JP2014117691A - Film forming apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置に関するものである。 The present invention relates to a film forming apparatus that forms a film on an object by electrostatic spraying.
従来、電気流体力学（ＥＨＤ：Electro Hydrodynamics）により液体を霧化状態で噴霧する静電噴霧装置が知られている（例えば、下記特許文献１を参照）。静電噴霧装置は、液体が供給される噴霧ノズルと、絶縁電極と、噴霧ノズルと絶縁電極との間に電圧を印加する電圧印加部とを備えている。静電噴霧装置では、電圧印加部によって噴霧ノズルと絶縁電極との間に所定の電圧が印加されると、噴霧ノズル内の液体が分極し、噴霧ノズルの先端の液体に、電圧印加部によって噴霧ノズルに与えられる電位と同極性の電荷が集まる。この電荷により、噴霧ノズルの先端の液体の液面には静電気力が生じ、該静電気力によって該液面が引き伸ばされ、テイラーコーンと称される円錐形状の液面となる。そして、噴霧ノズルの先端の液体の液面に生じた静電気力が、表面張力に打ち勝つことにより、液体が分裂して帯電した液滴となって噴霧される。 Conventionally, an electrostatic spraying apparatus that sprays a liquid in an atomized state by electrohydrodynamics (EHD: Electro Hydrodynamics) is known (see, for example, Patent Document 1 below). The electrostatic spraying device includes a spray nozzle to which a liquid is supplied, an insulating electrode, and a voltage application unit that applies a voltage between the spray nozzle and the insulating electrode. In the electrostatic spraying device, when a predetermined voltage is applied between the spray nozzle and the insulating electrode by the voltage application unit, the liquid in the spray nozzle is polarized, and the liquid at the tip of the spray nozzle is sprayed by the voltage application unit. Charges having the same polarity as the potential applied to the nozzle are collected. Due to this electric charge, an electrostatic force is generated on the liquid surface at the tip of the spray nozzle, and the liquid surface is stretched by the electrostatic force to form a conical liquid surface called a Taylor cone. The electrostatic force generated on the liquid surface at the tip of the spray nozzle overcomes the surface tension, so that the liquid is divided and sprayed as charged droplets.
近年、上記静電噴霧装置を、例えば、スマートフォン等のタッチパネルの表面に被膜を形成するための成膜装置として用いることが検討されている。このような成膜装置は、絶縁電極が、例えば、ガラス基板等の対象物に取り付けられ、電圧印加部によって膜の材料となる成分を溶解させた原料液が供給される噴霧ノズルと絶縁電極との間に所定の電圧が印加されることによって、液体が対象物の表面へ霧化状態で噴霧される。液体中の溶媒が揮発することにより、残留成分のみが対象物の表面上に定着し、これによって被膜が形成される。 In recent years, use of the electrostatic spraying device as a film forming device for forming a film on the surface of a touch panel such as a smartphone has been studied. In such a film forming apparatus, an insulating electrode is attached to an object such as a glass substrate, for example, and a spray nozzle and an insulating electrode to which a raw material liquid in which a component that is a material of the film is dissolved by a voltage application unit are supplied By applying a predetermined voltage during the period, the liquid is sprayed in an atomized state on the surface of the object. As the solvent in the liquid volatilizes, only the residual components are fixed on the surface of the object, thereby forming a film.
しかしながら、上記成膜装置において、噴霧ノズルを上下方向に延びる細径管によって構成すると、先端面（下端面）が水平に形成される。このような噴霧ノズルでは、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、先端面における原料液の濡れ拡がり具合によって、形成されるテイラーコーンの形状が変化するため、該テイラーコーンから分裂する液滴の径や噴霧方向が変動してしまう。 However, in the above film forming apparatus, when the spray nozzle is constituted by a small-diameter tube extending in the vertical direction, the front end surface (lower end surface) is formed horizontally. In such a spray nozzle, as shown in FIGS. 7A to 7C, the shape of the formed Taylor cone changes depending on the wetness and spread of the raw material liquid on the distal end surface, so that it splits from the Taylor cone. The diameter of the droplet and the spraying direction will fluctuate.
具体的には、図７（Ａ）に示すように、液体が噴霧ノズルの先端面において濡れ拡がらない場合には、噴霧ノズルの先端面の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーンが形成される。これに対し、図７（Ｂ）に示すように、液体が噴霧ノズルの先端面全体に濡れ拡がった場合には、噴霧ノズルの先端面全体を底面とする円錐形状のテイラーコーンが形成される。これにより、図７（Ａ）の場合に比べてテイラーコーンが大きくなって表面張力が小さくなるため、該テイラーコーンから分裂する液滴の径が大きくなる。また、図７（Ｃ）に示すように、液体が噴霧ノズルの先端の片側のみに濡れ拡がった場合には、噴霧ノズルの先端面の開口と原料液の濡れ拡がり部分とを底面とする円錐形状のテイラーコーンが形成される。これにより、図７（Ａ）の場合に比べてテイラーコーンが大きくなると共に中心軸がずれるため、該テイラーコーンから分裂する液滴の径が大きくなると共に噴霧方向がずれてしまう。 Specifically, as shown in FIG. 7A, when the liquid does not spread out on the tip surface of the spray nozzle, a cone-shaped Taylor cone with only the opening of the tip surface of the spray nozzle as the bottom surface is formed. Is done. On the other hand, as shown in FIG. 7B, when the liquid wets and spreads over the entire tip surface of the spray nozzle, a conical Taylor cone having the entire tip surface of the spray nozzle as the bottom surface is formed. Thereby, since the Taylor cone becomes larger and the surface tension becomes smaller than in the case of FIG. 7A, the diameter of the droplets split from the Taylor cone becomes larger. Further, as shown in FIG. 7C, when the liquid wets and spreads only on one side of the tip of the spray nozzle, a conical shape having the bottom of the opening of the tip surface of the spray nozzle and the wet spread portion of the raw material liquid The Taylor cone is formed. Thereby, compared with the case of FIG. 7 (A), a Taylor cone becomes large and a center axis | shaft shifts | deviates, Therefore The diameter of the droplet divided | segmented from this Taylor cone becomes large, and a spraying direction will shift | deviate.
以上のように、噴霧ノズルを上下方向に延びる細径管によって構成すると、テイラーコーンの形状が原料液の濡れ拡がり具合によって変化するため、該テイラーコーンから分裂する液滴の径や噴霧方向が変動し、噴霧状態を所望の状態に制御できないという問題があった。 As described above, when the spray nozzle is constituted by a small-diameter tube extending in the vertical direction, the shape of the Taylor cone changes depending on the wetness and spread of the raw material liquid, so the diameter of the droplets split from the Taylor cone and the spray direction vary. However, there is a problem that the spray state cannot be controlled to a desired state.
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、静電噴霧型の成膜装置において、噴霧状態の安定化を図ることを目的とする。 The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to stabilize the spray state in an electrostatic spray type film forming apparatus.
第１の発明は、被膜を形成する対象物（100）に対向し、原料液が供給される筒状の噴霧ノズル（21）と、上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧ノズル（21）から上記対象物（100）へ噴霧されるように上記噴霧ノズル（21）と上記対象物（100）との間に電圧を印加する電圧印加部（40）とを備え、上記対象物（100）に原料液を噴霧することによって該対象物（100）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置であって、上記原料液は絶縁性液体であり、上記噴霧ノズル（21）は、先端面（23）が軸心に対して傾斜するように構成され、先鋭部（24）が他の部分よりも下方であって他の部分よりも上記対象物（100）に近い位置に配置されるように設けられている。 According to a first aspect of the present invention, a cylindrical spray nozzle (21) which is opposed to an object (100) for forming a film and to which a raw material liquid is supplied, and the spray nozzle ( A voltage application unit (40) for applying a voltage between the spray nozzle (21) and the object (100) so that the object (100) is sprayed from 21), 100) an electrostatic spray type film forming apparatus for forming a film on the surface of the object (100) by spraying the raw material liquid, wherein the raw material liquid is an insulating liquid, and the spray nozzle (21 ) Is configured such that the distal end surface (23) is inclined with respect to the axis, and the sharpened portion (24) is below the other portion and closer to the object (100) than the other portion. It is provided so that it may be arranged.
第１の発明では、噴霧ノズル（21）は、先端面（23）が軸心に対して傾斜するように構成され、先鋭部（24）が他の部分よりも下方に位置するように設けられている。そのため、噴霧ノズル（21）に供給された原料液は、重力によって最も下方の先鋭部（24）へ濡れ拡がろうとする。一方、噴霧ノズル（21）は、先鋭部（24）が対象物（100）に最も近い位置に配置されるように設けられている。そのため、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）と対象物（100）との間に電圧が印加されると、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）には、電界が集中することとなる。 In the first invention, the spray nozzle (21) is configured such that the tip surface (23) is inclined with respect to the axial center, and the sharpened portion (24) is provided below the other portions. ing. Therefore, the raw material liquid supplied to the spray nozzle (21) tends to wet and spread to the sharpest part (24) at the lowest position by gravity. On the other hand, the spray nozzle (21) is provided such that the sharpened portion (24) is disposed at a position closest to the object (100). Therefore, when a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the object (100) by the voltage application unit (40), the electric field concentrates on the sharp part (24) of the spray nozzle (21). It becomes.
