JP2015021741A - Magnetic encoder device and rotation detection device - Google Patents

Magnetic encoder device and rotation detection device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic encoder device capable of suppressing whirling of a magnetic encoder track to a low cost, and a rotation detection device having the magnetic encoder device.SOLUTION: A magnetic encoder device 3 includes: a base member 33 having a fitting surface 33b for attachment to a rotation shaft 2; a core grid 34 fitted to and secured to the base member 33; and a plurality of magnetic encoder tracks 30 formed on the core grid 34. The angle of the rotating rotation shaft is detected by moving each magnet pole of the magnetic encoder tracks 30 in an area facing a magnetic sensor 4. The base member 33 is formed with sintered metal, with sizing applied to its fitting surface 33c in advance.

Description

本発明は、磁気エンコーダ装置およびこれを有する回転検出装置に関するものである。   The present invention relates to a magnetic encoder device and a rotation detection device having the same.

磁気エンコーダ装置は、磁気センサに対面する多極磁石を回転させ、磁気センサで多極磁石の各磁極Ｎ、Ｓの通過を検出することで、回転部材の回転を検出する構成を有する。この種の磁気エンコーダ装置としては、例えば特開２０１０−２４９５３６号公報（特許文献１）に開示されているように、自動車の車輪用軸受装置に組み込まれ、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）における車輪の回転数を検出するために用いられるものが公知である。   The magnetic encoder device is configured to detect the rotation of the rotating member by rotating the multipolar magnet facing the magnetic sensor and detecting the passage of the magnetic poles N and S of the multipolar magnet by the magnetic sensor. As this type of magnetic encoder device, as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-249536 (Patent Document 1), it is incorporated in a wheel bearing device of an automobile and the wheel of an antilock brake system (ABS) is incorporated. What is used for detecting the rotational speed is known.

その一方で、例えば特開２００９−８００５８号公報（特許文献２）に開示されているように、磁気エンコーダ装置として、磁気エンコーダトラックを複列に配置し、異なるトラックで検出した磁気信号の位相差に基づき、回転軸の絶対角度（回転位相）を検出できるようにしたものも知られている。   On the other hand, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2009-80058 (Patent Document 2), as a magnetic encoder device, magnetic encoder tracks are arranged in a double row, and the phase difference between magnetic signals detected in different tracks is detected. Based on the above, there is also known one capable of detecting the absolute angle (rotation phase) of the rotating shaft.

特開２０１０−２４９５３６号公報JP 2010-249536 A 特開２００９−８００５８号公報JP 2009-80058 A

特許文献１に記載されるような回転数を検出するための回転検出装置であれば、それほど高い分解能が要求されないので、検出精度に関する限り既存の製品精度でも実用上の不都合はない。これに対し、特許文献２に記載される回転軸の絶対角度を検出する回転検出装置では、単に回転数を検出するにすぎない場合と比べて格段に高い分解能と精度が必要とされるため、磁気エンコーダトラックには高精度が要求される。特に本発明者らの検証により、磁気エンコーダ装置の僅かな振れ回りが、絶対角度の検出精度を大きく左右することが明らかとなった。磁気エンコーダトラックはリング状の部材に形成されるのが一般的であるが、そのような部材を切削等の機械加工で形成する場合、振れ回りの防止に足る要求精度を満たそうとすれば、加工コストが著しく高騰する点が問題となる。   Since the rotation detection device for detecting the rotation speed as described in Patent Document 1 does not require a very high resolution, there is no practical inconvenience even with existing product accuracy as far as detection accuracy is concerned. On the other hand, in the rotation detection device that detects the absolute angle of the rotation shaft described in Patent Document 2, a remarkably high resolution and accuracy are required as compared with the case where the rotation number is merely detected. High precision is required for the magnetic encoder track. In particular, the inventors have verified that slight swinging of the magnetic encoder device greatly affects the absolute angle detection accuracy. The magnetic encoder track is generally formed in a ring-shaped member, but when such a member is formed by machining such as cutting, if it is intended to satisfy the required accuracy sufficient to prevent swinging, The problem is that the processing cost increases significantly.

そこで、本発明は、磁気エンコーダトラックの振れ回りを低コストに抑制できる磁気エンコーダ装置、およびこれを有する回転検出装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic encoder device that can suppress the swing of a magnetic encoder track at low cost, and a rotation detection device having the magnetic encoder device.

上記目的を達成するため、本発明は、回転軸に取り付けるための取り付け面を有する回転部材と、回転部材に設けられ、周方向に複数の磁極を配置してなる磁気エンコーダトラックとを備え、磁気エンコーダトラックの各磁極を磁気センサとの対面領域で移動させて、回転する回転軸の角度を検出する磁気エンコーダ装置において、回転部材の前記取り付け面を含む領域を焼結金属で形成し、かつ少なくとも前記取り付け面にサイジングを施したことを特徴とするものである。この場合、磁気エンコーダトラックには、それぞれに磁極を有する第一トラックおよび第二トラックを設けるのが好ましい。   In order to achieve the above object, the present invention comprises a rotating member having an attachment surface for attachment to a rotating shaft, and a magnetic encoder track provided on the rotating member and having a plurality of magnetic poles arranged in the circumferential direction. In the magnetic encoder device for detecting the angle of the rotating rotating shaft by moving each magnetic pole of the encoder track in a facing region with the magnetic sensor, the region including the mounting surface of the rotating member is formed of a sintered metal, and at least The mounting surface is sized. In this case, the magnetic encoder track is preferably provided with a first track and a second track each having a magnetic pole.

回転部材の取り付け面を含む領域を焼結金属で形成し、取り付け面にサイジングを施すことで、取り付け面の平面度、円筒度等の表面精度を低コストに向上させることができる。そのため、取り付け面に回転軸を取り付けた場合でも、回転軸の回転中心に対して回転部材を高精度の同軸度をもって回転させることができる。そのため、回転部材に設けた磁気エンコーダトラックの振れ回りを防止することができる。   By forming the region including the attachment surface of the rotating member with sintered metal and sizing the attachment surface, surface accuracy such as flatness and cylindricity of the attachment surface can be improved at low cost. Therefore, even when the rotating shaft is attached to the attachment surface, the rotating member can be rotated with high accuracy coaxiality with respect to the rotation center of the rotating shaft. Therefore, it is possible to prevent the magnetic encoder track provided on the rotating member from swinging.

この場合、回転部材のうち、磁気エンコーダトラックに着磁する際に位置決めされる被位置決め面を含む領域を焼結金属で形成し、かつ前記被位置決め面にサイジングを施すのが好ましい。これにより、精度良く着磁することが可能となる。   In this case, it is preferable that a region including a positioned surface to be positioned when the magnetic member is magnetized on the magnetic encoder track is formed of sintered metal, and sizing is performed on the positioned surface. This makes it possible to magnetize with high accuracy.

