JP2014172310A - Liquid jetting device and channel unit - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate adverse effect on wiping to contribute to downsizing and improving in precision of location.SOLUTION: There are provided a nozzle plate containing a nozzle train in which a plurality of nozzles are arrayed, a channel member containing a channel which supplies liquid to a nozzle, and a wiper which contacts to a nozzle opening surface of the nozzle plate and wipes the nozzle opening surface by changing a position relative to the nozzle plate. The nozzle plate includes a first location hole different from a nozzle, at a position not overlapping with a nozzle constituting one nozzle train when projected on a cross section vertical to a surface of the nozzle plate, in a direction parallel to at least one nozzle train. The channel member includes a second location hole at a position corresponding to the first location hole. The wiper changes a position relative to the nozzle plate to a side where nozzle is not present before the first location hole, between one end side and the other end side of a trajectory crossing the nozzle train and passing the first location hole.

Description

本発明は、液体噴射装置および流路ユニットに関する。   The present invention relates to a liquid ejecting apparatus and a flow path unit.

インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドを構成する流路ユニットは、インクを噴射するためのノズルを有するノズルプレートや、ノズルにインクを供給するための流路を有する流路部材を含む。このような流路ユニットの組み立て工程においては、ノズルプレートや流路部材といった各部品を要求される精度で位置合わせしつつ、各部品を接着する等して製品が完成する。当該位置合わせは、例えば、各部品を貫通する位置決め穴に杭を通して部品同士の位置関係を一時的に固定することにより、実現される。   A flow path unit constituting a liquid ejecting head such as an ink jet recording head includes a nozzle plate having a nozzle for ejecting ink and a flow path member having a flow path for supplying ink to the nozzle. In such an assembly process of the flow path unit, the product is completed by adhering the parts while aligning the parts such as the nozzle plate and the flow path member with the required accuracy. The alignment is realized, for example, by temporarily fixing the positional relationship between components through a pile in a positioning hole that penetrates each component.

なお、治具基板上に、各圧電セラミック層の中央に対応する位置に円柱状の位置決め突起を設け、治具基板上にグリーンシートを積層し、これをレーザ等で分断した後に焼成する液体移送装置の製造方法が知られている(特許文献1参照)。当該文献1によれば、位置決め突起を設けたことによって、圧電セラミック層の焼成時の収縮による位置ずれを防止することができる。   In addition, the liquid transfer which provides a cylindrical positioning projection at a position corresponding to the center of each piezoelectric ceramic layer on the jig substrate, laminates a green sheet on the jig substrate, divides it with a laser or the like, and fires it. A device manufacturing method is known (see Patent Document 1). According to the document 1, by providing the positioning protrusions, it is possible to prevent displacement due to shrinkage during firing of the piezoelectric ceramic layer.

特開2005‐119289号公報JP 2005-119289 A

液体噴射ヘッドを搭載したインクジェットプリンターでは、ノズルが開口するノズル開口面を払拭する(ワイピングする)ためのワイパーを有することがある。ノズル開口面がワイピングされることにより、インク噴射後にノズル開口に残った余分なインクが拭き取られ、以降もノズルから適切にインク滴が噴射される状態が保たれる。   An ink jet printer equipped with a liquid ejecting head may have a wiper for wiping (wiping) a nozzle opening surface where a nozzle opens. By wiping the nozzle opening surface, excess ink remaining in the nozzle opening after ink ejection is wiped off, and thereafter, a state in which ink droplets are appropriately ejected from the nozzle is maintained.

ここで、上記位置決め穴は、製品の組み立て工程に必要とされるものであるが、上記ワイピングとの関係では、不都合を生じさせるおそれがある。具体的には、ノズルプレートに位置決め穴が形成されている場合、ワイパーが当該位置決め穴の開口面を通過する際、当該位置決め穴よりもワイピング方向の上流側で拭き取られたインクが当該位置決め穴内に溜まることがある。このように溜まったインクは、乾燥し、当該位置決め穴の開口周縁で異物化する。かかる状態の位置決め穴の開口面を、以降、ワイパーが通過すると、ワイパーが当該異物化したインクの固まりに乗り上げたり、当該インクの固まりをワイピング方向下流側のノズルへ運んだりして、当該下流側のノズルに対するワイピングが適切に実行されない場合がある。   Here, the positioning hole is required for a product assembling process, but there is a risk of causing inconvenience in relation to the wiping. Specifically, when a positioning hole is formed in the nozzle plate, when the wiper passes through the opening surface of the positioning hole, the ink wiped upstream of the positioning hole in the wiping direction is in the positioning hole. May accumulate. The ink collected in this way is dried and becomes a foreign substance at the opening periphery of the positioning hole. Thereafter, when the wiper passes through the opening surface of the positioning hole in this state, the wiper rides on the foreign ink mass or carries the ink mass to the nozzle on the downstream side in the wiping direction. In some cases, wiping of the nozzles may not be performed properly.

このような位置決め穴の存在によるワイピングへの悪影響を無くすための手法として、位置決め穴を、ワイピング時にワイパーが通過する範囲から完全に外れた位置に設けることが考えられる。しかしながら、位置決め穴をワイパーが通過する範囲から完全に外れた位置に設けるには、ノズルプレートや、ノズルプレートと位置決めされる他の部品を大型化させることとなる。また、位置決め穴をワイパーが通過する範囲から外れた位置だけに設けると、部品を焼成して生成する際の収縮のばらつきなどに起因して、位置決め穴を用いた部品間の位置決めが困難化するおそれがある。なお上記文献は、上述したようなノズルプレートの位置決め穴の位置に起因する各種課題を解決するものではない。   As a technique for eliminating such an adverse effect on wiping due to the presence of the positioning hole, it is conceivable to provide the positioning hole at a position completely outside the range through which the wiper passes during wiping. However, in order to provide the positioning hole at a position completely deviated from the range through which the wiper passes, the size of the nozzle plate and other components positioned with the nozzle plate is increased. In addition, if the positioning holes are provided only at positions outside the range where the wiper passes, positioning between the parts using the positioning holes becomes difficult due to variations in shrinkage when the parts are fired and generated. There is a fear. Note that the above document does not solve various problems caused by the position of the positioning hole of the nozzle plate as described above.

本発明は上述した課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、ワイピングに対する悪影響を廃し、また、製品の小型化や位置決めの精度向上の実現に貢献する液体噴射装置および流路ユニットを提供する。   The present invention has been made to solve at least one of the above-described problems, eliminates the adverse effect on wiping, and contributes to the realization of product miniaturization and improved positioning accuracy. I will provide a.

本発明の態様の一つは、液体噴射装置は、液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、上記ノズルプレートの上記ノズルが開口するノズル開口面に接して、ノズルプレートと相対的に位置を変化させることにより当該ノズル開口面を払拭する(ワイピングする)ワイパーとを備え、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、上記ワイパーは、上記ノズル列と交差し上記第一位置決め穴を通過する軌跡の一端側と他端側とのうち上記第一位置決め穴との間に上記ノズルが存在しない側へ、上記ノズルプレートに対する位置を変化させる、構成としてある。なお、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有する、とも言える。   One aspect of the present invention is that the liquid ejecting apparatus includes a nozzle plate having a nozzle row in which a plurality of nozzles for ejecting liquid are arranged, a flow path member having a flow path for supplying liquid to the nozzle, A wiper that is in contact with a nozzle opening surface where the nozzle of the nozzle plate is opened and wipes (wipes) the nozzle opening surface by changing a position relative to the nozzle plate; A first positioning hole different from the nozzle is provided at a position that does not overlap with a nozzle constituting the nozzle row when projected onto a cross section of one nozzle row and perpendicular to the nozzle plate. The road member has a second positioning hole at a position corresponding to the first positioning hole, and the wiper crosses the nozzle row and passes through the first positioning hole. That trajectory to a side where the nozzle is not present between the first positioning hole of the one end and the other end of, to change the position relative to the nozzle plate, it is constituted. The nozzle plate is positioned in a direction parallel to at least one nozzle row and at a position that does not overlap with the nozzles constituting the one nozzle row when projected onto a cross section perpendicular to the surface of the nozzle plate. Can be said to have different first positioning holes.

当該構成によれば、ノズル開口面に対してワイピングが行われる際、第一位置決め穴を通過したワイパーがノズルを通過することがないため、一部のノズルに対してワイピングを適切に実行できない、といった不都合が生じない。また、第一位置決め穴をワイパーが通過する範囲から外れた位置に設けるものではないため、製品の大型化に繋がらず、かつ、位置決め穴(第一位置決め穴および第二位置決め穴)を用いた部品間の位置決めも的確に行われている。   According to this configuration, when wiping is performed on the nozzle opening surface, since the wiper that has passed through the first positioning hole does not pass through the nozzle, wiping cannot be appropriately performed on some nozzles. Such inconvenience does not occur. Also, since the first positioning hole is not provided at a position outside the range where the wiper passes, it does not lead to an increase in the size of the product, and parts using positioning holes (first positioning hole and second positioning hole) Positioning between them is also performed accurately.

