JP2014152379A - Etching method, evaluation method for metallographic structure including execution of the etching method and etching solution - Google Patents

Etching method, evaluation method for metallographic structure including execution of the etching method and etching solution Download PDF

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Hiroaki Fukushima
寛明 福島
Yasuyuki Matsumoto
康幸 松本
Takeo Tokumoto
壮男 徳本
Hiroaki Yoshida
博明 吉田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable sufficient etching of the surface of an object even when the angle of the surface of the object to the upward horizontal surface is large and facilitate work in e.g. an etching application step.SOLUTION: An etching method includes an etching solution formation step of forming an etching solution 20 by mixing an acetic acid alcohol 21 serving as a metal corrosion liquid with glycerol 22 and an etching solution application step of applying the etching solution 20 to the surface 11 of an object 10.

Description

本発明は、金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法、この方法を実行する金属組織の評価方法、及びエッチング溶液に関する。   The present invention relates to an etching method for etching a surface of an object formed of a metal, a metal structure evaluation method for executing the method, and an etching solution.

金属で形成されている対象物の金属組織を非破壊検査する方法として、以下の特許文献1に記載されている方法がある。   As a method for nondestructive inspection of the metal structure of an object formed of metal, there is a method described in Patent Document 1 below.

この方法では、まず、対象物の表面を研磨した後、この表面をエッチングする。このエッチングでは、硝酸アルコール溶液等の金属腐食液を対象物表面に塗布し、この金属腐食液で表面の金属を腐食させる。次に、この表面を洗浄液で洗浄する。   In this method, first, after polishing the surface of the object, the surface is etched. In this etching, a metal corrosive solution such as a nitrate alcohol solution is applied to the surface of an object, and the metal on the surface is corroded with the metal corrosive solution. Next, the surface is cleaned with a cleaning solution.

次に、対象物の表面のエッチングが完了すると、エッチングされた表面にフィルムを張り付けて、エッチングされた表面の微細な凹凸をフィルムに転写する。つまり、エッチングされた表面のレプリカを採取する。そして、このフィルムを顕微鏡等で観察する。   Next, when the etching of the surface of the object is completed, a film is attached to the etched surface, and fine irregularities on the etched surface are transferred to the film. That is, a replica of the etched surface is collected. Then, this film is observed with a microscope or the like.

特開昭64−91034号公報JP-A 64-91034

しかしながら、上記特許文献1に記載の技術では、対象物の表面が例えば鉛直方向に広がっている場合、金属腐食液が対象物の表面中の目的領域内に留まらず、直ちに、流れ落ちるため、対象物の表面を十分にエッチングできないことがある。さらに、金属腐食液が流れ落ちた部分が対象物の狭隘部であると、狭隘部に溜まった金属腐食液を洗浄することができないおそれがある。   However, in the technique described in Patent Document 1, when the surface of the object spreads in the vertical direction, for example, the metal corrosive liquid does not stay in the target area in the surface of the object but immediately flows down. The surface of the film may not be etched sufficiently. Furthermore, if the portion where the metal corrosive liquid has flowed is a narrow portion of the object, the metal corrosive liquid accumulated in the narrow portion may not be washed.

また、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合、金属腐食液が直ちに直下に滴り落ち、対象物の表面を十分にエッチングできないばかりか、作業者に降りかかる恐れもある。   In addition, when the surface of the object is downward and spreads in a substantially horizontal direction, the metal corrosive liquid dripping immediately immediately, and not only the surface of the object cannot be etched sufficiently, but also the operator may fall.

すなわち、従来技術では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくなると、対象物の表面を十分にエッチングできないばかりか、エッチング施工工程及び洗浄工程等のエッチング後処理工程での作業が極めて面倒であるという問題点がある。   That is, in the prior art, when the angle of the surface of the object becomes large with respect to the upward horizontal plane, not only the surface of the object cannot be etched sufficiently, but the work in the post-etching process such as the etching construction process and the cleaning process can be performed. There is a problem that it is extremely troublesome.

そこで、本発明は、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング施工工程及びエッチング後処理工程での作業を容易にできるエッチング方法、この方法を実行する金属組織の評価方法、及びエッチング溶液を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can sufficiently etch the surface of the object even when the angle of the surface of the object is large with respect to the upward horizontal plane, and can easily perform the work in the etching construction process and the post-etching process. It is an object of the present invention to provide an etching method, a method for evaluating a metal structure that executes this method, and an etching solution.

上記問題点を解決するための発明に係る一態様としてのエッチング方法は、
金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法において、前記金属に対する金属腐食液にグリセリンを混合してエッチング溶液を生成するエッチング溶液生成工程と、前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施すエッチング溶液施工工程と、を実行することを特徴とする。
The etching method as one aspect according to the invention for solving the above problems is as follows:
In an etching method for etching a surface of an object formed of metal, an etching solution generating step of generating an etching solution by mixing glycerin with a metal corrosive solution for the metal, and the etching solution is used for the surface of the object And performing an etching solution construction process applied to the substrate.

当該エッチング方法では、グリセリンの混合によりエッチング溶液の粘度を高めることができる。このため、当該エッチング方法では、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。よって、当該エッチング方法によれば、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。   In the etching method, the viscosity of the etching solution can be increased by mixing glycerin. For this reason, in the etching method, even if the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal plane is large, the etching solution can be kept in the target region in the surface of the object. Therefore, according to the etching method, the surface of the object can be sufficiently etched, and the cleaning range of the object can be narrowed.