ここで、原料液が導電性液体である場合、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）と対象物（100）との間に電圧が印加されると、噴霧ノズル（21）内の原料液表面全体に噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が現れる。該電荷は、絶縁体である空気に向かって移動し、噴霧ノズル（21）の先端の液面に集まる。該電荷によって噴霧ノズル（21）の先端の液面には静電気力が生じ、該液面は円錐形状に引き伸ばされてテイラーコーン（C）となる。このとき、電荷は、テイラーコーン（C）の先端部に集まるものの、テイラーコーン（C）全体に存在している。そのため、原料液は、噴霧ノズル（21）と共に電極となって電界を形成しつつ、図４（Ａ）に示すように、電界が集中する噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に誘引される。このようにして、原料液が導電性液体である場合、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口まで至った原料液は、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口から先鋭部（24）へ濡れ拡がる。これにより、噴霧ノズル（21）の先端面（23）には、該先端面（23）の開口と先鋭部（24）の原料液が濡れ拡がった部分とを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）が形成される。 Here, when the raw material liquid is a conductive liquid, when a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the object (100) by the voltage application unit (40), the raw material in the spray nozzle (21) A charge of the same polarity as the potential of the spray nozzle (21) appears on the entire liquid surface. The electric charge moves toward air as an insulator and collects on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21). The electric charge generates an electrostatic force on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21), and the liquid surface is stretched into a conical shape to become a Taylor cone (C). At this time, the electric charge is collected at the tip of the Taylor cone (C), but is present in the entire Taylor cone (C). Therefore, the raw material liquid is attracted to the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) where the electric field concentrates as shown in FIG. 4 (A) while forming an electric field together with the spray nozzle (21) to form an electric field. The In this way, when the raw material liquid is a conductive liquid, the raw material liquid reaching the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) is sharp from the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21). Wet and spread to part (24). As a result, the tip end surface (23) of the spray nozzle (21) has a conical Taylor cone with the bottom surface of the opening of the tip end surface (23) and the portion where the raw material liquid of the sharpened portion (24) is wetted and spread ( C) is formed.
これに対し、第１の発明では、原料液が絶縁性液体である場合、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）と対象物（100）との間に電圧が印加されても、噴霧ノズル（21）内の原料液表面には電荷が生じ難く、僅かに噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が生じる。微量の電荷は、絶縁体である空気に向かって移動し、噴霧ノズル（21）の先端の液面に集まる。この電荷により、噴霧ノズル（21）の先端の液面には静電気力が生じ、該液面は円錐形状に引き伸ばされてテイラーコーン（C）となる。このとき、微量の電荷は、テイラーコーン（C）の先端部に集中するため、テイラーコーン（C）の基端部には電荷が存在しない。つまり、該基端部は、噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が集中するテイラーコーン（C）の先端部と電界が集中する噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）との間を絶縁する絶縁層となる。このように、微量の電荷がテイラーコーン（C）の先端部に集中することにより、テイラーコーン（C）の先端部は、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界から電気的な斥力を受ける。このようにして、原料液が絶縁性液体である場合、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口まで至った原料液は、重力によって下方の先鋭部（24）に濡れ拡がろうとするところ、噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が集中するテイラーコーン（C）の先端部が噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界に反発することから、先鋭部（24）への濡れ拡がりが抑制され、開口に留まることとなる（図４（Ｂ）を参照）。これにより、噴霧ノズル（21）の先端面（23）には、該先端面（23）の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）が形成される。 On the other hand, in the first invention, when the raw material liquid is an insulating liquid, even if a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the object (100) by the voltage application unit (40), Electric charges are hardly generated on the surface of the raw material liquid in the nozzle (21), and a slight charge having the same polarity as the potential of the spray nozzle (21) is generated. A trace amount of electric charge moves toward the air that is an insulator and collects on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21). Due to this charge, an electrostatic force is generated on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21), and the liquid surface is stretched into a conical shape to become a Taylor cone (C). At this time, since a very small amount of charge is concentrated at the tip of the Taylor cone (C), there is no charge at the base end of the Taylor cone (C). That is, the base end portion is between the tip of the Taylor cone (C) where charges having the same polarity as the electric potential of the spray nozzle (21) are concentrated and the sharp portion (24) of the spray nozzle (21) where the electric field is concentrated. It becomes an insulating layer which insulates. In this way, a small amount of electric charge is concentrated on the tip of the Taylor cone (C), so that the tip of the Taylor cone (C) is electrically generated from the electric field concentrated on the sharp tip (24) of the spray nozzle (21). Receive a strong repulsion. In this way, when the raw material liquid is an insulating liquid, the raw material liquid reaching the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) tends to wet and spread to the sharpened portion (24) below by gravity. However, since the tip of the Taylor cone (C) where charges of the same polarity as the electric potential of the spray nozzle (21) are concentrated repels the electric field concentrated on the sharp part (24) of the spray nozzle (21), the sharp part ( 24) is prevented from spreading and stays in the opening (see FIG. 4B). As a result, a conical Taylor cone (C) having only the opening of the tip surface (23) as the bottom surface is formed on the tip surface (23) of the spray nozzle (21).
第２の発明は、第１の発明において、上記噴霧ノズル（21）は、上記対象物（100）の表面に対して垂直に配置されている。 In a second aspect based on the first aspect, the spray nozzle (21) is arranged perpendicular to the surface of the object (100).
第２の発明では、噴霧ノズル（21）の先端面（23）は、対象物（100）の表面に対して傾斜している。そのため、原料液は、噴霧ノズル（21）から対象物（100）の表面に対して傾斜した方向に噴霧される。これにより、原料液が対象物（100）の表面に垂直に噴霧される場合に比べて液滴の飛翔距離が長くなり、液滴の飛翔時間が長くなる。よって、液滴中の溶媒が、飛翔中に確実に揮発し、液滴が十分に小径化された状態で対象物（100）の表面上に付着することとなる。 In the second invention, the tip surface (23) of the spray nozzle (21) is inclined with respect to the surface of the object (100). Therefore, the raw material liquid is sprayed in a direction inclined with respect to the surface of the object (100) from the spray nozzle (21). Thereby, compared with the case where the raw material liquid is sprayed perpendicularly to the surface of the object (100), the flight distance of the liquid droplet becomes longer and the flight time of the liquid droplet becomes longer. Therefore, the solvent in the droplets is surely volatilized during the flight, and the droplets adhere to the surface of the object (100) in a state where the diameter is sufficiently reduced.
第１の発明によれば、原料液を絶縁性液体とし、噴霧ノズル（21）の先端面（23）を軸心に対して傾斜させると共に、先鋭部（24）を最も下方であって対象物（100）に最も近い位置に配置することにより、原料液を重力を利用して噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に導くと共に、該先鋭部（24）に電界を集中させることとしている。これにより、絶縁性液体であるために噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が先端部のみに集中して基端部が絶縁層となるテイラーコーン（C）の先端部には、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界との間に電気的な斥力が与えられる。その結果、噴霧ノズル（21）の先端の液面の濡れ拡がりを抑制することができる。つまり、図４（Ｂ）に示すように、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）を形成することができる。このように原料液の噴霧ノズル（21）の先端面における濡れ拡がりを抑制することができるため、原料液の噴霧中にテイラーコーン（C）の形状を変化させずに一定の形状に維持することができる。よって、テイラーコーン（C）から分裂する液滴の径や噴霧方向を変動させずに安定させることができるため、噴霧状態を所望の状態に制御することができる。 According to the first invention, the raw material liquid is an insulating liquid, the tip surface (23) of the spray nozzle (21) is inclined with respect to the axial center, and the sharpened portion (24) is the lowermost and the object. By arranging it at the position closest to (100), the raw material liquid is guided to the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) using gravity, and the electric field is concentrated on the sharpened portion (24). . As a result, since it is an insulating liquid, charges having the same polarity as the potential of the spray nozzle (21) are concentrated only on the tip, and the tip of the Taylor cone (C) where the base end becomes an insulating layer is sprayed on the tip. An electrical repulsive force is applied between the electric field concentrated on the sharpened portion (24) of the nozzle (21). As a result, wetting and spreading of the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21) can be suppressed. That is, as shown in FIG. 4B, a conical Taylor cone (C) having only the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) as the bottom surface can be formed. In this way, since wetting and spreading at the tip of the spray nozzle (21) of the raw material liquid can be suppressed, the shape of the Taylor cone (C) should be kept constant without changing the shape of the raw material liquid. Can do. Therefore, since it can stabilize without changing the diameter and spray direction of the droplet split from the Taylor cone (C), the spray state can be controlled to a desired state.
