JP2014149282A - 導電率測定計及びその校正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】測定レンジ毎に導電率測定計の校正を行い、導電率を高精度に測定する。
【解決手段】一次側磁束環１１１を形成する一次コイル１１及び二次側磁束環１１２を形成する二次コイル１２と、前記一次コイル１１に所定の交流電圧を印加する電源部１３と、前記一次コイル１１及び二次コイル１２をそれらの磁束環に閉ループをなす測定対象が貫通するように取り付けたときに、前記二次コイル１２に発生する誘導電流から当該測定対象の導電率を測定する測定部１４１と、前記測定部１４１による測定レンジを切り替えるレンジ切替部１４２とを具備した導電率測定計１００において、前記一次側磁束環１１１及び二次側磁束環１１２を貫通する所定のインピーダンスを有したインピーダンス回路２１と、このインピーダンス回路２１を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチ２２とを具備した、前記測定部１４１による測定感度を校正するための感度校正用回路２を、測定レンジ毎に切り替えられるように複数設けた。
【選択図】 図２

Description

本発明は、一次コイルに所定の交流電圧を印加したときに測定対象を介して二次コイルに発生する誘導電流から該測定対象の導電率を測定する導電率測定計及びその校正方法に関するものである。

導電率は、種々の分野で測定されており、例えば、測定対象の塩又は酸やアルカリの濃度を求めるために測定されている。

そのための導電率測定計としては、例えば図１に示すように、測定対象である液体サンプルが導入される環状管部材と、この環状管部材にトロイダルコアを介して取り付けた一次コイル及び二次コイルと、一次コイルに所定の交流電圧を印加する電源部と、前記交流電圧の印加によって生じる二次コイルの誘導電流を測定し、その測定誘導電流に基づいて液体サンプルの導電率を算出する測定回路とを有したものが知られている。

ところで、この種の導電率測定計においては、トロイダルコアの特性変化や、測定回路の増幅率の変動、あるいは電源電圧の変動などによって測定感度が変わるため、定期的に又は測定の都度（測定前又は測定後）、測定感度、つまり、真の導電率の単位変化に対する測定値の変化の割合を校正する必要がある。

そこで、従来、例えば、既知の抵抗値（すなわち既知の導電率）を有する校正用環状回路を、各トロイダルコアを貫通するように、前記環状管部材に並列に配設している。そして、この校正用環状回路を装着した状態での導電率を測定し、その測定導電率と真の導電率（すなわち当該校正用環状回路の既知の導電率）とを比較することによって、測定感度を校正するようにしている。

例えば特許文献１に記載の導電率測定計は、校正用環状回路が互いに異なる既知の値の２つの抵抗素子を有しており、いずれかの抵抗素子をスイッチで選択することによって、この校正用環状回路の抵抗（すなわち導電率）を切り替えられるように構成してある。そして、校正時には、各抵抗素子を選択した場合の導電率をそれぞれ測定し、その測定導電率の差分が、各抵抗素子による真の導電率の差分に一致するように、測定回路の増幅率や電源部による印加電圧等を調整する。

また、特許文献２記載の導電率測定計は、校正用環状回路を開状態と閉状態とに切り替える開閉スイッチを具備している。そして、校正時には、開状態のときの測定導電率と閉状態のときの測定導電率との差分が、この校正用環状回路の真の導電率と一致するように、特許文献１同様、測定回路の増幅率や電源部による印加電圧等を調整する。なお、開状態での導電率を測定して閉状態のそれと差分をとるのは、オフセット影響をキャンセルするためであり、この構成によって、環状管部材に液体サンプルを入れたままの状態でも校正することが可能となる。

しかしながら、導電率測定計において、測定精度を高めたり、測定レンジを大きくしたりすべく、複数の測定レンジを切り替えるレンジ切替機構を設けた場合には、上述した従来の構成であると、１つの測定レンジしか校正することができず、他の測定レンジでの測定精度を担保できなくなるという問題がある。また、測定感度は、必ずしも線形に変化するとは限らず、そういった場合に、従来の構成では、精度良く校正できないという問題もある。

実公昭３８−５０７２号公報 特開平４−３６１１６８号公報

本発明は、上記問題点を解決すべく、導電率測定計において、測定精度を高めたり、測定レンジのワイドレンジ化を図りつつ、測定精度を担保することをその主たる課題とするものである。

