JP2014083592A - Laser beam machine and cooling method of the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、レーザ加工機及びレーザ加工機の冷却方法に関する。 The present invention relates to a laser beam machine and a cooling method for the laser beam machine.
レーザ加工機においては、レーザビームを導くためにレーザ光路中に配設された光学部品がレーザビームにより加熱され、それが継続または繰り返されると、光学部品表面のコーティング材が次第に剥離し、光学部品の寿命が短くなるおそれが生じる。特に、最近は、レーザ加工の効率向上等を目的として、レーザ出力がアップされる傾向にあり、この問題が顕著に生じるおそれがあった。 In a laser processing machine, an optical component disposed in a laser beam path is guided by a laser beam to guide a laser beam. When the laser beam is continued or repeated, the coating material on the surface of the optical component is gradually peeled off. The life of the battery may be shortened. In particular, recently, there has been a tendency to increase the laser output for the purpose of improving the efficiency of laser processing and the like, and this problem may occur remarkably.
このような問題点に対処するために、従来は、発振器内部を冷却する冷却器とは別に、外部光学部品を冷却する冷却器から加工ヘッドまで冷却管を延ばして、さらに光学部品を保持する外部光学系のホルダ内に空洞部を形成し、この空洞部内に冷却水を循環供給していた。例えば、外部光学部品がミラーの場合、その背面側から冷却される構成が提案されている。また、レーザ発振器用の冷却器を二槽式にして、レーザ発振器用冷却槽と外部光学部品用冷却槽で設定温度を変えることにより外部光学部品を冷却する構成も考えられる。しかしながら、これらのような従来の外部光学系の冷却方法では、レーザ発振器用の冷却器とは別に外部光学部品用の冷却器を設けるか、レーザ発振器用の冷却槽とは別に外部光学部品用の冷却槽を設ける必要があり、装置の大型化、コストの増加を招く結果となっていた。また、レーザ発振器用の冷却器を外部光学部品用の冷却器として兼用しようとした場合、冷却水はレーザ発振器を効率よく冷却する温度に設定されているので、外部光学系のホルダに結露が発生してしまう。一方、冷却水の温度を外部光学系のホルダに結露が発生しない温度に設定すると、レーザ発振器を効率よく冷却することができないという課題があった。 In order to cope with such problems, conventionally, a cooling pipe is extended from the cooler for cooling the external optical components to the processing head separately from the cooler for cooling the inside of the oscillator, and an external device for further holding the optical components. A cavity is formed in the holder of the optical system, and cooling water is circulated and supplied into the cavity. For example, when the external optical component is a mirror, a configuration in which cooling is performed from the back side has been proposed. Further, there may be a configuration in which the external optical component is cooled by changing the set temperature between the laser oscillator cooling bath and the external optical component cooling bath by using two coolers for the laser oscillator. However, in the conventional cooling methods for external optical systems such as these, a cooler for external optical components is provided separately from the cooler for laser oscillators, or for external optical components separately from the cooling tank for laser oscillators. It was necessary to provide a cooling tank, resulting in an increase in the size and cost of the apparatus. Also, if the laser oscillator cooler is to be used as a cooler for external optical components, the cooling water is set at a temperature that efficiently cools the laser oscillator, so condensation occurs on the holder of the external optical system. Resulting in. On the other hand, when the temperature of the cooling water is set to a temperature at which dew condensation does not occur in the holder of the external optical system, there is a problem that the laser oscillator cannot be efficiently cooled.
これに対し、特許文献1では、光学部品の一つであるミラーを保持するミラーホルダにファン装置を配設することで、ミラーホルダに結露が発生するのを防止する技術が開示されている。 On the other hand, Patent Document 1 discloses a technique for preventing condensation on the mirror holder by disposing a fan device on a mirror holder that holds a mirror that is one of optical components.
