JP2014102136A5 - - Google Patents
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Description
また、第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
Further, the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the second invention is the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first invention,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
The moving time required for the moving body to move in the moving section at the constant speed S is T 1 ,
The detection position corresponding to the start position of the movement section is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the movement section is X (t 0 + T 1 ),
If the threshold is ± L,
When the condition of n * p−L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. And
また、第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
Further, the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the third invention is the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first invention,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
The moving time required for the moving body to move in the moving section at the constant speed S is T 1 ,
The detection position corresponding to the start position of the movement section is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the movement section is X (t 0 + T 1 ),
If the threshold is ± L,
When the condition of S * T 1 −L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ S * T 1 + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. It is characterized by that.
また、第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2 ≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。
Further, the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the fourth invention is the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first invention,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
T 2 is a movement time determined by the mobile body to have traveled the moving section,
If the threshold is ± L,
When the condition of n * p−L ≦ S * T 2 ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section.
第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。 According to the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the second aspect of the invention, in the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first aspect of the invention, in the constant speed determination process, the moving section is defined as the coil. An interval corresponding to n times the pitch p (n is a natural number) is set, and the moving time required for the moving body to move in the moving interval at the constant speed S is T 1. Assuming that the corresponding detection position is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the moving section is X (t 0 + T 1 ), and the threshold is ± L, n * p−L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ n * p + L When the condition is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. Therefore, the electromagnetic induction position detector itself Makes it easy and reliable to determine the constant speed of a moving object It can be carried out.
第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。 According to the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the third aspect of the invention, in the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first aspect of the invention, in the constant speed determination process, the moving section is defined as the coil. An interval corresponding to n times the pitch p (n is a natural number) is set, and the moving time required for the moving body to move in the moving interval at the constant speed S is T 1. If the corresponding detection position is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the moving section is X (t 0 + T 1 ), and the threshold is ± L, S * T 1 −L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ S * T 1 + L When the condition is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. Easy to determine the constant speed of the moving body with the detector itself It can be carried out indeed.
第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2 ≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。 According to the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the fourth aspect of the invention, in the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector of the first aspect of the invention, in the constant speed determination process, the moving section is defined as the coil. When n times the pitch p (n is a natural number) and section corresponding to the moving body, the moving time it is determined that required for moving the moving section and T 2, the threshold value ± L, n * When the condition of p−L ≦ S * T 2 ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. Therefore, the electromagnetic induction position detector itself Thus, it is possible to easily and reliably determine the constant speed of the moving body.
その結果、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４とスケールコイル１６との間の電磁誘導作用により、スケールコイル１６には下記の（１３）式のような誘起電圧Ｖが発生する。 As a result, due to the electromagnetic induction action between the first slider coil 13 and the second slider coil 14 and the scale coil 16, an induced voltage V as shown in the following equation ( 13 ) is generated in the scale coil 16. .
従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２２）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。なお、Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）とｎ＊ｐ±Ｌとの関係については、図３（ａ）にも例示している。
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌ （２２）
Therefore, in this case, when the threshold value is ± L, the moving body 21 (slider 12) in the predetermined moving section (section corresponding to n times the coil pitch p) when the following expression (22) is satisfied. Can be determined to have moved at a constant speed S. The relationship between X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) and n * p ± L is also illustrated in FIG.
n * p−L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ n * p + L (22)
従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２４）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌ （２４）
Therefore, in this case, when the threshold is ± L, the moving body 21 (slider 12) in the predetermined movement section (section corresponding to n times the coil pitch p) when the condition of the following expression (24) is satisfied. Can be determined to have moved at a constant speed S.
S * T 1 −L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ S * T 1 + L (24)
時間ｔ0における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ0）とする。
時間ｔ0＋Ｔ1における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）とする。
移動体２１（スライダ１２）が、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）である所定の移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とする。なお、ここでは電磁誘導式位置検出器１１としてリニア形スケールの例（図１）を示しているため、前記移動量は移動距離である（ロータリ形スケールの場合には回転角度になる）。
この場合の移動時間Ｔ2は前述の一定の移動時間Ｔ1とは異なり、移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断された時間であり、検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）に含まれる誤差の大きさ応じて変わる。
コイルピッチｐは、リニア形スケールの場合には例えば２ｍｍ（ロータリ形スケールの場合には例えば２度）である。
コイルピッチ数ｎは、例えば２５６ピッチとする。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は、例えばスケールコイル１６の１０１番目のコイルピッチｐから、スケールコイル１６の３５６番目（コイルピッチ数ｎが２５６の場合）のコイルピッチｐまでの区間として設定する。
The detection position X (t) at time t 0 is assumed to be X (t 0 ).