回転部材は、焼結金属からなり、回転軸に取り付けるための取り付け面を有する第一部材と、第一部材に嵌合固定され、表面に磁気エンコーダトラックが形成された第二部材とで構成することができる。この際、第一部材に第二部材を固定した状態で磁気エンコーダトラックを着磁するのが好ましい。第二部材の第一部材への組み付けに際しては、第二部材の微小変形が不可避となるが、第二部材の組み付け後に着磁すれば、微小変形後の第二部材を基準として着磁が行われるため、第二部材の微小変形に伴う磁気エンコーダトラックの精度低下を回避することが可能となる。   The rotating member is made of a sintered metal, and includes a first member having a mounting surface for mounting on a rotating shaft, and a second member fitted and fixed to the first member and having a magnetic encoder track formed on the surface. be able to. At this time, it is preferable to magnetize the magnetic encoder track with the second member fixed to the first member. When the second member is assembled to the first member, minute deformation of the second member is unavoidable. However, if the second member is magnetized after the second member is assembled, the second member after minute deformation is magnetized. Therefore, it is possible to avoid a decrease in accuracy of the magnetic encoder track due to the minute deformation of the second member.

また、回転部材は、焼結金属からなり、回転軸に取り付けるための取り付け面を有し、表面に磁気エンコーダトラックが形成されたベース部材で構成することができる。これにより部品点数の削減による低コスト化および着磁精度の向上を図ることが可能となる。   Further, the rotating member can be formed of a base member made of a sintered metal, having a mounting surface for mounting on the rotating shaft, and having a magnetic encoder track formed on the surface. As a result, the cost can be reduced and the magnetization accuracy can be improved by reducing the number of parts.

本発明によれば、磁気エンコーダトラックの振れ回りを防止することができるので、回転軸の絶対角度を高精度に検出することが可能となる。   According to the present invention, since the swing of the magnetic encoder track can be prevented, the absolute angle of the rotating shaft can be detected with high accuracy.

本発明にかかる回転検出装置（アキシャルギャップタイプ）の断面図である。It is sectional drawing of the rotation detection apparatus (axial gap type) concerning this invention. 図１に示す回転検出装置の磁気エンコーダ装置を軸方向から見た正面図である。It is the front view which looked at the magnetic encoder apparatus of the rotation detection apparatus shown in FIG. 1 from the axial direction. サイジング工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a sizing process. 着磁工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a magnetization process. 磁気エンコーダトラックの振れ回りを説明するためのモデルを示す図である。It is a figure which shows the model for demonstrating the whirling of a magnetic encoder track | truck. 回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (radial gap type). 図６に示す回転検出装置の平面図である。It is a top view of the rotation detection apparatus shown in FIG. 回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (radial gap type). 回転検出装置（アキシャルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (axial gap type). 回転検出装置（アキシャルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (axial gap type). 回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (radial gap type). 回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (radial gap type). 回転検出装置（ラジアルギャップタイプ）の他の実施形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows other embodiment of a rotation detection apparatus (radial gap type). （ａ）図、（ｂ）図とも磁極パターンの他の実施形態を示す平面図（展開図）である。Both (a) and (b) are plan views (developments) showing another embodiment of the magnetic pole pattern.

以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１は、この実施形態の回転検出装置１の概略構成を示す断面図である。図１に示すように、この回転検出装置１は、回転軸２と、回転軸２に取り付けられる磁気エンコーダ装置３と、ハウジング等の静止部材に取り付けられる磁気センサ４とで構成される。回転軸２は、図示しないモータ（例えばサーボモータ）等の回転駆動源により、最大で１２０００ｒｐｍ程度の回転速度で回転駆動される。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a rotation detection device 1 of this embodiment. As shown in FIG. 1, the rotation detection device 1 includes a rotation shaft 2, a magnetic encoder device 3 attached to the rotation shaft 2, and a magnetic sensor 4 attached to a stationary member such as a housing. The rotary shaft 2 is rotationally driven at a rotational speed of about 12000 rpm at maximum by a rotational drive source such as a motor (for example, a servo motor) (not shown).

磁気エンコーダ装置３は、異なる磁極（Ｎ極およびＳ極）を周方向交互に配置した磁気エンコーダトラック３０を有する。磁気エンコーダトラック３０は、例えば磁性粉を含むゴム、プラスチック、あるいは焼結体等で形成され、これらは着磁によってそれぞれゴム磁石、プラスチック磁石、あるいは焼結磁石を構成する。本実施形態における磁気エンコーダトラック３０は、バーニャ原理により絶対角度を検出可能としたのもので、図２に示すように、第一トラック３１と第二トラック３２とを同心で環状に複列配置した形態をなしている。   The magnetic encoder device 3 has a magnetic encoder track 30 in which different magnetic poles (N pole and S pole) are alternately arranged in the circumferential direction. The magnetic encoder track 30 is formed of, for example, rubber, plastic, or sintered body containing magnetic powder, and these constitute a rubber magnet, plastic magnet, or sintered magnet by magnetization, respectively. The magnetic encoder track 30 in the present embodiment is capable of detecting an absolute angle based on the Bagna principle. As shown in FIG. 2, the first track 31 and the second track 32 are concentrically arranged in a double row. It has a form.

第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれに、Ｎ極およびＳ極からなる磁極対３１ａ，３２ａが異なる磁極を周方向交互に配置して着磁されている。本実施形態では、第一トラック３１の磁極を等ピッチλ１とし、第二トラック３２の磁極も等ピッチλ２としている。第一トラック３１おける磁極対３１ａの数（例えば３２個）は、第二トラック３２における磁極対３２ａの数（例えば３１個）と異なる。例えば第一トラック３１における磁極対３１ａを任意の数ｎとした場合、第二トラック３２には、ｎ±１で表される数の磁極対３２ａを設けることができる。これにより回転軸２の１回転を０°〜３６０°の範囲の絶対角度で検出することができる。検出可能な絶対角度の範囲を３６０°ではなく１８０°とする場合には、第二トラック３２にｎ±２で表される数の磁極対３２ａを設ければよい。この場合、回転軸２の１回転に対して０°〜１８０°の範囲の検出を２回繰り返すことになる（いわゆる２ｘモード）。同様にｎ±３とした場合には絶対角度検出範囲は１２０°となり、回転軸２の１回転に対して３回繰り返して検出することになる（いわゆる３ｘモード）。   Each of the first track 31 and the second track 32 is magnetized by alternately arranging magnetic poles having different magnetic pole pairs 31a and 32a including N and S poles in the circumferential direction. In the present embodiment, the magnetic poles of the first track 31 are set at an equal pitch λ1, and the magnetic poles of the second track 32 are also set at an equal pitch λ2. The number of magnetic pole pairs 31a in the first track 31 (for example, 32) is different from the number of magnetic pole pairs 32a in the second track 32 (for example, 31). For example, when the number of magnetic pole pairs 31 a in the first track 31 is an arbitrary number n, the number of magnetic pole pairs 32 a represented by n ± 1 can be provided in the second track 32. Thereby, one rotation of the rotating shaft 2 can be detected with an absolute angle in the range of 0 ° to 360 °. When the range of absolute angles that can be detected is 180 ° instead of 360 °, the number of magnetic pole pairs 32a represented by n ± 2 may be provided on the second track 32. In this case, detection in the range of 0 ° to 180 ° is repeated twice for one rotation of the rotating shaft 2 (so-called 2x mode). Similarly, when n ± 3, the absolute angle detection range is 120 °, and detection is repeated three times for one rotation of the rotating shaft 2 (so-called 3x mode).

