脆性基板を切断する工程において、カッターを冷却しつつカッターにより第2亀裂を形成して進展させる。   In one form of this invention, in the process of cut | disconnecting the other brittle board | substrate, a 2nd crack is formed and advanced with a cutter, cooling a cutter.

本発明の一形態においては、他方の脆性基板を切断する工程において、光を他方の脆性基板または接着剤層に照射することにより上記接合部を加熱する。   In one embodiment of the present invention, in the step of cutting the other brittle substrate, the joint is heated by irradiating the other brittle substrate or the adhesive layer with light.

本発明に基づく脆性構造体の切断装置は、1対の脆性基板が接着剤層によって互いに張り合わされて構成された脆性構造体の切断装置である。脆性構造体の切断装置は、1対の脆性基板のうちの一方の脆性基板において、接着剤層が付着している部分の反対側から第1亀裂を形成して進展させることにより一方の脆性基板を切断する切断手段と、1対の脆性基板のうちの他方の脆性基板において、一方の脆性基板が切断される切断ラインに沿うように、接着剤層が付着している部分の反対側から第2亀裂を形成して進展させることにより、他方の脆性基板および接着剤層を切断するカッターと、少なくとも切断ラインに沿う位置にて接着剤層の他方の脆性基板との接合部を加熱する加熱機構とを備える。加熱機構により上記接合部を予め加熱した状態でカッターにより第2亀裂を形成して進展させることにより、第1亀裂と第2亀裂とを繋げて脆性構造体を切断する。   The brittle structure cutting apparatus according to the present invention is a brittle structure cutting apparatus configured by bonding a pair of brittle substrates to each other by an adhesive layer. An apparatus for cutting a brittle structure is obtained by forming a first crack from one side of a brittle substrate of a pair of brittle substrates to form a first crack from a side opposite to a portion to which an adhesive layer is attached. The cutting means for cutting the first and second brittle substrates of the pair of brittle substrates are arranged from the opposite side of the portion where the adhesive layer is adhered so as to follow the cutting line where one brittle substrate is cut. A heating mechanism that heats a joint between the cutter that cuts the other brittle substrate and the adhesive layer and the other brittle substrate of the adhesive layer at least at a position along the cutting line by forming and developing two cracks With. A brittle structure is cut by connecting the first crack and the second crack by forming a second crack with a cutter and causing the joint to advance with the heating mechanism preheated by the heating mechanism.

本発明によれば、接着剤層と重なる位置を切断位置として脆性構造体を安定して切断することができる。   According to the present invention, the brittle structure can be stably cut with the position overlapping the adhesive layer as the cutting position.

本発明の実施形態1に係る脆性構造体の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the brittle structure which concerns on Embodiment 1 of this invention. 図1の脆性構造体を矢印II方向から見た図である。It is the figure which looked at the brittle structure of FIG. 1 from the arrow II direction. 同実施形態に係る脆性構造体の切断装置によりCFガラスを切断している状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which has cut | disconnected CF glass with the cutting device of the brittle structure which concerns on the embodiment. 図3の脆性構造体を矢印IVで示す方向から見た図である。It is the figure which looked at the brittle structure of FIG. 3 from the direction shown by arrow IV. 同実施形態に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which has cut | disconnected TFT glass with the cutting device of the brittle structure which concerns on the embodiment. 同実施形態においてTFTガラスを切断する際の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state at the time of cut | disconnecting TFT glass in the same embodiment. 図5の脆性構造体を矢印VIIで示す方向から見た図である。It is the figure which looked at the brittle structure of FIG. 5 from the direction shown by arrow VII. 同実施形態に係る脆性構造体の切断方法により切断して個片化した液晶パネルの両面のガラスを等方性エッチングした状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which carried out the isotropic etching of the glass of both surfaces of the liquid crystal panel cut | disconnected by the cutting method of the brittle structure which concerns on the embodiment, and separated into pieces. 本発明の実施形態2に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which has cut | disconnected TFT glass with the cutting device of the brittle structure which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態3に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which has cut | disconnected TFT glass with the cutting device of the brittle structure which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施形態4に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which has cut | disconnected TFT glass with the cutting device of the brittle structure which concerns on Embodiment 4 of this invention. 比較例1に係る脆性構造体の構成を示す平面図である。6 is a plan view showing a configuration of a brittle structure according to Comparative Example 1. FIG. 図12の脆性構造体を矢印XIII方向から見た図である。It is the figure which looked at the brittle structure of FIG. 12 from the arrow XIII direction. 比較例1においてCFガラスを切断した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which cut | disconnected CF glass in the comparative example 1. FIG. 比較例1においてTFTガラスを切断した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which cut | disconnected TFT glass in the comparative example 1. FIG. 比較例1において液晶パネルの両面のガラスを等方性エッチングした状態を示す側面図である。In Comparative Example 1, it is a side view showing a state where the glass on both sides of the liquid crystal panel is isotropically etched. 比較例2においてCFガラスを切断した状態を示す側面図である。It is a side view which shows the state which cut | disconnected CF glass in the comparative example 2. FIG. 比較例2においてTFTガラスを切断する際の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state at the time of cut | disconnecting TFT glass in the comparative example 2. FIG.

以下、本発明の各実施形態および比較例について図を参照して説明する。以下の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。また、脆性構造体として、液晶パネルの製造に用いられる1対のマザーガラスが張り合わされて構成された脆性構造体を例示して説明する。ただし、脆性構造体は上記に限られず、1対の脆性基板が接着剤層によって互いに張り合わされて構成されたものであればよい。   Hereinafter, embodiments and comparative examples of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the same or corresponding parts in the drawings are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated. Further, as a brittle structure, a brittle structure constituted by bonding a pair of mother glasses used for manufacturing a liquid crystal panel will be described as an example. However, the brittle structure is not limited to the above, and any brittle structure may be used as long as a pair of brittle substrates are bonded to each other with an adhesive layer.

まず、比較例1に係る脆性構造体の切断方法について説明する。
(比較例1)
図12は、比較例1に係る脆性構造体の構成を示す平面図である。図13は、図12の脆性構造体を矢印XIII方向から見た図である。図12,13に示すように、比較例1に係る脆性構造体90は、CF(color filter)が形成されたマザーガラスであるCFガラス11と、TFT(thin film transistor)が形成されたマザーガラスであるTFTガラス12と、接着剤層13とから構成されている。CFガラス11とTFTガラス12とは、接着剤層13によって互いに張り合わされている。
First, a method for cutting a brittle structure according to Comparative Example 1 will be described.
(Comparative Example 1)
12 is a plan view showing a configuration of a brittle structure according to Comparative Example 1. FIG. FIG. 13 is a view of the brittle structure of FIG. 12 as viewed from the direction of arrow XIII. As shown in FIGS. 12 and 13, a brittle structure 90 according to Comparative Example 1 includes a CF glass 11 that is a mother glass in which a CF (color filter) is formed, and a mother glass in which a TFT (thin film transistor) is formed. TFT glass 12 and an adhesive layer 13. The CF glass 11 and the TFT glass 12 are bonded to each other by an adhesive layer 13.

脆性構造体90には、液晶パネルとなるパネル領域14が、平面視にてマトリクス状に設けられている。接着剤層13は、平面視にてパネル領域14の周囲に設けられている。すなわち、パネル領域14は、接着剤層13によって周囲を囲まれている。   The brittle structure 90 is provided with a panel region 14 serving as a liquid crystal panel in a matrix shape in a plan view. The adhesive layer 13 is provided around the panel region 14 in plan view. That is, the panel region 14 is surrounded by the adhesive layer 13.

比較例1においては、液晶パネルを個片化するための脆性構造体90の切断予定位置に接着剤層13が設けられていない。そのため、接着剤層13が存在しない格子状の溝部13cが形成されている。   In Comparative Example 1, the adhesive layer 13 is not provided at the planned cutting position of the brittle structure 90 for separating the liquid crystal panel. Therefore, a lattice-like groove 13c where the adhesive layer 13 does not exist is formed.

