JP2014060104A - Organic el element and method for manufacturing the same - Google Patents

Organic el element and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2014060104A
JP2014060104A JP2012205568A JP2012205568A JP2014060104A JP 2014060104 A JP2014060104 A JP 2014060104A JP 2012205568 A JP2012205568 A JP 2012205568A JP 2012205568 A JP2012205568 A JP 2012205568A JP 2014060104 A JP2014060104 A JP 2014060104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
organic
organic light
layer
film thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012205568A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Kayane
博之 茅根
Hironori Ishikawa
宏典 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2012205568A priority Critical patent/JP2014060104A/en
Publication of JP2014060104A publication Critical patent/JP2014060104A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: an organic EL element having no luminous unevenness by forming an organic light emitting layer and a light emitting auxiliary layer in a light emitting pixel part surrounded by a partition wall using a wet film forming method and an organic light emitting medium layer high in flatness with no film thickness difference, uniform and high in accuracy within the light emitting pixel part; and a method for manufacturing the organic EL element.SOLUTION: An organic EL element comprises light emitting pixel parts surrounded by a partition wall between a first electrode formed in a pattern shape on a substrate and a patterned second electrode provided to face the first electrode, and two-dimensionally arranged. Each light emitting pixel part comprises an organic light emitting layer and a light emitting auxiliary layer, and is formed by dissolving or dispersing an organic light emitting material and a light emitting auxiliary material into a solvent and using a wet film formation method. When a film thickness of the partition wall is denoted as A and the film thickness of an organic light emitting medium layer is denoted as B, a relation of 5≤film thickness A/film thickness B≤100 is satisfied.

Description

本発明は情報表示端末などのディスプレイへの用途が期待される有機エレクトロルミネッセンス素子(以下有機EL素子と略称)及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an organic electroluminescence element (hereinafter abbreviated as an organic EL element) expected to be used for a display such as an information display terminal, and a method for producing the same.

有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ(以下有機ELディスプレイと略称)は、基板上に少なくとも陽極と有機発光層と陰極とを含み、電極間に電界をかけることにより前記有機発光層に電子と正孔を注入し発光させる有機EL素子からなる。   An organic electroluminescence display (hereinafter abbreviated as an organic EL display) includes at least an anode, an organic light emitting layer, and a cathode on a substrate, and emits light by injecting electrons and holes into the organic light emitting layer by applying an electric field between the electrodes. It consists of an organic EL element to be made.

有機EL素子は自発光型素子であることから、液晶ディスプレイのようにバックライトを用いなくても表示が可能である。また素子構造が単純であるため、薄くて軽量な素子を作製することができ、現在活発に研究が行われている。一般的な有機EL素子は、陽極と陰極間に有機発光層だけでなく、発光補助層を備えている場合もある。発光補助層としては、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層等がある。   Since the organic EL element is a self-luminous element, it can be displayed without using a backlight like a liquid crystal display. In addition, since the element structure is simple, a thin and lightweight element can be manufactured, and active research is currently underway. A general organic EL element may include not only an organic light emitting layer but also a light emission auxiliary layer between an anode and a cathode. Examples of the light emission auxiliary layer include a hole transport layer, a hole injection layer, an electron transport layer, and an electron injection layer.

有機EL素子の有機発光層に用いられる有機発光材料には、低分子材料と高分子材料とがあり、一般に低分子材料は蒸着法等の真空成膜法(ドライコーティング法)により薄膜形成される。しかし、フルカラーの有機ELディスプレイを製造する場合、例えば、R(赤)、G(緑)、B(青)といった3色の異なる発光を有する有機EL素子からなる場合には、有機発光層を画素ごとにパターン形成する必要がある。真空成膜法により有機発光層のパターニングを行う場合には、微細パターンを有する蒸着マスクを用いる。蒸着マスクを用いてパターニングを行う方法では、基板の大型化に伴いパターニング精度を得難いという問題がある。また、ドライコーティング法であるため、基板表面上の異物や突起を十分に被覆できず、ショートが発生しやすいなどの問題もある。また、有機発光層以外の発光補助層についても同様の問題が生じる。   Organic light-emitting materials used for the organic light-emitting layer of organic EL elements include low-molecular materials and high-molecular materials, and low-molecular materials are generally formed into thin films by vacuum film-forming methods (dry coating methods) such as vapor deposition. . However, when a full-color organic EL display is manufactured, for example, in the case of organic EL elements having three different colors of light emission such as R (red), G (green), and B (blue), the organic light emitting layer is a pixel. It is necessary to form a pattern every time. When patterning the organic light emitting layer by a vacuum film forming method, a vapor deposition mask having a fine pattern is used. In the method of patterning using a vapor deposition mask, there is a problem that it is difficult to obtain patterning accuracy as the substrate becomes larger. In addition, since it is a dry coating method, there is a problem that foreign matter and protrusions on the surface of the substrate cannot be sufficiently covered, and a short circuit is likely to occur. Moreover, the same problem arises also about light emission auxiliary layers other than an organic light emitting layer.

そこで、有機発光材料を溶媒に溶解もしくは分散させてインキ(塗工液)を作り、これを塗布法や印刷法といったウェットコーティング法にて膜形成する方法が試みられている。ウェットコーティング法を用いることによって、均一かつ高速に薄膜形成が可能となり、特に大型基板を用いる製造プロセスにおいて、大量生産品のコストダウンが可能となるため盛んに研究開発が行われている。   Therefore, an attempt has been made to form an ink (coating liquid) by dissolving or dispersing an organic light emitting material in a solvent and forming a film by a wet coating method such as a coating method or a printing method. By using the wet coating method, it is possible to form a thin film uniformly and at high speed. In particular, in a manufacturing process using a large substrate, it is possible to reduce the cost of mass-produced products.

塗布型有機発光材料を用いた有機EL素子の構造は、陽極/発光補助層/有機発光層/陰極の順に積層する構造とすることが一般的であり、陽極、陰極といった電極を除いて、すべてウェットコーティング法により作製することが可能である。薄膜を形成するためのウェットコーティング法としては、スリットコート法、スピンコート法、バーコート法、ディップコート法、吐出コート法、ロールコート法などの塗布法や、凸版印刷法、インクジェット法、凹版印刷法といった印刷法などがある。   The structure of the organic EL element using the coating type organic light emitting material is generally a structure in which anode / light emitting auxiliary layer / organic light emitting layer / cathode is laminated in this order. It can be produced by a wet coating method. Examples of wet coating methods for forming thin films include slit coating, spin coating, bar coating, dip coating, discharge coating, roll coating, and other coating methods, letterpress printing, ink jet printing, and intaglio printing. There are printing methods.

特に、有機発光層を、画素ごとにR(赤)、G(緑)、B(青)の3色の異なる発光色を有するように塗り分けるには、印刷法による選択的膜形成が有力な製造方法である。   In particular, selective film formation by the printing method is effective for coating the organic light-emitting layer so as to have three different emission colors of R (red), G (green), and B (blue) for each pixel. It is a manufacturing method.

各種印刷法の中でも、グラビア印刷法のように硬質の印刷版を用いる方法はガラスを基板とする有機EL素子には不向きである。また、弾性を有するゴムブランケットを用いるオフセット印刷では、ゴムブランケットが有機発光材料の溶剤である芳香族系溶媒によって膨潤しやすいため、高精度に安定して印刷することが難しい。一方、樹脂版を用いる凸版印刷法はオフセット印刷に見られる版の膨潤がなく、また、樹脂が弾性を有するため、
ガラス基板への印刷も可能である。そのため、凸版印刷法は有機EL素子製造方法として最も適している。
Among various printing methods, a method using a hard printing plate such as a gravure printing method is not suitable for an organic EL element having a glass substrate. Further, in offset printing using a rubber blanket having elasticity, the rubber blanket is easily swelled by an aromatic solvent that is a solvent of the organic light emitting material, so that it is difficult to stably print with high accuracy. On the other hand, the relief printing method using a resin plate does not swell the plate seen in offset printing, and the resin has elasticity,
Printing on a glass substrate is also possible. Therefore, the relief printing method is most suitable as a method for producing an organic EL element.

凸版印刷法によって作製される有機EL素子においては、特許文献1に示すように、隣接する画素を分割する画素隔壁が設けられる。通常、画素隔壁は感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィー法によりパターン形成される。画素隔壁を設けることによって、画素領域の正確な区分けと隣接画素間における混色の防止、リーク電流の防止、TFT回路や電極線等の凹凸を軽減するなどの効果があり、また、基板回路上に設けられた薄膜トランジスタなどの駆動素子に対する保護効果も期待できる。   In the organic EL element produced by the relief printing method, as shown in Patent Document 1, a pixel partition that divides adjacent pixels is provided. Usually, the pixel partition is patterned by a photolithography method using a photosensitive resin. Providing a pixel partition has effects such as accurate segmentation of the pixel area and prevention of color mixing between adjacent pixels, prevention of leakage current, and reduction of irregularities such as TFT circuits and electrode lines. A protective effect for a driving element such as a provided thin film transistor can also be expected.

