JP2014141082A - Copper-clad laminate sheet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は銅張積層板に関する。 The present invention relates to a copper clad laminate.
プリント配線板として、樹脂含浸シートと、その上に設けられた配線パターンとを有するプリント配線板が検討されている。このプリント配線板は、樹脂含浸シートと、その上に設けられた銅箔とを有する銅張積層板から、その銅箔をパターン化することにより、得られる。そして、前記樹脂含浸シートとして、耐熱性に優れ、誘電損失が小さいことから、繊維シートに液晶ポリエステルが含浸されてなる樹脂含浸シートが検討されている(特許文献1〜5)。 As a printed wiring board, a printed wiring board having a resin-impregnated sheet and a wiring pattern provided thereon has been studied. This printed wiring board is obtained by patterning a copper foil from a copper-clad laminate having a resin-impregnated sheet and a copper foil provided thereon. And since it is excellent in heat resistance and dielectric loss is small as said resin impregnation sheet | seat, the resin impregnation sheet | seat by which a liquid crystal polyester is impregnated at the fiber sheet is examined (patent documents 1-5).
前記従来の銅張積層板は、樹脂含浸シートと銅箔との密着性が必ずしも十分でない。このため、銅箔が樹脂含浸シートから剥がれ易いことがある。また、前記従来の銅張積層板は、エッチング加工性が十分でない。このため、銅箔をエッチングによりパターン化する際、銅箔の不要部分が残り易いことがある。そこで、本発明の目的は、樹脂含浸シートと銅箔との密着性及び銅箔のエッチング加工性に優れる銅張積層板を提供することにある。 The conventional copper-clad laminate does not necessarily have sufficient adhesion between the resin-impregnated sheet and the copper foil. For this reason, copper foil may be easily peeled off from the resin-impregnated sheet. Further, the conventional copper-clad laminate is not sufficiently etched. For this reason, when patterning copper foil by an etching, the unnecessary part of copper foil may remain easily. Then, the objective of this invention is providing the copper clad laminated board which is excellent in the adhesiveness of a resin impregnation sheet | seat and copper foil, and the etching workability of copper foil.
前記目的を達成するため、本発明は、繊維シートに液晶ポリエステルが含浸されてなる樹脂含浸シートの少なくとも一方の面に、銅箔が積層されてなり、前記樹脂含浸シートに接する前記銅箔の面の十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmである銅張積層板を提供する。 In order to achieve the above object, the present invention provides a surface of the copper foil in which a copper foil is laminated on at least one surface of a resin-impregnated sheet in which a fiber sheet is impregnated with a liquid crystal polyester and is in contact with the resin-impregnated sheet. A copper clad laminate having a ten-point average roughness (Rz) of 1.0 to 5.0 μm is provided.
本発明の銅張積層板は、樹脂含浸シートと銅箔との密着性及び銅箔のエッチング加工性に優れている。 The copper clad laminate of the present invention is excellent in the adhesion between the resin-impregnated sheet and the copper foil and the etching processability of the copper foil.
本発明の銅張積層板は、樹脂含浸シートの少なくとも一方の面に銅箔が積層されてなる銅張積層板である。そして、この樹脂含浸シートは、繊維シートに液晶ポリエステルが含浸されてなる樹脂含浸シートである。 The copper clad laminate of the present invention is a copper clad laminate in which a copper foil is laminated on at least one surface of a resin-impregnated sheet. The resin-impregnated sheet is a resin-impregnated sheet obtained by impregnating a fiber sheet with liquid crystal polyester.
繊維シートを構成する繊維の例としては、ガラス繊維、炭素繊維、セラミックス繊維等の無機繊維;及び液晶ポリエステル繊維その他のポリエステル繊維、アラミド繊維、ポリベンザゾール繊維等の有機繊維が挙げられ、それらの2種以上を用いてもよい。中でもガラス繊維が好ましい。ガラス繊維の例としては、含アルカリガラス繊維、無アルカリガラス繊維及び低誘電ガラス繊維が挙げられる。 Examples of the fibers constituting the fiber sheet include inorganic fibers such as glass fibers, carbon fibers, and ceramic fibers; and organic fibers such as liquid crystal polyester fibers and other polyester fibers, aramid fibers, and polybenzazole fibers. Two or more kinds may be used. Of these, glass fiber is preferable. Examples of glass fibers include alkali-containing glass fibers, alkali-free glass fibers, and low dielectric glass fibers.
繊維シートは、織物(織布)であってもよいし、編物であってもよいし、不織布であってもよいが、樹脂含浸シートの寸法安定性が向上し易いことから、織物であることが好ましい。織物の織り方の例としては、平織り、朱子織り、綾織及びななこ織りが挙げられる。織物の織り密度は、通常10〜100本/25mmである。 The fiber sheet may be a woven fabric (woven fabric), a knitted fabric, or a non-woven fabric, but it is a woven fabric because the dimensional stability of the resin-impregnated sheet is easily improved. Is preferred. Examples of weaving methods include plain weaving, satin weaving, twill weaving and nanako weaving. The weaving density of the woven fabric is usually 10 to 100 pieces / 25 mm.
繊維シートの厚さは、通常10〜200μm、好ましくは10〜180μmである。繊維シートの単位面積あたりの質量は、通常10〜300g/m2である。繊維シートは、液晶ポリエステルとの密着性が向上するように、シランカップリング剤等のカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。 The thickness of the fiber sheet is usually 10 to 200 μm, preferably 10 to 180 μm. The mass per unit area of the fiber sheet is usually 10 to 300 g / m 2 . The fiber sheet is preferably surface-treated with a coupling agent such as a silane coupling agent so as to improve the adhesion to the liquid crystal polyester.
液晶ポリエステルは、溶融状態で液晶性を示すポリエステルであり、450℃以下の温度で溶融する液晶ポリエステルであることが好ましい。なお、液晶ポリエステルは、液晶ポリエステルアミドであってもよいし、液晶ポリエステルエーテルであってもよいし、液晶ポリエステルカーボネートであってもよいし、液晶ポリエステルイミドであってもよい。液晶ポリエステルは、原料モノマーとして芳香族化合物のみを用いてなる全芳香族液晶ポリエステルであることが好ましい。 The liquid crystalline polyester is a polyester that exhibits liquid crystallinity in a molten state, and is preferably a liquid crystalline polyester that melts at a temperature of 450 ° C. or lower. The liquid crystal polyester may be a liquid crystal polyester amide, a liquid crystal polyester ether, a liquid crystal polyester carbonate, or a liquid crystal polyester imide. The liquid crystal polyester is preferably a wholly aromatic liquid crystal polyester using only an aromatic compound as a raw material monomer.