脆性構造体90の製造方法としては、まず、接着剤層13となるエポキシ樹脂またはアクリル樹脂などを主成分とする接着剤を印刷法またはインクジェット法などにより、CFガラス11またはTFTガラス12に塗布する。次に、パネル領域14に液晶材料を滴下する。その後、CFガラス11とTFTガラス12とを張り合わせた状態で圧力をかける。その結果、CFガラス11とTFTガラス12と接着剤層13とによって囲まれたパネル領域14内に、液晶材料が封止される。   As a manufacturing method of the brittle structure 90, first, an adhesive mainly composed of an epoxy resin or an acrylic resin that becomes the adhesive layer 13 is applied to the CF glass 11 or the TFT glass 12 by a printing method or an inkjet method. . Next, a liquid crystal material is dropped on the panel region 14. Thereafter, pressure is applied in a state where the CF glass 11 and the TFT glass 12 are bonded together. As a result, the liquid crystal material is sealed in the panel region 14 surrounded by the CF glass 11, the TFT glass 12, and the adhesive layer 13.

上記のように製造された脆性構造体90の切断方法としては、まず、CFガラス11およびTFTガラス12の一方を切断する。図14は、比較例1においてCFガラスを切断した状態を示す側面図である。図14に示すように、比較例1においては、溝部13c上の位置にてCFガラス11をガラスカッターにより切断する。ガラスカッターによりCFガラス11の表面に形成された第1亀裂11cが進展してCFガラス11の裏面に到達することにより、CFガラス11が切断される。   As a method of cutting the brittle structure 90 manufactured as described above, first, one of the CF glass 11 and the TFT glass 12 is cut. FIG. 14 is a side view showing a state in which the CF glass is cut in Comparative Example 1. As shown in FIG. 14, in Comparative Example 1, the CF glass 11 is cut by a glass cutter at a position on the groove 13c. When the first crack 11c formed on the surface of the CF glass 11 is advanced by the glass cutter and reaches the back surface of the CF glass 11, the CF glass 11 is cut.

次に、脆性構造体90を引っ繰り返して、TFTガラス12を切断する。図15は、比較例1においてTFTガラスを切断した状態を示す側面図である。図15に示すように、比較例1においては、溝部13c上の位置にてTFTガラス12をガラスカッターにより切断する。ガラスカッターによりTFTガラス12の表面に形成された第2亀裂12cが進展してTFTガラス12の裏面に到達することにより、TFTガラス12が切断される。   Next, the brittle structure 90 is repeatedly pulled to cut the TFT glass 12. FIG. 15 is a side view showing a state in which the TFT glass is cut in the first comparative example. As shown in FIG. 15, in Comparative Example 1, the TFT glass 12 is cut with a glass cutter at a position on the groove 13c. The second crack 12c formed on the surface of the TFT glass 12 by the glass cutter is developed and reaches the back surface of the TFT glass 12, whereby the TFT glass 12 is cut.

このように、接着剤層13が設けられていない溝部13c上の位置にて第1亀裂11cと第2亀裂12cとを繋げて脆性構造体90を切断する場合には、後述するようにTFTガラス12内に発生する圧縮応力の影響を緩和できるため、容易にTFTガラス12に第2亀裂を形成して進展させることができる。   In this way, when the brittle structure 90 is cut by connecting the first crack 11c and the second crack 12c at a position on the groove 13c where the adhesive layer 13 is not provided, as described later, the TFT glass is used. Since the influence of the compressive stress generated in the glass 12 can be alleviated, the second crack can be easily formed in the TFT glass 12 and propagated.

具体的には、溝部13cにおいては、CFガラス11とTFTガラス12とが接合されていないため、TFTガラス12にガラスカッターの刃を押し付けた際にCFガラス11内に発生する引張応力が低減されるとともに、CFガラス11内に発生した引張応力が接着剤層13を通じてTFTガラス12に作用して発生する圧縮応力も低減される。そのため、TFTガラス12においてガラスカッターの刃を押し付けられている部分に対して作用する圧縮応力を低減して、脆性構造体90を切断することができる。   Specifically, since the CF glass 11 and the TFT glass 12 are not joined in the groove 13c, the tensile stress generated in the CF glass 11 when the blade of the glass cutter is pressed against the TFT glass 12 is reduced. In addition, the compressive stress generated by the tensile stress generated in the CF glass 11 acting on the TFT glass 12 through the adhesive layer 13 is also reduced. Therefore, the brittle structure 90 can be cut by reducing the compressive stress acting on the portion of the TFT glass 12 where the blade of the glass cutter is pressed.

ただし、溝部13c上の位置にて脆性構造体90を切断する場合には、下記の問題点がある。溝部13cは、接着剤が塗布されないことにより形成されている。接着剤の塗布むらが発生した場合、溝部13cの位置にバラツキが生じる。この場合、溝部13c上の位置にて脆性構造体90を安定して切断できない。   However, when the brittle structure 90 is cut at a position on the groove 13c, there are the following problems. The groove 13c is formed by not applying an adhesive. When uneven application of the adhesive occurs, the position of the groove 13c varies. In this case, the brittle structure 90 cannot be stably cut at a position on the groove 13c.

また、個片化された液晶パネルをエッチングにより薄型化することがある。この場合、個片化された液晶パネルをエッチング液に浸漬して、両面のガラスを等方性エッチングにより薄くする。図15に示すように、液晶パネルの周囲の切断部には、溝部13cに起因する凹部が存在する。   In addition, the separated liquid crystal panel may be thinned by etching. In this case, the separated liquid crystal panel is immersed in an etching solution, and the glass on both sides is thinned by isotropic etching. As shown in FIG. 15, a recess due to the groove 13 c exists in the cut portion around the liquid crystal panel.

図16は、比較例1において液晶パネルの両面のガラスを等方性エッチングした状態を示す側面図である。溝部13c上の位置にて切断した液晶パネルのCFガラス11およびTFTガラス12を等方性エッチングした場合、上記凹部内にエッチング液が浸入するため、図16に示すように液晶パネルの切断部に突起部が形成される。具体的には、エッチングされたCFガラス11eの先端に突起部11pが形成される。エッチングされたTFTガラス12eの先端に突起部12pが形成される。   FIG. 16 is a side view showing a state where the glass on both sides of the liquid crystal panel is isotropically etched in Comparative Example 1. When the CF glass 11 and the TFT glass 12 of the liquid crystal panel cut at the position on the groove 13c are isotropically etched, the etching solution enters the concave portion, so that the liquid crystal panel cuts into the cut portion as shown in FIG. A protrusion is formed. Specifically, the protrusion 11p is formed at the tip of the etched CF glass 11e. A protrusion 12p is formed at the tip of the etched TFT glass 12e.

突起部11p,12pが形成された場合、CFガラス11およびTFTガラス12が破損しやすくなり、液晶パネルの品質安定性が損なわれる。そのため、液晶パネルの切断部に突起部11p,12pが形成されないことが好ましい。そこで、溝部13cを設けることなく接着剤層13上の位置にて脆性構造体を切断することが考えられる。エッチング液に対して安定な接着剤によって構成された接着剤層13上の位置にて脆性構造体を切断することができれば、液晶パネルの切断部に突起部が形成されることを抑制できる。   When the protrusions 11p and 12p are formed, the CF glass 11 and the TFT glass 12 are easily damaged, and the quality stability of the liquid crystal panel is impaired. Therefore, it is preferable that the protrusions 11p and 12p are not formed at the cut portion of the liquid crystal panel. Therefore, it is conceivable to cut the brittle structure at a position on the adhesive layer 13 without providing the groove 13c. If the brittle structure can be cut at a position on the adhesive layer 13 formed of an adhesive that is stable with respect to the etchant, it is possible to suppress the formation of a protrusion at the cut portion of the liquid crystal panel.