The detection position X (t) at time t 0 + T 1 is assumed to be X (t 0 + T 1 ).
Let T 2 be the movement time when it is determined that the moving body 21 (slider 12) needs to move in a predetermined movement section that is n times the coil pitch p (n is a natural number). Here, since an example of a linear scale (FIG. 1) is shown as the electromagnetic induction type position detector 11, the movement amount is a movement distance (in the case of a rotary scale, it is a rotation angle).
In this case, the moving time T 2 is different from the above-mentioned fixed moving time T 1, and the moving body 21 (slider 12) moves in the predetermined moving section (a section corresponding to n times the coil pitch p). This time is determined to be necessary, and varies depending on the magnitude of the error included in the detection positions X (t 0 ) and X (t 0 + T 1 ).
The coil pitch p is, for example, 2 mm in the case of a linear scale (for example, 2 degrees in the case of a rotary scale).
The coil pitch number n is, for example, 256 pitches.
The predetermined moving section (section corresponding to n times the coil pitch p) is, for example, the coil from the 101st coil pitch p of the scale coil 16 to the 356th scale coil 16 (when the coil pitch number n is 256). Set as interval up to pitch p.
検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）には誤差が含まれているため、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）までの移動量Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）−Ｘ（ｔ0）と、理想移動量ｎ＊ｐとの関係は、下記の（２４）式のようになる。
Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）−Ｘ（ｔ0）≒ｎ＊ｐ （２５）
Detection position X (t 0), X since the (t 0 + T 1) contains errors, the movement amount from the detection position X (t 0) to the detection position X (t 0 + T 1) X ( The relationship between t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) and the ideal movement amount n * p is expressed by the following equation (24).
X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≈n * p (25)
また、検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）に誤差が含まれていなければ、移動時間Ｔ2は一定の移動時間Ｔ1と同じになるため、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）までの区間において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したとすれば、Ｓ＊Ｔ2とｎ＊ｐは等しくなる。
しかし、実際には検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）には誤差が含まれており、このときの移動時間Ｔ2は一定の移動時間Ｔ1と同じにはならないため、移動量Ｓ＊Ｔ2と理想移動量ｎ＊ｐの関係も、下記の（２６）式となる。
Ｓ＊Ｔ2≒ｎ＊ｐ （２６）
If the detection positions X (t 0 ) and X (t 0 + T 1 ) do not include an error, the movement time T 2 is the same as the constant movement time T 1, and thus the detection position X (t 0 ) To the detection position X (t 0 + T 1 ), if the moving body 21 (slider 12) moves at a constant speed S, S * T 2 and n * p are equal.
However, actually, the detection positions X (t 0 ) and X (t 0 + T 1 ) contain errors, and the movement time T 2 at this time is not the same as the constant movement time T 1. The relationship between the movement amount S * T 2 and the ideal movement amount n * p is also expressed by the following equation (26).
S * T 2 ≒ n * p (26)
そして、この場合には移動時間Ｔ2が検出位置Ｘ（ｔ0），Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）に含まれる誤差の大きさ応じて変わるため、一定速度の判断には上記の（２４）式の関係ではなく、上記の（２５）式の関係を利用することができる。
即ち、Ｓ＊Ｔ2がｎ＊ｐに近ければ、検出位置Ｘ（ｔ0）から検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）までの区間、即ち前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｔ0やＴ2などの時間は検出制御装置１８の検出制御部１８Ａに設けられているクロックのカウント数で計測することができる（他の時間計測手段によって計測するようにしてもよい）。
従って、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ0）を取得してから、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ0＋Ｔ 1 ）を取得するまでの経過時間（移動時間）、即ち移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断される移動時間Ｔ2は、検出制御部１８Ａにおいて知ることができる。また、一定速度Ｓとコイルピッチｐとコイルピッチ数ｎは既知の値である。
In this case, since the moving time T 2 changes according to the magnitude of the error included in the detection positions X (t 0 ) and X (t 0 + T 1 ), the above-described (24) is used for determining the constant speed. The relationship of the above equation (25) can be used instead of the relationship of the equation.
That is, the closer the S * T 2 is n * p, the detection position from the detection position X (t 0) X (t 0 + T 1) to section, i.e. the predetermined movement section (n times the coil pitch p It can be determined that the moving body 21 (slider 12) has moved at a constant speed S in the corresponding section).
Times such as t 0 and T 2 can be measured by the clock count provided in the detection control unit 18A of the detection control device 18 (may be measured by other time measurement means).