液晶ポリエステルの典型的な例としては、芳香族ヒドロキシカルボン酸と芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物とを重合(重縮合)させてなる液晶ポリエステル、複数種の芳香族ヒドロキシカルボン酸を重合させてなる液晶ポリエステル、芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物とを重合させてなる液晶ポリエステル、及びポリエチレンテレフタレート等のポリエステルと芳香族ヒドロキシカルボン酸とを重合させてなる液晶ポリエステルが挙げられる。ここで、芳香族ヒドロキシカルボン酸、芳香族ジカルボン酸、芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンは、それぞれ独立に、その一部又は全部に代えて、その重合可能な誘導体が用いられてもよい。 A typical example of the liquid crystal polyester is polymerization (polycondensation) of an aromatic hydroxycarboxylic acid, an aromatic dicarboxylic acid, and at least one compound selected from the group consisting of an aromatic diol, an aromatic hydroxyamine, and an aromatic diamine. At least one selected from the group consisting of aromatic dicarboxylic acids and aromatic diols, aromatic hydroxyamines and aromatic diamines. Examples thereof include a liquid crystal polyester obtained by polymerizing a compound and a liquid crystal polyester obtained by polymerizing a polyester such as polyethylene terephthalate and an aromatic hydroxycarboxylic acid. Here, the aromatic hydroxycarboxylic acid, the aromatic dicarboxylic acid, the aromatic diol, the aromatic hydroxyamine, and the aromatic diamine are each independently replaced with a part or all of the polymerizable derivative. Also good.
芳香族ヒドロキシカルボン酸及び芳香族ジカルボン酸のようなカルボキシル基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、カルボキシル基をアルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基に変換してなる誘導体(エステル)、カルボキシル基をハロホルミル基に変換してなる誘導体(酸ハロゲン化物)、及びカルボキシル基をアシルオキシカルボニル基に変換してなる誘導体(酸無水物)が挙げられる。芳香族ヒドロキシカルボン酸、芳香族ジオール及び芳香族ヒドロキシアミンのようなヒドロキシル基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、ヒドロキシル基をアシル化してアシルオキシル基に変換してなる誘導体(アシル化物)が挙げられる。芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンのようなアミノ基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、アミノ基をアシル化してアシルアミノ基に変換してなる誘導体(アシル化物)が挙げられる。 Examples of polymerizable derivatives of a compound having a carboxyl group such as aromatic hydroxycarboxylic acid and aromatic dicarboxylic acid include derivatives (esters) obtained by converting a carboxyl group into an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, carboxyl Derivatives obtained by converting a group into a haloformyl group (acid halide) and derivatives obtained by converting a carboxyl group into an acyloxycarbonyl group (an acid anhydride) are included. Examples of polymerizable derivatives of hydroxyl group-containing compounds such as aromatic hydroxycarboxylic acids, aromatic diols and aromatic hydroxyamines include derivatives obtained by acylating hydroxyl groups and converting them into acyloxyl groups (acylated products) ). Examples of polymerizable derivatives of amino group-containing compounds such as aromatic hydroxyamines and aromatic diamines include derivatives (acylated products) obtained by acylating amino groups and converting them to acylamino groups.
液晶ポリエステルは、下記式(1)で表される繰返し単位と、下記式(2)で表される繰返し単位と、下記式(3)で表される繰返し単位とを有することが好ましい。 The liquid crystalline polyester preferably has a repeating unit represented by the following formula (1), a repeating unit represented by the following formula (2), and a repeating unit represented by the following formula (3).
(1)−O−Ar1−CO−
(2)−CO−Ar2−CO−
(3)−X−Ar3−Y−
(1) —O—Ar 1 —CO—
(2) —CO—Ar 2 —CO—
(3) -X-Ar 3 -Y-
(Ar1は、フェニレン基、ナフチレン基又はビフェニリレン基を表す。Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニリレン基又は下記式(4)で表される基を表す。X及びYは、それぞれ独立に、酸素原子又はイミノ基(−NH−)を表す。Ar1、Ar2又はAr3で表される前記基にある水素原子は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基で置換されていてもよい。) (Ar 1 represents a phenylene group, a naphthylene group, or a biphenylylene group. Ar 2 and Ar 3 each independently represent a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylylene group, or a group represented by the following formula (4). X And Y each independently represents an oxygen atom or an imino group (—NH—), and each hydrogen atom in the group represented by Ar 1 , Ar 2 or Ar 3 independently represents a halogen atom or an alkyl group. Alternatively, it may be substituted with an aryl group.)
(4)−Ar4−Z−Ar5− (4) -Ar 4 -Z-Ar 5-
(Ar4及びAr5は、それぞれ独立に、フェニレン基又はナフチレン基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基又はアルキリデン基を表す。) (Ar 4 and Ar 5 each independently represent a phenylene group or a naphthylene group. Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, a carbonyl group, a sulfonyl group, or an alkylidene group.)
前記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。前記アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、n−ヘキシル基、2−エチルヘキシル基、n−オクチル基及びn−デシル基が挙げられ、その炭素数は、通常1〜10である。前記アリール基の例としては、フェニル基、o−トリル基、m−トリル基、p−トリル基、1−ナフチル基及び2−ナフチル基が挙げられ、その炭素数は、通常6〜20である。前記水素原子がこれらの基で置換されている場合、その数は、Ar1、Ar2又はAr3で表される前記基毎に、それぞれ独立に、通常2個以下であり、好ましくは1個以下である。 As said halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom are mentioned. Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, n-hexyl group, 2-ethylhexyl group, An n-octyl group and n-decyl group are mentioned, The carbon number is 1-10 normally. Examples of the aryl group include a phenyl group, an o-tolyl group, an m-tolyl group, a p-tolyl group, a 1-naphthyl group, and a 2-naphthyl group, and the number of carbon atoms is usually 6 to 20. . When the hydrogen atom is substituted with these groups, the number is usually 2 or less for each group represented by Ar 1 , Ar 2 or Ar 3 , and preferably 1 It is as follows.
前記アルキリデン基の例としては、メチレン基、エチリデン基、イソプロピリデン基、n−ブチリデン基及び2−エチルヘキシリデン基が挙げられ、その炭素数は通常1〜10である。 Examples of the alkylidene group include a methylene group, an ethylidene group, an isopropylidene group, an n-butylidene group, and a 2-ethylhexylidene group, and the number of carbon atoms is usually 1 to 10.