本発明の態様の一つは、上記第二位置決め穴は、上記第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口が封止されているとしてもよい。
当該構成によれば、ノズル開口面に付着した液体が、第二位置決め穴の第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口から漏れ出ることが防止される。
In one aspect of the present invention, the second positioning hole may be sealed at an opening opposite to the side communicating with the first positioning hole.
According to the said structure, it is prevented that the liquid adhering to the nozzle opening surface leaks from the opening on the opposite side to the side communicating with the 1st positioning hole of a 2nd positioning hole.

本発明の態様の一つは、上記流路部材は、複数のノズルに共通して液体を供給する共通液体室を複数有し、上記第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられるとしてもよい。
当該構成によれば、第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられる。そのため、圧電素子と回路等を接続する配線部分等に対する第二位置決め穴の干渉を避け、かつ、流路部材の強度向上にも貢献する。
According to one aspect of the present invention, the flow path member may include a plurality of common liquid chambers that supply liquid in common to the plurality of nozzles, and the second positioning hole may be provided between the common liquid chambers. Good.
According to this configuration, the second positioning hole is provided between the common liquid chambers. This avoids interference of the second positioning hole with the wiring portion connecting the piezoelectric element and the circuit, etc., and contributes to improving the strength of the flow path member.

本発明の態様の一つは、上記ノズルプレートは、上記ノズル列の外側にノズルとは異なる第三位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第三位置決め穴に対応する位置に第四位置決め穴を有するとしてもよい。
当該構成によれば、ノズルプレートと流路部材とは、プレートや部材の中央に近い位置で第一位置決め穴および第二位置決め穴により位置決めされ、プレートや部材の外側に近い位置で第三位置決め穴および第四位置決め穴により位置決めされる。そのため、大型化を極力抑制しつつ、流路基板とノズルプレートとの相対的な傾き調整を含めた両者の位置決めが的確に実行される。
In one aspect of the present invention, the nozzle plate has a third positioning hole different from the nozzle on the outside of the nozzle row, and the flow path member is fourth at a position corresponding to the third positioning hole. You may have a positioning hole.
According to this configuration, the nozzle plate and the flow path member are positioned by the first positioning hole and the second positioning hole at a position near the center of the plate or member, and the third positioning hole at a position near the outside of the plate or member. And it is positioned by the fourth positioning hole. Therefore, the positioning of both the flow path substrate and the nozzle plate including the relative inclination adjustment is accurately executed while suppressing the enlargement as much as possible.

なお、上記流路部材は、セラミックスにより生成されるとしてもよい。流路部材をセラミックスを焼成して生成する場合、焼成時の収縮の影響で流路部材のサイズにばらつきが生じ得る。本発明の構成によれば、第一位置決め穴は、ワイパーが通過する範囲から外れた位置(ノズル列の外側)に設けられるものではないため、当該ばらつきがあったとしても、位置決め穴(第一位置決め穴および第二位置決め穴)を用いた部品間の位置決めが的確に行われている。   The channel member may be made of ceramics. When the flow path member is produced by firing ceramics, the size of the flow path member may vary due to shrinkage during firing. According to the configuration of the present invention, the first positioning hole is not provided at a position (outside the nozzle row) outside the range through which the wiper passes. Positioning between parts using the positioning hole and the second positioning hole) is performed accurately.

本発明の態様の一つは、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列において、ノズル列方向に分割された複数のノズルグループであって異なる液体を噴射するノズルグループを有し、当該ノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該ノズル列を構成するノズルグループ間に収まる位置に、上記第一位置決め穴を有するとしてもよい。
当該構成によれば、互いに異なる液体を噴射するノズルグループ間に確保される領域を利用して、確実に第一位置決め穴を設けることができる。
According to one aspect of the present invention, the nozzle plate includes a plurality of nozzle groups divided in the nozzle row direction and ejecting different liquids in at least one nozzle row. The first positioning hole may be provided at a position that fits between nozzle groups constituting the nozzle row when projected onto a cross section that is perpendicular to the nozzle plate.
According to the said structure, a 1st positioning hole can be reliably provided using the area | region ensured between the nozzle groups which inject a mutually different liquid.

本発明にかかる技術的思想は液体噴射装置という形態のみで実現されるものではなく、他の物によって具現化されてもよい。例えば、液体噴射装置の構成の一部である流路ユニットを一つの発明として捉えることが可能である。一例として、流路ユニットであって、液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材とを備え、上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、さらに上記第一位置決め穴の位置は、上記ノズル列と交差して上記第一位置決め穴を通過する軌跡の上記第一位置決め穴よりも一端側と上記第一位置決め穴よりも他端側との少なくとも一方にノズルが存在しない位置である構成を、一つの発明として捉えることができる。また、上述した液体噴射装置や流路ユニットを製造する方法の発明もそれぞれ一つの発明として捉えることが可能である。   The technical idea according to the present invention is not realized only in the form of the liquid ejecting apparatus, but may be embodied by other things. For example, a flow path unit that is a part of the configuration of the liquid ejecting apparatus can be regarded as one invention. As an example, the nozzle unit includes a nozzle plate having a nozzle row in which a plurality of nozzles for ejecting liquid are arranged, and a flow path member having a flow path for supplying liquid to the nozzle. The plate has a first positioning hole different from the nozzle at a position that does not overlap with the nozzle constituting the nozzle row when projected onto a cross section of at least one nozzle row and perpendicular to the nozzle plate. The flow path member has a second positioning hole at a position corresponding to the first positioning hole, and the position of the first positioning hole crosses the nozzle row and passes through the first positioning hole. A configuration in which the nozzle is not present on at least one of the one end side from the first positioning hole and the other end side from the first positioning hole of the locus to be performed can be regarded as one invention. Can. The inventions of the method for manufacturing the liquid ejecting apparatus and the flow path unit described above can also be regarded as one invention.

液体噴射ヘッドの主要構成の一部を例示する分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view illustrating a part of the main configuration of the liquid ejecting head. 流路プレートにおける流路の配置態様を例示する図である。It is a figure which illustrates the arrangement | positioning aspect of the flow path in a flow path plate. ノズルプレートにおけるノズルの配置態様を例示する図である。It is a figure which illustrates the arrangement | positioning aspect of the nozzle in a nozzle plate. A‐A´線による液体噴射ヘッドの断面を例示する断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the liquid ejecting head along the line AA ′. 液体噴射ヘッドとワイパーとの位置関係を例示する図である。It is a figure which illustrates the positional relationship of a liquid ejecting head and a wiper. B‐B´線による液体噴射ヘッドの断面を例示する断面図である。6 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the liquid ejecting head along line BB ′. FIG. ノズルプレートにおけるノズルの配置態様の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the arrangement | positioning aspect of the nozzle in a nozzle plate. インクジェットプリンターの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of an inkjet printer.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、本実施形態にかかる液体噴射ヘッド10の主要構成の一部を、分解斜視図により例示している。液体噴射ヘッド10は、本発明にかかる流路ユニットを含んで構成される。ここでは、液体噴射ヘッド10は、インクを噴射(吐出)するインクジェット式記録ヘッドであるとして説明を行う。液体噴射ヘッド10は、振動板20、流路プレート30、コンプライアンスプレート40、ノズルプレート50、といった各部材を含む。これら各部材は、それぞれが個別に生成されて積層等されるものであってもよいし、それら(あるいはそれらの一部)が一体的に生成されるものであってもよい。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 exemplifies a part of the main configuration of the liquid jet head 10 according to the present embodiment in an exploded perspective view. The liquid jet head 10 includes a flow path unit according to the present invention. Here, the liquid ejecting head 10 is described as an ink jet recording head that ejects (discharges) ink. The liquid ejecting head 10 includes members such as a vibration plate 20, a flow path plate 30, a compliance plate 40, and a nozzle plate 50. Each of these members may be individually generated and laminated or the like (or a part thereof) may be generated integrally.