また、当該エッチング方法では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。   In addition, in this etching method, even when the surface of the object is downward and spreads in a substantially horizontal direction, the etching solution does not drip immediately below, so that the surface of the object can be sufficiently etched and the work can be performed. The possibility of this etching solution falling on the person can be extremely reduced.

ここで、前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などであり、これらの液のうちから、対象部材に応じて適宜使用液を選定する。   Here, in the etching method, in the etching solution generation step, as the metal corrosive liquid, a nitric acid alcohol liquid, a ferric chloride solution, a picric acid alcohol liquid, or the like is selected from these liquids according to a target member. Select the appropriate working solution.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、上向きの水平面に対して前記表面の角度が小さい場合の前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度よりも、該表面の角度が大きい場合の該グリセリン濃度を高くしてもよい。   Further, in any one of the above etching methods, in the etching solution generation step, the concentration of the glycerin in the etching solution is set such that the angle of the surface is small with respect to an upward horizontal plane. The glycerin concentration when the surface angle is larger than the glycerin concentration may be increased.

当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して前記表面の角度が大きくなっても、これに伴って、グリセリン濃度を高くして、エッチング溶液の粘度を高めるため、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。   In this etching method, even if the angle of the surface with respect to the upward horizontal plane increases, the glycerin concentration is increased and the viscosity of the etching solution is increased accordingly. Can stay within the destination area.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、前記対象物の前記表面に前記エッチング溶液を滴下した場合に、該エッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間が、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上になる濃度にしてもよい。   Further, in any one of the above etching methods, in the etching solution generation step, when the etching solution is dropped on the surface of the object, the concentration of the glycerin in the etching solution is reduced. The etching solution residence time staying in a predetermined region is set to a concentration that is equal to or longer than the required etching time until the surface is etched by a predetermined amount after the etching solution is applied to the surface of the object. Also good.

当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、このエッチング液のエッチング所要時間以上、エッチング液を施した領域周辺にエッチング液の滞留を確保できる。よって、当該エッチング方法では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。   In this etching method, even if an etching solution is applied to the surface of an object that is inclined with respect to the upward horizontal plane, the etching solution stays around the region where the etching solution has been applied for more than the etching time required for this etching solution. it can. Therefore, in the etching method, even if an etching solution is applied to the surface of the object that is inclined with respect to the upward horizontal plane, the surface of the object can be reliably etched by a predetermined amount.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間が予め定められた時間以下になる濃度にしてもよい。   In any one of the above etching methods, in the etching solution generating step, the surface is etched by a predetermined amount after the concentration of the glycerin in the etching solution is applied to the surface of the object. The concentration may be such that the time required for etching until the etching is performed is equal to or less than a predetermined time.

当該エッチング方法では、エッチング所要時間が予め定められた所定時間以下になるので、エッチング作業の効率を高めることができる。   In this etching method, the etching required time is equal to or shorter than a predetermined time, so that the efficiency of the etching operation can be improved.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上、前記エッチング溶液施工工程を実行してから経過した後に、前記対象物の表面を洗浄する洗浄工程を実行してもよい。   Further, in any one of the above etching methods, the etching solution application step is performed for a time required for etching until the surface is etched by a predetermined amount after the etching solution is applied to the surface of the object. After the elapse of time, a cleaning process for cleaning the surface of the object may be executed.

当該エッチング方法では、エッチング溶液施工工程を実行してから、エッチング溶液施工工程で用いたエッチング溶液のエッチング所要時間以上経過した後に、対象物の表面を洗浄する。このため、当該エッチング方法では、エッチング所要時間経過する前にエッチング溶液が洗浄されることがなく、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。   In this etching method, the surface of the object is cleaned after the etching solution construction process has been executed and the etching solution used for the etching solution construction process has passed the required etching time. For this reason, in this etching method, the etching solution is not washed before the time required for etching elapses, and the surface of the object can be reliably etched by a predetermined amount.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を含侵部材に含侵させ、該含侵部材を前記対象物の前記表面に接触させてもよい。また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液をシートに施し、該シートを前記対象物の前記表面に張り付けてもよい。   In any of the above etching methods, in the etching solution application step, the impregnating member may be impregnated with the etching solution, and the impregnating member may be brought into contact with the surface of the object. In any of the above etching methods, in the etching solution application step, the etching solution may be applied to a sheet, and the sheet may be attached to the surface of the object.

含侵部材やシートを用いるエッチング方法では、対象物の表面に接触させた(張り付けた場合も含む)含侵部材や、対象物の正面に張り付けたシートからエッチング溶液が拡散しにくくなるため、グリセリン濃度を低くしてエッチング所要時間を短くすることができる。この結果、当該エッチング方法では、対象物の表面にエッチング溶液を施してから対象物の表面を洗浄するまでの待ち時間を短くすることができる。   In the etching method using the impregnated member or sheet, the etching solution is difficult to diffuse from the impregnated member brought into contact with the surface of the object (including when pasted) or the sheet attached to the front of the object. The time required for etching can be shortened by reducing the concentration. As a result, in the etching method, the waiting time until the surface of the object is cleaned after the etching solution is applied to the surface of the object can be shortened.