画素隔壁の膜厚は凸版印刷法によって成膜される有機発光層の膜厚や画素内形状に寄与する。有機発光層の成膜形状が悪化すると画素内で膜厚差が生じ、発光輝度ムラにつながる問題がある。   The film thickness of the pixel partition contributes to the film thickness of the organic light emitting layer formed by the relief printing method and the shape within the pixel. When the film formation shape of the organic light emitting layer is deteriorated, a difference in film thickness occurs in the pixel, which causes a problem of uneven emission luminance.

有機EL素子を効率よく発光させるには有機発光層の膜厚が重要であり、0.1μm程度の薄膜形成が必要である。そのため、凸版印刷法により有機発光層を所望の膜厚に成膜し、かつ、成膜形状を平坦化するための隔壁膜厚設計が必要となる。   In order for the organic EL element to emit light efficiently, the film thickness of the organic light emitting layer is important, and it is necessary to form a thin film of about 0.1 μm. Therefore, it is necessary to design a partition wall thickness for forming the organic light emitting layer in a desired film thickness by the relief printing method and flattening the film formation shape.

特開2001‐155858号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-155858

上記問題を解決するための課題は、隔壁にて囲まれた発光画素部に、湿式成膜法により、有機発光層と発光補助層を、発光画素内に、平坦性が高く膜厚差がなく、均一で、精度高い有機発光層を形成し、発光ムラのない有機EL素子及びその製造方法を提供することにある。   The problem to solve the above problem is that the organic light emitting layer and the light emitting auxiliary layer are formed in the light emitting pixel portion surrounded by the partition wall by a wet film forming method, and the light emitting pixel has high flatness and no film thickness difference. It is to provide an organic EL device having a uniform and highly accurate organic light-emitting layer and free from light emission unevenness, and a method for manufacturing the same.

上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、基板上にパターン状に形成された第1電極と、第1電極と対向するように設けられた、第2電極との間に、隔壁により囲まれ、2次元状に配列された発光画素部が設けられた有機EL素子であって、
前記発光画素部が、有機発光層と発光補助層からなる有機発光媒体層により構成されており、
この有機発光層と発光補助層が、有機発光材料及び発光補助材料を溶媒に溶解、または分散させ、湿式成膜法により形成されたものであり、
前記隔壁の膜厚を膜厚A、前記有機発光媒体層の膜厚を膜厚Bとし、5≦膜厚A/膜厚B≦100を満たすことを特徴とする有機EL素子である。
As means for solving the above-mentioned problems, the invention described in claim 1 includes a first electrode formed in a pattern on a substrate, and a second electrode provided so as to face the first electrode. An organic EL element provided with a light emitting pixel portion surrounded by a partition wall and arranged in a two-dimensional manner,
The light emitting pixel portion is composed of an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer,
The organic light emitting layer and the light emitting auxiliary layer are formed by dissolving or dispersing the organic light emitting material and the light emitting auxiliary material in a solvent and formed by a wet film forming method.
The organic EL element is characterized in that the thickness of the partition wall is A and the thickness of the organic light emitting medium layer is B, and 5 ≦ film thickness A / film thickness B ≦ 100 is satisfied.

また、請求項2に記載の発明は、前記隔壁の膜厚が0.5μm≦膜厚A≦4.0μmで、前記有機発光媒体層の膜厚が膜厚B≦0.2μmであることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子である。   According to a second aspect of the present invention, the partition wall thickness is 0.5 μm ≦ film thickness A ≦ 4.0 μm, and the organic light emitting medium layer thickness is B ≦ 0.2 μm. It is an organic EL element of Claim 1 characterized by the above-mentioned.

また、請求項3に記載の発明は、前記隔壁が、有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して、水平方向及び垂直方向に形成されており、
前記有機発光媒体層の膜厚を膜厚Bとし、前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して平行方向に設けられた隔壁の膜厚を膜厚Cとし、5≦膜厚C/膜厚B≦100を満たすことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機EL素子である。
Further, in the invention according to claim 3, the partition is formed in a horizontal direction and a vertical direction with respect to a film forming direction of a wet film forming method for forming an organic light emitting medium layer,
The film thickness of the organic light emitting medium layer is defined as film thickness B, and the film thickness of the partition provided in the direction parallel to the film forming direction of the wet film forming method for forming the organic light emitting medium layer is defined as film thickness C. The organic EL element according to claim 1, wherein ≦ film thickness C / film thickness B ≦ 100 is satisfied.

また、請求項4に記載の発明は、前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して平行方向に設けられた隔壁の膜厚が0.5μm≦膜厚C≦4.0μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機EL素子である。   According to a fourth aspect of the present invention, the thickness of the partition provided in a direction parallel to the film forming direction of the wet film forming method for forming the organic light emitting medium layer is 0.5 μm ≦ film thickness C ≦ 4. It is 0.0 micrometer, It is an organic EL element as described in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.

また、請求項5に記載の発明は、前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法が凸版印刷方式であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL素子である。   The invention according to claim 5 is the organic EL element according to any one of claims 1 to 4, wherein the wet film-forming method for forming the organic light emitting medium layer is a relief printing method. It is.

また、請求項6に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL素子の有機発光媒体層を、有機発光材料及び発光補助材料を溶媒に溶解又は分散させ、形成する湿式成膜法が、凸版印刷方式であることを特徴する有機EL素子の製造方法である。   The invention according to claim 6 is formed by dissolving or dispersing the organic light emitting medium layer of the organic EL element according to any one of claims 1 to 4 in a solvent of an organic light emitting material and a light emitting auxiliary material. The method of manufacturing an organic EL element is characterized in that the wet film forming method is a relief printing method.

本発明によると、有機発光層と発光補助層を、湿式成膜法を用いて基板上に形成する場合に、パターン化された第1電極上に形成される発光画素部の隔壁膜厚と有機発光層と発光補助層の膜厚の適正化、または、成膜方向に対して平行方向に配置される画素隔壁膜厚と有機発光層膜厚と発光補助層膜厚の適正化により、各発光画素内における有機発光媒体層形状の平坦性が向上する。そのため、画素内での発光輝度均一性が向上し、発光ムラのない有機EL素子の製造が可能となる。   According to the present invention, when the organic light emitting layer and the light emission auxiliary layer are formed on the substrate using a wet film forming method, the partition wall thickness of the light emitting pixel portion formed on the patterned first electrode and the organic By optimizing the film thickness of the light emitting layer and the light emitting auxiliary layer, or by optimizing the film thickness of the pixel partition, the organic light emitting layer, and the light emitting auxiliary layer arranged in parallel to the film forming direction, The flatness of the organic light emitting medium layer shape in the pixel is improved. Therefore, the light emission luminance uniformity within the pixel is improved, and an organic EL element without light emission unevenness can be manufactured.

また、画素隔壁の膜厚によって、所望の有機発光媒体層膜厚における成膜形状を制御できることから、特に凸版印刷法においては成膜に必要となる部材を所望の有機発光媒体層膜厚ごとに用意する必要がないため、コストダウンが可能となる。   In addition, since the film formation shape at a desired organic light emitting medium layer film thickness can be controlled by the film thickness of the pixel partition wall, the members necessary for film formation are particularly determined for each desired organic light emitting medium layer film thickness in the relief printing method. Since it is not necessary to prepare, the cost can be reduced.

本発明の有機EL素子の概略構造を説明するための断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram for demonstrating the schematic structure of the organic EL element of this invention. 本発明の実施の形態における有機EL素子画素隔壁に有機発光層を成膜した際の形状を示す平面図の一例である。It is an example of the top view which shows the shape at the time of forming an organic light emitting layer in the organic EL element pixel partition in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における有機EL素子画素隔壁形成後の模式図の一例である。It is an example of the schematic diagram after organic EL element pixel partition formation in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における有機EL素子画素隔壁形成後の模式図の一例である。It is an example of the schematic diagram after organic EL element pixel partition formation in embodiment of this invention. 本発明の実施の形態における有機EL素子画素隔壁形成後の模式図の一例である。It is an example of the schematic diagram after organic EL element pixel partition formation in embodiment of this invention. 本発明の画素隔壁内に有機発光層及び発光補助層を成膜するための凸版印刷機の概念図である。It is a conceptual diagram of the relief printing machine for forming an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer in the pixel partition wall of the present invention. 本発明の比較例における画素隔壁内に有機発光層を成膜した際の形状を示す平面図の一例である。It is an example of the top view which shows the shape at the time of forming an organic light emitting layer in the pixel partition in the comparative example of this invention. 本発明の比較例における画素隔壁内に有機発光層を成膜した際の形状を示す平面図の一例である。It is an example of the top view which shows the shape at the time of forming an organic light emitting layer in the pixel partition in the comparative example of this invention.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、本発明はこれに限るものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to this.