また、第２の発明によれば、原料液が対象物（100）の表面に対して傾斜した方向に噴霧されるように噴霧ノズル（21）を構成することとしたため、噴霧ノズル（21）と対象物（100）との距離を拡大することなく、噴霧ノズル（21）から噴霧される液滴の飛翔時間を長くすることができる。これにより、液滴中の溶媒が飛翔中に確実に揮発するため、液滴を十分に小径化させた状態で対象物（100）の表面上に付着させることができる。よって、対象物（100）の表面上に形成される被膜の膜厚を薄くすると共に被膜の密度を増大させることができる。従って、対象物（100）の表面上に剥がれ難い被膜を形成することができる。 According to the second invention, since the spray nozzle (21) is configured so that the raw material liquid is sprayed in a direction inclined with respect to the surface of the object (100), the spray nozzle (21) The flight time of droplets sprayed from the spray nozzle (21) can be extended without increasing the distance from the object (100). This ensures that the solvent in the droplets volatilizes during the flight, so that the droplets can be deposited on the surface of the object (100) with a sufficiently small diameter. Therefore, the film thickness formed on the surface of the object (100) can be reduced and the density of the film can be increased. Therefore, it is possible to form a film that is difficult to peel off on the surface of the object (100).
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
〈発明の実施形態〉
本実施形態の成膜装置は、タッチパネルのガラス基板の表面に防汚用の被膜を形成するためのものである。また、本実施形態の成膜装置は、いわゆる静電噴霧法により、揮発性の溶媒に膜の材料となる成分を溶解させた原料液を、対象物であるガラス基板の表面に付着させて被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置である。
<Embodiment of the Invention>
The film-forming apparatus of this embodiment is for forming the antifouling film on the surface of the glass substrate of the touch panel. In addition, the film forming apparatus of this embodiment uses a so-called electrostatic spraying method to attach a raw material solution in which a component that is a material of a film is dissolved in a volatile solvent to the surface of a glass substrate that is a target, and coats it. Is an electrostatic spray type film forming apparatus.
本実施形態では、図１及び図２に示すように、ガラス基板（100）は、矩形の平板状に形成され、表面が被膜形成面になっている。ガラス基板（100）は、導電性樹脂等によって矩形の平板状に形成された導電板（101）の上に、表面を上側にして載せられている。導電板（101）は、図示しない搬送台の上に載せられている。搬送台は、図１に示す前後方向及び左右方向に移動するように構成され、ガラス基板（100）が載せられた導電板（101）を前後方向及び左右方向に移動させる。 In this embodiment, as shown in FIG.1 and FIG.2, the glass substrate (100) is formed in the rectangular flat plate shape, and the surface is a film formation surface. The glass substrate (100) is placed on a conductive plate (101) formed in a rectangular flat plate shape with a conductive resin or the like with the surface facing upward. The conductive plate (101) is placed on a transport table (not shown). The carriage is configured to move in the front-rear direction and the left-right direction shown in FIG. 1, and moves the conductive plate (101) on which the glass substrate (100) is placed in the front-rear direction and the left-right direction.
上記成膜装置（10）は、噴霧部（20）と、液供給部（30）と、電圧印加部（40）とを備えている。 The film forming apparatus (10) includes a spray unit (20), a liquid supply unit (30), and a voltage application unit (40).
上記噴霧部（20）は、原料液を噴霧するための噴霧ノズル（21）と、該噴霧ノズル（21）を保持するノズルホルダ（22）とを備えている。 The spray section (20) includes a spray nozzle (21) for spraying the raw material liquid and a nozzle holder (22) for holding the spray nozzle (21).
噴霧ノズル（21）は、導電性材料（例えば、ステンレス）によって円管状に形成されている。噴霧ノズル（21）は、内径が０．１ｍｍ程度で外径が０．３ｍｍ程度の細径管によって構成されている。なお、噴霧ノズル（21）は、内径が０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ、外径が０．１ｍｍ〜０．８ｍｍであることが好ましい。また、図３に拡大して示すように、噴霧ノズル（21）は、先端面（23）が軸心に対して傾斜するように形成されている。 The spray nozzle (21) is formed in a circular tube shape with a conductive material (for example, stainless steel). The spray nozzle (21) is constituted by a thin tube having an inner diameter of about 0.1 mm and an outer diameter of about 0.3 mm. The spray nozzle (21) preferably has an inner diameter of 0.05 mm to 0.5 mm and an outer diameter of 0.1 mm to 0.8 mm. As shown in an enlarged view in FIG. 3, the spray nozzle (21) is formed such that the tip surface (23) is inclined with respect to the axis.
ノズルホルダ（22）は、導電性材料（例えば、導電性を有する樹脂）によって側面が円筒形状の筺体に形成されている。ノズルホルダ（22）の底部には、その中央に、噴霧ノズル（21）の基端部が接合されている。噴霧ノズル（21）の基端部は、ノズルホルダ（22）の底部を貫通している。また、ノズルホルダ（22）の上部には、後述する液供給部（30）の輸液配管（32）が接続されている。ノズルホルダ（22）は、輸液配管（32）を介して供給された原料液を噴霧ノズル（21）へ導く。 The nozzle holder (22) is formed into a cylindrical casing with a side surface made of a conductive material (for example, conductive resin). The base end of the spray nozzle (21) is joined to the center of the bottom of the nozzle holder (22). The proximal end portion of the spray nozzle (21) passes through the bottom portion of the nozzle holder (22). In addition, an infusion pipe (32) of a liquid supply section (30) described later is connected to the upper part of the nozzle holder (22). The nozzle holder (22) guides the raw material liquid supplied via the infusion pipe (32) to the spray nozzle (21).
上記液供給部（30）は、原料液を噴霧部（20）に供給するように構成されている。具体的には、液供給部（30）は、タンク（31）と、輸液配管（32）と、ポンプ（33）とを備えている。 The liquid supply unit (30) is configured to supply the raw material liquid to the spray unit (20). Specifically, the liquid supply unit (30) includes a tank (31), an infusion pipe (32), and a pump (33).
タンク（31）は、中空の容器によって構成され、原料液が貯留されている。輸液配管（32）は、一端がタンク（31）の底部に接続され、他端が噴霧部（20）のノズルホルダ（22）の上部に接続されている。ポンプ（33）は、輸液配管（32）に設けられ、タンク（31）から吸引した原料液をノズルホルダ（22）へ向けて吐出する。 The tank (31) is constituted by a hollow container and stores a raw material liquid. The infusion pipe (32) has one end connected to the bottom of the tank (31) and the other end connected to the top of the nozzle holder (22) of the spray section (20). The pump (33) is provided in the infusion pipe (32) and discharges the raw material liquid sucked from the tank (31) toward the nozzle holder (22).
上記電圧印加部（40）は、原料液が帯電した液滴となって噴霧ノズル（21）からガラス基板（100）へ噴霧されるように噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に所定の電圧を印加するように構成されている。具体的には、電圧印加部（40）は、電源（41）と、放電電極（42）と、対向電極（43）とを備えている。 The voltage application unit (40) is formed between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) so that the raw material liquid is sprayed as a charged droplet and sprayed from the spray nozzle (21) to the glass substrate (100). Is configured to apply a predetermined voltage. Specifically, the voltage application unit (40) includes a power source (41), a discharge electrode (42), and a counter electrode (43).
電源（41）は、出力電圧が５ｋＶ程度の直流電源である。電源（41）は、正極が放電電極（42）に接続され、負極が接地されている。 The power source (41) is a DC power source with an output voltage of about 5 kV. The power source (41) has a positive electrode connected to the discharge electrode (42) and a negative electrode grounded.
放電電極（42）は、上記噴霧ノズル（21）によって構成されている。つまり、噴霧ノズル（21）に電源（41）の正極が接続されている。 The discharge electrode (42) is constituted by the spray nozzle (21). That is, the positive electrode of the power source (41) is connected to the spray nozzle (21).
対向電極（43）は、接地されて接地電極を構成している。また、対向電極（43）は、ガラス基板（100）が載せられた導電板（101）の下方に配置され、搬送台によって搬送される導電板（101）の下面と接触するように設けられている。ガラス基板（100）を載せた導電板（101）が接地電極である対向電極（43）と接触して導通すると、導電板（101）が対向電極（43）と同電位になる。 The counter electrode (43) is grounded to form a ground electrode. The counter electrode (43) is disposed below the conductive plate (101) on which the glass substrate (100) is placed, and is provided so as to be in contact with the lower surface of the conductive plate (101) conveyed by the conveyance table. Yes. When the conductive plate (101) on which the glass substrate (100) is placed comes into contact with the counter electrode (43) as the ground electrode and becomes conductive, the conductive plate (101) has the same potential as the counter electrode (43).