しかしながら、特許文献1に記載の冷却方法では、加工ヘッドにファン装置を設けることになり、加工ヘッドが重くなってしまい切断速度に影響を及ぼすおそれがあった。 However, in the cooling method described in Patent Document 1, a fan device is provided in the machining head, which may cause the machining head to be heavy and affect the cutting speed.
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工ヘッドの重量増加を抑制しつつ、外部光学系のホルダに結露が発生するのを抑制可能なレーザ加工機及びレーザ加工機の冷却方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a laser processing machine and a laser capable of suppressing the occurrence of condensation on the holder of the external optical system while suppressing an increase in the weight of the processing head. It is providing the cooling method of a processing machine.
(1) レーザ光を生成するレーザ発振器と、
レーザ光をワークに対して集光照射する加工ヘッドと、
該レーザ発振器を冷却する冷却器と、
前記冷却器から前記レーザ発振器へ冷却水を供給する第1冷却流路と、
前記レーザ発振器から前記冷却器へ冷却水を排出する第2冷却流路と、を備えたレーザ加工機であって、
前記第2冷却流路から前記加工ヘッドを冷却する第3冷却流路が分岐していることを特徴とするレーザ加工機。
(2) 前記第3冷却流路には、前記レーザ発振器の稼動状態に応じて接続又は遮断を切り換える弁部材が設けられ、
該弁部材は、前記レーザ発振器の稼動時に開弁し、前記レーザ発振器の非稼動時に閉弁することを特徴とする(1)に記載のレーザ加工機。
(3) 前記第3冷却流路は、前記レーザ発振器からレーザ光を前記加工ヘッドに伝送するファイバケーブルの出射端及び前記加工ヘッドの集光レンズを冷却することを特徴とする(1)又は(2)に記載のレーザ加工機。
(4) レーザ光を生成するレーザ発振器と、
レーザ光をワークに対して集光照射する加工ヘッドと、
該レーザ発振器を冷却する冷却器と、を備えたレーザ加工機の冷却方法であって、
前記レーザ発振器から前記冷却器への戻り水を利用して、前記加工ヘッドを冷却することを特徴とするレーザ加工機の冷却方法。
(5) 前記レーザ発振器の稼動時にのみ前記戻り水を前記加工ヘッドに供給することを特徴とする(4)に記載のレーザ加工機の冷却方法。
(1) a laser oscillator that generates laser light;
A processing head for condensing and irradiating the workpiece with laser light;
A cooler for cooling the laser oscillator;
A first cooling flow path for supplying cooling water from the cooler to the laser oscillator;
A second cooling flow path for discharging cooling water from the laser oscillator to the cooler, and a laser processing machine comprising:
A laser processing machine, wherein a third cooling flow path for cooling the machining head is branched from the second cooling flow path.
(2) The third cooling flow path is provided with a valve member that switches connection or disconnection according to an operating state of the laser oscillator,
The laser processing machine according to (1), wherein the valve member is opened when the laser oscillator is in operation, and is closed when the laser oscillator is not in operation.
(3) The third cooling channel cools the exit end of a fiber cable that transmits laser light from the laser oscillator to the processing head and the condenser lens of the processing head (1) or ( The laser beam machine according to 2).
(4) a laser oscillator that generates laser light;
A processing head for condensing and irradiating the workpiece with laser light;
A cooling method for cooling the laser oscillator, comprising:
A cooling method for a laser processing machine, wherein the processing head is cooled using return water from the laser oscillator to the cooler.
(5) The method for cooling a laser beam machine according to (4), wherein the return water is supplied to the machining head only when the laser oscillator is in operation.
