JP2014038783A - Illumination device, electronic apparatus, imaging device, and inspection device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an illumination device with less illuminance unevenness, and an imaging device, an inspection device, and an electronic apparatus employing the illumination device.SOLUTION: An illumination device 10A extends in an X direction and comprises: a plurality of first wiring 11 arranged in parallel in a Y direction intersecting with the X direction; second wiring 12 which extends in the Y direction and to which one ends of the plurality of first wiring 11 are connected; third wiring 13 which extends in the Y direction, provided at an outer side than the second wiring 12, and one end of which is connected with the second wiring 12; a first terminal part 17 to which the other end of the third wiring 13 is connected; fourth wiring 26 formed at least across in a region E1; fifth wiring which extends in the Y direction; and sixth wiring which extends in the X direction, electrically connected to the fourth wiring 26, and connected with the fifth wiring. An anode 2 as a first electrode for each of a plurality of organic EL elements 1 is connected with one of the plurality of first wiring 11, and a part of the fourth wiring 26 functions as a cathode 8 as a second electrode.

Description

本発明は、照明装置、照明装置を備えた、電子機器、撮像装置、検査装置に関する。   The present invention relates to an illumination device and an electronic apparatus, an imaging device, and an inspection device that include the illumination device.

上記照明装置として分散して配置された複数の発光素子部と、複数の発光素子部に接続された第1配線及び第2配線を備え、第1配線及び第2配線が互いに並列に延在するパターンを有する照明装置が知られている(特許文献1)。
特許文献1の照明装置によれば、第1配線及び第2配線が透光性材料で構成されているので、複数の発光素子部からの発光を阻害せずに、光の取り出し効率を向上させることができるとしている。
第1配線及び第2配線を構成する透光性材料としてITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)の例が挙げられている。これらの透明導電材料は、不透明な例えばアルミニウムや銅などの導電材料に比べて電気抵抗が大きいので、第1配線及び第2配線において給電部分から離れるほど電圧降下が生じ、第1配線及び第2配線に接続された複数の発光素子部における発光の輝度むらが生ずるおそれがある。
そこで、例えば特許文献2には、複数の発光素子が形成された光出射領域とその周辺領域に亘って形成され、複数の発光素子に電気的に接続された透明配線層と、周辺領域に形成され、透明配線層に接すると共に透明配線層よりも低い(小さい)電気抵抗を有する低抵抗配線層とを備えた照明装置が開示されている。特許文献2によれば、低抵抗配線層を介して透明配線層に給電することにより、周辺領域における透明配線層の電圧降下を低減して、一様な光強度で光を出射可能な照明装置を提供できるとしている。
The lighting device includes a plurality of light emitting element portions arranged in a distributed manner, and a first wiring and a second wiring connected to the plurality of light emitting element portions, and the first wiring and the second wiring extend in parallel with each other. An illumination device having a pattern is known (Patent Document 1).
According to the illumination device of Patent Document 1, since the first wiring and the second wiring are made of a light-transmitting material, light extraction efficiency is improved without hindering light emission from the plurality of light-emitting element portions. You can do that.
Examples of the translucent material constituting the first wiring and the second wiring include ITO (Indium Tin Oxide) and IZO (Indium Zinc Oxide). Since these transparent conductive materials have a larger electric resistance than opaque conductive materials such as aluminum and copper, a voltage drop occurs as the distance from the power feeding portion increases in the first wiring and the second wiring, and the first wiring and the second wiring. There is a possibility that uneven luminance of light emission occurs in a plurality of light emitting element portions connected to the wiring.
Therefore, for example, in Patent Document 2, a transparent wiring layer that is formed over a light emitting region in which a plurality of light emitting elements are formed and a peripheral region thereof, and is electrically connected to the plurality of light emitting elements, and a peripheral region is formed. An illuminating device is disclosed that includes a low-resistance wiring layer that is in contact with the transparent wiring layer and has a lower (smaller) electrical resistance than the transparent wiring layer. According to Patent Document 2, a power supply to the transparent wiring layer through the low-resistance wiring layer reduces the voltage drop of the transparent wiring layer in the peripheral region and can emit light with uniform light intensity. Can provide.

特開2008−77865号公報JP 2008-77865 A 特開2010−238497号公報JP 2010-238497 A

特許文献2では、発光素子として有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子を用いた例が挙げられている。透明配線層は有機EL素子の陽極として機能する陽極配線と、有機EL素子の陰極に電気的に接続する陰極配線とを有し、それぞれ独立して形成された低抵抗配線層に接している。陽極配線と陰極配線とは並列しており、並列した両端側にそれぞれ設けられた低抵抗配線層と接している。したがって、陽極配線は低抵抗配線層に接した一方の端から他方の端に向って電気抵抗が大きくなる。これに対して、陰極配線は、陽極配線の他方の端側に設けられた低抵抗配線層に接しているので、他方の端から一方の端に向って電気抵抗が大きくなる。つまり、並列した陽極配線と陰極配線とにおける電気抵抗分布が異なるので、複数の発光素子における陽極と陰極との間の電位がばらついて、一様な光強度の発光が得られないおそれがあるという課題がある。   Patent Document 2 gives an example in which an organic EL (electroluminescence) element is used as a light emitting element. The transparent wiring layer has an anode wiring functioning as an anode of the organic EL element and a cathode wiring electrically connected to the cathode of the organic EL element, and is in contact with the independently formed low-resistance wiring layer. The anode wiring and the cathode wiring are in parallel, and are in contact with the low resistance wiring layers provided on both ends of the parallel wiring. Accordingly, the electrical resistance of the anode wiring increases from one end in contact with the low resistance wiring layer to the other end. On the other hand, since the cathode wiring is in contact with the low resistance wiring layer provided on the other end side of the anode wiring, the electric resistance increases from the other end toward one end. In other words, since the electrical resistance distribution between the anode wiring and the cathode wiring in parallel is different, the potential between the anode and the cathode in the plurality of light emitting elements varies, and there is a possibility that light emission with uniform light intensity may not be obtained. There are challenges.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例に係る照明装置は、基板上に第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が配置された領域を有する照明装置であって、第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、前記第1の方向と前記第2の方向とに延在し、少なくとも前記領域に亘って形成された第4配線と、前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、前記第4配線の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、前記第4配線の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部と、を備え、前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、前記第4配線の一部が前記第2電極として機能していることを特徴とする。   Application Example 1 An illumination apparatus according to this application example is an illumination apparatus having a region where a plurality of organic EL elements each having a light emitting layer are disposed between a first electrode and a second electrode on a substrate. A plurality of first wirings extending in a first direction and parallel to each other in a second direction intersecting the first direction; and one of the plurality of first wirings extending in the second direction A second wiring connected to the second wiring, a third wiring extending in the second direction and provided outside the second wiring, and having one end connected to the second wiring; A first terminal connected to the other end of the third wiring, a fourth wiring extending in the first direction and the second direction, and formed over at least the region; A fifth wiring extending in the second direction and provided outside the third wiring; and extending in the first direction and extending in the second direction. A sixth wiring electrically connected to one end of the fourth wiring and connected to one end of the fifth wiring on the opposite side of the first terminal portion, and the fourth wiring A second terminal portion connected to the other end portion in the second direction, and a third terminal portion connected to the other end portion of the fifth wiring, and the first electrode includes It is connected to any one of a plurality of first wirings, and a part of the fourth wiring functions as the second electrode.

この構成によれば、複数の有機EL素子を発光させるために第1端子部に印加された電位(以降、第1電位と称する)は、第3配線、第2配線をこの順に経由して複数の第1配線に伝達され、複数の第1配線のいずれかに電気的に接続された第1電極に印加される。複数の第1配線は第2の方向に並列して配置されているので、複数の第1配線のうち第1端子部に最も近い側の第1配線が電気的な配線経路上で第1端子部から最も遠いところに位置することになる。つまり、複数の第1配線は、第1端子部に近い第1配線ほど電気抵抗が大きくなる。したがって、第1端子部に近い第1配線ほど第1電位の電圧降下が大きくなる。
これに対して、複数の有機EL素子を発光させるために第2端子部と、第3端子部に印加された電位(以降、第2電位と称する)は、第1電位に対して一定の電位(例えばGND電位)が与えられる。複数の有機EL素子が配置される領域に亘って形成された第4配線の一部が第2電極として機能しているので、第4配線における第2電極の位置が第2端子部から離れるほど電気抵抗が大きくなる。つまり、第2電極は、第2端子部に近いほど第2電位の電圧損失が小さく、第2端子部から離れるほど第2電位は上昇する。ただし、本構成によれば、第3端子部から印加される第2電位は、第5配線、第6配線を経由して、第4配線に伝達され、発光に寄与する電圧損失を受けずに第2端子部と反対側から第4配線に印加される。つまり、第2電位を第2端子部及び第3端子部から同時に印加することで、第4配線に印加される第2電位の電圧上昇の影響は第2及び第3端子部に近いほど小さく、第2及び第3端子部から離れるほど電圧上昇は大きくなる。
ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向と、第2端子部と第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の傾向とが、複数の第1配線が配列した第2の方向において類似することになる。さらに、第3端子部からの第2電位の印加によって、第2電極に印加される第2電位の電圧上昇は抑えられ、複数の第1電極と第2電極との間の電位の差の分布を第1電位と第2電位との差に近づける、あるいは一致させることが可能となるので、複数の有機EL素子において駆動電圧のばらつきによる輝度むらを低減することができる。言い換えれば、複数の有機EL素子に給電するための配線の配置に起因する輝度むらが低減された照明装置を提供できる。
According to this configuration, a plurality of potentials (hereinafter referred to as first potentials) applied to the first terminal portion for causing the plurality of organic EL elements to emit light are transmitted via the third wiring and the second wiring in this order. To the first electrode electrically connected to any one of the plurality of first wirings. Since the plurality of first wirings are arranged in parallel in the second direction, the first wiring closest to the first terminal portion among the plurality of first wirings is the first terminal on the electrical wiring path. It will be located at the farthest from the part. That is, the electrical resistance of the plurality of first wirings increases as the first wiring is closer to the first terminal portion. Therefore, the voltage drop of the first potential increases as the first wiring is closer to the first terminal portion.
In contrast, the potential applied to the second terminal portion and the third terminal portion in order to cause the plurality of organic EL elements to emit light (hereinafter referred to as the second potential) is a constant potential with respect to the first potential. (For example, GND potential) is given. Since a part of the fourth wiring formed over the region where the plurality of organic EL elements are arranged functions as the second electrode, the position of the second electrode in the fourth wiring becomes farther from the second terminal portion. Increases electrical resistance. That is, as the second electrode is closer to the second terminal portion, the voltage loss of the second potential is smaller, and the second potential increases as the distance from the second terminal portion is increased. However, according to this configuration, the second potential applied from the third terminal portion is transmitted to the fourth wiring via the fifth wiring and the sixth wiring, without receiving a voltage loss contributing to light emission. The voltage is applied to the fourth wiring from the side opposite to the second terminal portion. That is, by simultaneously applying the second potential from the second terminal portion and the third terminal portion, the influence of the voltage increase of the second potential applied to the fourth wiring is smaller as it is closer to the second and third terminal portions, The voltage increase increases as the distance from the second and third terminal portions increases.
Therefore, the tendency of the voltage drop of the first potential due to the difference in electrical distance between the first terminal portion and the plurality of first electrodes and the difference in electrical distance between the second terminal portion and the second electrode. The resulting increase in voltage of the second potential is similar in the second direction in which the plurality of first wirings are arranged. Further, the application of the second potential from the third terminal portion suppresses the voltage increase of the second potential applied to the second electrode, and the distribution of potential differences between the plurality of first electrodes and the second electrode. Can be brought close to or coincident with the difference between the first potential and the second potential, so that unevenness in luminance due to variations in drive voltage can be reduced in a plurality of organic EL elements. In other words, it is possible to provide an illumination device in which unevenness in luminance due to the arrangement of wirings for supplying power to a plurality of organic EL elements is reduced.

[適用例2]本適用例に係る照明装置は、基板上に第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が配置された領域を有する照明装置であって、第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、少なくとも前記領域において、前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に間隔をおいて互いに並列する複数の第4配線枝部を有する第4配線と、前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、前記複数の第4配線枝部の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、前記複数の第4配線枝部の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部、を備え、前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、前記第4配線枝部の一部が前記第2電極として機能し、前記有機EL素子は、前記複数の第1配線と前記複数の第4配線枝部との交差部に対応して設けられていることを特徴とする。   Application Example 2 An illumination apparatus according to this application example is an illumination apparatus having a region where a plurality of organic EL elements each having a light emitting layer are disposed between a first electrode and a second electrode on a substrate. A plurality of first wirings extending in a first direction and parallel to each other in a second direction intersecting the first direction; and one of the plurality of first wirings extending in the second direction A second wiring connected to the second wiring, a third wiring extending in the second direction and provided outside the second wiring, and having one end connected to the second wiring; A first terminal connected to the other end of the third wiring, and at least a plurality of first terminals extending in the second direction and parallel to each other at an interval in the first direction; A fourth wiring having four wiring branches, and a fifth wiring extending in the second direction and provided outside the third wiring; Extending in the first direction, electrically connected to one end of the plurality of fourth wiring branches on the opposite side of the first terminal portion in the second direction, and the fifth A sixth wiring connected to one end of the wiring; a second terminal connected to the other end of the plurality of fourth wiring branches in the second direction; and the other of the fifth wiring A first terminal connected to one of the plurality of first wirings, and a part of the fourth wiring branch functioning as the second electrode. The organic EL element is provided corresponding to an intersection of the plurality of first wirings and the plurality of fourth wiring branch portions.

この構成によれば、複数の有機EL素子を発光させるために第1端子部に印加された電位(以降、第1電位と称する)は、第3配線、第2配線をこの順に経由して複数の第1配線に伝達され、複数の第1配線に電気的に並列に接続された複数の第1電極にそれぞれ印加される。複数の第1配線は第2の方向に並列して配置されているので、複数の第1配線のうち第1端子部に最も近い側の第1配線が電気的な配線経路上で第1端子部から最も遠いところに位置することになる。つまり、複数の第1配線は、第1端子部に近い第1配線ほど電気抵抗が大きくなる。したがって、第1端子部に近い第1配線ほど第1電位の電圧降下が大きくなる。
これに対して、複数の有機EL素子を発光させるために第2端子部と、第3端子部に印加された電位(以降、第2電位と称する)は、第1電位に対して一定の電位(例えばGND電位)が与えられる。第4配線枝部の一部が第2電極として機能し、第4配線枝部のそれぞれは、第2端子部から離れるほど電気抵抗が大きくなる。つまり、第2電極は、第2端子部に近いほど第2電位の電圧損失が小さく、第2端子部から離れるほど第2電位は上昇する。ただし、本構成によれば、第3端子部から印加される第2電位は、第5配線、第6配線を経由して、複数の第4配線枝部に伝達され、発光に寄与する電圧損失を受けずに第2端子部と反対側から複数の第4配線枝部に印加されるため、第2端子部から近いほど電圧上昇が大きくなる。つまり、第2電位を第2端子部と第3端子部から同時に印加することで、複数の第4配線枝部に印加される第2電位の電圧上昇の影響は第2及び第3端子部に近いほど小さく、第2及び第3端子部から離れるほど大きくなる。
ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向と、第2端子部と第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の傾向とが、複数の第1配線が配列した第2の方向において類似することになる。さらに、第3端子部からの第2電位の印加によって、第2電極に印加される第2電位の電圧上昇は抑えられ、複数の第1電極と第2電極との間の電位の差の分布を第1電位と第2電位との差に近づける、あるいは一致させることが可能となるので、複数の有機EL素子において駆動電圧のばらつきによる輝度むらを低減することができる。言い換えれば、複数の有機EL素子に給電するための配線の配置に起因する輝度むらが低減された照明装置を提供できる。
According to this configuration, a plurality of potentials (hereinafter referred to as first potentials) applied to the first terminal portion for causing the plurality of organic EL elements to emit light are transmitted via the third wiring and the second wiring in this order. And is applied to the plurality of first electrodes electrically connected in parallel to the plurality of first wirings. Since the plurality of first wirings are arranged in parallel in the second direction, the first wiring closest to the first terminal portion among the plurality of first wirings is the first terminal on the electrical wiring path. It will be located at the farthest from the part. That is, the electrical resistance of the plurality of first wirings increases as the first wiring is closer to the first terminal portion. Therefore, the voltage drop of the first potential increases as the first wiring is closer to the first terminal portion.
In contrast, the potential applied to the second terminal portion and the third terminal portion in order to cause the plurality of organic EL elements to emit light (hereinafter referred to as the second potential) is a constant potential with respect to the first potential. (For example, GND potential) is given. Part of the fourth wiring branch functions as a second electrode, and the electrical resistance of each of the fourth wiring branch increases as the distance from the second terminal portion increases. That is, as the second electrode is closer to the second terminal portion, the voltage loss of the second potential is smaller, and as the second electrode is further away from the second terminal portion, the second potential is increased. However, according to this configuration, the second potential applied from the third terminal portion is transmitted to the plurality of fourth wiring branch portions via the fifth wiring and the sixth wiring, and voltage loss contributing to light emission. Without being received, the voltage is applied to the plurality of fourth wiring branches from the side opposite to the second terminal portion, so that the voltage rises closer to the second terminal portion. That is, by applying the second potential simultaneously from the second terminal portion and the third terminal portion, the influence of the voltage increase of the second potential applied to the plurality of fourth wiring branch portions is applied to the second and third terminal portions. The closer the distance is, the smaller the distance from the second and third terminal portions.
Therefore, the tendency of the voltage drop of the first potential due to the difference in electrical distance between the first terminal portion and the plurality of first electrodes and the difference in electrical distance between the second terminal portion and the second electrode. The resulting increase in voltage of the second potential is similar in the second direction in which the plurality of first wirings are arranged. Further, the application of the second potential from the third terminal portion suppresses the voltage increase of the second potential applied to the second electrode, and the distribution of potential differences between the plurality of first electrodes and the second electrode. Can be brought close to or coincident with the difference between the first potential and the second potential, so that unevenness in luminance due to variations in drive voltage can be reduced in a plurality of organic EL elements. In other words, it is possible to provide an illumination device in which unevenness in luminance due to the arrangement of wirings for supplying power to a plurality of organic EL elements is reduced.