磁気センサ４は、第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれと対面する検出素子４ａを有する。各検出素子４ａは、トラックピッチの方向に所定距離だけ離隔させた二つの磁気検出素子等からなり、軸方向に０．３ｍｍ〜４ｍｍ程度のアキシャルギャップを介して第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれと対向している。磁気エンコーダトラック３０を回転させることで、各トラック３２の磁極が検出素子４ａの対面領域を移動するので、二つの検出素子４ａの出力波形を比較してその位相差を求めることにより、磁気エンコーダトラック３０の絶対角度を検出することが可能となる。   The magnetic sensor 4 includes a detection element 4 a that faces each of the first track 31 and the second track 32. Each detection element 4a includes two magnetic detection elements separated by a predetermined distance in the track pitch direction, and the first track 31 and the second track 32 via an axial gap of about 0.3 mm to 4 mm in the axial direction. Facing each of the. By rotating the magnetic encoder track 30, the magnetic pole of each track 32 moves in the facing area of the detection element 4a, so that the phase difference is obtained by comparing the output waveforms of the two detection elements 4a. It is possible to detect 30 absolute angles.

磁気エンコーダトラック３０は、第一部材としてのベース部材３３および第二部材としての芯金３４からなる回転部材３５に取り付けられる。図１および図２に示す実施形態では、磁気エンコーダトラック３０が第二部材としての芯金３４の表面に形成されている。   The magnetic encoder track 30 is attached to a rotating member 35 including a base member 33 as a first member and a cored bar 34 as a second member. In the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, a magnetic encoder track 30 is formed on the surface of a cored bar 34 as a second member.

芯金３４は、円筒部３４ａと、円筒部３４ａの軸方向一端から半径方向に延びるフランジ部３４ｂとを有する断面Ｌ字型をなし、磁性体（特に強磁性体）の金属板、例えばフェライト系ステンレス鋼等の鋼板で一体に形成されている。磁石の動作条件が多少厳しくなるが、芯金３４を非磁性の金属板で構成することもできる。この実施形態では、芯金３４のうち、磁気センサ４とアキシャルギャップを介して対向するフランジ部３４ｂの端面に磁気エンコーダトラック３０が形成されている。芯金３４の円筒部３４ｂは、以下に説明する円筒状のベース部材３３の外周面に接着、圧入、あるいは圧入接着等の手段で固定される。   The metal core 34 has an L-shaped cross section having a cylindrical portion 34a and a flange portion 34b extending in the radial direction from one axial end of the cylindrical portion 34a, and is a metal plate of a magnetic material (particularly a ferromagnetic material), such as a ferrite-based material. It is integrally formed of a steel plate such as stainless steel. Although the operating conditions of the magnet are somewhat severe, the cored bar 34 can be made of a nonmagnetic metal plate. In this embodiment, a magnetic encoder track 30 is formed on the end face of the flange portion 34b facing the magnetic sensor 4 with an axial gap in the cored bar 34. The cylindrical portion 34b of the cored bar 34 is fixed to the outer peripheral surface of a cylindrical base member 33 described below by means such as adhesion, press-fitting, or press-fitting adhesion.

第一部材としてのベース部材３３は、多数の微細空孔を有する焼結金属で形成される。このベース部材３３は、焼結金属の製造手法として常用される、金属粉末の圧縮成形→焼結→サイジングの各工程を経て製作される。焼結体に対する潤滑油の含浸は行われない。焼結金属としては、銅系、銅鉄系、鉄系の何れも使用できるが、サイジング時の成形性とコストを両立するため、銅粉および鉄粉を主成分とする銅鉄系を使用するのが好ましい。   The base member 33 as the first member is formed of a sintered metal having a large number of fine holes. The base member 33 is manufactured through the steps of metal powder compression molding → sintering → sizing, which is commonly used as a method for manufacturing sintered metal. The sintered body is not impregnated with lubricating oil. As the sintered metal, any of copper-based, copper-iron-based, and iron-based materials can be used. However, in order to achieve both formability and cost during sizing, copper-based materials containing copper powder and iron powder as the main component are used. Is preferred.

サイジングは、図３に示すように、焼結された焼結素材３３’を、その軸方向両端面３３ｃ’，３３ｄ’をパンチ１３，１４で拘束しつつダイ１１に圧入し、あるいはダイ１１に焼結素材３３’を収容してから、焼結素材３３’の軸方向両端面３３ｃ’、３３ｄ’をパンチ１３，１４で加圧することで、焼結金属素材３３’を圧迫する工程である。サイジング中は焼結金属素材３３’の内周にはコアロッド１２が挿入される。   As shown in FIG. 3, the sizing is performed by press-fitting the sintered material 33 ′ into the die 11 while restraining the axial end surfaces 33 c ′ and 33 d ′ with the punches 13 and 14, or into the die 11. This is a step of pressing the sintered metal material 33 ′ by accommodating the sintered material 33 ′ and then pressurizing the axially opposite end faces 33 c ′, 33 d ′ of the sintered material 33 ′ with the punches 13, 14. During sizing, the core rod 12 is inserted into the inner periphery of the sintered metal material 33 '.