本発明に係る導電率測定計は、一次側磁束環を形成する一次コイル及び二次側磁束環を形成する二次コイルと、前記一次コイルに所定の交流電圧を印加する電源部と、前記一次コイル及び二次コイルをそれらの磁束環に閉ループをなす測定対象が貫通するように取り付けたときに、前記二次コイルに発生する誘導電流から当該測定対象の導電率を測定する測定部と、前記測定部による測定レンジを切り替えるレンジ切替部とを具備した導電率測定計において、前記一次側磁束環及び二次側磁束環を貫通する所定のインピーダンスを有したインピーダンス回路と、このインピーダンス回路を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチとを具備した、前記測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路を、測定レンジ毎に切り替えられるように複数設けたことを特徴とするものである。

なお、ここで言う測定感度とは、測定対象の真の導電率の変化分に対する、測定導電率又は測定導電率を算出するための例えば電流値や電圧値等の測定導電率関連値の変化分の比率である。

このようなものであれば、測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路が各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設けられているため、測定レンジ毎に測定感度を精度良く校正することが可能となり、測定精度を高めたり、測定レンジのワイドレンジ化を図りつつ、測定精度を担保することができる。

各測定レンジにおける測定感度の校正を自動化し、作業性の向上を図るには、前記感度校正用回路を閉回路状態と開回路状態とに切り替えたときの前記測定部による導電率又は導電率関連値の変化分に基づいて測定感度を算出する測定感度算出部と、基準となる測定感度である基準感度を、各測定レンジ毎に記憶している基準感度記憶部と、前記測定感度算出部で得られた各測定レンジの測定感度を、前記基準感度記憶部に記憶された対応する基準感度となるように校正する校正部とを具備していることが好ましい。

測定感度が非線形に変化する場合であっても、精度の良い感度校正を可能とするためには、複数の前記感度校正用回路を同時に閉回路状態とすることができるように構成してあることが望ましい。

このように構成すれば、閉回路状態とした複数の感度校正用回路を、それぞれのインピーダンスを合成した合成インピーダンスを有する１つの感度校正用回路とみなすことができ、この感度校正用回路と各測定レンジに対応して切り替えられる感度校正用回路とを用いて感度校正することで、測定感度が非線形に変化する場合であっても精度の良い感度校正が可能となる。

さらに、複数の感度校正用回路を同時に閉回路状態とすることで、校正時に合成インピーダンスを有する感度校正用回路を用いることができるので、測定レンジの数より少ないインピーダンス回路で各測定レンジにおける感度校正が可能となる。

感度校正用回路を閉回路状態とすることで測定部による導電率が設定された測定レンジの測定上限値を越え、感度校正ができないことをユーザが認知できるようにするためには、前記感度校正用回路を閉回路状態としたときに前記測定部による導電率が、該測定レンジの測定上限値を超える場合に警告信号を出力する警告部を更に具備することが好ましい。

より確実に感度校正を行うためには、前記インピーダンス回路のインピーダンスが、前記測定レンジ毎に異なることが好ましい。

インピーダンス回路の具体的な構成としては、前記インピーダンス回路が、前記測定レンジ毎にあらかじめ定められたインピーダンスを有するインピーダンス素子を具備する構成が挙げられる。

インピーダンス素子の具体例としては、抵抗値が既知の抵抗器が挙げられる。

また、本発明に係る校正方法は、一次側磁束環を形成する一次コイル及び二次側磁束環を形成する二次コイルと、前記一次コイルに所定の交流電圧を印加する電源部と、前記一次コイル及び二次コイルをそれらの磁束環に閉ループをなす測定対象が貫通するように取り付けたときに、前記二次コイルに発生する誘導電流から当該測定対象の導電率を測定する測定部と、前記測定部による測定レンジを切り替えるレンジ切替部とを具備した導電率測定計の校正方法であって、前記一次側磁束環及び二次側磁束環を貫通する所定のインピーダンスを有したインピーダンス回路と、このインピーダンス回路を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチとを具備した、前記測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路を、各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設け、前記感度校正用回路を閉回路状態と開回路状態とに切り替えたときの前記測定部による導電率又は導電率関連値の変化分を測定感度として算出し、前記測定部の基準となる測定感度である基準感度を各測定レンジ毎に記録し、各測定レンジの測定感度を、対応する基準感度となるように校正することを特徴とするものである。

このようなものであれば、測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路を各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設け、測定レンジ毎に測定感度を算出し、対応する基準感度となるように校正するため、測定精度を高めたり、測定レンジのワイドレンジ化を図りつつ、測定精度を担保することができる。