以下、比較例2に係る脆性構造体の切断方法について説明する。比較例2に係る脆性構造体は、溝部13cが設けられてない点のみ比較例1に係る脆性構造体90とは異なる。   Hereinafter, a method for cutting a brittle structure according to Comparative Example 2 will be described. The brittle structure according to Comparative Example 2 is different from the brittle structure 90 according to Comparative Example 1 only in that the groove 13c is not provided.

(比較例2)
図17は、比較例2においてCFガラスを切断した状態を示す側面図である。図17に示すように、比較例2においては、接着剤層13と重なる位置にてCFガラス11をガラスカッターにより切断する。ガラスカッターによりCFガラス11の表面に形成された第1亀裂11cが進展してCFガラス11の裏面に到達することにより、CFガラス11が切断される。
(Comparative Example 2)
FIG. 17 is a side view showing a state in which the CF glass is cut in Comparative Example 2. As shown in FIG. 17, in Comparative Example 2, the CF glass 11 is cut with a glass cutter at a position overlapping the adhesive layer 13. When the first crack 11c formed on the surface of the CF glass 11 is advanced by the glass cutter and reaches the back surface of the CF glass 11, the CF glass 11 is cut.

次に、脆性構造体90を引っ繰り返して、TFTガラス12の切断を試みる。図18は、比較例2においてTFTガラスを切断する際の状態を示す断面図である。図18に示すように、第1亀裂11c上の位置のTFTガラス12にガラスカッターの刃111を押し付けてTFTガラス12に第2亀裂を形成しようとする場合、CFガラス11内において第1亀裂11cの両側に矢印Tで示す方向の引張応力が発生する。   Next, the brittle structure 90 is repeatedly pulled to try to cut the TFT glass 12. 18 is a cross-sectional view showing a state when the TFT glass is cut in Comparative Example 2. FIG. As shown in FIG. 18, when a glass cutter blade 111 is pressed against the TFT glass 12 at a position on the first crack 11 c to form a second crack in the TFT glass 12, the first crack 11 c is formed in the CF glass 11. Tensile stress in the direction indicated by the arrow T is generated on both sides of.

CFガラス11とTFTガラス12とは、接着剤層13によって強固に接合されているため、CFガラス11内に発生した引張応力は接着剤層13を通じてTFTガラス12に作用する。具体的には、TFTガラス12内において、矢印Pで示す方向の圧縮応力が発生する。矢印Pで示す方向の圧縮応力は、TFTガラス12においてガラスカッターの刃111を押し付けられている部分に向かって作用する。   Since the CF glass 11 and the TFT glass 12 are firmly bonded by the adhesive layer 13, the tensile stress generated in the CF glass 11 acts on the TFT glass 12 through the adhesive layer 13. Specifically, a compressive stress in the direction indicated by the arrow P is generated in the TFT glass 12. The compressive stress in the direction indicated by the arrow P acts toward the portion of the TFT glass 12 where the blade 111 of the glass cutter is pressed.

このようにTFTガラス12の圧縮応力が作用している部分において、第2亀裂を形成することは困難であり、仮に第2亀裂を形成できてもほとんど進展させることができない。その結果、比較例2に係る脆性構造体の切断方法では、安定して脆性構造体を切断することができない。   As described above, it is difficult to form the second crack in the portion where the compressive stress of the TFT glass 12 acts, and even if the second crack can be formed, the second crack can hardly be developed. As a result, the brittle structure cutting method according to Comparative Example 2 cannot stably cut the brittle structure.

以下、本発明の実施形態1に係る脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置について図を参照して説明する。   Hereinafter, a brittle structure cutting method and a brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る脆性構造体の構成を示す平面図である。図2は、図1の脆性構造体を矢印II方向から見た図である。図1,2に示すように、脆性構造体10は、CFが形成されたマザーガラスであるCFガラス11と、TFTが形成されたマザーガラスであるTFTガラス12と、接着剤層13とから構成されている。1対の脆性基板であるCFガラス11とTFTガラス12とは、接着剤層13によって互いに張り合わされている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a brittle structure according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a view of the brittle structure of FIG. 1 as viewed from the direction of arrow II. As shown in FIGS. 1 and 2, the brittle structure 10 includes a CF glass 11 that is a mother glass in which CF is formed, a TFT glass 12 that is a mother glass in which a TFT is formed, and an adhesive layer 13. Has been. The CF glass 11 and the TFT glass 12 which are a pair of brittle substrates are bonded to each other by an adhesive layer 13.

脆性構造体10には、液晶パネルとなるパネル領域14が、平面視にてマトリクス状に設けられている。接着剤層13は、平面視にてパネル領域14の周囲に設けられている。すなわち、パネル領域14は、接着剤層13によって周囲を囲まれている。接着剤層13は、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂などを主成分とする接着剤が硬化することにより形成されている。なお、接着剤層13の材料は上記に限られず、液晶材料を封止可能で、かつ、後述するエッチング液に対して耐性を有する樹脂材料であればよい。   The brittle structure 10 is provided with a panel region 14 serving as a liquid crystal panel in a matrix in a plan view. The adhesive layer 13 is provided around the panel region 14 in plan view. That is, the panel region 14 is surrounded by the adhesive layer 13. The adhesive layer 13 is formed by curing an adhesive mainly composed of an epoxy resin or an acrylic resin. Note that the material of the adhesive layer 13 is not limited to the above, and any resin material can be used as long as it can seal the liquid crystal material and has resistance to an etching solution described later.

脆性構造体10の製造方法としては、まず、接着剤層13となるエポキシ樹脂またはアクリル樹脂などを主成分とする接着剤を印刷法またはインクジェット法などにより、CFガラス11またはTFTガラス12に塗布する。次に、パネル領域14に液晶材料を滴下する。その後、CFガラス11とTFTガラス12とを張り合わせた状態で圧力をかける。その結果、CFガラス11とTFTガラス12と接着剤層13とによって囲まれたパネル領域14内に、液晶材料が封止される。   As a method for manufacturing the brittle structure 10, first, an adhesive mainly composed of an epoxy resin or an acrylic resin that becomes the adhesive layer 13 is applied to the CF glass 11 or the TFT glass 12 by a printing method or an inkjet method. . Next, a liquid crystal material is dropped on the panel region 14. Thereafter, pressure is applied in a state where the CF glass 11 and the TFT glass 12 are bonded together. As a result, the liquid crystal material is sealed in the panel region 14 surrounded by the CF glass 11, the TFT glass 12, and the adhesive layer 13.

図3は、本実施形態に係る脆性構造体の切断装置によりCFガラスを切断している状態を示す斜視図である。図4は、図3の脆性構造体を矢印IVで示す方向から見た図である。   FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the CF glass is cut by the brittle structure cutting apparatus according to the present embodiment. FIG. 4 is a view of the brittle structure of FIG. 3 as viewed from the direction indicated by arrow IV.

図3に示すように、本実施形態に係る脆性構造体の切断装置100は、脆性基板を切断する切断手段であるガラスカッター110と、加熱機構であるレーザ光照射部120とを備える。   As shown in FIG. 3, the brittle structure cutting apparatus 100 according to this embodiment includes a glass cutter 110 that is a cutting unit that cuts a brittle substrate, and a laser beam irradiation unit 120 that is a heating mechanism.

ガラスカッター110は、円板状の刃111を先端に有している。刃111は、回転可能に支持されている。刃111は、ダイヤモンドまたは超鋼材料から構成されている。ガラスカッター110においては、刃111に潤滑油を供給可能に設けられている。なお、ガラスカッター110は、円板状の回転刃を有するものに限られず、固定式のダイヤモンドカッターなどでもよい。   The glass cutter 110 has a disk-shaped blade 111 at the tip. The blade 111 is rotatably supported. The blade 111 is made of diamond or super steel material. The glass cutter 110 is provided so that lubricating oil can be supplied to the blade 111. The glass cutter 110 is not limited to one having a disk-shaped rotary blade, and may be a fixed diamond cutter or the like.