このサイジングにより、焼結素材３３’の外周面３３ａ’、内周面３３ｂ’、および両端面３３ｃ’，３３ｄ’がそれぞれダイ１１の内周面、コアロッド１２の外周面、および両パンチ１３，１４の端面に押し付けられて塑性変形により矯正され、各面が精度良く仕上げられる。その後、焼結金属素材３３’をダイ１１内から取り出すことで、ベース部材３３が完成する。ベース部材の３３の外周面３３ａ、内周面３３ｂ、および端面３３ｃ、３３ｄは何れもサイジングされた面となるが、サイジングに伴って表面空孔が潰れるため、サイジング後の各面３３ａ〜３３ｄの表面空孔率は、内部の空孔率よりも小さくなる。ベース部材３３の軸方向両端の内径角部および外径角部には、それぞれ面取り３３ｅが設けられているが、これら面取り３３ｅはサイジングされないため、上記各面３３ａ〜３３ｄの表面空孔率は、面取り３３ｅの表面空孔率よりも小さくなる。   By this sizing, the outer peripheral surface 33a ′, the inner peripheral surface 33b ′, and both end surfaces 33c ′ and 33d ′ of the sintered material 33 ′ are respectively the inner peripheral surface of the die 11, the outer peripheral surface of the core rod 12, and both punches 13 and 14. Each surface is pressed and corrected by plastic deformation, and each surface is finished with high accuracy. Thereafter, the base member 33 is completed by removing the sintered metal material 33 ′ from the die 11. Although the outer peripheral surface 33a, the inner peripheral surface 33b, and the end surfaces 33c and 33d of the base member 33 are all sized, the surface holes are crushed along with the sizing, so that each of the surfaces 33a to 33d after sizing The surface porosity is smaller than the internal porosity. The inner diameter corner and the outer diameter corner of the base member 33 in the axial direction are respectively provided with chamfers 33e. Since these chamfers 33e are not sized, the surface porosity of each of the surfaces 33a to 33d is as follows. It becomes smaller than the surface porosity of the chamfer 33e.

芯金３４はプレス加工等で製作される。芯金３４の製作後、フランジ部３４ｂの端面に磁気エンコーダトラック３０（未着磁）が射出成形等で形成され、さらにこの芯金３４の円筒部３４ａをベース部材３３の外周面に圧入等の手段で固定することで、ベース部材３３および芯金３４のアセンブリである回転部材３５が製作される。この時、芯金３４の円筒部３４ａの自由端は、ベース部材３３のうち、反磁気センサ４側（磁気センサ４から離反する方向）の端面３３ｃと同一平面上に配置するのが好ましい。   The core metal 34 is manufactured by press working or the like. After the mandrel 34 is manufactured, a magnetic encoder track 30 (unmagnetized) is formed on the end surface of the flange portion 34b by injection molding or the like, and the cylindrical portion 34a of the mandrel 34 is pressed into the outer peripheral surface of the base member 33 or the like. By fixing by means, a rotating member 35 which is an assembly of the base member 33 and the cored bar 34 is manufactured. At this time, the free end of the cylindrical portion 34a of the cored bar 34 is preferably arranged on the same plane as the end surface 33c of the base member 33 on the side of the antimagnetic sensor 4 (in the direction away from the magnetic sensor 4).

その後、磁気エンコーダトラック３０の着磁が行われる。着磁中は、図４に示すように、ベース部材３３の内周面３３ｂがスピンドル１６に嵌合されると共に、図示しないチャック機構でベース部材３３が軸方向一方（磁気センサ４から離反する方向）に押し付けられる。これにより、ベース部材３３の反磁気センサ４側の端面３３ｃ、さらには芯金３４の円筒部３４ａの自由端が着磁装置に設けられた位置決め面１７と当接し、回転部材３５が着磁装置に対して軸方向で位置決めされる。   Thereafter, the magnetic encoder track 30 is magnetized. During magnetization, as shown in FIG. 4, the inner peripheral surface 33b of the base member 33 is fitted to the spindle 16, and the base member 33 is axially moved in one direction (a direction away from the magnetic sensor 4) by a chuck mechanism (not shown). ). As a result, the end surface 33c of the base member 33 on the antimagnetic sensor 4 side and the free end of the cylindrical portion 34a of the cored bar 34 come into contact with the positioning surface 17 provided in the magnetizing device, and the rotating member 35 is magnetized. With respect to the axial direction.

この状態で磁気エンコーダトラック３０の軸方向両側に着磁ヘッド１８を配置し、ベース部材３３および芯金３４をインデックス回転させながら、着磁ヘッド１８間に磁束を通すことにより、磁気エンコーダトラック３０の第一トラック３１と第二トラック３２のうち、どちらか一方のトラックの着磁が行われる。その後、着磁ヘッド１８を半径方向にスライドさせ、同様の操作を繰り返して他方のトラックの着磁を行うことで、図１および図２に示す磁気エンコーダ装置３が完成する。なお、インデックス回転させながら複数のトラックを同時に着磁するようにしてもよく、その他、全ての磁極を同時に着磁させる方法を採用することもできる。   In this state, the magnetizing heads 18 are arranged on both sides in the axial direction of the magnetic encoder track 30, and the magnetic flux is passed between the magnetizing heads 18 while the base member 33 and the core metal 34 are rotated as an index. One of the first track 31 and the second track 32 is magnetized. Thereafter, the magnetizing head 18 is slid in the radial direction, and the same operation is repeated to magnetize the other track, whereby the magnetic encoder device 3 shown in FIGS. 1 and 2 is completed. Note that a plurality of tracks may be magnetized at the same time while rotating the index, or a method of magnetizing all the magnetic poles at the same time may be employed.

このようにして製作した磁気エンコーダ装置３のベース部材３３に回転軸２を固定し、ハウジングの所定位置に磁気センサ４を配置することで、図１および図２に示す回転検出装置１が完成する。ベース部材３３と回転軸２の固定は、両者間での芯ずれ防止のために圧入で行うのが好ましいが、芯ずれを回避できる対策を講じれば、接着等の他の固定手段で固定することもできる。   The rotation detecting device 1 shown in FIGS. 1 and 2 is completed by fixing the rotating shaft 2 to the base member 33 of the magnetic encoder device 3 manufactured in this way and arranging the magnetic sensor 4 at a predetermined position of the housing. . The base member 33 and the rotating shaft 2 are preferably fixed by press-fitting in order to prevent misalignment between them. However, if measures are taken to avoid misalignment, the base member 33 and the rotating shaft 2 may be fixed by other fixing means such as adhesion. You can also.

