JP2014021200A - Optical switch and reflective display device - Google Patents

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晃広 布施
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical switch that has a fast speed of changing displays, can display without restricted by the environment of usage and has high reliability.SOLUTION: A reflective display device 2 is constituted by combining a substrate 103 on which an actuator 104 comprising a thin film PZT is formed and a transparent cover member 101 on which an inverse opal structure 102 is formed as an optical switch. The inverse opal structure 102 comprises a material having flexibility produced by using a close-packed structure of spherical fine particles as a template, and has a structure having a photonic band gap function to reflect light at a desired wavelength by the structural period. A switching function can be obtained by deforming the inverse opal structure by applying force by the actuator 104. The paired combination of the inverse opal structure and the actuator constitutes a display part of one pixel.

Description

本発明は、特定の波長の光を反射する光スイッチ、該光スイッチを表示部材として備える反射型ディスプレイ装置に関する。   The present invention relates to an optical switch that reflects light of a specific wavelength, and a reflective display device that includes the optical switch as a display member.

太陽光などの強力な光線下においては、自発光型のディスプレイは視認性が劣る。
このため、明るい環境下でも高い視認性を発揮できるディスプレイの実現に対する要求は高く、これまでさまざまな方法による反射型ディスプレイが実現されてきた。
その中で、粒子径の揃った微粒子が最密充填構造で配列したオパール結晶などの規則的周期構造が発揮する構造色を利用したものは、比較的省エネルギーで駆動できるために、盛んに研究開発が行われている。
Under strong light rays such as sunlight, the self-luminous display has poor visibility.
For this reason, there is a high demand for the realization of a display that can exhibit high visibility even in a bright environment, and reflective displays by various methods have been realized so far.
Among them, those using structural colors that exhibit regular periodic structures such as opal crystals in which fine particles of uniform particle size are arranged in a close-packed structure can be driven with relatively low energy consumption, so they are actively researched and developed. Has been done.

圧縮応力や引っ張り応力により周期構造を変化させて、それにより構造色が変化する原理を利用した光スイッチやディスプレイを実現する技術が提案されている。
従来におけるオパール結晶や微粒子の集積体をベースとした周期構造変化型の構造色利用のディスプレイは、セル内に封入された微粒子とマトリックスからなる混合系の構造色変化を利用するものであった。
このため、反応速度が遅いために表示を切り替えるための時間が長くなるといったことや、溶液を含むセルであるために、小型化、アレイ化が困難であるという問題があった。
There has been proposed a technique for realizing an optical switch or a display using a principle that a periodic structure is changed by compressive stress or tensile stress and a structural color changes accordingly.
A conventional display using a structural color of a periodic structure change type based on an opal crystal or an aggregate of fine particles utilizes a structural color change of a mixed system composed of fine particles and a matrix enclosed in a cell.
For this reason, there are problems that it takes a long time to switch the display due to the slow reaction speed, and that the cell containing the solution makes it difficult to reduce the size and form an array.

また、固体である微粒子と液体との混合系であるために、重力や加速度、さらには環境温度の影響を受けやすく、使用する環境や使用姿勢により制約を受けるという問題があった。   Further, since it is a mixed system of solid fine particles and liquid, there is a problem that it is easily affected by gravity, acceleration, and environmental temperature, and is restricted by the environment and use posture.

特許文献1には、外部からの刺激を受けて構造色が変化して得られる表示色を高い応答速度で実現し、かつ、経時変化や温度などの環境変化による変動の変化を小さくするという目的を持つ表示部材が提案されている。
この表示部材は、球体とマトリックスとからなり、セル枠内に封入された構造であって、外部からの刺激を受けることにより変形を生じ、これに伴って構造色変化を表示させるものである。
マトリックスは融点が50℃以下であるイオン液体からなることを特徴としている。
Patent Document 1 aims to realize a display color obtained by changing a structural color in response to an external stimulus at a high response speed, and to reduce variation due to environmental changes such as aging and temperature. A display member having the following has been proposed.
This display member is composed of a sphere and a matrix, and has a structure enclosed in a cell frame. The display member is deformed by receiving an external stimulus, and a structural color change is displayed accordingly.
The matrix is characterized by comprising an ionic liquid having a melting point of 50 ° C. or lower.

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、セル内に液体を封入している構造であるために、表示を切り替える十分な速度が得られにくく、さらには駆動方式が複雑で小型化、アレイ化が困難である等の上記問題は依然として解消できていない。   However, since the technique described in Patent Document 1 has a structure in which a liquid is sealed in a cell, it is difficult to obtain a sufficient speed for switching the display, and furthermore, the drive system is complicated and the size and array can be reduced. The above problems such as difficulty are still not solved.

本発明は、このような現状に鑑みて創案されたもので、表示の切り替え速度が速く、使用環境等の制約を受けずに表示でき、高い信頼性を有する光スイッチの提供を、その主な目的する。   The present invention was devised in view of such a current situation. The main feature of the present invention is to provide an optical switch that has a high display reliability and a display switching speed that can be displayed without being restricted by a use environment. Purpose.

上記目的を達成するために、本発明は、球形微粒子の最密充填構造を鋳型として可撓性を有する材料で構成され、且つ、構造周期が所望の波長を反射するフォトニックバンドギャップ機能を持つ構造のインバースオパール構造体を有し、前記インバースオパール構造体を変形させることによりスイッチング機能を得ることを特徴とする光スイッチとした。   In order to achieve the above object, the present invention is composed of a flexible material using a close-packed structure of spherical fine particles as a mold, and has a photonic band gap function in which the structure period reflects a desired wavelength. An optical switch having an inverse opal structure having a structure and obtaining a switching function by deforming the inverse opal structure.

本発明によれば、インバースオパール構造体を可撓性を有する材料で形成し、インバースオパール構造体そのものを変形させて構造色の変化を発現させる構成としたので、構成要素を全て固体にでき、これにより表示の切り替え速度が速く、使用環境や使用姿勢の制約を受けることがない。
また、駆動方式が簡易で小型化、アレイ化が容易となる。
According to the present invention, the inverse opal structure is formed of a flexible material, and the inverse opal structure itself is deformed to express a change in structural color. As a result, the display switching speed is high, and there are no restrictions on the use environment or use posture.
In addition, the driving method is simple, and miniaturization and arraying become easy.