繰返し単位(1)は、所定の芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する繰返し単位である。繰返し単位(1)としては、Ar1がp−フェニレン基である繰返し単位(1)(p−ヒドロキシ安息香酸に由来する繰返し単位)、及びAr1が2,6−ナフチレン基である繰返し単位(1)(6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸に由来する繰返し単位)が好ましい。 The repeating unit (1) is a repeating unit derived from a predetermined aromatic hydroxycarboxylic acid. The repeating unit (1) includes a repeating unit (1) in which Ar 1 is a p-phenylene group (a repeating unit derived from p-hydroxybenzoic acid), and a repeating unit in which Ar 1 is a 2,6-naphthylene group ( 1) (Repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid) is preferred.
繰返し単位(2)は、所定の芳香族ジカルボン酸に由来する繰返し単位である。繰返し単位(2)としては、Ar2がp−フェニレン基である繰返し単位(2)(テレフタル酸に由来する繰返し単位)、Ar2がm−フェニレン基である繰返し単位(2)(イソフタル酸に由来する繰返し単位)、Ar2が2,6−ナフチレン基である繰返し単位(2)(2,6−ナフタレンジカルボン酸に由来する繰返し単位)、及びAr2がジフェニルエ−テル−4,4’−ジイル基である繰返し単位(2)(ジフェニルエ−テル−4,4’−ジカルボン酸に由来する繰返し単位)が好ましい。 The repeating unit (2) is a repeating unit derived from a predetermined aromatic dicarboxylic acid. As the repeating unit (2), Ar 2 is a p-phenylene group (2) (repeat unit derived from terephthalic acid), Ar 2 is an m-phenylene group (2) (isophthalic acid) derived from repeating units), a repeating unit Ar 2 is derived from the repeating unit (2) (2,6-naphthalenedicarboxylic acid is 2,6-naphthylene group), and Ar 2 is diphenyl ether - ether-4,4 ' A repeating unit (2) which is a diyl group (a repeating unit derived from diphenyl ether-4,4′-dicarboxylic acid) is preferred.
繰返し単位(3)は、所定の芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシルアミン又は芳香族ジアミンに由来する繰返し単位である。繰返し単位(3)としては、Ar3がp−フェニレン基である繰返し単位(3)(ヒドロキノン、p−アミノフェノール又はp−フェニレンジアミンに由来する繰返し単位)、及びAr3が4,4’−ビフェニリレン基である繰返し単位(3)(4,4’−ジヒドロキシビフェニル、4−アミノ−4’−ヒドロキシビフェニル又は4,4’−ジアミノビフェニルに由来する繰返し単位)が好ましい。 The repeating unit (3) is a repeating unit derived from a predetermined aromatic diol, aromatic hydroxylamine or aromatic diamine. As the repeating unit (3), Ar 3 is a p-phenylene group (3) (a repeating unit derived from hydroquinone, p-aminophenol or p-phenylenediamine), and Ar 3 is 4,4′-. The repeating unit (3) which is a biphenylylene group (repeating unit derived from 4,4′-dihydroxybiphenyl, 4-amino-4′-hydroxybiphenyl or 4,4′-diaminobiphenyl) is preferred.
繰返し単位(1)の含有量は、全繰返し単位の合計量(液晶ポリエステルを構成する各繰返し単位の質量をその各繰返し単位の式量で割ることにより、各繰返し単位の物質量相当量(モル)を求め、それらを合計した値)に対して、好ましくは30〜80モル%、より好ましくは30〜60モル%、さらに好ましくは30〜40モル%である。繰返し単位(2)の含有量は、全繰返し単位の合計量に対して、好ましくは10〜35モル%、より好ましくは20〜35モル%、さらに好ましくは30〜35モル%である。繰返し単位(3)の含有量は、全繰返し単位の合計量に対して、好ましくは10〜35モル%、より好ましくは20〜35モル%、さらに好ましくは30〜35モル%である。繰返し単位(1)の含有量が多いほど、液晶ポリエステルの耐熱性や強度・剛性が向上し易いが、あまり多いと、溶媒に対する溶解性が低くなり易い。 The content of the repeating unit (1) is the total amount of all repeating units (the mass equivalent amount of each repeating unit (moles by dividing the mass of each repeating unit constituting the liquid crystal polyester by the formula amount of each repeating unit). ) And the total value thereof) is preferably 30 to 80 mol%, more preferably 30 to 60 mol%, still more preferably 30 to 40 mol%. The content of the repeating unit (2) is preferably 10 to 35 mol%, more preferably 20 to 35 mol%, still more preferably 30 to 35 mol%, based on the total amount of all repeating units. The content of the repeating unit (3) is preferably 10 to 35 mol%, more preferably 20 to 35 mol%, still more preferably 30 to 35 mol%, based on the total amount of all repeating units. The greater the content of the repeating unit (1), the easier it is to improve the heat resistance, strength and rigidity of the liquid crystal polyester. However, when the content is too large, the solubility in a solvent tends to be low.
繰返し単位(2)の含有量と繰返し単位(3)の含有量との割合は、[繰返し単位(2)の含有量]/[繰返し単位(3)の含有量](モル/モル)で表して、通常0.9/1〜1/0.9、好ましくは0.95/1〜1/0.95、より好ましくは0.98/1〜1/0.98である。 The ratio between the content of the repeating unit (2) and the content of the repeating unit (3) is expressed as [content of repeating unit (2)] / [content of repeating unit (3)] (mol / mol). The ratio is usually 0.9 / 1 to 1 / 0.9, preferably 0.95 / 1 to 1 / 0.95, and more preferably 0.98 / 1 to 1 / 0.98.
なお、液晶ポリエステルは、繰返し単位(1)〜(3)を、それぞれ独立に、2種以上有してもよい。また、液晶ポリエステルは、繰返し単位(1)〜(3)以外の繰返し単位を有してもよいが、その含有量は、全繰返し単位の合計量に対して、通常10モル%以下、好ましくは5モル%以下である。 In addition, liquid crystalline polyester may have 2 or more types of repeating units (1)-(3) each independently. Further, the liquid crystalline polyester may have a repeating unit other than the repeating units (1) to (3), but the content thereof is usually 10 mol% or less with respect to the total amount of all repeating units, preferably 5 mol% or less.