図1は、本発明の有機EL素子の概略構造の一例を説明するための断面模式図である。基板101上に、陽極となる第一電極102、正孔輸送層104、有機発光層105、陰極となる第二電極106を備える。このように陽極102と陰極106との間に有機発光層105が設けられ、陽極102と有機発光層105との間に正孔輸送を行う発光補助層104が設けられる構造は有機EL素子発光部の代表的な構造である。また、陽極102
のパターン間には、画素隔壁103が設けられ、発光画素を仕切るとともに画素間の電気的絶縁を図る。基板101上に、陽極102、隔壁103、正孔輸送を行う発光補助層104、有機発光層105、陰極106が設けられた有機EL構成体は、さらに電極や有機発光層105を外部の環境から保護するための封止体107により覆われる。封止体107は、封止キャップ107a、接着剤107b、乾燥剤107cを備える。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for explaining an example of a schematic structure of the organic EL element of the present invention. On a substrate 101, a first electrode 102 serving as an anode, a hole transport layer 104, an organic light emitting layer 105, and a second electrode 106 serving as a cathode are provided. Thus, the structure in which the organic light emitting layer 105 is provided between the anode 102 and the cathode 106 and the light emission auxiliary layer 104 for transporting holes between the anode 102 and the organic light emitting layer 105 is provided is an organic EL element light emitting unit. This is a typical structure. Also, the anode 102
A pixel partition wall 103 is provided between the patterns to partition the light emitting pixels and to electrically insulate the pixels. In the organic EL structure in which the anode 102, the partition wall 103, the light emission auxiliary layer 104 for transporting holes, the organic light emitting layer 105, and the cathode 106 are provided on the substrate 101, the electrode and the organic light emitting layer 105 are further removed from the external environment. It is covered with a sealing body 107 for protection. The sealing body 107 includes a sealing cap 107a, an adhesive 107b, and a desiccant 107c.

また、本発明の有機EL素子においては、陽極と陰極の間には有機発光層05の他に発光補助層104を備える。発光補助層104としては、図1に示した前述の正孔輸送層の他に、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、等を挙げることができる。これらの発光補助層104は適宜選択され、複数選択してもよい。正孔注入層は陽極と有機発光層との間に設けられる。発光補助層104である電子注入層、電子輸送層は有機発光層105と陰極との間に設けられる。また、本発明の有機EL素子にあっては、陽極、陰極、有機発光層105、発光補助層104である正孔輸送層は単層構造ではなく、多層構造としてもよい。   In the organic EL device of the present invention, a light emission auxiliary layer 104 is provided in addition to the organic light emitting layer 05 between the anode and the cathode. Examples of the light emission auxiliary layer 104 include a hole injection layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like in addition to the above-described hole transport layer shown in FIG. These light emission auxiliary layers 104 are appropriately selected, and a plurality of them may be selected. The hole injection layer is provided between the anode and the organic light emitting layer. The electron injection layer and the electron transport layer which are the light emission auxiliary layer 104 are provided between the organic light emitting layer 105 and the cathode. In the organic EL device of the present invention, the positive hole transport layer that is the anode, the cathode, the organic light emitting layer 105, and the light emission auxiliary layer 104 may have a multilayer structure instead of a single layer structure.

また、本発明の有機EL素子においては、有機ELディスプレイとしての画像駆動方式が、パッシブマトリックス方式、アクティブマトリックス方式のどちらにも適用可能である。パッシブマトリックス方式とはストライプ状の陽極及び陰極を直交させるように対向させ、その交点を発光させる方式であるのに対し、アクティブマトリックス方式は画素ごとに薄膜トランジスタ(TFT)を形成した、いわゆるTFT基板を用いることにより、画素ごとに独立して発光する方式である。アクティブマトリックス方式有機ELディスプレイの場合、有機EL素子の陽極、陰極の一方の電極はTFT基板上に画素ごとに設けられ、もう一方の電極は画素全体に設けられる。   In the organic EL element of the present invention, the image driving method as an organic EL display can be applied to either a passive matrix method or an active matrix method. The passive matrix method is a method in which stripe-shaped anodes and cathodes are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and light is emitted at the intersection. On the other hand, the active matrix method is a so-called TFT substrate in which a thin film transistor (TFT) is formed for each pixel. By using this, light is emitted independently for each pixel. In the case of an active matrix type organic EL display, one of the anode and cathode of the organic EL element is provided for each pixel on the TFT substrate, and the other electrode is provided for the entire pixel.

また、本発明の有機EL素子においては、表示のための光の取り出し方から2種類に大別され、発光した光を基板側から取り出すボトムエミッション方式と、発光した光を基板と反対側から取り出すトップエミッション方式とのいずれも可能である。ボトムエミッション方式の有機EL素子とする場合には、基板101及び第一電極(陽極)102が光透過性を有する必要があり、トップエミッション方式の有機EL素子とするためには、陰極及び封止体が光透過性を有する必要がある。   In addition, the organic EL device of the present invention is roughly classified into two types according to the method of extracting light for display. The bottom emission method for extracting emitted light from the substrate side and the emitted light from the side opposite to the substrate are extracted. Any of the top emission methods is possible. In the case of a bottom emission type organic EL element, the substrate 101 and the first electrode (anode) 102 need to have light transmittance, and in order to obtain a top emission type organic EL element, a cathode and a sealing element are required. The body needs to be light transmissive.

また、本発明の有機EL素子においては、図1とは逆に、基板上に、陰極となる第一電極、有機発光層105、正孔輸送層、陽極となる第二電極106の順に設けてもよい。有機発光層105と正孔輸送層等の発光補助層104とを総称して有機発光層と呼べば、いずれの場合も、基板上に、第一電極102、有機発光層、第二電極106の順に断面構成され、平面上の画素の区分けを別途作製する画素隔壁により行うものである。   In the organic EL device of the present invention, contrary to FIG. 1, a first electrode serving as a cathode, an organic light emitting layer 105, a hole transport layer, and a second electrode 106 serving as an anode are provided in this order on a substrate. Also good. When the organic light emitting layer 105 and the light emission auxiliary layer 104 such as a hole transport layer are collectively called an organic light emitting layer, in any case, the first electrode 102, the organic light emitting layer, and the second electrode 106 are formed on the substrate. Cross sections are formed in order, and pixel partitioning on a plane is performed by a separately manufactured pixel partition wall.

次に、図1に示した本発明の有機EL素子の製造方法について説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。   Next, a method for manufacturing the organic EL element of the present invention shown in FIG. 1 will be described. However, the present invention is not limited to these.

本発明にかかる基板101としては、絶縁性を有する基板であればいかなる基板も使用することができる。ただし、この基板側から光を出射するボトムエミッション方式の場合には、基板として透明なものを使用する必要がある。   As the substrate 101 according to the present invention, any substrate can be used as long as it is an insulating substrate. However, in the case of the bottom emission method in which light is emitted from the substrate side, it is necessary to use a transparent substrate.

例えば、上述の透明な基板101として、ガラス基板や石英基板が使用できる。また、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシートであっても良い。これら、プラスチックフィルムやシートに、金属酸化物薄膜、金属弗化物薄膜、金属窒化物薄膜、金属酸窒化物薄膜、あるいは高分子樹脂膜を積層したものを基板として利用するこ
とにより、水分やガスの透過を小さくして、素子の特性を安定化することができる。
For example, a glass substrate or a quartz substrate can be used as the transparent substrate 101 described above. Further, it may be a plastic film or sheet such as polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate. By using a plastic film or sheet laminated with a metal oxide thin film, metal fluoride thin film, metal nitride thin film, metal oxynitride thin film, or polymer resin film as a substrate, moisture or gas Transmission can be reduced and the characteristics of the element can be stabilized.

前記金属酸化物薄膜としては、酸化珪素、酸化アルミニウム等が例示できる。前記金属弗化物薄膜としては、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等が例示できる。前記金属窒化物薄膜としては、窒化珪素、窒化アルミニウム等が例示できる。また、前記高分子樹脂膜としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂等が例示できる。   Examples of the metal oxide thin film include silicon oxide and aluminum oxide. Examples of the metal fluoride thin film include aluminum fluoride and magnesium fluoride. Examples of the metal nitride thin film include silicon nitride and aluminum nitride. Examples of the polymer resin film include acrylic resin, epoxy resin, silicon resin, and polyester resin.

また、トップエミッション方式の場合には、不透明な基板を使用するコートもできる。例えば、シリコンウエハ、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、金属シート金属板等である。また、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属薄膜を積層させたものを用いることも可能である。   In the case of the top emission method, a coating using an opaque substrate can be performed. For example, a silicon wafer, a metal foil such as aluminum or stainless steel, a metal sheet metal plate, or the like. Moreover, it is also possible to use what laminated | stacked metal thin films, such as aluminum, copper, nickel, stainless steel, on the said plastic film and sheet | seat.