このように構成した本発明によれば、測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路が各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設けられているため、測定レンジ毎に測定感度を精度良く校正することが可能となり、測定精度を高めたり、測定レンジのワイドレンジ化を図りつつ、測定精度を担保することができる。

従来の導電率測定計を示す模式図。 本発明の第１実施形態における導電率測定計の全体概略図。 同実施形態における情報処理制御装置のハードウエア構成図。 同実施形態における情報処理制御装置の機能ブロック図。 同実施形態における感度校正方法を示すグラフ。 本発明の第２実施形態における導電率測定計の全体概略図。 その他の実施形態における導電率測定計の全体概略図。

以下に本発明の第１実施形態について図２〜５を参照して説明する。

本実施形態に係る導電率測定計１００は、図２に示すように、例えば半導体プロセスで用いられる、例えば材料液や洗浄液などの測定対象の導電率を測定する際に用いられるものであり、測定対象が導入される環状管部材１０と、環状管部材１０に取り付けられる一次コイル１１及び二次コイル１２と、一次コイル１１に所定の交流電圧を印加する電源部１３と、二次コイル１２に発生する誘導電流から該測定対象の導電率を測定する情報処理制御装置１４と、測定感度を校正するための感度校正用回路２とから構成されるものである。

前記環状管部材１０は、例えばプラスチック等の合成樹脂製のものであり、第１管部材１０１と第１管部材１０１から分岐してループを形成するように合流する第２管部材１０２とからなる環状流路を形成するものである。

前記第１管部材１０１が貫通するように、該第１管部材１０１にトロイダルコアが取り付けられており、このトロイダルコアの内部に一次側磁束環１１１が形成されるように、該トロイダルコアに一次コイル１１が巻回されている。同様に、前記第２管部材１０２が貫通するように、該第２管部材１０２にトロイダルコアが取り付けられており、このトロイダルコアの内部に二次側磁束環１１２が形成されるように、該トロイダルコアに二次コイル１２が巻回されている。

これらのトロイダルコアは例えば円筒形状のフェライトからなるものであり、一次コイル１１及び二次コイル１２はいずれも、例えば銅線などの巻線からなるものである。

一次コイル１１には電源部１３が接続されており、この電源部１３から一次コイル１１に所定の交流電圧が印加されると、環状管部材１０に導入された測定対象を介して、二次コイル１２には該測定対象の導電率に依存した誘導電流が発生する。

二次コイル１２で発生した誘導電流は、整流器１５で直流に変換され、増幅器１６で所定の増幅率で増幅され、情報処理制御装置１４に入力される。

情報処理制御装置１４は、図３に示すように、ＣＰＵ５１の他に、メモリ５２、入出力チャンネル５３、キーボード等の入力手段５４、ディスプレイ等の出力手段５５を備えたものであり、入出力チャンネル５３には、Ａ／Ｄコンバータ５６、Ｄ／Ａコンバータ５７等のアナログ−デジタル変換回路が接続されている。

そして、ＣＰＵ５１及びその周辺機器が、前記メモリ５２の所定領域に格納されたプログラムに従って協働することにより、この情報処理制御装置１４は、図４に示すように、測定部１４１、レンジ切替部１４２、感度校正用回路切替部１４３、測定感度算出部３１、基準感度記憶部３２、校正部３３として機能する。

測定部１４１は、例えば、前記メモリ５２の所定領域に設定した基準データ格納部１４４に格納している、誘導電流と導電率との関係を比例関係として示す基準データに基づいて、二次コイル１２に発生した誘導電流から導電率を測定するものである。

レンジ切替部１４２は、測定部１４１の測定レンジを決めるためのレンジ信号を増幅器１６及び測定部１４１へ出力し、増幅器１６の増幅率を変更することで、測定部１４１の測定レンジを複数のうちからいずれかに切り替えるものである。

感度校正用回路切替部１４３は、例えば、前記メモリ５２の所定領域に設定した、測定レンジと校正時に用いられる感度校正用回路２との対応関係を記憶している使用回路記憶部１４５からの使用回路データと、前述したレンジ切替部１４２から取得したレンジ信号とに基づいて、校正時に用いる感度校正用回路２を複数のうちから各測定レンジに対応する感度校正用回路２に切り替えるものである。