[適用例3]上記適用例に係る照明装置において、前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の他方の端部が接続された第7配線と、前記第2の方向に延在し、前記第7配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第7配線に接続された第8配線と、前記第8配線の他方の端部が接続された第4端子部と、前記第8配線の外側に設けられ一方の端部が前記第6配線と接続された第9配線と、前記第9配線の他方の端部が接続された第5端子部と、を備え、前記第2の方向において、前記第1端子部及び前記第2端子部及び第3端子部及び第4端子部並びに前記第5端子部が同じ側に配置されていることが好ましい。
この構成によれば、第1端子部と第4端子部とに有機EL素子を発光させるための第1電位を印加すれば、複数の第1配線の両端側から給電されることになるので、第1端子部及び第4端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の程度を小さくすることができる。また、第2端子部と第3端子部と第5端子部とに有機EL素子を発光させるための第2電位を印加すれば、第4配線の第2の方向における両側から給電されることになるので、第2端子部および第3端子部並び第5端子部と複数の第2電極との電気的な距離の違いに起因する第2電位の電圧上昇の程度を小さくすることができる。つまり、駆動電圧の損失による無駄な電力の消費を抑え、安定した輝度の発光が得られる照明装置を提供できる。
Application Example 3 In the lighting device according to the application example, a seventh wiring extending in the second direction and connected to the other end of the plurality of first wirings, and in the second direction An eighth wiring extending outside the seventh wiring and having one end connected to the seventh wiring; and a fourth terminal connected to the other end of the eighth wiring; A ninth wiring provided on the outside of the eighth wiring and having one end connected to the sixth wiring and a fifth terminal connected to the other end of the ninth wiring; In the second direction, it is preferable that the first terminal portion, the second terminal portion, the third terminal portion, the fourth terminal portion, and the fifth terminal portion are arranged on the same side.
According to this configuration, if a first potential for causing the organic EL element to emit light is applied to the first terminal portion and the fourth terminal portion, power is supplied from both ends of the plurality of first wirings. The degree of voltage drop of the first potential due to the difference in electrical distance between the first terminal portion and the fourth terminal portion and the plurality of first electrodes can be reduced. Further, if a second potential for causing the organic EL element to emit light is applied to the second terminal portion, the third terminal portion, and the fifth terminal portion, power is supplied from both sides in the second direction of the fourth wiring. Therefore, the degree of voltage increase of the second potential due to the difference in electrical distance between the second terminal portion, the third terminal portion, the fifth terminal portion, and the plurality of second electrodes can be reduced. In other words, it is possible to provide an illumination device that can suppress useless power consumption due to loss of drive voltage and can emit light with stable luminance.

[適用例4]上記適用例に係る照明装置において、前記複数の第1配線のうち、前記領域の中央側に位置する少なくとも1つの第1配線が他の第1配線よりも幅が大きいことが好ましい。
これによれば、複数の有機EL素子が配置された領域の中央側に位置する少なくとも1つの第1配線の電気抵抗を他の第1配線に比べて小さくすることができる。ゆえに、第1端子部と複数の第1電極との電気的な距離の違いに起因する第1電位の電圧降下の傾向を緩やかにすることができる。言い換えれば、隣り合う有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
Application Example 4 In the illumination device according to the application example described above, among the plurality of first wirings, at least one first wiring located on a central side of the region may have a width larger than other first wirings. preferable.
According to this, the electrical resistance of at least one 1st wiring located in the center side of the area | region where the some organic EL element is arrange | positioned can be made small compared with another 1st wiring. Therefore, the tendency of the voltage drop of the first potential due to the difference in electrical distance between the first terminal portion and the plurality of first electrodes can be moderated. In other words, it is possible to make the luminance unevenness caused by the variation in driving voltage applied between adjacent organic EL elements more inconspicuous.

[適用例5]上記適用例に係る照明装置において、前記複数の第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記基板上において同層に設けられていることが好ましい。
これによれば、同一の配線形成工程で前記第4配線以外の配線を形成することが可能となり、配線形成工程を簡略化して優れたコストパフォーマンスを有する照明装置を提供できる。
Application Example 5 In the lighting device according to the application example, the plurality of first wirings, the second wiring, the third wiring, the fifth wiring, the sixth wiring, the seventh wiring, and the eighth wiring. The ninth wiring is preferably provided in the same layer on the substrate.
According to this, it becomes possible to form wirings other than the fourth wiring in the same wiring forming process, and it is possible to provide a lighting device having an excellent cost performance by simplifying the wiring forming process.

[適用例6]上記適用例に係る照明装置において、前記複数の第1配線は、少なくとも前記領域に亘って設けられ、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記領域の外側に設けられていることが好ましい。
これによれば、複数の有機EL素子からの発光が第2配線、第3配線、第5配線、第6配線、第7配線、第8配線、第9配線によって阻害されないので、効率よく発光が射出される。
Application Example 6 In the illumination device according to the application example, the plurality of first wirings are provided over at least the region, and the second wiring, the third wiring, the fifth wiring, and the sixth wiring. The seventh wiring, the eighth wiring, and the ninth wiring are preferably provided outside the region.
According to this, light emission from the plurality of organic EL elements is not hindered by the second wiring, the third wiring, the fifth wiring, the sixth wiring, the seventh wiring, the eighth wiring, and the ninth wiring. It is injected.

[適用例7]上記適用例に係る照明装置において、前記第3配線の幅は前記第2配線よりも大きく、前記第8配線の幅は前記第7配線よりも大きいことが好ましい。
これによれば、第1端子部に直接に接続された第3配線、第4端子部に直接に接続された第8配線における第1電位の電圧降下を抑えることができる。ゆえに、複数の有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
Application Example 7 In the lighting device according to the application example, it is preferable that the width of the third wiring is larger than that of the second wiring, and the width of the eighth wiring is larger than that of the seventh wiring.
According to this, the voltage drop of the 1st potential in the 3rd wiring directly connected to the 1st terminal part and the 8th wiring connected directly to the 4th terminal part can be controlled. Therefore, it is possible to make the luminance unevenness caused by the variation in the driving voltage applied between the plurality of organic EL elements more inconspicuous.

[適用例8]上記適用例に係る照明装置において、前記第5配線の幅は前記第3配線と同等で、前記第9配線の幅は前記第8配線と同等であることが好ましい。
これによれば、第3配線に対する第5配線の幅や第8配線対する第9配線の幅が不均等である場合に比べて、第3端子部に直接に接続された第5配線、及び第5端子部に直接に接続された第9配線における第2電位の電圧上昇のばらつきを抑えることができる。ゆえに、複数の有機EL素子の間に印加される駆動電圧のばらつきに起因する輝度むらをより目立ち難くすることができる。
Application Example 8 In the lighting device according to the application example, it is preferable that the width of the fifth wiring is equal to that of the third wiring, and the width of the ninth wiring is equal to that of the eighth wiring.
According to this, as compared with the case where the width of the fifth wiring with respect to the third wiring and the width of the ninth wiring with respect to the eighth wiring are unequal, the fifth wiring directly connected to the third terminal portion, and It is possible to suppress variations in the voltage increase of the second potential in the ninth wiring directly connected to the five terminal portions. Therefore, it is possible to make the luminance unevenness caused by the variation in the driving voltage applied between the plurality of organic EL elements more inconspicuous.

[適用例9]上記適用例に係る照明装置において、前記基板上の前記複数の第1配線を覆う絶縁層と、前記複数の第1配線と重なる前記絶縁層の部分に設けられた複数のコンタクトホールと、を備え、前記第1電極は、前記複数の第1配線のうちの1つの第1配線と重なって設けられ、前記複数のコンタクトホールのうち少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜により前記1つの第1配線と電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、第1配線と重なった位置に有機EL素子が配置される。第2の方向に並列した第1配線間に有機EL素子を配置する場合に比べて、有機EL素子を高密度に配置することができる。また、この照明装置と複数の受光素子とを組み合わせて撮像装置とする場合、受光素子を第1配線間に配置したときに、有機EL素子が邪魔にならずに済む。言い換えれば、受光素子の配置における自由度が高まるので、より鮮明な被写体の画像を得ることが可能となる。
Application Example 9 In the illumination device according to the application example described above, an insulating layer that covers the plurality of first wirings on the substrate, and a plurality of contacts provided in the insulating layer that overlaps the plurality of first wirings. And the first electrode is provided to overlap with one first wiring of the plurality of first wirings, and is formed in at least one contact hole of the plurality of contact holes. The film is electrically connected to the one first wiring by a film.
According to this configuration, the organic EL element is disposed at a position overlapping the first wiring. Compared to the case where the organic EL elements are arranged between the first wirings arranged in parallel in the second direction, the organic EL elements can be arranged with high density. Further, in the case where the illumination device and a plurality of light receiving elements are combined to form an imaging device, the organic EL element does not get in the way when the light receiving elements are arranged between the first wires. In other words, since the degree of freedom in the arrangement of the light receiving elements is increased, a clearer subject image can be obtained.

[適用例10]上記適用例に係る照明装置において、前記複数の第1配線は、光反射性を有する導電材料により構成され、前記第1電極及び前記第4配線は、光透過性を有する導電材料により構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、複数の有機EL素子からの発光を第2電極側から取り出すことができ、且つ第1配線が光反射性を有しているので、発光の取り出し効率を高めることができる。つまり、明るい面発光が得られる照明装置を提供できる。
Application Example 10 In the illumination device according to the application example described above, the plurality of first wirings are made of a light-reflective conductive material, and the first electrode and the fourth wiring are conductive light-transmitting materials. It is composed of a material.
According to this configuration, light emitted from the plurality of organic EL elements can be extracted from the second electrode side, and the first wiring has light reflectivity, so that the efficiency of extracting light can be increased. That is, it is possible to provide an illumination device that can obtain bright surface light emission.

[適用例11]上記適用例に係る照明装置において、前記少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜は、前記第1電極と同じ光透過性を有する導電材料で構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、絶縁層を覆って例えばITOやIZOなどの光透過性の導電材料を成膜しパターニングすることで、第1配線にコンタクトホールを介して電気的に接続された第1電極を形成することが可能となる。光反射性を有する導電材料で構成される第1配線は第1電極よりも低抵抗な状態とすることができる。これに対してコンタクトホール内に形成された第1電極の一部は高抵抗となるため、コンタクトホール自体にヒューズ機能を持たせることができる。つまり、複数の有機EL素子のうち一部の有機EL素子が短絡すると、当該有機EL素子に所定よりも大きな過電流が流れる。該過電流によって上記コンタクトホール内の導電膜が溶融して断線すれば、他の有機EL素子における電流の流れ、すなわち他の有機EL素子の発光に影響を及ぼさずに済む。
Application Example 11 In the illumination device according to the application example, the conductive film formed in the at least one contact hole is formed of a conductive material having the same light transmittance as that of the first electrode. And
According to this configuration, the first electrode electrically connected to the first wiring through the contact hole is formed by forming a light-transmitting conductive material such as ITO or IZO and patterning the insulating layer. Can be formed. The first wiring formed of a conductive material having light reflectivity can be in a lower resistance state than the first electrode. On the other hand, since a part of the first electrode formed in the contact hole has a high resistance, the contact hole itself can have a fuse function. That is, when some of the organic EL elements are short-circuited, an overcurrent larger than a predetermined value flows through the organic EL element. If the conductive film in the contact hole is melted and disconnected due to the overcurrent, the current flow in the other organic EL element, that is, the light emission of the other organic EL element is not affected.

[適用例12]上記適用例に係る照明装置において、前記第1の方向に延在し、前記第4配線と前記第2端子とを電気的に接続させる第10配線を有し、前記第10配線は、前記第4配線よりも低抵抗な導電材料により構成されていることが好ましい。
この構成によれば、第2電極における第2端子部からの距離に起因する電気抵抗の変化を小さくすることができる。
Application Example 12 In the lighting device according to the application example described above, the illumination device according to the application example includes a tenth wiring extending in the first direction and electrically connecting the fourth wiring and the second terminal. The wiring is preferably made of a conductive material having a lower resistance than the fourth wiring.
According to this configuration, the change in electrical resistance due to the distance from the second terminal portion in the second electrode can be reduced.

[適用例13]上記適用例に係る照明装置において、前記第10配線は、前記領域よりも外側に設けられ、前記基板上において、前記第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線と同層に形成されていることが好ましい。
これによれば、配線形成工程を簡略化できるので、優れたコストパフォーマンスを有する照明装置を提供できる。
Application Example 13 In the lighting device according to the application example, the tenth wiring is provided outside the region, and the first wiring, the second wiring, the third wiring, The fifth wiring, the sixth wiring, the seventh wiring, the eighth wiring, and the ninth wiring are preferably formed in the same layer.
According to this, since a wiring formation process can be simplified, the illuminating device which has the outstanding cost performance can be provided.

[適用例14]本発明に係る電子機器は、上記適用例の照明装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、見栄えのよい電子機器を提供できる。
Application Example 14 An electronic apparatus according to the present invention is characterized by including the illumination device according to the application example.
According to this configuration, since the illumination device with reduced luminance unevenness is provided, an electronic device having a good appearance can be provided.

[適用例15]本発明に係る撮像装置は、上記適用例の照明装置と、前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、コントラストむらが少ない被写体の画像を撮像することができる撮像装置を提供することができる。
Application Example 15 An imaging apparatus according to the present invention includes the illumination apparatus according to the application example described above, and a light receiving element that captures an image of a subject illuminated by the illumination apparatus.
According to this configuration, since the illumination device with reduced luminance unevenness is provided, it is possible to provide an imaging device capable of capturing an image of a subject with little contrast unevenness.

[適用例16]本発明に係る検査装置は、上記適用例の照明装置と、前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、前記受光素子の検出結果によって検査を行う制御部と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、輝度むらが低減された照明装置を備えているので、コントラストむらが少ない被写体の画像に基づいて、より正確な検査が可能な検査装置を提供することができる。
Application Example 16 An inspection apparatus according to the present invention includes an illumination apparatus according to the application example, a light receiving element that captures an image of a subject illuminated by the illumination apparatus, and a control unit that performs inspection based on a detection result of the light receiving element. And.
According to this configuration, since the illumination device with reduced luminance unevenness is provided, it is possible to provide an inspection device capable of performing a more accurate inspection based on an image of a subject with less contrast unevenness.

第1実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the electrical constitution of the illuminating device of 1st Embodiment. 第1実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the structure of the illuminating device of 1st Embodiment. 第1実施形態の照明装置の要部の構成を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the structure of the principal part of the illuminating device of 1st Embodiment. 図3のA−A’線に沿った概略断面図。FIG. 4 is a schematic sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 3. 有機EL素子の構成を示す模式断面図。The schematic cross section which shows the structure of an organic EL element. 比較例の照明装置の構成を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the structure of the illuminating device of a comparative example. (a)は比較例の照明装置における陽極の電位の大小関係を示す図、(b)は本実施形態の照明装置における陽極の電位の大小関係を示す図。(A) is a figure which shows the magnitude relationship of the electric potential of the anode in the illuminating device of a comparative example, (b) is a figure which shows the magnitude relationship of the electric potential of the anode in the illuminating device of this embodiment. (a)は比較例の照明装置における陽極の電位(VEL)及び陰極の電位(VCT)と有機EL素子の位置との関係を示すグラフ、(b)は本実施形態の照明装置における陽極の電位(VEL)及び陰極の電位(VCT)と有機EL素子の位置との関係を示すグラフ。(A) is a graph showing the relationship between the potential of the anode (VEL) and the potential of the cathode (VCT) and the position of the organic EL element in the lighting device of the comparative example, and (b) is the potential of the anode in the lighting device of this embodiment. The graph which shows the relationship between (VEL) and the electric potential (VCT) of a cathode, and the position of an organic EL element. 第2実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図。The circuit diagram which shows the electric constitution of the illuminating device of 2nd Embodiment. (a)は第2実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図、(b)は第2実施形態の照明装置の有機EL素子における陽極と陰極の配置を示す概略平面図。(A) is a schematic plan view which shows the structure of the illuminating device of 2nd Embodiment, (b) is a schematic plan view which shows arrangement | positioning of the anode and cathode in the organic EL element of the illuminating device of 2nd Embodiment. 検査装置としての生体認証装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the biometrics apparatus as a test | inspection apparatus. 有機EL素子と受光素子との配置を示す概略平面図。The schematic plan view which shows arrangement | positioning of an organic EL element and a light receiving element. 撮像装置の構造を示す概略断面図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of an imaging device. 変形例の有機EL素子の配置を示す概略平面図。The schematic plan view which shows arrangement | positioning of the organic EL element of a modification.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings to be used are appropriately enlarged or reduced so that the part to be described can be recognized.