液晶ポリエステルは、繰返し単位(3)として、X及び/又はYがイミノ基である繰返し単位(3)を有すること、すなわち、所定の芳香族ヒドロキシルアミンに由来する繰返し単位及び/又は芳香族ジアミンに由来する繰返し単位を有することが、溶媒に対する溶解性が優れるので、好ましく、繰返し単位(3)として、X及び/又はYがイミノ基である繰返し単位(3)のみを有することが、より好ましい。 The liquid crystalline polyester has a repeating unit (3) in which X and / or Y is an imino group as the repeating unit (3), that is, a repeating unit derived from a predetermined aromatic hydroxylamine and / or an aromatic diamine. Having the repeating unit derived from is preferable because it has excellent solubility in a solvent, and it is more preferable that the repeating unit (3) has only the repeating unit (3) in which X and / or Y is an imino group.
液晶ポリエステルは、それを構成する繰返し単位に対応する原料モノマーを溶融重合させ、得られた重合物(プレポリマー)を固相重合させることにより、製造することが好ましい。これにより、耐熱性や強度・剛性が高い高分子量の液晶ポリエステルを操作性良く製造することができる。溶融重合は、触媒の存在下に行ってもよく、この触媒の例としては、酢酸マグネシウム、酢酸第一錫、テトラブチルチタネート、酢酸鉛、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、三酸化アンチモン等の金属化合物や、4−(ジメチルアミノ)ピリジン、1−メチルイミダゾール等の含窒素複素環式化合物が挙げられ、含窒素複素環式化合物が好ましく用いられる。 The liquid crystal polyester is preferably produced by melt polymerization of raw material monomers corresponding to the repeating units constituting the liquid crystal polyester, and solid-phase polymerization of the obtained polymer (prepolymer). Thereby, high molecular weight liquid crystal polyester having high heat resistance, strength and rigidity can be produced with good operability. Melt polymerization may be carried out in the presence of a catalyst. Examples of this catalyst include metal compounds such as magnesium acetate, stannous acetate, tetrabutyl titanate, lead acetate, sodium acetate, potassium acetate, and antimony trioxide, And nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 4- (dimethylamino) pyridine and 1-methylimidazole, and nitrogen-containing heterocyclic compounds are preferably used.
液晶ポリエステルは、その流動開始温度が、通常250℃以上、好ましくは250℃〜350℃、より好ましくは260℃〜330℃である。流動開始温度が高いほど、耐熱性や強度・剛性が向上し易いが、あまり高いと、溶媒に対する溶解性が低くなり易かったり、液状組成物の粘度が高くなり易かったりする。 The liquid polyester has a flow initiation temperature of usually 250 ° C. or higher, preferably 250 ° C. to 350 ° C., more preferably 260 ° C. to 330 ° C. As the flow start temperature is higher, the heat resistance, strength, and rigidity are more likely to be improved. However, if the flow start temperature is too high, the solubility in a solvent tends to be low, and the viscosity of the liquid composition tends to be high.
なお、流動開始温度は、フロー温度又は流動温度とも呼ばれ、毛細管レオメーターを用いて、9.8MPa(100kg/cm2)の荷重下、4℃/分の速度で昇温しながら、液晶ポリエステルを溶融させ、内径1mm及び長さ10mmのノズルから押し出すときに、4800Pa・s(48000ポイズ)の粘度を示す温度であり、液晶ポリエステルの分子量の目安となる(小出直之編、「液晶ポリマー−合成・成形・応用−」、株式会社シーエムシー、1987年6月5日、p.95参照)。 The flow start temperature is also called flow temperature or flow temperature, and the temperature is raised at a rate of 4 ° C./min under a load of 9.8 MPa (100 kg / cm 2 ) using a capillary rheometer while the liquid crystalline polyester is used. Is a temperature showing a viscosity of 4800 Pa · s (48000 poise) when extruded from a nozzle having an inner diameter of 1 mm and a length of 10 mm, and is a measure of the molecular weight of the liquid crystal polyester (Naoki Koide, “Liquid Crystal Polymer— "Synthesis / Molding / Application-", CMC Co., Ltd., June 5, 1987, p. 95).
樹脂含浸シートは、繊維シートに、液晶ポリエステルに加えて、さらに無機充填材が含浸されてなる樹脂含浸シートであることが好ましい。樹脂含浸シートに無機充填材が含まれることにより、その種類に応じて低熱膨張性、熱伝導性、誘電性、導電性等の性能が付与された樹脂含浸シートを得ることができる。 The resin-impregnated sheet is preferably a resin-impregnated sheet in which a fiber sheet is further impregnated with an inorganic filler in addition to liquid crystal polyester. By including an inorganic filler in the resin-impregnated sheet, it is possible to obtain a resin-impregnated sheet imparted with performance such as low thermal expansion, thermal conductivity, dielectric property, and conductivity depending on the type.
無機充填材の例としては、シリカ、アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化スズ、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素及び炭化ケイ素が挙げられ、それらの2種以上を用いてもよい。 Examples of the inorganic filler include silica, alumina, zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, aluminum nitride, boron nitride, silicon nitride, and silicon carbide, and two or more thereof may be used.
無機充填材の少なくとも一部として、液晶ポリエステルとの密着性を向上させるべく、表面処理を施した無機充填材を用いてもよい。この表面処理に使用可能な表面処理剤としては、例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、アルミニウムカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、長鎖脂肪酸、イソシアネート化合物、及び、エポキシ基、メトキシシリル基、アミノ基又はヒドロキシル基を有する高分子が挙げられる。 As at least a part of the inorganic filler, an inorganic filler that has been surface-treated may be used in order to improve the adhesion to the liquid crystal polyester. Examples of surface treatment agents that can be used for this surface treatment include silane coupling agents, titanium coupling agents, aluminum coupling agents, zirconium coupling agents, long chain fatty acids, isocyanate compounds, and epoxy groups and methoxysilyl groups. And polymers having an amino group or a hydroxyl group.
無機充填材の含有量は、液晶ポリエステル100質量部に対して、通常0〜30質量部、好ましくは5〜20質量部である。この割合をあまり大きくすると、樹脂含浸シートと銅箔との密着性が低下する。 Content of an inorganic filler is 0-30 mass parts normally with respect to 100 mass parts of liquid crystalline polyester, Preferably it is 5-20 mass parts. If this ratio is too large, the adhesion between the resin-impregnated sheet and the copper foil is lowered.
また、樹脂含浸シートには、液晶ポリエステル及び無機充填材以外の成分、例えば、液晶ポリエステル以外の樹脂、有機充填材、添加剤等が含まれていてもよいが、その樹脂含浸シートに占める割合は、複数種含まれる場合は合計で、通常0〜10質量部である。 The resin-impregnated sheet may contain components other than liquid crystal polyester and inorganic filler, for example, resin other than liquid crystal polyester, organic filler, additives, etc. When plural types are included, the total is usually 0 to 10 parts by mass.