また、含侵部材やシートを用いる前記エッチング方法において、上向きの水平面に対して前記表面の角度は、90°以上であってもよい。   In the etching method using an impregnated member or a sheet, the angle of the surface with respect to an upward horizontal plane may be 90 ° or more.

含侵部材やシートを用いるエッチング方法では、上向きの水平面に対して表面の角度が90°以上で、表面に施した金属腐食液が直ちに流れ落ちる可能性や、金属腐食液が直ちに直下に滴り落ちる可能性がある場合でも、前述したように、エッチング溶液が拡散しにくくなる。このため、含侵部材やシートを用いるエッチング方法は、上向きの水平面に対して表面の角度が90°以上にエッチング溶液を施す場合に、極めて有効である。   In the etching method using an impregnated member or sheet, the surface angle is 90 ° or more with respect to the upward horizontal surface, and the metal corrosive liquid applied to the surface may immediately flow down, or the metal corrosive liquid may drip immediately below. Even if there is a property, the etching solution is difficult to diffuse as described above. For this reason, the etching method using an impregnated member or a sheet is extremely effective when the etching solution is applied at an angle of 90 ° or more with respect to an upward horizontal plane.

また、以上のいずれかの前記エッチング方法において、前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を塗布してもよい。   In any of the above etching methods, the etching solution may be applied in the etching solution application step.

上記問題点を解決するための発明に係る一態様としての金属組織の評価方法は、
前記対象物の表面を以上のいずれかの前記エッチング方法でエッチングするエッチング工程と、前記エッチング工程でエッチングされた前記表面の組織形状をフィルムに転写するレプリカ採取工程と、前記表面の組織形状が転写された前記フィルムを観察して、前記対象物を形成する金属の組織を評価する評価工程と、を実行することを特徴とする。
The metal structure evaluation method as one aspect according to the invention for solving the above problems is as follows.
An etching process for etching the surface of the object by any one of the etching methods described above, a replica collecting process for transferring the tissue shape of the surface etched in the etching process to a film, and a tissue shape of the surface transferred An evaluation step of observing the film and evaluating a metal structure forming the object.

上記問題点を解決するための発明に係る一態様としてのエッチング溶液は、
金属腐食液と、グリセリンとが混合されていることを特徴とする。
The etching solution as one aspect according to the invention for solving the above problems is
A metal corrosive solution and glycerin are mixed.

当該エッチング溶液は、エッチング溶液の粘度が高まるため、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができる。よって、当該エッチング溶液によれば、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。   Since the etching solution has a higher viscosity, the etching solution can remain in the target region in the surface of the object even when the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal surface is large. Therefore, according to the etching solution, the surface of the object can be sufficiently etched and the cleaning range of the object can be narrowed.

また、当該エッチング溶液では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。   In addition, with the etching solution, even when the surface of the object is downward and spreads in a substantially horizontal direction, the etching solution does not drip immediately below, so that the surface of the object can be sufficiently etched and The possibility of this etching solution falling on the person can be extremely reduced.

ここで、前記エッチング溶液において、前記金属腐食液は、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などであり、これらの液のうちから、対象部材に応じて適宜使用液を選定する。   Here, in the etching solution, the metal corrosion solution is a nitrate alcohol solution, a ferric chloride solution, a picric acid alcohol solution, or the like, and a use solution is appropriately selected from these solutions according to the target member. .

本発明では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング施工工程及びエッチング後処理工程での作業を容易にできる。   In the present invention, even if the angle of the surface of the object is large with respect to the upward horizontal plane, the surface of the object can be sufficiently etched, and the work in the etching process and the post-etching process can be facilitated.

本発明に係る一実施形態における金属組織の評価方法の手順を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the procedure of the evaluation method of the metallographic structure in one Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度に応じた特性を示すグラフである。It is a graph which shows the characteristic according to the glycerol density | concentration of the etching solution in one Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度変化に伴う特性変化を示すグラフで、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が図2の場合よりも大きい場合のエッチング溶液の特性を示すグラフである。The graph which shows the characteristic change accompanying the glycerin density | concentration change of the etching solution in one Embodiment which concerns on this invention, and shows the characteristic of the etching solution in case the angle of the surface of the target object with respect to an upward horizontal surface is larger than the case of FIG. It is. 本発明に係る一実施形態におけるエッチング溶液のグリセリン濃度と、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the glycerol density | concentration of the etching solution in one Embodiment which concerns on this invention, and the angle of the surface of the target object with respect to an upward horizontal surface. 本発明に係る一実施形態の第一変形例におけるエッチング溶液施工工程での作用内容を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the effect | action content in the etching solution construction process in the 1st modification of one Embodiment which concerns on this invention. 本発明に係る一実施形態の第二変形例におけるエッチング溶液施工工程での作用内容を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the effect | action content in the etching solution construction process in the 2nd modification of one Embodiment which concerns on this invention.

以下、本発明に係る金属組織の評価方法の実施形態及び変形例について、図面を用いて説明する。   Hereinafter, an embodiment and a modification of a metal structure evaluation method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

「実施形態」
まず、図1〜図4を参照して、本発明に係る金属組織の評価方法の一実施形態について説明する。
"Embodiment"
First, with reference to FIGS. 1-4, one Embodiment of the evaluation method of the metal structure which concerns on this invention is described.

