JP2014081303A - Position detection device - Google Patents

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Kazuaki Serizawa
一明 芹澤
Takeshi Yamamoto
猛 山本
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SEIWA SUPPLY KK
Howa Machinery Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a position detection device that can precisely detect a position in a movement direction of a detected body.SOLUTION: The position detection device comprises: a first magnetic core 40 in which a first resonance coil 43 constituting a first resonance circuit 52 together with a first capacitor 44 and a first exciting coil 45 which is adjacent to the first resonance coil and to which a first exciting electric current causing the first resonance circuit to be excited flows are wound, respectively; and a second magnetic core 41 in which a second resonance coil 46 constituting a second resonance circuit 53 together with a second capacitor 47 and a second exciting coil 48 which is adjacent to the second resonance coil and to which a second exciting electric current causing the second resonance circuit to be excited with a reverse phase to that of the first exciting electric current flows are wound, respectively. The first magnetic core and the second magnetic core are arranged to face each other at a predetermined distance in the movement direction of a detected body made of a metal having magnetism.

Description

この発明は、被検出体の移動方向における位置を検出する位置検出装置に関する。   The present invention relates to a position detection device that detects a position of a detected object in a moving direction.

例えば特許文献1には、工作機械の主軸装置に、主軸の軸方向へ移動可能となるように該主軸の内部に配置したドローバーによって、工具がクランプ又はアンクランプされたことを検出する主軸装置のクランプ・アンクランプ機構が開示されている。特許文献1の主軸装置のクランプ・アンクランプ機構では、被検出体を、ドローバーの後端部に前記軸方向における前後方向にテーパをなすように形成して、変位センサを、被検出体に対向させて配置している。このクランプ・アンクランプ機構によれば変位センサが、被検出体までの対向距離の変化に応じた電圧値を出力することで、該電圧値に基づいて工具がクランプ又はアンクランプされたことを検出できる。   For example, Patent Document 1 discloses a spindle device that detects that a tool has been clamped or unclamped by a draw bar disposed inside a spindle of a machine tool so as to be movable in the axial direction of the spindle. A clamp / unclamp mechanism is disclosed. In the clamp / unclamp mechanism of the spindle device of Patent Document 1, the object to be detected is formed at the rear end of the draw bar so as to taper in the front-rear direction in the axial direction, and the displacement sensor faces the object to be detected. It is arranged. According to this clamping / unclamping mechanism, the displacement sensor outputs a voltage value corresponding to the change in the facing distance to the object to be detected, thereby detecting that the tool has been clamped or unclamped based on the voltage value. it can.

特開2000−354939号公報JP 2000-354939 A

ところで上記のような工作機械においては、工具が主軸装置にクランプ又はアンクランプされたことを検出することはもとより、例えば切削屑が工具と主軸装置との間に挟まった状態を検出できるようにしたいとの要請がある。そのためには、ドローバーに形成した被検出体の移動方向(主軸の軸方向)における位置を精密に検出することが有効であると考えられる。   By the way, in the machine tool as described above, it is desired to detect not only that the tool is clamped or unclamped to the spindle device, but also the state in which, for example, cutting waste is sandwiched between the tool and the spindle device. There is a request. For this purpose, it is considered effective to accurately detect the position of the detection object formed on the draw bar in the moving direction (axial direction of the main shaft).

しかしながら上記のクランプ・アンクランプ機構では、工具が主軸装置にクランプされる位置に対応させて、主軸の軸方向における被検出体の中央付近に、突出部が、その中央部を変位センサに最も接近させるように該中央部から前記軸方向における左右両側へテーパを有するように形成されており、変位センサと突出部との対応距離に応じて変化する電圧値によって、被検出体の位置を検出するだけでは、被検出体の移動方向(前記軸方向)における位置の違いを精密に検出することは困難であった。   However, in the above clamping / unclamping mechanism, the protrusion is located near the center of the detected object in the axial direction of the spindle in the axial direction of the spindle so that the center is closest to the displacement sensor. The position of the detected object is detected by a voltage value that changes in accordance with the corresponding distance between the displacement sensor and the protruding portion. It is difficult to accurately detect the difference in position in the moving direction (the axial direction) of the detected object.

この発明は、このような状況に鑑み提案されたものであって、被検出体の移動方向における位置を精密に検出できる位置検出装置を提供することを目的とする。   This invention is proposed in view of such a situation, and it aims at providing the position detection apparatus which can detect the position in the moving direction of a to-be-detected body precisely.

請求項1の発明に係る位置検出装置は、第1のコンデンサと共に第1の共振回路を構成する第1の共振コイル、該第1の共振コイルに隣り合って、前記第1の共振回路を励磁させる第1の励磁電流が流れる第1の励磁コイルがそれぞれ巻回された第1の磁気コアと、第2のコンデンサと共に第2の共振回路を構成する第2の共振コイル、該第2の共振コイルに隣り合って、前記第1の励磁電流とは逆相で前記第2の共振回路を励磁させる第2の励磁電流が流れる第2の励磁コイルがそれぞれ巻回された第2の磁気コアと、を備え、前記第1の磁気コアと前記第2の磁気コアとを、磁性を有する金属からなる被検出体の移動方向に所定の距離をおいて対向配置して、前記移動方向に、前記第1の励磁電流によって前記第1の共振コイルから発生する磁界と、前記第2の励磁電流によって前記第2の共振コイルから発生する磁界と、によって合成磁界を形成して、前記被検出体が前記合成磁界内を移動することで、前記第1の励磁コイルと前記第2の励磁コイルとの少なくとも一方に生じる電気的特性の変化に基づいて、前記移動方向における前記被検出体の位置を検出することを特徴とする。   A position detection device according to a first aspect of the present invention excites the first resonance circuit adjacent to the first resonance coil that constitutes the first resonance circuit together with the first capacitor. A first magnetic core wound with a first exciting coil through which a first exciting current to be caused is wound, a second resonant coil that forms a second resonant circuit together with a second capacitor, and the second resonant A second magnetic core wound around a second exciting coil adjacent to the coil and in which a second exciting current for exciting the second resonance circuit in an opposite phase to the first exciting current flows; The first magnetic core and the second magnetic core are arranged to face each other at a predetermined distance in the moving direction of the detection object made of metal having magnetism, and in the moving direction, Generated from the first resonance coil by a first excitation current And a magnetic field generated from the second resonance coil by the second excitation current to form a combined magnetic field, and the detected object moves in the combined magnetic field, whereby the first The position of the detected object in the moving direction is detected based on a change in electrical characteristics generated in at least one of the exciting coil and the second exciting coil.

請求項2の発明は、請求項1において、前記第1の共振コイル及び前記第2の共振コイルの各周囲温度を検出可能な温度検出手段と、前記温度検出手段によって検出された各前記周囲温度に応じて、各前記周囲温度によって変化する前記電気的特性に対応する特性データを補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。   The invention of claim 2 is the temperature detection means capable of detecting the ambient temperatures of the first resonance coil and the second resonance coil according to claim 1, and the ambient temperatures detected by the temperature detection means. And correction means for correcting characteristic data corresponding to the electrical characteristics that change according to each ambient temperature.

請求項3の発明は、請求項1又は2において、前記移動方向を、工作機械の主軸の軸方向として、前記主軸の内部に前記軸方向へ移動可能に配置されて、該軸方向への移動によって前記主軸の前端に工具をクランプ又はアンクランプするドローバーに、前記被検出体を固定して、前記ドローバーに固定された前記被検出体が、前記軸方向に形成された前記合成磁界内を移動することで生じる前記電気的特性の変化に基づいて、前記軸方向における前記被検出体の位置を検出することを特徴とする。   A third aspect of the present invention is the method according to the first or second aspect, wherein the movement direction is an axial direction of a main shaft of a machine tool, the inner shaft is movably disposed in the axial direction, and the movement in the axial direction is performed. The detected object is fixed to a draw bar that clamps or unclamps a tool at the front end of the main shaft, and the detected object fixed to the draw bar moves in the combined magnetic field formed in the axial direction. The position of the detected object in the axial direction is detected based on a change in the electrical characteristics caused by the operation.

請求項1の発明に係る位置検出装置によれば、被検出体の移動を、第1の励磁コイルと第2の励磁コイルとの少なくとも一方に生じる電気的特性の変化に置き換えることで、該電気的特性の違いから、被検出体の移動方向における位置を精密に検出することが可能になる。
請求項2の発明によれば、被検出体が合成磁界内を移動することで第1の励磁コイル及び第2の励磁コイルに生じる電気的特性に対応する特性データの変化が、各共振コイルの周囲温度の変化によって影響を受けないため、前記周囲温度の変化にかかわらず、補正された前記特性データの変化に基づいて、被検出体の移動方向における位置を正確に検出できる。
請求項3の発明によれば、検出されたドローバーにおける被検出体の固定位置から、ドローバーによって主軸の前端に工具がクランプ又はアンクランプされたことを検出できることはもとより、前記クランプ及び前記アンクランプ以外の状態(例えば、切削屑が工具と主軸との間に挟まった状態)を検出することが可能になる。
According to the position detection device of the first aspect of the present invention, the movement of the detected object is replaced with a change in electrical characteristics that occurs in at least one of the first excitation coil and the second excitation coil. The position in the moving direction of the object to be detected can be accurately detected from the difference in the physical characteristics.
According to the second aspect of the present invention, the change in the characteristic data corresponding to the electrical characteristics generated in the first exciting coil and the second exciting coil due to the object to be detected moving in the combined magnetic field is Since it is not affected by the change in the ambient temperature, the position of the detected object in the moving direction can be accurately detected based on the corrected change in the characteristic data regardless of the change in the ambient temperature.
According to the invention of claim 3, it is possible to detect that the tool is clamped or unclamped at the front end of the main shaft by the draw bar from the fixed position of the detected object in the detected draw bar, and other than the clamp and the unclamp (For example, a state in which cutting waste is sandwiched between the tool and the spindle) can be detected.