上記(1)に記載の態様によれば、レーザ発振器を冷却した冷却水が排出される第2冷却流路から加工ヘッドを冷却する第3冷却流路が分岐していているので、レーザ発振器によりあたためられた冷却水が加工ヘッドに流れるため、加工ヘッド、特に外部光学系のホルダに結露が発生することが抑制される。また、レーザ発振器用の冷却器を用いて加工ヘッドも冷却するため、レーザ発振器用の冷却器とは別に、外部光学部品用の冷却器を設ける必要がなく、装置の大型化、コストの増加を抑制することができる。さらに、加工ヘッドにファン装置を設ける必要もないので、加工ヘッドの重量化も避けることができ、切断速度への影響を抑制することができる。 According to the aspect described in (1) above, the third cooling channel for cooling the machining head is branched from the second cooling channel from which the cooling water that has cooled the laser oscillator is discharged. Since the heated cooling water flows to the processing head, the occurrence of condensation on the processing head, particularly the holder of the external optical system, is suppressed. In addition, since the processing head is also cooled using a laser oscillator cooler, there is no need to provide a cooler for external optical components separately from the laser oscillator cooler, which increases the size and cost of the apparatus. Can be suppressed. Furthermore, since it is not necessary to provide a fan device for the machining head, it is possible to avoid the weight of the machining head and to suppress the influence on the cutting speed.
上記(2)に記載の態様によれば、レーザ発振器の非稼動時に低温の冷却水が加工ヘッドに流れることを回避することができ、より確実に外部光学系のホルダの結露を抑制することができる。 According to the aspect described in (2) above, it is possible to avoid low-temperature cooling water from flowing to the machining head when the laser oscillator is not operating, and to more reliably suppress dew condensation on the holder of the external optical system. it can.
上記(3)に記載の態様によれば、熱の発生しやすい、ファイバケーブルの出射端と加工ヘッドの集光レンズとを冷却することで、レーザ加工の効率の悪化を抑制することができる。 According to the aspect as described in said (3), the deterioration of the efficiency of a laser processing can be suppressed by cooling the outgoing end of a fiber cable and the condensing lens of a processing head which are easy to generate | occur | produce a heat | fever.
上記(4)に記載の態様によれば、レーザ発振器から冷却器への戻り水を利用することで、レーザ発振器によりあたためられた冷却水が加工ヘッドに流れるため、加工ヘッド、特に外部光学系のホルダに結露が発生することが抑制される。また、レーザ発振器用の冷却器を用いて加工ヘッドも冷却するため、レーザ発振器用の冷却器とは別に、外部光学部品用の冷却器を設ける必要がなく、装置の大型化、コストの増加を抑制することができる。さらに、加工ヘッドにファン装置を設ける必要もないので、加工ヘッドの重量化も避けることができ、切断速度への影響を抑制することができる。 According to the aspect described in (4) above, the cooling water warmed by the laser oscillator flows to the machining head by using the return water from the laser oscillator to the cooler. The occurrence of condensation on the holder is suppressed. In addition, since the processing head is also cooled using a laser oscillator cooler, there is no need to provide a cooler for external optical components separately from the laser oscillator cooler, which increases the size and cost of the apparatus. Can be suppressed. Furthermore, since it is not necessary to provide a fan device for the machining head, it is possible to avoid the weight of the machining head and to suppress the influence on the cutting speed.
上記(5)に記載の態様によれば、レーザ発振器の非稼動時に低温の冷却水が加工ヘッドに流れることを回避することができ、より確実に外部光学系のホルダの結露を抑制することができる。 According to the aspect described in (5) above, it is possible to avoid low-temperature cooling water from flowing into the machining head when the laser oscillator is not operating, and to more reliably suppress dew condensation on the holder of the external optical system. it can.