なお、上記各種の基板は、あらかじめ加熱処理を行うことにより、基板内部や表面に吸着した水分を極力低減することがより好ましい。また、基板上に積層される材料に応じて、密着性を向上させるために、超音波洗浄処理、コロナ放電処理、プラズマ処理、UVオゾン処理などの表面処理を施してから使用することが好ましい。   In addition, it is more preferable to reduce the moisture adsorbed on the inside or the surface of the various substrates as much as possible by performing a heat treatment in advance. Further, in order to improve the adhesion depending on the material to be laminated on the substrate, it is preferable to use after performing surface treatment such as ultrasonic cleaning treatment, corona discharge treatment, plasma treatment, UV ozone treatment.

また、前記基板上に薄膜トランジスタ(TFT)を形成して、駆動用基板としても良い。TFTの材料としては、ポリチオフェンやポリアニリン、銅フタロシアニンやペリレン誘導体等の有機TFTでもよく、また、アモルファスシリコンやポリシリコンTFTでもよい。また、前記基板のどちらかの面にカラ‐フィルタ層や光散乱層、光偏光層等を設けて基板としてよい。   Further, a thin film transistor (TFT) may be formed on the substrate to form a driving substrate. The TFT material may be an organic TFT such as polythiophene, polyaniline, copper phthalocyanine or perylene derivative, or may be amorphous silicon or polysilicon TFT. Further, a color filter layer, a light scattering layer, a light polarizing layer, or the like may be provided on either side of the substrate to form a substrate.

次に、この基板101上に、陽極となる第一電極102を形成する。陽極形成材料として、ITO(インジウムスズ複合酸化物)、IZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物が利用できる。被膜形成方法としてはドライコーティング方式が利用できる。例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等である。そして、真空製膜された金属酸化物被膜にフォトレジストを塗布して露光・現像し、ウェットエッチング又はドライエッチングして、パターン状に加工することができる。パッシブマトリックス方式の有機EL素子の場合には、陽極はストライプ状に形成される。アクティブマトリックス方式の有機EL素子の場合には、陽極はドット状にパターン形成される。   Next, a first electrode 102 serving as an anode is formed on the substrate 101. As the anode forming material, metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), IZO (indium zinc composite oxide), and zinc aluminum composite oxide can be used. As a film forming method, a dry coating method can be used. For example, resistance heating vapor deposition, electron beam vapor deposition, reactive vapor deposition, ion plating, and sputtering. Then, a photoresist can be applied to the vacuum-formed metal oxide film, exposed and developed, and processed into a pattern by wet etching or dry etching. In the case of a passive matrix organic EL element, the anode is formed in a stripe shape. In the case of an active matrix type organic EL element, the anode is patterned in a dot shape.

陽極を形成後、隣接する陽極パターンとの間に感光性材料を用いて、フォトリソグラフィ‐法により画素隔壁103が形成される。さらに詳しくは、感光性樹脂組成物を基板に塗布する工程と、パターン露光、現像、焼成して画素隔壁パターンを形成する工程と、を少なくとも有する。   After forming the anode, a pixel partition 103 is formed by photolithography using a photosensitive material between adjacent anode patterns. More specifically, it includes at least a step of applying a photosensitive resin composition to a substrate and a step of forming a pixel partition pattern by pattern exposure, development, and baking.

画素隔壁103を形成する感光性樹脂材料としてはポジ型レジスト、ネガ型レジストのどちらも可能であり、市販の材料を使用できるが、絶縁性を有する必要がある。画素隔壁が十分な絶縁性を有さない場合には画素隔壁を通じて隣り合う画素電極に電流が流れてしまい表示不良が発生する。感光性樹脂材料として、具体的にはポリイミド系、アクリル樹脂系、ノボラック樹脂系、フルオレン系といったものが挙げられるがこれに限定するものではない。この中でも感光性ポリイミドは耐熱性、耐溶剤性、低アウトガスなどの特性から最も好適である。また、有機ELディスプレイパネルの表示品位向上、および薄膜トランジスタの誤作動防止のため、光遮光性の材料を感光性材料に含有させても良い。   As the photosensitive resin material for forming the pixel partition wall 103, either a positive resist or a negative resist can be used, and a commercially available material can be used, but it needs to have insulating properties. If the pixel partition does not have sufficient insulation, a current flows through the pixel partition to the adjacent pixel electrode, resulting in a display defect. Specific examples of the photosensitive resin material include, but are not limited to, polyimide, acrylic resin, novolac resin, and fluorene. Among these, the photosensitive polyimide is most suitable from the characteristics such as heat resistance, solvent resistance and low outgas. Further, in order to improve the display quality of the organic EL display panel and to prevent malfunction of the thin film transistor, a light shielding material may be included in the photosensitive material.

画素隔壁103を形成する感光性樹脂はスピンコーター、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、グラビアコーター等の公知の塗布方法を用いて塗布される。次に、パ
ターン露光と現像により、画素隔壁パターンを形成する。
The photosensitive resin forming the pixel partition wall 103 is applied using a known coating method such as a spin coater, bar coater, roll coater, die coater, or gravure coater. Next, a pixel partition pattern is formed by pattern exposure and development.

本発明の有機EL素子の画素隔壁膜厚は、前記画素隔壁膜厚を膜厚A(図2)とした場合、後工程で湿式成膜法により形成する有機発光層膜厚を膜厚B(図2)とした場合、5≦膜厚A/膜厚B≦100を満たすように形成される。このとき、各画素を仕切る二方向の隔壁のうち成膜方向に対して平行な画素隔壁膜厚と、成膜方向に対して垂直な方向の画素隔壁膜厚とのいずれもが前記条件を満たすことが望ましいが、成膜方向に対して平行な画素隔壁膜厚が前記条件を満たすことでも本発明の効果を得ることができる。成膜方向に対して平行方向、垂直方向の画素隔壁幅に差をつけること、ハーフトーンマスクを使用すること、などの手法によって画素隔壁の膜厚に差を持たせることができる。   The pixel partition wall thickness of the organic EL element of the present invention is the thickness of the organic light-emitting layer formed by a wet film formation method in the subsequent step when the pixel partition film thickness is A (FIG. 2). 2), the film is formed so as to satisfy 5 ≦ film thickness A / film thickness B ≦ 100. At this time, both of the partition wall thickness in parallel to the film forming direction and the pixel partition wall thickness in the direction perpendicular to the film forming direction out of the two-direction partition walls partitioning each pixel satisfy the above conditions. However, the effect of the present invention can also be obtained when the pixel partition wall thickness parallel to the film forming direction satisfies the above conditions. The film thickness of the pixel partition can be made different by a method such as making a difference in the width of the pixel partition in the direction parallel to and perpendicular to the film forming direction, or using a halftone mask.

図3、4、5は、本発明の有機EL素子の画素隔壁の概略構造の一部を説明するための斜視模式図であり、基板110上に形成される画素隔壁のみを模式的に示す。画素隔壁は、発光画素部113の4辺に沿って、ブロック矢印で示す成膜方向に平行な画素隔壁111と成膜方向に垂直な画素隔壁112とから成る。本発明の有機EL素子の画素隔壁膜厚は、下部電極等の凹凸をカバーするという隔壁としての機能を確実に果たすために、厚みが0.5μm以上であることが望ましい。また、本発明の有機EL素子の画素隔壁膜厚は、湿式成膜法により形成する有機発光層を均一に成膜するために、4.0μm以下であることが望ましいがこれに限定されるものではない。   3, 4, and 5 are schematic perspective views for explaining a part of the schematic structure of the pixel partition wall of the organic EL element of the present invention, and schematically show only the pixel partition wall formed on the substrate 110. The pixel partition includes a pixel partition 111 parallel to the film forming direction indicated by the block arrow and a pixel partition 112 perpendicular to the film forming direction along the four sides of the light emitting pixel portion 113. The pixel partition wall thickness of the organic EL device of the present invention is desirably 0.5 μm or more in order to reliably function as a partition wall that covers unevenness such as the lower electrode. In addition, the pixel partition wall thickness of the organic EL element of the present invention is preferably 4.0 μm or less in order to uniformly form an organic light emitting layer formed by a wet film forming method, but is not limited thereto. is not.

上述のように画素隔壁を形成した後に、発光補助層104を形成する。正孔輸送層の形成材料としては、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4‐エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶコートができる。   After the pixel partition walls are formed as described above, the light emission auxiliary layer 104 is formed. As the material for forming the hole transport layer, polymer hole transport materials such as polyaniline, polythiophene, polyvinyl carbazole, a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid, polythiophene oligomer materials, and other existing materials A coat can be selected from among the hole transport materials.

これらの、正孔輸送層材料を溶解または分散する溶媒としては、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノ−ル、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独またはこれらの混合溶剤などが挙げられる。   These solvents for dissolving or dispersing the hole transport layer material include xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water, etc. Or a mixed solvent thereof.