本発明の実施形態の位置検出装置を備えたマシニングセンタの正面図である。It is a front view of a machining center provided with a position detection device of an embodiment of the present invention. 同マシニングセンタの側面図である。It is a side view of the machining center. 図1のA部分の拡大図である。It is an enlarged view of the A part of FIG. 図3のY−Y線矢視図である。FIG. 4 is a view on arrow YY in FIG. 3. 図4のB部分の拡大図である。It is an enlarged view of the B part of FIG. 図4のC部分の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of a portion C in FIG. 4. 主軸に工具がアンクランプされた状態を示した図である。It is the figure which showed the state by which the tool was unclamped to the main axis | shaft. 主軸に工具がアンクランプされた状態における位置検出装置のセンサ部と被検出体との配置を示した図である。It is the figure which showed arrangement | positioning with the sensor part and to-be-detected body of a position detection apparatus in the state by which the tool was unclamped to the main axis | shaft. 主軸に工具が取り付けられていない状態を示した図である。It is the figure which showed the state in which the tool is not attached to the main axis | shaft. 主軸に工具が取り付けられていない状態における同センサ部と同被検出体との配置を示した図である。It is the figure which showed arrangement | positioning with the same sensor part and the same to-be-detected body in the state in which the tool is not attached to the main axis | shaft. 実施形態のマシニングセンタが備える同センサ部の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the sensor part with which the machining center of embodiment is provided. 同センサ部及び受信信号調整部からなる位置検出装置とマシニングセンタの制御装置との概略接続図である。It is a schematic connection diagram of a position detection device comprising the sensor unit and a reception signal adjustment unit and a control device of a machining center. 同センサ部の第1の共振コイルから生じる磁界と第2の共振コイルから生じる磁界とによって形成される合成磁界の説明図である。It is explanatory drawing of the synthetic magnetic field formed with the magnetic field which arises from the 1st resonance coil of the sensor part, and the magnetic field which arises from the 2nd resonance coil.

本発明の実施形態を図1ないし図13を参照しつつ説明する。図1ないし図10に示す横型のマシニングセンタ1は、基台2と、コラム3と、主軸装置4と、主軸5と、ドローバー6と、被検出体7と、センサ部8と、工具マガジン9と、ワーク載置テーブル10と、操作盤11と、制御盤12とを備えている。なおマシニングセンタ1は本発明を使用する工作機械の一例である。   An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. A horizontal machining center 1 shown in FIGS. 1 to 10 includes a base 2, a column 3, a spindle device 4, a spindle 5, a draw bar 6, a detected object 7, a sensor unit 8, and a tool magazine 9. A work placement table 10, an operation panel 11, and a control panel 12 are provided. The machining center 1 is an example of a machine tool that uses the present invention.

図1及び図2に示すように基台2上にはカバー15が配置されて、このカバー15によって、基台2上の前面側及び後面側や基台2上の左右両側面が取り囲まれている。基台2の上面には、コラム3が立設されている。コラム3には、主軸装置4が前後方向(図2の左右方向)へ移動可能に設けられている。本実施形態では図3及び図4に示すように、主軸装置4の外面には前記前後方向に延びる2本のガイドレール16,16を、コラム3には、各ガイドレール16が摺動自在に嵌まるガイドブロック17を設けている。主軸装置4を前記前後方向へ送り動作して、主軸装置4の各ガイドレール16を各ガイドブロック17に沿って摺動させることで、主軸装置4が前記前後方向へ移動可能となる。さらに主軸装置4は上下方向へも移動可能となっている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a cover 15 is disposed on the base 2, and the front side and the rear side of the base 2 and the left and right side surfaces of the base 2 are surrounded by the cover 15. Yes. A column 3 is erected on the upper surface of the base 2. In the column 3, a spindle device 4 is provided so as to be movable in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2). In the present embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the two guide rails 16, 16 extending in the front-rear direction are provided on the outer surface of the spindle device 4, and the guide rails 16 are slidable on the column 3. A fitting guide block 17 is provided. The spindle device 4 can be moved in the longitudinal direction by feeding the spindle device 4 in the longitudinal direction and sliding the guide rails 16 of the spindle device 4 along the guide blocks 17. Further, the spindle device 4 is movable in the vertical direction.

また図4に示すように主軸装置4では主軸5が、該主軸装置4の前後方向(図4の左右方向)に延びて主軸頭18内に設けた複数の軸受19に回転自在に支持されている。主軸5は、主軸装置4の後部に設けた主軸用モータMによって回転駆動される。主軸5の先端面には、工具マガジン9に保持された各種の工具20(図2及び図5参照。)等を装着可能な装着孔21(図3及び図5参照。)が開設されている。なお図3では工具20の図示を省略した。さらに図4に示すように主軸5の内部には、軸心を貫通する貫通孔22が形成されている。この貫通孔22には、ドローバー6(図4及び図5参照。)が、主軸5の軸方向である前後方向(図4の左右方向)へ移動可能に挿通されている。貫通孔22の内周面とドローバー6の外周面との間には、複数の皿バネ23(図4参照。)が積層されている。このドローバー6には、軸心を貫通する切削油供給路24(図4及び図5参照。)が形成されている。   As shown in FIG. 4, in the spindle device 4, the spindle 5 is rotatably supported by a plurality of bearings 19 extending in the front-rear direction of the spindle device 4 (left-right direction in FIG. 4) and provided in the spindle head 18. Yes. The main shaft 5 is rotationally driven by a main shaft motor M provided at the rear portion of the main shaft device 4. A mounting hole 21 (see FIGS. 3 and 5) in which various tools 20 (see FIGS. 2 and 5) and the like held in the tool magazine 9 can be mounted is formed in the distal end surface of the main shaft 5. . In addition, illustration of the tool 20 was abbreviate | omitted in FIG. Further, as shown in FIG. 4, a through hole 22 that penetrates the shaft center is formed inside the main shaft 5. A draw bar 6 (see FIGS. 4 and 5) is inserted into the through hole 22 so as to be movable in the front-rear direction (the left-right direction in FIG. 4), which is the axial direction of the main shaft 5. A plurality of disc springs 23 (see FIG. 4) are stacked between the inner peripheral surface of the through hole 22 and the outer peripheral surface of the draw bar 6. The draw bar 6 is formed with a cutting oil supply passage 24 (see FIGS. 4 and 5) that penetrates the shaft center.

さらに図4及び図6に示すようにドローバー6の後方側(図4の右側)には、両端を主軸5の外周面から外側へ突出させたピン部材25が、ドローバー6の軸心方向と直交する方向でドローバー6を貫通した状態で固定されている。そして図6に示すように主軸5の外周面には、円環状の固定部材26が嵌着されている。この固定部材26は、上下方向に貫通して前記ピン部材25の両端をそれぞれ挿入可能な貫通孔27を備えている。加えて固定部材26の外周面には、円環状で鉄製の被検出体7が、各貫通孔27から臨むピン部材25にネジ止めされた状態で固定されている。この被検出体7は、鉄製であることから磁性を帯びることができる。   Further, as shown in FIGS. 4 and 6, on the rear side (right side in FIG. 4) of the draw bar 6, pin members 25 having both ends projecting outward from the outer peripheral surface of the main shaft 5 are perpendicular to the axial center direction of the draw bar 6. It is being fixed in the state which penetrated the draw bar 6 in the direction to do. As shown in FIG. 6, an annular fixing member 26 is fitted on the outer peripheral surface of the main shaft 5. The fixing member 26 includes a through hole 27 that penetrates in the vertical direction and can be inserted into both ends of the pin member 25. In addition, an annular and iron detected body 7 is fixed to the outer peripheral surface of the fixing member 26 in a state where it is screwed to a pin member 25 facing from each through hole 27. Since the detected object 7 is made of iron, it can be magnetized.

図4及び図6に示すように主軸装置4には、主軸5の中心軸と同軸となるようにシリンダ28が収容されている。さらにシリンダ28には、主軸5の中心軸と同軸で主軸5の外面に摺動自在に嵌められたピストン29が収容されている。図6及び図8に示すようにピストン29は、油圧装置から押し側に作動油が供給されることにより、主軸5の外面に沿って軸方向(図6及び図8の左右方向)で前進すると、固定部材26を前方(図6及び図8の左側)へ押すことになる。これに伴って、固定部材26に固定された被検出体7や、被検出体7とピン部材25を介して接続されたドローバー6が前進する。   As shown in FIGS. 4 and 6, the main spindle device 4 accommodates a cylinder 28 so as to be coaxial with the central axis of the main spindle 5. Further, the cylinder 28 accommodates a piston 29 that is coaxial with the central axis of the main shaft 5 and is slidably fitted on the outer surface of the main shaft 5. As shown in FIGS. 6 and 8, when the piston 29 moves forward in the axial direction (the left-right direction in FIGS. 6 and 8) along the outer surface of the main shaft 5 by supplying hydraulic oil to the push side from the hydraulic device. Then, the fixing member 26 is pushed forward (left side in FIGS. 6 and 8). Accordingly, the detection object 7 fixed to the fixing member 26 and the draw bar 6 connected to the detection object 7 via the pin member 25 move forward.