振動板20は、流路プレート30の一方の面を封止する。振動板20や流路プレート30は、例えば、セラミックスやシリコン単結晶基板等で生成されるが、本実施形態では、振動板20および流路プレート30は、セラミックスの一種であるジルコニアを焼成することにより一体生成されているものとする。流路プレート30は、液体の流路31を複数有する。流路31は、その長手方向をX方向と平行とした状態で、X方向に直交するY方向に並設されている。流路31と流路31との間には、隔壁38が設けられている。本明細書において、液体噴射ヘッド10の各構成の方向や位置や形状等について、平行、直交、垂直あるいは同一、等と表現した場合であっても、それらは厳密な平行、直交、垂直あるいは同一のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差も含む意味である。また、本明細書において、物と物とが「接する」とは、物と物との間に接着剤等が介在する状態と、介在する物が無い状態とのどちらをも含む意味である。   The diaphragm 20 seals one surface of the flow path plate 30. The diaphragm 20 and the flow path plate 30 are made of, for example, ceramics or a silicon single crystal substrate. In the present embodiment, the vibration board 20 and the flow path plate 30 are made by firing zirconia which is a kind of ceramic. It is assumed that they are integrally generated by The flow path plate 30 has a plurality of liquid flow paths 31. The flow paths 31 are juxtaposed in the Y direction orthogonal to the X direction with the longitudinal direction parallel to the X direction. A partition wall 38 is provided between the flow channel 31 and the flow channel 31. In the present specification, even if the directions, positions, shapes, and the like of the components of the liquid ejecting head 10 are expressed as parallel, orthogonal, vertical, or the same, they are strictly parallel, orthogonal, vertical, or the same. It is meant to include errors that are acceptable in terms of product performance and errors that may occur during product manufacturing. In addition, in this specification, the term “in contact with” an object includes both a state where an adhesive or the like is interposed between the object and an object, and a state where there is no intervening object.

それぞれの流路31は、上流室34と、くびれ部35と、圧力室36と、連通孔37とを含んで構成される。上流室34、くびれ部35および圧力室36は、流路プレート30の上記一方の面において開口した状態で、この順序で流路31の長手方向に連通している。連通孔37は、流路31の長手方向の一端側において圧力室36と連通しており、かつ、流路プレート30の他方の面において開口している。なお、流路プレート30は、上流室34、くびれ部35、圧力室36および共通供給孔32を有する第一層301と、連通孔37およびリザーバー33を有する第二層302とにより構成される。   Each flow path 31 includes an upstream chamber 34, a constricted portion 35, a pressure chamber 36, and a communication hole 37. The upstream chamber 34, the constricted portion 35, and the pressure chamber 36 communicate with each other in the longitudinal direction of the flow path 31 in this order while being opened on the one surface of the flow path plate 30. The communication hole 37 communicates with the pressure chamber 36 on one end side in the longitudinal direction of the flow path 31 and opens on the other surface of the flow path plate 30. The flow path plate 30 includes a first layer 301 having an upstream chamber 34, a constricted portion 35, a pressure chamber 36 and a common supply hole 32, and a second layer 302 having a communication hole 37 and a reservoir 33.

第一層301は、振動板20に接する層であり、第二層302は、第一層301の振動板20側とは逆側に位置する。共通供給孔32は、流路プレート30の上記一方の面において開口しており、リザーバー33は、流路プレート30の上記他方の面において開口している。共通供給孔32は、流路31の長手方向の他端側において上流室34から所定距離離れた位置にスリット状に形成された溝であり、その長手方向をY方向と平行としている。共通供給孔32に対しては、不図示のインク供給経路からインクが供給される。また共通供給孔32は、リザーバー33と連通する。リザーバー33は、Y方向において共通供給孔32と同一程度の長さが確保された形状であり、かつ、流路31の長手方向の他端側において、複数の流路31の上流室34と連通している。リザーバー33は、共通インク室と呼ぶこともできる。   The first layer 301 is a layer in contact with the diaphragm 20, and the second layer 302 is located on the opposite side of the first layer 301 from the diaphragm 20 side. The common supply hole 32 opens on the one surface of the flow path plate 30, and the reservoir 33 opens on the other surface of the flow path plate 30. The common supply hole 32 is a groove formed in a slit shape at a position away from the upstream chamber 34 on the other end side in the longitudinal direction of the flow path 31, and its longitudinal direction is parallel to the Y direction. Ink is supplied to the common supply hole 32 from an ink supply path (not shown). The common supply hole 32 communicates with the reservoir 33. The reservoir 33 has a shape that is as long as the common supply hole 32 in the Y direction, and communicates with the upstream chambers 34 of the plurality of flow paths 31 on the other end side in the longitudinal direction of the flow paths 31. doing. The reservoir 33 can also be called a common ink chamber.

振動板20は、流路プレート30側と逆側の面に、圧電素子80(図4,6参照)を搭載する。圧電素子80は、後述するように、第一電極、一方側において第一電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側と接する第二電極を有して構成される圧力発生手段である。図1では、圧電素子80を構成する圧電体層81を例示しており、圧電体層81は、各流路31の圧力室36に対応して配置されている。   The diaphragm 20 has a piezoelectric element 80 (see FIGS. 4 and 6) mounted on the surface opposite to the flow path plate 30 side. As will be described later, the piezoelectric element 80 is a pressure generating unit configured to include a first electrode, a piezoelectric layer in contact with the first electrode on one side, and a second electrode in contact with the other side of the piezoelectric layer. In FIG. 1, a piezoelectric layer 81 constituting the piezoelectric element 80 is illustrated, and the piezoelectric layer 81 is disposed corresponding to the pressure chamber 36 of each flow path 31.

ノズルプレート50は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル51を複数有する。流路31毎の各連通孔37は、各圧力室36と各ノズル51とを一対一で連通させる。ただし図1の例では、流路プレート30の上記他方の面と、ノズルプレート50との間に、コンプライアンスプレート40が介在する。コンプライアンスプレート40は、一方の面を流路プレート30の上記他方の面に対して接し、他方の面をノズルプレート50の外部に露出する面(ノズル開口面)とは逆側の面に対して接する。   The nozzle plate 50 has a plurality of nozzles 51 as through holes for ejecting ink. Each communication hole 37 for each flow path 31 connects each pressure chamber 36 and each nozzle 51 in a one-to-one relationship. However, in the example of FIG. 1, a compliance plate 40 is interposed between the other surface of the flow path plate 30 and the nozzle plate 50. The compliance plate 40 has one surface in contact with the other surface of the flow path plate 30 and the other surface opposite to the surface exposed to the outside of the nozzle plate 50 (nozzle opening surface). Touch.

コンプライアンスプレート40やノズルプレート50は、例えば、セラミックスやシリコン単結晶基板等で生成されてもよいが、本実施形態では、コンプライアンスプレート40およびノズルプレート50はステンレス鋼により生成されているものとする。図1の例では、ノズルプレート50は、ノズル51がY方向に沿って所定の間隔で複数形成されたノズル列52を有している。なお、ノズルプレート50は、複数のノズル51がY方向に沿って形成された複数のノズル列をX方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とをY方向においてずらして配置する(いわゆる千鳥配置とする)構成を採用してもよい。   For example, the compliance plate 40 and the nozzle plate 50 may be made of ceramics, a silicon single crystal substrate, or the like, but in the present embodiment, the compliance plate 40 and the nozzle plate 50 are made of stainless steel. In the example of FIG. 1, the nozzle plate 50 includes a nozzle row 52 in which a plurality of nozzles 51 are formed at predetermined intervals along the Y direction. In the nozzle plate 50, a plurality of nozzle rows in which a plurality of nozzles 51 are formed along the Y direction are arranged side by side in the X direction, and one nozzle row and the other nozzle row are arranged so as to be shifted in the Y direction. A configuration (so-called staggered arrangement) may be adopted.

コンプライアンスプレート40は、複数の第二連通孔41と、薄膜部42とを有する。第二連通孔41は、コンプライアンスプレート40を貫通する。各第二連通孔41は、各ノズル51に一対一で連通する位置に配置されている。また、各第二連通孔41は、各連通孔37とも一対一で連通する。コンプライアンスプレート40は、リザーバー33の、共通供給孔32および上流室34と連通する側の面とは逆側の面を封止する。コンプライアンスプレート40のリザーバー33を封止する部分は上記薄膜部42に該当する。薄膜部42は、コンプライアンスプレート40の他の部分と比較して、板厚が薄く形成されており、そのため薄膜部42とノズルプレート50との間には空間が確保される。薄膜部42は弾性を有する。薄膜部42は、リザーバー33内の圧力変動に応じてノズルプレート側50に撓むことにより、リザーバー33内の圧力変動を和らげる役割を果たす。   The compliance plate 40 has a plurality of second communication holes 41 and a thin film portion 42. The second communication hole 41 passes through the compliance plate 40. Each second communication hole 41 is disposed at a position communicating with each nozzle 51 on a one-to-one basis. Each second communication hole 41 communicates with each communication hole 37 on a one-to-one basis. The compliance plate 40 seals the surface of the reservoir 33 on the side opposite to the surface communicating with the common supply hole 32 and the upstream chamber 34. The portion of the compliance plate 40 that seals the reservoir 33 corresponds to the thin film portion 42. The thin film portion 42 is formed thinner than the other portions of the compliance plate 40, and therefore a space is secured between the thin film portion 42 and the nozzle plate 50. The thin film part 42 has elasticity. The thin film portion 42 plays a role of relieving the pressure fluctuation in the reservoir 33 by bending toward the nozzle plate side 50 according to the pressure fluctuation in the reservoir 33.