前記インキの表面張力は35mN/m以下に調整することが望ましい。表面張力が35mN/mよりも大きくなると塗膜を塗布した直後からその表面張力により液のヨリが発生して均一な平坦面を損ねるためである。また溶媒が水を中心とする場合には、表面張力を下げるために水に対して10〜30vol%程度のアルコ‐ル類を入れるコートが望ましい。水に対するアルコールの濃度が30vol%を超えると水との蒸発速度差からムラが発生しやすくなり、さらに分散体の凝集などの問題が起こる。また、10vol%以下であると表面張力を下げるのに不十分である。以上のような溶媒を用いたインキの濃度は、通常0.01%〜10%程度、好ましくは0.1%〜3%固形分を含むように調整される。   The surface tension of the ink is desirably adjusted to 35 mN / m or less. This is because when the surface tension is greater than 35 mN / m, the liquid becomes distorted due to the surface tension immediately after the coating film is applied and the uniform flat surface is damaged. When the solvent is mainly water, a coat containing about 10 to 30% by volume of alcohol with respect to water is desirable to reduce the surface tension. If the concentration of alcohol with respect to water exceeds 30 vol%, unevenness tends to occur due to the difference in evaporation rate with water, and problems such as dispersion aggregation occur. Further, if it is 10 vol% or less, it is insufficient to lower the surface tension. The concentration of the ink using the solvent as described above is usually adjusted to include about 0.01% to 10%, preferably 0.1% to 3% solids.

以上のような溶媒にてインキ化された材料をウェットコート法によって基板に塗布する。ウェットコート法としては、スピンコート法、バーコート法、ディップコート法、吐出コート法、ロールコート法などの塗布法や、凸版印刷法、インクジェット法、凹版印刷法などの印刷法が挙げられる。   A material inked with the solvent as described above is applied to the substrate by wet coating. Examples of the wet coating method include spin coating methods, bar coating methods, dip coating methods, discharge coating methods, roll coating methods, and other coating methods, and letterpress printing methods, ink jet methods, intaglio printing methods, and the like.

上記手法にて塗布した膜は、速やかに乾燥を行うことが望ましい。乾燥はオ‐ブンやホットプレ‐トといった既知の加熱方法のいずれを用いてもよい。正孔輸送層の焼成温度は正孔輸送層がPEDOT/PSS(ポリチオフェン/ポリスチレンスルホン酸)の場合、130℃〜230℃で加熱することが好ましい。焼成温度が130℃未満では焼成条件としては低温であり、前記発光補助層104である正孔輸送層からの水分の蒸発不足などの問題が懸念され、水分が画素隔壁中に残ると発光材料が水分により汚染劣化されてしまう。また、230℃以上では焼成条件として高温であり、前記正孔輸送層が熱劣化してしまう危険がある。焼成時間は、水分の蒸発不足、発光効率への影響、生産性などを考慮して決定することが望ましい。また、乾燥する際に減圧下で乾燥してもよいし、窒素下で乾燥してもよい。   It is desirable that the film applied by the above method is quickly dried. For drying, any known heating method such as oven or hot plate may be used. When the hole transport layer is PEDOT / PSS (polythiophene / polystyrene sulfonic acid), the firing temperature of the hole transport layer is preferably heated at 130 ° C. to 230 ° C. If the firing temperature is less than 130 ° C., the firing condition is low, and there is a concern about problems such as insufficient evaporation of moisture from the hole transport layer as the light emission auxiliary layer 104. Contamination will be deteriorated by moisture. Moreover, if it is 230 degreeC or more, it is high temperature as baking conditions, and there exists a danger that the said positive hole transport layer will thermally deteriorate. It is desirable to determine the firing time in consideration of insufficient evaporation of moisture, influence on luminous efficiency, productivity, and the like. Moreover, when drying, you may dry under reduced pressure and may dry under nitrogen.

上記の加熱による発光補助層104である正孔輸送層の画素内形状を改善する工程の後、有機発光層105を形成する。有機発光層105は電流を通すことにより発光する層であり、有機発光層を形成する有機発光材料として、例えば、クマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’‐ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’‐ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系等の発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系、ポリフェニレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられる。   After the step of improving the in-pixel shape of the hole transport layer that is the light emission auxiliary layer 104 by the heating, the organic light emitting layer 105 is formed. The organic light emitting layer 105 is a layer that emits light by passing an electric current. Examples of organic light emitting materials that form the organic light emitting layer include coumarin, perylene, pyran, anthrone, porphyrene, quinacridone, N, N Luminescent dyes such as' -dialkyl-substituted quinacridone, naphthalimide, N, N'-diaryl-substituted pyrrolopyrrole, iridium complex, etc. dispersed in polymers such as polystyrene, polymethylmethacrylate, polyvinylcarbazole, etc. , Polyarylene-based, polyarylene vinylene-based, polyphenylene vinylene-based, and polyfluorene-based polymer materials.

これらの有機発光材料は、溶媒に溶解または安定に分散させ、有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解又は分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等の単独またはこれらの混合溶媒が挙げられる。中でも、トルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶剤が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには、必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されても良い。   These organic light emitting materials are dissolved or stably dispersed in a solvent to form an organic light emitting ink. Examples of the solvent for dissolving or dispersing the organic light-emitting material include toluene, xylene, acetone, anisole, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, or a mixed solvent thereof. Among these, aromatic organic solvents such as toluene, xylene, and anisole are preferable from the viewpoint of solubility of the organic light emitting material. Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

本発明においては、有機発光層105は凸版印刷法を用いて形成されることが望ましい。以下に、凸版印刷法について詳細に説明する。有機発光層105の一部又は全ての形成に用いることのできる凸版印刷法の版としては、水現像タイプの樹脂凸版を用いることが好ましい。このような樹脂版を構成する水現像タイプの感光性樹脂としては、例えば親水性のポリマーと不飽和結合を含むモノマーいわゆる架橋性モノマー及び光重合開始剤を構成要素とするタイプが挙げられる。このタイプでは、親水性ポリマ−としてポリアミド、ポリビニルアルコール、セルロース誘導体等が用いられる。また、架橋性モノマーとしては、例えばビニル結合を有するメタクリレート類が挙げられ、光重合開始剤としては、例えば芳香族カルボニル化合物が挙げられる。中でも、印刷適性の面からポリアミド系の水現像タイプの感光性樹脂が好適である。印刷版の凸部(画線部)は数十μmの高さであり、しかも弾性を有し、被印刷基板の画素隔壁はせいぜい数μmであるから、画素隔壁を十分に乗り越えて印刷を行うことができる。   In the present invention, the organic light emitting layer 105 is preferably formed using a relief printing method. Hereinafter, the relief printing method will be described in detail. As a relief printing plate that can be used to form part or all of the organic light emitting layer 105, it is preferable to use a water development type resin relief plate. Examples of the water-developable photosensitive resin constituting such a resin plate include a type having a hydrophilic polymer and a monomer containing an unsaturated bond, a so-called crosslinkable monomer and a photopolymerization initiator as constituent elements. In this type, polyamide, polyvinyl alcohol, cellulose derivatives and the like are used as the hydrophilic polymer. Examples of the crosslinkable monomer include methacrylates having a vinyl bond, and examples of the photopolymerization initiator include aromatic carbonyl compounds. Among these, a polyamide-based water-developable photosensitive resin is preferable from the viewpoint of printability. The convex portion (image portion) of the printing plate has a height of several tens of μm and is elastic, and the pixel partition of the substrate to be printed is at most several μm, so printing is performed by sufficiently overcoming the pixel partition. be able to.

有機発光媒体層の一部又は全ての形成に用いる印刷機は、被印刷基板607として平板を用いる方式の凸版印刷機であれば使用可能であるが、以下に示すような印刷機が望ましい。図6は、本発明の有機EL素子を作製するための凸版印刷機の概念図である。本製造装置は、インキチャンバー608とアニロックスロール601と、クッションテープ603を介して樹脂凸版604を取り付けした版胴605を有している。インキチャンバー608には、有機発光層形成用インキが収容されている。アニロックスロール601は、インキチャンバー608のインキ供給部及び版胴605に接して回転するようになっている。   A printing press used for forming part or all of the organic light emitting medium layer can be used as long as it is a relief printing press using a flat plate as the substrate to be printed 607, but a printing press as shown below is desirable. FIG. 6 is a conceptual diagram of a relief printing press for producing the organic EL element of the present invention. The manufacturing apparatus includes an ink chamber 608, an anilox roll 601, and a plate cylinder 605 to which a resin relief plate 604 is attached via a cushion tape 603. The ink chamber 608 contains an organic light emitting layer forming ink. The anilox roll 601 rotates in contact with the ink supply unit of the ink chamber 608 and the plate cylinder 605.