図4、図5及び図9に示すようにドローバー6の先端部には、工具挿着孔31が形成されている。この工具装着孔31は、ドローバー6の先端面に開口して切削油供給路24と連通し切削油供給路24よりも拡径されている。さらにドローバー6の先端部には、環状の係合突起32が、ドローバー6の外側へ向けて突設されている。図5には、主軸5の前端に工具20がドローバー6の動作によってクランプされた状態を示した。図2及び図5に示すように工具20は、主軸装置4の前後方向(図2の左右方向)に延びて前面にドリルを取り付けて後面が開放された筒状体で、この後面には、環状の係合爪部33が、工具20の内側へ向けて突設されている。加えて工具20の内部には、軸心方向に沿って延設されて前記工具装着孔31(図5及び図9参照。)に挿着可能な円筒部34を備えている。この円筒部34には、切削油の流入路36(図5参照。)が軸心方向に形成されている。図5に示す状態では、円筒部34が工具装着孔31に挿着された上で、係合突起32と係合爪部33とを係合させて、皿バネ23(図4参照。)の付勢力によって、ドローバー6が主軸5の後方側へ付勢されている。その結果、係合突起32で係合爪部33が装着孔21に引き込まれることで、工具20はドローバー6の動作によって主軸5の前端にクランプされた状態になる。   As shown in FIGS. 4, 5 and 9, a tool insertion hole 31 is formed at the tip of the draw bar 6. The tool mounting hole 31 is opened at the distal end surface of the draw bar 6 and communicates with the cutting oil supply path 24 and is larger in diameter than the cutting oil supply path 24. Furthermore, an annular engagement protrusion 32 is provided at the front end of the draw bar 6 so as to protrude toward the outside of the draw bar 6. FIG. 5 shows a state in which the tool 20 is clamped to the front end of the main shaft 5 by the operation of the draw bar 6. As shown in FIGS. 2 and 5, the tool 20 is a cylindrical body that extends in the front-rear direction (the left-right direction in FIG. 2) of the spindle device 4 and has a drill attached to the front surface to open the rear surface. An annular engagement claw portion 33 protrudes toward the inside of the tool 20. In addition, a cylindrical portion 34 that extends along the axial direction and can be inserted into the tool mounting hole 31 (see FIGS. 5 and 9) is provided inside the tool 20. An inflow passage 36 (see FIG. 5) for cutting oil is formed in the cylindrical portion 34 in the axial direction. In the state shown in FIG. 5, after the cylindrical portion 34 is inserted into the tool mounting hole 31, the engagement protrusion 32 and the engagement claw portion 33 are engaged, and the disc spring 23 (see FIG. 4). The draw bar 6 is urged toward the rear side of the main shaft 5 by the urging force. As a result, the engaging claw 33 is pulled into the mounting hole 21 by the engaging protrusion 32, so that the tool 20 is clamped to the front end of the main shaft 5 by the operation of the draw bar 6.

図4及び図6に示すセンサ部8は、本発明の位置検出装置を構成するものであり、被検出体7の上方で該被検出体7に近接させて配置されている。ここではセンサ部8は、略直方体形状でアルミニウム製のケース38を備えて、このケース38の下面を扁平な検出面としている。この検出面と被検出体7の表面との間の隙間は約0.5mmに設定した。ケース38には、図11に示した、第1の磁気コア40と、第2の磁気コア41と、磁性部材42と、第1の共振コイル43と、第1のコンデンサ44と、第1の励磁コイル45と、第2の共振コイル46と、第2のコンデンサ47と、第2の励磁コイル48と、サーミスタ49とが収容されている。なお図6ではケース38内に、第1の磁気コア40及び第2の磁気コア41のみを図示し、図11に示した両磁気コア40,41以外の磁性部材42等の図示を省略した。加えて図8及び図10においても、図6と同様に磁性材料42等の図示を省略した。   The sensor unit 8 shown in FIGS. 4 and 6 constitutes the position detection device of the present invention, and is arranged above the detected body 7 and close to the detected body 7. Here, the sensor unit 8 includes an aluminum case 38 having a substantially rectangular parallelepiped shape, and the lower surface of the case 38 is a flat detection surface. The gap between the detection surface and the surface of the detection object 7 was set to about 0.5 mm. The case 38 includes the first magnetic core 40, the second magnetic core 41, the magnetic member 42, the first resonance coil 43, the first capacitor 44, and the first magnetic core 40 shown in FIG. An excitation coil 45, a second resonance coil 46, a second capacitor 47, a second excitation coil 48, and a thermistor 49 are accommodated. In FIG. 6, only the first magnetic core 40 and the second magnetic core 41 are shown in the case 38, and illustration of the magnetic members 42 other than the magnetic cores 40 and 41 shown in FIG. 11 is omitted. In addition, in FIG. 8 and FIG. 10, the illustration of the magnetic material 42 and the like is omitted as in FIG.

第1の磁気コア40は、円柱形状とされてケース38内で該ケース38の上下方向(図6及び図11の上下方向)に配置されている。また第2の磁気コア41は、第1の磁気コア40と同形状で該第1の磁気コア40と同様に配置されている。図6及び図11に示すように第2の磁気コア41は、主軸5の軸方向(図6の左右方向)に所定の間隔をおいて第1の磁気コア40と対向して配置されている。ここでは、各磁気コア40,41の外径寸法を5mmとし、前記軸方向における第1の磁気コア40の中心軸と第2の磁気コア41の中心軸との間隔を7mmとした。さらに、例えばフェライトからなる磁性部材42が、両磁気コア40,41の上端と一体に接合されている。その結果、両磁気コア40,41及び磁性部材42で閉磁路が形成される。   The first magnetic core 40 has a cylindrical shape and is disposed in the case 38 in the vertical direction of the case 38 (the vertical direction in FIGS. 6 and 11). The second magnetic core 41 has the same shape as the first magnetic core 40 and is disposed in the same manner as the first magnetic core 40. As shown in FIGS. 6 and 11, the second magnetic core 41 is disposed to face the first magnetic core 40 at a predetermined interval in the axial direction of the main shaft 5 (left and right direction in FIG. 6). . Here, the outer diameter of each of the magnetic cores 40 and 41 is 5 mm, and the distance between the central axis of the first magnetic core 40 and the central axis of the second magnetic core 41 in the axial direction is 7 mm. Furthermore, a magnetic member 42 made of ferrite, for example, is integrally joined to the upper ends of both magnetic cores 40 and 41. As a result, a closed magnetic path is formed by the magnetic cores 40 and 41 and the magnetic member 42.

図11に示すように第1の磁気コア40の下端側(センサ部8の検出面側)には、第1の共振コイル43が巻回されている。この第1の共振コイル43に第1のコンデンサ44が接続されることで、第1の共振回路52が形成されている。さらに第1の磁気コア40の上端側には、該第1の磁気コア40の軸方向で第1の共振コイル43と隣り合って第1の励磁コイル45が巻回されている。ここでは、第1の共振コイル43と第1の励磁コイル45との巻数比を10:1とした。これにより、第1の励起コイル45のインピーダンスが第1の共振コイル43のインピーダンスよりも小さくなる。よって、後述の如く受信信号調整部66(図12参照。)が第1の励磁コイル45の両端電圧の振幅に応じた検出信号を受信するために、受信信号調整部66と第1の励磁コイル45との間にリード線を接続した場合でも、リード線と接地面との間に形成される浮遊容量やリード線に誘導されるノイズ(外部ノイズ)によって、前記検出信号が変動することを抑制している。   As shown in FIG. 11, the first resonance coil 43 is wound around the lower end side (the detection surface side of the sensor unit 8) of the first magnetic core 40. The first resonance circuit 52 is formed by connecting the first capacitor 44 to the first resonance coil 43. Further, on the upper end side of the first magnetic core 40, a first excitation coil 45 is wound adjacent to the first resonance coil 43 in the axial direction of the first magnetic core 40. Here, the turns ratio of the first resonance coil 43 and the first excitation coil 45 is 10: 1. Thereby, the impedance of the first excitation coil 45 becomes smaller than the impedance of the first resonance coil 43. Therefore, as will be described later, the reception signal adjustment unit 66 (see FIG. 12) receives the detection signal in accordance with the amplitude of the voltage across the first excitation coil 45, so that the reception signal adjustment unit 66 and the first excitation coil are received. Even when a lead wire is connected to 45, the detection signal is prevented from fluctuating due to stray capacitance formed between the lead wire and the ground plane or noise (external noise) induced in the lead wire. doing.