Therefore, after obtaining the detection position X (t 0 ) corresponding to the start position of the predetermined movement section (section corresponding to n times the coil pitch p), the predetermined movement section (n times the coil pitch p) is obtained. Elapsed time (movement time) until acquisition of the detection position X (t 0 + T 1 ) corresponding to the terminal position of the end position, that is, the moving body 21 (slider 12) is the predetermined movement section (coil pitch). The detection control unit 18A can know the movement time T 2 that is determined to have been required to move in a section corresponding to n times p). The constant speed S, the coil pitch p, and the coil pitch number n are known values.
従って、閾値を±Ｌとすると、下記の（２７）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2 ≦ｎ＊ｐ＋Ｌ （２７）
Therefore, when the threshold is ± L, the moving body 21 (slider 12) moves at a constant speed in the predetermined moving section (a section corresponding to n times the coil pitch p) when the condition of the following expression (27) is satisfied. It can be judged that it moved by S.
n * p−L ≦ S * T 2 ≦ n * p + L (27)
（３） 検出位置の補正
その後、検出制御装置１８（検出制御部１８Ｂ）では、移動体２１（スライダ１２）を移動させて実際の作業（例えば工作機械による加工）を行うときなどにおいて、検出位置Ｘ（ｔ）の補正を行う場合には、固定メモリ１８Ｂから補正データＥ（ｍ）を読み出す。
そして、下記の（３１）式に基づき、検出位置Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））に固定メモリ１８Ｂから読み出した補正データＥ（ｍ）を加算することによってＸ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））を求め、このＸ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））を補正した検出位置として出力する。
Ｘ’（ｔ0＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））＋Ｅ（ｍ） （３１）
(3) Correction of Detection Position Thereafter, the detection control device 18 (detection control unit 18B) detects the detection position when the movable body 21 (slider 12) is moved to perform actual work (for example, machining with a machine tool). When X (t) is corrected, correction data E (m) is read from the fixed memory 18B.
Then, based on equation (31) below, the detection position X (t 0 + t (m )) X by adding the correction data E (m) read from the fixed memory 18B to '(t 0 + t (m ) ), And this X ′ (t 0 + t (m)) is output as a corrected detection position.
X ′ (t 0 + t (m)) = X (t 0 + t (m)) + E (m) (31)
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。
Further, the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector 11 according to the first embodiment is that the moving section is set to n times the coil pitch p in the constant speed determination process (first constant speed determination method). (n is a natural number) and section corresponding to the moving body 21, at a constant rate S, the moving time required to move the moving section and T 1, a detection position corresponding to the starting end position of the movement section X (T 0 ), where X (t 0 + T 1 ) is the detection position corresponding to the end position of the moving section, and the threshold is ± L, n * p−L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ n * p + L When the condition is satisfied, it is determined that the moving body has moved at a constant speed S in the moving section.
For this reason, the electromagnetic induction position detector 11 itself can easily and reliably determine the constant speed S of the moving body 21.
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第２の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。
Further, the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector 11 according to the first embodiment is that the moving section is set to n times the coil pitch p in the constant speed determination process (second constant speed determination method). (n is a natural number) and section corresponding to the moving body 21, at a constant rate S, the moving time required to move the moving section and T 1, a detection position corresponding to the starting end position of the movement section X (T 0 ), where the detection position corresponding to the end position of the moving section is X (t 0 + T 1 ) and the threshold is ± L, S * T 1 −L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X ( When the condition of t 0 ) ≦ S * T 1 + L is satisfied, it is determined that the moving body 21 has moved at a constant speed S in the moving section.
For this reason, the electromagnetic induction position detector 11 itself can easily and reliably determine the constant speed S of the moving body 21.
また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法によれば、前記一定速度判断処理（第３の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2 ≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。
Further, according to the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector 11 of the first embodiment, in the constant speed determination process (third constant speed determination method), the moving section is set to a coil pitch p. Assuming that the section corresponds to n times (n is a natural number), the moving time that the mobile body 21 has determined to have moved in the moving section is T 2 , and the threshold value is ± L, n * p−L When the condition of ≦ S * T 2 ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body 21 has moved at a constant speed S in the moving section.
For this reason, the electromagnetic induction position detector 11 itself can easily and reliably determine the constant speed S of the moving body 21.