以下、本発明のレーザ加工機の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1及び図2に示すように、レーザ加工機10は、加工機本体20と、加工機本体20に内蔵されるレーザ発振器21及び制御装置22と、加工機本体20に接続して配設されるパレットチェンジャ23と、空気中の窒素ガスを分離するために使用されるブースターコンプレッサ24やエアコンプレッサ25、又は、酸素ガスボンベ26などを備えるアシストガス供給部27と、レーザ発振器21及びレーザ加工ヘッド40(以下、加工ヘッドと呼ぶ。)を冷却する冷却水を供給するチラーユニット28、及び加工時に発生する塵埃などを排除する集塵機29などを主に備える。
なお、本実施形態において、前方とは、加工機本体20とパレットチェンジャ23の並び方向(図1のX方向)において加工機本体20寄りの方向を表わし、後方とは、該並び方向において、パレットチェンジャ23寄りの方向を表わす。また、左方及び右方は、該並び方向に直交する方向(図1のY方向)において、後方から前方を見たときの方向で表わされる。
Hereinafter, an embodiment of a laser beam machine according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, the
In the present embodiment, the front represents a direction closer to the processing machine
加工機本体20のキャビン30内には、パレット31を所定の方向であるキャビン30の長手方向(X方向)に駆動するパレット駆動機構32と、パレット31に搭載されたワークWを熱によって切断するためのレーザ光を照射する加工ヘッド40と、加工ヘッド40を駆動する加工ヘッド駆動機構49と、加工時に切断された切り屑等を回収するための回収コンベア60と、が収容されている。
In the
図3に示すように、加工ヘッド40は、加工ヘッド駆動機構49によって、X方向、キャビン30の幅方向(Y方向)及びキャビン30の上下方向(Z方向)に移動可能である。具体的に、左右に設けられた一対の支持台41には、梁状のX方向可動台42が跨って配置され、このX方向可動台42は、X軸モータ43によりX方向に駆動される。また、X方向可動台42には、Y軸モータ44により駆動されてY方向に移動可能なY方向可動台45が配設されている。Y方向可動台45は、X方向可動台42内に配置された不図示のラックに、Y軸モータ44の回転軸に固定された不図示のピニオンが噛合するラックピニオン機構によりY方向に駆動される。また、Y方向可動台45には、Z軸モータ46により駆動されるラックピニオン機構を用いて加工ヘッド40がZ方向に移動可能に配設されている。
なお、図1の実線及び図2の点線で示す加工ヘッド40は、X方向で最も前方に位置した状態を表わし、図1及び図2の一点鎖線で示す加工ヘッド40は、X方向で最も後方に位置した状態を表わしている。
As shown in FIG. 3, the
Note that the
加工ヘッド40には、レーザ発振器21から延びるファイバケーブル(先端のみ図示)50が、X方向用ケーブルべア48x、及びY方向用ケーブルべア48yを介して配索することで接続されている。また、加工ヘッド40内には、ファイバケーブル50の出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するためのコリメータレンズ51と、平行光線化されたレーザ光を集光するための集光レンズ52と、が配置されており、集光レンズ52は、加工ヘッド40に対してZ方向に位置調整自在に設けられている。これらのコリメータレンズ51と集光レンズ52は、外部光学系のホルダ(図示せず)に保持されている。なお、レーザ光を生成するレーザ発振器21の構成は、公知のものを適用可能であるから、詳細な説明については省略する。
A fiber cable (only the tip is shown) 50 extending from the
また、図4に示すように、加工ヘッド40の周囲には、後述する冷却回路80を構成するチラーユニット28に繋がる冷却管56a〜56dが接続されており、ファイバケーブル50の出射端と、集光レンズ52の周囲を冷却する。さらに、加工ヘッド40の周囲には、加工ヘッド40内に、アシストガス供給部27から窒素ガス、或いは酸素ガスのアシストガスを供給するガス供給管57や、加工ヘッド40のレーザノズル53近傍に向けて、窒素ガス、或いは酸素ガスのアシストガスを吹き付けるサイドノズル54に接続される他のガス供給管58が設けられている。
As shown in FIG. 4, cooling
これらの冷却管56a〜56dやガス供給管57,58は、Z方向用ケーブルべア48zを通過した後、ファイバケーブル50とともに、X方向用ケーブルべア48x、及びY方向用ケーブルべア48yに配索されて、チラーユニット28及びアシストガス供給部27に接続される。