一方第2の磁気コア41の下端部(前記検出面側)には、第2の共振コイル46が巻回されている。この第2の共振コイル46に第2のコンデンサ47が接続されることで、第2の共振回路53が形成されている。さらに第2の磁気コア41の上端側には、該第2の磁気コア41の軸方向で第2の共振コイル46に隣り合って第2の励磁コイル48が巻回されている。第2の共振コイル46と第2の励磁コイル48との巻数比は、第1の共振コイル43と第1の励磁コイル45との巻数比と同様とした。加えて主軸5の軸方向で第1の共振コイル43と第2の共振コイル46との間には、図11に示すサーミスタ49が配置されている。   On the other hand, a second resonance coil 46 is wound around the lower end (the detection surface side) of the second magnetic core 41. The second resonance circuit 53 is formed by connecting the second capacitor 47 to the second resonance coil 46. Further, on the upper end side of the second magnetic core 41, a second excitation coil 48 is wound adjacent to the second resonance coil 46 in the axial direction of the second magnetic core 41. The turn ratio between the second resonance coil 46 and the second excitation coil 48 was the same as the turn ratio between the first resonance coil 43 and the first excitation coil 45. In addition, a thermistor 49 shown in FIG. 11 is disposed between the first resonance coil 43 and the second resonance coil 46 in the axial direction of the main shaft 5.

また図1及び図2に示すように工具マガジン9は、主軸装置4の上方に配置されている。工具マガジン9は、円盤状の工具保持板56と、工具保持板56を回転駆動する駆動モータ57とを備えている。図1に示すように工具保持板56の外周には、工具20を含めた各種の工具20A(図2参照。)等をそれぞれ着脱可能に保持する保持部58が複数形成されている。加えて図1及び図2に示すように、カバー15内でマシニングセンタ1の加工位置には、ワーク載置テーブル10が配置されている。ワーク載置テーブル10の上面には、例えばドローバー6の動作によって主軸5の前端にクランプされた工具20で孔加工を行う各種のワークを着脱可能に固定できる。加えて基台2には操作盤11が固定されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the tool magazine 9 is arranged above the spindle device 4. The tool magazine 9 includes a disk-shaped tool holding plate 56 and a drive motor 57 that rotationally drives the tool holding plate 56. As shown in FIG. 1, a plurality of holding portions 58 that detachably hold various tools 20 </ b> A including the tool 20 (see FIG. 2) and the like are formed on the outer periphery of the tool holding plate 56. In addition, as shown in FIGS. 1 and 2, a work placement table 10 is disposed at a machining position of the machining center 1 in the cover 15. Various workpieces to be drilled with a tool 20 clamped to the front end of the main shaft 5 by the operation of the draw bar 6 can be detachably fixed to the upper surface of the workpiece mounting table 10, for example. In addition, an operation panel 11 is fixed to the base 2.

図2に示すように制御盤12は、主軸装置4の後方に立設されて基台2の後部に固定されている。制御盤12には、図12に示す制御装置60と、同図に示すプログラマブルロジックコントローラ61(以下「PLC61」という。)とが収容されている。   As shown in FIG. 2, the control panel 12 is erected on the rear side of the spindle device 4 and fixed to the rear portion of the base 2. The control panel 12 accommodates a control device 60 shown in FIG. 12 and a programmable logic controller 61 (hereinafter referred to as “PLC 61”) shown in FIG.

図12に示すように制御装置60は、発振器62と、インピーダンス整合抵抗63,64と、インバータ65と、受信信号調整部66と、マイクロコンピュータ67と、記憶部68と、受信ポート69と、送信ポート70と、状態識別信号インターフェース71とを備えている。発振器62には、マイクロコンピュータ67が接続されている。発振器62は、マイクロコンピュータ67からの動作指令信号に基づいて励磁電流を供給する。   As shown in FIG. 12, the control device 60 includes an oscillator 62, impedance matching resistors 63 and 64, an inverter 65, a reception signal adjustment unit 66, a microcomputer 67, a storage unit 68, a reception port 69, and a transmission. A port 70 and a state identification signal interface 71 are provided. A microcomputer 67 is connected to the oscillator 62. The oscillator 62 supplies an excitation current based on an operation command signal from the microcomputer 67.

図11及び図12に示すように発振器62は、インピーダンス整合抵抗63を介して、上述したセンサ部8の第1の励磁コイル45と接続されている。これにより発振器62は、インピーダンス整合抵抗63を介して第1の励磁コイル45に正相の励磁電流(以下「第1の励磁電流」という。)を供給可能である。第1の励磁電流が第1の励磁コイル45に流れると、第1の共振コイル43には、第1の励磁コイル45からの磁界を受けて起電力が生じる。この第1の共振コイル43は、第1のコンデンサ44と共に共振して、共振電流や前記起電力によって図13に示す磁界H1を生じさせる。なお図13では、センサ部8として図11に示した各コンデンサ44,47や、発振器62、インピーダンス整合抵抗63,64及びインバータ65の図示を省略した。   As shown in FIGS. 11 and 12, the oscillator 62 is connected to the first excitation coil 45 of the sensor unit 8 described above via the impedance matching resistor 63. Thus, the oscillator 62 can supply a positive-phase excitation current (hereinafter referred to as “first excitation current”) to the first excitation coil 45 via the impedance matching resistor 63. When the first excitation current flows through the first excitation coil 45, an electromotive force is generated in the first resonance coil 43 by receiving a magnetic field from the first excitation coil 45. The first resonance coil 43 resonates with the first capacitor 44, and generates a magnetic field H1 shown in FIG. 13 by the resonance current and the electromotive force. In FIG. 13, the capacitors 44 and 47, the oscillator 62, the impedance matching resistors 63 and 64, and the inverter 65 shown in FIG.

さらに図11及び図12に示すように発振器62は、インバータ65とインピーダンス整合抵抗64とを介して、センサ部8の第2の励磁コイル48に接続されている。インバータ65は、発振器62から供給された励磁電流を反転して出力するものであることから、発振器62は、インバータ65とインピーダンス整合抵抗64とを介して第2の励磁コイル48に、前記第1の励磁電流とは逆相の励磁電流(以下「第2の励磁電流」という。)を供給可能である。第2の励磁電流が第2の励磁コイル48に流れると、第2の共振コイル46には、第2の励磁コイル48からの磁界を受けて起電力が生じる。この第2の共振コイル46は、第2のコンデンサ47と共に共振して、共振電流や第2の励磁コイル48に生じる起電力によって図13に示す磁界H2を生じさせる。加えて両磁気コア40,41の下端部からは磁束がそれぞれ漏洩することで、図13に示すように磁界H1と磁界H2とを合成した磁界H3の磁路が、主軸5の軸方向(図13の左右方向)に形成される。本実施形態では、上記のように各磁気コア40,41の外径寸法を5mm、第1の磁気コア40の中心軸と第2の磁気コア41の中心軸との間隔を7mmとしたことで、前記主軸5の軸方向に強い磁界H3を発生させることができる。なお、磁界H3は本発明の合成磁界の一例である。   Further, as shown in FIGS. 11 and 12, the oscillator 62 is connected to the second exciting coil 48 of the sensor unit 8 via an inverter 65 and an impedance matching resistor 64. Since the inverter 65 inverts and outputs the excitation current supplied from the oscillator 62, the oscillator 62 sends the first excitation coil 48 to the first excitation coil 48 via the inverter 65 and the impedance matching resistor 64. An excitation current having a phase opposite to the excitation current (hereinafter referred to as “second excitation current”) can be supplied. When the second excitation current flows through the second excitation coil 48, an electromotive force is generated in the second resonance coil 46 by receiving a magnetic field from the second excitation coil 48. The second resonance coil 46 resonates with the second capacitor 47, and generates a magnetic field H2 shown in FIG. 13 by a resonance current and an electromotive force generated in the second excitation coil 48. In addition, magnetic flux leaks from the lower ends of both magnetic cores 40 and 41, so that the magnetic path of the magnetic field H3, which combines the magnetic field H1 and the magnetic field H2, as shown in FIG. 13 in the left-right direction). In the present embodiment, as described above, the outer diameter of each of the magnetic cores 40 and 41 is 5 mm, and the distance between the central axis of the first magnetic core 40 and the central axis of the second magnetic core 41 is 7 mm. A strong magnetic field H3 can be generated in the axial direction of the main shaft 5. The magnetic field H3 is an example of the combined magnetic field of the present invention.