本発明の一実施形態に係る反射型ディスプレイ装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the reflection type display apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. インバースオパール構造体の形成方法を示す図で、(a)は各セル内に球形微粒子を含む分散液を導入した状態を示す図、(b)は分散液が蒸発し、球形微粒子が最密充填構造を形成した後に、最密充填構造の空隙に可撓性を有する材料(紫外線硬化型エポキシ樹脂)を充填した状態を示す図、(c)は球形微粒子のみを除去した状態を示す図、(d)はセルを形成している分離壁を除去した状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a method for forming an inverse opal structure, where (a) shows a state in which a dispersion liquid containing spherical fine particles is introduced into each cell, and (b) shows a state where the dispersion liquid is evaporated and spherical fine particles are closely packed. The figure which shows the state which filled the flexible material (ultraviolet curable epoxy resin) in the space | gap of a close-packed structure after forming a structure, (c) is a figure which shows the state which removed only spherical fine particles, d) is a view showing a state in which a separation wall forming a cell is removed.

以下、本発明の一実施形態を図を参照して説明する。
具体的な構成を説明する前に、本発明の趣旨を説明する。光の波長に近い周期構造を有する構造体は、光に対して特長的な振る舞いを発揮するという特徴を持っている。
具体的には屈折率が3次元で周期的に変化する構造体において、その周期が光の波長のオーダーに近い場合、その2種類の屈折率の差と、周期サイズによって決定されるある波長の光が伝播できないという現象が起こる。
この現象をフォトニック結晶におけるフォトニックバンドギャップという。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Before describing the specific configuration, the gist of the present invention will be described. A structure having a periodic structure close to the wavelength of light has a characteristic of exhibiting a characteristic behavior with respect to light.
Specifically, in a structure whose refractive index changes periodically in three dimensions, when the period is close to the order of the wavelength of light, the difference between the two types of refractive indices and the wavelength determined by the period size The phenomenon that light cannot propagate occurs.
This phenomenon is called a photonic band gap in the photonic crystal.

つまり、フォトニック結晶を構成する2種類の物質の屈折率、または周期サイズを変化させることにより、フォトニックバンドギャップの波長を制御することが可能となる。
フォトニックバンドギャップに相当する波長がフォトニック結晶の中を伝播することができないということは、その波長の光が選択的に反射するということを示している。
したがって、フォトニックバンドギャップの波長を変化させれば、反射する光の波長が変化するということであり、アレイ状に形成した画素のフォトニックバンドギャップを個別に制御することにより、反射型のディスプレイとして機能させることが可能となる。
That is, it is possible to control the wavelength of the photonic band gap by changing the refractive index or the period size of the two types of substances constituting the photonic crystal.
The fact that the wavelength corresponding to the photonic band gap cannot propagate through the photonic crystal indicates that light of that wavelength is selectively reflected.
Therefore, if the wavelength of the photonic band gap is changed, the wavelength of the reflected light will change. By controlling the photonic band gap of the pixels formed in an array individually, a reflective display It becomes possible to function as.

本発明においては、この周期構造を、微粒子の規則的配列体を鋳型としたインバースオパール構造体で実現するので、寸法制御性の優れた製造方法でインバースオパール構造を形成することができる。
さらにインバースオパール構造体は可撓性材料からなる、いわゆるスケルトン構造であるので、変形に必要な力を小さくでき、その結果省エネルギー駆動であっても反応速度の高い光スイッチ(構造色の変化)の実現が可能となる。
In the present invention, since this periodic structure is realized by an inverse opal structure using a regular array of fine particles as a template, an inverse opal structure can be formed by a manufacturing method with excellent dimensional controllability.
Furthermore, since the inverse opal structure is a so-called skeleton structure made of a flexible material, the force required for deformation can be reduced, and as a result, an optical switch (change in structural color) with high reaction speed can be achieved even with energy-saving drive. Realization is possible.

本発明は、フォトニック結晶のフォトニックバンドギャップを利用した光スイッチである。さらには、光スイッチをアレイ状に形成し、それらを個別に制御してフォトニックバンドギャップの波長を変化させることによって反射型ディスプレイを実現するものである。
本発明においては、フォトニックバンドギャップの機能を発揮する部材としてインバースオパール構造体を用いることを最大の特徴としている。
The present invention is an optical switch using a photonic band gap of a photonic crystal. Furthermore, a reflective display is realized by forming optical switches in an array and individually controlling them to change the wavelength of the photonic band gap.
The greatest feature of the present invention is that an inverse opal structure is used as a member that exhibits the function of a photonic band gap.

一般に、粒子径の揃った球形微粒子が自己組織的に配列した規則的配列体はフォトニック結晶の性質を有する。
これを鋳型として形成した反転オパール構造、すなわち一般的にインバースオパール構造と呼ばれるものもフォトニックバンドギャップの機能を発揮することが知られている。
本発明においては、粒子径の揃った球形微粒子を自己組織的に配列させて形成したこの規則的配列体が連通した空隙を有していることを利用している。
In general, a regular array in which spherical fine particles having a uniform particle diameter are arranged in a self-organizing manner has the property of a photonic crystal.
It is known that an inverted opal structure formed using this as a template, that is, what is generally called an inverse opal structure, also exhibits a photonic band gap function.
In the present invention, it is utilized that the regular array formed by self-organizing spherical fine particles having a uniform particle diameter has a communicating void.

この空隙にある種の流動性を有する材料を充填、固化した後に、微粒子のみを選択的に除去することにより、インバースオパール構造体を得ることができる。
充填する材料として、可撓性を有する材料を用いることで、インバースオパール構造体を容易に変形させることができる。
このようなインバースオパール構造を形成する際に、画素に応じた個別の領域が形成されるように基板を準備し、また、各画素に変形を与えるアクチュエータを個別に設けることで、狙った画素のみを変形させることができる。
An inverse opal structure can be obtained by selectively removing only the fine particles after filling and solidifying a material having a certain fluidity in the voids.
By using a flexible material as the filling material, the inverse opal structure can be easily deformed.
When forming such an inverse opal structure, a substrate is prepared so that individual regions corresponding to the pixels are formed, and an actuator that deforms each pixel is individually provided so that only the target pixel is provided. Can be deformed.

