JP2014049546A - Method for manufacturing piezoelectric actuator - Google Patents

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貴俊 鵜原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a piezoelectric actuator for minimizing influences on a resonant frequency by variations in size or shape of a frictional part and stabilizing a vibrational state of a driven body.SOLUTION: The method for manufacturing a piezoelectric actuator includes steps of: forming a resist pattern 58 by printing with a resist material comprising a resin on a part to be formed into a frictional part 65 on a sintered ceramic master substrate 57 where a plurality of piezoelectric actuator regions 59 are arranged in a two-dimensional array; subjecting the master substrate to blasting shown by arrows S by using the obtained resist pattern 58 as a mask to scrape away the exposed ceramic substrate surface; and then stripping the resist pattern 58 to form a projection 53 that constitutes the frictional part 65 in each piezoelectric actuator region 59.

Description

本発明は、圧電アクチュエータの製造方法に関し、特に被駆動体を駆動するための摩擦部を備えた圧電アクチュエータの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a piezoelectric actuator, and more particularly, to a method for manufacturing a piezoelectric actuator having a friction portion for driving a driven body.

圧電アクチュエータとして、圧電素子と、前記圧電素子の外表面に配置されると共に被駆動体に接触して該被駆動体との間に摩擦力を生じさせる摩擦部と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
図１０は、特許文献１による圧電アクチュエータの構造を示す概略図である。図１０に示すように、圧電アクチュエータ１は複数の圧電体層を積層して一体化することによって形成された圧電素子２と被駆動体３と接触して被駆動体３との間に摩擦力を生じさせる摩擦部４Ａ、４Ｂを備えている。圧電素子２は圧電体層と電極層とが積層された積層体として構成されている。圧電素子２の第一主面２ａの長手方向の中央位置には外部電極層１１が配置されている。外部電極層１１は外部装置の電圧出力端子に接続される。摩擦部４Ａ、４Ｂは圧電素子２の外表面から突出するように形成された焼成体部分４Ａ１、４Ｂ１と、前記焼成体部分４Ａ１、４Ｂ１を覆う保護膜５を有している。焼成体部分４Ａ１、４Ｂ１は、圧電素子外表面の所望の位置に圧電材料ペーストを付与して圧電材料パターンを形成した後、脱バインダ・焼成することにより形成される。圧電材料ペーストの付与は、ディスペンサによる塗布やスクリーン印刷等により行われる。保護膜５の形成は、プラズマＣＶＤ法等が用いられている。
外部装置から外部電極層１１に電圧が印加されて圧電アクチュエータ１が振動すると、摩擦部４Ａ、４Ｂと被駆動体３との間に摩擦力が生じ、被駆動体３が移動することとなる。 A known piezoelectric actuator includes a piezoelectric element, and a friction part that is disposed on the outer surface of the piezoelectric element and that generates a frictional force between the driven body and the driven body. (For example, refer to Patent Document 1).
FIG. 10 is a schematic view showing the structure of a piezoelectric actuator according to Patent Document 1. As shown in FIG. As shown in FIG. 10, the piezoelectric actuator 1 is a frictional force between the driven body 3 and the piezoelectric element 2 formed by laminating and integrating a plurality of piezoelectric layers and the driven body 3. Are provided with friction portions 4A and 4B. The piezoelectric element 2 is configured as a laminated body in which a piezoelectric layer and an electrode layer are laminated. An external electrode layer 11 is disposed at the center position in the longitudinal direction of the first main surface 2 a of the piezoelectric element 2. The external electrode layer 11 is connected to the voltage output terminal of the external device. The friction portions 4A and 4B have fired body portions 4A1 and 4B1 formed so as to protrude from the outer surface of the piezoelectric element 2, and a protective film 5 covering the fired body portions 4A1 and 4B1. The fired body portions 4A1 and 4B1 are formed by applying a piezoelectric material paste to a desired position on the outer surface of the piezoelectric element to form a piezoelectric material pattern, and then performing binder removal and firing. The application of the piezoelectric material paste is performed by application using a dispenser, screen printing, or the like. The protective film 5 is formed using a plasma CVD method or the like.
When a voltage is applied from the external device to the external electrode layer 11 and the piezoelectric actuator 1 vibrates, a frictional force is generated between the friction portions 4A and 4B and the driven body 3, and the driven body 3 moves.