このような構成において、少なくとも流路プレート30は、特許請求の範囲における、ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材の一例に該当する。コンプライアンスプレート40も、当該流路部材の一例に該当する。また、圧電素子80を搭載する振動板20と流路プレート30とをまとめて、アクチュエーター基板11と呼ぶこともでき、アクチュエーター基板11を流路部材の一例と捉えてもよい。液体噴射ヘッド10は、図1に示した部材の一部を有さない構成であってもよいし、図1に示した部材以外の部材を含む構成であってもよい。例えば、コンプライアンスプレート40を省略してノズルプレート50を流路プレート30に接合するとしてもよいし、コンプライアンスプレート40に替えて(あるいはコンプライアンスプレート40とともに)他のプレートを流路プレート30とノズルプレート50との間に介在させてもよい。また、当該他のプレートに、リザーバーや共通供給孔の機能を持たせても良い。   In such a configuration, at least the flow path plate 30 corresponds to an example of a flow path member having a flow path for supplying a liquid to the nozzle in the claims. The compliance plate 40 also corresponds to an example of the flow path member. In addition, the diaphragm 20 and the flow path plate 30 on which the piezoelectric element 80 is mounted can be collectively referred to as an actuator substrate 11, and the actuator substrate 11 may be regarded as an example of a flow path member. The liquid ejecting head 10 may have a configuration that does not include a part of the members illustrated in FIG. 1, or may include a member other than the members illustrated in FIG. 1. For example, the compliance plate 40 may be omitted and the nozzle plate 50 may be joined to the flow path plate 30, or another plate may be used instead of the compliance plate 40 (or together with the compliance plate 40). You may interpose between. Further, the other plate may have a function of a reservoir or a common supply hole.

図2は、流路プレート30の上記一方の面(振動板20側の面)を例示した図である。流路プレート30は、複数の流路31がY方向に並ぶ流路列を複数有する。図2では、流路列311および流路列312を示している。ここで、流路列312に対しては、流路列312に含まれる全ての流路31に共通のインクを供給するための共通供給孔32が設けられている。一方、流路列311は、列方向(Y方向)において流路31が複数のグループに分けられており、グループ毎に共通供給孔32が設けられている。例えば、流路列311は、グループG1,G2,G3に分けられる。そして、グループG1の各流路31に共通のインクを供給するための共通供給孔32、グループG2の各流路31に共通のインクを供給するための共通供給孔32、グループG3の各流路31に共通のインクを供給するための共通供給孔32、がそれぞれ設けられている。   FIG. 2 is a diagram illustrating the one surface (surface on the vibration plate 20 side) of the flow path plate 30. The flow path plate 30 has a plurality of flow path rows in which a plurality of flow paths 31 are arranged in the Y direction. In FIG. 2, the flow path row 311 and the flow path row 312 are shown. Here, a common supply hole 32 for supplying common ink to all the flow paths 31 included in the flow path array 312 is provided for the flow path array 312. On the other hand, in the flow path row 311, the flow paths 31 are divided into a plurality of groups in the row direction (Y direction), and a common supply hole 32 is provided for each group. For example, the flow path row 311 is divided into groups G1, G2, and G3. A common supply hole 32 for supplying common ink to each flow path 31 of the group G1, a common supply hole 32 for supplying common ink to each flow path 31 of the group G2, and each flow path of the group G3 A common supply hole 32 for supplying common ink to 31 is provided.

図3は、ノズルプレート50の流路プレート30側の面(ノズル開口面と逆側の面)を例示した図である。ノズルプレート50は、複数のノズル列52(ノズル列520,521)を有する。つまり、図2と図3との関係においては、ノズル列520は各ノズル51が流路列311の各流路31と連通し、ノズル列521は各ノズル51が流路列312の各流路31と連通する。従って、ノズル列520は、流路列311と同様に列方向(Y方向)においてノズル51が複数のグループに分けられ、図2の例に従えば、グループG1,G2,G3に分けられる。   FIG. 3 is a diagram illustrating the surface of the nozzle plate 50 on the flow path plate 30 side (surface opposite to the nozzle opening surface). The nozzle plate 50 has a plurality of nozzle rows 52 (nozzle rows 520 and 521). That is, in the relationship between FIG. 2 and FIG. 3, each nozzle 51 communicates with each flow path 31 of the flow path array 311 in the nozzle array 520, and each nozzle 51 corresponds to each flow path of the flow path array 312 in the nozzle array 521. Communicate with 31. Accordingly, the nozzle row 520 is divided into a plurality of groups in the row direction (Y direction) as in the flow channel row 311 and is divided into groups G1, G2, and G3 according to the example of FIG.

図4は、A‐A´線(図2,3参照)による液体噴射ヘッド10の断面を例示している。当該断面はY方向に垂直な面である。なお、X方向およびY方向に垂直な方向は、Z方向と表す。Z方向は、アクチュエーター基板11やノズルプレート50等を積層する方向でもある。図4の例では、ノズル列520かつグループG1に属するノズル51に繋がる流路31等と、ノズル列521に属するノズル51に繋がる流路31等とが、X方向において対称な形状で配置されている。図4に示すように、一つの圧力室36は、連通孔37および第二連通孔41を介して、一つのノズル51に連通する。また、振動板20の流路プレート30と接する面と逆側の面には、圧電素子80が圧力室36に対応する位置に接合している。圧電素子80は、第一電極82、圧電体層81および第二電極83が順に積層されて構成される。例えば、第一電極82は、圧力室36に対応する圧電素子80毎に設けられた個別電極である。一方、第二電極83は、複数の圧電素子80に共通して設けられた(複数の圧電素子80が共有する)共通電極である。   FIG. 4 illustrates a cross section of the liquid ejecting head 10 along the line AA ′ (see FIGS. 2 and 3). The cross section is a plane perpendicular to the Y direction. A direction perpendicular to the X direction and the Y direction is represented as a Z direction. The Z direction is also a direction in which the actuator substrate 11 and the nozzle plate 50 are stacked. In the example of FIG. 4, the flow path 31 and the like connected to the nozzle 51 belonging to the nozzle row 520 and the group G1, and the flow path 31 and the like connected to the nozzle 51 belonging to the nozzle row 521 are arranged in a symmetrical shape in the X direction. Yes. As shown in FIG. 4, one pressure chamber 36 communicates with one nozzle 51 through a communication hole 37 and a second communication hole 41. In addition, the piezoelectric element 80 is joined to a surface corresponding to the pressure chamber 36 on the surface opposite to the surface in contact with the flow path plate 30 of the vibration plate 20. The piezoelectric element 80 is configured by laminating a first electrode 82, a piezoelectric layer 81, and a second electrode 83 in this order. For example, the first electrode 82 is an individual electrode provided for each piezoelectric element 80 corresponding to the pressure chamber 36. On the other hand, the second electrode 83 is a common electrode provided in common to the plurality of piezoelectric elements 80 (shared by the plurality of piezoelectric elements 80).

第一電極82には、導電膜(ACF:Anisotropic Conductive Film等)70やケーブル類(フレキシブル基板等)90等を介して制御回路基板100が接続され、制御回路基板100から駆動電圧が印加される。導電膜70は、接着性を有し、第一電極82とフレキシブル基板90とを電気的に接続する。第二電極83は電位が所定レベル(例えばグラウンドレベル)に保持される。かかる構成により、圧電素子80が駆動電圧に応じて変形する。リザーバー33へは、連通する共通供給孔32からインクが供給される。リザーバー33へ供給されたインクは、連通する各上流室34へ供給される。上流室34のインクは、くびれ部35を通過して圧力室36へ供給される。上述のような圧電素子80の変形に伴い振動板20が撓むことにより、圧力室36内で圧力が高まり、かかる圧力の高まりに応じて圧力室36内のインクがノズル51から噴射される。このような共通供給孔32からノズル51に亘る流路は、共通供給孔32側が上流側であり、ノズル51側が下流側である。なお、くびれ部35は流路の断面積が、圧力室36や上流室34や上流室34よりも上流側の各流路の断面よりも狭く構成されている。くびれ部35においてインクの流れに対する抵抗を高めることにより、圧力室36から上流室34側へ逆流するインク量を一定量以下に抑えている。   A control circuit board 100 is connected to the first electrode 82 via a conductive film (ACF: Anisotropic Conductive Film) 70, cables (flexible board, etc.) 90, and the like, and a drive voltage is applied from the control circuit board 100. . The conductive film 70 has adhesiveness, and electrically connects the first electrode 82 and the flexible substrate 90. The potential of the second electrode 83 is held at a predetermined level (for example, the ground level). With this configuration, the piezoelectric element 80 is deformed according to the drive voltage. Ink is supplied to the reservoir 33 from the common supply hole 32 that communicates therewith. The ink supplied to the reservoir 33 is supplied to each upstream chamber 34 that communicates. The ink in the upstream chamber 34 passes through the constricted portion 35 and is supplied to the pressure chamber 36. When the diaphragm 20 is bent along with the deformation of the piezoelectric element 80 as described above, the pressure is increased in the pressure chamber 36, and the ink in the pressure chamber 36 is ejected from the nozzle 51 in accordance with the increase in the pressure. In such a flow path from the common supply hole 32 to the nozzle 51, the common supply hole 32 side is the upstream side, and the nozzle 51 side is the downstream side. The constricted portion 35 is configured such that the cross-sectional area of the flow path is narrower than the cross section of each flow path upstream of the pressure chamber 36, the upstream chamber 34, and the upstream chamber 34. By increasing the resistance to the ink flow in the constricted portion 35, the amount of ink flowing backward from the pressure chamber 36 toward the upstream chamber 34 is suppressed to a certain amount or less.

