JP2014227260A - Transfer device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、難吸着材料を搬送する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for conveying a hardly adsorbable material.
近年、半導体ウェーハやガラス基板等の板状部材を非接触で搬送するための装置が開発されている。例えば、特許文献1では、ベルヌーイの定理を用いて板状部材を非接触で搬送する装置が提案されている。この装置では、装置下面に開口する円筒室内に旋回流を発生させ、当該旋回流の中心部の負圧によって板状部材を吸引する一方、当該円等室から流出する流体によって当該装置と板状部材との間に一定の距離を保つことで、板状部材の非接触での搬送を可能としている。
In recent years, an apparatus for transporting a plate-like member such as a semiconductor wafer or a glass substrate in a non-contact manner has been developed. For example,
本発明は、その一端が開口する円筒室を備える搬送装置において、その円筒室内に負圧を発生させて被搬送物を保持する際に、その被搬送物が当該円筒室内に進入し、その開口縁と接触することにより損傷を受けることを防止することを目的とする。 The present invention provides a transfer apparatus having a cylindrical chamber having one end opened, and when the object to be transferred is held by generating a negative pressure in the cylinder chamber, the object to be transferred enters the cylinder chamber, and the opening The purpose is to prevent damage from contact with the edges.
上記の課題を解決するため、本発明は、旋回流形成体と邪魔板とを備える搬送装置であって、前記旋回流形成体は、柱状の本体と、前記本体の内部に形成され、その一端が開口している円筒室と、前記本体の、前記円筒室が開口する側の面に形成される平坦状の端面と、前記円筒室の内周面に設けられる噴出口と、前記本体の外面に設けられる流体導入口と、前記噴出口と前記流体導入口とを連結する流体通路とを備え、前記邪魔板は、前記旋回流形成体の前記端面に取り付けられ、前記円筒室内への被搬送物の進入を阻害することを特徴とする搬送装置を提供する。 In order to solve the above-mentioned problem, the present invention is a transport device including a swirl flow forming body and a baffle plate, wherein the swirl flow forming body is formed inside a columnar main body and the main body, and one end thereof. A cylindrical chamber in which the cylindrical chamber is open, a flat end surface formed on a surface of the main body on which the cylindrical chamber is open, a jet port provided on an inner peripheral surface of the cylindrical chamber, and an outer surface of the main body And a fluid passage that connects the ejection port and the fluid introduction port, and the baffle plate is attached to the end face of the swirl flow forming body, and is transported into the cylindrical chamber Provided is a transport device that inhibits entry of an object.
好ましい態様において、前記邪魔板は、十字を形成するように前記円筒室の開口部に架け渡される棒状部材と、前記棒状部材により形成される前記十字の交点を中心とする複数の同心円状の環状部材とを有してもよい。 In a preferred embodiment, the baffle plate has a rod-shaped member spanning the opening of the cylindrical chamber so as to form a cross, and a plurality of concentric annular shapes centering on the intersection of the cross formed by the rod-shaped member. You may have a member.
より好ましい態様において、前記環状部材は、前記円筒室内に形成される旋回流によって当該円筒室の中央部に発生する負圧によって吸引される流体の当該円筒室内への流入を阻害しないように設けられてもよい。 In a more preferred aspect, the annular member is provided so as not to obstruct the inflow of the fluid sucked by the negative pressure generated in the central portion of the cylindrical chamber by the swirl flow formed in the cylindrical chamber. May be.
より好ましい態様において、前記環状部材は、前記円筒室の開口部の中央部を覆うように設けられないようにしてもよい。 In a more preferred aspect, the annular member may not be provided so as to cover the central portion of the opening of the cylindrical chamber.