(第1実施形態)
<照明装置>
まず、本実施形態の照明装置について、図1〜図5を参照して説明する。図1は第1実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図、図2は第1実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図、図3は第1実施形態の照明装置の要部の構成を示す概略平面図、図4は図3のA−A’線に沿った概略断面図、図5は有機EL素子の構成を示す模式断面図である。
(First embodiment)
<Lighting device>
First, the illuminating device of this embodiment is demonstrated with reference to FIGS. FIG. 1 is a circuit diagram showing the electrical configuration of the illumination device of the first embodiment, FIG. 2 is a schematic plan view showing the configuration of the illumination device of the first embodiment, and FIG. 3 is a schematic diagram of the illumination device of the first embodiment. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 3, and FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the organic EL element.

図1に示すように本実施形態の照明装置10Aは、発光素子としての有機EL(Electro Luminescence)素子1が複数配置された領域E1を有するものである。本実施形態では、領域E1において第1の方向としてのX方向に7個、第1の方向と交差(直交)する第2の方向としてのY方向に5個、合計35個の有機EL素子1がマトリックス状に配置されている。照明光は領域E1から発せられる、つまり領域E1が実質的な発光領域となっている。なお、領域E1に配置される有機EL素子1の個数はこれに限定されるものではない。   As shown in FIG. 1, the illuminating device 10A of this embodiment has the area | region E1 in which the multiple organic EL (Electro Luminescence) element 1 as a light emitting element is arrange | positioned. In the present embodiment, a total of 35 organic EL elements 1 in the region E1, 7 in the X direction as the first direction and 5 in the Y direction as the second direction intersecting (orthogonal) with the first direction. Are arranged in a matrix. The illumination light is emitted from the region E1, that is, the region E1 is a substantial light emitting region. The number of organic EL elements 1 arranged in the region E1 is not limited to this.

有機EL素子1の詳しい構成については後述するが、有機EL素子1は、第1電極としての陽極2と、第2電極として陰極8との間に有機膜からなる発光層を有している。複数の有機EL素子1のそれぞれの陽極2は、複数(5本)の第1配線11のいずれかに接続されている。1本当たりの第1配線11には7個の有機EL素子1の陽極2が電気的に並列に接続されている。   Although the detailed configuration of the organic EL element 1 will be described later, the organic EL element 1 has a light emitting layer made of an organic film between the anode 2 as the first electrode and the cathode 8 as the second electrode. Each anode 2 of the plurality of organic EL elements 1 is connected to one of a plurality (five) of first wirings 11. The anodes 2 of the seven organic EL elements 1 are electrically connected in parallel to the first wiring 11 per one.

X方向に延在した複数の第1配線11の一方の端部は、Y方向に延在した第2配線12に接続されている。第2配線12は、同じくY方向に延在した第3配線13に接続されている。第3配線13の一方の端部が第2配線12に接続され、第3配線13の他方の端部には第1端子部17が設けられている。   One end of the plurality of first wirings 11 extending in the X direction is connected to the second wiring 12 extending in the Y direction. The second wiring 12 is connected to a third wiring 13 that also extends in the Y direction. One end of the third wiring 13 is connected to the second wiring 12, and a first terminal portion 17 is provided at the other end of the third wiring 13.

X方向に延在した複数の第1配線11の他方の端部は、Y方向に延在した第7配線14に接続されている。第7配線14は、同じくY方向に延在した第8配線15に接続されている。第8配線15の一方の端部が第7配線14に接続され、第8配線15の他方の端部には第4端子部19が設けられている。つまり、複数の第1配線11は、X方向における両端側に給電用の配線が接続されている。   The other end of the plurality of first wirings 11 extending in the X direction is connected to a seventh wiring 14 extending in the Y direction. The seventh wiring 14 is connected to an eighth wiring 15 that also extends in the Y direction. One end of the eighth wiring 15 is connected to the seventh wiring 14, and a fourth terminal portion 19 is provided at the other end of the eighth wiring 15. That is, the plurality of first wirings 11 are connected to power supply wirings at both ends in the X direction.

複数の有機EL素子1が配置された領域E1に亘って第4配線26が形成されている。第4配線26のY方向における一方の端部は、X方向に延在した第6配線28に接続されている。X方向に延在した第6配線28の一方の端部は、Y方向に延在した第5配線30の一方の端部に接続され、第5配線30の他方の端部には第3端子部27が設けられている。X方向に延在した第6配線28の他方の端部はY方向に延在した第9配線31の一方の端部に接続され、第9配線31の他方の端部には第5端子部29が設けられている。つまり、第4配線26は第6配線28を介してX方向における両側に給電用の配線が接続されている。   The 4th wiring 26 is formed over the area | region E1 in which the some organic EL element 1 is arrange | positioned. One end of the fourth wiring 26 in the Y direction is connected to a sixth wiring 28 extending in the X direction. One end of the sixth wiring 28 extending in the X direction is connected to one end of the fifth wiring 30 extending in the Y direction, and the third terminal is connected to the other end of the fifth wiring 30. A portion 27 is provided. The other end of the sixth wiring 28 extending in the X direction is connected to one end of the ninth wiring 31 extending in the Y direction, and the fifth terminal portion is connected to the other end of the ninth wiring 31. 29 is provided. That is, the fourth wiring 26 is connected to the power supply wiring on both sides in the X direction via the sixth wiring 28.

第4配線26の一部が有機EL素子1の陰極8として機能しており、複数の有機EL素子1が第4配線26を介して第6配線28に電気的に接続されている。第4配線26のY方向における他方の端部には第10配線16を介して第2端子部18が設けられている。   A part of the fourth wiring 26 functions as the cathode 8 of the organic EL element 1, and the plurality of organic EL elements 1 are electrically connected to the sixth wiring 28 via the fourth wiring 26. A second terminal portion 18 is provided via the tenth wiring 16 at the other end in the Y direction of the fourth wiring 26.

複数の有機EL素子1は、第1端子部17及び第4端子部19と第2端子部18及び第3端子部27並び第5端子部29との間に駆動電圧が印加され、陽極2と陰極8との間に電流が流れることによって発光層が発光する。第2端子部18及び第3端子部27並び第5端子部29には、例えばGND電位(0V)が与えられ、第1端子部17及び第4端子部19には、GND電位(0V)よりも大きな電位(+電位)が与えられる。これにより陽極2から陰極8に向って電流が流れる。つまり、陽極2から正孔が注入され、陰極8から電子が注入される。発光層では、注入された正孔と電子とにより励起子(エキシトン)が生成され、励起子(エキシトン)が消滅する際(正孔と電子とが再結合する際)にエネルギーの一部が蛍光や燐光となって放出される。
1つの有機EL素子1の発光輝度は、陽極2と陰極8との間を流れる電流量によって決まる。電流量が所定の輝度が得られる値よりも小さければ輝度は所定の輝度より小さくなる。電流量は陽極2と陰極8との間の電位差に依存する。言い換えれば、複数の有機EL素子1のそれぞれにおいて陽極2と陰極8との間に印加される駆動電圧がばらつくと、輝度がばらつくことになる。
In the plurality of organic EL elements 1, a driving voltage is applied between the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19, the second terminal portion 18 and the third terminal portion 27, and the fifth terminal portion 29. When a current flows between the cathode 8 and the light emitting layer, the light emitting layer emits light. For example, the GND potential (0V) is applied to the second terminal portion 18 and the third terminal portion 27 and the fifth terminal portion 29, and the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 are supplied with the GND potential (0V). Is also given a large potential (+ potential). As a result, a current flows from the anode 2 toward the cathode 8. That is, holes are injected from the anode 2 and electrons are injected from the cathode 8. In the light-emitting layer, excitons (excitons) are generated by the injected holes and electrons, and part of the energy is fluorescent when the excitons (excitons) disappear (when the holes and electrons recombine). And emitted as phosphorescence.
The light emission luminance of one organic EL element 1 is determined by the amount of current flowing between the anode 2 and the cathode 8. If the amount of current is smaller than a value at which a predetermined luminance is obtained, the luminance is smaller than the predetermined luminance. The amount of current depends on the potential difference between the anode 2 and the cathode 8. In other words, if the driving voltage applied between the anode 2 and the cathode 8 varies in each of the plurality of organic EL elements 1, the luminance varies.

本実施形態では、照明装置10Aの複数の有機EL素子1において発光の輝度むらが目立たないように、複数の有機EL素子1に接続される各配線の構成が工夫されている。図2は照明装置10Aにおける各配線の具体的な構成を示すものである。   In the present embodiment, the configuration of each wiring connected to the plurality of organic EL elements 1 is devised so that the luminance unevenness of light emission is not noticeable in the plurality of organic EL elements 1 of the lighting device 10A. FIG. 2 shows a specific configuration of each wiring in the lighting apparatus 10A.

図2に示すように、複数の第1配線11は、X方向に延在すると共に、互いに所定の間隔をおいてY方向に並列している。前述したように、複数の第1配線11の一方の端部(図面上では左側の端部)は、Y方向に延在した第2配線12に接続されている。第2配線12の外側に同じくY方向に延在した第3配線13が設けられており、第3配線13の一方の端部(図面上ではY方向における上方側の端部)が第2配線12に接続されている。第3配線13の他方の端部(図面上ではY方向における下方側の端部)には第1端子部17が設けられている。   As shown in FIG. 2, the plurality of first wirings 11 extend in the X direction and are arranged in parallel in the Y direction at a predetermined interval. As described above, one end (the left end in the drawing) of the plurality of first wirings 11 is connected to the second wiring 12 extending in the Y direction. A third wiring 13 is also provided outside the second wiring 12 and extends in the Y direction. One end of the third wiring 13 (the upper end in the Y direction in the drawing) is the second wiring. 12 is connected. A first terminal portion 17 is provided at the other end portion of the third wiring 13 (the lower end portion in the Y direction in the drawing).

複数の第1配線11の他方の端部(図面上では右側の端部)は、Y方向に延在した第7配線14に接続されている。第7配線14の外側に同じくY方向に延在した第8配線15が設けられており、第8配線15の一方の端部(図面上ではY方向における上方側の端部)が第7配線14に接続されている。第8配線15の他方の端部(図面上ではY方向における下方側の端部)に第4端子部19が設けられている。   The other end (the right end in the drawing) of the plurality of first wirings 11 is connected to a seventh wiring 14 extending in the Y direction. Similarly, an eighth wiring 15 extending in the Y direction is provided outside the seventh wiring 14, and one end of the eighth wiring 15 (the upper end in the Y direction in the drawing) is the seventh wiring. 14. A fourth terminal portion 19 is provided at the other end portion (the lower end portion in the Y direction in the drawing) of the eighth wiring 15.

前述したように、第4配線26は、少なくとも複数の有機EL素子1が含まれる領域E1に亘って形成されており、第4配線26の一部が陰極8として機能している。第4配線26は平面視で四角形であり、Y方向における下側の一辺部に接して第10配線16が設けられている。第2端子部18はX方向に延在した第10配線16に沿って設けられている。第4配線26はX方向に延在した第6配線28を介して、第5配線30並び第9配線31と電気的に接続されている。第3端子部27は第5配線30と、第5端子部29は第9配線31にそれぞれ設けられている。
つまり、図面上でY方向の下側に第1端子部17と第2端子部18と第3端子部27と第4端子部19と第5端子部29とが設けられている。第1端子部17と第4端子部19との間に第2端子部18が配置され、第1端子部17の外側に第3端子部27が設置され、第4端子部19の外側に第5端子部29が設置されている。
As described above, the fourth wiring 26 is formed over at least the region E <b> 1 including the plurality of organic EL elements 1, and a part of the fourth wiring 26 functions as the cathode 8. The fourth wiring 26 is quadrangular in plan view, and the tenth wiring 16 is provided in contact with the lower side in the Y direction. The second terminal portion 18 is provided along the tenth wiring 16 extending in the X direction. The fourth wiring 26 is electrically connected to the fifth wiring 30 and the ninth wiring 31 through a sixth wiring 28 extending in the X direction. The third terminal portion 27 is provided on the fifth wiring 30, and the fifth terminal portion 29 is provided on the ninth wiring 31.
That is, the first terminal portion 17, the second terminal portion 18, the third terminal portion 27, the fourth terminal portion 19, and the fifth terminal portion 29 are provided on the lower side in the Y direction in the drawing. The second terminal unit 18 is disposed between the first terminal unit 17 and the fourth terminal unit 19, the third terminal unit 27 is installed outside the first terminal unit 17, and the second terminal unit 17 is installed outside the fourth terminal unit 19. Five terminal portions 29 are provided.

複数の第1配線11に接続された第2配線12、第3配線13、第7配線14、第8配線15のうち、第2配線12と第7配線14は同じ幅(太さ)で形成されている。また、第3配線13と第8配線15は同じ幅(太さ)で形成されている。第3配線13の幅(太さ)は第2配線12よりも大きい。同じく、第8配線15の幅(太さ)は第7配線14よりも大きい。これにより、第1端子部17及び第4端子部19に印加された電位が第3配線13や第8配線15の電気抵抗によって低下することを抑制している。   Of the second wiring 12, the third wiring 13, the seventh wiring 14, and the eighth wiring 15 connected to the plurality of first wirings 11, the second wiring 12 and the seventh wiring 14 are formed with the same width (thickness). Has been. The third wiring 13 and the eighth wiring 15 are formed with the same width (thickness). The width (thickness) of the third wiring 13 is larger than that of the second wiring 12. Similarly, the width (thickness) of the eighth wiring 15 is larger than that of the seventh wiring 14. As a result, the potential applied to the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 is suppressed from decreasing due to the electrical resistance of the third wiring 13 and the eighth wiring 15.

第6配線28に接続された第5配線30及び第9配線31は、内側にある第3配線13、第8配線15と同等の幅(太さ)で形成されている。これにより第3端子部27及び第5端子部29に印加された電位が第5配線30や第9配線31の電気抵抗によって上昇することを抑制している。   The fifth wiring 30 and the ninth wiring 31 connected to the sixth wiring 28 are formed with the same width (thickness) as the third wiring 13 and the eighth wiring 15 inside. As a result, the potential applied to the third terminal portion 27 and the fifth terminal portion 29 is prevented from increasing due to the electrical resistance of the fifth wiring 30 and the ninth wiring 31.

複数の第1配線11、第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16は、それぞれ基板上に形成されている。また、基板上において同一の配線層(同層)に形成されていることが好ましい。さらには、同一の導電材料を用いて形成されていることが好ましい。これらの配線を構成する導電材料としては、有機EL素子1の陽極2や陰極8を構成するそれぞれの導電材料よりも電気抵抗が小さい金属あるいは合金などが望ましく、例えばAl(アルミニウム)やCu(銅)などを挙げることができる。   The plurality of first wirings 11, second wirings 12, third wirings 13, fifth wirings 30, sixth wirings 28, seventh wirings 14, eighth wirings 15, ninth wirings 31, and tenth wirings 16 are respectively substrates. Formed on top. Moreover, it is preferable to form in the same wiring layer (same layer) on a board | substrate. Furthermore, it is preferable to use the same conductive material. As a conductive material constituting these wirings, a metal or an alloy having a smaller electric resistance than each of the conductive materials constituting the anode 2 and the cathode 8 of the organic EL element 1 is desirable. For example, Al (aluminum) or Cu (copper) ) And the like.

第1端子部17、第2端子部18、第3端子部27、第4端子部19、第5端子部29は、それぞれ対応する配線に接して、あるいは対応する配線の一部として形成されている。第1端子部17、第2端子部18、第3端子部27、第4端子部19、第5端子部29の電気抵抗をより低下させるため対応する配線よりも電気抵抗が小さい材料で形成される、あるいはそれぞれ対向する配線の一部として形成され、Ni(ニッケル)やAu(金)などのメッキ処理が施されていることが好ましい。   The first terminal portion 17, the second terminal portion 18, the third terminal portion 27, the fourth terminal portion 19, and the fifth terminal portion 29 are formed in contact with the corresponding wiring or as part of the corresponding wiring, respectively. Yes. In order to further reduce the electrical resistance of the first terminal portion 17, the second terminal portion 18, the third terminal portion 27, the fourth terminal portion 19, and the fifth terminal portion 29, it is formed of a material having a lower electrical resistance than the corresponding wiring. Or formed as part of the wirings facing each other and plated with Ni (nickel) or Au (gold).

複数の第1配線11は、Y方向において第1端子部17側から配列する順に、第1配線11a、第1配線11b、第1配線11c、第1配線11d、第1配線11eと呼ぶこととする。   The plurality of first wires 11 are referred to as a first wire 11a, a first wire 11b, a first wire 11c, a first wire 11d, and a first wire 11e in the order of arrangement from the first terminal portion 17 side in the Y direction. To do.

次に、有機EL素子1に纏わる構成と構造について、図3〜図5を参照して説明する。
図3に示すように、有機EL素子1の陽極2は、平面視で第1配線11と重なって形成されている。陽極2と第1配線11とは、陽極2と重なった位置に設けられたコンタクトホール9a内の導電膜を介して電気的に接続されている。本実施形態における陽極2の形状は長方形であって、長手方向が第1配線11の延在方向(X方向)と合致するように陽極2が配置されている。陽極2の短手方向の幅は、第1配線11の幅と同じであってもよいし、少し小さくてもよく、また少し大きくても構わない。陰極8が共通電極として形成されるので、1つの有機EL素子1において発光が得られる領域は、ほぼ陽極2の大きさによって決まる。
Next, the configuration and structure of the organic EL element 1 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, the anode 2 of the organic EL element 1 is formed so as to overlap the first wiring 11 in plan view. The anode 2 and the first wiring 11 are electrically connected via a conductive film in a contact hole 9 a provided at a position overlapping the anode 2. The shape of the anode 2 in this embodiment is a rectangle, and the anode 2 is arranged so that the longitudinal direction thereof matches the extending direction (X direction) of the first wiring 11. The width in the short direction of the anode 2 may be the same as the width of the first wiring 11, may be slightly smaller, or may be slightly larger. Since the cathode 8 is formed as a common electrode, a region where light emission can be obtained in one organic EL element 1 is substantially determined by the size of the anode 2.