レーザ光照射部120は、ガラスカッター110の刃111の近傍に向けてレーザ光を照射可能なように、ガラスカッター110の側方に取り付けられている。本実施形態に係るレーザ光照射部120は、炭酸ガスレーザーであり、10μm近傍の波長のレーザ光を照射する。炭酸ガスレーザーは、ガスレーザーの中ではエネルギー効率が良好である。ただし、レーザ光照射部120の構成は炭酸ガスレーザーに限られず、照射されるレーザ光の波長も上記に限られない。   The laser beam irradiation unit 120 is attached to the side of the glass cutter 110 so that the laser beam can be irradiated toward the vicinity of the blade 111 of the glass cutter 110. The laser beam irradiation unit 120 according to the present embodiment is a carbon dioxide gas laser and irradiates a laser beam having a wavelength in the vicinity of 10 μm. Carbon dioxide laser has good energy efficiency among gas lasers. However, the configuration of the laser beam irradiation unit 120 is not limited to the carbon dioxide laser, and the wavelength of the irradiated laser beam is not limited to the above.

なお、後述するようにTFTガラス12にレーザ光を照射して加熱する際に効率よく加熱するために、レーザ光の波長としては、ガラスに吸収されやすい波長の範囲である5μmより長く15μmより短いことが好ましい。   As will be described later, in order to efficiently heat the TFT glass 12 by irradiating it with the laser beam, the wavelength of the laser beam is longer than 5 μm, which is a wavelength range easily absorbed by the glass, and shorter than 15 μm. It is preferable.

切断装置100は、脆性構造体10に対して相対的に移動可能に設けられている。切断装置100において、レーザ光照射部120は、ガラスカッター110に比較して切断装置100の相対的移動方向の前方側に配置されている。   The cutting device 100 is provided so as to be movable relative to the brittle structure 10. In the cutting device 100, the laser beam irradiation unit 120 is disposed on the front side in the relative movement direction of the cutting device 100 as compared with the glass cutter 110.

本実施形態に係る脆性構造体の切断方法においては、まず、図3に示すように、レーザ光照射部120からレーザ光を照射せずにガラスカッター110の刃111をCFガラス11の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して矢印1で示す方向に相対的に移動させる。このとき、ガラスカッター110の刃111は、CFガラス11において接着剤層13が付着している部分の反対側に押し付けられている。   In the method for cutting a brittle structure according to this embodiment, first, as shown in FIG. 3, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the surface of the CF glass 11 without irradiating the laser beam from the laser beam irradiation unit 120. In this state, the cutting device 100 is moved relative to the brittle structure 10 in the direction indicated by the arrow 1. At this time, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the opposite side of the CF glass 11 where the adhesive layer 13 is attached.

その結果、図3,4に示すように、CFガラス11において接着剤層13が付着している部分の反対側から第1亀裂11cを形成して進展させることができる。第1亀裂11cがCFガラス11の表面から裏面まで到達することにより、CFガラス11が切断される。   As a result, as shown in FIGS. 3 and 4, the first crack 11 c can be formed and propagated from the opposite side of the CF glass 11 where the adhesive layer 13 is attached. When the first crack 11c reaches from the front surface to the back surface of the CF glass 11, the CF glass 11 is cut.

次に、脆性構造体10を引っ繰り返して、TFTガラス12および接着剤層13を切断する。図5は、本実施形態に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。図6は、本実施形態においてTFTガラスを切断する際の状態を示す断面図である。図7は、図5の脆性構造体を矢印VIIで示す方向から見た図である。   Next, the brittle structure 10 is repeated to cut the TFT glass 12 and the adhesive layer 13. FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the TFT glass is cut by the brittle structure cutting apparatus according to the present embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state when the TFT glass is cut in this embodiment. FIG. 7 is a view of the brittle structure of FIG. 5 as seen from the direction indicated by arrow VII.

図5に示すように、TFTガラス12を切断する際には、レーザ光照射部120からレーザ光120bをTFTガラス12に照射しつつガラスカッター110の刃111をTFTガラス12の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して矢印2で示す方向に相対的に移動させる。このとき、ガラスカッター110の刃111は、TFTガラス12において接着剤層13が付着している部分の反対側に押し付けられている。また、矢印2で示す方向は、CFガラス11が切断された切断ラインに沿っている。   As shown in FIG. 5, when the TFT glass 12 is cut, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the surface of the TFT glass 12 while irradiating the TFT glass 12 with the laser light 120 b from the laser light irradiation unit 120. Thus, the cutting device 100 is moved relative to the brittle structure 10 in the direction indicated by the arrow 2. At this time, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the opposite side of the TFT glass 12 where the adhesive layer 13 is attached. The direction indicated by the arrow 2 is along the cutting line in which the CF glass 11 is cut.

TFTガラス12において、レーザ光120bの照射位置の周辺の加熱領域12hは、ガラスの軟化点よりも低い温度まで加熱されている。加熱領域12hの熱は、加熱領域12hのTFTガラス12と接触している図6に示す接着剤層13の接合部13iに伝わる。この伝熱による加熱によって、接合部13iが軟化する。その結果、接合部13iにおいてCFガラス11とTFTガラス12との接合力が低下する。   In the TFT glass 12, the heating region 12h around the irradiation position of the laser beam 120b is heated to a temperature lower than the softening point of the glass. The heat in the heating area 12h is transferred to the bonding portion 13i of the adhesive layer 13 shown in FIG. 6 that is in contact with the TFT glass 12 in the heating area 12h. The joint 13i is softened by the heat transfer. As a result, the bonding force between the CF glass 11 and the TFT glass 12 is reduced at the bonding portion 13i.

レーザ光照射部120は、ガラスカッター110に比較して切断装置100の相対的移動方向の前方側に配置されているため、ガラスカッター110の刃111は加熱領域12h上を通過する。その結果、図6に示すように、接着剤層13の接合部13iが軟化した状態で、第1亀裂11c上の位置のTFTガラス12にガラスカッターの刃111が押し付けられる。   Since the laser beam irradiation unit 120 is disposed on the front side in the relative movement direction of the cutting device 100 as compared with the glass cutter 110, the blade 111 of the glass cutter 110 passes over the heating region 12h. As a result, as shown in FIG. 6, the blade 111 of the glass cutter is pressed against the TFT glass 12 at a position on the first crack 11c in a state where the joint portion 13i of the adhesive layer 13 is softened.

接合部13iにおいては、CFガラス11とTFTガラス12との接合力が低下しているため、TFTガラス12にガラスカッター110の刃111を押し付けた際にCFガラス11内にて矢印Tsで示す方向に発生する引張応力が低減されるとともに、CFガラス11内に発生した引張応力が接着剤層13を通じてTFTガラス12に作用して矢印Psで示す方向に発生する圧縮応力も低減される。そのため、TFTガラス12においてガラスカッター110の刃111を押し付けられている部分に対して作用する圧縮応力を低減できる。   Since the bonding force between the CF glass 11 and the TFT glass 12 is reduced at the bonding portion 13i, the direction indicated by the arrow Ts in the CF glass 11 when the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the TFT glass 12. The tensile stress generated in the CF glass 11 is reduced, and the tensile stress generated in the CF glass 11 acts on the TFT glass 12 through the adhesive layer 13 to reduce the compressive stress generated in the direction indicated by the arrow Ps. Therefore, the compressive stress acting on the portion of the TFT glass 12 where the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed can be reduced.