変形されたインバースオパール構造体からなる画素は、フォトニックバンドギャップに応じた波長が、その周期構造が変形しない画素と異なるという現象が生じる。
このことはつまり、変形した画素と変形しない画素で反射する光の波長が異なることとなり、すなわち反射型のディスプレイとして機能することになる。
インバースオパール構造体を変形させるためのアクチュエータとして、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術において一般的に用いられている薄膜PZTを用いることも本発明の大きな特徴である。
A pixel having a deformed inverse opal structure has a phenomenon that a wavelength corresponding to the photonic band gap is different from a pixel whose periodic structure is not deformed.
This means that the wavelength of light reflected by the deformed pixel and the non-deformed pixel is different, that is, it functions as a reflective display.
The use of thin film PZT generally used in MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology as an actuator for deforming the inverse opal structure is also a major feature of the present invention.

薄膜PZTは、半導体製造プロセスを利用することで所望の領域に個別駆動できるアクチュエータとして形成することは一般的な技術を用いれば容易に達成できる。
また、薄膜PZTは電圧駆動型のアクチュエータであるので、消費電力が少ないという特徴を有しているので、省エネルギー駆動にも貢献する。
Forming the thin film PZT as an actuator that can be individually driven in a desired region by using a semiconductor manufacturing process can be easily achieved by using a general technique.
Further, since the thin film PZT is a voltage-driven actuator, it has a feature of low power consumption, which contributes to energy-saving driving.

本発明は、そのような薄膜PZTからなるアクチュエータを、表示画素として機能するインバースオパール構造体に寸法精度よく一致させて形成することを特徴としている。
すなわち、変形するインバースオパール構造体と、変形させる力を発揮するアクチュエータとの双方をすべて固体の構成要件(ソリッドステート)で形成できることが大きな特徴となっている。
従来のように、微粒子と溶液からなるマトリックスの混合系という複雑な系ではなく、全て固体の構成要件で形成できるので、重力の影響や加速度の影響を受けず、使用環境、使用姿勢の自由度を高い状態で維持できる。
The present invention is characterized in that an actuator made of such a thin film PZT is formed with an inverse opal structure functioning as a display pixel with high dimensional accuracy.
That is, the main feature is that both the deforming inverse opal structure and the actuator that exerts the deforming force can be formed with solid constituent requirements (solid state).
It is not a complex system of mixed matrix of fine particles and solution as in the past, but it can be formed with solid components, so it is not affected by gravity and acceleration, and the environment of use and posture of use are flexible. Can be maintained in a high state.

以下、図面を用いて具体的に説明する。
図1は、反射型ディスプレイ装置2の要部断面図である。基板103と、薄膜PZT(以下、単に「PZT」ともいう)からなるアクチュエータ104と、光スイッチとしてのインバースオパール構造体102と、透明カバー部材101と、アクチュエータ104を選択的に駆動する図示しない制御部等から構成されている。
透明カバー部材102に接してインバースオパール構造体102が設けられている。
インバースオパール構造体102に力を印加するアクチュエータ104が基板103に形成されている。
Hereinafter, it demonstrates concretely using drawing.
FIG. 1 is a cross-sectional view of the main part of the reflective display device 2. A substrate 103, an actuator 104 made of a thin film PZT (hereinafter also simply referred to as “PZT”), an inverse opal structure 102 as an optical switch, a transparent cover member 101, and a control (not shown) that selectively drives the actuator 104 It consists of parts.
An inverse opal structure 102 is provided in contact with the transparent cover member 102.
An actuator 104 that applies a force to the inverse opal structure 102 is formed on the substrate 103.

これらが組み合わされて、反射型ディスプレイ装置2が構成されている。
独立して設けられたインバースオパール構造体102は、ある波長を反射するように選定された球形微粒子の規則的配列体を鋳型として形成されたインバースオパール構造体である。
各インバースオパール構造体102と各アクチュエータ104は一対一で対応し、その一組で一つの画素を表示する表示部が構成されている。
These are combined to constitute the reflective display device 2.
The inverse opal structure 102 provided independently is an inverse opal structure formed using a regular array of spherical fine particles selected to reflect a certain wavelength as a template.
Each inverse opal structure 102 and each actuator 104 have a one-to-one correspondence, and a set of the display unit that displays one pixel.

以下に本発明における構造色の発現とその制御について詳細に説明する。
球形微粒子の集積体、いわゆるオパール結晶と呼ばれ、フォトニック結晶の特性を有する構造体に対して、ある波長の入射光を入射させた場合を考える。本発明において最終的に構造色を発現するインバースオパール構造体についても、体積分率を反転して計算すれば、同様の計算が成り立つものである。
フォトニック結晶の大きな特性であるフォトニックバンドギャップの位置を定性的に計算するには、以下に示すブラッグの式が有効である。
Hereinafter, the expression and control of the structural color in the present invention will be described in detail.
Consider a case where incident light having a certain wavelength is incident on a structure of spherical fine particles, called a so-called opal crystal, having a photonic crystal characteristic. In the present invention, an inverse opal structure that finally develops a structural color can be calculated by inverting the volume fraction.
In order to qualitatively calculate the position of the photonic band gap, which is a significant characteristic of the photonic crystal, the following Bragg equation is effective.

ここで、fcc構造を有するオパール結晶の(111)面に光が入射する場合、そのフォトニックバンドギャップの波長(λ)は、以下の(1)式で表される。   Here, when light is incident on the (111) plane of the opal crystal having the fcc structure, the wavelength (λ) of the photonic band gap is expressed by the following equation (1).

Figure 2014021200
Figure 2014021200

ここで、na は、以下の(2)式で表される。 Here, n a is expressed by the following equation (2).