図4に示すように、第1配線11は基板P1上に形成されている。本実施形態の基板P1は、透光性の例えばガラスやプラスチックなどの基板を用いることができる。本実施形態では、光反射性を有する例えばAl(アルミニウム)を用いて第1配線11が形成されている。第1配線11を覆って絶縁層9が形成されている。絶縁層9は透光性の例えば酸化シリコンなどの無機材料やアクリル樹脂などの有機材料を用いることができる。絶縁層9には第1配線11と重なる位置に複数のコンタクトホール9aが形成されている。陽極2は、透光性(光透過性)の例えばITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)などの透明導電膜を用いて形成されている。具体的には、コンタクトホール9aが形成された絶縁層9の表面を覆うようにITO膜を真空蒸着法やスパッタ法で成膜する。続いて、フォトリソグラフィ法によって、平面視でコンタクトホール9aが含まれるようにITO膜をパターニングして、それぞれ独立した陽極2を形成する。陽極2はコンタクトホール9a内のITO膜を介して第1配線11と電気的に接続される。すなわち、第1配線11上に配列した複数の陽極2同士は、コンタクトホール9aによって電気的に並列して第1配線11に接続される。第1配線11は陽極2を構成するITO膜などの透明導電膜よりも電気抵抗が小さい導電材料を用いて形成されている。これに対して、第1配線11と陽極2とを電気的に接続させるコンタクトホール9a内の導電膜、つまりITO膜は、絶縁層9のコンタクトホール9aにおける段差部を均一に被覆することが難しいので、電気抵抗が他の部分に比べて大きくなり易い。よって、コンタクトホール9a内の導電膜が第1配線11と陽極2との間に介在する抵抗Rとして機能し、1つの有機EL素子1が短絡して規定以上の過電流が流れると、当該抵抗Rが溶融(焼損)して第1配線11と陽極2とが電気的に切り離される。つまり当該抵抗Rがヒューズとして機能することになる。言い換えれば、1つの有機EL素子1に異常(短絡)が生じて過電流が流れても、いずれは当該有機EL素子1だけに電流が流れなくなり、他の有機EL素子1は正常に動作するので、安定した輝度を確保することが可能となる。   As shown in FIG. 4, the first wiring 11 is formed on the substrate P1. As the substrate P1 of the present embodiment, a translucent substrate such as glass or plastic can be used. In the present embodiment, the first wiring 11 is formed using, for example, Al (aluminum) having light reflectivity. An insulating layer 9 is formed so as to cover the first wiring 11. The insulating layer 9 can be made of a light-transmitting inorganic material such as silicon oxide or an organic material such as acrylic resin. In the insulating layer 9, a plurality of contact holes 9 a are formed at positions overlapping the first wiring 11. The anode 2 is formed using a transparent conductive film such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide) which is light transmissive (light transmissive). Specifically, an ITO film is formed by vacuum deposition or sputtering so as to cover the surface of the insulating layer 9 in which the contact hole 9a is formed. Subsequently, the ITO film is patterned by photolithography so that the contact hole 9a is included in a plan view, thereby forming the independent anodes 2 respectively. The anode 2 is electrically connected to the first wiring 11 through the ITO film in the contact hole 9a. That is, the plurality of anodes 2 arranged on the first wiring 11 are electrically connected in parallel to the first wiring 11 through the contact hole 9a. The first wiring 11 is formed using a conductive material having an electric resistance smaller than that of a transparent conductive film such as an ITO film constituting the anode 2. In contrast, the conductive film in the contact hole 9a that electrically connects the first wiring 11 and the anode 2, that is, the ITO film, is difficult to uniformly cover the stepped portion in the contact hole 9a of the insulating layer 9. Therefore, the electrical resistance tends to increase compared to other parts. Therefore, when the conductive film in the contact hole 9a functions as a resistance R interposed between the first wiring 11 and the anode 2, when one organic EL element 1 is short-circuited and an overcurrent exceeding a specified value flows, the resistance R melts (burns out), and the first wiring 11 and the anode 2 are electrically disconnected. That is, the resistor R functions as a fuse. In other words, even if an abnormality (short circuit) occurs in one organic EL element 1 and an overcurrent flows, the current stops flowing only in the organic EL element 1 and the other organic EL elements 1 operate normally. It is possible to ensure stable luminance.

これらの陽極2を覆って発光機能層LEが少なくとも領域E1(図2参照)に亘って形成される。同じく、発光機能層LEを覆って第4配線26が少なくとも領域E1に亘って形成される。本実施形態の第4配線26は、例えばMg(マグネシウム)とAg(銀)の合金により透光性を有するように膜厚が制御されて形成されている。第4配線26のうち発光機能層LEを挟んで陽極2と対向する部分が陰極8として機能する。したがって、発光機能層LEで発した光の一部は、そのまま陰極8を透過して射出されるだけでなく、陽極2及び絶縁層9を透過して第1配線11により反射され、再び絶縁層9及び陽極2を透過して陰極8側から射出される。つまり、発光機能層LEからの発光を効率よく陰極8側から取り出せる構造となっている。   A light emitting functional layer LE is formed over at least the region E1 (see FIG. 2) so as to cover these anodes 2. Similarly, the fourth wiring 26 is formed over at least the region E1 so as to cover the light emitting functional layer LE. The fourth wiring 26 of the present embodiment is formed by controlling the film thickness so as to have translucency by an alloy of Mg (magnesium) and Ag (silver), for example. A portion of the fourth wiring 26 facing the anode 2 across the light emitting functional layer LE functions as the cathode 8. Therefore, a part of the light emitted from the light emitting functional layer LE is not only transmitted through the cathode 8 as it is, but also transmitted through the anode 2 and the insulating layer 9 and reflected by the first wiring 11, and again the insulating layer. 9 and the anode 2 are emitted from the cathode 8 side. That is, the light emission from the light emitting functional layer LE can be efficiently extracted from the cathode 8 side.

有機EL素子1における構造は、これに限定されず、例えば、光反射性を有する第1配線11と陰極8との間で光共振構造を構成してもよい。具体的には、第4配線26を例えばMgとAgの合金を用い、第4配線26が透光性と光反射性とを兼ね備えるように膜厚を制御して形成する。第1配線11と陰極8との光学的な距離が例えば共振波長λの1/2の整数倍となるように絶縁層9、陽極2、発光機能層LEの膜厚を制御して形成する。これにより、共振波長λにおいて高い輝度を有する発光を取り出すことができる。なお、第1配線11と陰極8との光学的な距離は、これらの間に配置された複数の機能層における屈折率と膜厚との積の和で示される。   The structure in the organic EL element 1 is not limited to this, for example, you may comprise an optical resonant structure between the 1st wiring 11 and the cathode 8 which have light reflectivity. Specifically, the fourth wiring 26 is formed using, for example, an alloy of Mg and Ag, and the film thickness is controlled so that the fourth wiring 26 has both translucency and light reflectivity. The insulating layer 9, the anode 2, and the light emitting functional layer LE are formed by controlling the film thickness so that the optical distance between the first wiring 11 and the cathode 8 is, for example, an integral multiple of 1/2 of the resonance wavelength λ. As a result, it is possible to extract light having high luminance at the resonance wavelength λ. The optical distance between the first wiring 11 and the cathode 8 is indicated by the sum of products of refractive indexes and film thicknesses of a plurality of functional layers arranged between them.

次に、有機EL素子1の具体的な構成例について、図5を参照して説明する。
図5に示すように、有機EL素子1は、陽極2上に順に積層形成された、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7、陰極8を有する。
Next, a specific configuration example of the organic EL element 1 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 5, the organic EL element 1 includes a hole injection layer 3, a hole transport layer 4, a light emitting layer 5, an electron transport layer 6, an electron injection layer 7, and a cathode, which are sequentially stacked on the anode 2. 8 has.

(陽極)
陽極2は、後述する正孔注入層3を介して正孔輸送層4に正孔を注入するための電極である。陽極2の構成材料としては、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料を用いるのが好ましい。例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)、In23、SnO2、Sb含有SnO2、Al含有ZnO等の酸化物、Au、Pt、Ag、Cuまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
特に、陽極2は、ITOで構成されているのが好ましい。ITOは、透光性を有すると共に、仕事関数が大きく、導電性に優れる材料である。これにより、陽極2から正孔注入層3へ効率的に正孔を注入することができる。
陽極2の膜厚は、特に限定されないが、10nm〜200nm程度であるのが好ましく、50nm〜150nm程度であるのがより好ましい。
(anode)
The anode 2 is an electrode for injecting holes into the hole transport layer 4 via a hole injection layer 3 described later. As a constituent material of the anode 2, it is preferable to use a material having a large work function and excellent conductivity. For example, ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), In 2 O 3 , SnO 2 , Sb-containing SnO 2 , oxides such as Al-containing ZnO, Au, Pt, Ag, Cu or alloys containing these These can be used, and one or more of these can be used in combination.
In particular, the anode 2 is preferably made of ITO. ITO is a material having translucency, a large work function, and excellent conductivity. Thereby, holes can be efficiently injected from the anode 2 to the hole injection layer 3.
The film thickness of the anode 2 is not particularly limited, but is preferably about 10 nm to 200 nm, and more preferably about 50 nm to 150 nm.

(正孔注入層)
正孔注入層3は、陽極2からの正孔注入効率を向上させる機能を有する(すなわち正孔注入性を有する)ものである。
陽極2と後述する正孔輸送層4との間に正孔注入層3を設けることにより、陽極2からの正孔注入性を向上させ、その結果、有機EL素子1の発光効率を高めることができる。
正孔注入層3に含まれる正孔注入性材料としては、特に限定されないが、例えば、銅フタロシアニンや、4,4’,4’’−トリス(N,N−フェニル−3−メチルフェニルアミノ)トリフェニルアミン(m−MTDATA)、N,N’−ビス−(4−ジフェニルアミノ−フェニル)−N,N’−ジフェニル−ビフェニル−4−4’−ジアミン等が挙げられる。
中でも、正孔注入層3に含まれる正孔注入性材料としては、正孔注入性及び正孔輸送性に優れるという観点から、アミン系材料を用いるのが好ましく、ジアミノベンゼン誘導体、ベンジジン誘導体(ベンジジン骨格を有する材料)、分子内に「ジアミノベンゼン」ユニットと「ベンジジン」ユニットとの両方を有するトリアミン系化合物、テトラアミン系化合物を用いるのがより好ましい。
このような正孔注入層3の膜厚は、特に限定されないが、5nm〜90nm程度であるのが好ましく、10nm〜70nm程度であるのがより好ましい。
なお、正孔注入層3は、陽極2及び正孔輸送層4の構成材料によっては、省略してもよい。
(Hole injection layer)
The hole injection layer 3 has a function of improving the hole injection efficiency from the anode 2 (that is, has a hole injection property).
By providing the hole injection layer 3 between the anode 2 and the hole transport layer 4 described later, the hole injection property from the anode 2 is improved, and as a result, the luminous efficiency of the organic EL element 1 can be increased. it can.
The hole injecting material contained in the hole injecting layer 3 is not particularly limited. For example, copper phthalocyanine or 4,4 ′, 4 ″ -tris (N, N-phenyl-3-methylphenylamino) Examples include triphenylamine (m-MTDATA), N, N′-bis- (4-diphenylamino-phenyl) -N, N′-diphenyl-biphenyl-4-4′-diamine, and the like.
Among these, as the hole injecting material contained in the hole injecting layer 3, it is preferable to use an amine-based material from the viewpoint of excellent hole injecting property and hole transporting property, and a diaminobenzene derivative, a benzidine derivative (benzidine) It is more preferable to use a triamine-based compound or a tetraamine-based compound having both a “diaminobenzene” unit and a “benzidine” unit in the molecule.
The thickness of the hole injection layer 3 is not particularly limited, but is preferably about 5 nm to 90 nm, and more preferably about 10 nm to 70 nm.
The hole injection layer 3 may be omitted depending on the constituent materials of the anode 2 and the hole transport layer 4.

(正孔輸送層)
正孔輸送層4は、陽極2から正孔注入層3を介して注入された正孔を発光層5まで輸送する機能を有する(すなわち正孔輸送性を有する)ものである。
正孔輸送層4に含まれる正孔輸送性材料には、各種p型の高分子材料や、各種p型の低分子材料を単独または組み合わせて用いることができ、例えば、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(NPD)、N,N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ジフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)等のテトラアリールベンジジン誘導体、テトラアリールジアミノフルオレン化合物またはその誘導体(アミン系化合物)等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
中でも、正孔輸送層4に含まれる正孔輸送性材料としては、正孔注入性及び正孔輸送性に優れるという観点から、アミン系材料であるのが好ましく、ベンジジン誘導体(ベンジジン骨格を有する材料)であるのがより好ましい。
このような正孔輸送層4の膜厚は、特に限定されないが、5nm〜90nm程度であるのが好ましく、10nm〜70nm程度であるのがより好ましい。
(Hole transport layer)
The hole transport layer 4 has a function of transporting holes injected from the anode 2 through the hole injection layer 3 to the light emitting layer 5 (that is, has a hole transport property).
As the hole transporting material contained in the hole transporting layer 4, various p-type polymer materials and various p-type low molecular materials can be used alone or in combination. For example, N, N′-di- (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-diphenyl-4,4′-diamine (NPD), N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl)- Examples thereof include tetraarylbenzidine derivatives such as 1,1′-diphenyl-4,4′-diamine (TPD), tetraaryldiaminofluorene compounds or derivatives thereof (amine compounds), and one or two of them A combination of the above can be used.
Among them, the hole transporting material contained in the hole transporting layer 4 is preferably an amine material from the viewpoint of excellent hole injection property and hole transporting property, and a benzidine derivative (a material having a benzidine skeleton). Is more preferable.
The thickness of the hole transport layer 4 is not particularly limited, but is preferably about 5 nm to 90 nm, and more preferably about 10 nm to 70 nm.

(発光層)
発光層5は、陽極2と陰極8との間に通電することにより発光するものである。どのような波長の光を取り出すかにより発光層5に含まれる発光材料が選択される。本実施形態では、後述する検査装置としての生体認証装置に用いられることを考慮して近赤外域において輝度のピーク波長が得られる発光材料が用いられている。なお、近赤外域とは700nm以上1500nm以下の波長域を指す。発光層5は発光材料以外の材料を含んでいてもよい。例えば、発光材料をゲスト材料として、ゲスト材料に対するホスト材料を含んでいてもよい。このホスト材料は、注入された正孔と電子とにより励起子を生成すると共に、その励起子のエネルギーを発光材料に移動(フェルスター移動またはデクスター移動)させて、発光材料を励起する機能を有する。そのため、有機EL素子1の発光効率を高めることができる。
このような発光層5の膜厚は、特に限定されないが、1nm〜60nm程度であるのが好ましく、3nm〜50nm程度であるのがより好ましい。
(Light emitting layer)
The light emitting layer 5 emits light when energized between the anode 2 and the cathode 8. The light emitting material contained in the light emitting layer 5 is selected depending on what wavelength light is extracted. In the present embodiment, a luminescent material capable of obtaining a peak luminance wavelength in the near infrared region is used in consideration of being used in a biometric authentication device as an inspection device described later. Note that the near infrared region refers to a wavelength region of 700 nm to 1500 nm. The light emitting layer 5 may contain materials other than the light emitting material. For example, a light-emitting material may be used as a guest material and a host material for the guest material may be included. This host material has a function of generating excitons by injected holes and electrons, and excitating the luminescent material by transferring the energy of the exciton to the luminescent material (Felster transfer or Dexter transfer). . Therefore, the luminous efficiency of the organic EL element 1 can be increased.
The thickness of the light emitting layer 5 is not particularly limited, but is preferably about 1 nm to 60 nm, and more preferably about 3 nm to 50 nm.

(電子輸送層)
電子輸送層6は、陰極8から電子注入層7を介して注入された電子を発光層5に輸送する機能を有するものである。
電子輸送層6の構成材料(電子輸送性材料)としては、例えば、2,9−ジメチル−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(BCP)等のフェナントロリン誘導体、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の8−キノリノールないしその誘導体を配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、アザインドリジン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
また、電子輸送層6は、前述したような電子輸送性材料のうち2種以上を組み合わせて用いる場合、2種以上の電子輸送性材料を混合した混合材料で構成されていてもよいし、異なる電子輸送性材料で構成された複数の層を積層して構成されていてもよい。
このような電子輸送層6の膜厚は、特に限定されないが、1nm〜200nm程度であるのが好ましく、10nm〜100nm程度であるのがより好ましい。
(Electron transport layer)
The electron transport layer 6 has a function of transporting electrons injected from the cathode 8 through the electron injection layer 7 to the light emitting layer 5.
Examples of the constituent material (electron transporting material) of the electron transport layer 6 include phenanthroline derivatives such as 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline (BCP), and tris (8-quinolinolato) aluminum. Quinoline derivatives such as organometallic complexes having 8-quinolinol or a derivative thereof such as (Alq3) as a ligand, azaindolizine derivatives, oxadiazole derivatives, perylene derivatives, pyridine derivatives, pyrimidine derivatives, quinoxaline derivatives, diphenylquinone derivatives , Nitro-substituted fluorene derivatives and the like, and one or more of them can be used in combination.
In addition, when the electron transport layer 6 is used in combination of two or more of the electron transport materials as described above, the electron transport layer 6 may be composed of a mixed material obtained by mixing two or more electron transport materials, or different. You may be comprised by laminating | stacking the some layer comprised with the electron transport material.
Although the film thickness of such an electron carrying layer 6 is not specifically limited, It is preferable that it is about 1 nm-200 nm, and it is more preferable that it is about 10 nm-100 nm.