液晶ポリエステル以外の樹脂の例としては、ポリプロピレン、ポリアミド、液晶ポリエステル以外のポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルイミド等の液晶ポリエステル以外の熱可塑性樹脂;及びフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。有機充填材の例としては、硬化エポキシ樹脂、架橋ベンゾグアナミン樹脂、架橋アクリル樹脂等の有機充填材が挙げられる。
添加剤の例としては、レべリング剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤及び着色剤が挙げられる。
Examples of resins other than liquid crystal polyester include polypropylene, polyamide, polyester other than liquid crystal polyester, thermoplastic resin other than liquid crystal polyester such as polyphenylene sulfide, polyether ketone, polycarbonate, polyether sulfone, polyphenylene ether, polyether imide; and Thermosetting resins, such as a phenol resin, an epoxy resin, a polyimide resin, and cyanate resin, are mentioned. Examples of the organic filler include organic fillers such as a cured epoxy resin, a crosslinked benzoguanamine resin, and a crosslinked acrylic resin.
Examples of additives include leveling agents, antifoaming agents, antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, and colorants.
樹脂含浸シートは、液晶ポリエステルと溶媒とを含む液状組成物を、繊維シートに含浸した後、溶媒を除去することにより、好適に得られる。 The resin-impregnated sheet is preferably obtained by impregnating a fiber sheet with a liquid composition containing liquid crystal polyester and a solvent and then removing the solvent.
溶媒としては、用いる液晶ポリエステルが溶解可能な溶媒、具体的には50℃にて1質量%以上の濃度([液晶ポリエステル]/[液晶ポリエステル+溶媒])で溶解可能な溶媒が、適宜選択して用いられる。 As the solvent, a solvent that can dissolve the liquid crystal polyester to be used, specifically, a solvent that can be dissolved at a concentration of 1% by mass or more at 50 ° C. ([liquid crystal polyester] / [liquid crystal polyester + solvent]) is appropriately selected. Used.
溶媒の例としては、ジクロロメタン、クロロホルム、1,2−ジクロロエタン、1,1,2,2−テトラクロロエタン、o−ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素;p−クロロフェノール、ペンタクロロフェノール、ペンタフルオロフェノール等のハロゲン化フェノール;ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等のエーテル;アセトン、シクロヘキサノン等のケトン;酢酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート;トリエチルアミン等のアミン;ピリジン等の含窒素複素環芳香族化合物;アセトニトリル、スクシノニトリル等のニトリル;N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等のアミド;テトラメチル尿素等の尿素化合物;ニトロメタン、ニトロベンゼン等のニトロ化合物;ジメチルスルホキシド、スルホラン等の硫黄化合物;及びヘキサメチルリン酸アミド、トリn−ブチルリン酸等のリン化合物が挙げられ、それらの2種以上を用いてもよい。 Examples of solvents include halogenated hydrocarbons such as dichloromethane, chloroform, 1,2-dichloroethane, 1,1,2,2-tetrachloroethane, o-dichlorobenzene; p-chlorophenol, pentachlorophenol, pentafluorophenol Halogenated phenols such as diethyl ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, etc .; ketones such as acetone and cyclohexanone; esters such as ethyl acetate and γ-butyrolactone; carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate; amines such as triethylamine A nitrogen-containing heterocyclic aromatic compound such as pyridine; a nitrile such as acetonitrile or succinonitrile; an amide such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide or N-methyl-2-pyrrolidone; Urea compounds such as tetramethylurea; nitro compounds such as nitromethane and nitrobenzene; sulfur compounds such as dimethyl sulfoxide and sulfolane; and phosphorus compounds such as hexamethylphosphoric acid amide and tri-n-butylphosphoric acid. More than one species may be used.
溶媒としては、腐食性が低く、取り扱い易いことから、非プロトン性化合物、特にハロゲン原子を有しない非プロトン性化合物を主成分とする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める非プロトン性化合物の割合は、好ましくは50〜100質量%、より好ましくは70〜100質量%、さらに好ましくは90〜100質量%である。また、前記非プロトン性化合物としては、液晶ポリエステルを溶解し易いことから、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン等のアミドを用いることが好ましい。 As the solvent, since it is low in corrosivity and easy to handle, an aprotic compound, particularly a solvent mainly comprising an aprotic compound having no halogen atom, is preferred, and the proportion of the aprotic compound in the entire solvent is: Preferably it is 50-100 mass%, More preferably, it is 70-100 mass%, More preferably, it is 90-100 mass%. As the aprotic compound, amides such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone are preferably used because liquid crystalline polyester is easily dissolved.
また、溶媒としては、液晶ポリエステルを溶解し易いことから、双極子モーメントが3〜5である化合物を主成分とする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める双極子モーメントが3〜5である化合物の割合は、好ましくは50〜100質量%、より好ましくは70〜100質量%、さらに好ましくは90〜100質量%であり、前記非プロトン性化合物として、双極子モーメントが3〜5である化合物を用いることが好ましい。 Moreover, as a solvent, since it is easy to melt | dissolve liquid crystalline polyester, the solvent which has a compound whose dipole moment is 3-5 as a main component is preferable, and the ratio of the compound whose dipole moment which occupies for the whole solvent is 3-5 Is preferably 50 to 100% by mass, more preferably 70 to 100% by mass, and still more preferably 90 to 100% by mass, and a compound having a dipole moment of 3 to 5 is used as the aprotic compound. Is preferred.
また、溶媒としては、除去し易いことから、1気圧における沸点が220℃以下である化合物を主成分とする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める1気圧における沸点が220℃以下である化合物の割合は、好ましくは50〜100質量%、より好ましくは70〜100質量%、さらに好ましくは90〜100質量%であり、前記非プロトン性化合物として、1気圧における沸点が220℃以下である化合物を用いることが好ましい。 Moreover, as a solvent, since it is easy to remove, the solvent which has as a main component the compound whose boiling point in 1 atmosphere is 220 degrees C or less is preferable, and the ratio of the compound whose boiling point in 1 atmosphere in the whole solvent is 220 degrees C or less is , Preferably 50 to 100% by mass, more preferably 70 to 100% by mass, still more preferably 90 to 100% by mass, and a compound having a boiling point of 220 ° C. or less at 1 atm is used as the aprotic compound. Is preferred.