詳述すると、感度校正用回路切替部１４３は、使用回路データ及び取得したレンジ信号に基づいて後述する開閉スイッチ２２へ開閉信号を出力し、各感度校正用回路２を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替えることで、各測定レンジに対応して感度校正用回路２を切り替えるものである。

続いて、図２及び図４を参照して、測定部１４１の測定感度を測定レンジ毎に校正するために複数設けられた感度校正用回路２について説明する。

各感度校正用回路２は、それぞれ環状管部材１０に導入された測定対象と並列に配設されたものであり、抵抗器２１２及びこの抵抗器２１２の両端子を接続して閉回路にする電気ケーブル２１１からなるインピーダンス回路２１と、電気ケーブル２１１上に設けられ当該インピーダンス回路２１を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチ２２とを具備するものである。

本実施形態では、図示するように、電気ケーブル２１１は各インピーダンス回路２１に共通するものであり、一次側磁束環１１１及び二次側磁束環１１２を貫通するように設けられている。

この電気ケーブル２１１には、各測定レンジに対応する感度校正用回路２の抵抗値（すなわち感度校正用回路２の導電率）を決定する抵抗器２１２が複数並列に接続されている。

本実施形態では、各抵抗器２１２の抵抗値は、各測定レンジに対応する感度校正用回路２の導電率が該測定レンジの測定上限値となる値である。

開閉スイッチ２２は、図示するように、感度校正用回路切替部１４３からの開閉信号に基づいてそれぞれが独立して動くように構成された２端子アナログスイッチである。

このように構成された開閉スイッチ２２は、前述したように各インピーダンス回路２１を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替えると同時に、複数設けられた感度校正用回路２から各測定レンジに対応して校正時に用いられる感度校正用回路２に切り替えることができる。

また、これらの開閉スイッチ２２は独立して動くため、複数のインピーダンス回路２１を同時に閉回路状態とすることも可能であり、閉回路状態とした複数の感度校正用回路２を、それぞれのインピーダンスを合成した合成インピーダンスを有する１つの感度校正用回路２とみなすことができる。

この開閉スイッチ２２により、一次コイル１１に所定の交流電圧が印加されている状態において、各測定レンジに対応する感度校正用回路２を開回路状態から閉回路状態に切り替えると、二次コイル１２には、該感度校正用回路２のインピーダンス（すなわち該感度校正用回路２の導電率）に依存した誘導電流が発生し、測定部１４１より得られる導電率又は導電率を算出するための導電率関連値が変化する。

続いて、図２、４、及び５を参照して、上述した測定部１４１より得られる導電率又は導電率関連値の変化分に基づいて、測定部１４１の測定感度を算出し、校正するための測定感度算出部３１、基準感度記憶部３２、校正部３３について説明する。

測定感度算出部３１は、測定部１４１より得られる導電率又は導電率関連値の変化分に基づいて、測定部１４１の測定感度を算出するものであり、本実施形態では、感度校正用回路２を開回路状態から閉回路状態としたときに測定部１４１より得られる電流値の変化分を測定感度として算出するように構成されている。

基準感度記憶部３２は、前記メモリ５２の所定領域内に設定してあるものであり、それぞれの測定レンジ毎に基準となる測定感度である基準感度を記憶しているものである。

より詳細には、この基準感度記憶部３２は、例えば、工場出荷時などの初期時において、各測定レンジに対応する感度校正用回路２を開回路状態から閉回路状態に切り替えたときの測定部１４１より得られる電流値の変化分を基準感度として記憶しているものである。

校正部３３は、各測定レンジにおいて前記測定感度算出部３１より算出された測定感度及び前記基準感度記憶部３２に記憶された対応する基準感度を取得し、測定感度を基準感度となるように感度校正するものである。

本実施形態では、この校正部３３は、前記測定感度を前記基準感度とするための校正信号を測定部１４１へ出力し、感度校正用回路２を開回路状態から閉回路状態にしたときに測定部１４１より得られる電流値の変化分を、基準感度として基準感度記憶部３２に記憶されている電流値の変化分となるように校正するものである。

なお、情報処理制御装置１４には、感度校正用回路２を閉回路状態としたときの測定部１４１より得られる導電率が、測定レンジの測定上限値を超える場合に警告信号を出力する（図示しない）警告部３４としての機能が更に具備されている。