(電子注入層)
電子注入層7は、陰極8からの電子注入効率を向上させる機能を有するものである。
電子注入層7の構成材料(電子注入性材料)としては、例えば、各種の無機絶縁材料、各種の無機半導体材料が挙げられる。
このような無機絶縁材料としては、例えば、アルカリ金属カルコゲナイド(酸化物、硫化物、セレン化物、テルル化物)、アルカリ土類金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物及びアルカリ土類金属のハロゲン化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらを主材料として電子注入層7を構成することにより、電子注入性をより向上させることができる。特にアルカリ金属化合物(アルカリ金属カルコゲナイド、アルカリ金属のハロゲン化物等)は仕事関数が非常に小さく、これを用いて電子注入層7を構成することにより、有機EL素子1は、高い輝度が得られるものとなる。
アルカリ金属カルコゲナイドとしては、例えば、Li2O、LiO、Na2S、Na2Se、NaO等が挙げられる。
アルカリ土類金属カルコゲナイドとしては、例えば、CaO、BaO、SrO、BeO、BaS、MgO、CaSe等が挙げられる。
アルカリ金属のハロゲン化物としては、例えば、CsF、LiF、NaF、KF、LiCl、KCl、NaCl等が挙げられる。
アルカリ土類金属のハロゲン化物としては、例えば、CaF2、BaF2、SrF2、MgF2、BeF2等が挙げられる。
また、無機半導体材料としては、例えば、Li、Na、Ba、Ca、Sr、Yb、Al、Ga、In、Cd、Mg、Si、Ta、Sb及びZnのうちの少なくとも1つの元素を含む酸化物、窒化物または酸化窒化物等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
このような電子注入層7の膜厚は、特に限定されないが、0.1nm〜1000nm程度であるのが好ましく、0.2nm〜100nm程度であるのがより好ましく、0.2nm〜50nm程度であるのがさらに好ましい。
なお、この電子注入層7は、陰極8及び電子輸送層6の構成材料や厚さ等によっては、省略してもよい。
(Electron injection layer)
The electron injection layer 7 has a function of improving the electron injection efficiency from the cathode 8.
Examples of the constituent material (electron injecting material) of the electron injection layer 7 include various inorganic insulating materials and various inorganic semiconductor materials.
Examples of such inorganic insulating materials include alkali metal chalcogenides (oxides, sulfides, selenides, tellurides), alkaline earth metal chalcogenides, alkali metal halides, and alkaline earth metal halides. Of these, one or two or more of these can be used in combination. By configuring the electron injection layer 7 using these as main materials, the electron injection property can be further improved. In particular, alkali metal compounds (alkali metal chalcogenides, alkali metal halides, etc.) have a very small work function, and the organic EL element 1 can obtain high luminance by forming the electron injection layer 7 using the work function. It becomes.
Examples of the alkali metal chalcogenide include Li 2 O, LiO, Na 2 S, Na 2 Se, and NaO.
Examples of the alkaline earth metal chalcogenide include CaO, BaO, SrO, BeO, BaS, MgO, and CaSe.
Examples of the alkali metal halide include CsF, LiF, NaF, KF, LiCl, KCl, and NaCl.
Examples of the alkaline earth metal halide include CaF 2 , BaF 2 , SrF 2 , MgF 2 , and BeF 2 .
Moreover, as an inorganic semiconductor material, for example, an oxide containing at least one element of Li, Na, Ba, Ca, Sr, Yb, Al, Ga, In, Cd, Mg, Si, Ta, Sb, and Zn , Nitrides, oxynitrides, and the like, and one or more of these can be used in combination.
The thickness of the electron injection layer 7 is not particularly limited, but is preferably about 0.1 nm to 1000 nm, more preferably about 0.2 nm to 100 nm, and about 0.2 nm to 50 nm. Is more preferable.
The electron injection layer 7 may be omitted depending on the constituent materials and thicknesses of the cathode 8 and the electron transport layer 6.

(陰極)
陰極8は、電子注入層7を介して電子輸送層6に電子を注入するための電極である。陰極8の構成材料としては、仕事関数の小さい材料を用いるのが好ましい。
陰極8(第4配線26)の構成材料としては、例えば、Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rbまたはこれらを含む合金等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて(例えば、複数層の積層体、複数種の混合層等として)用いることができる。
特に、陰極8(第4配線26)の構成材料として合金を用いる場合には、Ag、Al、Cu等の安定な金属元素を含む合金、具体的には、MgAg、AlLi、CuLi等の合金を用いるのが好ましい。かかる合金を陰極8(第4配線26)の構成材料として用いることにより、陰極8の電子注入効率及び安定性の向上を図ることができる。
(cathode)
The cathode 8 is an electrode for injecting electrons into the electron transport layer 6 through the electron injection layer 7. As a constituent material of the cathode 8, it is preferable to use a material having a small work function.
As a constituent material of the cathode 8 (fourth wiring 26), for example, Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, Yb, Ag, Cu, Al, Cs, Rb or these are used. The alloy etc. which are included are mentioned, The 1 type (s) or 2 or more types of these can be combined (for example, as a laminated body of multiple layers, a mixed layer of multiple types, etc.).
In particular, when an alloy is used as a constituent material of the cathode 8 (fourth wiring 26), an alloy containing a stable metal element such as Ag, Al, or Cu, specifically, an alloy such as MgAg, AlLi, or CuLi is used. It is preferable to use it. By using such an alloy as a constituent material of the cathode 8 (fourth wiring 26), the electron injection efficiency and stability of the cathode 8 can be improved.

本実施形態の有機EL素子1は、トップエミッション型であり、陰極8側から光を取り出すので、陰極8を構成する材料としてMgとAgの合金を用い、その膜厚を1nm〜50nm程度とした。なお、有機EL素子1をボトムエミッション型とする場合には、陰極8として光反射性を有する材料を用い、第1配線11を透光性の材料で構成すればよい。   The organic EL element 1 of the present embodiment is a top emission type and takes out light from the cathode 8 side. Therefore, an alloy of Mg and Ag is used as a material constituting the cathode 8, and the film thickness is set to about 1 nm to 50 nm. . When the organic EL element 1 is a bottom emission type, a material having light reflectivity may be used for the cathode 8 and the first wiring 11 may be made of a light transmissive material.

本実施形態では、陽極2、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7、陰極8をそれぞれ真空蒸着法を用いて形成した。なお、各層の形成方法は、真空蒸着法やスパッタ法などの気相プロセスを用いることに限定されず、液相プロセスを用いてもよい。
以上、有機EL素子1の構成について説明したが、正孔注入層3、正孔輸送層4、発光層5、電子輸送層6、電子注入層7を含む発光機能層LEの構成はこれに限定されない。例えば、キャリアとしての正孔や電子の移動を制御する中間層を含む構成としてもよい。
また、有機EL素子1の発光寿命を確保するために、酸素や水分等が浸入することを防ぐ封止膜を用いて有機EL素子1を封止する構造を採用することが好ましい。
In the present embodiment, the anode 2, the hole injection layer 3, the hole transport layer 4, the light emitting layer 5, the electron transport layer 6, the electron injection layer 7, and the cathode 8 are each formed by using a vacuum evaporation method. In addition, the formation method of each layer is not limited to using vapor phase processes, such as a vacuum evaporation method and a sputtering method, You may use a liquid phase process.
Although the configuration of the organic EL element 1 has been described above, the configuration of the light emitting functional layer LE including the hole injection layer 3, the hole transport layer 4, the light emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the electron injection layer 7 is limited to this. Not. For example, it may be configured to include an intermediate layer that controls the movement of holes and electrons as carriers.
Moreover, in order to ensure the light emission lifetime of the organic EL element 1, it is preferable to employ a structure in which the organic EL element 1 is sealed using a sealing film that prevents intrusion of oxygen, moisture, or the like.

次に、本実施形態における照明装置10Aの輝度むらの改善状況を説明するため、比較例の照明装置について図6を参照して説明する。図6は比較例の照明装置の構成を示す概略平面図である。なお、比較例の照明装置において、本実施形態の照明装置10Aと同じ構成には同じ符号を付して、詳細の説明は省略するものとする。   Next, in order to describe the improvement in luminance unevenness of the lighting device 10A according to the present embodiment, a lighting device of a comparative example will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a schematic plan view showing a configuration of a lighting device of a comparative example. Note that, in the lighting device of the comparative example, the same reference numerals are given to the same components as those of the lighting device 10A of the present embodiment, and detailed description thereof is omitted.

図6に示すように、比較例の照明装置10Cは、X方向に延在すると共に、Y方向に並列する複数(5本)の第1配線11と、複数の第1配線11のいずれかに陽極2(図5参照)が電気的に接続された複数(X方向に7個、Y方向に5個、合計35個)の有機EL素子1を有する。複数の有機EL素子1は第1配線11上に設けられている。
複数の第1配線11の一方の端部(図面上では左側の端部)はY方向に延在した第3配線13に接続されている。第3配線13の端部(図面上では下方側の端部)に第1端子部17が設けられている。
複数の第1配線11の他方の端部(図面上では右側の端部)はY方向に延在した第8配線15に接続されている。第8配線15の端部(図面上では下方側の端部)に第4端子部19が設けられている。
複数の有機EL素子1が配置された領域E1に亘って第4配線26が形成されている。第4配線26の一方の端部(図面上では上側の端部)はX方向に延在した第6配線28に接続されている。第4配線26の他方の端部(図面上では下側の端部)に第2端子部18が設けられている。第6配線28の一方の端部(図面上では左側の端部)はY方向に延在した第5配線30に接続されている。第5配線30の端部(図面上では下側の端部)には第3端子部27が設けられている。第6配線28の他方の端部(図面上では右側の端部)はY方向に延在した第9配線31に接続されている。第9配線31の端部(図面上では下側の端部)には第5端子部29が設けられている。
As illustrated in FIG. 6, the lighting device 10 </ b> C of the comparative example is connected to any one of the plurality of (five) first wires 11 and the plurality of first wires 11 that extend in the X direction and are arranged in parallel in the Y direction. A plurality of organic EL elements 1 (seven in the X direction and five in the Y direction, a total of 35) are connected to the anode 2 (see FIG. 5). The plurality of organic EL elements 1 are provided on the first wiring 11.
One end (the left end in the drawing) of the plurality of first wirings 11 is connected to a third wiring 13 extending in the Y direction. A first terminal portion 17 is provided at an end portion (lower end portion in the drawing) of the third wiring 13.
The other end (the right end in the drawing) of the plurality of first wirings 11 is connected to an eighth wiring 15 extending in the Y direction. A fourth terminal portion 19 is provided at the end portion of the eighth wiring 15 (the lower end portion in the drawing).
The 4th wiring 26 is formed over the area | region E1 in which the some organic EL element 1 is arrange | positioned. One end portion (the upper end portion in the drawing) of the fourth wiring 26 is connected to a sixth wiring 28 extending in the X direction. The second terminal portion 18 is provided at the other end portion (lower end portion in the drawing) of the fourth wiring 26. One end (the left end in the drawing) of the sixth wiring 28 is connected to the fifth wiring 30 extending in the Y direction. A third terminal portion 27 is provided at the end of the fifth wiring 30 (the lower end in the drawing). The other end (the right end in the drawing) of the sixth wiring 28 is connected to a ninth wiring 31 extending in the Y direction. A fifth terminal portion 29 is provided at an end portion (the lower end portion in the drawing) of the ninth wiring 31.

第4配線26のY方向における下方側の辺部に接して第10配線16が設けられている。X方向に延在する第10配線16に沿って第2端子部18が設けられている。つまり、比較例の照明装置10Cは、上記照明装置10Aと同様に第1端子部17と第4端子部19との間に第2端子部18が配置され、第1端子部17の外側に第3端子部27が、第4端子部19の外側に第5端子部29が設置されている。   The tenth wiring 16 is provided in contact with the lower side portion of the fourth wiring 26 in the Y direction. A second terminal portion 18 is provided along the tenth wiring 16 extending in the X direction. That is, in the lighting device 10C of the comparative example, the second terminal portion 18 is disposed between the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 similarly to the lighting device 10A, and the second terminal portion 18 is disposed outside the first terminal portion 17. The third terminal portion 27 and the fifth terminal portion 29 are installed outside the fourth terminal portion 19.

次に、本実施形態の照明装置10Aと比較例の照明装置10Cとにおける複数の有機EL素子1の陽極2の電位(VEL)と、共通電極である陰極8の電位(VCT)について、図7と図8を参照して説明する。図7(a)は比較例の照明装置における陽極の電位の大小関係を示す図、図7(b)は本実施形態の照明装置における陽極の電位の大小関係を示す図である。図8(a)は比較例の照明装置における陽極の電位(VEL)及び陰極の電位(VCT)と有機EL素子の位置との関係を示すグラフ、図8(b)は本実施形態の照明装置における陽極の電位(VEL)及び陰極の電位(VCT)と有機EL素子の位置との関係を示すグラフである。   Next, regarding the potential (VEL) of the anodes 2 of the plurality of organic EL elements 1 and the potential (VCT) of the cathode 8 that is the common electrode in the illumination device 10A of the present embodiment and the illumination device 10C of the comparative example, FIG. And with reference to FIG. FIG. 7A is a diagram showing the magnitude relationship of the potential of the anode in the illumination device of the comparative example, and FIG. 7B is a diagram showing the magnitude relationship of the potential of the anode in the illumination device of this embodiment. FIG. 8A is a graph showing the relationship between the potential of the anode (VEL) and the potential of the cathode (VCT) and the position of the organic EL element in the illumination device of the comparative example, and FIG. 8B is the illumination device of this embodiment. 5 is a graph showing the relationship between the potential (VEL) of the anode and the potential (VCT) of the cathode and the position of the organic EL element.

図7(a)に示すように、比較例の照明装置10Cでは、第1端子部17及び第4端子部19に印加される電位は、第3配線13、第8配線15の電気抵抗によって第1端子部17及び第4端子部19から離れるほど電位が降下する。つまり、第1端子部17及び第4端子部19に近いほど電位が大きくなり、第1端子部17及び第4端子部19から離れるほど電位が小さくなる。一方で、第1配線11における電位は、同じく第1配線11の電気抵抗により、第3配線13及び第8配線15から離れるほど電位が降下する。つまり、第1配線11の両端側に行くほど電位が大きく、中央側に行くほど電位が小さくなる。したがって、図7(a)において斜め方向に配置された矢印によって示されるように、例えば、第4端子部19から最も近い第1配線11aの右端(第8配線15に近い側)に位置する有機EL素子1の陽極2には最も大きな電位が与えられる。そして、第4端子部19から最も遠い第1配線11eの中央に位置する有機EL素子1の陽極2には最も小さい電位が与えられる。図7(a)には示していないが、第1端子部17を基準として各有機EL素子1の陽極2に与えられる電位を考察しても同様な結果となる。   As shown in FIG. 7A, in the lighting device 10 </ b> C of the comparative example, the potential applied to the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 is the first due to the electrical resistance of the third wiring 13 and the eighth wiring 15. The potential drops as the distance from the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 increases. In other words, the closer to the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19, the higher the potential, and the further away from the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19, the smaller the potential. On the other hand, the potential of the first wiring 11 decreases as the distance from the third wiring 13 and the eighth wiring 15 increases due to the electrical resistance of the first wiring 11. That is, the potential increases as it goes to both ends of the first wiring 11 and decreases as it goes to the center. Therefore, as indicated by an arrow arranged in an oblique direction in FIG. 7A, for example, an organic located at the right end (side closer to the eighth wiring 15) of the first wiring 11 a closest to the fourth terminal portion 19. The largest potential is applied to the anode 2 of the EL element 1. The smallest potential is applied to the anode 2 of the organic EL element 1 located at the center of the first wiring 11 e farthest from the fourth terminal portion 19. Although not shown in FIG. 7A, the same result is obtained even when the potential applied to the anode 2 of each organic EL element 1 is considered with the first terminal portion 17 as a reference.

これに対して、図7(b)に示すように、本実施形態の照明装置10Aでは、複数の第1配線11の両端部は、第2配線12と第7配線14とに接続されている。そして、第2配線12は第1端子部17から最も離れた位置で第3配線13と接続されている。同様に、第7配線14は第4端子部19から最も離れた位置で第8配線15と接続されている。
つまり、第2配線12及び第7配線14はそのままY方向に延出されて第1端子部17や第4端子部19に接続されず、第1端子部17や第4端子部19が設けられた側と反対側で折り返されて、第3配線13や第8配線15にそれぞれ接続されている。
したがって、第7配線14における電位は、第4端子部19に近い側で最も小さくなり、第4端子部19に遠い側で最も大きくなる。一方で、第1配線11における電位の傾向は、比較例と同じである。したがって、図7(b)において斜め方向に配置された矢印によって示されるように、例えば、第4端子部19から最も近い第1配線11aの中央に位置する有機EL素子1の陽極2には最も小さい電位が与えられる。そして、第4端子部19から最も遠い第1配線11eの右端(第7配線14に近い側)に位置する有機EL素子1の陽極2には最も大きい電位が与えられる。図7(b)には示していないが、第1端子部17を基準として各有機EL素子1の陽極2に与えられる電位を考察しても同様な結果となる。
On the other hand, as shown in FIG. 7B, in the lighting device 10 </ b> A of the present embodiment, both end portions of the plurality of first wirings 11 are connected to the second wiring 12 and the seventh wiring 14. . The second wiring 12 is connected to the third wiring 13 at a position farthest from the first terminal portion 17. Similarly, the seventh wiring 14 is connected to the eighth wiring 15 at the position farthest from the fourth terminal portion 19.
That is, the second wiring 12 and the seventh wiring 14 extend in the Y direction as they are and are not connected to the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19, and the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 are provided. It is folded back on the opposite side to the third wiring 13 and the eighth wiring 15.
Therefore, the potential in the seventh wiring 14 is the smallest on the side close to the fourth terminal portion 19 and the largest on the side far from the fourth terminal portion 19. On the other hand, the tendency of the potential in the first wiring 11 is the same as that in the comparative example. Therefore, as shown by an arrow arranged in an oblique direction in FIG. 7B, for example, the anode 2 of the organic EL element 1 positioned at the center of the first wiring 11a closest to the fourth terminal portion 19 is the most. A small potential is applied. The highest potential is applied to the anode 2 of the organic EL element 1 located at the right end of the first wiring 11e farthest from the fourth terminal portion 19 (side closer to the seventh wiring 14). Although not shown in FIG. 7B, the same result is obtained even when the potential applied to the anode 2 of each organic EL element 1 is considered with the first terminal portion 17 as a reference.