本実施形態では、プラント等で使用されている炭素鋼等の金属で形成された対象物の金属組織を評価する。なお、以下では、炭素鋼で形成された配管を対象物の例として説明するが、本発明における対象物は、配管に限定されず、例えば、タービンケーシング等、他の金属で形成された他の部材であってもよい。また、本発明における対象物の材料は、炭素鋼に限定されず、例えば、ステンレス鋼等であってもよい。   In the present embodiment, the metal structure of an object formed of a metal such as carbon steel used in a plant or the like is evaluated. In the following, a pipe formed of carbon steel will be described as an example of an object. However, the object in the present invention is not limited to a pipe, and for example, other objects formed of other metals such as a turbine casing. It may be a member. Further, the material of the object in the present invention is not limited to carbon steel, and may be stainless steel, for example.

本実施形態では、図1(a)に示すように、まず、対象物10の表面11をエッチングするためのエッチング溶液を生成する(エッチング溶液生成工程)。ここでは、金属腐食液の一種である硝酸アルコール21、所謂ナイタールにグリセリン22を混ぜ、これをエッチング溶液とする。なお、エッチング溶液中のグリセリン濃度については後述する。   In this embodiment, as shown to Fig.1 (a), the etching solution for etching the surface 11 of the target object 10 is produced | generated first (etching solution production | generation process). Here, glycerin 22 is mixed with nitrate alcohol 21, which is a kind of metal corrosive liquid, so-called nital, and this is used as an etching solution. The glycerin concentration in the etching solution will be described later.

次に、図1(b)に示すように、対象物10の表面11を研磨する(表面研磨工程)。この表面研磨工程では、例えば、紙やすりやフェルトバフ等31を電動リュータやハンドドリル等の工具32に取り付けて、対象物10の表面11を研磨する。また、必要に応じて、ダイヤモンド砥粒等を用いて研磨する。   Next, as shown in FIG.1 (b), the surface 11 of the target object 10 is grind | polished (surface grinding | polishing process). In this surface polishing step, for example, a sandpaper, a felt buff 31 or the like is attached to a tool 32 such as an electric router or a hand drill, and the surface 11 of the object 10 is polished. Moreover, it grind | polishes using a diamond abrasive grain etc. as needed.

次に、図1(c)に示すように、前述のエッチング溶液生成工程で生成したエッチング溶液20を対象物10の表面11に施す(エッチング溶液施工工程)。このエッチング溶液施工工程では、ノズル付きボトル35に入っているエッチング溶液20を、ノズル36から対象物10の表面11中の評価領域12に噴射する。この際、ピンセット38で脱脂綿39を摘み、この脱脂綿39で評価領域12の一部に噴射されたエッチング溶液20を評価領域12の全体に広げる。エッチング溶液施工工程が終了すると、対象物10の表面11中の評価領域12が所定量エッチングされるエッチング所要時間以上待つ。なお、このエッチング所要時間の間、エッチング溶液20を含んでいる脱脂綿39を評価領域12に押し付ける等しておいてもよい。エッチング溶液施工工程が終了してからエッチング所要時間以上経過すると、この評価領域12及びその周辺をアルコール等で洗浄する(洗浄工程)。   Next, as shown in FIG.1 (c), the etching solution 20 produced | generated at the above-mentioned etching solution production | generation process is applied to the surface 11 of the target object 10 (etching solution construction process). In this etching solution construction process, the etching solution 20 contained in the nozzle-equipped bottle 35 is sprayed from the nozzle 36 to the evaluation region 12 in the surface 11 of the object 10. At this time, the absorbent cotton 39 is picked by the tweezers 38, and the etching solution 20 sprayed on a part of the evaluation region 12 is spread over the entire evaluation region 12 by the absorbent cotton 39. When the etching solution application process is completed, the process waits for an etching time required for etching a predetermined amount of the evaluation region 12 in the surface 11 of the object 10. During the time required for this etching, the absorbent cotton 39 containing the etching solution 20 may be pressed against the evaluation region 12 or the like. After the etching solution construction process is completed, if the time required for etching elapses, the evaluation region 12 and its periphery are cleaned with alcohol or the like (cleaning process).

以上、エッチング溶液生成工程から洗浄工程までの一連の工程が、本実施形態におけるエッチング工程を成す。なお、以上では、エッチング溶液生成工程を実行してから、表面研磨工程を実行しているが、エッチング溶液施工工程前にエッチング溶液生成工程を実行していればよいため、表面研磨工程を実行してからエッチング溶液生成工程を実行してもよい。   As described above, a series of steps from the etching solution generation step to the cleaning step forms the etching step in the present embodiment. In the above, the surface polishing process is performed after the etching solution generation process is performed. However, since the etching solution generation process only needs to be performed before the etching solution construction process, the surface polishing process is performed. Then, the etching solution generation step may be performed.