液状組成物中の液晶ポリエステルの含有量は、液晶ポリエステル及び溶媒の合計量に対して、通常5〜60質量%、好ましくは10〜50質量%、より好ましくは15〜45質量%であり、所望の粘度の液状組成物が得られるように、適宜調整される。 Content of the liquid crystal polyester in a liquid composition is 5-60 mass% normally with respect to the total amount of liquid crystal polyester and a solvent, Preferably it is 10-50 mass%, More preferably, it is 15-45 mass%, desired It adjusts suitably so that the liquid composition of this viscosity may be obtained.
液状組成物の調製は、液晶ポリエステル及び必要に応じて他の成分を溶媒に溶解させてなる溶液に、無機充填材及び必要に応じて他の成分を分散させることにより行うことが好ましい。無機充填材は、ボールミル、3本ロール、遠心攪拌機、ビーズミル等により粉砕しつつ、前記溶液に分散させてもよい。 The liquid composition is preferably prepared by dispersing the inorganic filler and, if necessary, other components in a solution obtained by dissolving liquid crystal polyester and other components, if necessary, in a solvent. The inorganic filler may be dispersed in the solution while being pulverized by a ball mill, three rolls, a centrifugal stirrer, a bead mill or the like.
こうして得られる液状組成物を、繊維シートに含浸した後、溶媒を除去することにより樹脂含浸シートを得ることができる。溶媒の除去は、溶媒の蒸発により行うことが、操作が簡便で好ましく、その方法としては、例えば、加熱、減圧及び通風や、これらを組み合わせた方法が挙げられる。 After impregnating the fiber sheet with the liquid composition thus obtained, the resin-impregnated sheet can be obtained by removing the solvent. The removal of the solvent is preferably performed by evaporation of the solvent because the operation is simple, and examples of the method include heating, decompression and ventilation, and a combination of these.
こうして得られる樹脂含浸シートの少なくとも一方の面に銅箔を積層させることにより、銅張積層板が得られる。そして、本発明では、銅箔として、少なくとも一方の面の十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmである銅箔を用い、この十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmである面が、樹脂含浸シートに接するように積層する。これにより、樹脂含浸シートと銅箔との密着性及び銅箔のエッチング加工性に優れる銅張積層板を得ることができる。 A copper clad laminate is obtained by laminating a copper foil on at least one surface of the resin-impregnated sheet thus obtained. And in this invention, the copper foil whose 10-point average roughness (Rz) of at least one surface is 1.0-5.0 micrometers is used as this copper foil, and this 10-point average roughness (Rz) is 1. Lamination is performed so that the surface of 0 to 5.0 μm is in contact with the resin-impregnated sheet. Thereby, the copper clad laminated board excellent in the adhesiveness of a resin impregnation sheet | seat and copper foil and the etching workability of copper foil can be obtained.
銅箔は、その両面の十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmであってもよいし、一方の面のみの十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmであってもよいが、銅張積層板のエッチングのし易さから、一方の面の十点平均粗さ(Rz)が1.0〜5.0μmであり、もう一方の面の十点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下であることが好ましい。銅箔の少なくとも一方の面の十点平均粗さ(Rz)は、好ましくは1.2〜4.0μmである。 The copper foil may have a 10-point average roughness (Rz) of both surfaces of 1.0 to 5.0 μm, or a 10-point average roughness (Rz) of only one surface of 1.0 to 5. Although it may be 0 μm, the ten-point average roughness (Rz) of one surface is 1.0 to 5.0 μm and the ten points of the other surface because of the ease of etching of the copper-clad laminate. The average roughness (Rz) is preferably 2.0 μm or less. The ten-point average roughness (Rz) of at least one surface of the copper foil is preferably 1.2 to 4.0 μm.
十点平均粗さ(Rz)は、JIS C6515:1998に準拠して測定される。 Ten-point average roughness (Rz) is measured according to JIS C6515: 1998.
銅箔の厚さは、通常5〜100μm、好ましくは9〜36μmである。 The thickness of copper foil is 5-100 micrometers normally, Preferably it is 9-36 micrometers.
銅張積層板は、樹脂含浸シートを必要により複数枚重ねて積層シートとし、その少なくとも一方の面に銅箔を積層することにより、得てもよい。樹脂含浸シートを複数枚重ねて積層シートとする場合、複数枚の樹脂含浸シートは、全て同じであってもよいし、一部のみ同じであってもよいし、全て異なっていてもよい。積層シートは、複数枚の樹脂含浸シートを加熱プレス等により互いに積層してなる積層シートであってもよい。 The copper-clad laminate may be obtained by stacking a plurality of resin-impregnated sheets as necessary to form a laminated sheet and laminating a copper foil on at least one surface thereof. When a plurality of resin-impregnated sheets are stacked to form a laminated sheet, the plurality of resin-impregnated sheets may all be the same, only a part may be the same, or all may be different. The laminated sheet may be a laminated sheet obtained by laminating a plurality of resin-impregnated sheets with a hot press or the like.
銅箔の積層は、通常、加熱プレスにより行われる。樹脂含浸シート又はその積層シートの両面に、それぞれ銅箔を加熱プレスにより積層する場合、加熱プレスは、両銅箔上にそれぞれ金属板及びクッション材をこの順に配置した状態で、その両側からプレス機の一対の熱盤で加熱加圧することにより行うことが好ましい。樹脂含浸シートを複数枚重ねて積層シートとし、その積層シートに銅箔を積層する場合、加熱プレスにより樹脂含浸シート同士を積層すると同時に、樹脂含浸シートに銅箔を積層してもよい。 The lamination of the copper foil is usually performed by a hot press. When laminating copper foils on both sides of a resin-impregnated sheet or its laminated sheet by a hot press, the hot press is a press machine from both sides with a metal plate and a cushioning material arranged in this order on both copper foils, respectively. It is preferable to carry out by heating and pressurizing with a pair of heating plates. When a plurality of resin-impregnated sheets are laminated to form a laminated sheet and a copper foil is laminated on the laminated sheet, the copper-foil may be laminated on the resin-impregnated sheet at the same time as the resin-impregnated sheets are laminated by a hot press.
金属板の例としては、SUS板及びアルミニウム板が挙げられる。また、クッション材の例としては、ポリベンゾオキサイド(PBO)クッション、カーボンクッション、アルミナ繊維不織布クッションその他の無機繊維不織布クッションが挙げられる。 Examples of metal plates include SUS plates and aluminum plates. Examples of the cushion material include a polybenzooxide (PBO) cushion, a carbon cushion, an alumina fiber nonwoven fabric cushion, and other inorganic fiber nonwoven fabric cushions.