特開２０１１−１５１０６６号公報JP 2011-151066 A

図１１は、図１０に示す圧電アクチュエータ１をＡ方向から見た側面図である。焼成体部分４Ａ１、４Ｂ１は、上記で説明したように圧電素子外表面の所望の位置に圧電材料ペーストをディスペンサによる塗布やスクリーン印刷等で付与して形成されるため、印刷条件のばらつき等により摩擦部４Ａ、４Ｂの高さｈＡ、ｈＢを揃えることが難しく、また摩擦部４Ａ、４Ｂの形状を一定にすることが難しい。
摩擦部４Ａ、４Ｂの寸法や形状のばらつきは圧電アクチュエータ１の共振周波数に影響をおよぼすため、摩擦部４Ａ、４Ｂの高さｈ１、ｈ２や形状がばらついていると、圧電アクチュエータ１の共振周波数がばらつくという課題がある。さらに摩擦部４Ａ、４Ｂと被駆動体３との密着力が安定しないため圧電素子２の変位に被駆動体３が追随できず、被駆動体３の振動状態が安定しないという課題がある。
本発明は 摩擦部の大きさや形状を一定にすることにより、摩擦部の大きさや形状のばらつきによって共振周波数に及ぼす影響を最小化するとともに被駆動体の振動状態を安定化できる製造方法を提供することを目的とする。 FIG. 11 is a side view of the piezoelectric actuator 1 shown in FIG. 10 viewed from the A direction. As described above, the fired body portions 4A1 and 4B1 are formed by applying a piezoelectric material paste to a desired position on the outer surface of the piezoelectric element by application using a dispenser, screen printing, or the like. It is difficult to align the heights hA and hB of the portions 4A and 4B, and it is difficult to make the shapes of the friction portions 4A and 4B constant.
Variations in the size and shape of the friction portions 4A and 4B affect the resonance frequency of the piezoelectric actuator 1. Therefore, if the heights h1 and h2 and the shapes of the friction portions 4A and 4B vary, the resonance frequency of the piezoelectric actuator 1 is reduced. There is a problem of variation. Furthermore, since the contact force between the friction portions 4A and 4B and the driven body 3 is not stable, the driven body 3 cannot follow the displacement of the piezoelectric element 2 and the vibration state of the driven body 3 is not stable.
The present invention provides a manufacturing method capable of minimizing the influence on the resonance frequency due to variations in the size and shape of the friction portion and stabilizing the vibration state of the driven body by making the size and shape of the friction portion constant. For the purpose.

上記課題を解決するための本発明の請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法は、超音波振動する圧電素子と、前記超音波振動を伝達する摩擦部を有する圧電アクチュエータの製造方法であって、
複数の圧電アクチュエータ領域が縦横の並びに配列形成されたセラミック焼結体からなる親基板を形成する工程と、摩擦部となるべき表面にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして用いてレジストパターンで覆われていないセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去し摩擦部を構成する凸部を形成する工程と、前記セラミック焼結体を圧電アクチュエータ領域の境界に沿って切断することで個々の圧電アクチュエータに分割する工程を有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法である。
また、上記課題を解決するための本発明の請求項２記載の圧電アクチュエータの製造方法は、前記凸部を形成する工程は、ブラスト加工でセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法である。
また、上記課題を解決するための本発明の請求項３記載の圧電アクチュエータの製造方法は、前記凸部を形成する工程は、ケミカルエッチングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法である。
また、上記課題を解決するための本発明の請求項４記載の圧電アクチュエータの製造方法は、前記凸部を形成する工程は、ダイシングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法である。 The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problem is a method for manufacturing a piezoelectric actuator having a piezoelectric element that vibrates ultrasonically and a friction part that transmits the ultrasonic vibration,
A step of forming a parent substrate made of a ceramic sintered body in which a plurality of piezoelectric actuator regions are arranged in rows and columns, a step of forming a resist pattern on a surface to be a friction portion, and using the resist pattern as a mask Removing a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body not covered with the resist pattern to form a convex portion constituting the friction portion, and cutting the ceramic sintered body along the boundary of the piezoelectric actuator region The method of manufacturing a piezoelectric actuator characterized by comprising a step of dividing the piezoelectric actuator into individual piezoelectric actuators.
Moreover, in the method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 2 of the present invention for solving the above-described problem, the step of forming the convex portion includes removing a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body by blasting. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1.
Moreover, in the method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 3 of the present invention for solving the above-described problem, the step of forming the convex portion includes removing a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body by chemical etching. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1.
Further, in the method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 4 of the present invention for solving the above-described problem, the step of forming the convex portion includes removing a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body by dicing. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the piezoelectric actuator is manufactured.