このような構成により、放電電極（42）と対向電極（43）との間に電圧が印加されると、噴霧ノズル（21）と、導電板（101）に載ったガラス基板（100）との間に電圧が印加されることとなる。 With such a configuration, when a voltage is applied between the discharge electrode (42) and the counter electrode (43), the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) mounted on the conductive plate (101) A voltage is applied between them.
〈原料液〉
原料液は、絶縁性液体であり、本実施形態では、エトキシ−ノナフルオロブタン（Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５）からなる溶媒に、膜の材料となるフッ素系防汚コーティング剤を溶解したものを用いている。本実施形態の原料液は、導電率が、２×１０−９Ｓ／ｍ程度になっている。
<Raw material liquid>
The raw material liquid is an insulating liquid, and in this embodiment, a fluorine-based antifouling coating agent as a film material is dissolved in a solvent composed of ethoxy-nonafluorobutane (C 4 F 9 OC 2 H 5 ). Is used. The raw material liquid of this embodiment has a conductivity of about 2 × 10 −9 S / m.
〈噴霧ノズルの配置〉
図１に示すように、本実施形態では、噴霧ノズル（21）は、水平方向に延びるガラス基板（100）の上方において、該ガラス基板（100）の表面に対して垂直に且つ先端面（23）が前方を向くように設けられている。つまり、噴霧ノズル（21）は、鉛直方向に延び、前方斜め下方に向かって開口している。このような構成により、本実施形態では、噴霧ノズル（21）から原料液が前方斜め下方に向かって噴霧される。つまり、噴霧ノズル（21）の噴霧方向は、図２に矢印で示すように、噴霧ノズル（21）の先端面（23）に垂直な方向、即ち、噴霧ノズル（21）の前方斜め下方の方向であってガラス基板（100）の表面に対して傾斜した方向となる。
<Arrangement of spray nozzle>
As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the spray nozzle (21) is located above the glass substrate (100) extending in the horizontal direction, perpendicular to the surface of the glass substrate (100), and at the tip surface (23 ) Is provided to face forward. That is, the spray nozzle (21) extends in the vertical direction and opens obliquely downward toward the front. With this configuration, in the present embodiment, the raw material liquid is sprayed from the spray nozzle (21) diagonally forward and downward. That is, the spraying direction of the spray nozzle (21) is the direction perpendicular to the tip surface (23) of the spray nozzle (21), that is, the direction obliquely below the front of the spray nozzle (21), as shown by the arrow in FIG. Thus, the direction is inclined with respect to the surface of the glass substrate (100).
また、噴霧ノズル（21）を上述のように構成、配置することによって、噴霧ノズル（21）の先端に形成される先鋭部（24）が、噴霧ノズル（21）の他の部分よりも下方、即ち、噴霧ノズル（21）の中で最も下側の位置に配置される。さらに、上記先鋭部（24）は、噴霧ノズル（21）の他の部分よりもガラス基板（100）に近い位置、即ち、ガラス基板（100）との距離が噴霧ノズル（21）の中で最も短くなるように配置される。このような噴霧ノズル（21）の構成及び配置により、原料液が重力によって噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に導かれると共に、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に形成される電界が、先鋭部（24）に集中することとなる。 Further, by configuring and arranging the spray nozzle (21) as described above, the sharpened portion (24) formed at the tip of the spray nozzle (21) is lower than the other portions of the spray nozzle (21), That is, it is arranged at the lowest position in the spray nozzle (21). Further, the sharpened portion (24) is closer to the glass substrate (100) than the other portions of the spray nozzle (21), that is, the distance from the glass substrate (100) is the most in the spray nozzle (21). Arranged to be shorter. With such a configuration and arrangement of the spray nozzle (21), the raw material liquid is guided to the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) by gravity, and the spray nozzle (21) and the glass substrate by the voltage application section (40). The electric field formed between (100) and the sharp portion (24) will be concentrated.
〈電極〉
図１及び図２に示すように、上記成膜装置（10）は、第１電極（50）と第２電極（60）とを備えている。
<electrode>
As shown in FIG.1 and FIG.2, the said film-forming apparatus (10) is provided with the 1st electrode (50) and the 2nd electrode (60).
第１電極（50）は、棒状に形成された導電性樹脂製の部材であって、噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間の該ガラス基板（100）寄りの位置において、噴霧ノズル（21）の噴霧方向（図２の矢印を参照）の前側、即ち、先端面（23）が前方を向く噴霧ノズル（21）の前方に設けられている。本実施形態では、第１電極（50）は、図１に示す左右方向に延びる前方制御部（51）と、該前方制御部（51）の両端からそれぞれ後方に向かって延びる２つの側方制御部（52,52）とを有し、平面視においてコ字形状に形成されている。第１電極（50）は、前方制御部（51）が噴霧ノズル（21）の先端面（23）と対向するように設けられている。 The first electrode (50) is a member made of conductive resin formed in a rod shape, and sprayed at a position near the glass substrate (100) between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100). The front side of the spray direction of the nozzle (21) (see the arrow in FIG. 2), that is, the front end surface (23) is provided in front of the spray nozzle (21) facing forward. In the present embodiment, the first electrode (50) includes a front control unit (51) extending in the left-right direction shown in FIG. 1 and two side controls extending rearward from both ends of the front control unit (51). Part (52, 52), and is formed in a U-shape in plan view. The first electrode (50) is provided so that the front controller (51) faces the tip surface (23) of the spray nozzle (21).
第１電極（50）は、電圧印加部（40）の電源（41）の正極に電気的に接続されている（図２を参照）。詳細については後述するが、電源（41）の正極に接続された噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、正電荷を有している。そのため、第１電極（50）には、噴霧ノズル（21）から噴霧される正電荷を有する液滴と同極性の電位が電源（41）によって与えられることとなる。 The 1st electrode (50) is electrically connected to the positive electrode of the power supply (41) of a voltage application part (40) (refer FIG. 2). Although details will be described later, the droplet sprayed from the spray nozzle (21) connected to the positive electrode of the power source (41) has a positive charge. For this reason, the first electrode (50) is supplied with a potential having the same polarity as the positively charged droplet sprayed from the spray nozzle (21) by the power source (41).
一方、第２電極（60）は、棒状に形成された導電性樹脂製の部材であって、噴霧ノズル（21）の先端部の後方に設けられている。本実施形態では、第２電極（60）は、左右方向に延びる前方制御部（61）と、該前方制御部（61）の両端からそれぞれ前方に向かって延びる２つの側方制御部（62,62）とを有し、平面視においてコ字形状に形成されている。第２電極（60）は、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の裏側に、該先端面（23）の裏側を取り囲むように配置されている。 On the other hand, the second electrode (60) is a member made of conductive resin formed in a rod shape, and is provided behind the tip of the spray nozzle (21). In the present embodiment, the second electrode (60) includes a front control unit (61) extending in the left-right direction, and two side control units (62, 62) extending forward from both ends of the front control unit (61). 62) and is formed in a U shape in plan view. The second electrode (60) is disposed on the back side of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) so as to surround the back side of the tip surface (23).
第２電極（60）は、電圧印加部（40）の電源（41）の正極に電気的に接続されている（図２を参照）。そのため、第２電極（60）には、第１電極（50）と同様に、噴霧ノズル（21）から噴霧される正電荷を有する液滴と同極性の電位が電源（41）によって与えられることとなる。 The 2nd electrode (60) is electrically connected to the positive electrode of the power supply (41) of a voltage application part (40) (refer FIG. 2). For this reason, the second electrode (60) is supplied with a potential having the same polarity as that of the droplet having a positive charge sprayed from the spray nozzle (21) by the power source (41), similarly to the first electrode (50). It becomes.
−成膜装置の運転動作−
原料液を噴霧する前に、前工程において被膜形成面である表面が洗浄されたガラス基板（100）を、搬送台によって下方の導電板（101）と共に噴霧ノズル（21）に対向する位置に配置する。そして、液供給部（30）によって原料液を噴霧ノズル（21）へ供給し、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に電圧を印加して原料液を帯電した液滴にして噴霧する。このようにして噴霧された液滴が、ガラス基板（100）の表面に付着することによって、ガラス基板（100）の表面に被膜が形成される。以下、原料液を噴霧する動作と、ガラス基板（100）の表面の全面に被膜を形成するための動作とについて詳述する。
-Operation of film deposition system-
Before spraying the raw material liquid, the glass substrate (100) whose surface, which is the film-forming surface, was cleaned in the previous process is placed at a position facing the spray nozzle (21) together with the lower conductive plate (101) by the carrier. To do. Then, the raw material liquid is supplied to the spray nozzle (21) by the liquid supply unit (30), and a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) by the voltage application unit (40) to supply the raw material liquid. Are sprayed into charged droplets. The droplets thus sprayed adhere to the surface of the glass substrate (100), whereby a film is formed on the surface of the glass substrate (100). Hereinafter, the operation for spraying the raw material liquid and the operation for forming a coating on the entire surface of the glass substrate (100) will be described in detail.