次に、図1(d)に示すように、対象物10の表面11中の評価領域12における微細な凹凸のレプリカを採取する(レプリカ採取工程)。このレプリカ採取工程では、対象物10の表面11中の評価領域12に酢酸メチル溶液29を施し、そこにアセチルセルロース等で形成されたフィルム40を評価領域12に押し付け、評価領域12の組織形状をフィルム40に転写する。なお、酢酸メチル溶液は、フィルム40を形成するアセチルセルロースを溶かす役目を担っている。   Next, as shown in FIG.1 (d), the replica of the fine unevenness | corrugation in the evaluation area | region 12 in the surface 11 of the target object 10 is extract | collected (replica acquisition process). In this replica collecting step, a methyl acetate solution 29 is applied to the evaluation region 12 in the surface 11 of the object 10, and a film 40 formed of acetylcellulose or the like is pressed on the evaluation region 12, and the tissue shape of the evaluation region 12 is changed. Transfer to film 40. Note that the methyl acetate solution has a role of dissolving acetyl cellulose forming the film 40.

最後に、評価領域12の組織形状が転写されたフィルム40、つまりレプリカ41を顕微鏡で観察して、対象物10の金属組織を評価する(金属組織評価工程)。この評価工程では、例えば、フィルム40に転写された金属組織中に認められるボイドを観察し、Aパラメータ法により、クリープ損傷の程度を評価する。なお、金属組織の評価方法は、他の方法を用いてもよい。例えば、特許3886935号公報に開示されている方法を用いてもよい。この方法は、ボイドや析出物の有無、及びこれらの分布を観察し、この観察結果と寿命消費に応じた数段階の標準組織と対比して、対象物の寿命消費量を評価する方法である。   Finally, the film 40 to which the tissue shape of the evaluation region 12 is transferred, that is, the replica 41 is observed with a microscope to evaluate the metal structure of the object 10 (metal structure evaluation step). In this evaluation step, for example, voids recognized in the metal structure transferred to the film 40 are observed, and the degree of creep damage is evaluated by the A parameter method. Note that another method may be used as a method for evaluating the metal structure. For example, a method disclosed in Japanese Patent No. 3886935 may be used. This method is a method of observing the presence or absence of voids and precipitates, and their distribution, and evaluating the lifetime consumption of the object by comparing this observation result with a standard structure in several stages according to the lifetime consumption. .

以上で、金属組織評価が終了する。   Thus, the metal structure evaluation is completed.

次に、エッチング溶液中のグリセリン濃度について、図2及び図3を用いて説明する。なお、図2及び図3は、いずれも、グリセリン濃度に応じたエッチング溶液の特性を示すグラフであり、図3は、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が図2の場合よりも大きい場合のエッチング溶液の特性を示す。   Next, the glycerin concentration in the etching solution will be described with reference to FIGS. 2 and 3 are both graphs showing the characteristics of the etching solution according to the glycerin concentration, and FIG. 3 shows a case where the angle of the surface of the object relative to the upward horizontal plane is larger than that in FIG. The characteristics of the etching solution are shown.

上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング溶液を滴下した場合、図2及び図3に示すように、そのグリセリン濃度が高まるに連れて、エッチング溶液の粘度が高まるため、このエッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間Tsが次第に長くなる。また、エッチング溶液は、そのグリセリン濃度が高まるに連れて、対象物の表面が所定量エッチングされるエッチング所要時間Trが次第に長くなり、ある濃度以上になると急激にエッチング所要時間Trが長くなる。   When the etching solution is dropped on the surface of the object inclined with respect to the upward horizontal plane, as shown in FIGS. 2 and 3, the viscosity of the etching solution increases as the glycerin concentration increases. The etching solution residence time Ts in which the etching solution stays in a predetermined region is gradually increased. In addition, as the glycerin concentration of the etching solution increases, the required etching time Tr for etching the surface of the object by a predetermined amount gradually increases, and when the concentration exceeds a certain concentration, the required etching time Tr increases abruptly.

そこで、本実施形態では、エッチング溶液中のグリセリンの濃度を、エッチング溶液滞留時間Tsがエッチング所要時間Tr以上になる濃度範囲C1内にする。この結果、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、このエッチング液のエッチング所要時間Tr以上、エッチング液を施した領域周辺にエッチング液を確実に滞留させておくことができる。よって、本実施形態では、上向きの水平面に対して傾斜している対象物の表面にエッチング液を施しても、対象物の表面を確実に所定量エッチングすることができる。但し、エッチング所要時間Trが長くなり過ぎると、作業性が低下するため、エッチング溶液中のグリセリンの濃度を、エッチング所要時間Trが予め定められた所定時間T以下になる濃度範囲C2内にすることが好ましい。   Therefore, in this embodiment, the concentration of glycerin in the etching solution is set within a concentration range C1 in which the etching solution residence time Ts is equal to or longer than the required etching time Tr. As a result, even if the etching solution is applied to the surface of the object inclined with respect to the upward horizontal plane, the etching solution is reliably retained around the region where the etching solution has been applied for the etching required time Tr or longer. I can keep it. Therefore, in the present embodiment, even if the etching solution is applied to the surface of the object that is inclined with respect to the upward horizontal plane, the surface of the object can be reliably etched by a predetermined amount. However, if the etching required time Tr becomes too long, workability deteriorates. Therefore, the concentration of glycerin in the etching solution is set within a concentration range C2 where the etching required time Tr is equal to or less than a predetermined time T. Is preferred.