本発明の請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法によれば、摩擦部となるべきセラミック焼結体表面にレジストパターンを形成したあと、レジストパターンで覆われていないセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去し摩擦部を構成する凸部を形成することにより高精度、高精細で矩形の摩擦部を形成することができる。
本発明の請求項２記載の圧電アクチュエータの製造方法は、請求項１記載の製造方法において、ブラスト加工でセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去するようにしたもので、請求項１と同様の効果を有する。
本発明の請求項３記載の圧電アクチュエータの製造方法は、請求項１記載の製造方法において、ケミカルエッチングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去するようにしたもので、請求項１と同様の効果を有する。
本発明の請求項４記載の圧電アクチュエータの製造方法は、請求項１記載の製造方法において、ダイシングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去するようにしたもので、請求項１と同様の効果を有する。 According to the method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1 of the present invention, after a resist pattern is formed on the surface of the ceramic sintered body to be the friction portion, a desired surface of the ceramic sintered body not covered with the resist pattern is formed. By removing the thickness and forming the convex portion constituting the friction portion, a rectangular friction portion with high accuracy and high definition can be formed.
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing the piezoelectric actuator according to the first aspect of the present invention, wherein the desired thickness of the ceramic sintered body surface is removed by blasting. Has the same effect.
According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing the piezoelectric actuator according to the first aspect, wherein the desired thickness of the ceramic sintered body surface is removed by chemical etching. Has the same effect.
The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 4 of the present invention is the method according to claim 1, wherein a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body is removed by dicing. It has the effect of.

（ａ）本発明の製造方法により製造された圧電アクチュエータの斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ断面図。(A) The perspective view of the piezoelectric actuator manufactured by the manufacturing method of this invention, (b) AA sectional drawing of (a). 本発明の製造方法により製造された圧電アクチュエータが被駆動体を駆動する様子を示した図。The figure which showed a mode that the piezoelectric actuator manufactured by the manufacturing method of this invention drives a to-be-driven body. 本発明の第１実施例のうち、焼成済セラミック親基板作成工程を説明するための図。The figure for demonstrating the sintered ceramic parent substrate preparation process among 1st Examples of this invention. 本発明の第１実施例のうち、レジストパターン形成工程を説明するための図。The figure for demonstrating the resist pattern formation process among 1st Examples of this invention. 本発明の第１実施例のうち、ブラスト加工工程を説明するための図。The figure for demonstrating the blasting process among 1st Examples of this invention. 本発明の第１実施例のうち、ブラスト加工工程後のセラミック親基板の斜視図。The perspective view of the ceramic mother board after the blasting process among the 1st examples of the present invention. 本発明の第１実施例で製造された圧電アクチュエータの断面図。Sectional drawing of the piezoelectric actuator manufactured by 1st Example of this invention. 本発明の第２実施例のうち、Of the second embodiment of the present invention, 本発明の第３実施例のうち、Of the third embodiment of the present invention, 従来例の圧電アクチュエータの斜視図。The perspective view of the piezoelectric actuator of a prior art example. 従来例の圧電アクチュエータの側面図。The side view of the piezoelectric actuator of a prior art example.