アニロックスロール601の回転に伴い、インキチャンバー608から供給された有機発光層形成用インキはドクターブレード602によってアニロックスロール601表面に均一に保持された後、版胴に取り付けた樹脂凸版604の凸部に均一な膜厚で転移する。さらに、被印刷基板607は摺動可能な基板固定台(ステージ)606上に固定され、版
のパターンと被印刷基板のパターンの位置調整機構(図示せず)により、位置調整しながら印刷開始位置まで移動して、版胴605の回転に合わせて樹脂凸版604の凸部が基板101に接しながらさらに移動し、基板101の所定位置にインキを転移し、有機発光層105をパターニングする。
With the rotation of the anilox roll 601, the organic light emitting layer forming ink supplied from the ink chamber 608 is uniformly held on the surface of the anilox roll 601 by the doctor blade 602, and then on the convex portion of the resin relief plate 604 attached to the plate cylinder. Transition with uniform film thickness. Further, the printing substrate 607 is fixed on a slidable substrate fixing stage (stage) 606, and the printing start position is adjusted while the position is adjusted by a position adjustment mechanism (not shown) of the pattern of the plate and the printing substrate pattern. As the plate cylinder 605 rotates, the convex portions of the resin relief plate 604 further move while in contact with the substrate 101, transfer ink to a predetermined position of the substrate 101, and pattern the organic light emitting layer 105.

次に、乾燥後、第二電極(陰極)106を形成する。陰極層の材料としては、有機発光層105への電子注入効率の高い物質を用いる。具体的には、Mg、Al、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。又は、電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg、AlLi、CuLi等の合金が使用できる。第二電極(陰極)106を透光性電極層として利用する場合には、仕事関数が低いLi、Caを薄く設けた後に、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物を積層してもよく、前記有機発光層105に、仕事関数が低いLi,Caなどの金属を少量ドーピングして、ITOなどの金属酸化物を積層してもよい。   Next, after drying, a second electrode (cathode) 106 is formed. As a material for the cathode layer, a substance having high electron injection efficiency into the organic light emitting layer 105 is used. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface contacting the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is placed. You may use it, laminating | stacking. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, An alloy system with a metal element such as Al or Cu may be used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. When the second electrode (cathode) 106 is used as a translucent electrode layer, a thin work piece of Li or Ca having a low work function is provided, and then ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, or zinc aluminum is used. A metal composite oxide such as a composite oxide may be laminated, or a metal oxide such as ITO may be laminated on the organic light emitting layer 105 by doping a small amount of a metal such as Li or Ca having a low work function. Good.

第二電極(陰極)106の形成方法は、上述の材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビ‐ム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いるコートができる。第二電極(陰極)106の厚さに特に制限はないが、10nm〜1000nm程度が望ましい。第二電極(陰極)106の膜厚が10nm未満であると膜のピンホールが十分に埋められずショートの原因となる。また1000nmより大きいと製膜時間が長くなり生産性が悪くなる。なお、第二電極(陰極)106は、成膜時に所望のパターンで作製されたマスクを用いることでパターンニングできるが、アクティブマトリックス方式の場合にはパターニングしなくても良い。   The second electrode (cathode) 106 can be formed by coating using a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method, depending on the above-described materials. Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the 2nd electrode (cathode) 106, About 10 nm-1000 nm are desirable. If the film thickness of the second electrode (cathode) 106 is less than 10 nm, the pinholes in the film are not sufficiently filled, causing a short circuit. On the other hand, when the thickness is larger than 1000 nm, the film forming time becomes long and the productivity is deteriorated. Note that the second electrode (cathode) 106 can be patterned by using a mask formed in a desired pattern at the time of film formation. However, in the case of the active matrix method, it is not necessary to perform patterning.

最後にこれらの有機EL構成体を、外部の酸素や水分から保護するために、封止体107を用いて封止する。封止体107としては、凹部を有する封止キャップ107aを用い、封止キャップ107aと基板101を接着剤107bを介して貼りあわせる方法を用いるコートができる。また、封止キャップ107aと基板101で密封した空間には乾燥剤107cを備えることができる。   Finally, these organic EL components are sealed using a sealing body 107 in order to protect them from external oxygen and moisture. As the sealing body 107, a sealing cap 107a having a concave portion is used, and a coating using a method in which the sealing cap 107a and the substrate 101 are bonded together with an adhesive 107b can be used. Further, a desiccant 107 c can be provided in the space sealed by the sealing cap 107 a and the substrate 101.

封止キャップ107aとしては、金属キャップ、ガラスキャップを用いることができる。接着剤107bとしては、エステルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、メラミンアクリレート、アクリル樹脂アクリレート等のアクリレート、ウレタンポリエステル等の樹脂を用いたラジカル系接着剤や、エポキシ、ビニルエーテル等の樹脂を用いたカチオン系接着剤、チオール・エン付加型樹脂系接着剤等の光硬化型樹脂、または熱硬化型樹脂を用いるコートができる。また、紫外線硬化型エポキシ系接着剤も利用できる。乾燥剤107cとしては、酸化バリウムや酸化カルシウムを用いることができる。   A metal cap or a glass cap can be used as the sealing cap 107a. As the adhesive 107b, radical adhesives using resins such as acrylates such as ester acrylates, urethane acrylates, epoxy acrylates, melamine acrylates and acrylic resin acrylates, urethane polyesters, and cationic systems using resins such as epoxies and vinyl ethers. A coating using a photocurable resin such as an adhesive, a thiol / ene addition resin adhesive, or a thermosetting resin can be performed. Further, an ultraviolet curable epoxy adhesive can also be used. As the desiccant 107c, barium oxide or calcium oxide can be used.

また、この他にも有機EL構成体にバリア層を形成し、バリア層を封止体107とすることも可能である。このとき、バリア層としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素等を用いるコートができ、これらは、CVD法等の真空成膜法により有機EL構成体全面を覆うように形成される。また、バリア層が形成された有機EL素子は接着層107bを介して封止基板と貼りあわせ、これらを封止体107とすることも可能である。   In addition to this, a barrier layer may be formed on the organic EL structure, and the barrier layer may be used as the sealing body 107. At this time, the barrier layer can be coated using silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride or the like, and these are formed so as to cover the entire surface of the organic EL structure by a vacuum film forming method such as a CVD method. In addition, the organic EL element in which the barrier layer is formed can be attached to a sealing substrate through the adhesive layer 107 b to form the sealing body 107.

以下に、本発明の実施例及び比較例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。   Examples of the present invention and comparative examples are shown below, but the present invention is not limited thereto.

<被印刷基板607の作製工程>
まず、図1に示すように、基板101である無アルカリガラス上に、回路層としてシリコン、ITO等の水に不溶の金属及び金属酸化物、金属窒化物よりなるTFT回路が形成された基板101を準備した。回路用配線はAlで形成し、膜厚は400nmとした。
<Process for Manufacturing Printed Substrate 607>
First, as shown in FIG. 1, a substrate 101 on which a TFT circuit made of a metal, a metal oxide, and a metal nitride insoluble in water such as silicon and ITO is formed as a circuit layer on an alkali-free glass as a substrate 101. Prepared. The circuit wiring was made of Al, and the film thickness was 400 nm.

次に、TFT回路が形成された基板上に、感光性樹脂を用いて画素隔壁を形成した。本実施例では、有機発光層105の膜厚を120nmに成膜するため、前記膜厚A/膜厚B=20となるように画素隔壁膜厚を2.4μmとすることとした。   Next, pixel partition walls were formed using a photosensitive resin on the substrate on which the TFT circuit was formed. In this embodiment, since the thickness of the organic light emitting layer 105 is 120 nm, the pixel partition wall thickness is set to 2.4 μm so that the thickness A / thickness B = 20.

まず、基板101を低圧水銀灯によって処理し、純水、ブラシ洗浄、超音波洗浄などのウェットプロセスによる洗浄を行った後に、ポジ型感光性ポリイミドを全面スピンコートした。スピンコートの条件は、300rpmで5秒間回転させた後、800rpmで20秒間回転とし、スピンコート後の感光性材料の高さを3.3μmとした。スピンコート後120℃で5分間プレベークを行った。プレベーク後の基板に対し、フォトマスクを介してi線ステッパーを用いて200mJ/cmの露光量で露光後、現像処理を行った。こうして形成された画素隔壁部の膜厚は2.5μmとなった。 First, the substrate 101 was treated with a low-pressure mercury lamp, washed by a wet process such as pure water, brush washing, and ultrasonic washing, and then positive-type photosensitive polyimide was spin coated on the entire surface. The spin coating conditions were 300 rpm for 5 seconds, 800 rpm for 20 seconds, and the height of the photosensitive material after spin coating was 3.3 μm. After spin coating, prebaking was performed at 120 ° C. for 5 minutes. The pre-baked substrate was exposed to light at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 using an i-line stepper through a photomask, and then developed. The film thickness of the pixel partition wall thus formed was 2.5 μm.

次に、発光補助層104である正孔輸送層を形成するための正孔輸送インキとしてPEDOT/PSS水分散液であるバイトロンCH‐8000を60%、超純水を20%、1‐プロパノールを20%混合し、インキとした。上記インキを用いてスリットコート法にて基板上に発光補助層104である正孔輸送層を形成し、膜厚を50nmとした。なお、正孔輸送インキ塗布前の基板に前処理として、UV/O洗浄装置にて3分間紫外線照射を行った。これにより被印刷基板607を作製した。 Next, PEDOT / PSS aqueous dispersion Vitron CH-8000 is 60%, ultrapure water is 20%, 1-propanol is used as the hole transport ink for forming the hole transport layer which is the light emission auxiliary layer 104. 20% was mixed to make an ink. A hole transport layer which is the light emission auxiliary layer 104 was formed on the substrate by slit coating using the above ink, and the film thickness was 50 nm. As a pretreatment, the substrate before application of the hole transport ink was irradiated with ultraviolet rays for 3 minutes using a UV / O 3 cleaning device. In this way, a substrate to be printed 607 was produced.