ところで、以上のように、エッチング所要時間Trはエッチング溶液中のグリセリン濃度によって変化する。このため、対象物の表面にエッチング溶液を施してから対象物の表面を洗浄するまでの待ち時間を、使用したエッチング溶液中のグリセリン濃度に応じたエッチング所要時間Tr以上にする必要がある。そこで、本実施形態では、前述したように、対象物の表面にエッチング溶液を施してから、このエッチング溶液のエッチング所要時間Tr以上経過してから、この対象物の表面を洗浄する。   By the way, as described above, the time required for etching Tr varies depending on the glycerin concentration in the etching solution. For this reason, it is necessary to set the waiting time until the surface of the object is cleaned after the etching solution is applied to the surface of the object to be equal to or longer than the required time Tr corresponding to the glycerin concentration in the used etching solution. Therefore, in the present embodiment, as described above, after the etching solution is applied to the surface of the object, the surface of the object is cleaned after the etching time Tr of the etching solution has elapsed.

また、図2と図3を比較から理解できるように、エッチング溶液滞留時間Tsは、グリセリン濃度が同じでも上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きいほど、エッチング溶液滞留時間Tsが短くなる。一方、エッチング所要時間Trは、グリセリン濃度が同じであれば上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が変化しても変わらない。   As can be understood from a comparison between FIG. 2 and FIG. 3, the etching solution residence time Ts becomes shorter as the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal plane is larger even if the glycerin concentration is the same. On the other hand, if the glycerin concentration is the same, the required etching time Tr does not change even if the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal plane changes.

このため、エッチング溶液滞留時間Tsがエッチング所要時間Tr以上になる濃度範囲C1中の最小濃度は、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくなるに連れて高くなる。このため、図4に示すように、上向きの水平面に対する対象物10の表面11の角度αが大きくなるに連れて、エッチング溶液中のグリセリン濃度を高める、言い換えると、金属腐食液21に対するグリセリン22の量を多くすることが好ましい。但し、上向きの水平面に対する対象物10の表面11の角度αが90°以上になると、グリセリン濃度を高めてもエッチング溶液滞留時間Tsが長くなることがないため、図4(d)及び同図(e)に示すように、上向きの水平面に対する対象物10の表面11の角度αが90°より大きい場合、グリセリン濃度を角度αが90°のときのグリセリン濃度よりも高くする必要はない。また、図4(a)に示すように、上向きの水平面に対する対象物10の表面11の角度αが0°の場合、つまり対象物10の表面11が上向きの水平面である場合には、金属腐食液21にグリセリン22を混合してもよいが金属腐食液21にグリセリン22を混合していないものをエッチング溶液としてもよい。   For this reason, the minimum concentration in the concentration range C1 in which the etching solution residence time Ts is equal to or longer than the required etching time Tr increases as the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal plane increases. For this reason, as shown in FIG. 4, as the angle α of the surface 11 of the object 10 with respect to the upward horizontal plane increases, the glycerin concentration in the etching solution is increased. It is preferable to increase the amount. However, if the angle α of the surface 11 of the object 10 with respect to the upward horizontal plane is 90 ° or more, the etching solution residence time Ts does not increase even if the glycerin concentration is increased. As shown in e), when the angle α of the surface 11 of the object 10 with respect to the upward horizontal plane is larger than 90 °, the glycerin concentration does not need to be higher than the glycerin concentration when the angle α is 90 °. Further, as shown in FIG. 4A, when the angle α of the surface 11 of the object 10 with respect to the upward horizontal plane is 0 °, that is, when the surface 11 of the object 10 is the upward horizontal plane, metal corrosion is caused. The liquid 21 may be mixed with glycerin 22 but the metal corrosion liquid 21 that is not mixed with glycerin 22 may be used as the etching solution.

以上のように、本実施形態では、金属腐食液にグリセリンを混合することで、エッチング溶液の粘度を高めている。このため、本実施形態では、上向きの水平面に対する対象物の表面の角度が大きくても、エッチング溶液を対象物の表面中の目的領域内に留めることができ、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、対象物の洗浄範囲を狭めることができる。   As described above, in this embodiment, the viscosity of the etching solution is increased by mixing glycerin with the metal corrosive liquid. For this reason, in this embodiment, even if the angle of the surface of the object with respect to the upward horizontal plane is large, the etching solution can be kept in the target region in the surface of the object, and the surface of the object can be etched sufficiently. Moreover, the cleaning range of the object can be narrowed.

また、本実施形態では、対象物の表面が下向きでほぼ水平方向に広がっている場合でも、エッチング溶液が直ちに直下に滴り落ちることがないため、対象物の表面を十分にエッチングできる上に、作業者にこのエッチング溶液が降りかかる可能性を極めて小さくすることができる。   Further, in the present embodiment, even when the surface of the object is downward and spreads in a substantially horizontal direction, the etching solution does not drip immediately below, so that the surface of the object can be sufficiently etched and the work can be performed. The possibility of this etching solution falling on the person can be extremely reduced.

よって、本実施形態では、上向きの水平面に対して対象物の表面の角度が大きくても、対象物の表面を十分にエッチングでき、しかも、エッチング溶液施工工程及び洗浄工程を容易に実行することができる。   Therefore, in this embodiment, even if the angle of the surface of the object is large with respect to the upward horizontal plane, the surface of the object can be sufficiently etched, and the etching solution application process and the cleaning process can be easily performed. it can.