〈原料液を噴霧する動作〉
先ず、液供給部（30）によって噴霧ノズル（21）に原料液を供給する。具体的には、液供給部（30）のポンプ（33）を起動し、タンク（31）内の原料液をノズルホルダ（22）を介して噴霧ノズル（21）へ供給する。そして、原料液が該噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口に至った状態で、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）と対向電極（43）との間に所定の電圧を印加する。ここで、上述のように、ガラス基板（100）を噴霧ノズル（21）に対向する位置に配置すると、導電板（101）が接地電極である対向電極（43）と導通し、導電板（101）が対向電極（43）と同電位になる。よって、噴霧ノズル（21）と対向電極（43）との間に電圧を印加すると、噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に電圧が印加される。このとき、誘電分極により、ガラス基板（100）の表面には、対向電極（43）の電位と同極性の電荷、即ち、負電荷が現れる。
<Operation of spraying raw material liquid>
First, the raw material liquid is supplied to the spray nozzle (21) by the liquid supply part (30). Specifically, the pump (33) of the liquid supply unit (30) is activated to supply the raw material liquid in the tank (31) to the spray nozzle (21) via the nozzle holder (22). Then, with the raw material liquid reaching the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21), a predetermined voltage is applied between the spray nozzle (21) and the counter electrode (43) by the voltage application unit (40). Apply. Here, as described above, when the glass substrate (100) is disposed at a position facing the spray nozzle (21), the conductive plate (101) is electrically connected to the counter electrode (43), which is the ground electrode, and the conductive plate (101 ) Becomes the same potential as the counter electrode (43). Therefore, when a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the counter electrode (43), a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100). At this time, due to dielectric polarization, a charge having the same polarity as the potential of the counter electrode (43), that is, a negative charge appears on the surface of the glass substrate (100).
このようにして噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に電圧が印可されると、放電電極（42）である噴霧ノズル（21）から負電荷を帯びたガラス基板（100）の表面に向かう電界が形成される。一方、噴霧ノズル（21）内では、原料液表面に僅かに噴霧ノズル（21）に与えられる電位と同極性の電荷、即ち、正電荷が生じる。この微量の電荷は、絶縁体である空気に向かって移動し、噴霧ノズル（21）の先端の液面に集まる。この正電荷により、噴霧ノズル（21）の開口の液面にはガラス基板（100）へ向かう方向に静電気力が生じ、噴霧ノズル（21）の開口の液面は、上記静電気力によってガラス基板（100）に向かって引き伸ばされ、テイラーコーン（C）と称される円錐形状の液面が形成される（図４（Ｂ）を参照）。そして、噴霧ノズル（21）の開口の液面に生じる静電気力が、表面張力に打ち勝つことにより、原料液が概ね数μｍから１００μｍ程度の大きさの液滴に分裂し、図２に示すように、ガラス基板（100）に向かって飛翔する。 When a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) in this way, the spray nozzle (21), which is the discharge electrode (42), has a negative charge on the glass substrate (100). An electric field toward the surface is formed. On the other hand, in the spray nozzle (21), a slight charge having the same polarity as the potential applied to the spray nozzle (21), that is, a positive charge is generated on the surface of the raw material liquid. The minute amount of electric charge moves toward the air as an insulator and collects on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21). This positive charge generates an electrostatic force in the direction toward the glass substrate (100) at the liquid level of the opening of the spray nozzle (21), and the liquid level at the opening of the spray nozzle (21) 100), a conical liquid surface called a Taylor cone (C) is formed (see FIG. 4B). Then, the electrostatic force generated on the liquid surface of the opening of the spray nozzle (21) overcomes the surface tension, so that the raw material liquid is divided into droplets having a size of about several μm to 100 μm, as shown in FIG. Fly toward the glass substrate (100).
〈ガラス基板の全面に被膜を形成するための動作〉
成膜装置（10）では、ガラス基板（100）を載せた導電板（101）が、搬送台によって図１に示す前後方向、左右方向に交互に移動する。本実施形態では、ガラス基板（100）の右前の隅角部から原料液を付着させるため、ガラス基板（100）を、前方、右方、後方、右方のように前後方向、左右方向に交互に移動させ、この移動するガラス基板（100）に対して、噴霧部（20）が原料液を噴霧する。その結果、矩形状のガラス基板（100）の表面全体に原料液が付着し、ガラス基板（100）の表面全体に防汚用の被膜が形成される。このようにして被膜を形成したガラス基板（100）を加熱することにより、被膜がガラス基板（100）に定着することとなる。
<Operation for forming a film on the entire surface of the glass substrate>
In the film forming apparatus (10), the conductive plate (101) on which the glass substrate (100) is placed is alternately moved in the front-rear direction and the left-right direction shown in FIG. In this embodiment, in order to attach the raw material liquid from the right front corner of the glass substrate (100), the glass substrate (100) is alternately placed in the front-rear direction and the left-right direction such as front, right, rear, and right. The spray section (20) sprays the raw material liquid on the moving glass substrate (100). As a result, the raw material liquid adheres to the entire surface of the rectangular glass substrate (100), and an antifouling film is formed on the entire surface of the glass substrate (100). By heating the glass substrate (100) on which the coating is formed in this manner, the coating is fixed to the glass substrate (100).
−テイラーコーンの形状について−
本実施形態では、原料液の噴霧動作中、噴霧ノズル（21）の先端面（23）において、該先端面（23）の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）が形成され、このテイラーコーン（C）の形状が変化することなく一定の形状に維持される。以下、その理由について詳述する。
-Tailor cone shape-
In the present embodiment, during the spraying operation of the raw material liquid, a conical Taylor cone (C) having only the opening of the tip surface (23) as the bottom surface is formed on the tip surface (23) of the spray nozzle (21), The shape of the Taylor cone (C) is maintained in a constant shape without changing. Hereinafter, the reason will be described in detail.
上述のように、噴霧ノズル（21）は、図３に示すように、先端面（23）が軸心に対して傾斜するように構成されると共に、先鋭部（24）が他の部分よりも下方に位置するように設けられている。そのため、噴霧ノズル（21）に供給された原料液は、重力によって最も下方の先鋭部（24）へ濡れ拡がろうとする。言い換えると、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口まで至った原料液は、下方の先鋭部（24）に向かってのみ濡れ拡がろうとする。一方、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）は、ガラス基板（100）に最も近い位置に配置されているため、電圧印加部（40）によって形成される電界は、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する。 As described above, the spray nozzle (21) is configured such that the tip surface (23) is inclined with respect to the axis as shown in FIG. 3, and the sharpened portion (24) is more than the other portion. It is provided so that it may be located below. Therefore, the raw material liquid supplied to the spray nozzle (21) tends to wet and spread to the sharpest part (24) at the lowest position by gravity. In other words, the raw material liquid that has reached the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) tends to wet and spread only toward the lower sharpened portion (24). On the other hand, since the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) is disposed at a position closest to the glass substrate (100), the electric field formed by the voltage application portion (40) is the same as that of the spray nozzle (21). Concentrate on the sharp point (24).
ここで、原料液が導電性液体である場合、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に電圧が印加されると、噴霧ノズル（21）内の原料液表面全体に噴霧ノズル（21）の電位と同極性の正電荷が現れる。該正電荷は、絶縁体である空気に向かって移動し、噴霧ノズル（21）の先端の液面に集まる。該正電荷によって噴霧ノズル（21）の先端の液面には静電気力が生じ、該液面は円錐形状に引き伸ばされてテイラーコーン（C）となる。このとき、正電荷は、テイラーコーン（C）の先端部に集まるものの、テイラーコーン（C）全体に存在している。そのため、原料液は、噴霧ノズル（21）と共に電極となって電界を形成しつつ、図４（Ａ）に示すように、電界が集中する噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に誘引される。このようにして、原料液が導電性液体である場合、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口まで至った原料液は、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口から先鋭部（24）へ濡れ拡がる。これにより、噴霧ノズル（21）の先端面（23）には、該先端面（23）の開口と先鋭部（24）の原料液が濡れ拡がった部分とを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）が形成される。 Here, when the raw material liquid is a conductive liquid, when a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) by the voltage application unit (40), the raw material in the spray nozzle (21) A positive charge having the same polarity as the potential of the spray nozzle (21) appears on the entire liquid surface. The positive charge moves toward air as an insulator and collects on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21). The positive charge generates an electrostatic force on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21), and the liquid surface is stretched into a conical shape to become a Taylor cone (C). At this time, although positive charges are collected at the tip of the Taylor cone (C), they are present throughout the Taylor cone (C). Therefore, the raw material liquid is attracted to the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) where the electric field concentrates as shown in FIG. 4 (A) while forming an electric field together with the spray nozzle (21) to form an electric field. The In this way, when the raw material liquid is a conductive liquid, the raw material liquid reaching the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) is sharp from the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21). Wet and spread to part (24). As a result, the tip end surface (23) of the spray nozzle (21) has a conical Taylor cone with the bottom surface of the opening of the tip end surface (23) and the portion where the raw material liquid of the sharpened portion (24) is wetted and spread ( C) is formed.