図2に示した複数の共通供給孔32は、それぞれ異なる種類のインクの供給を不図示のインク供給経路から受ける。例えば、流路列312に対応する共通供給孔32はブラックインクの供給を受け、グループG1,G2,G3に対応する各共通供給孔32は、それぞれ異なる有彩色(シアン、マゼンダ、イエロー等)インクの供給を受ける。従って、ノズル列521のノズル51、グループG1のノズル51、グループG2のノズル51、グループG3のノズル51からはそれぞれ異なる種類のインクが噴射される。なお図2では、グループG1に属する各流路31と共通供給孔32とを繋ぐリザーバー33と、グループG2に属する各流路31と共通供給孔32とを繋ぐリザーバー33を図示しているが、これら以外のリザーバー33の図示は省略している。また図1は、図2,3に示した構成の一部範囲(例えば、グループG1に該当する各流路31および各ノズル51)を含んで描いたものである。   The plurality of common supply holes 32 shown in FIG. 2 receive different types of ink from ink supply paths (not shown). For example, the common supply holes 32 corresponding to the flow path rows 312 are supplied with black ink, and the common supply holes 32 corresponding to the groups G1, G2, and G3 are inks having different chromatic colors (cyan, magenta, yellow, etc.). Receive the supply. Accordingly, different types of ink are ejected from the nozzles 51 of the nozzle row 521, the nozzles 51 of the group G1, the nozzles 51 of the group G2, and the nozzles 51 of the group G3. In FIG. 2, a reservoir 33 that connects each flow path 31 belonging to the group G1 and the common supply hole 32 and a reservoir 33 that connects each flow path 31 belonging to the group G2 and the common supply hole 32 are illustrated. The other reservoirs 33 are not shown. FIG. 1 is a drawing including a part of the configuration shown in FIGS. 2 and 3 (for example, each flow path 31 and each nozzle 51 corresponding to the group G1).

図5は、液体噴射ヘッド10とワイパー110との位置関係を例示している、液体噴射ヘッド10を搭載する液体噴射装置は、ワイパー110を有する。ワイパー110とは、ノズルプレート50のノズル開口面50aに接して、ノズルプレート50と相対的に位置を変化させることによりノズル開口面50aを払拭する部品である。ワイパー110は、ゴムやエラストマー等の弾性部材により構成される。液体噴射ヘッド10は、不図示のキャリッジに搭載され、X方向に沿ったキャリッジの往復移動に伴い移動(主走査)可能である。ワイパー110は、例えば、液体噴射ヘッド10の主走査範囲内の端部位置に設けられる。ワイパー110は、当該端部位置において、液体噴射ヘッド10のノズル開口面50aに対して移動方向MDに沿って進退可能とされている。つまり、ワイパー110は、ワイピングを実行する場合には、ノズル開口面50aに先端が接触可能な位置まで移動方向MDに沿って進出し、ワイピングを実行しない場合には、ノズル開口面50aに接触しない位置へ移動方向MDに沿って退避する。   FIG. 5 illustrates the positional relationship between the liquid ejecting head 10 and the wiper 110, and the liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head 10 includes the wiper 110. The wiper 110 is a component that is in contact with the nozzle opening surface 50 a of the nozzle plate 50 and wipes the nozzle opening surface 50 a by changing the position relative to the nozzle plate 50. The wiper 110 is made of an elastic member such as rubber or elastomer. The liquid ejecting head 10 is mounted on a carriage (not shown) and can move (main scan) as the carriage reciprocates along the X direction. The wiper 110 is provided at, for example, an end position within the main scanning range of the liquid ejecting head 10. The wiper 110 is capable of moving back and forth in the movement direction MD with respect to the nozzle opening surface 50a of the liquid jet head 10 at the end position. That is, the wiper 110 advances along the moving direction MD to a position where the tip can contact the nozzle opening surface 50a when performing wiping, and does not contact the nozzle opening surface 50a when not performing wiping. Retreat to the position along the movement direction MD.

液体噴射装置では、ワイパー110が先端をノズル開口面50aに接触させた状態で、液体噴射ヘッド10が一定方向SD(キャリッジの往路方向あるいは復路方向)に移動したときに、ワイパー110がノズル開口面50aを払拭し、ワイピングが実現される。このとき、液体噴射ヘッド10の位置を基準としてワイパー110の位置を考えると、ワイピングの実行に伴ってワイパー110は一定方向SDの逆方向へ位置を変化させていくと言える。図5(および図3,6,7)では、当該方向を、ワイピング方向WDとして示している。なお、液体噴射ヘッド10の移動が停止しているタイミングで、ワイパー110をワイピング方向WDに移動させてワイピングを実行するとしてもよい。ワイピングにかかる機構については、特開2011‐778号公報を適宜参照してもよい。   In the liquid ejecting apparatus, when the liquid ejecting head 10 moves in a certain direction SD (forward direction or backward direction of the carriage) with the wiper 110 in contact with the nozzle opening surface 50a, the wiper 110 moves to the nozzle opening surface. Wiping is achieved by wiping 50a. At this time, if the position of the wiper 110 is considered based on the position of the liquid ejecting head 10, it can be said that the position of the wiper 110 changes in the direction opposite to the constant direction SD with the execution of wiping. In FIG. 5 (and FIGS. 3, 6, and 7), this direction is shown as a wiping direction WD. Note that the wiping may be executed by moving the wiper 110 in the wiping direction WD at the timing when the movement of the liquid jet head 10 is stopped. For a mechanism related to wiping, JP 2011-778 A may be referred to as appropriate.

図6は、B‐B´線(図2,3参照)による液体噴射ヘッド10の断面を例示している。当該断面は図4と同様にY方向に垂直な面である。B‐B´線は、図2,3から明らかなように、グループG1とグループG2の間、つまりノズル列520に属するノズル51(および当該ノズル51に連通する流路31やリザーバー33や共通供給孔32)が存在しない位置であって、ノズル列521に属するノズル51は存在する位置を通過している。そのため、図6では、ノズル列521に属するノズル51に繋がる流路31等は示されているが、ノズル列520に属するノズル51に繋がる流路31等は示されていない。   FIG. 6 illustrates a cross section of the liquid ejecting head 10 along the line BB ′ (see FIGS. 2 and 3). The cross section is a plane perpendicular to the Y direction as in FIG. As is apparent from FIGS. 2 and 3, the line BB ′ indicates the nozzles 51 belonging to the nozzle row 520 between the groups G 1 and G 2 (and the flow path 31, the reservoir 33 communicating with the nozzles 51, and the common supply). The nozzles 51 belonging to the nozzle row 521 pass through the positions where the holes 32) do not exist. Therefore, in FIG. 6, the flow paths 31 and the like connected to the nozzles 51 belonging to the nozzle row 521 are shown, but the flow paths 31 and the like connected to the nozzles 51 belonging to the nozzle row 520 are not shown.