このように、接着剤層13が軟化した接合部13i上の位置にてTFTガラス12を切断することにより、TFTガラス12内に発生する圧縮応力の影響を緩和できる。その結果、TFTガラス12において、CFガラス11が切断された切断ラインに沿うように、接着剤層13が付着している部分の反対側から第2亀裂12cを形成して進展させることにより、TFTガラス12および接着剤層13を切断することができる。   Thus, by cutting the TFT glass 12 at the position on the joint portion 13i where the adhesive layer 13 is softened, the influence of the compressive stress generated in the TFT glass 12 can be alleviated. As a result, in the TFT glass 12, the second crack 12c is formed and developed from the opposite side of the portion where the adhesive layer 13 is adhered so as to extend along the cutting line in which the CF glass 11 is cut. The glass 12 and the adhesive layer 13 can be cut.

図5〜7に示すように、本実施形態に係る脆性構造体の切断方法においては、少なくとも上記切断ラインに沿う位置にて接着剤層13のTFTガラス12との接合部13iを予め加熱した状態でガラスカッター110により第2亀裂12cを形成して進展させることにより、第1亀裂11cと第2亀裂12cとを繋げて脆性構造体10を安定して切断することができる。よって、接着剤層13と重なる位置を切断位置として脆性構造体10を安定して切断することができる。   As shown in FIGS. 5 to 7, in the method for cutting a brittle structure according to the present embodiment, a state in which the bonding portion 13 i of the adhesive layer 13 with the TFT glass 12 is heated in advance at least along the cutting line. Then, the second crack 12c is formed and advanced by the glass cutter 110, and the brittle structure 10 can be stably cut by connecting the first crack 11c and the second crack 12c. Therefore, the brittle structure 10 can be stably cut with the position overlapping the adhesive layer 13 as the cutting position.

本実施形態においてはCFガラス11をTFTガラス12より先に切断したが、TFTガラス12をCFガラス11より先に切断してもよい。また、脆性構造体10の全体を予め加熱して接着剤層13の全体を軟化させた状態で、第2亀裂12cを形成して進展させてもよい。   In the present embodiment, the CF glass 11 is cut before the TFT glass 12, but the TFT glass 12 may be cut before the CF glass 11. In addition, the second crack 12c may be formed and advanced in a state where the entire brittle structure 10 is heated in advance and the entire adhesive layer 13 is softened.

さらに、切断装置100を2つ用意して、CFガラス11を一方の切断装置100で切断し、TFTガラス12を他方の切断装置100で切断してもよい。   Further, two cutting devices 100 may be prepared, the CF glass 11 may be cut by one cutting device 100, and the TFT glass 12 may be cut by the other cutting device 100.

具体的には、CFガラス11側に配置した切断装置100において、レーザ光照射部120からレーザ光を照射せずにガラスカッター110の刃111をCFガラス11の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して相対的に移動させることによりCFガラス11を切断する。   Specifically, in the cutting device 100 arranged on the CF glass 11 side, the cutting device 100 is pressed with the blade 111 of the glass cutter 110 against the surface of the CF glass 11 without irradiating the laser light from the laser light irradiation unit 120. The CF glass 11 is cut by moving 100 relative to the brittle structure 10.

TFTガラス12側に配置した切断装置100において、レーザ光照射部120からレーザ光120bをTFTガラス12に照射しつつガラスカッター110の刃111をTFTガラス12の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して相対的に移動させることによりTFTガラス12を切断する。   In the cutting apparatus 100 disposed on the TFT glass 12 side, the cutting apparatus 100 is in a state where the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the surface of the TFT glass 12 while irradiating the TFT glass 12 with the laser light 120b from the laser light irradiation unit 120. Is moved relative to the brittle structure 10 to cut the TFT glass 12.

この場合、脆性構造体10を切断する際に、脆性構造体10を引っ繰り返す必要がなくなる。また、2つの切断装置100によって、CFガラス11の切断とTFTガラス12の切断とを略同時に行なうことにより、脆性構造体10の切断時間を短縮することができる。少なくともCFガラス11およびTFTガラス12の一方の切断が終了する前に、CFガラス11およびTFTガラス12の他方の切断を開始することにより、脆性構造体10の切断時間を短縮することができる。   In this case, it is not necessary to repeat the brittle structure 10 when the brittle structure 10 is cut. Further, the cutting time of the brittle structure 10 can be shortened by cutting the CF glass 11 and the TFT glass 12 almost simultaneously by the two cutting devices 100. The cutting time of the brittle structure 10 can be shortened by starting the cutting of the other of the CF glass 11 and the TFT glass 12 before the cutting of at least one of the CF glass 11 and the TFT glass 12 is completed.

なお、2つの切断装置100によってCFガラス11の切断とTFTガラス12の切断とを略同時に行なう場合には、両方のガラスカッター110の刃111の消耗度合の違いによって、両方の切断装置100の脆性構造体10に対する相対的進行方向において、第2亀裂12cを形成するガラスカッター110の刃111が、第1亀裂11cを形成するガラスカッター110の刃111より前方に位置しないようにする必要がある。   In the case where the cutting of the CF glass 11 and the cutting of the TFT glass 12 are performed almost simultaneously by the two cutting devices 100, the brittleness of both of the cutting devices 100 is caused by the difference in the degree of wear of the blades 111 of both glass cutters 110. It is necessary that the blade 111 of the glass cutter 110 that forms the second crack 12c is not positioned in front of the blade 111 of the glass cutter 110 that forms the first crack 11c in the relative traveling direction with respect to the structure 10.

そのため、両方の切断装置100の脆性構造体10に対する相対的進行方向において、第1亀裂11cを形成するガラスカッター110の刃111を、第2亀裂12cを形成するガラスカッター110の刃111より100μm程度前方に位置させておくことが好ましい。   Therefore, the blade 111 of the glass cutter 110 that forms the first crack 11 c is about 100 μm from the blade 111 of the glass cutter 110 that forms the second crack 12 c in the relative advancing direction of both the cutting apparatuses 100 with respect to the brittle structure 10. It is preferable to position it ahead.

図8は、本実施形態に係る脆性構造体の切断方法により切断して個片化した液晶パネルの両面のガラスを等方性エッチングした状態を示す側面図である。接合部13i上の位置にて切断した液晶パネルのCFガラス11およびTFTガラス12を等方性エッチングした場合、図8に示すように、液晶パネルの切断部は面取りされた形状となる。   FIG. 8 is a side view showing a state in which the glass on both surfaces of the liquid crystal panel cut into pieces by the brittle structure cutting method according to the present embodiment is isotropically etched. When the CF glass 11 and the TFT glass 12 of the liquid crystal panel cut at a position on the joint portion 13i are isotropically etched, the cut portion of the liquid crystal panel has a chamfered shape as shown in FIG.

よって、本実施形態に係る脆性構造体の切断方法により切断して個片化された液晶パネルにおいては、比較例1のように液晶パネルの切断部に突起部が形成されることを抑制できる。具体的には、エッチングされたCFガラス11eの先端に突起部11pが形成されることを抑制できる。エッチングされたTFTガラス12eの先端に突起部12pが形成されることを抑制できる。   Therefore, in the liquid crystal panel cut into pieces by the brittle structure cutting method according to the present embodiment, it is possible to suppress the formation of protrusions at the cut portion of the liquid crystal panel as in Comparative Example 1. Specifically, it is possible to suppress the protrusion 11p from being formed at the tip of the etched CF glass 11e. It can suppress that the projection part 12p is formed in the front-end | tip of the etched TFT glass 12e.

突起部11p,12pが形成されることを抑制することにより、CFガラス11およびTFTガラス12を破損しにくくすることができるため、液晶パネルの品質安定性を向上できる。   By suppressing the formation of the protrusions 11p and 12p, it is possible to make the CF glass 11 and the TFT glass 12 difficult to break, so that the quality stability of the liquid crystal panel can be improved.