本発明によれば、その一端が開口する円筒室を備える搬送装置において、その円筒室内に負圧を発生させて被搬送物を保持する際に、その被搬送物が当該円筒室内に進入し、その開口縁と接触することにより損傷を受けることを防止することができる。 According to the present invention, in a transport device including a cylindrical chamber whose one end is open, when the transported object is held by generating a negative pressure in the cylindrical chamber, the transported object enters the cylindrical chamber, It is possible to prevent damage from contact with the opening edge.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
1.実施形態
図1は、本発明の一実施形態に係る搬送装置10の斜視図である。図1に示される搬送装置10は、半導体ウェーハやガラス基板等の板状の部材を保持して搬送するための装置である。搬送装置10は、図1に示されるように、旋回流形成体1と、この旋回流形成体1に取り付けられる邪魔板2とを備えている。旋回流形成体1は、被搬送物Wを吸引する部材である。邪魔板2は、旋回流形成体1により吸引される被搬送物Wが、後述する円筒室11に進入するのを阻害するための部材である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1. Embodiment FIG. 1 is a perspective view of a
図2は、旋回流形成体1の斜視図である。図3は、図2のI−I線断面図である。図4
は、図2のII−II線断面図である。旋回流形成体1は、その内部に、円柱状の空間を有するとともにその一端が開口している円筒室11を有している。旋回流形成体1は、その円筒室11が開口している面に、平坦状の端面12を有する。円筒室11の内周面には、2つの噴出口13が設けられている。一方、旋回流形成体1の外周面には、2つの流体導入口14が設けられている。噴出口13と流体導入口14とは、流体通路15により連結されている。2本の流体通路15は、互いに平行になるように配置される。また、円筒室11の開口部には、傾斜面16が形成されている。
FIG. 2 is a perspective view of the swirl
These are the II-II sectional view taken on the line of FIG. The swirl
図5は、邪魔板2の平面図である。邪魔板2は、図5に示されるように、円形の形状を有し、端面12と同心となるように旋回流形成体1に取り付けられる。例えば、邪魔板2は、ネジ止めにより旋回流形成体1に取り付けられる。邪魔板2は、図5に示されるように、円形の開口部を有する円板部21と、円板部21の開口部に架け渡される複数の棒状部材22a,22b(以下、総称して「棒状部材22」という。)と、棒状部材22a,22bの間に架け渡される複数の環状部材23a,23b(以下、総称して「環状部材23」という。)とを有する。
FIG. 5 is a plan view of the
円板部21は、邪魔板2が旋回流形成体1に取り付けられた際に、その一方の面が旋回流形成体1の端面12と接する。棒状部材22a,22bは、円板部21の開口部の中心において互いに交差するように架け渡される。棒状部材22a,22bは、邪魔板2が旋回流形成体1に取り付けられた際には、円筒室11の開口部に架け渡された状態となる。棒状部材22a,22bは、例えば十字を形成するように架け渡される。環状部材23a,23bは、棒状部材22a,22bが交差する交点を中心として、同心円状に架け渡される。
When the
最も内側に配置される環状部材23aと棒状部材22a,22bの交点との間には隙間が設けられる。すなわち、環状部材23aは、邪魔板2が旋回流形成体1に取り付けられたときに、円筒室11の開口部の中央部を覆わないように設けられる。よって、環状部材23aは、後述する原理により円筒室11内に吸引される流体の流入を阻害しない。
A gap is provided between the innermost
以上説明した構成を有する搬送装置10において、図示せぬ流体供給装置から流体導入口14を介して流体(例えば、空気)が供給されると、その流体は、流体通路15を通って噴出口13から円筒室11内に吐出される。円筒室11内に吐出された流体は、円筒室11内において旋回流となって整流され、その後円筒室11の開口部から流出する。
In the
その際、邪魔板2に対向する位置に被搬送物Wが存在する場合には、円筒室11内への外部空気の流入が制限され、旋回流の遠心力とエントレインメント効果により、旋回流中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなり、負圧が発生する。この結果、被搬送物Wは周囲の空気によって押圧されて邪魔板2側に引き寄せられる。その一方で、邪魔板2と被搬送物Wとの距離が近づくにつれて、円筒室11内から流出する空気の量が制限され、噴出口13から円筒室11内へ吐出される流体の速度が遅くなり、旋回流中心部の圧力が上昇する。この結果、被搬送物Wは邪魔板2とは接触せず、被搬送物Wと邪魔板2との間には一定の距離が保たれる。
At that time, when the transported object W exists at a position facing the
しかし、被搬送物Wが難吸着材料の場合には、被搬送物Wと邪魔板2とが接触してしまう場合がある。ここで、難吸着材料とは、柔らかく通気性があって重い材料のことである。難吸着材料を搬送する場合には、搬送装置10の吸引力を上げざるを得ず、その結果、被搬送物Wと邪魔板2とが接触してしまう場合がある。しかし、本実施形態に係る搬送装置10の場合は、邪魔板2が存在するため、図6に示されるように、円筒室11まで被搬送物Wを吸い込んでしまうことはない。
However, when the transported object W is a hardly adsorbing material, the transported object W and the
これに対して、邪魔板2が存在しない場合には、図7に示されるように、円筒室11内まで被搬送物Wを吸い込んでしまう場合がある。この場合、被搬送物Wと円筒室11の開口縁(特に、傾斜面16)とが接触し(点線領域A参照)、被搬送物Wにキズや痕をつけてしまう場合がある。
On the other hand, when the
このように、本実施形態に係る搬送装置10によれば、難吸着材料を搬送する場合であっても、当該材料が円筒室11内に進入し、その開口縁と接触することにより損傷を受けることを防止することができる。
As described above, according to the
2.変形例
上記の実施形態は、以下のように変形してもよい。また、以下の変形例は、互いに組み合わせてもよい。
2. Modifications The above embodiment may be modified as follows. The following modifications may be combined with each other.