また図11及び図12に示すように受信信号調整部66には、センサ部8の第1の励磁コイル45の両端と第2の励磁コイル48の両端とが接続されている。センサ部8は、ドローバー6と共に移動する被検出体7に流れる渦電流に起因する渦電流損によって変化する各励磁コイル45,48の両端電圧を検出する。そして受信信号調整部66は、センサ部8によって検出された前記各励磁コイル45,48の両端電圧の振幅に応じた検出信号を受信する。本実施形態では、後述するように、前記渦電流損によって前記検出信号の振幅が変化することを利用して、ピン部材25(図6参照。)を介して被検出体7が接続されたドローバー6の動作によって工具20が主軸5の前端にクランプされた状態(クランプ状態)、ドローバー6の動作によって工具20が前記前端にアンクランプされた状態(アンクランプ状態)、クランプ状態及びアンクランプ状態以外の状態の内のいずれの状態であるかの判定を精密に行うことが可能になる。クランプ状態及びアンクランプ状態以外の状態の例としては、工具20が前記前端に取り付けられていない状態(工具未取付状態)や、クランプ状態とアンクランプ状態と工具未取付状態とのいずれとも異なる未定義状態が挙げられる。なお、各励磁コイル45,48の両端電圧は本発明の電気的特性の一例である。   Further, as shown in FIGS. 11 and 12, both ends of the first excitation coil 45 and both ends of the second excitation coil 48 of the sensor unit 8 are connected to the reception signal adjustment unit 66. The sensor unit 8 detects the voltage across the exciting coils 45 and 48 that changes due to the eddy current loss caused by the eddy current flowing in the detected object 7 that moves together with the draw bar 6. The reception signal adjustment unit 66 receives a detection signal corresponding to the amplitude of the voltage across each of the excitation coils 45 and 48 detected by the sensor unit 8. In the present embodiment, as will be described later, the draw bar to which the detected object 7 is connected via the pin member 25 (see FIG. 6) by utilizing the fact that the amplitude of the detection signal changes due to the eddy current loss. 6 is the state in which the tool 20 is clamped to the front end of the spindle 5 (clamped state) by the operation 6, the state in which the tool 20 is unclamped to the front end by the operation of the draw bar 6 (unclamped state), other than the clamped state and the unclamped state It is possible to precisely determine which of the states is. Examples of states other than the clamped state and the unclamped state include a state in which the tool 20 is not attached to the front end (the tool is not attached), and a state in which the tool 20 is not different from any of the clamped state, the unclamped state, and the tool not attached state. Definition status. In addition, the both-ends voltage of each exciting coil 45 and 48 is an example of the electrical property of this invention.

加えて図11及び図12に示すように受信信号調整部66には、サーミスタ49が接続されている。サーミスタ49は、図11に示したように第1の共振コイル43と第2の共振コイル46との間に配置したことで、第1の共振コイル43の周囲温度や第2の共振コイル46の周囲温度を検出可能である。そして受信信号調整部66は、サーミスタ49によって検出された前記周囲温度に応じた温度検出信号を受信する。第1の共振回路52及び第2の共振回路53の各インピーダンス値が前記周囲温度により変化することで、各励磁コイル45,48の両端電圧(センサ部8の検出信号の振幅)は変動する。受信信号調整部66は、該周囲温度に応じた温度補正レベルをセンサ部8の検出信号の振幅に加算又は減算することで、前記周囲温度の影響を受けない適切な信号(温度補正信号)を生成する。なお、サーミスタ49は本発明の温度検出手段の一例である。また、センサ部8の検出信号の振幅は本発明の特性データの一例であり、受信信号調整部66は本発明の補正手段の一例であって本発明の位置検出装置を構成する。   In addition, a thermistor 49 is connected to the reception signal adjusting unit 66 as shown in FIGS. As shown in FIG. 11, the thermistor 49 is disposed between the first resonance coil 43 and the second resonance coil 46, so that the ambient temperature of the first resonance coil 43 and the second resonance coil 46 Ambient temperature can be detected. The reception signal adjusting unit 66 receives a temperature detection signal corresponding to the ambient temperature detected by the thermistor 49. As the impedance values of the first resonance circuit 52 and the second resonance circuit 53 change depending on the ambient temperature, the voltage across the excitation coils 45 and 48 (the amplitude of the detection signal of the sensor unit 8) varies. The reception signal adjustment unit 66 adds or subtracts a temperature correction level corresponding to the ambient temperature to or from the amplitude of the detection signal of the sensor unit 8, thereby obtaining an appropriate signal (temperature correction signal) that is not affected by the ambient temperature. Generate. The thermistor 49 is an example of the temperature detecting means of the present invention. The amplitude of the detection signal of the sensor unit 8 is an example of the characteristic data of the present invention, and the received signal adjustment unit 66 is an example of the correction unit of the present invention and constitutes the position detection device of the present invention.

さらにマイクロコンピュータ67には、上記の受信信号調整部66が接続されている。受信信号調整部66は、前記温度補正信号をマイクロコンピュータ67に送信する。このマイクロコンピュータ67には記憶部68が接続されている。記憶部68には、クランプ状態、アンクランプ状態、工具未取付状態の各状態における前記温度補正信号の振幅と同等の振幅に応じた振幅データを、基準データとして、ドローバー6の動作によって主軸5の前端にクランプ可能な複数の異なる工具にそれぞれ関連付けて記憶されている。   Further, the reception signal adjusting unit 66 is connected to the microcomputer 67. The reception signal adjustment unit 66 transmits the temperature correction signal to the microcomputer 67. A storage unit 68 is connected to the microcomputer 67. In the storage unit 68, amplitude data corresponding to the amplitude equivalent to the amplitude of the temperature correction signal in each of the clamped state, the unclamped state, and the tool non-attached state is used as reference data for the spindle 5 by the operation of the draw bar 6. A plurality of different tools that can be clamped to the front end are stored in association with each other.

さらに加えてマイクロコンピュータ67には、受信ポート69、送信ポート70及び状態識別信号インターフェース71が接続されている。受信ポート69、送信ポート70及び状態識別信号インターフェース71は、PLC61と接続されている。受信ポート69及び送信ポート70は、マイクロコンピュータ67とPLC61との間で送受信する信号のレベルを整合させるために備えられている。PLC61は、マシニングセンタ1の監視及び動作制御を実行するために用いられる。マイクロコンピュータ67は、所定のタイミングでPLC61との間でI/O通信を行うことで、受信ポート69を介してPLC61から、データの送信を要求する処理要求コマンドを有する通信データを受信可能とされている。マイクロコンピュータ67は、前記I/O通信によって前記通信データの処理コマンドを受信すると、各状態(アンクランプ状態、クランプ状態、工具未取付状態)の振幅データを、送信ポート70を介してPLC61に送信可能とされている。また状態識別信号インターフェース71は、マイクロコンピュータ67から受信した前記各状態を識別する状態識別信号を、PLC61に常時出力可能とされている。   In addition, the microcomputer 67 is connected with a reception port 69, a transmission port 70, and a state identification signal interface 71. The reception port 69, the transmission port 70, and the state identification signal interface 71 are connected to the PLC 61. The reception port 69 and the transmission port 70 are provided to match the level of signals transmitted and received between the microcomputer 67 and the PLC 61. The PLC 61 is used to perform monitoring and operation control of the machining center 1. The microcomputer 67 can receive communication data having a processing request command for requesting data transmission from the PLC 61 via the reception port 69 by performing I / O communication with the PLC 61 at a predetermined timing. ing. When the microcomputer 67 receives the processing command of the communication data by the I / O communication, the microcomputer 67 transmits the amplitude data of each state (unclamped state, clamped state, tool unattached state) to the PLC 61 via the transmission port 70. It is possible. The state identification signal interface 71 can always output a state identification signal for identifying each state received from the microcomputer 67 to the PLC 61.

また図12に示すように、マイクロコンピュータ67には操作盤11が接続されている。操作盤11には、マシニングセンタ1の操作者が操作可能な各種のボタンやタッチパネル等が設けられている。例えば操作者は、前記ボタン等を操作することで、複数の異なる工具20,20A等の内から、ドローバー6の動作によって主軸5の前端にクランプさせる工具20の型式データを入力する。   As shown in FIG. 12, the operation panel 11 is connected to the microcomputer 67. The operation panel 11 is provided with various buttons and a touch panel that can be operated by an operator of the machining center 1. For example, the operator inputs the model data of the tool 20 to be clamped to the front end of the main shaft 5 by the operation of the draw bar 6 from among a plurality of different tools 20 and 20A by operating the buttons and the like.

加えてマイクロコンピュータ67には、外部入出力インターフェース72が接続されてる。外部入出力インターフェース72には、パーソナルコンピュータ73が接続されている。操作者がパーソナルコンピュータ73のキーボードを操作すると、パーソナルコンピュータ73は、該パーソナルコンピュータ73の記憶装置に記憶されているテストデータに基づいたテスト信号を、外部入出力インターフェース72を介してマイクロコンピュータ67に送信する。これによりパーソナルコンピュータ73は、マイクロコンピュータ67をテスト動作させる。   In addition, an external input / output interface 72 is connected to the microcomputer 67. A personal computer 73 is connected to the external input / output interface 72. When the operator operates the keyboard of the personal computer 73, the personal computer 73 sends a test signal based on the test data stored in the storage device of the personal computer 73 to the microcomputer 67 via the external input / output interface 72. Send. As a result, the personal computer 73 causes the microcomputer 67 to perform a test operation.

次にマシニングセンタ1の動作を説明する。本実施形態では、操作者が、操作盤11を操作してワークの加工に用いる工具20の型式データを入力すると、ワークの加工を行う前にマイクロコンピュータ67は、主軸5に対する前記工具20の取り付け状態を検出する処理を実行する。マイクロコンピュータ67は、例えば2msec毎に該マイクロコンピュータ67の記憶装置に記憶されたプログラムに基づき、アンクランプ状態、工具未取付状態、クランプ状態を検出する処理を実行する。   Next, the operation of the machining center 1 will be described. In this embodiment, when the operator operates the operation panel 11 and inputs the model data of the tool 20 used for machining the workpiece, the microcomputer 67 attaches the tool 20 to the spindle 5 before machining the workpiece. A process for detecting the state is executed. The microcomputer 67 executes processing for detecting an unclamped state, a tool unattached state, and a clamped state based on a program stored in the storage device of the microcomputer 67, for example, every 2 msec.