以下、本発明の実施形態2に係る脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置について図を参照して説明する。なお、本実施形態に係る切断装置200は、冷却ノズル210を備える点のみ実施形態1に係る切断装置100と異なるため、他の構成については説明を繰り返さない。   Hereinafter, a brittle structure cutting method and a brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the cutting device 200 according to the present embodiment is different from the cutting device 100 according to the first embodiment only in that the cooling nozzle 210 is provided, and thus the description of the other components will not be repeated.

(実施形態2)
図9は、本発明の実施形態2に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。図9に示すように、本発明の実施形態2に係る脆性構造体の切断装置200は、ガラスカッター110の刃111に向けて冷風210aを吹き付ける冷却ノズル210を備える。
(Embodiment 2)
FIG. 9 is a perspective view showing a state where the TFT glass is cut by the brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. As shown in FIG. 9, the brittle structure cutting apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention includes a cooling nozzle 210 that blows cold air 210 a toward a blade 111 of a glass cutter 110.

TFTガラス12を切断する際、ガラスカッター110の刃111は、加熱領域12h上を通過するため温度が徐々に高くなる。脆性構造体10の1辺の長さが1mより長い場合、刃111が高温になって膨張することにより、刃111の切断性能が低下することがある。   When cutting the TFT glass 12, the blade 111 of the glass cutter 110 passes over the heating region 12h, so that the temperature gradually increases. When the length of one side of the brittle structure 10 is longer than 1 m, the cutting performance of the blade 111 may deteriorate due to the blade 111 becoming hot and expanding.

そのため、本実施形態においては、冷却ノズル210から刃111に向けて冷風210aを吹き付けることにより、ガラスカッター110の刃111を冷却しつつガラスカッター110により第2亀裂12cを形成して進展させる。このようにすることにより、刃111が高温になることを抑制して、刃111の切断性能を維持することができる。なお、冷却ノズル210から冷却水を吹き付けてもよい。   Therefore, in this embodiment, by blowing the cool air 210a toward the blade 111 from the cooling nozzle 210, the glass cutter 110 forms and develops the second crack 12c while cooling the blade 111 of the glass cutter 110. By doing in this way, it can suppress that the blade 111 becomes high temperature, and the cutting performance of the blade 111 can be maintained. Note that cooling water may be sprayed from the cooling nozzle 210.

以下、本発明の実施形態3に係る脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置について図を参照して説明する。なお、本実施形態に係る切断装置300は、レーザ光照射部120の替わりに赤外線照射部310を備える点のみ実施形態2に係る切断装置200と異なるため、他の構成については説明を繰り返さない。   Hereinafter, a brittle structure cutting method and a brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the cutting device 300 according to the present embodiment is different from the cutting device 200 according to the second embodiment only in that an infrared irradiation unit 310 is provided instead of the laser beam irradiation unit 120, and therefore, description of other configurations will not be repeated.

(実施形態3)
図10は、本発明の実施形態3に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。図10に示すように、本発明の実施形態3に係る脆性構造体の切断装置300は、加熱機構である赤外線照射部310を備える。
(Embodiment 3)
FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the TFT glass is cut by the brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. As shown in FIG. 10, the brittle structure cutting apparatus 300 according to Embodiment 3 of the present invention includes an infrared irradiation unit 310 that is a heating mechanism.

赤外線照射部310は、ガラスカッター110の刃111の近傍に向けて赤外線を照射可能なように、ガラスカッター110の側方に取り付けられている。本実施形態に係る赤外線照射部310は、セラミックスヒータであり、1μm以上5μm以下の波長の赤外線を照射する。ただし、赤外線照射部310の構成はセラミックスヒータに限られず赤外線ランプなどでもよく、照射される赤外線の波長も上記に限られない。   The infrared irradiation part 310 is attached to the side of the glass cutter 110 so that infrared rays can be irradiated toward the vicinity of the blade 111 of the glass cutter 110. The infrared irradiation unit 310 according to the present embodiment is a ceramic heater and irradiates infrared rays having a wavelength of 1 μm or more and 5 μm or less. However, the configuration of the infrared irradiation unit 310 is not limited to the ceramic heater but may be an infrared lamp or the like, and the wavelength of the irradiated infrared ray is not limited to the above.

なお、後述するように接着剤層13に赤外線を照射して加熱する際に効率よく加熱するために、赤外線の波長としては、ガラスを透過する波長の範囲である5μm以下であることが好ましい。   As will be described later, in order to efficiently heat the adhesive layer 13 by irradiating it with infrared rays, the wavelength of the infrared rays is preferably 5 μm or less, which is the range of wavelengths that pass through the glass.

図10に示すように、TFTガラス12を切断する際には、赤外線照射部310から赤外線310bを接着剤層13に照射しつつガラスカッター110の刃111をTFTガラス12の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して矢印2で示す方向に相対的に移動させる。このとき、ガラスカッター110の刃111は、TFTガラス12において接着剤層13が付着している部分の反対側に押し付けられている。また、矢印2で示す方向は、CFガラス11が切断された切断ラインに沿っている。   As shown in FIG. 10, when the TFT glass 12 is cut, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the surface of the TFT glass 12 while irradiating the adhesive layer 13 with the infrared ray 310b from the infrared ray irradiation unit 310. The cutting device 100 is moved relative to the brittle structure 10 in the direction indicated by the arrow 2. At this time, the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the opposite side of the TFT glass 12 where the adhesive layer 13 is attached. The direction indicated by the arrow 2 is along the cutting line in which the CF glass 11 is cut.

上記のように、赤外線照射部310は1μm以上5μm以下の波長の赤外線を照射する。波長が5μm以下の赤外線はTFTガラス12を透過するため、接着剤層13に赤外線を照射して加熱することが可能である。   As described above, the infrared irradiation unit 310 irradiates infrared rays having a wavelength of 1 μm or more and 5 μm or less. Infrared rays having a wavelength of 5 μm or less are transmitted through the TFT glass 12, so that it is possible to heat the adhesive layer 13 by irradiating it with infrared rays.

接着剤層13において、赤外線310bの照射位置の周辺の加熱領域31hは、ガラスの軟化点よりも低い温度まで加熱されている。加熱領域31hに位置する図6に示す接着剤層13の接合部13iは加熱されて軟化する。その結果、接合部13iにおいてCFガラス11とTFTガラス12との接合力が低下する。   In the adhesive layer 13, the heating region 31h around the irradiation position of the infrared ray 310b is heated to a temperature lower than the softening point of the glass. The joint 13i of the adhesive layer 13 shown in FIG. 6 located in the heating region 31h is heated and softened. As a result, the bonding force between the CF glass 11 and the TFT glass 12 is reduced at the bonding portion 13i.

赤外線照射部310は、ガラスカッター110に比較して切断装置300の相対的移動方向の前方側に配置されているため、ガラスカッター110の刃111は加熱領域31h上を通過する。その結果、図6に示すように、接着剤層13の接合部13iが軟化した状態で、第1亀裂11c上の位置のTFTガラス12にガラスカッターの刃111が押し付けられる。   Since the infrared irradiation part 310 is arrange | positioned ahead of the relative movement direction of the cutting device 300 compared with the glass cutter 110, the blade 111 of the glass cutter 110 passes on the heating area | region 31h. As a result, as shown in FIG. 6, the blade 111 of the glass cutter is pressed against the TFT glass 12 at a position on the first crack 11c in a state where the joint portion 13i of the adhesive layer 13 is softened.