これに対し、本実施形態のように、原料液が絶縁性液体である場合、電圧印加部（40）によって噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に電圧が印加されても、噴霧ノズル（21）内の原料液表面には電荷が生じ難く、僅かに噴霧ノズル（21）の電位と同極性の正電荷が生じる。微量の正電荷は、絶縁体である空気に向かって移動し、噴霧ノズル（21）の先端の液面に集まる。この正電荷により、噴霧ノズル（21）の先端の液面には静電気力が生じ、該液面は円錐形状に引き伸ばされてテイラーコーン（C）となる。このとき、微量の正電荷は、テイラーコーン（C）の先端部に集中するため、テイラーコーン（C）の基端部には正電荷が存在しない。つまり、該基端部は、噴霧ノズル（21）の電位と同極性の正電荷が集中するテイラーコーン（C）の先端部と電界が集中する噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）との間を絶縁する絶縁層となる。このように、微量の正電荷がテイラーコーン（C）の先端部に集中することにより、テイラーコーン（C）の先端部は、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界から電気的な斥力を受ける。このようにして、原料液が絶縁性液体である場合、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口まで至った原料液は、重力によって下方の先鋭部（24）に濡れ拡がろうとするところ、噴霧ノズル（21）の電位と同極性の電荷が集中するテイラーコーン（C）の先端部が噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界に反発することから、先鋭部（24）への濡れ拡がりが抑制され、開口に留まることとなる（図４（Ｂ）を参照）。これにより、噴霧ノズル（21）の先端面（23）には、該先端面（23）の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）が形成される。 On the other hand, as in the present embodiment, when the raw material liquid is an insulating liquid, even if a voltage is applied between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) by the voltage application unit (40), Electric charges are hardly generated on the surface of the raw material liquid in the spray nozzle (21), and a slight positive charge having the same polarity as the potential of the spray nozzle (21) is generated. A small amount of positive charge moves toward the air, which is an insulator, and collects on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21). Due to this positive charge, an electrostatic force is generated on the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21), and the liquid surface is stretched into a conical shape to become a Taylor cone (C). At this time, since a small amount of positive charge is concentrated at the tip of the Taylor cone (C), there is no positive charge at the base end of the Taylor cone (C). That is, the base end portion is formed between the tip of the Taylor cone (C) where positive charges having the same polarity as the electric potential of the spray nozzle (21) are concentrated and the sharp portion (24) of the spray nozzle (21) where the electric field is concentrated. It becomes an insulating layer which insulates between. In this way, a small amount of positive charge concentrates on the tip of the Taylor cone (C), so that the tip of the Taylor cone (C) is electrically charged from the electric field concentrated on the sharp tip (24) of the spray nozzle (21). Receive a repulsive force. In this way, when the raw material liquid is an insulating liquid, the raw material liquid reaching the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) tends to wet and spread to the sharpened portion (24) below by gravity. However, since the tip of the Taylor cone (C) where charges of the same polarity as the electric potential of the spray nozzle (21) are concentrated repels the electric field concentrated on the sharp part (24) of the spray nozzle (21), the sharp part ( 24) is prevented from spreading and stays in the opening (see FIG. 4B). As a result, a conical Taylor cone (C) having only the opening of the tip surface (23) as the bottom surface is formed on the tip surface (23) of the spray nozzle (21).
このようにして、原料液が絶縁性液体である場合、原料液の噴霧動作中に原料液が噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口から周囲に濡れ拡がることなくテイラーコーン（C）が形成される。そのため、テイラーコーン（C）の形状は、原料液の噴霧動作中に変化せず、一定の形状に維持される。よって、テイラーコーン（C）から分裂する液滴の径や噴霧方向が変動せず、噴霧状態が一定になる。 In this way, when the raw material liquid is an insulating liquid, the raw material liquid does not spread from the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) to the surroundings during the spraying operation of the raw material liquid (C) Is formed. Therefore, the shape of the Taylor cone (C) does not change during the spraying operation of the raw material liquid, and is maintained in a constant shape. Therefore, the diameter and spray direction of the droplets split from the Taylor cone (C) do not change, and the spray state becomes constant.
−液滴の小径化について−
本実施形態の成膜装置（10）では、液滴が十分に小径化された状態で、ガラス基板（100）に付着する。以下、その理由について詳述する。
-About droplet diameter reduction-
In the film forming apparatus (10) of the present embodiment, the droplet adheres to the glass substrate (100) in a state where the diameter is sufficiently reduced. Hereinafter, the reason will be described in detail.
上述のように、噴霧ノズル（21）は、対象物であるガラス基板（100）の表面に対して傾斜した方向に原料液を噴霧するように構成されている。このように噴霧ノズル（21）を構成することにより、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、放物線を描くように飛翔してガラス基板（100）の表面に付着することとなる。よって、このような構成によれば、噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との距離を拡大することなく、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴の飛翔距離を長くすることができる。その結果、原料液をガラス基板（100）の表面に対して垂直に噴霧した場合に比べて、液滴の飛翔時間が各段に長くなり、液滴中の溶媒が飛翔中に確実に揮発する。よって、液滴が十分に小径化された状態でガラス基板（100）の表面上に付着することとなる。 As described above, the spray nozzle (21) is configured to spray the raw material liquid in a direction inclined with respect to the surface of the glass substrate (100) as the object. By configuring the spray nozzle (21) in this way, droplets sprayed from the spray nozzle (21) fly in a parabolic manner and adhere to the surface of the glass substrate (100). Therefore, according to such a configuration, the flight distance of the droplet sprayed from the spray nozzle (21) can be increased without increasing the distance between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100). . As a result, compared with the case where the raw material liquid is sprayed perpendicularly to the surface of the glass substrate (100), the flying time of the liquid droplets becomes longer in each stage, and the solvent in the liquid droplets is surely volatilized during the flight. . Therefore, the droplets adhere to the surface of the glass substrate (100) in a state where the diameter is sufficiently reduced.
−電極が電界に及ぼす作用−
上述のように、本実施形態の成膜装置（10）には、第１電極（50）及び第２電極（60）が設けられている。この第１電極（50）及び第２電極（60）を設けることにより、噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との間に形成される電界が変化する。以下、電界の変化について図５（Ａ）及び（Ｂ）を用いて詳述する。なお、図５（Ｂ）では、第１電極（50）及び第２電極（60）の側方制御部（52,62）の図示を省略している。
-Effects of electrodes on electric field-
As described above, the film formation apparatus (10) of the present embodiment is provided with the first electrode (50) and the second electrode (60). By providing the first electrode (50) and the second electrode (60), the electric field formed between the spray nozzle (21) and the glass substrate (100) changes. Hereinafter, the change in the electric field will be described in detail with reference to FIGS. In FIG. 5B, illustration of the side control parts (52, 62) of the first electrode (50) and the second electrode (60) is omitted.
図５（Ａ）に示すように、第１電極（50）及び第２電極（60）を設けない場合、電気力線は、放電電極（42）である噴霧ノズル（21）の表面から垂直な方向に延出し、負電荷を帯びたガラス基板（100）の表面に対して垂直な線となるように湾曲し、該ガラス基板（100）の表面に至る。 As shown in FIG. 5A, when the first electrode (50) and the second electrode (60) are not provided, the electric lines of force are perpendicular to the surface of the spray nozzle (21) which is the discharge electrode (42). The glass substrate (100) is curved so as to be a line perpendicular to the surface of the negatively charged glass substrate (100), and reaches the surface of the glass substrate (100).
一方、図５（Ｂ）に示すように、第１電極（50）及び第２電極（60）を設けた場合、放電電極（42）である噴霧ノズル（21）の表面だけでなく、電源（41）の正極に接続された２つの電極（50,60）の表面のそれぞれから垂直な方向に電気力線が延出する。この２つの電極（50,60）の表面から延出する電気力線によって、噴霧ノズル（21）の表面から延出する電気力線が変化する。 On the other hand, as shown in FIG. 5B, when the first electrode (50) and the second electrode (60) are provided, not only the surface of the spray nozzle (21) as the discharge electrode (42) but also the power source ( 41) Electric field lines extend in a perpendicular direction from the surfaces of the two electrodes (50, 60) connected to the positive electrode of 41). The electric lines of force extending from the surface of the spray nozzle (21) are changed by the electric lines of force extending from the surfaces of the two electrodes (50, 60).