アンクランプ状態を検出するために、PLC61は、PLC61の記憶装置に記憶された加工制御プログラムにおける所定の制御命令によって主軸装置4を上下動あるいは前後移動させることで、操作者が操作盤11で入力した型式に対応する工具20を、工具マガジン9の保持部58から離脱させて図7に示す如く主軸5の装着孔21に装着する制御を第1所定時間に亘って実行する。これと共にPLC61は、図8に示す如くピストン29で固定部材26を前方(図8の左側)へ押してドローバー6を前進させることで、図7に示す如く係合突起32と係合爪部33との係合を解除した前記アンクランプ状態にする制御を第1所定時間に亘って実行する。このとき、図8に示すようにセンサ部8の検出面を被検出体7の表面に対向させた状態で、マイクロコンピュータ67は、発振器62を動作させて温度補正信号の振幅データを受信信号調整部66(図12参照。)から受信する。本実施形態ではマイクロコンピュータ67は、該振幅データとして、第1の励磁コイル45の両端電圧に対応する振幅データと第2の励磁コイル48の両端電圧に対応する振幅データとを受信することで、仮に一方の振幅データを受信できない状態が生じた場合でも、他方の振幅データに基づいて、アンクランプ状態を検出する処理を継続できる。加えて本実施形態では、被検出体7がアンクランプ状態に対応する位置に移動すると、温度補正信号の振幅(各励磁コイル45,48の両端電圧の振幅)が一定のレベルになる。これは以下に説明する工具未取付状態やクランプ状態においても同様で、被検出体7が工具未取付状態に対応する位置に移動したときは、前記温度補正信号の振幅がアンクランプ状態やクランプ状態とは異なる一定のレベルになり、被検出体7がクランプ状態に対応する位置に移動したときは、前記温度補正信号の振幅がアンクランプ状態や工具未取付状態とは異なる一定のレベルになる。   In order to detect the unclamped state, the PLC 61 moves the spindle device 4 up and down or back and forth in accordance with a predetermined control command in the machining control program stored in the storage device of the PLC 61, so that the operator inputs on the operation panel 11. Control for mounting the tool 20 corresponding to the above type from the holding portion 58 of the tool magazine 9 and mounting the tool 20 in the mounting hole 21 of the spindle 5 as shown in FIG. 7 is executed for a first predetermined time. At the same time, the PLC 61 moves the draw bar 6 forward by pushing the fixing member 26 forward (left side in FIG. 8) with the piston 29 as shown in FIG. The control for setting the unclamped state in which the engagement is released is executed over a first predetermined time. At this time, with the detection surface of the sensor unit 8 facing the surface of the detected object 7 as shown in FIG. 8, the microcomputer 67 operates the oscillator 62 to adjust the amplitude data of the temperature correction signal as the received signal. Received from the unit 66 (see FIG. 12). In this embodiment, the microcomputer 67 receives the amplitude data corresponding to the voltage across the first excitation coil 45 and the amplitude data corresponding to the voltage across the second excitation coil 48 as the amplitude data. Even if one of the amplitude data cannot be received, the process of detecting the unclamped state can be continued based on the other amplitude data. In addition, in this embodiment, when the detection object 7 moves to a position corresponding to the unclamped state, the amplitude of the temperature correction signal (the amplitude of the voltage across each excitation coil 45, 48) becomes a constant level. This also applies to a tool unattached state and a clamped state described below. When the detected object 7 moves to a position corresponding to the tool unattached state, the amplitude of the temperature correction signal is unclamped or clamped. When the detected object 7 moves to a position corresponding to the clamped state, the amplitude of the temperature correction signal becomes a constant level different from the unclamped state and the tool unattached state.

マイクロコンピュータ67は、前記温度補正信号の振幅データを受信信号調整部66から受信した後に、記憶部68に記憶されたアンクランプ状態における基準データの内から、操作者が操作盤11で入力した工具20の型式データに関連付けられたアンクランプ状態における基準データを選択する。続いてマイクロコンピュータ67は、温度補正信号の振幅データが選択した基準データと一致すると判断すると、マシニングセンタ1がアンクランプ状態であると判定する。一方マイクロコンピュータ67は、前記振幅データが前記基準データと一致しないと判断すると、マシニングセンタ1が未定義状態であると判定する。   The microcomputer 67 receives the amplitude data of the temperature correction signal from the reception signal adjustment unit 66 and then the tool input by the operator on the operation panel 11 from the reference data in the unclamped state stored in the storage unit 68. The reference data in the unclamped state associated with the 20 model data is selected. Subsequently, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data of the temperature correction signal matches the selected reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in an unclamped state. On the other hand, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data does not match the reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in an undefined state.

また、工具未取付状態を検出するためにPLC61は、所定の制御命令によって、前記第1所定時間が経過した後に主軸装置4を上下動あるいは前後移動させることで、前記装着孔21に装着された工具20を、工具マガジン9の保持部58に把持させる。これに続き前記所定の制御命令によって、主軸装置4を移動前の位置に復帰させて、図9に示す如く装着孔21に工具20を装着しない前記工具未取付状態にする制御を第2所定時間に亘って実行する。これと共にPLC61は、皿バネ23(図4参照。)の付勢力で、ドローバー6に接続された被検出体7を、磁界H3(図13参照。)内でセンサ部8の下方側を水平に主軸5の軸方向後方側(図10の右側)へ横切るように移動させると共に、図10に示す如く前記後方側へ付勢させる制御を第2所定時間に亘って実行する。このとき図10に示すように、図8に示したアンクランプ状態よりも磁界H3に対して被検出体7がオーバーラップする部分が減少した状態で、マイクロコンピュータ67は、発振器62を動作させて受信信号調整部66から温度補正信号の振幅データを受信する。図10に示すように前記オーバーラップする部分が減少することで、アンクランプ状態よりも渦電流損が減少する結果、工具未取付状態における温度補正信号の振幅は、アンクランプ状態における前記振幅よりも大きくなる。したがって、被検出体7が主軸5の軸方向で磁界3内を前記アンクランプ状態に対応する位置から前記工具未取付状態に対応する位置へ移動すると、前記温度補正信号の振幅(各励磁コイル45,48の両端電圧の振幅)が変化するため、該温度補正信号の振幅の違いから、主軸5の軸方向における被検出体7の位置を精密に検出することが可能になる。なお、主軸5の軸方向は本発明の被検出体の移動方向の一例である。   Further, in order to detect the unattached state of the tool, the PLC 61 is mounted in the mounting hole 21 by moving the spindle device 4 up and down or back and forth after the first predetermined time has elapsed according to a predetermined control command. The tool 20 is gripped by the holding portion 58 of the tool magazine 9. Subsequently, the spindle device 4 is returned to the position before the movement by the predetermined control command, and the tool is not mounted in the mounting hole 21 as shown in FIG. To run. At the same time, the PLC 61 causes the detected body 7 connected to the draw bar 6 to move horizontally below the sensor unit 8 in the magnetic field H3 (see FIG. 13) by the biasing force of the disc spring 23 (see FIG. 4). A control for moving the main shaft 5 rearward in the axial direction (right side in FIG. 10) and energizing the rearward side as shown in FIG. 10 is performed over a second predetermined time. At this time, as shown in FIG. 10, the microcomputer 67 operates the oscillator 62 in a state in which the portion where the detected object 7 overlaps the magnetic field H3 is smaller than the unclamped state shown in FIG. The amplitude data of the temperature correction signal is received from the reception signal adjustment unit 66. As shown in FIG. 10, as the overlapping portion is reduced, the eddy current loss is reduced as compared with the unclamped state. As a result, the amplitude of the temperature correction signal in the tool unattached state is larger than the amplitude in the unclamped state growing. Therefore, when the detected object 7 moves in the magnetic field 3 in the axial direction of the main shaft 5 from the position corresponding to the unclamped state to the position corresponding to the tool non-attached state, the amplitude of each temperature correction signal (each exciting coil 45). , 48), the position of the detected object 7 in the axial direction of the main shaft 5 can be accurately detected from the difference in the amplitude of the temperature correction signal. The axial direction of the main shaft 5 is an example of the moving direction of the detected object of the present invention.

そしてマイクロコンピュータ67は、前記温度補正信号の振幅データを受信した後に、記憶部68に記憶された工具未取付状態における基準データの内から、操作者が操作盤11で入力した工具20の型式データに関連付けられた工具未取付状態における基準データを選択する。続いてマイクロコンピュータ67は、前記振幅データが該基準データと一致すると判断すると、マシニングセンタ1が工具未取付状態であると判定する。一方マイクロコンピュータ67は、前記振幅データが前記基準データと一致しないと判断すると、マシニングセンタ1が未定義状態であると判定する。   Then, after receiving the amplitude data of the temperature correction signal, the microcomputer 67 stores the model data of the tool 20 input by the operator on the operation panel 11 from the reference data stored in the storage unit 68 when the tool is not attached. The reference data in the tool unattached state associated with is selected. Subsequently, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data matches the reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in a tool unattached state. On the other hand, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data does not match the reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in an undefined state.