<有機発光層形成用インキの作製工程>
赤色、緑色、青色(R、G、B)の3色からなる以下の高分子有機発光インキを、キシレンに溶解し調整した。赤色発光インキ(R)は、ポリフルオレン系誘導体のキシレン1wt%溶液(住友化学社製赤色発光材料、商品名Red1100)である。緑色発光インキ(G)は、ポリフルオレン系誘導体のキシレン1wt%溶液(住友化学社製緑色発光材料、商品名Green1300)である。青色発光インキ(B)は、ポリフルオレン系誘導体のキシレン1wt%溶液(住友化学社製青色発光材料、商品名Blue1100)である。
<Process for producing organic light emitting layer forming ink>
The following polymeric organic light-emitting inks consisting of three colors of red, green and blue (R, G, B) were dissolved in xylene and prepared. The red light emitting ink (R) is a xylene 1 wt% solution of a polyfluorene derivative (red light emitting material manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name Red 1100). The green light emitting ink (G) is a 1 wt% xylene solution of a polyfluorene derivative (green light emitting material, trade name Green 1300, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.). The blue light-emitting ink (B) is a 1 wt% xylene solution of a polyfluorene derivative (blue light-emitting material manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name Blue 1100).

<樹脂凸版604の作製工程>
厚さ250μmの42ニッケル材を感光性樹脂による凸版604の基材として、前記基材の上に黒色顔料を混錬したアクリルバインダ‐樹脂溶液を乾燥膜厚が10μmになるように塗布して乾燥し、反射防止層を形成した。
<Production process of resin relief printing plate 604>
Using a nickel resin of a thickness of 250 μm as a base material for the relief printing plate 604 made of a photosensitive resin, an acrylic binder-resin solution kneaded with a black pigment is applied on the base material so that the dry film thickness is 10 μm and dried. Then, an antireflection layer was formed.

水溶性ポリアミドを主成分とし、ラジカル重合性モノマーとしてとしてジペンタエリスリトールヘキサキスアクリレート、光重合開始剤として2,2‐ジメトキシ‐1,2‐ジフェニルエタン‐1‐オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製)を混錬した感光性樹脂組成物が、前記基材の表面に版材の総厚が310μmとなるように溶融塗工したものを感光性樹脂層とし、ポリビニルアルコール溶液を乾燥膜厚1μmになるように塗布したポリエチレンテレフタレートフィルム(フィルム厚み125μm:帝人デュポンフィルム社製)をラミネートした。これにより、感光性樹脂凸版604を作製した。   Mainly water-soluble polyamide, dipentaerythritol hexakisacrylate as radical polymerizable monomer, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one as photopolymerization initiator (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) A photosensitive resin composition obtained by kneading the resin is melt-coated on the surface of the substrate so that the total thickness of the plate material is 310 μm, and the photosensitive resin layer is used, and the polyvinyl alcohol solution has a dry film thickness of 1 μm. A polyethylene terephthalate film (film thickness 125 μm: manufactured by Teijin DuPont Films Ltd.) was laminated. Thereby, the photosensitive resin relief printing plate 604 was produced.

合成石英基材のクロムマスクを樹脂凸版604のパターンの原版とし、このマスクをプロキシミティ露光装置にセットして感光性樹脂凸版を露光することで、所望のパターンが
形成された樹脂凸版604を作製した。
Using a synthetic quartz base chrome mask as the original pattern of the resin relief plate 604, this mask is set in a proximity exposure apparatus, and the photosensitive resin relief plate is exposed to produce a resin relief plate 604 on which a desired pattern is formed. did.

<有機発光層形成用インキの印刷工程>
樹脂凸版604を枚葉式印刷装置の版胴605にクッションテープ603を介して固定した。次に、前記高分子有機発光インキをインキチャンバー608に供給し、アニロックスロール601を回転させることで全面にインキングした。アニロックスロール601は600ライン/インチ、容積11ccのアニロックスロールを使用した。その後、アニロックスロール601上の余剰インキをドクターブレード602でかき取り、樹脂凸版604の凸パターン部にインキングした。
<Printing process of organic light emitting layer forming ink>
The resin relief plate 604 was fixed to the plate cylinder 605 of the sheet-fed printing apparatus via a cushion tape 603. Next, the high molecular organic light emitting ink was supplied to the ink chamber 608 and the anilox roll 601 was rotated to ink the entire surface. The anilox roll 601 was an anilox roll having a capacity of 11 cc and 600 lines / inch. Thereafter, excess ink on the anilox roll 601 was scraped with a doctor blade 602 and inked into the convex pattern portion of the resin relief printing plate 604.

前述のようにインキングされた樹脂凸版604上の有機発光層105用インキを、被印刷基板607に、図6に示す凸版印刷装置にて基板上の画素長辺方向に画素内を埋めるように1ラインずつ、計3ライン形成した。成膜後、オーブン内にて130℃で1時間乾燥を行った結果、各ラインの有機発光層105の膜厚は平均で120nmとなった。   The ink for the organic light emitting layer 105 on the resin relief plate 604 that has been inked as described above is embedded in the substrate to be printed 607 in the pixel long side direction on the substrate by the relief printing apparatus shown in FIG. A total of 3 lines were formed, one line at a time. After the film formation, the film was dried in an oven at 130 ° C. for 1 hour. As a result, the thickness of the organic light emitting layer 105 in each line was 120 nm on average.

印刷膜上にCa、Alからなる陰極材料を、画素部のみに蒸着されるようにマスク蒸着し、膜厚500nmの第二電極(陰極)106を形成した。最後にこれらの有機EL構成体を、外部の酸素や水分から保護するために、ガラスキャップとエポキシ系の接着剤を用いて密閉封止し、有機EL素子を作製した。   A cathode material made of Ca and Al was deposited on the printed film by mask deposition so as to be deposited only on the pixel portion, thereby forming a second electrode (cathode) 106 having a thickness of 500 nm. Finally, in order to protect these organic EL constituents from external oxygen and moisture, they were hermetically sealed using a glass cap and an epoxy adhesive to produce an organic EL element.

得られた有機EL素子の表示部の周辺部には各画素電極に接続されている第一電極(陽極102の取り出し電極と、第二電極(陰極)106の取り出し電極があり、これらを電源に接続することにより、有機ELディスプレイパネルを得た。   In the periphery of the display portion of the obtained organic EL element, there are a first electrode (an extraction electrode for the anode 102 and an extraction electrode for the second electrode (cathode) 106) connected to each pixel electrode. By connecting, an organic EL display panel was obtained.

図4に示すように成膜方向に対して平行な方向の画素隔壁111の膜厚を変更して、実施例1同様の手順で有機ELディスプレイパネルを得た。成膜方向に対して平行な画素隔壁111と垂直な画素隔壁112の幅を変更したフォトマスクを介して露光、現像、ベーク処理をすることで、成膜方向に対して平行な画素隔壁111の膜厚が2.0μm、垂直な画素隔壁112の膜厚が2.4μmとなるように成膜し発光状態を観察した。   As shown in FIG. 4, an organic EL display panel was obtained in the same procedure as in Example 1 by changing the film thickness of the pixel partition 111 in the direction parallel to the film forming direction. By performing exposure, development, and baking processes through a photomask in which the width of the pixel partition wall 111 parallel to the film formation direction and the width of the pixel partition wall 112 perpendicular to the film formation direction are changed, the pixel partition wall 111 parallel to the film formation direction The film was formed so that the film thickness was 2.0 μm, and the film thickness of the vertical pixel partition 112 was 2.4 μm, and the light emission state was observed.

実施例1、実施例2のようにして得られた有機ELディスプレイパネルについて点灯表示確認を行ったところ、図2に示すように発光画素内の形状が良好であることが確認された。そのため発光輝度ムラが抑制されパネル全面においてムラのない表示品位が得られた。   When the organic EL display panel obtained as in Example 1 and Example 2 was checked for lighting display, it was confirmed that the shape of the light emitting pixel was good as shown in FIG. As a result, unevenness in light emission luminance was suppressed, and a display quality with no unevenness was obtained on the entire panel surface.

<比較例1>
比較例1においては、実施例1同様の手順で有機ELディスプレイパネルを得たが、画素隔壁膜厚が3.2μm、有機発光層105の膜厚は平均で30nmとなるように成膜し発光状態を観察した。
<Comparative Example 1>
In Comparative Example 1, an organic EL display panel was obtained in the same procedure as in Example 1, but the film was formed so that the pixel partition wall thickness was 3.2 μm and the organic light emitting layer 105 had an average thickness of 30 nm. The condition was observed.