「エッチング溶液施工工程の変形例」
次に、図5及び図6を参照して、上記実施形態におけるエッチング溶液施工工程の変形例について説明する。
"Modification of etching solution construction process"
Next, with reference to FIG.5 and FIG.6, the modification of the etching solution construction process in the said embodiment is demonstrated.

上記実施形態におけるエッチング溶液施工工程では、ノズル付きボトル35に入っているエッチング溶液20を、ノズル36から対象物10の表面11中の評価領域12に噴射する。さらに、必要に応じて、ピンセット38で脱脂綿39を摘み、この脱脂綿39で評価領域12の一部に噴射されたエッチング溶液20を評価領域12の全体に広げる。   In the etching solution application process in the embodiment, the etching solution 20 contained in the nozzle-equipped bottle 35 is sprayed from the nozzle 36 to the evaluation region 12 in the surface 11 of the object 10. Further, if necessary, the absorbent cotton 39 is picked by the tweezers 38, and the etching solution 20 sprayed on a part of the evaluation region 12 by the absorbent cotton 39 is spread over the entire evaluation region 12.

しかしながら、エッチング溶液施工工程では、図5に示すように、刷毛45にエッチング溶液20を浸み込ませ、この刷毛45を用いて、エッチング溶液20を対象物10の表面11に塗布してもよい。   However, in the etching solution application step, as shown in FIG. 5, the etching solution 20 may be immersed in the brush 45 and the etching solution 20 may be applied to the surface 11 of the object 10 using the brush 45. .

また、エッチング溶液施工工程では、図6に示すように、エッチング溶液20をガーゼや布等の含侵部材46に含侵させ、この含侵部材46を対象物10の表面11に張り付けてもよい。また、一般的に含侵部材ではない紙等のシートの表面にエッチング溶液を塗布し、このシートを対象物10の表面11に張り付けるか、対象物10の表面11にエッチング溶液を塗布した後、シートをそこに張り付けてもよい。このように、含侵部材46やシートを用いてエッチング溶液施工工程を実行すると、対象物10の表面11に張り付けた含侵部材やシートからエッチング溶液20が拡散しにくくなるため、グリセリン濃度を低くしてエッチング所要時間Trを短くすることができる。この結果、対象物10の表面11にエッチング溶液20を施してから対象物10の表面11を洗浄するまでの待ち時間を短くすることができる。   Further, in the etching solution construction process, as shown in FIG. 6, the etching solution 20 may be impregnated in an impregnated member 46 such as gauze or cloth, and the impregnated member 46 may be attached to the surface 11 of the object 10. . In addition, an etching solution is generally applied to the surface of a sheet such as paper that is not an impregnated member, and this sheet is attached to the surface 11 of the object 10 or an etching solution is applied to the surface 11 of the object 10. , You may stick a sheet there. As described above, when the etching solution construction process is performed using the impregnated member 46 or the sheet, the etching solution 20 is less likely to diffuse from the impregnated member or the sheet attached to the surface 11 of the object 10. Thus, the time required for etching Tr can be shortened. As a result, the waiting time from when the etching solution 20 is applied to the surface 11 of the object 10 until the surface 11 of the object 10 is cleaned can be shortened.

なお、エッチング溶液の粘度を高めるために、金属腐食液に混合するものとしては、グリセリンの他に、寒天やゼラチン等も考えられる。しかしながら、寒天やゼラチン等は、金属腐食液に混合すると、この金属腐食液と反応して、その粘性が著しく低下するため、金属腐食液に混合するものとして適さない。   In addition to a glycerin, agar, gelatin, etc. can be considered as what is mixed with a metal corrosive liquid in order to raise the viscosity of an etching solution. However, agar, gelatin and the like react with this metal corrosive liquid and its viscosity is remarkably lowered, so that they are not suitable for mixing with the metal corrosive liquid.

また、以上では、金属腐食液として、硝酸アルコール液を用いたが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、塩化第二鉄溶液やピクリン酸アルコール液を用いてもよい。このように、金属腐食液として、塩化第二鉄溶液やピクリン酸アルコール液を用いる場合でも、金属腐食液に混合するものはグリセリンであることが好ましい。   In the above description, the nitric acid alcohol solution is used as the metal corrosion solution. However, the present invention is not limited to this, and for example, a ferric chloride solution or a picric acid alcohol solution may be used. Thus, even when a ferric chloride solution or a picric acid alcohol solution is used as the metal corrosive solution, it is preferable that the material mixed with the metal corrosive solution is glycerin.