さらに、クランプ状態を検出するためにPLC61は、所定の制御命令によって、前記第2所定時間が経過した後に主軸装置4を上下動あるいは前後移動させることで、図5に示す如く再度前記型式に対応する工具20を装着孔21に装着する制御を第3所定時間に亘って実行する。これと共にPLC61は、皿バネ23の付勢力で被検出体7を磁界H3(図13参照。)内でセンサ部8の下方側を水平に主軸5の軸方向後方側(図6の右側)へ横切るように移動させると共に、図5に示す如く係合突起32で係合爪部33が装着孔21に引き込まれることで、前記クランプ状態にする制御を第3所定時間に亘って実行する。このとき図6に示すように、図10に示した工具未取付状態よりも磁界H3に対して被検出体7がオーバーラップする部分が増加した状態でかつ図8に示したアンクランプ状態よりも前記オーバーラップする部分が減少した状態で、マイクロコンピュータ67は、発振器62を動作させて受信信号調整部66から温度補正信号の振幅データを受信する。クランプ状態における温度補正信号の振幅は、工具未取付状態における前記振幅よりも小さくかつアンクランプ状態における前記振幅よりも大きくなる。マイクロコンピュータ67は、前記振幅データを受信した後に、記憶部68に記憶されたクランプ状態における基準データの内から、操作者が操作盤11で入力した工具20の型式データに関連付けられたクランプ状態における基準データを選択する。続いてマイクロコンピュータ67は、前記振幅データが該基準データと一致すると判断すると、マシニングセンタ1がクランプ状態であると判定する。一方マイクロコンピュータ67は、前記振幅データが前記基準データと一致しないと判断すると、マシニングセンタ1が未定義状態であると判定する。   Furthermore, in order to detect the clamping state, the PLC 61 again responds to the above type as shown in FIG. 5 by moving the spindle device 4 up and down or moving back and forth after the second predetermined time has elapsed according to a predetermined control command. Control for mounting the tool 20 to be mounted on the mounting hole 21 is executed for a third predetermined time. At the same time, the PLC 61 causes the detected object 7 to move horizontally below the sensor unit 8 in the magnetic field H3 (see FIG. 13) by the biasing force of the disc spring 23 toward the axial rear side (right side in FIG. 6) of the main shaft 5. As shown in FIG. 5, the engagement claw 33 is pulled into the mounting hole 21 by the engagement protrusion 32 and the control to make the clamp state is executed for a third predetermined time. At this time, as shown in FIG. 6, the portion where the detected body 7 overlaps the magnetic field H3 is increased from the unattached state shown in FIG. 10 and more than the unclamped state shown in FIG. In a state where the overlapping portion is reduced, the microcomputer 67 operates the oscillator 62 to receive the amplitude data of the temperature correction signal from the reception signal adjustment unit 66. The amplitude of the temperature correction signal in the clamped state is smaller than the amplitude in the tool unmounted state and larger than the amplitude in the unclamped state. After receiving the amplitude data, the microcomputer 67 is in the clamp state associated with the model data of the tool 20 input by the operator on the operation panel 11 from the reference data in the clamp state stored in the storage unit 68. Select reference data. Subsequently, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data matches the reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in a clamped state. On the other hand, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data does not match the reference data, the microcomputer 67 determines that the machining center 1 is in an undefined state.

マイクロコンピュータ67は、各状態(アンクランプ状態、工具未取付状態、クランプ状態)の検出処理を実行した後に、各状態における振幅データが基準データと一致すると判断した場合には状態識別信号(アンクランプ状態識別信号、工具未取付状態識別信号、クランプ状態識別信号)を、状態識別信号インターフェース71を通じてPLC61に出力する処理を実行する。一方、マイクロコンピュータ67は、前記各状態における振幅データが前記基準データと一致しないと判断した場合には状態識別信号(未定義状態識別信号)を、状態識別信号インターフェース71を通じてPLC61に出力する処理を実行する。   When the microcomputer 67 performs detection processing of each state (unclamped state, tool unattached state, clamped state) and determines that the amplitude data in each state matches the reference data, the state identification signal (unclamped) A process of outputting a state identification signal, a tool unattached state identification signal, a clamp state identification signal) to the PLC 61 through the state identification signal interface 71 is executed. On the other hand, when the microcomputer 67 determines that the amplitude data in each state does not match the reference data, the microcomputer 67 outputs a state identification signal (undefined state identification signal) to the PLC 61 through the state identification signal interface 71. Run.

加えてPLC61は、未定義状態識別信号を所定の時間を超えて受信すると、処理要求コマンドを有する通信データを、I/O通信によって受信ポート69(図12参照。)を介してマイクロコンピュータ67に送信することで、マイクロコンピュータ67から、送信ポート70(図12参照。)を介しI/O通信によって各状態(アンクランプ状態、クランプ状態、工具未取付状態)の振幅データをそれぞれ受信する。操作者は、前記各状態の振幅データの数値に基づいて、未定義状態であると判定された原因を予測する。この原因の一例としては、工具20をドローバー6の動作によって主軸5の前端にクランプしたときに、ワークの切削屑が、工具20と主軸5の装着孔21との間に挟まっていることが挙げられる。その他にも前記原因の一例として、ドローバー6の前後動に伴う摩耗や温度ドリフトによる信号のレベルの変動が挙げられる。   In addition, when the PLC 61 receives the undefined state identification signal beyond a predetermined time, the PLC 61 sends communication data having a processing request command to the microcomputer 67 via the reception port 69 (see FIG. 12) by I / O communication. By transmitting, the amplitude data of each state (unclamped state, clamped state, tool unattached state) is received from the microcomputer 67 via the transmission port 70 (see FIG. 12) by I / O communication. The operator predicts the cause determined to be in the undefined state based on the numerical value of the amplitude data of each state. As an example of the cause, when the tool 20 is clamped to the front end of the main shaft 5 by the operation of the draw bar 6, workpiece cutting waste is caught between the tool 20 and the mounting hole 21 of the main shaft 5. It is done. In addition, as an example of the cause, there are fluctuations in the signal level due to wear and temperature drift caused by the forward / backward movement of the draw bar 6.

<本実施形態の効果>
本実施形態では、主軸5の軸方向における被検出体7の移動を、両励磁コイル45,48の両端電圧の変化に置き換えることで、該両端電圧の違いから、主軸5の軸方向における被検出体7の位置を精密に検出することが可能になる。
<Effect of this embodiment>
In the present embodiment, the movement of the detected object 7 in the axial direction of the main shaft 5 is replaced with a change in the voltage between both the excitation coils 45 and 48, thereby detecting the detected object in the axial direction of the main shaft 5. It becomes possible to detect the position of the body 7 precisely.

また、受信信号調整部66は、第1の共振コイル43の周囲温度や第2の共振コイル46の周囲温度によって変化するセンサ部8の検出信号(各励磁コイル45,48の両端電圧)の振幅を、該周囲温度の影響を受けない振幅に補正して、温度補正信号を生成した。よって、温度補正信号の振幅が、各共振コイル43,46の周囲温度の変化によって影響を受けないため、該周囲温度の変化にかかわらず、前記温度補正信号の振幅の変化に基づいて、主軸5の軸方向における被検出体7の位置を正確に検出できる。   The reception signal adjusting unit 66 also detects the amplitude of the detection signal (the voltage across the excitation coils 45 and 48) of the sensor unit 8 that varies depending on the ambient temperature of the first resonance coil 43 and the ambient temperature of the second resonance coil 46. Was corrected to an amplitude not affected by the ambient temperature to generate a temperature correction signal. Therefore, since the amplitude of the temperature correction signal is not affected by the change in the ambient temperature of each resonance coil 43, 46, the main shaft 5 is based on the change in the amplitude of the temperature correction signal regardless of the change in the ambient temperature. The position of the detected object 7 in the axial direction can be accurately detected.

さらに、温度補正信号の振幅データに基づいて、主軸5の軸方向で各状態(アンクランプ状態、工具未取付状態、クランプ状態)に対応する被検出体7の位置を検出することで、前記各状態を検出できることはもとより、前記振幅データが前記各状態の基準データと一致しない場合には、前記各状態以外の状態(未定義状態)を検出することが可能になる。   Further, by detecting the position of the detected body 7 corresponding to each state (unclamped state, tool unattached state, clamped state) in the axial direction of the spindle 5 based on the amplitude data of the temperature correction signal, In addition to being able to detect a state, when the amplitude data does not match the reference data of each state, it is possible to detect a state other than each state (undefined state).