Figure 2014021200
Figure 2014021200

ここで、dは微粒子間距離、θは光の入射角度、naは平均屈折率、nsphereとnvoid はそれぞれ微粒子の屈折率、および空隙の屈折率、f は微粒子の体積分率である。
垂直に入射する光を考える場合、θ=0°であるからsinθ=0となる。また、最密充填状態のfcc構造における微粒子の体積分率fは0.74と計算から求めることができ、このことから1-fの値は0.26と求められる。
したがって、球形の空隙の屈折率と骨格を成す材料の屈折率が既知であれば(1)式、(2)式により、フォトニックバンドギャップの位置の波長(λ)が計算により求めることができる。
Where d is the distance between the fine particles, θ is the incident angle of light, n a is the average refractive index, n sphere and n void are the refractive index of the fine particles, and the refractive index of the voids, respectively, and f is the volume fraction of the fine particles. .
When considering vertically incident light, since θ = 0 °, sin θ = 0. Further, the volume fraction f of the fine particles in the close-packed fcc structure can be obtained by calculation as 0.74, and from this, the value of 1-f is obtained as 0.26.
Therefore, if the refractive index of the spherical void and the refractive index of the material constituting the skeleton are known, the wavelength (λ) at the position of the photonic band gap can be obtained by calculation using Equations (1) and (2). .

ここで、具体的な材料を挙げてその屈折率を利用してフォトニックバンドギャップの計算した例を示す。
インバースオパール構造体において、骨格をなす可撓性のある材料として、紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いた場合について説明する。
なお、インバースオパール構造体であるので、球形の空隙を占める物質は空気としている。
Here, an example of calculating a photonic band gap by using a specific material and utilizing its refractive index is shown.
A case where an ultraviolet curable epoxy resin is used as a flexible material forming a skeleton in the inverse opal structure will be described.
In addition, since it is an inverse opal structure, the substance which occupies a spherical space | gap is air.

球形の空隙:空気 屈折率 nsphere=1
体積分率=0.74
粒子径=300nm
骨格:紫外線硬化型エポキシ樹脂 屈折率 nvoid=1.55
体積分率=0.26
これらの値を上記の(1)式、(2)式に代入してフォトニックバンドギャップ位置の波長(λ)を求めると、
λ=572.3(nm)と求められる。
Spherical void: Air Refractive index n sphere = 1
Volume fraction = 0.74
Particle size = 300nm
Skeleton: UV curable epoxy resin Refractive index n void = 1.55
Volume fraction = 0.26
Substituting these values into the above formulas (1) and (2) to obtain the wavelength (λ) at the photonic band gap position,
λ = 572.3 (nm) is obtained.

次に骨格をなす可撓性のある材料として、紫外線硬化型エポキシ樹脂を用いた場合について説明する。
球形の空隙:空気 屈折率 nsphere=1
体積分率=0.74
粒子径=300nm
骨格;低密度ポリエチレン 屈折率 nvoid=1.51
体積分率=0.26
これらの値を上記の(1)式、(2)式に代入してフォトニックバンドギャップ位置の波長(λ)を求めると、
λ=565.6(nm)と求められる。
Next, the case where an ultraviolet curable epoxy resin is used as the flexible material forming the skeleton will be described.
Spherical void: Air Refractive index n sphere = 1
Volume fraction = 0.74
Particle size = 300nm
Skeleton; Low density polyethylene Refractive index n void = 1.51
Volume fraction = 0.26
Substituting these values into the above formulas (1) and (2) to obtain the wavelength (λ) at the photonic band gap position,
λ = 565.6 (nm) is obtained.

このように同じ球形の空隙のサイズが同じ300nmとした場合でも、骨格を形成する材料の屈折率によって、フォトニックバンドギャップの波長が異なることがわかる。
また、最初に用いる球形微粒子の粒子径が最終的なインバースオパール構造体のフォトニックバンドギャップの波長を決定するので、球形微粒子の粒子径の寸法精度や寸法バラツキがインバースオパール構造体の品質を決定する。
この点、最近では、シリカ微粒子やポリスチレン微粒子のように、粒子径の寸法精度や寸法バラツキに優れた微粒子は容易に入手できる環境であるので、有効な製造方法といえる。
Thus, even when the size of the same spherical void is 300 nm, it can be seen that the wavelength of the photonic band gap varies depending on the refractive index of the material forming the skeleton.
In addition, since the particle size of the spherical fine particle used first determines the wavelength of the photonic band gap of the final inverse opal structure, the dimensional accuracy and size variation of the spherical fine particle size determine the quality of the inverse opal structure. To do.
In this respect, recently, fine particles having excellent particle size accuracy and dimensional variation, such as silica fine particles and polystyrene fine particles, can be said to be an effective production method because they are easily available.

インバースオパール構造体以外の3次元規則的周期構造を半導体製造プロセスを駆使して形成することも可能であるが、工程が複雑で非常にコストの高い製造方法となってしまうという問題がある。
その面からも微粒子集積体を鋳型とするインバースオパール構造体を利用する本発明は大きな特徴を有しているといえる。
Although it is possible to form a three-dimensional regular periodic structure other than the inverse opal structure by making full use of a semiconductor manufacturing process, there is a problem that the manufacturing process is complicated and the cost is very high.
From this aspect, it can be said that the present invention using the inverse opal structure using the fine particle aggregate as a template has a great feature.

次に、実際に反射型ディスプレイとして実現する場合の設計指針について説明する。
骨格をなす可撓性のある材料として、紫外線硬化型エポキシ樹脂(屈折率=1.55)を用いて、変形しない状態では緑の構造色を呈し、変形したときにその色が消失する場合について説明する。
緑の波長として、524nmの波長を選択する。
前述の計算式、(1)、(2)を用いてフォトニックバンドギャップが524nmとなるインバースオパール構造体の周期、つまり、インバースオパール構造体を形成する際の鋳型となる球形微粒子粒子径を求めると、280.0nmと求めることができる。
Next, a design guideline for actual implementation as a reflective display will be described.
An explanation will be given of a case where an ultraviolet curable epoxy resin (refractive index = 1.55) is used as a flexible material forming a skeleton, and a green structural color is exhibited in a non-deformed state and the color disappears when deformed. .
Select a wavelength of 524 nm as the green wavelength.
Using the above formulas (1) and (2), the period of the inverse opal structure where the photonic band gap is 524 nm, that is, the diameter of the spherical fine particle used as a template for forming the inverse opal structure is obtained. And 280.0 nm.