具体的には、第２電極（60）の表面からは電気力線が垂直な方向に延出し、負電荷を帯びたガラス基板（100）の表面に対して垂直な線となるように湾曲して該ガラス基板（100）の表面に至る。そのため、第２電極（60）が設けられた噴霧ノズル（21）の先端面（23）の裏側では、噴霧ノズル（21）の表面から延出する電気力線が、第２電極（60）の表面から延出する電気力線と打ち消し合う。その結果、噴霧ノズル（21）の表面から左右側方及び後方に延出する電気力線の数が、第２電極（60）を設けない場合に比べて減少する。一方、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の前側では、第２電極（60）によって、噴霧ノズル（21）の先端面（23）から前側に延出する電気力線の数が増大する。 Specifically, the electric lines of force extend from the surface of the second electrode (60) in a direction perpendicular to the surface of the second electrode (60), and are curved so as to be a line perpendicular to the surface of the negatively charged glass substrate (100). To the surface of the glass substrate (100). Therefore, on the back side of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) provided with the second electrode (60), electric lines of force extending from the surface of the spray nozzle (21) Counteracts with the lines of electric force extending from the surface. As a result, the number of lines of electric force extending from the surface of the spray nozzle (21) to the left and right sides and to the rear is reduced as compared with the case where the second electrode (60) is not provided. On the other hand, on the front side of the tip surface (23) of the spray nozzle (21), the number of electric lines of force extending from the tip surface (23) of the spray nozzle (21) to the front side is increased by the second electrode (60). .
また、第１電極（50）の表面からは電気力線が垂直な方向に延出し、負電荷を帯びたガラス基板（100）の表面に対して垂直な線となるように湾曲して該ガラス基板（100）の表面に至る。そのため、水平方向において第１電極（50）と噴霧ノズル（21）との中間地点では、噴霧ノズル（21）の表面から延出する電気力線と上記第１電極（50）の表面から延出する電気力線とが反発し合う。その結果、噴霧ノズル（21）の表面から延出してガラス基板（100）の表面に至る電気力線のガラス基板（100）の表面における分布範囲が、所定の範囲、即ち、第１電極（50）の前方制御部（51）よりも後方であって２つの側方制御部（51,51）の間の範囲に限られ、第１電極（50）を設けない場合に比べて狭くなる。 In addition, the lines of electric force extend from the surface of the first electrode (50) in a direction perpendicular to the surface of the glass substrate (100) having a negative charge, and are curved to form a line perpendicular to the surface of the negatively charged glass substrate (100). It reaches the surface of the substrate (100). Therefore, at an intermediate point between the first electrode (50) and the spray nozzle (21) in the horizontal direction, the electric lines of force extending from the surface of the spray nozzle (21) and the surface of the first electrode (50) are extended. Electric field lines to repel each other. As a result, the distribution range on the surface of the glass substrate (100) of the lines of electric force extending from the surface of the spray nozzle (21) to the surface of the glass substrate (100) is a predetermined range, that is, the first electrode (50 ) Is behind the front control unit (51) and is limited to a range between the two side control units (51, 51), and is narrower than the case where the first electrode (50) is not provided.
−電極が液滴に及ぼす作用−
本実施形態の成膜装置（10）では、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の裏側に設けられて電源（41）の正極と導通する第２電極（60）により、液滴の噴霧方向が所望の方向に制御される。また、噴霧ノズル（21）の噴霧方向の前側に設けられて電源（41）の正極と導通する第１電極（50）により、液滴の拡散が抑制される。以下、第１電極（50）及び第２電極（60）が液滴に及ぼす作用について詳述する。
-Effects of electrodes on droplets-
In the film forming apparatus (10) of this embodiment, droplets are sprayed by the second electrode (60) provided on the back side of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) and electrically connected to the positive electrode of the power source (41). The direction is controlled to the desired direction. Further, the first electrode (50) provided on the front side in the spraying direction of the spray nozzle (21) and connected to the positive electrode of the power source (41) suppresses the dispersion of the droplets. Hereinafter, the effect | action which a 1st electrode (50) and a 2nd electrode (60) exert on a droplet is explained in full detail.
〈第２電極が液滴に及ぼす作用〉
噴霧ノズル（21）から噴霧される液滴は、正電荷を有している。そのため、正電荷を有する液滴と、電源（41）の正極と導通する第２電極（60）との間には、電気的な斥力が作用する。つまり、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴には、第２電極（60）から遠ざかる方向へ静電気力が作用する。これにより、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、第２電極（60）の側方制御部（62,62）に反発することで左右方向への飛散が抑制されると共に、前方制御部（61）に反発することで後方への飛散が抑制される。そして、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、第２電極（60）によって数が増大した噴霧ノズル（21）の先端面（23）から前側に延出する電気力線（図５（Ｂ）参照）に沿って、前方斜め下方に誘導される。つまり、このようにして、液滴の噴霧方向が、所望の方向、即ち、先端面（23）に垂直な方向に延出する電気力線に沿う方向（前方斜め下方）に制御される。
<Operation of the second electrode on the droplet>
The droplet sprayed from the spray nozzle (21) has a positive charge. Therefore, an electrical repulsive force acts between the droplet having a positive charge and the second electrode (60) that is electrically connected to the positive electrode of the power source (41). That is, electrostatic force acts on the droplet sprayed from the spray nozzle (21) in a direction away from the second electrode (60). As a result, the droplets sprayed from the spray nozzle (21) are repelled by the side control parts (62, 62) of the second electrode (60), thereby suppressing scattering in the left-right direction and forward control. Backward scattering is suppressed by repelling the part (61). And the droplet sprayed from the spray nozzle (21) is a line of electric force (FIG. 5 (FIG. 5) extended from the front end surface (23) of the spray nozzle (21) increased in number by the second electrode (60). B) and is guided diagonally forward and downward. That is, in this manner, the spray direction of the droplets is controlled in a desired direction, that is, a direction along the electric lines of force extending in a direction perpendicular to the tip surface (23) (downwardly obliquely downward).
〈第１電極が液滴に及ぼす作用〉
噴霧ノズル（21）から噴霧される液滴は、正電荷を有している。そのため、正電荷を有する液滴と、電源（41）の正極と導通する第１電極（50）との間には、電気的な斥力が作用する。つまり、噴霧ノズル（21）から噴霧されてガラス基板（100）の表面付近に到達した液滴には、第１電極（50）から遠ざかる方向へ静電気力が作用する。これにより、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、第１電極（50）の前方制御部（51）に反発することで前方への飛散が抑制されると共に、２つの側方制御部（52,52）に反発することで左右への飛散が抑制される。言い換えると、噴霧ノズル（21）から噴霧された液滴は、第１電極（50）の表面から延出する電気力線に反発してガラス基板（100）の表面の所定の範囲内に至った噴霧ノズル（21）から延出する電気力線（図６（Ｂ）参照）に沿って、ガラス基板（100）の表面における所望の範囲、即ち、第１電極（50）の前方制御部（51）よりも後方であって２つの側方制御部（51,51）の間の範囲内へ誘導される。つまり、このようにして、液滴の噴霧範囲が所望の範囲に収まるため、液滴の拡散が抑制される。
<Effect of the first electrode on the droplet>
The droplet sprayed from the spray nozzle (21) has a positive charge. Therefore, an electrical repulsive force acts between the droplet having a positive charge and the first electrode (50) that is electrically connected to the positive electrode of the power source (41). That is, electrostatic force acts in the direction away from the first electrode (50) on the droplets sprayed from the spray nozzle (21) and reaching the vicinity of the surface of the glass substrate (100). Thereby, the droplet sprayed from the spray nozzle (21) is repelled by the front control unit (51) of the first electrode (50), thereby suppressing forward scattering and two side control units. By repelling (52,52), scattering to the left and right is suppressed. In other words, the droplet sprayed from the spray nozzle (21) repels the electric lines of force extending from the surface of the first electrode (50) and reaches a predetermined range on the surface of the glass substrate (100). Along the electric lines of force (see FIG. 6B) extending from the spray nozzle (21), a desired range on the surface of the glass substrate (100), that is, the front controller (51) of the first electrode (50). ) Behind and within the range between the two side control parts (51, 51). That is, in this way, since the spray range of the droplets is within a desired range, the diffusion of the droplets is suppressed.