以上のように構成した本実施形態に係る導電率測定計１００によれば、測定部１４１による測定感度を校正するための感度校正用回路２が各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設けられているため、測定レンジ毎に測定感度を精度良く校正することが可能となり、測定精度を高めたり、測定レンジのワイドレンジ化を図りつつ、測定精度を担保することができる。

また、測定感度算出部３１が、各測定レンジの測定感度を算出し、校正部３３が、前記測定感度を基準感度記憶部３２に記憶された対応する基準感度となるように校正するため、感度校正の自動化による作業性の向上を図ることができる。

さらに、各抵抗器２１２の抵抗値は、各測定レンジに対応する感度校正用回路２の導電率が該測定レンジの測定上限値となる値であるため、各測定レンジにおいて精度の良い校正ができる。

複数のインピーダンス回路２１を同時に閉回路状態とすることで、閉回路状態とした複数の感度校正用回路２を、それぞれのインピーダンスを合成した合成インピーダンスを有する１つの感度校正用回路２とみなすことができ、測定レンジの数より少ないインピーダンス回路２１で各測定レンジにおける感度校正が可能となる。

さらに、複数の感度校正用回路２を用いて、測定部１４１より複数の測定値を得ることで、測定感度変化の直線性やゼロ点を確認することもできる。

また、情報処理制御装置１４が警告部３４としての機能を具備しているため、ユーザは、感度校正用回路２を閉回路状態としたときの測定部１４１による導電率が測定レンジの測定上限値を越え、感度校正ができないことを容易に認知することができる。

この場合には、この測定レンジに対応する感度校正用回路２のインピーダンス回路２１よりも大きいインピーダンスを有するインピーダンス回路２１を閉回路状態とすることで、測定部１４１による導電率が測定レンジ内に収まり、測定レンジを変更することなく感度校正が可能となる。

続いて、第２実施形態について説明する。なお、第１実施形態と同様の構成を示す要素には同じ符号を付すこととする。

前述した、第１実施形態では、開閉スイッチ２２は、各感度校正用回路２に具備された２端子アナログスイッチであり、それぞれ独立して動くことで、各感度校正用回路２を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替えるものであるが、第２実施形態においては、図６に示すように、開閉スイッチ２２が、一方に設けられた端子と他方に設けられた複数の端子のうちいずれか１つの端子との端子間を閉状態にするように構成され、複数の感度校正用回路２からいずれか１つを閉回路状態に切り替えられるものである。

このように構成された第２実施形態の導電率測定計１００であっても、感度校正用回路２を測定レンジ毎に対応して切り替えることができ、測定レンジ毎に測定感度を精度良く校正することが可能であるとともに、開閉スイッチ２２による感度校正用回路２の開回路状態又は閉回路状態の切り替え及び各測定レンジに対応する感度校正用回路２への切り替えが容易となる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

例えば、測定中に液体サンプルを環状管部材１０に満たした状態で感度校正をする場合、本実施形態のように、各抵抗器２１２の抵抗値が、各測定レンジに対応する感度校正用回路２の導電率が該測定レンジの測定上限値であると、測定部１４１より得られる導電率が測定レンジの測定上限値を越えてしまい感度校正ができない。そこで、各抵抗器２１２の抵抗値を前記測定上限値よりも小さい値とすることで、測定対象の導電率測定中でも感度校正できるようにしてもよい。

また、各抵抗器２１２の抵抗値は、それぞれ異なる値である必要はなく、一部の抵抗器２１２の抵抗値が等しいものであってもよい。

さらに、測定レンジ毎に校正時に用いられる感度校正用回路２がそれぞれ異なるものである必要もなく、各測定レンジに対応する感度校正用回路２のいくつかが同一のものであっても構わない。

また、警告部３４が警告信号を出力したときに、感度校正用回路切替部１４３が各測定レンジに対応する感度校正用回路２より大きいインピーダンスを有する感度校正用回路２に自動で切り替えるようにしてもよい。

以上のように構成することで、測定対象の導電率の測定中においても、測定部１４１の感度校正を確実に行うことができる。

また、前記第１実施形態では、測定感度算出部３１が、測定部１４１より得られる電流値の変化分に基づいて測定感度を算出するように構成されているが、測定部１４１より得られる導電率の変化分に基づいて測定感度を算出するように構成されてもよい。

校正部３３は、校正信号を測定部１４１へ出力して測定感度が基準感度となるように感度校正していたが、電源部１３による印加電圧の大きさを変更して測定感度が基準感度となるように感度校正してもよい。