この程度の粒子径の球形微粒子は容易に入手することが可能で、規則的配列体を形成する上でも扱いやすいサイズであるので、製造工程上は全く問題ないものである。
このサイズの周期構造を有するインバースオパール構造体に対して圧縮の力を印加し、たとえば周期の寸法が254.7nmに減少したとする。
本発明の構成では、等方的な圧縮とはならないが、少なくとも膜厚方向における収縮は達成できる。
Spherical fine particles having such a particle size can be easily obtained, and have a size that is easy to handle even when forming a regular array, so that there is no problem in the manufacturing process.
It is assumed that a compressive force is applied to the inverse opal structure having a periodic structure of this size, and the period dimension is reduced to 254.7 nm, for example.
In the configuration of the present invention, isotropic compression is not achieved, but at least shrinkage in the film thickness direction can be achieved.

計算を容易にするために、仮に等方的に収縮し、周期の寸法がこのような変化をしたとすると、フォトニックバンドギャップの波長は480nmとなり、もはや緑色の構造色は消滅してしまう。
このように、インバースオパール構造に対して圧縮の力を印加した領域と、しない領域とでは、呈する構造色の色が異なるために、これらを制御することで反射型ディスプレイを実現することができる。
For ease of calculation, if the isotropic contraction occurs and the period dimension changes in this way, the wavelength of the photonic band gap is 480 nm, and the green structural color no longer exists.
As described above, since the color of the structural color to be presented differs between the area where the compressive force is applied to the inverse opal structure and the area where the compression force is not applied, a reflective display can be realized by controlling these colors.

次に、骨格をなす可撓性のある材料として、低密度ポリエチレン(屈折率=1.51)を用いて、変形しない状態では赤の構造色を呈し、変形したときにその色が消失する場合について説明する。
赤の波長として、564nmの波長を選択する。
前述の計算式、(1)、(2)を用いてフォトニックバンドギャップが564nmとなるインバースオパール構造体の周期、つまり、インバースオパール構造体を形成する際の鋳型となる球形微粒子粒子径を求めると、295.7nmと求めることができる。
Next, a case where a low-density polyethylene (refractive index = 1.51) is used as a flexible material forming a skeleton, and a red structural color is exhibited without deformation, and the color disappears when deformed. To do.
Select the wavelength of 564 nm as the red wavelength.
Using the above formulas (1) and (2), the period of the inverse opal structure with a photonic band gap of 564 nm, that is, the diameter of the spherical fine particle used as a template for forming the inverse opal structure is obtained. And 295.7 nm.

このサイズの周期構造を有するインバースオパール構造体に対して圧縮の力を印加し、たとえば周期の寸法が262.1nmに減少したとする、フォトニックバンドギャップの波長は500nmとなり、もはや赤色の構造色は消滅してしまう。
この場合も反射型ディスプレイとして実現できる。
同様に青についても、構造色を呈する場合と構造色が消失する場合を制御できるので、カラーのディスプレイの実現も可能となる。
Applying a compressive force to an inverse opal structure having a periodic structure of this size, for example, if the period dimension is reduced to 262.1 nm, the wavelength of the photonic band gap is 500 nm, and the structure color of red is no longer It will disappear.
In this case also, it can be realized as a reflective display.
Similarly, for blue, since it is possible to control the case where the structural color is exhibited and the case where the structural color disappears, a color display can be realized.

以上説明した構造の変化は、いずれの場合も10%程度の寸法変化で実現できるものであるので、可撓性のある材料で構成したインバースオパール構造体であれば、無理なく変形が可能で、繰り返し使用についても対応できるものである。   The change in structure described above can be realized with a dimensional change of about 10% in any case, so if it is an inverse opal structure made of a flexible material, it can be deformed without difficulty, It can cope with repeated use.

次にアクチュエータについて説明する。前述のインバースオパール構造体に力を印加できるアクチュエータであれば本発明の目的を達成することは可能であるが、好適にはPZTを用いて圧縮の力を印加する方法を採用することが望ましい。
その理由は、PZTはいわゆる半導体プロセスで形成することが可能であり、パターニングが可能で配線部材との整合も問題なく行えることが有利な点である。
Next, the actuator will be described. The actuator of the present invention can achieve the object of the present invention as long as it is an actuator that can apply a force to the above-mentioned inverse opal structure, but it is preferable to adopt a method of applying a compression force using PZT.
The reason is that PZT can be formed by a so-called semiconductor process, can be patterned, and can be aligned with a wiring member without any problem.

具体的には、スパッタリング法や蒸着法などでPZTを形成し、フォトリソグラフィー、ドライエッチングといった一般的な半導体プロセスでパターニングすることで、所望の形状のPZTアクチュエータが容易に得られる。
インバースオパール構造体に対応するように設計、形成すれば、独立したインバースオパール構造体に対して個別に力を印加することができる。
また、PZTは電圧駆動型のアクチュエータであるので消費する電流が少なくて済み、結果的に省エネルギー駆動が可能となることもメリットである。また、反応速度も十分早く、全く問題はない。
Specifically, a PZT actuator having a desired shape can be easily obtained by forming PZT by a sputtering method, a vapor deposition method, or the like, and patterning by a general semiconductor process such as photolithography or dry etching.
If designed and formed so as to correspond to the inverse opal structure, a force can be individually applied to the independent inverse opal structure.
Further, since PZT is a voltage-driven actuator, it consumes less current, and as a result, energy-saving driving is possible. Also, the reaction rate is sufficiently fast and there is no problem at all.