10:対象物、11:表面、12:評価領域、20:エッチング溶液、21:金属腐食液(硝酸アルコール)、22:グリセリン、31:紙やすりやフェルトバフ等、35:ボトル、36:ノズル、38:ピンセット、39:脱脂綿、40:フィルム、41:レプリカ、45:刷毛、46:含侵部材   10: object, 11: surface, 12: evaluation region, 20: etching solution, 21: metal corrosive solution (nitric alcohol), 22: glycerin, 31: sandpaper, felt buff, etc., 35: bottle, 36: nozzle, 38 : Tweezers, 39: Absorbent cotton, 40: Film, 41: Replica, 45: Brush, 46: Impregnated member

Claims (13)

金属で形成されている対象物の表面をエッチングするエッチング方法において、
前記金属に対する金属腐食液にグリセリンを混合してエッチング溶液を生成するエッチング溶液生成工程と、
前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施すエッチング溶液施工工程と、
を実行することを特徴とするエッチング方法。
In an etching method for etching the surface of an object formed of metal,
An etching solution generating step of generating an etching solution by mixing glycerin with a metal corrosive solution for the metal;
An etching solution construction step of applying the etching solution to the surface of the object;
Etching method characterized by performing.
請求項1に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などの腐食液を使用する、
ことを特徴とするエッチング方法。
The etching method according to claim 1,
In the etching solution generation step, a corrosive liquid such as a nitric acid alcohol liquid, a ferric chloride solution, a picric acid alcohol liquid is used as the metal corrosive liquid.
An etching method characterized by the above.
請求項1又は2に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、上向きの水平面に対して前記表面の角度が小さい場合の前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度よりも、該表面の角度が大きい場合の該グリセリン濃度を高くする、
ことを特徴とするエッチング方法。
The etching method according to claim 1 or 2,
In the etching solution generation step, the concentration of the glycerin in the etching solution is larger than the concentration of the glycerin in the etching solution when the surface angle is small with respect to an upward horizontal surface. Increase the glycerin concentration in the case,
An etching method characterized by the above.
請求項1から3のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、前記対象物の前記表面に前記エッチング溶液を滴下した場合に、該エッチング溶液が予め定められた領域内に滞留しているエッチング溶液滞留時間が、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上になる濃度にする、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 3,
In the etching solution generation step, when the etching solution is dropped on the surface of the object, the etching solution stays in a predetermined region when the concentration of the glycerin in the etching solution is dropped. The solution residence time is set to a concentration that is not less than the time required for etching until the surface is etched by a predetermined amount after the etching solution is applied to the surface of the object.
An etching method characterized by the above.
請求項1から4のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液生成工程では、前記エッチング溶液中の前記グリセリンの濃度を、該エッチング溶液を該対象物の該表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間が予め定められた時間以下になる濃度にする、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 4,
In the etching solution generation step, the time required for etching from when the etching solution is applied to the surface of the target object until the surface is etched by a predetermined amount is determined in advance, based on the concentration of the glycerin in the etching solution. Make the concentration less than the time,
An etching method characterized by the above.
請求項1から5のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液を前記対象物の前記表面に施してから該表面が所定量エッチングされるまでのエッチング所要時間以上、前記エッチング溶液施工工程を実行してから経過した後に、前記対象物の表面を洗浄する洗浄工程を実行する、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 5,
The surface of the object is washed after the etching solution application process has been performed for a time longer than the time required for etching until the surface is etched by a predetermined amount after the etching solution is applied to the surface of the object. Perform the cleaning process
An etching method characterized by the above.
請求項1から6のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を含侵部材に含侵させ、該含侵部材を前記対象物の前記表面に接触させる、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 6,
In the etching solution construction step, the impregnated member is impregnated with the etching solution, and the impregnated member is brought into contact with the surface of the object.
An etching method characterized by the above.
請求項1から6のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液をシートに施し、該シートを前記対象物の前記表面に張り付ける、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 6,
In the etching solution construction step, the etching solution is applied to a sheet, and the sheet is attached to the surface of the object.
An etching method characterized by the above.
請求項7又は8に記載のエッチング方法において、
上向きの水平面に対して前記表面の角度は、90°以上である、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to claim 7 or 8,
The angle of the surface with respect to an upward horizontal plane is 90 ° or more,
An etching method characterized by the above.
請求項1から6のいずれか一項に記載のエッチング方法において、
前記エッチング溶液施工工程では、前記エッチング溶液を塗布する、
ことを特徴とするエッチング方法。
In the etching method according to any one of claims 1 to 6,
In the etching solution construction step, the etching solution is applied,
An etching method characterized by the above.
前記対象物の表面を請求項1から10のいずれか一項に記載のエッチング方法でエッチングするエッチング工程と、
前記エッチング工程でエッチングされた前記表面の組織形状をフィルムに転写するレプリカ採取工程と、
前記表面の組織形状が転写された前記フィルムを観察して、前記対象物を形成する金属の組織を評価する評価工程と、
を実行することを特徴とする金属組織の評価方法。
An etching step of etching the surface of the object by the etching method according to any one of claims 1 to 10,
A replica collecting step of transferring the texture of the surface etched in the etching step to a film;
An evaluation step of observing the film to which the tissue structure of the surface is transferred and evaluating a metal structure forming the object;
A method for evaluating a metal structure, characterized in that:
金属腐食液と、グリセリンとが混合されている、
ことを特徴とするエッチング溶液。
Metal corrosion liquid and glycerin are mixed,
An etching solution characterized by that.
請求項12に記載のエッチング溶液において、
前記金属腐食液として、硝酸アルコール液、塩化第二鉄溶液、ピクリン酸アルコール液などの腐食液を使用する、
ことを特徴とするエッチング溶液。
The etching solution according to claim 12,
As the metal corrosive solution, use a corrosive solution such as a nitrate alcohol solution, a ferric chloride solution, a picric acid alcohol solution,
An etching solution characterized by that.
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