Claims (7)
一定速度の速度指令値によって前記移動体を移動させ、前記電磁誘導式位置検出器で前記移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、
前記検出位置と前記二次側コイルのコイルピッチとに基づき、又は、前記検出位置と前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、又は、前記二次側コイルのコイルピッチと前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、所定の移動区間において前記移動体が前記一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、
前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と前記一定速度との乗算値を、前記基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理と
を行うことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 A primary side member having a primary side coil and a secondary side member having a secondary side coil, and the primary side member or the secondary side member is attached to a movable body and moves together with the movable body. , A detection position correction method of an electromagnetic induction type position detector arranged so that the primary side coil and the secondary side coil are parallel and face each other,
A detection position acquisition process in which the moving body is moved by a speed command value of a constant speed, and the position of the moving body is detected by the electromagnetic induction type position detector to acquire a detection position;
Based on the detection position and the coil pitch of the secondary coil, or based on the detection position, the constant speed, and the moving time of the moving body, or the coil pitch of the secondary coil and the constant speed And a constant speed determination process for determining that the mobile body has moved at the constant speed in a predetermined movement section based on the movement time of the mobile body;
A detection position corresponding to the start position of any one of the coil pitches in the moving section is set as a reference detection position, and a product of an elapsed time after obtaining the reference detection position and the constant speed is set as the reference detection position. A detection position correction method for an electromagnetic induction type position detector, characterized in that an approximate ideal position is obtained by addition, and correction data acquisition processing is performed for acquiring correction data based on the approximate ideal position and the detection position.
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to claim 1,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
The moving time required for the moving body to move in the moving section at the constant speed S is T 1 ,
The detection position corresponding to the start position of the movement section is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the movement section is X (t 0 + T 1 ),
If the threshold is ± L,
When the condition of n * p−L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. Detecting position correction method of electromagnetic induction type position detector.
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ1とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ0＋Ｔ1）とし、
閾値を±Ｌとすると、
Ｓ＊Ｔ1−Ｌ≦Ｘ（ｔ0＋Ｔ1）−Ｘ（ｔ0）≦Ｓ＊Ｔ1＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to claim 1,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
The moving time required for the moving body to move in the moving section at the constant speed S is T 1 ,
The detection position corresponding to the start position of the movement section is X (t 0 ), the detection position corresponding to the end position of the movement section is X (t 0 + T 1 ),
If the threshold is ± L,
When the condition of S * T 1 −L ≦ X (t 0 + T 1 ) −X (t 0 ) ≦ S * T 1 + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. A detection position correction method for an electromagnetic induction type position detector.
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ2とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≦Ｓ＊Ｔ2 ≦ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to claim 1,
In the constant speed judgment process,
The moving section is a section corresponding to n times the coil pitch p (n is a natural number),
T 2 is a movement time determined by the mobile body to have traveled the moving section,
If the threshold is ± L,
An electromagnetic induction type position detector characterized in that, when the condition of n * p−L ≦ S * T 2 ≦ n * p + L is satisfied, it is determined that the moving body has moved at the constant speed S in the moving section. Detection position correction method.
前記補正データ取得処理では、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ0とし、
前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ0＋Ｔとし、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を、基準検出位置Ｘ（ｔ0）とし、
前記基準検出位置Ｘ（ｔ0）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、
Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ0＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、
インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ0）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ0＋ｔ（ｍ））の式によって算出する
ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to any one of claims 1 to 4,
In the correction data acquisition process,
The time when the detection position corresponding to the starting end position of any coil pitch p in the moving section is acquired is t 0 ,
The time when the detection position corresponding to the terminal position of any other coil pitch p in the movement section is acquired is defined as t 0 + T.
A detection position corresponding to the start position of any coil pitch p in the moving section is a reference detection position X (t 0 ),
An elapsed time t (m) (m is an index number) after obtaining the reference detection position X (t 0 ) is set to t (m) = 0 to T,
Δt is fixed to associate the index number m with t (m), or Δx is fixed to associate the index number m with X (t 0 + t (m)),
The correction data E (m) corresponding to the index number m is calculated by the following equation: E (m) = X (t 0 ) + S * t (m) −X (t 0 + t (m)) A detection position correction method for an electromagnetic induction type position detector.
前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to any one of claims 1 to 5,
Detection position correction of an electromagnetic induction type position detector characterized in that a plurality of the movement sections are obtained, correction data is acquired in the plurality of movement sections, and an average value of the plurality of correction data is used as final correction data. Method.
前記補正データをフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）メモリに記憶しておき、
前記メモリから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データを求めること
を特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。 In the detection position correction method of the electromagnetic induction type position detector according to any one of claims 1 to 6,
Fourier correction is performed on the correction data, and the component F (i) having a large spectrum is stored in the memory for the upper j (i = 0 to j−1),
A detection position correction method for an electromagnetic induction type position detector, wherein the correction data is obtained by reading the component F (i) from the memory and performing inverse Fourier transform.
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