また、レンジ切替部１４２は、増幅器１６にレンジ信号を出力して増幅率を変更するように構成されていたが、電源部１３にレンジ信号を出力して印加電圧の大きさを変更することで測定部１４１の測定レンジを切り替えるように構成されていてもよい。

さらに、図７に示すように、一次コイル１１及び二次コイル１２が直列に並んで、いずれも第２管部材１０２に取り付けられていても良い。

また、前記第１実施形態では、液体サンプルの導電率を測定する際に用いられるものであったが、測定された導電率から液体サンプルに含有されている測定対象物の濃度を測定することもできる。
さらに、液体サンプルの抵抗値を測定する抵抗計としても用いることもできる。

また、測定対象が液体であったが、閉ループをなす金属などであっても良い。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。

１００・・・導電率測定計
１４・・・情報処理制御装置
１４１・・・測定部
１４２・・・レンジ切替部
１４３・・・感度校正用回路切替部
２・・・感度校正用回路
２１・・・インピーダンス回路
２２・・・開閉スイッチ
３１・・・測定感度算出部
３２・・・基準感度記憶部
３３・・・校正部

Claims (8)

1. 一次側磁束環を形成する一次コイル及び二次側磁束環を形成する二次コイルと、前記一次コイルに所定の交流電圧を印加する電源部と、前記一次コイル及び二次コイルをそれらの磁束環に閉ループをなす測定対象が貫通するように取り付けたときに、前記二次コイルに発生する誘導電流から当該測定対象の導電率を測定する測定部と、前記測定部による測定レンジを切り替えるレンジ切替部とを具備した導電率測定計において、
   前記一次側磁束環及び二次側磁束環を貫通する所定のインピーダンスを有したインピーダンス回路と、このインピーダンス回路を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチとを具備した、前記測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路を、測定レンジ毎に切り替えられるように複数設けたことを特徴とする導電率測定計。
2. 前記感度校正用回路を閉回路状態と開回路状態とに切り替えたときの前記測定部による導電率又は導電率関連値の変化分に基づいて測定感度を算出する測定感度算出部と、
   基準となる測定感度である基準感度を、各測定レンジ毎に記憶している基準感度記憶部と、
   前記測定感度算出部で得られた各測定レンジの測定感度を、前記基準感度記憶部に記憶された対応する基準感度となるように校正する校正部とを具備していることを特徴とする請求項１記載際の導電率測定計。
3. 複数の前記感度校正用回路を同時に閉回路状態とすることができるように構成してあることを特徴とする請求項１又は２記載の導電率測定計。
4. 前記感度校正用回路を閉回路状態としたときに前記測定部による導電率が、該測定レンジの測定上限値を超える場合に警告信号を出力する警告部を更に具備することを特徴とする請求項１、２又は３記載の導電率測定計。
5. 前記インピーダンス回路のインピーダンスが、前記測定レンジ毎に異なることを特徴とする請求項１、２、３、又は４記載の導電率測定計。
6. 前記インピーダンス回路が、前記測定レンジ毎にあらかじめ定められたインピーダンスを有するインピーダンス素子を具備することを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５記載の導電率測定計。
7. 前記インピーダンス素子が、抵抗値が既知の抵抗器であることを特徴とする請求項６記載の導電率測定計。
8. 一次側磁束環を形成する一次コイル及び二次側磁束環を形成する二次コイルと、前記一次コイルに所定の交流電圧を印加する電源部と、前記一次コイル及び二次コイルをそれらの磁束環に閉ループをなす測定対象が貫通するように取り付けたときに、前記二次コイルに発生する誘導電流から当該測定対象の導電率を測定する測定部と、前記測定部による測定レンジを切り替えるレンジ切替部とを具備した導電率測定計の校正方法であって、
   前記一次側磁束環及び二次側磁束環を貫通する所定のインピーダンスを有したインピーダンス回路と、このインピーダンス回路を閉回路状態又は開回路状態のいずれかに切り替える開閉スイッチとを具備した、前記測定部による測定感度を校正するための感度校正用回路を、各測定レンジに対応して切り替えられるように複数設け、
   前記感度校正用回路を閉回路状態と開回路状態とに切り替えたときの前記測定部による導電率又は導電率関連値の変化分を測定感度として算出し、
   前記測定部の基準となる測定感度である基準感度を各測定レンジ毎に記録し、
   各測定レンジの測定感度を、対応する基準感度となるように校正することを特徴とする導電率測定計の校正方法。