このようにして得られた有機ELディスプレイパネルについて点灯表示観察を行ったところ、図7に示すように発光画素内での有機発光層105の膜形状悪化に伴い発光輝度ムラが観察され、パネル表示品位が悪化することを確認した。   When the organic EL display panel thus obtained was lit and observed, as shown in FIG. 7, emission luminance unevenness was observed with the deterioration of the film shape of the organic light emitting layer 105 in the light emitting pixel, and the panel display. It was confirmed that the quality deteriorated.

<比較例2>
比較例2においては、実施例1同様の手順で有機ELディスプレイパネルを得たが、画素隔壁膜厚が0.5μmとなるように成膜し、発光状態を観察した。
<Comparative example 2>
In Comparative Example 2, an organic EL display panel was obtained by the same procedure as in Example 1, but the film was formed such that the pixel partition wall thickness was 0.5 μm, and the light emission state was observed.

このようにして得られた有機ELディスプレイパネルについて点灯表示観察を行ったと
ころ、図8に示すように発光画素内での有機発光媒体層膜形状悪化に伴い発光輝度ムラが観察され、パネル表示品位が悪化することを確認した。
When the organic EL display panel thus obtained was lit and observed, as shown in FIG. 8, emission luminance unevenness was observed as the shape of the organic light emitting medium layer film deteriorated in the light emitting pixels, and the panel display quality was improved. Confirmed that it gets worse.

以上の評価結果をまとめ、表1に示す。   The above evaluation results are summarized and shown in Table 1.

101・・・基板
102・・・第一電極(陽極)
103・・・隔壁(成膜方向に平行な画素隔壁)
104・・・発光補助層
105・・・有機発光層
106・・・第二電極(陰極)
107・・・封止体
107a・・・封止キャップ
107b・・・接着剤
107c・・・乾燥剤
110・・・基板
111・・・成膜方向に平行な画素隔壁
112・・・成膜方向に垂直な画素隔壁
113・・・発光画素部
601・・・アニロックスロール
602・・・ドクターブレード
603・・・クッションテープ
604・・・樹脂凸版
605・・・版胴
606・・・基板固定台
607・・・被印刷基板
608・・・インキチャンバー
101 ... Substrate 102 ... First electrode (anode)
103 ... partition wall (pixel partition wall parallel to the film forming direction)
104 ... light emission auxiliary layer 105 ... organic light emitting layer 106 ... second electrode (cathode)
107 ... Sealing body 107a ... Sealing cap 107b ... Adhesive 107c ... Drying agent 110 ... Substrate 111 ... Pixel partition 112 parallel to the film forming direction ... Film forming direction Pixel partition 113 perpendicular to the light emitting pixel portion 601... Anilox roll 602... Doctor blade 603 .. Cushion tape 604 .. Resin relief 605. ... Printed substrate 608 ... Ink chamber

Claims (6)

基板上にパターン状に形成された第1電極と、第1電極と対向するように設けられた、第2電極との間に、隔壁により囲まれ、2次元状に配列された発光画素部が設けられた有機EL素子であって、
前記発光画素部が、有機発光層と発光補助層からなる有機発光媒体層により構成されており、
この有機発光層と発光補助層が、有機発光材料及び発光補助材料を溶媒に溶解、または分散させ、湿式成膜法により形成されたものであり、
前記隔壁の膜厚を膜厚A、前記有機発光媒体層の膜厚を膜厚Bとし、5≦膜厚A/膜厚B≦100を満たすことを特徴とする有機EL素子。
Between the first electrode formed in a pattern on the substrate and the second electrode provided so as to face the first electrode, a light-emitting pixel portion surrounded by a partition wall and arranged two-dimensionally is provided. An organic EL element provided,
The light emitting pixel portion is composed of an organic light emitting medium layer composed of an organic light emitting layer and a light emission auxiliary layer,
The organic light emitting layer and the light emitting auxiliary layer are formed by dissolving or dispersing the organic light emitting material and the light emitting auxiliary material in a solvent and formed by a wet film forming method.
An organic EL element characterized in that the thickness of the partition wall is A and the thickness of the organic light emitting medium layer is B, and 5 ≦ film thickness A / film thickness B ≦ 100 is satisfied.
前記隔壁の膜厚が0.5μm≦膜厚A≦4.0μmで、前記有機発光媒体層の膜厚が膜厚B≦0.2μmであることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。   2. The organic EL according to claim 1, wherein the partition wall thickness is 0.5 μm ≦ film thickness A ≦ 4.0 μm, and the organic light emitting medium layer thickness is B ≦ 0.2 μm. element. 前記隔壁が、有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して、水平方向及び垂直方向に形成されており、
前記有機発光媒体層の膜厚を膜厚Bとし、前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して平行方向に設けられた隔壁の膜厚を膜厚Cとし、5≦膜厚C/膜厚B≦100を満たすことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機EL素子。
The partition is formed in a horizontal direction and a vertical direction with respect to a film forming direction of a wet film forming method for forming an organic light emitting medium layer,
The film thickness of the organic light emitting medium layer is defined as film thickness B, and the film thickness of the partition provided in the direction parallel to the film forming direction of the wet film forming method for forming the organic light emitting medium layer is defined as film thickness C. The organic EL element according to claim 1, wherein ≦ film thickness C / film thickness B ≦ 100 is satisfied.
前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法の成膜方向に対して平行方向に設けられた隔壁の膜厚が0.5μm≦膜厚C≦4.0μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機EL素子。   The film thickness of the partition provided in a direction parallel to the film forming direction of the wet film forming method for forming the organic light emitting medium layer is 0.5 μm ≦ film thickness C ≦ 4.0 μm. The organic EL element as described in any one of 1-3. 前記有機発光媒体層を形成する湿式成膜法が凸版印刷方式であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein the wet film forming method for forming the organic light emitting medium layer is a relief printing method. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機EL素子の有機発光媒体層を、有機発光材料及び発光補助材料を溶媒に溶解又は分散させ、形成する湿式成膜法が、凸版印刷方式であることを特徴する有機EL素子の製造方法。   A wet film-forming method for forming the organic light emitting medium layer of the organic EL element according to any one of claims 1 to 4 by dissolving or dispersing the organic light emitting material and the light emitting auxiliary material in a solvent is a relief printing method. A method for producing an organic EL element, characterized in that:
JP2012205568A 2012-09-19 2012-09-19 Organic el element and method for manufacturing the same Pending JP2014060104A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012205568A JP2014060104A (en) 2012-09-19 2012-09-19 Organic el element and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012205568A JP2014060104A (en) 2012-09-19 2012-09-19 Organic el element and method for manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014060104A true JP2014060104A (en) 2014-04-03

Family

ID=50616381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012205568A Pending JP2014060104A (en) 2012-09-19 2012-09-19 Organic el element and method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014060104A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11038133B2 (en) 2018-04-18 2021-06-15 Joled Inc. Organic EL display panel, organic EL display device, and manufacturing method of organic display panel

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11038133B2 (en) 2018-04-18 2021-06-15 Joled Inc. Organic EL display panel, organic EL display device, and manufacturing method of organic display panel

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006286309A (en) Organic electroluminescent display device and its manufacturing method
JP5092485B2 (en) Organic electroluminescence display and manufacturing method thereof
JP4682691B2 (en) Method for manufacturing organic electroluminescence device
US8040049B2 (en) Organic EL element and method for manufacturing thereof
JP4706845B2 (en) Manufacturing method of organic EL element
JP4747637B2 (en) Manufacturing method of organic EL display panel
JP5699511B2 (en) Letterpress for printing, letterpress printing apparatus using the same, and method for producing organic electroluminescence element
JP2015170416A (en) Method of producing thin film transistor substrate, thin film transistor substrate
JP2008077912A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP4998008B2 (en) Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same
JP2015079618A (en) Thin film transistor substrate, manufacturing method of the same, organic el element using the same, and manufacturing method of organic el element
JP2014060104A (en) Organic el element and method for manufacturing the same
JP2008140579A (en) Organic el element and its manufacturing method, and letterpress
JP2008186766A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP5369802B2 (en) Pattern forming relief plate, organic EL element, and electronic circuit
JP2006286241A (en) Organic el display panel and its manufacturing method
JP2011187208A (en) Manufacturing method for organic el element, organic el element using the same and organic el display
JP2012069330A (en) Organic electroluminescent element and manufacturing method therefor
JP5593843B2 (en) Organic electroluminescence device and method for manufacturing the same
JP2015185531A (en) Organic electroluminescence element and manufacturing method of the same
JP2011108578A (en) Organic el light emitting element and method of manufacturing the same
JP2007200699A (en) Organic el element and its manufacturing method
JP2008140588A (en) Organic el element and its manufacturing method, and letterpress
JP5488101B2 (en) Letterpress for printing, electronic device using the same, and method for producing organic electroluminescence element
JP2008130410A (en) Manufacturing method of organic el element and display device