The cooling
加工ヘッド40は、レーザ発振器21を作動させると、レーザ光がファイバケーブル50を介してコリメータレンズ51で平行光線化され、更に平行光線化されたレーザ光が集光レンズ52に入射して集光し、レーザノズル53からワークWの加工部に照射されてワークWを加工する。加工に際して、アシストガス供給部27から供給されるアシストガスは、レーザノズル53やサイドノズル54からワークWの加工部に向けて噴出して、加工時に生じた溶融した金属を吹き飛ばす。
When the
図1及び図2に示すように、パレット駆動機構32は、X方向に沿ってパレット31の右側面と対向する位置に配設され、駆動モータ33によって回転駆動される無端チェーン34と、パレット31の下面側に設けられた複数のローラ36が転動案内され、パレット31を支持するレール35と、を有する。そして、駆動モータ33により無端チェーン34が回転駆動すると、無端チェーン34に設けられたピン(図示せず)が、パレット31の係合部(図示せず)に係合し、レール35上のパレット31をX方向に移動させる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
図2及び図5に示すように、キャビン30には、正面30Fに開閉扉であるガルウィング38が設けられ、正面30Fに対して反対側となる背面30Rに横長スリット状に形成された搬入出口37が、パレットチェンジャ23に対応して設けられている。これにより、大ロット製品の加工時には、ワークWを載置するパレット31を搬入出口37を介して搬入出し、小ロット製品の加工時には、ガルウィング38からワークWを搬入出し、ロットの大きさに対応した搬入出作業を行うことができる。
As shown in FIGS. 2 and 5, the
また、正面30Fには、ガルウィング38の側方に第1操作盤75が配置され、左側面30Lには、第2操作盤70が背面30R寄りに配置されている。さらに、キャビン30の正面30Fで、ガルウィング38の下方には、作業者が足で操作可能なフートスイッチ76が配置されている。
Further, a
図1、図2及び図5に示すように、パレットチェンジャ23は、搬入出口37が設けられたキャビン30の背面30Rに対向して配置されている。パレットチェンジャ23は、図1に示す駆動機構61によって上下駆動される可動フレーム62を有し、可動フレーム62の左右側方に設けられた略コの字状レール63上に2台のパレット31を上下に2段配置することができる。
As shown in FIGS. 1, 2, and 5, the
上側のパレット31は、コの字状レール63の上側レール面63a上に載置され、また、下側のパレット31は、コの字状レール63の下側レール面63b上に載置される。コの字状レール63上に2段配置されたパレット31は、駆動機構61で可動フレーム62を上下駆動することで、略コの字状レール63上のパレット31を上下に移動して、キャビン30内に配設されたレール35と同じ高さとなるように高さ調節が可能であり、該レール35と同じ高さに位置するパレット31を、搬入出口37を介してパレットチェンジャ23とキャビン30内との間で搬入出することができる。
The
また、可動フレーム62の下方には、ワークWをパレット31の基準に突き当てるため、ワークWをパレット31上で移動させるためのフリーベアリング64を最上部に備えるワークリフタ66が昇降可能に設けられている(図5参照)。なお、図1及び図2において、符号65は、ワークリフタ66を上下駆動する駆動機構67を作動させるためのフートスイッチである。
Also, below the
図1に示すように、パレットチェンジャ23を囲う作業エリアWAの各角部には、投光器71、反射板72、及び受光器73からなるセンサが配置されており、投光器71から照射した光を、3つの反射板72で反射して受光器73で受光することにより、作業エリアWA内への作業者等の出入りを監視している。また、キャビン30の背面30Rには、エリアセンサ74が配設されて、作業エリアWA内の作業者等の有無を検出する。投光器71、反射板72、及び受光器73からなるセンサ、またはエリアセンサ74が作動したときは、作業エリアWA内に作業者等がいると判断してパレットチェンジャ23の搬入出作業を禁止し、これにより作業者等の安全が確保される。
As shown in FIG. 1, a sensor composed of a
ここで、レーザ加工機10の冷却回路80について図6を参照しながら詳細に説明する。
冷却回路80の一部を構成するチラーユニット28は、筐体内に、図示しないが、タンクと、該タンクから吐出された水を冷却する冷凍機とを備えている。冷凍機は圧縮機と、この圧縮機から吐出された冷媒ガスを凝縮する凝縮器と、この凝縮器から吐出された冷媒を蒸発させ潜熱を利用してタンクからの水を冷却する熱交換器とを備えている。そして、熱交換器で冷却された水がレーザ発振器21の内部に供給されレーザ発振器21内が冷却される。
Here, the cooling
Although not shown, the