図１（ａ）は本発明の製造方法により製造された圧電アクチュエータの斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図２は本発明の製造方法により製造された圧電アクチュエータが被駆動体を駆動する様子を示した図である。この圧電アクチュエータ５１は、その一面５１ａに直方体の２つの摩擦部６５が平行に設けられている。摩擦部６５は、圧電素子５２の一面に形成された凸部５３と、凸部５３を覆う保護膜６４を有している。凸部５３の上面５３ａ、５３ｂは平坦になっており、保護膜６４は均一な厚みで構成されているので、摩擦部６５の上面６５ａ、６５ｂは平坦な面で構成される。圧電アクチュエータ５１の他方の面５１ｂには電源電極５５と接地電極５６が設けられた形状になっている。摩擦部６５の上面６５ａ、６５ｂは被駆動体５４である平板の一面に圧接されている。
圧電素子５２の材料としてはチタン酸バリウムやジルコン酸チタン酸鉛等のセラミックス材料が用いられる。保護膜６４の材料としてはＤｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ（ＤＬＣ）が挙げられる。電極５５、５６の材料としては、ニッケル、銀、タングステン、鈴等の金属材料又はこれらの合金が用いられる。
このような構成において、電源電極５５、接地電極５６に外部電極（図示せず）から電圧が印加されて圧電アクチュエータ５１が振動すると、摩擦部６５と被駆動体５４との間に摩擦力が生じ、被駆動体５４が移動することとなる。
尚、上記保護膜６４の形成は行わず、摩擦部６５を凸部５３のみで構成しても良い。しかし、摩擦部６５には被駆動体５４との間に大きな摩擦力がかかるため、摩擦部６５の耐摩耗性をあげる観点からは凸部５３をＤＬＣのような硬質な保護膜６４で覆うほうが好ましい。 1A is a perspective view of a piezoelectric actuator manufactured by the manufacturing method of the present invention, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 1A, and FIG. 2 is manufactured by the manufacturing method of the present invention. It is the figure which showed a mode that the driven piezoelectric actuator driven a to-be-driven body. The piezoelectric actuator 51 has two rectangular parallelepiped friction portions 65 provided on one surface 51a thereof in parallel. The friction portion 65 has a convex portion 53 formed on one surface of the piezoelectric element 52 and a protective film 64 that covers the convex portion 53. Since the upper surfaces 53a and 53b of the convex portion 53 are flat and the protective film 64 is formed with a uniform thickness, the upper surfaces 65a and 65b of the friction portion 65 are formed with flat surfaces. The other surface 51 b of the piezoelectric actuator 51 has a shape in which a power supply electrode 55 and a ground electrode 56 are provided. The upper surfaces 65 a and 65 b of the friction portion 65 are pressed against one surface of the flat plate which is the driven body 54.
As the material of the piezoelectric element 52, a ceramic material such as barium titanate or lead zirconate titanate is used. An example of the material of the protective film 64 is Diamond Like Carbon (DLC). As a material of the electrodes 55 and 56, a metal material such as nickel, silver, tungsten, bell, or an alloy thereof is used.
In such a configuration, when a voltage is applied to the power supply electrode 55 and the ground electrode 56 from an external electrode (not shown) and the piezoelectric actuator 51 vibrates, a frictional force is generated between the friction portion 65 and the driven body 54. Therefore, the driven body 54 moves.
In addition, the protective film 64 may not be formed, and the friction part 65 may be configured only by the convex part 53. However, since a large frictional force is applied between the friction part 65 and the driven body 54, it is preferable to cover the convex part 53 with a hard protective film 64 such as DLC from the viewpoint of increasing the wear resistance of the friction part 65. preferable.