こうして得られる銅張積層板は、樹脂含浸シートと銅箔との密着性及びエッチング加工性に優れることから、その銅箔をエッチング等によりパターン化することにより、プリント配線板として好適に用いることができる。 The copper-clad laminate thus obtained is excellent in adhesion between the resin-impregnated sheet and the copper foil and etching processability. Therefore, the copper foil can be suitably used as a printed wiring board by patterning the copper foil by etching or the like. it can.
〔液晶ポリエステルの流動開始温度の測定〕
フローテスター((株)島津製作所の「CFT−500型」)を用いて、液晶ポリエステル約2gを、内径1mm及び長さ10mmのノズルを有するダイを取り付けたシリンダーに充填し、9.8MPa(100kg/cm2)の荷重下、4℃/分の速度で昇温しながら、液晶ポリエステルを溶融させ、ノズルから押し出し、4800Pa・s(48000P)の粘度を示す温度を測定した。
[Measurement of flow start temperature of liquid crystalline polyester]
Using a flow tester (“CFT-500 type” manufactured by Shimadzu Corporation), about 2 g of liquid crystalline polyester was filled into a cylinder attached with a die having a nozzle having an inner diameter of 1 mm and a length of 10 mm, and 9.8 MPa (100 kg). The liquid crystal polyester was melted while being heated at a rate of 4 ° C./min under a load of / cm 2 ), extruded from a nozzle, and a temperature showing a viscosity of 4800 Pa · s (48000 P) was measured.
〔液状組成物の粘度の測定〕
B型粘度計(東機産業(株)の「TVL−20型」)を用いて、No.21のローターにより、回転数5rpmで測定した。
[Measurement of viscosity of liquid composition]
Using a B-type viscometer (“TVL-20” from Toki Sangyo Co., Ltd.) The measurement was performed at a rotational speed of 5 rpm with 21 rotors.
〔銅箔表面の十点平均粗さ(Rz)の測定〕
JIS C6515:1998に準拠して測定した。
[Measurement of 10-point average roughness (Rz) of copper foil surface]
It measured based on JIS C6515: 1998.
〔樹脂含浸シートと銅箔との密着性〕
銅張積層板から10mm×200mのサンプルを切り出し、銅箔の短辺(10mm辺)を把持し、サンプルの面に対して90°の方向に50mm/分の速度で引っ張ることにより、銅箔をサンプルの長辺方向に引き剥がして、銅箔のピール強度を測定した。
[Adhesion between resin-impregnated sheet and copper foil]
A 10 mm × 200 m sample is cut out from the copper clad laminate, the short side (10 mm side) of the copper foil is gripped, and the copper foil is pulled at a speed of 50 mm / min in the direction of 90 ° with respect to the surface of the sample. The sample was peeled off in the long side direction, and the peel strength of the copper foil was measured.
〔銅張積層板のエッチング加工性〕
銅張積層板から10mm×200mのサンプルを切り出し、塩化第二鉄水溶液(木田(株)、40°ボーメ)に25分浸積して、銅箔をエッチングした後、水洗した。得られた樹脂含浸シートを36質量%塩酸(2mL)中で超音波処理した後、ICP発光分析により塩酸中の銅残渣を定量した。
[Etching processability of copper-clad laminate]
A 10 mm × 200 m sample was cut out from the copper clad laminate, immersed in a ferric chloride aqueous solution (Kida Co., Ltd., 40 ° Baume) for 25 minutes, the copper foil was etched, and then washed with water. The obtained resin-impregnated sheet was sonicated in 36% by mass hydrochloric acid (2 mL), and then the copper residue in hydrochloric acid was quantified by ICP emission analysis.
〔銅箔〕
銅箔として、一方の面が粗面であり、もう一方の面が鏡面である次の銅箔を用いた。
銅箔(1):粗面の十点平均粗さ(Rz)1.4μm、厚さ18μm。
銅箔(2):粗面の十点平均粗さ(Rz)3.6μm、厚さ18μm。
銅箔(3):粗面の十点平均粗さ(Rz)0.7μm、厚さ18μm。
銅箔(4):粗面の十点平均粗さ(Rz)7.8μm、厚さ18μm。
〔Copper foil〕
As the copper foil, the following copper foil in which one surface was a rough surface and the other surface was a mirror surface was used.
Copper foil (1): Ten-point average roughness (Rz) of the rough surface is 1.4 μm, and the thickness is 18 μm.
Copper foil (2): Ten-point average roughness (Rz) of the rough surface is 3.6 μm, and the thickness is 18 μm.
Copper foil (3): Ten-point average roughness (Rz) of rough surface 0.7 μm, thickness 18 μm.
Copper foil (4): Ten-point average roughness (Rz) of rough surface 7.8 μm, thickness 18 μm.
実施例1及び2並びに比較例1及び2
〔液晶ポリエステルの製造〕
攪拌装置、トルクメータ、窒素ガス導入管、温度計及び還流冷却器を備えた反応器に、6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸1976g(10.5モル)、4−ヒドロキシアセトアニリド1474g(9.75モル)、イソフタル酸1620g(9.75モル)及び無水酢酸2374g(23.25モル)を入れ、反応器内のガスを窒素ガスで置換した後、窒素ガス気流下、攪拌しながら、室温から150℃まで15分かけて昇温し、150℃で3時間還流させた。次いで、副生酢酸及び未反応の無水酢酸を留去しながら、150℃から300℃まで2時間50分かけて昇温し、300℃で1時間保持した後、反応器から内容物を取り出し、室温まで冷却した。得られた固形物を、粉砕機で粉砕して、粉末状のプレポリマーを得た。このプレポリマーの流動開始温度は、235℃であった。次いで、このプレポリマーを、窒素雰囲気下、室温から223℃まで8時間10分かけて昇温し、223℃で3時間保持することにより、固相重合させた後、冷却して、粉末状の液晶ポリエステルを得た。この液晶ポリエステルの流動開始温度は、270℃であった。
Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2
[Production of liquid crystalline polyester]
In a reactor equipped with a stirrer, a torque meter, a nitrogen gas introduction tube, a thermometer and a reflux condenser, 1976 g (10.5 mol) of 6-hydroxy-2-naphthoic acid and 1474 g (9.75 mol) of 4-hydroxyacetanilide were added. ), 1620 g (9.75 mol) of isophthalic acid and 2374 g (23.25 mol) of acetic anhydride, and after replacing the gas in the reactor with nitrogen gas, the mixture was stirred at room temperature to 150 ° C. under a nitrogen gas stream. The mixture was heated up to 15 minutes and refluxed at 150 ° C. for 3 hours. Next, while distilling off by-product acetic acid and unreacted acetic anhydride, the temperature was raised from 150 ° C. to 300 ° C. over 2 hours and 50 minutes, held at 300 ° C. for 1 hour, then the contents were taken out from the reactor, Cooled to room temperature. The obtained solid was pulverized with a pulverizer to obtain a powdery prepolymer. The flow initiation temperature of this prepolymer was 235 ° C. Next, this prepolymer was heated from room temperature to 223 ° C. over 8 hours and 10 minutes under a nitrogen atmosphere and held at 223 ° C. for 3 hours to solid-phase polymerize, then cooled, and powdered A liquid crystal polyester was obtained. The liquid crystal polyester had a flow start temperature of 270 ° C.