チラーユニット28のタンクは、2本の冷却管81,82によってレーザ発振器21に接続され、冷却管81側に不図示のオイルポンプが接続され、冷却水が冷却管81を通ってレーザ発振器21に供給される。レーザ発振器21を冷却した冷却水は、冷却管82に排出されてタンク内に戻る。冷却管82からは、加工ヘッド40に接続される冷却管56aが分岐し、レーザ発振器21を冷却した冷却水の一部が加工ヘッド40に供給される。また、タンクは、冷却管56dで加工ヘッド40に接続されており、加工ヘッド40を冷却した冷却水がタンクに戻るように構成されている。
The tank of the
加工ヘッド40に供給される冷却水は、一端がファイバケーブル50の出射端の後部上方に接続された冷却管56aから、ファイバケーブル50の出射端の周囲を通って、前部上方に一端が接続された冷却管56bに排出される。冷却管56bの他端は、集光レンズ52の後部上方に接続され、冷却管56bを通って集光レンズ52の後部上方から供給される冷却水は、集光レンズ52の後方周囲を冷却後、一端が集光レンズ52の前方上部に接続された冷却管56cを通って集光レンズ52の前方上部に供給される。集光レンズ52の前方上部に供給される冷却水は、集光レンズ52の前方周囲を冷却後、冷却管56dを通ってタンクに戻る。
One end of the cooling water supplied to the
冷却管82から分岐した冷却管56aには、レーザ発振器21を制御する制御装置22に電気的に接続されるソレノイドバルブ85が設けられている。ソレノイドバルブ85は、レーザ発振器21への駆動信号に同期して開弁し、レーザ発振器21への駆動信号が停止するとこれに同期して閉弁する。従って、ソレノイドバルブ85は、レーザ発振器21の稼動時にのみ開弁して冷却水を加工ヘッド40に供給し、レーザ発振器21の非稼動時に閉弁して加工ヘッド40への冷却水の供給を遮断する。
The cooling
レーザ発振器21には、除湿機、エアコン等の除湿装置21aが備え付けられている。チラーユニット28のタンク内の水温は、例えば20〜25℃に設定されるが、レーザ発振器21の内部温度が上昇し、結露が発生し得る環境であっても除湿装置21aにより結露の発生が防止される。これに対し、加工ヘッド40には除湿装置が設けられていない。しかしながら、レーザ発振器21からチラーユニット28のタンクへの戻り水が、冷却管82から分岐した冷却管56aを通って加工ヘッド40に供給されるためタンク内の設定温度より高い温度の冷却水が加工ヘッド40に供給される。これにより、加工ヘッドの雰囲気温度に対して低すぎる冷却水が加工ヘッド40に供給されることで発生する加工ヘッド40、特に外部光学系のホルダの結露が抑制される。
The
さらに、冷却管82から分岐した冷却管56aにはレーザ発振器21の稼動・非稼動に同期して開弁・閉弁を切り換えるソレノイドバルブ85が設けられているため、レーザ発振器21の非稼動時、即ち、冷却水の温度上昇がそれほど望めない環境下においては、加工ヘッド40への冷却水の供給が遮断されることで、加工ヘッド40の結露がより効果的に抑制される。
Further, the
以上説明したように、本実施形態によれば、レーザ発振器21を冷却した冷却水が排出される配管82から加工ヘッド40を冷却する配管56aが分岐していているので、レーザ発振器21によりあたためられた冷却水が加工ヘッド40に流れるため、加工ヘッド40、特に外部光学系のホルダにおける結露の発生が抑制される。また、レーザ発振器21用のチラーユニット28を用いて加工ヘッド40も冷却するため、レーザ発振器21用のチラーユニット28とは別に、外部光学部品用の冷却器を設ける必要がなく、装置の大型化、コストの増加を抑制することができる。さらに、加工ヘッド40にファン装置を設ける必要もないので、加工ヘッド40の重量化も避けることができ、切断速度への影響を抑制することができる。
As described above, according to this embodiment, the
また、ソレノイドバルブ85によりレーザ発振器21の非稼動時に冷却水が加工ヘッド40に流れることを回避することができるので、より確実に加工ヘッド40の結露を抑制することができる。
Further, since the
また、熱の発生しやすい、ファイバケーブル50の出射端及び加工ヘッド40の集光レンズ52を冷却することで、レーザ加工の効率の悪化を抑制することができる。
Further, by cooling the exit end of the
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
本発明は、本実施形態のファイバレーザ加工機10に限定されるものでなく、任意のレーザ加工機に適用可能である。
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A deformation | transformation, improvement, etc. are possible suitably.