ここで図6は、位置決め穴12,53を示している。位置決め穴53はノズルプレート50をZ方向に貫通しており、位置決め穴12は流路部材(ここでは、振動板20、流路プレート30およびコンプライアンスプレート40)をZ方向に貫通している。位置決め穴53は、特許請求の範囲における第一位置決め穴の一例に該当し、位置決め穴12は、特許請求の範囲における第二位置決め穴の一例に該当する。位置決め穴12については図2、位置決め穴53については図3もそれぞれ参照のこと。位置決め穴12,53は、液体噴射ヘッド10の組み立て工程の際に、ノズルプレート50とこれに積層される各部品とを接合する際の位置決めに用いられる(杭等を通す)穴である。   Here, FIG. 6 shows the positioning holes 12 and 53. The positioning hole 53 penetrates the nozzle plate 50 in the Z direction, and the positioning hole 12 penetrates the flow path member (here, the diaphragm 20, the flow path plate 30, and the compliance plate 40) in the Z direction. The positioning hole 53 corresponds to an example of a first positioning hole in the claims, and the positioning hole 12 corresponds to an example of a second positioning hole in the claims. See FIG. 2 for the positioning hole 12 and FIG. 3 for the positioning hole 53. The positioning holes 12 and 53 are holes used for positioning (passing a pile or the like) when the nozzle plate 50 and each component stacked on the nozzle plate 50 are joined in the assembly process of the liquid jet head 10.

すなわち本実施形態では、ノズルプレート50は、少なくとも一つのノズル列(520)の断面であってノズルプレート50に垂直な断面に射影したときに当該ノズル列(520)を構成するノズル51と重ならない位置に、ノズルとは異なる位置決め穴53を有している。このような位置決め穴53の位置は、具体的には、図3内にて鎖線で囲った範囲R(グループG1とグループG2との間、あるいはグループG2とグループG3との間)に属する位置である。つまりノズルプレート50は、少なくとも一つのノズル列(520)の断面であってノズルプレート50に垂直な断面に射影したときに当該ノズル列(520)を構成するノズルグループ(グループG1のノズル51、グループG2のノズル51、グループG3のノズル51)間に収まる位置に、位置決め穴53を有する。加えて、位置決め穴53の位置は、ノズル列方向(Y方向)と交差して当該位置を通過するワイパー110の軌跡の当該位置よりも一端側と他端側との少なくとも一方にノズル51が存在しない位置である。つまり、位置決め穴53は、当該位置を通過するワイピング方向WDの軌跡の下流側にノズル51が存在しないような位置に形成されている。流路部材側の位置決め穴12は、ノズルプレート50と流路部材とが積層された状態においては、位置決め穴53と連通している。   That is, in this embodiment, the nozzle plate 50 does not overlap with the nozzles 51 constituting the nozzle row (520) when projected onto a cross section of at least one nozzle row (520) and perpendicular to the nozzle plate 50. A positioning hole 53 different from the nozzle is provided at the position. Specifically, the position of the positioning hole 53 is a position belonging to a range R (between the group G1 and the group G2 or between the group G2 and the group G3) surrounded by a chain line in FIG. is there. That is, the nozzle plate 50 is a cross section of at least one nozzle row (520) and is projected onto a cross section perpendicular to the nozzle plate 50, the nozzle group (nozzle 51, group G1 of group G1) constituting the nozzle row (520). A positioning hole 53 is provided at a position that fits between the nozzle 51 of G2 and the nozzle 51) of group G3. In addition, the position of the positioning hole 53 is such that the nozzle 51 exists at least one of the one end side and the other end side of the locus of the wiper 110 traversing the nozzle row direction (Y direction) and passing through the position. It is a position that does not. That is, the positioning hole 53 is formed at a position where the nozzle 51 does not exist on the downstream side of the locus of the wiping direction WD passing through the position. The positioning hole 12 on the flow path member side communicates with the positioning hole 53 in a state where the nozzle plate 50 and the flow path member are laminated.

なお、液体噴射ヘッド10の組み立て工程における、ノズルプレート50とこれに積層される各部品とを接合する際の位置決めは、2箇所以上で行う必要がある。そのため、ノズルプレート50は、位置決め穴53とは別に、ノズルプレート50をZ方向に貫通する位置決め穴54を有している(図3参照)。また、流路部材は、流路部材(ここでは、振動板20、流路プレート30およびコンプライアンスプレート40)をZ方向に貫通して位置決め穴54と連通して位置決めに用いられる位置決め穴13を有している(図2参照)。位置決め穴54は、特許請求の範囲における第三位置決め穴の一例に該当し、位置決め穴13は、特許請求の範囲における第四位置決め穴の一例に該当する。   In the assembly process of the liquid ejecting head 10, positioning when joining the nozzle plate 50 and the components stacked on the nozzle plate 50 needs to be performed at two or more locations. Therefore, the nozzle plate 50 has a positioning hole 54 penetrating the nozzle plate 50 in the Z direction separately from the positioning hole 53 (see FIG. 3). In addition, the flow path member has a positioning hole 13 that passes through the flow path member (here, the diaphragm 20, the flow path plate 30, and the compliance plate 40) in the Z direction and communicates with the positioning hole 54 to be used for positioning. (See FIG. 2). The positioning hole 54 corresponds to an example of a third positioning hole in the claims, and the positioning hole 13 corresponds to an example of a fourth positioning hole in the claims.

このように本実施形態によれば、液体噴射装置では、ノズルプレート50を貫通する位置決め穴53,54の少なくとも一つの位置決め穴53の位置を、ノズル列52を構成するノズル51とノズル51との間であって、ワイピング方向WDの下流側にノズル51が存在しない位置とした。従って、ノズル開口面50aに対するワイピングが行われる際、位置決め穴53を通過したワイパー110の部分がノズル51を通過することがない。そのため、位置決め穴53の開口周縁で異物化したインクの存在に起因してワイピング方向WDの下流側のノズル51に対するワイピングが適切に実行されない、といった事象がそもそも生じなくなる。   As described above, according to the present embodiment, in the liquid ejecting apparatus, the position of at least one positioning hole 53 of the positioning holes 53 and 54 penetrating the nozzle plate 50 is set between the nozzles 51 and 51 constituting the nozzle row 52. A position where the nozzle 51 does not exist on the downstream side in the wiping direction WD. Therefore, the portion of the wiper 110 that has passed through the positioning hole 53 does not pass through the nozzle 51 when wiping the nozzle opening surface 50a. Therefore, an event that the wiping of the nozzle 51 on the downstream side in the wiping direction WD is not properly executed due to the presence of the ink that has become a foreign substance at the opening periphery of the positioning hole 53 does not occur in the first place.

また、位置決め穴53は、ノズル51とノズル51との間に設けられ、ノズル開口面50a内のワイパー110が通過する範囲から外れた位置に設けられるものではない。そのため、位置決め穴を全てノズル開口面50a内のワイパー110が通過する範囲から外れた位置に設ける場合と比較して、ノズルプレート50およびこれに積層される各部品の大型化を抑制でき、製品の小型化およびコストダウンに貢献する。   Further, the positioning hole 53 is provided between the nozzle 51 and the nozzle 51 and is not provided at a position outside the range through which the wiper 110 passes in the nozzle opening surface 50a. Therefore, compared with the case where all the positioning holes are provided at positions outside the range through which the wiper 110 in the nozzle opening surface 50a passes, the enlargement of the nozzle plate 50 and each component laminated thereon can be suppressed, and the product Contributes to downsizing and cost reduction.

また、本実施形態における各位置決め穴の位置は、ノズルプレート50と流路部材との位置決め精度を向上させる上でも好ましいと言える。上述したように流路部材がセラミックスを焼成することにより生成される場合、当該焼成時の素材の収縮率のばらつきにより、流路部材が設計上予定されていたサイズと異なるサイズで生成されることがある。例えば、流路部材のY方向の長さが、設計上予定されていた長さよりも長くなることがある。このような場合、ノズルプレート50と流路部材とを位置合わせする際、それぞれの部材の端部(例えばY方向における端部)ではお互いの位置ずれの量が多くなる一方、部材の中央領域では位置ずれの量が少ない。そのため、部材間の位置合わせの精度を高めるためには、一つの位置決め穴については、位置合わせする各部材の中央領域に設けることが好ましい。かかる観点において本実施形態は、位置決め穴53を、ノズル列52の外側(ノズル列52の端部のノズル51よりもY方向において外側)では無くノズル列52を構成するノズル51とノズル51との間に設けた。そのため、位置決め穴53やそれと連通する位置決め穴12は、各部材の中央付近に形成され易く、結果、それら位置決め穴53,12を用いることにより精度の高い位置決めを行うことが可能となる。   Moreover, it can be said that the position of each positioning hole in this embodiment is preferable also in improving the positioning accuracy between the nozzle plate 50 and the flow path member. As described above, when the flow path member is generated by firing ceramics, the flow path member is generated with a size different from the design planned size due to variation in shrinkage rate of the material at the time of firing. There is. For example, the length of the flow path member in the Y direction may be longer than the length planned in design. In such a case, when the nozzle plate 50 and the flow path member are aligned, the amount of positional displacement between the end portions of the respective members (for example, end portions in the Y direction) increases, while in the central region of the member The amount of displacement is small. Therefore, in order to increase the accuracy of alignment between members, it is preferable to provide one positioning hole in the central region of each member to be aligned. From this point of view, in this embodiment, the positioning hole 53 is not located outside the nozzle row 52 (outside in the Y direction from the nozzle 51 at the end of the nozzle row 52) but between the nozzles 51 and 51 constituting the nozzle row 52. Provided in between. Therefore, the positioning hole 53 and the positioning hole 12 communicating with the positioning hole 53 are easily formed near the center of each member. As a result, the positioning holes 53 and 12 can be used for highly accurate positioning.