本発明の磁気エンコーダ装置３においては、ベース部材３３が焼結金属で形成され、かつベース部材３３の回転軸２に対する取り付け面（内周面）３３ｂがサイジングにより矯正されている。そのため、取り付け面３３ｂは高い平面度および円筒度を有し、かつ両端面３３ｃ、３３ｄに対する直角度や回転軸心に対する同軸度も良好なものとなる。このように取り付け面３３ｂが高い表面精度を有するため、ベース部材３３の取り付け面３３ｂに回転軸２を嵌合固定して回転軸２を回転させた場合でも、磁気エンコーダトラック３０の振れ回りを小さくすることができる。そのため、回転中の磁気エンコーダトラック３０の幾何学的な誤差、さらには磁気センサ４との間のギャップ変動に基づく誤差を小さくすることができ、回転軸２の絶対角度の検出精度を高めることができる。   In the magnetic encoder device 3 of the present invention, the base member 33 is formed of sintered metal, and the mounting surface (inner peripheral surface) 33b of the base member 33 with respect to the rotating shaft 2 is corrected by sizing. Therefore, the attachment surface 33b has high flatness and cylindricity, and the perpendicularity with respect to both end surfaces 33c and 33d and the coaxiality with respect to the rotation axis are also good. As described above, since the mounting surface 33b has high surface accuracy, even when the rotary shaft 2 is fitted and fixed to the mounting surface 33b of the base member 33 and the rotary shaft 2 is rotated, the swing of the magnetic encoder track 30 is reduced. can do. Therefore, the geometric error of the rotating magnetic encoder track 30 and the error based on the gap variation with the magnetic sensor 4 can be reduced, and the detection accuracy of the absolute angle of the rotating shaft 2 can be improved. it can.

以下、この作用効果を図５に示すモデルを用いて説明する。同図において、磁気エンコーダトラック３０の半径Ｒに対して、磁気エンコーダトラック３０の中心が回転軸心ＯからΔＲだけ偏心した位置に固定されている場合を想定すると、磁気エンコーダトラック３０に回転角θに依存したΔＲの振れ回りが発生する。これにより、ｔａｎΔθ〜ΔＲ／Ｒの大きさで変動する角度誤差（幾何学的な誤差）が観測されることになる。   Hereinafter, this function and effect will be described using a model shown in FIG. In the figure, assuming that the center of the magnetic encoder track 30 is fixed at a position offset by ΔR from the rotation axis O with respect to the radius R of the magnetic encoder track 30, the rotation angle θ A swing of ΔR occurs depending on As a result, an angular error (geometric error) that varies depending on the magnitude of tan Δθ to ΔR / R is observed.

例えば、複列の磁気エンコーダトラック３０を用いて１回転を１２ビット（４０９６分割）以上の分解能で測定する場合、磁気エンコーダトラック３０の各トラック３１，３２のピッチ誤差を±０．５％以下に抑えることが望まれる。Ｒ＝２５ｍｍの位置に３２極対の磁気エンコーダトラック３０を形成する場合を考えると、１磁極対に相当する回転角度は３６０°／３２＝１１．２５°なので、ピッチ誤差０．５％は、１１．２５°×０．５％＝０．０５６２５°となり、その場合、許容される偏心量はΔＲ＜Ｒｔａｎ（０．０５６２５°）＝２４．５μｍとなる。従って、ピッチ誤差を０．５％以下にするためには、ベース部材３３の取り付け面３３ｂにおける公差を±２０μｍ以下に設定することが望まれる。少なくともベース部材３３の取り付け面３３ｂを焼結金属で形成し、これにサイジングを施せば、取り付け面３３ｂをそのような公差範囲に収めることは容易であるので、ピッチ誤差を０．５％以下に抑えた磁気エンコーダトラック３０を低コストに提供することが可能となる。   For example, when one rotation is measured with a resolution of 12 bits (4096 divisions) or more using a double-row magnetic encoder track 30, the pitch error of each track 31, 32 of the magnetic encoder track 30 is ± 0.5% or less. It is desirable to suppress. Considering the case of forming a magnetic pole track 30 of 32 pole pairs at a position of R = 25 mm, the rotation angle corresponding to one magnetic pole pair is 360 ° / 32 = 11.25 °, so the pitch error of 0.5% is 11.25 ° × 0.5% = 0.05625 °. In this case, the allowable eccentricity is ΔR <Rtan (0.05625 °) = 24.5 μm. Therefore, in order to reduce the pitch error to 0.5% or less, it is desirable to set the tolerance on the mounting surface 33b of the base member 33 to be ± 20 μm or less. If at least the mounting surface 33b of the base member 33 is made of sintered metal and sized, it is easy to keep the mounting surface 33b within such a tolerance range, so that the pitch error is 0.5% or less. The suppressed magnetic encoder track 30 can be provided at a low cost.

また、振れ回り量が小さくなることで、磁気センサ４と各磁極との間のギャップ変動を抑えることができる。既存の磁気エンコーダ装置では、磁気センサ４と各磁極との間のギャップは、機械部品の加工精度や組み付け精度によって制限され、その変動幅が大きいためにギャップを小さくするには限度がある。これに対し、本発明では、磁気エンコーダトラック３０の振れ回り量が小さいため、ギャップの変動範囲を±０．１ｍｍ以下に抑えることができる。そのため、磁気センサ４と各磁極との間のギャップを詰めることができ、磁気強度の増大を通じてノイズの少ない高品質の信号を出力することが可能となる。この点からも、回転軸２の絶対角度の検出精度を高めることができる。   Further, since the swing amount is reduced, fluctuations in the gap between the magnetic sensor 4 and each magnetic pole can be suppressed. In the existing magnetic encoder device, the gap between the magnetic sensor 4 and each magnetic pole is limited by the machining accuracy and assembly accuracy of machine parts, and since the fluctuation range is large, there is a limit in reducing the gap. On the other hand, in the present invention, since the swinging amount of the magnetic encoder track 30 is small, the fluctuation range of the gap can be suppressed to ± 0.1 mm or less. Therefore, it is possible to close the gap between the magnetic sensor 4 and each magnetic pole, and it is possible to output a high-quality signal with less noise through an increase in magnetic strength. Also from this point, the detection accuracy of the absolute angle of the rotating shaft 2 can be improved.

また、図４に示すように、磁気エンコーダトラック３０に着磁する際には、ベース部材３３の取り付け面３３ｂが着磁装置のスピンドル１６に嵌合すると共に、ベース部材３３の反磁気センサ４側の端面３３ｃが被位置決め面となって着磁装置の位置決め面１７と軸方向で当接する。磁気エンコーダトラック３０を精度良く着磁するためには、着磁装置のスピンドル１６に対するベース部材３３の取り付け姿勢が安定し、スピンドル１６の回転中心に対してベース部材３３が高い同軸度を有することが必要となるが、ベース部材３３の取り付け面３３ｂおよび被位置決め面３３ｃがサイジングにより高精度に成形されているので、着磁中の磁気エンコーダトラック３０の振れ回りをさらに小さくし、ギャップ変動を抑制することができる。従って、正確な角度ピッチで着磁することができ、回転軸２の絶対角度をさらに精度良く検出することが可能となる。   As shown in FIG. 4, when the magnetic encoder track 30 is magnetized, the mounting surface 33b of the base member 33 is fitted to the spindle 16 of the magnetizing device, and the antimagnetic sensor 4 side of the base member 33 is used. The end face 33c of the magnet is a surface to be positioned and abuts the positioning surface 17 of the magnetizing device in the axial direction. In order to magnetize the magnetic encoder track 30 with high accuracy, the mounting posture of the base member 33 with respect to the spindle 16 of the magnetizing device is stabilized, and the base member 33 has a high degree of coaxiality with respect to the rotation center of the spindle 16. Although necessary, since the mounting surface 33b and the positioned surface 33c of the base member 33 are formed with high accuracy by sizing, the whirling of the magnetic encoder track 30 being magnetized is further reduced to suppress gap fluctuation. be able to. Therefore, it is possible to magnetize at an accurate angle pitch, and it is possible to detect the absolute angle of the rotating shaft 2 with higher accuracy.