−実施形態の効果−
本実施形態によれば、原料液を絶縁性液体とし、噴霧ノズル（21）の先端面（23）を軸心に対して傾斜させると共に、先鋭部（24）を最も下方であってガラス基板（100）に最も近い位置に配置することにより、原料液を重力を利用して噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に導くと共に、該先鋭部（24）に電界を集中させることとしている。これにより、絶縁性液体であるために噴霧ノズル（21）の電位と同極性の正電荷が先端部のみに集中して基端部が絶縁層となるテイラーコーン（C）の先端部には、噴霧ノズル（21）の先鋭部（24）に集中する電界との間に電気的な斥力が与えられる。その結果、噴霧ノズル（21）の先端の液面の濡れ拡がりを抑制することができる。つまり、図４（Ｂ）に示すように、噴霧ノズル（21）の先端面（23）の開口のみを底面とする円錐形状のテイラーコーン（C）を形成することができる。このように原料液の噴霧ノズル（21）の先端面における濡れ拡がりを抑制することができるため、原料液の噴霧中にテイラーコーン（C）の形状を変化させずに一定の形状に維持することができる。よって、テイラーコーン（C）から分裂する液滴の径や噴霧方向を変動させずに安定させることができるため、噴霧状態を所望の状態に制御することができる。
-Effect of the embodiment-
According to the present embodiment, the raw material liquid is an insulating liquid, the tip surface (23) of the spray nozzle (21) is inclined with respect to the axial center, and the sharpened portion (24) is at the lowest position on the glass substrate ( 100), the raw material liquid is guided to the sharpened portion (24) of the spray nozzle (21) using gravity, and the electric field is concentrated on the sharpened portion (24). Thereby, since it is an insulating liquid, a positive charge having the same polarity as the electric potential of the spray nozzle (21) is concentrated only on the tip, and the tip of the Taylor cone (C) where the base end becomes an insulating layer An electric repulsive force is applied between the electric field concentrated on the sharp point (24) of the spray nozzle (21). As a result, wetting and spreading of the liquid surface at the tip of the spray nozzle (21) can be suppressed. That is, as shown in FIG. 4B, a conical Taylor cone (C) having only the opening of the tip surface (23) of the spray nozzle (21) as the bottom surface can be formed. In this way, since wetting and spreading at the tip of the spray nozzle (21) of the raw material liquid can be suppressed, the shape of the Taylor cone (C) should be kept constant without changing the shape of the raw material liquid. Can do. Therefore, since it can stabilize without changing the diameter and spray direction of the droplet split from the Taylor cone (C), the spray state can be controlled to a desired state.
また、本実施形態によれば、原料液がガラス基板（100）の表面に対して傾斜した方向に噴霧されるように噴霧ノズル（21）を構成することとしたため、噴霧ノズル（21）とガラス基板（100）との距離を拡大することなく、噴霧ノズル（21）から噴霧される液滴の飛翔時間を長くすることができる。これにより、液滴中の溶媒が飛翔中に確実に揮発するため、液滴を十分に小径化させた状態でガラス基板（100）の表面上に付着させることができる。よって、ガラス基板（100）の表面上に形成される被膜の膜厚を薄くすると共に被膜の密度を増大させることができる。従って、ガラス基板（100）の表面上に剥がれ難い被膜を形成することができる。 According to the present embodiment, since the spray nozzle (21) is configured so that the raw material liquid is sprayed in a direction inclined with respect to the surface of the glass substrate (100), the spray nozzle (21) and the glass The flight time of droplets sprayed from the spray nozzle (21) can be extended without increasing the distance from the substrate (100). This ensures that the solvent in the droplets volatilizes during the flight, so that the droplets can be deposited on the surface of the glass substrate (100) with a sufficiently small diameter. Therefore, the film thickness formed on the surface of the glass substrate (100) can be reduced and the density of the film can be increased. Therefore, it is possible to form a film that is difficult to peel off on the surface of the glass substrate (100).
〈その他の実施形態〉
上記実施形態では、先端面（23）が軸心に対して傾斜した噴霧ノズル（21）をガラス基板（100）に対して垂直にすることで、先鋭部（24）が他の部分よりも下方であって他の部分よりもガラス基板（100）に近い位置に配置されるようにしていた。しかしながら、噴霧ノズル（21）の配置は、先鋭部（24）が他の部分よりも下方であって他の部分よりもガラス基板（100）に近い位置に配置されるのであれば上記実施形態の配置に限られない。例えば、図６に示すように、噴霧ノズル（21）を、水平方向に配置し、先鋭部（24）が先端面（23）において最も下側に位置するようにしてもよい。このような場合であっても、先鋭部（24）が他の部分よりも下方であって他の部分よりもガラス基板（100）に近い位置に配置されるため、原料液の噴霧ノズル（21）の先端面における濡れ拡がりを抑制することができるため、形成されるテイラーコーン（C）の形状を変化させずに安定させることができる。
<Other embodiments>
In the above embodiment, the tip (24) is lower than the other parts by making the spray nozzle (21) with the tip surface (23) inclined with respect to the axis perpendicular to the glass substrate (100). However, they are arranged at positions closer to the glass substrate (100) than other parts. However, the arrangement of the spray nozzle (21) is as long as the sharpened portion (24) is positioned below the other portion and closer to the glass substrate (100) than the other portion. It is not limited to arrangement. For example, as shown in FIG. 6, the spray nozzle (21) may be arranged in the horizontal direction so that the sharpened portion (24) is located on the lowermost side in the distal end surface (23). Even in such a case, since the sharpened portion (24) is located below the other portion and closer to the glass substrate (100) than the other portion, the raw material liquid spray nozzle (21 ) Can be suppressed without changing the shape of the tailor cone (C) formed.
上記実施形態において、絶縁性液体である原料液として、導電率が、２×１０−９Ｓ／ｍ程度のものを用いていたが、原料液はこのようなものに限られない。原料液は、導電率が１０−９Ｓ／ｍ以下の絶縁性液体であればよい。 In the said embodiment, although the thing whose electrical conductivity is about 2 * 10 < -9 > S / m was used as a raw material liquid which is an insulating liquid, a raw material liquid is not restricted to such a thing. The raw material liquid may be an insulating liquid having an electrical conductivity of 10 −9 S / m or less.
上記実施形態において、上記被膜は、汚れ防止膜に限られず、紫外線除去膜などであってもよい。 In the above-described embodiment, the coating film is not limited to the antifouling film, and may be an ultraviolet removal film or the like.
上記実施形態において、上記被膜が形成される対象物は、ガラス基板に限られない。 In the said embodiment, the target object in which the said film is formed is not restricted to a glass substrate.
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。 In addition, the above embodiment is an essentially preferable illustration, Comprising: It does not intend restrict | limiting the range of this invention, its application thing, or its use.
以上説明したように、本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置について有用である。 As described above, the present invention is useful for a film forming apparatus that forms a film on an object by electrostatic spraying.
１０ 成膜装置
２１ 噴霧ノズル
２３ 先端面
２４ 先鋭部
１００ ガラス基板（対象物）
10 Deposition equipment
21 Spray nozzle
23 Tip surface
24
Claims (2)
上記原料液が帯電した液滴となって上記噴霧ノズル（21）から上記対象物（100）へ噴霧されるように上記噴霧ノズル（21）と上記対象物（100）との間に電圧を印加する電圧印加部（40）とを備え、
上記対象物（100）に原料液を噴霧することによって該対象物（100）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置であって、
上記原料液は絶縁性液体であり、
上記噴霧ノズル（21）は、先端面（23）が軸心に対して傾斜するように構成され、先鋭部（24）が他の部分よりも下方であって他の部分よりも上記対象物（100）に近い位置に配置されるように設けられている
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。 A cylindrical spray nozzle (21) that is opposed to the object (100) that forms the coating and is supplied with the raw material liquid;
A voltage is applied between the spray nozzle (21) and the object (100) so that the raw material liquid is charged droplets and sprayed from the spray nozzle (21) to the object (100). And a voltage application unit (40)
An electrostatic spray type film forming apparatus that forms a film on the surface of the object (100) by spraying a raw material liquid onto the object (100),
The raw material liquid is an insulating liquid,
The spray nozzle (21) is configured such that the tip surface (23) is inclined with respect to the axis, and the sharpened portion (24) is below the other portion and the object ( 100), an electrostatic spray type film-forming apparatus, which is provided so as to be disposed at a position close to 100).
上記噴霧ノズル（21）は、上記対象物（100）の表面に対して垂直に配置されている
ことを特徴とする静電噴霧型の成膜装置。 In claim 1,
The electrostatic spray type film forming apparatus, wherein the spray nozzle (21) is arranged perpendicular to the surface of the object (100).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012277147A JP2014117691A (en) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | Film forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012277147A JP2014117691A (en) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | Film forming apparatus |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014117691A true JP2014117691A (en) | 2014-06-30 |
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ID=51173032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012277147A Withdrawn JP2014117691A (en) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | Film forming apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2014117691A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104437948A (en) * | 2014-11-18 | 2015-03-25 | 朱蕾 | Fast coating device |
| JP2017087124A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | アネスト岩田株式会社 | Electrostatic atomizer |
| JP2017087125A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | アネスト岩田株式会社 | Electrostatic atomizer and electrostatic atomization method |
-
2012
- 2012-12-19 JP JP2012277147A patent/JP2014117691A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104437948A (en) * | 2014-11-18 | 2015-03-25 | 朱蕾 | Fast coating device |
| JP2017087124A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | アネスト岩田株式会社 | Electrostatic atomizer |
| JP2017087125A (en) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | アネスト岩田株式会社 | Electrostatic atomizer and electrostatic atomization method |
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| A761 | Written withdrawal of application |
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