また、本実施形態における各位置決め穴の位置は、ノズルプレート50と流路部材との相対的な傾き調整を行う上でも好ましいと言える。傾き調整とは、ノズルプレート50と流路部材との一方を他方に対して、面同士の平行を保った上で回転させ、部材同士の辺を若干交差させることを言う。かかる傾き調整により、各ノズル51とそれらに繋がる各流路との位置関係が総合的に良好になるように調整される。2箇所の位置決め穴の距離(位置決め穴53と位置決め穴54との距離。あるいは、位置決め穴12と位置決め穴13との距離。)は、離れていた方が当該調整作業が容易であり、調整精度に有利に働く。かかる観点において本実施形態は、位置決め穴54を、ノズル列52の外側(ノズル列52の端部のノズル51よりもY方向において外側)に設けた。そのため、2箇所の位置決め穴の距離が長く確保されやすく、傾き調整を容易かつ精度良く行うことが可能となる。   Moreover, it can be said that the position of each positioning hole in this embodiment is preferable also when adjusting the relative inclination of the nozzle plate 50 and the flow path member. The inclination adjustment means that one of the nozzle plate 50 and the flow path member is rotated with respect to the other while keeping the surfaces parallel to each other, and the sides of the members are slightly crossed. By such inclination adjustment, the positional relationship between each nozzle 51 and each flow path connected to them is adjusted so as to be comprehensively good. The distance between the two positioning holes (the distance between the positioning hole 53 and the positioning hole 54. Alternatively, the distance between the positioning hole 12 and the positioning hole 13) is easier to adjust. Work in favor of. From this point of view, in this embodiment, the positioning hole 54 is provided outside the nozzle row 52 (outside in the Y direction from the nozzle 51 at the end of the nozzle row 52). Therefore, a long distance between the two positioning holes is easily ensured, and the tilt adjustment can be easily and accurately performed.

なお、図3,2では、位置決め穴53,12を、グループG1とグループG2の間に形成したが、グループG2とグループG3の間に形成してもよい。その場合、位置決め穴54,13の位置は、図にあるようなグループG3の端部よりも外側ではなく、グループG1の端部よりも外側とすることで、2箇所の位置決め穴の距離を長く保つものとする。また、位置決め穴の形状については、図2,3に例示したように、長穴状(位置決め穴54,13)とすることにより、傾き調整が可能なようにする。   3 and 2, the positioning holes 53 and 12 are formed between the group G1 and the group G2, but may be formed between the group G2 and the group G3. In that case, the position of the positioning holes 54 and 13 is not outside the end of the group G3 as shown in the figure, but outside the end of the group G1, thereby increasing the distance between the two positioning holes. Shall be kept. As for the shape of the positioning hole, as illustrated in FIGS. 2 and 3, the shape of the positioning hole is a long hole (positioning holes 54 and 13) so that the inclination can be adjusted.

さらに本実施形態における特徴的事項について述べる。
上述したようにノズルプレート50は、図3に例示する範囲Rに属する位置に位置決め穴53を設けたものであるが、当該範囲Rの中でも特に、位置決め穴12がX方向においてリザーバー33とリザーバー33との間に位置するように、位置決め穴53,12を設けている。図4,6から判るように、仮に位置決め穴53,12を圧力室36や連通孔37に近い側に設けると、位置決め穴12と、圧電素子80と制御回路基板100との配線部分との干渉を避けることが困難化するおそれがある。そのため、位置決め穴12がX方向においてリザーバー33とリザーバー33との間に位置するように設けることで、このような配線の困難化や複雑化を避ける事が可能となる。また、圧電素子80の変形に伴う強い圧力変化を受ける圧力室36近傍を避け、リザーバー33近傍に位置決め穴12を設けることにより、流路部材の強度向上にも繋がる。
Further, characteristic items in this embodiment will be described.
As described above, the nozzle plate 50 is provided with the positioning hole 53 at a position belonging to the range R illustrated in FIG. 3. Particularly in the range R, the positioning hole 12 has the reservoir 33 and the reservoir 33 in the X direction. Positioning holes 53 and 12 are provided so as to be positioned between the two. As can be seen from FIGS. 4 and 6, if the positioning holes 53 and 12 are provided near the pressure chamber 36 and the communication hole 37, interference between the positioning hole 12 and the wiring portion of the piezoelectric element 80 and the control circuit board 100. May be difficult to avoid. Therefore, by providing the positioning hole 12 so as to be positioned between the reservoir 33 and the reservoir 33 in the X direction, it is possible to avoid such difficulty and complexity of wiring. Further, avoiding the vicinity of the pressure chamber 36 that receives a strong pressure change accompanying deformation of the piezoelectric element 80 and providing the positioning hole 12 in the vicinity of the reservoir 33 leads to an improvement in the strength of the flow path member.

また本実施形態では、図6に示すように、位置決め穴12は、位置決め穴53と連通する側と逆側の開口12aが封止されている。開口12aを封止する素材は種々考えられるが、一例として、接着性を有する導電膜70と同じ素材で封止する。かかる構成とすれば、振動板20上に導電膜70を成膜する際に、同一工程で開口12aを封止することができ効率的である。また、開口12aを封止することにより、ノズル開口面50aに付着したインクが、位置決め穴53および位置決め穴12を通って振動板20側に漏れることが防止される。むろん、位置決め穴13の、位置決め穴54と連通する側と逆側の開口についても、開口12aと同様に封止するとしてもよい。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the positioning hole 12 is sealed with an opening 12 a opposite to the side communicating with the positioning hole 53. Various materials can be considered for sealing the opening 12a. As an example, the material is sealed with the same material as the conductive film 70 having adhesiveness. With this configuration, when the conductive film 70 is formed on the diaphragm 20, the opening 12a can be sealed in the same process, which is efficient. Further, by sealing the opening 12a, the ink attached to the nozzle opening surface 50a is prevented from leaking to the diaphragm 20 side through the positioning hole 53 and the positioning hole 12. Of course, the opening of the positioning hole 13 opposite to the side communicating with the positioning hole 54 may be sealed in the same manner as the opening 12a.

本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、さらに以下のような実施形態も可能である。これまでに述べた実施形態や以下に述べる実施形態を適宜組み合わせた内容も、本発明の開示範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented in various modes without departing from the gist thereof. For example, the following embodiments are also possible. The contents of the embodiments described so far and the combinations of the embodiments described below are also included in the disclosure scope of the present invention.

図7は、ノズルプレート50の流路プレート30側の面(ノズル開口面と逆側の面)を例示した図であり、図3とは異なる例である。ノズルプレート50は、複数のノズル列52,52を有する。また、ノズル列52,52はそれぞれ、列方向(Y方向)においてノズル51が複数のグループに分けられ、例えば、一方のノズル列52は、グループG1,G2に分けられ、他方のノズル列52は、グループG3,G4に分けられる。かかる構成においては、グループG1,G2,G3,G4毎に異なる種類のインクが噴射される。また、当該図7の例では、グループG1とグループG2との間であり、かつグループG3とグループG4との間である範囲Rに属する位置に、位置決め穴53が形成されている。かかる構成によれば、位置決め穴53(および位置決め穴53と連通する第二位置決め穴)の位置を、よりノズルプレート50(およびノズルプレート50と積層する流路部材)の中央位置に設けることができ、位置決め精度を向上させることができる。   FIG. 7 is a diagram illustrating a surface of the nozzle plate 50 on the flow path plate 30 side (surface opposite to the nozzle opening surface), which is an example different from FIG. 3. The nozzle plate 50 has a plurality of nozzle rows 52 and 52. The nozzle rows 52 and 52 are each divided into a plurality of groups in the row direction (Y direction). For example, one nozzle row 52 is divided into groups G1 and G2, and the other nozzle row 52 is Are divided into groups G3 and G4. In such a configuration, different types of ink are ejected for each of the groups G1, G2, G3, and G4. In the example of FIG. 7, a positioning hole 53 is formed at a position belonging to the range R between the group G1 and the group G2 and between the group G3 and the group G4. According to such a configuration, the position of the positioning hole 53 (and the second positioning hole communicating with the positioning hole 53) can be further provided at the center position of the nozzle plate 50 (and the flow path member stacked with the nozzle plate 50). , Positioning accuracy can be improved.