特に本実施形態では、芯金３４をベース部材３３の外周面に固定してから、芯金の磁気エンコーダトラック３０の着磁を行っているため、圧入に伴う芯金３４の変形の影響をキャンセルして磁気エンコーダトラック３０を着磁することができる。そのため、高精度の磁極パターンを形成することができる。   In particular, in this embodiment, since the cored bar 34 is fixed to the outer peripheral surface of the base member 33 and the magnetic encoder track 30 of the cored bar is magnetized, the influence of deformation of the cored bar 34 due to press-fitting is canceled. Thus, the magnetic encoder track 30 can be magnetized. Therefore, a highly accurate magnetic pole pattern can be formed.

以下、本発明の他の実施形態を図６〜図１４に基づいて説明する。なお、以下の実施形態の説明において、図１および図２に示す実施形態と共通する構成および部材には共通の参照符号を付して重複説明を省略する。また、図６〜図１４に示す実施形態の構成が奏する、図１および図２に示す実施形態と共通する作用効果についても、その説明は基本的に省略する。   Hereinafter, other embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following description of the embodiment, configurations and members common to the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Also, the description of the operation and effects common to the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 produced by the configuration of the embodiment shown in FIGS.

図６および図７は、ラジアルギャップタイプの回転検出装置１の断面図（図６）および平面図（図７）を示す。この実施形態においても、図７に示すように、磁気エンコーダトラック３０は複列配置され、ベース部材３３が焼結金属で形成されると共に、その少なくとも取り付け面３３ｂ、好ましくは取り付け面３３ｂと被位置決め面３３ｃ、さらに好ましくはベース部材３３の全面３３ａ〜３３ｄがサイジングで仕上げられている。磁気エンコーダトラック３０は、軸方向に離隔した第一トラック３１と第二トラック３２からなり、何れのトラック３１，３２も芯金３４の円筒部３４ａの外周面に形成されている。   6 and 7 are a cross-sectional view (FIG. 6) and a plan view (FIG. 7) of the radial gap type rotation detection device 1. FIG. Also in this embodiment, as shown in FIG. 7, the magnetic encoder tracks 30 are arranged in a double row, the base member 33 is formed of sintered metal, and at least its mounting surface 33b, preferably the mounting surface 33b and the position to be positioned. The surface 33c, more preferably, the entire surfaces 33a to 33d of the base member 33 are finished by sizing. The magnetic encoder track 30 includes a first track 31 and a second track 32 that are separated in the axial direction, and both the tracks 31 and 32 are formed on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 34 a of the cored bar 34.

この実施形態では、芯金３４のフランジ部３４ｂは内径方向に延びてベース部材３３の端面３ｄと軸方向で係合している。この場合、芯金３４の円筒部３４ａとフランジ部３４ｂ間の境界角部での内側アールと干渉しないように、ベース部材３３のうち、芯金３４の磁気センサ側の端面３３ｄの外径面取り３３ｅの寸法を大きくするのが好ましい。   In this embodiment, the flange portion 34b of the cored bar 34 extends in the inner diameter direction and engages with the end surface 3d of the base member 33 in the axial direction. In this case, the outer diameter chamfer 33e of the end surface 33d of the cored bar 34 on the magnetic sensor side of the base member 33 so as not to interfere with the inner radius at the boundary corner between the cylindrical part 34a and the flanged part 34b of the cored bar 34. It is preferable to increase the dimensions.

図８は、ラジアルギャップタイプの回転検出装置１の他の実施形態を示す断面図である。この実施形態でも、磁気エンコーダトラック３０は複列配置され、ベース部材３３が焼結金属で形成されると共に、ベース部材の少なくとも取り付け面３３ｂ（好ましくは取り付け面３３ｂと被位置決め面３３ｃ、より好ましくは全面）がサイジングで仕上げられている。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing another embodiment of the radial gap type rotation detection device 1. Also in this embodiment, the magnetic encoder tracks 30 are arranged in a double row, the base member 33 is formed of sintered metal, and at least the mounting surface 33b (preferably the mounting surface 33b and the positioned surface 33c, more preferably the base member 33). The whole surface is finished with sizing.

図８に示す実施形態では、ベース部材３３の外周面および芯金３４のそれぞれが、大径部と小径部からなる段付き円筒面状に形成され、芯金３４の大径部の外周面に磁気エンコーダトラック３０が形成されている。また、芯金３４の小径部がベース部材３３の小径外周面に圧入等で固定され、芯金３４の大径部の内周面とベース部材３３の大径外周面との間には隙間Ｓがある。芯金３４の大径部および小径部の双方をベース部材３４の外周面に圧入すれば、ベース部材３３の大径外周面と小径外周面の精度差から芯金３４が過剰に変形し、磁極パターンの精度に影響するおそれがあるが、かかる構成であればそのような不具合を防止することができる。   In the embodiment shown in FIG. 8, each of the outer peripheral surface of the base member 33 and the cored bar 34 is formed in a stepped cylindrical surface composed of a large diameter part and a small diameter part, and on the outer peripheral surface of the large diameter part of the cored bar 34. A magnetic encoder track 30 is formed. Further, the small diameter portion of the core metal 34 is fixed to the small diameter outer peripheral surface of the base member 33 by press fitting or the like, and a gap S is formed between the inner peripheral surface of the large diameter portion of the core metal 34 and the large diameter outer peripheral surface of the base member 33. There is. If both the large-diameter portion and the small-diameter portion of the core metal 34 are press-fitted into the outer peripheral surface of the base member 34, the core metal 34 is excessively deformed due to the difference in accuracy between the large-diameter outer peripheral surface and the small-diameter outer peripheral surface of the base member 33. Although there is a possibility of affecting the accuracy of the pattern, such a configuration can prevent such a problem.