2−1.変形例1
邪魔板の形状は、上記の実施形態において採用されたものに限られない。例えば、図8に示されるように、上記の実施形態に係る邪魔板2と比較して、最も内側に配置される環状部材23aよりも内側の領域において、棒状部材22a,22bを切除した形状を採用してもよい。この形状を有する邪魔板2Aは、図8に示されるように、円板部21と、棒状部材22c,22d,22e,22fと、環状部材23a,23bとを有する。
2-1.
The shape of the baffle plate is not limited to that employed in the above embodiment. For example, as shown in FIG. 8, compared to the
棒状部材22c,22d,22e,22fは、それぞれ円板部21の開口縁から、その開口部の中心に向かって延びる等長の部材である。棒状部材22c,22d,22e,22fは、それぞれ隣り合う棒状部材に対して垂直に延びる。環状部材23aは、その外周縁が各棒状部材22c,22d,22e,22fの先端と接するように配置される。環状部材23bは、環状部材23aと同心となるように、各棒状部材22c,22d,22e,22fの間に架け渡される。
The rod-shaped
2−2.変形例2
上記の実施形態において、旋回流形成体1と邪魔板2とは、一体に成型されてもよい。
また、上記の実施形態において、旋回流形成体1の噴出口13及び流体通路15の数は、1つでも、又は、3つ以上であってもよい。上記の実施形態において、棒状部材22及び環状部材23の本数は、1本でも、又は、3本以上であってもよい。
また、上記の実施形態に係る搬送装置10は、被搬送物Wの面積によっては、板状のフレームに複数取り付けて使用されてもよい。
2-2.
In the above embodiment, the swirl
Moreover, in said embodiment, the number of the
Further, depending on the area of the article to be transported W, a plurality of the transporting
1…旋回流形成体、2,2A…邪魔板、10…搬送装置、11…円筒室、12…端面、13…噴出口、14…流体導入口、15…流体通路、16…傾斜面、21…円板部、22,22a,22b,22c,22d,22e,22f…棒状部材、23,23a,23b…環状部材、W…被搬送物
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記旋回流形成体は、
柱状の本体と、
前記本体の内部に形成され、その一端が開口している円筒室と、
前記本体の、前記円筒室が開口する側の面に形成される平坦状の端面と、
前記円筒室の内周面に設けられる噴出口と、
前記本体の外面に設けられる流体導入口と、
前記噴出口と前記流体導入口とを連結する流体通路と
を備え、
前記邪魔板は、前記旋回流形成体の前記端面に取り付けられ、前記円筒室内への被搬送物の進入を阻害する
ことを特徴とする搬送装置。 A conveying device comprising a swirl flow forming body and a baffle plate,
The swirl flow forming body is:
A columnar body,
A cylindrical chamber formed inside the main body, one end of which is open;
A flat end surface formed on a surface of the main body on the side where the cylindrical chamber opens;
A spout provided on the inner peripheral surface of the cylindrical chamber;
A fluid inlet provided on the outer surface of the main body;
A fluid passage connecting the jet port and the fluid introduction port,
The said baffle plate is attached to the said end surface of the said rotational flow formation body, and obstructs the approach of the to-be-conveyed object into the said cylindrical chamber. The conveying apparatus characterized by the above-mentioned.
十字を形成するように前記円筒室の開口部に架け渡される棒状部材と、
前記棒状部材により形成される前記十字の交点を中心とする複数の同心円状の環状部材と
を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 The baffle plate is
A rod-like member that spans the opening of the cylindrical chamber so as to form a cross,
The conveying apparatus according to claim 1, further comprising: a plurality of concentric annular members centering on intersections of the cross formed by the rod-shaped members.
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