接合部13iにおいては、CFガラス11とTFTガラス12との接合力が低下しているため、TFTガラス12にガラスカッター110の刃111を押し付けた際にCFガラス11内にて矢印Tsで示す方向に発生する引張応力が低減されるとともに、CFガラス11内に発生した引張応力が接着剤層13を通じてTFTガラス12に作用して矢印Psで示す方向に発生する圧縮応力も低減される。そのため、TFTガラス12においてガラスカッター110の刃111を押し付けられている部分に対して作用する圧縮応力を低減できる。   Since the bonding force between the CF glass 11 and the TFT glass 12 is reduced at the bonding portion 13i, the direction indicated by the arrow Ts in the CF glass 11 when the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed against the TFT glass 12. The tensile stress generated in the CF glass 11 is reduced, and the tensile stress generated in the CF glass 11 acts on the TFT glass 12 through the adhesive layer 13 to reduce the compressive stress generated in the direction indicated by the arrow Ps. Therefore, the compressive stress acting on the portion of the TFT glass 12 where the blade 111 of the glass cutter 110 is pressed can be reduced.

このように、接着剤層13が軟化した接合部13i上の位置にてTFTガラス12を切断することにより、TFTガラス12内に発生する圧縮応力の影響を緩和できる。その結果、TFTガラス12において、CFガラス11が切断された切断ラインに沿うように、接着剤層13が付着している部分の反対側から第2亀裂12cを形成して進展させることにより、TFTガラス12および接着剤層13を切断することができる。   Thus, by cutting the TFT glass 12 at the position on the joint portion 13i where the adhesive layer 13 is softened, the influence of the compressive stress generated in the TFT glass 12 can be alleviated. As a result, in the TFT glass 12, the second crack 12c is formed and developed from the opposite side of the portion where the adhesive layer 13 is adhered so as to extend along the cutting line in which the CF glass 11 is cut. The glass 12 and the adhesive layer 13 can be cut.

実施形態1に係る脆性構造体の切断方法においては、TFTガラス12からの伝熱により接着剤層13の接合部13iを加熱して軟化させているのに対して、本実施形態に係る脆性構造体の切断方法においては、接着剤層13に赤外線を照射して加熱することにより、接着剤層13の接合部13iを軟化させている。   In the cutting method of the brittle structure according to the first embodiment, the bonding portion 13i of the adhesive layer 13 is heated and softened by heat transfer from the TFT glass 12, whereas the brittle structure according to the present embodiment. In the body cutting method, the bonding portion 13i of the adhesive layer 13 is softened by irradiating the adhesive layer 13 with infrared rays and heating it.

本実施形態に係る脆性構造体の切断方法においても、少なくとも上記切断ラインに沿う位置にて接着剤層13のTFTガラス12との接合部13iを予め加熱した状態でガラスカッター110により第2亀裂12cを形成して進展させることにより、第1亀裂11cと第2亀裂12cとを繋げて脆性構造体10を安定して切断することができる。よって、接着剤層13と重なる位置を切断位置として脆性構造体10を安定して切断することができる。   Also in the cutting method of the brittle structure according to the present embodiment, the second crack 12c is caused by the glass cutter 110 in a state in which the bonding portion 13i of the adhesive layer 13 with the TFT glass 12 is preheated at least at a position along the cutting line. By forming and progressing, the 1st crack 11c and the 2nd crack 12c are connected, and the brittle structure 10 can be cut | disconnected stably. Therefore, the brittle structure 10 can be stably cut with the position overlapping the adhesive layer 13 as the cutting position.

以下、本発明の実施形態4に係る脆性構造体の切断方法および脆性構造体の切断装置について図を参照して説明する。なお、本実施形態に係る切断装置400は、レーザ光照射部120および赤外線照射部310の両方を備える点のみ実施形態2,3に係る切断装置200,300と異なるため、他の構成については説明を繰り返さない。   Hereinafter, a brittle structure cutting method and a brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the cutting device 400 according to the present embodiment is different from the cutting devices 200 and 300 according to the second and third embodiments only in that both the laser light irradiation unit 120 and the infrared irradiation unit 310 are provided. Do not repeat.

(実施形態4)
図11は、本発明の実施形態4に係る脆性構造体の切断装置によりTFTガラスを切断している状態を示す斜視図である。図11に示すように、本発明の実施形態4に係る脆性構造体の切断装置400は、加熱機構としてレーザ光照射部120および赤外線照射部310を備える。
(Embodiment 4)
FIG. 11 is a perspective view showing a state in which the TFT glass is cut by the brittle structure cutting apparatus according to Embodiment 4 of the present invention. As shown in FIG. 11, the brittle structure cutting apparatus 400 according to the fourth embodiment of the present invention includes a laser light irradiation unit 120 and an infrared irradiation unit 310 as a heating mechanism.

レーザ光照射部120は、ガラスカッター110の刃111の近傍に向けてレーザ光を照射可能なように、ガラスカッター110の側方に取り付けられている。レーザ光照射部120は、ガラスカッター110に比較して切断装置400の相対的移動方向の前方側に配置されている。   The laser beam irradiation unit 120 is attached to the side of the glass cutter 110 so that the laser beam can be irradiated toward the vicinity of the blade 111 of the glass cutter 110. The laser beam irradiation unit 120 is disposed on the front side in the relative movement direction of the cutting device 400 as compared with the glass cutter 110.

赤外線照射部310は、ガラスカッター110の刃111の通過位置に向けて赤外線を照射可能なように、レーザ光照射部120の側方に取り付けられている。赤外線照射部310は、レーザ光照射部120に比較して切断装置400の相対的移動方向の前方側に配置されている。   The infrared irradiation unit 310 is attached to the side of the laser beam irradiation unit 120 so that infrared rays can be irradiated toward the passing position of the blade 111 of the glass cutter 110. The infrared irradiation unit 310 is disposed on the front side in the relative movement direction of the cutting device 400 as compared to the laser beam irradiation unit 120.

図11に示すように、TFTガラス12を切断する際には、レーザ光照射部120からレーザ光120bをTFTガラス12に照射するとともに赤外線照射部310から赤外線310bを接着剤層13に照射しつつガラスカッター110の刃111をTFTガラス12の表面に押し付けた状態で、切断装置100を脆性構造体10に対して矢印2で示す方向に相対的に移動させる。   As shown in FIG. 11, when the TFT glass 12 is cut, the laser light 120 b is irradiated from the laser light irradiation unit 120 to the TFT glass 12 and the infrared ray 310 b is irradiated from the infrared irradiation unit 310 to the adhesive layer 13. With the blade 111 of the glass cutter 110 pressed against the surface of the TFT glass 12, the cutting device 100 is moved relative to the brittle structure 10 in the direction indicated by the arrow 2.

このようにすることにより、赤外線310bを照射された接着剤層13の加熱領域31hに位置する接合部13iを加熱して軟化させ、引き続いて、レーザ光120bを照射されて加熱されたTFTガラス12の加熱領域12hからの伝熱により接合部13iを加熱して軟化させることができる。よって、接着剤層13の接合部13iを効果的に加熱して軟化させることができる。すなわち、波長の異なる光(電磁波)を照射することにより、TFTガラス12および接着剤層13の両方を加熱して接合部13iを効果的に軟化させている。   By doing so, the bonding portion 13i located in the heating region 31h of the adhesive layer 13 irradiated with the infrared rays 310b is heated and softened, and subsequently, the TFT glass 12 heated by being irradiated with the laser beam 120b. The joint 13i can be heated and softened by heat transfer from the heating region 12h. Therefore, the joint part 13i of the adhesive layer 13 can be effectively heated and softened. That is, by irradiating light (electromagnetic waves) having different wavelengths, both the TFT glass 12 and the adhesive layer 13 are heated to effectively soften the bonding portion 13i.