図９は、アキシャルギャップタイプの回転検出装置１の他の実施形態を示す断面図である。図９に示す実施形態では、芯金３４の円筒部３４ａの軸方向長さを図１に示す実施形態よりも縮小させ、フランジ部３４ｂに形成した磁気エンコーダトラック３０の表面を、ベース部材３３の磁気センサ４側の端面３３ｄよりも、磁気センサ４から離反する方向に後退させている。かかる構成であれば、磁気センサ４をベース部材３３の外径側領域に配置することが可能となり、回転検出装置１の省スペース化（特に軸方向寸法の省スペース化）を図ることができる。また、磁気エンコーダ装置３の輸送時等において、磁気エンコーダ装置３を軸方向に段積しても、磁気エンコーダトラック３０が他の磁気エンコーダ装置３の芯金３４等に接触することがなく、磁気エンコーダトラック３０の変形や損傷を防止することができる。   FIG. 9 is a cross-sectional view showing another embodiment of the axial gap type rotation detection device 1. In the embodiment shown in FIG. 9, the axial length of the cylindrical portion 34 a of the core metal 34 is made smaller than that in the embodiment shown in FIG. 1, and the surface of the magnetic encoder track 30 formed on the flange portion 34 b is It is made to recede in the direction away from the magnetic sensor 4 from the end surface 33d on the magnetic sensor 4 side. With such a configuration, the magnetic sensor 4 can be disposed in the outer diameter side region of the base member 33, and space saving of the rotation detecting device 1 (especially space saving in the axial dimension) can be achieved. Further, when the magnetic encoder device 3 is transported or the like, even if the magnetic encoder device 3 is stacked in the axial direction, the magnetic encoder track 30 does not come into contact with the core metal 34 or the like of the other magnetic encoder device 3 and the magnetic Deformation and damage of the encoder track 30 can be prevented.

この実施形態においては、図９に示すように、ベース部材３３のうち、磁気センサ４側の端面３３ｄの外径面取り３３ｅの外径端を、フランジ部３４ｂの磁気センサ側の端面よりも磁気センサ４からの離反方向に後退させた位置に到達させるのが好ましい。このように外径面取り３３ｅの面取り寸法を大きくすることで、フランジ部３４ｂよりも磁気センサ４側の領域でスペースに余裕が生じるので、磁気エンコーダトラック３０の形成およびその着磁をスムーズに行うことが可能となる。   In this embodiment, as shown in FIG. 9, the outer diameter end of the outer diameter chamfer 33e of the end surface 33d on the magnetic sensor 4 side of the base member 33 is set to be more magnetic than the end surface of the flange portion 34b on the magnetic sensor side. It is preferable to reach the position retracted in the direction away from 4. By increasing the chamfer dimension of the outer diameter chamfer 33e in this way, there is a space in the area closer to the magnetic sensor 4 than the flange portion 34b. Therefore, the magnetic encoder track 30 can be formed and magnetized smoothly. Is possible.

以上の実施形態では、磁気エンコーダトラック３０を設ける回転部材３５として、ベース部材３３と芯金２４の二部品からなるアセンブリ品を例示したが、回転部材３５は、一部品で構成することもできる。以下、このように回転部材３５を一部品とした場合の複数の実施形態を図１０〜図１３に基づいて説明する。   In the above embodiment, the rotating member 35 provided with the magnetic encoder track 30 is exemplified as an assembly product including the base member 33 and the cored bar 24. However, the rotating member 35 may be configured as a single component. Hereinafter, a plurality of embodiments in which the rotating member 35 is formed as one component will be described with reference to FIGS.

図１０〜図１４に示す実施形態では、回転軸２に、回転部材３５としての焼結金属製ベース部材３３が圧入等の手段で固定されている。複列の磁気エンコーダトラック３０は、芯金３４を用いることなく、ベース部材３３の表面に直接形成されている。図１０は、ベース部材３３の磁気センサ４側の端面３３ｄに直接磁気エンコーダトラック３０を形成したアキシャルギャップタイプの回転検出装置１を示し、図１１は、ベース部材３３の外周面３３ａに磁気エンコーダトラック３０を直接形成したラジアルギャップタイプの回転検出装置１を示している。   In the embodiment shown in FIGS. 10 to 14, a sintered metal base member 33 as the rotating member 35 is fixed to the rotating shaft 2 by means such as press fitting. The double-row magnetic encoder track 30 is formed directly on the surface of the base member 33 without using the cored bar 34. FIG. 10 shows the axial gap type rotation detection device 1 in which the magnetic encoder track 30 is directly formed on the end surface 33 d of the base member 33 on the magnetic sensor 4 side, and FIG. 11 shows the magnetic encoder track on the outer peripheral surface 33 a of the base member 33. 1 shows a radial gap type rotation detector 1 in which 30 is directly formed.

図１０および図１１に示す何れの実施形態でも、焼結金属製ベース部材３３の少なくとも取り付け面３３ｂ（好ましくは取り付け面３３ｂと被位置決め面３３ｃ、さらに好ましくは全面）をサイジングすることで、図１および図２に示す実施形態と同様に、磁気エンコーダトラック３０の振れ回りを小さくすることができ、回転軸２の絶対位置の検出精度を向上させることが可能となる。   In any of the embodiments shown in FIGS. 10 and 11, by sizing at least the attachment surface 33b (preferably the attachment surface 33b and the positioning surface 33c, more preferably the entire surface) of the sintered metal base member 33, FIG. Similarly to the embodiment shown in FIG. 2, the swing of the magnetic encoder track 30 can be reduced, and the detection accuracy of the absolute position of the rotary shaft 2 can be improved.

図１２および図１３の実施形態は、図１１に示すラジアルギャップタイプの実施形態において、ベース部材３３の外周面３３ａ、および両端面３３ｃ、３３ｄの外径側領域を磁気エンコーダトラック３０で被覆したものである。このようにベース部材３３の外周面３３ａのみならず、両端面３３ｃ，３３ｄも磁気エンコーダトラック３０で被覆することにより、磁気エンコーダトラック３０がベース部材３３から剥離・脱落し難くなる。図１２に示す実施形態では、ベース部材３３の外周面３３ａを段付きの円筒面状としているが、図１３に示す実施形態では、ベース部材３３の外周面３３ａを同一の径寸法としている。   In the embodiment of FIGS. 12 and 13, in the radial gap type embodiment shown in FIG. 11, the outer peripheral surface 33a of the base member 33 and the outer diameter side regions of both end surfaces 33c and 33d are covered with the magnetic encoder track 30. It is. Thus, not only the outer peripheral surface 33a of the base member 33 but also both end surfaces 33c and 33d are covered with the magnetic encoder track 30, so that the magnetic encoder track 30 is less likely to be peeled off from the base member 33. In the embodiment shown in FIG. 12, the outer peripheral surface 33a of the base member 33 is a stepped cylindrical surface, but in the embodiment shown in FIG. 13, the outer peripheral surface 33a of the base member 33 has the same diameter.