図2及び図6に示すように、本実施形態の照明装置10A及び比較例の照明装置10Cにおける第4配線26は複数の有機EL素子1に亘る共通配線として形成されており、その一部が陰極8として機能している。したがって、陰極8に与えられる電位は、第4配線26の電気抵抗によって第2端子部18から遠ざかるほど、電圧損失が大きくなる。一方で、第4配線26の一方の端部は第6配線28に接続され、第6配線28は第5配線30と第9配線31に接続されている。第5配線30の第3端子部27と、第9配線31の第5端子部29とにそれぞれ第2端子部18に印加される電位と同じ電位が印加されるため、第6配線28から離れるほど、第4配線26の電気抵抗によって電圧損失が大きくなる。つまり、第4配線26には上下から同電位が印加されるため、第2端子部18に近い側と第6配線28に近い側の陰極8に与えられる電位はほぼ等しくなり、中央に近くなるほど電圧上昇は大きくなる。なお、中央の電圧上昇は、第2端子部18と第3端子部27及び第5端子部29のうちいずれか一方から電圧を印加する場合に比べて、第2端子部18に加えて第6配線28側から電位を印加することで、低く抑えることができる。前述したように例えばGND電位(0V)が与えられるので、第4配線26の電位は中央に近づくほどGND電位(0V)から上昇し、第6配線28に近づくほどGND電位(0V)に近づくことになる。   As shown in FIGS. 2 and 6, the fourth wiring 26 in the lighting device 10 </ b> A of the present embodiment and the lighting device 10 </ b> C of the comparative example is formed as a common wiring extending over the plurality of organic EL elements 1, and a part of them is formed. It functions as the cathode 8. Accordingly, the voltage loss of the potential applied to the cathode 8 increases as the distance from the second terminal portion 18 increases due to the electrical resistance of the fourth wiring 26. On the other hand, one end of the fourth wiring 26 is connected to the sixth wiring 28, and the sixth wiring 28 is connected to the fifth wiring 30 and the ninth wiring 31. Since the same potential as that applied to the second terminal portion 18 is applied to the third terminal portion 27 of the fifth wiring 30 and the fifth terminal portion 29 of the ninth wiring 31, they are separated from the sixth wiring 28. As the electric resistance of the fourth wiring 26 increases, the voltage loss increases. That is, since the same potential is applied to the fourth wiring 26 from above and below, the potentials applied to the cathode 8 on the side near the second terminal portion 18 and the side near the sixth wiring 28 are substantially equal, and the closer to the center the closer to the center. The voltage rise is large. Note that the voltage rise in the center is the sixth in addition to the second terminal portion 18 as compared with the case where the voltage is applied from any one of the second terminal portion 18, the third terminal portion 27, and the fifth terminal portion 29. By applying a potential from the wiring 28 side, the potential can be kept low. As described above, for example, the GND potential (0 V) is applied, so that the potential of the fourth wiring 26 increases from the GND potential (0 V) as it approaches the center, and approaches the GND potential (0 V) as it approaches the sixth wiring 28. become.

ゆえに、図8(a)に示すように、比較例の照明装置10Cの複数の有機EL素子1における実際の陽極2の電位(VEL)と陰極8の電位(VCT)との間の電位差(ΔV)は、第1端子部17及び第4端子部19から陽極2までの距離(L)並びに第2端子部18から陰極8までの距離(L)との関係において、距離(L)が大きくなるほど電位差(ΔV)が小さくなってしまう。つまり、複数の有機EL素子1ごとの陽極2と陰極8に印加される駆動電圧がばらつき、領域E1における有機EL素子1の位置に起因して輝度むらが生ずる。なお、陰極8の電位(VCT)を破線で示した部分は、第2端子部18だけに電位を与えたときの電位(VCT)を示すものである。   Therefore, as shown in FIG. 8A, the potential difference (ΔV) between the actual potential (VEL) of the anode 2 and the potential (VCT) of the cathode 8 in the plurality of organic EL elements 1 of the illumination device 10C of the comparative example. ) In relation to the distance (L) from the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 to the anode 2 and the distance (L) from the second terminal portion 18 to the cathode 8, the larger the distance (L) is. The potential difference (ΔV) becomes small. That is, the drive voltage applied to the anode 2 and the cathode 8 for each of the plurality of organic EL elements 1 varies, and luminance unevenness occurs due to the position of the organic EL element 1 in the region E1. The portion indicated by the broken line of the potential (VCT) of the cathode 8 indicates the potential (VCT) when the potential is applied only to the second terminal portion 18.

これに対して、本実施形態の照明装置10Aでは、陰極8の電位(VCT)は比較例と同様に第2端子部18からの距離(L)が大きくなるに従って上昇し、第6配線28に近づくに従って下降する。その一方で陽極2の電位(VEL)は第1端子部17及び第4端子部19からの距離(L)が大きくなると上昇する傾向となる。したがって、陽極2の電位(VEL)と陰極8の電位(VCT)との電位差(ΔV)は、距離(L)に依存して変動し難い状態となっている。つまり、複数の有機EL素子1ごとの陽極2と陰極8に印加される駆動電圧のばらつきが抑えられ、領域E1における有機EL素子1の位置に起因する輝度むらが比較例よりも改善されている。言い換えれば、輝度むらが少ない照明装置10Aを提供することができる。   On the other hand, in the illuminating device 10A of the present embodiment, the potential (VCT) of the cathode 8 increases as the distance (L) from the second terminal portion 18 increases as in the comparative example, and the sixth wiring 28 It descends as it approaches. On the other hand, the potential (VEL) of the anode 2 tends to increase as the distance (L) from the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 increases. Therefore, the potential difference (ΔV) between the potential (VEL) of the anode 2 and the potential (VCT) of the cathode 8 is not easily changed depending on the distance (L). That is, variation in driving voltage applied to the anode 2 and the cathode 8 for each of the plurality of organic EL elements 1 is suppressed, and the luminance unevenness due to the position of the organic EL element 1 in the region E1 is improved as compared with the comparative example. . In other words, it is possible to provide the lighting device 10A with less luminance unevenness.

照明装置10Aにおいて、Y方向に配列する複数の第1配線11のうち中央側に位置する第1配線11cの幅を他の第1配線11a,11b,11d,11eよりも大きくすることが望ましい。これにより、図8(b)の陽極2の電位(VEL)は、破線で示したように距離(L)が大きくなるに連れてすばやく電位が上昇するようになるので、陽極2の電位(VEL)と陰極8の電位(VCT)の電位差(ΔV)のばらつきをより小さくすることができる。つまり、第1端子部17及び第4端子部19からの有機EL素子1の距離(L)に起因する照明装置10Aの輝度むらをより低減できる。   In the illuminating device 10A, it is desirable that the width of the first wiring 11c located on the center side among the plurality of first wirings 11 arranged in the Y direction is larger than that of the other first wirings 11a, 11b, 11d, and 11e. As a result, the potential (VEL) of the anode 2 in FIG. 8B quickly increases as the distance (L) increases as shown by the broken line. ) And the potential difference (ΔV) of the potential (VCT) of the cathode 8 can be further reduced. That is, the luminance unevenness of the lighting device 10 </ b> A caused by the distance (L) of the organic EL element 1 from the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19 can be further reduced.

照明装置10Aの輝度むらを目視によって視認し難い状態とするには、発光が得られる領域E1における上記電位差(ΔV)の面内の最小値(ΔVmin)と最大値(ΔVmax)との比(ΔVmin/ΔVmax)を「1」から減じた割合が5%以下となるように、複数の第1配線11、第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16を設計することが好ましい。本実施形態の照明装置10Aにおける配線構造を採用すれば、5%以下とすることが可能である。 In order to make it difficult to visually recognize the luminance unevenness of the illumination device 10A, the ratio between the in-plane minimum value (ΔV min ) and maximum value (ΔV max ) of the potential difference (ΔV) in the region E1 where light emission is obtained. The plurality of first wirings 11, second wirings 12, third wirings 13, fifth wirings 30, and sixth wirings 28 so that the ratio obtained by subtracting (ΔV min / ΔV max ) from “1” is 5% or less. The seventh wiring 14, the eighth wiring 15, the ninth wiring 31, and the tenth wiring 16 are preferably designed. If the wiring structure in the illuminating device 10A of the present embodiment is employed, it can be made 5% or less.

また、照明装置10Aにおいて、複数の第1配線11、第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16は、基板P1上において同じ配線層に形成されている。したがって、それぞれの配線を別々の配線層に形成する場合に比べて、配線形成工程を簡略化でき、高いコストパフォーマンスを有する照明装置10Aを提供できる。   In the lighting device 10A, the plurality of first wirings 11, second wirings 12, third wirings 13, fifth wirings 30, sixth wirings 28, seventh wirings 14, eighth wirings 15, ninth wirings 31, The 10 wirings 16 are formed in the same wiring layer on the substrate P1. Therefore, compared with the case where each wiring is formed in a separate wiring layer, the wiring forming process can be simplified and the lighting device 10A having high cost performance can be provided.

また、照明装置10Aにおいて、第1端子部17、第2端子部18、第3端子部27、第4端子部19、第5端子部29は、Y方向において同じ側に配置され、且つ、第1端子部17と第4端子部19との間に第2端子部18が配置されている。したがって、第1端子部17、第2端子部18、第3端子部27、第4端子部19、第5端子部29をそれぞれ別な場所に配置する場合に比べて、外形がコンパクトな照明装置10Aを実現できる。   In the lighting device 10A, the first terminal unit 17, the second terminal unit 18, the third terminal unit 27, the fourth terminal unit 19, and the fifth terminal unit 29 are disposed on the same side in the Y direction, and A second terminal portion 18 is disposed between the first terminal portion 17 and the fourth terminal portion 19. Therefore, the illumination device has a compact outer shape as compared with the case where the first terminal unit 17, the second terminal unit 18, the third terminal unit 27, the fourth terminal unit 19, and the fifth terminal unit 29 are arranged in different places. 10A can be realized.

さらに、第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16は、複数の有機EL素子1が配置された領域E1の外側に配置されている。また、複数の第1配線11が光反射性を有しているので、これらの配線によって複数の有機EL素子1からの発光が遮られず、領域E1から効率よく光を取り出すことができるトップエミッション型の照明装置10Aを提供できる。   Further, the second wiring 12, the third wiring 13, the fifth wiring 30, the sixth wiring 28, the seventh wiring 14, the eighth wiring 15, the ninth wiring 31, and the tenth wiring 16 are composed of a plurality of organic EL elements 1. It arrange | positions on the outer side of the arrange | positioned area | region E1. Moreover, since the plurality of first wirings 11 have light reflectivity, the light emission from the plurality of organic EL elements 1 is not blocked by these wirings, and the top emission can efficiently extract light from the region E1. Type illumination device 10A can be provided.

(第2実施形態)
次に、第2実施形態の照明装置について、図9及び図10を参照して説明する。図9は第2実施形態の照明装置の電気的な構成を示す回路図、図10(a)は第2実施形態の照明装置の構成を示す概略平面図、図10(b)は第2実施形態の照明装置の有機EL素子における陽極と陰極の配置を示す概略平面図である。なお、第2実施形態の照明装置は、第1実施形態の照明装置10Aに対して第4配線26の構成を異ならせたものである。したがって、第1実施形態の照明装置10Aと同じ構成には同じ符号を付して詳細の説明は省略するものとする。
(Second Embodiment)
Next, the illuminating device of 2nd Embodiment is demonstrated with reference to FIG.9 and FIG.10. FIG. 9 is a circuit diagram showing the electrical configuration of the illumination device of the second embodiment, FIG. 10A is a schematic plan view showing the configuration of the illumination device of the second embodiment, and FIG. 10B is the second embodiment. It is a schematic plan view which shows arrangement | positioning of the anode and cathode in the organic EL element of the form illuminating device. In the illumination device of the second embodiment, the configuration of the fourth wiring 26 is different from the illumination device 10A of the first embodiment. Accordingly, the same components as those of the illumination device 10A of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

図9に示すように、本実施形態の照明装置10Bは、有機EL素子1が複数配置された領域E1を有し、領域E1においてX方向に6個、Y方向に5個、合計30個の有機EL素子1がマトリックス状に配置されている。なお、領域E1に配置される有機EL素子1の個数はこれに限定されるものではない。   As shown in FIG. 9, the illumination device 10B of the present embodiment has a region E1 in which a plurality of organic EL elements 1 are arranged, and in the region E1, six in the X direction and five in the Y direction, a total of 30 Organic EL elements 1 are arranged in a matrix. The number of organic EL elements 1 arranged in the region E1 is not limited to this.

複数の有機EL素子1のそれぞれの陽極2は、複数(5本)の第1配線11に接続されている。1本当たりの第1配線11には6個の有機EL素子1の陽極2が電気的に並列に接続されている。   Each anode 2 of the plurality of organic EL elements 1 is connected to a plurality (five) of first wirings 11. The anodes 2 of the six organic EL elements 1 are electrically connected in parallel to the first wiring 11 per one.

X方向に延在した複数の第1配線11の一方の端部は、Y方向に延在した第2配線12に接続されている。第2配線12は、同じくY方向に延在した第3配線13に接続されている。第3配線13の一方の端部が第2配線12に接続され、第3配線13の他方の端部には第1端子部17が設けられている。   One end of the plurality of first wirings 11 extending in the X direction is connected to the second wiring 12 extending in the Y direction. The second wiring 12 is connected to a third wiring 13 that also extends in the Y direction. One end of the third wiring 13 is connected to the second wiring 12, and a first terminal portion 17 is provided at the other end of the third wiring 13.

X方向に延在した複数の第1配線11の他方の端部は、Y方向に延在した第7配線14に接続されている。第7配線14は、同じくY方向に延在した第8配線15に接続されている。第8配線15の一方の端部が第7配線14に接続され、第8配線15の他方の端部には第4端子部19が設けられている。つまり、複数の第1配線11は、X方向における両端側に給電用の配線が接続されている。   The other end of the plurality of first wirings 11 extending in the X direction is connected to a seventh wiring 14 extending in the Y direction. The seventh wiring 14 is connected to an eighth wiring 15 that also extends in the Y direction. One end of the eighth wiring 15 is connected to the seventh wiring 14, and a fourth terminal portion 19 is provided at the other end of the eighth wiring 15. That is, the plurality of first wirings 11 are connected to power supply wirings at both ends in the X direction.

有機EL素子1の第4配線26は、Y方向に延在すると共に、X方向に並列する複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fを有しており、複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fの一方の端部はX方向に延在する第10配線16に電気的に接続されている。一方、複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fの一方の端部はX方向に延在する第6配線28に電気的に接続されている。複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fの他方の端部はX方向に延在する第10配線16に電気的に接続されている。第10配線16には第2端子部18が設けられている。第6配線28の端部は第5配線30と第9配線31と電気的に接続され、第5配線30の端部には第3端子部27が設けられ、第9配線31の端部には第5端子部29が設けられている。   The fourth wiring 26 of the organic EL element 1 has a plurality of fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f that extend in the Y direction and are arranged in parallel in the X direction. One end of the fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f is electrically connected to the tenth wiring 16 extending in the X direction. On the other hand, one end of the plurality of fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f is electrically connected to a sixth wiring 28 extending in the X direction. The other ends of the plurality of fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f are electrically connected to the tenth wiring 16 extending in the X direction. A second terminal portion 18 is provided on the tenth wiring 16. The end of the sixth wiring 28 is electrically connected to the fifth wiring 30 and the ninth wiring 31, the third terminal portion 27 is provided at the end of the fifth wiring 30, and the end of the ninth wiring 31 is provided. Is provided with a fifth terminal portion 29.

有機EL素子1は、複数の第1配線11と第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fとの交差部に対応して設けられており、1本当たりの第4配線枝部に対して5つの有機EL素子1が電気的に並列に接続された構成となっている。つまり、第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fの一部が、接続された有機EL素子1の陰極8として機能するものである。   The organic EL element 1 is provided corresponding to the intersection of the plurality of first wirings 11 and the fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f, and the fourth wiring branches per one. The five organic EL elements 1 are electrically connected in parallel to the part. That is, a part of the fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f functions as the cathode 8 of the connected organic EL element 1.