〔液状組成物の調製〕
液晶ポリエステル2200gを、N−メチル−2−ピロリドン7800gに加え、窒素雰囲気下、100℃で2時間攪拌して、液晶ポリエステル溶液を調製した。この液晶ポリエステル溶液の粘度は150cPであった。この液晶ポリエステル溶液に、シリカ(電気化学工業(株)の「SFP−30M」、体積平均粒径0.7μm)を加え、遠心脱泡機((株)キーエンスの「HM−500」)で分散させて、液状組成物を得た。この液状組成物の粘度は420cPであった。ここで、シリカの使用量は、液晶ポリエステル及びシリカの合計量に対して、8.1質量%とした。
(Preparation of liquid composition)
2200 g of liquid crystal polyester was added to 7800 g of N-methyl-2-pyrrolidone and stirred at 100 ° C. for 2 hours in a nitrogen atmosphere to prepare a liquid crystal polyester solution. The viscosity of this liquid crystal polyester solution was 150 cP. Silica (“SFP-30M” manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., volume average particle size 0.7 μm) is added to the liquid crystal polyester solution, and dispersed with a centrifugal defoamer (“HM-500” manufactured by Keyence Corporation). To obtain a liquid composition. The viscosity of this liquid composition was 420 cP. Here, the usage-amount of the silica was 8.1 mass% with respect to the total amount of liquid crystalline polyester and a silica.
〔樹脂含浸シートの製造〕
液状組成物に、ガラスクロス(ユニチカ(株)のガラスクロス#1078)を室温で1分浸漬した後、乾燥機を用いて、160℃で溶媒を蒸発させ、次いで、熱風式乾燥機を用いて、窒素ガス雰囲気下、290℃で3時間熱処理して、樹脂含浸シートを得た。
[Production of resin impregnated sheet]
A glass cloth (glass cloth # 1078 manufactured by Unitika Co., Ltd.) is immersed in the liquid composition for 1 minute at room temperature, then the solvent is evaporated at 160 ° C. using a dryer, and then using a hot air dryer. In a nitrogen gas atmosphere, heat treatment was performed at 290 ° C. for 3 hours to obtain a resin-impregnated sheet.
〔銅張積層板の製造〕
樹脂含浸シートの両面にそれぞれ、表1に示す銅箔を、その粗面が樹脂含浸シートに接するように重ねて、樹脂含浸シートと銅箔とからなる積層中間体を形成し、この積層中間体の両面にそれぞれ、SUSプレート(日本ケム・テック(株)のSUS304プレート、厚さ5mm)及びポリ(パラフェニレンベンゾビスオキサゾール)製の緩衝材((株)イチカワテクノファブリクス、厚さ3mm)をこの順に重ね、高温真空プレス機(北川精機(株)の「KVHC−PRESS」、縦300mm、横300mm)を用いて、340℃、5MPaの条件で、減圧下、30分加熱プレスして一体化させることにより、銅張積層板を得た。この銅張積層板について、銅箔のピール強度の測定及び銅箔のエッチング後の銅残渣の定量を行い、表1に示した。
[Manufacture of copper-clad laminate]
The copper foil shown in Table 1 is stacked on both surfaces of the resin-impregnated sheet so that the rough surface is in contact with the resin-impregnated sheet to form a laminated intermediate composed of the resin-impregnated sheet and the copper foil. SUS plate (SUS304 plate, Nippon Chemtech Co., Ltd., thickness 5 mm) and buffer material made of poly (paraphenylenebenzobisoxazole) (Ichikawa Technofabrics Co., Ltd., thickness 3 mm) Using a high-temperature vacuum press ("KVHC-PRESS", Kitakawa Seiki Co., Ltd., 300 mm long, 300 mm wide) at 340 ° C and 5 MPa, heating and pressing for 30 minutes under reduced pressure for integration for 30 minutes As a result, a copper clad laminate was obtained. The copper clad laminate was measured for the peel strength of the copper foil and the copper residue after the copper foil was etched, and the results are shown in Table 1.
Claims (4)
(1)−O−Ar1−CO−
(2)−CO−Ar2−CO−
(3)−X−Ar3−Y−
(Ar1は、フェニレン基、ナフチレン基又はビフェニリレン基を表す。Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニリレン基又は下記式(4)で表される基を表す。X及びYは、それぞれ独立に、酸素原子又はイミノ基を表す。Ar1、Ar2又はAr3で表される前記基にある水素原子は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基で置換されていてもよい。)
(4)−Ar4−Z−Ar5−
(Ar4及びAr5は、それぞれ独立に、フェニレン基又はナフチレン基を表す。Zは、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基又はアルキリデン基を表す。) The liquid crystalline polyester has a repeating unit of 30 to 80 mol% represented by the following formula (1) and a repeating unit of 10 to 10 represented by the following formula (2) based on the total amount of all repeating units constituting the liquid crystalline polyester. The copper clad laminate according to claim 1, which is a liquid crystal polyester having 35 mol% and 10 to 35 mol% of repeating units represented by the following formula (3).
(1) —O—Ar 1 —CO—
(2) —CO—Ar 2 —CO—
(3) -X-Ar 3 -Y-
(Ar 1 represents a phenylene group, a naphthylene group, or a biphenylylene group. Ar 2 and Ar 3 each independently represent a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylylene group, or a group represented by the following formula (4). X And Y each independently represents an oxygen atom or an imino group, and each hydrogen atom in the group represented by Ar 1 , Ar 2 or Ar 3 is independently substituted with a halogen atom, an alkyl group or an aryl group. May be.)
(4) -Ar 4 -Z-Ar 5-
(Ar 4 and Ar 5 each independently represent a phenylene group or a naphthylene group. Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, a carbonyl group, a sulfonyl group, or an alkylidene group.)
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