次に本発明の圧電アクチュエータの製造方法について説明する。
（第１実施例）
本発明を適用した第１実施例の製造方法について、図３〜図７を用いて説明する。
（１）焼成済セラミック親基板形成工程
ＰｂＯ、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２からなる原料粉末を有機溶剤及びバインダとともに混練する。これをシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを作製する。セラミックグリーンシートの厚みは、焼成後のセラミック絶縁層の厚みが例えば５０〜２００μｍとなるような厚みに形成される。
次に、セラミックグリーンシートに必要に応じて貫通孔を形成するとともにこの貫通孔に貫通導体となる貫通導体用導体ペーストを充填し、セラミックグリーンシートの一方主面に内部電極となる導体ペーストを被着形成する。また、積層された際に最上層に配置されるセラミックグリーンシートの一方主面に電源電極５５、接地電極５６となる導体ペーストを被着形成する。
このように形成されたセラミックグリーンシートを積層してセラミックグリーンシート積層体を作製する。得られたセラミックグリーンシート積層体を８００〜１２００℃の焼成温度で焼成して図３に示す複数の圧電アクチュエータ領域５９が縦横の並びに配列された焼成済セラミック親基板５７を形成する。
（２）レジストパターン形成工程
次に、前記焼成済セラミック親基板５７上の摩擦部となる箇所に樹脂からなるレジスト材を印刷し図４に示すレジストパターン５８を形成する。レジスト材としてはフェノール樹脂、メラミン樹脂等が挙げられ、レジストパターンの形成方法としては前記樹脂を印刷後、熱硬化する方法が挙げられる。
（３）凸部形成工程
得られたレジストパターン５８をマスクとして用いて図５の矢印Ｓで示すようにブラスト加工を施す。上記のブラスト加工で露出したセラミック基板表面を削りとった後、レジストパターン５８を剥離することにより図６に示すように各圧電アクチュエータ領域５９に凸部５３が形成される。ブラスト加工は、被加工体に珪砂等の細粒子を吹き付ける方法であり、乾式および湿式のいずれの方法も適用できる。
（４）保護膜形成・分極・切断・検査工程
次に、上記凸部５３を含むセラミック親基板５７の表面全面に、ＤＬＣからなる保護膜６４を形成する。次に、圧電材料の極性を揃えるために、既知の手法により、分極処理が行われる。その後、焼成済セラミック親基板５７を、境界線６０に沿って切断し個片化する。個片化された圧電アクチュエータ５１はバレル研磨機に入れられ、バレル研磨工程が行われる。最後に、電気特性を検査する電気特性検査工程と外観検査工程が行われて、圧電素子製造工程が終了する。 Next, the manufacturing method of the piezoelectric actuator of this invention is demonstrated.
(First embodiment)
A manufacturing method of the first embodiment to which the present invention is applied will be described with reference to FIGS.
(1) Firing ceramic parent substrate forming step A raw material powder made of PbO, TiO 2 and ZrO 2 is kneaded together with an organic solvent and a binder. This is formed into a sheet shape to produce a plurality of ceramic green sheets. The thickness of the ceramic green sheet is formed such that the thickness of the ceramic insulating layer after firing is, for example, 50 to 200 μm.
Next, a through hole is formed in the ceramic green sheet as necessary, and the through hole is filled with a conductive paste for a through conductor serving as a through conductor, and a conductive paste serving as an internal electrode is coated on one main surface of the ceramic green sheet. It forms. In addition, a conductive paste to be the power electrode 55 and the ground electrode 56 is deposited on one main surface of the ceramic green sheet disposed in the uppermost layer when laminated.
The ceramic green sheets thus formed are laminated to produce a ceramic green sheet laminate. The obtained ceramic green sheet laminate is fired at a firing temperature of 800 to 1200 ° C. to form a fired ceramic parent substrate 57 in which a plurality of piezoelectric actuator regions 59 shown in FIG.
(2) Resist Pattern Forming Step Next, a resist material made of a resin is printed on a portion to be a friction portion on the fired ceramic parent substrate 57 to form a resist pattern 58 shown in FIG. Examples of the resist material include a phenol resin and a melamine resin. Examples of a method for forming a resist pattern include a method of printing the resin and then thermosetting it.
(3) Convex part formation process Using the obtained resist pattern 58 as a mask, blasting is performed as shown by an arrow S in FIG. After the surface of the ceramic substrate exposed by the blasting process is scraped off, the resist pattern 58 is peeled off to form convex portions 53 in each piezoelectric actuator region 59 as shown in FIG. Blasting is a method in which fine particles such as silica sand are sprayed on the workpiece, and both dry and wet methods can be applied.
(4) Protective Film Formation / Polarization / Cutting / Inspection Step Next, a protective film 64 made of DLC is formed on the entire surface of the ceramic parent substrate 57 including the convex portions 53. Next, in order to make the polarities of the piezoelectric materials uniform, a polarization process is performed by a known method. Thereafter, the fired ceramic parent substrate 57 is cut along the boundary line 60 and separated into pieces. The separated piezoelectric actuator 51 is put in a barrel polishing machine, and a barrel polishing process is performed. Finally, an electrical property inspection process and an appearance inspection process for inspecting electrical characteristics are performed, and the piezoelectric element manufacturing process is completed.

図７は、第１実施例の方法で製造された圧電アクチュエータの断面図を示す。２つの摩擦部６５、６５の断面形状はほぼ相似形をなし、高さｈ１、ｈ２は同じ高さに形成され、上面部６５ａ、６５ｂは平坦に形成されていることが確認できた。   FIG. 7 is a sectional view of the piezoelectric actuator manufactured by the method of the first embodiment. It was confirmed that the cross-sectional shapes of the two friction portions 65 and 65 were substantially similar, the heights h1 and h2 were formed at the same height, and the upper surface portions 65a and 65b were formed flat.

（第２実施例）
前記第１実施例では、ブラスト加工で凸部５３を形成したが、図８に示すようにケミカルエッチングにより凸部５３を形成してもよい。この場合、レジストパターン５８をマスクとして用いてＨＦ、ＨＮＯ３などのエッチング液６１を吹付けて露出したセラミック基板表面をエッチングした後、レジストパターン５８を剥離する。その他の工程は第１実施例と同じでよい。
本実施例の方法においても、２つの摩擦部６５、６５の断面形状はほぼ相似形をなし、高さｈ１、ｈ２は同じ高さに形成され、上面部６５ａ、６５ｂは平坦に形成されていることが確認できた。 (Second embodiment)
In the first embodiment, the convex portion 53 is formed by blasting. However, the convex portion 53 may be formed by chemical etching as shown in FIG. In this case, the resist pattern 58 is peeled off after etching the exposed ceramic substrate surface by spraying an etchant 61 such as HF or HNO 3 using the resist pattern 58 as a mask. Other steps may be the same as those in the first embodiment.
Also in the method of the present embodiment, the cross-sectional shapes of the two friction portions 65 and 65 are substantially similar, the heights h1 and h2 are formed at the same height, and the upper surface portions 65a and 65b are formed flat. I was able to confirm.