The present invention is not limited to the fiber
また、加工ヘッド40周りの冷却管56a〜56dは、レーザ発振器21からチラーユニット28のタンクへの戻り水が供給される冷却管56aと、加工ヘッド40からチラーユニット28のタンクへ冷却水を戻す冷却管56dとが配置されていればよい。また、加工ヘッド40の冷却は、少なくとも集光レンズ52を冷却するものであれば、冷却部は特に限定されるものではない。
The cooling
10 レーザ加工機
21 レーザ発振器
28 チラーユニット(冷却器)
40 レーザ加工ヘッド
50 ファイバケーブル
52 集光レンズ
56a 冷却管(第3冷却流路)
81 冷却管(第1冷却流路)
82 冷却管(第2冷却流路)
85 ソレノイドバルブ(弁部材)
10
40
81 Cooling pipe (first cooling flow path)
82 Cooling pipe (second cooling flow path)
85 Solenoid valve (valve member)
Claims (5)
レーザ光をワークに対して集光照射するレーザ加工ヘッドと、
該レーザ発振器を冷却する冷却器と、
前記冷却器から前記レーザ発振器へ冷却水を供給する第1冷却流路と、
前記レーザ発振器から前記冷却器へ冷却水を排出する第2冷却流路と、を備えたレーザ加工機であって、
前記第2冷却流路から前記加工ヘッドを冷却する第3冷却流路が分岐していることを特徴とするレーザ加工機。 A laser oscillator for generating laser light;
A laser processing head for condensing and irradiating a workpiece with laser light;
A cooler for cooling the laser oscillator;
A first cooling flow path for supplying cooling water from the cooler to the laser oscillator;
A second cooling flow path for discharging cooling water from the laser oscillator to the cooler, and a laser processing machine comprising:
A laser processing machine, wherein a third cooling flow path for cooling the machining head is branched from the second cooling flow path.
該弁部材は、前記レーザ発振器の稼動時に開弁し、前記レーザ発振器の非稼動時に閉弁することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。 The third cooling flow path is provided with a valve member that switches connection or disconnection according to the operating state of the laser oscillator,
The laser processing machine according to claim 1, wherein the valve member is opened when the laser oscillator is in operation, and is closed when the laser oscillator is not in operation.
レーザ光をワークに対して集光照射する加工ヘッドと、
該レーザ発振器を冷却する冷却器と、を備えたレーザ加工機の冷却方法であって、
前記レーザ発振器から前記冷却器への戻り水を利用して、前記加工ヘッドを冷却することを特徴とするレーザ加工機の冷却方法。 A laser oscillator for generating laser light;
A processing head for condensing and irradiating the workpiece with laser light;
A cooling method for cooling the laser oscillator, comprising:
A cooling method for a laser processing machine, wherein the processing head is cooled using return water from the laser oscillator to the cooler.
5. The method of cooling a laser beam machine according to claim 4, wherein the return water is supplied to the machining head only when the laser oscillator is in operation.
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