図10(a)に示すように、領域E1において、複数の第1配線11と第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fとの交差部ごとに有機EL素子1が設けられている。
また、複数の第1配線11の両端部が接続される第2配線12及び第7配線14に対して、第3配線13及び第8配線15の幅が大きくなっている。また、第5配線30及び第9配線31は第3配線13及び第8配線15の幅と同等になっている。
図10(b)に示すように、有機EL素子1の陽極2は、平面視で第1配線11と重なって形成されている。陽極2と第1配線11とは、陽極2と重なった位置に設けられたコンタクトホール9a内の導電膜を介して電気的に接続されている。本実施形態における陽極2の形状は長方形であって、長手方向が第1配線11の延在方向(X方向)と合致するように陽極2が配置されている。陽極2の短手方向の幅は、第1配線11の幅と同じであってもよいし、少し小さくてもよく、また少し大きくても構わない。第4配線26は、複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fを有する構成となっているので、例えば、2点鎖線で示した第4配線枝部26c,26dと陽極2とが平面視で重なる破線で示した領域E0が、1つの有機EL素子1において発光が得られる領域となっている。言い換えれば、破線で示した領域E0に重なる第4配線枝部26c,26dの部分が陰極8として機能する。
As shown in FIG. 10A, in the region E1, the organic EL element 1 is provided at each intersection of the plurality of first wires 11 and the fourth wire branches 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f. ing.
In addition, the widths of the third wiring 13 and the eighth wiring 15 are larger than the second wiring 12 and the seventh wiring 14 to which both ends of the plurality of first wirings 11 are connected. Further, the fifth wiring 30 and the ninth wiring 31 are equal in width to the third wiring 13 and the eighth wiring 15.
As shown in FIG. 10B, the anode 2 of the organic EL element 1 is formed so as to overlap the first wiring 11 in plan view. The anode 2 and the first wiring 11 are electrically connected via a conductive film in a contact hole 9 a provided at a position overlapping the anode 2. The shape of the anode 2 in this embodiment is a rectangle, and the anode 2 is arranged so that the longitudinal direction thereof matches the extending direction (X direction) of the first wiring 11. The width in the short direction of the anode 2 may be the same as the width of the first wiring 11, may be slightly smaller, or may be slightly larger. Since the fourth wiring 26 has a plurality of fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f, for example, fourth wiring branch portions 26c and 26d indicated by two-dot chain lines; A region E0 indicated by a broken line overlapping with the anode 2 in plan view is a region where light emission can be obtained in one organic EL element 1. In other words, the portions of the fourth wiring branch portions 26c and 26d that overlap the region E0 indicated by the broken line function as the cathode 8.

本実施形態の照明装置10Bは第4配線26が複数の第4配線枝部26a,26b,26c,26d,26e,26fに分かれて形成されている。したがって、第4配線26が複数の有機EL素子1に亘る共通配線として形成される第1実施形態に比べて、第4配線枝部における電気抵抗が上昇するものの、1本の第4配線枝部における陰極8の電位(VCT)の変化をより直線的に近似することができる。   In the lighting device 10B of the present embodiment, the fourth wiring 26 is formed by being divided into a plurality of fourth wiring branch portions 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, and 26f. Therefore, although the electric resistance in the fourth wiring branch portion is increased as compared with the first embodiment in which the fourth wiring 26 is formed as a common wiring extending over the plurality of organic EL elements 1, one fourth wiring branch portion. It is possible to approximate the change in the potential (VCT) of the cathode 8 at a more linear.

本実施形態の照明装置10Bによれば、上記第1実施形態の照明装置10Aにおける効果に加えて、1本の第4配線枝部における陰極8の電位(VCT)の変化がより直線的になるため、複数の有機EL素子1のそれぞれにおける陽極2と陰極8つまり第4配線枝部との間に印加される駆動電圧のばらつきをより低減できる。つまり、複数の有機EL素子1における輝度むらが目立ち難い照明装置10Bを提供できる。   According to the illuminating device 10B of the present embodiment, in addition to the effects of the illuminating device 10A of the first embodiment, the change in the potential (VCT) of the cathode 8 in one fourth wiring branch becomes more linear. Therefore, it is possible to further reduce the variation in the driving voltage applied between the anode 2 and the cathode 8 in each of the plurality of organic EL elements 1, that is, the fourth wiring branch. That is, it is possible to provide the lighting device 10B in which the luminance unevenness in the plurality of organic EL elements 1 is not noticeable.

また、照明装置10Bによれば、有機EL素子1の発光が得られる領域E0は、陽極2と第4配線枝部とが平面視で重なった部分となるので、第1実施形態のようにコンタクトホール9aを含む陽極2のほぼ全体が発光する場合に比べて、コンタクトホール9aを覆う発光機能層LEの膜厚変動に起因する輝度むらが生じ難い。   Further, according to the illuminating device 10B, the region E0 where the light emission of the organic EL element 1 can be obtained is a portion where the anode 2 and the fourth wiring branch overlap in a plan view, and therefore the contact as in the first embodiment. As compared with the case where almost the entire anode 2 including the hole 9a emits light, uneven luminance due to the film thickness variation of the light emitting functional layer LE covering the contact hole 9a is less likely to occur.

(第3実施形態)
<検査装置>
次に、本実施形態の検査装置について、生体認証装置を例に挙げ、図11〜図13を参照して説明する。なお、本実施形態の検査装置は、本実施形態の撮像装置を含むものである。図11は生体認証装置の構成を示すブロック図、図12は有機EL素子と受光素子との配置を示す概略平面図、図13は撮像装置の構造を示す概略断面図である。
(Third embodiment)
<Inspection device>
Next, the inspection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. Note that the inspection apparatus of the present embodiment includes the imaging apparatus of the present embodiment. FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of the biometric authentication device, FIG. 12 is a schematic plan view showing the arrangement of the organic EL elements and the light receiving elements, and FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the imaging device.

図11に示すように、本実施形態の検査装置としての生体認証装置100は、生体(被写体)としての指Fの静脈像を撮像して本人認証を行う装置であり、撮像装置50と、記憶部80と、出力部90と、これらを統括して制御する制御部70と、を備えている。また、撮像装置50は、指Fを照明する発光部10と、受光部20と、カバーガラス60とを備えている。
カバーガラス60は、撮像領域を覆うガラス製の保護カバーである。カバーガラス60の上に認証対象となる者の指F(例えば右手の人差し指)が置かれる。
発光部10は、有機EL素子1を光源とする上記第1実施形態の照明装置10Aあるいは上記第2実施形態の照明装置10Bを用いることができる。本実施形態の撮像装置50では、上記第2実施形態の照明装置10Bを発光部10として採用している。したがって、発光部10から発せられる照射光ILは近赤外域の光であり、その波長は、例えば700nm〜1500nm(より好ましくは800nm〜900nm)である。
As shown in FIG. 11, a biometric authentication device 100 as an inspection device of the present embodiment is a device that performs personal authentication by capturing a vein image of a finger F as a living body (subject). Unit 80, output unit 90, and control unit 70 that controls these in an integrated manner. The imaging device 50 includes a light emitting unit 10 that illuminates the finger F, a light receiving unit 20, and a cover glass 60.
The cover glass 60 is a glass protective cover that covers the imaging region. A finger F (for example, the index finger of the right hand) of the person to be authenticated is placed on the cover glass 60.
The light emitting unit 10 can use the illumination device 10A of the first embodiment or the illumination device 10B of the second embodiment using the organic EL element 1 as a light source. In the imaging device 50 of the present embodiment, the illumination device 10B of the second embodiment is employed as the light emitting unit 10. Therefore, the irradiation light IL emitted from the light emitting unit 10 is near-infrared light, and its wavelength is, for example, 700 nm to 1500 nm (more preferably 800 nm to 900 nm).

発光部10から射出された照射光IL(近赤外光)は、カバーガラス60の下側から指Fに照射され、指Fの内部に到達すると散乱し、その一部が反射光RLとして受光部20側に向かう。静脈を流れる還元ヘモグロビンは近赤外光を吸収する性質がある。このため近赤外光用のイメージセンサーを用いて指Fを撮像すると、指Fの皮下にある静脈部分が周辺組織に比べて暗く写る。この明暗の差による紋様が静脈像となる。受光部20は、近赤外光用のイメージセンサーであり、マトリックス状に配列された複数の受光素子21(図12参照)を備えている。各受光素子21は、入射光(指Fからの反射光RL)をその光量に応じた信号レベルを有する電気信号(受光信号)に変換する。   Irradiation light IL (near infrared light) emitted from the light emitting unit 10 is irradiated onto the finger F from the lower side of the cover glass 60 and scattered when reaching the inside of the finger F, and a part thereof is received as reflected light RL. Head toward the part 20 side. Reduced hemoglobin flowing through veins has the property of absorbing near infrared light. For this reason, when the finger F is imaged using an image sensor for near infrared light, the vein portion under the finger F appears darker than the surrounding tissue. The pattern due to this difference in brightness becomes a vein image. The light receiving unit 20 is an image sensor for near infrared light, and includes a plurality of light receiving elements 21 (see FIG. 12) arranged in a matrix. Each light receiving element 21 converts incident light (reflected light RL from the finger F) into an electric signal (light receiving signal) having a signal level corresponding to the amount of light.

なお、撮像装置50の具体的な構造については後述するが、図11に示すように発光部10と受光部20は、カバーガラス60の上に置かれた指Fに対して同じ側(図中下側)に位置する。また、発光部10は受光部20よりもカバーガラス60側(図中上側)に位置する。   Although the specific structure of the imaging device 50 will be described later, as shown in FIG. 11, the light emitting unit 10 and the light receiving unit 20 are on the same side with respect to the finger F placed on the cover glass 60 (in the drawing). Located on the lower side. In addition, the light emitting unit 10 is located closer to the cover glass 60 (upper side in the drawing) than the light receiving unit 20.

記憶部80は、フラッシュメモリーやハードディスク等の不揮発性メモリーであり、本人認証用のマスター静脈像として、事前に登録された指F(例えば右手の人差し指)の静脈像が記憶されている。制御部70は、CPUやRAMを備え、発光部10の点灯や消灯を制御する。また、制御部70は、受光部20に備わる各受光素子21から受光信号を読み出し、読み出した1フレーム分(撮像領域分)の受光信号に基づいて指Fの静脈像を生成する。また、制御部70は、生成した静脈像を記憶部80に登録されているマスター静脈像と照合し、本人認証を行う。例えば、制御部70は、照合する2つの静脈像の特徴(例えば静脈の枝分かれの数や位置等)を比較し、類似度が予め定められた閾値以上であった場合に、カバーガラス60の上に指Fを置いた者が記憶部80にマスター静脈像が登録されている本人であると認証する。出力部90は、例えば表示部や音声報知部であり、表示や音声によって認証結果を報知する。   The storage unit 80 is a non-volatile memory such as a flash memory or a hard disk, and stores a vein image of a finger F registered in advance (for example, the index finger of the right hand) as a master vein image for personal authentication. The control unit 70 includes a CPU and a RAM, and controls turning on and off of the light emitting unit 10. In addition, the control unit 70 reads a light reception signal from each light receiving element 21 provided in the light receiving unit 20, and generates a vein image of the finger F based on the read light reception signal for one frame (for the imaging region). In addition, the control unit 70 collates the generated vein image with the master vein image registered in the storage unit 80 and performs personal authentication. For example, the control unit 70 compares the characteristics of two vein images to be collated (for example, the number and position of branching of veins), and when the similarity is equal to or higher than a predetermined threshold, The person who puts the finger F on is authenticated as the person whose master vein image is registered in the storage unit 80. The output unit 90 is, for example, a display unit or a voice notification unit, and notifies the authentication result by display or voice.

図12に示すように、発光部10である照明装置10Bの光源としての有機EL素子1は、複数の第1配線11と陰極8として機能する第4配線枝部26c,26dとの交差部に設けられ、マトリックス状に配置されている。受光部20の受光素子21は、例えばフォトダイオードであって、複数の第1配線11と第4配線枝部26c,26dとが交差することにより形成された隙間部分に配置されている。つまり、平面視では1つの受光素子21の周りに4つの有機EL素子1が配置されていることになる。受光素子21もまたマトリックス状に配置されている。   As shown in FIG. 12, the organic EL element 1 as the light source of the illumination device 10 </ b> B that is the light emitting unit 10 is at the intersection of the plurality of first wirings 11 and the fourth wiring branch portions 26 c and 26 d that function as the cathode 8. Provided and arranged in a matrix. The light receiving element 21 of the light receiving unit 20 is, for example, a photodiode, and is disposed in a gap formed by the plurality of first wirings 11 and the fourth wiring branch portions 26c and 26d intersecting each other. That is, four organic EL elements 1 are arranged around one light receiving element 21 in plan view. The light receiving elements 21 are also arranged in a matrix.

図13に示すように、撮像装置50は、受光部20と、発光部10と、集光部40とがこの順に積層された構造を有している。受光部20は、透明あるいは不透明な基板P2上において前述したようにマトリックス状に配置された複数の受光素子21を有する。また、受光部20は、透明な基板P3を有している。基板P3は基板P2に対向配置されるものであって、基板P3の基板P2側の表面には遮光層22が形成されている。遮光層22には対向する受光素子21に対応した位置に開口部(ピンホール)23が形成されている。遮光層22はマトリックス状に配置された受光素子21に対向され、不必要な光が受光素子21に入射することを防ぐのでブラックマトリックス(BM)とも呼ばれる。   As illustrated in FIG. 13, the imaging device 50 has a structure in which the light receiving unit 20, the light emitting unit 10, and the light collecting unit 40 are stacked in this order. The light receiving unit 20 includes a plurality of light receiving elements 21 arranged in a matrix as described above on the transparent or opaque substrate P2. The light receiving unit 20 includes a transparent substrate P3. The substrate P3 is disposed to face the substrate P2, and a light shielding layer 22 is formed on the surface of the substrate P3 on the substrate P2 side. An opening (pinhole) 23 is formed in the light shielding layer 22 at a position corresponding to the opposing light receiving element 21. The light shielding layer 22 is opposed to the light receiving elements 21 arranged in a matrix, and prevents unnecessary light from entering the light receiving elements 21, and is also called a black matrix (BM).

発光部10は、透明な基板P1上において絶縁層9を介してマトリックス状に配置された複数の有機EL素子1を有する。なお、図13では、第1配線11などの配線の表示は省略されている。   The light emitting unit 10 includes a plurality of organic EL elements 1 arranged in a matrix via an insulating layer 9 on a transparent substrate P1. In FIG. 13, the display of wiring such as the first wiring 11 is omitted.

発光部10に対応するように集光部40が設けられている。集光部40は透明な基板P4と、基板P4の有機EL素子1に対応する側に設けられた複数のマイクロレンズ41とを有する。マイクロレンズ41は受光部20の受光素子21に対応してやはりマトリックス状に基板P4に配置されている。すなわち、集光部40はマイクロレンズアレイ(MLA)である。   A light collecting unit 40 is provided so as to correspond to the light emitting unit 10. The condensing part 40 has the transparent board | substrate P4 and the some micro lens 41 provided in the side corresponding to the organic EL element 1 of the board | substrate P4. The microlenses 41 are also arranged on the substrate P4 in a matrix corresponding to the light receiving elements 21 of the light receiving unit 20. That is, the condensing part 40 is a micro lens array (MLA).

受光部20、発光部10、集光部40はそれぞれ所定の間隔を置いて互いに配置される。特に、基板P3は集光部40におけるマイクロレンズ41の光学特性(集光度合い、焦点距離など)に応じて、受光素子21が設けられた基板P2とマイクロレンズ41が設けられた基板P4とに対する相対的な位置と、開口部23の大きさとが決められる。基板P2と基板P3の間、基板P3と基板P1の間、基板P1と基板P4の間は、それぞれ空間であることが好ましい。加えて、各受光素子21が受光可能な光量にばらつきが生じないように基板間の距離が一定であることがより好ましい。   The light receiving unit 20, the light emitting unit 10, and the light collecting unit 40 are arranged at predetermined intervals. In particular, the substrate P3 corresponds to the substrate P2 provided with the light receiving element 21 and the substrate P4 provided with the microlens 41 according to the optical characteristics (condensation degree, focal length, etc.) of the microlens 41 in the condensing unit 40. The relative position and the size of the opening 23 are determined. It is preferable that spaces are formed between the substrate P2 and the substrate P3, between the substrate P3 and the substrate P1, and between the substrate P1 and the substrate P4. In addition, it is more preferable that the distance between the substrates is constant so that the amount of light that can be received by each light receiving element 21 does not vary.

発光部10の有機EL素子1から発せられた照明光(近赤外光)ILは、前述したように生体(被写体)としての指Fを照明し、指Fから反射した反射光RLは、マイクロレンズ41によって集光される。さらに、遮光層22の開口部(ピンホール)23を透過して、外光などの不要な光が除かれた状態で受光素子21に入射する。
各受光素子21は、受光面に入射された反射光RL(近赤外光)をその光量に応じた信号レベルを有する受光信号に変換する。
本実施形態の撮像装置50は、発光部10として照明装置10Bが採用されている。したがって、生体(被写体)としての指Fを明るさにおいてむら無く照明することができる。また、図12に示すように受光素子21上には、反射光RLを遮る配線や電極が存在していないので、反射光RLに対して高感度な撮像装置50を提供できる。なお、発光部10として上記第1実施形態の照明装置10Aを採用することもできる。
The illumination light (near infrared light) IL emitted from the organic EL element 1 of the light emitting unit 10 illuminates the finger F as a living body (subject) as described above, and the reflected light RL reflected from the finger F is microscopic. The light is collected by the lens 41. Further, the light passes through the opening (pinhole) 23 of the light shielding layer 22 and enters the light receiving element 21 in a state where unnecessary light such as outside light is removed.
Each light receiving element 21 converts the reflected light RL (near infrared light) incident on the light receiving surface into a light receiving signal having a signal level corresponding to the amount of light.
The imaging device 50 according to the present embodiment employs an illumination device 10B as the light emitting unit 10. Therefore, the finger F as a living body (subject) can be illuminated evenly in brightness. In addition, as shown in FIG. 12, since there are no wiring or electrodes that block the reflected light RL on the light receiving element 21, it is possible to provide an imaging device 50 that is highly sensitive to the reflected light RL. Note that the lighting device 10 </ b> A of the first embodiment may be employed as the light emitting unit 10.