図2に基づいて、構造色発現部材(光スイッチ)としてのインバースオパール構造体の形成方法について説明する。
まず、図2(a)に示すように、透明カバー部材101に複数の分離壁105を形成して、分離されたセル106を形成する。
各分離壁105が、最終的に各画素に対応する領域を決定するように設計され、形成されている。
Based on FIG. 2, the formation method of the inverse opal structure as a structural color expression member (optical switch) is demonstrated.
First, as shown in FIG. 2A, a plurality of separation walls 105 are formed on the transparent cover member 101 to form separated cells 106.
Each separation wall 105 is designed and formed so as to finally determine a region corresponding to each pixel.

分離壁105は、最終的に除去するものであるために、透明カバー部材101の材質との組み合わせを考慮して適宜選択すべきものである。
また、各セル106を形成するためにパターニングにも可能であることが望ましい。
具体的には、透明カバー部材101がガラスである場合には、膜厚が厚く形成できるタイプのフォトレジストやドライフィルムレジストが好適な材料である。
Since the separation wall 105 is finally removed, the separation wall 105 should be appropriately selected in consideration of the combination with the material of the transparent cover member 101.
It is also desirable to be able to pattern to form each cell 106.
Specifically, when the transparent cover member 101 is glass, a photoresist or dry film resist of a type that can be formed thick is a suitable material.

このような分離壁105により形成されたセル106の中に、球形微粒子(ここではシリカ)107を含む分散液を導入し、静置させる。
分散液の溶媒の蒸発に伴って、球形微粒子が最密充填構造で集積する。この工程は一般的に知られている技術を用いれば容易に実現できるものである。
この点についてさらに説明する。本発明は、微粒子の自己組織化現象を利用した配列技術を用いることを特徴としている。
一般に、微粒子を分散させた分散液を基板に供給、乾燥することによって条件が整えば微粒子が最密充填構造をとることが知られている。
A dispersion liquid containing spherical fine particles (here, silica) 107 is introduced into the cell 106 formed by such a separation wall 105 and allowed to stand.
As the solvent of the dispersion liquid evaporates, spherical fine particles accumulate in a close-packed structure. This process can be easily realized by using a generally known technique.
This point will be further described. The present invention is characterized by using an array technique that utilizes the self-organization phenomenon of fine particles.
In general, it is known that fine particles have a close-packed structure if conditions are adjusted by supplying and drying a dispersion liquid in which fine particles are dispersed to a substrate.

この現象は、分散液の溶媒が乾燥する際に、微粒子に対して横毛管力が働くためと解釈されている。その結果、横毛管力を受けた微粒子は乾燥に伴って最密充填構造で配列すると考えられている。
本発明では、この現象を積極的に利用しているものである。
微粒子一つずつをマニュピレーション操作により狙った位置に配列させることも考えられるが、このような手法では、膨大な時間とコストがかかり、実際のデバイス作成の技術としては非現実的である。
This phenomenon is interpreted as a transverse capillary force acting on the fine particles when the solvent of the dispersion is dried. As a result, it is considered that the fine particles subjected to the transverse capillary force are arranged in a close-packed structure with drying.
In the present invention, this phenomenon is actively used.
Although it is conceivable to arrange the fine particles one by one at the target position by manipulation operation, such a method requires enormous time and cost, and it is unrealistic as an actual device creation technique.

最密充填構造で積層した微粒子の集積体は、お互いに密着しているものの、同時に連通した空隙を有している。
その空隙に対して、図2(b)に示すように、流動性を有する充填材108を注入し、含侵させて固化する。
具体的には、紫外線硬化型エポキシ樹脂を空隙に充填し、すべての空隙に十分に樹脂がいきわたったところで、紫外線を照射して紫外線硬化型エポキシ樹脂を固化させる。
The aggregates of fine particles stacked in a close-packed structure are in close contact with each other but have voids that communicate with each other at the same time.
As shown in FIG. 2B, the filler 108 having fluidity is injected into the void, impregnated and solidified.
Specifically, the ultraviolet curable epoxy resin is filled in the gaps, and when the resin is sufficiently spread in all the gaps, the ultraviolet curable epoxy resin is solidified by irradiating ultraviolet rays.

このとき、紫外線硬化型エポキシ樹脂を空隙に充填した際に、シリカの集積体の崩壊を防止するために、紫外線硬化型エポキシ樹脂を充填する前に微粒子集積体に対して短時間の熱処理を行うことも推奨される。
シリカ微粒子集積体の場合の推奨条件としては、300℃の熱処理を30分程度行えば十分である。
At this time, when the space is filled with the ultraviolet curable epoxy resin, in order to prevent the silica aggregate from collapsing, the fine particle aggregate is subjected to a short heat treatment before the ultraviolet curable epoxy resin is filled. It is also recommended.
As a recommended condition in the case of a silica fine particle aggregate, it is sufficient to perform a heat treatment at 300 ° C. for about 30 minutes.

次に、図2(c)に示すように、球形微粒子のみを選択的に除去する。
上記のように、微粒子の構成材料はシリカ、空隙に充填された樹脂は紫外線硬化型エポキシ樹脂であるので、希フッ酸を用いてシリカ微粒子のみを溶解させ、除去する。
先に述べたように微粒子は密着して集積しているので、シリカ微粒子を溶解させながら希フッ酸は中に侵入していき、最終的には全てのシリカ微粒子を完全に除去することが可能となる。
紫外線硬化型エポキシ樹脂は希フッ酸に対して耐性があるので、なんら損傷を受けることなく、骨格としてインバースオパール構造体102の形状が得られる。
Next, as shown in FIG. 2C, only spherical fine particles are selectively removed.
As described above, since the constituent material of the fine particles is silica and the resin filled in the voids is an ultraviolet curable epoxy resin, only the silica fine particles are dissolved and removed using dilute hydrofluoric acid.
As mentioned earlier, since the fine particles are closely gathered and accumulated, dilute hydrofluoric acid penetrates into the solution while dissolving the fine silica particles, and finally all the fine silica particles can be completely removed. It becomes.
Since the ultraviolet curable epoxy resin is resistant to dilute hydrofluoric acid, the shape of the inverse opal structure 102 can be obtained as a skeleton without any damage.