以上の説明では、回転部材３５に形成する複列の磁気エンコーダトラック３０として、第一トラック３１と第二トラック３２の磁極対の数を異ならせると共に、第一トラック３１の磁極を等ピッチλ１とし、第二トラック３２の磁極を等ピッチλ２としたものを説明したが、磁気エンコーダトラック３０の磁極パターンはこれに限定されず、回転軸２の絶対角度を検出可能なあらゆる磁極パターンを採用することができる。例えば図１４（ａ）に示すように、第一トラック３１と第二トラック３２で磁極対の数を同じにすると共に、第一トラック３１および第二トラック３２のそれぞれで磁極ピッチを不等ピッチにすることもできる。この他、図１４（ｂ）に示すように、第一トラック３１を、異なる磁極を交互に等ピッチで形成した回転検出用トラックとすると共に、第二トラック３２を、回転基準位置検出用の磁極を周方向の一カ所もしくは複数個所に形成した、インデックス信号（Ｚ相）生成用トラックとしてもよい。   In the above description, as the double-row magnetic encoder track 30 formed on the rotating member 35, the number of magnetic pole pairs of the first track 31 and the second track 32 is made different, and the magnetic poles of the first track 31 are made to have an equal pitch λ1. In the above description, the magnetic poles of the second track 32 are set to have the same pitch λ2, but the magnetic pole pattern of the magnetic encoder track 30 is not limited to this, and any magnetic pole pattern capable of detecting the absolute angle of the rotating shaft 2 is adopted. Can do. For example, as shown in FIG. 14A, the first track 31 and the second track 32 have the same number of magnetic pole pairs, and the first track 31 and the second track 32 have unequal pitches. You can also In addition, as shown in FIG. 14B, the first track 31 is a rotation detection track in which different magnetic poles are alternately formed at the same pitch, and the second track 32 is a rotation reference position detection magnetic pole. May be an index signal (Z-phase) generation track formed at one or a plurality of locations in the circumferential direction.

以上に述べた回転検出装置１は、回転軸２の絶対角度の検出が求められる用途に適用することができ、ロボットの関節部分、精密位置決め装置をはじめ、各種産業機器に広く用いることが可能である。   The rotation detection device 1 described above can be applied to applications that require detection of the absolute angle of the rotary shaft 2 and can be widely used in various industrial equipment including robot joints and precision positioning devices. is there.

１ 回転検出装置
２ 回転軸
３ 磁気エンコーダ装置
４ 磁気センサ
３０ 磁気エンコーダトラック
３１ 第一トラック
３２ 第二トラック
３３ ベース部材（第一部材）
３３ａ 外周面
３３ｂ 内周面（取り付け面）
３３ｃ 反磁気センサ側の端面（被位置決め面）
３３ｄ 磁気センサ側の端面
３４ 芯金（第二部材）
３５ 回転部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rotation detection apparatus 2 Rotating shaft 3 Magnetic encoder apparatus 4 Magnetic sensor 30 Magnetic encoder track 31 First track 32 Second track 33 Base member (first member)
33a Outer peripheral surface 33b Inner peripheral surface (mounting surface)
33c End surface (positioned surface) on the antimagnetic sensor side
33d End surface 34 on the magnetic sensor side Core (second member)
35 Rotating member

Claims (7)

回転軸に取り付けるための取り付け面を有する回転部材と、回転部材に設けられ、周方向に複数の磁極を配置してなる磁気エンコーダトラックとを備え、磁気エンコーダトラックの各磁極を磁気センサとの対面領域で移動させて、回転する回転軸の角度を検出する磁気エンコーダ装置において、
回転部材の前記取り付け面を含む領域を焼結金属で形成し、かつ少なくとも前記取り付け面にサイジングを施したことを特徴とする磁気エンコーダ装置。 A rotating member having a mounting surface for mounting on a rotating shaft, and a magnetic encoder track provided on the rotating member and having a plurality of magnetic poles arranged in the circumferential direction, each magnetic pole of the magnetic encoder track facing a magnetic sensor In the magnetic encoder device that detects the angle of the rotating shaft that is moved in the region and rotates,
A magnetic encoder device characterized in that a region including the mounting surface of the rotating member is formed of sintered metal, and at least the mounting surface is sized. 回転部材のうち、磁気エンコーダトラックに着磁する際に位置決めされる被位置決め面を含む領域を焼結金属で形成し、かつ前記被位置決め面にサイジングを施したことを特徴とする磁気エンコーダ装置。   A magnetic encoder device comprising a rotating member formed of a sintered metal in a region including a positioned surface to be positioned when magnetized on a magnetic encoder track, and the positioned surface is sized. 回転部材を、焼結金属からなり、回転軸に取り付けるための取り付け面を有する第一部材と、第一部材に嵌合固定され、表面に磁気エンコーダトラックが形成された第二部材とで構成した請求項１または２記載の磁気エンコーダ装置。   The rotating member is composed of a first member made of sintered metal and having a mounting surface for mounting on the rotating shaft, and a second member fitted and fixed to the first member and having a magnetic encoder track formed on the surface. The magnetic encoder device according to claim 1 or 2. 磁気エンコーダトラックの着磁を、第一部材に第二部材を固定した状態で行った請求項３記載の磁気エンコーダ装置。   The magnetic encoder device according to claim 3, wherein the magnetic encoder track is magnetized in a state where the second member is fixed to the first member. 回転部材を、焼結金属からなり、回転軸に取り付けるための取り付け面を有し、表面に磁気エンコーダトラックが形成されたベース部材で構成した請求項１記載の磁気エンコーダ装置。   2. The magnetic encoder device according to claim 1, wherein the rotating member is made of a sintered metal and has a mounting surface for mounting on a rotating shaft, and a base member on which a magnetic encoder track is formed. 磁気エンコーダトラックに、それぞれに磁極を有する第一トラックおよび第二トラックを設けた請求項１〜５何れか１項に記載の磁気エンコーダ装置。   The magnetic encoder device according to claim 1, wherein a first track and a second track each having a magnetic pole are provided on the magnetic encoder track. 請求項１〜６の何れか１項に記載した磁気エンコーダ装置と、回転軸と、磁気エンコーダトラックと対面する磁気センサとを有する回転検出装置。   A rotation detection device comprising: the magnetic encoder device according to claim 1; a rotation shaft; and a magnetic sensor facing the magnetic encoder track.
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