このような生体認証装置100によれば、輝度むらが低減された近赤外光を射出して指Fを照明することができる発光部10を有した撮像装置50を備え、高いコントラストで指Fの静脈像を撮像することが可能なため、高い認証精度を実現することができる。   According to such a biometric authentication device 100, the imaging device 50 including the light emitting unit 10 that can emit near-infrared light with reduced luminance unevenness and illuminate the finger F, and the finger F with high contrast. Therefore, high authentication accuracy can be realized.

近赤外光が得られる上記第1実施形態の照明装置10Aや上記第2実施形態の照明装置10Bを適用可能な検査装置は、上記生体認証装置100に限定されない。例えば、マンモグラフィー装置や血液成分分析装置などの照明装置として好適に用いることができる。   The inspection device to which the illumination device 10A of the first embodiment and the illumination device 10B of the second embodiment from which near infrared light can be obtained is not limited to the biometric authentication device 100. For example, it can be suitably used as an illumination device such as a mammography device or a blood component analyzer.

上記第1実施形態の照明装置10Aや上記第2実施形態の照明装置10Bを適用可能な電子機器は、上記生体認証装置100などに限定されない。例えば、有機EL素子1から白色など可視光波長の発光が得られるように発光層5における発光材料を選択すれば、一般的な照明装置として用いることができる。また、液晶表示装置や電気泳動表示装置などの受光型の表示装置の照明装置(バックライトやフロントライト)として好適に用いることができる。さらには、これらの受光型の表示装置を備えた、例えばパーソナルコンピューターや携帯型電話機などの情報端末機器を始めとした電子機器の照明装置として好適に用いることができる。   Electronic devices to which the illumination device 10A of the first embodiment and the illumination device 10B of the second embodiment can be applied are not limited to the biometric authentication device 100 and the like. For example, if a light emitting material in the light emitting layer 5 is selected so that light emission of visible light wavelength such as white can be obtained from the organic EL element 1, it can be used as a general lighting device. Further, it can be suitably used as an illumination device (backlight or frontlight) for a light-receiving display device such as a liquid crystal display device or an electrophoretic display device. Furthermore, it can be suitably used as an illuminating device for electronic devices including these light receiving display devices such as information terminal devices such as personal computers and mobile phones.

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う照明装置及びこの照明装置を適用する撮像装置、検査装置、電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. An imaging device, an inspection device, and an electronic device to which the illumination device is applied are also included in the technical scope of the present invention. Various modifications other than the above embodiment are conceivable. Hereinafter, a modification will be described.

(変形例1)上記照明装置10A,10Bでは、X方向に延在する複数の第1配線11の一方の端側に第2配線12と、第3配線13とを配置し、他方の端側に第7配線14と、第8配線15とを配置したが、これに限定されない。例えば、第7配線14と、第8配線15とを削除して、複数の第1配線11に電気的に接続される配線を第2配線12と、第3配線13とにしてもよい。配線を減らした分、上記照明装置10A,10Bを小型化できる。   (Modification 1) In the lighting devices 10A and 10B, the second wiring 12 and the third wiring 13 are arranged on one end side of the plurality of first wirings 11 extending in the X direction, and the other end side. Although the seventh wiring 14 and the eighth wiring 15 are arranged in the above, it is not limited to this. For example, the seventh wiring 14 and the eighth wiring 15 may be deleted, and the wiring electrically connected to the plurality of first wirings 11 may be the second wiring 12 and the third wiring 13. The illumination devices 10A and 10B can be miniaturized by reducing the wiring.

(変形例2)上記照明装置10A,10Bにおいて、領域E1における複数の有機EL素子1の配置はこれに限定されない。図14は変形例の有機EL素子の配置を示す概略平面図である。例えば、図14に示すように、複数の第1配線11上の陽極2のX方向における配置を1本置きに異ならせてもよい。これにより、複数の有機EL素子1を単位面積当たりでより高密度に配置することが可能となる。   (Modification 2) In the illumination devices 10A and 10B, the arrangement of the plurality of organic EL elements 1 in the region E1 is not limited to this. FIG. 14 is a schematic plan view showing the arrangement of a modified organic EL element. For example, as shown in FIG. 14, the arrangement of the anodes 2 on the plurality of first wirings 11 in the X direction may be varied every other line. Thereby, it becomes possible to arrange a plurality of organic EL elements 1 with higher density per unit area.

(変形例3)上記照明装置10A,10Bでは、基板P1上に形成される複数の第1配線11、第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16は同一配線層において、同一の導電材料で形成されることが好ましいとしたが、異なる種類の導電材料が積層された構成としてもよい。   (Modification 3) In the lighting devices 10A and 10B, a plurality of first wirings 11, second wirings 12, third wirings 13, fifth wirings 30, sixth wirings 28, and seventh wirings formed on the substrate P1. 14, the eighth wiring 15, the ninth wiring 31, and the tenth wiring 16 are preferably formed of the same conductive material in the same wiring layer. However, different types of conductive materials may be stacked. .

(変形例4)上記照明装置10A,10Bでは、有機EL素子1が配置された領域E1よりも外側に第2配線12、第3配線13、第5配線30、第6配線28、第7配線14、第8配線15、第9配線31、第10配線16を配置したが、これらの配線のすべて、あるいは一部が領域E1に含まれる構成としてもよい。   (Modification 4) In the illumination devices 10A and 10B, the second wiring 12, the third wiring 13, the fifth wiring 30, the sixth wiring 28, and the seventh wiring outside the region E1 where the organic EL element 1 is disposed. 14, the eighth wiring 15, the ninth wiring 31, and the tenth wiring 16 are disposed, but all or a part of these wirings may be included in the region E <b> 1.

(変形例5)上記照明装置10A,10Bでは、第1電極としての陽極2を第1配線11上に配置したが、これに限定されない。例えば、Y方向において第1配線11の間に位置し、一部が第1配線11と重なるように陽極2を配置してもよい。   (Modification 5) In the illumination devices 10A and 10B, the anode 2 as the first electrode is disposed on the first wiring 11, but the present invention is not limited to this. For example, the anode 2 may be disposed so as to be positioned between the first wirings 11 in the Y direction and partially overlap the first wirings 11.

1…有機EL素子、2…第1電極としての陽極、5…発光層、8…陰極、9…絶縁層、9a…コンタクトホール、10…発光部、10A,10B…照明装置、11…第1配線、12…第2配線、13…第3配線、14…第7配線、15…第8配線、16…第10配線、17…第1端子部、18…第2端子部、19…第4端子部、20…受光部、21…受光素子、22…遮光層、23…開口部、26…第4配線、26a,26b,26c,26d,26e,26f…第4配線枝部、27…第3端子部、28…第6配線、29…第5端子部、30…第5配線、31…第9配線、41…マイクロレンズ、50…撮像装置、70…制御部、100…検査装置としての生体認証装置、E1…有機EL素子が配置された領域、P1…基板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Organic EL element, 2 ... Anode as 1st electrode, 5 ... Light emitting layer, 8 ... Cathode, 9 ... Insulating layer, 9a ... Contact hole, 10 ... Light emission part, 10A, 10B ... Illuminating device, 11 ... 1st Wiring, 12 ... 2nd wiring, 13 ... 3rd wiring, 14 ... 7th wiring, 15 ... 8th wiring, 16 ... 10th wiring, 17 ... 1st terminal part, 18 ... 2nd terminal part, 19 ... 4th Terminal part, 20 ... light receiving part, 21 ... light receiving element, 22 ... light shielding layer, 23 ... opening part, 26 ... fourth wiring, 26a, 26b, 26c, 26d, 26e, 26f ... fourth wiring branch part, 27 ... first 3 terminal part, 28 ... 6th wiring, 29 ... 5th terminal part, 30 ... 5th wiring, 31 ... 9th wiring, 41 ... Microlens, 50 ... Imaging device, 70 ... Control part, 100 ... Inspection device Biometric authentication device, E1... Region where organic EL elements are arranged, P1... Substrate.

Claims (16)

第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が基板上に配置された領域を有する照明装置であって、
第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、
前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、
前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、
前記第1の方向と前記第2の方向とに延在し、少なくとも前記領域に亘って形成された第4配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、
前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、前記第4配線の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、
前記第4配線の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、
前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部と、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、
前記第4配線の一部が前記第2電極として機能していることを特徴とする照明装置。
A lighting device having a region in which a plurality of organic EL elements each having a light emitting layer between a first electrode and a second electrode are disposed on a substrate,
A plurality of first wirings extending in a first direction and parallel to each other in a second direction intersecting the first direction;
A second wiring extending in the second direction and connected to one end of the plurality of first wirings;
A third wiring extending in the second direction and provided outside the second wiring and having one end connected to the second wiring;
A first terminal connected to the other end of the third wiring;
A fourth wiring extending in at least the region extending in the first direction and the second direction;
A fifth wiring extending in the second direction and provided outside the third wiring;
Extending in the first direction, electrically connected to one end of the fourth wiring on the opposite side of the first terminal portion in the second direction, and one of the fifth wiring A sixth wiring connected to the end;
A second terminal portion to which the other end of the fourth wiring in the second direction is connected;
A third terminal portion to which the other end of the fifth wiring is connected,
The first electrode is connected to one of the plurality of first wirings,
A part of said 4th wiring is functioning as said 2nd electrode, The illuminating device characterized by the above-mentioned.
第1電極と第2電極との間に発光層を有する複数の有機EL素子が基板上に配置された領域を有する照明装置であって、
第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに並列する複数の第1配線と、
前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の一方の端部が接続された第2配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第2配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第2配線に接続された第3配線と、
前記第3配線の他方の端部が接続された第1端子部と、
少なくとも前記領域において、前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に間隔をおいて互いに並列する複数の第4配線枝部を有する第4配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第3配線よりも外側に設けられた第5配線と、
前記第1の方向に延在し、前記第2の方向における前記第1端子部と反対側において、前記複数の第4配線枝部の一方の端部に電気的に接続され、且つ前記第5配線の一方の端部に接続された第6配線と、
前記複数の第4配線枝部の前記第2の方向における他方の端部が接続された第2端子部と、
前記第5配線の他方の端部が接続された第3端子部、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のいずれかに接続され、
前記第4配線枝部の一部が前記第2電極として機能し、
前記有機EL素子は、前記複数の第1配線と前記複数の第4配線枝部との交差部に対応して設けられていることを特徴とする照明装置。
A lighting device having a region in which a plurality of organic EL elements each having a light emitting layer between a first electrode and a second electrode are disposed on a substrate,
A plurality of first wirings extending in a first direction and parallel to each other in a second direction intersecting the first direction;
A second wiring extending in the second direction and connected to one end of the plurality of first wirings;
A third wiring extending in the second direction and provided outside the second wiring and having one end connected to the second wiring;
A first terminal connected to the other end of the third wiring;
A fourth wiring having a plurality of fourth wiring branches extending in the second direction and spaced in parallel in the first direction at least in the region;
A fifth wiring extending in the second direction and provided outside the third wiring;
Extending in the first direction, electrically connected to one end of the plurality of fourth wiring branches on the opposite side of the first terminal portion in the second direction, and the fifth A sixth wiring connected to one end of the wiring;
A second terminal portion to which the other end in the second direction of the plurality of fourth wiring branch portions is connected;
A third terminal portion to which the other end of the fifth wiring is connected,
The first electrode is connected to one of the plurality of first wirings,
A part of the fourth wiring branch part functions as the second electrode;
The organic EL element is provided corresponding to an intersection of the plurality of first wirings and the plurality of fourth wiring branch portions.
前記第2の方向に延在し、前記複数の第1配線の他方の端部が接続された第7配線と、
前記第2の方向に延在し、前記第7配線よりも外側に設けられ一方の端部が前記第7配線に接続された第8配線と、
前記第8配線の他方の端部が接続された第4端子部と、
前記第8配線の外側に設けられ一方の端部が前記第6配線と接続された第9配線と、
前記第9配線の他方の端部が接続された第5端子部と、を備え、
前記第2の方向において、前記第1端子部及び前記第2端子部及び第3端子部及び第4端子部並びに前記第5端子部が同じ側に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の照明装置。
A seventh wiring extending in the second direction and connected to the other end of the plurality of first wirings;
An eighth wiring extending in the second direction and provided outside the seventh wiring and having one end connected to the seventh wiring;
A fourth terminal portion to which the other end of the eighth wiring is connected;
A ninth wiring provided outside the eighth wiring and having one end connected to the sixth wiring;
A fifth terminal portion to which the other end of the ninth wiring is connected,
The first terminal portion, the second terminal portion, the third terminal portion, the fourth terminal portion, and the fifth terminal portion are arranged on the same side in the second direction. Or the illuminating device of 2.
前記複数の第1配線のうち、前記領域の中央側に位置する少なくとも1つの第1配線が他の第1配線よりも幅が大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の照明装置。   The at least 1 1st wiring located in the center side of the said area | region among these 1st wiring is a width | variety larger than the other 1st wiring, The Claim 1 characterized by the above-mentioned. The lighting device described. 前記複数の第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記基板上において同層に設けられていることを特徴とする請求項3または4に記載の照明装置。   The plurality of first wirings, the second wirings, the third wirings, the fifth wirings, the sixth wirings, the seventh wirings, the eighth wirings, and the ninth wirings in the same layer on the substrate. The lighting device according to claim 3, wherein the lighting device is provided. 前記複数の第1配線は、少なくとも前記領域に亘って設けられ、
前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線は、前記領域の外側に設けられていることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか一項に記載の照明装置。
The plurality of first wirings are provided over at least the region,
The second wiring, the third wiring, the fifth wiring, the sixth wiring, the seventh wiring, the eighth wiring, and the ninth wiring are provided outside the region. The lighting device according to any one of claims 3 to 5.
前記第3配線の幅は前記第2配線よりも大きく、
前記第8配線の幅は前記第7配線よりも大きいことを特徴とする請求項3乃至6のいずれか一項に記載の照明装置。
The width of the third wiring is larger than that of the second wiring,
The lighting device according to claim 3, wherein a width of the eighth wiring is larger than that of the seventh wiring.
前記第5配線の幅は前記第3配線と同等で、
前記第9配線の幅は前記第8配線と同等であることを特徴とする請求項3乃至6のいずれか一項に記載の照明装置。
The width of the fifth wiring is equal to the third wiring,
The lighting device according to claim 3, wherein a width of the ninth wiring is equal to that of the eighth wiring.
前記基板上の前記複数の第1配線を覆う絶縁層と、
前記複数の第1配線と重なる前記絶縁層の部分に設けられた複数のコンタクトホールと、を備え、
前記第1電極は、前記複数の第1配線のうちの1つの第1配線と重なって設けられ、前記複数のコンタクトホールのうち少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜により前記1つの第1配線と電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の照明装置。
An insulating layer covering the plurality of first wirings on the substrate;
A plurality of contact holes provided in a portion of the insulating layer overlapping the plurality of first wirings,
The first electrode is provided so as to overlap with one first wiring of the plurality of first wirings, and the first electrode is formed by a conductive film formed in at least one of the plurality of contact holes. The lighting device according to claim 1, wherein the lighting device is electrically connected to one wiring.
前記複数の第1配線は、光反射性を有する導電材料により構成され、
前記第1電極及び前記第4配線は、光透過性を有する導電材料により構成されていることを特徴とする請求項9に記載の照明装置。
The plurality of first wirings are made of a conductive material having light reflectivity,
The lighting device according to claim 9, wherein the first electrode and the fourth wiring are made of a light-transmitting conductive material.
前記少なくとも1つのコンタクトホール内に形成された導電膜は、前記第1電極と同じ光透過性を有する導電材料で構成されていることを特徴とする請求項10に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 10, wherein the conductive film formed in the at least one contact hole is made of a conductive material having the same light transmittance as that of the first electrode. 前記第1の方向に延在し、前記第4配線と前記第2端子部とを電気的に接続させる第10配線を有し、
前記第10配線は、前記第4配線よりも低抵抗な導電材料により構成されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の照明装置。
A tenth wiring extending in the first direction and electrically connecting the fourth wiring and the second terminal portion;
12. The lighting device according to claim 1, wherein the tenth wiring is made of a conductive material having a resistance lower than that of the fourth wiring.
前記第10配線は、前記領域よりも外側に設けられ、前記基板上において、前記複数の第1配線、前記第2配線、前記第3配線、前記第5配線、前記第6配線、前記第7配線、前記第8配線、前記第9配線と同層に形成されていることを特徴とする請求項12に記載の照明装置。   The tenth wiring is provided outside the region, and the plurality of first wirings, the second wiring, the third wiring, the fifth wiring, the sixth wiring, and the seventh wiring are provided on the substrate. The lighting device according to claim 12, wherein the lighting device is formed in the same layer as the wiring, the eighth wiring, and the ninth wiring. 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の照明装置を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the illumination device according to any one of claims 1 to 13. 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、を備えたことを特徴とする撮像装置。
A lighting device according to any one of claims 1 to 13,
An imaging apparatus comprising: a light receiving element that captures an image of a subject illuminated by the illumination apparatus.
請求項1乃至13のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記照明装置によって照明された被写体の画像を撮像する受光素子と、
前記受光素子の検出結果によって検査を行う制御部と、を備えたことを特徴とする検査装置。
A lighting device according to any one of claims 1 to 13,
A light receiving element that captures an image of a subject illuminated by the illumination device;
And a control unit that performs inspection based on a detection result of the light receiving element.
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