また、液体噴射ヘッド10は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター200に搭載される。インクジェットプリンター200は液体噴射装置の一例である。   The liquid ejecting head 10 constitutes a part of an ink jet recording head unit having an ink supply path communicating with an ink cartridge or the like, and is mounted on the ink jet printer 200. The ink jet printer 200 is an example of a liquid ejecting apparatus.

図8は、インクジェットプリンター200の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター200において、複数の液体噴射ヘッド10を有するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニット202)には、例えば、インクカートリッジ202A,202B等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット202を搭載したキャリッジ203は、装置本体204に取り付けられたキャリッジ軸205に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター206の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト207を介してキャリッジ203に伝達されることで、キャリッジ203はキャリッジ軸205に沿って移動する。   FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an example of the inkjet printer 200. In the ink jet printer 200, for example, ink cartridges 202 </ b> A and 202 </ b> B are detachably provided in an ink jet recording head unit (hereinafter, head unit 202) having a plurality of liquid ejecting heads 10. A carriage 203 on which the head unit 202 is mounted is provided on a carriage shaft 205 attached to the apparatus main body 204 so as to be movable in the axial direction. Then, the driving force of the driving motor 206 is transmitted to the carriage 203 via a plurality of gears and a timing belt 207 (not shown), so that the carriage 203 moves along the carriage shaft 205.

装置本体204にはキャリッジ軸205に沿ってプラテン208が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Sがプラテン208上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Sに対して、液体噴射ヘッド10のノズル61からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Sに印刷される。なお、インクジェットプリンター200は、ヘッドユニット202が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体噴射ヘッド10が固定されて、印刷媒体Sを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。   The apparatus main body 204 is provided with a platen 208 along the carriage shaft 205, and the print medium S supplied by a roller or the like (not shown) is conveyed on the platen 208. Then, ink is ejected from the nozzle 61 of the liquid ejecting head 10 onto the transported print medium S, and an arbitrary image is printed on the print medium S. The ink jet printer 200 is not limited to the head unit 202 that moves as described above. For example, a so-called line head type printer that performs printing only by moving the print medium S with the liquid ejecting head 10 fixed. It may be.

また本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレーやFED(電解放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置にも本発明を適用することができる。   The present invention can also be applied to a liquid ejecting head or a liquid ejecting apparatus that ejects a liquid other than ink. For example, as liquid ejecting heads, color material ejecting heads used for manufacturing color filters such as liquid crystal displays, electrode material ejecting heads used for forming electrodes such as organic EL displays and FEDs (electrolytic emission displays), and biochip manufacturing Examples include a bio-organic material ejecting head used, and the present invention can be applied to a liquid ejecting apparatus equipped with such a liquid ejecting head.

10…液体噴射ヘッド、11…アクチュエーター基板、12,13…位置決め穴、12a…開口、20…振動板、30…流路プレート、31…流路、32…共通供給孔、33…リザーバー、34…上流室、35…くびれ部、36…圧力室、37…連通孔、40…コンプライアンスプレート、41…第二連通孔、42…薄膜部、50…ノズルプレート、51…ノズル、52,520,521…ノズル列、53,54…位置決め穴、70…導電膜、80…圧電素子、81…圧電体層、82…第一電極、83…第二電極、90…ケーブル類(フレキシブル基板)、100…制御回路基板、110…ワイパー、200…インクジェットプリンター DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Liquid jet head, 11 ... Actuator board | substrate, 12, 13 ... Positioning hole, 12a ... Opening, 20 ... Vibration plate, 30 ... Channel plate, 31 ... Channel, 32 ... Common supply hole, 33 ... Reservoir, 34 ... Upstream chamber, 35 ... Constriction part, 36 ... Pressure chamber, 37 ... Communication hole, 40 ... Compliance plate, 41 ... Second communication hole, 42 ... Thin film part, 50 ... Nozzle plate, 51 ... Nozzle, 52, 520, 521 ... Nozzle array, 53, 54 ... positioning hole, 70 ... conductive film, 80 ... piezoelectric element, 81 ... piezoelectric layer, 82 ... first electrode, 83 ... second electrode, 90 ... cables (flexible substrate), 100 ... control Circuit board, 110 ... wiper, 200 ... inkjet printer

Claims (7)

液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、
上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、
上記ノズルプレートの上記ノズルが開口するノズル開口面に接して、ノズルプレートと相対的に位置を変化させることにより当該ノズル開口面を払拭するワイパーと、を備え、
上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、
上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、
上記ワイパーは、上記ノズル列と交差し上記第一位置決め穴を通過する軌跡の一端側と他端側とのうち上記第一位置決め穴との間に上記ノズルが存在しない側へ、上記ノズルプレートに対する位置を変化させる、
ことを特徴とする液体噴射装置。
A nozzle plate having a nozzle row in which a plurality of nozzles for ejecting liquid are arranged;
A flow path member having a flow path for supplying a liquid to the nozzle;
A wiper for wiping the nozzle opening surface by changing the position relative to the nozzle plate in contact with the nozzle opening surface where the nozzle of the nozzle plate opens,
The nozzle plate is different from the nozzle at a position that is parallel to at least one nozzle row and does not overlap with the nozzles constituting the one nozzle row when projected onto a cross section perpendicular to the surface of the nozzle plate. Having a first positioning hole,
The flow path member has a second positioning hole at a position corresponding to the first positioning hole,
The wiper crosses the nozzle row and passes through the first positioning hole to the side where the nozzle does not exist between the one end side and the other end side of the locus to the nozzle plate. Change position,
A liquid ejecting apparatus.
上記第二位置決め穴は、上記第一位置決め穴と連通する側と逆側の開口が封止されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。   The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the second positioning hole has an opening on a side opposite to a side communicating with the first positioning hole sealed. 上記流路部材は、複数のノズルに共通して液体を供給する共通液体室を複数有し、上記第二位置決め穴は、共通液体室間に設けられることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体噴射装置。   The flow path member has a plurality of common liquid chambers for supplying liquid in common to a plurality of nozzles, and the second positioning hole is provided between the common liquid chambers. The liquid ejecting apparatus according to 2. 上記ノズルプレートは、上記ノズル列の外側にノズルとは異なる第三位置決め穴を有し、上記流路部材は、上記第三位置決め穴に対応する位置に第四位置決め穴を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の液体噴射装置。   The nozzle plate has a third positioning hole different from the nozzle on the outside of the nozzle row, and the flow path member has a fourth positioning hole at a position corresponding to the third positioning hole. The liquid ejecting apparatus according to claim 1. 上記流路部材は、セラミックスにより生成されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の液体噴射装置。   The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the flow path member is made of ceramics. 上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列において、ノズル列方向に分割された複数のノズルグループであって異なる液体を噴射するノズルグループを有し、当該ノズル列の断面であって上記ノズルプレートに垂直な断面に射影したときに当該ノズル列を構成するノズルグループ間に収まる位置に、上記第一位置決め穴を有することを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の液体噴射装置。   The nozzle plate has a plurality of nozzle groups divided in the nozzle row direction and ejecting different liquids in at least one nozzle row, and is a cross section of the nozzle row and perpendicular to the nozzle plate. 6. The liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the first positioning hole is provided at a position that fits between nozzle groups constituting the nozzle row when projected onto a simple cross section. 液体を噴射するための複数のノズルを並べたノズル列を有するノズルプレートと、
上記ノズルに液体を供給する流路を有する流路部材と、を備え、
上記ノズルプレートは、少なくとも一つのノズル列に平行する方向であって上記ノズルプレートの表面に垂直な断面に射影したときに当該一つのノズル列を構成するノズルと重ならない位置に、ノズルとは異なる第一位置決め穴を有し、
上記流路部材は、上記第一位置決め穴に対応する位置に第二位置決め穴を有し、
さらに上記第一位置決め穴の位置は、上記ノズル列と交差して上記第一位置決め穴を通過する軌跡の上記第一位置決め穴よりも一端側と上記第一位置決め穴よりも他端側との少なくとも一方にノズルが存在しない位置であることを特徴とする、流路ユニット。
A nozzle plate having a nozzle row in which a plurality of nozzles for ejecting liquid are arranged;
A flow path member having a flow path for supplying a liquid to the nozzle,
The nozzle plate is different from the nozzle at a position that is parallel to at least one nozzle row and does not overlap with the nozzles constituting the one nozzle row when projected onto a cross section perpendicular to the surface of the nozzle plate. Having a first positioning hole,
The flow path member has a second positioning hole at a position corresponding to the first positioning hole,
Furthermore, the position of the first positioning hole is at least on one end side of the trajectory crossing the nozzle row and passing through the first positioning hole on one end side with respect to the first positioning hole and on the other end side with respect to the first positioning hole. A flow path unit characterized in that the nozzle is not present on one side.
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