最後に、図2(d)に示すように、各セルを分離するために存在していた分離壁105を除去して、透明カバー部材101上に、独立して形成されたインバースオパール構造体102のみが存在する部材が得られる。
分離壁105の除去は、先に述べたフォトレジストやドライフィルムレジストにおいては、アセトンなどの有機溶媒を用いれば、完全に除去が可能である。
Finally, as shown in FIG. 2D, the separation wall 105 existing for separating each cell is removed, and the inverse opal structure 102 independently formed on the transparent cover member 101 is removed. A member in which only is present is obtained.
The separation wall 105 can be completely removed by using an organic solvent such as acetone in the above-described photoresist or dry film resist.

インバースオパール構造体102が形成された透明カバー部材101と、PZTパターン、および配線部材を形成した基板103とを組み合わせて一体化させて、別個に設ける制御回路や電源など必要な周辺機構を接続して反射型ディスプレイ2を完成させる。   The transparent cover member 101 on which the inverse opal structure 102 is formed and the substrate 103 on which the PZT pattern and wiring member are formed are combined and integrated to connect necessary peripheral mechanisms such as a separately provided control circuit and power supply. Thus, the reflective display 2 is completed.

本発明は、高規則性の微粒子配列構造を、溶液系を用いることにより実現することを特徴の一つとしている。
すなわち、乾燥状態では、凝集しやすくなる超微粒子であっても、溶液系という状態の利点を最大限に利用し分散性を向上させることにより凝集を防ぐことができる。
pHの制御、例えば添加するイオン種を適切に選択、制御することにより、等電点の関係を利用することができる。その結果、高規則性の微粒子配列が得られるものである。
One feature of the present invention is that a highly regular fine particle array structure is realized by using a solution system.
That is, even in the dry state, even ultrafine particles that easily aggregate can be prevented from being aggregated by utilizing the advantages of the state of a solution system to improve the dispersibility.
By controlling the pH, for example, appropriately selecting and controlling the ion species to be added, the isoelectric point relationship can be utilized. As a result, a highly regular fine particle array can be obtained.

この点についてさらに詳細に説明する。一般に、例えば金属酸化物からなる微粒子を水中に浸漬すると、微粒子は正または負の電荷を持ち、電界が存在すると対向する電場を有する方向へ移動する。
この現象が電気泳動現象である。この電気泳動現象によって、微粒子の水中における荷電すなわち界面電位(ゼータ電位)の存在を知ることができる。この界面電位は微粒子-水系のpHによって大きく変化する。
一般に横軸に水系のpHを、縦軸に界面電位をとると、界面電位は水系のpHによって変化し、界面電位「0」を切る点の水系のpHを「等電点」と定義される。
This point will be described in more detail. In general, when fine particles made of, for example, a metal oxide are immersed in water, the fine particles have a positive or negative charge, and move in a direction having an opposing electric field when an electric field is present.
This phenomenon is an electrophoresis phenomenon. By this electrophoresis phenomenon, it is possible to know the charge of fine particles in water, that is, the presence of an interface potential (zeta potential). This interfacial potential varies greatly depending on the pH of the fine particle-water system.
In general, when the horizontal axis represents the pH of the aqueous system and the vertical axis represents the interfacial potential, the interfacial potential varies depending on the pH of the aqueous system, and the pH of the aqueous system at which the interfacial potential “0” is cut is defined as the “isoelectric point”. .

この現象から、一般的に金属酸化物微粒子表面の界面電位は、酸性側では正、アルカリ側では負の極性を取る。しかし、この等電点は材料によって大きく異なり、例えば、コロイダルシリカでは「2.0」、α-アルミナでは「9.0」、ヘマタイトでは「6.7」という値が紹介されている。
つまり、等電点から離れるほど界面電位が大きくなり、酸性側にいくほど界面電位の値は正の大きい方に向かう。
また逆に、アルカリ側にいくほど界面電位の値は負の大きい方に向かう。これはpHで制御することができることを意味する。
From this phenomenon, the interface potential on the surface of the metal oxide fine particles generally has a positive polarity on the acidic side and a negative polarity on the alkaline side. However, this isoelectric point varies greatly depending on the material. For example, a value of “2.0” is introduced for colloidal silica, “9.0” for α-alumina, and “6.7” for hematite.
That is, the interface potential increases as the distance from the isoelectric point increases, and the value of the interface potential increases toward the positive side as it moves toward the acidic side.
On the other hand, the value of the interfacial potential is more negative as it goes to the alkali side. This means that it can be controlled by pH.

pHの制御は、酸やアルカリの添加で、制御性よくコントロールできるものである。本発明では、この現象を積極的に利用するものであり、分散液の状態で微粒子の凝集を効果的に防ぐことができるものである。
この結果、分散液をセル内に滴下した際にも、微粒子が凝集しない状態で存在するために、その後の配列の工程において、高品質の配列状態を容易に実現できるものである。
この現象は、乾式プロセスでは得られない利点といえる。
The pH can be controlled with good controllability by adding acid or alkali. In the present invention, this phenomenon is actively utilized, and aggregation of fine particles can be effectively prevented in the state of a dispersion.
As a result, even when the dispersion liquid is dropped into the cell, the fine particles are present in a non-aggregated state. Therefore, a high-quality array state can be easily realized in the subsequent array process.
This phenomenon is an advantage that cannot be obtained by a dry process.