（第３実施例）
図９に示す第３実施例は、ダイシングで凸部５３を形成する方法である。この場合、焼成済セラミック親基板５７上の摩擦部となる箇所６２以外のセラミック基板表面をダイサー６３で削り取ることで凸部５３を形成する。その他の工程は第１実施例と同じでよい。
本実施例の方法においても、２つの摩擦部６５、６５の断面形状はほぼ相似形をなし、高さｈ１、ｈ２は同じ高さに形成され、上面部６５ａ、６５ｂは平坦に形成されていることが確認できた。 (Third embodiment)
The third embodiment shown in FIG. 9 is a method of forming the convex portion 53 by dicing. In this case, the convex portion 53 is formed by scraping the surface of the ceramic substrate other than the portion 62 to be the friction portion on the fired ceramic parent substrate 57 with the dicer 63. Other steps may be the same as those in the first embodiment.
Also in the method of the present embodiment, the cross-sectional shapes of the two friction portions 65 and 65 are substantially similar, the heights h1 and h2 are formed at the same height, and the upper surface portions 65a and 65b are formed flat. I was able to confirm.

５１ 圧電アクチュエータ ５１ａ 一面 ５１ｂ 他方の面
５２ 圧電素子
５３ 凸部 ５３ａ、５３ｂ 上面
５４ 被駆動体
５５ 電源電極
５６ 接地電極
５７ 焼成済セラミック親基板
５８ レジストパターン
５９ 圧電アクチュエータ領域
６０ 境界線
６１ エッチング液
６２ 摩擦部となる箇所
６３ ダイサー
６４ 保護膜
６５ 摩擦部 ６５ａ、６５ｂ 上面
51 Piezoelectric actuator 51a One surface 51b The other surface 52 Piezoelectric element 53 Projection 53a, 53b Upper surface 54 Driven body 55 Power electrode 56 Ground electrode 57 Baked ceramic parent substrate 58 Resist pattern 59 Piezoelectric actuator region 60 Boundary line 61 Etching solution 62 Friction Location of part 63 Dicer 64 Protective film 65 Friction part 65a, 65b Upper surface

Claims (4)

超音波振動する圧電素子と、前記超音波振動を伝達する摩擦部を有する圧電アクチュエータの製造方法であって、
複数の圧電アクチュエータ領域が縦横の並びに配列形成されたセラミック焼結体からなる親基板を形成する工程と、摩擦部となるべき表面にレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして用いてレジストパターンで覆われていないセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去し摩擦部を構成する凸部を形成する工程と、前記セラミック焼結体を圧電アクチュエータ領域の境界に沿って切断することで個々の圧電アクチュエータに分割する工程を有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 A method of manufacturing a piezoelectric actuator having a piezoelectric element that vibrates ultrasonically and a friction part that transmits the ultrasonic vibration,
A step of forming a parent substrate made of a ceramic sintered body in which a plurality of piezoelectric actuator regions are arranged in rows and columns, a step of forming a resist pattern on a surface to be a friction portion, and using the resist pattern as a mask Removing a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body not covered with the resist pattern to form a convex portion constituting the friction portion, and cutting the ceramic sintered body along the boundary of the piezoelectric actuator region A method of manufacturing a piezoelectric actuator, comprising the step of dividing the piezoelectric actuator into individual piezoelectric actuators. 前記凸部を形成する工程は、ブラスト加工でセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法。   2. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the step of forming the convex portion removes a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body by blasting. 前記凸部を形成する工程は、ケミカルエッチングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法。   2. The method of manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1, wherein in the step of forming the convex portion, a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body is removed by chemical etching. 前記凸部を形成する工程は、ダイシングでセラミック焼結体表面の所望の厚さを除去することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの製造方法。
2. The method for manufacturing a piezoelectric actuator according to claim 1, wherein in the step of forming the convex portion, a desired thickness of the surface of the ceramic sintered body is removed by dicing.
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