接着剤層13が軟化した接合部13i上の位置にてTFTガラス12を切断することにより、TFTガラス12内に発生する圧縮応力の影響を効果的に緩和できる。その結果、TFTガラス12において、CFガラス11が切断された切断ラインに沿うように、接着剤層13が付着している部分の反対側から第2亀裂12cを形成して進展させることにより、TFTガラス12および接着剤層13を容易に切断することができる。   By cutting the TFT glass 12 at a position on the bonding portion 13i where the adhesive layer 13 is softened, the influence of the compressive stress generated in the TFT glass 12 can be effectively alleviated. As a result, in the TFT glass 12, the second crack 12c is formed and developed from the opposite side of the portion where the adhesive layer 13 is adhered so as to extend along the cutting line in which the CF glass 11 is cut. The glass 12 and the adhesive layer 13 can be easily cut.

本実施形態に係る脆性構造体の切断方法においても、少なくとも上記切断ラインに沿う位置にて接着剤層13のTFTガラス12との接合部13iを予め加熱した状態でガラスカッター110により第2亀裂12cを形成して進展させることにより、第1亀裂11cと第2亀裂12cとを繋げて脆性構造体10を安定して切断することができる。よって、接着剤層13と重なる位置を切断位置として脆性構造体10を安定して切断することができる。   Also in the cutting method of the brittle structure according to the present embodiment, the second crack 12c is caused by the glass cutter 110 in a state in which the bonding portion 13i of the adhesive layer 13 with the TFT glass 12 is preheated at least at a position along the cutting line. By forming and progressing, the 1st crack 11c and the 2nd crack 12c are connected, and the brittle structure 10 can be cut | disconnected stably. Therefore, the brittle structure 10 can be stably cut with the position overlapping the adhesive layer 13 as the cutting position.

なお、レーザ光照射部120が、赤外線照射部310に比較して切断装置400の相対的移動方向の前方側に配置されていてもよい。加熱機構の組み合わせとしては、たとえば、炭酸ガスレーザーとセラミックスヒータ、炭酸ガスレーザーと赤外線ランプ、セラミックスヒータと赤外線ランプなどが挙げられる。また、3つ以上の加熱機構を組み合わせてもよい。   In addition, the laser beam irradiation unit 120 may be disposed on the front side in the relative movement direction of the cutting device 400 as compared with the infrared irradiation unit 310. Examples of combinations of heating mechanisms include a carbon dioxide laser and a ceramic heater, a carbon dioxide laser and an infrared lamp, and a ceramic heater and an infrared lamp. Three or more heating mechanisms may be combined.

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   It should be thought that embodiment disclosed this time is an illustration and restrictive at no points. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

10,90 脆性構造体、11,11e CFガラス、11c 第1亀裂、11p,11p,12p,12p 突起部、12,12e TFTガラス、12c 第2亀裂、12h,31h 加熱領域、13 接着剤層、13c 溝部、13i 接合部、14 パネル領域、100,200,300,400 切断装置、110 ガラスカッター、111 刃、120 レーザ光照射部、120b レーザ光、210 冷却ノズル、210a 冷風、310 赤外線照射部、310b 赤外線。   10,90 brittle structure, 11, 11e CF glass, 11c first crack, 11p, 11p, 12p, 12p protrusion, 12, 12e TFT glass, 12c second crack, 12h, 31h heating region, 13 adhesive layer, 13c groove part, 13i joint part, 14 panel region, 100, 200, 300, 400 cutting device, 110 glass cutter, 111 blade, 120 laser light irradiation part, 120b laser light, 210 cooling nozzle, 210a cold air, 310 infrared irradiation part, 310b Infrared.

Claims (5)

1対の脆性基板が接着剤層によって互いに張り合わされて構成された脆性構造体の切断方法であって、
前記1対の脆性基板のうちの一方の脆性基板において、前記接着剤層が付着している部分の反対側から第1亀裂を形成して進展させることにより前記一方の脆性基板を切断する工程と、
前記1対の脆性基板のうちの他方の脆性基板において、前記一方の脆性基板が切断される切断ラインに沿うように、前記接着剤層が付着している部分の反対側から第2亀裂を形成して進展させることにより、前記他方の脆性基板および前記接着剤層を切断する工程とを備え、
前記他方の脆性基板を切断する工程において、少なくとも前記切断ラインに沿う位置にて前記接着剤層の前記他方の脆性基板との接合部を予め加熱した状態でカッターにより前記第2亀裂を形成して進展させることにより、前記第1亀裂と前記第2亀裂とを繋げて前記脆性構造体を切断する、脆性構造体の切断方法。
A method for cutting a brittle structure comprising a pair of brittle substrates bonded together by an adhesive layer,
Cutting one of the brittle substrates by forming a first crack from the opposite side of the portion to which the adhesive layer is attached in one brittle substrate of the pair of brittle substrates; ,
In the other brittle substrate of the pair of brittle substrates, a second crack is formed from the opposite side of the portion where the adhesive layer is adhered, along a cutting line where the one brittle substrate is cut. And the step of cutting the other brittle substrate and the adhesive layer by making progress,
In the step of cutting the other brittle substrate, the second crack is formed by a cutter in a state where the joint portion of the adhesive layer with the other brittle substrate is preheated at least at a position along the cutting line. A method for cutting a brittle structure, wherein the brittle structure is cut by connecting the first crack and the second crack.
前記他方の脆性基板を切断する工程が、前記一方の脆性基板を切断する工程の終了前に開始される、請求項1に記載の脆性構造体の切断方法。   The method for cutting a brittle structure according to claim 1, wherein the step of cutting the other brittle substrate is started before the end of the step of cutting the one brittle substrate. 前記他方の脆性基板を切断する工程において、前記カッターを冷却しつつ前記カッターにより前記第2亀裂を形成して進展させる、請求項1または2に記載の脆性構造体の切断方法。   The method of cutting a brittle structure according to claim 1 or 2, wherein, in the step of cutting the other brittle substrate, the second crack is formed and advanced by the cutter while the cutter is cooled. 前記他方の脆性基板を切断する工程において、光を前記他方の脆性基板または前記接着剤層に照射することにより前記接合部を加熱する、請求項1から3のいずれか1項に記載の脆性構造体の切断方法。   The brittle structure according to any one of claims 1 to 3, wherein, in the step of cutting the other brittle substrate, the junction is heated by irradiating the other brittle substrate or the adhesive layer with light. How to cut the body. 1対の脆性基板が接着剤層によって互いに張り合わされて構成された脆性構造体の切断装置であって、
前記1対の脆性基板のうちの一方の脆性基板において、前記接着剤層が付着している部分の反対側から第1亀裂を形成して進展させることにより前記一方の脆性基板を切断する切断手段と、
前記1対の脆性基板のうちの他方の脆性基板において、前記一方の脆性基板が切断される切断ラインに沿うように、前記接着剤層が付着している部分の反対側から第2亀裂を形成して進展させることにより、前記他方の脆性基板および前記接着剤層を切断するカッターと、
少なくとも前記切断ラインに沿う位置にて前記接着剤層の前記他方の脆性基板との接合部を加熱する加熱機構とを備え、
前記加熱機構により前記接合部を予め加熱した状態で前記カッターにより前記第2亀裂を形成して進展させることにより、前記第1亀裂と前記第2亀裂とを繋げて前記脆性構造体を切断する、脆性構造体の切断装置。
A brittle structure cutting device comprising a pair of brittle substrates bonded together by an adhesive layer,
Cutting means for cutting the one brittle substrate by forming a first crack from the opposite side of the portion to which the adhesive layer is attached in one brittle substrate of the pair of brittle substrates. When,
In the other brittle substrate of the pair of brittle substrates, a second crack is formed from the opposite side of the portion where the adhesive layer is adhered, along a cutting line where the one brittle substrate is cut. And a cutter that cuts the other brittle substrate and the adhesive layer,
A heating mechanism that heats at least a joint portion of the adhesive layer with the other brittle substrate at a position along the cutting line;
Cutting the brittle structure by connecting the first crack and the second crack by forming and propagating the second crack with the cutter in a state in which the joint is preheated by the heating mechanism; Cutting device for brittle structures.
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