2 反射型ディスプレイ装置
102 インバースオパール構造体
104 アクチュエータとしてのPZT
107 球形微粒子としてのシリカ
108 可撓性を有する材料としての紫外線硬化型エポキシ樹脂
2 Reflective display device 102 Inverse opal structure 104 PZT as actuator
107 Silica as Spherical Fine Particle 108 UV-curable Epoxy Resin as Flexible Material

特開2009−216964号公報JP 2009-216964 A

Claims (8)

球形微粒子の最密充填構造を鋳型として可撓性を有する材料で構成され、且つ、構造周期が所望の波長を反射するフォトニックバンドギャップ機能を持つ構造のインバースオパール構造体を有し、
前記インバースオパール構造体を変形させることによりスイッチング機能を得ることを特徴とする光スイッチ。
It has an inverse opal structure of a structure having a photonic band gap function that is composed of a material having flexibility using a close-packed structure of spherical fine particles as a mold, and whose structure period reflects a desired wavelength,
An optical switch characterized in that a switching function is obtained by deforming the inverse opal structure.
請求項1に記載の光スイッチにおいて、
前記可撓性を有する材料が、紫外線硬化型エポキシ樹脂であることを特徴とする光スイッチ。
The optical switch according to claim 1,
An optical switch, wherein the flexible material is an ultraviolet curable epoxy resin.
請求項1に記載の光スイッチにおいて、
前記可撓性を有する材料が、低密度ポリエチレンであることを特徴とする光スイッチ。
The optical switch according to claim 1,
The optical switch, wherein the flexible material is low density polyethylene.
光スイッチと、該光スイッチの前記インバースオパール構造体に力を印加してスイッチング機能を発現させるアクチュエータとを有する反射型ディスプレイ装置であって、
前記光スイッチが、請求項1〜3のいずれか1つに記載のものであることを特徴とする反射型ディスプレイ装置。
A reflective display device comprising: an optical switch; and an actuator that applies a force to the inverse opal structure of the optical switch to exhibit a switching function,
The reflection type display device according to claim 1, wherein the optical switch is one according to claim 1.
請求項4に記載の反射型ディスプレイ装置において、
前記インバースオパール構造体が複数アレイ状に配置され、各インバースオパール構造体に対して個別駆動可能なアクチュエータがそれぞれ対をなすように配置され、その一組で一つの画素を表示する表示部が構成されていることを特徴とする反射型ディスプレイ装置。
The reflective display device according to claim 4,
A plurality of the inverse opal structures are arranged in an array, and an actuator that can be individually driven for each inverse opal structure is arranged in a pair, and a display unit that displays one pixel as a set is configured. A reflective display device, characterized in that
請求項4又は5に記載の反射型ディスプレイ装置において、
前記アクチュエータがPZTであることを特徴とする反射型ディスプレイ装置。
The reflection type display device according to claim 4 or 5,
The reflective display device, wherein the actuator is PZT.
前記球形微粒子が分散した分散液を原料として区画されたセル内に入れ、前記分散液の溶媒を蒸発させて球形微粒子を最密充填構造に配列させ、その後セル内に前記可撓性を有する材料を入れ、前記可撓性を有する材料の固化後、前記球形微粒子を除去して前記インバースオパール構造体を形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光スイッチの製造方法。   The dispersion liquid in which the spherical fine particles are dispersed is placed in a cell partitioned as a raw material, the solvent of the dispersion liquid is evaporated to arrange the spherical fine particles in a close-packed structure, and then the flexible material in the cell The optical switch according to any one of claims 1 to 3, wherein after the solidification of the flexible material, the spherical fine particles are removed to form the inverse opal structure. Production method. 請求項7に記載の光スイッチの製造方法において、
前記球形微粒子の最密充填構造を作製する際に、前記球形微粒子の材質に応じて、pH値を制御して前記球形微粒子を分散させた分散液を用いることを特徴とする光スイッチの製造方法。
In the manufacturing method of the optical switch according to claim 7,
A manufacturing method of an optical switch, wherein a dispersion liquid in which the spherical fine particles are dispersed by controlling the pH value according to the material of the spherical fine particles is used when producing the close packed structure of the spherical fine particles. .
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114113049A (en) * 2021-11-30 2022-03-01 南京信息工程大学 Preparation method and application of self-luminous photonic crystal electrochemiluminescence sensor
CN115047617A (en) * 2020-12-03 2022-09-13 北京航空航天大学 Intelligent drive reflective display element and device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006243343A (en) * 2005-03-03 2006-09-14 Ricoh Co Ltd Optical device and manufacturing method thereof
JP2006343592A (en) * 2005-06-09 2006-12-21 Nissan Motor Co Ltd Light control structure utilizing liquid crystal material containing liquid crystal molecule having bent structure
JP2009020435A (en) * 2007-07-13 2009-01-29 Toyota Central R&D Labs Inc Image display device
JP2009528397A (en) * 2006-02-27 2009-08-06 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Method for introducing nanophosphors into micro-optical structures
JP2009216964A (en) * 2008-03-11 2009-09-24 Konica Minolta Business Technologies Inc Display member
JP2010078675A (en) * 2008-09-24 2010-04-08 Toyota Central R&D Labs Inc Optical deflection device and optical deflection method
JP2011524021A (en) * 2008-05-30 2011-08-25 オパラックス インコーポレーテッド Variable Bragg stack

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006243343A (en) * 2005-03-03 2006-09-14 Ricoh Co Ltd Optical device and manufacturing method thereof
JP2006343592A (en) * 2005-06-09 2006-12-21 Nissan Motor Co Ltd Light control structure utilizing liquid crystal material containing liquid crystal molecule having bent structure
JP2009528397A (en) * 2006-02-27 2009-08-06 メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Method for introducing nanophosphors into micro-optical structures
JP2009020435A (en) * 2007-07-13 2009-01-29 Toyota Central R&D Labs Inc Image display device
JP2009216964A (en) * 2008-03-11 2009-09-24 Konica Minolta Business Technologies Inc Display member
JP2011524021A (en) * 2008-05-30 2011-08-25 オパラックス インコーポレーテッド Variable Bragg stack
JP2010078675A (en) * 2008-09-24 2010-04-08 Toyota Central R&D Labs Inc Optical deflection device and optical deflection method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115047617A (en) * 2020-12-03 2022-09-13 北京航空航天大学 Intelligent drive reflective display element and device
CN115047617B (en) * 2020-12-03 2024-02-13 北京航空航天大学 Intelligent driving reflective display element and device
CN114113049A (en) * 2021-11-30 2022-03-01 南京信息工程大学 Preparation method and application of self-luminous photonic crystal electrochemiluminescence sensor
CN114113049B (en) * 2021-11-30 2023-05-30 南京信息工程大学 Preparation method and application of self-luminous photonic crystal electrochemiluminescence sensor

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