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく発明の趣旨を逸脱しない範囲内において構成の一部を適宜変更して実施できる。例えば上述した実施形態とは異なり、各磁気コア40,41の外径寸法や、第1の磁気コア40の中心軸と第2の磁気コア41の中心軸との間隔は、主軸5の軸方向に強い磁界H3を発生させることができる適宜の値に変更してもよい。また上述した実施形態では、センサ部8の検出面を被検出体7の上方で該被検出体7に近接させて配置したが、これに限らず、センサ部8の検出面を被検出体7の下方で該被検出体7に近接させて配置してもよい。さらに上述した実施形態では、各状態(アンクランプ状態、工具未取付状態、クランプ状態)を検出するために、マイクロコンピュータ67は、第1の励磁コイル45の両端電圧に対応する振幅データと第2の励磁コイル48の両端電圧に対応する振幅データとの双方を受信しているが、これに限らない。例えばマイクロコンピュータ67は、一方の前記振幅データのみを受信して、この振幅データに基づいて前記各状態を検出してもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be implemented by appropriately changing a part of the configuration without departing from the spirit of the invention. For example, unlike the embodiment described above, the outer diameter dimensions of the magnetic cores 40 and 41 and the distance between the central axis of the first magnetic core 40 and the central axis of the second magnetic core 41 are the axial directions of the main shaft 5. May be changed to an appropriate value that can generate a strong magnetic field H3. In the above-described embodiment, the detection surface of the sensor unit 8 is disposed above the detected body 7 and close to the detected body 7. However, the present invention is not limited to this, and the detection surface of the sensor unit 8 is used as the detected body 7. It may be arranged in the vicinity of the detected object 7 below the object. Further, in the above-described embodiment, in order to detect each state (unclamped state, tool unattached state, clamped state), the microcomputer 67 uses amplitude data corresponding to the voltage across the first exciting coil 45 and the second data. Both of the amplitude data corresponding to the voltage across the excitation coil 48 are received, but the present invention is not limited to this. For example, the microcomputer 67 may receive only one of the amplitude data and detect the states based on the amplitude data.

加えて上述した実施形態では、第1の共振コイル43と第2の共振コイル46との間に配置した1つのサーミスタ49で、両共振コイル43,46の周囲温度を検出したが、これに限らず、主軸5の軸方向で両共振コイル43,46の間に2つのサーミスタを配置して、第1の共振コイル43側のサーミスタで第1の共振コイル43の周囲温度を、第2の共振コイル46側のサーミスタで第2の共振コイル46の周囲温度を、それぞれ検出可能としてもよい。さらに加えて、サーミスタ49に代えて両共振コイル43,46の周囲温度を検出可能なダイオードを、主軸5の軸方向で両共振コイル43,46の間に1つ又は2つ配置してもよい。   In addition, in the above-described embodiment, the ambient temperature of both the resonance coils 43 and 46 is detected by one thermistor 49 disposed between the first resonance coil 43 and the second resonance coil 46. However, the present invention is not limited to this. First, two thermistors are arranged between the two resonance coils 43 and 46 in the axial direction of the main shaft 5, and the ambient temperature of the first resonance coil 43 is determined by the thermistor on the first resonance coil 43 side as the second resonance. The ambient temperature of the second resonance coil 46 may be detected by a thermistor on the coil 46 side. In addition, instead of the thermistor 49, one or two diodes capable of detecting the ambient temperature of the two resonance coils 43, 46 may be disposed between the two resonance coils 43, 46 in the axial direction of the main shaft 5. .

1・・マシニングセンタ、5・・主軸、6・・ドローバー、7・・被検出体、8・・センサ部、40・・第1の磁気コア、41・・第2の磁気コア、43・・第1の共振コイル、44・・第1のコンデンサ、45・・第1の励磁コイル、46・・第2の共振コイル、47・・第2のコンデンサ、48・・第2の励磁コイル、49・・サーミスタ、52・・第1の共振回路、53・・第2の共振回路、66・・受信信号調整部、H1・・第1の共振コイルが生じさせる磁界、H2・・第2の共振コイルが生じさせる磁界、H3・・第1の共振コイルが生じさせる磁界と第2の共振コイルが生じさせる磁界とを合成した磁界。   1 .. Machining center, 5 .. Spindle, 6 .. Drawbar, 7 .. Object to be detected, 8 .. Sensor part, 40.. First magnetic core, 41. 1 resonance coil, 44... First capacitor 45... First excitation coil 46.. Second resonance coil 47.. Second capacitor 48.. Second excitation coil 49. Thermistor, 52, First resonance circuit, 53, Second resonance circuit, 66, Reception signal adjustment unit, H1, Magnetic field generated by first resonance coil, H2, Second resonance coil A magnetic field generated by the first resonance coil and a magnetic field generated by the second resonance coil and a magnetic field generated by the second resonance coil.

Claims (3)

第1のコンデンサと共に第1の共振回路を構成する第1の共振コイル、該第1の共振コイルに隣り合って、前記第1の共振回路を励磁させる第1の励磁電流が流れる第1の励磁コイルがそれぞれ巻回された第1の磁気コアと、
第2のコンデンサと共に第2の共振回路を構成する第2の共振コイル、該第2の共振コイルに隣り合って、前記第1の励磁電流とは逆相で前記第2の共振回路を励磁させる第2の励磁電流が流れる第2の励磁コイルがそれぞれ巻回された第2の磁気コアと、を備え、
前記第1の磁気コアと前記第2の磁気コアとを、磁性を有する金属からなる被検出体の移動方向に所定の距離をおいて対向配置して、
前記移動方向に、前記第1の励磁電流によって前記第1の共振コイルから発生する磁界と、前記第2の励磁電流によって前記第2の共振コイルから発生する磁界と、によって合成磁界を形成して、
前記被検出体が前記合成磁界内を移動することで、前記第1の励磁コイルと前記第2の励磁コイルとの少なくとも一方に生じる電気的特性の変化に基づいて、前記移動方向における前記被検出体の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。
A first resonance coil that forms a first resonance circuit together with a first capacitor, and a first excitation current that flows adjacent to the first resonance coil and that excites the first resonance circuit. A first magnetic core with each coil wound thereon;
A second resonance coil that forms a second resonance circuit together with a second capacitor, and the second resonance circuit is excited adjacent to the second resonance coil in a phase opposite to that of the first excitation current. A second magnetic core around which a second exciting coil through which a second exciting current flows is wound,
The first magnetic core and the second magnetic core are arranged to face each other with a predetermined distance in the moving direction of the detection object made of metal having magnetism,
In the moving direction, a combined magnetic field is formed by a magnetic field generated from the first resonance coil by the first excitation current and a magnetic field generated from the second resonance coil by the second excitation current. ,
The detected object in the moving direction based on a change in electrical characteristics generated in at least one of the first exciting coil and the second exciting coil as the detected object moves in the combined magnetic field. A position detecting device for detecting the position of a body.
前記第1の共振コイル及び前記第2の共振コイルの各周囲温度を検出可能な温度検出手段と、
前記温度検出手段によって検出された各前記周囲温度に応じて、各前記周囲温度によって変化する前記電気的特性に対応する特性データを補正する補正手段と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
Temperature detecting means capable of detecting ambient temperatures of the first resonance coil and the second resonance coil;
The correction means which correct | amends the characteristic data corresponding to the said electrical characteristic which changes with each said ambient temperature according to each said ambient temperature detected by the said temperature detection means is provided. The position detection device described.
前記移動方向を、工作機械の主軸の軸方向として、
前記主軸の内部に前記軸方向へ移動可能に配置されて、該軸方向への移動によって前記主軸の前端に工具をクランプ又はアンクランプするドローバーに、前記被検出体を固定して、
前記ドローバーに固定された前記被検出体が、前記軸方向に形成された前記合成磁界内を移動することで生じる前記電気的特性の変化に基づいて、前記軸方向における前記被検出体の位置を検出することを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出装置。
The moving direction as the axial direction of the main axis of the machine tool,
The object to be detected is fixed to a draw bar that is arranged inside the main shaft so as to be movable in the axial direction, and clamps or unclamps a tool on the front end of the main shaft by movement in the axial direction.
Based on the change in the electrical characteristics caused by the detected object fixed to the draw bar moving in the combined magnetic field formed in the axial direction, the position of the detected object in the axial direction is determined. The position detection apparatus according to claim 1, wherein the position detection apparatus detects the position.
JP2012230069A 2012-10-17 2012-10-17 Position detection device Pending JP2014081303A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016139726A1 (en) * 2015-03-02 2016-09-09 株式会社牧野フライス製作所 Method for evaluating tool installation, and machine tool
WO2018003460A1 (en) * 2016-06-28 2018-01-04 株式会社日立ハイテクファインシステムズ Rail inspection system
KR20220141054A (en) * 2021-04-12 2022-10-19 주식회사 쎈텍 Magnetostriction type device for measuring water level

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016139726A1 (en) * 2015-03-02 2016-09-09 株式会社牧野フライス製作所 Method for evaluating tool installation, and machine tool
JPWO2016139726A1 (en) * 2015-03-02 2017-09-28 株式会社牧野フライス製作所 Tool mounting evaluation method and machine tool
CN107405749A (en) * 2015-03-02 2017-11-28 株式会社牧野铣床制作所 Cutting tool installation manner evaluation method and lathe
US10239176B2 (en) 2015-03-02 2019-03-26 Makino Milling Machine Co., Ltd. Method for evaluating tool installation, and machine tool
CN107405749B (en) * 2015-03-02 2019-04-09 株式会社牧野铣床制作所 Cutting tool installation manner evaluation method and lathe
WO2018003460A1 (en) * 2016-06-28 2018-01-04 株式会社日立ハイテクファインシステムズ Rail inspection system
JP2018004295A (en) * 2016-06-28 2018-01-11 株式会社日立ハイテクファインシステムズ Rail inspection system
US10739311B2 (en) 2016-06-28 2020-08-11 Hitachi High-Tech Fine Systems Corporation Rail inspection system
KR20220141054A (en) * 2021-04-12 2022-10-19 주식회사 쎈텍 Magnetostriction type device for measuring water level
KR102481273B1 (en) * 2021-04-12 2022-12-26 주식회사 쎈텍 Magnetostriction type device for measuring water level

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